DE102015108949A1 - Active hard solder for active brazing of ceramics - Google Patents

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Andreas Rossberg
Elke Schmidt
Markus Rettenmayr
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Abstract

Es ist ein die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan aufweisendes Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern (A, B), insb. von Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid, beschrieben, mit dem qualitativ hochwertigere Aktivhartlötungen keramischer Körper (A, B) erzielt werden können, das sich dadurch auszeichnet, dass das Aktivhartlot eine benetzungsfördernde Komponente (K) aus Kupfer oder Silber enthält.It is an active brazing material comprising zirconium, nickel and titanium for active brazing of ceramic bodies (A, B), in particular of bodies of oxide ceramics, especially of aluminum oxide, with which higher quality active brazing of ceramic bodies (A, B) is achieved which is characterized in that the active brazing material contains a wetting-promoting component (K) of copper or silver.

Description

Die Erfindung betrifft Zirkonium, Nickel und Titan aufweisende Aktivhartlote zum Aktivhartlöten von keramischen Körpern.The invention relates to zirconium, nickel and titanium active brazing alloys for active brazing of ceramic bodies.

Aktivhartlote zum Aktivhartlöten von keramischen Körpern werden zum Beispiel zur Herstellung keramischer Drucksensoren eingesetzt, die heute weit gefächerte Anwendung in nahezu allen Bereichen der industriellen Druck-Messtechnik finden.Active hard soldering for active brazing of ceramic bodies are used, for example, for the production of ceramic pressure sensors, which are today widely used in almost all areas of industrial pressure measurement technology.

In der EP 490 807 A1 ist ein keramischer Drucksensor beschrieben, mit

  • – einer mit einem Druck beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren keramischen Messmembran,
  • – einem Grundkörper, und
  • – einer einen äußeren Rand der Messmembran unter Einschluss einer Druckkammer mit einem äußeren Rand einer der Messmembran zugewandten Stirnseite des Grundkörpers verbindenden Aktivhartlötung.
In the EP 490 807 A1 is a ceramic pressure sensor described with
  • A pressure-sensitive elastically deformable ceramic measuring membrane which can be pressurized,
  • - a basic body, and
  • - An active peripheral soldering connecting an outer edge of the measuring diaphragm with the inclusion of a pressure chamber with an outer edge of an end face of the base body facing the measuring diaphragm.

Messmembran und Grundkörper dieser Drucksensoren bestehen aus Keramik, z.B. aus Aluminiumoxid, und sind mittels eines eine Zr-Ni-Legierung und Titan aufweisenden ternären Aktivhartlots druckdicht gefügt.The measuring diaphragm and body of these pressure sensors are made of ceramic, e.g. made of aluminum oxide, and are pressure-tight joined by means of a Zr-Ni alloy and titanium ternary active brazing.

Zum Aktivhartlöten von Keramik geeignete Aktivhartlote zeichnen sich dadurch aus, dass sie mindestens eine aktive Komponente aufweisen, die bei der Löttemperatur chemisch mit der Keramik reagiert. Zr-Ni-Ti Aktivhartlote enthalten Zirkonium und Titan als aktive Komponenten, die beim Aktivhartlöten eine chemische Reduktion der Keramik bewirken. Durch die chemische Reaktion entsteht eine chemische Verbindung zwischen der Keramik und dem Aktivhartlot. Die Qualität von Aktivhartlötungen hängt somit maßgeblich von der beim Aktivhartlöten ablaufenden chemischen Reaktion ab.Active brazing solders suitable for active brazing of ceramics are characterized in that they have at least one active component which reacts chemically with the ceramic at the brazing temperature. Zr-Ni-Ti active brazing alloys contain zirconium and titanium as active components that cause chemical reduction of the ceramic during active brazing. The chemical reaction creates a chemical bond between the ceramic and the active brazing material. The quality of Aktivhartlötungen thus significantly depends on the running during Aktivhartlöten chemical reaction.

Die Reaktivität des Aktivhartlots spiegelt sich in den Benetzungseigenschaften des Aktivhartlots wieder. Ein Maß für die Benetzung einer Oberfläche ist ein in 1 dargestellter Benetzungswinkel Θ zwischen einer Tangente an einen auf die Oberfläche aufgebrachten Flüssigkeitstropfen und der Oberfläche. Bei benetzenden Flüssigkeiten bildet sich ein Benetzungswinkel von weniger als 90° aus, wobei der Benetzungswinkel umso kleiner ist, je besser die Flüssigkeit die Oberfläche benetzt. Nicht benetzende Flüssigkeiten bilden Benetzungswinkel von mehr als 90° aus.The reactivity of the active braze is reflected in the wetting properties of the active braze. A measure of the wetting of a surface is an in 1 illustrated wetting angle Θ between a tangent to a liquid drop applied to the surface and the surface. In the case of wetting liquids, a wetting angle of less than 90 ° forms, the wetting angle being the smaller the better the liquid wets the surface. Non-wetting liquids form wetting angles of more than 90 °.

Zirkonium, Nickel und Titan aufweisende Aktivhartlote benetzen keramische Oberflächen, wobei sie z.B. auf Aluminiumoxid je nach Zusammensetzung des Aktivhartlots und der Beschaffenheit der Oberfläche Benetzungswinkel in der Größenordnung von 60° bis nahezu 90° ausbilden. Die Qualität, insb. die mechanische Festigkeit, von Aktivhartlötungen ließe sich verbessern, wenn es gelingen würde, Aktivhartlote zu ermitteln, die keramische Oberflächen besser benetzen.Zirconium, nickel and titanium active hard solders wet ceramic surfaces, e.g. Depending on the composition of the active brazing filler and the nature of the surface, aluminum oxide forms wetting angles of the order of 60 ° to nearly 90 °. The quality, in particular the mechanical strength, of active hard soldering could be improved if it were possible to determine active hard solder that better wets ceramic surfaces.

Im Unterschied zu der beim Aktivhartlöten stattfindenden chemischen Reaktion findet beim Hartlöten von metallischen Körpern eine Legierungsbildung statt, durch die sich Komponenten der als Hartlot eingesetzten flüssigen Legierung mit metallischen Komponenten der zu fügenden Körper verbinden. Ein Beispiel einer als Hartlot zum Hartlöten von Titan verwendbaren Legierung ist in einer im Februar 2010 im Band 25, in Ausgabe 02 des Journal of Materials Research erschienen Veröffentlichung der Autoren Ju-Hyun Sun, Dong-Myoung Lee, Chi-Hwan Lee, Joo-Wha Hong and Seung-Yong Shin mit dem Titel: A novel Zr-Ti-Ni-Cu eutectic system with low melting temperature for the brazing of titanium alloys near 800 °C, beschrieben. Dort wird eine Zirkonium, Nickel und Titan enthaltende Legierung untersucht und gezeigt, dass der Schmelzpunkt der Legierung durch Zusatz von Kupfer reduziert werden kann. Darüber hinaus wird für eine Zirkonium, Nickel, Titan und Kupfer enthaltende Legierung anhand des Benetzungswinkels, den diese Legierung auf Titan ausbildet, verifiziert, dass sie als Hartlot zum Hartlöten von Titan einsetzbar ist.In contrast to the chemical reaction taking place during active brazing, alloying takes place during the brazing of metallic bodies, through which components of the liquid alloy used as hard solder join with metallic components of the bodies to be joined. An example of an alloy useful as a brazing alloy for brazing titanium is published in February 2010 in Volume 25, Issue 02 of the Journal of Materials Research, by Ju-Hyun Sun, Dong-Myoung Lee, Chi-Hwan Lee, Joo. Wha Hong and Seung-Yong Shin, entitled: A novel Zr-Ti-Ni-Cu eutectic system with low melting temperature for the brazing of titanium alloys near 800 ° C. There, a zirconium, nickel and titanium-containing alloy is examined and shown that the melting point of the alloy can be reduced by the addition of copper. In addition, for a zirconium, nickel, titanium and copper-containing alloy, it is verified that it can be used as a brazing alloy for brazing titanium based on the wetting angle that this alloy forms on titanium.

Während eine Vielzahl von unterschiedlichsten Legierungen auf metallischen Oberflächen regelmäßig eine gute Benetzung mit Benetzungswinkeln von deutlich weniger als 90° bewirken, bewirken die allermeisten Legierungen auf keramischen Oberflächen typischer Weise keine oder nur eine deutlich schlechtere Benetzung. Ein Beispiel hierfür sind Kupfer-Silber-Legierungen, die als Hartlote zum Fügen von Metallen, wie zum Beispiel Kupfer, eingesetzt werden. Kupfer-Silber Legierungen bilden auf Metallen Benetzungswinkel von deutlich weniger als 90° aus, wohingegen sie auf keramischen Oberflächen Benetzungswinkel von deutlich mehr als 90° ausbilden. Keramische Oberflächen lassen sich also durch Kupfer-Silber-Legierungen nicht benetzen.While a variety of different alloys on metallic surfaces regularly cause good wetting with wetting angles of significantly less than 90 °, the vast majority of alloys on ceramic surfaces typically cause no or only a significantly worse wetting. An example of this is copper-silver alloys, which are used as brazing alloys for joining metals, such as copper. Copper-silver alloys form wetting angles of significantly less than 90 ° on metals, whereas they form wetting angles of significantly more than 90 ° on ceramic surfaces. Ceramic surfaces can not be wetted by copper-silver alloys.

Es sind Kupfer-Silber Aktivhartlote bekannt, die Titan als aktive Komponente enthalten. Diese Aktivhartlote sind zwar grundsätzlich zum Aktivhartlöten von Keramik verwendbar, sie weisen jedoch im Vergleich zu den eingangs genannten Zirkonium-Nickel-Titan Aktivhartloten in der Regel eine sehr hohe Duktilität auf, so dass sie für den Einsatz in der Druckmesstechnik, insb. in keramischen Drucksensoren ungeeignet sind. Bei duktilen Fügungen besteht die Gefahr, dass diese Fügungen sich unter Druckbelastung verformen, insb. plastisch verformen, was insb. bei hiermit ausgestatteten Drucksensoren zu einer unter Umständen drastischen Verschlechterung von deren Messeigenschaften führen kann.There are known copper-silver active brazing alloys containing titanium as an active component. Although these active brazing alloys are fundamentally usable for active brazing of ceramics, they generally have a very high ductility in comparison with the abovementioned zirconium-nickel-titanium active brazing alloys, so that they are suitable for use in pressure measurement technology, esp. In ceramic pressure sensors are unsuitable. In the case of ductile joints, there is the danger that these joints deform under pressure, in particular plastically deform, which in particular in the case of pressure sensors equipped with them may lead to drastic deterioration of their measuring properties under certain circumstances.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, ein Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von Keramik anzugeben, mit dem qualitativ hochwertigere Aktivhartlötungen keramischer Körper erzielt werden können.It is an object of the invention to provide a Aktivhartlötung active brazing of ceramic, with the higher quality Aktivhartlötungen ceramic body can be achieved.

Hierzu umfasst die Erfindung ein Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. von Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid, das die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan aufweist, und sich dadurch auszeichnet, dass

  • – das Aktivhartlot eine benetzungsfördernde Komponente enthält, und
  • – die benetzungsfördernde Komponente Kupfer oder Silber ist.
For this purpose, the invention comprises an active brazing solder for Aktivhartlötung of ceramic bodies, esp. Of bodies of oxide ceramics, esp. Of alumina, which has the components zirconium, nickel and titanium, and is characterized in that
  • - The active brazing material contains a wetting-promoting component, and
  • - The wetting-promoting component is copper or silver.

Eine erste Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

  • – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente gebildeten zweiten Anteil umfasst, und
  • – die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan im ersten Anteil in einer mengenmäßigen Zusammensetzung vorliegen, der einer mengenmäßigen Zusammensetzung eines zur Aktivhartlötung der Keramik der Körper geeigneten Basis-Aktivhartlots entspricht.
A first development is characterized by the fact that
  • The active brazing material has a quantitative composition which comprises a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second portion formed by the wetting-promoting component, and
  • The components zirconium, nickel and titanium in the first portion are present in a quantitative composition corresponding to a quantitative composition of a base active brazing suitable for active brazing of the ceramic bodies.

Eine zweite Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass

  • – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente gebildeten zweiten Anteil umfasst, und
  • – die Größe des zweiten Anteils am Aktivhartlot kleiner gleich 20 %, insb. kleiner gleich 10%, beträgt.
A second development is characterized by the fact that
  • The active brazing material has a quantitative composition which comprises a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second portion formed by the wetting-promoting component, and
  • - The size of the second portion of the active brazing less than or equal to 20%, esp. Less than or equal to 10%.

Weiter umfasst die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung einer Zusammensetzung eines erfindungsgemäßen Aktivhartlots, das sich dadurch auszeichnet, dass

  • – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente gebildeten zweiten Anteil umfasst,
  • – eine Abhängigkeit eines Benetzungswinkels, den das Aktivhartlot im flüssigen Zustand auf der Keramik der zu verlötenden Körper ausbildet, von der Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot bestimmt wird, und
  • – anhand der Abhängigkeit die Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot derart bestimmt wird, dass ein Benetzungswinkel, den das Aktivhartlot auf der Keramik im flüssigen Zustand ausbildet, kleiner ist als ein Benetzungswinkel, den ein aus Zirkonium, Nickel und Titan bestehendes, diese Komponenten in einer der mengenmäßigen Zusammensetzung des ersten Anteils entsprechenden Zusammensetzung enthaltendes Aktivhartlot auf dieser Keramik ausbildet.
Furthermore, the invention comprises a method for determining a composition of an active braze according to the invention, which is characterized in that
  • The active brazing material has a quantitative composition comprising a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second portion formed by the wetting-promoting component,
  • A dependence of a wetting angle, which the active brazing material in the liquid state forms on the ceramic of the body to be brazed, is determined by the size of the component of the wetting-promoting component on the active brazing material, and
  • - Based on the dependence, the size of the proportion of wetting-promoting component is determined on the active brazing such that a wetting angle that forms the active brazing on the ceramic in the liquid state, is smaller than a wetting angle, consisting of zirconium, nickel and titanium, these components In one of the quantitative composition of the first portion corresponding composition containing active brazing material on this ceramic is formed.

Eine Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens sieht vor, dass

  • – eine Abhängigkeit einer Schmelztemperatur des Aktivhartlots von der Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot bestimmt wird, und
  • – die Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot anhand der Abhängigkeit der Schmelztemperatur von der Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot und der Abhängigkeit des Benetzungswinkels von der Größe des Anteils der benetzungsfördernden Komponente am Aktivhartlot bestimmt wird
A development of the method according to the invention provides that
  • A dependence of a melting temperature of the active brazing material on the size of the proportion of the wetting-promoting component on the active brazing solder is determined, and
  • The size of the proportion of the wetting-promoting component on the active brazing solder is determined on the basis of the dependence of the melting temperature on the size of the proportion of the wetting-promoting component on the active brazing solder and the dependence of the wetting angle on the size of the proportion of the wetting-promoting component on the active brazing solder

Weiter umfasst die Erfindung eine Verwendung einer Zirkonium, Nickel, Titan und Kupfer enthaltenden Legierung zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. keramischen Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.The invention further includes a use of an alloy containing zirconium, nickel, titanium and copper for the active brazing of ceramic bodies, in particular ceramic bodies of oxide ceramics, in particular of aluminum oxide.

Weiter umfasst die Erfindung eine Verwendung einer Zirkonium, Nickel, Titan und Silber enthaltenden Legierung zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. keramischen Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.The invention further comprises a use of an alloy containing zirconium, nickel, titanium and silver for the active brazing of ceramic bodies, in particular ceramic bodies of oxide ceramics, in particular of aluminum oxide.

Des Weiteren umfasst die Erfindung einen Verbund aus miteinander mittels einer mit einem erfindungsgemäßen Aktivhartlot ausgeführten Aktivhartlötung verbundenen keramischen Körpern, insb. Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.Furthermore, the invention comprises a composite of ceramic bodies bonded together by means of active brazing performed with an active brazing material according to the invention, in particular bodies of oxide ceramic, especially of aluminum oxide.

Eine bevorzugte Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verbunds besteht darin, dass

  • – einer der Körper eine mit einem Druck beaufschlagbare, druckabhängig elastisch verformbare keramische Messmembran, insb. eine aus Oxidkeramik, insb. Aluminiumoxid bestehende Messmembran, eines Drucksensors ist,
  • – der andere Körper ein keramischer Grundkörper, insb. ein aus Oxidkeramik, insb. Aluminiumoxid, bestehender Grundkörper des Drucksensors ist, und
  • – ein äußerer Rand der Messmembran unter Einschluss einer Druckkammer mit einem äußeren Rand einer der Messmembran zugewandten Stirnseite des Grundkörpers über die Aktivhartlötung verbunden ist.
A preferred embodiment of the composite according to the invention is that
  • One of the bodies is a pressure-sensitive elastically deformable ceramic measuring membrane, in particular a measuring diaphragm made of oxide ceramics, especially alumina, of a pressure sensor,
  • - The other body is a ceramic body, esp. One of oxide ceramic, esp. Alumina, existing body of the pressure sensor, and
  • - An outer edge of the measuring diaphragm, including a pressure chamber with an outer edge of the measuring membrane facing the end face of the base body is connected via the Aktivhartlötung.

Eine Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verbunds sieht vor, dass mindestens einer der beiden Körper einen an eine Fügefläche des Körpers angrenzenden Lötstopp, insb. eine Nut oder eine Beschichtung, aufweist.A further development of the composite according to the invention provides that at least one of the two bodies has a soldering stop, in particular a groove or a coating, adjacent to a joining surface of the body.

Das erfindungsgemäße Aktivhartlot bietet den Vorteil, dass es keramische Oberflächen aufgrund der im Aktivhartlot enthaltenen benetzungsfördernden Komponente deutlich besser benetzt. Mit dem erfindungsgemäßen Aktivhartlot ausgeführte Aktivhartlötungen weisen somit eine höhere Festigkeit und eine höhere Dichtheit auf, als mit Aktivhartloten ohne benetzungsfördernde Komponente ausgeführte Aktivhartlötungen.The active brazing solder according to the invention has the advantage that it wets ceramic surfaces significantly better due to the wetting-promoting component contained in the active brazing solder. Activated hard soldering carried out with the active brazing solder according to the invention thus has a higher strength and a higher tightness than active hard soldering performed with active hard solder without wetting-promoting component.

Während die Qualität der Benetzung bei mit Aktivhartloten mit großen, z.B. nur geringfügig unterhalb von 90° liegenden Benetzungswinkeln, ausgeführten Aktivhartlötungen durchaus größeren Schwankungen unterworfen sein kann, können mit dem erfindungsgemäßen Aktivhartloten aufgrund der deutlich geringeren Benetzungswinkel Aktivhartlötungen mit gleichbleibenderer und höherer Qualität hergestellt werden.While the quality of wetting with active hard soldering with large, e.g. Only slightly below 90 ° lying wetting angles, performed Aktivhartlötungen may well be subject to greater fluctuations, can be made with the Aktivhartloten invention due to the significantly lower wetting angle Aktivhartlötungen with more consistent and higher quality.

Die Erfindung und deren Vorteile werden nun anhand der Figuren der Zeichnung, in denen ein Ausführungsbeispiel dargestellt ist, näher erläutert. Gleiche Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen.The invention and its advantages will now be explained in more detail with reference to the figures of the drawing, in which an embodiment is shown. Identical elements are provided in the figures with the same reference numerals.

1 zeigt: einen Benetzungswinkel, den eine flüssige Legierung auf einer Oberfläche ausbildet; 1 shows: a wetting angle that a liquid alloy forms on a surface;

2 zeigt: einen Benetzungswinkel eines Aktivhartlots in Abhängigkeit vom im Aktivhartlot enthaltenen Anteil an Kupfer; 2 shows: a wetting angle of an active brazing filler as a function of the proportion of copper contained in the active brazing material;

3 zeigt: eine Schmelztemperatur eines Aktivhartlots in Abhängigkeit vom im Aktivhartlot enthaltenen Anteil an Kupfer; und 3 shows: a melting temperature of an active brazing filler as a function of the proportion of copper contained in the active brazing alloy; and

4 zeigt: einen keramischen Drucksensor. 4 shows: a ceramic pressure sensor.

Das erfindungsgemäße Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. von Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid, weist die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan auf. Erfindungsgemäß enthält das Aktivhartlot zusätzlich eine benetzungsfördernde Komponente K, nämlich Kupfer oder Silber.The active brazing material according to the invention for active brazing of ceramic bodies, in particular of bodies of oxide ceramic, especially of aluminum oxide, has the components zirconium, nickel and titanium. According to the invention, the active brazing material additionally contains a wetting-promoting component K, namely copper or silver.

Erfindungsgemäß wird also eine Zirkonium, Nickel, Titan und eine benetzungsfördernde Komponente K, nämlich Kupfer oder Silber, enthaltende Legierung als Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. keramischen Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid, verwendet.According to the invention, an alloy containing zirconium, nickel, titanium and a wetting-promoting component K, namely copper or silver, is used as active brazing material for active brazing of ceramic bodies, in particular ceramic bodies of oxide ceramic, especially of aluminum oxide.

Zirkonium, Nickel, Titan und die benetzungsfördernde Komponente K sind im erfindungsgemäßen Aktivhartlot in einer mengenmäßigen Zusammensetzung enthalten, die beispielsweise in Atom% angegeben werden kann. Dabei kann die Zusammensetzung in einen ersten durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente K gebildeten zweiten Anteil unterteilt werden. Beträgt der Anteil der benetzungsfördernde Komponente K am Aktivhartlots X%, so ergibt sich eine Zusammensetzung von: (100 – X)%[ZrANiBTiC] + X%K, wobei A, B und C die mengenmäßige Zusammensetzung der jeweiligen Komponente innerhalb des ersten Anteils des Aktivhartlots in Atom-% angeben. Die Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K ist vorzugsweise kleiner gleich 20 %, vorzugsweise kleiner gleich 10 %.Zirconium, nickel, titanium and the wetting-promoting component K are contained in the active brazing solder according to the invention in a quantitative composition which can be indicated, for example, in% by atom. In this case, the composition can be subdivided into a first component formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second component formed by the wetting-promoting component K. If the proportion of the wetting-promoting component K on the active brazing filler X%, is a composition of: (100 - X)% [Zr A Ni B Ti C ] + X% K, where A, B and C, the quantitative composition of each component within the first part of the active braid in atomic%. The size X of the proportion of the wetting-promoting component K is preferably less than or equal to 20%, preferably less than or equal to 10%.

Die mengenmäßige Zusammensetzung des erfindungsgemäßen Aktivhartlots kann zum Beispiel ermittelt werden, indem als Ausgangspunkt ein zur Aktivhartlötung der Keramikkörper geeignetes Zirkonium, Nickel und Titan in einer bestimmten Zusammensetzung ZrANiBTiC enthaltendes Basis-Aktivhartlot verwendet wird. Als Basis-Aktivhartlote können Lote mit aus dem Stand der Technik bekannten Zusammensetzungen herangezogen werden. Alternativ können aber auch neue Zusammensetzungen angesetzt werden, die für sich genommen grundsätzlich zur Aktivhartlötung von Keramik geeignet sind. Eine grundsätzliche Eignung ist bei Zusammensetzungen ZrANiBTiC gegeben, die die Keramik benetzen, also auf Oberflächen der zu verlötenden Keramik Benetzungswinkel ausbilden, die zumindest geringfügig kleiner als 90° sind.The quantitative composition of the active brazing filler according to the invention can be determined, for example, by using as starting material a base active brazing filler metal containing zirconium, nickel and titanium in a specific composition Zr A Ni B Ti C for active brazing of the ceramic bodies. As base active hard solders, solders with compositions known from the prior art can be used. Alternatively, however, it is also possible to prepare new compositions which are basically suitable for active brazing of ceramics. A basic suitability is given in compositions Zr A Ni B Ti C , which wet the ceramic, ie form wetting angles on surfaces of the ceramic to be soldered, which are at least slightly smaller than 90 °.

Anhand der Zusammensetzung des Basis-Aktivhartlots kann die mengenmäßige Zusammensetzung des erfindungsgemäßen Aktivhartlots nun derart vorgegeben werden, dass die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan im ersten Anteil in einer mengenmäßigen Zusammensetzung enthalten sind, die gleich der mengenmäßigen Zusammensetzung des herangezogenen Basis-Aktivhartlots ist.Based on the composition of the basic active braze, the quantitative composition of the active braze according to the invention can now be specified such that the components zirconium, nickel and titanium are contained in the first portion in a quantitative composition which is equal to the quantitative composition of the used Basis active braid.

Im Anschluss daran wird die Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K am Aktivhartlot bestimmt. Hierzu wird eine Reihe von Messungen ausgeführt, in denen der Benetzungswinkel Θ, den das flüssige Aktivhartlot mit der Zusammensetzung (100 – X)%[ZrANiBTiC] + X%K in Abhängigkeit von der Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K am Aktivhartlot, auf einer Oberfläche aus der Keramik der zu verlötenden Körper ausbildet.Subsequently, the size X of the proportion of wetting-promoting component K is determined on the active braze. For this purpose, a series of measurements is carried out in which the wetting angle Θ, the liquid active brazing alloy with the composition (100 - X)% [Zr A Ni B Ti C ] + X% K as a function of the size X of the proportion Wetting-promoting component K on Aktivhartlot, formed on a surface of the ceramic body to be soldered.

2 zeigt hierzu ein Beispiel, in dem die Abhängigkeit des Benetzungswinkels Θ dargestellt ist, den ein Aktivhartlot mit der Zusammensetzung (100 – X)%[Zr54Ni26Ti20] + X%K auf einer Oberfläche aus Aluminiumoxid in Abhängigkeit von der Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K ausbildet, wobei hier Kupfer als benetzungsfördernde Komponente K eingesetzt wurde. 2 shows an example in which the dependence of the wetting angle Θ is shown, the an active brazing material with the composition (100 - X)% [Zr 54 Ni 26 Ti 20 ] + X% K on an aluminum oxide surface as a function of the size X of the proportion of the wetting-promoting component K is formed, in which case copper was used as wetting-promoting component K.

Wie aus 2 ersichtlich, nimmt der Benetzungswinkel Θ mit zunehmender Größe X des Kupferanteils zu. Während das Basis-Aktivhartlot ohne Kupferzusatz auf Aluminiumoxid unter den vorliegenden Messbedingungen einen vergleichsweise großen Benetzungswinkel von 75° ausbildet, sinkt dieser mit zunehmendem Kupferanteil immer weiter ab. Dabei bildet sich bei einem Kupfer-Anteil von nur 2,5 % bereits ein deutlich niedrigerer Benetzungswinkel Θ von 68° aus. Bei einem Kupfer-Anteil von 5 % bildet sich ein Benetzungswinkel Θ von 52°, bei einem Kupfer-Anteil von 7,5 % ein Benetzungswinkel Θ von 42°, und bei einem Kupfer-Anteil von 10 % sogar ein Benetzungswinkel von nur 25°.How out 2 As can be seen, the wetting angle Θ increases with increasing size X of the copper content. While the base active brazing without addition of copper on alumina forms a comparatively large wetting angle of 75 ° under the present measuring conditions, this decreases further and further with increasing copper content. At a copper content of only 2.5%, a significantly lower wetting angle Θ of 68 ° already develops. With a copper content of 5%, a wetting angle Θ of 52 °, with a copper content of 7.5%, a wetting angle Θ of 42 °, and with a copper content of 10% even a wetting angle of only 25 ° ,

Über die Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K am erfindungsgemäßen Aktivhartlot kann nicht nur der Benetzungswinkel Θ, sondern auch die Schmelztemperatur T innerhalb gewisser Grenzen eingestellt werden. 3 zeigt hierzu die Abhängigkeit der Schmelztemperatur T des auch 2 zugrunde liegenden Aktivhartlots mit der Zusammensetzung (100 – X)%[Zr54Ni26Ti20] + X%Cu auf einer Oberfläche aus Aluminiumoxid in Abhängigkeit von der Größe des Kupferanteils. Wie aus 3 ersichtlich, steigt die Schmelztemperatur T im Bereich kleinerer Kupferanteile mit zunehmendem Kupferanteil an und sinkt dann bei höheren Kupferanteilen mit zunehmendem Kupferanteil wieder ab.Not only the wetting angle Θ, but also the melting temperature T can be set within certain limits via the size X of the proportion of wetting-promoting component K in the active brazing material according to the invention. 3 shows the dependence of the melting temperature T of this 2 underlying active brazing alloys having the composition (100 - X)% [Zr 54 Ni 26 Ti 20 ] + X% Cu on an aluminum oxide surface as a function of the size of the copper portion. How out 3 can be seen, the melting temperature T increases in the range of smaller copper content with increasing copper content and then decreases with higher copper content with increasing copper content again.

Genau wie Kupfer wirkt auch Silber als benetzungsfördernde Komponente K, die den sich ausbildenden Benetzungswinkel Θ reduziert, wobei auch hier die Schmelztemperatur T von der Größe X des Silberanteils abhängig ist.Like copper, silver also acts as a wetting-promoting component K, which reduces the wetting angle aus that forms, the melting temperature T also being dependent on the size X of the silver content.

Schmelztemperatur T und Benetzungswinkel Θ können somit über die Wahl der Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K innerhalb der durch die Abhängigkeiten der beiden Messgrößen von der Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K gegeben Grenzen aufeinander abgestimmt werden. Dabei können über die Größe X des Anteils der benetzungsfördernden Komponente K Schmelztemperaturen T eingestellt werden, die einerseits niedrig genug sind, um Aktivhartlötungen in Vakuumlötmaschinen in beherrschbarer Weise ausführen zu können, und andererseits hoch genug sind, um den Temperaturbereich, in denen mit dem Aktivhartlot erzeugte Aktivhartlötungen einsetzbar sind, nicht unnötig einzuschränken. Zugleich kann innerhalb des durch den Schmelztemperaturbereich eingegrenzten Wertebereichs der Größe X des Anteils derjenige ausgewählt werden, bei dem das Aktivhartlot für die jeweilige Anwendung optimale Benetzungseigenschaften aufweist.Melting temperature T and wetting angle Θ can thus on the choice of the size X of the proportion of wetting-promoting component K within the given by the dependencies of the two variables of the size X of the proportion of wetting-promoting component K boundaries are matched. In this case, over the size X of the proportion of wetting-promoting component K melting temperatures T can be set, on the one hand low enough to perform Aktivhartlötungen in vacuum brazing machines in a manageable manner, and on the other hand high enough to the temperature range in which generated with the active brazing Aktivhartlötungen are used, not unnecessarily restrict. At the same time, within the range of values of size X of the fraction bounded by the melting temperature range, it is possible to select the one in which the active brazing material has optimum wetting properties for the respective application.

Grundsätzlich sind Aktivhartlötungen mechanisch umso stabiler, insb. druckfester, und umso hermetisch dichter, je ungehinderter und gleichmäßiger die für die Aktivhartlötung charakteristische chemische Reaktion während des Lötvorgangs ablaufen kann. Die Reaktion verläuft umso ungehinderter und gleichmäßiger, je besser das Aktivhartlot die Fügeflächen benetzt, d.h. je kleiner der Benetzungswinkel Θ ist.In principle, active hard soldering is mechanically more stable, especially more resistant to pressure, and the more hermetically dense, the more unimpeded and uniform the chemical reaction characteristic of active brazing can take place during the soldering process. The better the active brazing material wets the joining surfaces, the more the reaction will proceed more unimpeded and more uniformly. the smaller the wetting angle Θ is.

4 zeigt ein Ausführungsbeispiel eines Verbunds aus zwei miteinander mittels einer mit einem erfindungsgemäßen Aktivhartlot ausgeführten Aktivhartlötung verbundenen keramischen Körpern A, B. 4 1 shows an exemplary embodiment of a composite of two ceramic bodies A, B connected to one another by means of active brazing carried out with an active brazing material according to the invention.

Der Verbund wird hergestellt, indem zwischen den beiden Körpern A, B eine Lotschicht angeordnet wird. Das kann z.B. auf die in der EP 490 807 A1 beschriebenen Weise erfolgen, indem das Aktivhartlot als vorgefertigtes Lotformteil eingebracht, oder alternativ als Lotpaste aufgetragen wird. Alternativ kann die Lotschicht durch eine Gasphasenabscheidung, wie sie zum Beispiel in der DE 10 2010 043 119 A1 beschrieben ist, auf einem der beiden Körper A oder B oder anteilig auf beiden Körpern A und B aufgebracht werden. Anschließend wird die Anordnung unter Vakuum insgesamt auf eine oberhalb der Schmelztemperatur T des Lots liegende Löttemperatur aufgeheizt und dort über einen längeren Zeitraum, insb. einen Zeitraum von 5 min bis 15 min, gehalten. Dabei wird durch das erfindungsgemäße Aktivhartlot aufgrund dessen verbesserter Benetzungseigenschaften eine qualitativ hochwertige, mechanisch stabile, insb. druckfeste, und hermetisch dichte Aktivhartlötung bewirkt.The composite is made by placing a layer of solder between the two bodies A, B. This can eg on the in the EP 490 807 A1 described way done by the active brazing introduced as a prefabricated solder preform, or alternatively applied as a solder paste. Alternatively, the solder layer may be vapor deposited by a vapor deposition such as that described in U.S. Pat DE 10 2010 043 119 A1 described, be applied to one of the two bodies A or B or proportionately on both bodies A and B. Subsequently, the arrangement is heated under vacuum to a total of a soldering temperature above the melting temperature T of the solder and held there for a longer period of time, in particular a period of 5 minutes to 15 minutes. In this case, due to the improved wetting properties of the active brazing material according to the invention, a high-quality, mechanically stable, in particular pressure-resistant, and hermetically sealed active brazing is achieved.

Bei dem in 4 gezeigten Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen keramischer Drucksensor, mit einer mit einem Druck p beaufschlagbaren, druckabhängig elastisch verformbaren Messmembran 1, die auf einem Grundkörper 3 angeordnet ist. Messmembran 1 und Grundkörper 3 bilden die beiden Körper A, B des Verbunds, und bestehen aus Keramik, insb. aus einer Oxidkeramik, wie z.B. aus Aluminiumoxid Al2O3. Sie sind miteinander unter Einschluss einer Druckkammer 5 druckdicht verbunden. Hierzu ist ein äußerer Rand einer dem Grundkörper 3 zugewandten Seite der Messmembran 1 unter Einschluss der Druckkammer 5 mittels einer mit dem erfindungsgemäßen Aktivhartlot ausgeführten Aktivhartlötung 7 mit einem äußeren Rand einer der Messmembran 1 zugewandte Stirnseite des Grundkörpers 3 verbunden.At the in 4 The exemplary embodiment shown is a ceramic pressure sensor with a measuring diaphragm which can be acted upon by a pressure p and is pressure-dependently elastically deformable 1 on a base 3 is arranged. measuring membrane 1 and basic body 3 form the two bodies A, B of the composite, and consist of ceramic, esp. Of an oxide ceramic, such as alumina Al 2 O 3 . They are together, including a pressure chamber 5 pressure-tight connected. For this purpose, an outer edge of the main body 3 facing side of the measuring diaphragm 1 including the pressure chamber 5 by means of a with the Aktivhartlötung according to the invention 7 with an outer edge of one of the measuring membrane 1 facing end face of the body 3 connected.

Der dargestellte Drucksensor kann als Absolutdrucksensor ausgebildet sein. In dem Fall ist die unter der Messmembran 1 eingeschlossene Druckkammer 5 evakuiert. Alternativ kann er als Relativdrucksensor ausgebildet werden, indem der Druckkammer 5 über eine durch den Grundkörper 3 hindurch führende, in 1 gestrichelt eingezeichnete Bohrung 9 ein Referenzdruck pref, z.B. ein Atmosphärendruck, zugeführt wird, bezogen auf den der auf die Messmembran 1 einwirkende Druck p erfasst werden soll. Der Drucksensor umfasst einen elektromechanischen Wandler, der dazu dient, eine druckabhängige Verformung der Messmembran 1 messtechnisch zu erfassen. In den hier dargestellten Ausführungsbeispielen ist hierzu ein kapazitiver Wandler vorgesehen, der mindestens einen Kondensator mit einer sich in Abhängigkeit von der druckbedingten Auslenkung der Messmembran 1 verändernden Kapazität aufweist. Dieser umfasst eine auf einer dem Grundkörper 3 zugewandten Seite der Messmembran 1 aufgebrachte Elektrode 11 und eine auf einer der Messmembran 1 zugewandten Stirnseite des Grundkörpers 3 aufgebrachte Gegenelektrode 13. Die druckabhängige Kapazität dieses Kondensators bzw. deren Änderungen werden über eine an die Elektrode 11 und die Gegenelektrode 13 angeschlossene, hier nicht dargestellte Messelektronik erfasst, und in ein druck-abhängiges Messsignal umgewandelt, das dann zur Anzeige, zur weiteren Verarbeitung und/oder Auswertung zur Verfügung steht.The illustrated pressure sensor can be designed as an absolute pressure sensor. In that case it is under the measuring membrane 1 enclosed pressure chamber 5 evacuated. Alternatively, it may be formed as a relative pressure sensor by the pressure chamber 5 about one through the main body 3 Leading through, in 1 dashed bore 9 a reference pressure p ref , for example, an atmospheric pressure is supplied, based on the on the measuring diaphragm 1 acting pressure p is to be detected. The pressure sensor comprises an electromechanical transducer, which serves to a pressure-dependent deformation of the measuring diaphragm 1 metrologically to capture. In the exemplary embodiments illustrated here, a capacitive converter is provided for this purpose, which has at least one capacitor with a function of the pressure-related deflection of the measuring diaphragm 1 having changing capacity. This includes one on a body 3 facing side of the measuring diaphragm 1 applied electrode 11 and one on one of the measuring membrane 1 facing end face of the body 3 applied counter electrode 13 , The pressure-dependent capacity of this capacitor or its changes are via a to the electrode 11 and the counter electrode 13 connected, not shown here measuring electronics detected, and converted into a pressure-dependent measurement signal, which is then available for display, for further processing and / or evaluation.

Je kleiner der Benetzungswinkel eines Aktivhartlots ist, umso stärker fließt das Aktivhartlot während des Lötvorgangs. Bei Bedarf kann dieser Vorgang mittels eines Lötstopps auf räumlich begrenzte Fügeflächen der Körper A, B des Verbunds begrenzt werden. Hierzu kann in einem oder beiden Körpern A, B eine an die jeweilige Fügefläche angrenzende Lötstopp-Nut vorgesehen werden. 4 zeigt hierzu eine im Grundkörper 3 vorgesehene Lötstopp-Nut 15. Ein Drucksensor mit einer im Grundkörper vorgesehenen, an die Fügefläche des Grundkörpers angrenzenden, dort zur Spannungskonzentration im Bereich der Fügung eingesetzten Nut ist in der DE 100 36 433 A1 beschrieben. Alternativ kann auf einer an die Fügefläche angrenzenden Oberfläche mindestens eines der beiden Körper A, B eine einen Lötstopp bildende Beschichtung vorgesehen werden. Hierzu eignen sich zum Beispiel in der DE 10 2012 103 166 A1 beschriebene Kohlenstoff, insb. Graphit oder Ruß, Silizium oder Siliziumcarbid umfassende Beschichtungen.The smaller the wetting angle of an active hard solder, the stronger the active brazing solder flows during the soldering process. If necessary, this process can be limited by means of a solder stop on spatially limited joining surfaces of the body A, B of the composite. For this purpose, in one or both bodies A, B, a solder stop groove adjoining the respective joining surface can be provided. 4 shows one in the main body 3 provided solder stop groove 15 , A pressure sensor with a groove provided in the main body and adjoining the joining surface of the main body, which is used there for stress concentration in the area of the joint, is in the DE 100 36 433 A1 described. Alternatively, a coating forming a solder stop can be provided on a surface of at least one of the two bodies A, B adjoining the joining surface. These are suitable for example in the DE 10 2012 103 166 A1 described carbon, esp. Graphite or carbon black, silicon or silicon carbide comprehensive coatings.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Messmembran measuring membrane
33
Grundkörper body
55
Druckkammer pressure chamber
77
Aktivhartlötung Aktivhartlötung
99
Bohrung drilling
1111
Elektrode electrode
1313
Gegenelektrode counter electrode
1515
Nut groove

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 490807 A1 [0003, 0042] EP 490807 A1 [0003, 0042]
  • DE 102010043119 A1 [0042] DE 102010043119 A1 [0042]
  • DE 10036433 A1 [0045] DE 10036433 A1 [0045]
  • DE 102012103166 A1 [0045] DE 102012103166 A1 [0045]

Claims (10)

Aktivhartlot zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern (A, B), insb. von Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid, das – die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass – das Aktivhartlot eine benetzungsfördernde Komponente (K) enthält, und – die benetzungsfördernde Komponente (K) Kupfer oder Silber ist.Active brazing material for active brazing of ceramic bodies (A, B), in particular of bodies of oxide ceramics, in particular of aluminum oxide, which - the components zirconium, nickel and titanium, characterized in that - the active brazing material contains a wetting-promoting component (K), and - the wetting-promoting component (K) is copper or silver. Aktivhartlot gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente (K) gebildeten zweiten Anteil umfasst, und – die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan im ersten Anteil in einer mengenmäßigen Zusammensetzung vorliegen, der einer mengenmäßigen Zusammensetzung eines zur Aktivhartlötung der Keramik der Körper (A, B) geeigneten Basis-Aktivhartlots entspricht.Active brazing solder according to claim 1, characterized in that - the active brazing material has a quantitative composition comprising a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second portion formed by the wetting-promoting component (K), and - the components zirconium, Nickel and titanium are present in the first portion in a quantitative composition corresponding to a quantitative composition of a base active braze suitable for actively brazing the ceramic body (A, B). Aktivhartlot gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente (K) gebildeten zweiten Anteil umfasst, und – die Größe (X) des zweiten Anteils am Aktivhartlot kleiner gleich 20 %, insb. kleiner gleich 10%, beträgt.Active brazing solder according to claim 1, characterized in that - the active brazing material has a quantitative composition comprising a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a second portion formed by the wetting-promoting component (K), and - the size (X ) of the second portion of the active brazing material is less than or equal to 20%, in particular less than or equal to 10%. Verfahren zur Bestimmung einer Zusammensetzung eines Aktivhartlots gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass – das Aktivhartlot eine mengenmäßige Zusammensetzung aufweist, die einen durch die Komponenten Zirkonium, Nickel und Titan gebildeten ersten Anteil und einen durch die benetzungsfördernde Komponente (K) gebildeten zweiten Anteil umfasst, – eine Abhängigkeit eines Benetzungswinkels (Θ), den das Aktivhartlot im flüssigen Zustand auf der Keramik der zu verlötenden Körper (A, B) ausbildet, von der Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot bestimmt wird, und – anhand der Abhängigkeit die Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot derart bestimmt wird, dass ein Benetzungswinkel (Θ), den das Aktivhartlot auf der Keramik im flüssigen Zustand ausbildet, kleiner ist als ein Benetzungswinkel, den ein aus Zirkonium, Nickel und Titan bestehendes, diese Komponenten in einer der mengenmäßigen Zusammensetzung des ersten Anteils entsprechenden Zusammensetzung enthaltendes Aktivhartlot auf dieser Keramik ausbildet.A method of determining a composition of an active brazing filler according to claim 1, 2 or 3, characterized in that - the active brazing material has a quantitative composition comprising a first portion formed by the components zirconium, nickel and titanium and a component promoting the wetting-promoting component (K) second proportion comprises, - a dependence of a wetting angle (Θ), which forms the active braze in the liquid state on the ceramic of the body to be soldered (A, B), determined by the size (X) of the proportion of wetting-promoting component (K) on the active brazing and - the dependence (X) of the proportion of wetting-promoting component (K) is determined on the active brazing such that a wetting angle (Θ), which forms the active brazing on the ceramic in the liquid state, is smaller than a wetting angle, The one consisting of zirconium, nickel and titanium, these components in one of the quantity Formative composition of the first portion corresponding composition containing active hard solder forms on this ceramic. Verfahren gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass – eine Abhängigkeit einer Schmelztemperatur (T) des Aktivhartlots von der Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot bestimmt wird, und – die Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot anhand der Abhängigkeit der Schmelztemperatur (T) von der Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot und der Abhängigkeit des Benetzungswinkels (Θ) von der Größe (X) des Anteils der benetzungsfördernden Komponente (K) am Aktivhartlot bestimmt wirdA method according to claim 4, characterized in that - a dependence of a melting temperature (T) of the active brazing the size (X) of the proportion of wetting-promoting component (K) is determined on the active brazing, and - the size (X) of the proportion of wetting-promoting component (K) on the active hard solder on the basis of the dependence of the melting temperature (T) of the size (X) of the proportion of wetting-promoting component (K) on the active brazing and the dependence of the wetting angle (Θ) on the size (X) of the proportion of wetting-promoting component (K ) is determined on the active hard solder Verwendung einer Zirkonium, Nickel, Titan und Kupfer enthaltenden Legierung zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. keramischen Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.Use of an alloy containing zirconium, nickel, titanium and copper for the active brazing of ceramic bodies, in particular ceramic bodies of oxide ceramics, in particular of aluminum oxide. Verwendung einer Zirkonium, Nickel, Titan und Silber enthaltenden Legierung zur Aktivhartlötung von keramischen Körpern, insb. keramischen Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.Use of an alloy containing zirconium, nickel, titanium and silver for the active brazing of ceramic bodies, in particular ceramic bodies of oxide ceramics, in particular of aluminum oxide. Verbund aus miteinander mittels einer mit einem Aktivhartlot gemäß Anspruch 1, 2 oder 3 ausgeführten Aktivhartlötung (7) verbundenen keramischen Körpern (A, B), insb. Körpern aus Oxidkeramik, insb. aus Aluminiumoxid.Composite of each other by means of an active brazing with an active brazing according to claim 1, 2 or 3 carried out ( 7 ) associated ceramic bodies (A, B), in particular bodies of oxide ceramics, esp. Of alumina. Verbund gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass – einer der Körper (A) eine mit einem Druck (p, p1, p2) beaufschlagbare, druckabhängig elastisch verformbare keramische Messmembran (1), insb. eine aus Oxidkeramik, insb. Aluminiumoxid bestehende Messmembran (1), eines Drucksensors ist, – der andere Körper (B) ein keramischer Grundkörper (3), insb. ein aus Oxidkeramik, insb. Aluminiumoxid, bestehender Grundkörper (3) des Drucksensors ist, und – ein äußerer Rand der Messmembran (1) unter Einschluss einer Druckkammer (5) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (3) über die Aktivhartlötung (7) verbunden ist.Composite according to claim 8, characterized in that - one of the bodies (A) can be acted upon by a pressure-dependent elastically deformable ceramic measuring membrane (P, p 1 , p 2 ) ( 1 ), in particular a measuring membrane consisting of oxide ceramics, in particular aluminum oxide ( 1 ), a pressure sensor, - the other body (B) a ceramic base body ( 3 ), esp. An oxide ceramic, esp. Alumina, existing body ( 3 ) of the pressure sensor, and - an outer edge of the measuring diaphragm ( 1 ) including a pressure chamber ( 5 ) with an outer edge of one of the measuring membrane ( 1 ) facing end side of the base body ( 3 ) via the Aktivhartlötung ( 7 ) connected is. Verbund gemäß Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens einer der beiden Körper (A, B) einen an eine Fügefläche des Körpers (A, B) angrenzenden Lötstopp, insb. eine Nut (15) oder eine Beschichtung, aufweist.Composite according to claim 8 or 9, characterized in that at least one of the two bodies (A, B) has a soldering stop, in particular a groove (B), adjoining a joining surface of the body (A, B). 15 ) or a coating.
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