DE102016216842B4 - Method and device for operating a spectrometer - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung (102) zum Betreiben eines Spektrometers (100), wobei die Vorrichtung (102) die folgenden Merkmale aufweist:eine Ermittlungseinrichtung (122) zum Ermitteln eines Kompensationswerts (126) zum Kompensieren eines Offsets (120) eines von dem Spektrometer (100) erfassten Spektrums (104) unter Verwendung eines Winkelwerts (128), wobei der Winkelwert (128) einen Einfallswinkel (116) von Licht (106) repräsentiert, welches während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer (100) eingefallen ist; undeine Kompensationseinrichtung (124) zum Kompensieren des Spektrums (104) unter Verwendung des Kompensationswerts (126), um ein winkelkompensiertes Spektrum (130) zu erhalten,gekennzeichnet durcheine Winkelerfassungseinrichtung (132), die dazu ausgebildet ist, den Einfallswinkel (116) von während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer einfallenden Lichts (106) zu erfassen und in dem Winkelwert (128) abzubilden, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) einen Fotodetektor (110) aufweist, der ein Pixelfeld (134) mit einer Mehrzahl von je einen Intensitätswert (112) bereitstellenden Pixeln (136) aufweist, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) dazu ausgebildet ist, unter Verwendung der Intensitätswerte (112) den Winkelwert (128) zu bestimmen und wobei die Vorrichtung (102) eine Beleuchtungseinrichtung (200) aufweist, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor (110) angeordnet ist, wobei die Pixel (136) an einer Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung (200) und dem Fotodetektor (110) ausgerichtet sind.Device (102) for operating a spectrometer (100), the device (102) having the following features: a determining device (122) for determining a compensation value (126) for compensating an offset (120) of one detected by the spectrometer (100) Spectrum (104) using an angular value (128), the angular value (128) representing an angle of incidence (116) of light (106) which was incident on the spectrometer (100) during acquisition of the spectrum (104); and compensation means (124) for compensating the spectrum (104) using the compensation value (126) to obtain an angle-compensated spectrum (130), characterized by an angle detection means (132) adapted to measure the angle of incidence (116) from during a Detection of the spectrum (104), light (106) incident on the spectrometer and imaging in the angle value (128), the angle detection device (132) having a photodetector (110) which has a pixel field (134) with a plurality of one each Pixels (136) providing intensity value (112), wherein the angle detection device (132) is designed to determine the angle value (128) using the intensity values (112) and wherein the device (102) has an illumination device (200) which is laterally offset from the photodetector (110), the pixels (136) being located on an axis between the lighting device (200) and the photodetector (110) are aligned.

Description

Stand der TechnikState of the art

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung oder einem Verfahren nach Gattung der unabhängigen Ansprüche. Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist auch ein Computerprogramm.The invention is based on a device or a method according to the type of the independent claims. The present invention also relates to a computer program.

Die nachveröffentlichte Druckschrift DE 10 2016 212 088 A1 offenbart eine Vorrichtung zum Begrenzen eines Einfallswinkels für ein Spektrometer und ein Verfahren zum Betreiben einer solchen Vorrichtung.The post-published publication DE 10 2016 212 088 A1 discloses a device for limiting an angle of incidence for a spectrometer and a method for operating such a device.

Die Druckschrift EP 1 213 568 A2 offenbart eine Vorrichtung zur bildelementweisen Ausmessung eines flächigen Messobjekts.The publication EP 1 213 568 A2 discloses a device for image-wise measurement of a flat measurement object.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Bei einem Spektrometer kann ein erfasstes Spektrum einen Offset aufweisen, wenn das Licht schräg auf das Spektrometer fällt.In the case of a spectrometer, a recorded spectrum can have an offset if the light falls on the spectrometer at an angle.

Vor diesem Hintergrund werden mit dem hier vorgestellten Ansatz ein Verfahren zum Betreiben eines Spektrometers, weiterhin eine Vorrichtung, die dieses Verfahren verwendet, ein Spektrometer, sowie schließlich ein entsprechendes Computerprogramm gemäß den Hauptansprüchen vorgestellt. Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im unabhängigen Anspruch angegebenen Vorrichtung möglich.Against this background, the approach presented here presents a method for operating a spectrometer, a device using this method, a spectrometer, and finally a corresponding computer program in accordance with the main claims. The measures listed in the dependent claims allow advantageous developments and improvements of the device specified in the independent claim.

Der durch schräg einfallendes Licht verursachte Wellenlängenfehler beim Erfassen eines Spektrums ist abhängig von einem Einfallswinkel des Lichts. The wavelength error caused by obliquely incident light when acquiring a spectrum depends on an angle of incidence of the light.

Daher wird bei dem hier vorgestellten Ansatz der Einfallswinkel bestimmt und zum Ermitteln eines Kompensationswerts für das Spektrum verwendet. Der Kompensationswert wird auf das offsetbehaftete Spektrum angewendet, und das Spektrum verschoben.In the approach presented here, the angle of incidence is therefore determined and used to determine a compensation value for the spectrum. The compensation value is applied to the offset spectrum and the spectrum is shifted.

Es wird ein Verfahren zum Betreiben eines Spektrometers vorgestellt, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist:

  • Ermitteln eines Kompensationswerts zum Kompensieren eines Offsets eines von dem Spektrometer erfassten Spektrums unter Verwendung eines Winkelwerts, wobei der Winkelwert einen Einfallswinkel von Licht repräsentiert, welches während eines Erfassens des Spektrums auf das Spektrometer eingefallen ist; und
A method for operating a spectrometer is presented, the method comprising the following steps:
  • Determining a compensation value for compensating an offset of a spectrum captured by the spectrometer using an angle value, the angle value representing an angle of incidence of light which was incident on the spectrometer while the spectrum was being acquired; and

Kompensieren des Spektrums unter Verwendung des Kompensationswerts, um ein winkelkompensiertes Spektrum zu erhalten.Compensate for the spectrum using the compensation value to obtain an angle compensated spectrum.

Dieses Verfahren kann beispielsweise in Software oder Hardware oder in einer Mischform aus Software und Hardware beispielsweise in einem Steuergerät implementiert sein.This method can be implemented, for example, in software or hardware or in a mixed form of software and hardware, for example in a control unit.

Weiterhin wird eine Vorrichtung zum Betreiben eines Spektrometers vorgestellt, wobei die Vorrichtung die folgenden Merkmale aufweist:

  • eine Ermittlungseinrichtung zum Ermitteln eines Kompensationswerts zum Kompensieren eines Offsets eines von dem Spektrometer erfassten Spektrums unter Verwendung eines Winkelwerts, wobei der Winkelwert einen Einfallswinkel von Licht repräsentiert, welches während eines Erfassens des Spektrums auf das Spektrometer eingefallen ist; und
  • eine Kompensationseinrichtung zum Kompensieren des Spektrums unter Verwendung des Kompensationswerts, um ein winkelkompensiertes Spektrum zu erhalten.
Furthermore, a device for operating a spectrometer is presented, the device having the following features:
  • determining means for determining a compensation value for compensating an offset of a spectrum acquired by the spectrometer using an angle value, the angle value representing an angle of incidence of light which was incident on the spectrometer during acquisition of the spectrum; and
  • compensation means for compensating the spectrum using the compensation value to obtain an angle compensated spectrum.

Unter einem Spektrometer kann ein Bauelement verstanden werden, das ein spektrales Element in einem optischen Pfad vor einem Detektor aufweist. Ein Spektrum ist ein Intensitätsverlauf über einen Wellenlängenbereich. Das Spektrum kann dabei parallel oder seriell aufgezeichnet werden. Bei der parallelen Aufzeichnung wird das ganze Spektrum durch das spektrale Element räumlich aufgelöst und über einen zeilenförmigen Detektor eine Mehrzahl von Intensitätswerten mit mehreren Pixeln in einem einzelnen Zeitschlitz erfasst. Bei der seriellen Aufzeichnung lässt das spektrale Element jeweils nur einen begrenzten Wellenlängenbereich des einfallenden Lichts durch und ein Intensitätswert des Wellenlängenbereichs wird erfasst. In mehreren Zeitschlitzen nacheinander werden verschiedene Wellenlängenbereiche durchgelassen und die resultierenden Intensitätswerte erfasst. Das Spektrum wird aus den nacheinander erfassten Intensitätswerten zusammengesetzt. Der Winkelwert kann unter Verwendung eines Winkelsensors erfasst werden. Kompensationswerte können in einer Tabelle hinterlegt sein.A spectrometer can be understood to mean a component which has a spectral element in an optical path in front of a detector. A spectrum is an intensity curve over a wavelength range. The spectrum can be recorded in parallel or in series. In the case of parallel recording, the entire spectrum is spatially resolved by the spectral element and a plurality of intensity values with several pixels are recorded in a single time slot via a line-shaped detector. In the case of serial recording, the spectral element only lets through a limited wavelength range of the incident light and an intensity value of the wavelength range is recorded. Different wavelength ranges are transmitted in several time slots in succession and the resulting intensity values are recorded. The spectrum is composed of the intensity values recorded one after the other. The angle value can be detected using an angle sensor. Compensation values can be stored in a table.

Die Vorrichtung weist eine Winkelerfassungseinrichtung auf, die dazu ausgebildet ist, einen Einfallswinkel von während eines Erfassens des Spektrums auf das Spektrometer einfallenden Lichts zu erfassen und in dem Winkelwert abzubilden. Die Winkelerfassungseinrichtung kann in das Spektrometer integriert sein. Damit kann der tatsächliche Einfallswinkel während des Erfassens des Spektrums erfasst werden.The device has an angle detection device which is designed to detect an angle of incidence of light incident on the spectrometer during detection of the spectrum and to depict it in the angle value. The angle detection device can be integrated in the spectrometer. This enables the actual angle of incidence to be recorded while the spectrum is being acquired.

Die Winkelerfassungseinrichtung weist einen Fotodetektor auf, der ein Pixelfeld mit einer Mehrzahl von je einen Intensitätswert bereitstellenden Pixeln aufweist, wobei die Winkelerfassungseinrichtung dazu ausgebildet ist, unter Verwendung der Intensitätswerte den Winkelwert zu bestimmen. Der Winkel kann unter Verwendung eines Lichtschwerpunkts von auf den Detektor einfallendem Licht bestimmt werden. Der Fotodetektor kann das Licht verwenden, welches zum Erfassen des Spektrums verwendet wird. Damit kann ein systematischer Fehler vermieden werden. Eine Gesamtheit der Intensitätswerte kann zum Erfassen des Spektrums verwendet werden. The angle detection device has a photodetector which has a pixel field with a plurality of pixels each providing an intensity value, the angle detection device being designed to determine the angle value using the intensity values. The angle can be determined using a center of gravity of light incident on the detector. The photodetector can use the light used to acquire the spectrum. A systematic error can thus be avoided. A total of the intensity values can be used to acquire the spectrum.

Die Vorrichtung weist eine Beleuchtungseinrichtung auf, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor angeordnet ist, wobei die Pixel an einer Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung und dem Fotodetektor ausgerichtet sind. Eine Beleuchtungseinrichtung kann beispielsweise eine LED aufweisen. Die Beleuchtungseinrichtung kann schräg zu einer optischen Achse des optischen Elements ausgerichtet sein. Durch die Beleuchtungseinrichtung kann der Einfallswinkel des einfallenden Lichts einen Zusammenhang zu einer Entfernung zwischen einem beleuchteten Objekt und dem Spektrometer repräsentieren. Das Spektrometer kann zur Entfernungsmessung verwendet werden.The device has an illuminating device which is arranged laterally offset from the photodetector, the pixels being aligned on an axis between the illuminating device and the photodetector. A lighting device can have an LED, for example. The lighting device can be aligned obliquely to an optical axis of the optical element. By means of the lighting device, the angle of incidence of the incident light can represent a relationship to a distance between an illuminated object and the spectrometer. The spectrometer can be used to measure distance.

Der Fotodetektor kann dazu ausgebildet sein, das Spektrum zu erfassen. Der Fotodetektor kann das Licht verwenden, welches zum Erfassen des Spektrums verwendet wird. Damit kann ein systematischer Fehler vermieden werden.The photodetector can be designed to detect the spectrum. The photodetector can use the light used to acquire the spectrum. A systematic error can thus be avoided.

Die Pixel können zweidimensional flächig angeordnet sein. In einer ersten Richtung ausgerichtete Pixel können das Spektrum erfassen. Quer dazu ausgerichtete Pixel können die Intensitätswerte bereitstellen. Durch die flächige Anordnung der Pixel können Spektrum und der Einfallswinkel parallel erfasst werden.The pixels can be arranged in a two-dimensional area. Pixels aligned in a first direction can capture the spectrum. Pixels aligned at right angles can provide the intensity values. Due to the flat arrangement of the pixels, the spectrum and the angle of incidence can be recorded in parallel.

Ferner wird ein Spektrometer mit einer Vorrichtung gemäß dem hier vorgestellten Ansatz vorgestellt.Furthermore, a spectrometer with a device according to the approach presented here is presented.

Ein spektrales Element des Spektrometers kann als linear variabler Filter ausgebildet sein. Durch den linear variablen Filter kann das Spektrum parallel aufgezeichnet werden.A spectral element of the spectrometer can be designed as a linearly variable filter. The spectrum can be recorded in parallel using the linearly variable filter.

Das spektrale Element des Spektrometers kann als mikromechanisches Interferometer ausgebildet sein. Durch das Interferometer kann ein einfacher Fotodetektor verwendet werden.The spectral element of the spectrometer can be designed as a micromechanical interferometer. A simple photo detector can be used with the interferometer.

Von Vorteil ist auch ein Computerprogrammprodukt oder Computerprogramm mit Programmcode, der auf einem maschinenlesbaren Träger oder Speichermedium wie einem Halbleiterspeicher, einem Festplattenspeicher oder einem optischen Speicher gespeichert sein kann und zur Durchführung, Umsetzung und/oder Ansteuerung der Schritte des Verfahrens nach einer der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen verwendet wird, insbesondere wenn das Programmprodukt oder Programm auf einem Computer oder einer Vorrichtung ausgeführt wird. Also advantageous is a computer program product or computer program with program code, which can be stored on a machine-readable carrier or storage medium such as a semiconductor memory, a hard disk memory or an optical memory and for carrying out, implementing and / or controlling the steps of the method according to one of the embodiments described above is used, in particular if the program product or program is executed on a computer or a device.

Ausführungsbeispiele des hier vorgestellten Ansatzes sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:

  • 1 ein Blockschaltbild eines Spektrometers mit einer Vorrichtung zum Betreiben gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 2 eine Darstellung einer Winkelerfassung unter Verwendung eines Pixelfelds gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 3 eine Darstellung eines mittig auf einen Fotodetektor gemäß einem Ausführungsbeispiel auftreffenden Beleuchtungsspots;
  • 4 eine Darstellung eines erfassten Spektrums;
  • 5 Darstellungen von außermittig auf einen Fotodetektor gemäß einem Ausführungsbeispiel auftreffenden Beleuchtungsspots;
  • 6 eine Darstellung eines Spektrums mit Offset;
  • 7 eine Darstellung eines Spektrometers mit einem linear variablen Filter gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 8 eine Darstellung eines Spektrometers mit einem Interferometer gemäß einem Ausführungsbeispiel; und
  • 9 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Betreiben eines Spektrometers gemäß einem Ausführungsbeispiel.
Embodiments of the approach presented here are shown in the drawings and explained in more detail in the following description. It shows:
  • 1 a block diagram of a spectrometer with a device for operation according to an embodiment;
  • 2 an illustration of an angle detection using a pixel field according to an embodiment;
  • 3 an illustration of an illumination spot hitting the center of a photodetector according to an exemplary embodiment;
  • 4 a representation of a recorded spectrum;
  • 5 Representations of off-center lighting spots hitting a photodetector according to an embodiment;
  • 6 a representation of a spectrum with offset;
  • 7 a representation of a spectrometer with a linearly variable filter according to an embodiment;
  • 8th a representation of a spectrometer with an interferometer according to an embodiment; and
  • 9 a flowchart of a method for operating a spectrometer according to an embodiment.

In der nachfolgenden Beschreibung günstiger Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen Figuren dargestellten und ähnlich wirkenden Elemente gleiche oder ähnliche Bezugszeichen verwendet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente verzichtet wird.In the following description of favorable exemplary embodiments of the present invention, the same or similar reference numerals are used for the elements shown in the different figures and acting in a similar manner, and a repeated description of these elements is omitted.

1 zeigt ein Blockschaltbild eines Spektrometers 100 mit einer Vorrichtung 102 zum Betreiben gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Spektrometer 100 ist dazu ausgebildet, ein Spektrum 104 von einfallendem Licht 106 zu erfassen. Dazu weist das Spektrometer 100 ein spektrales Element 108 auf. Das spektrale Element 108 ist dazu ausgebildet, das einfallende Licht 106 in seine enthaltenen Wellenlängen aufzutrennen. Ein Fotodetektor 110 bildet Strahlungsintensitäten der Wellenlängen in Intensitätswerten 112 ab. Eine Erfassungseinrichtung 114 erfasst die Intensitätswerte und bildet sie in dem Spektrum 104 ab. 1 shows a block diagram of a spectrometer 100 with one device 102 to operate according to an embodiment. The spectrometer 100 is trained to be a spectrum 104 of incident light 106 capture. The spectrometer points to this 100 a spectral element 108 on. The spectral element 108 is trained to incident light 106 to separate into its contained wavelengths. A photo detector 110 forms radiation intensities of the wavelengths in intensity values 112 from. A detection device 114 captures the intensity values and forms them in the spectrum 104 from.

Das spektrale Element ist winkelempfindlich. Wenn das einfallende Licht um einen Einfallswinkel 116 schräg zu einer Arbeitsachse 118 des Spektrometers 100 einfällt, werden die aufgetrennten Wellenlängen um einen winkelabhängigen Offset 120 verschoben. Dieser Offset 120 ist damit auch in dem Spektrum 104 abgebildet. Das Spektrum 104 weist also den Offset 120 auf.The spectral element is sensitive to angles. When the incident light is at an angle of incidence 116 at an angle to a working axis 118 of the spectrometer 100 occurs, the separated wavelengths are offset by an angle 120 postponed. This offset 120 is also in the spectrum 104 displayed. The spectrum 104 shows the offset 120 on.

Die Vorrichtung 102 weist eine Ermittlungseinrichtung 122 und eine Kompensationseinrichtung 124 auf. Die Ermittlungseinrichtung 122 ist dazu ausgebildet, einen Kompensationswert 126 zum Kompensieren des Offsets 120 unter Verwendung eines Winkelwerts 128 zu ermitteln. Der Winkelwert 128 repräsentiert den Einfallswinkel 116 während des Erfassens des Spektrums 104. Die Kompensationseinrichtung 124 ist dazu ausgebildet, das Spektrum 104 unter Verwendung des Kompensationswerts 126 zu kompensieren, um ein winkelkompensiertes Spektrum 130 zu erhalten.The device 102 has an investigating device 122 and a compensation device 124 on. The investigative facility 122 is designed to provide a compensation value 126 to compensate for the offset 120 using an angle value 128 to investigate. The angle value 128 represents the angle of incidence 116 while capturing the spectrum 104 , The compensation device 124 is trained to use the spectrum 104 using the compensation value 126 to compensate for an angle compensated spectrum 130 to obtain.

Die Vorrichtung 102 weist eine Winkelerfassungseinrichtung 132 auf. Die Winkelerfassungseinrichtung 132 ist dazu ausgebildet, den Einfallswinkel 116 zu erfassen und in dem Winkelwert 128 abzubilden. Beispielsweise kann die Winkelerfassungseinrichtung 132 neben dem spektralen Element 108 angeordnet sein. Hier ist die Winkelerfassungseinrichtung 132 Teil des Spektrometers 100.The device 102 has an angle detection device 132 on. The angle detection device 132 is designed to measure the angle of incidence 116 to capture and in the angular value 128 map. For example, the angle detection device 132 next to the spectral element 108 be arranged. Here is the angle detection device 132 Part of the spectrometer 100 ,

Die Winkelerfassungseinrichtung 132 umfasst den Fotodetektor 110. Der Fotodetektor 110 weist ein Pixelfeld 134 mit einer Mehrzahl von Pixeln 136 auf. Die Pixel 136 bilden jeweils die im Bereich des Pixels 136 einfallende Strahlungsintensität des Lichts 106 in einem Intensitätswert 112 ab. Da die Position jedes Pixels 136 relativ zu der Arbeitsachse 118 bekannt ist, kann in einer Bestimmungseinrichtung 138 der Winkelerfassungseinrichtung 132 aus den gleichzeitig erfassten Intensitätswerten 112 der einzelnen Pixel 136 auf den Einfallswinkel 116 geschlossen werden. Die Bestimmungseinrichtung 138 bildet den Einfallswinkel 116 in dem Winkelsignal 128 ab und fasst die gleichzeitig erfassten Intensitätswerte 112 zu einem Intensitätswert 112 zusammen.The angle detection device 132 includes the photo detector 110 , The photo detector 110 has a pixel field 134 with a plurality of pixels 136 on. The pixels 136 form those in the area of the pixel 136 incident radiation intensity of light 106 in an intensity value 112 from. Because the position of each pixel 136 relative to the working axis 118 is known can be in a determination device 138 the angle detection device 132 from the simultaneously recorded intensity values 112 of the individual pixels 136 on the angle of incidence 116 getting closed. The destination facility 138 forms the angle of incidence 116 in the angle signal 128 and captures the intensity values recorded at the same time 112 to an intensity value 112 together.

In einem Ausführungsbeispiel ist das spektrale Element 108 als Interferometer 108 ausgebildet. Das Interferometer 108 weist zwei durch einen Spalt beabstandete Spiegel auf. Eine Spaltweite 140 des Spalts bestimmt eine durch das Interferometer 108 durchgelassene Wellenlänge. Eine Antriebseinrichtung 142 ist dazu ausgebildet, die Spaltweite 140 ansprechend auf ein Steuersignal 144 die Spaltweite einzustellen.In one embodiment, the spectral element is 108 as an interferometer 108 educated. The interferometer 108 has two mirrors spaced apart by a gap. A gap width 140 of the gap is determined by the interferometer 108 transmitted wavelength. A drive device 142 is designed to the gap width 140 in response to a control signal 144 adjust the gap width.

Das Steuersignal 144 kann von der Erfassungseinrichtung 114 bereitgestellt werden, um die Spaltweite 140 auf eine neue Wellenlänge einzustellen, wenn eine Wellenlänge erfasst ist.The control signal 144 can from the detection device 114 be provided to the gap width 140 set to a new wavelength when a wavelength is detected.

In einem Ausführungsbeispiel zeigt 1 ein Bauelement 100 beziehungsweise ein Miniaturspektrometer 100, bestehend aus einer nicht dargestellten Lichtquelle, einem spektralen Element 108 mit limitierter Apertur und einem Fotodetektor 110, der als zumindest zweiteilige Fotodiode, Quadranten Fotodiode oder Detektor-Array 134 ausgeführt ist. In der Winkelbestimmungseinrichtung 132 wird ein Differenzsignal 112 der Fotodiode 110 zur Bestimmung des Haupteinfallswinkels 116 genutzt.In one embodiment shows 1 a component 100 or a miniature spectrometer 100 , consisting of a light source, not shown, a spectral element 108 with limited aperture and a photo detector 110 that as an at least two-part photodiode, quadrant photodiode or detector array 134 is executed. In the angle determination device 132 becomes a difference signal 112 the photodiode 110 to determine the main angle of incidence 116 used.

Das spektrale Element 108 kann ein mikromechanisches Fabry-Perot Interferometer-Bauelement 108 sein. Das Interferometer besteht dann aus mindestens zwei durch einen Spalt voneinander beabstandeten, übereinander angeordneten Spiegelelementen. Die Kenntnis des Haupteinfallswinkels wird zur Korrektur des Spektrenoffsets 120 verwendet.The spectral element 108 can be a micromechanical Fabry-Perot interferometer device 108 his. The interferometer then consists of at least two mirror elements which are spaced apart from one another by a gap and are arranged one above the other. Knowing the main angle of incidence is used to correct the spectral offset 120 used.

Das spektrale Element 108 kann ebenso ein linear variables Filter 108 mit einer Wellenlängenänderung in X sein. Dann kann der Detektor 110 ein zweidimensionales Detektor-Array 134 mit Pixeln 136 in X für die Wellenlänge und Pixeln 136 in Y für die Winkelkorrektur sein. Die Differenz von Detektorzeilen wird dabei zur Detektion des Haupteinfallswinkels 116 genutzt. Die Kenntnis des Haupteinfallswinkels 116 wird zur Korrektur des Spektrenoffsets 120 verwendet. The spectral element 108 can also be a linear variable filter 108 with a change in wavelength in X his. Then the detector can 110 a two-dimensional detector array 134 with pixels 136 in X for the wavelength and pixels 136 in Y for the angle correction. The difference between detector lines becomes the detection of the main angle of incidence 116 used. Knowing the main angle of incidence 116 is used to correct the spectral offset 120 used.

Durch den hier vorgestellten Ansatz wird eine Kompensation winkelabhängiger und damit bei exzentrischem Beleuchtungsansatz abstandsabhängiger Wellenlängenoffsetfehler 120 bei Spektrometern 100 erreicht. Durch die Kompensation des Wellenlängenoffsets 120 kann eine höhere Genauigkeit des Wellenlängenspektrums 130 bei unterschiedlichen Abständen, und damit eine größere Robustheit des Systems 100 beim Handling durch den Endanwender erreicht werden.The approach presented here compensates for angle-dependent and thus distance-dependent wavelength offset errors in the case of an eccentric lighting approach 120 for spectrometers 100 reached. By compensating for the wavelength offset 120 can have higher accuracy of the wavelength spectrum 130 at different distances, making the system more robust 100 in handling by the end user.

2 zeigt eine Darstellung einer Winkelerfassung unter Verwendung eines Pixelfelds 134 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Der Einfallswinkel 116 wird dabei an einem Spektrometer 100 erfasst, wie es beispielsweise in 1 dargestellt ist. Das Spektrometer 100 umfasst hier eine Beleuchtungseinrichtung 200, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor 110 angeordnet ist. Die Beleuchtungseinrichtung 200 ist schräg zu der Arbeitsachse 118 ausgerichtet. Eine Beleuchtungsachse 202 der Beleuchtungseinrichtung 200 schneidet die Arbeitsachse 118. Ein Beleuchtungsstrahl der Beleuchtungseinrichtung 200 ist divergent. Wenn eine Entfernung 204 zwischen dem Spektrometer 100 und einem beleuchteten Objekt kleiner wird, wandert ein beleuchteter Bereich 206 auf dem Objekt entlang der Beleuchtungsachse 202 in Richtung der Beleuchtungseinrichtung 200. Dabei wird der beleuchtete Bereich 206 kleiner. Wenn die Entfernung 204 größer wird, wandert der beleuchtete Bereich 206 entlang der Beleuchtungsachse 202 von der Beleuchtungseinrichtung 200 weg. Dabei wird der beleuchtete Bereich 206 größer. Mit anderen Worten verändert sich durch die schräge Beleuchtungsachse 202 der Einfallswinkel 116 zwischen dem Spektrometer 100 und dem beleuchteten Bereich 206, wenn sich die Entfernung 204 ändert. Der beleuchtete Bereich 206 kann als Target bezeichnet werden. 2 shows an illustration of an angle detection using a pixel field 134 according to an embodiment. The angle of incidence 116 is using a spectrometer 100 recorded, such as in 1 is shown. The spectrometer 100 here comprises a lighting device 200 that laterally offset to the photo detector 110 is arranged. The lighting device 200 is oblique to the working axis 118 aligned. A lighting axis 202 the lighting device 200 intersects the working axis 118 , An illuminating beam of the lighting device 200 is divergent. If a distance 204 between the spectrometer 100 and an illuminated object becomes smaller, an illuminated area moves 206 on the object along the lighting axis 202 towards the lighting device 200 , The illuminated area 206 smaller. If the distance 204 the illuminated area moves 206 along the lighting axis 202 from the lighting device 200 path. The illuminated area 206 greater. In other words, changes due to the oblique lighting axis 202 the angle of incidence 116 between the spectrometer 100 and the illuminated area 206 when the distance 204 changes. The illuminated area 206 can be called a target.

Wenn das im beleuchteten Bereich 206 reflektierte Licht 106 durch eine Lochblende 208 oder Linsenoptik 208 auf den Fotodetektor 110 fällt, verändert sich mit dem Einfallswinkel 116 auch eine Position eines durch das reflektierte Licht 106 verursachten Beleuchtungsspots auf dem Fotodetektor 110. Das Pixelfeld 134 weist hier zwei benachbarte Pixel 136 auf. Die Pixel sind entlang einer Verbindungsgeraden zwischen der Beleuchtungseinrichtung 200 und dem Fotodetektor 110 ausgerichtet. Abhängig von der Position des Beleuchtungsspots verändert sich eine Lichtintensität des Lichts 106 auf den Pixeln 136. Die Lichtintensität wird wiederum in den Intensitätswerten der Pixel 136 abgebildet.If that's in the illuminated area 206 reflected light 106 through a pinhole 208 or lens optics 208 on the photo detector 110 falls, changes with the angle of incidence 116 also a position of one reflected by the light 106 caused lighting spots on the photodetector 110 , The pixel field 134 has two neighboring pixels here 136 on. The pixels are along a connecting line between the lighting device 200 and the photo detector 110 aligned. Depending on the position of the lighting spot, a light intensity of the light changes 106 on the pixels 136 , The light intensity is in turn reflected in the intensity values of the pixels 136 displayed.

Eine typische exzentrische Lichtanordnung ist in 2 dargestellt. Wenn in unterschiedlichen Abständen 204 gemessen wird, kommt es zu unterschiedlichen Eingangswinkeln 116. Zwischen der Lochblende 208 und dem Detektor 110 ist als nicht dargestelltes spektrales Element beispielsweise ein Fabry Perot Filter integriert, welches sensitiv auf Eingangswinkelveränderungen reagiert. Eingangswinkelabweichungen von der Detektor Achse 118 werden immer zu kürzeren Wellenlängen verschoben.A typical eccentric light arrangement is in 2 shown. If at different intervals 204 is measured, there are different entry angles 116 , Between the pinhole 208 and the detector 110 For example, a Fabry Perot filter is integrated as a spectral element (not shown), which reacts sensitively to changes in input angle. Input angle deviations from the detector axis 118 are always shifted to shorter wavelengths.

3 zeigt eine Darstellung eines mittig auf einen Fotodetektor 110 gemäß einem Ausführungsbeispiel auftreffenden Beleuchtungsspots 300. Der Fotodetektor 110 entspricht dabei im Wesentlichen den Darstellungen in den 1 und 2. Hier ist das Pixelfeld 134 kreisförmig und weist vier gleich große Pixel 136 auf. Die Pixel 136 sind kreissektorförmig. Der Beleuchtungsspot 300 trifft im Wesentlichen mittig auf das Pixelfeld 134. Dadurch ist eine beleuchtete Fläche pro Pixel 136 im Wesentlichen identisch. Die Pixel 136 wandeln den auf sie einfallenden Anteil des Lichts aus dem Beleuchtungsspot 300 in im Wesentlichen gleiche elektrische Intensitätswerte. 3 shows a representation of a center on a photo detector 110 according to one embodiment, lighting spots 300 , The photo detector 110 corresponds essentially to the representations in the 1 and 2 , Here is the pixel field 134 circular and has four equally sized pixels 136 on. The pixels 136 are circular sector shaped. The lighting spot 300 essentially meets the center of the pixel field 134 , This is one illuminated area per pixel 136 essentially identical. The pixels 136 convert the proportion of light from the lighting spot that falls on them 300 in essentially the same electrical intensity values.

Bei Nutzung einer Lochblende oder eines Linsensystems verschiebt sich der Beleuchtungsspot 300 in Abhängigkeit vom Abstand auf dem Detektor 110 lateral. Ein Pixel Array 134 oder ein in mindestens zwei Teile aufgeteilter Detektor 110 kann die unterschiedlichen Schwerpunkte des reflektierten Beleuchtungsspots 300 auf dem Detektor 110 messen. Hier werden die Schwerpunkte unter Verwendung der vier Sektoren 136 gemessen. Dieser Unterschied ist ein Maß für den Einfallswinkel und damit für den Abstand des Targets. Basierend auf diesen Daten kann der jeweilige Spektrum-Offset mithilfe einer Signalverarbeitung wie in 1 korrigiert werden.When using a pinhole or a lens system, the lighting spot shifts 300 depending on the distance on the detector 110 lateral. A pixel array 134 or a detector divided into at least two parts 110 can the different focus of the reflected lighting spot 300 on the detector 110 measure up. Here are the focal points using the four sectors 136 measured. This difference is a measure of the angle of incidence and thus of the distance of the target. Based on this data, the respective spectrum offset can be processed using signal processing as in 1 Getting corrected.

Vierteilige Detektoren 110 können einen Hinweis auf die Probenhomogenität geben, da die seitlichen Sektoren 136 das gleiche Signal besitzen sollten. Starke Differenzen können auf eine Target-Inhomogenität hinweisen. Des Weiteren kann überprüft werden, ob der Beleuchtungspfad oder die mechanische Positionierung der Lochblende zum Detektor 110 verändert wurde.Four-part detectors 110 can give an indication of sample homogeneity because the lateral sectors 136 should have the same signal. Large differences can indicate a target inhomogeneity. Furthermore, it can be checked whether the illumination path or the mechanical positioning of the pinhole to the detector 110 was changed.

Bei großen Einfallswinkelintervallen ist es von Vorteil, dass die Schwerpunktanalyse des Beleuchtungsspots 300 über das gesamte Spektrum durchgeführt wird, weil unterschiedliche Wellenlängen und unterschiedliche Einfallswinkel zur gleichen Zeit gemessen werden. Stark variierende Spektren könnten je nach Einstellung des spektralen Elements zu unterschiedlichen Messergebnissen führen. Durch Messung des gesamten Spektrums und Vergleich der Schwerpunktpositionen kann eine Plausibilisierung des Messergebnisses erreicht werden.With large angles of incidence, it is advantageous that the focus analysis of the lighting spot 300 is carried out over the entire spectrum because different wavelengths and different angles of incidence are measured at the same time. Depending on the setting of the spectral element, strongly varying spectra could lead to different measurement results. A plausibility check of the measurement result can be achieved by measuring the entire spectrum and comparing the focus positions.

4 zeigt eine Darstellung eines erfassten Spektrums 104. Das Spektrum 104 ist in einem Diagramm aufgetragen, das auf der Abszisse die Wellenlänge λ und auf der Ordinate eine Intensität angetragen hat. Das gemessene Spektrum 104 ist von im Wesentlichen senkrecht auf ein spektrales Element einfallendem Licht erfasst worden. Beispielsweise ist das Spektrum 104 an dem in 3 dargestellten Beleuchtungsspot erfasst worden. Das Spektrum 104 entspricht durch das senkrecht einfallende Licht einem tatsächlichen Spektrum 400 beziehungsweise Zielspektrum. 4 shows a representation of a recorded spectrum 104 , The spectrum 104 is plotted in a diagram which shows the wavelength λ on the abscissa and an intensity on the ordinate. The measured spectrum 104 has been detected by light incident essentially perpendicular to a spectral element. For example, the spectrum 104 on the in 3 shown lighting spot has been recorded. The spectrum 104 corresponds to an actual spectrum due to the vertically incident light 400 or target spectrum.

5 zeigt Darstellungen von außermittig auf einen Fotodetektor 110 gemäß einem Ausführungsbeispiel auftreffenden Beleuchtungsspots 300. Der Fotodetektor 110 ist zweimal dargestellt und entspricht im Wesentlichen dem Fotodetektor in 3. Das Licht ist hier schräg durch eine vor dem Detektor 110 angeordnete Optik oder Blende gefallen. Der Beleuchtungsspot 300 ist damit seitlich auf dem Pixelfeld 134 verschoben. Hier sind die Anteile an den Beleuchtungsspots 300 jeweils ungleich auf die Pixel 136 des Pixelfelds 134 verteilt. Damit stellen die Pixel 136 unterschiedliche Intensitätswerte bereit. 5 shows representations of off-center on a photo detector 110 according to one embodiment, lighting spots 300 , The photo detector 110 is shown twice and essentially corresponds to the photodetector in FIG 3 , The light here is oblique through one in front of the detector 110 arranged optics or aperture. The lighting spot 300 is on the side of the pixel field 134 postponed. Here are the proportions of the lighting spots 300 each uneven on the pixels 136 of the pixel field 134 distributed. With that put the pixels 136 different intensity values ready.

6 zeigt eine Darstellung eines Spektrums 104 mit Offset 120. Das Spektrum 104 ist wie in 4 in einem Diagramm aufgetragen, das auf der Abszisse die Wellenlänge λ und auf der Ordinate eine Intensität angetragen hat. Das Spektrum 104 ist von schräg auf ein spektrales Element einfallendem Licht erfasst worden. Beispielsweise ist das Spektrum 104 an einem der in 5 dargestellten Beleuchtungsspots erfasst worden. Die Intensitätswerte des Spektrums 104 sind dabei um den Offset 120 gegenüber dem tatsächlichen Spektrum 400 verschoben. 6 shows a representation of a spectrum 104 with offset 120 , The spectrum 104 is like in 4 plotted in a diagram which has the wavelength λ on the abscissa and an intensity on the ordinate. The spectrum 104 has been detected by light incident obliquely on a spectral element. For example, the spectrum 104 at one of the in 5 shown lighting spots were recorded. The intensity values of the spectrum 104 are about offset 120 versus the actual spectrum 400 postponed.

Da unter Verwendung der unterschiedlichen Intensitätswerte der Pixel in 5 der Winkelwert des Einfallswinkels bestimmt werden kann, kann ein Korrekturwert zum Kompensieren des Offsets 120 beispielsweise aus einer hinterlegten Tabelle ausgelesen werden. Ebenso kann der Korrekturwert durch eine Berechnungsvorschrift berechnet werden. Das erfasste Spektrum 104 kann so um den Korrekturwert verschoben werden, um das kompensierte Spektrum 130 zu erhalten, das im Wesentlichen dem tatsächlichen Spektrum 400 entspricht.Since using the different intensity values of the pixels in 5 The angle value of the angle of incidence can be determined, a correction value can be used to compensate for the offset 120 can be read from a stored table, for example. The correction value can also be calculated using a calculation rule. The captured spectrum 104 can be shifted by the correction value to the compensated spectrum 130 to get that essentially the actual spectrum 400 equivalent.

7 zeigt eine Darstellung eines Spektrometers 100 mit einem linear variablen Filter 108 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Spektrometer entspricht im Wesentlichen dem Spektrometer in 1. Das Pixelfeld 134 ist hier als Matrix mit Pixeln 136 in Zeilen und Spalten ausgebildet. Dabei sind die Zeilen an einer Filterrichtung des linear variablen Filters 108 beziehungsweise einer x-Richtung ausgerichtet, während die Spalten quer zu der Filterrichtung beziehungsweise in einer y-Richtung ausgerichtet sind. Der linear variable Filter 108 weist zwei dielektrische Spiegel 700 auf, die über die Filterrichtung einen abnehmenden Abstand zueinander aufweisen. Der Abstand bestimmt eine durchgelassene Wellenlänge. Durch den abnehmenden Abstand lässt der Filter 108 in der Filterrichtung einen Wellenlängenverlauf durch, wodurch die Zeilen des Pixelfelds 134 das Spektrum 104 erfassen. Die Spalten des Pixelfelds 134 erfassen den Einfallswinkel. 7 shows a representation of a spectrometer 100 with a linear variable filter 108 according to an embodiment. The spectrometer essentially corresponds to the spectrometer in 1 , The pixel field 134 is here as a matrix with pixels 136 trained in rows and columns. The lines are at a filter direction of the linearly variable filter 108 or an x-direction, while the columns are oriented transversely to the filter direction or in a y-direction. The linear variable filter 108 has two dielectric mirrors 700 which have a decreasing distance from one another over the filter direction. The distance determines a transmitted wavelength. Due to the decreasing distance, the filter leaves 108 in the filter direction through a wavelength curve, whereby the lines of the pixel field 134 the spectrum 104 to capture. The columns of the pixel field 134 capture the angle of incidence.

8 zeigt eine Darstellung eines Spektrometers 100 mit einem Interferometer 108 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Spektrometer entspricht im Wesentlichen dem Spektrometer in 2. Das Pixelfeld 134 ist hier als Matrix mit Pixeln 136 in Zeilen und Spalten ausgebildet. Das Interferometer 108 wirkt als die Lochblende 208. Das Interferometer 108 lässt zu einem Zeitpunkt eine Resonanzwellenlänge und deren Oberwellen durch. Die Oberwellen können ausgefiltert werden. Das Spektrum wird durch viele zeitlich aufeinander abfolgende Einzelmessungen bei jeweils unterschiedlichen durchgelassenen Wellenlängen erfasst. Im Gegensatz zu 7 erfassen hier sowohl die Zeilen als auch die Spalten den Einfallswinkel 116. Der Einfallswinkel 116 wird dabei in zwei Raumrichtungen erfasst. 8th shows a representation of a spectrometer 100 with an interferometer 108 according to an embodiment. The spectrometer essentially corresponds to the spectrometer in 2 , The pixel field 134 is here as a matrix with pixels 136 trained in rows and columns. The interferometer 108 acts as the pinhole 208 , The interferometer 108 transmits a resonance wavelength and its harmonics at a time. The harmonics can be filtered out. The spectrum is recorded by many individual measurements that follow one another at different wavelengths. In contrast to 7 here both the rows and the columns record the angle of incidence 116 , The angle of incidence 116 is recorded in two spatial directions.

Mit anderen Worten ist in 8 ein Spektrometer 100 mit einem Fabry-Pérot-Interferometer 108 zur Abstandsmessung und zur Einfallswinkelmessung dargestellt.In other words, is in 8th a spectrometer 100 represented with a Fabry-Pérot interferometer 108 for distance measurement and for angle of incidence measurement.

Mikromechanische Fabry-Perot-Interferometer (FPI) 108 bestehen aus zwei Spiegelelementen, die auf einem Substrat über einem Durchgangsloch angeordnet sind. Interferometer 108 können auch aus zwei Substraten mit Durchgangslöchern konstruiert sein. Der Lichtstrahl 106 sollte vertikal durch die Sandwichbauform mit zwei hochreflektierenden Spiegeln geleitet werden, wobei jeweils schmalbandige Bereiche um eine Resonanzwellenlänge und deren Obertöne in Abhängigkeit vom Abstand der beiden Spiegel transmittiert werden. Durch Variation des Abstandes kann die gewünschte Resonanzwellenlänge eingestellt werden, in einem nachfolgenden Detektor 110 gemessen werden und so seriell ein Spektrum aufgenommen werden. Ein zusätzlicher sich davor befindender Bandpassfilter kann die gewünschte Ordnung herausfiltern, sodass Fehler durch andere Ordnungen minimiert werden.Micromechanical Fabry-Perot Interferometer (FPI) 108 consist of two mirror elements, which are arranged on a substrate above a through hole. interferometer 108 can also be constructed from two substrates with through holes. The beam of light 106 should be guided vertically through the sandwich design with two highly reflecting mirrors, whereby narrow-band areas are transmitted around a resonance wavelength and their overtones depending on the distance between the two mirrors. The desired resonance wavelength can be set by varying the distance in a subsequent detector 110 be measured and thus a spectrum can be recorded serially. An additional bandpass filter in front of it can filter out the desired order so that errors caused by other orders are minimized.

Bei Fabry-Pérot Interferometern (FPI) 108 als linear variabler Filter 108 oder mechanisch abstimmbares Interferometer 108 bewirkt eine Variation des Einfallswinkels 116 des Lichtstrahles 106 eine Verschiebung der zu messenden Wellenlänge. Kommen gleichzeitig Lichtstrahlen 106 mit unterschiedlichen Einfallswinkeln 116 auf das spektrale Element 108, wird die mögliche Wellenlängenauflösung verringert. Spektren mit starken Transmissionsvariationen beziehungsweise Absorptionsvariationen in einem schmalen Wellenlängenbereich sind dadurch nicht mehr gut auflösbar. Ist diese Verteilung der Einfallswinkel 116 jedoch um einen bestimmten Winkel 116 abseits der Normalen 118 zentriert, führt dies zu einer Verschiebung des kompletten Spektrums, also einem Wellenlängen-Offsetfehler.For Fabry-Pérot interferometers (FPI) 108 as a linear variable filter 108 or mechanically tunable interferometer 108 causes a variation in the angle of incidence 116 of the light beam 106 a shift in the wavelength to be measured. Beams of light come at the same time 106 with different angles of incidence 116 on the spectral element 108 , the possible wavelength resolution is reduced. As a result, spectra with strong transmission variations or absorption variations in a narrow wavelength range can no longer be resolved easily. This distribution is the angle of incidence 116 but at a certain angle 116 away from the normal 118 centered, this leads to a shift of the entire spectrum, i.e. a wavelength offset error.

Bei Triangulationsverfahren sind Beleuchtungsachse und optische Achse 118 des Detektors 110 unterschiedlich. Bei vertikalen Verschiebungen des Targets 206 kommt es zu einer lateralen Verschiebung des Beleuchtungsspots, welche durch den Detektor 110 gemessen wird.The triangulation method uses the illumination axis and the optical axis 118 of the detector 110 differently. With vertical displacements of the target 206 there is a lateral displacement of the lighting spot, which is caused by the detector 110 is measured.

Bei dem hier vorgestellten Ansatz wird ein Triangulationsverfahren mit der Spektrum-Messtechnik kombiniert.In the approach presented here, a triangulation method is combined with the spectrum measurement technology.

Bei Spektrometern 100 wird der Offset der Wellenlängenverschiebung umso größer, desto dichter das Target 206 beziehungsweise Objekt an dem Spektrometer 100 positioniert ist. Bei gleicher lateraler Verschiebung zur optischen Achse 118 des Spektrometers 100 ergibt sich so eine Vergrößerung des Einfallswinkels 116 zur Flächennormalen 118.For spectrometers 100 the larger the offset of the wavelength shift, the denser the target 206 or object on the spectrometer 100 is positioned. With the same lateral displacement to the optical axis 118 of the spectrometer 100 this results in an increase in the angle of incidence 116 to the surface normal 118 ,

Je näher das Objekt am Spektrometer 100 positioniert werden kann, umso mehr reflektierte Leistung wird eingesammelt und das Signal zu Rausch Verhältnis kann verbessert werden. Dabei erfolgt eine Sammlung der Photonen eines beleuchtenden Körpers mit einem bestimmten Einfallswinkel und Reflexion, Absorption oder destruktiver Interferenz der nicht benötigten Photonen, sodass keine Fehlsignale erzeugt werden. Es erfolgt eine exzentrische Beleuchtung des Targets, um eine laterale Verschiebung des Beleuchtungsbereiches 206 im Verhältnis zur optischen Achse 118 des Spektrometers 100 zu erzeugen. Diese Verschiebung erzeugt eine Photonen Einfallswinkeländerung auf dem Spektrometer 100, welche zu einer Offsetverschiebung der Wellendetektion führt. Die Messung der Beleuchtungsspotposition erfolgt beispielsweise über den Lichtschwerpunkt am Ort des Detektors 110. Die Vorrichtung gemäß dem hier vorgestellten Ansatz führt eine Korrektur des Wellenlängen Spektrum Offsets in Abhängigkeit von der Beleuchtungsspotposition auf dem Detektor 110 aus.The closer the object is to the spectrometer 100 can be positioned, the more reflected power is collected and the signal to noise ratio can be improved. The photons of an illuminating body are collected with a certain angle of incidence and reflection, absorption or destructive interference of the photons not required, so that no false signals are generated. The target is illuminated eccentrically by a lateral displacement of the illumination area 206 in relation to the optical axis 118 of the spectrometer 100 to create. This shift produces a photon change in the angle of incidence on the spectrometer 100 , which leads to an offset shift of the shaft detection. The lighting spot position is measured, for example, via the light center at the location of the detector 110 , The device according to the approach presented here carries out a correction of the wavelength spectrum offset as a function of the lighting spot position on the detector 110 out.

In einem Ausführungsbeispiel ist das spektrale Element 108 wie in 7 ein linear variabler Filter 108. Die Beleuchtung 200 ist exzentrisch angeordnet. Eine Variation des Probenabstands resultiert in einem variierenden Einfallswinkel 116 der diffus reflektierten Strahlung. In jeder Zeile sorgt das linear variable Filter 108 für eine Abbildung des Spektrums. Die Variation des Winkels 11 sorgt für eine Verschiebung des Differenzsignals zwischen den Zeilen, woraus der Winkel 116 bestimmt werden kann.In one embodiment, the spectral element is 108 as in 7 a linear variable filter 108 , The lighting 200 is arranged eccentrically. A variation in the sample distance results in a varying angle of incidence 116 the diffusely reflected radiation. The linear variable filter ensures each line 108 for a mapping of the spectrum. The variation of the angle 11 ensures a shift of the difference signal between the lines, from which the angle 116 can be determined.

9 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens 900 zum Betreiben eines Spektrometers gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Verfahren 900 weist einen Schritt 902 des Ermittelns und einen Schritt 904 des Kompensierens auf. Im Schritt 902 des Ermittelns wird ein Kompensationswert zum Kompensieren eines Offsets eines von dem Spektrometer erfassten Spektrums unter Verwendung eines Winkelwerts ermittelt. Der Winkelwert repräsentiert einen Einfallswinkel von Licht, welches während eines Erfassens des Spektrums auf das Spektrometer eingefallen ist. Im Schritt 904 des Kompensierens wird das Spektrum unter Verwendung des Kompensationswerts kompensiert, um ein winkelkompensiertes Spektrum zu erhalten. Im Schritt des Ermittelns (902) wird der Einfallswinkel (116) von während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer einfallenden Lichts (106) von der Winkelerfassungseinrichtung (132) erfasst und in dem Winkelwert (128) abgebildet. Die Winkelerfassungseinrichtung (132) weist hierbei einen Fotodetektor (110) auf, der ein Pixelfeld (134) mit einer Mehrzahl von je einen Intensitätswert (112) bereitstellenden Pixeln (136) aufweist. Die Winkelerfassungseinrichtung (132) ist dazu ausgebildet, unter Verwendung der Intensitätswerte (112) den Winkelwert (128) zu bestimmen. Eine Beleuchtungseinrichtung (200) ist vorgesehen, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor (110) angeordnet ist. Die Pixel (136) sind hierbei an einer Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung (200) und dem Fotodetektor (110) ausgerichtet. 9 shows a flow chart of a method 900 for operating a spectrometer according to an embodiment. The procedure 900 has a step 902 of identifying and taking a step 904 of compensation. In step 902 of the determination, a compensation value for compensating an offset of a spectrum recorded by the spectrometer is determined using an angle value. The angle value represents an angle of incidence of light which has been incident on the spectrometer while the spectrum is being acquired. In step 904 of compensation, the spectrum is compensated using the compensation value to obtain an angle compensated spectrum. In the step of determining ( 902 ) the angle of incidence ( 116 ) from during a spectrum acquisition ( 104 ) light falling on the spectrometer ( 106 ) from the angle detection device ( 132 ) recorded and in the angular value ( 128 ) mapped. The angle detection device ( 132 ) has a photo detector ( 110 ) on a pixel field ( 134 ) with a plurality of intensity values each ( 112 ) providing pixels ( 136 ) having. The angle detection device ( 132 ) is designed to use the intensity values ( 112 ) the angular value ( 128 ) to determine. A lighting device ( 200 ) is provided which is laterally offset to the photodetector ( 110 ) is arranged. The pixels ( 136 ) are on an axis between the lighting device ( 200 ) and the photo detector ( 110 ) aligned.

Umfasst ein Ausführungsbeispiel eine „und/oder“-Verknüpfung zwischen einem ersten Merkmal und einem zweiten Merkmal, so ist dies so zu lesen, dass das Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform sowohl das erste Merkmal als auch das zweite Merkmal und gemäß einer weiteren Ausführungsform entweder nur das erste Merkmal oder nur das zweite Merkmal aufweist.If an exemplary embodiment comprises a “and / or” link between a first feature and a second feature, this is to be read in such a way that the embodiment according to one embodiment has both the first feature and the second feature and according to a further embodiment either only that has the first feature or only the second feature.

Claims (12)

Vorrichtung (102) zum Betreiben eines Spektrometers (100), wobei die Vorrichtung (102) die folgenden Merkmale aufweist: eine Ermittlungseinrichtung (122) zum Ermitteln eines Kompensationswerts (126) zum Kompensieren eines Offsets (120) eines von dem Spektrometer (100) erfassten Spektrums (104) unter Verwendung eines Winkelwerts (128), wobei der Winkelwert (128) einen Einfallswinkel (116) von Licht (106) repräsentiert, welches während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer (100) eingefallen ist; und eine Kompensationseinrichtung (124) zum Kompensieren des Spektrums (104) unter Verwendung des Kompensationswerts (126), um ein winkelkompensiertes Spektrum (130) zu erhalten, gekennzeichnet durch eine Winkelerfassungseinrichtung (132), die dazu ausgebildet ist, den Einfallswinkel (116) von während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer einfallenden Lichts (106) zu erfassen und in dem Winkelwert (128) abzubilden, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) einen Fotodetektor (110) aufweist, der ein Pixelfeld (134) mit einer Mehrzahl von je einen Intensitätswert (112) bereitstellenden Pixeln (136) aufweist, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) dazu ausgebildet ist, unter Verwendung der Intensitätswerte (112) den Winkelwert (128) zu bestimmen und wobei die Vorrichtung (102) eine Beleuchtungseinrichtung (200) aufweist, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor (110) angeordnet ist, wobei die Pixel (136) an einer Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung (200) und dem Fotodetektor (110) ausgerichtet sind. Device (102) for operating a spectrometer (100), the device (102) having the following features: a determining device (122) for determining a compensation value (126) for compensating an offset (120) of one detected by the spectrometer (100) Spectrum (104) using an angular value (128), the angular value (128) representing an angle of incidence (116) of light (106) which was incident on the spectrometer (100) during acquisition of the spectrum (104); and compensation means (124) for compensating the spectrum (104) using the compensation value (126) to obtain an angle-compensated spectrum (130), characterized by an angle detection means (132) which is designed to determine the angle of incidence (116) of during a detection of the spectrum (104) to detect light (106) incident on the spectrometer and to image it in the angle value (128), the angle detection device (132) having a photodetector (110) which has a pixel array (134) with a plurality of Each has an intensity value (112) providing pixels (136), the angle detection device (132) being designed to determine the angle value (128) using the intensity values (112), and the device (102) has an illumination device (200) , which is arranged laterally offset to the photodetector (110), the pixels (136) on an axis between the lighting device (20 0) and the photodetector (110) are aligned. Vorrichtung (102) gemäß Anspruch 1, bei der der Fotodetektor (110) ausgebildet ist, um einen Winkel unter Verwendung eines Lichtschwerpunkts von auf den Fotodetektor (110) einfallendem Licht zu bestimmen..Device (102) according to Claim 1 , in which the photodetector (110) is designed to determine an angle using a center of gravity of light incident on the photodetector (110). Vorrichtung (102) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, bei der der Fotodetektor (110) als zumindest zweiteilige Fotodiode, Quadranten-Fotodiode oder Detektor-Array (134) ausgeführt ist.Device (102) according to any one of the preceding claims, in which the photodetector (110) is designed as an at least two-part photodiode, quadrant photodiode or detector array (134). Vorrichtung (102) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, wobei die der Winkelerfassungseinrichtung (132) ausgebildet ist, um aus den gleichzeitig erfassten Intensitätswerten (112) der einzelnen Pixel (136) auf den Einfallswinkel (116) zu schließen.Device (102) according to one of the preceding claims, wherein that of the angle detection device (132) is designed to infer the angle of incidence (116) from the simultaneously acquired intensity values (112) of the individual pixels (136). Vorrichtung (102) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, bei der die Pixel (136) zweidimensional flächig angeordnet sind, wobei in einer ersten Richtung ausgerichtete Pixel (136) ausgebildet sind, um das Spektrum (104) zu erfassen und quer dazu ausgerichtete Pixel (106) ausgebildet sind, um die Intensitätswerte (112) bereitzustellen.Device (102) according to one of the preceding claims, in which the pixels (136) are arranged two-dimensionally flat, with pixels (136) aligned in a first direction being designed to capture the spectrum (104) and pixels (106) aligned transversely thereto ) are designed to provide the intensity values (112). Vorrichtung (102) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, bei der der Fotodetektor (110) dazu ausgebildet ist, das Spektrum (104) zu erfassen.Device (102) according to one of the preceding claims, in which the photodetector (110) is designed to detect the spectrum (104). Spektrometer (100) mit einer Vorrichtung (102) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6.Spectrometer (100) with a device (102) according to one of the Claims 1 to 6 , Spektrometer (100) gemäß Anspruch 7, bei dem ein spektrales Element (108) des Spektrometers (100) als linear variabler Filter (108) ausgebildet ist.Spectrometer (100) according to Claim 7 , in which a spectral element (108) of the spectrometer (100) is designed as a linearly variable filter (108). Spektrometer (100) gemäß Anspruch 7, bei dem ein spektrales Element (108) des Spektrometers (100) als mikromechanisches Interferometer (108) ausgebildet ist.Spectrometer (100) according to Claim 7 , in which a spectral element (108) of the spectrometer (100) is designed as a micromechanical interferometer (108). Verfahren (900) zum Betreiben eines Spektrometers (100) gemäß einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei das Verfahren (900) die folgenden Schritte aufweist: Ermitteln (902) eines Kompensationswerts (126) zum Kompensieren eines Offsets (120) eines von dem Spektrometer (100) erfassten Spektrums (104) unter Verwendung eines Winkelwerts (128), wobei der Winkelwert (128) einen Einfallswinkel (116) von Licht (106) repräsentiert, welches während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer (100) eingefallen ist; und Kompensieren (902) des Spektrums (104) unter Verwendung des Kompensationswerts (126), um ein winkelkompensiertes Spektrum (130) zu erhalten, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt des Ermittelns (902) der Einfallswinkel (116) von während eines Erfassens des Spektrums (104) auf das Spektrometer einfallenden Lichts (106) von der Winkelerfassungseinrichtung (132) erfasst wird und in dem Winkelwert (128) abgebildet wird, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) einen Fotodetektor (110) aufweist, der ein Pixelfeld (134) mit einer Mehrzahl von je einen Intensitätswert (112) bereitstellenden Pixeln (136) aufweist, wobei die Winkelerfassungseinrichtung (132) dazu ausgebildet ist, unter Verwendung der Intensitätswerte (112) den Winkelwert (128) zu bestimmen und wobei eine Beleuchtungseinrichtung (200) vorgesehen ist, die seitlich versetzt zu dem Fotodetektor (110) angeordnet ist, wobei die Pixel (136) an einer Achse zwischen der Beleuchtungseinrichtung (200) und dem Fotodetektor (110) ausgerichtet sind.Method (900) for operating a spectrometer (100) according to one of the Claims 7 to 9 The method (900) comprises the following steps: determining (902) a compensation value (126) for compensating an offset (120) of a spectrum (104) acquired by the spectrometer (100) using an angle value (128), the Angle value (128) represents an angle of incidence (116) of light (106), which was incident on the spectrometer (100) while the spectrum (104) was being acquired; and compensating (902) the spectrum (104) using the compensation value (126) to obtain an angle compensated spectrum (130), characterized in that in the step of determining (902) the angle of incidence (116) from during an acquisition of the spectrum (104) light incident on the spectrometer (106) is detected by the angle detection device (132) and is imaged in the angle value (128), the angle detection device (132) having a photodetector (110) which has a pixel field (134) with a A plurality of pixels (136) each providing an intensity value (112), the angle detection device (132) being designed to use the intensity values (112) to determine the angle value (128) and an illumination device (200) is provided which is laterally offset from the photodetector (110), the pixels (136) being located on an axis between the lighting device (200) and the photodetector (11 0) are aligned. Computerprogramm, das dazu eingerichtet ist, das Verfahren (900) gemäß Anspruch 10 auszuführen.Computer program, which is set up according to the method (900) Claim 10 perform. Maschinenlesbares Speichermedium, auf dem das Computerprogramm nach Anspruch 11 gespeichert ist.Machine-readable storage medium on which the computer program is based Claim 11 is saved.
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