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HINTERGRUND
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1. Technisches Gebiet
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Die vorliegende Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor, der ein Strahlungserfassungselement einsetzt, das aus einem Halbleiter besteht, und eine Strahlungserfassungseinrichtung.
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2. Beschreibung der verwandten Technik
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Ein beispielhafter Strahlungsdetektor zum Erfassen von Strahlung, wie beispielsweise Röntgenstrahl, erfasst Strahlung unter Verwendung eines Strahlungserfassungselements, das aus einem Halbleiter besteht. Das Strahlungserfassungselement kann zur Verwendung gekühlt werden, um die Empfindlichkeit bei der Erfassung zu verbessern. Beispielsweise wird eine Peltier-Vorrichtung zum Kühlen verwendet. Bei dem Strahlungsdetektor, der eine Peltier-Vorrichtung verwendet, ist der wärmefreisetzende Teil der Peltier-Vorrichtung mit der Basis, die aus einem Metall besteht, verbunden, wohingegen der wärmeabsorbierende Teil der Peltier-Vorrichtung mit einer Verdrahtungsplatte verbunden ist, auf der das Strahlungserfassungselement montiert ist.
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Der Strahlungsdetektor enthält eine Abdeckung aus Metall, die mit einer Basis verbunden ist, und ist dicht verschlossen. Wärme von dem Strahlungserfassungselement wird von der Peltier-Vorrichtung zu der Basis geleitet und durch die Basis zu der Außenseite abgeführt. Der Strahlungsdetektor mit solch einer Konfiguration ist in der
japanischen Patentanmeldung mit der Offenlegungsnummer 2007-147595 beschrieben.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Bei dem herkömmlichen Strahlungsdetektor ist die Basis in erster Linie durch Eisen gebildet. Das Strahlungserfassungselement weist eine geringe Wärmeabfuhrleistung auf, da Eisen eine relativ geringe Wärmeleitfähigkeit aufweist. Zudem kann externe Wärme zu der Innenseite des Strahlungsdetektors durch die Basis übertragen werden, wobei die Temperatur an dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung erhöht wird, während die Wärmeabfuhrleistung verringert wird. Die geringe Wärmeabfuhrleistung erhöht die Temperatur des Strahlungserfassungselements und setzt die Empfindlichkeit beim Erfassen von Strahlung herab. Wenn das Strahlungserfassungselement ausreichend zu kühlen ist, während die Wärmeabfuhrleistung gering ist, wird die Peltier-Vorrichtung einen erhöhten Leistungsverbrauch aufweisen.
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Die vorliegende Erfindung erfolgte in Anbetracht der oben beschriebenen Umstände und bezweckt das Bereitstellen eines Strahlungsdetektors und einer Strahlungserfassungseinrichtung, die Wärme von einem Strahlungserfassungselement effizient abführen können.
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Ein Strahlungsdetektor nach der vorliegenden Erfindung weist Folgendes auf: ein Strahlungserfassungselement, eine elektronische Kühleinheit zum Kühlen des Strahlungserfassungselements, ein Gehäuse, in dem das Strahlungserfassungselement und die elektronische Kühleinheit untergebracht sind, und weist ferner einen wärmeleitfähigen Teil auf, der mit einem wärmefreisetzenden Teil der elektronischen Kühleinheit in thermischen Kontakt steht. Der wärmeleitfähige Teil besteht aus einem Material mit einer höheren Wärmeleitfähigkeit als eine Wärmeleitfähigkeit des Gehäuses und durchdringt das Gehäuse, so dass ein Teil des wärmeleitfähigen Teils zu einer Außenseite des Gehäuses hervorsteht.
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Der Strahlungsdetektor nach der vorliegenden Erfindung weist ferner ein Material mit einer geringen Leitfähigkeit auf, das eine geringe Wärmeleitfähigkeit als die Wärmeleitfähigkeit des Gehäuses aufweist und zwischen dem Gehäuse und dem wärmeleitfähigen Teil angeordnet ist.
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Bei dem Strahlungsdetektor nach der vorliegenden Erfindung besteht ein Abschnitt des Gehäuses, der mit dem wärmeleitfähigen Teil in Kontakt steht, aus einem Material mit einer geringeren Leitfähigkeit als eine Leitfähigkeit von Eisen.
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Eine Strahlungserfassungseinrichtung nach der vorliegenden Erfindung weist den Strahlungsdetektor nach der vorliegenden Erfindung, der ein Signal gemäß einer Energie von erfasster Strahlung ausgibt; und eine Einrichtung zum Erzeugen eines Strahlungsspektrums basierend auf einem durch den Strahlungsdetektor ausgegeben Signal auf.
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Nach der vorliegenden Erfindung enthält der Strahlungsdetektor einen wärmeleitfähigen Teil, der mit dem wärmefreisetzenden Abschnitt der elektronischen Kühleinheit zum Kühlen des Strahlungserfassungselements in thermischen Kontakt steht. Der wärmeleitfähige Teil ist mit einem Material gebildet, das eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die des Gehäuses des Strahlungsdetektors aufweist, und durchdringt das Gehäuse. Die Wärme des Strahlungserfassungselements wird von dem wärmefreisetzenden Abschnitt der elektronischen Kühleinheit zu dem wärmeleitfähigen Teil geleitet und durch den wärmeleitfähigen Teil zu der Außenseite des Strahlungsdetektors abgeführt. Da der wärmeleitfähige Teil eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, weist das Strahlungserfassungselement eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf.
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Bei der vorliegenden Erfindung enthält der Strahlungsdetektor des Weiteren ein Material mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit, das zwischen dem wärmeleitfähigen Teil und dem Gehäuse angeordnet ist. Aufgrund des Materials mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit ist es schwierig, dass Wärme von dem Gehäuse zu dem wärmeleitfähigen Teil geleitet wird. Dies supprimiert die Übertragung von Wärme an der Außenseite des Strahlungsdetektors zu der Innenseite des Strahlungsdetektors durch das Gehäuse.
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Nach der vorliegenden Erfindung wird der Abschnitt des Gehäuses, der mit dem wärmeleitfähigen Teil in Kontakt steht, mit einem Material gebildet, das eine geringere Wärmeleitfähigkeit als die von Eisen aufweist. Dies erschwert es, dass Wärme von dem Gehäuse zu dem wärmeleitfähigen Teil geleitet wird, wobei dadurch die Übertragung von Wärme an der Außenseite des Strahlungsdetektors zu der Innenseite des Strahlungsdetektors durch das Gehäuse supprimiert wird.
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Nach der vorliegenden Erfindung wird bei dem Strahlungsdetektor das Strahlungserfassungselement ausreichend gekühlt, da dasselbe eine hohe Wärmeabfuhrleistung aufweist. Dies reduziert den Leckstrom in dem Strahlungserfassungselement und erhöht die Energieauflösung beim Erfassen von Strahlung. Die vorliegende Erfindung erzielt daher vorteilhafte Effekte, die der Strahlungserfassungseinrichtung beispielsweise ermöglichen, Strahlung mit einer hohen Empfindlichkeit zu erfassen und zum Kühlen des Strahlungserfassungselements erforderte Leistung zu supprimieren.
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KURZE BESCHREIBUNG VERSCHIEDENER ANSICHTEN DER ZEICHNUNGEN
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1 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration einer Strahlungserfassungseinrichtung veranschaulicht;
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2 ist eine schematische Schnittansicht eines Strahlungsdetektors nach der Ausführungsform 1;
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3 ist eine schematische Schnittansicht eines Strahlungsdetektors nach der Ausführungsform 2;
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4 ist eine schematische Schnittansicht eines Strahlungsdetektors nach der Ausführungsform 3; und
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5 ist eine schematische Schnittansicht eines Strahlungsdetektors nach der Ausführungsform 4.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
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Die vorliegende Erfindung wird nachstehend in Bezug auf die Zeichnungen genau beschrieben werden, die die Ausführungsform derselben veranschaulichen.
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(Ausführungsform 1)
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1 ist ein Blockdiagramm, das die Konfiguration einer Strahlungserfassungseinrichtung veranschaulicht. Die Strahlungserfassungseinrichtung ist beispielsweise ein Röntgenfluoreszenz-Spektrometer. Die Strahlungserfassungseinrichtung enthält eine Strahlungsquelle 4, die eine Probe 6 mit Strahlung, wie beispielsweise Elektronenstrahl oder Röntgenstrahl, bestrahlt, einen Probentisch 5, auf dem die Probe 6 montiert ist, und einen Strahlungsdetektor 1. Die Strahlungsquelle 4 bestrahlt die Probe 6 mit Strahlung, die Strahlung, wie beispielsweise Röntgenfluoreszenz, an der Probe 6 erzeugt, und der Strahlungsdetektor 1 erfasst die von der Probe 6 emittierte Strahlung. In 1 ist die Strahlung durch Pfeile angezeigt. Der Strahlungsdetektor 1 gibt ein Signal proportional zu der Energie der erfassten Strahlung aus. Der Strahlungsdetektor 1 ist mit einer Signalverarbeitungseinheit 2 zum Verarbeiten eines von dem Strahlungsdetektor 1 ausgegebenen Signals verbunden. Die Signalverarbeitungseinheit 2 zählt Signale verschiedener Werte, die von dem Strahlungsdetektor 1 ausgegeben werden, um ein Verhältnis zwischen der Strahlungsenergie und der gezählten Anzahl, d. h. das Strahlungsspektrum, zu erzeugen. Die Signalverarbeitungseinheit 2 und die Strahlungsquelle 4 sind mit der Steuereinheit 3 zum Steuern der gesamten Strahlungserfassungseinrichtung verbunden. Die Steuereinheit 3 steuert die Betätigungen der Signalverarbeitungseinheit 2 und der Strahlungsquelle 4.
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2 ist eine schematische Schnittansicht des Strahlungsdetektors 1 nach der Ausführungsform 1. Der Strahlungsdetektor 1 enthält eine plattenähnliche Basis 16. Eine deckelförmige Abdeckung 17 wird über einer Oberflächenseite der Basis 16 platziert. Die Abdeckung 17 weist eine Form auf, die durch Verbinden eines Kegelstumpfes mit einem Ende eines Zylinders ausgebildet wird, wobei das andere Ende des Zylinders mit der Basis 16 verbunden ist. Die Basis 16 und die Abdeckung 17 werden miteinander verschweißt. Die Basis 16 und die Abdeckung 17 bestehen aus Eisen, Nickel oder Kovar, um durch Widerstandsschweißen leicht verschweißt zu werden. Der abgestumpfte Kopf an dem Kopfende der Abdeckung 17 ist mit einem Fenster 18 versehen, das aus einem Material besteht, das Strahlung durch dasselbe lässt, wie beispielsweise Beryllium. Im Inneren ist die Abdeckung 17 dicht verschlossen und drucklos oder mit einem inerten Gas gefüllt. Die Basis 16 und die Abdeckung 17 entsprechen dem Gehäuse bei der vorliegenden Erfindung.
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Innerhalb der Abdeckung 17 sind ein Strahlungserfassungselement 11 aus einem Halbleiter, eine Verdrahtungsplatte 12 und eine Peltier-Vorrichtung (elektronische Kühleinheit) 13 angeordnet. Das Strahlungserfassungselement 11 ist beispielsweise ein Siliziumdriftdetektor (SDD). Das Strahlungserfassungselement 11 wird auf der Oberfläche der Verdrahtungsplatte 12 montiert und an der dem Fenster 18 gegenüberliegenden Position angeordnet. Ein wärmeabsorbierender Teil der Peltier-Vorrichtung 13 steht mit der Rückfläche der Verdrahtungsplatte 12 in thermischen Kontakt. Das heißt, Wärme wird von der Rückfläche der Verdrahtungsplatte 12 zu dem wärmeabsorbierenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 geleitet. Die Verdrahtungsplatte 12 und der wärmeabsorbierende Teil der Peltier-Vorrichtung 13 können miteinander in direktem Kontakt stehen oder ein wärmeleitfähiges Material kann zwischen denselben angeordnet werden. Der wärmefreisetzende Teil der Peltier-Vorrichtung 13 liegt der Innenfläche der Basis 16 gegenüber.
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Der Strahlungsdetektor 1 enthält ferner einen Kältefinger (wärmeleitfähiger Teil) 14, der mit dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 in thermischen Kontakt steht. Der Kältefinger 14 besteht aus einem Material mit einer höheren Wärmeleitfähigkeit als die der Basis 16, wie beispielsweise Kupfer. Der Kältefinger 14 ist konfiguriert, um einen plattenähnlichen Teil, der mit dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 in thermischen Kontakt steht, und einen bolzenähnlichen Teil zu enthalten, der von dem plattenähnlichen Teil in Richtung der Basis 16 hervorsteht. Der bolzenähnliche Teil des Kältefingers 14 durchdringt die Basis 16 und steht von der Außenfläche der Basis 16 hervor. Der plattenähnliche Teil des Kältefingers 14 weist eine Größe auf, die gleich oder größer als die des wärmefreisetzenden Teils der Peltier-Vorrichtung 13 ist. Dies verbessert die wärmefreisetzende Leistung der Peltier-Vorrichtung 13 und ermöglicht das Positionieren der Peltier-Vorrichtung 13 zum Zeitpunkt der Herstellung des Strahlungsdetektors 1. Der wärmefreisetzende Teil der Peltier-Vorrichtung 13 und der plattenähnliche Teil des Kältefingers 14 können miteinander in direktem Kontakt stehen oder ein wärmeleitfähiges Material kann zwischen denselben angeordnet werden. Der bolzenähnliche Teil des Kältefingers 14, der von der Außenfläche der Basis 16 hervorsteht, ist mit der wärmeabführenden Einheit verbunden, die sich außerhalb des Strahlungsdetektors 1 befindet. Die wärmeabführende Einheit ist beispielsweise eine Wärmesenke.
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Ein Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit ist zwischen der Basis 16 und dem Kältefinger 14 angeordnet. Der Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit besteht aus einem Material mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit, das eine geringere Wärmeleitfähigkeit als die der Basis 16 aufweist, wie beispielsweise Keramik. Der Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit wird beispielsweise in eine ringförmige Form ausgebildet. Da der Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit vorgesehen ist, steht die Basis 16 nicht mit dem Kältefinger 14 in Kontakt. Zudem durchdringen mehrere Anschlussstifte 19 zum Anlegen von Spannung und Eingeben/Ausgeben von Signalen die Basis 16.
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Das Strahlungserfassungselement 11 wird durch die Peltier-Vorrichtung 13 durch die Verdrahtungsplatte 12 gekühlt. Die Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 wird zu dem plattenähnlichen Teil des Kältefingers 14 geleitet, der mit dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 in thermischen Kontakt steht, durch den Kältefinger 14 zu der wärmeabführenden Einheit geleitet, die mit dem bolzenähnlichen Teil des Kältefingers 14 verbunden ist, und durch die wärmeabführende Einheit abgeführt. Das heißt, die Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 wird zu der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 durch den Kältefinger 14 abgeführt. Da der Kältefinger 14 eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, weist das Strahlungserfassungselement 11 eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf. Insbesondere wird die Wärmeabfuhrleistung verglichen zu dem herkömmlichen Strahlungsdetektor verbessert, der Wärme durch eine Basis abführt. Da der Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit zwischen der Basis 16 und dem Kältefinger 14 angeordnet ist, wird zudem Wärme nicht leicht von der Basis 16 zu dem Kältefinger 14 geleitet. Dies supprimiert die Übertragung von Wärme an der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 zu der Innenseite des Strahlungsdetektors 1 durch die Abdeckung 17 und die Basis 16. Dies kann daher eine Herabsetzung der Wärmeabfuhrleistung verhindern, die durch den Temperaturanstieg an dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 aufgrund der Übertragung von externer Wärme verursacht werden kann.
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Da der Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit zwischen der Basis 16 und dem Kältefinger 14 angeordnet ist, wird zudem Wärme nicht leicht von dem Kältefinger 14 zu der Basis 16 geleitet. Dies supprimiert die Übertragung von Wärme von dem Kältefinger 14 zu dem Strahlungserfassungselement 11 durch die Basis 16 und die Abdeckung 17. Daher wird Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 durch den Kältefinger 14 effizient abgeführt.
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Wie oben beschrieben wurde, weist nach der vorliegenden Ausführungsform das Strahlungserfassungselement 11 eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf. Aufgrund der hohen Wärmeabfuhrleistung wird das Strahlungserfassungselement 11 ausreichend gekühlt und der Leckstrom verringert. Folglich kann der Strahlungsdetektor 1 Strahlung mit hoher Energieauflösung erfassen, wobei ermöglicht wird, dass die Strahlungserfassungseinrichtung Strahlung mit hoher Empfindlichkeit erfasst. Die hohe Wärmeabfuhrleistung kann die für die Peltier-Vorrichtung 13 zum Kühlen des Strahlungserfassungselements 11 erforderte Leistung supprimieren, wobei ermöglicht wird, dass die Strahlungserfassungseinrichtung einen geringen Leistungsverbrauch aufweist.
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(Ausführungsform 2)
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3 ist eine schematische Schnittansicht des Strahlungsdetektors 1 nach der Ausführungsform 2. Der plattenähnliche Teil des Kältefingers 14 durchdringt die Basis 16 und steht von der Außenfläche der Basis 16 hervor. Der bolzenähnliche Teil des Kältefingers 14 steht von dem plattenähnlichen Teil in Richtung der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 hervor. Daher weist der Kältefinger 14 im Vergleich zu der Ausführungsform 1 einen größeren Teil auf, der die Basis 16 durchdringt. Ein Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit ist zwischen der Basis 16 und dem Kältefinger 14 angeordnet. Die anderen Komponenten des Strahlungsdetektors 1 ähneln denen bei der Ausführungsform 1. Die anderen Komponenten der Strahlungserfassungseinrichtung ähneln auch denen bei der Ausführungsform 1. Ferner wird bei der vorliegenden Ausführungsform die Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 von dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 zu dem Kältefinger 14 geleitet und durch den Kältefinger 14 zu der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 abgeführt. Verglichen zu der Ausführungsform 1 gibt es mehr Wege zur Wärmeleitung durch den Kältefinger 14 und das Strahlungserfassungselement 11 weist eine höhere Wärmeabfuhrleistung auf.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform weist das Strahlungserfassungselement 11 ferner eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf und der Leckstrom in dem Strahlungserfassungselement 11 wird reduziert. Dies ermöglicht dem Strahlungsdetektor 1, Strahlung mit hoher Energieauflösung zu erfassen, und der Strahlungserfassungseinrichtung, Strahlung mit hoher Empfindlichkeit zu erfassen. Zudem kann die für die Peltier-Vorrichtung 13 erforderte Leistung supprimiert werden, wobei dadurch ein Leistungsverbrauch in der Strahlungserfassungseinrichtung supprimiert wird.
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(Ausführungsform 3)
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4 ist eine schematische Schnittansicht des Strahlungsdetektors 1 nach der Ausführungsform 3. Bei der vorliegenden Ausführungsform ist der Strahlungsdetektor 1 nicht mit einem Teil 15 mit einer geringen Wärmeleitfähigkeit versehen. Die Basis 16 besteht aus einem Material mit einer geringeren Wärmeleitfähigkeit als die von Eisen und steht mit dem Kältefinger 14 in Kontakt. Ein dazwischenliegendes Material kann zwischen der Basis 16 und dem Kältefinger 14 angeordnet sein. Die anderen Komponenten des Strahlungsdetektors 1 ähneln denen bei der Ausführungsform 1. Die anderen Komponenten der Strahlungserfassungseinrichtung ähneln auch denen bei der Ausführungsform 1.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform werden ferner das Strahlungserfassungselement 11 durch die Peltier-Vorrichtung 13 durch die Verdrahtungsplatte 12 gekühlt, die Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 von dem wärmefreisetzenden Teil der Peltier-Vorrichtung 13 zu dem Kältefinger 14 geleitet und durch den Kältefinger 14 zu der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 abgeführt. Da der Kältefinger 14 eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist, weist das Strahlungserfassungselement 11 eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf. Zudem weist die Basis 16 eine geringe Wärmeleitfähigkeit auf, was es erschwert, dass die Wärme von der Basis 16 zu dem Kältefinger 14 geleitet wird. Dies supprimiert die Übertragung von Wärme an der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 zu der Innenseite des Strahlungsdetektors 1 durch die Abdeckung 17 und die Basis 16. Folglich kann eine Herabsetzung der Wärmeabfuhrleistung verhindert werden.
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Da die Basis 16 eine geringe Wärmeleitfähigkeit aufweist, wird zudem Wärme nicht leicht von dem Kältefinger 14 zu der Basis 16 geleitet. Dies supprimiert die Übertragung von Wärme von dem Kältefinger 14 zu dem Strahlungserfassungselement 11 durch die Basis 16 und die Abdeckung 17. Daher wird Wärme von dem Strahlungserfassungselement 11 durch den Kältefinger 14 effizient abgeführt.
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Wie oben beschrieben wurde, weist nach der vorliegenden Ausführungsform das Strahlungserfassungselement 11 eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf und der Leckstrom in dem Strahlungserfassungselement 11 wird verringert. Die ermöglicht dem Strahlungsdetektor 1, Strahlung mit hoher Energieauflösung zu erfassen, und der Strahlungserfassungseinrichtung, Strahlung mit hoher Empfindlichkeit zu erfassen. Zudem kann die für die Peltier-Vorrichtung 13 erforderte Leistung supprimiert werden, wobei dadurch ein Leistungsverbrauch in der Strahlungserfassungseinrichtung supprimiert wird.
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(Ausführungsform 4)
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5 ist eine schematische Schnittansicht des Strahlungsdetektors 1 nach der Ausführungsform 4. Der plattenähnliche Teil des Kältefingers 14 durchdringt die Basis 16 und steht von der Außenfläche der Basis 16 hervor. Der bolzenähnliche Teil des Kältefingers 14 steht von dem plattenähnlichen Teil in Richtung der Außenseite des Strahlungsdetektors 1 hervor. Daher weist der Kältefinger 14 im Vergleich zu der Ausführungsform 3 einen größeren Teil auf, der die Basis 16 durchdringt. Die anderen Komponenten des Strahlungsdetektors 1 ähneln denen bei der Ausführungsform 3. Die anderen Komponenten der Strahlungserfassungseinrichtung ähneln auch denen bei der Ausführungsform 1. Verglichen zu der Ausführungsform 3 gibt es mehr Wege zur Wärmeleitung durch den Kältefinger 14 und das Strahlungserfassungselement 11 weist eine höhere Wärmeabfuhrleistung auf.
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Bei der vorliegenden Ausführungsform weist das Strahlungserfassungselement 11 ferner eine hohe Wärmeabfuhrleistung auf und der Leckstrom in dem Strahlungserfassungselement 11 ist verringert. Dies ermöglicht dem Strahlungsdetektor 1, Strahlung mit hoher Energieauflösung zu erfassen, und der Strahlungserfassungseinrichtung, Strahlung mit hoher Empfindlichkeit zu erfassen. Zudem kann die für die Peltier-Vorrichtung 13 erforderte Leistung supprimiert werden, wobei dadurch ein Leistungsverbrauch in der Strahlungserfassungseinrichtung supprimiert wird.
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Die Strahlungserfassungseinrichtung kann eine Form zum Abtasten der Oberfläche der Probe 6 mit Strahlung von der Strahlungsquelle 4 annehmen, um die Verteilung von Strahlungsspektren auf der Probe 6 zu erhalten. Zudem kann die Strahlungserfassungseinrichtung eine Form annehmen, bei der die Probe 6 auf einem Probentisch 5 mit einer Öffnung montiert ist, Strahlung von der Unterseite des Probentisches 5 auf die Probe 6 gerichtet wird und Strahlung von der Probe 6 erfasst wird. Des Weiteren kann die Strahlungserfassungseinrichtung solch eine Form, nicht mit einer Funktion zum Emittieren von Strahlung und Erfassen von Strahlung, die von der Außenseite eintritt, unter Verwendung des Strahlungsdetektors 1 versehen zu sein, annehmen.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Strahlungsdetektor
- 11
- Strahlungserfassungselement
- 12
- Verdrahtungsplatte
- 13
- Peltier-Vorrichtung (elektronische Kühleinheit)
- 14
- Kältefinger (wärmeleitfähiger Teil)
- 15
- Teil mit geringer Wärmeleitfähigkeit (Material mit geringer Wärmeleitfähigkeit)
- 16
- Basis
- 17
- Abdeckung
- 18
- Fenster
- 2
- Signalverarbeitungseinheit
- 3
- Steuereinheit
- 4
- Strahlungsquelle
- 5
- Probentisch
- 6
- Probe
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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