DE102016214940A1 - Pressure measuring cell and method for applying a measuring structure - Google Patents

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Michael Schlitzkus
Stefan Lehenberger
Ruben Wahl
Helmut Seiband
Valentin Notemann
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Druckmesszelle (50) mit einem Träger (52), welcher eine Messmembran (52.1) ausbildet, welche sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Drucks (P) verformt, wobei auf dem Träger (52) eine Messstruktur (55) aufgebracht ist, welche die Verformung der Messmembran (52.1) erfasst und mindestens ein den erfassten Druck (P) repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt, sowie ein Verfahren zum Aufbringen einer Messstruktur (55) und eine Messeinheit und eine Drucksensoreinheit mit einer solchen Druckmesszelle (50). Hierbei ist die Messstruktur (55) auf den Träger (52) aufgedruckt.The invention relates to a pressure measuring cell (50) having a carrier (52) which forms a measuring diaphragm (52.1) which deforms under the action of a pressure (P) to be detected, a measuring structure (55) being applied to the carrier (52) which detects the deformation of the measuring diaphragm (52.1) and generates at least one electrical output signal representing the detected pressure (P), and a method for applying a measuring structure (55) and a measuring unit and a pressure sensor unit with such a pressure measuring cell (50). Here, the measuring structure (55) is printed on the carrier (52).

Figure DE102016214940A1_0001
Figure DE102016214940A1_0001

Description

Die Erfindung geht aus von einer Druckmesszelle oder einem Verfahren zum Aufbringen einer Messstruktur nach Gattung der unabhängigen Ansprüche. Gegenstand der vorliegenden Erfindung sind auch eine Messeinheit und eine Drucksensoreinheit mit einer solchen Druckmesszelle.The invention relates to a pressure measuring cell or a method for applying a measuring structure according to the preamble of the independent claims. The subject of the present invention is also a measuring unit and a pressure sensor unit with such a pressure measuring cell.

Aus dem Stand der Technik sind zur Druckmessung aus mehreren Komponenten hergestellte Drucksensoreinheiten bekannt. Die Umwandlung des Drucks in ein elektrisches Signal wird durch eine sogenannte Druckmesszelle umgesetzt. Auf diese Druckmesszelle wird mit Hilfe von verschiedenen Dünnschichtverfahren eine Messbrücke, vorzugsweise eine Wheatstone-Brücke aufgebracht. Diese Dünnschichtverfahren sind sehr aufwendig und teuer und müssen in einem Reinraum durchgeführt werden, damit die dünnen Schichten ohne Einschlüsse, Verschmutzungen oder Fehlstellen hergestellt werden können. Für die Dünnschichtverfahren müssen die Oberflächen der Druckmesszellen zumindest geschliffen sein.From the prior art, pressure sensor units made from a plurality of components are known for pressure measurement. The conversion of the pressure into an electrical signal is implemented by a so-called pressure measuring cell. A measuring bridge, preferably a Wheatstone bridge, is applied to this pressure measuring cell with the aid of various thin-film methods. These thin-film processes are very complicated and expensive and have to be carried out in a clean room, so that the thin layers can be produced without inclusions, dirt or defects. For the thin-film process, the surfaces of the pressure measuring cells must at least be ground.

Aus der DE 10 2014 221 365 A1 ist eine Vormontagebaugruppe für eine Sensoreinheit und eine korrespondierende Sensoreinheit mit einem als Druckmesszelle ausgeführten Messelement, einem rotationssymmetrischen Sensorträger und einem Schaltungsträger bekannt. Das Messelement ist mit dem Sensorträger verbunden und der Schaltungsträger weist eine interne Schnittstelle auf, welche mindestens ein elektrische Ausgangssignals des Messelements abgreift. Ein Grundkörper des Schaltungsträgers ist als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie ausgeführt, welche an eine Außenkontur des Messelements angepasst ist und das Messelement umschließt. Zudem ist der Grundkörper des Schaltungsträgers ist über eine Clipsverbindung mit dem Sensorträger mechanisch verbunden.From the DE 10 2014 221 365 A1 a preassembly assembly for a sensor unit and a corresponding sensor unit with a designed as a pressure measuring cell measuring element, a rotationally symmetric sensor carrier and a circuit carrier is known. The measuring element is connected to the sensor carrier and the circuit carrier has an internal interface, which picks up at least one electrical output signal of the measuring element. A main body of the circuit carrier is designed as a hollow cylinder with an inner joining geometry, which is adapted to an outer contour of the measuring element and surrounds the measuring element. In addition, the main body of the circuit carrier is mechanically connected via a clip connection with the sensor carrier.

Offenbarung der ErfindungDisclosure of the invention

Die Druckmesszelle Verfahren mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 und das Verfahren zum Aufbringen einer Messstruktur mit den Merkmalen des unabhängigen Patentanspruchs 1 haben den Vorteil, dass ein einfacher und kostengünstiger Drucksensor hergestellt werden kann, welcher anstatt einer aufwendig präparierten Druckmesszelle einfacher und kostengünstiger hergestellte Druckmesszellen verwendet. Durch den Ersatz des teuren und aufwendigen Dünnschichtverfahrens durch ein einfaches Drucken von Widerstandsbahnen auf nahezu jede Oberfläche ist eine große Varianz bei den zu beschichtenden Geometrien der Druckmesszellen möglich. Zudem kann die Messstruktur in vorteilhafter Weise auch auf unebene Oberflächenbereiche des Trägers gedruckt werden. Dadurch können beispielsweise hydraulische und/oder elektrische Anschlussgeometrien in die Geometrie der Druckmesszelle integriert werden, so dass auf eine Trennung von Druckmesszelle und Schaltungsträger verzichtet werden kann. Des Weiteren können mehrere Komponenten zu einem Bauteil bzw. einer Vormontagebaugruppe zusammengefasst werden. Es ist in vorteilhafter Weise auch möglich die Messstruktur direkt auf einen Fluidblock aufzubringen, in welchem der Druck gemessen werden soll. Da für das Druckverfahren keine Reinraumbedingungen erforderlich sind, können die Herstellungskosten für die Druckmesszelle und korrespondierende Messeinheiten bzw. Drucksensoreinheiten mit einer solchen Druckmesszelle weiter reduziert werden.The pressure measuring cell method with the features of independent claim 1 and the method for applying a measuring structure with the features of independent claim 1 have the advantage that a simple and inexpensive pressure sensor can be produced, which uses simple and inexpensive manufactured pressure measuring cells instead of a consuming prepared pressure measuring cell , By replacing the expensive and expensive thin-film process by simply printing resistance paths on almost every surface, a large variance in the geometries of the pressure measuring cells to be coated is possible. In addition, the measuring structure can be printed on uneven surface areas of the carrier in an advantageous manner. As a result, for example, hydraulic and / or electrical connection geometries can be integrated into the geometry of the pressure measuring cell, so that it is possible to dispense with a separation of pressure measuring cell and circuit carrier. Furthermore, several components can be combined to form a component or a preassembly assembly. It is also advantageously possible to apply the measurement structure directly to a fluid block in which the pressure is to be measured. Since no clean room conditions are required for the printing process, the manufacturing costs for the pressure measuring cell and corresponding measuring units or pressure sensor units with such a pressure measuring cell can be further reduced.

Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung stellen eine Druckmesszelle mit einem Träger zur Verfügung, welcher eine Messmembran ausbildet. Die Messmembran verformt sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Drucks. Zudem ist auf dem Träger eine Messstruktur aufgebracht, welche die Verformung der Messmembran erfasst und mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt. Hierbei ist die Messstruktur auf den Träger aufgedruckt.Embodiments of the present invention provide a pressure measuring cell with a carrier which forms a measuring diaphragm. The measuring diaphragm deforms under the effect of a pressure to be detected. In addition, a measuring structure is applied to the carrier, which detects the deformation of the measuring diaphragm and generates at least one electrical output signal representing the detected pressure. Here, the measuring structure is printed on the carrier.

Zudem wird ein Verfahren zum Aufbringen einer Messstruktur auf einen Träger einer Druckmesszelle vorgeschlagen. Hierbei wird eine Oberfläche des Trägers gereinigt und die Messstruktur auf die Oberfläche des Trägers aufgedruckt.In addition, a method for applying a measuring structure to a support of a pressure measuring cell is proposed. Here, a surface of the carrier is cleaned and printed the measuring structure on the surface of the carrier.

Vorzugsweise werden berührungslose Drucksysteme bzw. Druckverfahren, wie beispielsweise Inkjet-Systeme bzw. Inkjet-Verfahren eingesetzt, welche Tintentropfen auf die Trägeroberfläche schießen, um die Messstruktur auf den Träger zu drucken. Anstelle der normalen Drucktinte werden Tinten (Aceton/Ethanol) verwendet, welche elektrisch leitfähige Stoffe, wie Metallpartikel und/oder Kohlenstoffpartikel, mit einem vorgegebenen spezifischen ohmschen Widerstand oder Leitwert enthalten. Durch diese Druckverfahren können die Messstrukturen mit einer entsprechenden Geometrie gedruckt werden, welche durch die enthaltenen elektrisch leitfähigen Stoffe einen gewünschten ohmschen Flächenwiderstand aufweisen.Preferably, non-contact printing systems or printing methods, such as inkjet systems or inkjet methods are used, which shoot drops of ink on the support surface to print the measurement structure on the support. Instead of the normal printing inks, inks (acetone / ethanol) are used which contain electrically conductive substances, such as metal particles and / or carbon particles, with a given specific ohmic resistance or conductance. By means of these printing methods, the measuring structures can be printed with a corresponding geometry, which have a desired ohmic sheet resistance due to the contained electrically conductive substances.

So können beispielsweise kontinuierliche Inkjet-Verfahren eingesetzt werden, welche eine Düsenplatte mit mehreren Düsen verwenden und in hoher Frequenz kontinuierlich Tintentropfen in Richtung zu bedruckender Oberfläche spritzen. Die Tintentropfen werden beim Austritt aus der Düsenplatte elektrostatisch aufgeladen und durch das Anlegen unterschiedlicher Ströme abgelenkt. Durch diese Ablenkung entsteht auf der zu bedruckenden Oberfläche die gewünschte Messstruktur. Nicht verwendete bzw. abgelenkte Tropfen werden wieder aufgefangen und dem Tintenkreislauf rückgeführt. Zudem können kontinuierliche Aerosol-Jetverfahren eingesetzt werden, bei welchen Tintentropfen mit den leitfähigen Stoffen durch Ultraschall oder Luftverwirbelungen zerstäubt und gesprüht werden. Alternativ können Drop-on-Demand-Verfahren eingesetzt werden, welche die Tropfen mit einer vorgegebenen Größe erzeugen und einzeln in Richtung zu bedruckender Oberfläche spritzen. Bei den Drop-on-Demand-Verfahren befindet sich die Tinte mit den leitfähigen Stoffen in einem Tank im Druckkopf. Im Tank wird ein Unterdruck aufgebaut, damit die Tinte nicht von selbst aus den Düsen unterhalb des Kopfes austritt. Der Druck ist so eingestellt, dass sich immer ein Tropfen Tinte in der Düse befindet. Durch geeignete Mittel wird die Düsenkammer verkleinert und der Tropfen mit den leitfähigen Stoffen aus der Düse auf die zu bedruckende Oberfläche geschossen, so dass die gewünschte Messstruktur entsteht. Der Vorteil dieses Systems ist, dass die Tropfengröße gesteuert werden kann. Zudem können lösungsmittelbasierende Tinten mit einer höheren Viskosität als bei den kontinuierlichen Inkjet-Verfahren verwendet werden.Thus, for example, continuous inkjet processes can be used which use a nozzle plate with a plurality of nozzles and continuously inject ink droplets at high frequency in the direction of the surface to be printed. The ink drops are electrostatically charged upon exiting the nozzle plate and deflected by the application of different currents. This deflection creates the desired measurement structure on the surface to be printed. Unused or deflected drops are collected again and returned to the ink circuit. In addition, continuous aerosol jet processes can be used in which ink drops are atomized and sprayed with the conductive substances by ultrasound or air turbulence. Alternatively, drop-on-demand methods can be used, which generate the droplets of a predetermined size and spray individually towards the surface to be printed. In the drop-on-demand process, the ink containing the conductive substances is in a tank in the printhead. In the tank, a vacuum is built up so that the ink does not escape from the nozzles below the head by itself. The pressure is set so that there is always a drop of ink in the nozzle. By suitable means, the nozzle chamber is reduced in size and the droplets are shot with the conductive substances from the nozzle onto the surface to be printed, so that the desired measurement structure is formed. The advantage of this system is that the droplet size can be controlled. In addition, solvent-based inks having a higher viscosity than the continuous inkjet processes can be used.

Des Weiteren werden eine Messeinheit mit einer solchen Druckmesszelle, einem Sensorträger und einem Schaltungsträger vorgeschlagen, welche als Vormontagebaugruppe für eine Drucksensoreinheit ausbildet sind. Die Druckmesszelle erzeugt mindestens ein den erfassten Druck repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal und weist mindestens eine erste Kontaktstelle auf, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgreifbar ist. Die Druckmesszelle ist mit dem Sensorträger mechanisch verbunden, welcher eine Fluidverbindung zwischen dem zu messenden Medium und der Druckmesszelle herstellt. Der Schaltungsträger ist mit dem Sensorträger mechanisch verbunden und die mindestens eine erste Kontaktstelle der Druckmesszelle ist elektrisch mit mindestens einer zweiten Kontaktstelle des Schaltungsträgers elektrisch verbunden, welche mit einer dritten Kontaktstelle einer auf einer Leiterplatte angeordneten elektronischen Schaltung verbindbar ist.Furthermore, a measuring unit with such a pressure measuring cell, a sensor carrier and a circuit carrier are proposed, which are formed as a preassembly assembly for a pressure sensor unit. The pressure measuring cell generates at least one electrical output signal representing the detected pressure and has at least one first contact point, via which the at least one electrical output signal can be tapped off. The pressure measuring cell is mechanically connected to the sensor carrier, which produces a fluid connection between the medium to be measured and the pressure measuring cell. The circuit carrier is mechanically connected to the sensor carrier and the at least one first contact point of the pressure measuring cell is electrically connected to at least one second contact point of the circuit carrier, which is connectable to a third contact point of an electronic circuit arranged on a printed circuit board.

Vorzugsweise kann die Druckmesszelle in einer Drucksensoreinheit mit einer Schutzhülse verwendet, in welcher die Druckmesszelle, der Schaltungsträger und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers angeordneten Leiterplatte, welche eine elektronische Schaltung mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil trägt, und einer Stützeinheit angeordnet sind, welche einen Grundkörper mit einer Außenkontur umfasst und die Schutzhülse verschließt. Die Druckmesszelle ist mit dem Sensorträger verbunden, welcher einen Befestigungsflansch mit einem Verbindungsbereich für die Schutzhülse aufweist. Ein Grundkörper des Schaltungsträgers ist mit dem Sensorträger mechanisch verbunden und weist eine interne Schnittstelle auf, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle abgreift und an die elektronische Schaltung anlegt. Der Grundkörper der Stützeinheit bildet eine externe Schnittstelle mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle aus, über welche mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung abgreifbar ist. Die mindestens eine Kontaktstelle ist über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte elektrisch verbunden.Preferably, the pressure measuring cell can be used in a pressure sensor unit with a protective sleeve in which the pressure measuring cell, the circuit carrier and a connection and circuit device having a printed circuit board arranged perpendicular to the surface of the circuit carrier and carrying an electronic circuit with at least one electronic and / or electrical component. and a support unit are arranged, which comprises a base body with an outer contour and closes the protective sleeve. The pressure measuring cell is connected to the sensor carrier, which has a mounting flange with a connection region for the protective sleeve. A main body of the circuit carrier is mechanically connected to the sensor carrier and has an internal interface which picks up at least one electrical output signal of the pressure measuring cell and applies it to the electronic circuit. The main body of the support unit forms an external interface with at least one electrical contact point, via which at least one output signal of the electronic circuit can be tapped off. The at least one contact point is electrically connected via an electrical connection with a corresponding contact point of the printed circuit board.

Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen und Weiterbildungen sind vorteilhafte Verbesserungen der im unabhängigen Patentanspruch 1 angegebenen Druckmesszelle, des im unabhängigen Patentanspruch 1 angegebenen Verfahrens zum Aufbringen einer Messstruktur, der im unabhängigen Patentanspruch 10 angegebenen Messeinheit und der im unabhängigen Patentanspruch 19 angegebenen Drucksensoreinheit möglich.The measures and refinements recited in the dependent claims advantageous improvements of the independent claim 1 pressure measuring cell, specified in the independent claim 1 method for applying a measuring structure, the specified in the independent claim 10 measuring unit and the pressure sensor unit specified in the independent claim 19 are possible.

Besonders vorteilhaft ist, dass zwischen der Messstruktur und einer Oberfläche des Trägers eine Isolationsschicht aufgebracht werden kann. Durch die Isolationsschicht können in vorteilhafter Weise ungewollte Kurzschlüsse zwischen den Bauteilen der Messstruktur vermieden und das Aufdrucken der Messstruktur erleichtert werden. Zudem kann auf die Messstruktur eine Schutzschicht aufgebracht werden, welche die Bauteile der Messstruktur vor Verschmutzung und Feuchtigkeit schützen, so dass Kurzschlüsse und eine elektrochemische Korrosion in vorteilhafter Weise verhindert werden können.It is particularly advantageous that an insulating layer can be applied between the measuring structure and a surface of the carrier. The insulation layer advantageously prevents unwanted short circuits between the components of the measurement structure and facilitates the imprinting of the measurement structure. In addition, a protective layer can be applied to the measuring structure, which protect the components of the measuring structure from dirt and moisture, so that short circuits and electrochemical corrosion can be advantageously prevented.

In vorteilhafter Ausgestaltung der Druckmesszelle kann die Messstruktur eine Messbrücke und mindestens eine erste Kontaktstelle aufweisen, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgegriffen werden kann. Die Messbrücke kann mehrere Widerstandsbahnen und Leitungsbahnen umfassen, welche die Widerstandsbahnen und/oder die mindestens einer erste Kontaktstelle schaltungsgemäß miteinander verbinden können. Die Messbrücke ist vorzugsweise als Wheatstone-Brücke ausgeführt, wobei die einzelnen Widerstände der Wheatstone-Brücke als Mäander ausgebildet werden können.In an advantageous embodiment of the pressure measuring cell, the measuring structure may have a measuring bridge and at least one first contact point, via which the at least one electrical output signal can be tapped. The measuring bridge may comprise a plurality of resistance paths and conductor paths, which can connect the resistance paths and / or the at least one first contact point according to the circuit. The measuring bridge is preferably designed as a Wheatstone bridge, wherein the individual resistors of the Wheatstone bridge can be formed as a meander.

In vorteilhafter Ausgestaltung des Verfahrens zum Aufbringen einer Messstruktur können die Isolationsschicht und/oder die Schutzschicht mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht werden. Ein solches Plasmaverfahren kann in vorteilhafter Weise in einen laufenden Montagprozess integriert werden, da keine besonderen Anforderungen an die Umgebungsbedingungen gestellt werden.In an advantageous embodiment of the method for applying a measuring structure, the insulating layer and / or the protective layer can be applied by means of an atmospheric plasma method. Such a plasma process can advantageously be integrated into an ongoing assembly process, since no special demands are placed on the ambient conditions.

In vorteilhafter Ausgestaltung der Messeinheit kann der Träger beispielsweise als Tiefziehhülse oder als Scheibe oder als Abschnitt eines Fluidblocks ausgeführt werden. Der Sensorträger kann beispielsweise als Drehteil mit einer axialen Innenbohrung und einem ringförmigen Befestigungsflansch und mindestens einem Verbindungsbereich ausgeführt werden, wobei an einem ersten Ende der Innenbohrung ein Messanschluss ausgebildet ist und ein zweites Ende der Innenbohrung durch die Messmembran der Druckmesszelle abgeschlossen ist. Zudem kann der als Tiefziehhülse und/oder Scheibe ausgeführte Träger fluiddicht mit dem Sensorträger verbunden werden. In an advantageous embodiment of the measuring unit, the carrier can be designed, for example, as a thermoformed sleeve or as a disk or as a section of a fluid block. The sensor carrier can be designed, for example, as a rotating part with an axial inner bore and an annular fastening flange and at least one connecting region, wherein a measuring port is formed at a first end of the inner bore and a second end of the inner bore is closed by the measuring diaphragm of the pressure measuring cell. In addition, the carrier designed as a deep-drawing sleeve and / or disk can be connected in a fluid-tight manner to the sensor carrier.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Messeinheit kann der als Scheibe ausgeführte Träger an den Sensorträger angeformt werden und in einem Arbeitsgang mit dem Sensorträger gefertigt werden.In a further advantageous embodiment of the measuring unit, the carrier designed as a disk can be molded onto the sensor carrier and manufactured in one operation with the sensor carrier.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Messeinheit kann der Fluidblock den Sensorträger ausbilden und eine Bohrung aufweisen, welche fluiddicht von der Messmembran der Druckmesszelle abgeschlossen wird. Bei dieser Ausführungsform kann die Messstruktur direkt auf die Oberfläche des Fluidblocks aufgedruckt werden, in welchem der Druck gemessen werden soll.In a further advantageous embodiment of the measuring unit, the fluid block can form the sensor carrier and have a bore, which is closed in a fluid-tight manner by the measuring diaphragm of the pressure measuring cell. In this embodiment, the measurement structure can be printed directly on the surface of the fluid block in which the pressure is to be measured.

In weiterer vorteilhafter Ausgestaltung der Messeinheit können am Grundkörper des Schaltungsträgers als äußere Fügegeometrie zwei Aussparungen zur Aufnahme von korrespondierenden Führungsschenkeln einer Leiterplatte ausgebildet werden, wobei am Rand der Aussparungen jeweils zwei elektrisch leitende Bereiche angeordnet werden können, welche in die Aussparungen hineinreichen und jeweils eine zweite Kontaktstelle ausbilden können. Der Grundkörper des Schaltungsträgers kann beispielsweise als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie ausgeführt werden, welche an eine Außenkontur der Druckmesszelle angepasst ist und die Druckmesszelle umschließt. Hierbei können die beiden elektrisch leitenden Bereiche der jeweiligen Aussparung zusätzlich jeweils eine Bondfläche ausbilden, welche jeweils über einen Bonddraht mit einer korrespondierenden ersten Kontaktstelle der Druckmesszelle elektrisch verbunden werden können. Alternativ kann der als Scheibe oder als Abschnitt des Fluidblocks ausgeführte Träger der Druckmesszelle den Grundkörper des Schaltungsträgers ausbilden. Hierbei können die ersten Kontaktstellen der Druckmesszelle einfach über Leitungsbahnen mit den korrespondierenden zweiten Kontaktstellen des Schaltungsträgers elektrisch verbunden werden. Dadurch können der Sensorträger, die Druckmesszelle und der Schaltungsträger als ein Bauteil ausgeführt werden.In a further advantageous embodiment of the measuring unit can be formed on the main body of the circuit substrate as the outer joining geometry two recesses for receiving corresponding guide legs of a printed circuit board, wherein at the edge of the recesses each two electrically conductive regions can be arranged, which extend into the recesses and each have a second contact point can train. The basic body of the circuit carrier can be designed, for example, as a hollow cylinder with an internal joining geometry, which is adapted to an outer contour of the pressure measuring cell and encloses the pressure measuring cell. In this case, the two electrically conductive regions of the respective recess additionally each form a bonding surface, which can each be electrically connected via a bonding wire with a corresponding first contact point of the pressure measuring cell. Alternatively, the carrier of the pressure measuring cell designed as a disk or as a section of the fluid block can form the main body of the circuit carrier. Here, the first contact points of the pressure measuring cell can be easily electrically connected via line paths to the corresponding second contact points of the circuit carrier. As a result, the sensor carrier, the pressure measuring cell and the circuit carrier can be designed as one component.

In einem weiteren Aspekt kann vorgesehen sein, dass die Drucksensoreinheit eine solche Messeinheit aufweist, welche die Druckmesszelle, den Sensorträger und den Schaltungsträger umfasst. Dadurch kann ein Grundkörper der Leiterplatte über eine mechanische Fügegeometrie mit dem Schaltungsträger gekoppelt werden, wobei die Fügegeometrie am Grundkörper der Leiterplatte eine Aussparung ausbildet, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten jeweils von einem Führungsschenkel begrenzt ist, wobei die Führungsschenkel im kontaktierten Zustand zumindest teilweise in korrespondierende Aussparungen der äußeren Fügegeometrie des Schaltungsträger eingesteckt sind.In a further aspect it can be provided that the pressure sensor unit has such a measuring unit, which comprises the pressure measuring cell, the sensor carrier and the circuit carrier. As a result, a main body of the printed circuit board can be coupled to the circuit carrier via a mechanical joining geometry, wherein the joining geometry forms a recess on the main body of the printed circuit board, which is bounded on two opposite sides by a respective guide leg, wherein the guide legs in the contacted state at least partially in corresponding recesses the outer joining geometry of the circuit board are inserted.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und werden in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. In der Zeichnung bezeichnen gleiche Bezugszeichen Komponenten bzw. Elemente, die gleiche bzw. analoge Funktionen ausführen.An embodiment of the invention is illustrated in the drawing and will be explained in more detail in the following description. Embodiments of the invention are illustrated in the drawings and are explained in more detail in the following description. In the drawing, like reference numerals designate components that perform the same or analog functions.

Kurze Beschreibung der ZeichnungenBrief description of the drawings

1 zeigt eine schematische perspektivische Teilschnittdarstellung eines ersten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Drucksensoreinheit mit einem ersten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle. 1 shows a schematic perspective partial sectional view of a first embodiment of a pressure sensor unit according to the invention with a first embodiment of a pressure measuring cell according to the invention.

2 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung der Druckmesszelle aus 1. 2 shows a schematic perspective view of the pressure measuring cell 1 ,

3 zeigt eine schematische perspektivische Teilschnittdarstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Drucksensoreinheit mit einem zweiten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle. 3 shows a schematic perspective partial sectional view of a second embodiment of a pressure sensor unit according to the invention with a second embodiment of a pressure measuring cell according to the invention.

4 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung einer Messeinheit mit der Druckmesszelle aus 3. 4 shows a schematic perspective view of a measuring unit with the pressure measuring cell 3 ,

5 zeigt eine schematische perspektivische Teilschnittdarstellung eines dritten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Drucksensoreinheit ohne Schutzhülse und mit einem dritten Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle. 5 shows a schematic perspective partial sectional view of a third embodiment of a pressure sensor unit according to the invention without protective sleeve and with a third embodiment of a pressure measuring cell according to the invention.

6 zeigt eine schematische perspektivische Teilschnittdarstellung des unteren Teils der Drucksensoreinheit aus 5. 6 shows a schematic partial perspective sectional view of the lower part of the pressure sensor unit 5 ,

7 zeigt eine schematische Perspektivdarstellung einer Messeinheit mit der Druckmesszelle aus 5 und 6. 7 shows a schematic perspective view of a measuring unit with the pressure measuring cell 5 and 6 ,

8 zeigt eine schematische Schnittdarstellung eines Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemäßen Druckmesszelle im Bereich einer Messmembran. 8th shows a schematic sectional view of an embodiment of a pressure measuring cell according to the invention in the region of a measuring diaphragm.

Ausführungsformen der ErfindungEmbodiments of the invention

Wie aus 1 bis 8 ersichtlich ist, umfassen die dargestellten Ausführungsbeispiele einer Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C jeweils einen Träger 52, 52A, 52B, 52C, welcher eine Messmembran 52.1 ausbildet. Die Messmembran 52.1 verformt sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Drucks P. Auf dem Träger 52 ist eine Messstruktur 55 aufgebracht, welche die Verformung der Messmembran 52.1 erfasst und mindestens ein den erfassten Druck P repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt. Hierbei ist die Messstruktur 55 auf den Träger 52 aufgedruckt.How out 1 to 8th can be seen, the illustrated embodiments include a pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C one carrier each 52 . 52A . 52B . 52C which is a measuring membrane 52.1 formed. The measuring membrane 52.1 deforms under the influence of a pressure to be detected P. On the carrier 52 is a measurement structure 55 applied, which the deformation of the measuring diaphragm 52.1 detected and generates at least one of the detected pressure P representing electrical output signal. Here is the measurement structure 55 on the carrier 52 printed.

Wie aus 1 bis 8 weiter ersichtlich ist, ist in den dargestellten Ausführungsbeispielen der Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C zwischen der Messstruktur 55 und einer Oberfläche des Trägers 52 eine Isolationsschicht 54 aufgebracht. Zudem ist auf die Messstruktur 55 eine Schutzschicht 57 aufgebracht, um diese vor Verschmutzung und Feuchtigkeit zu schützen.How out 1 to 8th is further apparent, is in the illustrated embodiments, the pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C between the measuring structure 55 and a surface of the carrier 52 an insulation layer 54 applied. In addition, the measuring structure is on 55 a protective layer 57 applied to protect them from dirt and moisture.

Wie insbesondere aus 2, 4 und 7 ersichtlich ist, weist die Messstruktur 55 in den dargestellten Ausführungsbeispielen eine Messbrücke 56 und vier erste Kontaktstellen 56.3 auf, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgreifbar ist. Die Messbrücke 56 ist als Wheatstone-Brücke mit vier als Mäander ausgebildeten Widerstandsbahnen 56.1 ausgeführt. Zudem weist die Messstruktur 55 mehrere Leitungsbahnen 56.2 auf, welche die Widerstandsbahnen 56.1 und/oder die ersten Kontaktstellen 56.3 schaltungsgemäß miteinander verbinden, so dass die Funktionalität der Wheatstone-Brücke implementiert ist.As in particular from 2 . 4 and 7 can be seen, the measuring structure 55 in the illustrated embodiments, a measuring bridge 56 and four first contact points 56.3 on, via which the at least one electrical output signal can be tapped. The measuring bridge 56 is as Wheatstone bridge with four trained as meanders resistance paths 56.1 executed. In addition, the measuring structure 55 several tracks 56.2 on which the resistance paths 56.1 and / or the first contact points 56.3 interconnect according to circuit, so that the functionality of the Wheatstone bridge is implemented.

In einem ersten Schritt eines Verfahrens zum Aufbringen einer Messstruktur 55 auf einen Träger 52 einer Druckmesszelle 50 wird eine Oberfläche des Trägers 52 gereinigt. Anschließend wird die Messstruktur 55 auf die Oberfläche des Trägers 52 aufgedruckt. Wie insbesondere aus 8 weiter ersichtlich ist, wird bei den dargestellten Ausführungsbeispielen der erfindungsgemäßen Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C vor dem Aufdrucken der Messstruktur 55 eine Isolationsschicht 54 auf die gereinigte Oberfläche des Trägers 52 aufgebracht. Zudem wird bei den dargestellten Ausführungsbeispielen auf die gedruckte Messstruktur 55 eine Schutzschicht 57 aufgebracht. Vorzugsweise werden die Isolationsschicht 54 und/oder die Schutzschicht 57 mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht.In a first step of a method for applying a measuring structure 55 on a carrier 52 a pressure measuring cell 50 becomes a surface of the carrier 52 cleaned. Subsequently, the measuring structure 55 on the surface of the carrier 52 printed. As in particular from 8th is further apparent, is in the illustrated embodiments of the pressure measuring cell according to the invention 50 . 50A . 50B . 50C before printing the measuring structure 55 an insulation layer 54 on the cleaned surface of the carrier 52 applied. In addition, in the illustrated embodiments, the printed measurement structure 55 a protective layer 57 applied. Preferably, the insulating layer 54 and / or the protective layer 57 applied by means of an atmospheric plasma process.

Wie aus 1 bis 8 weiter ersichtlich ist, umfasst die Drucksensoreinheit 1, 1A, 1B, 1C in den dargestellten Ausführungsbeispielen jeweils eine Schutzhülse 20, in welcher eine Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C, ein Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung 3 mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers 60, 60A, 60B, 60C angeordneten Leiterplatte 40, welche eine elektronische Schaltung 44 mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil 44.1, 44.2 trägt, und einer Stützeinheit 30 angeordnet sind. Die Stützeinheit 30 umfasst einen Grundkörper 32 mit einer Außenkontur 37 und verschließt die Schutzhülse 20. Die Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C ist mit einem Sensorträger 10, 10A, 10B, 10C verbunden, welcher einen Befestigungsflansch 12 mit einem Verbindungsbereich 16 für die Schutzhülse 20 aufweist. Ein Grundkörper 62, 62A, 62B, 62C des Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C ist mit dem Sensorträger 10, 10A, 10B, 10C mechanisch verbunden und weist eine interne Schnittstelle 24A, 24B, 24C auf, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C abgreift und an die elektronische Schaltung 44 anlegt. Der Grundkörper 32 der Stützeinheit 30 bildet eine externe Schnittstelle 26 mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle 34 aus, über welche mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung 44 abgreifbar ist. Die mindestens eine Kontaktstelle 34 ist über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte 40 verbunden.How out 1 to 8th can be further seen, comprises the pressure sensor unit 1 . 1A . 1B . 1C in the illustrated embodiments, in each case a protective sleeve 20 in which a pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C , a circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C and a connection and circuit device 3 with a perpendicular to the surface of the circuit substrate 60 . 60A . 60B . 60C arranged circuit board 40 which is an electronic circuit 44 with at least one electronic and / or electrical component 44.1 . 44.2 carries, and a support unit 30 are arranged. The support unit 30 includes a main body 32 with an outer contour 37 and closes the protective sleeve 20 , The pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C is with a sensor carrier 10 . 10A . 10B . 10C connected, which has a mounting flange 12 with a connection area 16 for the protective sleeve 20 having. A basic body 62 . 62A . 62B . 62C of the circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C is with the sensor carrier 10 . 10A . 10B . 10C mechanically connected and has an internal interface 24A . 24B . 24C on which at least one electrical output signal of the pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C picks up and to the electronic circuit 44 invests. The main body 32 the support unit 30 forms an external interface 26 with at least one electrical contact point 34 via which at least one output signal of the electronic circuit 44 can be tapped. The at least one contact point 34 is via an electrical connection with a corresponding contact point of the circuit board 40 connected.

Wie aus 1 bis 7 weiter ersichtlich ist, umfasst eine Messeinheit 9, 9A, 9B, 9C in den dargestellten Ausführungsbeispielen jeweils eine Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C, einen Sensorträger 10, 10A, 10B, 10C und einen Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C, welche eine Vormontagebaugruppe für die Drucksensoreinheit 1 ausbilden. Die Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C erzeugt mindestens ein den erfassten Druck P repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal und weist mindestens eine erste Kontaktstelle 65.3 auf, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgreifbar ist. Die Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C ist mit dem Sensorträger 10 mechanisch verbunden, welcher eine Fluidverbindung zwischen dem zu messenden Medium und der Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C herstellt. Der Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C ist mit dem Sensorträger 10, 10A, 10B, 10C mechanisch verbunden und die mindestens eine erste Kontaktstelle 56.3 der Druckmesszelle 50, 50A, 50B, 50C ist elektrisch mit mindestens einer zweiten Kontaktstelle 66A, 66B, 66C des Schaltungsträgers 60 elektrisch verbunden, welche im kontaktierten Zustand mit einer dritten Kontaktstelle 46 der auf der Leiterplatte 40 angeordneten elektronischen Schaltung 44 verbunden ist. How out 1 to 7 further comprises a measuring unit 9 . 9A . 9B . 9C in the illustrated embodiments in each case a pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C , a sensor carrier 10 . 10A . 10B . 10C and a circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C , which is a preassembly assembly for the pressure sensor unit 1 form. The pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C generates at least one electrical output signal representing the detected pressure P and has at least one first contact point 65.3 on, via which the at least one electrical output signal can be tapped. The pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C is with the sensor carrier 10 mechanically connected, which fluid communication between the medium to be measured and the pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C manufactures. The circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C is with the sensor carrier 10 . 10A . 10B . 10C mechanically connected and the at least one first contact point 56.3 the pressure measuring cell 50 . 50A . 50B . 50C is electrical with at least one second contact point 66A . 66B . 66C of the circuit board 60 electrically connected, which in the contacted state with a third contact point 46 the on the circuit board 40 arranged electronic circuit 44 connected is.

Wie aus 1, 3 und 5 weiter ersichtlich ist, ist der Grundkörper 41 der Leiterplatte 40 über eine mechanische Fügegeometrie 42 mit dem Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C gekoppelt, wobei die Fügegeometrie 42 am Grundkörper 41 der Leiterplatte 40 eine Aussparung 42.1 ausbildet, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten jeweils von einem Führungsschenkel 42.2 begrenzt ist. Die Führungsschenkel 42.2 sind im kontaktierten Zustand zumindest teilweise in korrespondierende Aussparungen der äußeren Fügegeometrie 64A, 64B, 64C des Schaltungsträgers 60, 60A, 60B, 60C eingesteckt. Wie aus 1, 3 und 5 weiter ersichtlich ist, weist die Leiterplatte 40 im Bereich der Führungsschenkel 42.2 Kontaktflächen auf, welche dritte Kontaktstellen 46 ausbilden und über Leiterbahnen 42.3 mit der elektronischen Schaltung 44 verbunden sind. Die dritten Kontaktstellen 46 bilden mit korrespondierenden zweiten Kontaktstellen 66A, 66B, 66C bzw. Kontaktflächen im Bereich der äußeren Fügegeometrie 64A, 64B, 64C am Grundkörper 62, 62A, 62B, 62C des Schaltungsträgers 60, 60A, 60B, 60C die interne elektrische Schnittstelle 24A, 24B, 24C aus. Die Leitplatte 40 ist in Aussparungen oder Aufnahmetaschen der äußeren Fügegeometrie 64A, 64B, 64C am Grundkörper 62, 62A, 62B, 62C des Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C eingesteckt und gegebenenfalls dort mit Haltekleber und Leitkleber 7 fixiert, um eine elektrisch leitende Verbindung zwischen dem Schaltungsträger 60, 60A, 60B, 60C und der Leiterplatte 40 zu gewährleisten und die Leiterplatte 40 zu fixieren. Der Haltekleber wird beispielsweise an Grundflächen der Aussparungen oder Aufnahmetaschen des Schaltungsträgers 60, 60A, 60B, 60C eingebracht und der Leitkleber wird beispielsweise auf die Kontaktflächen 46 der Leiterplatte 40 aufgebracht. Alternativ können die zweiten Kontaktstellen 66A, 66B, 66C am Grundkörper 62, 62A, 62B, 62C des Schaltungsträgers 60, 60A, 60B, 60C als federelastische Kontaktelemente ausgeführt werden, welche eine zur Einsteckrichtung der Leiterplatte 40 senkrechte Kraft auf die Kontaktflächen 46 der Leiterplatte 40 ausüben und gleichzeitig die in die Aussparungen oder Aufnahmetaschen der äußeren Fügegeometrie 64A, 64B, 64C eingesteckte Leiterplatte 40 fixieren, so dass auf den Haltekleber und den Leitkleber 7 an dieser Stelle verzichtet werden kann. Am anderen Ende weist der Grundträger 42 der Leiterplatte 40 nicht näher bezeichnete Kontaktstellen auf, welche von korrespondierenden Gegenkontaktstellen des Grundkörpers 32 der Stützeinheit 30 kontaktiert sind. Der Grundkörpers 32 der Stützeinheit 30 umfasst zwei Halbschalen 32.1, 32.2, welche im dargestellten Ausführungsbeispiel jeweils als Kunststoffspritzteil ausgeführt sind, in welches Stanzgitter eingebettet sind, welche die Kontaktstellen 34 der externen Schnittstelle 26 sowie Durchkontaktierungen und Gegenkontaktstellen ausbilden. How out 1 . 3 and 5 is further apparent, is the main body 41 the circuit board 40 via a mechanical joining geometry 42 with the circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C coupled, wherein the joining geometry 42 at the base body 41 the circuit board 40 a recess 42.1 forms, which on two opposite sides in each case by a guide leg 42.2 is limited. The guide legs 42.2 are in the contacted state at least partially in corresponding recesses of the outer joining geometry 64A . 64B . 64C of the circuit board 60 . 60A . 60B . 60C plugged in. How out 1 . 3 and 5 can be further seen, the circuit board 40 in the area of the guide legs 42.2 Contact surfaces on which third contact points 46 train and via tracks 42.3 with the electronic circuit 44 are connected. The third contact points 46 form with corresponding second contact points 66A . 66B . 66C or contact surfaces in the area of the outer joining geometry 64A . 64B . 64C at the base body 62 . 62A . 62B . 62C of the circuit board 60 . 60A . 60B . 60C the internal electrical interface 24A . 24B . 24C out. The guide plate 40 is in recesses or receiving pockets of the outer joining geometry 64A . 64B . 64C at the base body 62 . 62A . 62B . 62C of the circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C inserted and optionally there with holding adhesive and conductive adhesive 7 fixed to an electrically conductive connection between the circuit carrier 60 . 60A . 60B . 60C and the circuit board 40 to ensure and the circuit board 40 to fix. The holding adhesive, for example, to the base surfaces of the recesses or receiving pockets of the circuit substrate 60 . 60A . 60B . 60C introduced and the conductive adhesive is, for example, on the contact surfaces 46 the circuit board 40 applied. Alternatively, the second contact points 66A . 66B . 66C at the base body 62 . 62A . 62B . 62C of the circuit board 60 . 60A . 60B . 60C be designed as resilient contact elements, which one to the insertion of the circuit board 40 vertical force on the contact surfaces 46 the circuit board 40 while exerting in the recesses or receiving pockets of the outer joining geometry 64A . 64B . 64C inserted circuit board 40 fix so that on the holding adhesive and the conductive adhesive 7 can be omitted at this point. At the other end, the basic carrier 42 the circuit board 40 unspecified contact points on which of corresponding mating contact points of the body 32 the support unit 30 are contacted. The main body 32 the support unit 30 includes two half shells 32.1 . 32.2 which are each designed in the illustrated embodiment as a plastic injection molded part, in which stamped grid are embedded, which the contact points 34 the external interface 26 and form vias and mating contact points.

Wie aus 1 und 2 weiter ersichtlich ist, ist der Träger 52 der Druckmesszelle 50A im dargestellten ersten Ausführungsbeispiel als Tiefziehhülse 52A ausgeführt, auf welche die Messstruktur 55 aufgedruckt ist. Der Sensorträger 10A ist als Drehteil mit einer axialen Innenbohrung und einem ringförmigen Befestigungsflansch 12 und mindestens einem Verbindungsbereich 16 ausgeführt. An einem ersten Ende der Innenbohrung ist unterhalb des Befestigungsflansches 12 ein Messanschluss 18 als Self-Clinch-Anschluss ausgebildet und kann mit einem in 1 und 2 nicht näher dargestellten Fluidblock verpresst bzw. an diesen angebunden werden. Ein zweites Ende der Innenbohrung ist durch die Messmembran 52.1 der Druckmesszelle 50A abgeschlossen. Die Tiefziehhülse 52A ist vorzugweise durch eine Schweißverbindung fluiddicht mit dem Sensorträger 10A verbunden.How out 1 and 2 is further apparent, is the carrier 52 the pressure measuring cell 50A in the illustrated first embodiment as a deep-drawn sleeve 52A executed, on which the measuring structure 55 is printed. The sensor carrier 10A is as a rotating part with an axial inner bore and an annular mounting flange 12 and at least one connection area 16 executed. At a first end of the inner bore is below the mounting flange 12 a measuring connection 18 designed as a self-clinch connector and can be equipped with a in 1 and 2 not shown fluid block pressed or attached to this. A second end of the inner bore is through the measuring diaphragm 52.1 the pressure measuring cell 50A completed. The thermoformed sleeve 52A is preferably fluid-tight with the sensor carrier by a weld joint 10A connected.

Wie aus 1 weiter ersichtlich ist, ist der Grundkörper 62A des Schaltungsträgers 60A im dargestellten ersten Ausführungsbeispiel als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie 65A ausgeführt, welche an eine Außenkontur der Druckmesszelle 50A angepasst ist und die Druckmesszelle 50A umschließt. Der Grundkörper 62A des Schaltungsträgers 60A ist mit dem Sensorträger 10A über eine Clipsverbindung mechanisch verbunden. Zur Herstellung der Clipsverbindung weist der Sensorträger 10A als erste Clipsgeometrie eine umlaufende Aufnahmenut 17 auf, welche in den Befestigungsflansch 12 des Sensorträgers 10A eingebracht ist. Der Grundkörper 62A des Schaltungsträgers 10A weist als korrespondierende zweite Clipsgeometrie mehrere elastische Rastarme 62.1 mit Rastnasen auf, welche bei aufgesetztem Schaltungsträger 10A in die umlaufende Aufnahmenut 17 des Sensorträgers 10A rastend eingreifen und an einer Flanschoberfläche 14 anliegen. Nach dem Herstellen der Clipsverbindung und dem Ausrichten wird der Schaltungsträger 10A durch Haltekleber 5, welcher an einer Auflagestelle zwischen einem der Rastarme 62.1 und der Flanschoberfläche 14 aufgebracht wird, gegen Verdrehen gesichert. Am Grundkörper 62A des Schaltungsträgers 60A sind als äußere Fügegeometrie 64A zwei Aufnahmetaschen zur Aufnahme der korrespondierenden Führungsschenkel 42.2 der Leiterplatte 40 ausgebildet. Am Rand der Aufnahmetaschen sind jeweils zwei elektrisch leitende Bereiche angeordnet, welche in die Aufnahmetaschen hineinreichen und jeweils eine zweite Kontaktstelle 66A ausbilden. Zusätzlich bilden die beiden elektrisch leitenden Bereiche der jeweiligen Aufnahmetasche jeweils eine Bondfläche 68A aus, welche jeweils über einen Bonddraht 58 mit einer korrespondierenden ersten Kontaktstelle 56.1 der Druckmesszelle 50A elektrisch verbunden sind. Wie aus 1 weiter ersichtlich ist, weist der Befestigungsflansch 12 einen als Stufe ausgebildeten Verbindungsbereich 16 auf, auf welchen die Schutzhülse 20 aufgepresst ist. Zusätzlich oder alternativ kann die Schutzhülse 20 mit dem Verbindungsbereich 16 verschweißt werden.How out 1 is further apparent, is the main body 62A of the circuit board 60A in the illustrated first embodiment as a hollow cylinder with an inner joining geometry 65A executed, which to an outer contour of the pressure measuring cell 50A is adjusted and the pressure cell 50A encloses. The main body 62A of the circuit board 60A is with the sensor carrier 10A mechanically connected via a clip connection. For producing the clip connection, the sensor carrier 10A as the first clip geometry a circumferential receiving groove 17 on which in the mounting flange 12 of the sensor carrier 10A is introduced. The main body 62A of the circuit board 10A has as a corresponding second clip geometry several elastic latching arms 62.1 with locking lugs, which with mounted circuit carrier 10A in the circumferential receiving groove 17 of the sensor carrier 10A latchingly engage and on a flange surface 14 issue. After making the clip connection and aligning the circuit carrier 10A by holding adhesive 5 , which at a support point between one of the latching arms 62.1 and the flange surface 14 is applied, secured against twisting. At the base body 62A of the circuit board 60A are as outer joining geometry 64A two receiving pockets for receiving the corresponding guide legs 42.2 the circuit board 40 educated. At the edge of the receiving pockets two electrically conductive regions are arranged in each case, which extend into the receiving pockets and in each case a second contact point 66A form. In addition, the two electrically conductive regions of the respective receiving pocket each form a bonding surface 68A out, which in each case over a bonding wire 58 with a corresponding first contact point 56.1 the pressure measuring cell 50A are electrically connected. How out 1 can be further seen, the mounting flange 12 a trained as a stage connection area 16 on which the protective sleeve 20 is pressed on. Additionally or alternatively, the protective sleeve 20 with the connection area 16 be welded.

Wie aus 3 und 4 weiter ersichtlich ist, ist der Träger 52 der Druckmesszelle 50B im dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel als Metallscheibe 52B ausgeführt, auf welche die Messstruktur 55 aufgedruckt ist. Der Sensorträger 10B ist analog zum ersten Ausführungsbeispiel als Drehteil mit einer axialen Innenbohrung und einem ringförmigen Befestigungsflansch 12 und mindestens einem Verbindungsbereich 16 ausgeführt. An einem ersten Ende der Innenbohrung ist unterhalb des Befestigungsflansches 12 ein Messanschluss 18 als Self-Clinch-Anschluss ausgebildet und kann analog zum ersten Ausführungsbeispiel mit einem in 3 und 4 nicht näher dargestellten Fluidblock verpresst bzw. an diesen angebunden werden. Das zweite Ende der Innenbohrung ist durch die Messmembran 52.1 der Druckmesszelle 50B abgeschlossen. Die Metallscheibe 52B ist im dargestellten Ausführungsbeispiel in einem Arbeitsgang mit dem Sensorträger 10B hergestellt, so dass die Metallscheibe 52 fluiddicht mit dem Sensorträger 10B verbunden.How out 3 and 4 is further apparent, is the carrier 52 the pressure measuring cell 50B in the illustrated second embodiment as a metal disc 52B executed, on which the measuring structure 55 is printed. The sensor carrier 10B is analogous to the first embodiment as a rotating part with an axial inner bore and an annular mounting flange 12 and at least one connection area 16 executed. At a first end of the inner bore is below the mounting flange 12 a measuring connection 18 formed as a self-clinch connection and can analogously to the first embodiment with a in 3 and 4 not shown fluid block pressed or attached to this. The second end of the inner bore is through the measuring diaphragm 52.1 the pressure measuring cell 50B completed. The metal disc 52B is in the illustrated embodiment in one operation with the sensor carrier 10B made, so that the metal disk 52 fluid-tight with the sensor carrier 10B connected.

Wie aus 3 und 4 weiter ersichtlich ist, bildet der als Metallscheibe 52B ausgeführte Träger 52 der Druckmesszelle 50B im dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel zusätzlich den Grundkörper 62B des Schaltungsträgers 60B aus. Dadurch können Montageschritte eingespart werden. Am Grundkörper 62B des Schaltungsträgers 60B bzw. an dem als Metallscheibe 52B ausgeführten Träger 52 der Druckmesszelle 50B sind als äußere Fügegeometrie 64B zwei Aussparungen zur Aufnahme der korrespondierenden Führungsschenkel 42.2 der Leiterplatte 40 ausgebildet. Am Rand der Aussparungen sind jeweils zwei elektrisch leitende Bereiche angeordnet, welche in die Aussparung hineinreichen und jeweils eine zweite Kontaktstelle 66B ausbilden. Zusätzlich sind die zweiten Kontaktstellen 66B des Schaltungsträgers 60B über Leitungsbahnen 56.2 mit korrespondierenden ersten Kontaktstellen 56.1 der Druckmesszelle 50B elektrisch verbunden. Im eingeführten und kontaktierten Zustand stützen sich die Führungsschenkel 42.2 der Leiterplatte 40 auf der Flanschoberfläche 14 ab. Wie aus 3 weiter ersichtlich ist, weist der Befestigungsflansch 12 analog zum ersten Ausführungsbeispiel einen als Stufe ausgebildeten Verbindungsbereich 16 auf, auf welchen die Schutzhülse 20 aufgepresst ist. Zusätzlich oder alternativ kann die Schutzhülse 20 mit dem Verbindungsbereich 16 verschweißt werden.How out 3 and 4 can be seen further forms the metal disc 52B executed carriers 52 the pressure measuring cell 50B in the illustrated second embodiment, in addition, the main body 62B of the circuit board 60B out. This assembly steps can be saved. At the base body 62B of the circuit board 60B or on the metal disc 52B executed carrier 52 the pressure measuring cell 50B are as outer joining geometry 64B two recesses for receiving the corresponding guide legs 42.2 the circuit board 40 educated. At the edge of the recesses in each case two electrically conductive regions are arranged, which extend into the recess and in each case a second contact point 66B form. In addition, the second contact points 66B of the circuit board 60B via cableways 56.2 with corresponding first contact points 56.1 the pressure measuring cell 50B electrically connected. In the inserted and contacted state, the guide legs are supported 42.2 the circuit board 40 on the flange surface 14 from. How out 3 can be further seen, the mounting flange 12 analogous to the first embodiment, a trained as a stage connection area 16 on which the protective sleeve 20 is pressed on. Additionally or alternatively, the protective sleeve 20 with the connection area 16 be welded.

Wie aus 5 bis 7 weiter ersichtlich ist, ist der Träger 52 der Druckmesszelle 50C im dargestellten dritten Ausführungsbeispiel als Abschnitt 52C eines Fluidblocks 8 ausgeführt, auf welche die Messstruktur 55 aufgedruckt ist. Zudem bildet der Abschnitt 52C des Fluidblocks 8 den Sensorträger 10C aus und weist einen Fluidkanal 8.1 auf, welcher fluiddicht von der Messmembran 52.1 der Druckmesszelle 50C abgeschlossen ist.How out 5 to 7 is further apparent, is the carrier 52 the pressure measuring cell 50C in the illustrated third embodiment as a section 52C a fluid block 8th executed, on which the measuring structure 55 is printed. In addition, the section forms 52C of the fluid block 8th the sensor carrier 10C from and has a fluid channel 8.1 which is fluid-tight from the measuring diaphragm 52.1 the pressure measuring cell 50C is completed.

Wie aus 5 bis 7 weiter ersichtlich ist, bildet der als Abschnitt 52C des Fluidblocks 8 ausgeführte Träger 52 der Druckmesszelle 50C im dargestellten dritten Ausführungsbeispiel zusätzlich den Grundkörper 62C des Schaltungsträgers 60C aus. Am Grundkörper 62C des Schaltungsträgers 60C bzw. am als Abschnitt 52C des Fluidblocks 8 ausgeführten Träger 52 der Druckmesszelle 50C sind als äußere Fügegeometrie 64C zwei Aufnahmetaschen zur Aufnahme der korrespondierenden Führungsschenkel 42.2 der Leiterplatte 40 in den Fluidblock 8 eingebracht. Am Rand der Aufnahmetaschen sind jeweils zwei elektrisch leitende Bereiche angeordnet, welche in die Aussparung hineinreichen und jeweils eine zweite Kontaktstelle 66C ausbilden. Zusätzlich sind die zweiten Kontaktstellen 66C des Schaltungsträgers 60C über Leitungsbahnen 56.2 mit korrespondierenden ersten Kontaktstellen 56.1 der Druckmesszelle 50C elektrisch verbunden. Im eingeführten und kontaktierten Zustand stützen sich die Führungsschenkel 42.2 der Leiterplatte 40 am Boden der Aufnahmetaschen ab. Zudem weist der als Abschnitt 52C des Fluidblocks 8 ausgeführte Träger 52 der Druckmesszelle 50C einen nicht näher dargestellten Verbindungsbereich auf, auf welchen die Schutzhülse 20 aufgepresst ist. Zusätzlich oder alternativ kann die Schutzhülse 20 mit dem Verbindungsbereich verschweißt werden.How out 5 to 7 can be seen further forms the as a section 52C of the fluid block 8th executed carriers 52 the pressure measuring cell 50C in the illustrated third embodiment, in addition, the main body 62C of the circuit board 60C out. At the base body 62C of the circuit board 60C or as a section 52C of the fluid block 8th executed carrier 52 the pressure measuring cell 50C are as outer joining geometry 64C two receiving pockets for receiving the corresponding guide legs 42.2 the circuit board 40 in the fluid block 8th brought in. At the edge of the receiving pockets two electrically conductive regions are arranged in each case, which extend into the recess and in each case a second contact point 66C form. In addition, the second contact points 66C of the circuit board 60C via cableways 56.2 with corresponding first contact points 56.1 the pressure measuring cell 50C electrically connected. In the inserted and contacted state, the guide legs are supported 42.2 the circuit board 40 at the bottom of the receiving pockets. In addition, the section as a section 52C of the fluid block 8th executed carriers 52 the pressure measuring cell 50C a connection area, not shown, on which the protective sleeve 20 is pressed on. Additionally or alternatively, the protective sleeve 20 be welded to the connection area.

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Claims (20)

Druckmesszelle (50) mit einem Träger (52), welcher eine Messmembran (52.1) ausbildet, welche sich unter Einwirkung eines zu erfassenden Drucks (P) verformt, wobei auf dem Träger (52) eine Messstruktur (55) aufgebracht ist, welche die Verformung der Messmembran (52.1) erfasst und mindestens ein den erfassten Druck (P) repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (55) auf den Träger (52) aufgedruckt ist.Pressure measuring cell ( 50 ) with a carrier ( 52 ), which has a measuring membrane ( 52.1 ), which deforms under the action of a pressure to be detected (P), wherein on the carrier ( 52 ) a measurement structure ( 55 ) is applied, which the deformation of the measuring membrane ( 52.1 ) and generates at least one of the detected pressure (P) representing electrical output signal, characterized in that the measuring structure ( 55 ) on the carrier ( 52 ) is printed. Druckmesszelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der Messstruktur (55) und einer Oberfläche des Trägers (52) eine Isolationsschicht (54) aufgebracht ist.Pressure measuring cell according to claim 1, characterized in that between the measuring structure ( 55 ) and a surface of the carrier ( 52 ) an insulation layer ( 54 ) is applied. Druckmesszelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass auf die Messstruktur (55) eine Schutzschicht (57) aufgebracht ist.Pressure measuring cell according to claim 1 or 2, characterized in that the measuring structure ( 55 ) a protective layer ( 57 ) is applied. Druckmesszelle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (55) eine Messbrücke (56) und mindestens eine erste Kontaktstelle (56.3) aufweist, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgreifbar ist.Pressure measuring cell according to one of claims 1 to 3, characterized in that the measuring structure ( 55 ) a measuring bridge ( 56 ) and at least one first contact point ( 56.3 ), via which the at least one electrical output signal can be tapped off. Druckmesszelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Messbrücke (57) mehrere Widerstandsbahnen (56.1) und Leitungsbahnen (56.2) umfasst, welche die Widerstandsbahnen (56.1) und/oder die mindestens einer erste Kontaktstelle (56.3) schaltungsgemäß miteinander verbinden.Pressure measuring cell according to claim 4, characterized in that the measuring bridge ( 57 ) several resistance paths ( 56.1 ) and conductor tracks ( 56.2 ), which the resistance paths ( 56.1 ) and / or the at least one first contact point ( 56.3 ) connect according to the circuit. Verfahren zum Aufbringen einer Messstruktur (55) auf einen Träger (52) einer Druckmesszelle (50), wobei eine Oberfläche des Träger (52) gereinigt wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Messstruktur (55) auf die Oberfläche des Trägers (52) aufgedruckt wird.Method for applying a measuring structure ( 55 ) on a support ( 52 ) a pressure measuring cell ( 50 ), wherein a surface of the carrier ( 52 ), characterized in that the measuring structure ( 55 ) on the surface of the carrier ( 52 ) is printed. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Aufdrucken der Messstruktur (55) eine Isolationsschicht (54) auf die gereinigte Oberfläche des Trägers (52) aufgebracht wird.A method according to claim 6, characterized in that prior to printing the measuring structure ( 55 ) an insulation layer ( 54 ) on the cleaned surface of the support ( 52 ) is applied. Verfahren nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass auf die gedruckte Messstruktur (55) eine Schutzschicht (57) aufgebracht wird.Method according to claim 6 or 7, characterized in that the printed measuring structure ( 55 ) a protective layer ( 57 ) is applied. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Isolationsschicht (54) und/oder die Schutzschicht (57) mittels eines atmosphärischen Plasmaverfahrens aufgebracht werden.Method according to claim 7 or 8, characterized in that the insulating layer ( 54 ) and / or the protective layer ( 57 ) are applied by means of an atmospheric plasma process. Messeinheit (9) mit einer Druckmesszelle (50), einem Sensorträger (10) und einem Schaltungsträger (60), wobei die Druckmesszelle (50) mindestens ein den erfassten Druck (P) repräsentierendes elektrisches Ausgangssignal erzeugt und mindestens eine erste Kontaktstelle (65.3) aufweist, über welche das mindestens eine elektrische Ausgangssignal abgreifbar ist, wobei die Druckmesszelle (50) mit dem Sensorträger (10) mechanisch verbunden ist, welcher eine Fluidverbindung zwischen dem zu messenden Medium und der Druckmesszelle (50) herstellt, wobei der Schaltungsträger (60) mit dem Sensorträger (10) mechanisch verbunden ist und die mindestens eine erste Kontaktstelle (56.3) der Druckmesszelle (50) elektrisch mit mindestens einer zweiten Kontaktstelle (66A, 66B, 66C) des Schaltungsträgers (60) elektrisch verbunden ist, welche mit einer dritten Kontaktstelle (46) einer auf einer Leiterplatte (40) angeordneten elektronischen Schaltung (44) verbindbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinheit (9) eine Vormontagebaugruppe für eine Drucksensoreinheit (1) ausbildet, wobei die Druckmesszelle (50) nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5 ausgeführt ist. Measuring unit ( 9 ) with a pressure measuring cell ( 50 ), a sensor carrier ( 10 ) and a circuit carrier ( 60 ), wherein the pressure measuring cell ( 50 ) generates at least one of the detected pressure (P) representing electrical output signal and at least one first contact point ( 65.3 ), via which the at least one electrical output signal can be tapped off, wherein the pressure measuring cell ( 50 ) with the sensor carrier ( 10 ) is mechanically connected, which fluid communication between the medium to be measured and the pressure measuring cell ( 50 ), wherein the circuit carrier ( 60 ) with the sensor carrier ( 10 ) is mechanically connected and the at least one first contact point ( 56.3 ) of the pressure measuring cell ( 50 ) electrically with at least one second contact point ( 66A . 66B . 66C ) of the circuit carrier ( 60 ) which is connected to a third contact point ( 46 ) one on a printed circuit board ( 40 ) arranged electronic circuit ( 44 ), characterized in that the measuring unit ( 9 ) a preassembly assembly for a pressure sensor unit ( 1 ), wherein the pressure measuring cell ( 50 ) is carried out according to at least one of claims 1 to 5. Messeinheit nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (52) als Tiefziehhülse (52A) oder als Scheibe (52B) oder als Abschnitt (52C) eines Fluidblocks (8) ausgeführt ist.Measuring unit according to claim 10, characterized in that the carrier ( 52 ) as thermoforming sleeve ( 52A ) or as a disk ( 52B ) or as a section ( 52C ) of a fluid block ( 8th ) is executed. Messeinheit nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Sensorträger (10A, 10B) als Drehteil mit einer axialen Innenbohrung und einem ringförmigen Befestigungsflansch (12) und mindestens einem Verbindungsbereich (16) ausgeführt ist, wobei an einem ersten Ende der Innenbohrung ein Messanschluss (18) ausgebildet ist und ein zweites Ende der Innenbohrung durch die Messmembran (52.1) der Druckmesszelle (50A, 50B) abgeschlossen ist.Measuring unit according to claim 10 or 11, characterized in that the sensor carrier ( 10A . 10B ) as a rotating part with an axial inner bore and an annular mounting flange ( 12 ) and at least one connection area ( 16 ) is carried out, wherein at a first end of the inner bore a measuring connection ( 18 ) is formed and a second end of the inner bore through the measuring membrane ( 52.1 ) of the pressure measuring cell ( 50A . 50B ) is completed. Messeinheit nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Tiefziehhülse (52A) und/oder die Scheibe (52B) fluiddicht mit dem Sensorträger (10A, 10B) verbunden sind.Measuring unit according to claim 12, characterized in that the deep-drawn sleeve ( 52A ) and / or the disc ( 52B ) fluid-tight with the sensor carrier ( 10A . 10B ) are connected. Messeinheit nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass der als Scheibe (52B) ausgeführte Träger (52) an den Sensorträger (10B) angeformt ist.Measuring unit according to claim 13, characterized in that the disc ( 52B ) carried out ( 52 ) to the sensor carrier ( 10B ) is formed. Messeinheit nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidblock (8) den Sensorträger (10C) ausbildet und einen Fluidkanal (8.1) aufweist, welche fluiddicht von der Messmembran (52.1) der Druckmesszelle (50) abgeschlossen ist.Measuring unit according to claim 11, characterized in that the fluid block ( 8th ) the sensor carrier ( 10C ) and a fluid channel ( 8.1 ), which are fluid-tight from the measuring membrane ( 52.1 ) of the pressure measuring cell ( 50 ) is completed. Messeinheit nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass am Grundkörper (62) des Schaltungsträgers (60) als äußere Fügegeometrie (64) zwei Aussparungen zur Aufnahme von korrespondierenden Führungsschenkeln (42.4) einer Leiterplatte (40) ausgebildet sind, wobei am Rand der Aussparungen jeweils zwei elektrisch leitende Bereiche angeordnet sind, welche in die Aussparungen hineinreichen und jeweils eine zweite Kontaktstelle (66) ausbilden.Measuring unit according to one of claims 10 to 15, characterized in that on the base body ( 62 ) of the circuit carrier ( 60 ) as outer joining geometry ( 64 ) two recesses for receiving corresponding guide legs ( 42.4 ) one Printed circuit board ( 40 ) are formed, wherein at the edge of the recesses in each case two electrically conductive regions are arranged, which extend into the recesses and in each case a second contact point ( 66 ) train. Messeinheit nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Grundkörper (62A) des Schaltungsträgers (60A) als Hohlzylinder mit einer inneren Fügegeometrie (65A) ausgeführt ist, welche an eine Außenkontur der Druckmesszelle (50A) angepasst ist und die Druckmesszelle (50A) umschließt, wobei die beiden elektrisch leitenden Bereiche der jeweiligen Aussparung zusätzlich jeweils eine Bondfläche (68A) ausbilden, welche jeweils über einen Bonddraht (58) mit einer korrespondierenden ersten Kontaktstelle (56.1) der Druckmesszelle (50) elektrisch verbunden sind.Measuring unit according to claim 16, characterized in that the basic body ( 62A ) of the circuit carrier ( 60A ) as a hollow cylinder with an internal joining geometry ( 65A ) is executed, which to an outer contour of the pressure measuring cell ( 50A ) and the pressure measuring cell ( 50A ), wherein the two electrically conductive regions of the respective recess additionally each have a bonding surface ( 68A ), which in each case via a bonding wire ( 58 ) with a corresponding first contact point ( 56.1 ) of the pressure measuring cell ( 50 ) are electrically connected. Messeinheit nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass der als Scheibe (52B) oder als Abschnitt (52C) eines Fluidblocks (8) ausgeführte Träger (52) der Druckmesszelle (50) den Grundkörper (62B, 62C) des Schaltungsträgers (60B, 60C) ausbildet, wobei die ersten Kontaktstellen (56.1) der Druckmesszelle (50B, 50C) über Leitungsbahnen (56.2) mit den korrespondierenden zweiten Kontaktstellen (66B, 66C) des Schaltungsträgers (60B, 60C) elektrisch verbunden sind.Measuring unit according to claim 16, characterized in that the disc ( 52B ) or as a section ( 52C ) of a fluid block ( 8th ) carried out ( 52 ) of the pressure measuring cell ( 50 ) the basic body ( 62B . 62C ) of the circuit carrier ( 60B . 60C ), the first contact points ( 56.1 ) of the pressure measuring cell ( 50B . 50C ) via conductor tracks ( 56.2 ) with the corresponding second contact points ( 66B . 66C ) of the circuit carrier ( 60B . 60C ) are electrically connected. Drucksensoreinheit (1) mit einer Schutzhülse (20), in welcher eine Druckmesszelle (50), ein Schaltungsträger (60) und eine Anschluss- und Schaltungsvorrichtung (3) mit einer senkrecht zur Oberfläche des Schaltungsträgers (60) angeordneten Leiterplatte (40), welche eine elektronische Schaltung (44) mit mindestens einem elektronischen und/oder elektrischen Bauteil (44.1, 44.2) trägt, und einer Stützeinheit (30) angeordnet sind, welche einen Grundkörper (32) mit einer Außenkontur (37) umfasst und die Schutzhülse (20) verschließt, wobei die Druckmesszelle (50) mit einem Sensorträger (10) verbunden ist, welcher einen Befestigungsflansch (12) mit einem Verbindungsbereich (16) für die Schutzhülse (20) aufweist, wobei ein Grundkörper (62) des Schaltungsträgers (60) mit dem Sensorträger (10) mechanisch verbunden ist und eine interne Schnittstelle (24) aufweist, welche mindestens ein elektrisches Ausgangssignal der Druckmesszelle (50) abgreift und an die elektronische Schaltung (44) anlegt, wobei der Grundkörper (32) der Stützeinheit (30) eine externe Schnittstelle (26) mit mindestens einer elektrischen Kontaktstelle (34) ausbildet, über welche mindestens ein Ausgangssignal der elektronischen Schaltung (44) abgreifbar ist, wobei die mindestens eine Kontaktstelle (34) über eine elektrische Verbindung mit einer korrespondierenden Kontaktstelle der Leiterplatte (40) elektrisch verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmesszelle (50) nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 5 ausgebildet ist.Pressure sensor unit ( 1 ) with a protective sleeve ( 20 ), in which a pressure measuring cell ( 50 ), a circuit carrier ( 60 ) and a connection and circuit device ( 3 ) with a perpendicular to the surface of the circuit substrate ( 60 ) arranged printed circuit board ( 40 ), which is an electronic circuit ( 44 ) with at least one electronic and / or electrical component ( 44.1 . 44.2 ) and a support unit ( 30 ) are arranged, which a basic body ( 32 ) with an outer contour ( 37 ) and the protective sleeve ( 20 ), wherein the pressure measuring cell ( 50 ) with a sensor carrier ( 10 ), which has a mounting flange ( 12 ) with a connection area ( 16 ) for the protective sleeve ( 20 ), wherein a basic body ( 62 ) of the circuit carrier ( 60 ) with the sensor carrier ( 10 ) is mechanically connected and an internal interface ( 24 ), which at least one electrical output signal of the pressure measuring cell ( 50 ) and to the electronic circuit ( 44 ), wherein the basic body ( 32 ) of the support unit ( 30 ) an external interface ( 26 ) with at least one electrical contact point ( 34 ) is formed, via which at least one output signal of the electronic circuit ( 44 ), the at least one contact point ( 34 ) via an electrical connection with a corresponding contact point of the printed circuit board ( 40 ) is electrically connected, characterized in that the pressure measuring cell ( 50 ) is formed according to at least one of claims 1 to 5. Drucksensoreinheit nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckmesszelle (50) und der Sensorträger (10) und der Schaltungsträger (60) eine Messeinheit (9) nach zumindest einem der Ansprüche 10 bis 18 ausbilden, wobei ein Grundkörper (41) der Leiterplatte (40) über eine mechanische Fügegeometrie (42) mit dem Schaltungsträger (60) gekoppelt ist, wobei die Fügegeometrie (42) am Grundkörper (41) der Leiterplatte (40) eine Aussparung (42.1) ausbildet, welche an zwei gegenüberliegenden Seiten jeweils von einem Führungsschenkel (42.2) begrenzt ist, wobei die Führungsschenkel (42.2) im kontaktierten Zustand zumindest teilweise in korrespondierende Aussparungen der äußeren Fügegeometrie (64) des Schaltungsträger (60) eingesteckt sind.Pressure sensor unit according to claim 19, characterized in that the pressure measuring cell ( 50 ) and the sensor carrier ( 10 ) and the circuit carrier ( 60 ) a measuring unit ( 9 ) according to at least one of claims 10 to 18, wherein a basic body ( 41 ) of the printed circuit board ( 40 ) via a mechanical joining geometry ( 42 ) with the circuit carrier ( 60 ), wherein the joining geometry ( 42 ) on the base body ( 41 ) of the printed circuit board ( 40 ) a recess ( 42.1 ), which on two opposite sides in each case by a guide leg ( 42.2 ), the guide legs ( 42.2 ) in the contacted state at least partially in corresponding recesses of the outer joining geometry ( 64 ) of the circuit carrier ( 60 ) are inserted.
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