DE102017212130A1 - Decoupling element for a light guide for guiding light on a light transit time sensor - Google Patents

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Abstract

Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor (22), der eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist, wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist, mit einem Lichtleiter (260), der in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft, – wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung (x-Achse) des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter (260) eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile (26) mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.Arrangement with a light transit time sensor (22) which has an active light transit time pixel (24), a reference pixel line (26) for reference measurements and a decoupling element (200), the decoupling element (200) having a decoupling area (220) for illuminating the reference pixel line (26 ), with a light guide (260) which is guided in the outcoupling region (220) such that the light emerging at the light guide (260) at an angle of incidence αy ≤ 30 ° with respect to an axis (y-axis) transverse to the longitudinal extent ( x-axis) of the reference pixel line (26), - wherein the decoupling region (220) is also designed such that over the longitudinal extent (x-axis) of the coupling-out region (220) via the light guide (260) coupled light the pixels of the reference pixel line (26) achieved with different intensities.

Description

Die Erfindung betrifft ein Auskopplungselement für einen Lichtleiter zur Lichtführung an einem Lichtlaufzeitsensor nach Gattung des unabhängigen Anspruchs.The invention relates to a coupling element for a light guide for guiding light on a light transit time sensor according to the preamble of the independent claim.

Mit Lichtlaufzeitkamerasystem sollen hier insbesondere Systeme umfasst sein, die Entfernungen direkt aus der Lichtlaufzeit ermitteln oder die Lichtlaufzeit aus der Phasenverschiebung einer emittierten und empfangenen Strahlung gewinnen. Als Lichtlaufzeit bzw. 3D-Kameras sind insbesondere PMD-Kameras mit Photomischdetektoren (PMD) geeignet, wie sie u.a. in der DE 197 04 496 A1 beschrieben und beispielsweise von der Firma 'ifm electronic GmbH’ oder ‚pmdtechnologies ag‘ als O3D-Kamera bzw. als CamBoard zu beziehen sind. Die PMD-Kamera erlaubt insbesondere eine flexible Anordnung der Lichtquelle und des Detektors, die sowohl in einem Gehäuse als auch separat angeordnet werden können. In particular, systems are to be encompassed here with the time of flight camera system which determine distances directly from the light transit time or which gain the light transit time from the phase shift of an emitted and received radiation. As a light transit time or 3D cameras in particular PMD cameras with photonic mixer detectors (PMD) are suitable, as in the DE 197 04 496 A1 described and, for example, by the company 'ifm electronic GmbH' or 'pmdtechnologies ag' as O3D camera or as CamBoard relate. In particular, the PMD camera allows a flexible arrangement of the light source and the detector, which can be arranged both in a housing and separately.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Zuverlässigkeit der Distanzmessungen einer Lichtlaufzeitkamera bzw. eines Lichtlaufzeitsensors zu verbessern.The object of the invention is to improve the reliability of the distance measurements of a light transit time camera or a light transit time sensor.

Die Aufgabe wird in vorteilhafter Weise durch das erfindungsgemäße Auskoppelelement nach Gattung des unabhängigen Anspruchs gelöst.The object is achieved in an advantageous manner by the decoupling element according to the invention of the type of the independent claim.

Vorteilhaft ist Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor vorgesehen, wobei der Lichtlaufzeitsensor eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist, wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist
und ein Lichtleiter (260) in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° (αy bezeichnet den auf die y-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen) bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft,
– wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.
Advantageously, arrangement is provided with a light transit time sensor, wherein the light transit time sensor has an active light transit time pixel ( 24 ) for distance measurement, a reference pixel line ( 26 ) to reference measurements and a decoupling element ( 200 ), wherein the decoupling element ( 200 ) a decoupling area ( 220 ) for illuminating the reference pixel line ( 26 ) having
and a light guide ( 260 ) into the decoupling area ( 220 ) is guided in such a way that at the light guide ( 260 ) light emerging at an angle of incidence αy ≤ 30 ° (αy denotes the angle of incidence projected onto the yz-plane relative to the z axis) relative to an axis (y-axis) transverse to the longitudinal extent (x-axis) of the reference pixel line ( 26 ),
- where the decoupling area ( 220 ) is also designed such that over the longitudinal extent of the coupling-out region ( 220 ) the light coupled in via the light guide reaches the pixels of the reference pixel line with different intensities.

Dieses Vorgehen hat den Vorteil, dass die Referenzpixelzeile zum einen mit eine Lichtgradienten beleuchtet werden kann und zum anderen ein Übersprechen des Referenzlichts in den aktiven Pixelbereich vermieden werden kann.This approach has the advantage that the reference pixel line can be illuminated on the one hand with a light gradient and, on the other hand, crosstalk of the reference light into the active pixel region can be avoided.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Material des Auskoppelelements eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 und bevorzugt zwischen A45 und A65 aufweist. In diesem Bereich hat das Material zum einen eine ausreichende Stabilität, um beim vorgesehenen Anpressdruck formstabil zu bleiben und ist zum anderen weich genug, um sich an der Sensoroberfläche lichtdicht anzuschmiegen.It is particularly advantageous if the material of the decoupling element has a Shore hardness between A40 and A70 and preferably between A45 and A65. In this area, the material on the one hand has sufficient stability to remain dimensionally stable at the intended contact pressure and on the other hand is soft enough to be light-tight against the sensor surface.

Bevorzugt ist der Auskopplungsbereich zur Erzeugung eines Intensitätsgradienten über die Längserstreckung als Vollmaterial oder als Hohlraum ausgebildet, wobei das Vollmaterial oder eine Innenseite des Hohlraums Partikel und/oder Strukturen aufweist, die Licht streuen und/oder absorbieren.Preferably, the coupling-out region is designed to form an intensity gradient over the longitudinal extent as a solid material or as a cavity, wherein the solid material or an inner side of the cavity has particles and / or structures which scatter and / or absorb light.

Durch dieses Vorgehen kann vorteilhaft der Intensitätsgradient im Auskopplungsbereich hinsichtlich der zu erwartenden Dynamik aufgrund beispielsweise unterschiedlicher Integrationszeiten angepasst werden.By virtue of this procedure, it is advantageously possible to adapt the intensity gradient in the decoupling area with regard to the expected dynamics on the basis of, for example, different integration times.

Zudem ist das Auskoppelelement derart ausgebildet, dass kein Fremdlicht in das Auskoppelelement eindringen und kein eingekoppeltes Licht außerhalb der vorgesehen Austrittsbereiche austreten kann.In addition, the decoupling element is designed such that no extraneous light can penetrate into the decoupling element and no coupled-in light can escape outside the provided exit regions.

Bevorzugt ist das Auskoppelelement in den Bereichen, in denen kein eingekoppeltes Licht geführt wird, lichtundurchlässig ausgebildet.Preferably, the decoupling element in the areas in which no coupled light is guided, formed opaque.

Besonders vorteilhaft ist eine Anordnung mit dem vorgenannten Auskoppelelement und einem Lichtlaufzeitsensor vorgesehen, wobei die Anordnung insbesondere einen Rahmen zur Anordnung auf einem Bauelementeträger und Aufnahme des Auskoppelelements aufweist, und der Rahmen an der Unterseite Abstandshalter zur Bereitstellung eines definierten Abstands zwischen Bauelementeträger und Rahmen aufweist.Particularly advantageous is an arrangement with the aforementioned decoupling element and a light transit time sensor is provided, wherein the arrangement in particular has a frame for placement on a component carrier and receiving the decoupling element, and the frame at the bottom spacer to provide a defined distance between the component carrier and frame.

Vorteilhaft sind zudem an der Oberseite des Rahmens Abstandshalter zur Bereitstellung eines definierten Abstands zwischen dem Rahmen und einem Abdeckglases vorgesehen.Advantageously, spacers for providing a defined distance between the frame and a cover glass are also provided on the upper side of the frame.

Die Verwendung der Abstandshalter hat den Vorteil, dass zwischen Rahmen und Bauelementeträger sowie Abdeckglas ein definierter Abstand eingestellt werden kann, so dass im Ergebnis auch die Freiraumhöhe zwischen Abdeckglas und Bauelementeträger bzw. Sensoroberfläche definiert einstellbar ist.The use of the spacers has the advantage that a defined distance can be set between the frame and the component carrier as well as the cover glass so that, as a result, the clearance height between cover glass and component carrier or sensor surface can be set in a defined manner.

Zudem ist es nützlich, wenn am äußeren Umfang des Rahmens Ausnehmungen in Richtung Rahmenunterseite angeordnet sind. Diese Ausnehmungen können zum einen dazu dienen eine Sichtkontrolle auf eine applizierte Kleberaupe zwischen Rahmen und Bauelementeträger zu ermöglichen zum anderen können über diese Ausnehmungen beispielsweise UV härtende Kleber gezielt mit UV-Licht beleuchtet werden, sowie eine definierte Klebespaltdicke sicherzustellen.In addition, it is useful if recesses are arranged in the direction of the underside of the frame on the outer circumference of the frame. These recesses can on the one hand serve to allow a visual inspection of an applied adhesive bead between the frame and the component carrier, on the other hand, UV curable adhesives can specifically be exposed to UV light via these recesses be illuminated, and to ensure a defined adhesive gap thickness.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert. The invention will be explained in more detail by means of embodiments with reference to the drawings.

Es zeigen schematisch:They show schematically:

1 Lichtlaufzeitsensor mit einem Referenzpixel, 1 Light transit time sensor with a reference pixel,

2 eine Aufsicht eines Lichtlaufzeitsensors mit einem Referenzpixelarray, 2 a top view of a light transit time sensor with a reference pixel array,

3 eine Übersicht der erfindungsgemäßen Anordnung, 3 an overview of the arrangement according to the invention,

4 eine erfindungsgemäße Anordnung mit einem als Hohlraum ausgeführten Auskoppelbereich 4 an inventive arrangement with a decoupling region designed as a cavity

5 eine geometrische Ausrichtung der Lichtführung, 5 a geometric orientation of the light guide,

6 eine Ausrichtung gemäß 5 bezogen auf die Sensorbereiche, 6 an alignment according to 5 related to the sensor areas,

7 eine Detailansicht mit einer erfindungsgemäßen Lichtleiterführung, 7 a detailed view with an optical fiber guide according to the invention,

8 eine Detailansicht gemäß 7 mit einem Mikrolinsenarray. 8th a detailed view according 7 with a microlens array.

Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.In the following description of the preferred embodiments, like reference characters designate like or similar components.

1 zeigt einen Lichtlaufzeitsensor 22 mit mehreren Lichtlaufzeitpixeln 24 und Referenz-Lichtlaufzeitpixeln 26. Die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 werden über einen Lichtleiter 260 mit einem Referenzlicht beleuchtet. Das Referenzlicht kann beispielsweise von einer Referenzlichtquelle stammen oder direkt von der Beleuchtungslichtquelle 12 stammen. Vorzugsweise sind die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 im Aufbau und Funktion identisch mit den Lichtlaufzeitpixeln 24 des übrigen Sensors 22 und werden vorzugsweise identisch angesteuert. Im dargestellten Fall werden die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 räumlich von den übrigen Lichtlaufzeitpixeln 24 abgesetzt, indem zwei Lichtlaufzeitpixelreihen oder ggf. auch mehrere Reihen mit einer lichtundurchlässigen Maskierung 28 abgedeckt werden. 1 shows a light transit time sensor 22 with several light time pixels 24 and reference time of flight pixels 26 , The reference light-propagation time pixels 26 be over a light guide 260 illuminated with a reference light. The reference light may originate, for example, from a reference light source or directly from the illumination light source 12 come. Preferably, the reference light propagation time pixels are 26 in structure and function identical to the light time pixels 24 of the remaining sensor 22 and are preferably controlled identically. In the illustrated case, the reference light-propagation time pixels become 26 spatially from the remaining light-time pixels 24 discontinued by two rows of light-propagating time pixels or possibly also several rows with an opaque masking 28 be covered.

Eine solche Maskierung 28 hat mehrere Vorteile. Zum einen wird durch die räumlich Absetzung ein Übersprechen des über den Lichtleiter 260 herangeführten Referenzlichts auf die aktiven Lichtlaufzeitpixel 24 verhindert, zum anderen können über die maskierten Pixel 25 auch Dunkelmessungen als weitere Referenz durchgeführt werden.Such masking 28 has several advantages. On the one hand, the spatial offset causes crosstalk across the optical fiber 260 brought reference light on the active light transit time pixels 24 prevents, on the other hand, over the masked pixels 25 dark measurements can also be made as a further reference.

Selbstverständlich sind auch Anordnungen denkbar, in denen auf maskierte Pixel 25 verzichtet wird und die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 räumlich versetzt von dem Pixelarray der Lichtlaufzeitpixel 24 angeordnet sind.Of course, arrangements are also conceivable in which masked pixels 25 is omitted and the reference Lichtlaufzeitpixel 26 spatially offset from the pixel array of the light transit time pixels 24 are arranged.

Auch ist es denkbar, zusätzlich oder alternativ zu den oben genannten Überlegungen, die Messergebnisse der Lichtlaufzeitpixel 24, die durch den Lichteintrag an den Referenzlichtlaufzeitpixel 26 beeinträchtigt werden, zu verwerfen. In einer solchen Anordnung kann ggf. auch eine räumliche Beabstandung der Referenzpixel und einer Maskierung der Zwischenpixel verzichtet werden.It is also conceivable, in addition or as an alternative to the above-mentioned considerations, the measurement results of the light transit time pixels 24 caused by the light input at the reference light-propagation time pixel 26 be discouraged. In such an arrangement, a spatial spacing of the reference pixels and a masking of the intermediate pixels may also be dispensed with.

In 2 ist eine Aufsicht auf einen Lichtlaufzeitsensor 22 gemäß 1 gezeigt mit einer zusätzlichen Referenzpixelspalte. Über einen Lichtleiter 260 wird ein Teil des von der Beleuchtungslichtquelle 12 emittierten Lichts auf die Referenzpixel 26 gelenkt. Je nach Anwendung und Bedarf können ggf. auch weitere Spalten mit Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorgesehen sein.In 2 is a plan view of a light transit time sensor 22 according to 1 shown with an additional reference pixel column. About a light guide 260 becomes part of the illumination light source 12 emitted light on the reference pixels 26 directed. Depending on the application and need, additional columns with reference light duration pixels may also be available 26 be provided.

Das Auskoppeln der optischen Signale der Beleuchtungslichtquelle 12 erlaubt es, über die Referenzlaufzeitpixeln 26 eine Referenz für die Distanzmessung bereitzustellen. Ausgehend von Signalen der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 können Referenzwerte ermittelt werden, anhand derer beispielsweise systembedingte, die Distanzmessung beeinflussende Effekte, kompensiert werden können. Insbesondere können Effekte bei der Umwandlung elektrischer in optische Signale berücksichtigt und kompensiert werden, wie beispielsweise ein sich änderndes Ansprechverhalten der elektrooptischen Wandler durch Temperatur- und Alterungseffekte. Besonders vorteilhaft werden die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorzugsweise mit denselben Modulationssignalen und Integrationszeiten betrieben, wie die übrigen Lichtlaufzeitpixel 24. The decoupling of the optical signals of the illumination light source 12 allows it via the reference runtime pixels 26 to provide a reference for the distance measurement. Starting from signals of the reference light-propagation time pixels 26 Reference values can be determined, on the basis of which, for example, system-related effects influencing the distance measurement can be compensated. In particular, effects in the conversion of electrical into optical signals can be taken into account and compensated, such as, for example, a changing response of the electro-optical converters due to temperature and aging effects. Particularly advantageous are the reference light-propagation time pixels 26 preferably operated with the same modulation signals and integration times as the remaining light transit time pixels 24 ,

Ferner kann es zur Vermeidung einer Sättigung der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorgesehen sein, die Lichteinkopplung bzw. -auskopplung in den Lichtleiter 260 derart zu beeinflussen, dass die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 in einem optimalen Bereich arbeiten.Furthermore, to avoid saturation of the reference light-propagation time pixels 26 be provided, the light coupling or decoupling in the light guide 260 to affect such that the reference Lichtlaufzeitpixel 26 work in an optimal area.

Mit dem erfindungsgemäßen Auskoppelelement ist es nun vorgesehen, die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 mit unterschiedlichen Lichtintensitäten zu beaufschlagen, so dass beispielsweise unabhängig von den am Sensor 22 verwendeten Integrationszeiten, mindestens ein Referenzlichtlaufzeitpixel 26 in einem bevorzugten Arbeitsbereich arbeitet.With the decoupling element according to the invention, it is now provided, the reference Lichtlaufzeitpixel 26 To apply different light intensities, so that, for example, regardless of the sensor 22 used integration times, at least one reference Lichtlaufzeitpixel 26 works in a preferred workspace.

In 3 ist exemplarisch eine mögliche Anordnung mit einem erfindungsgemäßen Auskoppelelement 200 gezeigt. Auf einem Bauelementeträger 500 sind mehrere Bauelemente 510 und ein Lichtlaufzeitsensor 22 mit einem Lichtlaufzeitpixelbereich 24 und einem Referenzlichtlaufzeitpixelbereich 26 angeordnet. Zum mechanischen Schutz des Lichtlaufzeitsensors 22 ist zudem ein Abdeckglas 310 vorgesehen, das im eingebauten Zustand auf einen Rahmen 300 oberhalb des Sensors 22 angebracht ist. Der Rahmen weist an einer Seite eine Vertiefung zur Aufnahme des Auskoppelements 200 auf. Der einzubringende Lichtleiter 260 ist übersichtshalber nicht gezeigt. In 3 is an example of a possible arrangement with a decoupling element according to the invention 200 shown. On a component carrier 500 are several components 510 and a light transit time sensor 22 with a time of flight pixel area 24 and a reference light-time-pixel region 26 arranged. For mechanical protection of the light transit time sensor 22 is also a cover glass 310 provided in the installed state on a frame 300 above the sensor 22 is appropriate. The frame has on one side a recess for receiving the Auskoppelements 200 on. The light guide to be introduced 260 is not shown for the sake of clarity.

In 4 ist die Anordnung gemäß 3 im montierten Zustand im Querschnitt entlang der Linie X-X‘ gezeigt. Der Sensor 22 befindet sich innerhalb des Rahmens 300 und wird von dem oberhalb des Rahmens 300 angebrachten Abdeckglas 310 geschützt. Das Auskoppelelement 200 ist zwischen Rahmen 300 und dem Abdeckglas 310 innerhalb der Vertiefung des Rahmens 300 angeordnet. Das Auskoppelelement 300 weist vorzugsweise eine zur Vertiefung des Rahmens 300 korrespondierende Nut auf, wobei Vertiefung und Nut so aufeinander abgestimmt sind, dass das Auskoppelelement 200 lateral fixiert ist. Eine vertikale Fixierung wird über den Anpressdruck des aufliegenden Abdeckglases 310 erreicht.In 4 is the arrangement according to 3 in the assembled state in cross section along the line XX 'shown. The sensor 22 is inside the frame 300 and becomes of that above the frame 300 mounted cover glass 310 protected. The decoupling element 200 is between frames 300 and the cover glass 310 within the recess of the frame 300 arranged. The decoupling element 300 preferably has a recess for the frame 300 corresponding groove, wherein depression and groove are coordinated so that the coupling element 200 is fixed laterally. A vertical fixation is about the contact pressure of the overlying cover glass 310 reached.

Rahmen 300 und Abdeckglas 310 sind vorzugsweise miteinander verklebt, jedoch sind auch Klemmverbindungen denkbar. Der Rahmen wiederum ist mit dem hier nicht gezeigten Bauelementeträger 500 verbunden, beispielsweise durch Kleben, Schrauben, Klemmen, Löten etc.frame 300 and cover glass 310 are preferably glued together, but also clamping connections are conceivable. The frame in turn is with the component carrier, not shown here 500 connected, for example by gluing, screws, clamps, soldering etc.

Eine weitere erfindungsgemäße Ausgestaltung kann die Verwendung eines noch nicht vollständig ausgehärteten Silikons darstellen, dass über Zeit seinen Anpressdruck verliert, um die Klebestellen zwischen Rahmen 300 und Bauteilträger 500 und zwischen Rahmen 300 und Glas 310 zu entlasten. Ein weiterer Vorteil wäre die verbesserte Anschmiegeeigenschaften des Silikons.A further embodiment of the invention may represent the use of a not yet completely cured silicone that loses its contact pressure over time to the splices between frame 300 and component carriers 500 and between frames 300 and glass 310 to relieve. Another advantage would be the improved conformability of the silicone.

Der Lichtleiter 260 wird von oben über eine Ausnehmung des Abdeckglas 310 und einer Ausnehmung des Auskoppelements 200 in einen seitlichen Bereich eines Auskopplungsbereiches 220 des Auskoppelelements 200 heranführt. Das Auskoppelelement 200 ist im Auskopplungsbereich 220 lichtdurchlässig und so ausgebildet, dass das über den Lichtleiter 260 herangeführte Licht in den Auskopplungsbereich 220 eindringen und über dessen Unterseite den Referenzlichtlaufzeitpixeln 26 zugeführt werden kann. Die übrigen Außenflächen sind lichtundurchlässig ausgebildet. The light guide 260 is from above a recess of the cover glass 310 and a recess of the Auskoppelements 200 in a lateral area of a decoupling area 220 the decoupling element 200 approach leads. The decoupling element 200 is in the decoupling area 220 translucent and designed so that the over the light guide 260 introduced light in the decoupling area 220 penetrate and over the bottom of the reference light time pixels 26 can be supplied. The remaining outer surfaces are formed opaque.

Die Randbereiche der Unterseite des Auskopplungsbereichs 220 sind so ausgestaltet, dass sie im Wesentlichen lichtdicht auf den Sensor aufliegen.The margins of the bottom of the decoupling area 220 are designed so that they lie substantially light-tight on the sensor.

Ist der Auskopplungsbereich 220 als transparentes Vollmaterial ausgebildet, ist die Anordnung so dimensioniert, dass die Unterseite des Auskopplungsbereichs 220 flächig auf den Referenzlichtlaufzeitpixeln 26 aufliegt.Is the decoupling area 220 formed as a transparent solid material, the arrangement is dimensioned so that the underside of the coupling-out area 220 flat on the reference light time pixels 26 rests.

Bevorzugt ist das Auskoppelelement 200 zumindest im Auskopplungsbereich 220 aus einem elastischen Material, beispielsweise Silikon oder einem anderen elastischen und transparenten Material und/oder hohl gefertigt. Aufgrund der Elastizität schmiegt sich die Austrittsfläche besonderes eng an die Oberfläche der Sensors 22 an. Die Anordnung ist bevorzugt so ausgestaltet, dass sich zwischen Austrittsfläche und den Referenzlichtlaufzeitpixel 26 keine Lufteinschlüsse befinden und/oder herausgedrängt werden. Bei einem hohl ausgeführten Auskopplungsbereich 220 schmiegen sich die Randbereiche gleichermaßen an die Sensoroberfläche an. Bevorzugt können hier für das Auskoppelelement 200 und insbesondere den Auskopplungsbereich 220 Materialen eingesetzt werden, die eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 und bevorzugt zwischen A45 und A65 aufweisen. Die lichtundurchlässigen Bereiche können hierbei beispielsweise einen Rußanteil von 2–8 Gew. % bevorzugt 4–7 Gew. % und insbesondere bevorzugt von 5 Gew. % aufweisen.Preferably, the decoupling element 200 at least in the decoupling area 220 made of an elastic material, such as silicone or other elastic and transparent material and / or hollow. Due to the elasticity of the exit surface nestles particularly close to the surface of the sensor 22 at. The arrangement is preferably designed such that between the exit surface and the reference light-propagation time pixels 26 No air pockets are located and / or forced out. In a hollow outcoupling area 220 The border areas nestle equally against the sensor surface. Preference can here for the coupling element 200 and in particular the decoupling area 220 Materials are used, which have a Shore hardness between A40 and A70 and preferably between A45 and A65. In this case, the opaque areas may, for example, have a carbon black content of 2-8% by weight, preferably 4-7% by weight and especially preferably 5% by weight.

Die Bereiche des Auskoppelelements, die kein Licht führen sollen sind vorzugsweise lichtundurchlässig und/oder lichtabsorbierend ausgearbeitet. Auch kann es vorgesehen sein, dass zusätzlich oder auch alternativ die Oberflächen des Auskoppelelements 200 an denen kein Licht austreten soll mit einem lichtundurchlässigen Material beschichtet sind.The areas of the decoupling element which are not intended to carry light are preferably made opaque and / or light-absorbing. It can also be provided that additionally or alternatively the surfaces of the coupling-out element 200 where no light should escape are coated with an opaque material.

Zur Beleuchtung der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 mit unterschiedlichen Lichtintensitäten ist es erfindungsgemäß vorgesehen, den Auskopplungsbereich 220 so auszugestalten, dass die Lichtintensität über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs 220 abnimmt. Beispielsweise kann der Auskopplungsbereich mit lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Partikeln gefüllt werden. Zur Erreichung oder Verstärkung eines Intensitätsgradienten kann ggf. der Partikelfüllgrad, bzw. Partikelmenge und/oder -größe verändert werden. Auch ein Einfärben mit anderen Materialen ist denkbar. Der Intensitätsgradient ist vorzugsweise so gewählt, dass der Dynamikumfang der wählbaren Integrationszeiten abgedeckt ist.To illuminate the reference light-time pixels 26 with different light intensities, it is provided according to the invention, the coupling-out area 220 in such a way that the light intensity over the longitudinal extent of the coupling-out area 220 decreases. For example, the coupling-out region can be filled with light-scattering and / or light-absorbing particles. To achieve or enhance an intensity gradient, it is possible if necessary to change the degree of particle filling or particle quantity and / or size. A coloring with other materials is conceivable. The intensity gradient is preferably chosen such that the dynamic range of the selectable integration times is covered.

Im Ausführungsbeispiel gemäß 4 ist der Auskopplungsbereich nicht als Vollmaterial, sondern als Hohlraum ausgebildet. Die Innenflächen des Hohlraums sind vorzugsweise mit einem lichtabsorbieren Material beschichtet. Alternativ oder zusätzlich können die Innenflächen auch eine lichtabsorbierende Struktur aufweisen. Auch durch dieses Vorgehen wird Gradient in der Lichtintensität über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs 220 realisiert.In the embodiment according to 4 the coupling-out area is not formed as a solid material, but as a cavity. The inner surfaces of the Cavities are preferably coated with a light absorbing material. Alternatively or additionally, the inner surfaces may also have a light-absorbing structure. Also by this procedure, gradient in the light intensity over the longitudinal extent of the coupling-out region 220 realized.

Um ein Übersprechen des Referenzlichts in den aktiven Pixelbereich 24 zu vermeiden, ist es erfindungsgemäß wie in 5 dargestellt vorgesehen, das Licht nur innerhalb vorgegebener Raumrichtungen in den Referenzpixelbereich 26 einzustrahlen und den Einfallswinkel des Lichts hinsichtlich einer lateralen Achse des Lichtlaufzeitsensors 22 geeignet auszurichten. Im dargestellten Fall erstrecken sich die Achsen x und y lateral und die z-Achse senkrecht zur Oberfläche des Sensors 22, wobei der Einfallswinkel α erfindungsgemäß im Hinblick auf eine bevorzugte Raumrichtung kontrolliert eingestellt wird. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen den Einfallswinkel α in Bezug auf eine Achse kontrolliert einzustellen, die quer zur Erstreckung der Referenzpixelzeile liegt. Dies ist im vorliegenden Fall die y-Achse. Der Einfallswinkel αy bezeichnet den auf die y-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen. Der der Übersicht halber nicht eingezeichnete Einfallswinkel αx bezeichnet den auf die x-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen.To crosstalk the reference light into the active pixel area 24 to avoid, it is according to the invention as in 5 provided, the light only within predetermined spatial directions in the reference pixel area 26 and the angle of incidence of the light with respect to a lateral axis of the light transit time sensor 22 suitable to align. In the illustrated case, the axes x and y extend laterally and the z-axis perpendicular to the surface of the sensor 22 , wherein the angle of incidence α is controlled according to the invention with respect to a preferred spatial direction. According to the invention, it is provided that the angle of incidence α be controlled in relation to an axis which lies transversely to the extent of the reference pixel line. This is the y-axis in the present case. The angle of incidence αy denotes the angle of incidence projected onto the yz plane relative to the z axis. The angle of incidence αx not shown for the sake of clarity denotes the angle of incidence projected onto the xz plane with respect to the z axis.

In 6 sind die Koordinatenachsen gemäß 5 in Relation zu den Pixelbereichen 24, 26, 28 auf dem Lichtlaufzeitsensor 22 gezeigt. Die laterale x-Achse des Koordinatensystems ist hierbei parallel zu einer Längserstreckung der Referenzpixelzeile 26 und die laterale y-Achse senkrecht bzw. quer zur x-Achse ausgerichtet. Die laterale y-Achse zeigt in Richtung der Metallisierung 28 und den aktiven Pixel 24.In 6 are the coordinate axes according to 5 in relation to the pixel areas 24 . 26 . 28 on the light transit time sensor 22 shown. The lateral x-axis of the coordinate system is in this case parallel to a longitudinal extent of the reference pixel line 26 and the lateral y-axis aligned perpendicularly or transversely to the x-axis. The lateral y-axis points towards the metallization 28 and the active pixels 24 ,

Erfindungsgemäß ist es nun vorgesehen, den Lichteinfall α des Referenzlichts über den Lichtleiter 260 so auszurichten, dass der in y-Richtung orientierte Einfallswinkel αy einen Grenzwinkel von 30° nicht überschreitet. Die Ausrichtung des Lichtleiters 260 im Hinblick auf die x-Achse ist hierbei unkritisch und kann auch Einfallswinkel αx > 30° einnehmen.According to the invention, it is now provided that the incidence of light α of the reference light via the light guide 260 be aligned so that the oriented in the y direction angle of incidence α y does not exceed a critical angle of 30 °. The orientation of the light guide 260 with respect to the x-axis is not critical and can also angle of incidence αx> 30 ° occupy.

7 zeigt eine entsprechende Ausgestaltung, bei der der Lichtleiter 260 in den Auskopplungsbereich 220 geführt und erfindungsgemäß ausgerichtet ist. Der Lichtleiter 260 ist im Auskopplungsbereich 220 derart orientiert bzw. angeordnet, dass das an einer Austrittsfläche 286 des Lichtleiters 260 austretende Licht mit einem Einfallswinkel αy ≤ 30° auf den Lichtlaufzeitsensor 22 bzw. den Referenzpixeln 26 auftritt. 7 shows a corresponding embodiment in which the optical fiber 260 in the decoupling area 220 guided and aligned according to the invention. The light guide 260 is in the decoupling area 220 oriented or arranged such that at an exit surface 286 of the light guide 260 emerging light with an angle of incidence αy ≤ 30 ° on the light transit time sensor 22 or the reference pixels 26 occurs.

Dieses Vorgehen hat den besonderen Vorteil, dass aufgrund des steilen Einfallswinkels α eine Lichtunterwanderung der Pixelmaskierung 28 vermieden werden kann.This approach has the particular advantage that, due to the steep angle of incidence α, a light infiltration of the pixel masking 28 can be avoided.

Besonders vorteilhaft kann das erfindungsgemäße Auskoppelelement 200 für einen Lichtlaufzeitsensor 22 mit Mikrolinsen 29, wie in 8 dargestellt, eingesetzt werden.The coupling-out element according to the invention can be particularly advantageous 200 for a light transit time sensor 22 with microlenses 29 , as in 8th shown used.

Mikrolinsen 29 werde typischerweise als einer der letzten Prozesse in einer Empfangschipherstellung, beispielsweise CMOS- oder CCD-Herstellung aufgebracht, so dass die dargestellte Pixelmaskierung 28 unterhalb des Mikrolinsenarrays liegt. Bei einem streifenden Lichteinfall im Auskopplungsbereich 220 besteht nun die Gefahr, dass Licht aus dem Auskopplungsbereich 220 in den aktiven Pixelbereich 24 gelangt. Dies kann zuverlässig vermieden werden, wenn das Licht in den oben genannten Grenzen im Wesentlichen senkrecht bzw. mit einem Einfallswinkel αy ≤ 30° auf den Lichtlaufzeitsensor 22 auftritt, da hierdurch die Lichtleitung sowohl in der Mikrolinsenschicht als auch in der Maskierungsschicht ineffizient wird.microlenses 29 is typically applied as one of the last processes in a receiving chip manufacturing, such as CMOS or CCD manufacturing, such that the illustrated pixel masking 28 lies below the microlens array. In a grazing incidence of light in the decoupling area 220 There is now a risk that light from the decoupling area 220 in the active pixel area 24 arrives. This can be reliably avoided if the light in the above-mentioned limits substantially perpendicular or with an angle of incidence αy ≤ 30 ° to the light transit time sensor 22 As a result, the light conduction becomes inefficient both in the microlens layer and in the masking layer.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1212
Beleuchtungslichtquelle Illumination light source
2222
Lichtlaufzeitsensor Transit Time Sensor
2424
Lichtlaufzeitpixel, aktive Lichtlaufzeitpixel Light transit time pixels, active light transit time pixels
2525
maskierte Pixel masked pixels
2626
Referenzlichtlaufzeitpixel, Referenzpixelzeile Reference light-propagation time pixel, reference pixel line
2828
Maskierung masking
2929
Mikrolinsen microlenses
200200
Auskoppelelement outcoupling
220220
Auskoppelungsbereich  delivery region
260260
Lichtleiter optical fiber
268268
Lichtaustrittsbereich Light output region
300300
Rahmen frame
310310
Abdeckglas cover glass
320320
Lichtfalle light trap
500500
Bauelementeträger component support
510510
Bauelement module

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 19704496 A1 [0002] DE 19704496 A1 [0002]

Claims (6)

Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor (22), der eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist, wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist, mit einem Lichtleiter (260), der in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft, – wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung (x-Achse) des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter (260) eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile (26) mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.Arrangement with a light transit time sensor ( 22 ), which has an active light-time-pixel ( 24 ) for distance measurement, a reference pixel line ( 26 ) to reference measurements and a decoupling element ( 200 ), wherein the decoupling element ( 200 ) a decoupling area ( 220 ) for illuminating the reference pixel line ( 26 ), with a light guide ( 260 ) located in the decoupling area ( 220 ) is guided in such a way that at the light guide ( 260 ) emerging light in an angle of incidence αy ≤ 30 ° with respect to an axis (y-axis) transverse to the longitudinal extent (x-axis) of the reference pixel line ( 26 ), where the coupling-out region ( 220 ) is also designed such that over the longitudinal extension (x-axis) of the coupling-out region ( 220 ) via the optical fiber ( 260 ) coupled light the pixels of the reference pixel line ( 26 ) with different intensities. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Material des Auskoppelelements (200) eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 aufweist.Arrangement according to one of the preceding claims, in which the material of the decoupling element ( 200 ) has a Shore hardness between A40 and A70. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Material des Auskoppelelements (200) eine Shore-Härte zwischen A45 und A65 aufweist.Arrangement according to one of the preceding claims, in which the material of the decoupling element ( 200 ) has a Shore hardness between A45 and A65. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Auskopplungsbereich (220) zur Erzeugung eines Intensitätsgradienten über die Längserstreckung als Vollmaterial oder als Hohlraum ausgebildet ist, wobei das Vollmaterial oder eine Innenseite des Hohlraums Partikel und/oder Strukturen aufweist, die Licht streuen und/oder absorbieren.Arrangement according to one of the preceding claims, in which the coupling-out region ( 220 ) is designed to generate an intensity gradient over the longitudinal extent as a solid material or as a cavity, wherein the solid material or an inner side of the cavity has particles and / or structures which scatter and / or absorb light. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Auskoppelelement (200) in den Bereichen, in denen kein eingekoppeltes Licht geführt wird lichtundurchlässig ausgebildet ist.Arrangement according to one of the preceding claims, in which the decoupling element ( 200 ) is formed opaque in the areas in which no injected light is guided. Lichtlaufzeitkamera mit einer Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche.Time of flight camera with an arrangement according to one of the preceding claims.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19704496A1 (en) 1996-09-05 1998-03-12 Rudolf Prof Dr Ing Schwarte Method and device for determining the phase and / or amplitude information of an electromagnetic wave

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19704496A1 (en) 1996-09-05 1998-03-12 Rudolf Prof Dr Ing Schwarte Method and device for determining the phase and / or amplitude information of an electromagnetic wave

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