DE102017121676A1 - Transport device, coating arrangement and method - Google Patents
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Abstract
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung (100a, 200a, 300a, 400a, 400b, 400c, 400d), Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen, von denen zumindest zwei benachbarte Transportrollen (102) in einem Abstand voneinander angeordnet sind und durch deren äußeren Umfang (102m) eine Transportfläche (102t) definiert ist, zum Transportieren eines Substrats entlang der Transportfläche (102t) in einer Transportrichtung (lila); eine Auffangrolle (101), welche sich zumindest zwischen zwei Transportrollen (102) in die Transportrichtung (111a) längserstreckt und welche in einem Abstand (101d) zu der Transportfläche (102t) angeordnet ist, so dass zwischen der Transportfläche (102t) und dem äußeren Umfang der Auffangrolle (101) ein Spalt (101s) gebildet ist. According to various embodiments, a transport device (100a, 200a, 300a, 400a, 400b, 400c, 400d), comprising: a plurality of transport rollers, of which at least two adjacent transport rollers (102) are spaced apart and spaced by their outer periphery (102m ) a transport surface (102t) is defined for transporting a substrate along the transport surface (102t) in a transport direction (purple); a collecting roll (101), which extends at least between two transport rollers (102) in the transport direction (111a) and which is arranged at a distance (101d) to the transport surface (102t), so that between the transport surface (102t) and the outer Scope of the collecting roll (101) a gap (101s) is formed.
Description
Die Erfindung betrifft eine Transportvorrichtung, eine Beschichtungsanordnung und ein Verfahren.The invention relates to a transport device, a coating arrangement and a method.
Im Allgemeinen können Substrate prozessiert oder behandelt, z.B. bearbeitet, erwärmt und/oder strukturell verändert werden. Ein Verfahren zum Beschichten (Beschichtungsverfahren) eines Substrats ist die physikalische Dampfabscheidung (PVD), welche auch als physikalische Gasphasenabscheidung bezeichnet wird. Dabei wird aus einem abzuscheidenden Material ein Teilchenstrom erzeugt. Mit anderen Worten wird mittels einer Materialquelle ein Material (das sogenannte Verdampfungsgut, Beschichtungsmaterial oder Targetmaterial) mithilfe physikalischer Verfahren in die Dampfphase (Gasphase) übergeführt.In general, substrates can be processed or treated, e.g. edited, heated and / or structurally changed. One method of coating (coating) a substrate is physical vapor deposition (PVD), also referred to as physical vapor deposition. In this case, a particle stream is generated from a material to be deposited. In other words, a material (the so-called evaporation material, coating material or target material) is converted into the vapor phase (gas phase) by means of physical processes by means of a material source.
AnschlieĂźend kann ein zu beschichtendes Substrat mittels einer Transportvorrichtung in oder durch den erzeugten Teilchenstrom (anschaulich eine Dampfwolke) bewegt werden. Die physikalische Gasphasenabscheidung ist fĂĽr eine breite Palette von abzuscheidenden Materialien, und eine breite Palette an Substraten geeignet.Subsequently, a substrate to be coated can be moved by means of a transport device into or through the generated particle stream (illustratively a vapor cloud). Physical vapor deposition is suitable for a wide range of materials to be deposited, and a wide range of substrates.
Das zerstäubte oder verdampfte Material, d.h. der erzeugte Teilchenstrom (auch als gasförmiges Beschichtungsmaterial bezeichnet), kann durch Wechselwirkungen mit anderen Teilchen gestreut werden. Dadurch lagert sich Beschichtungsmaterial ebenso an anderen Oberflächen an, welche frei liegen, wie z.B. an der Rückseite des Substrats (wird auch als parasitäre Beschichtung bezeichnet). Beispielsweise werden plattenförmige Substrate (z.B. Glasplatten) auf Transportrollen transportiert, wobei die Rückseite des Substrats zwischen den Transportrollen freiliegt. Beispielsweise werden bandförmige Substrate (z.B. Folienband, Metallband, Glasband) entlang von Transportrollen transportiert, beispielsweise entlang eines Transportpfades, welcher entlang mehrerer Transportrollen von einem Abwickel hin zu einem Aufwickel führt. Dadurch können im Randbereich des Substrats beschichtete Streifen entstehen, welche Qualitätseinbußen zur Folge haben.The atomized or vaporized material, i. the generated particle stream (also referred to as gaseous coating material) may be scattered by interactions with other particles. As a result, coating material also deposits on other surfaces which are exposed, e.g. at the back of the substrate (also referred to as parasitic coating). For example, plate-shaped substrates (e.g., glass plates) are transported on transport rollers with the back of the substrate exposed between the transport rollers. For example, tape-shaped substrates (e.g., film tape, metal tape, glass ribbon) are transported along transport rollers, for example, along a transport path that leads along a plurality of transport rollers from an unwind to a take-up reel. As a result, coated strips can occur in the edge region of the substrate, which results in quality losses.
Herkömmlicherweise werden Substrate, beispielsweise plattenförmige Substrate, in einen Rahmen (einen so genannten Carrier) eingelegt, welcher die parasitäre Beschichtung reduziert. Die Substrate müssen vor dem Beschichten in den Carrier eingelegt, nach dem Beschichten aus dem Carrier entfernt werden und der Carrier muss regelmäßig gereinigt werden, was den Aufwand und somit die Betriebskosten erhöht.Conventionally, substrates, for example plate-shaped substrates, are placed in a frame (a so-called carrier), which reduces the parasitic coating. The substrates must be placed in the carrier before coating, removed from the carrier after coating and the carrier must be cleaned on a regular basis, which increases the effort and thus the operating costs.
Alternativ werden auf den Transportrollen elastische Riemen oder Endlosspiralfedern geführt, auf welchen der Randbereich eines Substrats aufliegt, so dass der Randbereich durch den Riemen (bzw. die Endlosspiralfedern) vor parasitärer Beschichtung abgeschirmt wird. Allerdings lagert sich das Beschichtungsmaterial ebenfalls an den Riemen (bzw. den Endlosspiralfedern) an und beeinträchtigt deren Elastizität. Dadurch lassen sich die Riemen (bzw. die Endlosspiralfedern) nicht mehr zuverlässig auf den Transportrollen führen.Alternatively, elastic belts or endless spiral springs are guided on the transport rollers, on which the edge region of a substrate rests, so that the edge region is shielded from parasitic coating by the belt (or the endless spiral springs). However, the coating material also attaches to the belt (or the endless spiral springs) and impairs their elasticity. As a result, the belts (or the endless spiral springs) can no longer be reliably guided on the transport rollers.
Alternativ werden auf der, der zu beschichtenden Seite, abgewandten Seite des Substrates und beispielsweise zwischen den Transportrollen Auffangbleche in einer sogenannten Gegensputterebene ortsfest angeordnet. Zwischen Auffangblech und Substrat ist ein Spalt ausgebildet. Dieser Spalt muss typischerweise so dimensioniert sein, dass die während einer Prozesskampagne auf dem Auffangblech abgeschiedene Schicht so dünn bleibt, dass der Spalt zwischen Auffangblech und Substrat erhalten bleibt, um Transportstörungen zu verhindern. Mit anderen Worten kann der Spalt zwischen dem Auffangblech und dem Substrat nicht so klein gewählt werden, wie es zur Vermeidung einer parasitären Beschichtung notwendig wäre.Alternatively, on the side facing away from the substrate to be coated, side of the substrate and, for example, between the transport rollers collecting plates in a so-called Gegensputterebene arranged stationary. Between collecting tray and substrate, a gap is formed. This gap must typically be dimensioned such that the layer deposited on the collecting tray during a process campaign remains so thin that the gap between collecting tray and substrate is maintained in order to prevent transport disruptions. In other words, the gap between the collecting tray and the substrate can not be chosen as small as would be necessary to avoid a parasitic coating.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Transportvorrichtung bereitgestellt, welche die parasitäre Beschichtung reduziert. Damit lassen sich Substrate anschaulich präzise beschichten, so dass auf zusätzliche abschirmende Maßnahmen verzichtet werden kann. Beispielsweise kann auf Carrier, Riemen oder Endlosspiralfedern verzichtet werden.According to various embodiments, a transport device is provided which reduces the parasitic coating. In this way, substrates can be clearly and precisely coated so that additional shielding measures can be dispensed with. For example, it is possible to dispense with carriers, belts or endless spiral springs.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist die Transportvorrichtung anschaulich einen besonders geringen Wartungsaufwand auf. Dies wird erreicht, indem sich die Transportvorrichtung und das Substrat gegenseitig abschirmen. Da somit Ablagerungen auf der Transportvorrichtung reduziert, beispielsweise auf eine größere Fläche verteilt werden, können schmalere Spalte zwischen Substrat und Transportvorrichtung realisiert werden, ohne Transportstörungen zu verursachen. Die schmaleren Spalte lassen weniger Materialdampf hindurch, so dass die Rückseite des Substrats besser abgeschirmt wird.According to various embodiments, the transport device illustratively has a particularly low maintenance. This is accomplished by shielding the transport device and the substrate from each other. Since deposits on the transport device are thus reduced, for example distributed over a larger area, narrower gaps between substrate and transport device can be realized without causing transport disturbances. The narrower gaps allow less material vapor to pass through so that the back of the substrate is better shielded.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Transportvorrichtung bereitgestellt, mittels derer Ablagerungen auf der Transportvorrichtung stochastisch oder deterministisch aus dem Spalt zwischen Transportvorrichtung und Substrat entfernt werden können. Dadurch können schmalere Spalte zwischen Substrat und Transportvorrichtung realisiert werden, ohne Transportstörungen zu verursachen. Mit anderen Worten kann die Dauer einer Prozesskampagne verlängert werden. Anschaulich kann die Zeit bis zum Schließen des Spalts (unerwünschter Zustand) zwischen Transportebene und dem äußeren Umfang der Auffangrolle verlängert werden. Mit anderen Worten kann die Größe dieses Spalts so eingestellt werden, dass die parasitäre Beschichtung der Rückseite eines auf der Vorderseite zu beschichtenden Substrats minimiert wird ohne dabei die Dauer der Prozesskampagne zu beschränken. Zumindest kann die Dauer der Prozesskampagne gemäß verschiedenen Ausführungsformen gegenüber der bekannten Lösung verlängert werden, bei welcher das Beschichtungsmaterial nicht stochastisch oder deterministisch aus diesem Spalt entfernt wird.According to various embodiments, a transport device is provided by means of which deposits on the transport device can be removed stochastically or deterministically from the gap between the transport device and the substrate. As a result, narrower gaps between substrate and transport device can be realized without causing transport disturbances. In other words, the duration of a process campaign can be extended. Vividly the time to closing the gap (unwanted state) between the transport plane and the outer circumference of the collecting roll be extended. In other words, the size of this gap can be adjusted to minimize the parasitic coating on the back side of a substrate to be coated on the front without limiting the duration of the process campaign. At least the duration of the process campaign according to various embodiments may be extended over the known solution in which the coating material is not stochastically or deterministically removed from this gap.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung Folgendes aufweisen: mehrere Transportrollen, von denen zumindest zwei benachbarte Transportrollen (d.h. zwei oder mehrere jeweils paarweise benachbarte Transportrollen) in einem Abstand voneinander angeordnet sind und durch deren äußeren Umfang eine Transportfläche definiert ist, zum Transportieren eines Substrats entlang der Transportfläche in einer Transportrichtung; eine Auffangrolle, welche sich zumindest zwischen zwei Transportrollen in die Transportrichtung längserstreckt und welche in einem Abstand zu der Transportfläche angeordnet ist, so dass zwischen der Transportfläche und dem äußeren Umfang der Auffangrolle ein Spalt gebildet ist.According to various embodiments, a transport device may comprise: a plurality of transport rollers, of which at least two adjacent transport rollers (ie, two or more pairs of adjacent transport rollers) are spaced apart and a transport surface defined by the outer periphery thereof for transporting a substrate along the transport path Transport surface in a transport direction; a collecting roll, which extends at least between two transport rollers in the transport direction and which is arranged at a distance from the transport surface, so that between the transport surface and the outer periphery of the collecting roll, a gap is formed.
Die mehreren Transportrollen können jeweils eine Drehachse (z.B. eine Rotationssymmetrieachse) aufweisen, um welche diese drehbar gelagert sind, z.B. rotationssymmetrisch. Die Drehachsen der mehreren Transportrollen, bzw. der zumindest zwei benachbarten Transportrollen, können eine Drehachsenfläche der mehreren Transportrollen definieren (in welcher die Drehachsen liegen), welche anschaulich eine Ebene beschreibt entlang welcher die mehreren Transportrollen gelagert sind.The plurality of transport rollers may each have an axis of rotation (e.g., a rotational symmetry axis) about which they are rotatably supported, e.g. rotationally symmetrical. The axes of rotation of the plurality of transport rollers, or the at least two adjacent transport rollers, may define a rotation axis surface of the plurality of transport rollers (in which the axes of rotation lie), which illustratively describes a plane along which the plurality of transport rollers are mounted.
Die Auffangrolle kann eine oder die mehreren Auffangrollen können jeweils eine Drehachse (z.B. eine Rotationssymmetrieachse) aufweisen, um welche diese drehbar gelagert sind, z.B. rotationssymmetrisch. Die Drehachse einer Auffangrolle kann im Wesentlichen quer zu den Drehachsen der Transportrollen ausgerichtet sein. Die Drehachse einer Auffangrolle kann beispielsweise parallel zur Drehachsenfläche der Transportrollen ausgerichtet sein.The catcher roll may have one or more catcher rolls each having an axis of rotation (e.g., a rotational symmetry axis) about which they are rotatably mounted, e.g. rotationally symmetrical. The axis of rotation of a collecting roll can be aligned substantially transversely to the axes of rotation of the transport rollers. The axis of rotation of a collecting roll can, for example, be aligned parallel to the axis of rotation of the transport rollers.
Die Transportfläche kann auch als Transportebene bezeichnet werden und zumindest abschnittsweise gekrümmt und/oder zumindest abschnittsweise planar verlaufen. Zwischen den zumindest zwei benachbarten Transportrollen kann die Transportfläche z.B. planar verlaufen. Die Drehachsenfläche kann auch als Drehachsenebene bezeichnet werden und zumindest abschnittsweise gekrümmt und/oder zumindest abschnittsweise planar verlaufen. Zwischen den zumindest zwei benachbarten Transportrollen kann die Drehachsenfläche z.B. planar verlaufen.The transport surface can also be referred to as a transport plane and at least partially curved and / or at least partially planar. Between the at least two adjacent transport rollers, the transport surface may be e.g. planar. The axis of rotation surface can also be referred to as a rotation axis plane and at least partially curved and / or at least partially planar. Between the at least two adjacent transport rollers, the axis of rotation surface may be e.g. planar.
Die Transportrollen können gemäß verschiedenen Ausführungsformen elastische Riemen oder Endlosspiralfedern aufweisen, auf denen ein Substrat aufliegen kann oder aufgelegt sein oder werden kann. Die elastischen Riemen oder Endlosspiralfedern können einen größeren Außendurchmesser aufweisen als die jeweilige Transportrolle ohne elastische Riemen oder Endlosspiralfedern, so dass der äußere Umfang der Transportrolle definiert ist als der Durchmesser der Transportrolle im Bereich der elastischen Riemen oder Endlosspiralfedern. Der äußere Umfang der Transportrolle definiert die Transportfläche.The transport rollers may, according to various embodiments, comprise elastic belts or endless spiral springs on which a substrate can rest or be placed. The elastic belts or endless spiral springs may have a larger outer diameter than the respective transport roller without elastic belts or endless spiral springs, so that the outer circumference of the transport roller is defined as the diameter of the transport roller in the area of the elastic belts or endless spiral springs. The outer circumference of the transport roller defines the transport surface.
Die Transportrollen können gemäß verschiedenen Ausführungsformen Scheibenrollen aufweisen. Quer zur Transportrichtung können mehrere Scheibenrollen jeweils zueinander beabstandet entlang der Transportrolle angeordnet sein oder werden. Die Scheibenrollen können auf einer gemeinsamen Welle angeordnet sein oder werden. Der äußere Umfang der Scheibenrollen definiert den äußeren Umfang der Transportrolle, der die Transportfläche definiert.The transport rollers may have disc rollers according to various embodiments. Transversely to the transport direction, a plurality of disc rollers may each be arranged spaced apart along the transport roller or be. The disc rollers may be arranged on a common shaft or be. The outer circumference of the disc rollers defines the outer circumference of the transport roller defining the transport surface.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Transportrollen zum Transportieren des Substrats entlang der Transportrichtung eingerichtet sein, z.B. in Transportrichtung und/oder entgegen der Transportrichtung.According to various embodiments, the plurality of transport rollers may be arranged to transport the substrate along the transport direction, e.g. in the transport direction and / or against the transport direction.
Die Auffangrolle kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen auf der Seite der Transportfläche angeordnet sein, in welcher die Drehachsenfläche der Transportrollen angeordnet ist. Der Spalt zwischen Transportfläche und dem äußeren Umfang der Auffangrolle kann beispielsweise durch den kleinsten Abstand zwischen Transportfläche und dem äußeren Umfang der Auffangrolle definiert sein. Anschaulich kann die Drehachse der Auffangrolle zwischen der Transportfläche und der Drehachsenfläche der Transportrollen angeordnet sein oder werden. Alternativ kann die Drehachse der Auffangrolle in der Drehachsenfläche der Transportrollen angeordnet sein oder werden.The collecting roll may, according to various embodiments, be arranged on the side of the transport surface in which the axis of rotation of the transport rollers is arranged. The gap between the transport surface and the outer circumference of the collecting roll can be defined, for example, by the smallest distance between the transporting surface and the outer circumference of the collecting roll. Clearly, the axis of rotation of the collecting roll between the transport surface and the axis of rotation surface of the transport rollers can be arranged or. Alternatively, the axis of rotation of the collecting roll can be arranged in the axis of rotation surface of the transport rollers or be.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass die Auffangrolle antriebslos (passiv) eingerichtet ist. Ferner kann vorgesehen sein, dass die Drehachse der Auffangrolle derart quer zur Transportrichtung angeordnet ist, dass sich auf der Mantelfläche der Auffangrolle ablagerndes Material aufgrund der nunmehr zusätzlichen Masse ein Drehmoment an der Auffangrolle erzeugt, durch welches nach Überwindung der Reibungskraft einer Lagerung der Auffangrolle eine Drehbewegung (Rotation) der Auffangrolle einsetzt, bis die an der Auffangrolle angreifenden Drehmomente wieder im Gleichgewicht sind (stochastische Bewegung, Rotation, Drehbewegung). Mit anderen Worten kann die Drehachse der Auffangrolle derart quer zur Transportrichtung angeordnet sein oder werden, dass der Schwerpunkt des sich auf der Mantelfläche der Auffangrolle ablagernden Materials nicht deckungsgleich mit dem Lot von der Transportfläche zur Drehachse der Auffangrolle ist. Die Reibungskräfte der Lager der Auffangrolle müssen hinreichend niedrig sein, so dass diese bereits nach Aufwachsen einer dünnen Schicht (beispielsweise 0,5 mm) überwunden werden können. Die Dicke der aufgewachsenen Schicht auf der Auffangrolle zur Überwindung der Reibungskräfte kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen nur einen Bruchteil, beispielsweise weniger als ein Fünftel, beispielsweise weniger als ein Sechstel, beispielsweise weniger als ein Achtel, beispielsweise weniger als ein Zehntel des Abstandes zwischen Transportfläche und äußerem Umfang der Auffangrolle betragen. Mit anderen Worten kann sich die Auffangrolle während der Prozesskampagne intervallartig drehen, sobald (stochastisch) das Drehmoment der aufgewachsenen Schicht die Reibungskräfte überwindet.According to various embodiments, it may be provided that the collecting roll is arranged without drive (passive). Furthermore, it can be provided that the axis of rotation of the collecting roll is arranged transversely to the transport direction, that on the lateral surface of the collecting role depositing material due to the now additional mass generates a torque on the collecting roll, by which, after overcoming the frictional force of a storage of the collecting roll a rotational movement (Rotation) of the collecting role until the forces acting on the collecting roll torques are in equilibrium (stochastic movement, rotation, rotational movement). In other words, the axis of rotation of the collecting roll can be arranged so transversely to the transport direction or that the center of gravity of the depositing on the lateral surface of the collecting roll material is not congruent with the Lot of the transport surface to the axis of rotation of the collecting roll. The frictional forces of the bearings of the collecting roll must be sufficiently low, so that they can be overcome even after growth of a thin layer (for example, 0.5 mm). The thickness of the raised layer on the catch roller to overcome frictional forces may, according to various embodiments, be a fraction, for example less than one-fifth, for example less than one-sixth, for example less than one-eighth, for example less than one-tenth of the distance between the transport surface and the outer circumference the catch roll. In other words, during the process campaign, the catch roll can rotate at intervals as (stochastically) the torque of the grown layer overcomes frictional forces.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung ferner Folgendes aufweisen: eine Antriebseinrichtung zum Drehen (aktiv) der Auffangrolle, wobei die Antriebseinrichtung mechanisch mit der Auffangrolle gekoppelt ist. Anschaulich kann das auf der Auffangrolle abgeschiedene Beschichtungsmaterial gleichmäßig (deterministisch) entlang des Umfangs der Auffangrolle auf deren Mantelfläche verteilt werden.According to various embodiments, a transport device may further comprise: drive means for rotating (active) the catch roll, the drive means being mechanically coupled to the catch roll. Clearly, the coating material deposited on the collecting roll can be distributed uniformly (deterministically) along the circumference of the collecting roll onto its lateral surface.
Die Antriebseinrichtung kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen einen elektrischen Antrieb aufweisen, welcher zumindest mit einer Auffangrolle mechanisch gekoppelt ist. Alternativ oder zusätzlich kann die Antriebseinrichtung als pneumatischer Antrieb, beispielwiese pneumatischer Rotationsantrieb ausgebildet oder eingerichtet sein. Es kann vorgesehen sein eine Gruppe von Auffangrollen mit ein und demselben elektrischen Antrieb mechanisch zu koppeln, so dass die Auffangrollen dieser Gruppe von Auffangrollen synchron angetrieben werden, beispielsweise mit identischer Drehzahl. Die Drehzahl kann dabei nur einen Bruchteil der Drehzahl der Transportrollen betragen, beispielsweise weniger als ein Zehntel, beispielsweise weniger als ein Fünfzigstel, beispielsweise weniger als ein Hundertstel, beispielsweise weniger als ein Tausendstel, beispielsweise weniger als ein Zehntausendstel.The drive device may, according to various embodiments, comprise an electric drive which is mechanically coupled at least to a collecting roller. Alternatively or additionally, the drive device may be designed or set up as a pneumatic drive, for example a pneumatic rotary drive. It can be provided to mechanically couple a group of collecting rollers with one and the same electric drive, so that the collecting rollers of this group of collecting rollers are driven synchronously, for example at the same speed. The speed may be only a fraction of the speed of the transport rollers, for example, less than a tenth, for example less than a fiftieth, for example less than a hundredth, for example less than one-thousandth, for example less than one ten-thousandth.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung eine als Getriebe ausgebildete Antriebseinrichtung aufweisen, dessen Antrieb mit einer der mehreren Transportrollen und dessen Abtrieb mit der Auffangrolle mechanisch gekoppelt ist. Das Getriebe kann alternativ mit einer Gruppe von Auffangrollen mechanisch gekoppelt sein oder werden, so dass die Auffangrollen dieser Gruppe von Auffangrollen synchron angetrieben werden, beispielsweise mit der gleichen Drehzahl drehen. Das Getriebe kann eine Übersetzung aufweisen, so dass die Drehzahl der Auffangrolle oder der Gruppe von Auffangrollen nur einen Bruchteil der Drehzahl der Transportrollen betragen, beispielsweise weniger als ein Zehntel, beispielsweise weniger als ein Fünfzigstel, beispielsweise weniger als ein Hundertstel, beispielsweise weniger als ein Tausendstel, beispielsweise weniger als ein Zehntausendstel.According to various embodiments, a transport device may have a drive device embodied as a gear, the drive of which is mechanically coupled to one of the plurality of transport rollers and the output of which is connected to the collecting roller. Alternatively, the transmission may be mechanically coupled to a group of catch rollers, so that the catch rollers of that group of catch rollers are synchronously driven, for example, rotating at the same speed. The transmission may have a ratio such that the speed of the catch roller or group of catch rollers is only a fraction of the speed of the transport rollers, for example less than one tenth, for example less than one fiftieth, for example less than one hundredth, for example less than one thousandth For example, less than a ten-thousandth.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung ferner Folgendes aufweisen: eine Kühleinrichtung zum Kühlen der Auffangrolle, wobei die Kühleinrichtung thermisch mit der Auffangrolle gekoppelt ist. Anschaulich kann die Kühleinrichtung eingerichtet sein, eine thermische Verformung der Auffangrolle zu minimieren. Alternativ oder zusätzlich kann die Kondensation von Beschichtungsmaterial auf der Mantelfläche der Auffangrolle beschleunigt oder überhaupt erst ermöglicht werden. So kann ein unkontrolliertes Abtropfen flüssigen Beschichtungsmaterials minimiert oder verhindert werden.According to various embodiments, a transport device may further comprise: cooling means for cooling the catch roll, the cooling means being thermally coupled to the catch roll. Clearly, the cooling device can be set up to minimize thermal deformation of the collecting roll. Alternatively or additionally, the condensation of coating material on the lateral surface of the collecting roll can be accelerated or even made possible in the first place. Thus, uncontrolled dripping of liquid coating material can be minimized or prevented.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung ferner Folgendes aufweisen: eine Lageranordnung zum (drehbaren) Lagern der Auffangrolle, wobei die Lageranordnung zum Ausrichten und/oder Positionieren der Auffangrolle eingerichtet ist. Die Lageranordnung kann eingerichtet sein die Auffangrolle parallel zur Transportrichtung und/oder quer zu Transportrichtung (beispielsweise in einer Ebene parallel zur Transportfläche und/oder einer Ebene senkrecht zur Transportfläche) auszurichten und/oder zu positionieren. Anschaulich kann so der Spalt zwischen Transportfläche und äußerem Umfang der Auffangrolle für die jeweilige Prozesskampagne (beispielsweise für unterschiedliche Beschichtungsmaterialien) eingestellt sein oder werden.According to various embodiments, a transport device may further comprise: a bearing arrangement for (rotatably) supporting the catch roller, wherein the bearing arrangement is arranged for aligning and / or positioning the catch roller. The bearing arrangement can be configured to align and / or position the collecting roll parallel to the transport direction and / or transversely to the transport direction (for example in a plane parallel to the transport surface and / or a plane perpendicular to the transport surface). Clearly, the gap between the transport surface and the outer circumference of the collecting roll for the respective process campaign (for example for different coating materials) can thus be set or become.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung ferner Folgendes aufweisen: einen Transportbereich, welcher in Richtung der Transportrollen durch die Transportfläche begrenzt wird, und welcher eine seitliche Begrenzung (d.h. quer zu der Transportrichtung und quer zu der Transportfläche) gemäß einer Breite eines transportierten Substrats aufweist; und eine Blende, wobei die Blende von der seitlichen Begrenzung beabstandet angeordnet ist, so dass zwischen der seitlichen Begrenzung und einer Kante der Blende ein weiterer Spalt (Auffangspalt) gebildet ist, und wobei der Abstand zwischen der Transportfläche und dem äußeren Umfang der Auffangrolle kleiner ist als der Abstand zwischen der seitlichen Begrenzung und der Kante der Blende.According to various embodiments, a transport device may further include: a transport portion which is bounded by the transport surface in the direction of the transport rollers and which has a lateral boundary (ie, transverse to the transport direction and transverse to the transport surface) according to a width of a transported substrate; and a panel, wherein the panel is spaced from the lateral boundary, such that between the lateral boundary and an edge of the panel, a further gap (collecting gap) is formed, and wherein the distance between the transport surface and the outer periphery of the collecting roll is smaller as the Distance between the lateral boundary and the edge of the panel.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Blende eine Oberfläche, beispielsweise eine ebene oder planare Oberfläche aufweisen, welche deckungsgleich mit der Transportfläche ist. Alternativ kann eine ebene oder planare Oberfläche der Blende parallel zur Transportfläche angeordnet sein oder werden, d.h. darüber oder darunter. Anschaulich kann die Blende entkoppelt von den Transportrollen und/oder der Auffangrolle an einer Trägerstruktur angeordnet sein. Mittels der Trägerstruktur kann die Größe des weiteren Spalts zwischen seitlicher Begrenzung und der Kante der Blende eingestellt sein oder werden. Mit anderen Worten kann die Lage des Schwerpunktes des auf der Auffangrolle abgeschiedenen Materials quer zur Transportrichtung variiert, beispielsweise eingestellt, beispielsweise quer zur Transportrichtung verschoben werden.According to various embodiments, the diaphragm may have a surface, for example a planar or planar surface, which is congruent with the transport surface. Alternatively, a planar or planar surface of the bezel may or may be disposed parallel to the transport surface, i. above or below. Clearly, the panel can be arranged decoupled from the transport rollers and / or the collecting roll on a support structure. By means of the support structure, the size of the further gap between the lateral boundary and the edge of the diaphragm can be set or become. In other words, the position of the center of gravity of the material deposited on the collecting roll can be varied transversely to the transport direction, for example adjusted, for example, shifted transversely to the transport direction.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung (d.h. eine Transportrolle oder mehrere Transportrollen) so ausgebildet oder eingerichtet sein, dass zumindest eine Transportrolle der mehreren Transportrollen eine oder mehrere Umfangsnuten aufweist, in welche sich die Auffangrolle teilweise hinein erstreckt.According to various embodiments, a transport device (i.e., one or more transport rollers) may be configured or arranged such that at least one transport roller of the plurality of transport rollers has one or more circumferential grooves into which the collection roller partially extends.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportvorrichtung so ausgebildet oder eingerichtet sein, dass die Auffangrolle im Bereich der Umfangsnuten verjüngt ausgebildet ist.According to various embodiments, a transport device may be designed or arranged such that the collecting roller is designed to be tapered in the region of the circumferential grooves.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass die Auffangrolle eine Rauheit Ra von größer als 3µm aufweist.According to various embodiments, it may be provided that the collecting roll has a roughness R a of greater than 3 μm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass die Auffangrolle beispielsweise mindestens ein Material aus der folgenden Gruppe von Materialien aufweist oder daraus gebildet ist: eine Keramik (z.B. eine nichtoxidische Keramik wie ein Karbid oder ein Nitrid oder z.B. eine oxidische Keramik), ein Metall (wie z.B. Aluminium, Stahl, Edelstahl, Baustahl, Eisen, Kupfer, Titan) eine Metalllegierung (aufweisend zumindest ein Metall und eine anderes chemisches Element). Ferner kann Auffangrolle mit einem weiteren funktionellen Material beschichtet sein oder ein weiteres funktionelles Material aufweisen, so dass beispielsweise die chemischen und/oder physikalischen Eigenschaften des Wandelements und/oder des Bodenelement an die Prozessbedingungen angepasst sein können.According to various embodiments, it can be provided that the collecting roll comprises or is formed, for example, from at least one material from the following group of materials: a ceramic (eg a non-oxidic ceramic such as a carbide or a nitride or eg an oxidic ceramic), a metal (such as eg aluminum, steel, stainless steel, structural steel, iron, copper, titanium) a metal alloy (comprising at least one metal and another chemical element). Furthermore, collecting roll can be coated with a further functional material or have a further functional material, so that, for example, the chemical and / or physical properties of the wall element and / or the bottom element can be adapted to the process conditions.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein, dass mehrere Auffangrollen quer zur Transportrichtung voneinander beabstandet nebeneinander angeordnet sind. Anschaulich können die Auffangrollen quer zur Transportrichtung so beabstandet nebeneinander angeordnet werden, dass jeweils eine Auffangrolle im Bereich einer seitlichen Begrenzung des Transportbereichs angeordnet ist. Mit anderen Worten können sich das Substrat und die Auffangrolle der Transportvorrichtung, auf die Transportfläche der Transportvorrichtung projiziert, zumindest teilweise überlappen. Beispielsweise kann vorgesehen sein drei Auffangrollen quer zur Transportrichtung nebeneinander anzuordnen, wenn zwei quer zur Transportrichtung zueinander beabstandet angeordnete Substrate gleichzeitig (nebeneinander) transportiert werden, wobei die mittlere der drei Auffangrollen im Bereich zwischen den zwei Transportbereichen angeordnet ist.According to various embodiments, it can be provided that a plurality of collecting rollers are arranged at a distance from one another transversely to the transport direction. Clearly, the collecting rolls can be arranged at a distance from one another transversely to the conveying direction so that in each case one collecting roll is arranged in the region of a lateral boundary of the transport region. In other words, the substrate and the collecting roll of the transport device, projected onto the transport surface of the transport device, can at least partially overlap. For example, it can be provided to arrange three collecting rolls next to one another transversely to the transport direction, when two substrates spaced transversely to the transporting direction are transported simultaneously (side by side), the middle of the three collecting rolls being arranged in the region between the two transporting regions.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein die mehreren Transportrollen im Wesentlichen vertikal (im Wesentlichen vertikal ausgerichtete Drehachse der Transportrolle) auszurichten. Im Wesentlichen kann die Abweichung von der Vertikalen (vertikal entspricht der Wirkungsrichtung der Erdbeschleunigung) kleiner oder gleich 7° sein. Alternativ kann vorgesehen sein die Transportrollen im Wesentlichen horizontal (im Wesentlichen horizontal ausgerichtete Drehachse der Transportrolle) auszurichten.According to various embodiments, it may be provided to align the plurality of transport rollers substantially vertically (substantially vertically oriented axis of rotation of the transport roller). Essentially, the deviation from the vertical (vertically corresponds to the direction of action of the gravitational acceleration) may be less than or equal to 7 °. Alternatively it can be provided to align the transport rollers substantially horizontally (substantially horizontally oriented axis of rotation of the transport roller).
Die Transportvorrichtung kann eine Antriebseinrichtung aufweisen, welche mit jeder Transportrolle der mehreren Transportrollen gekoppelt ist. Die Antriebseinrichtung kann eingerichtet sein, ein Drehmoment auf die Transportrollen zu ĂĽbertragen, welche mit der Antriebseinrichtung gekoppelt sind. Die Antriebseinrichtung kann beispielsweise mittels zumindest einer Kette, einer Welle und/oder einem Zahnrad mit einer Transportrolle gekoppelt sein.The transport device may have a drive device which is coupled to each transport roller of the plurality of transport rollers. The drive device may be configured to transmit a torque to the transport rollers, which are coupled to the drive device. The drive device can be coupled to a transport roller, for example, by means of at least one chain, a shaft and / or a toothed wheel.
Ferner kann die Transportvorrichtung eine Steuerung aufweisen zum Steuern der Antriebseinrichtung, bzw. zum Steuern des Antreibens der mehreren Transportrollen, und zum Steuern der Antriebseinrichtung der Auffangrolle oder der Auffangrollen. Beispielsweise kann die Steuerung ein mechanisches Drehmoment steuern oder regeln, welche auf jede Transportrolle der mehreren Transportrollen ĂĽbertragen wird. Dadurch kann anschaulich eine Drehgeschwindigkeit, mit der jede Transportrolle der mehreren Transportrollen, oder der Auffangrolle oder der Auffangrollen jeweils angetrieben, d.h. gedreht, wird, gesteuert und/oder geregelt werden. Beispielsweise kann die Steuerung eine Drehgeschwindigkeit steuern oder regeln, mit welcher jede Transportrolle der mehreren Transportrollen dreht. Dadurch kann anschaulich ein Drehmoment, mit dem jede Transportrolle der mehreren Transportrollen, oder die Auffangrolle oder die Auffangrollen jeweils angetrieben, d.h. gedreht, wird, gesteuert und/oder geregelt werden.Further, the transport device may include a controller for controlling the drive means, or for controlling the driving of the plurality of transport rollers, and for controlling the drive means of the collecting roller or the collecting rollers. For example, the controller may control or regulate a mechanical torque transmitted to each transport roller of the plurality of transport rollers. As a result, a rotational speed with which each transport roller of the plurality of transport rollers, or the collecting roller or the collecting rollers is respectively driven, that is, can be clearly shown. rotated, will, be controlled and / or regulated. For example, the controller may control or regulate a rotational speed with which each transport roller of the plurality of transport rollers rotates. As a result, a torque with which each transport roller of the plurality of transport rollers, or the collecting roller or the collecting rollers are respectively driven, that is to say, can be indicated. rotated, will, be controlled and / or regulated.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Beschichtungsanordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumprozesskammer, in welcher ein Prozessierbereich angeordnet ist; eine Materialquelle zum Bereitstellen eines gasförmigen Beschichtungsmaterials in dem Prozessierbereich; und eine Transportvorrichtung gemäß einer der Ausführungsformen zum Transportieren eines Substrats durch den Prozessierbereich hindurch. According to various embodiments, a coating arrangement may comprise: a vacuum processing chamber in which a processing area is arranged; a source of material for providing a gaseous coating material in the processing area; and a transport device according to one of the embodiments for transporting a substrate through the processing area.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozesskammer als eine Sputterkammer eingerichtet sein. In diesem Fall kann die Materialdampfquelle eine Sputterquelle aufweisen oder daraus gebildet sein, z.B. eine so genannte Magnetronanordnung. Anschaulich kann die Vakuumprozesskammer dann zum Sputtern (d.h. zum Durchführen eines Sputterprozesses) eingerichtet sein.According to various embodiments, the vacuum processing chamber may be configured as a sputtering chamber. In this case, the material vapor source may include or be formed from a sputtering source, e.g. a so-called magnetron arrangement. Illustratively, the vacuum processing chamber may then be configured for sputtering (i.e., for performing a sputtering process).
Beispielsweise kann bei einem Sputterprozess (auch als Kathodenzerstäubung oder Sputterdeposition bezeichnet) das Targetmaterial zerstäubt und dabei in die Dampfphase überführt werden. Mit anderen Worten wird von einem Target das Beschichtungsmaterial abgesputtert, d.h. zerstäubt. Zum Magnetronsputtern (magnetfeldunterstützter Kathodenzerstäubung) kann eine Magnetronanordnung beispielsweise eine rohrförmiges Target (bzw. eine Rohrkathode) aufweisen, welche während des Sputterprozesses rotiert, wobei innerhalb der Rohrkathode eine Magnetanordnung angeordnet ist, um eine Plasmabildung und somit unter anderem die Sputterrate und/oder andere Prozessparameter des Sputterprozesses zu beeinflussen. Ferner kann eine Magnetronanordnung auch mehrere Rohrkathoden (Rohrtargets) aufweisen, beispielsweise bei einem sogenannten Doppel-Rohrmagnetron (einem so genannten RDM - Rotatable Dual Magnetron).For example, in a sputtering process (also referred to as sputtering or Sputterdeposition), the target material to be atomized and thereby transferred to the vapor phase. In other words, the coating material is sputtered from a target, i. atomized. For magnetron sputtering (magnetic field assisted sputtering), a magnetron assembly may include, for example, a tubular target which rotates during the sputtering process, with a magnet assembly disposed within the tube cathode for plasma formation and, thus, inter alia sputtering rate and / or other process parameters to influence the sputtering process. Furthermore, a magnetron arrangement can also have a plurality of tube cathodes (tube targets), for example in a so-called double tube magnetron (a so-called RDM-rotatable dual magnetron).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozesskammer als eine Verdampfungskammer, zum Beispiel zum thermischen Verdampfen und/oder zum Elektronenstrahlverdampfen (EB-PVD) eingerichtet sein. In diesem Fall kann die Materialdampfquelle eine Verdampfungsquelle aufweisen oder daraus gebildet sein. Anschaulich kann die Vakuumprozesskammer dann zum Verdampfen (d.h. zum Durchführen eines Verdampfungsprozesses) eingerichtet sein.According to various embodiments, the vacuum processing chamber may be configured as an evaporation chamber, for example for thermal evaporation and / or electron beam evaporation (EB-PVD). In this case, the material vapor source may include or be formed from an evaporation source. Illustratively, the vacuum processing chamber may then be configured for vaporizing (i.e., for performing an evaporation process).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Oberseite des (transportierten) Substrats prozessiert werden, z.B. mittels eines gasförmigen Beschichtungsmaterials beschichtet werden, wobei die Oberseite des Substrats von der Transportvorrichtung, bzw. den zumindest zwei Transportrollen, weg gerichtet ist. Die der Oberseite gegenüberliegende Unterseite des Substrats kann zum Transportieren auf der Transportfläche, bzw. den zumindest zwei Transportrollen, aufliegen, d.h. in physischem Kontakt zu den zumindest zwei Transportrollen stehen.According to various embodiments, an upper surface of the (transported) substrate may be processed, e.g. be coated by means of a gaseous coating material, wherein the upper side of the substrate of the transport device, or the at least two transport rollers, directed away. The underside of the substrate opposite the upper side can rest on the transport surface, or the at least two transport rollers, for transporting, i. be in physical contact with the at least two transport rollers.
Das Substrat kann z.B. plattenförmig sein, z.B. in Form einer Platte, z.B. einer Glasplatte, oder einer Metallplatte, oder eine Platte aus einem anderen Material, z.B. einer Keramik. Das Substrat kann z.B. bandförmig, z.B. in Form eines Folienbandes, z.B. in Form eines Metallbandes oder z.B. in Form eines Glasbandes sein.The substrate may e.g. be plate-shaped, e.g. in the form of a plate, e.g. a glass plate, or a metal plate, or a plate of another material, e.g. a ceramic. The substrate may e.g. band-shaped, e.g. in the form of a foil tape, e.g. in the form of a metal strip or e.g. be in the form of a glass ribbon.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Betreiben einer Transportvorrichtung (z.B. wie hierin beschrieben ist) Folgendes aufweisend: Anordnen eines Substrats auf mehreren Transportrollen der Transportvorrichtung; Antreiben zumindest einer der mehreren Transportrollen, so dass das Substrat mittels der mehreren Transportrollen transportiert wird; wobei das Anordnen des Substrats und/oder das Antreiben der zumindest einen Transportrolle der mehreren Transportrollen derart erfolgt, dass sich das Substrat und die Auffangrolle der Transportvorrichtung, auf die Transportfläche der Transportvorrichtung projiziert, zumindest teilweise überlappen.According to various embodiments, a method of operating a transport device (e.g., as described herein) may include: placing a substrate on a plurality of transport rollers of the transport device; Driving at least one of the plurality of transport rollers so that the substrate is transported by the plurality of transport rollers; wherein the arranging of the substrate and / or the driving of the at least one transport roller of the plurality of transport rollers takes place such that the substrate and the collecting roller of the transport device, projecting onto the transport surface of the transport device, at least partially overlap.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below.
Es zeigen
-
1A eine schematische Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
1B eine schematische Seitenansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
1C eine schematische Draufsicht oder Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
2A und2B jeweils eine schematische Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
2C eine schematische Draufsicht oder Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
3A und3B jeweils eine schematische Querschnittsansicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
4A bis4D jeweils eine schematische Draufsicht einer Transportvorrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; -
5 eine schematische Seitenansicht oder Querschnittsansicht einer Beschichtungsanordnung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und -
6 ein Verfahren in einem schematischen Ablaufdiagramm, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
-
1A a schematic cross-sectional view of a transport device, according to various embodiments; -
1B a schematic side view of a transport device, according to various embodiments; -
1C a schematic plan view or cross-sectional view of a transport device, according to various embodiments; -
2A and2 B each a schematic cross-sectional view of a transport device, according to various embodiments; -
2C a schematic plan view or cross-sectional view of a transport device, according to various embodiments; -
3A and3B each a schematic cross-sectional view of a transport device, according to various embodiments; -
4A to4D each a schematic plan view of a transport device, according to various embodiments; -
5 a schematic side view or cross-sectional view of a Coating arrangement according to various embodiments; and -
6 a method in a schematic flow diagram, according to various embodiments.
In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.In the following detailed description, reference is made to the accompanying drawings, which form a part hereof, and in which is shown by way of illustration specific embodiments in which the invention may be practiced. In this regard, directional terminology such as "top", "bottom", "front", "back", "front", "rear", etc. is used with reference to the orientation of the described figure (s). Because components of embodiments can be positioned in a number of different orientations, the directional terminology is illustrative and is in no way limiting. It should be understood that other embodiments may be utilized and structural or logical changes may be made without departing from the scope of the present invention. It should be understood that the features of the various exemplary embodiments described herein may be combined with each other unless specifically stated otherwise. The following detailed description is therefore not to be taken in a limiting sense, and the scope of the present invention is defined by the appended claims.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.As used herein, the terms "connected," "connected," and "coupled" are used to describe both direct and indirect connection, direct or indirect connection, and direct or indirect coupling. In the figures, identical or similar elements are provided with identical reference numerals, as appropriate.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportvorrichtung
Ferner kann die Transportvorrichtung
Beispielsweise kann der Abstand
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Transportrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportvorrichtung
Die Auffangrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Auffangrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Transportrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Transportrollen
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Auffangrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Auffangrolle
Wie in
Auf den Transportrollen
Anschaulich kann das Substrat
Die zwei Auffangrollen können einen Abstand zueinander aufweisen, der kleiner ist als eine Substratbreite
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Abstand der zwei Auffangrollen
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jede Auffangrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein ein Substrat
Die Menge des Materials der parasitären Beschichtung
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann vorgesehen sein, die Auffangrolle
Optional kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen vorgesehen sein ein Blendenelement
Ăśbersteigt das an der Auffangrolle
Im Gegensatz zu der in
Die Antriebseinrichtung
Mittels der Antriebseinrichtung
In Transportrichtung
Optional kann vorgesehen sein, mehrere Auffangrollen
Die in
Die Auffangrolle
Die in
Die Ausbildung der Auffangrolle
Ferner kann gemäß verschiedenen Ausführungsformen alternativ oder zusätzlich vorgesehen sein die die Drehachse
Die in
Die Auffangrolle
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen, wie in
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Vakuumprozesskammer
Ferner kann die Beschichtungsanordnung
Beispielsweise kann die Beschichtungsanordnung
Alternativ zu dem dargestellten plattenförmigen Substrat (beispielsweise aus Glas, Kunststoff oder anderem) kann auf der Transportfläche
Ferner kann die Beschichtungsanordnung
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann unterhalb des Substrats
Alternativ zu der horizontalen Beschichtungsanordnung
Alternativ zu dem Ausführungsbeispiel gemäß
Das Verfahren
Das Anordnen des Substrats und/oder das Antreiben der mehreren Transportrollen kann gemäß
Dazu kann beispielsweise das Antreiben der mehreren Transportrolle gesteuert und/oder geregelt erfolgen, z.B. mittels einer Antriebssteuerung. Die Antriebssteuerung kann beispielsweise einen Sensor aufweisen, welcher eingerichtet eine Geschwindigkeit und/oder eine Position des Substrats zu erfassen. Die Antriebssteuerung kann eingerichtet sein das Antreiben der mehreren Transportrollen zu steuern und/oder zu regeln, z.B. basierend auf der Position des Substrats.For this purpose, for example, the driving of the plurality of transport rollers can be controlled and / or regulated, e.g. by means of a drive control. For example, the drive controller may include a sensor configured to detect a speed and / or position of the substrate. The drive controller may be configured to control and / or regulate the driving of the plurality of transport rollers, e.g. based on the position of the substrate.
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DE102017121676.6A Withdrawn DE102017121676A1 (en) | 2017-09-19 | 2017-09-19 | Transport device, coating arrangement and method |
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Citations (2)
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2017
- 2017-09-19 DE DE102017121676.6A patent/DE102017121676A1/en not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE102013108403A1 (en) * | 2013-08-05 | 2015-02-05 | Von Ardenne Gmbh | Pass substrate treatment plant |
DE102015111275A1 (en) * | 2015-07-13 | 2017-01-19 | Von Ardenne Gmbh | Transport device, coating arrangement and method |
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