DE102015208983A1 - Optoelektronisches Bauelement - Google Patents

Optoelektronisches Bauelement Download PDF

Info

Publication number
DE102015208983A1
DE102015208983A1 DE102015208983.5A DE102015208983A DE102015208983A1 DE 102015208983 A1 DE102015208983 A1 DE 102015208983A1 DE 102015208983 A DE102015208983 A DE 102015208983A DE 102015208983 A1 DE102015208983 A1 DE 102015208983A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
waveguide
plane
radiation
optoelectronic component
coupling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102015208983.5A
Other languages
English (en)
Inventor
Stefan Meister
Hanjo Rhee
Christoph Theiss
Aws AL-Saadi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technische Universitaet Berlin
Original Assignee
Technische Universitaet Berlin
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universitaet Berlin filed Critical Technische Universitaet Berlin
Priority to DE102015208983.5A priority Critical patent/DE102015208983A1/de
Priority to EP16729761.3A priority patent/EP3295231B1/de
Priority to DE112016002193.3T priority patent/DE112016002193A5/de
Priority to CN201680026789.5A priority patent/CN107580686B/zh
Priority to PCT/DE2016/200201 priority patent/WO2016184460A1/de
Priority to US15/572,784 priority patent/US10598859B2/en
Publication of DE102015208983A1 publication Critical patent/DE102015208983A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
    • G02B6/2852—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using tapping light guides arranged sidewardly, e.g. in a non-parallel relationship with respect to the bus light guides (light extraction or launching through cladding, with or without surface discontinuities, bent structures)
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12004—Combinations of two or more optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/125—Bends, branchings or intersections
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29331—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by evanescent wave coupling
    • G02B6/29335—Evanescent coupling to a resonator cavity, i.e. between a waveguide mode and a resonant mode of the cavity
    • G02B6/29338—Loop resonators
    • G02B6/29341—Loop resonators operating in a whispering gallery mode evanescently coupled to a light guide, e.g. sphere or disk or cylinder
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/26—Optical coupling means
    • G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/42—Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4214—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical element having redirecting reflective means, e.g. mirrors, prisms for deflecting the radiation from horizontal to down- or upward direction toward a device

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein optoelektronisches Bauelement (5) mit einem in einer Ebene (EB) des Bauelements integrierten optischen Wellenleiter (10), der in der Ebene optische Strahlung führen kann, und einem mit dem Wellenleiter in Verbindung stehenden Koppelelement (20), das in dem Wellenleiter geführte und von diesem in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung – entlang einer Hauptkoppelstrecke (HKS)aus der Ebene heraus koppeln kann und/oder winklig in die Ebene eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) – in den Wellenleiter und damit in die Ebene des Bauelements hinein koppeln kann. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements bezüglich der Hauptkoppelstrecke kleiner als eins ist und das Koppelelement – bei Einstrahlung optischer Strahlung – entlang einer Nebenkoppelstrecke (NKS) eine optische Verluststrahlung (D) ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der Hauptkoppelstrecke übertragenen Strahlung ist, das optoelektronische Bauelement einen Detektor (30) aufweist, der mit dem Koppelelement (20) in Verbindung steht und die optische Verluststrahlung ganz oder zumindest zum Teil erfasst und ein Detektorsignal (DS) erzeugt, und das optoelektronische Bauelement eine mit dem Detektor in Verbindung stehende Steuereinheit aufweist, die anhand des Detektorsignals zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements beeinflusst.

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf ein optoelektronisches Bauelement mit den Merkmalen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie auf ein Verfahren zum Betreiben optoelektronischer Bauelemente.
  • Die Druckschrift "A polarization-diversity wavelength duplexer circuit in silicon-on-insulator photonic wires" (Wim Bogaerts, Dirk Taillaert, Pieter Dumon, Dries Van Thourhout, Roel Baets; 19. Februar 2007 / Vol. 15, No. 4 / OPTICS EXPRESS 1567) offenbart ein optoelektronisches Bauelement mit einem in einer Ebene des Bauelements integrierten optischen Wellenleiter, der in der Ebene des Bauelements optische Strahlung führen kann, und einem mit dem Wellenleiter in Verbindung stehenden Koppelelement, das in dem Wellenleiter geführte und von diesem in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung – entlang einer Hauptkoppelstrecke – aus der Ebene heraus koppeln kann und/oder winklig in die Ebene des Wellenleiters eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke – in den Wellenleiter und damit in die Ebene des Bauelements hinein koppeln kann.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein optoelektronisches Bauelement anzugeben, bei dem sich eine Messgröße zum Erfassen eines Betriebszustands des Bauelements und zum Einstellen einer gewünschten Betriebsgröße, beispielsweise einer gewünschten Betriebstemperatur des Bauelements oder im Falle eines strahlungserzeugenden Bauelements einer gewünschten Sendeleistung des Bauelements, besonders einfach erfassen lässt.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein optoelektronisches Bauelement mit den Merkmalen gemäß Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Bauelements sind in Unteransprüchen angegeben.
  • Danach ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements bezüglich der Hauptkoppelstrecke kleiner als eins ist und das Koppelelement – bei Einstrahlung optischer Strahlung – entlang einer Nebenkoppelstrecke eine optische Verluststrahlung ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der Hauptkoppelstrecke übertragenen Strahlung ist, das optoelektronische Bauelement einen Detektor aufweist, der mit dem Koppelelement in Verbindung steht und die optische Verluststrahlung ganz oder zumindest zum Teil erfasst und ein Detektorsignal erzeugt, und das optoelektronische Bauelement eine mit dem Detektor in Verbindung stehende Steuereinheit aufweist, die anhand des Detektorsignals zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements beeinflusst.
  • Ein wesentlicher Vorteil des erfindungsgemäßen Bauelements ist darin zu sehen, dass die Verluststrahlung, die das Koppelelement erzeugt, erfindungsgemäß ausgewertet und zur Steuerung des Bauelements genutzt wird. Konkret ist erfindungsgemäß vorgesehen, mittels eines Detektors die Verluststrahlung des Koppelelements zu messen und anhand des Detektorsignals zumindest eine Betriebsgröße, beispielsweise die Temperatur des Bauelements oder im Falle eines strahlungserzeugenden Bauelements die Sendeleistung des Bauelements, zu beeinflussen. Mit anderen Worten wird erfindungsgemäß Verluststrahlung, die bei bisherigen vorbekannten Bauelementen ungenutzt bleibt, gezielt als Messgröße zur Bauelementsteuerung herangezogen.
  • Als besonders vorteilhaft wird es angesehen, wenn die winklige Ein- und/oder Auskopplung aus der Ebene des Bauelements heraus mittels eines zweiten Wellenleiters erfolgt; demgemäß ist bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung des Bauelements vorgesehen, dass das optoelektronische Bauelement zusätzlich zu dem bereits erwähnten Wellenleiter – nachfolgend erster Wellenleiter genannt – einen zweiten Wellenleiter aufweist, der mit seiner Längsachse winklig zu der Ebene, in der der integrierte optische Wellenleiter integriert ist und Strahlung führen kann, angeordnet ist, und das Koppelelement mit dem ersten und zweiten Wellenleiter in Verbindung steht und die in dem ersten Wellenleiter geführte und in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke – in Richtung aus der Ebene heraus und in den zweiten Wellenleiter hinein koppeln kann und/oder in dem zweiten Wellenleiter geführte und von diesem in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke – in den ersten Wellenleiter und damit in die Ebene des Bauelements hinein koppeln kann.
  • Vorzugsweise ist die Steuereinheit derart ausgestaltet, dass sie anhand des Detektorsignals als die Betriebgröße oder eine der Betriebgrößen des optoelektronischen Bauelements die Temperatur des optoelektronischen Bauelements beeinflusst, beispielsweise mittels eines Kühl- und/oder Heizelements.
  • Auch kann vorgesehen sein, dass das optoelektronische Bauelement ein Sendeelement, insbesondere ein mit dem ersten oder zweiten Wellenleiter in Verbindung stehendes Sendeelement, aufweist. Bei einer solchen Ausgestaltung ist es vorteilhaft, wenn die Steuereinheit derart ausgestaltet ist, dass sie anhand des Detektorsignals die Sendeleistung des Sendeelements als die Betriebgröße oder eine der Betriebgrößen des optoelektronischen Bauelements beeinflusst.
  • Vorzugsweise liegt die Öffnungsquerschnittsnormale der Einkoppelstirnfläche des Detektors parallel zu der Ebene des Bauelements, in der der erste Wellenleiter integriert ist und seine optische Strahlung führen kann.
  • Das Bauelement weist vorzugsweise einen Halbleiterchip auf oder besteht aus einem solchen. Die Ebene, in der der erste Wellenleiter optische Strahlung führen kann, ist vorzugsweise eine Chipebene des Halbleiterchips, insbesondere eine Schichtebene einer Halbleiterschicht eines Schichtstapels des Halbleiterchips.
  • Vorzugsweise koppelt das Koppelelement winklig in die Ebene des ersten Wellenleiters eingespeiste optische Strahlungentlang mindestens zweier Hauptkoppelstrecken – in den ersten Wellenleiter und in mindestens einen weiteren Wellenleiter, der in derselben Ebene des Bauelements wie der erste Wellenleiter liegt und dort optische Strahlung führen kann.
  • Der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements ist bezüglich der mindestens zwei Hauptkoppelstrecken bevorzugt jeweils kleiner als eins, und das Koppelelement weist pro Hauptkoppelstrecke vorzugsweise jeweils eine zugeordnete Nebenkoppelstrecke auf.
  • Bezüglich der Einstrahlung wird es darüber hinaus als vorteilhaft angesehen, wenn das Koppelelement bei winkliger Einstrahlung optischer Strahlung in die Ebene des Wellenleiters, insbesondere bei Einstrahlung optischer Strahlung durch den zweiten Wellenleiter, – also bei Strahlungsumlenkung entlang der mindestens zwei Hauptkoppelstrecken – entlang jeder der Nebenkoppelstrecken jeweils eine optische Verluststrahlung ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der jeweiligen Hauptkoppelstrecke übertragenen Strahlung ist, und der Detektor zumindest eine der Verluststrahlungen, vorzugsweise alle Verluststrahlungen, ganz oder zumindest zum Teil erfasst.
  • Das Koppelelement koppelt die in dem ersten und/oder in einem der weiteren Wellenleiter geführte und von diesem in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung vorzugsweise jeweils entlang der jeweiligen Hauptkoppelstrecken winklig aus der Ebene der Wellenleiter aus und dadurch beispielsweise in den zweiten Wellenleiter ein.
  • Bezüglich der Ausgestaltung des Detektors wird es als vorteilhaft angesehen, wenn der Detektor eine Photodiode ist oder eine solche umfasst. Eine Detektorschicht der Photodiode liegt vorzugsweise in derjenigen Ebene, in der der erste Wellenleiter integriert ist und Strahlung führen kann, und/oder in einer dazu parallelen Ebene.
  • Die Photodiode kann beispielsweise als Germanium-, Indiumphosphid-, Galliumarsenid- oder Indiumgalliumarsenid-Photodiode, zum Beispiel in Form einer pin- oder pn-Diode, realisiert sein.
  • Das Koppelelement umfasst vorzugsweise ein Gitter, einen Spiegel und/oder eine photonische Kristallstruktur.
  • Die Erfindung bezieht sich darüber hinaus auf ein Verfahren zum Betreiben eines optoelektronischen Bauelements mit einem in einer Ebene des Bauelements integrierten optischen Wellenleiter, der in der Ebene des Bauelements optische Strahlung führen kann, und einem mit dem Wellenleiter in Verbindung stehenden Koppelelement, das in dem Wellenleiter geführte und von diesem in das Koppelelement eingespeiste optische Strahlung – entlang einer Hauptkoppelstrecke – in Richtung aus der Ebene heraus koppeln kann und/oder winklig in die Ebene des Wellenleiters eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke – in den Wellenleiter und damit in die Ebene des Bauelements hinein koppeln kann.
  • Erfindungsgemäß ist bezüglich eines solchen Verfahrens vorgesehen, dass der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements bezüglich der Hauptkoppelstrecke kleiner als eins ist und das Koppelelement – bei Einstrahlung optischer Strahlung – entlang einer Nebenkoppelstrecke eine optische Verluststrahlung ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der Hauptkoppelstrecke übertragenen Strahlung ist, und die optische Verluststrahlung ganz oder zumindest zum Teil erfasst und ein Detektorsignal erzeugt wird, und anhand des Detektorsignals zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements beeinflusst wird.
  • Bezüglich der Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens sei auf die obigen Ausführungen im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen optoelektronischen Bauelement verwiesen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert; dabei zeigen beispielhaft
  • 1 ein Ausführungsbeispiel für ein erfindungsgemäßes optoelektronisches Bauelement, bei dem eine Lichtleitfaser winklig zu einem Halbleiterchip ausgerichtet ist und ein Koppelelement die Lichtleitfaser mit einem in dem Halbleiterchip integrierten Wellenleiter koppelt,
  • 2 das optoelektronische Bauelement gemäß 1 im Querschnitt,
  • 3 ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement, das mit einem Sendeelement ausgestattet ist,
  • 4 ein Ausführungsbeispiel für ein erfindungsgemäßes optoelektronisches Bauelement, bei dem ein Koppelelement zwei Hauptkoppelstrecken und zwei Nebenkoppelstrecken aufweist,
  • 5 ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement, bei dem über eine Nebenkoppelstrecke aus einem Koppelelement ausgekoppelte Verluststrahlung über einen Ringresonator in einen Detektor eingekoppelt wird, und
  • 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement, das mit einem Sendeelement ausgestattet ist.
  • In den Figuren werden der Übersicht halber für identische oder vergleichbare Komponenten stets dieselben Bezugszeichen verwendet.
  • Die 1 zeigt in einer Draufsicht ein optoelektronisches Bauelement 5, bei dem ein integrierter optischer Wellenleiter 10, ein Koppelelement 20 sowie ein Detektor 30 in einem Halbleiterchip 40 des Bauelements 5 integriert sind. Die Bezugszeichen X, Y und Z bezeichnen die Raumkoordinaten des Bauelements.
  • Das Koppelelement 20 koppelt den integrierten optischen Wellenleiter 10 – nachfolgend erster Wellenleiter genannt – mit einem zweiten Wellenleiter, der bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 1 durch eine Lichtleitfaser 50 gebildet ist. Die Lichtleitfaser 50 steht mit ihrer Längsachse winklig zu der Ebene EB (vgl. 2), in der der integrierte optische Wellenleiter 10, das Koppelelement 20 und der Detektor 30 in dem Halbleiterchip 40 integriert sind.
  • Das Koppelelement 20 unterteilt den integrierten optischen Wellenleiter 10 bei der Darstellung gemäß 1 in einen in der 1 rechten Wellenleiterabschnitt 11 und einen in der 1 linken Wellenleiterabschnitt 12. Das Koppelelement 20 ist derart ausgestaltet, dass dieses hauptsächlich den linken Wellenleiterabschnitt 12 mit der Lichtleitfaser 50 koppelt und zwischen dem linken Wellenleiterabschnitt 12 und der Lichtleitfaser 50 eine Hauptkoppelstrecke HKS bildet. Das Koppelelement 20 kann beispielsweise durch einen 1D- oder 2D-Gitterkoppler oder eine Umlenkeinheit gebildet sein.
  • Der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements 20 ist bezüglich der Hauptkoppelstrecke HKS, also zwischen dem linken Wellenleiterabschnitt 12 und der Lichtleitfaser 50, zwar sehr groß, aber – aufgrund von Beugung, Brechung, Streuung und/oder Reflektion – kleiner als eins, so dass das Koppelelement 20 die Lichtleitfaser 50 auch mit dem in der 1 rechten Wellenleiterabschnitt 11 koppelt und zwischen dem rechten Wellenleiterabschnitt 11 und der Lichtleitfaser 50 eine Nebenkoppelstrecke NKS bildet.
  • Bezüglich der Ausgestaltung des Detektors 30 lässt sich in der 1 erkennen, dass eine mit dem integrierten optischen Wellenleiter 10 in Verbindung stehende Einkoppelstirnfläche 31 des Detektors 30 derart ausgerichtet ist, dass die Öffnungsquerschnittsnormale A der Einkoppelstirnfläche 31 parallel zu der Ebene des Halbleiterchips 40 liegt, in der der integrierte optische Wellenleiter 10 und das Koppelelement 20 integriert sind. Der Detektor 30 kann beispielsweise als Germanium-, Indiumphosphid-, Galliumarsenid- oder Indiumgalliumarsenid-Photodiode oder als p- und n-dotierter Halbleiterbereich als Teil einer pin- oder pn-Diode realisiert sein.
  • Mit dem Detektor 30 steht eine Steuereinheit 100 in Verbindung, die ein von dem Detektor 30 erzeugtes Detektorsignal DS auswertet und unter Heranziehung des Detektorsignals DS zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements 5 beeinflusst.
  • Die Funktionsweise des optoelektronischen Bauelements 5 soll nachfolgend beispielhaft für den Fall erläutert werden, dass die Lichtleitfaser 50 optische Strahlung B in das Koppelelement 20 einkoppelt. Im Falle einer Einkopplung optischer Strahlung B von der Lichtleitfaser 50 wird das Koppelelement 20 den Großteil der Strahlung B entlang der Hauptkoppelstrecke HKS in den linken Wellenleiterabschnitt 12 einkoppeln; die gekoppelte Strahlung ist in der 1 mit dem Bezugszeichen C gekennzeichnet.
  • Ein kleiner Teil der optischen Strahlung B wird – aufgrund von Beugung, Brechung, Streuung und/oder Reflektion im Koppelelement 20 – über die Nebenkoppelstrecke NKS als Verluststrahlung D in den rechten Wellenleiterabschnitt 11 gekoppelt und über diesen zum Detektor 30 übertragen. Der Detektor 30 erzeugt das Detektorsignal DS, das zur Steuereinheit 100 gelangt.
  • Anhand der Größe des Detektorsignals DS kann die Steuereinheit 100 ermitteln, welche Strahlungsleistung über die Hauptkoppelstrecke HKS in den Halbleiterchip 40 eingekoppelt wird, und das optische Bauelement 5 entsprechend einstellen. Beispielsweise kann die Steuereinheit 100 derart ausgestaltet sein, dass sie anhand des Detektorsignals DS ein Kühlund/oder Heizelement des Bauelements 5 steuert, um die Temperatur des optoelektronischen Bauelements 5 in einem gewünschten Temperaturbereich zu halten.
  • Die 2 zeigt das optoelektronische Bauelement 5 gemäß 1 im Querschnitt. Man erkennt die winklige Anordnung der Lichtleitfaser 50 relativ zur Ebene EB und damit zum optischen Wellenleiter 10, der in der Ebene EB des Halbleiterchips 40 integriert ist.
  • Darüber hinaus lässt sich erkennen, dass der integrierte optische Wellenleiter 10, das Koppelelement 20 sowie der Detektor 30 in einer oder mehreren Halbleiterschichten 41 integriert sind, die zu einem nicht weiter dargestellten Halbleiterschichtstapel des Halbleiterchips 40 gehören. Bei dem Halbleiterchip 40 kann es sich beispielsweise um SOI(silicon on insulator)-Material handeln; in diesem Fall handelt es sich bei der Halbleiterschicht 41 vorzugsweise um eine Siliziumschicht, die auf einer Siliziumdioxidschicht aufliegt.
  • Die 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 5, das im Wesentlichen dem ersten Ausführungsbeispiel gemäß den 1 und 2 entspricht. Im Unterschied zu dem ersten Ausführungsbeispiel ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 der linke Wellenleiterabschnitt 12 des optischen Wellenleiters 10 mit einem Sendeelement 200 verbunden.
  • Das Sendeelement 200 kann optische Strahlung B erzeugen und in das Koppelelement 20 einkoppeln. Das Koppelelement 20 wird die eingekoppelte optische Strahlung B entlang der Hauptkoppelstrecke HKS aus der Ebene der Halbleiterschicht 41 und damit aus dem Halbleiterchip 40 auskoppeln und in die winklig zum Halbleiterchip 40 angeordnete Lichtleitfaser 50 einkoppeln. Die aus dem Halbleiterchip 40 ausgekoppelte Strahlung ist in der 3 mit dem Bezugszeichen C gekennzeichnet.
  • Darüber hinaus wird das Koppelelement 20 – aufgrund von Beugung, Brechung, Streuung und/oder Transmission im Koppelelement 20 – einen kleinen Anteil der optischen Strahlung B in den rechten Wellenleiterabschnitt 11 – entlang der Nebenkoppelstrecke NKS – als Verluststrahlung D einkoppeln und somit zu dem Detektor 30 übertragen, der die Verluststrahlung D messtechnisch erfasst.
  • Der Detektor 30 erzeugt ein Detektorsignal DS, das zur Steuereinheit 100 gelangt. Die Steuereinheit 100 wertet das Detektorsignal DS aus und beeinflusst anhand des Detektorsignals beispielsweise zumindest eine Betriebsgröße des Sendeelements 200, beispielsweise die Sendeleistung des Sendeelements 200, und/oder beispielsweise zumindest ein Heizelement des optoelektronischen Bauelements 5, um das optoelektronische Bauelement 5, insbesondere den Halbleiterchip 40, in einem vorgegebenen Betriebsparameterbereich, beispielsweise in einem vorgegebenen Temperaturbereich, zu halten. Die Ansteuerung des Sendeelements 200 erfolgt bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 durch ein Steuersignal ST, das die Steuereinheit 100 über eine Steuerleitung 101 zum Sendeelement 200 überträgt.
  • Die 4 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 5, bei dem ein in einem Halbleiterchip 40 integriertes Koppelelement 20 zwei Hauptkoppelstrecken HKS1 und HKS2 sowie zwei Nebenkoppelstrecken NKS1 und NKS2 aufweist bzw. bereitstellt.
  • Über die erste Hauptkoppelstrecke HKS1 koppelt das Koppelelement 20 einen in dem Halbleiterchip 40 integrierten optischen Wellenleiter 10 – nachfolgend erster Wellenleiter genanntmit einem zweiten, außerhalb des Halbleiterchips 40 befindlichen zweiten Wellenleiter, bei dem es sich beispielsweise um eine Lichtleitfaser wie die Lichtleitfaser 50 gemäß den 1 bis 3 handeln kann; der zweite Wellenleiter ist in der 4 aus Gründen der Übersicht nicht weiter dargestellt.
  • Darüber hinaus koppelt das Koppelelement 20 den zweiten Wellenleiter mit einem weiteren Wellenleiter – nachfolgend dritter Wellenleiter 300 genannt –, der – genauso wie der Wellenleiter 10 – in dem Halbleiterchip 40 integriert ist und vorzugsweise in derselben Wellenleiterebene wie der Wellenleiter 10 angeordnet ist. Der erste Wellenleiter 10 und der dritte Wellenleiter 300 stehen vorzugsweise senkrecht zueinander.
  • Wird beispielsweise durch den zweiten Wellenleiter optische Strahlung B in das Koppelelement 20 durch winklige Einstrahlung eingekoppelt, so wird diese über die Hauptkoppelstrecken HKS1 und HKS2 sowohl in den ersten Wellenleiter 10 als auch in den dritten Wellenleiter 300 eingekoppelt; die eingekoppelte Strahlung ist in der 4 mit dem Bezugszeichen C und C2 gekennzeichnet.
  • Darüber hinaus wird das Koppelement 20 Verluststrahlung D und D2 über die Nebenkoppelstrecken NKS1 und NKS2 in die beiden Wellenleiter 10 und 300 einkoppeln. Die Verluststrahlung D und D2 gelangt über die Wellenleiter 10 und 300 zu Einkoppelstirnflächen 31 eines Detektors 30, der die Verluststrahlung D und D2 messtechnisch erfasst und ausgangsseitig ein entsprechendes Detektorsignal DS für eine Steuereinheit 100 erzeugt.
  • Die Steuereinheit 100 kann anhand des Detektorsignals zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements 5 beeinflussen, wie dies im Zusammenhang mit den 1 bis 3 bereits oben im Detail erläutert worden ist.
  • In den Abschnitt zwischen dem Koppelelement 20 und dem Detektor 30 können im Übrigen weitere passive oder aktive photonische Bauelemente, wie beispielweise Ringresonatoren oder Mach-Zehnder Interferometer eingefügt werden. Diese Bauelemente können zum Beispiel Filterfunktionen zur Verringerung von Signalübersprechung oder zur spektralen Rauschunterdrückung übernehmen. Bei einer Ausführung mit einem Ringresonator kann beispielsweise eine spezifische Frequenzkomponente eines modulierten Signals herausgefiltert und in den Detektor 30 eingespeist werden. Die 5 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 5, das mit einem Ringresonator 140 ausgestattet ist.
  • Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 5 wird die über eine Nebenkoppelstrecke NKS aus einem Koppelelement 20 ausgekoppelte Verluststrahlung D über den Ringresonator 140 in einen Wellenleiter 150 und über den Wellenleiter 150 in einen Detektor 30 gekoppelt. Durch das Transmissionsspektrum des Ringresonators 140 erfolgt eine spektrale Filterung, welche beispielsweise über die Ringgeometrie angepasst bzw. eingestellt werden kann. Beispielsweise können bestimmte spektrale Modulationsseitenbänder eines modulierten Datensignals selektiv transmittiert werden. Die gefilterte Verluststrahlung H gelangt zu dem Detektor 30.
  • Der Detektor 30 steht mit einer Steuereinheit 100 in Verbindung, die anhand des Detektorsignals DS bzw. anhand der gefilterten Verluststrahlung H das optoelektronische Bauelement 5 ansteuert bzw. zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements 5 beeinflusst. Bezüglich der Arbeitsweise der Steuereinheit 100 gelten die obigen Ausführungen im Zusammenhang mit den Ausführungsbeispielen gemäß den 1 bis 4 entsprechend.
  • Die 6 zeigt ein Ausführungsbeispiel für ein optoelektronisches Bauelement 5, bei dem ein Sendeelement 600 über eine Freistrahlverbindung 601 mit einem Halbleiterchip 40 gekoppelt ist. In dem Halbleiterchip 40 sind ein Koppelelement 20, ein Wellenleiter 10 sowie ein Detektor 30 integriert.
  • Das Bauelement 5 gemäß 6 kann beispielsweise wie folgt betrieben werden:
    Das Sendeelement 600 erzeugt optische Strahlung B, die über die Freistrahlverbindung 601 winklig, beispielsweise rechtwinklig, (bezogen auf die Chipebene, in der das Koppelelement 20, der Wellenleiter 10 und der Detektor 30 integriert sind) in das Koppelelement 20 und damit in den Halbleiterchip 40 eingespeist wird. Das Koppelelement 20 koppelt den Großteil der eingespeisten Strahlung über eine Hauptkoppelstrecke HKS in den in der 6 linken Wellenleiterabschnitt 12 des Wellenleiters 10; die gekoppelte Strahlung ist in der 6 mit dem Bezugszeichen C gekennzeichnet.
  • Einen kleinen Anteil der eingespeisten optischen Strahlung B wird das Koppelelement 20 über eine Nebenkoppelstrecke NKS als Verluststrahlung D in den in der 6 rechten Wellenleiterabschnitt 11 einkoppeln. Die Verluststrahlung D gelangt zu dem Detektor 30, der die Verluststrahlung D detektiert und ein Detektorsignal DS für eine nachgeordnete Steuereinheit 100 erzeugt. Die Steuereinheit 100 beeinflusst anhand des Detektorsignals DS zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements 5, beispielsweise die Temperatur des Halbleiterchips 40 und/oder die Sendeleistung des Sendeelements 600.
  • Bezugszeichenliste
    • 5
    optoelektronisches Bauelement
    10
    erster Wellenleiter
    11
    rechter Wellenleiterabschnitt
    12
    linker Wellenleiterabschnitt
    20
    Koppelelement
    30
    Detektor
    31
    Einkoppelstirnfläche
    40
    Halbleiterchip
    41
    Halbleiterschichten
    50
    zweiter Wellenleiter/Lichtleitfaser
    100
    Steuereinheit
    101
    Steuerleitung
    140
    Ringresonator
    150
    Wellenleiter
    200
    Sendeelement
    300
    dritter Wellenleiter
    600
    Sendeelement
    601
    Freistrahlverbindung
    A
    Öffnungsquerschnittsnormale
    B
    optische Strahlung
    C
    gekoppelte Strahlung
    C2
    gekoppelte Strahlung
    D
    Verluststrahlung
    D2
    Verluststrahlung
    DS
    Detektorsignal
    EB
    Ebene
    H
    Verluststrahlung
    HKS
    Hauptkoppelstrecke
    HKS1
    Hauptkoppelstrecke
    HKS2
    Hauptkoppelstrecke
    NKS
    Nebenkoppelstrecke
    NKS1
    Nebenkoppelstrecke
    NKS2
    Nebenkoppelstrecke
    ST
    Steuersignal
    X
    Raumkoordinate
    Y
    Raumkoordinate
    Z
    Raumkoordinate

Claims (13)

  1. Optoelektronisches Bauelement (5) mit – einem in einer Ebene (EB) des Bauelements (5) integrierten optischen Wellenleiter (10), der in der Ebene (EB) des Bauelements (5) optische Strahlung führen kann, und – einem mit dem Wellenleiter (10) in Verbindung stehenden Koppelelement (20), das in dem Wellenleiter (10) geführte und von diesem in das Koppelelement (20) eingespeiste optische Strahlung – entlang einer Hauptkoppelstrecke (HKS) – aus der Ebene (EB) heraus koppeln kann und/oder winklig in die Ebene (EB) des Wellenleiters (10) eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) – in den Wellenleiter (10) und damit in die Ebene (EB) des Bauelements (5) hinein koppeln kann, dadurch gekennzeichnet, dass – der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements (20) bezüglich der Hauptkoppelstrecke (HKS) kleiner als eins ist und das Koppelelement (20) – bei Einstrahlung optischer Strahlungentlang einer Nebenkoppelstrecke (NKS) eine optische Verluststrahlung (D) ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) übertragenen Strahlung ist, – das optoelektronische Bauelement (5) einen Detektor (30) aufweist, der mit dem Koppelelement (20) in Verbindung steht und die optische Verluststrahlung (D) ganz oder zumindest zum Teil erfasst und ein Detektorsignal (DS) erzeugt, und – das optoelektronische Bauelement (5) eine mit dem Detektor (30) in Verbindung stehende Steuereinheit (100) aufweist, die anhand des Detektorsignals (DS) zumindest eine Betriebsgröße des optoelektronischen Bauelements (5) beeinflusst.
  2. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – das optoelektronische Bauelement (5) zusätzlich zu dem bereits erwähnten Wellenleiter (10) – nachfolgend erster Wellenleiter (10) genannt – einen zweiten Wellenleiter (50) aufweist, der mit seiner Längsachse winklig zu der Ebene (EB), in der der integrierte optische Wellenleiter (10) integriert ist und Strahlung führen kann, angeordnet ist, und – das Koppelelement (20) mit dem ersten und zweiten Wellenleiter (10, 50) in Verbindung steht und die in dem ersten Wellenleiter (10) geführte und in das Koppelelement (20) eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) – in Richtung aus der Ebene (EB) heraus und in den zweiten Wellenleiter (50) hinein koppeln kann und/oder in dem zweiten Wellenleiter (50) geführte und von diesem in das Koppelelement (20) eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) – in den ersten Wellenleiter (10) und damit in die Ebene (EB) des Bauelements (5) hinein koppeln kann.
  3. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (100) derart ausgestaltet ist, dass sie anhand des Detektorsignals (DS) die Temperatur des optoelektronischen Bauelements (5) als die Betriebgröße oder eine der Betriebgrößen des optoelektronischen Bauelements (5), insbesondere mittels eines Kühl- und/oder Heizelements, beeinflusst.
  4. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – das optoelektronische Bauelement (5) ein Sendeelement (200), insbesondere ein mit dem ersten oder zweiten Wellenleiter (10, 50) in Verbindung stehendes Sendeelement (200), aufweist und – die Steuereinheit (100) derart ausgestaltet ist, dass sie anhand des Detektorsignals (DS) die Sendeleistung des Sendeelements (200) als die Betriebgröße oder eine der Betriebsgrößen des optoelektronischen Bauelements (5) beeinflusst.
  5. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Öffnungsquerschnittsnormale (A) der Einkoppelstirnfläche (31) des Detektors (30) parallel zu der Ebene (EB) des Bauelements (5) liegt, in der der erste Wellenleiter (10) integriert ist und seine optische Strahlung führen kann.
  6. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – das Bauelement (5) durch einen Halbleiterchip (40) gebildet ist und – die Ebene (EB), in der der erste Wellenleiter (10) optische Strahlung führen kann, eine Chipebene des Halbleiterchips (40), insbesondere eine Schichtebene einer Halbleiterschicht (41) eines Schichtstapels des Halbleiterchips (40), ist.
  7. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelelement (20) winklig in die Ebene (EB) des ersten Wellenleiters (10) und in das Koppelelement (20) eingespeiste optische Strahlung – entlang mindestens zweier Hauptkoppelstrecken (HKS1, HKS2) – in den ersten Wellenleiter (10) und in mindestens einen weiteren Wellenleiter (300), der in derselben Ebene (EB) des Bauelements (5) wie der erste Wellenleiter (10) liegt und dort optische Strahlung führen kann, koppelt.
  8. Optoelektronisches Bauelement (5) nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements (20) bezüglich der mindestens zwei Hauptkoppelstrecken (HKS1, HKS2) jeweils kleiner als eins ist und das Koppelelement (20) pro Hauptkoppelstrecke (HKS1, HKS2) jeweils eine zugeordnete Nebenkoppelstrecke (NKS) aufweist.
  9. Optoelektronisches Bauelement (5) nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass – das Koppelelement (20) bei winkliger Einstrahlung optischer Strahlung in die Ebene (EB) des Wellenleiters (10), insbesondere bei Einstrahlung optischer Strahlung durch den zweiten Wellenleiter (50), – also bei Strahlungsumlenkung entlang der mindestens zwei Hauptkoppelstrecken (HKS1, HKS)entlang jeder der Nebenkoppelstrecken jeweils eine optische Verluststrahlung (D, D2) ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der jeweiligen Hauptkoppelstrecke (HKS1, HKS2) übertragenen Strahlung ist, und – der Detektor (30) zumindest eine der Verluststrahlungen (D, D2), vorzugsweise alle Verluststrahlungen, ganz oder zumindest zum Teil erfasst.
  10. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche 7–9, dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelelement (20) diejenige optische Strahlung, die in dem ersten und/oder einem der weiteren Wellenleiter (10, 300) geführt wird und von diesem in das Koppelelement (20) eingespeist wird, entlang der jeweiligen Hauptkoppelstrecken (HKS1, HKS2) winklig aus der Ebene (EB) der Wellenleiter (10) auskoppelt, insbesondere in den zweiten Wellenleiter (50) einkoppelt.
  11. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass – der Detektor (30) eine Photodiode, die eine Detektorschicht zum Empfang von Strahlung aufweist, ist oder eine solche umfasst und – die Detektorschicht in derjenigen Ebene (EB) liegt, in der der erste Wellenleiter (10) integriert ist und Strahlung führen kann, und/oder in einer dazu parallelen Ebene (EB) liegt.
  12. Optoelektronisches Bauelement (5) nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelelement (20) ein Gitter, einen Spiegel und/oder eine photonische Kristallstruktur umfasst.
  13. Verfahren zum Betreiben eines optoelektronischen Bauelements (5) mit einem in einer Ebene (EB) des Bauelements (5) integrierten optischen Wellenleiter (10), der in der Ebene (EB) des Bauelements (5) optische Strahlung führen kann, und einem mit dem Wellenleiter (10) in Verbindung stehenden Koppelelement (20), das in dem Wellenleiter (10) geführte und von diesem in das Koppelelements (20) eingespeiste optische Strahlung – entlang einer Hauptkoppelstrecke (HKS) – aus der Ebene (EB) heraus koppeln kann und/oder winklig in die Ebene (EB) des Wellenleiters (10) eingespeiste optische Strahlung – entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) – in den Wellenleiter (10) und damit in die Ebene (EB) des Bauelements (5) hinein koppeln kann, dadurch gekennzeichnet dass – der Koppelwirkungsgrad des Koppelelements (20) bezüglich der Hauptkoppelstrecke (HKS) kleiner als eins ist und das Koppelelement (20) – bei Einstrahlung optischer Strahlungentlang einer Nebenkoppelstrecke (NKS) eine optische Verluststrahlung (D) ausgibt, die proportional oder zumindest annähernd proportional zu der entlang der Hauptkoppelstrecke (HKS) übertragenen Strahlung ist, und – die optische Verluststrahlung (D) ganz oder zumindest zum Teil erfasst und ein Detektorsignal (DS) erzeugt wird, und – anhand des Detektorsignals (DS) zumindest eine Betriebgröße des optoelektronischen Bauelements (5) beeinflusst wird.
DE102015208983.5A 2015-05-15 2015-05-15 Optoelektronisches Bauelement Withdrawn DE102015208983A1 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015208983.5A DE102015208983A1 (de) 2015-05-15 2015-05-15 Optoelektronisches Bauelement
EP16729761.3A EP3295231B1 (de) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelektronisches bauelement
DE112016002193.3T DE112016002193A5 (de) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelektronisches Bauelement
CN201680026789.5A CN107580686B (zh) 2015-05-15 2016-05-03 光电器件
PCT/DE2016/200201 WO2016184460A1 (de) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelektronisches bauelement
US15/572,784 US10598859B2 (en) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelectronic component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015208983.5A DE102015208983A1 (de) 2015-05-15 2015-05-15 Optoelektronisches Bauelement

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102015208983A1 true DE102015208983A1 (de) 2016-11-17

Family

ID=56134047

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102015208983.5A Withdrawn DE102015208983A1 (de) 2015-05-15 2015-05-15 Optoelektronisches Bauelement
DE112016002193.3T Withdrawn DE112016002193A5 (de) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelektronisches Bauelement

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE112016002193.3T Withdrawn DE112016002193A5 (de) 2015-05-15 2016-05-03 Optoelektronisches Bauelement

Country Status (5)

Country Link
US (1) US10598859B2 (de)
EP (1) EP3295231B1 (de)
CN (1) CN107580686B (de)
DE (2) DE102015208983A1 (de)
WO (1) WO2016184460A1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10514584B2 (en) 2017-08-10 2019-12-24 Sicoya Gmbh Optical signal generator comprising a phase shifter

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016222873A1 (de) 2016-11-21 2018-05-24 Sicoya Gmbh Photonisches Bauelement
US11320590B2 (en) * 2020-03-31 2022-05-03 Globalfoundries U.S. Inc. Polarizers based on looped waveguide crossings

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6067181A (en) * 1997-11-13 2000-05-23 Ciena Corporation Laser locking and self filtering device
US20020136259A1 (en) * 2001-03-05 2002-09-26 Photodigm. Inc. Optical modulator system
US20030013304A1 (en) * 2001-05-17 2003-01-16 Optronx, Inc. Method for forming passive optical coupling device
US20090154512A1 (en) * 2007-12-17 2009-06-18 Jds Uniphase Corporation, State Of Incorporation: Delaware Method And Device For Monitoring Light

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7260279B2 (en) * 2004-06-09 2007-08-21 Oewaves, Inc. Integrated opto-electronic oscillators
FR2922031B1 (fr) * 2007-10-03 2011-07-29 Commissariat Energie Atomique Dispositif optique a circuits photoniques superposes, pour couplage avec un ou plusieurs guides optiques.
CN101414093A (zh) * 2008-11-28 2009-04-22 南开大学 一种基于功能材料填充微结构光纤的可调谐干涉仪
US20100322555A1 (en) * 2009-06-22 2010-12-23 Imec Grating Structures for Simultaneous Coupling to TE and TM Waveguide Modes
US8380027B2 (en) * 2010-05-10 2013-02-19 Intel Corporation Erasable ion implanted optical couplers
SG185912A1 (en) 2011-05-18 2012-12-28 Agency Science Tech & Res Alignment method for a silicon photonics packaging
US9195079B2 (en) * 2012-01-01 2015-11-24 Acacia Communications, Inc. Three port transceiver
US9831360B2 (en) * 2012-10-09 2017-11-28 Mcmaster University Integrated thermal stabilization of a microring resonator
CN103616165B (zh) * 2013-11-29 2016-08-17 清华大学 光纤损耗测量系统
US9870335B2 (en) 2014-04-03 2018-01-16 International Business Machines Corporation Implementing sideband control structure for PCIE cable cards and IO expansion enclosures
US10240978B2 (en) * 2015-04-30 2019-03-26 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical spectrometer
US9459177B1 (en) * 2015-05-15 2016-10-04 Alcatel Lucent Wafer-level testing of optical circuit devices

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6067181A (en) * 1997-11-13 2000-05-23 Ciena Corporation Laser locking and self filtering device
US20020136259A1 (en) * 2001-03-05 2002-09-26 Photodigm. Inc. Optical modulator system
US20030013304A1 (en) * 2001-05-17 2003-01-16 Optronx, Inc. Method for forming passive optical coupling device
US20090154512A1 (en) * 2007-12-17 2009-06-18 Jds Uniphase Corporation, State Of Incorporation: Delaware Method And Device For Monitoring Light

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10514584B2 (en) 2017-08-10 2019-12-24 Sicoya Gmbh Optical signal generator comprising a phase shifter

Also Published As

Publication number Publication date
DE112016002193A5 (de) 2018-01-25
CN107580686B (zh) 2021-06-08
US10598859B2 (en) 2020-03-24
US20180143378A1 (en) 2018-05-24
EP3295231B1 (de) 2022-02-23
EP3295231A1 (de) 2018-03-21
CN107580686A (zh) 2018-01-12
WO2016184460A1 (de) 2016-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0600267B1 (de) Bidirektionaler optischer Sende- und Empfangsmodul
EP2684095B1 (de) Elektrooptischer modulator
EP2426466B1 (de) Auslenkungsmessgerät nach dem Interferometrieprinzip
EP3295231B1 (de) Optoelektronisches bauelement
EP3686636B1 (de) Photonisches bauelement
DE112014006160T5 (de) Halbleiterlaservorrichtung
WO2014139835A1 (de) Vorrichtung zur homogenisierung von laserstrahlung
DE69933180T2 (de) Optischer Inverter auf der Basis eines sättigbaren Absorbers
EP0874482B1 (de) Anordnung zum bidirektionalen Senden und Empfangen optischer Signale
DE102012025565B4 (de) Optisches Kopplungssystem mit einem optischen Koppler und einem lichtdurchlässigen äußeren Medium sowie Herstellung und Verwendung eines solchen Systems
DE102019126476A1 (de) Mehrfach photonen chip lidar systemarchitektur
DE60130193T2 (de) Vorrichtung zur Steuerung der Wellenlänge eines Lasers
DE102016101192A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung für Fahrzeuge
DE102019124601A1 (de) Kohärente erkennung unter verwendung von backplane-emissionen
DE102019206415B4 (de) Optische Anordnung und Verfahren zur optischen Signalverarbeitung
DE102006014766A1 (de) Interferometrische Messvorrichtung
EP3454111A1 (de) Mach-zehnder-modulator mit regelvorrichtung zur arbeitspunktregelung sowie verfahren zur arbeitspunktregelung
EP2936245B1 (de) Einrichtung zur frequenzumwandlung eines mit einer ersten frequenz von einer laserstrahlquelle erzeugten laserstrahls
DE102006034002A1 (de) Optische Filtereinheit mit Kompensierung
DE102018116962A1 (de) Photonisch integrierte schaltungs-randverbundstruktur mit reduzierter reflexion für integrierte laserdioden
DE10228145B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung einer optischen Verbindung
DE112021000281T5 (de) Laserverarbeitungsvorrichtung
DE102019126477A1 (de) Hybrid-optische phasenanordnung und mems-strahllenkung für ein chipskaliges lidarsystem
DE4410780A1 (de) Integrierte Laseranordnung in Verbindung mit einem mitintegrierten Interferometer
DE10064579A1 (de) Wellenleiterkreuzung und Anordnung zur Überwachung einer Mehrzahl integriert-optischer Wellenleiter

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed
R079 Amendment of ipc main class

Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01L0031160000

Ipc: H01L0023580000

R118 Application deemed withdrawn due to claim for domestic priority