DE102015122146A1 - Coriolis-Massendurchflußmeßgerät für strömende Medien - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Coriolis-Massendurchflussmessgerät, welches durch Anwenden mehrerer Maßnahmen eine effektive akustische Entkopplung einer Coriolis- Leitung von einem Messgerätgehäuse bewirkt. Eine erfindungsgemäße Umsetzung der Erfindung ist in Fig. 1 skizziert.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Coriolis-Massendurchflussmessgerät. Coriolis- Massendurchflussmessgeräte werden zur genauen Erfassung des Massendurchflusses in Rohrleitungen eingesetzt. Vorteilhaft am Coriolis-Durchflussmessprinzip ist die direkte Massendurchflussmessung in Unabhängigkeit von Medienviskosität oder Mediendichte. Darüber hinaus hat das in der Rohrleitung ausprägte Strömungsprofil des Mediums auch keinen Einfluss auf die Coriolis-Massendurchflussmessung, womit gegenüber anderen Messprinzipien, welche beispielsweise auf der Laufzeitmessung von Ultraschallsignalen oder der durch einen Durchfluss durch ein Magnetfeld induzierten elektrischen Spannung basieren, mehrere große Vorteile offenbar werden. Nicht überraschend ist es, dass das Coriolis-Messprinzip mit anderen Schwierigkeiten zu kämpfen hat. Das Coriolis-Messprinzip basiert auf der genauen Vermessung von einer einer Rohrleitung aufgeprägten Schwingung. Schwingungen sind ein allgegenwärtiges Phänomen, wodurch die Schwierigkeit entsteht, bei einer vermessenen Schwingung zwischen dem Einfluss der künstlichen Erregung und Störeinwirkungen von außen zu unterscheiden. Mit viel mathematischem Aufwand lässt sich in dieser Hinsicht durchaus einiges erreichen. Es ist jedoch völlig klar, dass zunächst Störeinwirkungen von außen minimiert werden müssen, um eine ausreichende Messgenauigkeit zu erhalten. Die europäische Patentanmeldung EP0518124A1 offenbart ein Coriolis-Massendurchflussmessgerät, welches ein Meßgerätgehäuse, einen Schwingungserzeuger, einen Meßwertaufnehmer und ein federnd gelagertes Tragsystem zum Tragen der Coriolis-Leitung aufweist. Eine wesentliche Eigenschaft des offenbarten Coriolis-Massendurchflussmessgeräts ist, dass das Tragsystem Eigenfrequenzen in einem sehr viel höher gelegenen Frequenzbereich aufweist, als das Meßgerätgehäuse und als die Coriolis-Leitung. Das führt zu einer akustischen Entkopplung des Tragsystems hinsichtlich der Coriolis-Leitung und hinsichtlich des Messgerätgehäuses. Da die Eigenfrequenzen des Messgerätgehäuses und der Coriolis-Leitung bei wesentlich tieferen Frequenzen als das Tragsystem angesiedelt sind, fällt die akustische Entkopplung zwischen diesen Komponenten geringer aus, womit die Störeinflüsse vom Messgerätgehäuse auf die Coriolis-Leitung unter Umständen merklich sind. Darüber hinaus stellt die starke Trennung der Eigenfrequenzen des Tragsystems gegenüber den Eigenfrequenzen der Coriolis-Leitung sowie den Eigenfrequenzen des Messgerätgehäuses hohe Ansprüche an die praktische Umsetzung eines Coriolis-Massendurchflussmessgeräts. Eine weitere Möglichkeit, eine akustische Entkopplung einer Coriolis-Leitung von dem Messgerätgehäuse zu erreichen, wird durch die Schrift
DE 10 2005 062 007 A1 offenbart. Hierbei wird die Vibration einer Coriolis-Leitung durch einen oder mehrere Gegenschwinger kompensiert. In einer weiteren Schrift, derDE 10 2008 037 700 A1 , werden Messrohrbogen elastisch an ein Aufnehmergehäuse angebunden, womit Schwingungsankopplungen in das Messrohr verringert werden. - Eine weitere Möglichkeit, das Einwirken von Störungen auf eine Coriolis-Durchflussmessung zu unterdrücken, ist die Einrichtung zweier Coriolis-Leitungen dergestalt, dass sich die den Coriolis-Leitungen aufgeprägten Schwingungen gegenseitig neutralisieren. Ein solches Messgerät ist beispielsweise in der Anmeldeschrift
DE 10 2013 102 708 offenbart. Jedoch ist hierbei eine genaue Steuerung des Mediums durch die beiden Leitungen notwendig, so dass die Masse bzw. die Dichte des Mediums in beiden Leitungen gleich ist. Des Weiteren müssen die Leitungen bei kleinen Rohrnennweiten mit hoher Genauigkeit in ihrer Ausformung übereinstimmen, damit sie eine gleichförmige Schwingcharakteristik aufweisen. Außerdem sind durch die Notwendigkeit einer zweiten Leitung der Fertigungsaufwand und der Materialaufwand erhöht, was unmittelbar negative Auswirkungen auf die Herstellungskosten hat. - Bei Rohren mit kleinen Nennweiten und auch bei hygienischen Anwendungen ist eine Einrohrlösung zu bevorzugen, da ein Verteilerstück wegfällt mit unzugänglichen und schwierig zu polierenden Schweissnähten, Darüber hinaus können zu kleine Leitungen leicht verstopfen, so dass bei kleinen Messgeräten mit geringen Durchflussraten ein Verteilen des Mediums auf zwei oder mehrere Leitungen unvorteilhaft ist.
- Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein einfaches und robustes Coriolis-Massendurchflussmeßgerät mit verbesserter akustischer Entkopplung zwischen Messgerätgehäuse und Coriolis-Leitung vorzuschlagen, wobei geringe Anforderungen an die Trennung von Eigenfrequenzen verschiedener Komponenten des Coriolis-Massendurchflussmeßgeräts gestellt werden.
- Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung gemäß dem unabhängigen Anspruch 1.
- Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird umgesetzt durch ein Massendurchflußmeßgerät für strömende Medien, das nach dem Coriolis-Prinzip arbeitet,
mit mindestens einer das strömende Medium führenden Coriolis-Leitung, welche Coriolis-Leitung einen Leitungseinlauf und einen Leitungsauslauf aufweist, und wobei die Coriolis-Leitung eine S-Form aufweist;
und mit mindestens einem auf die Coriolis-Leitung einwirkenden Schwingungserzeuger; und mit mindestens einem Coriolis-Kräfte und /oder auf Coriolis-Kräften beruhende Coriolis-Schwingungen erfassenden Schwingungsmeßwertaufnehmer;
wobei die Coriolis-Leitung über mindestens eine Halterung an eine Trägerplatte eines Tragsystems angeschlossen ist, wobei das Tragsystem in einem Messgerätgehäuse angeordnet ist und wobei das Tragsystem gegenüber dem Messgerätgehäuse federnd gelagert ist,
wobei die Coriolis-Leitung so an das Tragsystem angeschlossen ist, dass bei Anregung mindestens einer Schwingungsmode keine wesentliche, von der Coriolis-Leitung auf das Tragsystem übertragbare resultierende Kraft ausbildbar ist,
wobei das Tragsystem eine Tragsystem-Eigenfrequenz aufweist, die um mindestens einen Faktor 1.1 geringer ist als eine kleinste Coriolis-Eigenfrequenz. - Die besondere Art und Weise, die Coriolis-Leitung an das Tragsystem anzuschließen ermöglicht es, eine nur geringe Trennung der Eigenfrequenzen des Tragsystems von den Coriolis-Eigenfrequenzen einzurichten und somit in dieser Hinsicht vereinfachte Anforderung an diese Komponenten zu stellen.
- In einer vorteilhaften Ausführung weist die Trägerplatte mindestens eine Trägerplatten-Eigenfrequenz auf, welche Trägerplatten-Eigenfrequenz um mindestens einen Faktor 1.2 größer ist als die größte Coriolis-Eigenfrequenz.
- In einer vorteilhaften Ausführung sind der Leitungseinlauf und der Leitungsauslauf und die Coriolis-Leitung aus einem Rohr gefertigt, wobei der Leitungseinlauf und der Leitungsauslauf zumindest abschnittsweise bogenförmig ausgebildet sind. Diese Ausführung führt gegenüber einer geradlinigen Ausgestaltung zu einer elastischeren und weicheren Verbindung zwischen dem Messgerätgehäuse und der Coriolis-Leitung, wodurch eine Übertragung von Schwingungen und somit von Störeinflüssen zwischen diesen Komponenten erschwert wird. Darüber hinaus findet eine Kompensation von Ausdehnungsänderungen durch Temperaturschwankungen statt. Die Fertigung aus einem Rohr führt zu einer kostengünstigen Umsetzung der Erfindung. Vorzugsweise ist das Rohr aus einem Metall wie zum Beispiel Titan oder Aluminium oder einer Metalllegierung wie zum Beispiel Edelstahl gefertigt. Es können aber auch Halbleitermaterialien wie beispielsweise Silizium verwendet werden.
- In einer Ausführung sind der Leitungseinlauf und der Leitungsauslauf aus einem anderen Metall oder Halbleiter gefertigt, als die Coriolis-Leitung. Damit lassen sich der Leitungseinlauf und der Leitungsauslauf beispielsweise weicher ausgestalten als die Coriolis-Leitung, wodurch eine Übertragung von Schwingungen und somit von Störeinflüssen zwischen Messgerätgehäuse und Coriolis-Leitung weitergehend unterdrückbar ist.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist die Coriolis-Leitung so an das Tragsystem angeschlossen ist, dass bei Anregung mindestens einer Schwingungsmode kein wesentliches, von der Coriolis-Leitung auf das Tragsystem übertragbares resultierendes Drehmoment ausbildbar ist. Damit ist die Kopplung zwischen Tragsystem und Messgerätgehäuse nur noch durch Torsionsmomente und Momente noch höherer Ordnung gegeben. Dadurch sind die Anforderungen an eine Entkopplung durch Eigenfrequenztrennung weiter verringert.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist die durch den Schwingungserzeuger angeregte Schwingungsmode eine F3-Schwingungsmode. Eine F3-Mode ist eine erste Mode, welche so an das Tragsystem anschließbar ist, dass eine Übertragung von resultierenden Kräften und resultierenden Drehmomenten ausschließbar ist. Darüber hinaus ist die F3-Mode eine noch leicht anzuregende Schwingungsmode. Bei Anregung höherer Moden ist die Coriolis-Leitung so an das Tragsystem anschließbar, dass die Übertragung von Torsionsmomenten und Momenten noch höherer Ordnung zwischen Tragsystem und Messgerätgehäuse ausschließbar ist.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist eine kleinste Eigenfrequenz des Messgerätgehäuses gegenüber einer größten Coriolis-Eigenfrequenz um mindestens einen Faktor 1.1 und bevorzugt um mindestens einen Faktor 1.2 und insbesondere mindestens einen Faktor 1.5 größer.
- In einer vorteilhaften Ausführung weist das Tragsystem eine Tragsystem-Eigenfrequenz auf, die um mindestens einen Faktor 1.2 geringer und bevorzugt mindestens um einen Faktor 1.4 geringer und insbesondere mindestens um einen Faktor 1.5 geringer als eine kleinste Coriolis-Eigenfrequenz.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist die Federung des Tragsystems gegenüber dem Messgerätgehäuse berührungslos über Magnetfelder eingerichtet.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist die Federung des Tragsystems gegenüber dem Messgerätgehäuse durch mechanische Federelemente, beispielsweise durch Stahlfedern oder Gummimembranen, eingerichtet.
- In einer vorteilhaften Ausführung weist die Federung jeweils einen durch einen oder mehrere Schnitte in der Trägerplatte freigelegten Bereich aufweisen, wobei die freigelegten Bereiche aus einer Trägerplattenebene elastisch auslenkbar sind.
- In einer vorteilhaften Ausführung nimmt der in der Trägerplatte durch einen oder mehrere Schnitte freigelegte elastische Bereich eine Spiralstruktur an.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist der in der Trägerplatte durch einen oder mehrere Schnitte freigelegte elastische Bereich als Kragträger ausgebildet ist.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist der Kragträger aus mindestens zwei verschachtelten Einzelkragträgern ausgebildet.
- In einer vorteilhaften Ausführung weist die Federung Dämpfungselemente auf. Dadurch lassen sich größere Schwingungsamplituden vermeiden. Die Dämpfung ist dabei so ausgelegt, dass die damit verbundene Frequenzverbreiterung der Tragsystemschwingungsmoden nicht zu einer Überschneidung der Eigenfrequenzen des Tragsystems mit den Eigenfrequenzen des Messgerätgehäuses führt.
- In einer vorteilhaften Ausführung ist die Dämpfung durch im Bereich der Federung aufgetragenen Polymerverguss bewerkstelligt.
- Es wird also durch die vorliegende Erfindung Coriolis-Massendurchflussmessgerät vorgeschlagen, wobei die Coriolis-Leitung durch eine Kombination mehrerer Merkmale vom Messgerätgehäuse effektiv akustisch entkoppelt ist.
- Im Folgenden wird die erfindungsgemäße Vorrichtung anhand von Ausführungsbeispielen erläutert.
-
1 zeigt eine skizzierte Aufsicht auf ein erfindungsgemäßes Coriolis-Massendurchflussmessgerät. -
2 zeigt schematisiert die Auslenkung einer F3-Schwingungsmode zu einem Zeitpunkt. -
3 zeigt eine detaillierte Schrägansicht auf ein erfindungsgemäßes Federelement. -
4 zeigt weitere erfindungsgemäße Ausgestaltungen einer Coriolis-Leitung. -
1 zeigt eine Aufsicht in ein aufgeschnittenes Messgerätgehäuse10 , welches ein Tragsystem mit einer Trägerplatte20 und mit Federelementen21 und eine über die Halterungen34 ,35 angeschlossene Coriolis-Leitung31 umfasst. Die Coriolis-Leitung weist einen Leitungseinlauf32 und einen Leitungsauslauf33 auf, wobei der Leitungseinlauf über das erste Lager11 in das Gehäuse geführt ist, und wobei der Leitungsauslauf über das zweite Lager12 in das Gehäuse geführt ist. Die Coriolis-Leitung wird über einen Schwingungserzeuger38 zum Schwingen angeregt. Die erzeugte Schwingung wird durch Schwingungsmeßwertaufnehmer36 ,37 registriert und zur Berechnung des Massendurchflusses genutzt. Im Falle kapazitiver Anregung kann der Schwingungserzeuger38 auch als Schwingungsmeßwertaufnehmer36 ,37 eingerichtet sein. Die Trägerplatte ist über die Federelemente21 gegenüber dem Messgerätgehäuse federnd gelagert. Die in1 dargestellte Ausformung der Coriolis-Leitung31 ist selbstentleerbar. Es gibt eine Haltung in welcher ein in der Coriolis-Leitung31 befindliches Medium ohne weiteres Handeln durch Schwerkraftwirkung die Coriolis-Leitung31 über einen Leitungsauslauf33 verlässt. -
2 zeigt eine detaillierte Schrägaufsicht auf die Coriolis-Leitung31 mit gezeigtem Auslenkungsschema der Coriolis-Leitung bei Anregung einer F3-Schwingungsmode. Die Schwingungs Die Schwingungsmode unterteilt die Coriolis-Leitung31 in ein erstes Leitungssegment1 , in ein zweites Leitungssegment2 und ein drittes Leitungssegment3 , wobei die Trennung zwischen erstem Leitungssegment1 und zweitem Leitungssegment2 durch die erste Trennlinie a und wobei die Trennung zwischen zweitem Leitungssegment2 und drittem Leitungssegment3 durch die zweite Trennlinie b gegeben ist. Die Auslenkung benachbarter Leitungssegmente bei Anregung einer F3-Schwingungsmode, wie durch die zu den Leitungssegmenten gehörigen Pfeile dargestellt, ist gegensätzlich, so dass bei geeigneter Einstellung von F3-Schwingungsmode und geeigneter Platzierung der Halterungen34 ,35 an der Coriolis-Leitung keine wesentliche resultierende Kraft auf die Trägerplatte20 ausgeübt wird. Die Halterungen34 ,35 sind dazu in Schwingungsknoten der F3-Schwingungsmode platziert. Bei geeigneter Geometrie der S-förmig ausgebildeten Coriolis-Leitung31 ist auch die Übertragung von Drehmomenten von der Coriolis-Leitung31 auf die Trägerplatte20 vermeidbar. Als weitere Maßnahme gegen störende Einflüsse zwischen Messgerätgehäuse10 (nicht gezeigt in2 ) und Coriolis-Leitung31 sind der Leitungseinlauf32 und der Leitungsauslauf33 zumindest abschnittweise bogenförmig ausgestaltet. Die bogenförmige Ausgestaltung kann dabei durch Schwingungen des Messgerätgehäuses10 bewirkte Verzerrungen und Drehungen aufnehmen und dämpfen, so dass störende Einflüsse auf die Coriolis-Leitung31 vom Messgerätgehäuse10 ausgehend minimiert werden. -
3 zeigt eine detaillierte Schrägaufsicht auf ein erfindungsgemäßes Federelement21 , welches durch einen Schnitt23 in der Trägerplatte20 freigelegt ist, wobei der freigelegte Bereich aus der Trägerplattenebene elastisch auslenkbar ist. Das Federelement weist weiterhin eine Befestigungsöffnung auf, welche beispielsweise zum Anwenden einer Verschraubung eingerichtet ist. Über eine solche Verschraubung kann das Federelement21 am oder im Messgerätgehäuse befestigt werden. -
4 zeigt weitere erfindungsgemäße Ausführungen einer Coriolis-Leitung31 mit angepassten Leitungseinläufen32 und angepassten Leitungsausläufen33 . Je nach geometrischer Ausformung der Coriolis-Leitung lassen sich bestimmte Coriolis-Schwingungsmoden und Coriolis-Eigenfrequenzen bevorzugen. Die geometrische Ausformung des Leitungseinlaufs und Leitungsauslaufs beeinflusst die Dämpfungseigenschaften dieser Elemente. Die in4 gezeigten Ausformungen a)–c) sind nicht mehr selbstentleerbar im in der Beschreibung zu1 definierten Sinn. Jedoch ist hier dennoch eine einfache Entleerbarkeit gegeben, da die Ausformungen der Coriolis-Leitung31 keine Abwinklungen und wesentlichen Durchmesseränderungen aufweisen. Ein Ausblasen mit Druckluft führt daher zu vollständiger Entfernung eines Mediums aus der Coriolis-Leitung31 . Der Verzicht auf Selbstentleerbarkeit kann zu einer kompakteren Ausgestaltung des Coriolis-Massendurchflussmessgeräts genutzt werden. Für kleine Durchflüsse wie sie im Laborbereich oder bei kleinen Abfüllanlagen auftreten, kann das vorteilhaft sein. - Bezugszeichenliste
-
- 1
- Erstes Leitungssegment
- 2
- Zweites Leitungssegment
- 3
- Drittes Leitungssegment
- a
- erste Trennlinie
- b
- zweite Trennlinie
- 10
- Messgerätgehäuse
- 11
- Erstes Lager
- 12
- Zweites Lager
- 13
- Einlassflansch
- 14
- Auslassflansch
- 20
- Trägerplatte
- 21
- Federelement
- 22
- Befestigungsöffnung
- 23
- Schnitt in Trägerplatte
- 31
- Coriolis-Leitung
- 32
- Leitungseinlauf
- 33
- Leitungsauslauf
- 34, 35
- Halterung
- 36
- Schwingungsmeßwertaufnehmer
- 37
- Schwingungsmeßwertaufnehmer
- 38
- Schwingungserzeuger
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
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- DE 102008037700 A1 [0001]
- DE 102013102708 [0002]
Claims (15)
- Massendurchflußmeßgerät für strömende Medien, das nach dem Coriolis-Prinzip arbeitet, mit mindestens einer das strömende Medium führenden Coriolis-Leitung, welche Coriolis-Leitung (
31 ) einen Leitungseinlauf und einen Leitungsauslauf aufweist, und wobei die Coriolis-Leitung (31 ) eine S-Form aufweist; und mit mindestens einem auf die Coriolis-Leitung (31 ) einwirkenden Schwingungserzeuger (38 ); und mit mindestens einem Coriolis-Kräfte und /oder auf Coriolis-Kräften beruhende Coriolis-Schwingungen erfassenden Schwingungsmeßwertaufnehmer (36 ,37 ); wobei die Coriolis-Leitung (31 ) über mindestens eine Halterung (34 ,35 ) an eine Trägerplatte (20 ) eines Tragsystems angeschlossen ist, wobei das Tragsystem in einem Messgerätgehäuse (10 ) angeordnet ist und wobei das Tragsystem gegenüber dem Messgerätgehäuse (10 ) federnd gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Coriolis-Leitung (31 ) so an das Tragsystem angeschlossen ist, dass bei Anregung mindestens einer Schwingungsmode keine wesentliche, von der Coriolis-Leitung (31 ) auf das Tragsystem übertragbare resultierende Kraft ausbildbar ist, wobei das Tragsystem mindestens eine Tragsystem-Eigenfrequenz aufweist, wobei die mindestens eine Tragsystem-Eigenfrequenz um mindestens einen Faktor 1.1 geringer ist als eine kleinste Coriolis-Eigenfrequenz. - Massendurchflussmessgerät nach Anspruch 1, wobei die Trägerplatte (
20 ) mindestens eine Trägerplatten-Eigenfrequenz aufweist, welche Trägerplatten-Eigenfrequenz um mindestens einen Faktor 1.2 größer ist als die größte Coriolis-Eigenfrequenz. - Massendurchflussmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Leitungseinlauf (
33 ) und der Leitungsauslauf (34 ) und die Coriolis-Leitung (31 ) aus einem Rohr gefertigt sind, und wobei der Leitungseinlauf (31 ) und der Leitungsauslauf (32 ) zumindest abschnittsweise bogenförmig ausgebildet sind. - Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei die Coriolis-Leitung (
31 ) so an das Tragsystem angeschlossen ist, dass bei Anregung mindestens einer Schwingungsmode kein wesentliches, von der Coriolis-Leitung auf das Tragsystem übertragbares resultierendes Drehmoment ausbildbar ist. - Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei die durch den Schwingungserzeuger (
38 ) angeregte Schwingungsmode eine F3-Schwingungsmode ist. - Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei eine kleinste Eigenfrequenz des Messgerätgehäuses (
10 ) gegenüber einer größten Coriolis-Eigenfrequenz um mindestens einen Faktor 1.1 und bevorzugt um mindestens einen Faktor 1.2 und insbesondere mindestens einen Faktor 1.5 größer ist. - Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei das Tragsystem eine Tragsystem-Eigenfrequenz aufweist, die um mindestens einen Faktor 1.2 geringer und bevorzugt mindestens um einen Faktor 1.4 geringer und insbesondere mindestens um einen Faktor 1.5 geringer ist als eine kleinste Coriolis-Eigenfrequenz.
- Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei die Federung des Tragsystems gegenüber dem Messgerätgehäuse (
10 ) berührungslos über Magnetfelder eingerichtet ist. - Massendurchflussmessgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei die Federung des Tragsystems gegenüber dem Messgerätgehäuse (
10 ) durch mechanische Federelemente (21 ), beispielsweise durch Stahlfedern oder Gummimembranen, eingerichtet ist. - Massendurchflußmessgerät nach Anspruch 9, wobei die Federung jeweils einen durch einen oder mehrere Schnitte in der Trägerplatte (
20 ) freigelegten Bereich aufweisen, wobei die freigelegten Bereiche aus einer Trägerplattenebene elastisch auslenkbar sind. - Massendurchflußmeßgerät nach Anspruch 10, wobei der in der Trägerplatte (
20 ) durch einen oder mehrere Schnitte freigelegte elastische Bereich eine Spiralstruktur annimmt. - Massendurchflußmeßgerät nach Anspruch 11, wobei der in der Trägerplatte (
20 ) durch einen oder mehrere Schnitte freigelegte elastische Bereich als Kragträger ausgebildet ist. - Massendurchflußmeßgerät nach Anspruch 12, wobei der Kragträger aus mindestens zwei verschachtelten Einzelkragträgern ausgebildet ist.
- Massendurchflußmeßgerät nach mindestens einem der vorigen Ansprüche, wobei die Federung Dämpfungselemente aufweist.
- Massendurchflußmeßgerät nach Anspruch 14, wobei die Dämpfung durch im Bereich der Federung aufgetragenen Polymerverguss bewerkstelligt ist.
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