DE102016100642A1

DE102016100642A1 - vacuum pump

Info

Publication number: DE102016100642A1
Application number: DE102016100642.4A
Authority: DE
Inventors: Tobias Stoll; Michael Schweighöfer
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2016-01-15
Filing date: 2016-01-15
Publication date: 2016-04-14

Abstract

Vakuumsystem mit wenigstens einer Vakuumpumpe und wenigstens einem Rezipienten, wobei ein Auslass des Rezipienten mit einem Einlass der Vakuumpumpe derart lösbar verbunden oder verbindbar ist, dass eine im Auslass vorgesehene Auslassöffnung mit einer im Einlass vorgesehenen Einlassöffnung ausgerichtet ist und ein um die Auslassöffnung herum verlaufender Abschnitt des Auslasses einem um die Einlassöffnung herum verlaufenden Abschnitt des Einlasses gegenüberliegt, und dass zwischen dem Einlassabschnitt und dem Auslassabschnitt eine um die Einlassöffnung herum verlaufende erste Dichtung und radial außerhalb der ersten Dichtung eine um die Einlassöffnung herum verlaufende zweite Dichtung angeordnet sind, wobei wenigstens eine Absaugung zum Evakuieren wenigstens eines Volumens, das zwischen den beiden Dichtungen eingeschlossen ist, vorgesehen ist, wobei die erste Dichtung aus einem weichen metallischen Material oder als eine Flachdichtung aus einem Elastomer ausgebildet ist, und wobei an dem Rezipienten ein Vakuumflansch so anbringbar ist, dass dabei das Material des Vakuumflansches in das Material des Rezipienten und/oder das Material des Rezipienten in das Material des Vakuumflansches schneidet.A vacuum system having at least one vacuum pump and at least one recipient, wherein an outlet of the recipient is detachably connected or connectable to an inlet of the vacuum pump such that an outlet opening provided in the outlet is aligned with an inlet opening provided in the inlet and a portion of the outlet opening around the outlet opening Outlet opposite to a running around the inlet opening portion of the inlet, and that between the inlet portion and the outlet portion around the inlet opening extending around a first seal and radially outside the first seal disposed around the inlet opening second seal are arranged, wherein at least one suction to Evacuating at least one volume, which is enclosed between the two seals, is provided, wherein the first seal is formed of a soft metallic material or as a flat gasket of an elastomer, and where at the recipient a vacuum flange is attachable so that it cuts the material of the vacuum flange in the material of the recipient and / or the material of the recipient in the material of the vacuum flange.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit wenigstens einer Vakuumpumpe und wenigstens einem Rezipienten, wobei ein Auslass des Rezipienten mit einem Einlass der Vakuumpumpe derart lösbar verbunden oder verbindbar ist, dass eine im Auslass vorgesehene Auslassöffnung mit einer im Einlass vorgesehenen Einlassöffnung ausgerichtet ist und ein um die Auslassöffnung herum verlaufender Abschnitt des Auslasses einem um die Einlassöffnung herum verlaufenden Abschnitt des Einlasses gegenüberliegt, und dass zwischen dem Einlassabschnitt und dem Auslassabschnitt eine um die Einlassöffnung herum verlaufende erste Dichtung und radial außerhalb der ersten Dichtung eine um die Einlassöffnung herum verlaufende zweite Dichtung angeordnet sind, und wobei wenigstens eine Absaugung zum Evakuieren wenigstens eines zwischen der ersten Dichtung und der zweiten Dichtung liegenden Volumens vorgesehen ist. The present invention relates to a vacuum system having at least one vacuum pump and at least one recipient, wherein an outlet of the recipient is detachably connected or connectable to an inlet of the vacuum pump such that an outlet opening provided in the outlet is aligned with an inlet opening provided in the inlet and one around the inlet A portion of the outlet extending around the outlet opening is disposed opposite to a portion of the inlet extending around the inlet opening, and a first seal extending around the inlet opening and a second seal extending around the inlet opening are arranged between the inlet portion and the outlet portion. and wherein at least one suction device is provided for evacuating at least one volume lying between the first seal and the second seal.

Bei einem Vakuumsystem der eingangs genannten Art dichtet die erste Dichtung den zwischen der Einlassöffnung und der Auslassöffnung verlaufenden Verbindungskanal gegenüber dem zwischen den beiden Dichtungen liegenden Volumen ab. Außerdem dichtet die radial außen liegende, zweite Dichtung das Volumen zur Atmosphäre hin ab. Da das Volumen über die Absaugung evakuiert werden kann, muss die erste Dichtung den Verbindungskanal nicht gegenüber dem Atmosphärendruck abdichten, sondern nur gegenüber dem in dem Volumen herrschenden niedrigeren Druck. Dadurch können im Verbindungskanal bzw. im Rezipienten besonders niedrige Drücke erreicht werden. In a vacuum system of the type mentioned above, the first seal seals the connecting channel extending between the inlet opening and the outlet opening with respect to the volume lying between the two seals. In addition, the radially outer second seal seals the volume toward the atmosphere. Since the volume can be evacuated via the suction, the first seal does not have to seal the connection channel from the atmospheric pressure, but only against the lower pressure prevailing in the volume. As a result, particularly low pressures can be achieved in the connecting channel or in the recipient.

Allerdings tritt bei derartigen aus dem Stand der Technik bekannten Vakuumsystemen das Problem auf, dass sich im Rezipienten dauerhaft Drücke im Bereich des Ultrahochvakuums (UHV), insbesondere Drücke, die dauerhaft kleiner als 10^–9 hPa sind, nur schwer realisieren lassen. However, in such known from the prior art vacuum systems has the problem that in the recipient permanent pressures in the ultra-high vacuum (UHV), in particular pressures that are permanently less than 10 ^-9 hPa, difficult to realize.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine verbessertes Vakuumsystem bereitzustellen, bei dem im Rezipienten dauerhaft Drücke im Bereich des Ultrahochvakuums (UHV), insbesondere Drücke, die dauerhaft kleiner als 10^–9 hPa sind, erreichbar sind und bei dem an dem Rezipienten zusätzlich andere An- und Einbauten angebracht werden können. The present invention is therefore based on the object to provide an improved vacuum system in which in the recipient permanently pressures in the range of ultrahigh vacuum (UHV), in particular pressures that are permanently less than 10 ^-9 hPa, are achievable and in addition to the recipient other attachments and internals can be attached.

Die Aufgabe wird durch ein Vakuumsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und insbesondere dadurch gelöst, dass das Vakuumsystem der eingangs genannten Art dadurch weitergebildet wird, dass die erste Dichtung aus einem weichen metallischen Material oder als eine Flachdichtung aus Elastomer ausgebildet ist, und dass an dem Rezipienten ein Vakuumflansch so anbringbar ist, dass dabei das Material des Vakuumflansches in das Material des Rezipienten und/oder das Material des Rezipienten in das Material des Vakuumflansches schneidet.The object is achieved by a vacuum system with the features of claim 1 and in particular by the fact that the vacuum system of the type mentioned is further developed in that the first seal is formed of a soft metallic material or as a flat gasket made of elastomer, and that on the Recipient a vacuum flange is attachable so that it cuts the material of the vacuum flange in the material of the recipient and / or the material of the recipient into the material of the vacuum flange.

Da erfindungsgemäß die erste Dichtung aus einem weichen metallischen Material bzw. als Flachdichtung aus Elastomer ausgestaltet ist, gast die erste Dichtung allenfalls nur geringfügig aus, so dass – insbesondere bei entsprechender Auslegung der Vakuumpumpe – im Rezipienten dauerhaft Drücke im UHV-Bereich und insbesondere unter 10^–9 hPa erzeugt werden können. Um an dem Rezipienten zusätzliche An- und Einbauten anbringen zu können, ist an dem Rezipienten ein Vakuumflansch anbringbar. Durch das Einschneiden des Vakuumflansches in das Material des Rezipienten und/oder umgekehrt wird eine effiziente Abdichtung der Verbindung ohne zusätzliches Dichtelement erreicht. Since according to the invention the first seal is made of a soft metallic material or as a flat gasket made of elastomer, the first gasket is at most only slightly exposed, so that - in particular with a corresponding design of the vacuum pump - in the recipient permanently pressures in the UHV range and in particular below 10 ^-9 hPa can be generated. In order to attach additional attachments and internals to the recipient, a vacuum flange can be attached to the recipient. By cutting the vacuum flange into the material of the recipient and / or vice versa, an efficient sealing of the connection is achieved without an additional sealing element.

Bevorzugt handelt es sich bei dem Vakuumflansch um einen Edelstahlflansch, besonders bevorzugt um einen CF-Flansch. Es ist vorteilhaft, wenn das Material des Vakuumflansches und das Material des Rezipienten nicht gleich hart sind, da dann die beiden Materialien leichter ineinander einschneiden können. Hierdurch kann auf eine zusätzliche Dichtung zwischen dem Vakuumflansch und dem Rezipienten verzichtet werden. The vacuum flange is preferably a stainless steel flange, particularly preferably a CF flange. It is advantageous if the material of the vacuum flange and the material of the recipient are not equally hard, because then the two materials can easily cut into each other. This makes it possible to dispense with an additional seal between the vacuum flange and the recipient.

Um das Einschneiden des Vakuumflansches in das Material des Rezipienten (und/oder umgekehrt) zu erleichtern, kann vorgesehen sein, dass am Rezipienten und/oder am Vakuumflansch wenigstens eine Schneidkante vorgesehen ist.In order to facilitate the cutting of the vacuum flange into the material of the recipient (and / or vice versa), it can be provided that at least one cutting edge is provided on the recipient and / or on the vacuum flange.

Vorzugweise handelt es sich bei dem Einlassabschnitt der Vakuumpumpe um einen Teil des Gehäuses der Vakuumpumpe und bei dem Auslassabschnitt des Rezipienten handelt es sich vorzugsweise um einen Teil des Gehäuses des Rezipienten. Es kann ferner vorgesehen sein, dass das Gehäuse des Rezipienten mittels Heizpatronen und/oder Heizmanschetten ausheizbar ist, wobei im Falle von Heizpatronen diese in Bohrungen eingesetzt werden können, die im Material des Rezipienten vorgesehen sind. Preferably, the inlet portion of the vacuum pump is a part of the housing of the vacuum pump and the outlet portion of the recipient is preferably a part of the housing of the recipient. It may also be provided that the housing of the recipient by means of heating cartridges and / or heating sleeves is ausheizbar, wherein in the case of heating cartridges, these can be used in bores, which are provided in the material of the recipient.

Durch die Verwendung eines weichen metallischen Materials für die erste Dichtung ist die erste Dichtung insbesondere weicher ist als das Gehäuse der Vakuumpumpe bzw. des Rezipienten. Eine derartige zwischen dem Einlassabschnitt der Vakuumpumpe und dem Auslassabschnitt des Rezipienten angeordnete erste Dichtung kann somit verformt werden, zum Beispiel durch Gegeneinanderpressen der beiden Abschnitte, ohne dass wesentliche Verformungen am Einlass- oder Auslassabschnitt verursacht werden. Durch derartige Beschädigungen bzw. Verformungen bewirkte Vakuumverschlechterungen können somit vermieden werden.By using a soft metallic material for the first seal, the first seal is in particular softer than the housing of the vacuum pump or of the recipient. Such a first seal arranged between the inlet section of the vacuum pump and the outlet section of the recipient can thus be deformed, for example by pressing the two sections against one another, without causing significant deformations at the inlet or outlet section. Such damage or Deformation caused vacuum deterioration can thus be avoided.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn eine aus weichem metallischem Material ausgebildete erste Dichtung in Kombination mit einer Vakuumpumpe und/oder einem Rezipienten mit einem Aluminiumgehäuse eingesetzt wird. Damit kann erreicht werden, dass die erste Dichtung eine deutlich geringere Härte aufweist als der Einlassabschnitt und/oder der Auslassabschnitt. Die erste Dichtung verursacht somit keine oder nur geringfügige Beschädigungen bzw. Verformungen am Einlass- bzw. Auslassabschnitt. It is particularly advantageous if a first seal formed of soft metallic material is used in combination with a vacuum pump and / or a recipient with an aluminum housing. It can thus be achieved that the first seal has a significantly lower hardness than the inlet section and / or the outlet section. The first seal thus causes no or only minor damage or deformation at the inlet or outlet section.

Bevorzugt weist das metallische Material eine Brinellhärte (HB) auf, die geringer ist als HB 35, bevorzugt geringer als HB 30, weiter bevorzugt geringer als HB 25 und noch weiter bevorzugt höchstens HB 20 beträgt. Dadurch kann sichergestellt werden, dass die aus metallischem Material ausgebildete erste Dichtung eine deutlich geringere Härte aufweist als eine Vakuumpumpe bzw. ein Rezipient mit einem Gehäuse aus Aluminium. Preferably, the metallic material has a Brinell hardness (HB) which is less than HB 35, preferably less than HB 30, more preferably less than HB 25 and even more preferably at most HB 20. This can ensure that the formed of metallic material first seal has a significantly lower hardness than a vacuum pump or a recipient with a housing made of aluminum.

Bei dem metallischen Material handelt es sich insbesondere um eine Aluminiumlegierung, insbesondere um EN AW 1050a H111 . Dadurch kann eine weiche und kostengünstige erste Dichtung mit einer geringen Ausgasung realisiert werden. The metallic material is in particular an aluminum alloy, in particular to EN AW 1050a H111 , As a result, a soft and inexpensive first seal with a low outgassing can be realized.

Die erste Dichtung aus metallischem Material ist vorzugsweise als Flachdichtung ausgeführt. Dadurch kann bei guter Dichtwirkung eine Materialersparnis erzielt werden. The first seal of metallic material is preferably designed as a flat gasket. As a result, a material saving can be achieved with good sealing effect.

Vorzugsweise handelt es sich bei dem Elastomer um Polytetrafluorethylen (PTFE) oder FKM oder Viton. Die als Flachdichtung aus einem der genannten Materialien ausgebildete erste Dichtung weist eine geringe Permeabilität und Ausgasung auf, so dass im Rezipienten dauerhaft Drücke im UHV-Bereich und insbesondere unter 10^–9 hPa erreicht werden können. Preferably, the elastomer is polytetrafluoroethylene (PTFE) or FKM or Viton. The formed as a gasket of one of said materials first seal has a low permeability and outgassing, so that in the recipient permanent pressures in the UHV range and in particular below 10 ^-9 hPa can be achieved.

Die Flachdichtung aus Elastomer kann auch als Formdichtung ausgebildet sein, so dass der hierin verwendete Begriff "Flachdichtung" auch Formdichtungen umfassen soll. The flat gasket made of elastomer may also be designed as a molded gasket, so that the term "gasket" as used herein should also include molded gaskets.

Die aus weichem metallischem Material oder als Flachdichtung aus einem Elastomer ausgestaltete erste Dichtung weist vorzugsweise eine Höhe von maximal 2 mm, weiter bevorzugt eine Höhe zwischen 0,03 und 1,5 mm, noch weiter bevorzugt eine Höhe zwischen 0,05 und 1 mm, und nochmals weiter bevorzugt eine Höhe zwischen 0,05 und 0,5 mm auf. Mit einer derartigen Dichtung kann bei geringer Ausgasung eine gute Abdichtwirkung erreicht werden. The first seal made of soft metallic material or as a flat gasket made of an elastomer preferably has a height of at most 2 mm, more preferably a height of between 0.03 and 1.5 mm, even more preferably a height of between 0.05 and 1 mm, and even more preferably a height between 0.05 and 0.5 mm. With such a seal, a good sealing effect can be achieved with low outgassing.

Die – vorzugsweise aus weichem metallischem Material ausgestaltete – erste Dichtung kann zwischen dem Einlassabschnitt und dem Auslassabschnitt um 0,05 mm bis 0,5 mm, bevorzugt um 0,05 bis 0,1 mm, insbesondere flächig, verpresst sein. Durch eine derart geringfügige Verpressung der ersten Dichtung kann, insbesondere auch aufgrund der Absaugung und der radial außerhalb der ersten Dichtung vorgesehenen zweiten Dichtung, bereits eine ausreichend hohe Abdichtung erreicht werden, um im Rezipienten ein Vakuum im UHV-Bereich dauerhaft zu erzeugen. Die geringe Pressung der ersten Dichtung weist dabei den Vorteil auf, dass Beschädigungen am Einlass- oder Auslassabschnitt vermieden werden können. The first seal, which is preferably made of soft metallic material, may be compressed between the inlet section and the outlet section by 0.05 mm to 0.5 mm, preferably by 0.05 to 0.1 mm, in particular in a planar manner. Such a slight compression of the first seal can, in particular also due to the suction and the radially outside of the first seal provided second seal, already a sufficiently high seal can be achieved to produce a vacuum in the recipient permanently in the UHV range. The low pressure of the first seal has the advantage that damage to the inlet or outlet section can be avoided.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung ist die zweite Dichtung aus einem Elastomer, insbesondere aus FKM oder Viton, und bevorzugt in Form eines O-Rings ausgebildet. Die zweite Dichtung kann somit kostengünstig realisiert werden. According to a development of the invention, the second seal is formed of an elastomer, in particular of FKM or Viton, and preferably in the form of an O-ring. The second seal can thus be realized inexpensively.

Nach einer Ausgestaltung der Erfindung umfasst die Absaugung wenigstens eine Absaugöffnung, die im Einlassabschnitt vorgesehen ist. Über die Absaugöffnung kann eine Evakuierung des Volumens zwischen der ersten und zweiten Dichtung erfolgen. Die Absaugöffnung kann über einen Kanal mit einer Pumpstufe der Vakuumpumpe verbunden sein, so dass das Volumen mittels der Pumpstufe ausgepumpt werden kann. Bei der Pumpstufe kann es sich insbesondere um eine Zwischenpumpstufe handeln, die nachgeordnet zu der Pumpstufe angeordnet ist, mittels der der Rezipient ausgepumpt wird. Dabei handelt es sich bei dem Kanal insbesondere um einen Zwischeneinlass in die Zwischenpumpstufe. Die Absaugöffnung kann aber auch mit einer separaten Vakuumpumpe in Verbindung stehen. According to one embodiment of the invention, the suction comprises at least one suction opening, which is provided in the inlet section. Via the suction opening, an evacuation of the volume between the first and second seal can take place. The suction opening can be connected via a channel to a pumping stage of the vacuum pump, so that the volume can be pumped out by means of the pumping stage. The pumping stage may in particular be an intermediate pumping stage, which is arranged downstream of the pumping stage, by means of which the recipient is pumped out. In particular, the channel is an intermediate inlet into the intermediate pump stage. The suction opening can also be connected to a separate vacuum pump.

Bevorzugt umfasst die Absaugung wenigstens eine Absaugöffnung, die im Auslassabschnitt vorgesehen ist. Die Absaugöffnung im Auslassabschnitt kann zum Beispiel über einen Kanal mit einer Pumpstufe der Vakuumpumpe verbunden sein, so dass das zwischen der ersten und der zweiten Dichtung liegende Volumen über die Pumpstufe ausgepumpt werden kann. Dabei kann die Pumpstufe eine Zwischenpumpstufe sein, die der Pumpstufe nachgeordnet ist, mittels der der Rezipient ausgepumpt wird. Die Absaugöffnung im Auslassabschnitt kann jedoch auch mit einer separaten Vakuumpumpe in Verbindung stehen. Preferably, the suction comprises at least one suction opening, which is provided in the outlet section. The suction opening in the outlet section may, for example, be connected via a channel to a pumping stage of the vacuum pump, so that the volume lying between the first and the second seal can be pumped out via the pumping stage. In this case, the pumping stage may be an intermediate pumping stage, which is arranged downstream of the pumping stage, by means of which the recipient is pumped out. However, the suction opening in the outlet section may also be in communication with a separate vacuum pump.

Vorzugsweise ist am Einlassabschnitt eine um die Einlassöffnung umlaufende Aufnahme für die erste Dichtung ausgebildet. Die erste Dichtung kann in die Aufnahme eingelegt werden. Die Aufnahme ist dabei bevorzugt derart tief ausgebildet, dass die darin aufgenommene Dichtung aus ihr hervorsteht, so dass die Dichtung mit dem gegenüberstehenden Auslassabschnitt verpresst werden kann. Preferably, a housing for the first seal surrounding the inlet opening is formed at the inlet portion. The first seal can be inserted into the receptacle. The receptacle is preferably formed so deep that the seal received therein protrudes from her, so that the seal can be pressed with the opposite outlet section.

Die Aufnahme kann insbesondere in Form einer um die Einlassöffnung umlaufenden Einsenkung oder Nut ausgestaltet sein. Die Aufnahme kann somit besonders einfach hergestellt werden.The receptacle can be designed, in particular, in the form of a depression or groove running around the inlet opening. The recording can thus be made very easy.

Vorzugsweise ist in der Aufnahme, bevorzugt in deren Mitte, eine um die Einlassöffnung herumlaufende Schneidkante ausgebildet. Preferably, in the receptacle, preferably in its center, a running around the inlet opening cutting edge is formed.

In der entsprechenden Weise kann am Auslassabschnitt eine um die Auslassöffnung herum verlaufende, vorzugsweise in Form einer Nut ausgebildete, Aufnahme für die erste Dichtung vorgesehen sein. In der Aufnahme, vorzugsweise in deren Mitte, kann wiederum eine um die Auslassöffnung herumlaufende Schneidkante ausgebildet sein. Die Aufnahme im Einlassabschnitt und/oder die Aufnahme im Auslassabschnitt kann aber auch ohne Schneidkante ausgestaltet sein, wodurch eine flächige Verpressung der ersten Dichtung möglich ist. In the corresponding manner, a receptacle for the first seal, which extends around the outlet opening and preferably in the form of a groove, may be provided at the outlet section. In the receptacle, preferably in the middle, in turn, a running around the outlet opening cutting edge may be formed. However, the receptacle in the inlet section and / or the receptacle in the outlet section can also be designed without a cutting edge, as a result of which surface compression of the first seal is possible.

Die im Auslassabschnitt und/oder im Einlassabschnitt vorgesehene jeweilige Aufnahme kann derart ausgestaltet sein, dass sie sich mit zunehmender Tiefe verjüngt. Die jeweilige Aufnahme kann somit insbesondere zur Aufnahme einer von der Grundform her rautenartig ausgestalteten Formdichtung vorgesehen sein, wobei durch die verjüngte Form der Aufnahme erreicht werden kann, dass keine allzu großen Montagekräfte auf die erste Dichtung wirken. Dadurch kann insbesondere eine mögliche durch die Montagekräfte verursachte Beschädigung bzw. Verformung an der Vakuumpumpe bzw. am Rezipienten vermieden werden. The respective receptacle provided in the outlet section and / or in the inlet section can be designed in such a way that it tapers with increasing depth. The respective receptacle can thus be provided, in particular, for receiving a molded seal of the basic form, wherein the tapered shape of the receptacle makes it possible to ensure that no very large assembly forces act on the first seal. As a result, in particular a possible damage or deformation caused by the assembly forces on the vacuum pump or on the recipient can be avoided.

Der Einlassabschnitt und/oder der Auslassabschnitt kann/können derart ausgestaltet sein, dass beim Zusammenziehen des Einlassabschnitts und des Auslassabschnitts wenigstens eine Kante der dazwischen angeordneten ersten Dichtung gequetscht wird. Dadurch kann bei geringer Verpressung der ersten Dichtung eine ausreichende Dichtwirkung erzielt werden. Die Quetschung der ersten Dichtung kann insbesondere dadurch erreicht werden, dass am Einlassabschnitt und/oder am Auslassabschnitt eine jeweilige Quetschkante oder ein die Quetschung verursachender Radius ausgebildet ist. The inlet portion and / or the outlet portion may be configured such that upon contraction of the inlet portion and the outlet portion, at least one edge of the first gasket disposed therebetween is squeezed. As a result, a sufficient sealing effect can be achieved with low compression of the first seal. The pinching of the first seal can be achieved in particular by forming a respective pinch edge or a radius causing the pinch at the inlet section and / or at the outlet section.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die beiden Dichtungen einstückig miteinander ausgebildet sind. Durch die Verwendung der beiden einstückig ausgebildeten Dichtungen kann insbesondere Montagezeit zum Verbinden des Einlasses der Vakuumpumpe mit dem Auslass des Rezipienten eingespart werden. It when the two seals are integrally formed with each other is particularly advantageous. By using the two integrally formed seals in particular assembly time can be saved for connecting the inlet of the vacuum pump with the outlet of the recipient.

Insbesondere können die beiden Dichtungen in Form einer metallischen Flachdichtung oder einer Elastomer-Flachdichtung ausgebildet sein. Dadurch kann bei geringer Ausgasung eine gute Dichtwirkung erreicht werden. Durch die flache Ausbildung kann außerdem Material eingespart werden. In particular, the two seals may be in the form of a metallic flat gasket or an elastomeric flat gasket. As a result, a good sealing effect can be achieved with low outgassing. Due to the flat design also material can be saved.

Nach einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung ist das Gehäuse der Vakuumpumpe, insbesondere einschließlich des Einlassabschnitts, aus Aluminium ausgebildet. Im Vergleich zur Fertigung des Gehäuses aus Edelstahl können Kosten eingespart werden. According to a preferred embodiment of the invention, the housing of the vacuum pump, in particular including the inlet portion, is formed of aluminum. In comparison to the manufacture of the housing made of stainless steel costs can be saved.

Bevorzugt ist das Gehäuse des Rezipients, insbesondere einschließlich des Auslassabschnitts, aus Aluminium ausgebildet. Im Vergleich zur Verwendung von Edelstahl können ebenfalls Kosten eingespart werden. The housing of the recipient, in particular including the outlet section, is preferably made of aluminum. Costs can also be saved compared to using stainless steel.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung weist der Einlass wenigstens zwei Einlassöffnungen auf, wobei der Einlassabschnitt die Einlassöffnungen umgibt. Dementsprechend kann der Auslass des Rezipienten ebenfalls wenigstens zwei Auslassöffnungen aufweisen, die der Auslassabschnitt umgibt. Dabei kann bei mit der Vakuumpumpe verbundenem Rezipienten jeweils eine Auslassöffnung mit jeweils einer Einlassöffnung ausgerichtet sein. According to a development of the invention, the inlet has at least two inlet openings, wherein the inlet section surrounds the inlet openings. Accordingly, the outlet of the recipient may also have at least two outlet openings surrounding the outlet section. In this case, in the case of recipients connected to the vacuum pump, in each case one outlet opening can be aligned, each with an inlet opening.

Besonders bevorzugt ist um jede der wenigstens zwei Einlassöffnungen eine jeweilige erste Dichtung vorgesehen, die den zwischen der jeweiligen Einlassöffnung und der damit ausgerichteten Auslassöffnung verlaufenden Verbindungskanal zwischen Vakuumpumpe und Rezipienten abdichtet. Particularly preferably, a respective first seal is provided around each of the at least two inlet openings, which seals the connecting channel extending between the respective inlet opening and the outlet opening aligned therewith between the vacuum pump and the recipient.

Vorzusgweise ist radial außerhalb der wenigstens zwei ersten Dichtungen eine um die wenigstens zwei ersten Dichtungen herum verlaufende zweite Dichtung vorgesehen. Außerdem umgibt die zweite Dichtung vorzugsweise eine radial außerhalb der ersten Dichtungen liegende Absaugung. Das Volumen, das zwischen den wenigstens zwei ersten Dichtungen und der zweiten Dichtung eingeschlossen wird, kann somit mittels der Absaugung evakiiert werden. Vorzusgweise is provided radially outside the at least two first seals around the at least two first seals around extending second seal. In addition, the second seal preferably surrounds a suction located radially outside the first seals. The volume trapped between the at least two first seals and the second seal can thus be evacuated by means of the suction.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind die wenigstens zwei ersten Dichtungen einstückig miteinander ausgebildet. Dadurch kann die Montage des Vakuumsystems vereinfacht werden. According to a development of the invention, the at least two first seals are integrally formed with each other. Thereby, the assembly of the vacuum system can be simplified.

Die Erfindung betrifft außerdem eine Doppeldichtung zum Abdichten einer Verbindung zwischen einem Auslass eines Rezipienten und einem Einlass einer Vakuumpumpe, wobei bei der Verbindung eine im Auslass vorgesehene Auslassöffnung mit einer im Einlass vorgesehenen Einlassöffnung ausgerichtet ist und ein um die Auslassöffnung herum verlaufender Abschnitt des Auslasses einem um die Einlassöffnung herum verlaufenden Abschnitt des Einlasses gegenüberliegt, wobei die Doppeldichtung eine erste Dichtung und eine zweite Dichtung aufweist, die derart zwischen dem Einlassabschnitt und dem Auslassabschnitt angeordnet oder anordenbar sind, dass die zweite Dichtung radial außerhalb der ersten Dichtung um die Einlassöffnung herum verläuft und die beiden Dichtungen wenigstens ein Volumen einschließen, das über wenigstens eine Absaugung evakuiert werden kann, und wobei die beiden Dichtungen einstückig miteinander ausgebildet sind. The invention also relates to a double seal for sealing a connection between an outlet of a recipient and an inlet of a vacuum pump, wherein in the connection an outlet opening provided in the outlet is aligned with an inlet opening provided in the inlet and a around the outlet opening extending portion of the outlet opposite to a portion extending around the inlet opening of the inlet, the double seal having a first seal and a second seal disposed between the inlet portion and the outlet portion such that the second seal radially outwardly of the first seal the inlet opening extends around and the two seals include at least one volume that can be evacuated via at least one suction, and wherein the two seals are formed integrally with each other.

Insbesondere kann die Doppeldichtung (und somit die beiden einstückig miteinander ausgebildeten Dichtungen) wenigstens eines der Merkmale aufweisen, die hierin im Zusammenhang mit der ersten Dichtung und/oder der zweiten Dichtung offenbart sind. In particular, the double seal (and thus the two integrally formed seals) may have at least one of the features disclosed herein in connection with the first seal and / or the second seal.

Vorzugsweise ist die Doppeldichtung – und somit die beiden einstückig miteinander ausgebildeten Dichtungen – in Form einer metallischen Flachdichtung oder einer Elastomer-Flachdichtung ausgebildet. Dadurch kann bei hoher Dichtigkeit eine geringe Ausgasung der Doppeldichtung erreicht werden. Preferably, the double seal - and thus the two integrally formed seals - in the form of a metallic gasket or an elastomeric gasket is formed. As a result, a low outgassing of the double seal can be achieved with high density.

Bei der metallischen Flachdichtung handelt es sich bevorzugt um eine Dichtung aus einer Aluminiumlegierung, insbesondere aus EN AW 1050a H111 .The metallic flat gasket is preferably a gasket of an aluminum alloy, in particular of EN AW 1050a H111 ,

Die Elastomer-Flachdichtung besteht bevorzugt aus PTFE, FKM oder Viton. The elastomeric flat gasket is preferably made of PTFE, FKM or Viton.

Die Flachdichtung weist bevorzugt eine Höhe von maximal 2 mm, bevorzugt eine Höhe zwischen 0,03 und 1,5 mm, weiter bevorzugt eine Höhe zwischen 0,05 und 1 mm, und noch weiter bevorzugt eine Höhe zwischen 0,05 und 0,5 mm auf. The flat gasket preferably has a height of at most 2 mm, preferably a height between 0.03 and 1.5 mm, more preferably a height between 0.05 and 1 mm, and even more preferably a height between 0.05 and 0.5 mm up.

Die vorliegende Erfindung betrifft außerdem eine Dichtungseinrichtung zum Abdichten einer Verbindung zwischen einem Auslass eines Rezipienten mit wenigstens zwei Auslassöffnungen und einem Einlass einer Vakuumpumpe mit wenigstens zwei Einlassöffnungen, wobei bei der Verbindung jeweils eine Auslassöffnung mit jeweils einer Einlassöffnung ausgerichtet ist und ein um die Auslassöffnungen herum verlaufender Abschnitt des Auslasses einem um die Einlassöffnungen herum verlaufenden Abschnitt des Einlasses gegenüberliegt, wobei die Dichtungseinrichtung wenigstens zwei Dichtungen aufweist, die zwischen dem Einlassabschnitt und dem Auslassabschnitt derart angeordnet oder anordenbar sind, dass jeweils eine der Dichtungen um jeweils eine der Einlassöffnungen herum verläuft, und wobei die wenigstens zwei Dichtungen einstückig miteinander ausgebildet sind.The present invention also relates to a sealing device for sealing a connection between an outlet of a recipient having at least two outlet openings and an inlet of a vacuum pump having at least two inlet openings, wherein the connection in each case an outlet opening is aligned with one inlet opening and one extending around the outlet openings A portion of the outlet is opposite to a portion of the inlet extending around the inlet openings, wherein the sealing means comprises at least two seals which are arranged between the inlet portion and the outlet portion such that each of the seals extends around each one of the inlet openings, and wherein the at least two seals are integrally formed with each other.

Bevorzugt ist jede der wenigstens zwei Dichtungen vom Material und/oder der Dimensionierung her wie die vorstehend erwähnte erste Dichtung ausgebildet. Preferably, each of the at least two seals is formed from the material and / or the dimensioning forth as the above-mentioned first seal.

Bei der Vakuumpumpe handelt es sich insbesondere um eine Turbomolekularpumpe, insbesondere um eine Turbomolekularpumpe mit mehr als einem Vakuum-Port. Eine derartige Vakuumpumpe wird auch als Split-Flow-Vakuumpumpe bezeichnet.The vacuum pump is in particular a turbomolecular pump, in particular a turbomolecular pump with more than one vacuum port. Such a vacuum pump is also referred to as a split-flow vacuum pump.

Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beispielhaft beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch, Hereinafter, the invention will be described by way of example with reference to the accompanying drawings. Show, in each case schematically,

1 eine geschnittene Ansicht eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 1 a sectional view of a vacuum system according to the invention,

2 eine seitliche Ansicht einer Vakuumpumpe, 2 a side view of a vacuum pump,

3 einen Längsschnitt gemäß der Linie A-A in 2, 3 a longitudinal section along the line AA in 2 .

4 einen Längsschnitt im Bereich eines UHV-Ports der Vakuumpumpe von 2, 4 a longitudinal section in the area of a UHV port of the vacuum pump of 2 .

5 eine vergrößerte Schnittansicht des in 3 und 4 mit B gekennzeichneten Bereichs, 5 an enlarged sectional view of the in 3 and 4 area marked B,

6 eine weitere vergrößerte Schnittansicht des in 3 und 4 mit B gekennzeichneten Bereichs, 6 another enlarged sectional view of the in 3 and 4 area marked B,

7 noch eine weitere vergrößerte Schnittansicht des in 3 und 4 mit B gekennzeichneten Bereichs, 7 yet another enlarged sectional view of the in 3 and 4 area marked B,

8 noch eine weitere vergrößerte Schnittansicht des in 3 und 4 mit B gekennzeichneten Bereichs, 8th yet another enlarged sectional view of the in 3 and 4 area marked B,

9 eine geschnittene Teilansicht einer anderen Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 9 a sectional partial view of another variant of a vacuum system according to the invention,

10 eine seitliche Ansicht einer weiteren Vakuumpumpe, 10 a side view of another vacuum pump,

11 eine seitliche Ansicht noch einer weiteren Vakuumpumpe, 11 a side view of yet another vacuum pump,

12 einen Ausschnitt eines Schnitts eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, und 12 a section of a section of a vacuum system according to the invention, and

13 eine vergrößerte Schnittansicht des in 12 mit C gekennzeichneten Bereichs. 13 an enlarged sectional view of the in 12 area marked C.

Das in 1 gezeigte Vakuumsystem 21 umfasst eine Vakuumpumpe 23 und einen Rezipienten 25. Bei der Vakuumpumpe 23 handelt es sich um eine Turbomolekularpumpe mit einer ersten Pumpstufe 27, einer zweiten Pumpstufe 29 und einer dritten Pumpstufe 31. Die Pumpstufen 27, 29 und 31 sind in Serie angeordnet und zum Pumpen eines Fluids, wie etwa Luft, aus dem Rezipienten 25 und von einem Einlass 33 der Vakuumpumpe 23 zu einem Auslass 35 der Vakuumpumpe 23, an den eine weitere Vakuumpumpe angeschlossen sein kann, vorgesehen. This in 1 shown vacuum system 21 includes a vacuum pump 23 and a recipient 25 , At the vacuum pump 23 it is a turbomolecular pump with a first pumping stage 27 , a second pumping stage 29 and a third pumping stage 31 , The pump stages 27 . 29 and 31 are arranged in series and for pumping a fluid, such as air, from the recipient 25 and from an inlet 33 the vacuum pump 23 to an outlet 35 the vacuum pump 23 to which a further vacuum pump may be connected provided.

Bei der ersten Pumpstufe 27 kann es sich um eine turbomolekulare Pumpstufe mit mehreren an einer Rotorwelle befestigten Rotorscheiben und in axialer Richtung zwischen den Rotorscheiben angeordneten Statorscheiben handeln. Bei der zweiten Pumpstufe 29 und der dritten Pumpstufe 31 kann es sich um ineinander geschachtelte Holweck-Stufen handeln. Allerdings sind auch andere Konfigurationen möglich. Beispielsweise kann die zweite Pumpstufe 29 eine weitere turbomolekulare Pumpstufe sein, während nur die dritte Pumpstufe 31 eine Holweck-Pumpstufe ist. At the first pumping stage 27 it can be a turbomolecular pumping stage with a plurality of rotor disks fixed to a rotor shaft and stator disks arranged in the axial direction between the rotor disks. At the second pumping stage 29 and the third pumping stage 31 they can be nested Holweck levels. However, other configurations are possible. For example, the second pumping stage 29 be another turbomolecular pumping stage, while only the third pumping stage 31 is a Holweck pumping stage.

Wie 1 zeigt, ist ein Auslass 37 des Rezipienten 25 an den Einlass 33 der Vakuumpumpe 23 angeschlossen. Dabei ist in an sich bekannter Weise eine im Auslass 37 vorgesehene Auslassöffnung 39 mit einer am Einlass 33 vorgesehenen Einlassöffnung 41 ausgerichtet. Außerdem ist ein, im gezeigten Beispiel als Flansch ausgebildeter Auslassabschnitt 43 um die Auslassöffnung 39 herum vorgesehen, der einem um die Einlassöffnung 41 herum verlaufenden Einlassabschnitt 45 gegenüber steht.As 1 shows is an outlet 37 the recipient 25 to the inlet 33 the vacuum pump 23 connected. This is in a conventional manner one in the outlet 37 provided outlet opening 39 with one at the inlet 33 provided inlet opening 41 aligned. In addition, a, designed in the example shown as a flange outlet section 43 around the outlet opening 39 provided around, the one around the inlet opening 41 around inlet section 45 opposite.

An dem Rezipienten 25 ist zudem ein Vakuumflansch 11 befestigt, welcher insbesondere ein Edelstahlflansch, wie beispielsweise ein CF-Flansch, sein kann. Zur Abdichtung schneidet das Material des Vakuumflansches 11 in das Material des Rezipienten 25 ein. Grundsätzlich ist – bei geeigneter Materialwahl – auch der umgekehrte Fall denkbar, bei welchem das Material des Rezipienten 25 in das Material des Vakuumflansches 11 einschneidet. Ein gegenseitiges Einschneiden ist ebenfalls realisierbar. At the recipient 25 is also a vacuum flange 11 fastened, which in particular a stainless steel flange, such as a CF flange may be. For sealing, the material of the vacuum flange cuts 11 in the material of the recipient 25 one. Basically - with a suitable choice of material - and the reverse case is conceivable in which the material of the recipient 25 in the material of the vacuum flange 11 cuts. A mutual cutting is also feasible.

Zwischen dem Einlassabschnitt 45 und dem Auslassabschnitt 43 ist eine um die Einlassöffnung 41 herum verlaufende erste, innere Dichtung 47 angeordnet. Radial außerhalb der ersten Dichtung 47 ist eine ebenfalls um die Einlassöffnung 41 herum verlaufende zweite, äußere Dichtung 49 angeordnet. Durch die beiden Dichtungen 47, 49 wird der sich zwischen der Auslassöffnung 39 und der Einlassöffnung 41 erstreckende Verbindungskanal zwischen der Vakuumpumpe 23 und dem Rezipienten 25 abgedichtet.Between the inlet section 45 and the outlet section 43 is one around the inlet opening 41 around first inner seal 47 arranged. Radially outside the first seal 47 is also one around the inlet opening 41 running around second, outer seal 49 arranged. Through the two seals 47 . 49 will be between the outlet opening 39 and the inlet opening 41 extending connecting channel between the vacuum pump 23 and the recipient 25 sealed.

Die beiden Dichtungen 47, 49 schließen ein Volumen 51 ein, das bei dem gezeigten Beispiel außerdem von den Außenwänden des Einlassabschnitts 45 und des Auslassabschnitts 43 begrenzt wird. Zum Evakuieren des Volumens 51 ist eine Absaugung 53 vorgesehen, die wenigstens eine Absaugöffnung 55 aufweist, über die das Volumen 51 mit der zweiten Pumpstufe 29 in Verbindung steht. Das Volumen 51 kann somit von der zweiten Pumpstufe 29 und der nachgeordneten dritten Pumpstufe 31 evakuiert werden. The two seals 47 . 49 close a volume 51 also, in the example shown, from the outer walls of the inlet section 45 and the outlet section 43 is limited. To evacuate the volume 51 is a suction 53 provided, the at least one suction opening 55 has, over which the volume 51 with the second pumping stage 29 communicates. The volume 51 can thus from the second pumping stage 29 and the downstream third pumping stage 31 be evacuated.

Es sind auch andere Varianten zur Evakuierung des Volumens 51 möglich. Beispielweise kann das Volumen 51 nur über die dritte Pumpstufe 31 oder über eine separate Vakuumpumpe evakuiert werden. There are also other variants for the evacuation of the volume 51 possible. For example, the volume 51 only over the third pumping stage 31 or evacuated via a separate vacuum pump.

Die äußere, zweite Dichtung 49 dichtet das Volumen 51 gegen Atmosphäre ab. Da im Volumen 51 somit ein Unterdruck herrscht, muss die innere, erste Dichtung 47 den Verbindungskanal zwischen den Öffnungen 39, 41 nicht gegenüber der Atmosphäre, sondern nur gegenüber dem im Volumen 51 herrschenden Unterdruck abdichten. Dadurch sind im Rezipienten 25 niedrigere Drücke erzielbar, insbesondere im Vergleich zur Verwendung von nur einer einzigen Dichtung anstelle der beiden Dichtung 47, 49 mit der Zwischenabsaugung 55. The outer, second seal 49 seals the volume 51 against the atmosphere. Because in volume 51 thus, a negative pressure prevails, must be the inner, first seal 47 the connecting channel between the openings 39 . 41 not to the atmosphere, but only to the volume 51 seal prevailing negative pressure. As a result, in the recipient 25 Lower pressures can be achieved, in particular compared to the use of only a single seal instead of the two seal 47 . 49 with the intermediate suction 55 ,

Ferner ist bei dem Vakuumsystem 21 die erste Dichtung 47 aus einem weichen metallischen Material oder als eine Flachdichtung aus einem Elastomer ausgebildet. Dadurch kann sichergestellt werden, dass die erste Dichtung 47 nur geringfügig ausgast, so dass im Rezipienten besonders niedrige Drücke im UHV-Bereich, insbesondere unter 10^–9 mbar erreicht und dauerhaft gehalten werden können. Further, in the vacuum system 21 the first seal 47 made of a soft metallic material or as a flat gasket made of an elastomer. This can ensure that the first seal 47 only slightly outgassed, so that in the recipient particularly low pressures in the UHV range, in particular below 10 ^-9 mbar can be achieved and permanently maintained.

An der Ausbildung der ersten Dichtung 47 aus einem weichen metallischen Material oder als Flachdichtung aus Elastomer ist außerdem vorteilhaft, dass bereits eine ausreichende Dichtwirkung eintritt, wenn der Auslassabschnitt 43 und der Einlassabschnitt 45 mit geringen Anpresskräften aneinander gedrückt werden, da aufgrund der Weichheit des Dichtungsmaterials bereits bei geringen Anpresskräften eine Verformung des Dichtungsmaterials und eine damit verbundene Abdichtwirkung eintritt. Außerdem wird eine Beschädigung oder Verformung des Auslassabschnitts 43 bzw. des Einlassabschnitts 45 aufgrund der Weichheit des Dichtungsmaterials vermieden.At the training of the first seal 47 made of a soft metallic material or as a flat gasket made of elastomer is also advantageous that already enters a sufficient sealing effect when the outlet section 43 and the inlet section 45 be pressed against each other with low contact forces, since due to the softness of the sealing material occurs even at low contact forces deformation of the sealing material and an associated sealing effect. In addition, damage or deformation of the outlet portion 43 or the inlet section 45 avoided due to the softness of the sealing material.

Besonders bevorzugt handelt es sich bei dem weichen metallischen Material für die erste Dichtung 47 um eine Aluminiumlegierung, wie etwa EN AW 1050a H111 . Dies ist insbesondere dann vorteilhaft, wenn das Gehäuse der Vakuumpumpe 23 und/oder der Rezipient 25 aus Aluminium ausgestaltet ist/sind, da dann sichergestellt ist, dass die erste Dichtung 47 deutlich weicher ist als der Auslassabschnitt 43 und/oder der Einlassabschnitt 45. Particularly preferably, the soft metallic material for the first seal 47 around an aluminum alloy, such as EN AW 1050a H111 , This is particularly advantageous if the housing of the vacuum pump 23 and / or the recipient 25 made of aluminum is / are, because then it is ensured that the first seal 47 is significantly softer than the outlet section 43 and / or the inlet section 45 ,

Außerdem kann die aus weichem metallischem Material ausgebildete erste Dichtung 47 als Flachdichtung ausgestaltet sein. Da die erste Dichtung 47 nicht gegen Atmosphäre abdichten muss, ist nur noch ein sehr geringer Umformgrad der Dichtung notwendig, um eine ausreichende Dichtwirkung zu erreichen. Die erste Dichtung 47 kann beispielweise zwischen dem Einlassabschnitt 45 und dem Auslassabschnitt 43 flächig verpresst werden, wobei bereits eine Verformung von 0,1 mm bis 0,5 mm oder sogar nur von 0,05 mm bis 0,1 mm schon zu einer hinreichenden Dichtwirkung führen kann. Insbesondere bei sehr schmal ausgeführten Dichtstellen kann der Umformgrad aber auch größer sein, zum Beispiel bis 0,5 mm, da hierbei die Verpresskräfte ebenfalls gering gehalten werden können. In addition, the formed of soft metallic material first seal 47 be designed as a gasket. Because the first seal 47 does not have to seal against the atmosphere, only a very small degree of deformation of the seal is necessary to achieve a sufficient sealing effect. The first seal 47 For example, between the inlet section 45 and the outlet section 43 be pressed surface, with a deformation of 0.1 mm to 0.5 mm or even only 0.05 mm to 0.1 mm can already lead to a sufficient sealing effect. In particular, in the case of very narrow sealing points, however, the degree of deformation can also be greater, for example up to 0.5 mm, since in this case the compression forces can likewise be kept low.

Ist die erste Dichtung 47 als Flachdichtung aus einem Elastomer ausgebildet, so kann sie insbesondere aus PTFE, FKM oder Viton bestehen. Is the first seal 47 formed as a gasket made of an elastomer, it may in particular consist of PTFE, FKM or Viton.

Die erste Dichtung 47 aus weichem metallischem Material oder aus Elastomer weist bevorzugt eine Höhe von maximal 2 mm auf. Bevorzugt liegt die Höhe zwischen 0,03 mm und 1,5 mm, noch weiter bevorzugt zwischen 0,05 mm und 1 mm und noch weiter bevorzugt zwischen 0,05 mm und 0,5 mm. Bei einer derart flach ausgeführten ersten Dichtung 47 ist die Ausgasung gering, wodurch im Rezipienten 25 ein geringer Enddruck im UHV-Bereich erreicht und gehalten werden kann. The first seal 47 made of soft metallic material or elastomer preferably has a height of at most 2 mm. Preferably, the height is between 0.03 mm and 1.5 mm, more preferably between 0.05 mm and 1 mm and even more preferably between 0.05 mm and 0.5 mm. In such a flattened first seal 47 the outgassing is low, resulting in the recipient 25 a low final pressure in the UHV range can be achieved and maintained.

Die zweite Dichtung 49 kann als O-Ring aus einem Elastomer, wie etwa PTFE, FKM oder Viton, ausgebildet sein. The second seal 49 may be formed as an O-ring of an elastomer such as PTFE, FKM or Viton.

Die Vakuumpumpe 23a der 2 und 3 ist eine als Split-Flow-Pumpe ausgestaltete Turbomolekularpumpe. Split-Flow-Pumpen sind an sich bekannt. The vacuum pump 23a of the 2 and 3 is a turbomolecular pump designed as a split-flow pump. Split-flow pumps are known per se.

Die Vakuumpumpe 23a kann insbesondere in der gleichen Weise aufgebaut sein wie die Vakuumpumpe der 1. Allerdings weist die Vakuumpumpe 23a zusätzlich zu dem Einlass 33 noch einen auch als Anzapfung bezeichneten Zwischeneinlass 57 auf, an den ein anderer Rezipient oder eine Kammer des an den Einlass 33 angeschlossenen Rezipienten (nicht gezeigt) angeschlossen werden kann.The vacuum pump 23a can in particular be constructed in the same way as the vacuum pump 1 , However, the vacuum pump has 23a in addition to the inlet 33 another intermediate intake, also referred to as tapping 57 on to another recipient or a chamber of the inlet 33 connected to the recipient (not shown) can be connected.

Bei der Vakuumpumpe 23a bildet der Einlass 33 einen sogenannten UHV-Port, da ein an diesen Einlass 33 angeschlossener Rezipient auf ein Vakuum im UHV-Bereich evakuiert werden kann. At the vacuum pump 23a forms the inlet 33 a so-called UHV port, as one at this inlet 33 connected recipient can be evacuated to a vacuum in the UHV range.

Mit der Vakuumpumpe 23a kann, wie vorstehend mit Bezug auf die 1 beschrieben wurde, in Kombination mit einem an den Einlass 33 angeschlossenen Rezipienten 25 ein Vakuumsystem gebildet werden. Dabei werden – wie auch in der vergrößerten Darstellung des von dem Einlass 33 gebildeten UHV-Ports der 4 zu sehen ist, zur Abdichtung des Verbindungskanals zwischen der Auslassöffnung 39 des Auslasses 37 des Rezipienten 25 (vgl. 1) und der Einlassöffnung 41 des Einlasses 33 der Vakuumpumpe 23a wiederum eine erste, innere Dichtung 47 und eine zweite, äußere Dichtung 49 mit einer dazwischen liegenden Absaugung 53 mit der Absaugöffnung 55 verwendet. With the vacuum pump 23a can, as above with reference to the 1 described in combination with one at the inlet 33 connected recipients 25 a vacuum system are formed. Here are - as well as in the enlarged view of the inlet 33 formed UHV ports of the 4 can be seen, for sealing the connection channel between the outlet opening 39 the outlet 37 the recipient 25 (see. 1 ) and the inlet opening 41 of the inlet 33 the vacuum pump 23a again a first, inner seal 47 and a second, outer seal 49 with an intermediate suction 53 with the suction opening 55 used.

Die vorstehenden Ausführungen zur ersten Dichtung 47 und zur zweiten Dichtung 49 gelten entsprechend für die Vakuumpumpe 23a. Insbesondere ist, wie bei der Vakuumpumpe der 1, die erste Dichtung 47 aus einem weichen metallischen Material oder als eine Flachdichtung aus Elastomer ausgestaltet. The previous comments on the first seal 47 and to the second seal 49 apply accordingly to the vacuum pump 23a , In particular, as with the vacuum pump of 1 , the first seal 47 made of a soft metallic material or as a flat gasket made of elastomer.

Zur Aufnahme der Dichtungen 47, 49 kann eine jeweilige um die Einlassöffnung 41 herumlaufende Aufnahme 57, 59 im Einlassabschnitt 45 vorgesehen sein. Außerdem ist im Einlassabschnitt 45 zwischen den Dichtungen 47, 49 ein mit der Absaugöffnung 55 in Verbindung stehender Sammelkanal 61 ausgebildet, insbesondere eingefräst. Über den Sammelkanal 61 kann das bei angeschlossenem Rezipienten 25 zwischen den Dichtungen 47 und 49 eingeschlossene Volumen 51 (vgl. 1) in verbesserter Weise über die Absaugung 53 evakuiert werden.For receiving the seals 47 . 49 may be a respective one around the inlet opening 41 walking around recording 57 . 59 in the inlet section 45 be provided. Besides, in the inlet section 45 between the seals 47 . 49 one with the suction opening 55 communicating collecting duct 61 formed, in particular milled. About the collection channel 61 this can be done with connected recipient 25 between the seals 47 and 49 enclosed volumes 51 (see. 1 ) in an improved way via the suction 53 be evacuated.

Die 5 bis 8 zeigen jeweilige vergrößerte Schnittansichten des in 3 und 4 mit B gekennzeichneten Bereichs des Einlasses 33 und somit des UHV-Ports. The 5 to 8th show respective enlarged sectional views of the in 3 and 4 Indicated area B of the inlet 33 and thus the UHV port.

Wie in 5 gezeigt ist, kann am Einlassabschnitt 45 und insbesondere in etwa in der Mitte der Aufnahme 57 eine Schneidkante 63 ausgebildet sein. Die Schneidkante 63 wirkt mit der ersten Dichtung 47 derart zusammen, dass auch bei geringer Pressung der ersten Dichtung 47 eine ausreichende Dichtwirkung erzielt wird. As in 5 can be shown at the inlet section 45 and in particular approximately in the middle of the recording 57 a cutting edge 63 be educated. The cutting edge 63 works with the first seal 47 together so that even at low pressure of the first seal 47 a sufficient sealing effect is achieved.

Eine derartige mit der ersten Dichtung 47 zusammenwirkende Schneidkante 63 kann auch am Auslassabschnitt 43 des Auslasses 37 des Rezipienten 25 vorgesehen sein. Dabei kann die Schneidkante 63 ebenfalls in etwa in der Mitte einer am Auslassabschnitt 43 vorgesehenen Aufnahme für die erste Dichtung 47 ausgebildet sein (nicht gezeigt). Such with the first seal 47 cooperating cutting edge 63 can also be at the outlet section 43 the outlet 37 the recipient 25 be provided. In this case, the cutting edge 63 also approximately in the middle of one at the outlet section 43 provided receptacle for the first seal 47 be formed (not shown).

Bei der in 6 dargestellten Abwandlung ist in der Aufnahme 57 keine Schneidkante ausgebildet. Die erste Dichtung 47 lässt sich somit über die gesamte Breite der Aufnahme 57 gesehen flächig verpressen, wodurch ebenfalls eine ausreichende Abdichtwirkung erzielt wird. Die in 6 gezeigte Abwandlung wird bevorzugt in Verbindung mit einer als Flachdichtung aus Elastomer ausgebildeten ersten Dichtung 47 eingesetzt, während die Ausgestaltung der 5 bevorzugt bei einer ersten Dichtung 47 aus einem weichen metallischen Material eingesetzt wird. At the in 6 shown modification is in the recording 57 no cutting edge formed. The first seal 47 can thus be over the entire width of the recording 57 Press seen flat, which also achieves a sufficient Abdichtwirkung. In the 6 The modification shown is preferred in connection with a first seal formed as a flat gasket made of elastomer 47 used while the design of the 5 preferred in a first seal 47 made of a soft metallic material is used.

Bei der in 7 gezeigten Abwandlung ist die Aufnahme 57 im Einlassabschnitt 45 in Form einer Stufe ausgebildet, die sich von der Einlassöffnung 41 weg nach radial außen erstreckt. Am Auslassabschnitt 43 des Rezipienten 25 ist seitlich neben der Auslassöffnung 39 eine Erhöhung 65 ausgebildet. Radial außerhalb der Erhöhung schließt sich eine Aufnahme 59 für die erste Dichtung 57 an, auf die radial noch weiter außen ein tiefer liegender Bereich 67 folgt. Im Übergangsbereich zwischen der Erhöhung 65 und der Aufnahme 59 ist ein Radius 69 ausgebildet. Wie 7 zeigt, liegt die erste Dichtung 47 zwischen der Aufnahme 57 des Einlassabschnitts 45 und der Aufnahme 59 des Auslassabschnitts 43. Durch den Radius 69 wird die dem Radius 69 zugewandte, um die Einlassöffnung 41 umlaufende Kante der ersten Dichtung 47 zusammengepresst bzw. zusammengequetsch. Somit kann auf einfache Weise eine ausreichende Dichtwirkung selbst bei einer geringen Anpressung erzeugt werden. At the in 7 shown modification is the recording 57 in the inlet section 45 formed in the form of a step extending from the inlet opening 41 away radially outward. At the outlet section 43 the recipient 25 is laterally next to the outlet opening 39 an increase 65 educated. Radially outside the elevation closes a shot 59 for the first seal 57 on, on the radially even further out a lower lying area 67 follows. In the transition area between the increase 65 and the recording 59 is a radius 69 educated. As 7 shows, lies the first seal 47 between the recording 57 of the inlet section 45 and the recording 59 the outlet section 43 , By the radius 69 becomes the radius 69 facing the inlet opening 41 circumferential edge of the first seal 47 compressed or squeezed together. Thus, a sufficient sealing effect can be generated even with a low contact pressure in a simple manner.

Bei der Abwandlung der 8 ist sowohl am Einlassabschnitt 45 als auch am Auslassabschnitt 43 eine um die Einlassöffnung 41 bzw. Auslassöffnung 39 herum verlaufende, in Form einer Nut ausgebildete, Aufnahme 57, 59 für die erste Dichtung 47 ausgebildet. Sowohl die Aufnahme 57 am Einlassabschnitt 45 als auch die Aufnahme 59 am Auslassabschnitt 43 verjüngt sich mit zunehmender Tiefe, so dass die beiden Aufnahmen 57, 59 bevorzugt zur Aufnahme einer ersten Dichtung 47 vorgesehen sind, die von der Grundform her einen rautenförmigen Querschnitt aufweist. In the modification of 8th is both at the inlet section 45 as well as at the outlet section 43 one around the inlet opening 41 or outlet opening 39 around running, formed in the form of a groove, recording 57 . 59 for the first seal 47 educated. Both the recording 57 at the inlet section 45 as well as the recording 59 at the outlet section 43 tapers with increasing depth, leaving the two shots 57 . 59 preferably for receiving a first seal 47 are provided, which has a diamond-shaped cross-section of the basic shape ago.

Aufgrund der Verjüngung weist ein Endbereich 71 der ersten Dichtung 47, der dem Einlassabschnitt 45 zugewandt ist, einen geringen Querschnitt auf. Beim Zusammenpressen der ersten Dichtung 47 zum Erreichen einer Dichtwirkung verformt sich insbesondere dieser Endbereich plastisch oder elastisch. Aufgrund des geringen Querschnitts des Endbereichs 71 kann bereits mit geringen Montagekräften eine ausreichende Dichtwirkung erzielt werden. Einsprechendes gilt für den Endbereich 73 der ersten Dichtung 47, der dem Auslassabschnitt 43 zugewandt ist. Due to the rejuvenation has an end area 71 the first seal 47 , the inlet section 45 facing, a small cross section. When compressing the first seal 47 To achieve a sealing effect, in particular, this end region deforms plastically or elastically. Due to the small cross section of the end area 71 Already with low assembly forces a sufficient sealing effect can be achieved. The opponent applies to the end area 73 the first seal 47 , the outlet section 43 is facing.

Bei der in 9 dargestellten Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems 21a sind die erste Dichtung 47 und die zweite Dichtung 49 einstückig miteinander ausgebildet. Die beiden Dichtungen 47, 49 bilden somit eine zusammenhängende Doppeldichtung. At the in 9 illustrated variant of a vacuum system according to the invention 21a are the first seal 47 and the second seal 49 formed integrally with each other. The two seals 47 . 49 thus form a coherent double seal.

Wie die 9 zeigt, schließen die beiden Dichtungen 47, 49 ein erstes Volumen 51a ein, das außerdem vom Einlassabschnitt 45 begrenzt wird. Die beiden Dichtungen 47, 49 schließen ferner ein zweites Volumen 51b ein, das außerdem vom Auslassabschnitt 43 begrenzt wird. Sowohl im Einlassabschnitt 45 als auch im Auslassabschnitt 43 ist eine jeweilige Absaugung 53 vorgesehen, die wie die vorstehend beschriebene Absaugung ausgestaltet sein kann. Insbesondere die Absaugung 53 im Rezipienten ist dabei bevorzugt mit einer separaten Vakuumpumpe gekoppelt, um das Volumen 51b zu evakuieren. As the 9 shows, close the two seals 47 . 49 a first volume 51a also from the inlet section 45 is limited. The two seals 47 . 49 further close a second volume 51b also from the outlet section 43 is limited. Both in the inlet section 45 as well as in the outlet section 43 is a respective suction 53 provided, which may be configured as the suction described above. In particular, the suction 53 in the recipient is preferably coupled with a separate vacuum pump to the volume 51b to evacuate.

Die von den beiden Dichtungen 47, 49 gebildete Doppeldichtung ist in einer am Einlassabschnitt 45 vorgesehenen Aufnahme 57 und einer am Auslassabschnitt 43 vorgesehenen Aufnahme 59 aufgenommen. In jeder Aufnahme 57, 59 ist eine in radialer Richtung gesehen innerhalb der Absaugung 53 liegende, um die Öffnungen 39, 41 umlaufende Schneidkante 63 vorgesehen. Die Schneidkanten 63 dichten in Kombination mit der ersten Dichtung 47 den zwischen den Öffnungen 39, 41 verlaufenden Verbindungskanals gegenüber dem Volumen 51a und dem Volumen 51b ab. The one of the two seals 47 . 49 formed double seal is in one at the inlet section 45 intended recording 57 and one at the outlet section 43 intended recording 59 added. In every shot 57 . 59 is one seen in the radial direction within the suction 53 lying around the openings 39 . 41 circumferential cutting edge 63 intended. The cutting edges 63 seal in combination with the first seal 47 between the openings 39 . 41 extending connecting channel with respect to the volume 51a and the volume 51b from.

Jede Aufnahme 57, 59 umfasst außerdem eine in radialer Richtung außerhalb der Absaugung 53 liegende, um die Öffnungen 39, 41 herumlaufende Schneidkante 63, die in Kombination mit der zweiten Dichtung 49 das Volumen 51a bzw. das Volumen 51b gegen Atmosphäre abdichtet. Every shot 57 . 59 also includes a radially outside of the suction 53 lying around the openings 39 . 41 running cutting edge 63 that in combination with the second seal 49 the volume 51a or the volume 51b seals against the atmosphere.

Die von den beiden Dichtungen 47 und 49 ausgebildete Doppeldichtung kann als metallische Flachdichtung oder als Elastomer-Flachdichtung ausgebildet sein. The one of the two seals 47 and 49 trained double seal may be formed as a metallic flat gasket or as an elastomer flat gasket.

Die in 10 gezeigte Vakuumpumpe 23b ist wie die Vakuumpumpe der 2 aufgebaut. Allerdings weist bei der Vakuumpumpe 23b der 10 der Einlass 33 zwei Einlassöffnungen 41 auf, die von dem Einlassabschnitt 45 umgeben sind. Wie 10 zeigt, ist jede Einlassöffnung 41 von einer ersten Dichtung 47 umgeben, die um die jeweilige Einlassöffnung 41 herum verläuft. Radial außerhalb der beiden ersten Dichtungen 47 und der Absaugung 53 mit der Absaugöffnung 55 ist die zweite Dichtung 49 vorgesehen, die die beiden ersten Dichtungen 47 somit umschließt. Im Einlassabschnitt 45 ist im Bereich zwischen den Dichtungen 47, 49 der Sammelkanal 61 vorgesehen. In the 10 shown vacuum pump 23b is like the vacuum pump the 2 built up. However, points at the vacuum pump 23b of the 10 the inlet 33 two inlet openings 41 on that from the inlet section 45 are surrounded. As 10 shows is every inlet opening 41 from a first seal 47 Surround around the respective inlet opening 41 runs around. Radially outside the first two seals 47 and the suction 53 with the suction opening 55 is the second seal 49 provided the two first seals 47 thus encloses. In the inlet section 45 is in the area between the seals 47 . 49 the collection channel 61 intended.

Zur Bildung eines Vakuumsystems kann an den Einlass 33 ein Rezipient mit einem Auslass angeschlossen werden, der zwei Auslassöffnungen aufweist, die bei an die Vakuumpumpe 23b angeschlossenem Rezipienten mit den beiden Einlassöffnungen 41 ausgerichtet sind (nicht gezeigt). To form a vacuum system can be connected to the inlet 33 a recipient may be connected to an outlet having two outlet openings adjacent to the vacuum pump 23b connected recipient with the two inlet openings 41 are aligned (not shown).

Für die ersten und zweiten Dichtungen 47, 49 gelten die vorstehend gemachten Ausführungen entsprechend. Außerdem können ebenfalls entsprechende Aufnahmen 57, 59 für die Dichtungen 47, 49 vorgesehen sein.For the first and second seals 47 . 49 apply the statements made above corresponding. In addition, also appropriate recordings 57 . 59 for the seals 47 . 49 be provided.

Bei der in 11 gezeigten abgewandelten Vakuumpumpe 23b liegen gegenüber der Vakuumpumpe der 10 die Einlassöffnungen 41 näher beieinander. Dadurch können die beiden ersten Dichtungen 47 einstückig miteinander ausgebildet sein. Eine einstückige Ausbildung der beiden ersten Dichtungen 47 ist aber auch bei der Ausgestaltung der 10 möglich.At the in 11 shown modified vacuum pump 23b lie opposite the vacuum pump 10 the inlet openings 41 closer together. This allows the first two seals 47 be integrally formed with each other. A one-piece design of the first two seals 47 But also in the design of the 10 possible.

Wie vorstehend mit Bezug auf die 9 ausgeführt wurde, können die ersten und zweiten Dichtungen 47, 49 bei den Varianten der 10 und 11 ebenfalls einstückig miteinander ausgeführt sein. As above with reference to 9 was executed, the first and second seals 47 . 49 in the variants of 10 and 11 also be made in one piece with each other.

Aus der in 12 dargestellten Schnittansicht und insbesondere aus der in 13 dargestellten Vergrößerung des Bereichs C der 12 ist ersichtlich, dass das Material des Vakuumflansches 11 mittels einer Schneidkante 63 in einen Flanschabschnitt 75 des Rezipienten 25 einschneidet. Um den Vakuumflansch 11 an dem Flanschabschnitt 75 (und damit an dem Rezipienten 25) zu fixieren, sind in dem Vakuumflansch 11 Durchgänge 13 vorgesehen, durch welche Schrauben geführt werden können, um den Vakuumflansch 11 mit dem Rezipienten 25 sicher zu verschrauben. From the in 12 illustrated sectional view and in particular from in 13 shown enlargement of the area C of 12 it can be seen that the material of the vacuum flange 11 by means of a cutting edge 63 in a flange section 75 the recipient 25 cuts. To the vacuum flange 11 at the flange portion 75 (and thus to the recipient 25 ) are in the vacuum flange 11 crossings 13 provided by which screws can be guided to the vacuum flange 11 with the recipient 25 secure to screw.

Der Flansch 11 ist bevorzugt ein standardisierter CF-Flansch. Dadurch kann der Rezipient 25 auf einfache und zuverlässige Weise mit anderen Komponenten eines Vakuumsystems verbunden werden. The flange 11 is preferably a standardized CF flange. This allows the recipient 25 be easily and reliably connected to other components of a vacuum system.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1111: Vakuumflansch vacuum flange
1313: Durchgang passage
21, 21a21, 21a: Vakuumsystem vacuum system
23, 23a, 23b23, 23a, 23b: Vakuumpumpe vacuum pump
2525: Rezipient recipient
2727: erste Pumpstufe first pumping stage
2929: zweite Pumpstufe second pumping stage
3131: dritte Pumpstufe third pumping stage
3333: Einlass inlet
3535: Auslass outlet
3737: Auslass outlet
3939: Auslassöffnung outlet
4141: Einlassöffnung inlet port
4343: Auslassabschnitt outlet
4545: Einlassabschnitt inlet section
4747: erste Dichtung first seal
4949: zweite Dichtung second seal
5151: Volumen volume
51a, 52b51a, 52b: Volumen volume
5353: Absaugung suction
5555: Absaugöffnung suction
5757: Aufnahme admission
5959: Aufnahme admission
6161: Sammelkanal collecting duct
6363: Schneidkante cutting edge
6565: Erhöhung increase
6767: Bereich Area
6969: Radius radius
7171: Endbereich end
7373: Endbereich end
7575: Flanschabschnitt flange

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

EN AW 1050a H111 [0013]
EN AW 1050a H111 [0039]
EN AW 1050a H111 [0069]

Claims

Vacuum system with at least one vacuum pump ( 23 . 23a . 23b ) and at least one recipient ( 25 ), with an outlet ( 37 ) of the recipient ( 25 ) with an inlet ( 33 ) of the vacuum pump ( 23 . 23a . 23b ) is releasably connected or connectable such that one in the outlet ( 37 ) provided outlet opening ( 39 ) with one in the inlet ( 33 ) inlet opening ( 41 ) and one around the outlet opening ( 39 ) section ( 43 ) of the outlet ( 37 ) one around the inlet opening ( 41 ) around ( 45 ) of the inlet ( 33 ) and that between the inlet section ( 45 ) and the outlet section ( 43 ) one around the inlet opening ( 41 ) around first seal ( 47 ) and radially outside the first seal ( 47 ) one around the inlet opening ( 41 ) running around second seal ( 49 ) are arranged, and wherein at least one suction ( 53 ) for evacuating at least one volume ( 51 . 51a . 51b ) between the two seals ( 47 . 49 ) is provided, characterized in that the first seal ( 47 ) is formed of a soft metallic material or as a flat gasket made of an elastomer, and that on the recipient ( 25 ) a vacuum flange ( 11 ) is attachable so that while the material of the vacuum flange ( 11 ) into the material of the recipient ( 25 ) and / or the material of the recipient ( 25 ) in the material of the vacuum flange ( 11 ) cuts.

Vacuum system according to claim 1, characterized in that the metallic material has a Brinell hardness which is less than HB 35, preferably less than HB 30, more preferably less than HB 25 and even more preferably at most HB 20.

Vacuum system according to Claim 1 or 2, characterized in that the metallic material is an aluminum alloy, in particular EN AW 1050a H111.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the first seal ( 47 ) is made of metallic material as a flat gasket.

Vacuum system according to claim 1, characterized in that it is the elastomer to PTFE, FKM or Viton.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the first seal ( 47 ) has a height of at most 2 mm, preferably a height between 0.03 and 1.5 mm, even more preferably a height between 0.05 and 1 mm, and even more preferably a height between 0.05 and 0.5 mm ,

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the first seal ( 47 ) between the inlet section ( 45 ) and the outlet section ( 43 ) by 0.05 mm to 0.5 mm, preferably by 0.05 to 0.1 mm, in particular flat, is pressed.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the second seal ( 49 ) made of an elastomer, in particular of PTFE, FKM or Viton, and preferably in the form of an O-ring is formed.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the suction ( 53 ) at least one in the inlet section ( 45 ) provided suction opening ( 55 ), and / or the suction ( 53 ) at least one in the outlet section ( 43 ) provided suction opening ( 55 ).

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that at the inlet section ( 45 ) and / or at the outlet section ( 43 ) one around the inlet opening ( 41 ) or outlet opening ( 39 ) running around, in particular in the form of a groove, recording ( 57 ) for the first seal ( 47 ) is provided.

Vacuum system according to claim 10, characterized in that in the receptacle ( 57 ), preferably in the middle, one around the inlet opening ( 41 ) or outlet opening ( 43 ) around the cutting edge ( 63 ), and / or that the receptacle ( 57 ) tapers with increasing depth.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the inlet section ( 45 ) and / or the outlet section ( 43 ) is / are designed such that when contraction of the inlet section ( 45 ) and the outlet section ( 43 ) at least one, in particular around the inlet opening, running around edge of the interposed first seal ( 47 ) is squeezed.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the two seals ( 47 . 49 ) are integrally formed with each other, in particular in the form of a metallic flat gasket or an elastomeric flat gasket.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the Housing of the vacuum pump ( 23 . 23a . 23b ), in particular including the inlet section ( 45 ), made of aluminum, and / or the housing of the recipient ( 25 ), in particular including the outlet section ( 43 ), is formed of aluminum.

Vacuum system according to one of the preceding claims, characterized in that the inlet ( 33 ) at least two inlet openings ( 41 ), which the inlet section ( 45 ) surrounds each of the at least two inlet openings ( 41 ) a respective first seal ( 47 ), and the second seal ( 49 ) radially outside the at least two first seals ( 47 ) around the at least two first seals ( 47 ) runs around.

Vacuum system according to claim 15, characterized in that the at least two first seals ( 47 ) are integrally formed with each other.

Double seal for sealing a connection between an outlet ( 37 ) of a recipient ( 25 ) and an inlet ( 33 ) a vacuum pump ( 23 . 23a . 23b ), with the connection in the outlet ( 37 ) provided outlet opening ( 39 ) with one in the inlet ( 33 ) inlet opening ( 41 ) and one around the outlet opening ( 39 ) section ( 43 ) of the outlet ( 37 ) one around the inlet opening ( 41 ) around ( 45 ) of the inlet ( 33 ), wherein the double seal is a first seal ( 47 ) and a second seal ( 49 ), which between the inlet section ( 45 ) and the outlet section ( 43 ) are arranged or can be arranged such that the second seal ( 49 ) radially outside the first seal ( 47 ) around the inlet opening ( 41 ) runs around and the two seals ( 47 . 49 ) at least one volume ( 51a . 51b ), which via at least one suction ( 53 ) is evacuated, characterized in that the two seals ( 47 . 49 ) are integrally formed with each other.

Double seal according to claim 17, characterized in that the two integrally formed seals ( 47 . 49 ) is formed as a metallic flat gasket or as an elastomeric flat gasket.

Sealing device for sealing a connection between an outlet ( 37 ) of a recipient ( 25 ) with at least two outlet openings ( 39 ) and an inlet ( 33 ) a vacuum pump ( 23b ) with at least two inlet openings ( 41 ), wherein in the connection in each case an outlet opening ( 39 ) each having an inlet opening ( 41 ) and one around the outlet openings ( 39 ) section ( 43 ) of the outlet ( 37 ) one around the inlet openings ( 41 ) around ( 45 ) of the inlet ( 33 ), wherein the sealing device at least two seals ( 47 ), which between the inlet section ( 45 ) and the outlet section ( 43 ) are arranged or can be arranged such that in each case one of the seals ( 47 ) around one of the inlet openings ( 41 ), characterized in that the at least two seals ( 47 ) are integrally formed with each other.