DE102015100991A1 - Sensoranordnung, Schaltungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung - Google Patents

Sensoranordnung, Schaltungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung Download PDF

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Abstract

Eine Sensoranordnung ist geschaffen. Die Sensoranordnung kann wenigstens ein Sensorelement, das eine erste Seite und eine zweite Seite gegenüber der ersten Seite aufweist und zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist; und eine elektrisch leitfähige Leitung enthalten, wobei ein erster Abschnitt des elektrisch leitfähigen Leitung auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet sein kann und ein zweiter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom in dem ersten Abschnitt eine erste Richtung und in dem zweiten Abschnitt eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise an einem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements konstruktiv addieren können.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Verschiedene Ausführungsformen beziehen sich im Allgemeinen auf eine Sensoranordnung, eine Schaltungsanordnung und ein Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung.
  • Hintergrund
  • Magnetfeldsensoren eines magnetoresistiven Typs, z. B. eines XMR-Typs (X-magnetoresistiven Typs), z. B. AMR-(anisotroper Magnetowiderstand-), GMR-(Riesen-Magnetowiderstand-) und/oder TMR-(Tunnel-Magnetowiderstand-)Sensoren können eine Möglichkeit zum Messen einer Stärke eines elektrischen Stroms zur Verfügung stellen. In dem Magnetfeldsensor kann ein Effekt (auch als ein magnetoresistiver Effekt bezeichnet) eines ferromagnetischen Materials, das seinen Widerstand ändert, wenn es durch ein Magnetfeld eines elektrischen Leiters (z. B. einer elektrisch leitfähigen Leitung), in dem ein Strom fließt (auch als ein stromführender Leiter bezeichnet), benutzt werden. Zum Verwenden des Effekts kann es erforderlich sein, den (z. B. stromführenden) Leiter so nah wie möglich an Sensorelementen des Magnetfeldsensors anzuordnen und eine Änderung des Widerstands, z. B. während ein Strom in dem Leiter fließt und/oder wenn der Strom zu fließen beginnt, zu messen. Eine Messung des Stroms in dem Sensor, z. B. dem XMR-Sensor, kann galvanisch von einer Schaltung, die den (z. B. stromführenden) Leiter enthält, getrennt sein.
  • Derzeit kann, wie beispielsweise in 1 gezeigt ist (die ein Beispiel einer Platine 101 mit einem integrierten Sensor 102 unterhalb eines stromführenden Leiters 106 zeigt), eine elektrisch leitfähige Leitung 106, z. B. eine (z. B. stromführende) Leitung, U-förmig sein. Die leitfähige Leitung 106 kann z. B. in einem Gehäuse, auf einer Seite, z. B. oberhalb, eines (z. B. Mikro-)Chips 102, der als ein Träger für ferromagnetische Sensoren 104 dienen kann, angeordnet sein. Unter Verwendung dieses Aufbaus/Verfahrens kann ein analysierbarer Sensorwiderstand (und somit eine Präzision einer Messung eines Stroms 108, der in 1 als ein Pfeil angegeben ist) von einer Stärke eines Magnetfelds 110, das an den ferromagnetischen Sensoren 104 vorhanden ist, abhängen.
  • Zusammenfassung
  • Es wird eine Sensoranordnung bereitgestellt. Die Sensoranordnung kann wenigstens ein Sensorelement, das eine erste Seite und eine zweite Seite entgegengesetzt der ersten Seite aufweist und zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist; und eine elektrisch leitfähige Leitung enthalten, wobei ein erster Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet sein kann und ein zweiter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom in dem ersten Abschnitt eine erste Richtung und in dem zweiten Abschnitt eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise an einem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements konstruktiv addieren können.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • In den Zeichnungen beziehen sich gleiche Bezugszeichen durchgehend für die unterschiedlichen Ansichten im Allgemeinen auf dieselben Teile. Die Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgerecht, stattdessen wird im Allgemeinen die Darstellung der Prinzipien der Erfindung betont. In der folgenden Beschreibung sind verschiedene Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die folgenden Zeichnungen beschrieben, in denen:
  • 1 eine Draufsicht und eine schematische perspektivische Ansicht eines bekannten Magnetfeldsensors zeigt;
  • 2 schematische Querschnittsansichten und eine schematische perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigt;
  • 3A und 3B perspektivische Ansichten einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigen;
  • 4A und 4B perspektivische Ansichten einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigen;
  • 5 eine perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigt;
  • 6 eine perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigt;
  • 7 eine schematische Querschnittsansicht einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigt;
  • 8 eine schematische Darstellung einer Schaltungsanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen zeigt; und
  • 9 eine schematische Darstellung eines Verfahrens zum Bilden einer Sensoranordnung in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen zeigt.
  • Beschreibung
  • Die folgende genaue Beschreibung bezieht sich auf die begleitenden Zeichnungen, die durch Darstellung spezifische Einzelheiten und Ausführungsformen, in denen die Erfindung in die Praxis umgesetzt werden kann, zeigen.
  • Das Wort ”beispielhaft” wird hier verwendet, so dass es ”als ein Beispiel, eine Instanz oder Darstellung dienend” bedeutet. Jede Ausführungsform oder Konstruktion, die hier als ”beispielhaft” beschrieben ist, ist nicht notwendigerweise als bevorzugt oder vorteilhaft gegenüber anderen Ausführungsformen oder Konstruktionen zu deuten.
  • Das Wort ”über”, das mit Bezug auf aufgebrachtes Material, das ”über” einer Seite oder Oberfläche gebildet ist, verwendet ist, kann hier so verwendet sein, dass es bedeutet, dass das aufgebrachte Material ”direkt auf”, z. B. in direktem Kontakt mit, der implizierten Seite oder Oberfläche gebildet ist. Das Wort ”über”, das mit Bezug auf ein aufgebrachtes Material, das ”über” einer Seite oder Oberfläche gebildet ist, verwendet ist, kann hier so verwendet sein, so dass es bedeutet, dass das aufgebrachte Material ”indirekt auf” der implizierten Seite oder Oberfläche mit einer oder mehreren zusätzlichen Schichten, die zwischen der implizierten Seite oder Oberfläche und dem aufgebrachten Material angeordnet sind, gebildet ist.
  • Verschiedene Aspekte der Erfindung sind für Vorrichtungen vorgesehen, und verschiedene Aspekte der Erfindung sind für Verfahren vorgesehen. Es ist zu verstehen, dass die grundlegenden Eigenschaften der Vorrichtungen auch für die Verfahren gelten, und umgekehrt. Deshalb kann der Kürze halber doppelte Beschreibung solcher Eigenschaften weggelassen worden sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann in einer Sensoranordnung eine elektrisch leitfähige Leitung angeordnet sein, um wenigstens ein Sensorelement zweimal (oder allgemein mehrfach) zu durchlaufen. Für eine relative Anordnung der Leitung in Bezug auf das wenigstens eine Sensorelement, kann ein Magnetfeld eines Stroms, der die elektrisch leitfähige Leitung durchfließen kann, auf eine Weise berücksichtigt sein, dass sich zwei/mehrere Abschnitte des Magnetfelds der elektrisch leitfähigen Leitung in einem Bereich des wenigstens einen Sensorelements addieren und dadurch zu einem stärkeren Magnetfeld und somit zu einem stärken Signal (beispielsweise einer größeren Änderung eines elektrischen Widerstands), das in dem wenigstens einen Sensorelement erzeugt wird, (ihren. Eine genauere Messung, z. B. des Stroms, z. B. einer Stärke des Stroms, kann dadurch ermöglicht sein.
  • 2 zeigt zwei schematische Querschnittsansichten 201, 201a und eine schematische perspektivische Ansicht 202 einer Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Wie in 2 gezeigt ist, kann in verschiedenen Ausführungsformen die Sensoranordnung wenigstens ein Sensorelement 104 und eine elektrisch leitfähige Leitung 106 enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement 104 zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert sein. Mit anderen Worten kann das wenigstens eine Sensorelement 104 ein Magnetfeldsensorelement enthalten oder wesentlich daraus bestehen, beispielsweise ein Magnetfeldsensorelement eines magnetoresistiven Typs, z. B. eines XMR-Typs (X-magnetoresistiven Typs), z. B. eines Sensorelements eines AMR-(anisotroper Magnetowiderstand-), GMR-(Riesen-Magnetowiderstand-) und/oder TMR-(Tunnel-Magnetowiderstand-)Typs. Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann konfiguriert sein, so dass es einen magnetfeldabhängigen Widerstand, z. B. einen elektrischen Widerstand, aufweist. In verschiedenen Ausführungsformen kann wenigstens ein Abfühlabschnitt 104s des wenigstens einen Sensorelements 104 einen ersten elektrischen Widerstand aufweisen, wenn ein Magnetfeld an dem Abfühlabschnitt eine erste Magnetfeldstärke aufweist, und der wenigstens eine Abfühlabschnitt 104s des wenigstens einen Sensorelements 104 kann einen zweiten elektrischen Widerstand aufweisen, wenn das Magnetfeld an dem Abfühlabschnitt 104s die zweite Magnetfeldstärke aufweist, und so weiter. Der elektrische Widerstand des wenigstens einen Sensorelements 104 (bzw. wenigstens seiner Abfühlabschnitte 104s) kann bestimmt werden. Der elektrische Widerstand kann als ein Abfühlsignal, ein Sensorsignal oder einfach als ein Signal (des wenigstens einen Sensorelements 104 bzw. des Abfühlabschnitts 104s des wenigstens einen Sensorelements 104) bezeichnet sein.
  • Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann eine erste Seite und eine zweite Seite entgegengesetzt der ersten Seite aufweisen.
  • Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann eine Höhe 104H (auch als Dicke des wenigstens einen Sensorelements 104 bezeichnet) in einem Bereich von etwa 20 nm bis etwa 70 nm aufweisen, z. B. etwa 30 nm. Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann eine Breite 104W in einem Bereich von etwa 1,3 μm bis etwa 7 μm aufweisen, z. B. in einem Bereich von etwa 3 μm bis etwa 5 μm. Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann eine Länge 104L in einem Bereich von etwa 100 μm bis etwa 5 mm aufweisen, z. B. in einem Bereich von etwa 500 μm bis etwa 2 mm.
  • Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann in verschiedenen Ausführungsformen ein elektrisch leitfähiges Material, beispielsweise ein Metall oder eine Metalllegierung, enthalten oder wesentlich daraus bestehen. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann beispielsweise wenigstens eines aus einer Gruppe von elektrisch leitfähigen Materialien enthalten, die Kupfer, Gold, Silber, Aluminium, eine Kupferlegierung, eine Goldlegierung, eine Silberlegierung und eine aluminiumlegierung enthält.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 eine Dicke in einem Bereich von etwa 10 nm bis etwa 5 mm aufweisen, z. B. von etwa 1 μm bis etwa 100 μm, z. B. von etwa 10 μm bis etwa 70 μm. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann eine Breite in einem Bereich von etwa 1 μm bis etwa 1 mm aufweisen, z. B. von etwa 100 μm bis etwa 500 μm. In verschiedenen Ausführungsformen kann die Breite der elektrisch leitfähigen Leitung 106 entlang einer Länge der elektrisch leitfähigen Leitung gleichmäßig sein. In verschiedenen Ausführungsformen kann die Breite der elektrisch leitfähigen Leitung entlang 106 einer Länge der elektrisch leitfähigen Leitung 106 nicht gleichmäßig sein (mit anderen Worten kann sie variieren).
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann ein erster Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der auch einfach als der erste Abschnitt 1061 bezeichnet sein kann, auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein. In 2 kann die erste Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 oberhalb des wenigstens einen Sensorelements 104 sein. Somit kann der erste Abschnitt 1061 des elektrisch leitfähigen Leitung 106 wenigstens teilweise oberhalb des, z. B. auf oder über dem, wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein. Beispielsweise kann der erste Abschnitt 1061 so angeordnet sein, dass er wenigstens teilweise im Wesentlichen parallel oder parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 ist.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann ein zweiter Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der auch einfach als der zweite Abschnitt 1062 (der Begriff ”der elektrisch leitfähigen Leitung 106” kann auch weggelassen sein, wenn er sich auf andere Abschnitte der elektrisch leitfähigen Leitung 106 bezieht) bezeichnet sein kann, auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein. In 2 kann die zweite Seite des wenigstens eine Sensorelements 104 unterhalb des wenigstens einen Sensorelements 104 sein. Somit kann der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 wenigstens teilweise unter dem wenigstens einen Sensorelement 104 angeordnet sein. Beispielsweise kann der zweite Abschnitt 1062 so angeordnet sein, dass er wenigstens teilweise im Wesentlichen parallel oder parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 ist.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der erste Abschnitt 1061 und der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 so angeordnet sein, dass eine hypothetische Ebene, die sich in einer Richtung der Länge 104L und der Höhe 104H des wenigstens einen Sensorelements 104 erstreckt und in Längsrichtung das wenigstens eine Sensorelement 104 schneidet, auch, z. B. in Längsrichtung, den ersten Abschnitt 1061 und den zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 schneidet.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 konfiguriert sein, so dass sie einen elektrischen Strom 108 (der einfach als Strom 108 bezeichnet sein kann) aufweist, der durch sie fließt. Falls der Strom 108 durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließt, kann der Strom 108 eine erste Richtung 1081 in dem ersten Abschnitt 1061 und eine zweite Richtung 1082 entgegengesetzt der ersten Richtung 1081 in dem zweiten Abschnitt 1062 aufweisen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der elektrische Strom 108 in der elektrisch leitfähigen Leitung 106 nur in einer Richtung in Bezug auf die leitfähige Leitung zwischen einem ersten Ende der leitfähigen Leitung 106 und einem zweiten Ende der leitfähigen Leitung 106 fließen (das erste Ende und das zweite Ende sind in 2 nicht gezeigt), d. h. im Wesentlichen parallel zu einer Länge der leitfähigen Leitung 106 und in eine Richtung entweder des ersten Endes oder des zweiten Endes weisend, beispielsweise entsprechend einer Richtung eines herkömmlichen Stroms, d. h. von positiv zu negativ. Eine Anordnung der leitfähigen Leitung 106, beispielsweise des ersten Abschnitts 1061 und des zweiten Abschnitts 1062, kann jedoch so sein, dass eine Richtung (beispielsweise in Bezug auf einen abstrakten dreidimensionalen Raum, in der die Sensoranordnung angeordnet sein kann) des Stroms 108 in dem ersten Abschnitt 1061 der leitfähigen Leitung 106 die erste Richtung 1081 sein kann, und eine Richtung des Stroms 108 in dem zweiten Abschnitt 1062 der leitfähigen Leitung 106 die zweite Richtung 1082 (entgegengesetzt der ersten Richtung 1081) sein kann.
  • Der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 mit seiner entsprechenden ersten Richtung 1081 des elektrischen Stroms 108 ist in Ansicht 202 schematisch durch einen Pfeil, der nach oben links zeigt, angegeben. Das kann angeben, dass der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 im Wesentlichen parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 (das so gezeigt ist, dass es sich ebenfalls in einer Richtung von oben links nach unten rechts erstreckt) angeordnet ist. In dem ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann der elektrische Strom 108 in der ersten Richtung 1081 fließen, z. B. nach oben links in Ansicht 202. Die erste Richtung 1081 kann im Wesentlichen parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 sein.
  • Der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 mit seiner entsprechenden zweiten Richtung 1082 des elektrischen Stroms 108 ist in Ansicht 202 schematisch durch einen Pfeil, der nach unten rechts zeigt, angegeben. Das kann angeben, dass der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 im Wesentlichen parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 angeordnet ist. In dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann der elektrische Strom 108 in die zweite Richtung 1082, z. B. nach unten rechts in Ansicht 202, fließen, was im Wesentlichen der Richtung 1081 nach oben links des Stroms 108 in dem ersten Abschnitt 1061 entgegengesetzt sein kann. Die zweite Richtung 1082 kann im Wesentlichen parallel zu dem wenigstens einen Sensorelement 104 sein. Zusätzlich kann die zweite Richtung 1082 im Wesentlichen parallel (jedoch entgegengesetzt) zu der ersten Richtung 1081 sein.
  • Es ist bekannt, dass ein elektrischer Strom ein Magnetfeld erzeugt. Die sogenannte Korkenzieherregel kann zum Bestimmen einer (Definition für eine) Richtung des Magnetfelds, das durch den elektrischen Strom erzeugt wird, verwendet werden: Wenn der Daumen einer rechten Hand in einer herkömmlichen (d. h. von positiv zu negativ) Flussrichtung des elektrischen Stroms zeigt, zeigen die Finger der rechten Hand in die Richtung des Magnetfelds, z. B. der Magnetfeldlinien.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, falls ein Strom 108 in der elektrisch leitfähigen Leitung 106 fließt, kann der Strom 108 ein Magnetfeld 110 erzeugen. In dem ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann der elektrische Strom 108 mit der Richtung 1081 einen ersten Abschnitt des Magnetfelds 110 erzeugen, der auch als das erste Magnetfeld 1101 bezeichnet sein kann. In dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann der elektrische Strom 108 mit der Richtung 1082 einen zweiten Abschnitt des Magnetfelds 110 erzeugen, der auch als das zweite Magnetfeld 1102 bezeichnet sein kann.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können sich das erste Magnetfeld 1101, das durch den Strom 108 in dem ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 erzeugt wird, und das zweite Magnetfeld 1102, das durch den Strom 108 in dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung erzeugt wird, an einem Abfühlpunkt 104s des wenigstens einen Sensorelements 104 wenigstens teilweise konstruktiv addieren. Eine Überlagerung der Magnetfelder, die um den ersten Abschnitt 1061 und den zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 erzeugt werden, kann mit Bezug auf Ansicht 201a von 2 beschrieben sein. Der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann sich oberhalb des wenigstens einen Sensorelements 104 in die Papierebene oder aus ihr heraus erstrecken, und der Strom 108 kann seine Richtung (die erste Richtung 1081) aufweisen, die in die Papierebene hinein zeigt, wie durch ein ⊗-Symbol angegeben ist. Der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann sich unterhalb des wenigstens einen Sensorelements 104 in die Papierebene oder aus ihr heraus erstrecken, und der Strom 108 kann seine Richtung (die zweite Richtung 1082) aufweisen, die in die Papierebene hinein zeigt, wie durch ein Symbol eines Kreises mit einem zentralen Punkt angegeben ist.
  • Als eine Konsequenz kann das erste Magnetfeld 1101 eine Richtung wie in der Ansicht 201a von 2 angegeben ist, kreisend von oben nach rechts um den ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 aufweisen, z. B. wie eine Schraube mit Rechtsgewinde. Das zweite Magnetfeld 1102 kann eine Richtung wie in der Ansicht 201a von 2 angegeben ist, kreisend von unten nach rechts um den ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 aufweisen, z. B. wie eine Schraube mit Linksgewinde. Das erste Magnetfeld 1101 und das zweite Magnetfeld 1102 können wenigstens an dem Abfühlabschnitt 104s des wenigstens einen Sensorelements 104 überlagert sein. Wenigstens an dem Abfühlpunkt 104s können sich das erste Magnetfeld 1101 und das zweite Magnetfeld 1102 konstruktiv addieren. Mit anderen Worten kann eine Magnetfeldstärke der Überlagerung (z. B. eine Summe, z. B. eine Vektorsumme) des ersten Magnetfelds 1101 und des zweiten Magnetfelds 1102 höher sein als individuell eine Magnetfeldstärke sowohl des ersten Magnetfelds 1101 als auch des zweiten Magnetfelds 1102.
  • Mit anderen Worten können der erste Abschnitt 1061 und der zweite Abschnitt 1062 des elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf eine Weise angeordnet sein, dass, falls der Strom 108 in der elektrisch leitfähigen Leitung 106 fließt, er eine erste (z. B. räumliche) Richtung 1081 in dem ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 und die zweite (z. B. räumliche) Richtung 1082 entgegengesetzt der ersten Richtung 1081 in dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 aufweisen kann (obwohl die Richtung des Stroms 108 in der elektrisch leitfähigen Leitung 106 relativ zu der elektrisch leitfähigen Leitung 106 in allen Abschnitten, z. B. in dem ersten Abschnitt 1061 und dem zweiten Abschnitt 1062, der elektrisch leitfähigen Leitung dieselbe sein kann, z. B. die konventionelle Stromrichtung, die durch Fließen von Plus zu Minus definiert ist). Als eine Folge der Anordnung des ersten Abschnitts 1061 und des zweiten Abschnitts 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung, so dass der fließende Strom 108 die erste Richtung 1081 in dem ersten Abschnitt 1061 und die zweite Richtung 1082 in dem zweiten Abschnitt 1062 aufweisen kann, kann das Magnetfeld 1101, das durch den Strom 108 in dem ersten Abschnitt 1061 erzeugt werden kann, eine entgegengesetzte Richtung zu dem zweiten Magnetfeld 1102, das durch den Strom 108 in dem zweiten Abschnitt 1062 erzeugt werden kann, aufweisen. Durch Anordnen des wenigstens einen Sensorelement 104 zwischen dem ersten Abschnitt 1061 und dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann eine konstruktive Überlagerung des ersten Magnetfelds 1101 und des zweiten Magnetfelds 1102 an einer Position des wenigstens einen Sensorelements 104, z. B. an einer Position des Abfühlabschnitts 104s in dem wenigstens einen Sensorelements 1, erreicht werden. In Ansicht 201a kann dieses durch Pfeile visualisiert sein, die mit 1101 und 1102 bezeichnet sind und die die Richtungen der jeweiligen Magnetfelder 1101, 1102 angeben. An der Position des wenigstens einen Sensorelements 104 können beide Magnetfelder eine im Allgemeinen mehr oder weniger gleiche Richtung von einer rechten Seite des Papiers zu einer linken Seite des Papiers aufweisen, oder wenigstens können sie nicht in das wenigstens eine Sensorelement 104 aus im Wesentlichen entgegengesetzten Richtungen eindringen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung, die den ersten Abschnitt 1061 und den zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 an entgegengesetzten Seiten des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet aufweist, unter Berücksichtigung der Richtungen der jeweiligen Magnetfelder in dem ersten Abschnitt 1061 bzw. dem zweiten Abschnitt 1062, die so erzeugt werden, dass sich das erste Magnetfeld 1081 und das zweite Magnetfeld 1081 konstruktiv addieren, zu einem stärkeren kombinierten Magnetfeld wenigstens an der Position des Abfühlabschnitts des wenigstens einen Sensorelements 104, wo es detektiert/gemessen werden kann, und somit zu einer Erhöhung des Signals an dem wenigstens einen Sensorelement 104 führen. Dadurch kann eine Messgenauigkeit, beispielsweise zum Messen der Stromstärke des Stroms 108, der durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließen kann, beispielsweise unter Verwendung wenigstens eines XMR-Magnetfeldsensors als das wenigstens eine Sensorelement 104, verbessert sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können eine höhere Stärke des kombinierten Magnetfelds und das stärkere Signal zum Detektieren/Messen von Signalen verwendet werden, die unterhalb eines Messgrenze einer herkömmlichen Sensoranordnung gewesen wären. Das erste Magnetfeld 1081 und das zweite Magnetfeld 1082 können sich beispielsweise zu einem kombinierten Magnetfeld kombinieren, das eine Stärke aufweisen kann, die gerade ausreichend zum Erzeugen eines (z. B. signifikanten) Signals in dem wenigstens einen Sensorelement 104 sein kann, während sowohl das erste Magnetfeld 1081 als auch das zweite Magnetfeld 102 zum Erzeugen eines (z. B. signifikanten) Signals nicht stark genug gewesen sein kann. Mit anderen Worten kann ein Messbereich der Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen erweitert sein, beispielsweise zu niedrigeren Stromstärken hin.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann ein externes Magnetfeld, z. B. ein Störfeld, d. h. ein Feld, das nicht erwünscht sein kann und das vermutlich nicht in dem Signal enthalten ist, eine Struktur aufweisen, so dass es dieselbe Struktur und Richtung in der herkömmlichen Sensoranordnung (wie z. B. in 1 gezeigt) und in der Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen, z. B. wie in 2 gezeigt, aufweisen kann. Als eine Folge kann eine Signalstärke eines Signals, das durch das externe Magnetfeld verursacht wird, nicht erhöht sein (im Vergleich zu der herkömmlichen Sensoranordnung), während die Stärke des zu messenden Signals, das durch den Strom 108, der in der elektrisch leitfähigen Leitung 106 fließen kann, und die resultierenden Magnetfeldern 1081, 1082 des ersten Abschnitts 1061 und des zweiten Abschnitts 1062, verursacht sein kann, erhöht sein kann. Somit kann die Robustheit der Sensoranordnung in Bezug auf externe Magnetfelder, z. B. Störfelder, beispielsweise das Erdmagnetfeld, verbessert sein. Das kann auch als ein Signal-Rausch-Verhältnis der Sensoranordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen bezeichnet sein, das verbessert wird.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung konfiguriert sein, so dass für eine Untergrenze der Stromstärke des elektrischen Stroms 108, von der gewünscht ist, dass sie detektiert und/oder gemessen wird, das wenigstens eine Sensorelement 104, z. B. der Abfühlbereich 104s des wenigstens einen Sensorelements 104, ein Signal erzeugen kann, z. B. ein Signal, das von Rauschen des wenigstens einen Sensorelements 104 verschieden sein kann, z. B. ein Signal, das von dem Rauschen des wenigstens einen Sensorelements 104 signifikant verschieden sein kann. In verschiedenen Ausführungsformen können mehrere Sensorelemente 104 zum Erzeugen des Signals verwendet werden, beispielsweise wie nachstehend beschrieben.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, kann eine Gruppe von Parameter der Sensoranordnung, von denen einer oder mehrere zum Erhalten eines ausreichend starken Signals für eine vordefinierte Untergrenze der Stromstärke, die detektiert und/oder gemessen werden soll, eingestellt sein können, einen Abstand D1, D2 jeweils zwischen dem ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 und dem wenigstens einen Sensorelement 104 und/oder zwischen dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 und dem wenigstens einen Sensorelement 104, eine Anzahl von Sensorelementen 104, eine Größe des wenigstens einen Sensorelements 104, ein Material der elektrisch leitfähigen Leitung 106, eine Größe der elektrisch leitfähigen Leitung 106, beispielsweise die Größe, beispielsweise die Länge, des ersten Abschnitts 1061 und/oder des zweiten Abschnitts 1062, und ein Material, das zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und dem ersten Abschnitt 1061 und/oder dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 angeordnet ist, enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, wie beispielsweise in Ansicht 201a von 2 gezeigt ist, kann das wenigstens eine Sensorelement 104 ungefähr in einer Mitte zwischen dem ersten Abschnitt 1061 und dem zweiten Abschnitt 1062 des elektrisch leitfähigen Elements 106 angeordnet sein. Mit anderen Worten kann der Abstand D1 zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und dem ersten Abschnitt 1061 des elektrisch leitfähigen Elements 106 kann ungefähr gleich dem Abstand D2 zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und dem zweiten Abschnitt 1062 des elektrisch leitfähigen Elements 106 sein. In verschiedenen Ausführungsformen kann der Abstand D1 von dem Abstand D2 verschieden sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der erste Abschnitt 1061 in einer ersten Ebene 211 (angegeben in Ansicht 201a von 2 als ein Bereich zwischen gestrichelten Linien), beispielsweise in der ersten Ebene 211, die eine erste Metallisierungsschicht, z. B. eine strukturierte erste Metallisierungsschicht, enthält, angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der zweite Abschnitt 1062 in einer zweiten Ebene 213 (angegeben in Ansicht 201a von 2 als ein Bereich zwischen gestrichelten Linien), beispielsweise in der ersten Ebene 213, die eine erste Metallisierungsschicht, z. B. eine strukturierte erste Metallisierungsschicht, enthält, angeordnet sein.
  • 3A und 3B zeigen jeweils eine perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung 314 gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Eine oder mehrere Schichten und/oder Teile der Sensoranordnung 314 können zum Freilegen von Schichten und/oder Teilen, die in der vollständigen Sensoranordnung 314 bedeckt sein können, entfernt worden sein.
  • Die Sensoranordnung 314 kann eine Ausführungsform der Sensoranordnung von 2 sein. Prinzipien, Teile, Parameter, Materialien usw. der Sensoranordnung 314 können dieselben wie oder ähnlich denen sein, die im Kontext mit 2 beschrieben sind, und können hier nicht wiederholt sein.
  • Die Sensoranordnung 314 kann wenigstens ein Sensorelement 104 enthalten. In der Ausführungsform, wie in 3A gezeigt ist, kann das wenigstens eine Sensorelement 104 ein erstes Sensorelement 1041 und ein zweites Sensorelement 1042 enthalten. Die Sensoranordnung 314 kann ferner einen Chip 212 enthalten. Das erste Sensorelement 1041 und das zweite Sensorelement 1042 können auf dem Chip 212 angeordnet sein, z. B. in dem Chip gebildet sein. Das erste Sensorelement 1041 und das zweite Sensorelement 1042 können unterhalb einer ersten Ebene 211 der Sensoranordnung 314 angeordnet sein und können deshalb als gestrichelte Linien in 3A gezeigt sein. Siehe 4A für eine Ansicht, die das erste Sensorelement 1041, das zweite Sensorelement 1042 und den Chip 212 ohne eine oder mehrere Ebenen, die sie abdecken, enthält.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 eine elektrisch leitfähige Leitung 106 enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann beispielsweise Metall, beispielsweise Kupfer, enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann in verschiedenen Ausführungsformen wenigstens einen Abschnitt einer Metallschicht, z. B. einer Kupferschicht, einer Kupferlegierungsschicht oder einer Aluminiumschicht, enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 einen ersten Abschnitt 1061 und einen dritten Abschnitt 1063 enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann ferner einen ersten Verbindungsabschnitt 106c1, der den ersten Abschnitt 1061 und den dritten Abschnitt 1063 verbindet, enthalten. In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 einen ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 enthalten. Der erste Abschnitt 1061 kann oberhalb des ersten Sensorelements 1041 angeordnet sein. Der dritte Abschnitt 1063 kann oberhalb des zweiten Sensorelements 1042 angeordnet sein.
  • Der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann oberhalb des ersten Sensorelements 1041 im Wesentlichen wie in Kontext mit 2 beschrieben angeordnet sein. Der erste Abschnitt 1061 kann so betrachtet werden, dass er auf einer ersten Seite des ersten Sensorelements 1041 angeordnet ist. Eine Längsachse des ersten Abschnitts 1061 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen dieselbe Richtung aufweisen wie eine Längsachse des ersten Sensorelements 1041. In der Ausführungsform, wie sie in 3A gezeigt ist, können sowohl das erste Sensorelement 1041 als auch der erste Abschnitt 1061 ihre Längsachsen so aufweisen, dass sie sich im Wesentlich in einer Richtung von oben rechts nach unten links erstrecken. Ähnlich kann der dritte Abschnitt 1063 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 im Wesentlichen oberhalb des zweiten Sensorelements 1041 angeordnet sein, wie im Kontext mit der Anordnung des ersten Abschnitts 1061 in Bezug auf das wenigstens eine Sensorelement 104 in 2 beschrieben ist. Der dritte Abschnitt 1063 kann so betrachtet werden, dass er auf einer ersten Seite des zweiten Sensorelements 1042 angeordnet ist. Eine Längsachse des dritten Abschnitts 1063 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen dieselbe Richtung aufweisen wie eine Längsachse des zweiten Sensorelements 1042. In der Ausführungsform, wie sie in 3A gezeigt ist, können sowohl das zweite Sensorelement 1042 als auch der dritte Abschnitt 1063 ihre Längsachsen so aufweisen, dass sie sich im Wesentlich in einer Richtung von oben rechts nach unten links erstrecken. Der erste Abschnitt 1061 und der dritte Abschnitt 1063 können durch den ersten Verbindungsabschnitt 106c1 elektrisch leitfähig verbunden sein. In der Ausführungsform von 3A kann sich der erste Verbindungsabschnitt 106c1 von dem ersten Abschnitt 1061 zu dem dritten Abschnitt 1063 erstrecken. Eine Längsachse des ersten Verbindungsabschnitts 106c1 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen in einem rechten Winkel zu der Längsachse des ersten Sensorelements 1041 und/oder des dritten Sensorelements 1042 sein. In anderen Ausführungsformen kann ein Winkel zwischen jeweils der Längsachse des ersten Verbindungsabschnitts 106cl und der Längsachse des ersten Sensorelements 1041 und/oder des zweiten Sensorelements 1042 unterschiedlich sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der dritte Abschnitt 1063 und der erste Abschnitt 1061 in einer gemeinsamen ersten Ebene 211, z. B. der ersten Ebene 211, wie sie im Kontext mit 2 beschrieben ist, angeordnet sein. Darüber hinaus können der erste Erweiterungsabschnitt 106e1 und/oder der erste Verbindungsabschnitt 106c1 Teil der ersten Ebene 211 sein. In verschiedenen Ausführungsformen können der erste Abschnitt 1061, der dritte Abschnitt 1063 und optional der erste Verbindungsabschnitt 106cl und/oder der erste Erweiterungsabschnitt 106e1 in einem gemeinsamen Prozess gebildet sein. Beispielsweise kann eine strukturierte Metallschicht, die den ersten Abschnitt 1061, den dritten Abschnitt 1063 und optional den ersten Verbindungsabschnitt 106c1 und/oder den ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 enthält, gebildet sein, z. B. durch Abscheidung, z. B. strukturierte Abscheidung oder Abscheidung gefolgt durch Strukturierung, z. B. unter Verwendung von Photolithographie und teilweisem Entfernen der Metallschicht.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 ferner eine erste Verbindungskontaktstelle 316 enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106, z. B. der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, kann mit der ersten Verbindungskontaktstelle 316, die auch als Eingangsverbindungskontaktstelle oder Eingangskontaktstelle bezeichnet sein kann, elektrisch leitfähig verbunden sein. Der erste Erweiterungsabschnitt 106e1 kann sich z. B. von dem ersten Abschnitt 1061 in Richtung zu der ersten Verbindungskontaktstelle 316 erstrecken, beispielsweise zum Ermöglichen des Bildens der elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen der ersten Verbindungskontaktstelle 316 und der elektrisch leitfähigen Leitung 106. Die erste Verbindungskontaktstelle 316 kann beispielsweise wenigstens teilweise auf oder oberhalb des ersten Erweiterungsabschnitts 106e1 angeordnet sein. Die elektrisch leitfähige Verbindung zwischen der ersten Verbindungskontaktstelle 316 und der elektrisch leitfähigen Leitung kann beispielsweise durch Aufbringen der ersten Kontaktstelle 316 auf dem ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 (wie in 3A gezeigt ist), durch Löten der ersten Verbindungskontaktstelle 316 auf den ersten Erweiterungsabschnitt und andere geeignete Mittel gebildet sein. Die erste Kontaktstelle 316 kann in verschiedenen Ausführungsformen ein elektrisch leitfähiges Material, z. B. ein Metall oder eine Metalllegierung, enthalten oder wesentlich daraus bestehen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 ferner eine zweite Verbindungskontaktstelle 318 enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann mit der zweiten Verbindungskontaktstelle 318, die auch als Ausgangsverbindungskontaktstelle oder Ausgangskontaktstelle bezeichnet sein kann, elektrisch leitfähig verbunden sein. Eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen der elektrisch leitfähigen Leitung 106 und der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 kann jedoch nicht durch eine seitliche elektrisch leitfähige Verbindung, z. B. eine Verbindung in einer Ebene des dritten Abschnitts 1063 und/oder des ersten Abschnitts 1061, vorgesehen sein. Stattdessen kann eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen der elektrisch leitfähigen Leitung 106 und der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 durch wenigstens einen vertikalen Zwischenverbindungszugang (auch als Durchkontaktierung bezeichnet) vorgesehen sein, siehe 4A und 4B. Die wenigstens eine Durchkontaktierung kann konfiguriert sein, die zweite Verbindungskontaktstelle 318 mit einem Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung 106 zu verbinden, der in einer Ebene, z. B. einer Schicht, der Sensoranordnung 314 gebildet sein kann, die von einer Ebene, z. B. einer Schicht, in der der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung gebildet sein kann, verschieden sein kann. Ein dielektrisches Material kann in einem Isolationsbereich 319 zwischen dem dritten Abschnitt 1063 und der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 angeordnet sein. Die zweite Verbindungskontaktstelle 318 kann ein elektrisch leitfähiges Material, z. B. ein Metall oder eine Metalllegierung, enthalten oder wesentlich daraus bestehen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, wie in 3A gezeigt ist, kann die Sensoranordnung 314 wenigstens eine Sensorleitung 320 enthalten. In dem in 3A gezeigten Beispiel kann die Sensoranordnung 314 vier Sensorleitungen 320 enthalten. Die Sensoranordnung 314 kann jedoch jede Anzahl von Sensorleitungen 320 enthalten. Die wenigstens eine Sensorleitung 320 kann ein elektrisch leitfähiges Material, z. B. ein Metall oder eine Metalllegierung, z. B. Kupfer, enthalten oder wesentlich daraus bestehen. Die wenigstens eine Sensorleitung 320 kann in verschiedenen Ausführungsformen zusammen mit dem ersten Abschnitt 1061 und/oder mit dem dritten Abschnitt 1063 gebildet sein. Die wenigstens eine Sensorleitung 320 kann beispielsweise gebildet sein als ein Abschnitt der Metallschicht, aus der der erste Abschnitt 1061 und/oder andere Abschnitte (z. B. der dritte Abschnitt 1063 und/oder der erste Verbindungsabschnitt 106c1 und/oder der erste Erweiterungsabschnitt 106e1) der elektrisch leitfähigen Leitung 106 gebildet sein können.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 ferner wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 enthalten. Die wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 kann mit der wenigstens eine Sensorleitung 320 elektrisch leitfähig verbunden sein. In einem Fall, wenn die Sensoranordnung 314 mehrere Sensorleitungen 320 aufweist, kann die Sensoranordnung 314 auch mehrere Sensorkontaktstellen 322 aufweisen, und jede Sensorleitung der mehreren Sensorleitungen 320 kann mit einer Sensorkontaktstelle aus den mehreren Sensorkontaktstellen 322 verbunden sein. In dem in 3A gezeigten Beispiel kann die Sensoranordnung 314 vier Sensorkontaktstellen 322 enthalten. Die Sensoranordnung 314 kann jedoch jede Anzahl von Sensorkontaktstellen 322 enthalten. Die wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 kann ein elektrisch leitfähiges Material, z. B. ein Metall oder eine Metalllegierung, z. B. Kupfer, enthalten oder wesentlich daraus bestehen. Die wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 kann in verschiedenen Ausführungsformen zusammen mit der ersten Verbindungskontaktstelle 316 und/oder mit der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 gebildet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Metallschicht, aus der der erste leitfähige Abschnitt 1041 und der dritte leitfähige Abschnitt 1063 strukturiert sein können, z. B. unter Verwendung von Photolithographie, durch Anordnen von dielektrischen Trennbereichen zwischen Abschnitten des elektrisch leitfähigen Materials der ersten Ebene 211, die keinen direkten elektrisch leitfähigen Kontakt haben können. Beispielsweise, wie in 3A und 3B gezeigt ist, kann zwischen dem dritten Abschnitt 1063 und einem Abschnitt der Metallschicht, auf der die zweite Verbindungskontaktstelle 318 angeordnet sein kann, eine Lücke 319 (die durch ein dielektrisches Material, z. B. Luft, ein dielektrisches Oxid, ein dielektrisches Polymer oder Ähnliches gefüllt sein kann) gebildet sein. Ähnlich kann zwischen der wenigstens einen Sensorleitung 320 und jedem aus dem ersten leitenden Abschnitt 1061, dem dritten leitenden Abschnitt und dem ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 wenigstens ein dielektrischer Trennbereich angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann durch Strukturieren der elektrisch leitfähigen Leitung 106, z. B. der elektrisch leitfähigen Schicht, der Sensoranordnung 314 eine Richtung eines elektrischen Stroms 108, der durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließen kann, definiert sein. Der Strom 108 kann somit eine erste Richtung 1081 in dem ersten Abschnitt 1061 aufweisen. Der Strom 108 kann ferner eine dritte Richtung 1083 in dem dritten Abschnitt 1063 aufweisen. Die erste Richtung 1081 und die zweite Richtung 1082 sind durch Pfeile in 3B angegeben. In der in 3B gezeigten Ausführungsform kann die dritte Richtung 1083 im Wesentlichen der ersten Richtung 1081 entgegengesetzt sein. In verschiedenen Ausführungsformen können die dritte Richtung 1083 und die erste Richtung 1081 mit einer unterschiedlichen relativen Orientierung der ersten Richtung 1081 und der dritten Richtung 1083 angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die wenigstens eine Sensorleitung 320 konfiguriert sein, ein Signal zu leiten, beispielsweise ein Rohsignal, das durch das wenigstens eine Sensorelement 104 erzeugt sein kann, und/oder ein verarbeitetes Signal, das beispielsweise ein Verarbeitungsergebnis des Rohsignals, das verarbeitet worden sein kann, z. B. durch den Chip 212, um das verarbeitete Signal zu bilden, enthalten kann, und/oder das Signal kann in einem Fall, wenn die Sensoranordnung 314 mehrere (z. B. vier) Sensorelemente 104 enthält, ein Signal sein, das aus einer Brückenkonfiguration der mehreren Sensorelemente 104 resultiert. In verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Sensorelemente 104 in einer Brückenkonfiguration gekoppelt sein, die ein kumulatives Signal aus den mehreren Sensorelementen 104 bereitstellt.
  • Im Folgenden, wenn nicht ausdrücklich spezifiziert, kann sich der Begriff ”Signal” auf irgendeines aus einem Rohsignal und/oder einem verarbeiteten Signal und/oder einem kumulativen Signal beziehen. In verschiedenen Ausführungsformen kann die wenigstens eine Sensorleitung 320 ferner verwendet werden, um Informationen für das wenigstens eine Sensorelement 104 und/oder den Chip 212 bereitzustellen, beispielsweise Kalibrierungsinformationen, einen Befehl zum Bestimmen eines Typs der gewünschten Ausgabe (z. B. Schalten zwischen dem Rohsignal und dem verarbeiteten Signal), und Ähnliches.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die wenigstens eine Sensorleitung 320 konfiguriert sein, das Signal zwischen jeweils dem wenigstens einen Sensorelement 104 und/oder dem Chip 212 und der wenigstens einen Sensorkontaktstelle 322 zu leiten. Die wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 kann konfiguriert sein, das Signal von außerhalb der Sensoranordnung 314 zugänglich zu machen und optional das Bereitstellen von Informationen zu ermöglichen. Beispielsweise kann die wenigstens eine Sensorkontaktstelle 322 durch eine Einkapselung der Sensoranordnung 314 (hier nicht gezeigt, siehe jedoch 6 für ein Beispiel) unbedeckt gelassen sein und kann von außen elektrisch kontaktiert sein, beispielsweise durch einen Bonddraht, z. B. einen Kupferbonddraht, oder andere bekannte Mittel zum Kontaktieren von außen.
  • 4A und 4B zeigen perspektivische Ansichten einer Sensoranordnung 314 gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die Sensoranordnung 314 kann die Sensoranordnung von 3A und 3B sein, die eine oder mehrere Ebenen, z. B. Schichten, aufweist, die zum Darstellen einer oder mehrerer Ebenen der Sensoranordnung 314 entfernt sind, die andernfalls wenigstens teilweise durch die entfernte Schicht bedeckt wären.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 der Sensoranordnung 314 einen zweiten Abschnitt 1062 und einen vierten Abschnitt 1064 enthalten. Die elektrisch leitfähige Leitung 106 kann ferner einen zweiten Verbindungsabschnitt 106c2, der den zweiten Abschnitt 1062 mit dem vierten Abschnitt 1064 leitfähig verbindet, und/oder einen zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2 enthalten.
  • Der zweite Abschnitt 1062 kann unterhalb des ersten Sensorelements 1041 angeordnet sein. Der vierte Abschnitt 1064 kann unterhalb des zweiten Sensorelements 1042 angeordnet sein.
  • Der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann unterhalb des ersten Sensorelements 1041 im Wesentlichen wie im Kontext mit 2 beschrieben angeordnet sein. Der zweite Abschnitt 1062 kann so betrachtet werden, dass er auf einer zweiten Seite des ersten Sensorelements 1041 angeordnet ist. Eine Längsachse des zweiten Abschnitts 1062 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen dieselbe Richtung wie eine Längsachse des ersten Sensorelements 1041 aufweisen. In der Ausführungsform, wie sie in 3A gezeigt ist, können sowohl das erste Sensorelement 1041 als auch der zweite Abschnitt 1062 ihre Längsachsen so aufweisen, dass sie sich im Wesentlich in einer Richtung von oben rechts nach unten links erstrecken. Ähnlich kann der vierte Abschnitt 1064 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 im Wesentlichen unterhalb des zweiten Sensorelements 1042 angeordnet sein, wie im Kontext mit der Anordnung des zweiten Abschnitts 1062 in Bezug auf das wenigstens eine Sensorelement 104 in 2 beschrieben ist. Der vierte Abschnitt 1064 kann so betrachtet werden, dass er auf einer zweiten Seite des zweiten Sensorelements 1042 angeordnet ist. Eine Längsachse des vierten Abschnitts 1064 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen dieselbe Richtung aufweisen wie eine Längsachse des zweiten Sensorelements 1042. In der Ausführungsform, wie sie in 3A gezeigt ist, können sowohl das zweite Sensorelement 1042 als auch der vierte Abschnitt 1064 ihre Längsachsen so aufweisen, dass sie sich im Wesentlich in einer Richtung von oben rechts nach unten links erstrecken. Der zweite Abschnitt 1062 und der vierte Abschnitt 1064 können durch den zweiten Verbindungsabschnitt 106c2 elektrisch leitfähig verbunden sein. In der Ausführungsform von 3A kann sich der zweite Verbindungsabschnitt 106c2 von dem zweiten Abschnitt 1062 zu dem vierten Abschnitt 1064 erstrecken. Eine Längsachse des zweiten Verbindungsabschnitts 106c2 kann in verschiedenen Ausführungsformen im Wesentlichen in einem rechten Winkel zu der Längsachse des ersten Sensorelements 1041 und/oder des zweiten Sensorelements 1042 sein. In anderen Ausführungsformen kann ein Winkel zwischen jeweils der Längsachse des ersten Verbindungsabschnitts 106c1 und der Längsachse des ersten Sensorelements 1041 und/oder des zweiten Sensorelements 1042 unterschiedlich sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der zweite Abschnitt 1062 und der vierte Abschnitt 1064 auf einer gemeinsamen zweiten Ebene 213 angeordnet sein, z. B. der zweiten Ebene 213, wie mit Bezug auf 2 beschrieben ist. Darüber hinaus können der zweite Erweiterungsabschnitt 106e2 und/oder der zweite Verbindungsabschnitt 106c2 Teil der zweiten Ebene 213 sein. In verschiedenen Ausführungsformen können der zweite Abschnitt 1062, der vierte Abschnitt 1064 und optional der zweite Verbindungsabschnitt 106c2 und/oder der zweite Erweiterungsabschnitt 106e2 in einem gemeinsamen Prozess gebildet sein. Beispielsweise kann eine strukturierte Metallschicht, die den zweiten Abschnitt 1062, den vierten Abschnitt 1064 und optional den zweiten Verbindungsabschnitt 106c2 und/oder den zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2 enthält, gebildet sein, z. B. durch Abscheidung, z. B. strukturierte Abscheidung oder Abscheidung gefolgt durch Strukturierung, z. B. unter Verwendung von Photolithographie und teilweisem Entfernen der Metallschicht.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der zweite Abschnitt 1062 und optional der vierte Abschnitt 1064, der zweite Verbindungsabschnitt 106c2, der zweite Erweiterungsabschnitt 106e2 usw. auf einem Träger 326 gebildet sein. Der Träger 326 kann jeden geeigneten Träger 326 enthalten oder wesentlich daraus bestehen, beispielsweise ein starres Substrat, z. B. ein Halbleitersubstrat, oder ein Träger, der Keramik, ein oder mehrere Polymere, ein Metall, oder eine Kombination daraus enthält oder daraus besteht. In einem Fall, wenn der Träger 326 ein elektrisch leitfähiges Material enthält oder wesentlich daraus besteht, kann ein isolierendes Material, z. B. eine dielektrische Schicht, wenigstens teilweise zwischen dem Träger 326 und elektrisch leitfähigen Abschnitten angeordnet sein, die auf dem Träger 326 angeordnet sind, z. B. dem zweiten Abschnitt 1062. dem vierten Abschnitt 1064 usw.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Metallschicht, aus der der erste leitfähige Abschnitt 1041 und der dritte leitfähige Abschnitt 1063 strukturiert sein können, z. B. unter Verwendung von Photolithographie, durch Anordnen von dielektrischen Trennbereichen zwischen Abschnitten des elektrisch leitfähigen Materials der ersten Ebene 211, die keinen direkten elektrisch leitfähigen Kontakt haben können. Beispielsweise, wie in 3A und 3B gezeigt ist, kann zwischen dem dritten Abschnitt 1063 und einem Abschnitt der Metallschicht, auf der die zweite Verbindungskontaktstelle 318 angeordnet sein kann, ein Spalt 319 (der durch ein dielektrisches Material, z. B. Luft, ein dielektrisches Oxid, ein dielektrisches Polymer oder Ähnliches gefüllt sein kann) gebildet sein. Ähnlich kann zwischen der wenigstens einen Sensorleitung 320 und jedem aus dem ersten leitenden Abschnitt 1061, dem dritten leitenden Abschnitt und dem ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 wenigstens ein dielektrischer Trennbereich angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann durch Strukturieren der elektrisch leitfähigen Leitung 106, z. B. der elektrisch leitfähigen Schicht, der Sensoranordnung 314 eine Richtung eines elektrischen Stroms 108, der durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließen kann, definiert sein. Der Strom 108 kann somit eine erste Richtung 1081 in dem ersten Abschnitt 1061 aufweisen. Der Strom 108 kann ferner eine dritte Richtung 1083 in dem dritten Abschnitt 1063 aufweisen. Die erste Richtung 1081 und die zweite Richtung 1082 sind durch Pfeile in 3B angegeben. In der in 3B gezeigten Ausführungsform kann die dritte Richtung 1083 im Wesentlichen der ersten Richtung 1081 entgegengesetzt sein. In anderen Ausführungsformen können die dritte Richtung 1083 und die erste Richtung 1081 mit einer unterschiedlichen relativen Orientierung der ersten Richtung 1081 und der dritten Richtung 1083 angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, unter Verallgemeinerung des beispielhaften Falls, der in 3A, 3B, 4A und 4B gezeigt ist, der mehreren Sensorelemente 104, die zwei Sensorelemente 1041, 1042 zeigen, zu einem Fall der mehreren Sensorelemente 104, die n Sensorelemente 1041, ..., 104n enthalten, wobei n eine Ganzzahl gleich oder größer als zwei ist, kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 um jedes Sensorelement 1041, ..., 104n aus den mehreren n Sensorelementen 1041, ..., 104n angeordnet sein, so dass ein (2 × n – 1)-ter Abschnitt 106(2n – 1) der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf einer ersten Seite eines n-ten Sensorelements 104n aus den mehreren n Sensorelementen angeordnet sein kann, und so dass ein (2 × n)-ter Abschnitt 106(2n) der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf einer zweiten Seite entgegengesetzt der ersten Seite des n-ten Sensorelements 104n auf eine Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom 108 durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließt, der Strom eine (2 × n – 1)-te Richtung 108(2n – 1) in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt 106(2n – 1) und eine (2 × n)-te Richtung 108(2n) entgegengesetzt der (2 × n – 1)-ten Richtung 108(2n – 1) in dem (2 × n)-ten Abschnitt 106(2n) aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt 106(2n – 1) erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n)-ten Abschnitt 106(2n) erzeugt wird, konstruktiv an einer Position des n-ten Sensorelements 104n addieren.
  • Für den in 3A, 3B, 4A und 4B gezeigten beispielhaften Fall von n = 2 kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 um jedes Sensorelement 1041, 1042 der Mehrzahl von zwei Sensorelementen 1041, 1042 angeordnet sein, so dass ein dritter Abschnitt 1063 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf einer ersten Seite des zweiten Sensorelements 1042 der Mehrzahl von zwei Sensorelemente angeordnet sein kann, und so dass ein vierter Abschnitt 1064 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf einer zweiten Seite entgegengesetzt der ersten Seite des zweiten Sensorelements 1042 auf eine Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom 108 durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließt, der Strom eine dritte Richtung 1083 in dem dritten Abschnitt 1063 und eine vierte Richtung 1084 entgegengesetzt der dritten Richtung 1083 in dem 4. Abschnitt 1064 aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem dritten Abschnitt 1063 erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem vierten Abschnitt 1064 erzeugt wird, konstruktiv an einer Position des zweiten Sensorelements 1042 addieren.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der erste Abschnitt 1061 und/oder der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 Teil wenigstens einer elektrisch leitfähigen Schicht sein, beispielsweise von zwei unterschiedlichen elektrisch leitfähigen Schichten. In verschiedenen Ausführungsformen können der (2 × n – 1)-te Abschnitt 106(2n – 1) und/oder der (2 × n)-te Abschnitt 106(2n) der elektrisch leitfähigen Leitung 106 Teil wenigstens einer elektrisch leitfähigen Schicht sein, beispielsweise von zwei unterschiedlichen elektrisch leitfähigen Schichten. In verschiedenen Ausführungsformen können der erste Abschnitt 1061 und der (2 × n – 1)-te Abschnitt 106(2n – 1) Teil derselben elektrisch leitfähigen Schicht sein. In verschiedenen Ausführungsformen können der zweite Abschnitt 1062 und der (2 × n)-te Abschnitt 106(2n) Teil derselben elektrisch leitfähigen Schicht sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 eine elektrisch leitfähige Verbindung enthalten, die den wenigstens einen Abschnitt (z. B. den dritten Abschnitt 1063 in 3A und 3B, in 2 wäre dies der erste Abschnitt 1061, obwohl die elektrisch leitfähige Verbindung dort nicht gezeigt ist) der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein kann, mit dem wenigstens einen Abschnitt (z. B. dem vierten Abschnitt 1064 in 4A und 4B, in 2 wäre dies der zweite Abschnitt 1062, obwohl die elektrisch leitfähige Verbindung dort nicht gezeigt ist) der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein kann, physikalisch und elektrisch verbindet.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 eine elektrisch leitfähige Verbindung 430 zwischen der ersten Ebene 211 und der zweiten Ebene 213 enthalten. Die elektrisch leitfähige Verbindung 430 kann wenigstens einen Abschnitt, z. B. den dritten Abschnitt 1063, der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der in der ersten Ebene 211 angeordnet ist, mit wenigstens einem Abschnitt, z. B. dem vierten Abschnitt 1064, der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der in der zweiten Ebene 213 angeordnet ist, physikalisch und elektrisch verbinden.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Verbindung 430 eine Durchkontaktierung sein. Mit anderen Worten kann die elektrisch leitfähige Leitung wenigstens eine elektrisch leitfähige Verbindung 430 enthalten, z. B. wenigstens eine Durchkontaktierung, die den wenigstens einen Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 mit dem wenigstens einen Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 elektrisch verbindet. In der in 3A, 3B, 4A und 4B gezeigten Ausführungsform kann die Durchkontaktierung eine physikalische und elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem dritten Abschnitt 1063 der elektrisch leitfähigen Leitung 1063, die Teil einer ersten Ebene 211 sein kann, und dem vierten Abschnitt 1064 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der Teil einer zweiten Ebene 213 sein kann, bereitstellen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, Bezug nehmend auf die vorstehend verwendete verallgemeinerte Beschreibung der Anordnung, kann eine physikalische und elektrisch leitfähige Verbindung (z. B. eine Durchkontaktierung) zwischen dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt 106(2n – 1) und dem (2 × n)-ten Abschnitt 106(2n) der elektrisch leitfähigen Leitung 106 bereitgestellt sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, z. B. in einem Fall, wenn die Sensoranordnung nur ein Sensorelement 104 enthält, kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 wenigstens eine elektrisch leitfähige Verbindung 430 enthalten, die den ersten Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung mit dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 elektrisch verbindet.
  • Ein Bezug auf verschiedene Abschnitte der elektrisch leitfähigen Leitung 106 als ersten Abschnitt 1061, zweiten Abschnitt 1062, usw., und darauf, welcher Abschnitt mit welchem anderen Abschnitt durch die elektrisch leitfähige Verbindung 430 verbunden sein kann, kann nur als eine Konvention betrachtet werden zum Beschreiben eines Prinzips zum Formen und/oder Anordnen der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf eine solche Weise um das wenigstens eine Sensorelement 104, dass der Strom 108 in Bereichen, in denen die elektrisch leitfähige Leitung 106 auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 sein kann, in die erste Richtung 1081 fließen kann, und in Bereichen, in denen die elektrisch leitfähige Leitung 106 auf der zweiten Seite entgegengesetzt der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 sein kann, in die zweite Richtung 1082 fließen kann. In verschiedenen Ausführungsformen kann diese Anordnung erfordern, dass der Strom 108 von einer ersten Ebene 211, die auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 gebildet ist, zu einer zweiten Ebene 213, die auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 gebildet ist, wechselt (z. B. wenigstens einmal). Das Wechseln (mit anderen Worten der elektrisch leitfähige Durchgang) von der ersten Ebene 211 zu der zweiten Ebene 213 kann durch die elektrisch leitfähige Verbindung 430 bereitgestellt sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, beispielsweise falls das wenigstens eine Sensorelement 104 mehrere Sensorelemente 104 enthält, kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 so betrachtet werden, dass sie eine erste Schleife (z. B. in der ersten Ebene), wobei der Strom 108 in die erste Richtung (z. B. eine erste Drehrichtung) fließt, und eine zweite Schleife (z. B. in der zweiten Ebene), in der der Strom 108 in die entgegengesetzte Richtung (z. B. eine Gegendrehrichtung) fließen kann, bildet. Mit anderen Worten kann die elektrisch leitfähige Leitung 106 zwei elektrisch verbundene Schleifen, z. B. seitliche Schliefen, mit einem in Gegenrichtung fließenden Strom 108 enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die wenigstens eine elektrisch leitfähige Verbindung, z. B. eine Durchkontaktierung, 430 mehrere elektrisch leitfähige Verbindungen 430 enthalten (wie in 4A und 4B gezeigt ist), beispielsweise zum Durchleiten eines größeren Stroms 108.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung, z. B. eine Durchkontaktierung, 432, z. B. mehrere weitere elektrisch leitfähige Verbindungen 432, in der Sensoranordnung 314 bereitgestellt sein. Durch Vergleichen von 4A und/oder 4B mit 3A und/oder 3B ist zu erkennen, dass die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung 432 eine elektrisch leitfähige Verbindung zwischen dem zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2 und der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 bereitstellen kann. In verschiedenen Ausführungsformen kann dieses ermöglichen, die erste Verbindungskontaktstelle 316 (z. B. um den Strom 108 in die Sensoranordnung 314 eintreten zu lassen) auf derselben Seite der Sensoranordnung 314 wie die zweite Verbindungskontaktstelle 318 (z. B. um den Strom 108 aus Sensoranordnung 314 austreten zu lassen) aufzuweisen. In verschiedenen Ausführungsformen kann die zweite Verbindungskontaktstelle 318 auf einer anderen Seite der Sensoranordnung 314 als die erste Verbindungskontaktstelle 316 angeordnet sein. In diesem Fall kann die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung 432 nicht erforderlich sein, oder sie kann angeordnet sein, dass sie die elektrisch leitfähige Leitung 106, z. B. den zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2, mit der zweiten Verbindungskontaktstelle 318, die sich im Wesentlichen irgendwo auf der Sensoranordnung 314 befindet, z. B. auf einer Seite der Sensoranordnung 314 entgegengesetzt der Seite der Sensoranordnung 314, auf der die erste Verbindungskontaktstelle angeordnet sein kann, verbindet.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung 432 mehrere elektrisch leitfähige Verbindungen 432 enthalten (wie in 4A und 4B gezeigt ist), beispielsweise zum Durchleiten eines höheren Stroms.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 eine elektrisch leitfähige Sensorverbindung 436 enthalten, beispielsweise eine Durchkontaktierung, zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und der wenigstens einen Sensorleitung 320. Die elektrisch leitfähige Sensorverbindung 436 kann das wenigstens eine Sensorelement 104 mit der wenigstens einen Sensorleitung 320 physikalisch und elektrisch verbinden. In verschiedenen Ausführungsformen kann jedes Sensorelement 104 aus mehreren Sensorelementen 104 mit der wenigstens einen Sensorleitung 320 durch wenigstens eine aus der wenigstens einen elektrisch leitfähigen Sensorverbindung 436 verbunden sein. Die elektrisch leitfähige Sensorverbindung 436 kann mehrere Durchkontaktierungen 436 für jedes Sensorelement 104 enthalten (z. B. wie in 4A und 4B gezeigt ist).
  • In verschiedenen Ausführungsformen können die wenigstens eine leitfähige Verbindung 430 und/oder die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung 432 und/oder die wenigstens eine elektrisch leitfähige Sensorverbindung 436 durch einen Prozess gebildet sein, der zum Bilden von Durchkontaktierungen bekannt ist, z. B. durch Bilden einer Öffnung in einem isolierenden Material (in 4A und 4B ist kein isolierendes Material gezeigt, siehe jedoch z. B. 3A und/oder 4B, in denen ein isolierendes Material 330, das wenigstens den ersten Abschnitt 1061, den zweiten Abschnitt 1062 und das erste Sensorelement 1041 seitlich voneinander elektrisch isolieren kann (und ähnlich den dritten Abschnitt 1063, den vierten Abschnitt 1064 und das zweiten Sensorelement 1042) gezeigt ist) und Beschichten von Seitenwänden der Öffnung mit einem elektrisch leitfähigen Material und/oder Füllen der Öffnung wenigstens teilweise mit einem elektrisch leitfähigen Material. Das elektrisch leitfähige Material kann beispielsweise ein Metall oder eine Metalllegierung enthalten.
  • Das elektrisch isolierende Material 330 kann beispielsweise ein Polymer, z. B. ein Harz, und/oder Keramik und/oder irgendein anderes geeignetes elektrisch isolierendes Material enthalten oder wesentlich daraus bestehen. Das elektrisch isolierende Material 330 kann beispielsweise ein Laminat enthalten oder wesentlich daraus bestehen. Das elektrisch isolierende Material 330 kann beispielsweise eine Platine sein oder enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement 104 innerhalb des elektrisch isolierenden Materials 330 angeordnet sein. Das wenigstens eine Sensorelement 104 kann beispielsweise durch das elektrisch isolierende Material 330 im Wesentlichen vollständig umgeben, z. B. eingeschlossen, sein. In verschiedenen Ausführungsformen kann das isolierende Material 330 ein Laminat sein, das mehrere Laminatschichten enthält, und das wenigstens eine Sensorelement 104 kann zwischen zwei der Laminatschichten angeordnet sein. In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement 140, z. B. das wenigstens eine XMR-Sensorelement, ein darauf gebildetes isolierendes Material 330 aufweisen, beispielsweise eine Oxidschicht, eine Nitridschicht, eine Polymerschicht oder Ähnliches, und das wenigstens eine isolierte Sensorelement 104 kann zwischen Schichten angeordnet, z. B. laminiert, sein, die wenigstens teilweise die elektrisch leitfähige Schaltung 106 enthalten. Die Schichten können beispielsweise Teil der ersten Ebene 211 bzw. der zweiten Ebene 213 sein. Die Schichten können beispielsweise Kupferleitungen, auch als Kupferleiterbahnen, Kupferbahnen, Kupferleiter aus Kupferschaltungen bezeichnet werden, enthalten. In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement 104 durch das elektrisch isolierende Material 330 nur teilweise umgeben, z. B. eingeschlossen, sein. Beispielsweise kann das elektrisch isolierende Material 330 nur auf oder über Bereichen des wenigstens einen Sensorelements 104, z. B. dem Chip 212 mit dem wenigstens einen Sensorelement 104, gebildet sein, an denen das wenigstens eine Sensorelement 104 elektrisch von benachbarten elektrisch leitfähigen Abschnitten der Sensoranordnung 314 getrennt sein muss.
  • 5 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung 314 gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die Sensoranordnung 314 kann die Sensoranordnung von 3A bis 4B sein.
  • 5 kann sich von 3A darin unterscheiden, dass eine Richtung angegeben ist (durch einen Pfeil 540), in der der Strom 108 von dem zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, die beispielsweise Kupferbahnen enthalten oder aus ihnen bestehen kann, zu der zweiten Kontaktstelle 318, z. B. im Wesentlichen vertikal durch die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung 432 fließen kann.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der Strom 108, bevor er die Sensoranordnung 314 verlässt, durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 geflossen sein, die beispielsweise Kupferbahnen enthält oder daraus besteht, beispielsweise in der zweiten Ebene 213, beispielsweise entlang dem vierten Abschnitt 1064, dem zweiten Verbindungsabschnitt 106c2, dem zweiten Abschnitt 1062, dem zweiten Erweiterungsabschnitt 106e2 und der elektrisch leitfähigen Verbindung 430 der elektrisch leitfähigen Leitung 106.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung 314 in einer Schaltungsanordnung enthalten sein, siehe z. B. 8.
  • 6 zeigt eine perspektivische Ansicht einer Sensoranordnung 650 gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die Sensoranordnung 650 kann die Sensoranordnung 314 von 3A bis 5 enthalten. Eigenschaften, Parameter, Materialien, Verfahren usw. können somit nicht wiederholt sein.
  • Die Sensoranordnung 650 von 6 kann sich von der Sensoranordnung 314, die z. B. in 5 gezeigt ist, darin unterscheiden, dass die Sensoranordnung 314, die in 6 gezeigt ist, eine Einkapselung 646, 648 enthalten kann. Die Einkapselung 646, 648 kann wenigstens teilweise, beispielsweise im Wesentlichen vollständig, z. B. vollständig außer den Kontaktstellen 316, 318, 320, eine Sensoranordnung 314 gemäß verschiedenen Ausführungsformen einkapseln.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Einkapselung 646, 648 gebildet sein, so dass sie Eigenschaften aufweist, die typischerweise durch eine Einkapselung bereitgestellt sind, z. B. mechanischer Schutz, Schutz vor Feuchtigkeit, Flüssigkeiten, Staub und/oder Ähnlichem. In verschiedenen Ausführungsformen kann die Einkapselung 646, 648 unter Verwendung eines oder mehrerer Materialien aus bekannten Einkapselungsmaterialien, z. B. eines Polymers, einer Keramik, eines Glases oder Ähnlichem, gebildet sein. Das Einkapselungsmaterial kann in verschiedenen Ausführungsformen auf alle Seiten der Sensoranordnung 314 aufgebracht sein. Alternativ kann das Einkapselungsmaterial in verschiedenen Ausführungsformen auf zwei oder mehrere, z. B. alle, Seiten der Sensoranordnung 314 aufgebracht sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann eine Dicke der Einkapselung 646, 648 in einem Bereich von etwa 1 μm bis etwa 2 mm, beispielsweise von etwa 100 μm bis etwa 1 mm sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die eingekapselte Sensoranordnung 650 konfiguriert sein, um, z. B. durch einen Anwender, z. B. einen Endanwender, in verschiedene Umgebungen, Schaltungen und Ähnliches integriert zu sein. Mit anderen Worten kann die eingekapselte Sensoranordnung 650 als eine individuelle aufgenommene Sensoranordnung betrachtet werden, die auch als eine ”eigenständige” Sensoranordnung bezeichnet sein kann. Eine Integration einer solchen individuellen aufgenommenen Sensoranordnung in eine Schaltung kann durch den Anwender ausgeführt sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen, beispielsweise in einem Fall, wenn die Einkapselung 646, 648 mechanische Stabilität für die Sensoranordnung zur Verfügung stellen kann, kann das wenigstens eine Sensorelement 104 als in einen Sensorkörper eingebettet betrachtet werden. Mit anderen Worten kann die Einkapselung 646, 648 den Sensorkörper bilden.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 über einer ersten Seite des Sensorkörpers gebildet sein, und der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 kann über einer zweiten Seite des Sensorkörpers entgegengesetzt der ersten Seite des Sensorkörpers gebildet sein.
  • 7 zeigt eine schematische Querschnittsansicht einer Sensoranordnung 752 gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • Die Sensoranordnung gemäß der Ansicht 201a von 2 kann betrachtet werden, dass sie eine Basis für die Sensoranordnung 752 von 7 bildet, und ihre Elemente, Eigenschaften usw. können hier nicht wiederholt sein. Die Sensoranordnung 752 kann ferner einen weiteren ersten Abschnitt 1061F und einen weiteren zweiten Abschnitt 1062F der elektrisch leitfähigen Leitung 106 enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können die Prinzipien, Materialien und Ähnliches der in 7 gezeigten Sensoranordnung 752 im Wesentlichen dieselben sein wie für die in Ansicht 201a von 2 gezeigte Sensoranordnung.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der weitere erste Abschnitt 1061F der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf derselben Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein wie der erste Abschnitt 1061 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, d. h. auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der weitere zweite Abschnitt 1062F der elektrisch leitfähigen Leitung 106 auf derselben Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet sein wie der zweite Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106, d. h. auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können der weitere erste Abschnitt 1061F und der weitere zweite Abschnitt 1062F der elektrisch leitfähigen Leitung 106 gemäß den Prinzipien, die vorstehend im Kontext mit dem ersten Abschnitt 1061 und dem zweiten Abschnitt 1062 der elektrisch leitfähigen Leitung 106 umrissen sind, angeordnet sein. Als eine Folge kann das erste weitere Magnetfeld 1101F, das durch den Strom 108 erzeugt sein kann, der konfiguriert sein kann, um in dem weiteren ersten Abschnitt 1061F zu fließen, wenigstens konstruktiv zum Teil das zweite weitere Magnetfeld überlagern, mit anderen Worten sich wenigstens teilweise konstruktiv zu dem zweiten weiteren Magnetfeld 1102F addieren, das durch den Strom 108 erzeugt sein kann, der konfiguriert sein kann, um in dem weiteren zweiten Abschnitt 1062 zu fließen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der Strom 108 in dem weiteren ersten Abschnitt 1061F im Wesentlichen dieselbe Richtung 1081 aufweisen wie der Strom 108 in dem ersten Abschnitt 1061, und der Strom 108 in dem weiteren zweiten Abschnitt 1062F kann im Wesentlichen dieselbe Richtung 1082 aufweisen wie der Strom 108 in dem zweiten Abschnitt 1062.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Magnetfeld des weiteren ersten Abschnitts 1101F im Wesentlichen dieselbe Richtung an dem Abfühlabschnitt 104s aufweisen wie das Magnetfeld 1101 des ersten Abschnitts 1061 und kann an dem Abfühlabschnitt 104s im Wesentlichen dieselbe Richtung aufweisen wie das Magnetfeld 1102 des zweiten Abschnitts 1062. Mit anderen Worten können sich das erste weitere Magnetfeld 1101F und das zweite weitere Magnetfeld 1102F konstruktiv an dem Abfühlabschnitt 104s des wenigstens einen Sensorelements 104 addieren. Das erste weitere Magnetfeld 1101F und das zweite weitere Magnetfeld 1102F können ein Signal in dem wenigstens einen Sensorelement 104 verursachen, das höher sein kann als das Signal ohne das erste weitere Magnetfeld 1101F und das zweite weitere Magnetfeld 1102F.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung (nicht gezeigt), z. B. wenigstens eine weitere Durchkontaktierung, zum elektrischen Verbinden des weiteren ersten Abschnitts 1061F und/oder des weiteren zweiten Abschnitts 1062F mit wenigstens einem weiteren Abschnitt (z. B. mit dem ersten Abschnitt 1061, dem zweiten Abschnitt 1062 oder dem ersten Erweiterungsabschnitt 106e1 usw.) bereitgestellt sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann der weitere erste Abschnitt 1061F Teil einer ersten weiteren Ebene 211F sein, und/oder der weitere zweite Abschnitt 1062F kann Teil einer zweiten weiteren Ebene 213F sein. Die wenigstens eine weitere elektrisch leitfähige Verbindung, z. B. die wenigstens eine weitere Durchkontaktierung, kann konfiguriert sein, um den weiteren ersten Abschnitt 1061F in der ersten weiteren Ebene 211F mit dem weiteren zweiten Abschnitt 1062F in der zweiten weiteren Ebene 213F elektrisch zu verbinden.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann ein Abstand D1F zwischen dem weiteren ersten Abschnitt 1061F und dem wenigstens einen Sensor 104 größer sein als der Abstand D1 zwischen dem ersten Abschnitt 1061 und dem wenigstens einen Sensor 104. Ein Abstand D2F zwischen dem weiteren zweiten Abschnitt 1062F und dem wenigstens einen Sensor 104 kann größer sein als der Abstand D2 zwischen dem zweiten Abschnitt 1062 und dem wenigstens einen Sensor 104. Als eine Folge kann der erste Abschnitt 1061 zwischen dem weiteren ersten Abschnitt 1061F und dem wenigstens einen Sensor 104 angeordnet sein, und der zweite Abschnitt 1062 kann zwischen dem weiteren zweiten Abschnitt 1062F und dem wenigstens einen Sensor 104 angeordnet sein.
  • Mit anderen Worten kann in verschiedenen Ausführungsformen die Sensoranordnung 752 ferner einen weiteren ersten Abschnitt 1061F der elektrisch leitfähigen Leitung 106 enthalten, der auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 angeordnet ist, und einen weiteren zweiten Abschnitt 1062F der elektrisch leitfähigen Leitung 106, der auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 auf eine Weise angeordnet ist, dass, falls ein Strom 108 durch die elektrisch leitfähige Leitung 106 fließt, der Strom 108 die erste Richtung 1081 in dem weiteren ersten Abschnitt 1061F und die zweite Richtung 1082 in dem weiteren zweiten Abschnitt 1062F aufweist, wobei der erste Abschnitt 1061 zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und dem weiteren ersten Abschnitt 1061F angeordnet sein kann, und der zweite Abschnitt 1062 zwischen dem wenigstens einen Sensorelement 104 und dem weiteren zweiten Abschnitt 1062 angeordnet sein kann.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können auf eine ähnliche Weise wie hier gezeigt weitere Abschnitte hinzugefügt sein, z. B. auf der ersten Seite und der zweiten Seite des zweiten Sensors 1042, usw. (nicht gezeigt). Darüber hinaus können in verschiedenen Ausführungsformen zusätzliche weitere Abschnitte auf der ersten Seite und auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements 104 mit sukzessive ansteigenden Abständen von dem wenigstens einen Sensorelement 104 hinzugefügt sein. Die Stärke des Magnetfelds kann jedoch mit zunehmender Entfernung abnehmen. Als eine Folge können die Abschnitte mit sukzessive höheren Abständen sukzessive kleinere Beiträge zu dem Signal, das in dem Abfühlabschnitt 104s des wenigstens eine Sensorelements 104 gebildet wird, beitragen.
  • 8 zeigt eine schematische Darstellung einer Schaltungsanordnung 860 gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Schaltungsanordnung 860 einen Träger 862, eine Halbleitervorrichtung 864, eine Sensoranordnung in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen, beispielsweise die Sensoranordnung 314 oder 752 wie vorstehend beschrieben, eine elektrisch leitfähige Eingangsleitung 866i, eine elektrisch leitfähige Ausgangsleitung 8660 und wenigstens eine elektrisch leitfähige äußere Sensorleitung 866s enthalten.
  • Der Träger 862 kann jede Art von geeignetem Träger sein, beispielsweise eine Platine, z. B. eine Leiterplatte, oder ein Halbleiterträger.
  • Die Halbleitervorrichtung 864 kann jede Art von geeigneter Halbleitervorrichtung 864 sein, beispielsweise eine Halbleitervorrichtung 864, die einen Strom erfordert, der detektiert und/oder gemessen werden soll, beispielsweise ein Transistor, beispielsweise ein Leistungstransistor.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können die Sensoranordnung 314, 752 und die Halbleitervorrichtung 864 auf dem Träger 862 angeordnet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können die Sensoranordnung 314, 752 und die Halbleitervorrichtung 864 durch die elektrisch leitfähige Eingangsleitung 866i und die elektrisch leitfähige Ausgangsleitung 8660 elektrisch verbunden sein. Der Strom, der detektiert und/oder gemessen werden soll, kann durch die elektrisch leitfähige Eingangsleitung 866i, die elektrisch leitfähige Leitung 106 der Sensoranordnung 314, 752 und die elektrisch leitfähige Ausgangsleitung 8660 fließen. Die elektrisch leitfähige Eingangsleitung 866i kann mit der ersten Verbindungskontaktstelle 316 elektrisch leitfähige verbunden sein, beispielsweise wie vorstehend beschrieben. Die elektrisch leitfähige Ausgangsleitung 8660 kann mit der zweiten Verbindungskontaktstelle 318 elektrisch leitfähig verbunden sein, beispielsweise wie vorstehend beschrieben.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann ein Signal, das in wenigstens einem Sensorelement 104 der Sensoranordnung 314, 752 wie vorstehend beschrieben erzeugt wird, durch die wenigstens eine elektrisch leitfähige äußere Sensorleitung 866s gesendet werden, z. B. zu der Halbleitervorrichtung 864. In verschiedenen Ausführungsformen können mehrere elektrisch leitfähige äußere Sensorleitungen 866s vorgesehen sein, beispielsweise eine elektrisch leitfähige äußere Sensorleitung 866s für jedes Sensorelement 104 aus dem wenigstens einen Sensorelement 104.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können weitere Sensorelemente, z. B. eine Temperaturelement, in der Schaltungsanordnung 860 enthalten sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Schaltungsanordnung 860 weitere Halbleitervorrichtungen enthalten.
  • Mit anderen Worten kann in verschiedenen Ausführungsformen die Sensoranordnung 314, 752 Teil einer multifunktionalen Platine sein.
  • 9 zeigt eine schematische Darstellung 900 eines Verfahrens zum Bilden einer Sensoranordnung in Übereinstimmung mit verschiedenen Ausführungsformen.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren zum Bilden der Sensoranordnung das Bilden eines ersten Abschnitts einer elektrisch leitfähigen Leitung auf einer ersten Seite wenigstens eines Sensorelements, wobei das wenigstens eine Sensorelement zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist (in 910), und Bilden eines zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements entgegengesetzt der erste Seite des wenigstens einen Sensorelements enthalten, wobei der erste Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf eine Weise relativ zu dem wenigstens einen Sensorelement angeordnet sein können, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine erste Richtung in dem ersten Abschnitt und eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung in dem zweiten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise konstruktiv an dem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements addieren können (in 920).
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner das Einbetten des wenigstens einen Sensorelements in einen Sensorkörper enthalten, beispielsweise Laminieren des wenigstens einen Sensorelements in den Sensorkörper.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Anordnen des ersten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung und/oder das Anordnen des zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung das Bilden einer elektrisch leitfähigen Schicht enthalten. Das Bilden der elektrisch leitfähigen Schicht kann beispielsweise Abscheiden und/oder Galvanisieren enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner das Bilden, als Teil der elektrisch leitfähigen Leitung, einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und dem zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung enthalten.
  • Die elektrisch leitfähige Verbindung kann beispielsweise als eine Durchkontaktierung gebildet sei, beispielsweise durch Bilden einer Öffnung, z. B. in einem Sensorkörper, beispielsweise von einer ersten Seite oder von einer zweiten Seite des Sensorkörpers zu dem wenigstens einen Sensorelement, und durch Beschichten und/oder Füllen der Öffnung mit einem elektrisch leitfähigen Material, z. B. einem Metall oder einer Metalllegierung.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann eine Sensoranordnung bereitgestellt sein. Die Sensoranordnung kann wenigstens ein Sensorelement, das eine erste Seite und eine zweite Seite gegenüber der ersten Seite aufweist und zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist; und eine elektrisch leitfähige Leitung enthalten, wobei ein erster Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet sein kann und ein zweiter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine solche Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine erste Richtung in dem ersten Abschnitt und eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung in dem zweiten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise an einem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements konstruktiv addieren können.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement in einen Sensorkörper eingebettet sein, der erste Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung kann über einer ersten Seite des Sensorkörpers gebildet sein und der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung kann über einer zweiten Seite des Sensorkörpers entgegengesetzt der ersten Seite des Sensorkörpers gebildet sein.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die Sensoranordnung ferner einen weiteren ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung enthalten, der auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet ist, und einen weiteren zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung, der auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine Weise angeordnet ist, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom die erste Richtung in dem weiteren ersten Abschnitt und die zweite Richtung in dem weiteren zweiten Abschnitt aufweist, wobei der erste Abschnitt zwischen dem wenigstens einen Sensorelement und dem weiteren ersten Abschnitt angeordnet ist, und der zweite Abschnitt zwischen dem wenigstens einen Sensorelement und dem weiteren zweiten Abschnitt angeordnet ist.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement wenigstens eines aus einer Gruppe von Sensorelementen sein, wobei die Gruppe aus einem XMR-Sensor, einem AMR-Sensor, einem GMR-Sensor und einem TMR-Sensor besteht.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das wenigstens eine Sensorelement eine Mehrzahl von n Sensorelemente enthalten, wobei n eine Ganzzahl gleich oder größer als 2 ist.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung um jedes Sensorelement aus den Mehrzahl von n Sensorelementen angeordnet sein, so dass ein (2 × n – 1)-ter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer ersten Seite eines n-ten Sensorelements aus der Mehrzahl von n Sensorelementen angeordnet sein kann und ein (2 × n)-ter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer zweiten Seite entgegengesetzt der ersten Seite des n-ten Sensorelements auf eine Weise angeordnet sein kann, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine (2 × n – 1)-te Richtung in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt und eine (2 × n)-te Richtung entgegensetzt der (2 × n – 1)-ten Richtung in dem (2 × n)-ten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n)-ten Abschnitt erzeugt wird, an einer Position des n-ten Sensorelements konstruktiv addieren.
  • In verschiedenen Ausführungsformen können die mehreren Sensorelemente in einer Brückenkonfiguration gekoppelt sein, die ein kumulatives Signal aus den mehreren Sensorelementen bereitstellt.
  • In mehreren Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung wenigstens eine Durchkontaktierung enthalten, die den ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung mit dem zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung elektrisch verbindet. In verschiedenen Ausführungsformen kann die elektrisch leitfähige Leitung wenigstens eine Durchkontaktierung enthalten, die den (2 × n – 1)-ten Abschnitt mit dem (2 × n)-ten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung elektrisch verbindet.
  • In verschiedenen Ausführungsformen umfasst/umfassen der erste Abschnitt und/oder der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung eine elektrisch leitfähige Schicht. In verschiedenen Ausführungsformen können der (2 × n – 1)-te Abschnitt und/oder der (2 × n)-te Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung eine elektrisch leitfähige Schicht enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen ist eine Schaltungsanordnung bereitgestellt. Die Schaltungsanordnung kann einen Träger, eine Halbleitervorrichtung und die Sensoranordnung enthalten, wobei die Sensoranordnung und die Halbleitervorrichtung auf dem Träger angeordnet sein können.
  • In verschiedenen Ausführungsformen ist ein Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung bereitgestellt. Das Verfahren kann das Bilden eines ersten Abschnitts einer elektrisch leitfähigen Leitung auf einer ersten Seite wenigstens eines Sensorelements, wobei das wenigstens eine Sensorelement zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist, und das Bilden eines zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements entgegengesetzt der erste Seite des wenigstens einen Sensorelements enthalten, wobei der erste Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf eine Weise relativ zu dem wenigstens einen Sensorelement angeordnet sein können, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine erste Richtung in dem ersten Abschnitt und eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung in dem zweiten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise konstruktiv an dem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements addieren können. In verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner das Einbetten des wenigstens einen Sensorelements in einen Sensorkörper enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Anordnen des ersten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung und/oder das Anordnen des zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung das Bilden einer elektrisch leitfähigen Schicht enthalten.
  • In verschiedenen Ausführungsformen kann das Verfahren ferner das Bilden, als Teil der elektrisch leitfähigen Leitung, einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und dem zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung enthalten.
  • Obwohl die Erfindung insbesondere mit Bezug auf spezifische Ausführungsformen gezeigt und beschrieben wurde, ist durch Fachleute zu verstehen, dass verschiedene Änderungen in Form und Einzelheiten darin vorgenommen werden können, ohne vom Geist und Schutzbereich der Erfindung, wie sie durch die beigefügten Ansprüche definiert sind, abzuweichen. Der Schutzbereich der Erfindung ist somit durch die beigefügten Ansprüche angegeben, und alle Änderungen, die in den Sinn und den Bereich der Äquivalenz der Ansprüche fallen, sollen deshalb eingeschlossen sein.

Claims (16)

  1. Sensoranordnung, die Folgendes umfasst: wenigstens ein Sensorelement, das eine erste Seite und eine zweite Seite gegenüber der ersten Seite aufweist und zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist; und eine elektrisch leitfähige Leitung; wobei ein erster Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet ist und ein zweiter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine Weise angeordnet ist, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom in dem ersten Abschnitt eine erste Richtung und in dem zweiten Abschnitt eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise an einem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements konstruktiv addieren.
  2. Sensoranordnung nach Anspruch 1, wobei das wenigstens eine Sensorelement in einen Sensorkörper eingebettet ist, der erste Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung über einer ersten Seite des Sensorkörpers gebildet ist und der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung über einer zweiten Seite des Sensorkörpers entgegengesetzt der ersten Seite des Sensorkörpers gebildet ist.
  3. Sensoranordnung nach Anspruch 1 oder 2, die ferner Folgendes umfasst: einen weiteren ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung, der auf der ersten Seite des wenigstens einen Sensorelements angeordnet ist, und einen weiteren zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung, der auf der zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements auf eine Weise angeordnet ist, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom die erste Richtung in dem weiteren ersten Abschnitt und die zweite Richtung in dem weiteren zweiten Abschnitt aufweist, wobei der erste Abschnitt zwischen dem wenigstens einen Sensorelement und dem weiteren ersten Abschnitt angeordnet ist und der zweite Abschnitt zwischen dem wenigstens einen Sensorelement und dem weiteren zweiten Abschnitt angeordnet ist.
  4. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das wenigstens eine Sensorelement wenigstens eines aus einer Gruppe von Sensorelementen ist, wobei die Gruppe besteht aus: einem XMR-Sensor; einem AMR-Sensor; einem GMR-Sensor und einem TMR-Sensor.
  5. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das wenigstens eine Sensorelement eine Mehrzahl von n Sensorelementen umfasst, wobei n eine Ganzzahl gleich oder größer als 2 ist.
  6. Sensoranordnung nach Anspruch 5, wobei die elektrisch leitfähige Leitung um jedes Sensorelement aus der Mehrzahl von n Sensorelementen angeordnet ist, so dass ein (2 × n – 1)-ter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer ersten Seite eines n-ten Sensorelements aus der Mehrzahl von n Sensorelementen angeordnet ist und ein (2 × n)-ter Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer zweiten Seite entgegengesetzt der ersten Seite des n-ten Sensorelements auf eine Weise angeordnet ist, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine (2 × n – 1)-te Richtung in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt und eine (2 × n)-te Richtung entgegengesetzt der (2 × n – 1)-ten Richtung in dem (2 × n)-ten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n – 1)-ten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem (2 × n)-ten Abschnitt erzeugt wird, an einer Position des n-ten Sensorelements konstruktiv addieren.
  7. Sensoranordnung nach Anspruch 6, wobei die Mehrzahl von Sensorelementen in einer Brückenkonfiguration gekoppelt sind, die ein kumulatives Signal aus den mehreren Sensorelementen bereitstellt.
  8. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die elektrisch leitfähige Leitung wenigstens eine Durchkontaktierung umfasst, die den ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung mit dem zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung elektrisch verbindet.
  9. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei die elektrisch leitfähige Leitung wenigstens eine Durchkontaktierung umfasst, die den (2 × n – 1)-ten Abschnitt mit dem (2 × n)-ten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung verbindet.
  10. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der erste Abschnitt und/oder der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung eine elektrisch leitfähige Schicht umfasst/umfassen.
  11. Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, wobei der (2 × n – 1)-te Abschnitt und/oder der (2 × n)-te Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung eine elektrisch leitfähige Schicht umfasst/umfassen.
  12. Schaltungsanordnung, die Folgendes umfasst: einen Träger; die Sensoranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 11 und eine Halbleitervorrichtung; wobei die Sensoranordnung und die Halbleitervorrichtung auf dem Träger angeordnet sind.
  13. Verfahren zum Herstellen einer Sensoranordnung, wobei das Verfahren Folgendes umfasst: Bilden eines ersten Abschnitts einer elektrisch leitfähigen Leitung auf einer ersten Seite wenigstens eines Sensorelements, wobei das wenigstens eine Sensorelement zum Abfühlen eines Magnetfelds konfiguriert ist; und Bilden eines zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung auf einer zweiten Seite des wenigstens einen Sensorelements entgegengesetzt der ersten Seite des wenigstens eine Sensorelements; wobei der erste Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und der zweite Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung auf eine Weise relativ zu dem wenigstens einen Sensorelement angeordnet sind, dass, falls ein Strom durch die elektrisch leitfähige Leitung fließt, der Strom eine erste Richtung in dem ersten Abschnitt und eine zweite Richtung entgegengesetzt der ersten Richtung in dem zweiten Abschnitt aufweist, so dass sich ein erstes Magnetfeld, das durch den Strom in dem ersten Abschnitt erzeugt wird, und ein zweites Magnetfeld, das durch den Strom in dem zweiten Abschnitt erzeugt wird, wenigstens teilweise konstruktiv an einem Abfühlabschnitt des wenigstens einen Sensorelements addieren.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, das ferner Folgendes umfasst: Einbetten des wenigstens einen Sensorelements in einen Sensorkörper.
  15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, wobei das Anordnen des ersten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung und/oder das Anordnen des zweiten Abschnitts der elektrisch leitfähigen Leitung das Bilden einer elektrisch leitfähigen Schicht umfasst.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, das ferner Folgendes umfasst: Bilden, als Teil der elektrisch leitfähigen Leitung, einer elektrisch leitfähigen Verbindung zwischen dem ersten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung und dem zweiten Abschnitt der elektrisch leitfähigen Leitung.
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