DE102015209175A1 - Pupil facet mirror - Google Patents
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Abstract
Die Einzel-Reflexionsflächen (33) von Pupillenfacetten (29) eines Pupillenfacettenspiegels (20) weisen unterschiedliche Formen und/oder Größen auf.The individual reflection surfaces (33) of pupil facets (29) of a pupil facet mirror (20) have different shapes and / or sizes.
Description
Die Erfindung betrifft einen Pupillenfacettenspiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zur Bestimmung der Auslegung eines Pupillenfacettenspiegels. Weiter betrifft die Erfindung eine Beleuchtungsoptik für eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem entsprechenden Pupillenfacettenspiegel, ein Beleuchtungssystem und ein optisches System mit einer derartigen Beleuchtungsoptik und eine Projektionsbelichtungsanlage mit einer entsprechenden Beleuchtungsoptik. Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements sowie ein verfahrensgemäß hergestelltes Bauelement.The invention relates to a pupil facet mirror for illumination optics of a projection exposure apparatus. The invention also relates to a method for determining the design of a pupil facet mirror. Furthermore, the invention relates to an illumination optical system for a projection exposure apparatus with a corresponding pupil facet mirror, an illumination system and an optical system with such illumination optics and a projection exposure apparatus with a corresponding illumination optics. Finally, the invention relates to a method for producing a micro- or nanostructured component as well as a device manufactured according to the method.
Eine Beleuchtungsoptik mit einem Facettenspiegel ist beispielsweise aus der
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Pupillenfacettenspiegel für eine Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch einen Pupillenfacettenspiegel gemäß Anspruch 1 gelöst. Der Kern der Erfindung besteht darin, den Pupillenfacettenspiegel mit Pupillenfacetten unterschiedlicher Größe auszubilden. Die Pupillenfacetten können insbesondere auch eine unterschiedliche Form aufweisen.It is an object of the present invention to improve a pupil facet mirror for illumination optics of a projection exposure apparatus. This object is achieved by a pupil facet mirror according to claim 1. The essence of the invention is to form the pupil facet mirror with pupil facets of different sizes. The pupil facets can in particular also have a different shape.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass durch eine Anpassung der Größe und/oder Form der Pupillenfacetten an die Spotform, das heißt die Form eines Abbildes der Strahlungsquelle, welches von den Facetten eines ersten Facettenspiegels auf den Facetten des Pupillenfacettenspiegels erzeugt wird, eine Überstrahlung der Facetten des Pupillenfacettenspiegels verringert, insbesondere minimiert, insbesondere vermieden werden kann. Hierdurch lässt sich die Transmission des Beleuchtungssystems maximieren. Außerdem ist es möglich, hierdurch die Stabilität des Beleuchtungssystems, insbesondere im Hinblick auf eine mögliche Drift während des Betriebs, zu verbessern.According to the invention, it has been recognized that an adaptation of the size and / or shape of the pupil facets to the spot shape, that is the shape of an image of the radiation source, which is generated by the facets of a first facet mirror on the facets of the pupil facet mirror, results in an overradiation of the facets of the pupil facet mirror reduced, in particular minimized, in particular can be avoided. This maximizes the transmission of the illumination system. In addition, it is possible to thereby improve the stability of the illumination system, in particular with regard to a possible drift during operation.
Der Begriff Pupillenfacettenspiegel dient primär zur Abgrenzung gegen den im Strahlengang der Beleuchtungsstrahlung vorhergehend angeordneten ersten Facettenspiegel der Beleuchtungsoptik, welcher auch als Feldfacettenspiegel bezeichnet wird. Der erste Facettenspiegel ist vorzugsweise in einer zum Objektfeld konjugierten Feldebene der Beleuchtungsoptik angeordnet. Er kann jedoch auch beabstandet zu einer derartigen Feldebene angeordnet sein. Er ist vorzugsweise in der Nähe einer entsprechenden Feldebene angeordnet. The term pupil facet mirror serves primarily to delimit against the first facet mirror of the illumination optics previously arranged in the beam path of the illumination radiation, which is also referred to as field facet mirror. The first facet mirror is preferably arranged in a field plane of the illumination optical unit conjugated to the object field. However, it can also be arranged at a distance from such a field plane. It is preferably arranged in the vicinity of a corresponding field level.
Der Pupillenfacettenspiegel, welcher allgemein als zweiter Facettenspiegel bezeichnet wird, ist vorzugsweise in einer Pupillenebene der Beleuchtungsoptik angeordnet. Er kann auch beabstandet zu einer derartigen Pupillenebene angeordnet sein. Er ist jedoch vorzugsweise pupillennah angeordnet. Für eine genauere, quantitative Definition des Begriffs pupillennah sei auf die
Die Spiegel-Elemente des Pupillenfacettenspiegels, welche auch als Pupillenfacetten bezeichnet werden, sind insbesondere starr angeordnet. Auf eine Aktuatorik zur Verlagerung der Spiegel-Elemente kann verzichtet werden. Hierdurch vereinfacht sich der Aufbau des Pupillenfacettenspiegels erheblich. The mirror elements of the pupil facet mirror, which are also referred to as pupil facets, are in particular arranged rigidly. On an actuator for the displacement of the mirror elements can be dispensed with. As a result, the structure of the pupil facet mirror is simplified considerably.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung unterscheiden sich die Größen mindestens zweier der Spiegel-Elemente des Pupillenfacettenspiegels um einen Faktor von mindestens 1,05, insbesondere mindestens 1,1, insbesondere mindestens 1,15, insbesondere mindestens 1,2. Unter der Größe der Spiegel-Elemente sei hierbei insbesondere der Flächeninhalt ihrer Reflexionsfläche verstanden. Die Größe der Spiegel-Elemente unterscheidet sich vorzugsweise höchstens um einen Faktor von höchstens 2, insbesondere höchstens 1,5, insbesondere höchstens 1,3.According to one aspect of the invention, the sizes of at least two of the mirror elements of the pupil facet mirror differ by a factor of at least 1.05, in particular at least 1.1, in particular at least 1.15, in particular at least 1.2. In this case, the size of the mirror elements should be understood as meaning, in particular, the area of their reflection surface. The size of the mirror elements preferably differs at most by a factor of at most 2, in particular at most 1.5, in particular at most 1.3.
Die Spiegel-Elemente des Pupillenfacettenspiegels weisen insbesondere polygonale Einzel-Reflexionsflächen auf. Vorzugsweise weisen benachbarte Spiegel-Elemente Reflexionsflächen auf, welche parallel zueinander verlaufende Seitenkanten aufweisen. Insbesondere die benachbart zueinander verlaufenden Seitenkanten zweier benachbarter Spiegel-Elemente verlaufen parallel. Hierdurch kann der Füllgrad des Pupillenfacettenspiegels erhöht werden.The mirror elements of the pupil facet mirror have in particular polygonal individual reflection surfaces. Preferably, adjacent mirror elements have reflecting surfaces which have mutually parallel side edges. In particular, the adjacent side edges of two adjacent mirror elements run parallel. As a result, the degree of filling of the pupil facet mirror can be increased.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weist der Pupillenfacettenspiegel einen hohen Füllgrad auf. Der Füllgrad wird auch als Integrationsdichte bezeichnet. Er beträgt insbesondere mindestens 0,7, insbesondere mindestens 0,8, insbesondere mindestens 0,9. Durch einen hohen Füllgrad werden Transmissionsverluste verringert, insbesondere vermieden. According to a further aspect of the invention, the pupil facet mirror has a high degree of filling. The degree of filling is also referred to as integration density. It is in particular at least 0.7, in particular at least 0.8, in particular at least 0.9. By a high degree of filling transmission losses are reduced, in particular avoided.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung weisen die Einzelreflexionsflächen der Spiegel-Elemente jeweils eine Form auf, welche jeweils aus einer Grundform ausgewählt ist aus einer Gruppe von höchstens fünf, insbesondere höchstens vier, insbesondere höchstens drei, insbesondere höchstens zwei unterschiedlichen Grundformen mit höchstens zwölf, insbesondere höchstens zehn, insbesondere höchstens acht, insbesondere höchstens sechs Seitenkanten durch Parallelverschiebung mindestens einer der Seitenkanten hervorgeht. Es ist insbesondere möglich, dass sämtliche Einzelreflexionsflächen eine Form aufweisen, welche jeweils aus derselben Grundform durch Parallelverschiebung mindestens einer der Seitenkanten hervorgeht. According to a further aspect of the invention, the individual reflection surfaces of the mirror elements each have a shape which is selected from a basic form from a group of at most five, in particular at most four, in particular at most three, in particular at most two different basic shapes with at most twelve, in particular at most ten, in particular at most eight, in particular at most six lateral edges by parallel displacement at least one of the side edges emerges. In particular, it is possible for all the individual reflection surfaces to have a shape which in each case emerges from the same basic shape by parallel displacement of at least one of the side edges.
Als Grundform dienen konvexe Grundformen, insbesondere Polygone oder verallgemeinerte Polygone, welche kreisbogenabschnittförmige Kanten aufweisen. Als Grundformen können insbesondere gleichseitige Polygone, insbesondere regelmäßige Polygone dienen. Bei den Polygonen kann es sich insbesondere um Dreiecke, Vierecke, Fünfecke, Sechsecke oder Achtecke handeln. Die Grundformen sind insbesondere derart ausgewählt, dass eine Parkettierung einer Ebene mit ihnen möglich ist. Hierbei kann es sich um eine allgemeine, beliebige Parkettierung oder insbesondere um eine demireguläre, semireguläre oder reguläre Parkettierung der Ebene handeln.The basic form used are convex basic shapes, in particular polygons or generalized polygons, which have circular arc-segment-shaped edges. As basic forms in particular equilateral polygons, in particular regular polygons serve. The polygons may in particular be triangles, squares, pentagons, hexagons or octagons. The basic shapes are in particular selected such that a tiling a level with them is possible. This can be a general, arbitrary tiling or, in particular, a demiregular, semi-regular or regular tiling of the level.
Die Formen der Einzelreflexionsflächen gehen insbesondere in eine Verschiebung einer oder mehrerer ihrer Kanten in Richtung der jeweiligen Mittelsenkrechten dieser Kanten beziehungsweise bei bogenförmigen Kanten in Richtung einer Mittelsenkrechten durch eine Verbindung deren beiden Endpunkte hervor. Mit anderen Worten bleiben die Innenwinkel der Grundformen bei der Verschiebung erhalten. Hierdurch wird zum einen das Design des Pupillenfacettenspiegels erleichtert. Außerdem kann hierdurch die Fertigung und/oder das Handling der Pupillenfacetten erleichtert werden. Außerdem kann hierdurch vermieden werden, dass es zu unerwünschten Zwischenräumen zwischen den Einzelspiegeln kommt.In particular, the shapes of the individual reflection surfaces result in a displacement of one or more of their edges in the direction of the respective perpendicular bisectors of these edges, or in the case of arcuate edges in the direction of a bisector by a connection whose two end points. In other words, the internal angles of the basic shapes are maintained during the displacement. As a result, on the one hand the design of the pupil facet mirror is facilitated. In addition, this can facilitate the manufacture and / or the handling of the pupil facets. In addition, this can be avoided that it comes to unwanted gaps between the individual mirrors.
Eine Verschiebung einer Kante eines der Spiegel-Elemente kann gleichzeitig zu einer Verschiebung einer benachbarten Kante eines benachbarten Spiegel-Elements führen. Dies wird nachfolgend noch näher erläutert.A displacement of an edge of one of the mirror elements can simultaneously lead to a displacement of an adjacent edge of an adjacent mirror element. This will be explained in more detail below.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind zumindest einige der Einzel-Reflexionsflächen hexagonal ausgebildet. Es kann insbesondere vorgesehen sein, sämtliche Einzel-Reflexionsflächen hexagonal auszubilden. Eine hexagonale Ausbildung der Einzel-Reflexionsflächen ermöglicht eine im Wesentlichen lückenlose Parkettierung.According to another aspect of the invention, at least some of the individual reflection surfaces are hexagonal. In particular, it may be provided that all individual reflection surfaces are hexagonal. A hexagonal design of the individual reflection surfaces allows a substantially complete tiling.
Die Innenwinkel der Einzel-Reflexionsflächen können insbesondere jeweils 120° betragen. Alternativen sind ebenso möglich. Beispielsweise können die Einzel-Reflexionsflächen auch parallelogrammförmig ausgebildet sein. Auch eine Kombination unterschiedlicher Formen, beispielsweise von Parallelogrammen und Fünfecken, ist möglich. The internal angles of the individual reflection surfaces can in particular each amount to 120 °. Alternatives are also possible. For example, the individual reflection surfaces can also be formed parallelogram-shaped. A combination of different shapes, such as parallelograms and pentagons, is possible.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung sind die Spiegel-Elemente auf Gitterpunkten eines regelmäßigen, insbesondere eines hexagonalen Gitters, angeordnet. Die Spiegel-Elemente sind insbesondere derart angeordnet, dass die geometrischen Schwerpunkte ihrer Reflexionsflächen vor der Anpassung derselben auf Gitterpunkten eines regelmäßigen hexagonalen Gitters liegen.According to a further aspect of the invention, the mirror elements are arranged on grid points of a regular, in particular a hexagonal grid. The mirror elements are in particular arranged such that the geometric centers of their reflection surfaces prior to the adaptation of the same lie on lattice points of a regular hexagonal lattice.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform sind die Spiegel-Elemente insbesondere derart angeordnet, dass die geometrischen Schwerpunkte ihrer Reflexionsflächen vor der Anpassung derselben auf Gitterpunkten eines systematisch entlang einer Richtung verzerrten Gitters, insbesondere eines systematisch entlang einer Richtung verzerrten hexagonalen Gitters liegen.According to an alternative embodiment, the mirror elements are arranged in particular such that the geometric centers of their reflection surfaces prior to the adaptation of the same lie on grid points of a grid systematically distorted along one direction, in particular a hexagonal grid systematically distorted along one direction.
Die Pupillenfacetten werden mit anderen Worten insbesondere ausgehend von der dichtesten Kreispackung, das heißt einem hexagonalen Gitter, auf dem Pupillenfacettenspiegel angeordnet. Zur Anpassung der Pupillenfacetten an die Spotform kann insbesondere vorgesehen sein, ausgehend von dieser Anordnung die Form und Größe benachbarter Pupillenfacetten durch paarweises Verschieben zueinander paralleler Seitenkanten derselben zu variieren. Dies wird nachfolgend noch näher beschrieben.In other words, the pupil facets are arranged in particular on the pupil facet mirror, starting from the densest circular packing, that is to say a hexagonal grid. In order to adapt the pupil facets to the spot shape, provision may be made, in particular, to vary the shape and size of adjacent pupil facets on the basis of this arrangement by displacing mutually parallel side edges of them in pairs. This will be described in more detail below.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist insbesondere vorgesehen, dass die Größen der Einzel-Reflexionsflächen eine systematische Skalierung in Abhängigkeit von der Position der Spiegel-Elemente auf dem Pupillenfacettenspiegel und/oder eine paarweise individuelle Variation benachbarter Einzel-Reflexionsflächen aufweisen. According to one aspect of the invention, provision is made in particular for the sizes of the individual reflection surfaces to have a systematic scaling as a function of the position of the mirror elements on the pupil facet mirror and / or a pairwise individual variation of adjacent individual reflection surfaces.
Über eine systematische Skalierung der Größen der Einzel-Reflexionsflächen kann eine Verkippung des Pupillenfacettenspiegels relativ zu einer parallel zur Objektebene verlaufenden Ebene berücksichtigt werden. Die systematische Skalierung bezieht sich insbesondere auf die Grundformen der Einzelreflexionsflächen der Spiegel-Elemente. By means of a systematic scaling of the sizes of the individual reflection surfaces, a tilt of the pupil facet mirror relative to a plane parallel to the object plane can be taken into account. The systematic scaling relates in particular to the basic shapes of the individual reflection surfaces of the mirror elements.
Die Größe L einer der Einzelreflexionsflächen entlang der Verzerr-Richtung kann insbesondere durch folgende Abschätzung charakterisiert werden: 0,9(d/dref)2 ≤ L:Lref ≤ 1,1(d/dref)2, insbesondere 0,95(d/dref)2 ≤ L:Lref ≤ 1,05(d/dref)2, insbesondere 0,97(d/dref)2 ≤ L:Lref ≤ 1,03(d/dref)2, insbesondere 0,99(d/dref)2 ≤ L:Lref ≤ 1,01(d/dref)2, insbesondere 0,995(d/dref)2 ≤ L:Lref ≤ 1,005(d/dref)2. Hierbei bezeichnet d den Abstand, insbesondere den optischen Weg der jeweiligen Facette vom Retikel. Lref und dref beziehen sich auf eine beliebige Referenzfacette, beispielsweise die kleinste Facette. The size L of one of the individual reflection surfaces along the direction of the distortion can be characterized in particular by the following estimate: 0.9 (d / d ref ) 2 ≦ L: L ref ≦ 1.1 (d / d ref ) 2 , in particular 0.95 (d / d ref ) 2 ≦ L: L ref ≦ 1.05 (d / d ref ) 2 , in particular 0.97 (d / d ref ) 2 ≦ L: L ref ≦ 1.03 (d / d ref ) 2 , in particular 0.99 (d / d ref ) 2 ≦ L: L ref ≦ 1.01 (d / d ref ) 2 , in particular 0.995 (d / d ref ) 2 ≦ L: L ref ≦ 1.005 (d / d ref ) 2 . Here d denotes the distance, in particular the optical path of the respective facet from the reticle. L ref and d ref refer to any reference facet, for example the smallest facet.
Die konkrete Form der einzelnen Einzelreflexionsflächen kann durch die paarweise individuelle Variation benachbarter Einzel-Reflexionsflächen beeinflusst werden. Durch die erfindungsgemäß vorgesehene Verschiebung zweier paralleler Kanten benachbarter Spiegel-Elemente wird insbesondere die Größe der Einzel-Reflexionsflächen des einen Spiegel-Elements aus Kosten der Größe der Einzel-Reflexionsfläche des jeweils anderen Spiegel-Elements vergrößert. Hierdurch ist eine Verbesserung der Transmission, insbesondere eine Maximierung der Transmission, möglich.The concrete form of the individual single reflection surfaces can be individualized by the pairs Variation of adjacent single reflective surfaces can be influenced. The inventively provided displacement of two parallel edges of adjacent mirror elements, in particular, increases the size of the individual reflection surfaces of the one mirror element from the costs of the size of the individual reflection surface of the respective other mirror element. This makes it possible to improve the transmission, in particular to maximize the transmission.
Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zur Bestimmung der Auslegung eines Pupillenfacettenspiegels zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit folgenden Schritten gelöst:
- – Vorgabe von Grundformen ausgewählt aus einer Gruppe von höchstens fünf unterschiedlichen Grundformen mit höchstens zwölf Seitenkanten für Formen der Einzel-Reflexionsflächen der Spiegel-Elemente eines Pupillenfacettenspiegels, insbesondere gemäß Anspruch 1,
- – Anpassung der Größe und/oder Form der Einzel-Reflexionsflächen zur Verbesserung der Transmission und/oder Systemstabilität,
- – wobei zur Anpassung der Größe und/oder Form der Einzel-Reflexionsflächen eine systematische Skalierung und/oder eine paarweise individuelle Variation benachbarter Einzel-Reflexionsflächen vorgesehen ist.
- - Specification of basic shapes selected from a group of at most five different basic shapes with at most twelve side edges for forms of the individual reflection surfaces of the mirror elements of a pupil facet mirror, in particular according to claim 1,
- Adaptation of the size and / or shape of the individual reflection surfaces to improve the transmission and / or system stability,
- - In order to adapt the size and / or shape of the individual reflection surfaces, a systematic scaling and / or a pairwise individual variation of adjacent individual reflection surfaces is provided.
Durch die Anpassung der Größe und/oder Form der Einzel-Reflexionsflächen kann die Transmission und/oder Systemstabilität verbessert werden. By adapting the size and / or shape of the individual reflection surfaces, the transmission and / or system stability can be improved.
Unter einer paarweisen Variation benachbarter Einzel-Reflexionsflächen sei insbesondere – wie vorhergehend beschrieben – verstanden, dass die Größe einer Einzel-Reflexionsfläche durch Verschiebung einer ihrer Seitenkanten auf Kosten der Größe einer benachbarten Einzel-Reflexionsfläche vergrößert wird. A pairwise variation of adjacent individual reflection surfaces should in particular - as described above - be understood that the size of a single reflection surface is increased by displacement of one of its side edges at the expense of the size of an adjacent single reflection surface.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, zur Anpassung der Größe der Einzel-Reflexionsflächen parallele Kanten benachbarter Spiegel-Elemente paarweise zu verschieben. Hierbei können die übrigen Spiegel-Elemente jeweils unverändert bleiben.According to a further aspect of the invention, parallel edges of adjacent mirror elements are displaced in pairs in order to adapt the size of the individual reflection surfaces. In this case, the remaining mirror elements can each remain unchanged.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung ist vorgesehen, bei der Anpassung der Größe der Einzel-Reflexionsflächen die Intensitätsverteilung von Beleuchtungsstrahlung im Bereich der Einzel-Reflexionsflächen und/oder die Anordnung der Spiegel-Einrichtung in einer Beleuchtungsoptik zu berücksichtigen. According to a further aspect of the invention, when adjusting the size of the individual reflection surfaces, it is intended to take into account the intensity distribution of illumination radiation in the region of the individual reflection surfaces and / or the arrangement of the mirror device in illumination optics.
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass es aufgrund einer Anisotropie der Strahlungsquelle, insbesondere einer Anisotropie des Plasmas, den Abbildungseigenschaften des Kollektors und gegebenenfalls spektralfilternden Oberflächenstrukturen auf dem Kollektor zu einer Elliptizität der Beleuchtungsspots auf dem Pupillenfacettenspiegel kommen kann. Hierbei kann insbesondere die Orientierung der Beleuchtungsspots über das Fernfeld variieren. Die Lage, Größe und Form der Beleuchtungsspots kann durch Simulation oder experimentell bestimmt werden. Sie kann insbesondere aus den Daten der Strahlungsquelle und/oder der Beleuchtungsoptik bestimmt, insbesondere berechnet werden.According to the invention, it has been recognized that an ellipticity of the illumination spots on the pupil facet mirror can occur due to anisotropy of the radiation source, in particular an anisotropy of the plasma, the imaging properties of the collector and optionally spectrally filtering surface structures on the collector. In this case, in particular, the orientation of the illumination spots can vary over the far field. The position, size and shape of the illumination spots can be determined by simulation or experimentally. It can be determined in particular from the data of the radiation source and / or the illumination optics, in particular calculated.
Weiter wurde erkannt, dass es aufgrund einer verkippten Anordnung des Pupillenfacettenspiegels relativ zu einer Ebene parallel zur Objektebene zu einer Verzerrung des Gitters für die Anordnung der Pupillenfacetten kommen kann. Dies kann bei der Auslegung des Pupillenfacettenspiegels berücksichtigt werden.It was further recognized that due to a tilted arrangement of the pupil facet mirror relative to a plane parallel to the object plane, distortion of the grid for the arrangement of the pupil facets can occur. This can be taken into account in the design of the pupil facet mirror.
Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, eine Beleuchtungsoptik für eine Projektionsbelichtungsanlage, ein Beleuchtungssystem für eine Projektionsbelichtungsanlage und ein optisches System für eine Projektionsbelichtungsanlage sowie eine entsprechende Projektionsbelichtungsanlage zu verbessern.Further objects of the invention are to improve an illumination optical system for a projection exposure apparatus, an illumination system for a projection exposure apparatus and an optical system for a projection exposure apparatus and a corresponding projection exposure apparatus.
Diese Aufgaben werden jeweils durch einen Pupillenfacettenspiegel gemäß der vorhergehenden Beschreibung gelöst. These objects are each solved by a pupil facet mirror as described above.
Die Vorteile ergeben sich aus denen des Pupillenfacettenspiegels. The advantages result from those of the pupil facet mirror.
Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung dient als Strahlungsquelle eine EUV-Strahlungsquelle, das heißt eine Strahlungsquelle, welche Beleuchtungsstrahlung im EUV-Bereich, insbesondere im Wellenlängenbereich von 5 nm bis 30 nm, emittiert.According to a further aspect of the invention, the radiation source used is an EUV radiation source, that is to say a radiation source which emits illumination radiation in the EUV range, in particular in the wavelength range from 5 nm to 30 nm.
Weitere Aufgaben der Erfindung bestehen darin, ein Verfahren zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements sowie ein derartiges Bauelement zu verbessern. Diese Aufgaben werden durch Bereitstellung einer erfindungsgemäßen Projektionsbelichtungsanlage gelöst. Die Vorteile ergeben sich aus den vorhergehend beschriebenen.Further objects of the invention are to improve a method for producing a micro- or nanostructured component as well as such a component. These objects are achieved by providing a projection exposure apparatus according to the invention. The advantages result from the previously described.
Das Bauteil kann mit extrem hoher Strukturauflösung hergestellt sein. Auf diese Weise kann beispielsweise ein Halbleiterchip mit extrem hoher Integrations- beziehungsweise Speicherdichte hergestellt werden. The component can be manufactured with extremely high structural resolution. In this way, for example, a semiconductor chip with extremely high integration or storage density can be produced.
Weitere Vorteile, Details und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen. Es zeigen:Further advantages, details and details of the invention will become apparent from the description of Embodiments with reference to the drawings. Show it:
Bei der Strahlungsquelle
Die EUV-Strahlung
Nach dem Feldfacettenspiegel
Beleuchtungslicht
Die Steuereinrichtung
Zur Erleichterung der Beschreibung von Lagebeziehungen ist in der
Die x-Dimension über das Objektfeld
In den weiteren Figuren sind lokale kartesische xyz-Koordinatensysteme eingezeichnet. Die x-Achsen der lokalen Koordinatensysteme verlaufen parallel zur x-Achse des globalen Koordinatensystems nach
Die
Die Feldfacetten
Der Feldfacettenspiegel
Zwischen den Feldfacetten-Blöcken
Der Feldfacettenspiegel
Die Pupillenfacetten
Jede der Feldfacetten
Nachfolgend wird bei einer Beschreibung von Beleuchtungslicht-Teilbündeln
Die Übertragungsoptik
Jeweils ein Beleuchtungslicht-Teilbündel
Die Pupillenfacette
Bei der in der
Die bogenförmige Randkontur des Beleuchtungslicht-Teilbündels
Gestrichelt sind in die Randkontur des Beleuchtungslicht-Teilbündels
Das Beleuchtungslicht
Einen Kern einer Randkontur des jeweiligen Beleuchtungslicht-Teilbündels
Im Folgenden werden weitere Aspekte des Pupillenfacettenspiegels
Wie exemplarisch in der
Erfindungsgemäß wurde erkannt, dass es zur Erreichung möglichst hoher Auflösung vorteilhaft ist, wenn die Beleuchtungspupille einen möglichst geringen Füllgrad aufweist. Hierfür ist es vorteilhaft, die Pupillenfacetten
Wie im Folgenden beschrieben wird, ist erfindungsgemäß vorgesehen, die Größe und/oder Form der Pupillenfacetten
Außerdem kann durch die Anpassung der Größe und/oder Form der Pupillenfacetten
Zur Bestimmung der Größe und/oder Form der Pupillenfacetten
Zur Anpassung der Größe und/oder Form der Reflexionsflächen
Üblicherweise ist ein Abbild der Strahlungsquelle
Die Richtungsabhängigkeit des Plasmabildes kann auf eine Anisotropie des Plasmas, auf Abbildungseigenschaften des Kollektors
Die Feldfacetten
Bei der Abbildung des Bildes der Strahlungsquelle
Außerdem kann es aufgrund unterschiedlicher Bildweiten zu verschiedenen Pupillenfacetten
Insgesamt hängt die Größe, Form und Orientierung der Beleuchtungsspots auf dem Pupillenfacettenspiegel
Wie in der
Unterschiedliche Pupillenfacetten
Zusätzlich oder alternativ zu einer systematischen Skalierung der Form und/oder Größe der Reflexionsflächen
Durch eine derartige paarweise individuelle Variation kann die Form und/oder Größe der benachbarten Pupillenfacetten
Außerdem können die Beleuchtungsspots auf den angepassten Pupillenfacetten
Zur Bestimmung der genauen Lage sämtlicher der Seitenkanten
Das Konzept der paarweisen individuellen Variation der Form und Größe der Pupillenfacetten
In der
Die tatsächliche Intensitätsverteilung der Beleuchtungsstrahlung
Durch die Parallelverschiebungen bleiben die Winkel, insbesondere die Innenwinkel, zwischen den Seitenkanten
Es kann vorgesehen sein, einen Maximalwert vorzugeben, um welchen sich benachbarte Pupillenfacetten
Im Folgenden werden noch einmal einzelne Aspekte der erfindungsgemäßen Ausbildung des Pupillenfacettenspiegels
Die einzelnen Pupillenfacetten
Die Pupillenfacetten
Bei der Auslegung des Pupillenfacettenspiegels
Zur Herstellung eines mikro- oder nanostrukturierten Bauelements wird die Projektionsbelichtungsanlage
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