DE102016006800A1 - Method and device for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell - Google Patents

Method and device for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle, bei dem eine katalysatorbeschichtete Membran mit mindestens einem Rahmenelement (R) stoffschlüssig verbunden wird, wobei – ein Klebstoff zumindest bereichsweise auf das mindestens eine Rahmenelement (R) und die katalysatorbeschichtete Membran aufgebracht wird, – das mindestens eine Rahmenelement (R) und die katalysatorbeschichtete Membran zusammengefügt werden und – der Klebstoff ausgehärtet wird. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass eine Oberfläche des Rahmenelements (R), auf welche der Klebstoff aufgebracht wird, vor dem Aufbringen des Klebstoffs mittels einer Plasmabehandlung vorbehandelt wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung (V) zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle.The invention relates to a method for producing a membrane-electrode assembly of a fuel cell, in which a catalyst-coated membrane with at least one frame member (R) is materially connected, wherein - an adhesive at least partially on the at least one frame member (R) and the catalyst-coated membrane is applied, - the at least one frame element (R) and the catalyst-coated membrane are joined together and - the adhesive is cured. According to the invention, it is provided that a surface of the frame element (R), to which the adhesive is applied, is pretreated prior to application of the adhesive by means of a plasma treatment. The invention further relates to a device (V) for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Vorrichtung zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 3.The invention relates to a method for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell according to the preamble of claim 1. The invention further relates to an apparatus for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell according to the preamble of claim 3.

Aus dem Stand der Technik sind Verfahren und Vorrichtungen zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle bekannt. Beispielsweise ist in der DE 11 2005 002 974 T5 ein Verfahren zur Herstellung einer Brennstoffzelle beschrieben, bei der ein elektrisch leitendes Element mit einer Elektrode und einer Umfangsfläche des ionenleitenden Elements mit Klebstoff verbunden wird. Des Weiteren ist eine Vorbehandlung einer Oberfläche der Elektrode, des ionenleitenden Elements und/oder des elektrisch leitenden Elements zur Aktivierung der Oberfläche vorgesehen.The prior art discloses methods and devices for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell. For example, in the DE 11 2005 002 974 T5 a method for manufacturing a fuel cell is described, in which an electrically conductive element is connected to an electrode and a peripheral surface of the ion-conducting element with adhesive. Furthermore, a pretreatment of a surface of the electrode, the ion-conducting element and / or the electrically conductive element for activating the surface is provided.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, ein gegenüber dem Stand der Technik verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle anzugeben.The invention is based on the object to provide a comparison with the prior art improved method and an improved apparatus for producing a membrane-electrode assembly of a fuel cell.

Hinsichtlich des Verfahrens wird die Aufgabe erfindungsgemäß mit den in Anspruch 1 angegebenen Merkmalen gelöst. Hinsichtlich der Vorrichtung wird die Aufgabe erfindungsgemäß mit den in Anspruch 3 angegebenen Merkmalen gelöst.With regard to the method, the object is achieved according to the invention with the features specified in claim 1. With regard to the device, the object is achieved according to the invention with the features specified in claim 3.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.Advantageous embodiments of the invention are the subject of the dependent claims.

In einem Verfahren zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle wird eine katalysatorbeschichtete Membran mit mindestens einem Rahmenelement stoffschlüssig verbunden. Dazu wird ein Klebstoff zumindest bereichsweise auf das mindestens eine Rahmenelement und die katalysatorbeschichtete Membran aufgebracht, das mindestens eine Rahmenelement und die katalysatorbeschichtete Membran werden zusammengefügt und der Klebstoff wird ausgehärtet.In a method for producing a membrane-electrode arrangement of a fuel cell, a catalyst-coated membrane is adhesively bonded to at least one frame element. For this purpose, an adhesive is at least partially applied to the at least one frame member and the catalyst-coated membrane, the at least one frame member and the catalyst-coated membrane are joined together and the adhesive is cured.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass eine Oberfläche des Rahmenelements, auf welche der Klebstoff aufgebracht wird, vor dem Aufbringen des Klebstoffs mittels einer Plasmabehandlung vorbehandelt wird.According to the invention, it is provided that a surface of the frame element, to which the adhesive is applied, is pretreated before the application of the adhesive by means of a plasma treatment.

Diese Vorbehandlung der Oberfläche des Rahmenelements, welches üblicherweise aus Kunststoff gefertigt ist, erhöht die Oberflächenenergie des Rahmenelements und somit eine Adhäsionskraft zwischen dem Rahmenelement und der katalysatorbeschichteten Membran. Dies ist vorteilhaft, da aus Kunststoff gefertigte Materialien üblicherweise eine niedrige Oberflächenenergie aufweisen und eine Benetzung durch Klebstoff nicht oder nicht vollständig möglich ist. Dabei wird mittels der Plasmabehandlung ein molekularer Aufbau der Oberfläche des Rahmenelements verändert, wobei in Abhängigkeit eines verwendeten Prozessgases Moleküle, z. B. Sauerstoff- oder Stickstoffmoleküle, an der Oberfläche angelagert werden, die eine Verbindung mit dem Klebstoff eingehen. Die Verbindung zwischen dem Klebstoff und der behandelten Oberfläche ist damit gegenüber dem Stand der Technik weniger gasdurchlässig, was in einer erhöhten Dichtungswirkung der Membran-Elektroden-Anordnung resultiert. Zudem wird aufgrund der verbesserten Adhäsionskraft zwischen der katalysatorbeschichteten Membran und dem Rahmenelement eine robuste Membran-Elektroden-Anordnung ausgebildet, welche gegenüber dem Stand der Technik eine erhöhte Beständigkeit gegenüber mechanischen und chemischen Beanspruchungen aufweist.This pretreatment of the surface of the frame member, which is usually made of plastic, increases the surface energy of the frame member and thus an adhesion force between the frame member and the catalyst-coated membrane. This is advantageous because materials made of plastic usually have a low surface energy and wetting by adhesive is not or not completely possible. In this case, a molecular structure of the surface of the frame member is changed by means of the plasma treatment, wherein depending on a used process gas molecules, for. As oxygen or nitrogen molecules are attached to the surface, which form a compound with the adhesive. The bond between the adhesive and the treated surface is thus less permeable to gas than the prior art, resulting in an increased sealing effect of the membrane-electrode assembly. In addition, due to the improved adhesion between the catalyst-coated membrane and the frame member, a robust membrane-electrode assembly is formed, which has increased resistance to mechanical and chemical stress as compared to the prior art.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im Folgenden anhand von Zeichnungen näher erläutert.Embodiments of the invention are explained in more detail below with reference to drawings.

Dabei zeigen:Showing:

1 ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle und 1 a block diagram of an inventive device for producing a membrane-electrode assembly of a fuel cell and

2 bis 5 schematisch ausschnittsweise Darstellungen eines Rahmenmaterials jeweils mit einer Vorbehandlungseinheit einer Vorrichtung zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle in verschiedenen Ausführungsbeispielen. 2 to 5 schematically partial views of a frame material each with a pre-treatment unit of an apparatus for producing a membrane-electrode assembly of a fuel cell in various embodiments.

Einander entsprechende Teile sind in allen Figuren mit den gleichen Bezugszeichen versehen.Corresponding parts are provided in all figures with the same reference numerals.

1 zeigt ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Vorrichtung V zur Herstellung einer nicht näher dargestellten Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle. 1 shows a block diagram of a device according to the invention V for producing a non-illustrated membrane electrode assembly of a fuel cell.

Die Vorrichtung V umfasst eine Aufbringeinheit 1, die beispielsweise als eine Siebdruckeinheit ausgebildet ist. Die Vorrichtung V kann auch mehrere Aufbringeinheiten 1 umfassen.The device V comprises an application unit 1 , which is formed for example as a screen printing unit. The device V can also have several application units 1 include.

Die Aufbringeinheit 1 ist dabei dafür vorgesehen, einen chemisch härtbaren Klebstoff, z. B. einen UV-Acrylatklebstoff, in flüssiger Form zumindest bereichsweise auf eine Oberfläche mindestens eines Rahmenelements R (dargestellt in den 2 bis 5) und auf eine Oberfläche einer nicht dargestellten katalysatorbeschichteten Membran aufzubringen.The application unit 1 is intended to provide a chemically curable adhesive, eg. B. a UV-acrylate adhesive, in liquid form at least partially on a surface of at least one frame element R (shown in the 2 to 5 ) and on a surface of a not applied catalyst coated membrane.

Des Weiteren umfasst die Vorrichtung V eine Bestrahlungsanordnung 2 zur Bestrahlung des chemisch härtbaren Klebstoffs, wodurch eine Aushärtung des chemisch härtbaren Klebstoffs initiiert wird. Die Aushärtung des Klebstoffs kann alternativ auch durch Wärme gestartet werden, weiterhin könnte ein 2-Komponenten-Klebstoff verwendet werden. Mittels der Aushärtung des chemisch härtbaren Klebstoffs wird eine stoffschlüssige Verbindung zwischen dem Rahmenelement R und der katalysatorbeschichteten Membran hergestellt. Die Bestrahlungsanordnung 2 umfasst dazu beispielsweise eine Mehrzahl von Licht emittierenden Leuchtdioden, die beispielsweise in einem Array zueinander angeordnet sind. Die Leuchtdioden emittieren z. B. eine UV-Strahlung oder eine Infrarotstrahlung. Die Leuchtdioden sind dabei einzeln und/oder in Gruppen ansteuerbar.Furthermore, the device V comprises an irradiation arrangement 2 for irradiating the chemically curable adhesive, thereby initiating curing of the chemically curable adhesive. The curing of the adhesive can alternatively be started by heat, furthermore, a 2-component adhesive could be used. By means of the curing of the chemically curable adhesive, a cohesive connection between the frame element R and the catalyst-coated membrane is produced. The irradiation arrangement 2 For this purpose, for example, comprises a plurality of light-emitting light-emitting diodes which are arranged, for example, in an array relative to one another. The LEDs emit z. As a UV radiation or infrared radiation. The LEDs are individually and / or controlled in groups.

Des Weiteren umfasst die Vorrichtung V eine Fügeeinheit 3, welche das Rahmenelement R und die katalysatorbeschichtete Membran zur Ausbildung der Membran-Elektroden-Anordnung zusammenfügt. Beispielsweise ist die Fügeeinheit 3 als eine Aufsetzeinheit ausgebildet, welche das Rahmenelement R und die katalysatorbeschichtete Membran zueinander ausrichtet.Furthermore, the device V comprises a joining unit 3 which joins the frame member R and the catalyst-coated membrane to form the membrane-electrode assembly. For example, the joining unit 3 is formed as an attachment unit, which aligns the frame member R and the catalyst-coated membrane to each other.

Darüber hinaus umfasst die Vorrichtung V erfindungsgemäß eine Vorbehandlungseinheit 4, die zur Vorbehandlung einer Oberfläche des Rahmenelements R vorgesehen ist. Insbesondere erfolgt die Vorbehandlung der Oberfläche des Rahmenelements R, auf welcher der chemisch härtbare Klebstoff mittels der Aufbringeinheit 1 aufgebracht wird, mittels einer Plasmabehandlung vor dem Aufbringen des chemisch härtbaren Klebstoffs.In addition, the device V according to the invention comprises a pretreatment unit 4 , which is provided for pretreatment of a surface of the frame element R. In particular, the pretreatment of the surface of the frame element R, on which the chemically curable adhesive by means of the application unit 1 is applied, by means of a plasma treatment prior to the application of the chemically curable adhesive.

Die Vorbehandlung der Oberfläche des Rahmenelements R dient der Erhöhung einer Oberflächenenergie, da das Rahmenelement R üblicherweise aus einem elektrisch isolierenden Material, insbesondere aus Kunststoff, gefertigt ist. Kunststoff weist bekanntermaßen eine niedrige Oberflächenenergie auf, wodurch eine Benetzung mit dem chemisch härtbaren Klebstoff nicht oder nicht vollständig möglich ist. Daraus resultierend ist eine Klebewirkung zwischen dem Rahmenelement R und der katalysatorbeschichteten Membran nicht optimal. Mittels der Vorbehandlung der Oberfläche des Rahmenelements R kann eine Klebewirkung zwischen dem Rahmenelement R und der katalysatorbeschichteten Membran optimiert werden.The pretreatment of the surface of the frame element R serves to increase a surface energy, since the frame element R is usually made of an electrically insulating material, in particular of plastic. Plastic is known to have a low surface energy, whereby wetting with the chemically curable adhesive is not or not completely possible. As a result, an adhesion between the frame member R and the catalyst-coated membrane is not optimal. By means of the pretreatment of the surface of the frame element R, an adhesive effect between the frame element R and the catalyst-coated membrane can be optimized.

Die Vorbehandlungseinheit 4 wird in den nachfolgenden 2 bis 5 näher beschrieben.The pretreatment unit 4 will in the following 2 to 5 described in more detail.

Dazu zeigen die 2 bis 5 schematisch ausschnittsweise Darstellungen eines als Rollenware bereitgestellten Rahmenelements R mit einer Vorbehandlungseinheit 4 in verschiedenen Ausführungsbeispielen.To show the 2 to 5 schematically partial views of a provided as a roll of frame member R with a pre-treatment unit 4 in different embodiments.

Die Vorbehandlungseinheit 4 weist gemäß dem Ausführungsbeispiel in 2 mehrere Paare von Elektroden 4.1, 4.2 auf, die jeweils in einem bestimmten Abstand relativ zur Oberfläche des Rahmenelements R ausgerichtet sind. Dabei ist jeweils eine äußere Elektrode 4.1 eines Elektrodenpaares potentialfrei und eine innere Elektrode 4.2 eines Elektrodenpaares weist ein Potential auf.The pretreatment unit 4 has according to the embodiment in 2 several pairs of electrodes 4.1 . 4.2 each aligned at a certain distance relative to the surface of the frame member R. Each is an external electrode 4.1 a pair of electrodes potential-free and an inner electrode 4.2 a pair of electrodes has a potential.

Die Elektroden 4.1, 4.2 innerhalb eines Elektrodenpaares sind in einem bestimmten Abstand zueinander ausgerichtet, welcher hinreichend klein zur Erzeugung einer Plasmaentladung ist. Dabei ist die innere Elektrode 4.1 mit einer Hochspannungsquelle 4.3 zur Erzeugung einer Hochspannungsdifferenz zwischen den Elektroden 4.1, 4.2 gekoppelt, wobei dies im vorliegenden Ausführungsbeispiel aus Gründen der Übersichtlichkeit anhand nur eines Elektrodenpaares dargestellt ist. Die Hochspannungsquelle 4.3 ist beispielsweise ein Hochspannungsgenerator.The electrodes 4.1 . 4.2 within a pair of electrodes are aligned at a certain distance from each other, which is sufficiently small to produce a plasma discharge. Here is the inner electrode 4.1 with a high voltage source 4.3 for generating a high voltage difference between the electrodes 4.1 . 4.2 coupled, which is shown in the present embodiment for reasons of clarity with reference to only one electrode pair. The high voltage source 4.3 is for example a high voltage generator.

Wird mittels der Hochspannungsquelle 4.3 eine Hochspannungsdifferenz zwischen den Elektroden 4.1, 4.2 erzeugt, erfolgt eine Funkenentladung zwischen den Elektroden 4.1, 4.2, insbesondere an einer Austrittsöffnung des Elektronenpaares in Richtung des Rahmenelements R. Ein dabei erzeugter Plasmastrahl P wird senkrecht auf die Oberfläche des Rahmenelements R appliziert. Der Plasmastrahl P bewirkt ein Aufbrechen geschlossener Molekülketten der Oberfläche, wobei sich beispielsweise aktivierte Sauerstoffmoleküle S (siehe 4) auf der Oberfläche des Rahmenelements R anlagern. D. h., auf der zuvor unpolaren Oberfläche des Rahmenelements R werden polare Moleküle erzeugt, mit denen sich der chemisch härtbare Klebstoff verbinden kann. Im gezeigten Ausführungsbeispiel erfolgt die Oberflächenbehandlung des Rahmenelements R mittels direkten Plasmas (auch als Corona bezeichnet).Is by means of the high voltage source 4.3 a high voltage difference between the electrodes 4.1 . 4.2 generates a spark discharge between the electrodes 4.1 . 4.2 , in particular at an outlet opening of the electron pair in the direction of the frame element R. A thereby generated plasma jet P is applied perpendicular to the surface of the frame element R. The plasma jet P causes a disruption of closed molecular chains of the surface, for example, activated oxygen molecules S (see 4 ) on the surface of the frame element R attach. D. h., On the previously non-polar surface of the frame member R polar molecules are generated, with which the chemically curable adhesive can connect. In the exemplary embodiment shown, the surface treatment of the frame element R by means of direct plasma (also referred to as corona).

Eine alternative Ausführung dazu ist in 3 gezeigt. Hierbei sind sich zwei Elektronenpaare derart gegenüberliegend angeordnet, dass der Plasmastrahl P weitestgehend parallel zur Oberfläche des Rahmenelements R erzeugt wird. Hier befindet sich auf der einen Seite die spannungsgebende Elektrode, auf der anderen der Nullleiter. Die aufeinander zulaufenden Plasmastrahlen P werden mittels eines senkrecht von oben einwirkenden Druckluftstrahls L senkrecht zur Oberfläche des Rahmenelements R gelenkt. Hierbei ist ein nicht dargestellter Druckluftanschluss vorgesehen und es erfolgt eine Oberflächenbehandlung des Rahmenelements R mittels indirekten Plasmas. Dabei werden ebenfalls geschlossene Molekülketten der Oberfläche aufgebrochen und es können sich beispielsweise aktivierte Sauerstoffmoleküle S auf der Oberfläche des Rahmenelements R anlagern.An alternative embodiment is in 3 shown. In this case, two pairs of electrons are arranged opposite one another such that the plasma jet P is produced largely parallel to the surface of the frame element R. Here is the voltage-giving electrode on one side and the neutral conductor on the other side. The converging plasma jets P are directed perpendicularly to the surface of the frame element R by means of a compressed air jet L acting vertically from above. Here, an unillustrated compressed air connection is provided and there is a surface treatment of the frame element R by means of indirect plasma. Here are also closed Molecular chains of the surface broken up and it can, for example, activated oxygen molecules S accumulate on the surface of the frame element R.

4 zeigt eine ausschnittsweise Darstellung des Rahmenelements R, welches in Pfeilrichtung relativ zur Vorbehandlungseinheit 4 bewegt wird. Dabei ist gezeigt, wie sich nach der Vorbehandlung der Oberfläche des Rahmenelements R mittels direkten Plasmas Sauerstoffmoleküle S auf der Oberfläche des Rahmenelements R anlagern. 4 shows a fragmentary view of the frame element R, which in the direction of arrow relative to the pre-treatment unit 4 is moved. It is shown how after the pretreatment of the surface of the frame member R by means of direct plasma oxygen molecules S accumulate on the surface of the frame member R.

5 zeigt ebenfalls eine ausschnittsweise Darstellung des Rahmenelements R, welches in Pfeilrichtung relativ zur Vorbehandlungseinheit 4 bewegt wird. Das Rahmenelement R und die Vorbehandlungseinheit 4 sind in einer Kapselung K angeordnet, mittels welcher das Rahmenelement R und die Vorbehandlungseinheit 4 von einer äußeren Umgebung abgeschirmt werden. Dies ist erforderlich, da hier als ein Prozessgas mit Stickstoff angereicherte Luft verwendet wird. An der Oberfläche des Rahmenelements R lagern sich dabei mittels direkten Plasmas Stickstoffmoleküle N ab. 5 also shows a fragmentary view of the frame member R, which in the direction of arrow relative to the pretreatment unit 4 is moved. The frame element R and the pre-treatment unit 4 are arranged in an encapsulation K, by means of which the frame element R and the pretreatment unit 4 be shielded from an external environment. This is necessary since air enriched with nitrogen is used here as a process gas. At the surface of the frame element R, nitrogen molecules N are deposited by means of direct plasma.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 112005002974 T5 [0002] DE 112005002974 T5 [0002]

Claims (4)

Verfahren zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle, bei dem eine katalysatorbeschichtete Membran mit mindestens einem Rahmenelement (R) stoffschlüssig verbunden wird, wobei – ein Klebstoff zumindest bereichsweise auf das mindestens eine Rahmenelement (R) und/oder die katalysatorbeschichtete Membran aufgebracht wird, – das mindestens eine Rahmenelement (R) und die katalysatorbeschichtete Membran zusammengefügt werden und – der Klebstoff ausgehärtet wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine Oberfläche des Rahmenelements (R), auf welche der Klebstoff aufgebracht wird, vor dem Aufbringen des Klebstoffs mittels einer Plasmabehandlung vorbehandelt wird.A method for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell, wherein a catalyst-coated membrane with at least one frame member (R) is materially connected, wherein - an adhesive is at least partially applied to the at least one frame member (R) and / or the catalyst-coated membrane In that the at least one frame element (R) and the catalyst-coated membrane are joined together and the adhesive is cured, characterized in that a surface of the frame element (R) to which the adhesive is applied is pretreated before application of the adhesive by means of a plasma treatment becomes. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Plasmabehandlung eine Hochvoltentladungsplasmabehandlung bei atmosphärischem Druck durchgeführt wird.A method according to claim 1, characterized in that as a plasma treatment, a high-voltage discharge plasma treatment is carried out at atmospheric pressure. Vorrichtung (V) zur Herstellung einer Membran-Elektroden-Anordnung einer Brennstoffzelle, umfassend – mindestens eine Aufbringeinheit (1) zum zumindest bereichsweisen Aufbringen eines Klebstoffs auf das mindestens eine Rahmenelement (R) und/oder die katalysatorbeschichtete Membran, – zumindest eine Bestrahlungsanordnung (2) zum chemischen Aushärten des Klebstoffs und – mindestens eine Fügeeinheit (3) zum Zusammenfügen des mindestens einen Rahmenelements (R) und der katalysatorbeschichteten Membran, gekennzeichnet durch eine Vorbehandlungseinheit (4), umfassend – mindestens zwei Elektroden (4.1, 4.2) und – mindestens eine Hochspannungsquelle (4.3) zur Erzeugung einer Hochspannungsdifferenz zwischen den Elektroden (4.1, 4.2), wobei mittels der Hochspannungsdifferenz eine Plasmaentladung erzeugbar ist.Device (V) for producing a membrane electrode assembly of a fuel cell, comprising - at least one application unit ( 1 ) for at least partially applying an adhesive to the at least one frame element (R) and / or the catalyst-coated membrane, - at least one irradiation arrangement ( 2 ) for chemical curing of the adhesive and - at least one joining unit ( 3 ) for assembling the at least one frame element (R) and the catalyst-coated membrane, characterized by a pretreatment unit ( 4 ), comprising - at least two electrodes ( 4.1 . 4.2 ) and - at least one high voltage source ( 4.3 ) for generating a high voltage difference between the electrodes ( 4.1 . 4.2 ), wherein by means of the high voltage difference, a plasma discharge can be generated. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektroden (4.1, 4.2) derart zueinander geordnet sind, dass ein Abstand zwischen den Elektroden (4.1, 4.2) ausreichend klein zur Erzeugung einer Plasmaentladung bei einem vorgegebenen Hochspannungsunterschied ist.Device according to claim 3, characterized in that the electrodes ( 4.1 . 4.2 ) are arranged such that a distance between the electrodes ( 4.1 . 4.2 ) is sufficiently small to produce a plasma discharge at a given high voltage difference.
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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