DE102016110667A1

DE102016110667A1 - Damping device and method with a damping device

Info

Publication number: DE102016110667A1
Application number: DE102016110667.4A
Authority: DE
Inventors: Markus Laufenberg; Thomas Schiepp
Original assignee: ETO Magnetic GmbH
Current assignee: ETO Magnetic GmbH
Priority date: 2016-06-09
Filing date: 2016-06-09
Publication date: 2017-12-14

Abstract

Die Erfindung geht aus von einer Dämpfungsvorrichtung mit einer Dämpfungseinheit (10a–f), welche zumindest ein Dämpfungselement (12a–f) aufweist, welches zumindest teilweise aus einem magnetisch formveränderlichen Material besteht und welches dazu vorgesehen ist, bei wenigstens einem Dämpfungsvorgang eine Bewegung eines zu dämpfenden Objekts (14a; 14f; 14g) in wenigstens eine Bewegungsrichtung (16a; 16f) mittels einer Verformung zumindest teilweise zu dämpfen, und mit einer Magneteinheit (18a–f), welche zumindest dazu vorgesehen ist, eine Verformung des Dämpfungselements (12a–f) zu beeinflussen. Es wird vorgeschlagen, dass die Magneteinheit (18a–f) zumindest zwei, sich gegenseitig verstärkende Magnetelemente (20a–34a; 20b, 24b, 28b, 32b; 20c, 28c; 20d, 24d, 28d, 32d; 20e–34e; 24f, 32f) aufweist, welche dazu vorgesehen sind, in einem Bereich des Dämpfungselements (12a–f) ein Magnetfeld mit einer erhöhten Flussdichte zu erzeugen.The invention is based on a damping device with a damping unit (10a-f), which has at least one damping element (12a-f), which consists at least partially of a magnetically deformable material and which is intended to at least one damping operation, a movement of in at least one direction of movement (16a; 16f) by means of deformation at least partially damped, and with a magnet unit (18a-f) which is at least provided to prevent deformation of the damping element (12a-f ) to influence. It is proposed that the magnet unit (18a-f) comprises at least two mutually reinforcing magnetic elements (20a-34a; 20b, 24b, 28b, 32b; 20c, 28c; 20d, 24d, 28d, 32d; 20e-34e; 24f; 32f) which are intended to generate in a region of the damping element (12a-f) a magnetic field with an increased flux density.

Description

Stand der Technik State of the art

Die Erfindung geht aus von einer Dämpfungsvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und von einem Verfahren mit einer Dämpfungsvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 26. The invention relates to a damping device according to the preamble of claim 1 and to a method with a damping device according to the preamble of claim 26.

Aus dem Stand der Technik sind passive Dämpfungsvorrichtungen mit Dämpfungselementen aus magnetischen Formgedächtnislegierungsmaterialien (auch bekannt als MSM-Material = Magnetic Shape Memory) bekannt. From the prior art passive damping devices with damping elements of magnetic shape memory alloy materials (also known as MSM material = magnetic shape memory) are known.

Die Aufgabe der Erfindung besteht insbesondere darin, eine gattungsgemäße Dämpfungsvorrichtung mit verbesserten Eigenschaften hinsichtlich einer Flexibilität bereitzustellen. Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 und 26 gelöst, während vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung den Unteransprüchen entnommen werden können. The object of the invention is in particular to provide a generic damping device with improved properties in terms of flexibility. The object is solved by the characterizing features of claims 1 and 26, while advantageous embodiments and further developments of the invention can be taken from the dependent claims.

Vorteile der Erfindung Advantages of the invention

Die Erfindung geht aus von einer Dämpfungsvorrichtung, insbesondere einer aktiven Dämpfungsvorrichtung und/oder vorteilhaft einer passiven Dämpfungsvorrichtung, mit einer Dämpfungseinheit, welche zumindest ein Dämpfungselement aufweist, welches zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem magnetisch formveränderlichen Material besteht und welches dazu vorgesehen ist, bei wenigstens einem Dämpfungsvorgang eine Bewegung eines zu dämpfenden Objekts in wenigstens eine Bewegungsrichtung mittels einer, insbesondere mechanischen, Verformung zumindest teilweise und vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil zu dämpfen, und mit einer Magneteinheit, welche zumindest dazu vorgesehen ist, eine Verformung des Dämpfungselements, insbesondere mittels zumindest eines Magnetfelds, zu beeinflussen. The invention is based on a damping device, in particular an active damping device and / or advantageously a passive damping device, with a damping unit which has at least one damping element, which at least partially, preferably at least a large part and particularly preferably completely, consists of a magnetically deformable material and which is intended to attenuate at least one damping process, a movement of an object to be damped in at least partially and preferably at least a majority by means of a, in particular mechanical, deformation, and with a magnet unit which is provided at least one Deformation of the damping element, in particular by means of at least one magnetic field to influence.

Es wird vorgeschlagen, dass die Magneteinheit, insbesondere zur Beeinflussung der Verformung des Dämpfungselements, zumindest zwei, vorteilhaft zumindest drei, vorzugsweise zumindest vier, bevorzugt zumindest fünf, weiter bevorzugt zumindest sechs, besonders bevorzugt zumindest sieben und besonders vorteilhaft zumindest acht, sich gegenseitig verstärkende Magnetelemente aufweist, welche dazu vorgesehen sind, in einem Bereich des Dämpfungselements ein, insbesondere resultierendes und/oder gemeinsames, Magnetfeld mit einer erhöhten Flussdichte zu erzeugen, insbesondere in einem Vergleich zu einem Einzelmagnetfeld eines einzelnen der Magnetelemente. Unter „vorgesehen“ soll insbesondere speziell ausgelegt und/oder ausgestattet verstanden werden. Darunter, dass ein Objekt zu einer bestimmten Funktion vorgesehen ist, soll insbesondere verstanden werden, dass das Objekt diese bestimmte Funktion in zumindest einem Anwendungs- und/oder Betriebszustand erfüllt und/oder ausführt. Unter dem Ausdruck „zu wenigstens einem Großteil“ sollen dabei insbesondere zumindest 55 %, vorteilhaft zumindest 65 %, vorzugsweise zumindest 75 %, besonders bevorzugt zumindest 85 % und besonders vorteilhaft zumindest 95 % verstanden werden. Unter einer „Dämpfungsvorrichtung“ soll in diesem Zusammenhang insbesondere zumindest ein Teil, insbesondere eine Unterbaugruppe, eines, insbesondere aktiven und/oder vorteilhaft passiven, Dämpfers verstanden werden. Vorteilhaft ist die Dämpfungsvorrichtung zumindest zu einer Verwendung und/oder einem Betrieb im Hochvakuum, insbesondere in einem räumlichen Bereich mit einem Druck von höchstens 10^–3 hPa, und vorteilhaft im Ultrahochvakuum, insbesondere in einem räumlichen Bereich mit einem Druck von höchstens 10^–7 hPa, vorgesehen. Insbesondere kann die Dämpfungsvorrichtung dabei auch das zu dämpfende Objekt und/oder ein, insbesondere als Außengehäuse ausgebildetes, Dämpfungsgehäuse, insbesondere zur Aufnahme der Dämpfungseinheit und/oder der Magneteinheit, umfassen. It is proposed that the magnet unit, in particular for influencing the deformation of the damping element, at least two, advantageously at least three, preferably at least four, preferably at least five, more preferably at least six, more preferably at least seven and most preferably at least eight, mutually reinforcing magnetic elements which are provided to generate in a region of the damping element, in particular resulting and / or common, magnetic field having an increased flux density, in particular in a comparison to a single magnetic field of a single one of the magnetic elements. By "intended" is intended to be understood in particular specially designed and / or equipped. The fact that an object is intended for a specific function should in particular mean that the object fulfills and / or executes this specific function in at least one application and / or operating state. At least 55%, advantageously at least 65%, preferably at least 75%, particularly preferably at least 85% and particularly advantageously at least 95% are to be understood by the term "for at least a large part". In this context, a "damping device" should be understood as meaning, in particular, at least one part, in particular a subassembly, of a, in particular active and / or advantageously passive, damper. Advantageously, the damping device is at least for use and / or operation in a high vacuum, in particular in a spatial region with a pressure of at most 10 ^-3 hPa, and advantageously in ultra-high vacuum, in particular in a spatial region with a pressure of at most 10 ^-7 hPa , intended. In particular, the damping device may also comprise the object to be damped and / or a damping housing, in particular designed as an outer housing, in particular for receiving the damping unit and / or the magnet unit.

Ferner soll unter einer „Dämpfungseinheit“ insbesondere eine Einheit, insbesondere mit zumindest einem, vorteilhaft länglichen, Dämpfungselement, verstanden werden, welche dazu vorgesehen ist, mechanische Schwingungen, insbesondere Vibrationen, Erschütterungen und/oder Stöße, insbesondere des zu dämpfenden Objekts, zumindest teilweise und vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil zu dämpfen und insbesondere zu reduzieren. Dazu weist das Dämpfungselement insbesondere in wenigstens einem Anwendungszustand zumindest eine Wirkverbindung mit dem zu dämpfenden Objekt auf. Vorteilhaft weist das Dämpfungselement dabei zumindest eine Kontaktfläche und/oder Anschlagfläche auf, welche in dem Anwendungszustand, vorteilhaft zumindest bei einem Dämpfungsvorgang, das zu dämpfende Objekt insbesondere mittelbar und/oder bevorzugt unmittelbar kontaktiert. Ferner ist das Dämpfungselement insbesondere zumindest teilweise formveränderlich ausgebildet und insbesondere dazu vorgesehen, abhängig von einem externen Stimulus, wie beispielsweise einem elektrischen Signal, einem thermischen Signal, einem mechanischen Signal und/oder einem magnetischen Signal, eine Form, vorteilhaft zumindest eine Längserstreckung, zu verändern. Vorzugsweise ist dabei ein Volumen des Dämpfungselements konstant. Vorteilhaft ist zudem eine Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements zumindest im Wesentlichen parallel zu einer Richtung einer Krafteinwirkung des zu dämpfenden Objekts. Besonders vorteilhaft ist das Dämpfungselement einstückig ausgebildet. Das Dämpfungselement könnte beispielsweise als Hohlkörper, wie beispielsweise als Hohlzylinder, ausgebildet sein. Vorteilhaft ist das Dämpfungselement jedoch als Vollkörper ausgebildet und weist insbesondere eine zumindest im Wesentlichen zylinderförmige, insbesondere kreiszylinderförmige, und/oder vorteilhaft eine zumindest im Wesentlichen streifenförmige, insbesondere quaderförmige, Form und/oder Kontur auf. Insbesondere kann die Dämpfungseinheit auch mehrere Dämpfungselemente, wie beispielsweise zumindest zwei und/oder zumindest drei Dämpfungselemente, aufweisen, welche vorteilhaft zur Dämpfung des zu dämpfenden Objekts in zumindest einem Anwendungszustand und/oder Betriebszustand zusammenwirken können. Dabei könnte zumindest eines der Dämpfungselemente auch als, insbesondere herkömmliches, mechanisches, hydraulisches und/oder pneumatisches Dämpfungselement ausgebildet sein. Im vorliegenden Fall soll unter einer „Längserstreckung“ eines, insbesondere länglichen, Objekts insbesondere eine maximale Erstreckung des Objekts verstanden werden. Unter einer „Längserstreckungsrichtung“ eines, insbesondere länglichen, Objekts soll insbesondere eine Richtung einer maximalen Erstreckung des Objekts verstanden werden. Ferner soll unter „zumindest im Wesentlichen parallel“ insbesondere eine Ausrichtung einer Richtung relativ zu einer Bezugsrichtung, insbesondere in einer Ebene, verstanden werden, wobei die Richtung gegenüber der Bezugsrichtung eine Abweichung insbesondere kleiner als 8°, vorteilhaft kleiner als 5° und besonders vorteilhaft kleiner als 2° aufweist. Unter „einstückig“ soll insbesondere zumindest stoffschlüssig verbunden und/oder miteinander ausgebildet verstanden werden. Der Stoffschluss kann beispielsweise durch einen Klebeprozess, einen Anspritzprozess, einen Schweißprozess, einen Lötprozess und/oder einen anderen Prozess hergestellt werden. Vorteilhaft soll unter einstückig jedoch aus einem Stück und/oder in einem Stück geformt verstanden werden. Darüber hinaus soll unter einem „zumindest im Wesentlichen zylinderförmigen“ Objekt insbesondere ein Objekt verstanden werden, welches von einem zylinderförmigen Referenzobjekt mit einem Volumenanteil von höchstens 20 %, vorzugsweise von höchstens 15 % und besonders bevorzugt von höchstens 10 % abweicht. Entsprechendes soll insbesondere für die Wendung zumindest im Wesentlichen streifenförmig gelten. Ferner soll unter einem „magnetisch formveränderlichen Material“ insbesondere ein Material verstanden werden, welches mittels eines, insbesondere äußeren, Magnetfelds, insbesondere der Magneteinheit, beeinflussbar ist und vorteilhaft in zumindest einem Betriebszustand dazu vorgesehen ist, zumindest abhängig von dem Magnetfeld eine Materialeigenschaft und/oder Form zu verändern. Furthermore, a "damping unit" is to be understood in particular as a unit, in particular with at least one, advantageously elongated, damping element, which is intended to at least partially and mechanically absorb vibrations, in particular vibrations, vibrations and / or impacts, in particular of the object to be damped preferably to attenuate at least a major part and in particular to reduce. For this purpose, in particular in at least one application state, the damping element has at least one operative connection with the object to be damped. Advantageously, the damping element in this case at least one contact surface and / or stop surface, which in the application state, advantageously at least in a damping process, the object to be damped in particular indirectly and / or preferably contacted directly. Furthermore, the damping element is in particular designed to be at least partially deformable and in particular provided to change a shape, advantageously at least one longitudinal extent, depending on an external stimulus, such as an electrical signal, a thermal signal, a mechanical signal and / or a magnetic signal , Preferably, a volume of the damping element is constant. In addition, a longitudinal extension direction of the damping element is at least substantially parallel to a direction of a force of the object to be damped. Particularly advantageous is the damping element in one piece educated. The damping element could for example be formed as a hollow body, such as a hollow cylinder. Advantageously, however, the damping element is designed as a solid body and in particular has an at least substantially cylindrical, in particular circular cylindrical, and / or advantageously at least substantially strip-shaped, in particular cuboid, shape and / or contour. In particular, the damping unit can also have a plurality of damping elements, such as at least two and / or at least three damping elements, which can cooperate advantageously for damping the object to be damped in at least one application state and / or operating state. In this case, at least one of the damping elements could also be designed as, in particular conventional, mechanical, hydraulic and / or pneumatic damping element. In the present case, a "longitudinal extension" of an object, in particular an elongated object, should be understood as meaning, in particular, a maximum extent of the object. A "longitudinal extension direction" of a, in particular oblong, object should in particular be understood to mean a direction of maximum extension of the object. Furthermore, the term "at least substantially parallel" should be understood to mean, in particular, an orientation of a direction relative to a reference direction, in particular in a plane, wherein the direction relative to the reference direction is a deviation, in particular less than 8 °, advantageously less than 5 ° and particularly advantageously less than 2 °. By "one piece" should be understood in particular at least materially connected and / or trained together. The material bond can be produced for example by an adhesive process, a Anspritzprozess, a welding process, a soldering process and / or another process. Advantageously, however, should be understood as being integrally formed in one piece and / or in one piece. In addition, an "at least substantially cylindrical" object should be understood to mean, in particular, an object which deviates from a cylindrical reference object with a volume fraction of at most 20%, preferably at most 15% and particularly preferably at most 10%. Corresponding should apply, in particular for the turn at least substantially strip-shaped. Furthermore, a "magnetically deformable material" is to be understood as meaning, in particular, a material which can be influenced by means of a, in particular external, magnetic field, in particular the magnet unit and is advantageously provided in at least one operating state, at least as a function of the magnetic field a material property and / or Shape change.

Ferner soll unter einer „Magneteinheit“ insbesondere eine Einheit verstanden werden, welche dazu vorgesehen ist, in zumindest einem Betriebszustand ein, insbesondere auf die Dämpfungseinheit und insbesondere zumindest das Dämpfungselement einwirkendes, Magnetfeld bereitzustellen. Darunter, dass ein Objekt ein weiteres Objekt „beeinflusst“ soll in diesem Zusammenhang insbesondere verstanden werden, dass das weitere Objekt bei einer Abwesenheit und/oder Inaktivität des Objekts einen anderen Zustand, eine andere Form und/oder eine andere Lage aufweist und/oder annimmt als bei einer Anwesenheit und/oder Aktivität des Objekts. Vorteilhaft ist die Magneteinheit dabei dazu vorgesehen, ein Magnetfeld bereitzustellen, welches senkrecht zur Längserstreckung des Dämpfungselements und/oder zur Richtung der Krafteinwirkung des zu dämpfenden Objekts angeordnet ist. Besonders bevorzugt ist die Magneteinheit dazu vorgesehen, insbesondere mittels des Magnetfelds, in zumindest einem Anwendungszustand eine Formveränderung des Dämpfungselements zu bewirken und/oder eine Dämpfungskraft und/oder Steifigkeit des Dämpfungselements festzulegen. Unter der Wendung, dass „die Magneteinheit sich gegenseitig verstärkende Magnetelemente aufweist, welche dazu vorgesehen sind, in einem Bereich des Dämpfungselements ein Magnetfeld mit einer erhöhten Flussdichte zu erzeugen“ soll insbesondere verstanden werden, dass die Magnetelemente jeweils ein Einzelmagnetfeld erzeugen und/oder bereitstellen, welche sich insbesondere derart überlagern, dass sich ein, insbesondere resultierendes und/oder gemeinsames, Magnetfeld in einem Bereich des Dämpfungselements erhöht, insbesondere um zumindest 10 %, vorteilhaft um zumindest 30 % und besonders vorteilhaft um zumindest 50 %, insbesondere im Vergleich zu den Einzelmagnetfeldern. Insbesondere sind die Magnetelemente separat voneinander ausgebildet. Vorzugsweise sind die Magnetelemente einstückig ausgebildet. Vorteilhaft sind die Magnetelemente dabei derart angeordnet, dass diese sich gegenseitig verstärken. Darüber hinaus sind die Magnetelemente vorteilhaft in einem Nahbereich des Dämpfungselements angeordnet. Unter einem „Nahbereich“ soll insbesondere ein räumlicher Bereich verstanden werden, welcher aus Punkten gebildet ist, die weniger als ein Drittel, vorzugsweise weniger als ein Viertel, bevorzugt weniger als ein Sechstel und besonders bevorzugt weniger als ein Zehntel einer minimalen Längserstreckung des Dämpfungselements von einem Referenzpunkt und/oder einem Referenzbauteil, insbesondere dem Dämpfungselement, entfernt sind und/oder die jeweils einen Abstand von höchstens 20 mm, vorzugsweise von höchstens 10 mm und besonders bevorzugt von höchstens 5 mm von einem Referenzpunkt und/oder einem Referenzbauteil, insbesondere dem Dämpfungselement, aufweisen. Durch diese Ausgestaltung kann eine Dämpfungsvorrichtung mit verbesserten Eigenschaften hinsichtlich einer Flexibilität bereitgestellt werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine Effizienz, insbesondere eine Energieeffizienz, eine Bauteileeffizienz, eine Bauraumeffizienz und/oder eine Kosteneffizienz, verbessert werden. Zudem kann vorteilhaft eine Dämpfungsvorrichtung mit einer, insbesondere im Vergleich zu herkömmlichen Dämpfungsvorrichtungen, nahezu geschwindigkeitsunabhängigen Dämpfung erreicht werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine besonders kompakte Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden. Ferner kann eine Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden, welche vorteilhaft über sehr geringe Ausgasungsraten verfügt, wodurch ein Einsatz innerhalb eines Hochvakuums und/oder eines Ultrahochvakuums ermöglicht wird. Furthermore, a "magnet unit" is to be understood in particular to mean a unit which is provided to provide a magnetic field, in particular acting on the damping unit and in particular at least the damping element, in at least one operating state. The fact that an object "influences" another object should in this context be understood in particular to mean that the further object has and / or assumes a different state, form and / or position in the absence and / or inactivity of the object as in the presence and / or activity of the object. Advantageously, the magnet unit is provided to provide a magnetic field which is arranged perpendicular to the longitudinal extension of the damping element and / or to the direction of the force of the object to be damped. Particularly preferably, the magnet unit is provided, in particular by means of the magnetic field, to effect a change in shape of the damping element in at least one application state and / or to define a damping force and / or rigidity of the damping element. By the phrase "the magnet unit has mutually reinforcing magnetic elements which are intended to generate a magnetic field with an increased flux density in a region of the damping element" is to be understood in particular that the magnetic elements each generate and / or provide a single magnetic field, which superimpose in particular in such a way that a, in particular resulting and / or common, magnetic field increases in a region of the damping element, in particular by at least 10%, advantageously by at least 30% and particularly advantageously by at least 50%, in particular in comparison to the individual magnetic fields , In particular, the magnetic elements are formed separately from each other. Preferably, the magnetic elements are integrally formed. Advantageously, the magnetic elements are arranged such that they reinforce each other. In addition, the magnetic elements are advantageously arranged in a vicinity of the damping element. A "near zone" is to be understood as meaning, in particular, a spatial area which is formed by points which are less than a third, preferably less than a quarter, preferably less than one sixth and particularly preferably less than one tenth of a minimum longitudinal extent of the damping element of one Reference point and / or a reference component, in particular the damping element, are removed and / or each a distance of at most 20 mm, preferably at most 10 mm and more preferably of at most 5 mm from a reference point and / or a reference component, in particular the damping element, exhibit. By this configuration, a damper device having improved properties in terms of flexibility can be provided. In addition, advantageously, an efficiency, in particular a Energy efficiency, component efficiency, space efficiency and / or cost efficiency can be improved. In addition, advantageously, a damping device with a, in particular compared to conventional damping devices, almost speed-independent damping can be achieved. In addition, advantageously, a particularly compact damping device can be provided. Furthermore, a damping device can be provided, which advantageously has very low outgassing rates, whereby an employment within a high vacuum and / or an ultrahigh vacuum is made possible.

Das magnetisch formveränderliche Material könnte beispielsweise einem magnetostriktiven Material entsprechen. Vorteilhaft ist das magnetisch formveränderliche Material jedoch ein magnetisch wirksames und/oder aktives Formgedächtnismaterial, insbesondere ein magnetisches Formgedächtnismaterial, und besonders bevorzugt eine magnetische Formgedächtnislegierung (auch bekannt als MSM-Material = Magnetic Shape Memory). Insbesondere kann eine Längserstreckung des Dämpfungselements zwischen einer minimalen Expansionsform und/oder Grundform und einer maximalen Expansionsform in diesem Fall um zumindest 1 %, vorteilhaft um zumindest 5 %, vorzugsweise um zumindest 7,5 % und besonders bevorzugt um zumindest 10 %, und/oder um höchstens 20 % und vorteilhaft um höchstens 15 % einer minimalen Längserstreckung des Dämpfungselements, insbesondere in der Grundform, variieren. Bevorzugt enthält das magnetisch formveränderliche Material dabei Nickel, Mangan und Gallium. Bevorzugt weist das Dämpfungselement einen, insbesondere mittels des Magnetfelds der Magneteinheit, einstellbaren und/oder festlegbaren Dämpfungsgrad zwischen 0,1 und 1 auf. Zudem weist das Dämpfungselement vorteilhaft ein, insbesondere mittels des Magnetfelds der Magneteinheit, einstellbares und/oder festlegbares Elastizitätsmodul zwischen 0,1 GPa und 10 GPa auf. Unter einem „Dämpfungsgrad“ soll in diesem Zusammenhang insbesondere ein Verhältnis zwischen, insbesondere von dem Dämpfungselement, absorbierter Energie zu, insbesondere auf das Dämpfungselement, einwirkender Energie, insbesondere aufgrund des Dämpfungsvorgangs, verstanden werden. Hierdurch kann insbesondere eine besonders vorteilhafte Dämpfungsfunktion realisiert werden. The magnetically deformable material could, for example, correspond to a magnetostrictive material. However, the magnetically deformable material is advantageously a magnetically active and / or active shape memory material, in particular a magnetic shape memory material, and particularly preferably a magnetic shape memory alloy (also known as MSM material = magnetic shape memory). In particular, a longitudinal extension of the damping element between a minimum expansion shape and / or basic shape and a maximum expansion shape in this case by at least 1%, advantageously by at least 5%, preferably by at least 7.5% and more preferably by at least 10%, and / or by at most 20% and advantageously by at most 15% of a minimum longitudinal extent of the damping element, in particular in the basic form, vary. The magnetically deformable material preferably contains nickel, manganese and gallium. Preferably, the damping element has a, in particular by means of the magnetic field of the magnet unit, adjustable and / or definable degree of damping between 0.1 and 1. In addition, the damping element advantageously has, in particular by means of the magnetic field of the magnet unit, adjustable and / or fixable elastic modulus between 0.1 GPa and 10 GPa. In this context, a "degree of damping" is to be understood as meaning, in particular, a ratio between energy absorbed, in particular by the damping element, and energy acting on the damping element, in particular due to the damping process. In this way, in particular a particularly advantageous damping function can be realized.

Ist die Magneteinheit zumindest dazu vorgesehen, insbesondere mittels eines Dämpfungsmagnetfelds, eine Dämpfungswirkung des Dämpfungselements zu beeinflussen, insbesondere zumindest zeitlich vor einem Dämpfungsvorgang, kann insbesondere eine vorteilhafte Einstellung, insbesondere Voreinstellung, des Dämpfungselements erreicht werden. Vorteilhaft entspricht das Dämpfungsmagnetfeld dabei dem, insbesondere auf das Dämpfungselement einwirkenden, Magnetfeld der Magnetelemente. Bevorzugt entspricht das Dämpfungsmagnetfeld dabei einem statischen Magnetfeld. Unter einem „statischen Magnetfeld“ soll in diesem Zusammenhang insbesondere ein Magnetfeld verstanden werden, welches über einen Zeitraum von zumindest 10 s, vorteilhaft von zumindest 100 s und besonders bevorzugt von zumindest 500 s unverändert ist und insbesondere in dem Zeitraum eine gleichbleibende Flussdichte und/oder Feldstärke aufweist. If the magnet unit is at least provided to influence, in particular by means of a damping magnetic field, a damping effect of the damping element, in particular at least temporally before a damping operation, an advantageous adjustment, in particular presetting, of the damping element can be achieved. Advantageously, the damping magnetic field corresponds to the magnetic field of the magnetic elements, in particular acting on the damping element. The damping magnetic field preferably corresponds to a static magnetic field. In this context, a "static magnetic field" is to be understood as meaning in particular a magnetic field which is unchanged over a period of at least 10 s, advantageously of at least 100 s and particularly preferably of at least 500 s, and in particular in the period of time a constant flux density and / or Field strength.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die Magneteinheit zumindest dazu vorgesehen ist, insbesondere mittels eines Rückstellmagnetfelds, eine Rückstellung des Dämpfungselements und insbesondere des zu dämpfenden Objekts zu bewirken, insbesondere zumindest zeitlich nach einem Dämpfungsvorgang, wodurch insbesondere eine vorteilhafte reversible Dämpfung erreicht werden kann. Vorteilhaft entspricht das Rückstellmagnetfeld dabei dem, insbesondere auf das Dämpfungselement einwirkenden, Magnetfeld der Magnetelemente. Bevorzugt entspricht das Rückstellmagnetfeld dabei einem statischen Magnetfeld. Besonders bevorzugt sind das Rückstellmagnetfeld und das Dämpfungsmagnetfeld miteinander identisch und weisen insbesondere eine identische Flussdichte und/oder Feldstärke auf. It is further proposed that the magnet unit is provided at least to effect, in particular by means of a reset magnetic field, a return of the damping element and in particular the object to be damped, in particular at least temporally after a damping process, whereby in particular an advantageous reversible damping can be achieved. The reset magnetic field advantageously corresponds to the magnetic field of the magnetic elements, in particular acting on the damping element. The reset magnetic field preferably corresponds to a static magnetic field. Particularly preferably, the reset magnetic field and the damping magnetic field are identical to one another and in particular have an identical flux density and / or field strength.

Ein Magnetfeld mit einer besonders hohen Flussdichte im Bereich des Dämpfungselements kann insbesondere erreicht werden, wenn die Magneteinheit zumindest vier, vorteilhaft zumindest sechs und besonders bevorzugt zumindest acht, sich gegenseitig verstärkende Magnetelemente aufweist. Vorteilhaft umgreifen die Magnetelemente das Dämpfungselement dabei zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, insbesondere zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zur Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements. A magnetic field with a particularly high flux density in the region of the damping element can be achieved, in particular, if the magnet unit has at least four, advantageously at least six, and particularly preferably at least eight, mutually reinforcing magnetic elements. Advantageously, the magnetic elements surround the damping element in at least a large part and particularly preferably completely, in particular at least when viewed perpendicularly to the longitudinal direction of extension of the damping element.

In einer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Magnetelemente zumindest im Wesentlichen identisch zueinander ausgebildet sind. Insbesondere sind zumindest zwei der Magnetelemente zumindest im Wesentlichen identisch zueinander ausgebildet. Unter der Wendung „zumindest im Wesentlichen identisch“ soll dabei insbesondere abgesehen von Fertigungstoleranzen und/oder im Rahmen fertigungstechnischer Möglichkeiten und/oder im Rahmen standardisierter Toleranzen identisch verstanden werden. Hierdurch können insbesondere Kosten reduziert werden. In one embodiment of the invention it is proposed that the magnetic elements are at least substantially identical to each other. In particular, at least two of the magnetic elements are at least substantially identical to one another. The term "at least substantially identical" should be understood to mean identical, in particular, apart from manufacturing tolerances and / or in the context of production engineering possibilities and / or within the scope of standardized tolerances. In particular, this can reduce costs.

Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass die Magnetelemente auf unterschiedlichen, bevorzugt zumindest gegenüberliegenden, Seiten des Dämpfungselements angeordnet sind. Vorteilhaft sind die Magnetelemente dabei auf unterschiedlichen Längsseiten des Dämpfungselements, welche sich insbesondere in die Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements erstrecken, angeordnet. Insbesondere sind zumindest zwei der Magnetelemente auf unterschiedlichen, bevorzugt zumindest gegenüberliegenden, Seiten, vorteilhaft Längsseiten, des Dämpfungselements angeordnet. Hierdurch kann insbesondere ein vorteilhaft kompakter und/oder energieeffizienter Aufbau erreicht werden. Furthermore, it is proposed that the magnetic elements are arranged on different, preferably at least opposite, sides of the damping element. Advantageously, the magnetic elements are on different longitudinal sides of the damping element, which is extend in particular in the longitudinal direction of the damping element arranged. In particular, at least two of the magnetic elements are arranged on different, preferably at least opposite, sides, advantageously longitudinal sides, of the damping element. In this way, in particular, an advantageously compact and / or energy-efficient construction can be achieved.

Zumindest eines der Magnetelemente könnte beispielsweise beweglich relativ zu dem Dämpfungselement gelagert sein. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird jedoch vorgeschlagen, dass die Magnetelemente unbeweglich und/oder statisch relativ zu dem Dämpfungselement und/oder relativ zu dem Dämpfungsgehäuse sind. Insbesondere sind zumindest zwei der Magnetelemente unbeweglich und/oder statisch relativ zu dem Dämpfungselement und/oder relativ zu dem Dämpfungsgehäuse. Bevorzugt ist die, insbesondere gesamte, Magneteinheit unbeweglich und/oder statisch relativ zu dem Dämpfungselement und/oder relativ zu dem Dämpfungsgehäuse. Hierdurch kann insbesondere eine besonders einfache Konstruktion erreicht werden. For example, at least one of the magnetic elements could be movably mounted relative to the damping element. In a preferred embodiment of the invention, however, it is proposed that the magnetic elements are immovable and / or static relative to the damping element and / or relative to the damping housing. In particular, at least two of the magnetic elements are immovable and / or static relative to the damping element and / or relative to the damping housing. Preferably, the, in particular entire, magnetic unit immovable and / or static relative to the damping element and / or relative to the damping housing. As a result, in particular a particularly simple construction can be achieved.

Vorzugsweise bestehen die Magnetelemente zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem Permanentmagnetwerkstoff und vorteilhaft demselben Permanentmagnetwerkstoff. Insbesondere bestehen zumindest zwei der Magnetelemente zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem Permanentmagnetwerkstoff und vorteilhaft demselben Permanentmagnetwerkstoff. In diesem Zusammenhang soll unter einem „Permanentmagnetwerkstoff“ insbesondere ein Magnetwerkstoff verstanden werden, welcher, insbesondere nach einer anfänglichen Magnetisierung, eine Remanenz aufweist. Vorteilhaft weist der Permanentmagnetwerkstoff dabei eine Remanenzflussdichte von zumindest 0,2 T, insbesondere von zumindest 0,4 T und insbesondere von zumindest 0,6 T, auf. Besonders vorteilhaft sind die Magnetelemente dabei jeweils als Permanentmagnet, vorteilhaft als Seltenerdmagnet, ausgebildet und bestehen insbesondere zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus Neodym-Eisen-Bor, einer Neodym-Eisen-Bor-Legierung, Samarium-Cobalt und/oder einer Samarium-Cobalt-Legierung. Besonders vorteilhaft bestehen sämtliche Magnetelemente der Magneteinheit zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem Permanentmagnetwerkstoff, vorteilhaft demselben Permanentmagnetwerkstoff Besonders bevorzugt ist die Magneteinheit dabei frei von, insbesondere aktiv steuerbaren und/oder ansteuerbaren, Magnetelementen, wie beispielsweise Spulen und/oder Elektromagneten. Hierdurch kann insbesondere eine Ansteuerung der Magneteinheit vereinfacht und/oder auf eine Ansteuerung der Magneteinheit vollständig verzichtet werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine Wärmeentwicklung, wie beispielsweise bei Verwendung von Elektromagneten, reduziert und/oder vorteilhaft gänzlich vermieden werden. Preferably, the magnetic elements at least partially, preferably at least a large part and particularly preferably completely, of a permanent magnet material and advantageously the same permanent magnet material. In particular, at least two of the magnetic elements at least partially, preferably at least a large part and particularly preferably completely, consist of a permanent magnet material and advantageously the same permanent magnet material. In this context, a "permanent magnet material" should be understood to mean, in particular, a magnetic material which, in particular after an initial magnetization, has a remanence. In this case, the permanent magnet material advantageously has a remanent flux density of at least 0.2 T, in particular of at least 0.4 T and in particular of at least 0.6 T. In this case, the magnetic elements are each particularly advantageously designed as a permanent magnet, advantageously as a rare earth magnet, and consist in particular at least partially, preferably at least to a large extent and particularly preferably completely, of neodymium-iron-boron, a neodymium-iron-boron alloy, samarium cobalt and / or a samarium-cobalt alloy. Particularly advantageously, all magnetic elements of the magnet unit are at least partially, preferably at least a large part and particularly preferably complete, of a permanent magnet material, advantageously the same permanent magnet material. The magnet unit is particularly free of, in particular actively controllable and / or controllable, magnetic elements, such as coils and / or electromagnets. In this way, in particular, a control of the magnet unit can be simplified and / or a control of the magnet unit can be completely dispensed with. In addition, advantageously, a heat development, such as when using electromagnets, reduced and / or advantageously completely avoided.

Ferner wird vorgeschlagen, dass die Magnetelemente unterschiedliche Magnetisierungsrichtungen aufweisen. Insbesondere weisen zumindest zwei der Magnetelemente unterschiedliche Magnetisierungsrichtungen auf. Vorteilhaft ist dabei die Magnetisierungsrichtung unmittelbar benachbarter Magnetelemente unterschiedlich. Insbesondere weisen dabei in Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements betrachtet und/oder in Umfangsrichtung und/oder Umlaufrichtung des Dämpfungselements unmittelbar benachbarte Magnetelemente unterschiedliche Magnetisierungsrichtungen auf. Darunter, dass „zwei Magnetisierungsrichtungen unterschiedlich sind“ soll insbesondere verstanden werden, dass die Magnetisierungsrichtungen um einen Winkel von zumindest 5°, vorteilhaft um zumindest 15°, vorzugsweise um zumindest 30°, besonders bevorzugt um zumindest 60° und besonders vorteilhaft um zumindest 90° und/oder um höchstens 355°, vorteilhaft um höchstens 345°, vorzugsweise um höchstens 330°, besonders bevorzugt um höchstens 300° und besonders vorteilhaft um höchstens 270° verdreht zueinander sind. Hierdurch kann insbesondere eine besonders hohe gegenseitige Verstärkung der Magnetelemente erreicht werden. It is also proposed that the magnetic elements have different magnetization directions. In particular, at least two of the magnetic elements have different magnetization directions. Advantageously, the magnetization direction of directly adjacent magnetic elements is different. In particular, viewed in the longitudinal direction of extension of the damping element and / or in the circumferential direction and / or circumferential direction of the damping element immediately adjacent magnetic elements have different magnetization directions. By the fact that "two magnetization directions are different" should be understood in particular that the magnetization directions by an angle of at least 5 °, preferably by at least 15 °, preferably by at least 30 °, more preferably by at least 60 ° and particularly advantageously by at least 90 ° and / or at most 355 °, advantageously at most 345 °, preferably at most 330 °, more preferably at most 300 ° and particularly advantageously at most 270 ° twisted to each other. In this way, in particular a particularly high mutual reinforcement of the magnetic elements can be achieved.

Besonders bevorzugt weisen Magnetelemente, welche bezüglich des Dämpfungselements gegenüberliegend angeordnet sind, dieselbe Magnetisierungsrichtung auf. Insbesondere weisen dabei zumindest zwei Magnetelemente, welche bezüglich des Dämpfungselements unmittelbar gegenüberliegend angeordnet sind, dieselbe Magnetisierungsrichtung auf. Darunter, dass ein Magnetelement und ein weiteres Magnetelement „bezüglich des Dämpfungselements unmittelbar gegenüberliegend angeordnet sind“ soll insbesondere verstanden werden, dass das Magnetelement und das weitere Magnetelement derart angeordnet sind, dass zumindest eine Gerade existiert, welche zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zu der Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements einen, insbesondere geometrischen, Mittelpunkt des Magnetelements, einen, insbesondere geometrischen, Mittelpunkt des Dämpfungselements und einen, insbesondere geometrischen, Mittelpunkt des weiteren Magnetelements schneidet. Besonders bevorzugt sind die Magnetelemente in einer sogenannten Halbach-Array-Konfiguration, insbesondere um das Dämpfungselement, angeordnet. Hierdurch kann insbesondere eine Flussdichte im Bereich des Dämpfungselements optimiert werden. Particularly preferably, magnetic elements, which are arranged opposite with respect to the damping element, have the same direction of magnetization. In particular, at least two magnetic elements, which are arranged directly opposite one another with respect to the damping element, have the same magnetization direction. It should be understood, in particular, that the magnetic element and the further magnetic element are arranged in such a way that at least one straight line exists which, at least when viewed perpendicularly to the longitudinal extension direction of the Damping element a, in particular geometric, center of the magnetic element, a, in particular geometric, center of the damping element and a, in particular geometric, center of the further magnetic element intersects. The magnetic elements are particularly preferably arranged in a so-called Halbach array configuration, in particular around the damping element. In this way, in particular, a flux density in the region of the damping element can be optimized.

In einer Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass zumindest eines der Magnetelemente eine von einer Quaderform verschiedene Form aufweist, wie beispielsweise kreisringsegmentförmig und/oder tetraederförmig. Hierdurch kann insbesondere ein benötigter Bauraum optimiert und/oder ein verfügbarer Bauraum optimal genutzt werden. In one embodiment of the invention, it is proposed that at least one of the magnetic elements has a shape that is different from a cuboid shape, such as annular segment-shaped and / or tetrahedral, for example. In this way, in particular a required space can be optimized and / or an available space can be optimally used.

Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass die Magneteinheit zumindest einen Flusskonzentrator aufweist, welcher dazu vorgesehen ist, ein auf das Dämpfungselement einwirkendes Magnetfeld, insbesondere der Magnetelemente, zu erhöhen. Vorteilhaft ist der Flusskonzentrator dabei einem der Magnetelemente zugeordnet und insbesondere in einem montierten Zustand zumindest teilweise zwischen dem dem Flusskonzentrator zugeordneten Magnetelement und dem Dämpfungselement angeordnet. Hierdurch kann insbesondere ein auf das Dämpfungselement einwirkendes Magnetfeld erhöht werden, wodurch vorteilhaft eine Anzahl an Magnetelementen reduziert werden kann. Furthermore, it is proposed that the magnet unit has at least one flux concentrator which is provided to increase a magnetic field acting on the damping element, in particular the magnetic elements. Advantageously, the flux concentrator is assigned to one of the magnetic elements and, in particular in an assembled state, at least partially disposed between the magnetic element associated with the flux concentrator and the damping element. In this way, in particular, a magnetic field acting on the damping element can be increased, whereby advantageously a number of magnetic elements can be reduced.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Magneteinheit modular aufgebaut ist, wodurch insbesondere eine vorteilhafte Voreinstellbarkeit eines Magnetfelds der Magneteinheit erreicht werden kann. Unter der Wendung „modular aufgebaut“ soll in diesem Zusammenhang insbesondere verstanden werden, dass die Magneteinheit voreinstellbar und/oder modular erweiterbar ist und insbesondere mit einer beliebigen Anzahl an Magnetelementen, insbesondere der bereits zuvor genannten Magnetelemente, insbesondere zumindest zwischen zwei und acht Magnetelementen, und/oder Flusskonzentratoren versehen, bestückt und/oder verwendet werden kann. In a particularly preferred embodiment of the invention, it is proposed that the magnet unit has a modular construction, whereby in particular an advantageous presettableness of a magnetic field of the magnet unit can be achieved. The term "modular design" is to be understood in this context in particular that the magnet unit is presettable and / or modular expandable and in particular with any number of magnetic elements, in particular the previously mentioned magnetic elements, in particular at least between two and eight magnetic elements, and / or flux concentrators provided, equipped and / or can be used.

Des Weiteren wird vorgeschlagen, dass die Dämpfungsvorrichtung zumindest ein, vorteilhaft als Trenngitter ausgebildetes, Trennelement aufweist, welches zu einer zumindest teilweisen Abtrennung der Magnetelemente vorgesehen ist. Vorteilhaft besteht das Trennelement dabei aus einem nicht-magnetischen Material. Hierdurch kann insbesondere eine Positionierung der Magnetelemente bei einer Montage vereinfacht und/oder eine korrekte Ausrichtung der Magnetelemente während eines Betriebs gewährleistet werden. Furthermore, it is proposed that the damping device has at least one, advantageously designed as a separation grid, separating element, which is provided for at least partial separation of the magnetic elements. Advantageously, the separating element consists of a non-magnetic material. In this way, in particular a positioning of the magnetic elements can be simplified during assembly and / or a correct orientation of the magnetic elements can be ensured during operation.

Weiter wird vorgeschlagen, dass die Dämpfungsvorrichtung zumindest eine, vorteilhaft als Abschirmrahmen ausgebildete, Abschirmeinheit aufweist, welche dazu vorgesehen ist, wenigstens ein mittels der Magneteinheit erzeugtes Magnetfeld zumindest teilweise abzuschwächen und vorteilhaft abzuschirmen, insbesondere gegenüber einem Umgebungsbereich. Insbesondere umgreift und/oder umgibt die Abschirmeinheit dazu die Magneteinheit und vorteilhaft das Dämpfungselement zu wenigstens einem Großteil und vorteilhaft vollständig, insbesondere zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zur Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements. Bevorzugt besteht die Abschirmeinheit dabei zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem magnetisch leitfähigen Material, insbesondere Eisen, Kobalt, Nickel und/oder Mu-Metall. Hierdurch kann insbesondere eine vorteilhafte Abschirmung erreicht werden, wobei insbesondere magnetische Streufelder im Umgebungsbereich unterdrückt werden können und vorteilhaft eine elektromagnetische Verträglichkeit verbessert werden kann. It is further proposed that the damping device has at least one shielding unit, advantageously designed as a shielding frame, which is provided to at least partially attenuate and at least partially shield at least one magnetic field generated by the magnet unit, in particular with respect to a surrounding area. In particular, the shielding unit surrounds and / or surrounds the magnet unit and advantageously the damping element at least to a large extent and advantageously completely, in particular at least when viewed perpendicular to the longitudinal direction of the damping element. The shielding unit preferably consists at least partially, preferably at least to a large extent and particularly preferably completely, of a magnetically conductive material, in particular iron, cobalt, nickel and / or mu metal. In this way, in particular, an advantageous shielding can be achieved, in particular magnetic stray fields in the surrounding area can be suppressed and advantageously an electromagnetic compatibility can be improved.

Gemäß eines weiteren Aspekts der Erfindung, welcher insbesondere für sich allein oder vorteilhaft zusätzlich zu den zuvor genannten Aspekten der Erfindung realisiert werden kann, und bevorzugt mit zumindest einigen, vorteilhaft wenigstens einem Großteil und bevorzugt sämtlichen der zuvor genannten Aspekte kombiniert werden kann, wird eine Dämpfungsvorrichtung, insbesondere eine aktive Dämpfungsvorrichtung und/oder vorteilhaft eine passive Dämpfungsvorrichtung, vorgeschlagen, mit einer Dämpfungseinheit, welche zumindest ein Dämpfungselement aufweist, welches zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem magnetisch formveränderlichen Material besteht und, welches dazu vorgesehen ist, bei wenigstens einem Dämpfungsvorgang eine Bewegung eines zu dämpfenden Objekts in wenigstens eine Bewegungsrichtung mittels einer, insbesondere mechanischen, Verformung zumindest teilweise und vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil zu dämpfen, und mit einer Magneteinheit, welche zumindest dazu vorgesehen ist, eine Verformung des Dämpfungselements, insbesondere mittels zumindest eines Magnetfelds, zu beeinflussen, wobei die Dämpfungsvorrichtung das zu dämpfende Objekt umfasst und, wobei die Magneteinheit zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, an dem zu dämpfenden Objekt angeordnet ist. Hierdurch können insbesondere die bereits zuvor genannten Vorteile erreicht werden. Insbesondere kann durch eine entsprechende Ausgestaltung der Dämpfungsvorrichtung eine Flexibilität erhöht werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine Effizienz, insbesondere eine Energieeffizienz, eine Bauteileeffizienz, eine Bauraumeffizienz und/oder eine Kosteneffizienz, verbessert werden. Zudem kann vorteilhaft eine Dämpfungsvorrichtung mit einer, insbesondere im Vergleich zu herkömmlichen Dämpfungsvorrichtungen, nahezu geschwindigkeitsunabhängigen Dämpfung erreicht werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine besonders kompakte Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden. Ferner kann eine Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden, welche vorteilhaft über sehr geringe Ausgasungsraten verfügt, wodurch ein Einsatz innerhalb eines Hochvakuums und/oder eines Ultrahochvakuums ermöglicht wird. According to a further aspect of the invention, which in particular can be implemented alone or advantageous in addition to the aforementioned aspects of the invention, and preferably combined with at least some, advantageously at least a majority and preferably all of the aforementioned aspects, is a damping device , In particular, an active damping device and / or advantageously a passive damping device, proposed, with a damping unit having at least one damping element, which consists at least partially, preferably at least a major part and particularly preferably completely, of a magnetically deformable material and, which provided is, in at least one damping operation, a movement of an object to be damped in at least one direction of movement by means of a, in particular mechanical, deformation at least partially and preferably at least one Gr oussteil to damp, and with a magnet unit which is at least provided to influence a deformation of the damping element, in particular by means of at least one magnetic field, wherein the damping device comprises the object to be damped and, wherein the magnet unit at least partially, preferably at least a major part and particularly preferably completely, is arranged on the object to be damped. As a result, in particular the advantages already mentioned above can be achieved. In particular, a flexibility can be increased by a corresponding embodiment of the damping device. In addition, advantageously, efficiency, in particular energy efficiency, component efficiency, space efficiency and / or cost efficiency, can be improved. In addition, advantageously, a damping device with a, in particular compared to conventional damping devices, almost speed-independent damping can be achieved. In addition, advantageously, a particularly compact damping device can be provided. Furthermore, a damping device can be provided, which advantageously has very low outgassing rates, allowing use within a high vacuum and / or ultrahigh vacuum.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass die Dämpfungsvorrichtung eine Detektionseinheit aufweist, welche dazu vorgesehen ist, wenigstens eine mit dem Dämpfungsvorgang korrelierte Dämpfungskenngröße zu detektieren. Unter einer „Dämpfungskenngröße“ soll insbesondere eine Kenngröße verstanden werden, welche insbesondere mit dem Dämpfungsvorgang und vorteilhaft einer Verformung des Dämpfungselements korreliert ist, wobei insbesondere die Detektionseinheit und/oder eine weitere Einheit, vorteilhaft der Dämpfungsvorrichtung, wenigstens anhand der Dämpfungskenngröße auf ein Vorhandensein und/oder ein Auftreten eines Dämpfungsvorgangs schließen und/oder das Vorhandensein und/oder das Auftreten des Dämpfungsvorgangs ermitteln kann. Vorteilhaft ist die Detektionseinheit dabei dazu vorgesehen, eine Betätigung des Dämpfungselements und/oder eine Verformung des Dämpfungselements, insbesondere direkt und/oder indirekt, zu erfassen. Hierdurch kann insbesondere eine vorteilhafte Detektion und/oder Erfassung eines Dämpfungsvorgangs erreicht werden. In a further embodiment of the invention, it is proposed that the damping device has a detection unit which is provided to detect at least one damping characteristic correlated with the damping process. A "damping characteristic" should in particular be understood to mean a parameter which is correlated in particular with the damping process and advantageously a deformation of the damping element, wherein in particular the detection unit and / or a further unit, advantageously the damping device, at least on the basis of the damping characteristic for a presence and / or or close an occurrence of a damping process and / or determine the presence and / or occurrence of the damping process. Advantageously, the detection unit is provided to detect an actuation of the damping element and / or a deformation of the damping element, in particular directly and / or indirectly. In this way, in particular, an advantageous detection and / or detection of a damping process can be achieved.

Die Detektionseinheit könnte zur Detektion der Dämpfungskenngröße beispielsweise zumindest einen als Kamera, insbesondere CCD-Kamera, ausgebildeten Sensor und/oder zumindest einen als Beschleunigungssensor ausgebildeten Sensor aufweisen. Eine vorteilhaft kostengünstige und/oder bauraumoptimierte Detektion der Dämpfungskenngröße kann jedoch insbesondere erreicht werden, wenn die Detektionseinheit zur Detektion der Dämpfungskenngröße zumindest einen als Sensorspule ausgebildeten Sensor aufweist. For detecting the damping characteristic, the detection unit could, for example, have at least one sensor designed as a camera, in particular a CCD camera, and / or at least one sensor designed as an acceleration sensor. However, an advantageously cost-effective and / or space-optimized detection of the attenuation characteristic can be achieved, in particular, if the detection unit has at least one sensor designed as a sensor coil for the purpose of detecting the attenuation characteristic.

Alternativ oder zusätzlich wird vorgeschlagen, dass die Detektionseinheit zur Detektion der Dämpfungskenngröße zumindest einen als Magnetfeldsensor ausgebildeten Sensor aufweist, wie beispielsweise einen auf dem anisotropen magnetoresistiven Effekt basierenden Sensor, insbesondere einen AMR-Sensor, einen auf dem riesenmagnetowiderstand Effekt basierenden Sensor, insbesondere einen GMR-Sensor, und/oder einen Hallsensor. Hierdurch kann insbesondere eine vorteilhaft einfache Erfassung der Dämpfungskenngröße erreicht werden. Alternatively or additionally, it is proposed that the detection unit for detecting the damping characteristic has at least one sensor designed as a magnetic field sensor, such as a sensor based on the anisotropic magnetoresistive effect, in particular an AMR sensor, a sensor based on the giant magnetoresistance effect, in particular a GMR sensor. Sensor, and / or a Hall sensor. In this way, in particular an advantageously simple detection of the damping characteristic can be achieved.

Die Dämpfungskenngröße könnte beispielsweise einer Aufprallenergie des zu dämpfenden Objekts auf das Dämpfungselement und/oder einer Lage, insbesondere, einer relativen und/oder einer absoluten Position, des zu dämpfenden Objekts entsprechen. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird jedoch vorgeschlagen, dass die Dämpfungskenngröße eine aufgrund der Verformung des Dämpfungselements, insbesondere bei dem Dämpfungsvorgang, bewirkte Induktivitätsänderung der Magneteinheit, insbesondere der Magnetelemente, ist. Insbesondere ist die Detektionseinheit dazu vorgesehen, bei dem Dämpfungsvorgang eine aufgrund der Verformung des Dämpfungselements bewirkte Induktivitätsänderung der Magneteinheit, insbesondere der Magnetelemente, zu detektieren. Hierdurch kann insbesondere ein Dämpfungsvorgang vorteilhaft einfach erfasst werden. The damping characteristic could, for example, correspond to an impact energy of the object to be damped on the damping element and / or a position, in particular, a relative and / or an absolute position, of the object to be damped. In a preferred embodiment of the invention, however, it is proposed that the damping characteristic is a change in inductance of the magnet unit, in particular of the magnet elements, caused by the deformation of the damping element, in particular during the damping process. In particular, the detection unit is provided for detecting an inductance change of the magnet unit, in particular the magnet elements, caused by the deformation of the damping element during the damping process. As a result, in particular a damping process can advantageously be detected easily.

Darüber hinaus wird vorgeschlagen, dass die Dämpfungsvorrichtung eine Auswerteeinheit aufweist, welche dazu vorgesehen ist, abhängig von einem von der Detektionseinheit bereitgestellten und insbesondere mit dem Dämpfungsvorgang und/oder vorteilhaft der Dämpfungskenngröße korrelierten Signal eine Aufprallenergie des zu dämpfenden Objekts zu ermitteln. Hierdurch kann vorteilhaft einfach und insbesondere ohne den Einsatz weiterer Hilfsmittel eine Aussage über die Aufprallenergie getroffen werden, mit welcher das zu dämpfende Objekt auf das Dämpfungselement aufgetroffen ist. In addition, it is proposed that the damping device has an evaluation unit which is provided to determine an impact energy of the object to be damped as a function of a signal provided by the detection unit and in particular correlated with the damping process and / or advantageously the damping characteristic. As a result, advantageously and simply, in particular without the use of further aids, a statement about the impact energy with which the object to be damped has impacted on the damping element can be made.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung wird vorgeschlagen, dass zumindest die Dämpfungseinheit und/oder die Magneteinheit zu einem Betrieb im Hochvakuum, insbesondere in einem räumlichen Bereich mit einem Druck von höchstens 10^–3 hPa, und vorteilhaft im Ultrahochvakuum, insbesondere in einem räumlichen Bereich mit einem Druck von höchstens 10^–7 hPa, vorgesehen ist. Hierdurch kann insbesondere ein vorteilhaft flexibler Einsatz der Dämpfungsvorrichtung erreicht werden. In a particularly preferred embodiment of the invention it is proposed that at least the damping unit and / or the magnet unit to operate in a high vacuum, in particular in a spatial area with a pressure of at most 10 ^-3 hPa, and advantageously in ultra-high vacuum, in particular in a spatial area with a pressure of at most 10 ^-7 hPa, is provided. In this way, in particular an advantageously flexible use of the damping device can be achieved.

Ferner betrifft die Erfindung ein Dämpfungssystem mit einer Dämpfungsvorrichtung, insbesondere der zuvor beschriebenen Dämpfungsvorrichtung, und mit einer Vakuumkammer, in welcher die Dämpfungsvorrichtung angeordnet ist und welche einen Druck von höchstens 10^–3 hPa aufweist. Hierdurch kann insbesondere ein vorteilhaftes Dämpfungssystem bereitgestellt werden, mit einer Dämpfungsvorrichtung, welche insbesondere aufgrund sehr geringer Ausgasungsraten auch innerhalb eines Hochvakuums und/oder eines Ultrahochvakuums eingesetzt werden kann. Furthermore, the invention relates to a damping system with a damping device, in particular the damping device described above, and with a vacuum chamber in which the damping device is arranged and which has a pressure of at most 10 ^-3 hPa. In this way, in particular, an advantageous damping system can be provided, with a damping device which can be used in particular due to very low outgassing rates, even within a high vacuum and / or an ultra-high vacuum.

Zudem geht die Erfindung aus von einem Verfahren mit einer Dämpfungsvorrichtung, insbesondere einer aktiven Dämpfungsvorrichtung und/oder vorteilhaft einer passiven Dämpfungsvorrichtung, wobei die Dämpfungsvorrichtung eine Dämpfungseinheit aufweist, welche zumindest ein Dämpfungselement aufweist, welches zumindest teilweise, vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil und besonders bevorzugt vollständig, aus einem magnetisch formveränderlichen Material besteht, wobei eine Bewegung eines zu dämpfenden Objekts in wenigstens eine Bewegungsrichtung mittels einer, insbesondere mechanischen, Verformung des Dämpfungselements zumindest teilweise und vorzugsweise zu wenigstens einem Großteil gedämpft und eine Verformung des Dämpfungselements mittels einer Magneteinheit, insbesondere mittels zumindest eines Magnetfelds der Magneteinheit, beeinflusst wird. In addition, the invention is based on a method with a damping device, in particular an active damping device and / or advantageously a passive damping device, wherein the damping device comprises a damping unit which has at least one damping element which at least partially, preferably at least a large part and particularly preferably completely , consists of a magnetically deformable material, wherein a movement of an object to be damped in at least one direction of movement by means of a, in particular mechanical, deformation of the Damping element is at least partially and preferably at least a majority attenuated and a deformation of the damping element by means of a magnet unit, in particular by means of at least one magnetic field of the magnet unit, is influenced.

Es wird vorgeschlagen, dass, insbesondere zur Beeinflussung der Verformung des Dämpfungselements, in einem Bereich des Dämpfungselements mittels zumindest zwei, vorteilhaft zumindest vier, vorzugsweise zumindest sechs und besonders vorteilhaft zumindest acht, sich gegenseitig verstärkenden Magnetelementen der Magneteinheit ein, insbesondere resultierendes und/oder gemeinsames, Magnetfeld mit einer erhöhten Flussdichte erzeugt wird, insbesondere in einem Vergleich zu einem Einzelmagnetfeld eines einzelnen der Magnetelemente. Hierdurch kann insbesondere eine Flexibilität und/oder eine Effizienz, insbesondere eine Energieeffizienz, eine Bauteileeffizienz, eine Bauraumeffizienz und/oder eine Kosteneffizienz, verbessert werden. Zudem kann vorteilhaft eine Dämpfungsvorrichtung mit einer, insbesondere im Vergleich zu herkömmlichen Dämpfungsvorrichtungen, nahezu geschwindigkeitsunabhängigen Dämpfung erreicht werden. Darüber hinaus kann vorteilhaft eine besonders kompakte Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden. Ferner kann eine Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden, welche vorteilhaft über sehr geringe Ausgasungsraten verfügt, wodurch ein Einsatz innerhalb eines Hochvakuums und/oder eines Ultrahochvakuums ermöglicht wird. It is proposed that, in particular for influencing the deformation of the damping element, in a region of the damping element by means of at least two, advantageously at least four, preferably at least six, and particularly advantageously at least eight, mutually reinforcing magnetic elements of the magnet unit, in particular resulting and / or common , Magnetic field is generated with an increased flux density, in particular in comparison to a single magnetic field of a single one of the magnetic elements. This can in particular improve flexibility and / or efficiency, in particular energy efficiency, component efficiency, space efficiency and / or cost efficiency. In addition, advantageously, a damping device with a, in particular compared to conventional damping devices, almost speed-independent damping can be achieved. In addition, advantageously, a particularly compact damping device can be provided. Furthermore, a damping device can be provided, which advantageously has very low outgassing rates, whereby an employment within a high vacuum and / or an ultrahigh vacuum is made possible.

Die Dämpfungsvorrichtung und das Verfahren mit der Dämpfungsvorrichtung sollen hierbei nicht auf die oben beschriebene Anwendung und Ausführungsform beschränkt sein. Insbesondere können die Dämpfungsvorrichtung und das Verfahren mit der Dämpfungsvorrichtung zu einer Erfüllung einer hierin beschriebenen Funktionsweise eine von einer hierin genannten Anzahl von einzelnen Elementen, Bauteilen und Einheiten abweichende Anzahl aufweisen. The damping device and the method with the damping device should not be limited to the application and embodiment described above. In particular, the damping device and the method with the damping device for performing a function described herein may have a different number from a number of individual elements, components and units mentioned herein.

Zeichnungen drawings

Weitere Vorteile ergeben sich aus der folgenden Zeichnungsbeschreibung. In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt. Die Zeichnungen, die Beschreibung und die Ansprüche enthalten zahlreiche Merkmale in Kombination. Der Fachmann wird die Merkmale zweckmäßigerweise auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfassen. Further advantages emerge from the following description of the drawing. In the drawings, an embodiment of the invention is shown. The drawings, the description and the claims contain numerous features in combination. The person skilled in the art will expediently also consider the features individually and combine them into meaningful further combinations.

Es zeigen: Show it:

1 ein Dämpfer mit einer Dämpfungsvorrichtung in einer perspektivischen Außenansicht, 1 a damper with a damping device in an external perspective view,

2 der Dämpfer mit der Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Innenansicht, 2 the damper with the damping device in a schematic interior view,

3 ein Ausführungsbeispiel einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Innenansicht, 3 an embodiment of another damping device in a schematic interior view,

4 ein Ausführungsbeispiel einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Innenansicht, 4 an embodiment of another damping device in a schematic interior view,

5 ein Ausführungsbeispiel einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Innenansicht, 5 an embodiment of another damping device in a schematic interior view,

6 ein Ausführungsbeispiel einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Innenansicht, 6 an embodiment of another damping device in a schematic interior view,

7 ein Ausführungsbeispiel einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Ansicht und 7 an embodiment of another damping device in a schematic view and

8 ein Dämpfungssystem mit einer weiteren Dämpfungsvorrichtung in einer schematischen Ansicht. 8th a damping system with a further damping device in a schematic view.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele Description of the embodiments

1 zeigt einen beispielhaften Dämpfer 68a in einer perspektivischen Außenansicht. Der Dämpfer 68a ist im vorliegenden Fall als Schwingungsdämpfer ausgebildet. Der Dämpfer 68a ist als passiver Dämpfer ausgebildet. Der Dämpfer 68a ist zu einer Dämpfung wenigstens eines, insbesondere in eine Bewegungsrichtung 16a beweglich relativ zu dem Dämpfer 68a gelagerten, zu dämpfenden Objekts 14a vorgesehen. Alternativ ist jedoch auch denkbar, dass ein Dämpfer zur Dämpfung mehrerer zu dämpfender Objekte, insbesondere abwechselnd und/oder gleichzeitig, vorgesehen sein kann. Zudem ist grundsätzlich auch denkbar, einen Dämpfer als aktiven Dämpfer auszubilden. 1 shows an exemplary damper 68a in a perspective exterior view. The damper 68a is designed in the present case as a vibration damper. The damper 68a is designed as a passive damper. The damper 68a is to a damping at least one, in particular in a direction of movement 16a movable relative to the damper 68a stored object to be damped 14a intended. Alternatively, however, it is also conceivable that a damper for damping a plurality of objects to be damped, in particular alternately and / or simultaneously, may be provided. In addition, in principle also conceivable to form a damper as an active damper.

Der Dämpfer 68a umfasst eine Dämpfungsvorrichtung. Die Dämpfungsvorrichtung umfasst ein Dämpfungsgehäuse 74a. Das Dämpfungsgehäuse 74a ist als Außengehäuse ausgebildet. Das Dämpfungsgehäuse 74a ist zumindest im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet. Das Dämpfungsgehäuse 74a ist als Aufnahmeeinheit ausgebildet und insbesondere dazu vorgesehen, zumindest einen Großteil der für einen Betrieb der Dämpfungsvorrichtung benötigten Bauteile aufzunehmen und/oder zu lagern. The damper 68a comprises a damping device. The damping device comprises a damping housing 74a , The damping housing 74a is designed as an outer housing. The damping housing 74a is at least substantially parallelepiped-shaped. The damping housing 74a is designed as a receiving unit and in particular provided to receive at least a large part of the components required for operation of the damping device and / or store.

Das Dämpfungsgehäuse 74a weist ferner wenigstens eine Durchtrittsöffnung 76a auf. Die Durchtrittsöffnung 76a weist im vorliegenden Fall eine zumindest im Wesentlichen rechteckige Kontur auf. Die Durchtrittsöffnung 76a ist dabei auf einer dem zu dämpfenden Objekt 14a zugewandten Seite des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Die Durchtrittsöffnung 76a ist in einem zentralen Bereich der dem zu dämpfenden Objekt 14a zugewandten Seite des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Die Durchtrittsöffnung 76a ist dem zu dämpfenden Objekt 14a zugeordnet. Die Durchtrittsöffnung 76a ist dabei derart angeordnet, dass das zu dämpfende Objekt 14a bei einem Dämpfungsvorgang in einem Nahbereich, vorteilhaft einem zentralen Bereich, der Durchtrittsöffnung 76a angeordnet ist und/oder den Nahbereich, vorteilhaft den zentralen Bereich, der Durchtrittsöffnung 76a durchquert. The damping housing 74a also has at least one passage opening 76a on. The passage opening 76a has in the present case an at least substantially rectangular contour. The passage opening 76a is on one the object to be damped 14a facing side of the damping housing 74a arranged. The passage opening 76a is in a central area of the object to be damped 14a facing side of the damping housing 74a arranged. The passage opening 76a is the object to be damped 14a assigned. The passage opening 76a is arranged such that the object to be damped 14a in a damping process in a vicinity, advantageously a central region, the passage opening 76a is arranged and / or the vicinity, advantageously the central region, the passage opening 76a crosses.

Im vorliegenden Fall ist das Dämpfungsgehäuse 74a zudem zumindest zweiteilig ausgebildet. Das Dämpfungsgehäuse 74a weist dabei zumindest zwei, insbesondere voneinander trennbare, Gehäuseteile 78a, 80a auf. Ein erstes Gehäuseteil 78a der Gehäuseteile 78a, 80a ist dabei als Grundelement ausgebildet. Ein zweites Gehäuseteil 80a der Gehäuseteile 78a, 80a ist als Abdeckelement ausgebildet. Alternativ ist denkbar, ein Dämpfungsgehäuse zylinderförmig, insbesondere kreiszylinderförmig, und/oder würfelförmig auszubilden. Zudem könnte ein Dämpfungsgehäuse auch einstückig ausgebildet sein. Ferner ist grundsätzlich auch denkbar, auf eine Durchtrittsöffnung zu verzichten und/oder eine Durchtrittsöffnung zu wenigstens einem Großteil und/oder vollständig abzudecken, insbesondere um eine Verschmutzung eines Innenraums des Dämpfungsgehäuses zu verhindern. In diesem Fall ist beispielsweise denkbar, eine, insbesondere bewegbare, Folie und/oder Membran im Bereich der Durchtrittsöffnung anzuordnen. In the present case, the damper housing 74a also formed at least in two parts. The damping housing 74a has at least two, in particular separable, housing parts 78a . 80a on. A first housing part 78a the housing parts 78a . 80a is designed as a basic element. A second housing part 80a the housing parts 78a . 80a is designed as a cover. Alternatively, it is conceivable to form a damping housing in the form of a cylinder, in particular a circular cylinder, and / or cubic. In addition, a damping housing could also be integrally formed. Furthermore, in principle it is also conceivable to dispense with a passage opening and / or to completely cover a passage opening to at least a large part and / or completely, in particular to prevent soiling of an interior of the damping housing. In this case, it is conceivable, for example, to arrange a, in particular movable, film and / or membrane in the region of the passage opening.

2 zeigt einen inneren Aufbau des Dämpfungsgehäuses 74a in einer Draufsicht. Die Dämpfungsvorrichtung umfasst eine Dämpfungseinheit 10a. Die Dämpfungseinheit 10a ist im vorliegenden Fall zu einem Betrieb im Ultrahochvakuum geeignet. Die Dämpfungseinheit 10a ist dazu vorgesehen, mechanische Schwingungen, insbesondere Vibrationen, Erschütterungen und/oder Stöße, des zu dämpfenden Objekts 14a zu dämpfen. Dazu umfasst die Dämpfungseinheit 10a zumindest ein Dämpfungselement 12a. Im vorliegenden Fall umfasst die Dämpfungseinheit 10a genau ein Dämpfungselement 12a. Grundsätzlich könnte eine Dämpfungseinheit jedoch auch eine Mehrzahl an Dämpfungselementen aufweisen, wie beispielsweise zumindest zwei Dämpfungselemente und/oder zumindest drei Dämpfungselemente. Die Dämpfungselemente sind in diesem Fall vorteilhaft zueinander identisch. Prinzipiell ist jedoch auch denkbar, zumindest ein Dämpfungselement der Mehrzahl von Dämpfungselementen als, insbesondere herkömmliches, mechanisches, hydraulisches und/oder pneumatisches Dämpfungselement auszubilden. 2 shows an internal structure of the damping housing 74a in a top view. The damping device comprises a damping unit 10a , The damping unit 10a is suitable in the present case for operation in ultrahigh vacuum. The damping unit 10a is intended to mechanical vibrations, in particular vibrations, shocks and / or shocks, the object to be damped 14a to dampen. This includes the damping unit 10a at least one damping element 12a , In the present case, the damping unit comprises 10a exactly one damping element 12a , In principle, however, a damping unit could also have a plurality of damping elements, such as at least two damping elements and / or at least three damping elements. The damping elements are in this case advantageously identical to each other. In principle, however, it is also conceivable to form at least one damping element of the plurality of damping elements as, in particular conventional, mechanical, hydraulic and / or pneumatic damping element.

Das Dämpfungselement 12a ist zu wenigstens einem Großteil innerhalb des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Das Dämpfungselement 12a ist zentral innerhalb des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Das Dämpfungselement 12a ist der Durchtrittsöffnung 76a zugeordnet. Das Dämpfungselement 12a weist zumindest eine Wirkverbindung mit dem zu dämpfenden Objekt 14a auf. Dazu ist das Dämpfungselement 12a in zumindest einem Anwendungszustand durch die Durchtrittsöffnung 76a zumindest teilweise aus dem Dämpfungsgehäuse 74a hinausgeführt. Ein aus dem Dämpfungsgehäuse 74a hinausgeführter Abschnitt des Dämpfungselement 12a definiert eine Anschlagfläche 82a für das zu dämpfende Objekt 14a. Die Anschlagfläche 82a kontaktiert dabei das zu dämpfende Objekt 14a bei einem Dämpfungsvorgang unmittelbar. Alternativ ist jedoch auch denkbar, dass ein Dämpfungselement ein zu dämpfendes Objekt mittelbar kontaktiert, wie beispielsweise mittels eines zusätzlichen Zwischenstücks, welches vorteilhaft dazu vorgesehen sein kann, eine Last gleichmäßig in das Dämpfungselement einzuleiten. The damping element 12a is at least a major part within the damper housing 74a arranged. The damping element 12a is centrally located inside the damper housing 74a arranged. The damping element 12a is the passage opening 76a assigned. The damping element 12a has at least one operative connection with the object to be damped 14a on. This is the damping element 12a in at least one application state through the passage opening 76a at least partially from the damping housing 74a led out. One from the damping housing 74a led out portion of the damping element 12a defines a stop surface 82a for the object to be damped 14a , The stop surface 82a contacts the object to be damped 14a in a damping process immediately. Alternatively, however, it is also conceivable for a damping element to indirectly contact an object to be damped, for example by means of an additional intermediate piece, which may advantageously be provided to introduce a load evenly into the damping element.

Ferner ist das Dämpfungselement 12a einstückig ausgebildet. Das Dämpfungselement 12a ist als Vollkörper ausgebildet. Das Dämpfungselement 12a ist zumindest im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet. Das Dämpfungselement 12a ist länglich ausgebildet und weist eine, insbesondere in 2 in eine Betrachtungsebene erstreckende, Längserstreckung auf. Eine Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12a ist dabei parallel zu einer Richtung einer Krafteinwirkung des zu dämpfenden Objekts 14a angeordnet. Furthermore, the damping element 12a integrally formed. The damping element 12a is designed as a solid body. The damping element 12a is at least substantially parallelepiped-shaped. The damping element 12a is elongate and has a, in particular in 2 extending in a viewing plane, longitudinal extent. A longitudinal extension direction of the damping element 12a is parallel to a direction of a force of the object to be damped 14a arranged.

Darüber hinaus ist das Dämpfungselement 12a formveränderlich ausgebildet. Das Dämpfungselement 12a besteht aus einem magnetisch formveränderlichen Material. Das Dämpfungselement 12a besteht aus einem magnetisch formveränderlichen Formgedächtnismaterial. Im vorliegenden Fall besteht das Dämpfungselement 12a aus einer magnetischen Formgedächtnislegierung. Die magnetische Formgedächtnislegierung enthält Nickel, Mangan und Gallium. Das Dämpfungselement 12a besteht dabei aus einer Nickel-Mangan-Gallium Legierung. Das Dämpfungselement 12a weist einen, insbesondere mittels eines auf das Dämpfungselement 12a wirkenden Magnetfelds, einstellbaren Dämpfungsgrad zwischen 0,1 und 1 auf. Zudem weist das Dämpfungselement 12a ein, insbesondere mittels eines auf das Dämpfungselement 12a wirkenden Magnetfelds, einstellbares Elastizitätsmodul zwischen 0,1 GPa und 10 GPa auf. Das Dämpfungselement 12a ist ferner als Einkristall ausgebildet. Alternativ könnte ein Dämpfungselement jedoch auch als Schaum, als Polykristall und/oder als Kompositstruktur ausgebildet sein, wobei in letzterem Fall Nickel-, Mangan- und Gallium-Bestandteile in einer Matrix eingebettet sein können. Ferner könnte ein Dämpfungselement prinzipiell auch aus einem magnetostriktiven Material bestehen. Ferner könnte ein Dämpfungselement aus einer Nickel-Mangan-haltigen Legierung, einer Eisen-Palladium-Legierung und/oder einer Eisen-Palladium-haltigen Legierung bestehen. In addition, the damping element 12a shapely formed. The damping element 12a consists of a magnetically deformable material. The damping element 12a consists of a magnetically deformable shape memory material. In the present case, there is the damping element 12a from a magnetic shape memory alloy. The magnetic shape memory alloy contains nickel, manganese and gallium. The damping element 12a consists of a nickel-manganese-gallium alloy. The damping element 12a has one, in particular by means of a on the damping element 12a acting magnetic field, adjustable attenuation between 0.1 and 1 on. In addition, the damping element has 12a a, in particular by means of a on the damping element 12a acting magnetic field, adjustable elastic modulus between 0.1 GPa and 10 GPa. The damping element 12a is further formed as a single crystal. Alternatively, however, a damping element could also be designed as a foam, as a polycrystal and / or as a composite structure, in the latter case nickel, manganese and gallium constituents in a matrix can be embedded. Furthermore, a damping element could in principle also consist of a magnetostrictive material. Furthermore, a damping element could consist of a nickel-manganese-containing alloy, an iron-palladium alloy and / or an iron-palladium-containing alloy.

Das magnetisch formveränderliche Formgedächtnismaterial weist die Eigenschaft auf, dass als Reaktion auf eine mechanische Kraft, beispielsweise des zu dämpfenden Objekts 14a, mit einer definierten minimalen Stärke und einer definierten Richtung eine, insbesondere mechanische, Verformung und/oder Formveränderung, insbesondere eine Kompressionsbewegung in Richtung der Längserstreckung des Dämpfungselements 12a, stattfindet. Dabei wirkt das Dämpfungselement 12a der mechanischen Kraft zumindest teilweise entgegen und führt zu einer, insbesondere im Gegensatz zu herkömmlichen Dämpfungselementen, im Wesentlichen geschwindigkeitsunabhängigen, Dämpfung der mechanischen Kraft und insbesondere des zu dämpfenden Objekts 14a. Zu einer Verformung und/oder Formveränderung des Dämpfungselements 12a muss dabei eine innere Kraft des Dämpfungselements 12a, im vorliegenden Fall insbesondere bedingt durch eine relativ hohe Hysterese eines verwendeten Werkstoffs, überwunden werden. Nach einer Reduktion und/oder einer Unterbrechung der mechanischen Kraft und/oder einer mechanischen Beanspruchung findet jedoch nicht automatisch eine Bewegung zurück in eine Ausgangsform statt. Vielmehr würde das Dämpfungselement 12a, insbesondere ohne rückstellenden externen Stimulus, auch nach der Reduktion und/oder der Unterbrechung der mechanischen Kraft und/oder der mechanischen Beanspruchung in der aktuellen, insbesondere komprimierten, Form verbleiben. The magnetically deformable shape memory material has the property that in response to a mechanical force, such as the object to be damped 14a , with a defined minimum thickness and a defined direction one, in particular mechanical, deformation and / or shape change, in particular a compression movement in the direction of the longitudinal extent of the damping element 12a , takes place. The damping element acts 12a the mechanical force at least partially contrary and leads to a, in particular in contrast to conventional damping elements, substantially speed-independent, damping of the mechanical force and in particular of the object to be damped 14a , To a deformation and / or shape change of the damping element 12a must be an internal force of the damping element 12a , be overcome in the present case, in particular due to a relatively high hysteresis of a material used. However, after a reduction and / or an interruption of the mechanical force and / or a mechanical stress, a movement does not automatically take place back into an initial shape. Rather, the damping element would 12a , in particular without restoring external stimulus, even after the reduction and / or the interruption of the mechanical force and / or the mechanical stress in the current, in particular compressed, shape remain.

Darüber hinaus handelt es sich bei einem verwendeten magnetisch formveränderlichen Formgedächtnismaterial im vorliegenden Fall um ein magnetisch aktives Material. Dieses Material weist zusätzlich die Eigenschaft auf, dass als Reaktion auf ein angelegtes Magnetfeld mit einer definierten minimalen Feldstärke und einer definierten Richtung ebenfalls eine Verformung und/oder Formveränderung, im vorliegenden Fall in zumindest einem Betriebszustand insbesondere eine Expansionsbewegung in Richtung der Längserstreckung des Dämpfungselements 12a, stattfindet. Auch in diesem Fall würde nach einer Reduktion und/oder einem Deaktivieren des Magnetfelds nicht automatisch eine Bewegung zurück in die Ausgangsform stattfinden. Insbesondere kann dabei mittels eines, insbesondere dauerhaft anliegenden, Magnetfelds, wie beispielsweise durch ein als Permanentmagnet ausgebildetes Magnetelement, auch eine Gegenkraft und/oder Haltekraft entgegen einer externen Kraft, insbesondere der mechanischen Kraft des zu dämpfenden Objekts 14a, erzeugt werden, wodurch vorteilhaft eine Steifigkeit und/oder eine Dämpfungswirkung des Dämpfungselements 12a beeinflusst und vorteilhaft eingestellt werden kann. In addition, a magnetically deformable shape memory material used in the present case is a magnetically active material. This material additionally has the property that in response to an applied magnetic field having a defined minimum field strength and a defined direction also deformation and / or shape change, in this case in at least one operating state, in particular an expansion movement in the direction of the longitudinal extent of the damping element 12a , takes place. Also in this case would not automatically take place after a reduction and / or deactivation of the magnetic field, a movement back to the original form. In particular, by means of a, in particular permanently applied, magnetic field, such as, for example, by a magnetic element designed as a permanent magnet, a counterforce and / or holding force against an external force, in particular the mechanical force of the object to be damped 14a , are produced, whereby advantageously a stiffness and / or a damping effect of the damping element 12a influenced and can be set advantageously.

Im vorliegenden Fall ist das Dämpfungselement 12a somit mittels einer mechanischen Kraft und/oder mittels eines Magnetfelds beeinflussbar und insbesondere verformbar. In the present case, the damping element 12a thus influenced by means of a mechanical force and / or by means of a magnetic field and in particular deformable.

Das Dämpfungselement 12a ist dazu vorgesehen, bei wenigstens einem Dämpfungsvorgang eine Bewegung des zu dämpfenden Objekts 14a in die Bewegungsrichtung 16a mittels einer mechanischen Verformung zu dämpfen. Das Dämpfungselement 12a ist dabei dazu vorgesehen, eine mechanische Kraft und/oder eine Bewegungsenergie des zu dämpfenden Objekts 14a in eine Kompressionsbewegung in Richtung der Längserstreckung des Dämpfungselements 12a umzusetzen und hierdurch eine Bewegung des zu dämpfenden Objekts 14a zu dämpfen. Eine Längserstreckung des Dämpfungselements 12a kann dabei zwischen einer minimalen Expansionsform und einer maximalen Expansionsform zwischen 1 % und 15 % einer minimalen Längserstreckung des Dämpfungselements 12a variieren. The damping element 12a is intended to at least one damping process, a movement of the object to be damped 14a in the direction of movement 16a to dampen by means of a mechanical deformation. The damping element 12a is provided to a mechanical force and / or kinetic energy of the object to be damped 14a in a compression movement in the direction of the longitudinal extent of the damping element 12a implement and thereby a movement of the object to be damped 14a to dampen. A longitudinal extent of the damping element 12a can between a minimum expansion form and a maximum expansion form between 1% and 15% of a minimum longitudinal extent of the damping element 12a vary.

Insbesondere um eine Dämpfungswirkung des Dämpfungselements 12a an das zu dämpfende Objekt 14a anzupassen und/oder eine Rückstellung des zu dämpfenden Objekts 14a zu erreichen, umfasst die Dämpfungsvorrichtung ferner eine Magneteinheit 18a. Die Magneteinheit 18a ist innerhalb des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Die Magneteinheit 18a ist in einem Nahbereich des Dämpfungselements 12a angeordnet. Die Magneteinheit 18a umgreift das Dämpfungselement 12a vollständig, insbesondere zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zur Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12a. Die Magneteinheit 18a ist modular und/oder voreinstellbar ausgebildet. Die Magneteinheit 18a ist passiv ausgebildet und im vorliegenden Fall insbesondere frei von einer aktiven Ansteuermöglichkeit. Die Magneteinheit 18a ist dazu vorgesehen, ein, im vorliegenden Fall insbesondere statisches, Magnetfeld bereitzustellen. Die Magneteinheit 18a ist dazu vorgesehen, eine Verformung des Dämpfungselements 12a, insbesondere mittels des Magnetfelds, zu beeinflussen. In particular, a damping effect of the damping element 12a to the object to be damped 14a adapt and / or a provision of the object to be damped 14a to achieve, the damping device further comprises a magnet unit 18a , The magnet unit 18a is inside the damper housing 74a arranged. The magnet unit 18a is in a vicinity of the damping element 12a arranged. The magnet unit 18a surrounds the damping element 12a completely, in particular at least when viewed perpendicular to the longitudinal direction of the damping element 12a , The magnet unit 18a is designed modular and / or presettable. The magnet unit 18a is passive and in the present case, in particular, free of an active control option. The magnet unit 18a is intended to provide a, in the present case in particular static, magnetic field. The magnet unit 18a is intended, a deformation of the damping element 12a , in particular by means of the magnetic field to influence.

Im vorliegenden Fall ist die Magneteinheit 18a zumindest dazu vorgesehen, mittels des, insbesondere statischen, Magnetfelds eine Dämpfungswirkung des Dämpfungselements 12a festzulegen, insbesondere zeitlich vor einem Dämpfungsvorgang, wodurch vorteilhaft mittels einer Voreinstellung eine Dämpfungswirkung des Dämpfungselements 12a an das zu dämpfende Objekt 14a angepasst werden kann. Dabei ist die Magneteinheit 18a insbesondere dazu vorgesehen, das Dämpfungselement 12a derart mit einem Magnetfeld zu beaufschlagen, dass eine Steifigkeit des Dämpfungselements 12a und/oder eine der mechanischen Kraft des zu dämpfenden Objekts 14a entgegenwirkende Kraft erzeugt und/oder erhöht wird. In the present case, the magnet unit 18a at least provided by means of, in particular static, magnetic field, a damping effect of the damping element 12a set, in particular in time before a damping process, which advantageously by means of a default setting a damping effect of the damping element 12a to the object to be damped 14a can be adjusted. Here is the magnet unit 18a in particular provided for, the damping element 12a so to apply a magnetic field that a Stiffness of the damping element 12a and / or one of the mechanical force of the object to be damped 14a counteracting force is generated and / or increased.

Ferner ist die Magneteinheit 18a dazu vorgesehen, mittels des, insbesondere statischen, Magnetfelds eine Rückstellung des Dämpfungselements 12a und insbesondere des zu dämpfenden Objekts 14a zu bewirken, insbesondere zeitlich nach einem Dämpfungsvorgang, wodurch vorteilhaft eine reversible und/oder permanente Dämpfung erreicht werden kann. Further, the magnet unit 18a provided, by means of, in particular static, magnetic field, a provision of the damping element 12a and in particular of the object to be damped 14a to effect, in particular, in terms of time after a damping process, which advantageously a reversible and / or permanent damping can be achieved.

Dazu umfasst die Magneteinheit 18a mehrere Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a. Im vorliegenden Fall umfasst die Magneteinheit 18a acht Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind separat voneinander ausgebildet. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind zumindest im Wesentlichen identisch zueinander. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind einstückig ausgebildet. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind zumindest im Wesentlichen quaderförmig ausgebildet. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind länglich ausgebildet und weisen jeweils eine, insbesondere parallel zu der Längserstreckung des Dämpfungselements 12a angeordnete, weitere Längserstreckung auf. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind unbeweglich relativ zu dem Dämpfungselement 12a. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind jeweils in einem Nahbereich des Dämpfungselements 12a angeordnet. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind dabei auf unterschiedlichen Seiten des Dämpfungselements 12a angeordnet. Im vorliegenden Fall umgeben die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a das Dämpfungselement 12a vollständig, insbesondere zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zur Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12a. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind dabei koaxial zu dem Dämpfungselement 12a angeordnet. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a bilden einen zumindest im Wesentlichen geschlossenen Magnetkreis um das Dämpfungselement 12a. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind derart angeordnet, dass mittels der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a erzeugte Magnetfeldlinien das Dämpfungselement 12a zumindest im Wesentlichen senkrecht bezüglich der Längserstreckung des Dämpfungselements 12a schneiden und/oder durchdringen. This includes the magnet unit 18a several magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , In the present case, the magnet unit comprises 18a eight magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are formed separately from each other. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are at least essentially identical to each other. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are integrally formed. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are at least substantially parallelepiped-shaped. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are elongated and each have one, in particular parallel to the longitudinal extent of the damping element 12a arranged, further longitudinal extension. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are immovable relative to the damping element 12a , The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are each in a vicinity of the damping element 12a arranged. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are on different sides of the damping element 12a arranged. In the present case, the magnetic elements surround 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a the damping element 12a completely, in particular at least when viewed perpendicular to the longitudinal direction of the damping element 12a , The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are coaxial with the damping element 12a arranged. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a form an at least substantially closed magnetic circuit around the damping element 12a , The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are arranged such that by means of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a generated magnetic field lines the damping element 12a at least substantially perpendicular with respect to the longitudinal extent of the damping element 12a cut and / or penetrate.

Darüber hinaus sind die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a passiv ausgebildet und insbesondere frei von einer aktiven Ansteuermöglichkeit. Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a bestehen jeweils aus einem Permanentmagnetwerkstoff. Im vorliegenden Fall bestehen die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a aus demselben Permanentmagnetwerkstoff. Der Permanentmagnetwerkstoff ist ein hartmagnetischer Werkstoff, welcher insbesondere eine Koerzitivfeldstärke von zumindest 1 kA/m und vorteilhaft zumindest 50 kA/m aufweist. Demnach sind die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a im vorliegenden Fall als Permanentmagnet, insbesondere Seltenerdmagnet, ausgebildet und weisen insbesondere nach einer anfänglichen Magnetisierung eine Remanenz auf. Eine Remanenzflussdichte der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a beträgt dabei vorteilhaft zumindest 0,4 T. Im vorliegenden Fall bestehen die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a insbesondere aus Samarium-Cobalt. Hierdurch sind die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a und insbesondere die Magneteinheit 18a zu einem Betrieb im Ultrahochvakuum geeignet. In addition, the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a passively formed and in particular free of an active control option. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a each consist of a permanent magnet material. In the present case, the magnetic elements exist 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a from the same permanent magnet material. The permanent magnet material is a hard magnetic material, which in particular has a coercive field strength of at least 1 kA / m and advantageously at least 50 kA / m. Accordingly, the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a formed in the present case as a permanent magnet, in particular rare earth magnet, and have in particular after an initial magnetization to a remanence. A remanent flux density of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a is advantageously at least 0.4 T. In the present case, there are the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a especially from samarium cobalt. As a result, the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a and in particular the magnet unit 18a suitable for operation in ultra-high vacuum.

Die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a sind ferner derart angeordnet, dass sich die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, insbesondere Einzelmagnetfelder der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, gegenseitig verstärken und insbesondere in einem Bereich des Dämpfungselements 12a ein resultierendes Magnetfeld mit einer erhöhten Flussdichte erzeugen, insbesondere in einem Vergleich zu einem Einzelmagnetfeld eines einzelnen der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a. The magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are further arranged such that the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , in particular individual magnetic fields of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , reinforce each other and in particular in a region of the damping element 12a generate a resulting magnetic field with an increased flux density, in particular in comparison to a single magnetic field of a single one of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a ,

Dazu weisen die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a im montierten Zustand unterschiedliche Magnetisierungsrichtungen 36a, 38a, 40a, 42a, 44a, 46a, 48a, 50a auf, welche insbesondere in 2 jeweils mit einem Pfeil angedeutet ist. Dabei weisen stets zwei Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, welche bezüglich des Dämpfungselements 12a unmittelbar gegenüberliegend angeordnet sind, dieselbe Magnetisierungsrichtung 36a, 38a, 40a, 42a, 44a, 46a, 48a, 50a auf. Im vorliegenden Fall weisen in Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12a betrachtet und/oder in Umfangsrichtung des Dämpfungselements 12a unmittelbar benachbarte Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a jeweils um 90° zueinander verdrehte Magnetisierungsrichtungen 36a, 38a, 40a, 42a, 44a, 46a, 48a, 50a auf, wobei eine Drehrichtung der Magnetisierungsrichtungen 36a, 38a, 40a, 42a, 44a, 46a, 48a, 50a gleich ist. Eine derartige Anordnung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a und/oder Ausrichtung der Magnetisierungsrichtungen 36a, 38a, 40a, 42a, 44a, 46a, 48a, 50a entspricht dabei einer sogenannten Halbach-Array-Konfiguration, wodurch insbesondere eine Flussdichte im Zentrum der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, insbesondere im Bereich des Dämpfungselements 12a, erhöht ist. Prinzipiell könnte eine Magneteinheit jedoch auch zumindest ein als Elektromagnet ausgebildetes Magnetelement und/oder zumindest ein bewegliches Magnetelement aufweisen und insbesondere dazu vorgesehen sein, ein veränderliches Magnetfeld bereitzustellen und/oder zu erzeugen. Zudem könnte eine insbesondere modular aufgebaute Magneteinheit auch eine andere Anzahl an Magnetelementen aufweisen, wie beispielsweise zwei Magnetelemente und/oder vier Magnetelemente. Dabei ist insbesondere auch denkbar, dass Magnetelemente unterschiedliche Formen und/oder eine von einer Quaderform abweichende Form aufweisen. Darüber hinaus ist denkbar, ein Magnetelement aus einem anderen, vorteilhaft als Permanentmagnetwerkstoff ausgebildeten, Material zu fertigen. For this purpose, the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a in the assembled state different magnetization directions 36a . 38a . 40a . 42a . 44a . 46a . 48a . 50a on, which in particular in 2 each indicated by an arrow. Always have two magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a which with respect to the damping element 12a are arranged directly opposite, the same magnetization direction 36a . 38a . 40a . 42a . 44a . 46a . 48a . 50a on. In the present case point in the longitudinal direction of the damping element 12a considered and / or in the circumferential direction of the damping element 12a immediately adjacent magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a each rotated by 90 ° to each other magnetization directions 36a . 38a . 40a . 42a . 44a . 46a . 48a . 50a on, wherein a direction of rotation of the magnetization directions 36a . 38a . 40a . 42a . 44a . 46a . 48a . 50a is equal to. Such an arrangement of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a and / or orientation of the magnetization directions 36a . 38a . 40a . 42a . 44a . 46a . 48a . 50a corresponds to a so-called Halbach array Configuration, whereby in particular a flux density in the center of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , in particular in the region of the damping element 12a , is increased. In principle, however, a magnet unit could also have at least one magnet element designed as an electromagnet and / or at least one movable magnet element and be provided in particular for providing and / or generating a variable magnetic field. In addition, a particular modular designed magnet unit could also have a different number of magnetic elements, such as two magnetic elements and / or four magnetic elements. In this case, it is also conceivable, in particular, for magnetic elements to have different shapes and / or a shape deviating from a cuboid shape. In addition, it is conceivable to produce a magnetic element from another, advantageously designed as a permanent magnet material, material.

Insbesondere um eine Positionierung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a bei einer Montage zu vereinfachen und/oder eine korrekte Ausrichtung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a während eines Betriebs zu gewährleisten, umfasst die Dämpfungsvorrichtung ferner ein Trennelement 56a. Das Trennelement 56a ist als Trenngitter ausgebildet. Das Trennelement 56a ist einstückig ausgebildet. Das Trennelement 56a besteht aus einem nicht-magnetischen Material. Das Trennelement 56a ist separat von dem Dämpfungsgehäuse 74a ausgebildet. Das Trennelement 56a begrenzt im vorliegenden Fall neun, insbesondere zu wenigstens einem Großteil voneinander getrennte, Aufnahmebereiche, wobei insbesondere acht der Aufnahmebereiche zur Aufnahme der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a vorgesehen sind und einer der Aufnahmebereiche zur Aufnahme des Dämpfungselements 12a vorgesehen ist. Das Trennelement 56a ist zwischen den Magnetelementen 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a angeordnet. Das Trennelement 56a ist dabei zu einer Abtrennung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a untereinander vorgesehen. Zudem ist das Trennelement 56a zur Aufrechterhaltung einer Ausrichtung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a vorgesehen. Ferner ist das Trennelement 56a zwischen den Magnetelementen 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a und dem Dämpfungselement 12a angeordnet. Das Trennelement 56a ist dabei zu einer Abtrennung der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a von dem Dämpfungselement 12a vorgesehen. Zudem ist das Trennelement 56a zur Aufrechterhaltung einer Ausrichtung des Dämpfungselements 12a vorgesehen. Alternativ ist jedoch auch denkbar, ein Trennelement von einem Trenngitter verschieden auszubilden und/oder auf ein Trennelement vollständig zu verzichten. Dabei ist insbesondere denkbar, Magnetelemente und/oder ein Dämpfungselement an einem Dämpfungsgehäuse zu fixieren. Darüber hinaus könnte ein Trennelement auch mehrteilig und/oder einstückig mit dem Dämpfungsgehäuse ausgebildet sein. In particular, a positioning of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a to simplify assembly and / or correct alignment of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a during operation, the damping device further comprises a separator 56a , The separating element 56a is designed as a separation grid. The separating element 56a is integrally formed. The separating element 56a consists of a non-magnetic material. The separating element 56a is separate from the damper housing 74a educated. The separating element 56a limited in the present case nine, in particular at least a large part of each other separate, receiving areas, in particular eight of the receiving areas for receiving the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a are provided and one of the receiving areas for receiving the damping element 12a is provided. The separating element 56a is between the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a arranged. The separating element 56a is to a separation of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a provided with each other. In addition, the separating element 56a to maintain alignment of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a intended. Furthermore, the separating element 56a between the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a and the damping element 12a arranged. The separating element 56a is to a separation of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a from the damping element 12a intended. In addition, the separating element 56a to maintain an alignment of the damping element 12a intended. Alternatively, however, it is also conceivable to design a separating element differently from a separating grid and / or to completely dispense with a separating element. It is particularly conceivable to fix magnetic elements and / or a damping element on a damping housing. In addition, a separating element could also be formed in several parts and / or in one piece with the damping housing.

Darüber hinaus umfasst die Dämpfungsvorrichtung zumindest eine Abschirmeinheit 58a. Die Abschirmeinheit 58a ist als Abschirmrahmen ausgebildet. Die Abschirmeinheit 58a ist einstückig ausgebildet. Die Abschirmeinheit 58a besteht im vorliegenden Fall aus Mu-Metall. Die Abschirmeinheit 58a ist separat von dem Dämpfungsgehäuse 74a ausgebildet. Die Abschirmeinheit 58a umgreift die Magneteinheit 18a, insbesondere zumindest die Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, und das Dämpfungselement 12a vollständig, insbesondere zumindest bei einer Betrachtung senkrecht zur Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12a. Die Abschirmeinheit 58a ist dazu vorgesehen, das Magnetfeld der Magneteinheit 18a, insbesondere das statische Magnetfeld der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a, abzuschirmen, insbesondere gegenüber einem Umgebungsbereich. Alternativ ist jedoch auch denkbar, auf eine Abschirmeinheit vollständig zu verzichten. Zudem könnte eine Abschirmeinheit auch mehrteilig und/oder einstückig mit dem Dämpfungsgehäuse ausgebildet sein. Auch könnte eine Abschirmeinheit als Abschirmgitter ausgebildet sein. Zudem ist denkbar, eine Abschirmeinheit derart auszugestalten, dass eine allseitige Abschirmung eines Magnetfelds einer Magneteinheit erreicht werden kann. In addition, the damping device comprises at least one shielding unit 58a , The shielding unit 58a is designed as a shielding frame. The shielding unit 58a is integrally formed. The shielding unit 58a consists in the present case of mu-metal. The shielding unit 58a is separate from the damper housing 74a educated. The shielding unit 58a surrounds the magnet unit 18a , in particular at least the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , and the damping element 12a completely, in particular at least when viewed perpendicular to the longitudinal direction of the damping element 12a , The shielding unit 58a is intended to be the magnetic field of the magnet unit 18a , in particular the static magnetic field of the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a to shield, especially against a surrounding area. Alternatively, however, it is also conceivable to completely dispense with a shielding unit. In addition, a shielding unit could also be formed in several parts and / or in one piece with the damping housing. A shielding unit could also be designed as a shielding grid. In addition, it is conceivable to design a shielding unit such that an all-round shielding of a magnetic field of a magnet unit can be achieved.

Ferner umfass die Dämpfungsvorrichtung im vorliegenden Fall eine Detektionseinheit 60a. Die Detektionseinheit 60a ist dazu vorgesehen, wenigstens eine mit dem Dämpfungsvorgang korrelierte Dämpfungskenngröße zu detektieren. Die Dämpfungskenngröße ist im vorliegenden Fall eine aufgrund der Verformung des Dämpfungselements 12a bei dem Dämpfungsvorgang bewirkte Induktivitätsänderung der Magneteinheit 18a, insbesondere der Magnetelemente 20a, 22a, 24a, 26a, 28a, 30a, 32a, 34a. Im vorliegenden Fall ist die Detektionseinheit 60a somit dazu vorgesehen, eine Verformung des Dämpfungselements 12a indirekt zu erfassen. Furthermore, the damping device in the present case comprises a detection unit 60a , The detection unit 60a is intended to detect at least one damping characteristic correlated with the damping process. The damping characteristic is in the present case due to the deformation of the damping element 12a in the damping process caused inductance change of the magnet unit 18a , in particular the magnetic elements 20a . 22a . 24a . 26a . 28a . 30a . 32a . 34a , In the present case, the detection unit 60a thus provided, a deformation of the damping element 12a indirectly.

Dazu umfasst die Detektionseinheit 60a zumindest einen Sensor 62a, 64a. Im vorliegenden Fall umfasst die Detektionseinheit 60a zumindest zwei, insbesondere unterschiedlich ausgebildete, Sensoren 62a, 64a, wodurch insbesondere eine vorteilhaft exakte Detektion des Dämpfungsvorgangs erreicht werden kann. Alternativ ist jedoch auch denkbar, auf zumindest einen der Sensoren zu verzichten, sodass eine Dämpfungseinheit insbesondere genau einen Sensor aufweist. This includes the detection unit 60a at least one sensor 62a . 64a , In the present case, the detection unit comprises 60a at least two, in particular differently formed, sensors 62a . 64a , whereby in particular an advantageous exact detection of the damping process can be achieved. Alternatively, however, it is also conceivable to dispense with at least one of the sensors, so that a damping unit has in particular exactly one sensor.

Ein erster Sensor 62a der Sensoren 62a, 64a ist als Sensorspule ausgebildet. Der erste Sensor 62a ist in einem Nahbereich der Magneteinheit 18a angeordnet. Der erste Sensor 62a ist innerhalb des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Der erste Sensor 62a ist zur Detektion der Dämpfungskenngröße vorgesehen. Im vorliegenden Fall ist der erste Sensor 62a im Bereich einer ersten Ausnehmung (nicht dargestellt) der Abschirmeinheit 58a angeordnet. Alternativ ist jedoch auch denkbar, auf eine erste Ausnehmung zu verzichten und/oder einen ersten Sensor in einem abweichenden Bereich anzuordnen. A first sensor 62a the sensors 62a . 64a is designed as a sensor coil. The first sensor 62a is in a vicinity of the magnet unit 18a arranged. The first sensor 62a is inside the damper housing 74a arranged. The first sensor 62a is provided for detecting the damping characteristic. In the present case, the first sensor 62a in the region of a first recess (not shown) of the shielding unit 58a arranged. Alternatively, however, it is also conceivable to dispense with a first recess and / or to arrange a first sensor in a deviating area.

Ein zweiter Sensor 64a der Sensoren 62a, 64a ist als Magnetfeldsensor ausgebildet. Der zweite Sensor 64a ist im vorliegenden Fall als Hallsensor ausgebildet. Der zweite Sensor 64a ist in einem Nahbereich der Magneteinheit 18a angeordnet. Der zweite Sensor 64a ist innerhalb des Dämpfungsgehäuses 74a angeordnet. Der zweite Sensor 64a ist zur Detektion der Dämpfungskenngröße vorgesehen. Im vorliegenden Fall ist der zweite Sensor 64a im Bereich einer zweiten Ausnehmung (nicht dargestellt) der Abschirmeinheit 58a angeordnet. Alternativ ist jedoch auch denkbar, auf eine zweite Ausnehmung zu verzichten und/oder einen zweiten Sensor in einem abweichenden Bereich anzuordnen. A second sensor 64a the sensors 62a . 64a is designed as a magnetic field sensor. The second sensor 64a is formed in the present case as a Hall sensor. The second sensor 64a is in a vicinity of the magnet unit 18a arranged. The second sensor 64a is inside the damper housing 74a arranged. The second sensor 64a is provided for detecting the damping characteristic. In the present case, the second sensor 64a in the region of a second recess (not shown) of the shielding unit 58a arranged. Alternatively, however, it is also conceivable to dispense with a second recess and / or to arrange a second sensor in a different area.

Die Detektionseinheit 60a ist im vorliegenden Fall ferner dazu vorgesehen, ein, insbesondere mittels der Sensoren 62a, 64a detektiertes, Signal an eine Auswerteeinheit 66a der Dämpfungsvorrichtung zu übertragen. Die Auswerteeinheit 66a ist dazu vorgesehen, abhängig von dem von der Detektionseinheit 60a bereitgestellten und insbesondere mit dem Dämpfungsvorgang und/oder der Dämpfungskenngröße korrelierten, Signal eine Aufprallenergie des zu dämpfenden Objekts 14a zu ermitteln, wodurch vorteilhaft eine Aussage über die Aufprallenergie getroffen werden kann. The detection unit 60a is further provided in the present case, in particular by means of the sensors 62a . 64a detected, signal to an evaluation unit 66a to transmit the damping device. The evaluation unit 66a is intended, depending on the detection unit 60a provided and correlated in particular with the damping process and / or the damping characteristic, a signal impact energy of the object to be damped 14a to determine what an advantageous statement about the impact energy can be made.

Alternativ ist denkbar, auf eine Detektionseinheit und/oder eine Auswerteeinheit zu verzichten. Zudem könnte ein Sensor auch außerhalb eines Dämpfungsgehäuses angeordnet werden. In diesem Zusammenhang ist insbesondere denkbar, eine Detektionseinheit und/oder eine Auswerteeinheit vollständig getrennt von einem Dämpfer auszubilden. Alternatively, it is conceivable to dispense with a detection unit and / or an evaluation unit. In addition, a sensor could also be arranged outside of a damping housing. In this context, it is particularly conceivable to form a detection unit and / or an evaluation unit completely separate from a damper.

In den 3 bis 8 sind weitere Ausführungsbeispiele der Erfindung gezeigt. Die nachfolgenden Beschreibungen und die Zeichnungen beschränken sich im Wesentlichen auf die Unterschiede zwischen den Ausführungsbeispielen, wobei bezüglich gleich bezeichneter Bauteile, insbesondere in Bezug auf Bauteile mit gleichen Bezugszeichen, grundsätzlich auch auf die Zeichnungen und/oder die Beschreibung der anderen Ausführungsbeispiele, insbesondere der 1 und 2, verwiesen werden kann. Zur Unterscheidung der Ausführungsbeispiele ist der Buchstabe a den Bezugszeichen des Ausführungsbeispiels in den 1 und 2 nachgestellt. In den Ausführungsbeispielen der 3 bis 8 ist der Buchstabe a durch die Buchstaben b bis g ersetzt. In the 3 to 8th Further embodiments of the invention are shown. The following descriptions and the drawings are essentially limited to the differences between the exemplary embodiments, with reference in principle to the same reference components, in particular with respect to components with the same reference numerals, to the drawings and / or the description of the other embodiments, in particular 1 and 2 , can be referenced. To distinguish the embodiments of the letter a is the reference numerals of the embodiment in the 1 and 2 readjusted. In the embodiments of the 3 to 8th the letter a is replaced by the letters b to g.

In 3 ist ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung gezeigt. Dem Ausführungsbeispiel der 3 ist der Buchstabe b nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 3 unterscheidet sich von dem vorherigen Ausführungsbeispiel zumindest im Wesentlichen durch eine Anzahl an Magnetelementen 20b, 24b, 28b, 32b einer Magneteinheit 18b. In 3 a further embodiment of the invention is shown. The embodiment of 3 the letter b is added. The further embodiment of the 3 differs from the previous embodiment, at least substantially by a number of magnetic elements 20b . 24b . 28b . 32b a magnet unit 18b ,

Im vorliegenden Fall umfasst die Magneteinheit 18b vier Magnetelemente 20b, 24b, 28b, 32b, wobei auf jeder Längsseite eines Dämpfungselements 12b einer Dämpfungseinheit 10b genau eines der Magnetelemente 20b, 24b, 28b, 32b angeordnet ist. In the present case, the magnet unit comprises 18b four magnetic elements 20b . 24b . 28b . 32b , wherein on each longitudinal side of a damping element 12b a damping unit 10b exactly one of the magnetic elements 20b . 24b . 28b . 32b is arranged.

Zudem weisen in Längserstreckungsrichtung des Dämpfungselements 12b betrachtet und/oder in Umfangsrichtung des Dämpfungselements 12b unmittelbar benachbarte Magnetelemente 20b, 24b, 28b, 32b jeweils um 180° zueinander verdrehte Magnetisierungsrichtungen 36b, 40b, 44b, 48b auf. In addition, in the longitudinal direction of the damping element 12b considered and / or in the circumferential direction of the damping element 12b immediately adjacent magnetic elements 20b . 24b . 28b . 32b each rotated by 180 ° to each other magnetization directions 36b . 40b . 44b . 48b on.

4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dem Ausführungsbeispiel der 4 ist der Buchstabe c nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 4 unterscheidet sich von den vorherigen Ausführungsbeispielen zumindest im Wesentlichen durch eine Anzahl an Magnetelementen 20c, 28c einer Magneteinheit 18c. 4 shows a further embodiment of the invention. The embodiment of 4 the letter c is adjusted. The further embodiment of the 4 differs from the previous embodiments, at least substantially by a number of magnetic elements 20c . 28c a magnet unit 18c ,

Im vorliegenden Fall umfasst die Magneteinheit 18c zwei Magnetelemente 20c, 28c, welche bezüglich eines Dämpfungselements 12c einer Dämpfungseinheit 10c unmittelbar gegenüberliegend angeordnet sind. In the present case, the magnet unit comprises 18c two magnetic elements 20c . 28c which with respect to a damping element 12c a damping unit 10c are arranged directly opposite one another.

Demnach weisen die Magnetelemente 20c, 28c dieselbe Magnetisierungsrichtung 36c, 44c auf. Accordingly, the magnetic elements 20c . 28c the same magnetization direction 36c . 44c on.

5 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dem Ausführungsbeispiel der 5 ist der Buchstabe d nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 5 unterscheidet sich von den vorherigen Ausführungsbeispielen zumindest im Wesentlichen eine Ausgestaltung einer Magneteinheit 18d. 5 shows a further embodiment of the invention. The embodiment of 5 the letter d is readjusted. The further embodiment of the 5 differs from the previous embodiments, at least substantially one embodiment of a magnet unit 18d ,

Im vorliegenden Fall umfasst die Magneteinheit 18d vier, zumindest teilweise verschieden ausgebildete, Magnetelemente 20d, 24d, 28d, 32d, wobei auf jeder Längsseite eines Dämpfungselements 12d einer Dämpfungseinheit 10d genau eines der Magnetelemente 20d, 24d, 28d, 32d angeordnet ist. In the present case, the magnet unit comprises 18d four, at least partially differently shaped, magnetic elements 20d . 24d . 28d . 32d , wherein on each longitudinal side of a damping element 12d a damping unit 10d exactly one of the magnetic elements 20d . 24d . 28d . 32d is arranged.

Zudem umfasst die Magneteinheit 18d zumindest einen Flusskonzentrator 52d, 54d. Im vorliegenden Fall umfasst die Magneteinheit 18d zwei Flusskonzentratoren 52d, 54d. Die Flusskonzentratoren 52d, 54d sind bezüglich des Dämpfungselements 12d unmittelbar gegenüberliegend angeordnet. Die Flusskonzentratoren 52d, 54d sind dabei jeweils einem der Magnetelemente 20d, 24d, 28d, 32d zugeordnet. Die Flusskonzentratoren 52d, 54d sind in einem montierten Zustand zwischen dem dem Flusskonzentrator 52d, 54d zugeordneten Magnetelement 20d, 24d, 28d, 32d und dem Dämpfungselement 12d angeordnet. Die Flusskonzentratoren 52d, 54d sind dazu vorgesehen, ein auf das Dämpfungselement 12d einwirkendes Magnetfeld der Magnetelemente 20d, 24d, 28d, 32d zu erhöhen. Alternativ ist denkbar, auf zumindest einen der Flusskonzentratoren zu verzichten. Zudem könnte eine Magneteinheit auch eine andere Anzahl an Flusskonzentratoren aufweisen, wie beispielsweise zumindest vier, zumindest sechs und/oder zumindest acht Flusskonzentratoren. Zudem ist denkbar, Flusskonzentratoren einstückig mit einem Trennelement auszubilden. In addition, the magnet unit includes 18d at least one flux concentrator 52d . 54d , In the present case, the magnet unit comprises 18d two flux concentrators 52d . 54d , The river concentrators 52d . 54d are with respect to the damping element 12d arranged directly opposite one another. The river concentrators 52d . 54d are each one of the magnetic elements 20d . 24d . 28d . 32d assigned. The river concentrators 52d . 54d are in an assembled state between the river concentrator 52d . 54d associated magnetic element 20d . 24d . 28d . 32d and the damping element 12d arranged. The river concentrators 52d . 54d are intended to be on the damping element 12d acting magnetic field of the magnetic elements 20d . 24d . 28d . 32d to increase. Alternatively, it is conceivable to dispense with at least one of the flux concentrators. In addition, a magnet unit could also have a different number of flux concentrators, such as at least four, at least six and / or at least eight flux concentrators. In addition, it is conceivable to form flux concentrators in one piece with a separating element.

6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dem Ausführungsbeispiel der 6 ist der Buchstabe e nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 6 unterscheidet sich von den vorherigen Ausführungsbeispielen zumindest im Wesentlichen eine Ausgestaltung einer Magneteinheit 18e. 6 shows a further embodiment of the invention. The embodiment of 6 the letter e is readjusted. The further embodiment of the 6 differs from the previous embodiments, at least substantially one embodiment of a magnet unit 18e ,

Im gezeigten Ausführungsbeispiel ist ein Dämpfungsgehäuse zumindest im Wesentlichen zylinderförmig, insbesondere kreiszylinderförmig, ausgebildet. Ferner umfasst die Magneteinheit 18e acht, zumindest teilweise verschieden ausgebildete, Magnetelemente 20e, 22e, 24e, 26e, 28e, 30e, 32e, 34e. Die Magnetelemente 20e, 22e, 24e, 26e, 28e, 30e, 32e, 34e umgreifen ein Dämpfungselement 12e einer Dämpfungseinheit 10e vollständig. Die Magnetelemente 20e, 22e, 24e, 26e, 28e, 30e, 32e, 34e weisen dabei eine von einer Quaderform verschiedene Form auf, wodurch insbesondere ein benötigter Bauraum optimiert und/oder ein verfügbarer Bauraum optimal genutzt werden kann. In the illustrated embodiment, a damping housing is at least substantially cylindrical, in particular circular cylindrical, formed. Furthermore, the magnet unit comprises 18e eight, at least partially differently shaped, magnetic elements 20e . 22e . 24e . 26e . 28e . 30e . 32e . 34e , The magnetic elements 20e . 22e . 24e . 26e . 28e . 30e . 32e . 34e embrace a damping element 12e a damping unit 10e Completely. The magnetic elements 20e . 22e . 24e . 26e . 28e . 30e . 32e . 34e have a different form of a cuboid shape, which in particular a required space can be optimized and / or an available space can be optimally used.

7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dem Ausführungsbeispiel der 7 ist der Buchstabe f nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 7 unterscheidet sich von den vorherigen Ausführungsbeispielen zumindest im Wesentlichen durch eine Anordnung einer Magneteinheit 18f einer Dämpfungsvorrichtung. 7 shows a further embodiment of the invention. The embodiment of 7 the letter f is readjusted. The further embodiment of the 7 differs from the previous embodiments at least substantially by an arrangement of a magnet unit 18f a damping device.

Im vorliegenden Fall umfasst die Dämpfungsvorrichtung, insbesondere zusätzlich, ein zu dämpfendes Objekt 14f. Das zu dämpfende Objekt 14f ist dabei beweglich relativ zu einem Dämpfungselement 12f einer Dämpfungseinheit 10f, welches insbesondere aus einem magnetisch formveränderlichen Material besteht, gelagert. In the present case, the damping device, in particular in addition, comprises an object to be damped 14f , The object to be damped 14f is movable relative to a damping element 12f a damping unit 10f , which consists in particular of a magnetically deformable material stored.

Die Magneteinheit 18f ist in diesem Fall vollständig an dem zu dämpfenden Objekt 14f angeordnet, wodurch insbesondere eine besonders flexible und vorteilhaft an äußere Bedingungen angepasste Dämpfungsvorrichtung bereitgestellt werden kann. The magnet unit 18f is in this case completely on the object to be damped 14f arranged, whereby in particular a particularly flexible and advantageously adapted to external conditions damping device can be provided.

8 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dem Ausführungsbeispiel der 8 ist der Buchstabe g nachgestellt. Das weitere Ausführungsbeispiel der 8 zeigt ein Dämpfungssystem 70g in einer schematischen Ansicht. 8th shows a further embodiment of the invention. The embodiment of 8th the letter g is readjusted. The further embodiment of the 8th shows a damping system 70g in a schematic view.

Das Dämpfungssystem 70g umfasst im vorliegenden Fall eine Vakuumkammer 72g. Die Vakuumkammer 72g weist einen Druck von höchstens 10^–3 hPa auf. Die Vakuumkammer 72g ist somit als Hochvakuumkammer ausgebildet. The damping system 70g in the present case comprises a vacuum chamber 72g , The vacuum chamber 72g has a pressure of at most 10 ^-3 hPa. The vacuum chamber 72g is thus formed as a high vacuum chamber.

Ferner umfasst das Dämpfungssystem 70g ein zu dämpfendes Objekt 14g. Das zu dämpfende Objekt 14g ist vollständig innerhalb der Vakuumkammer 72g angeordnet. Das zu dämpfende Objekt 14g entspricht im vorliegenden Fall beispielhaft einem Probenhalter, wie beispielswiese im Bereich der Elektronenmikroskopie eingesetzt. Furthermore, the damping system comprises 70g an object to be damped 14g , The object to be damped 14g is completely inside the vacuum chamber 72g arranged. The object to be damped 14g corresponds in the present case by way of example to a sample holder, as used, for example, in the field of electron microscopy.

Darüber hinaus umfasst das Dämpfungssystem 70g im vorliegenden Fall beispielhaft vier Dämpfer 68g, welche jeweils eine erfindungsgemäße Dämpfungsvorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ausführungsbeispiele aufweist. Die Dämpfer 68 sind vollständig innerhalb der Vakuumkammer 72g angeordnet. Jeder der Dämpfer 68g ist dabei in einem Eckbereich des zu dämpfenden Objekts 14g angeordnet und dazu vorgesehen, eine Bewegung des zu dämpfenden Objekts 14g zu dämpfen. Hierdurch kann insbesondere ein vorteilhaftes Dämpfungssystem 70g bereitgestellt werden, mit Dämpfern 68g, welche insbesondere aufgrund sehr geringer Ausgasungsraten vorteilhaft innerhalb eines Hochvakuums eingesetzt werden können. Alternativ könnte ein Dämpfungssystem auch eine andere Anzahl an Dämpfern aufweisen und/oder eine Kombination aus herkömmlichen Dämpfern und erfindungsgemäßen Dämpfern. In addition, the damping system includes 70g in the present case, for example four dampers 68g , which in each case has a damping device according to the invention according to one of the preceding embodiments. The dampers 68 are completely inside the vacuum chamber 72g arranged. Each of the dampers 68g is in a corner of the object to be damped 14g arranged and provided for a movement of the object to be damped 14g to dampen. In this way, in particular, an advantageous damping system 70g be provided with dampers 68g which can be used advantageously within a high vacuum, in particular due to very low outgassing rates. Alternatively, a damping system could also have a different number of dampers and / or a combination of conventional dampers and dampers according to the invention.

Claims

Damping device with a damping unit ( 10a F), which at least one damping element ( 12a F), which at least partially consists of a magnetically deformable material and which is intended, in at least one damping process, a movement of an object to be damped ( 14a ; 14f ; 14g ) in at least one direction of movement ( 16a ; 16f ) by means of a deformation at least partially attenuate, and with a magnet unit ( 18a F), which is provided at least to a deformation of the damping element ( 12a -F) too influence, characterized in that the magnet unit ( 18a F) at least two mutually reinforcing magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ), which are intended to be in a region of the damping element ( 12a -F) to generate a magnetic field with an increased flux density.

Damping device according to claim 1, characterized in that the magnetically deformable material is a magnetic shape memory material.

Damping device according to claim 1 or 2, characterized in that the magnet unit ( 18a -F) is provided at least to a damping effect of the damping element ( 12a -F) influence.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet unit ( 18a F) is at least provided, a provision of the damping element ( 12a -F) effect.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet unit ( 18a ; 18b ; 18d ; 18e ; 18f ) at least four mutually reinforcing magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) having.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 24f . 32f ) are formed at least substantially identical to each other.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) on different sides of the damping element ( 12a -F) are arranged.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ) immovable relative to the damping element ( 12a -E) are.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) consist at least partially of a permanent magnet material.

Damping device according to claim 9, characterized in that the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) different magnetization directions ( 36a - 50a ; 36b . 40b . 44b . 48b ) exhibit.

Damping device according to claim 9 or 10, characterized in that magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ), which with respect to the damping element ( 12a F) are arranged opposite one another, the same direction of magnetization ( 36a - 50a ; 36b . 40b . 44b . 48b ; 36c . 44c ) exhibit.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the magnetic elements ( 20e - 34e ) has a shape different from a cuboid shape.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet unit ( 18d ) at least one flux concentrator ( 52d . 54d ), which is intended, a on the damping element ( 12d ) to increase acting magnetic field.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet unit ( 18a -F) is modular.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized by at least one separating element ( 56a ; 56b ), which leads to an at least partial separation of the magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) is provided.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized by at least one shielding unit ( 58a ; 58b ; 58c ; 58e ), which is intended, at least one by means of the magnet unit ( 18a -F) at least partially attenuate the generated magnetic field.

Damping device at least according to the preamble of claim 1 and in particular according to one of the preceding claims, characterized by the object to be damped ( 14f ), wherein the magnet unit ( 18f ) at least partially on the object to be damped ( 14f ) is arranged.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized by a detection unit ( 60a ), which is intended to detect at least one damping characteristic correlated with the damping process.

Damping device according to claim 18, characterized in that the detection unit ( 60a ) for detecting the attenuation characteristic at least one sensor designed as a sensor coil ( 62a ) having.

Damping device according to claim 18 or 19, characterized in that the detection unit ( 60a ) for detecting the damping characteristic at least one sensor designed as a magnetic field sensor ( 64a ) having.

Damping device according to one of claims 18 to 20, characterized in that the damping characteristic a due to the deformation of the damping element ( 12a ) caused inductance change of the magnet unit ( 18a ).

Damping device according to one of claims 18 to 21, characterized by an evaluation unit ( 66a ), which is provided depending on one of the detection unit ( 60a ) provides an impact energy of the object to be damped ( 14a ) to investigate.

Damping device according to one of the preceding claims, characterized in that at least the damping unit ( 10a -F) and / or the magnet unit ( 18a -F) is intended for operation in a high vacuum.

Damper ( 68a ; 68g ) with at least one damping device according to one of the preceding claims.

Damping system ( 70g ) with a damping device according to one of claims 1 to 23 and with a vacuum chamber ( 72g ), in which the damping device is arranged and which has a pressure of at most 10 ^-3 hPa.

Method with a damping device, in particular according to one of claims 1 to 23, wherein the damping device comprises a damping unit ( 10a F), which at least one damping element ( 12a -F), which consists at least partially of a magnetically deformable material, wherein a movement of an object to be damped ( 14a ; 14f ; 14g ) in at least one direction of movement ( 16a ; 16f ) by means of a deformation of the damping element ( 12a F) is at least partially damped and a deformation of the damping element ( 12a F) by means of a magnet unit ( 18a F), characterized in that in a region of the damping element ( 12a F) by means of at least two mutually reinforcing magnetic elements ( 20a - 34a ; 20b . 24b . 28b . 32b ; 20c . 28c ; 20d . 24d . 28d . 32d ; 20e - 34e ; 24f . 32f ) of the magnet unit ( 18a -F) a magnetic field with an increased flux density is generated.