DE102017216881A1

DE102017216881A1 - Lid for a battery cell and method for sealing an insulator of a lid of a battery cell

Info

Publication number: DE102017216881A1
Application number: DE102017216881.1A
Authority: DE
Inventors: Thomas Kretschmar; Andreas Ringk
Original assignee: Lithium Energy and Power GmbH and Co KG
Current assignee: Lithium Energy and Power GmbH and Co KG
Priority date: 2017-09-25
Filing date: 2017-09-25
Publication date: 2019-03-28

Abstract

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Batteriezelle (102) mit einem Isolator (106), der ein Terminal (104) der Batteriezelle (102) von einer Deckelplatte (108) der Batteriezelle (102) elektrisch isoliert, die dadurch gekennzeichnet ist, dass ein zumindest den Isolator (106) umfassender Bereich (112) einer Oberfläche der Batteriezelle (102) mit einer Glasbarriere (114) versiegelt ist.

The present invention relates to a battery cell (102) having an insulator (106) which electrically isolates a terminal (104) of the battery cell (102) from a cover plate (108) of the battery cell (102), characterized in that at least the region (112) of a surface of the battery cell (102) comprising the insulator (106) is sealed with a glass barrier (114).

Description

Gebiet der ErfindungField of the invention

Die Erfindung betrifft einen Deckel für eine Batteriezelle und ein Verfahren zum Versiegeln eines Isolators eines Deckels einer Batteriezelle.The invention relates to a lid for a battery cell and a method for sealing an insulator of a lid of a battery cell.

Stand der TechnikState of the art

Bei einer Batteriezelle sind Pole der Batteriezelle elektrisch voneinander isoliert, um einen Kurzschluss zwischen den Polen zu vermeiden. Dazu ist zwischen elektrisch leitenden Bestandteilen der Batteriezelle, die mit unterschiedlichen Polen elektrisch leitend verbunden sind, ein Isolator angeordnet. Der Isolator dient jedoch ferner der Abdichtung der Batteriezelle gegen ein Eindringen von Flüssigkeiten und Gasen in die Batteriezelle und gegen ein Austreten von Flüssigkeiten und Gasen aus der Batteriezelle. Diese Eigenschaften sind nur durch Verwendung spezieller Materialien erreichbar.In a battery cell, poles of the battery cell are electrically isolated from each other to avoid a short between the poles. For this purpose, an insulator is arranged between electrically conductive components of the battery cell, which are electrically conductively connected to different poles. However, the insulator also serves to seal the battery cell against ingress of liquids and gases into the battery cell and against leakage of liquids and gases from the battery cell. These properties can only be achieved by using special materials.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Vor diesem Hintergrund werden mit dem hier vorgestellten Ansatz ein Deckel für eine Batteriezelle und ein Verfahren zum Versiegeln eines Isolators eines Deckels einer Batteriezelle gemäß den unabhängigen Ansprüchen vorgestellt. Vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des hier vorgestellten Ansatzes ergeben sich aus der Beschreibung und sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben.Against this background, a lid for a battery cell and a method for sealing an insulator of a lid of a battery cell according to the independent claims are presented with the approach presented here. Advantageous developments and improvements of the approach presented here emerge from the description and are described in the dependent claims.

Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können in vorteilhafter Weise ermöglichen, als Isolator in einer Batteriezelle ein vorwiegend elektrisch isolierendes Material zu verwenden, bei dem andere Eigenschaften, wie eine Dichtheit weniger relevant sind. Eine Dichtungsfunktion ist dazu auf ein dezidiertes Dichtungsmaterial verlagert, das den Isolator an offenen Stellen abdeckt.Embodiments of the present invention may advantageously allow to use as a insulator in a battery cell a predominantly electrically insulating material in which other properties, such as tightness, are less relevant. A sealing function is shifted to a dedicated sealing material, which covers the insulator in open places.

Es wird ein Deckel für eine Batteriezelle mit einem Isolator vorgestellt, der ein Terminal des Deckels von einer Deckelplatte des Deckels elektrisch isoliert, der dadurch gekennzeichnet ist, dass ein zumindest den Isolator umfassender Bereich einer Oberfläche des Deckels mit einer Glasbarriere versiegelt ist.There is provided a lid for a battery cell having an insulator electrically insulating a terminal of the lid from a lid plate of the lid, characterized in that a portion of a surface of the lid surrounding at least the insulator is sealed with a glass barrier.

Ferner wird ein Verfahren zum Versiegeln eines Isolators eines Deckels einer Batteriezelle vorgestellt, wobei der Isolator ein Terminal des Deckels von einer Deckelplatte des Deckels elektrisch isoliert, das dadurch gekennzeichnet ist, dass in einem Schritt des Maskierens ein zumindest den Isolator umfassender Bereich einer Oberfläche des Deckels maskiert wird, und in einem Schritt des Beschichtens der Bereich mit einer Glasbarriere versiegelt wird.Furthermore, a method for sealing an insulator of a cover of a battery cell is presented, wherein the insulator electrically isolates a terminal of the cover from a cover plate of the cover, characterized in that in a step of masking an area of a surface of the cover comprising at least the insulator is masked, and in a step of coating the area is sealed with a glass barrier.

Ideen zu Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung können unter anderem als auf den nachfolgend beschriebenen Gedanken und Erkenntnissen beruhend angesehen werden.Ideas for embodiments of the present invention may be considered, inter alia, as being based on the thoughts and findings described below.

Zum Trennen, Beabstanden und Isolieren zweier Pole einer Batteriezelle kann ein Polymermaterial verwendet werden. Das Polymermaterial ist jedoch auf Dauer nicht vollständig undurchlässig für Gase und Flüssigkeiten. Dadurch kann es zu einem Eintritt von Wasser und/oder Sauerstoff in einen Innenraum der Batteriezelle und/oder einem Austritt von Elektrolyt aus der Zelle kommen. Materialien, die gegenüber dem Polymermaterial bessere elektrische Eigenschaften aufweisen, können als Dichtungsmaterial ungeeignet sein.For separating, spacing and isolating two poles of a battery cell, a polymer material can be used. However, the polymeric material is not completely impermeable to gases and liquids in the long run. This can lead to an entry of water and / or oxygen into an interior of the battery cell and / or an exit of electrolyte from the cell. Materials which have better electrical properties than the polymer material may be unsuitable as a sealing material.

Bei dem hier vorgestellten Ansatz wird zum räumlichen und elektrischen Trennen der beiden Pole ein Isolator aus Isolatormaterial verwendet. Zum Abdichten bzw. Versiegeln des Isolatormaterials wird ein Glasmaterial verwendet, das als Glasbarriere eine Oberfläche des Isolators bedeckt und versiegelt. Die Glasbarriere kann eine Schicht, beispielsweise mit einer Dicke von zwischen 0,01µm und 300µm oder bevorzugt zwischen 0,1µm und 50µm, aus einem ein Glas bildenden Material, d.h. mit einer amorphen Struktur, sein. Verschiedene glasbildende Materialien können zum Einsatz kommen. Beispielsweise können Silikatgläser, d.h. glasartig erstarrtes reines Siliziumdioxid (SiO2), als Glasbarriere eingesetzt werden. Auch metallische Gläser, z.B. auf Basis von Titandioxid (TiO2) können eingesetzt werden. Die Glasbarriere kann somit als Diffusionsbarrierenschicht wirken, durch welche beispielsweise Wasser und/oder Sauerstoff nicht in signifikanten Mengen hindurchdiffundieren kann. Deckelplatte und Terminal sind unterschiedlichen Polen der Batteriezelle zugeordnet. Die Glasbarriere wird vorzugsweise nur dort abgeschieden, wo sie erforderlich ist und eine elektrische Funktion der Batteriezelle nicht einschränkt.In the approach presented here, an insulator made of insulating material is used for the spatial and electrical separation of the two poles. To seal the insulator material, use is made of a glass material which, as a glass barrier, covers and seals a surface of the insulator. The glass barrier may comprise a layer, for example having a thickness of between 0.01 μm and 300 μm or preferably between 0.1 μm and 50 μm, of a material forming a glass, i. with an amorphous structure. Various glass-forming materials can be used. For example, silicate glasses, i. glassy solidified pure silica (SiO2), used as a glass barrier. Also metallic glasses, e.g. based on titanium dioxide (TiO2) can be used. The glass barrier can thus act as a diffusion barrier layer through which, for example, water and / or oxygen can not diffuse through in significant quantities. Cover plate and terminal are assigned to different poles of the battery cell. The glass barrier is preferably deposited only where it is required and does not restrict an electrical function of the battery cell.

Der maskierte Bereich kann einen Teilbereich der Deckelplatte und/oder des Terminals umfassen. In dem maskierten Bereich wird die Glasbarriere abgeschieden. Damit kann der versiegelte Bereich als Glassiegel den Teilbereich der Deckelplatte und/oder des Terminals umfassen. Das Glassiegel kann eine größere Fläche, als den Isolator bedecken. Beispielsweise kann ein Streifen der Oberfläche der Deckelplatte rund um den Isolator bedeckt sein. Ebenso kann eine über eine Ebene der Deckelplatte überstehende Seitenfläche des Terminals bedeckt sein.The masked area may include a portion of the top panel and / or the terminal. In the masked area, the glass barrier is deposited. In this way, the sealed area can comprise the partial area of the cover plate and / or of the terminal as a glass seal. The glass seal may cover a larger area than the insulator. For example, a strip of the surface of the cover plate may be covered around the insulator. Likewise, a over a plane of the cover plate protruding side surface of the terminal may be covered.

Der Bereich kann an einer Außenseite der Batteriezelle und/oder einer Innenseite der Batteriezelle maskiert werden. Damit kann der Isolator auf einer Außenseite der Batteriezelle und/oder einer Innenseite der Batteriezelle angeordnet sein. Die Batteriezelle kann ein oder zwei Glassiegel aufweisen. Ein einzelnes Glassiegel kann auf der Außenseite oder Innenseite der Batteriezelle angeordnet sein. So kann für unterschiedliche Anforderungen jeweils die richtige Lösung angewandt werden.The area may be on an outside of the battery cell and / or an inside of the Battery cell to be masked. Thus, the insulator may be disposed on an outer side of the battery cell and / or an inner side of the battery cell. The battery cell may have one or two glass seals. A single glass seal may be disposed on the outside or inside of the battery cell. Thus, the right solution can be used for different requirements.

Der Bereich kann mit einem Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD - Chemical Vapour Deposition oder PVD Physical Vapour Deposition), insbesondere mit einem plasmaimpulsunterstützten chemischen Gasphasenabscheidungsverfahren (PICVD), beschichtet werden. Dieses Verfahren ist schnell und kann bei geringem Wärmeeintrag in den Deckel beziehungsweise die Batteriezelle ausgeführt werden.The region may be coated with a chemical vapor deposition (CVD) process, in particular with a plasma pulse enhanced chemical vapor deposition (PICVD) process. This method is fast and can be carried out with low heat input into the lid or the battery cell.

Als Glasbarriere kann SiO2 in dem Bereich abgeschieden werden. SiO2 beziehungsweise Siliziumdioxid ist reines Glas und in großen Mengen günstig verfügbar. Das SiO2 kann prozesssicher abgeschieden werden.SiO2 can be deposited in the region as a glass barrier. SiO2 or silicon dioxide is pure glass and is available cheaply in large quantities. The SiO2 can be deposited reliably.

Es wird darauf hingewiesen, dass einige der möglichen Merkmale und Vorteile der Erfindung hierin mit Bezug auf unterschiedliche Ausführungsformen als Verfahren und als Batteriezelle beschrieben sind. Ein Fachmann erkennt, dass die Merkmale in geeigneter Weise kombiniert, angepasst oder ausgetauscht werden können, um zu weiteren Ausführungsformen der Erfindung zu gelangen.It should be noted that some of the possible features and advantages of the invention are described herein with reference to different embodiments as a method and as a battery cell. A person skilled in the art will recognize that the features can be suitably combined, adapted or replaced in order to arrive at further embodiments of the invention.

Figurenlistelist of figures

Nachfolgend werden Ausführungsformen der Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben, wobei weder die Zeichnungen noch die Beschreibung als die Erfindung einschränkend auszulegen sind.

1 zeigt eine Schnittdarstellung eines Deckels einer Batteriezelle gemäß einem Ausführungsbeispiel; und
2 zeigt eine Darstellung eines Beschichtens eines maskierten Bereichs einer Batteriezelle gemäß einem Ausführungsbeispiel.

Embodiments of the invention will now be described with reference to the accompanying drawings, in which neither the drawings nor the description are to be construed as limiting the invention.

1 shows a sectional view of a lid of a battery cell according to an embodiment; and
2 FIG. 10 is an illustration of coating a masked region of a battery cell according to an embodiment. FIG.

Die Figuren sind lediglich schematisch und nicht maßstabsgetreu. Gleiche Bezugszeichen bezeichnen in den Figuren gleiche oder gleichwirkende Merkmale.The figures are only schematic and not to scale. Like reference numerals designate the same or equivalent features in the figures.

Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention

1 zeigt eine Schnittdarstellung eines Deckels 100 einer Batteriezelle 102 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Der Deckel 100 ist weist ein Terminal 104, einen Isolator 106 und eine Deckelplatte 108 auf. Der Isolator 106 ist zwischen dem Terminal 104 und der Deckelplatte 108 angeordnet. Das Terminal 104 bildet einen ersten elektrischen Pol der Batteriezelle 102 ab. Die Deckelplatte 108 bildet einen zweiten elektrischen Pol der Batteriezelle 102 ab. Der Isolator 106 isoliert die beiden Pole elektrisch voneinander. Der Isolator 106 wirkt weiterhin als Dichtung für die Batteriezelle 102, um ein Auslaufen von Elektrolyt der Batteriezelle 102 zu verhindern. Der Isolator 106 ist beispielsweise aus Polymer, Klebstoff oder Keramik. 1 shows a sectional view of a lid 100 a battery cell 102 according to an embodiment. The lid 100 is has a terminal 104 , an insulator 106 and a cover plate 108 on. The insulator 106 is between the terminal 104 and the cover plate 108 arranged. The terminal 104 forms a first electrical pole of the battery cell 102 from. The cover plate 108 forms a second electrical pole of the battery cell 102 from. The insulator 106 electrically isolates the two poles from each other. The insulator 106 continues to act as a seal for the battery cell 102 to leakage of electrolyte of the battery cell 102 to prevent. The insulator 106 is for example made of polymer, adhesive or ceramic.

Das Terminal 104 ist in einem Durchbruch 110 der Deckelplatte 108 angeordnet. Auf einer Innenseite des Deckels 100 ist das Terminal 104 breiter, als der Durchbruch 110. Im Durchbruch 110 ist das Terminal 104 umlaufend um eine Materialstärke des Isolators 106 schmaler, als der Durchbruch 110. Dadurch weist das Terminal 104 eine umgekehrte T-Form auf.The terminal 104 is in a breakthrough 110 the cover plate 108 arranged. On an inside of the lid 100 is the terminal 104 wider than the breakthrough 110 , In the breakthrough 110 is the terminal 104 around a material thickness of the insulator 106 narrower than the breakthrough 110 , This indicates the terminal 104 an inverted T-shape.

Auf der Innenseite des Deckels 100 ist der Isolator 106 parallel zu der Deckelplatte 108 zwischen dem Terminal 104 und der Deckelplatte 108 ausgerichtet. Im Durchbruch 110 ist der Isolator 106 senkrecht zu der Deckelplatte 108 ausgerichtet. Das Terminal 104 steht auf einer Außenseite des Deckels 100 über die Deckelplatte 108 und den Isolator 106 über. Der Isolator 106 endet bündig zu einer Oberfläche der Deckelplatte 108.On the inside of the lid 100 is the insulator 106 parallel to the cover plate 108 between the terminal 104 and the cover plate 108 aligned. In the breakthrough 110 is the insulator 106 perpendicular to the cover plate 108 aligned. The terminal 104 stands on an outside of the lid 100 over the cover plate 108 and the insulator 106 above. The insulator 106 ends flush with a surface of the cover plate 108 ,

Bei dem hier vorgestellten Ansatz ist auf einem das Terminal 104 umgebenden Bereich 112 der Oberfläche der Deckelplatte 108 und des Isolators 106 eine Glasbarriere 114 angeordnet. Die Glasbarriere 114 erstreckt sich über eine Oberfläche des Isolators 104 bis an das Terminal 104. Die Glasbarriere schließt am Terminal 104 dicht ab.In the approach presented here, the terminal is on one 104 surrounding area 112 the surface of the cover plate 108 and the insulator 106 a glass barrier 114 arranged. The glass barrier 114 extends over a surface of the insulator 104 to the terminal 104 , The glass barrier closes at the terminal 104 tight.

Die Glasbarriere 114 besteht aus auf der Oberfläche des Bereichs 112 abgeschiedenem reinem Glas beziehungsweise Siliziumdioxid. Das Glas ist durch einen plasmaimpulsunterstützten chemischen Gasphasenabscheidungsprozess in dem Bereich 112 abgeschieden worden. Die Glasbarriere 114 ist fluiddicht. Gase und Flüssigkeiten können nicht durch die Glasbarriere 114 dringen. Dadurch versiegelt die Glasbarriere 114 den Isolator 106.The glass barrier 114 consists of on the surface of the area 112 separated pure glass or silicon dioxide. The glass is in the range through a plasma pulse chemical vapor deposition process 112 been separated. The glass barrier 114 is fluid-tight. Gases and liquids can not pass through the glass barrier 114 penetrate. This seals the glass barrier 114 the insulator 106 ,

In einem Ausführungsbeispiel ist die Glasbarriere 114 auf einer Innenseite des Deckels 100 angeordnet. Dabei ist die Glasbarriere in einem Bereich 112 abgeschieden worden, der eine innere Oberfläche des Isolators 106, eine Seitenfläche des Terminals 104 zumindest teilweise und einen Streifen der Oberfläche der Deckelplatte 108 rund um das Terminal 104 umfasst. Die Glasbarriere 114 schützt den Isolator 106 vor dem Elektrolyt der Batteriezelle 102.In one embodiment, the glass barrier is 114 on an inside of the lid 100 arranged. The glass barrier is in one area 112 been deposited, which has an inner surface of the insulator 106 , a side surface of the terminal 104 at least partially and a strip of the surface of the cover plate 108 around the terminal 104 includes. The glass barrier 114 protects the insulator 106 in front of the electrolyte of the battery cell 102 ,

Durch die Glasbarriere 114 kann bei der Materialwahl für den Isolator 106 vorwiegend auf die elektrischen Eigenschaften eines Isolatormaterials geachtet werden, da die Glasbarriere 114 schädigende Einflüsse durch Fluide aus der Umgebung und aus der Batteriezelle 102 von dem Isolator 106 fernhält.Through the glass barrier 114 can be used when choosing the material for the insulator 106 pay attention to the electrical properties of an insulator material, as the glass barrier 114 damaging influences by fluids from the environment and from the battery cell 102 from the insulator 106 keeps.

Mit anderen Worten wird das Abdichten einer Batterie in der Regel mithilfe eines Polymers durchgeführt. Ein kritischer Punkt ist hierbei die Langzeitstabilität hinsichtlich einer Barrierefunktion des Polymers gegenüber Flüssigkeiten, wie beispielsweise Elektrolyt, Wasser oder Sauerstoff. Bei der hier gezeigten Batterie ist die äußere und die innere Dichtung mit SiO2 mit der PICVD-Technologie (Plasma Impulse Chemical Vapour Deposition) beschichtet. SiO2 (Glas) wirkt als Gasbarriere gegenüber Gasen und als Flüssigkeitsbarriere gegenüber Flüssigkeiten. Zusätzlich ist SiO2 elektrisch isolierend. Alternativ können auch weitere Substanzen, wie beispielsweise TiO2 abgeschieden werden.In other words, the sealing of a battery is usually performed by using a polymer. A critical point here is the long-term stability in terms of a barrier function of the polymer to liquids, such as electrolyte, water or oxygen. In the case of the battery shown here, the outer and inner seals are coated with SiO2 using PICVD (Plasma Impulse Chemical Vapor Deposition) technology. SiO2 (glass) acts as a gas barrier to gases and as a liquid barrier to liquids. In addition, SiO2 is electrically insulating. Alternatively, other substances such as TiO2 can be deposited.

2 zeigt eine Darstellung eines Beschichtens eines maskierten Bereichs 112 einer Batteriezelle 102 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Hier wird ein Deckel 100 der Batteriezelle 102 beschichtet. Der Deckel 100 entspricht im Wesentlichen dem Deckel in 1. Der Deckel 100 ist durch eine Maske 200 beziehungsweise Schattenmaske oder Abdeckung maskiert. Die Maske 200 bedeckt Flächen des Deckels 100, auf denen kein Glas abgeschieden werden soll. 2 shows a representation of a coating of a masked area 112 a battery cell 102 according to an embodiment. Here is a lid 100 the battery cell 102 coated. The lid 100 essentially corresponds to the lid in 1 , The lid 100 is through a mask 200 or shadow mask or cover masked. The mask 200 covered areas of the lid 100 on which no glass is to be deposited.

Die Maske 200 begrenzt den Bereich 112 seitlich. Dazu ist die Maske 200 auf der Oberfläche der Deckelplatte 108 mit einem Abstand zu dem Isolator 106 angeordnet. Zusätzlich ist die Maske 200 auf einer Kontaktfläche des Terminals 104 angeordnet, um die Kontaktfläche frei von Glas zu halten.The mask 200 limits the area 112 laterally. This is the mask 200 on the surface of the cover plate 108 with a distance to the insulator 106 arranged. In addition, the mask 200 on a contact surface of the terminal 104 arranged to keep the contact surface free of glass.

Der Deckel 100 ist in einer Plasmakammer 202 angeordnet. In der Plasmakammer wird Glas beziehungsweise Siliziumdioxid in die Gasphase überführt und lagert sich in dem Bereich 112 an. Der zu beschichtende Bereich 112 wird einem Plasma ausgesetzt. Dabei entsteht eine dünne, geschlossene Schicht Glas, die die Glasbarriere ausbildet. Der Bereich 112 kann vor oder nach dem Zusammenbau der Zelle beschichtet werden. Der Prozess erfolgt bei niedrigen Temperaturen und ist schnell.The lid 100 is in a plasma chamber 202 arranged. In the plasma chamber, glass or silicon dioxide is converted into the gas phase and settles in the area 112 at. The area to be coated 112 is exposed to a plasma. This creates a thin, closed layer of glass that forms the glass barrier. The area 112 can be coated before or after assembly of the cell. The process takes place at low temperatures and is fast.

Abschließend ist darauf hinzuweisen, dass Begriffe wie „aufweisend“, „umfassend“, etc. keine anderen Elemente oder Schritte ausschließen und Begriffe wie „eine“ oder „ein“ keine Vielzahl ausschließen. Bezugszeichen in den Ansprüchen sind nicht als Einschränkung anzusehen.Finally, it should be noted that terms such as "comprising," "comprising," etc., do not exclude other elements or steps, and terms such as "a" or "an" do not exclude a multitude. Reference signs in the claims are not to be considered as limiting.

Claims

A cover (100) for a battery cell (102) having an insulator (106) electrically insulating a terminal (104) of the cover (100) from a cover plate (108) of the cover (100), characterized in that at least the insulator (106) is sealed to a comprehensive area (112) of a surface of the lid (100) with a glass barrier (114).

Cover (100) according to Claim 1 in that the sealed area (112) comprises a partial area of the cover plate (108) and / or of the terminal (104).

Lid (100) according to one of the preceding claims, wherein the insulator (106) is arranged on an outer side of the battery cell (102) and / or an inner side of the battery cell (102).

A method of sealing an insulator (106) of a cover (100) of a battery cell (102), wherein the insulator (106) a terminal (104) of the cover (100) of a cover plate (108) of the cover (100) electrically insulated, characterized characterized in that in a step of masking, a region (112) of a surface of the lid (100) comprising at least the insulator (106) is masked, and in a step of coating, the region (112) is sealed with a glass barrier (114).

Method according to Claim 4 in which, in the step of masking, the masked area (112) comprises a partial area of the cover plate (108) and / or of the terminal (104).

Method according to one of the preceding claims, wherein in the step of masking, the area (112) is masked on an outer side of the battery cell (102) and / or an inner side of the battery cell (102).

Method according to one of the preceding claims, wherein in the step of coating, the region (112) is coated with a plasma pulse-enhanced chemical vapor deposition method.

Method according to one of the preceding claims, wherein in the step of coating as a glass barrier (114) SiO 2 is deposited in the region (112).