DE102017217107A1 - Arrangement of an optical system and cooling methods - Google Patents
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Abstract
Ausgegangen wird von einer Anordnung eines optischen Systems mit mindestens einem optischen Element. Das optische Element umfasst hierbei zumindest einen Einstrahlbereich für eine elektromagnetische Strahlung. Unter Einwirkung der elektromagnetischen Strahlung weist das optische Element lokale Bereiche unterschiedlicher Erwärmung auf, wodurch sich insbesondere in einem Funktionsbereich oder -fläche des Einstrahlbereichs eine Temperaturverteilung mit voneinander unterschiedlichen Temperaturwerten ausbildet. Zusätzlich weist das optische Element einen Entwärmungsbereich auf, welcher zur Entwärmung des optischen Elementes mit einem Kühlbereich einer Kühlvorrichtung wärmeleitend verbunden ist und durch das optische Element und die Kühlvorrichtung hindurch Entwärmungspfade gebildet sind. Mittels des Kühlbereiches ist dabei zwischen dem optischen Element und der Kühlvorrichtung ein Wärmeübergang mit lokal unterschiedlicher Wärmeleitung ausgebildet, wobei die lokal unterschiedliche Wärmeleitung an eine spezifische Strahlungsverteilung auf dem Einstrahlbereich des optischen Elementes derart angepasst ist, dass aufgrund eines über die Entwärmungspfade jeweils lokal bewirkten abfließenden Wärmestromes die Temperaturverteilung insbesondere in dem Funktionsbereich oder -fläche des Einstrahlbereiches des optischen Elementes ausnivelliert ist. The starting point is an arrangement of an optical system with at least one optical element. In this case, the optical element comprises at least one irradiation area for electromagnetic radiation. Under the action of the electromagnetic radiation, the optical element has local regions of different heating, as a result of which, in particular in a functional region or area of the irradiation region, a temperature distribution with mutually different temperature values is formed. In addition, the optical element has a cooling zone, which is connected in a heat-conducting manner for cooling the optical element to a cooling area of a cooling device and cooling paths are formed through the optical element and the cooling device. By means of the cooling region, a heat transfer with locally different heat conduction is formed between the optical element and the cooling device, the locally different heat conduction being adapted to a specific radiation distribution on the irradiation region of the optical element such that due to a respective outflowing heat flow effected locally via the cooling paths the temperature distribution is in particular leveled out in the functional area or area of the irradiation area of the optical element.
Description
Die Erfindung betrifft eine ein optisches Element enthaltende Anordnung eines optischen Systems, eine die Anordnung umfassende Projektionsvorrichtung oder Meß- und/oder Bearbeitungsvorrichtung und/oder -anlage sowie ein Entwärmungsverfahren an dem optischen Element gemäß den Oberbegriffen der unabhängigen Ansprüche.The invention relates to an assembly of an optical system comprising an optical element, to a projection device or measuring and / or processing device and / or installation comprising the arrangement, and to a cooling method on the optical element according to the preambles of the independent claims.
Stand der TechnikState of the art
Im Bereich der Optik, insbesondere in strahlführenden Systemen, sind häufig thermische Effekte im Sinne der Erwärmung einzelner optischer Bauteile (beispielsweise Spiegel, Linsen, Gitter, usw.) zu beobachten. Diese Erwärmung wird in der Regel auch von einer thermischen Ausdehnung begleitet. Zum Schutz der optischen Bauteile und zur Gewährleistung der Qualität der Strahlführung ist meistens deshalb eine Kühlung dieser Systeme erforderlich. Die Kühlung der derzeitig verfügbaren Systeme ist dabei global auf das gesamte optische Bauteil ausgerichtet d.h. auf Basis der Gesamtenergiebilanz ausgelegt. Den so ausgelegten Kühlsystemen gelingt es zwar die eingebrachte Wärme abzuführen, sie berücksichtigen aber nicht den genauen Ort der Wärmeentstehung sowie die dadurch induzierten Eigenschaftsänderungen (Änderung der optischen Eigenschaften, inhomogene Ausdehnung, usw.). Diese sind als Störgrößen zu betrachten, welche das Gesamtergebnis einer strahlungsbedingten Messung oder Materialbearbeitung negativ beeinflussen können.In the field of optics, especially in beam-guiding systems, thermal effects in the sense of heating individual optical components (for example mirrors, lenses, gratings, etc.) are frequently to be observed. This warming is usually accompanied by thermal expansion. To protect the optical components and to ensure the quality of the beam guidance is therefore usually a cooling of these systems required. The cooling of the currently available systems is globally aligned to the entire optical component, i. designed based on the total energy balance. Although the cooling systems designed in this way manage to dissipate the introduced heat, they do not take into account the exact location of the heat generation and the property changes induced thereby (change in the optical properties, inhomogeneous expansion, etc.). These are to be regarded as disturbances, which can adversely affect the overall result of a radiation-related measurement or material processing.
Die Intensitäts- bzw. Fluenzverteilung eines Laserstrahls in einer Bearbeitungsebene bzw. in einer Abbildungsebene spielt eine große Rolle beispielsweise für die Ergebnisse eines Laserbearbeitungsprozesses oder der Qualität einer Projektion und bildet somit einen wichtigen Parameter in der Lasermaterialbearbeitung als auch in der Laserprojektion. Mit der Zielsetzung präziser Ergebnisse ist es daher erforderlich, eine Verfälschung der Intensitäts- bzw. Fluenzensverteilung eines Laserstrahls in der Bearbeitungsebene bzw. in der Abbildungsebene während der Strahlformung und/oder der Strahlführung so weit wie möglich auszuschließen bzw. zu minimieren.The intensity or fluence distribution of a laser beam in a processing plane or in an imaging plane plays a major role, for example, for the results of a laser processing process or the quality of a projection and thus forms an important parameter in laser material processing as well as in laser projection. With the objective of precise results, it is therefore necessary to exclude or minimize distortion of the intensity or fluence distribution of a laser beam in the working plane or in the imaging plane during beamforming and / or beam guidance as far as possible.
In der
In
Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention
Vorteileadvantages
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, temperaturbedingte Störgrößen an funktionsrelevanten Bereichen eines optischen Elementes während dem Bestrahlen mit elektromagnetischer Wellen zu kompensieren bzw. zu verringern.The object of the invention is to compensate or reduce temperature-related disturbance variables on function-relevant regions of an optical element during irradiation with electromagnetic waves.
Diese Aufgabe wird durch eine ein optisches Element enthaltende Anordnung eines optischen Systems, eine die Anordnung umfassende Projektionsvorrichtung oder Meß- und/oder Bearbeitungsvorrichtung und/oder -anlage sowie ein Entwärmungsverfahren an dem optischen Element mit den kennzeichnenden Merkmalen der unabhängigen Ansprüche gelöst.This object is achieved by an arrangement of an optical system comprising an optical element, a projection device or measuring and / or processing device and / or installation comprising the arrangement and a cooling method on the optical element with the characterizing features of the independent claims.
Ausgegangen wird von einer Anordnung eines optischen Systems mit mindestens einem optischen Element. Das optische Element umfasst hierbei zumindest einen Einstrahlbereich für eine elektromagnetische Strahlung. Unter Einwirkung der elektromagnetischen Strahlung weist das optische Element lokale Bereiche unterschiedlicher Erwärmung auf, wodurch sich insbesondere in einem Funktionsbereich oder -fläche des Einstrahlbereichs eine Temperaturverteilung mit voneinander unterschiedlichen Temperaturwerten ausbildet. Zusätzlich weist das optische Element einen Entwärmungsbereich auf, welcher zur Entwärmung des optischen Elementes mit einem Kühlbereich einer Kühlvorrichtung wärmeleitend verbunden ist und durch das optische Element und die Kühlvorrichtung hindurch Entwärmungspfade gebildet sind. Mittels des Kühlbereiches ist dabei zwischen dem optischen Element und der Kühlvorrichtung ein Wärmeübergang mit lokal unterschiedlicher Wärmeleitung ausgebildet, wobei die lokal unterschiedliche Wärmeleitung an eine spezifische Strahlungsverteilung auf dem Einstrahlbereich des optischen Elementes derart angepasst ist, dass aufgrund eines über die Entwärmungspfade jeweils lokal bewirkten abfließenden Wärmestromes die Temperaturverteilung insbesondere in dem Funktionsbereich oder -fläche ionsfläche des Einstrahlbereiches des optischen Elementes ausnivelliert ist. The starting point is an arrangement of an optical system with at least one optical element. In this case, the optical element comprises at least one irradiation area for electromagnetic radiation. Under the action of the electromagnetic radiation, the optical element has local regions of different heating, as a result of which, in particular in a functional region or area of the irradiation region, a temperature distribution with mutually different temperature values is formed. In addition, the optical element has a cooling zone, which is connected in a heat-conducting manner for cooling the optical element to a cooling area of a cooling device and cooling paths are formed through the optical element and the cooling device. By means of the cooling region, a heat transfer with locally different heat conduction is formed between the optical element and the cooling device, the locally different heat conduction being adapted to a specific radiation distribution on the irradiation region of the optical element such that due to a respective outflowing heat flow effected locally via the cooling paths the temperature distribution is in particular leveled out in the functional area or surface area of the irradiation area of the optical element.
Demzufolge ist für die Anordnung eine Entwärmungskonfiguration eingestellt, welche die örtlich verteilte absorbierte Laserleistung im optischen Element bei einer Bestrahlung mit einem spezifischen Strahlungsprofil sowie die dabei lokal vorliegenden dreidimensional verlaufenden Entwärmungspfade innerhalb des optischen Elementes und/oder der Kühlvorrichtung für eine gezielte örtliche Temperatureinstellung berücksichtigt. Eine solche Entwärmungskonfiguration ermöglicht daher vorteilhaft nicht nur eine absolute Absenkung von ortsbezogenen Temperaturwerten, sondern auch eine Absenkung dieser Temperaturwerte relativ zueinander einzustellen. Im Ergebnis sind somit bei einer Bestrahlung des optischen Elementes mit einem spezifischen Strahlungsprofil darauf abgestimmte zeitlich und örtlich verlaufende Wärmeströme ausgebildet, die lokal jeweils gerade einen solchen Abfluss von Wärmemenge bewirken, dass sich Temperaturwerte insbesondere in dem Funktionsbereich oder -fläche des optischen Elementes angleichen und diese während der Bestrahlung örtlich und zeitlich konstant gehalten werden. Auf diese Weise kann eine ansonsten temperaturbedingte lokal ungleiche Materialausdehnung minimiert bzw. ausgeschlossen werden und die daraus resultierenden negativen Eigenschaftsänderungen des optischen Elementes, beispielsweise betreffend ein geändertes Reflektionsverhalten, wirkungsvoll verhindert werden.Accordingly, a heat dissipation configuration is set for the device, which takes into account the locally distributed absorbed laser power in the optical element when irradiated with a specific radiation profile and the local three-dimensional Entwärmungspfade within the optical element and / or the cooling device for a specific local temperature setting. Such a Entwärmungskonfiguration thus advantageously not only allows an absolute reduction of localized temperature values, but also to set a lowering of these temperature values relative to each other. As a result, upon irradiation of the optical element with a specific radiation profile, temporally and spatially extending heat flows are formed which locally effect just such an outflow of heat quantity that temperature values, in particular in the functional area or surface of the optical element, are equalized be kept constant during the irradiation locally and temporally. In this way, an otherwise temperature-dependent locally unequal material expansion can be minimized or excluded and the resulting negative property changes of the optical element, for example regarding a changed reflection behavior, can be effectively prevented.
Die spezifische Strahlenverteilung ergibt sich aufgrund zumindest einer Teilabsorption eines einwirkenden Strahles mit einem spezifischen Strahlungsprofil, beispielsweise ein Laserstrahl, welcher durch eine elektromagnetische Wellen emittierende Strahlungsquelle, beispielsweise einem Laser, erzeugt und bereitgestellt wird. Die absorptionsbedingte Strahlungsverteilung entspricht im Wesentlichen dem Profilformverlauf des einwirkenden Strahls. Ein Laserstrahl beispielsweise weist hierbei eine über den Laserstrahlquerschnitt definierte Intensitätsverteilung auf, insbesondere mit einer einfachen bzw. achsen-symmetrischen Strahlungsprofilform, wie beispielsweise ein sogenannter Top Hat Beam, Besselstrahlen oder Airy-Beam, Donut usw.. Bevorzugt weist das Strahlungsprofil eine Top Hat Intensitätsverteilung auf. Dadurch vereinfacht sich die Ausführung einer entsprechenden Entwärmungskonfiguration. Andere Strahlprofile sind ebenfalls denkbar, insbesondere solche, die keine Rotations- oder Rechtecksymmetrien aufweisen, verlangen allerdings dann eine komplexere Ausführung der erforderlichen Entwärmungskonfiguration.The specific radiation distribution results from at least partial absorption of an acting beam having a specific radiation profile, for example a laser beam, which is generated and provided by an electromagnetic wave emitting radiation source, for example a laser. The absorption-related radiation distribution essentially corresponds to the profile shape profile of the acting beam. A laser beam, for example, in this case has an intensity distribution defined over the laser beam cross section, in particular with a simple or axisymmetric radiation profile shape, such as a so-called top hat beam, Bessel beams or Airy beam, donut, etc. Preferably, the radiation profile has a top hat intensity distribution on. This simplifies the execution of a corresponding Entwärmungskonfiguration. Other beam profiles are also conceivable, in particular those which have no rotational or rectangular symmetry, but then require a more complex design of the required Entwärmungskonfiguration.
Ein Ausnivellieren bzw. ein Angleichen von Temperaturwerten innerhalb einer Temperaturverteilung liegt dann vor, wenn sich Abweichungen aller Temperaturwerte gegenüber einer als Lageparameter für die eingestellte Temperaturverteilung geeigneten Referenztemperatur insgesamt verkleinern. Durch das Ausnivellieren weist eine dann vorliegende Temperaturverteilung eine möglichst kleine Streuung der Temperaturwerte auf. Im Idealfall ist ein Temperaturzustand einer Fläche ohne Temperaturabweichungen erreicht, so dass die Fläche örtlich gleiche Temperaturwerte aufweist.A leveling out or an adjustment of temperature values within a temperature distribution is present when deviations of all temperature values compared to a reference temperature suitable as a positional parameter for the set temperature distribution decrease overall. By leveling out, a temperature distribution then present has the smallest possible scattering of the temperature values. Ideally, a temperature state of a surface without temperature deviations is achieved so that the surface has locally the same temperature values.
Insgesamt ergibt sich durch die beschriebene Entwärmungskonfiguration immer ein Ausnivellieren der Temperaturwerte im Vergleich zu einem Entwärmungskonzept, bei welchem die lokale Wärmeleitung nicht in einer solchen Weise gezielt auf eine absorbierende Strahlung mit einer spezifischen Strahlungsverteilung eingestellt ist.Overall, the described Entwärmungskonfiguration always results in a leveling out of the temperature values in comparison to a Entwärmungskonzept in which the local heat conduction is not set in such a manner targeted to an absorbing radiation with a specific radiation distribution.
Quantitativ kann ein Streumaß für die Temperaturwerte innerhalb der Temperaturverteilung statistisch durch die empirische Varianz angegeben werden. Die empirische Varianz gibt dabei an, wie weit die Temperaturwerte innerhalb der Temperaturverteilung im Mittel vom arithmetischen Mittel als dem oben genannten Lageparameter abweichen. Bevorzugt ist die Entwärmungskonfiguration ausgelegt, als arithmetisches Mittel eine Betriebstemperatur des optischen Elementes zu erreichen, bei welcher für eine Anwendung optische Eigenschaften, insbesondere in dem Funktionsbereich oder -fläche des optischen Bauelementes, optimiert bzw. spezifiziert sind, beispielsweise bei typischen Laserbearbeitungen innerhalb eines Temperaturbereiches von 5 - 60 °C betreffend einen SLM-Chip als das optische Element oder beispielsweise bis 100°C oder 200°C bei einem Spiegel oder einer Linse als das optische Element. Hiermit kann auch vorgegeben werden, auf welches Temperaturniveau das optische Element im Mittel absolut durch eine Entwärmung abgekühlt werden soll, wodurch auch eine Größe der Kühlvorrichtung direkt beeinflusst ist. Das sich tatsächlich einstellende arithmetische Mittel kann hierbei beispielsweise um bis zu maximal 20 Kelvin, insbesondere bis maximal 10 Kelvin, bevorzugt um bis zu maximal 3 Kelvin von einem ansonsten anvisierten arithmetischen Mittel, insbesondere einer spezifizierten Betriebstemperatur, abweichen. Dadurch kann die Entwärmungskonfiguration vereinfacht erreicht werden.Quantitatively, a scattering measure for the temperature values within the temperature distribution can be given statistically by the empirical variance. The empirical variance indicates how far the temperature values within the temperature distribution on average deviate from the arithmetic mean than the above-mentioned positional parameter. Preferably, the Entwärmungskonfiguration is designed to achieve an arithmetic mean an operating temperature of the optical element, wherein for an application optical properties, in particular in the functional area or area of the optical component, for example, in typical laser processing within a temperature range of 5 - 60 ° C regarding a SLM chip as the optical element or, for example, to 100 ° C or 200 ° C at a mirror or a lens as the optical Element. Hereby can also be specified to which temperature level the optical element is to be cooled on average absolutely by a cooling, whereby a size of the cooling device is directly influenced. The actual arithmetic mean can in this case, for example, deviate up to a maximum of 20 Kelvin, in particular up to a maximum of 10 Kelvin, preferably up to a maximum of 3 Kelvin, from an otherwise targeted arithmetic mean, in particular a specified operating temperature. As a result, the Entwärmungskonfiguration can be easily achieved.
Vorteilhaft ist eine Ausnivellierung von Temperaturwerten mit einer empirischen Varianz von (0,1K)2 - (20K)2, insbesondere von (0,5K)2 - (3K)2. Durch derartig kleine Streuungen der Temperaturwerte innerhalb der Temperaturverteilung, beispielsweise in dem Funktionsbereich oder -fläche des optischen Elementes, bleiben lokal unterschiedliche temperaturbedingte Materialausdehnungen unkritisch hinsichtlich dadurch veränderter optischer Eigenschaften des optischen Elementes.It is advantageous to level out temperature values with an empirical variance of (0.1K) 2 - (20K) 2 , in particular of (0.5K) 2 - (3K) 2 . As a result of such small scattering of the temperature values within the temperature distribution, for example in the functional region or area of the optical element, locally different temperature-induced material expansions remain uncritical with regard to changed optical properties of the optical element.
Alternativ oder zusätzlich zur Vorgabe der empirischen Varianz kann eine Streuung eingeschränkt sein auf eine maximale Abweichung aller Temperaturwerte innerhalb der Temperaturverteilung von bis zu 40 Kelvin, insbesondere bis zu maximal 10 Kelvin, bevorzugt bis zu maximal 3 Kelvin und/oder dass ein Temperaturgradient von benachbarten Temperaturwerten nicht größer ist als 15 Kelvin/mm, insbesondere nicht größer ist als 3,0 Kelvin/mm, bevorzugt nicht größer ist als 0,7 Kelvin/mm. Die Temperaturverteilung kann beispielsweise durch eine Wärmebildkamera aufgenommen werden. Alternative Temperaturerfassungen sind ebenfalls möglich. Bevorzugt ist eine Bestimmung von Temperaturwerten in einem Rastermaß von kleiner 3 mm, insbesondere kleiner als 1,5 mm, bevorzugt kleiner 0,5 mm.Alternatively or additionally to the specification of the empirical variance, a scattering may be limited to a maximum deviation of all temperature values within the temperature distribution of up to 40 Kelvin, in particular up to a maximum of 10 Kelvin, preferably up to a maximum of 3 Kelvin and / or a temperature gradient of adjacent temperature values is not greater than 15 Kelvin / mm, in particular not greater than 3.0 Kelvin / mm, preferably not greater than 0.7 Kelvin / mm. The temperature distribution can be recorded for example by a thermal imaging camera. Alternative temperature measurements are also possible. A determination of temperature values in a grid dimension of less than 3 mm, in particular less than 1.5 mm, preferably less than 0.5 mm, is preferred.
Die Temperaturverteilung kann beispielsweise durch eine Wärmebildkamera aufgenommen werden. Alternative Temperaturerfassungen sind ebenfalls möglich. Bevorzugt ist eine Bestimmung von Temperaturwerten in einem Rastermaß von kleiner 3 mm, insbesondere kleiner als 1,5 mm, bevorzugt kleiner 0,5 mm.The temperature distribution can be recorded for example by a thermal imaging camera. Alternative temperature measurements are also possible. A determination of temperature values in a grid dimension of less than 3 mm, in particular less than 1.5 mm, preferably less than 0.5 mm, is preferred.
Bei Funktionsflächen, die nur teilflächig durch einen Strahl bestrahlt werden, beispielsweise dann mit einem unbestrahlten Randabschnitt oder einem unbestrahlten umlaufenden Randbereich, zeigt sich unter Umständen ein deutlicher Temperaturunterschied zwischen den Temperaturwerten in den bestrahlten Flächenanteilen gegenüber unbestrahlten Flächenanteilen. Für viele Anwendungsfälle reicht es dabei aus, dass zur Erreichung der zuvor genannten Vorteile nur die bestrahlten Flächenanteile der Funktionsfläche für eine Entwärmungskonfiguration berücksichtigt werden, um dort überwiegend ausnivellierte Temperaturwerten zu erreichen. Bevorzugt werden als bestrahlte Flächenanteile jene Flächen definiert, auf die beispielsweise 86,5% der Strahlungsenergie auf die Funktionsfläche einstrahlt. Dies erfolgt insbesondere in Hinblick auf beispielsweise einen Laserstrahl mit einer Gaußschen Intensitätsverteilung, dessen Durchmesser beispielsweise definiert ist durch eine Kreisfläche, die gerade 86,5% der Strahlungsintensität einschließt.In the case of functional surfaces which are only partially irradiated by a beam, for example with an unirradiated edge section or an unirradiated circumferential edge region, a clear temperature difference between the temperature values in the irradiated surface portions and unirradiated surface portions may be revealed. For many applications, it suffices that, in order to achieve the aforementioned advantages, only the irradiated surface portions of the functional surface are taken into account for a cooling configuration in order to achieve predominantly leveled-out temperature values there. Preferably, those areas are defined as irradiated areas, onto which, for example, 86.5% of the radiation energy radiates onto the functional area. This is done, in particular, with regard to, for example, a laser beam having a Gaussian intensity distribution whose diameter is defined, for example, by a circular area that includes just 86.5% of the radiation intensity.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Anordnung umfasst der Wärmeübergang zur Erreichung der lokal unterschiedlichen Wärmeleitung Wärmeübergangsflächen der Kühlvorrichtung, bevorzugt zumindest teilweise unterschiedlich groß ausgebildete Wärmeübergangsflächen, über welche die Kühlvorrichtung nur teilflächig strukturiert und/oder über welche Teilbereiche der Kühlvorrichtung unterschiedlicher Wärmeleitfähigkeit zumindest mittelbar mit dem Entwärmungsbereich des optischen Elementes kontaktiert ist/sind. In vorteilhafter Weise sind dadurch bereits unterschiedliche Bedingungen für eine lokale Entwärmung bewirkt, indem die Entstehung eines Wärmestroms gezielt mehr oder weniger begünstigt wird und ein lokal definierter Wärmeabfluss mit einer bestimmten Wärmemenge entsprechend der erforderlichen Entwärmungskonfiguration eingestellt ist.In a preferred embodiment of the arrangement, the heat transfer to achieve the locally different heat conduction heat transfer surfaces of the cooling device, preferably at least partially differently sized heat transfer surfaces over which the cooling device structured only part of the surface and / or over which portions of the cooling device of different thermal conductivity at least indirectly with the heat of the optical element is contacted / are. Advantageously, this already causes different conditions for a local cooling by the formation of a heat flow targeted more or less favored and a locally defined heat flow is set with a certain amount of heat according to the required Entwärmungskonfiguration.
In einer vorteilhaften oder weitergebildeten Ausführungsform der Anordnung ist der Wärmeübergang gebildet durch Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, die sich zwischen einem Kühlgrundkörper der Kühlvorrichtung und dem optischen Element in die Höhe erstrecken. Hierbei sind die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen über jeweils eine Wärmeübergangsfläche zumindest mittelbar mit dem Entwärmungsbereich des optischen Elementes und über jeweils eine Anbindungsfläche zumindest mittelbar mit dem Kühlgrundkörper kontaktiert. Bevorzugt ist eine Höhenachse lotrecht auf eine Wärmeübergangsfläche ausgerichtet. Weiter bevorzugt sind die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen ausgebildet, einen überwiegend gerichteten Wärmestrom von der jeweiligen Wärmeübergangsfläche zu der jeweiligen Anbindungsfläche zu bewirken. Insgesamt kann die Kühlvorrichtung zur Erreichung der erforderlichen Entwärmungskonfiguration, insbesondere im Kühlbereich, den Wärmeübergang durch einfache und sehr flexibel anpassbare Strukturelemente ausbilden. Eine Entwärmungssäule ist insbesondere gegeben durch ein wärmeleitendes Element, welches einen Querschnittsverlauf über eine Höhenerstreckung aufweist, wobei einzelne Querschnitte sich nicht in eine erkennbare dominierende Richtung erstrecken. Dem gegenüber liegt ein Entwärmungssteg vor, wenn aufgrund einer dominierenden Erstreckungsrichtung im Querschnitt zumindest eine Tendenz zu einer Längserstreckung auszumachen ist. Der Kühlgrundkörper weist lokal bevorzugt überwiegend eine gleiche Wärmeleitung auf.In an advantageous or further developed embodiment of the arrangement, the heat transfer is formed by Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen that extend between a cooling body of the cooling device and the optical element in the height. Here, the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen are contacted via at least one heat transfer surface at least indirectly with the cooling zone of the optical element and via at least one connection surface at least indirectly with the cooling base body. Preferably, a vertical axis is aligned perpendicular to a heat transfer surface. More preferably, the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen are designed to cause a predominantly directed heat flow from the respective heat transfer surface to the respective connection surface. Overall, the cooling device to achieve the required Entwärmungskonfiguration, especially in the cooling area, the heat transfer by simple and very flexible adaptable structural elements form. A Entwärmungssäule is given in particular by a thermally conductive element having a cross-sectional shape over a height extent, wherein individual cross-sections do not extend in a recognizable dominant direction. On the other hand, there is a Entwärmungssteg if, due to a dominant direction of extension in cross-section at least one tendency to identify a longitudinal extent. The cooling base body preferably has locally predominantly a same heat conduction.
Nachfolgend werden vorteilhafte Weiterbildungen der Anordnung beschrieben, bei welchen eine Anzahl von Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen eine besondere Ausgestaltung aufweisen. Die Anzahl der in dieser Weise ausgestalteten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen orientiert sich insbesondere an einer möglichst einfachen Erreichung der Entwärmungskonfiguration. Es sind bei Bedarf auch Ausführungsformen möglich, die mehrere der beschriebenen Weiterbildungen umfassen. So weisen beispielsweise zumindest ein Teil der Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, insbesondere eine Mehrheit oder bevorzugt alle Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen zwischen ihrer jeweiligen Wärmeübergangsfläche und ihrer jeweiligen Anbindungsfläche einen Erstreckungsbereich mit einem konstanten Querschnitt auf. Somit vereinfachen sich zum einen die Fertigungsanforderungen für derartige Entwärmungsstrukturen als auch mögliche Simulationsberechnungen zum Auslegen einer erforderlichen Entwärmungskonfiguration. Bevorzugt weisen dabei Entwärmungssäulen einen vollflächigen runden, rechteckigen, quadratischen dreieckigen oder einen n-eckigen, insbesondere spiegel- und/oder achsensymmetrischen Querschnitt auf. Bei einem Entwärmungssteg ist der Querschnitt bevorzugt gebildet durch ein konstantes Breitenmaß entlang eines Kurvenzuges, wobei der Kurvenzug in Form eines Kreises, eines Kreissegmentes, eines Rechteckes oder Quadrates, eines Polygons oder eines Splines verläuft.In the following, advantageous developments of the arrangement will be described in which a number of cooling webs and / or cooling columns have a special configuration. The number of Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäule designed in this way is based in particular on the simplest possible achievement of the Entwärmungskonfiguration. If required, embodiments are also possible which comprise several of the developments described. For example, at least a portion of the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, in particular a majority or preferably all Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen between their respective heat transfer surface and their respective attachment surface on an extension region with a constant cross-section. Thus, on the one hand, the manufacturing requirements for such Entwärmungsstrukturen simplify and possible simulation calculations to design a required Entwärmungskonfiguration. In this case, cooling columns preferably have a full-area round, rectangular, square triangular or an n-cornered, in particular mirror and / or axisymmetric cross section. In a Entwärmungssteg the cross section is preferably formed by a constant width dimension along a curve, wherein the curve runs in the form of a circle, a circle segment, a rectangle or square, a polygon or a spline.
Eine zusätzliche Variation zur Erreichung der erforderlichen Entwärmungskonfiguration ist dadurch gegeben, dass zumindest ein Teil der nächst benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, insbesondere eine Mehrheit oder bevorzugt alle unmittelbar benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, sich in ihrem jeweiligen Querschnitt zueinander unterscheiden. An additional variation to achieve the required Entwärmungskonfiguration is given by the fact that at least a portion of the next adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, in particular a majority or preferably all immediately adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäule, differ in their respective cross-section to each other.
Zusätzlich oder alternativ können sich zumindest ein Teil der nächst benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, insbesondere eine Mehrheit oder bevorzugt alle unmittelbar benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, in ihrem jeweiligen Höhenmaß zueinander unterscheiden.Additionally or alternatively, at least a portion of the next adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, in particular a majority or preferably all immediately adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, differ in their respective height dimension to each other.
In einer günstigen Ausführungsform sind zumindest ein Teil der nächst benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, insbesondere eine Mehrheit oder bevorzugt alle benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, durch ein Abstandsmaß, insbesondere ein unterschiedliches Abstandsmaß, voneinander beabstandet, wobei ein jeweils aufgrund des Abstandsmaßes gebildeter Luftspalt lufterfüllt verbleibt oder von einer Wärmepaste oder einem Wärmeleitkleber ausgefüllt ist, mittels welchem der Kühlbereich der Kühlvorrichtung mit dem Entwärmungsbereich des optischen Bereiches wärmeleitend verbunden ist, oder von einem thermischen Isolationsmaterial ausgefüllt ist. Dadurch ist vorteilhaft eine insbesondere gerichtete Wärmeströmung erreicht, so dass sich benachbarte Wärmeströmung nicht direkt und/oder besonders wenig beeinflussen. In dieser Form ist die Kühlvorrichtung bevorzugt einstückig durch den Kühlgrundkörper und die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen gebildet.In a favorable embodiment, at least a portion of the next adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, in particular a majority or preferably all adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, by a distance measure, in particular a different distance measure, spaced from each other, wherein each formed on the basis of the distance measure air gap remains air-filled or is filled by a heat paste or a Wärmeleitkleber, by means of which the cooling region of the cooling device is thermally conductively connected to the cooling zone of the optical region, or is filled by a thermal insulation material. As a result, a particularly directed heat flow is advantageously achieved so that adjacent heat flow does not influence directly and / or particularly little. In this form, the cooling device is preferably formed in one piece by the cooling base body and the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen.
In einer alternativen Ausführungsform der Anordnung grenzen zumindest ein Teil der nächst benachbarten Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, insbesondere eine Mehrheit oder bevorzugt alle benachbarte Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen, unmittelbar aneinander, wobei die unmittelbar angrenzenden Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen unterschiedliche Wärmeleitfähigkeiten aufweisen. Bevorzugt ist eine Wärmeleitfähigkeit innerhalb eines Entwärmungssteges und/oder einer Entwärmungssäule konstant. Eine Variation ist auch hier zulässig, erhöht aber den Fertigungsaufwand und mögliche Simulationsberechnungen für die erforderliche Entwärmungskonfiguration.In an alternative embodiment of the arrangement, at least a portion of the next adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen, in particular a majority or preferably all adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäule directly adjacent to each other, the immediately adjacent Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäule have different thermal conductivities. Preferably, a thermal conductivity within a Entwärmungssteges and / or a Entwärmungssäule is constant. A variation is also allowed here, but increases the production costs and possible simulation calculations for the required Entwärmungskonfiguration.
In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Anordnung weisen zumindest eine Gruppe von Entwärmungsstegen eine geradlinige Längserstreckungsachse auf und/oder sind eine Gruppe von Entwärmungssäulen in einer jeweiligen Fluchtachse ausgerichtet, wobei die Längserstreckungsachsen und/oder die Fluchtachsen der Gruppe von Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen sich netzartig schneiden oder von einem gemeinsamen Schnittpunkt sternförmig auseinander laufen. Bevorzugt sind bei einer netzartigen Anordnung entsprechende Längserstreckungsachsen und/oder Fluchtachsen parallel zueinander verlaufend und/oder schneiden sich senkrecht oder in einem Winkel zueinander. In einer sternförmigen Anordnung sind die entsprechenden Längserstreckungsachsen und/oder Fluchtachsen bevorzugt rotationswinkelgleich angeordnet. Die Ausführungsform eignet sich insbesondere zur einfachen Erreichung der erforderlichen Entwärmungskonfiguration bei Bestrahlung des optischen Elementes mit einem achssymmetrischen und/oder rotationssymmetrischen Strahlungsprofil.In a further particular embodiment of the arrangement, at least one group of Entwärmungsstegen a rectilinear longitudinal axis and / or are a group of Entwärmungssäulen aligned in a respective alignment axis, wherein the longitudinal axes and / or the alignment axes of the group of Entwärmungsstegen and / or Entwärmungssululen intersect net or diverge from a common intersection star-shaped. In a net-like arrangement, corresponding longitudinal extension axes and / or escape axes are preferably parallel to one another and / or intersect perpendicularly or at an angle to one another. In a star-shaped arrangement, the corresponding longitudinal extension axes and / or alignment axes are preferably arranged with the same rotation angle. The embodiment is particularly suitable for the simple achievement of the required Entwärmungskonfiguration upon irradiation of the optical element with an axisymmetric and / or rotationally symmetrical radiation profile.
Gleiches gilt für eine alternative Ausführungsform der Anordnung, bei welcher zumindest eine Gruppe von Entwärmungsstegen eine Längserstreckung entlang eines geschlossenen Kurvenzuges aufweist und/oder eine Gruppe von Entwärmungssäulen eine jeweilige Musteranordnung in Ausrichtung entlang eines geschlossenen Kurvenzuges aufweist, wobei die Kurvenzüge der Gruppe von Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen sich ihrer Größe entsprechend nachfolgend umrahmend einschließen. Bevorzugt ist hierbei der Kurvenzug in Form eines Kreises, eines Rechteckes, eines Quadrates oder eines n-eckigen, insbesondere eines rotations- oder achssymmetrischen Polygonzuges, gebildet. The same applies to an alternative embodiment of the arrangement in which at least one group of cooling webs has a longitudinal extent along a closed curve and / or a group of cooling columns has a respective pattern arrangement in alignment along a closed curve, the curves of the group of cooling webs and / or or cooling columns, according to their size, to include below framing. In this case, the curve is preferably formed in the form of a circle, a rectangle, a square or an octagonal, in particular a rotationally or axially symmetrical polygonal line.
Ganz allgemein lässt sich die Kühlvorrichtung, insbesondere der Kühlbereich durch materialabtragende, beispielsweise mittels Laserabtrag, umformenden oder generativen Herstellungsverfahren erzeugen. Durch generative Herstellungsverfahren können die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen mit unterschiedlichen Materialien und Dichtegraden (beispielsweise aufgrund von Lufteinschlüssen) - damit mit unterschiedlichen Wärmeleitungsfähigkeiten - aufgetragen werden. Eine geometrische Auflösung der Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen bis in den Bereich von 1 mm ermöglicht bereits eine Beeinflussung eines lokalen Wärmeübergangs von der optischen Komponente zu der Kühlvorrichtung. Die Beeinflussung lässt sich besonders zielgenau erreichen bei einer erreichbaren geometrischen Auflösung von < 500 µm, insbesondere < 200 µm, bevorzugt < 100 µm oder 50 µm. Eine derartige Auflösung ist mit gängigen Herstellungsverfahren erzielbar.In general, the cooling device, in particular the cooling region, can be produced by material-removing, for example by means of laser ablation, reshaping or generative production methods. By generative manufacturing processes, the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen with different materials and density levels (for example, due to air bubbles) - thus with different heat conduction capabilities - are applied. A geometric resolution of the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäule up to the range of 1 mm already allows influencing a local heat transfer from the optical component to the cooling device. The influence can be achieved particularly accurately with an achievable geometric resolution of <500 .mu.m, in particular <200 .mu.m, preferably <100 .mu.m or 50 .mu.m. Such a resolution can be achieved with current production methods.
Grundsätzlich lässt sich die Anordnung vorteilhaft derart ausführen, dass der Kühlbereich mittels einer Wärmepaste oder eines Wärmeleitklebers mit dem Entwärmungsbereich des optischen Elementes wärmeleitend verbunden ist. Ferner ist eine einhüllende Fläche über die Entwärmungsflächen der Kühlvorrichtung komplementär zu einer den Entwärmungsbereich abschließenden Entwärmungsfläche ausgebildet, bevorzugt eben oder kalottenförmig, so dass die zwischen der Kühlvorrichtung und dem optischen Element angeordnete Wärmepaste oder der angeordnete Wärmeleitkleber eine konstante Schichtdicke aufweist.In principle, the arrangement can advantageously be carried out in such a way that the cooling region is connected in a heat-conducting manner by means of a heat paste or a heat-conducting adhesive to the cooling zone of the optical element. Furthermore, an enveloping surface is formed over the cooling surfaces of the cooling device complementary to a Entwärmungsfläche the cooling area, preferably flat or dome shaped, so that arranged between the cooling device and the optical element heat paste or the arranged Wärmeleitkleber has a constant layer thickness.
Bei bevorzugten Ausführungsformen der Anordnung ist das optische Element eine Kristallscheibe eines Scheibenlasers, ein Spiegel oder ein SLM-Chip (Spatial Light Modulator), wobei der Funktionsbereich oder die Funktionsfläche bevorzugt eine Reflektionsfläche ist. Insbesondere ist der SLM-Chip ein programmierbarer Strahlformer zur Beeinflussung der örtlichen und zeitlichen Intensitätsverteilung eines Laserstrahls. Derartige Strahlformer sind auf Basis von Flüssigkristall-Displays oder als „Digital Micro-mirror Device“ in Form von ein- oder zweidimensionalen Anordnungen bewegbarer Spiegel bekannt. Die Spatial Light Modulators bewirken örtliche Phasenänderungen durch Änderung der optischen Weglänge oder des Brechungsindex. Bei Kenntnis der Eigenschaften des Eingangsstrahls kann mit ihnen eine gewünschte Form einer Wellenfront eines Ausgangsstrahls gezielt eingestellt werden. Auch kann mittels eines SLM im Fernfeld auf einer Arbeitsfläche der Laser-Bearbeitungsanlage eine gewünschte Intensitätsverteilung des Laserstrahls und damit eine gewünschte Strahlform eingestellt werden. Insofern profitiert insbesondere ein solcher Strahlformer von einer erfindungsgemäß erzielten Ausnivellierung der Temperaturverteilung in dem Funktionsbereich oder -fläche, um dort örtlich definierte Phasenänderungen zu erwirken und dadurch die Einstellung einer gewünschten Strahlform sicherzustellen.In preferred embodiments of the arrangement, the optical element is a crystal disk of a disk laser, a mirror or a SLM chip (Spatial Light Modulator), wherein the functional area or the functional area is preferably a reflection surface. In particular, the SLM chip is a programmable beam shaper for influencing the local and temporal intensity distribution of a laser beam. Such beam formers are known on the basis of liquid crystal displays or as a "digital micro-mirror device" in the form of one or two-dimensional arrangements of movable mirrors. The spatial light modulators cause local phase changes by changing the optical path length or refractive index. With knowledge of the properties of the input beam, a desired shape of a wavefront of an output beam can be set in a targeted manner with them. Also, by means of an SLM in the far field on a working surface of the laser processing system, a desired intensity distribution of the laser beam and thus a desired beam shape can be set. In this respect, in particular, such a beam former benefits from a leveling of the temperature distribution in the functional area or area achieved according to the invention in order to obtain locally defined phase changes and thereby to ensure the setting of a desired beam shape.
In einer vorteilhaften Ausführungsform umfasst die Kühlvorrichtung zur Kühlunterstützung ein Peltier-Kühlelement. Bevorzugt ist das Peltier-Kühlelement als der Kühlgrundkörper ausgebildet, an welchen sich die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen anbinden.In an advantageous embodiment, the cooling device for cooling support comprises a Peltier cooling element. Preferably, the Peltier cooling element is designed as the cooling base body, to which connect the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen.
Alternativ weist der Kühlgrundkörper zumindest einen Zugang und zumindest einen Abgang für ein Kühlmedium auf, wobei im Inneren ein Strömungsbereich ausgebildet ist, durch welchen ein Kühlmedium mittels eines Stromflusses von dem Zugang zu dem Abgang gelangt. Insgesamt ist durch eine zusätzliche Kühlunterstützung eine Entwärmung des optischen Elementes, insbesondere durch ein Temperaturgefälle zwischen dem Kühlgrundkörper und dem optischen Element, weiter begünstigt.Alternatively, the cooling base body has at least one access and at least one outlet for a cooling medium, wherein a flow region is formed in the interior, through which a cooling medium passes by means of a flow of current from the access to the outlet. Overall, by an additional cooling support, a cooling of the optical element, in particular by a temperature gradient between the cooling base body and the optical element, further favors.
In einer vereinfachten Ausführungsform der Anordnung sind die Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen über ihre jeweilige Anbindungsfläche mit einem Sockelkörper verbunden, welcher sich quer zu einer Höhenerstreckung der Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen erstreckt. Bevorzugt ist dabei eine den Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen abgewandte Seite des Sockelkörpers ganzflächig mit dem Kühlgrundkörper zumindest wärmeleitend verbunden. Dadurch kann der Kühlgrundkörper, insbesondere in einer der zuvor genannten Form als Kühlunterstützung, immer gleich ausgeführt sein, wogegen anwendungsspezifisch die Entwärmungskonfiguration maßgeblich durch den Sockelkörper mit den Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen geprägt ist.In a simplified embodiment of the arrangement the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen are connected via their respective attachment surface with a base body which extends transversely to a height extent of the Entwärmungsstege and / or Entwärmungssäulen. In this case, a side of the base body facing away from the cooling bars and / or cooling columns is preferably connected over the whole area to the cooling base body at least thermally conductive. As a result, the cooling base body, in particular in one of the aforementioned form as a cooling support, always be the same, whereas application-specific the Entwärmungskonfiguration is significantly influenced by the base body with the Entwärmungsstegen and / or Entwärmungssäulen.
Die Erfindung führt auch zu einer Projektionsvorrichtung oder Meß- und/oder Bearbeitungsvorrichtung und/oder -anlage, umfassend zumindest eine der zuvor beschriebenen Ausführungsformen einer Anordnung eines optischen Systems. Die Projektionsvorrichtung oder Meß- und/oder Bearbeitungsvorrichtung und/oder -anlage umfasst dabei auch eine elektromagnetische Wellen emittierende Strahlungsquelle, insbesondere ein Laser, wobei zumindest ein Teil von emittierten elektromagnetischen Wellen mit einer spezifischen Strahlungsintensitätsverteilung, insbesondere mit einer Gaußschen oder Top-Hat Verteilung, auf den Einstrahlbereich, insbesondere in dem Funktionsbereich oder -fläche, des optischen Elementes einwirken. Eine solche Bearbeitungsvorrichtung und/oder - anlage kann beispielsweise für eine Materialbearbeitung eingesetzt werden, insbesondere für ein Materialabtragen, -schweißen, -löten, -reinigen, -bohren, - sintern, -schmelzen und anderes.The invention also leads to a Projection device or measuring and / or processing device and / or installation, comprising at least one of the previously described embodiments of an arrangement of an optical system. The projection device or measuring and / or processing device and / or installation also comprises an electromagnetic wave emitting radiation source, in particular a laser, wherein at least part of emitted electromagnetic waves having a specific radiation intensity distribution, in particular with a Gaussian or top hat distribution, acting on the Einstrahlbereich, in particular in the functional area or area of the optical element. Such a processing device and / or installation can be used, for example, for material processing, in particular for material removal, welding, soldering, cleaning, drilling, sintering, melting and others.
Hierbei ergeben sich die gleichen Vorteile wie bereits für die Anordnung eines optischen Systems beschrieben wurde.This results in the same advantages as already described for the arrangement of an optical system.
Die Erfindung führt auch zu einem Entwärmungsverfahren an einem optischen Element, insbesondere an einem optischen Element innerhalb einer der zuvor beschriebenen Ausführungsformen einer Anordnung eines optischen Systems und/oder innerhalb einer zuvor genannten Projektionsvorrichtung oder Meß- und/oder Bearbeitungsvorrichtung und/oder -anlage. Hierbei wird in einer zur Kühlung des optischen Elementes vorgesehenen Kühlvorrichtung eine Entwärmungsstruktur derart ausgebildet, dass nach einer Bestrahlung eines Funktionsbereichs oder -fläche des optischen Elementes durch eine elektromagnetische Strahlung mit einer spezifischen Strahlungsintensitätsverteilung eine Entwärmungskonfiguration eingestellt ist, durch die eine Temperaturverteilung in dem Funktionsbereich oder -fläche des optischen Elementes bei der spezifischen Strahlungsintensitätsverteilung ausnivelliert wird.The invention also leads to a cooling method on an optical element, in particular on an optical element within one of the previously described embodiments of an arrangement of an optical system and / or within a previously mentioned projection device or measuring and / or processing device and / or installation. Here, in a cooling device provided for cooling the cooling device, a Entwärmungsstruktur is formed such that after irradiation of a functional area or surface of the optical element by an electromagnetic radiation with a specific radiation intensity distribution a Entwärmungskonfiguration is set by the temperature distribution in the functional area or - surface of the optical element is leveled at the specific radiation intensity distribution.
Die Entwärmungskonfiguration kann beispielsweise auf der Grundlage von Simulationsberechnungen von Wärmeströmungen bestimmt bzw. festgelegt werden. Hierbei werden die Wärmeströmung bedingende Einflussgrößer als Simulationsparameter hinterlegt. Alternativ könnte eine Vielzahl von Temperaturverteilungssätze für das optische Element erfasst werden, die sich jeweils infolge einer wärmeleitenden Verbindung mit unterschiedlichen speziell definierten Kühlvorrichtungen ergeben. Daraufhin ließe sich dann beispielsweise durch statistische Schätzverfahren eine für eine ausnivellierte Temperaturverteilung erforderliche Entwärmungskonfiguration bzw. Kühlvorrichtung ableiten.The cooling configuration may be determined based on, for example, heat flow simulation calculations. In this case, the influencing factors which determine the heat flow are stored as simulation parameters. Alternatively, a plurality of temperature distribution sets for the optical element could be detected, each resulting from a thermally conductive connection to different, specifically defined cooling devices. It would then be possible to derive, for example by statistical estimation methods, a cooling configuration or cooling device required for a leveled-out temperature distribution.
Figurenlistelist of figures
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnung. Diese zeigt in:
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1a : ein mit Laserstrahlung bestrahlter Spiegel in einer Seitenschnittdarstellung mit aufgrund von absorbierter Laserenergie ausgebildeten Bereichen unterschiedlicher Erwärmung, -
1b : der Spiegel aus1a in einer wärmeleitenden Anordnung mit einer Kühlvorrichtung, -
2a : eine beispielhafte Ausführungsform einer Anordnung eines optischen Systems in einer Seitenschnittdarstellung, -
2b : eine alternative Ausführungsform einer Anordnung eines optischen Systems in einer Seitenschnittdarstellung, -
3a : eine beispielhafte Anordnung von Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen in einer geschnittenen Draufsicht, -
3b : eine weitere beispielhafte Anordnung von Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen in einer geschnittenen Draufsicht, -
3c : eine weitere beispielhafte Anordnung von Entwärmungsstegen und/oder Entwärmungssäulen in einer geschnittenen Draufsicht.
-
1a : a laser irradiated mirror in a side sectional view formed with due to absorbed laser energy areas of different heating, -
1b : the mirror off1a in a heat-conducting arrangement with a cooling device, -
2a FIG. 2 shows an exemplary embodiment of an arrangement of an optical system in a side sectional representation, FIG. -
2 B FIG. 4: an alternative embodiment of an arrangement of an optical system in a side sectional view, FIG. -
3a FIG. 2: an exemplary arrangement of cooling webs and / or cooling columns in a sectional top view, -
3b FIG. 3: a further exemplary arrangement of cooling webs and / or cooling columns in a sectional top view, -
3c : Another exemplary arrangement of Entwärmungsstegen and / or Entwärmungssäulen in a sectional plan view.
Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention
In den Figuren sind funktional gleiche Bauelemente jeweils mit gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.In the figures, functionally identical components are each identified by the same reference numerals.
In der
Die
In der
Die durch die Ausprägung und die Anordnung der Entwärmungsstege und/oder Entwärmungssäulen
Für eine zusätzliche Kühlunterstützung kann der Kühlgrundkörper
Die
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DE102017217121A1 (en) | 2017-09-26 | 2019-03-28 | Robert Bosch Gmbh | Arrangement of an optical system and tempering method |
CN117139648A (en) * | 2023-10-30 | 2023-12-01 | 山东创瑞激光科技有限公司 | Cooling device and method for optical path system of laser selective melting equipment |
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