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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Temperatursensor, eine Sensoreinrichtung und ein Herstellungsverfahren für einen Temperatursensor.
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Stand der Technik
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Es existieren heute eine Vielzahl mikroelektromechanischer Sensoren, sog. MEMS-Sensoren. Beispielsweise können MEMS-Sensoren zur Erfassung von Beschleunigungen, Drücken und dergleichen eingesetzt werden.
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Drucksensoren werden z.B. in Consumergeräten, wie Handys, Haushaltsgeräten, Gaswarnern oder dergleichen eingesetzt.
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In MEMS-basierten Drucksensoren wird üblicherweise eine Messbrücke aus Widerständen auf einer unter Druck elastisch verformbaren Membran aufgebracht.
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Die Widerstandsmessbrücke besteht üblicherweise aus vier abwechselnd reihum angeordneten lateral und longitudinal druckempfindlichen piezoresistiven Elementen. Ein Verbiegen der Membran führt zu einer gegenläufigen Widerstandsänderung benachbarter Widerstände und damit zu einer veränderten Brückenspannung.
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Die Widerstände dieser Messbrücke sind üblicherweise sehr temperaturempfindlich. Eine übliche Methode zu Behandlung von Temperaturschwankungen ist die Messung der Temperatur über die Widerstandsbrücke selbst oder eine Diode. Dabei kann allerdings nur die Durchschnittstemperatur der Membran ermittelt werden. Besonders kritisch ist aber ein Temperaturgradient auf der Membran, da hier nicht mehr zwischen temperaturinduzierter und druckinduzierter Widerstandsänderung unterschieden werden kann. Ein solcher Temperaturgradient wird z.B. durch den Betrieb benachbarter leistungsintensiver Bauelemente hervorgerufen.
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Um einen Temperaturgradienten zu ermitteln sind mindestens 2 unterschiedliche temperaturempfindliche Elemente, i.d.R. Dioden oder Widerstände, nötig. Diese benötigen zusätzlichen Bauraum und ein zusätzliches Anschlusspad für jede Diode, sowohl auf dem MEMS-Sensorelement, als auch dem Auswerteschaltkreis.
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Offenbarung der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung offenbart einen Temperatursensor mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1, eine Sensoreinrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 7 und ein Herstellungsverfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 9.
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Demgemäß ist vorgesehen:
Ein Temperatursensor mit einem positiven Versorgungsanschluss und einem negativen Versorgungsanschluss, mit mindestens zwei Dioden, welche zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss elektrisch in Durchlassrichtung und in Serie angeordnet sind, mit einem Messanschluss, welcher zwischen den mindestens zwei Dioden angeordnet ist, mit einer steuerbaren Stromquelle, welche mit dem Messanschluss gekoppelt ist und ausgebildet ist, einen positiven und einen negativen Strom an dem Messanschluss anzulegen, und mit einer Auswerteeinrichtung, welche ausgebildet ist, eine Spannung an dem Messanschluss für einen positiven Strom der Stromquelle und für einen negativen Strom der Stromquelle zu erfassen und basierend auf den erfassten Spannungen jeweils eine Temperatur zu berechnen.
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Ferner ist vorgesehen:
Eine Sensoreinrichtung mit mindestens einem temperaturabhängigen Sensorelement, welches ausgebildet ist, eine physikalische Größe zu erfassen, und mit einem erfindungsgemäßen Temperatursensor.
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Schließlich ist vorgesehen:
Ein Herstellungsverfahren zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Temperatursensors, aufweisend Bereitstellen eines positiven Versorgungsanschlusses und eines negativen Versorgungsanschlusses, Anordnen von mindestens zwei Dioden zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss elektrisch in Durchlassrichtung und in Serie, Anordnen eines Messanschlusses zwischen den mindestens zwei Dioden, Koppeln einer steuerbaren Stromquelle, welche ausgebildet ist, einen positiven und einen negativen Strom an dem Messanschluss anzulegen, mit dem Messanschluss, und Koppeln einer Auswerteeinrichtung mit dem Messanschluss, welche ausgebildet ist, eine Spannung an dem Messanschluss für einen positiven Strom der Stromquelle und für einen negativen Strom der Stromquelle zu erfassen und basierend auf den erfassten Spannungen jeweils eine Temperatur zu berechnen.
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Vorteile der Erfindung
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Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Erkenntnis besteht darin, dass die Miniaturisierung auf dem Gebiet der MEMS-basierten Sensoren bzw. der Halbleitertechnik schneller voranschreitet als in der Aufbau- und Verbindungstechnik. Der Platzbedarf der Anschlusspads steigt also im Verhältnis zu den eigentlichen MEMS-basierten Sensorelementen bzw. Halbleitermesselementen zur Temperaturmessung immer mehr an, so dass versucht wird, die Anzahl der Anschlusspads gering zu halten.
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Die der vorliegenden Erfindung zu Grunde liegende Idee besteht nun darin, dieser Erkenntnis Rechnung zu tragen und eine Möglichkeit vorzusehen, bei welcher mit einem einzelnen Anschlusspad mehrere Temperaturen erfasst werden können.
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Dazu sieht die vorliegende Erfindung vor, dass in einem Temperatursensor aus einer Vielzahl von elektrisch in Serie angeordneten Dioden besteht. Ein Messanschluss ist in der Serienschaltung aus Dioden angeordnet und mit einer Stromquelle gekoppelt.
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Die Stromquelle erzeugt jeweils einen positiven oder einen negativen Strom an dem Messanschluss und eine Auswerteeinrichtung erfasst die Spannung an dem Messanschluss bei dem positiven und bei dem negativen Strom. Ein positiver Strom bedeutet, dass der Strom in den Messanschluss hinein fließt und ein negativer Strom bedeutet, dass der Strom aus dem Messanschluss heraus fließt.
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Gibt die Stromquelle einen positiven Strom an den Messanschluss aus, wird das Potential an dem Messanschluss angehoben. Es fließt folglich lediglich kein oder lediglich ein sehr geringer Strom zwischen dem positiven Versorgungsanschluss der Serienschaltung von Dioden und dem Messanschluss.
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Gibt die Stromquelle dagegen einen negativen Strom an den Messanschluss aus, wird das Potential an dem Messanschluss abgesenkt. Es fließt folglich lediglich kein oder lediglich ein sehr geringer Strom zwischen dem Messanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss der Serienschaltung von Dioden.
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Somit kann jeweils ein Spannungsabfall über einen Teil der Dioden der Serienschaltung erfasst werden. Werden die Dioden zwischen dem Messanschluss und dem positiven Versorgungsanschluss und die Dioden zwischen dem Messanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss an unterschiedlichen Orten angeordnet, können folglich mit lediglich einem Messanschluss zwei unterschiedliche Temperaturen erfasst werden.
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Die erfindungsgemäße Sensoreinrichtung kann z.B. eine MEMS-basierte Messbrücke eines Drucksensors sein. Wird der erfindungsgemäße Temperatursensor in einer solchen Messbrücke eingesetzt, können mit lediglich einem Messanschluss unterschiedliche Temperaturen an unterschiedlichen Punkten der Messbrücke erfasst werden.
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Vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie aus der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Figuren.
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In einer Ausführungsform ist eine gerade Anzahl an Dioden vorgesehen, welche elektrisch in Serie angeordnet sind. Insbesondere kann der Messanschluss auch in der Mitte der Serie angeordnet sein. Dadurch wird ein symmetrischer Aufbau des Temperatursensors erzielt, der die Auswertung vereinfacht.
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In einer Ausführungsform ist die Anzahl der Dioden basierend auf der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss anliegenden Spannung derart ausgebildet, dass der durch die Dioden fließende Strom einen ersten Schwellwert nicht überschreitet. Unter dem durch die Dioden fließenden Strom ist derjenige Strom zu verstehen, der durch die Serienschaltung der Dioden fließt, wenn an dem Messanschluss kein Strom von der Stromquelle zugeführt wird. Der erste Schwellwert liegt dabei insbesondere unter dem üblichen Messstrom z.B. einer Messbrücke, auf welcher der Temperatursensor angeordnet ist bzw. ist gegenüber dem Messstrom vernachlässigbar klein.
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In einer Ausführungsform ist die Anzahl der Dioden zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem Messanschluss und die Anzahl der Dioden zwischen dem Messanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss derart ausgebildet, dass ein jeweiliger maximal möglicher Spannungsabfall jeweils unter der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss anliegenden Spannung liegt. Dies ermöglicht es, mit Hilfe der Betriebsspannung des Temperatursensors eine exakte Temperaturmessung durchzuführen.
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In einer Ausführungsform ist die Anzahl der Dioden derart ausgebildet, dass der jeweilige maximal mögliche Spannungsabfall über den Dioden zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem Messanschluss oder den Dioden zwischen dem Messanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss anliegenden Spannung minus einer Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung entspricht. Dies ermöglicht es, einen großen Messbereich auszunutzen.
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In einer Ausführungsform ist die Auswerteeinrichtung ausgebildet, die steuerbare Stromquelle derart zu steuern, dass der Wert der Spannung an dem Messanschluss unterhalb der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss und dem negativen Versorgungsanschluss anliegenden Spannung minus einer Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung liegt. Dies ermöglicht es, den Stromfluss durch die Teile der Serienschaltung der Dioden zu steuern bzw. den Arbeitspunkt einzustellen.
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In einer Ausführungsform ist das temperaturabhängige Sensorelement als ein mikroelektromechanisches Drucksensorelement und/oder ein Gassensor ausgebildet. Dies ermöglicht den Einsatz der vorliegenden Erfindung in unterschiedlichen Anwendungen.
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Die obigen Ausgestaltungen und Weiterbildungen lassen sich, sofern sinnvoll, beliebig miteinander kombinieren. Weitere mögliche Ausgestaltungen, Weiterbildungen und Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmalen der Erfindung. Insbesondere wird dabei der Fachmann auch Einzelaspekte als Verbesserungen oder Ergänzungen zu der jeweiligen Grundform der vorliegenden Erfindung hinzufügen.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend anhand der in den schematischen Figuren der Zeichnungen angegebenen Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen dabei:
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1 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperatursensors;
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2 ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung; und
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3 ein Ablaufdiagramm einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Verfahrens.
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In allen Figuren sind gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente und Vorrichtungen – sofern nichts Anderes angegeben ist – mit denselben Bezugszeichen versehen worden.
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Der Verlauf einer Diodenkennlinie ist üblicherweise genähert stetig exponentiell, genau betrachtet gibt es also keine Durchlassspannung, ab der eine Diode erstmalig leitend wird. Im Folgenden wird der Begriff dennoch für die Spannung verwendet, die bei Erreichen des üblichen Arbeitspunktes (Messstrom) über der Diode abfällt. Diodenströme für Spannungen oberhalb der Durchlassspannung sind deutlich größer, Ströme für Spannungen unterhalb der Durchlassspannung deutlich kleiner als der Messstrom.
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Ausführungsformen der Erfindung
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1 zeigt ein Blockschaltbild einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Temperatursensors 1.
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Der Temperatursensor 1 weist einen positiven Versorgungsanschluss 2 und einen negativen Versorgungsanschluss 3 auf, zwischen welchen zwei Dioden 4-1, 4-3 in einer Serienschaltung angeordnet sind. Weitere Dioden 4-1–4-4 sind jeweils durch drei Punkte angedeutet. Die drei Punkte in 1 stellen dabei keine elektrische Unterbrechung der Serienschaltung dar. Sind keine weiteren Dioden 4-1–4-4 vorgesehen, ist die Diode 4-1 direkt mit dem positiven Versorgungsanschluss 2 und die Diode 4-3 direkt mit dem negativen Versorgungsanschluss 3 gekoppelt.
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Zwischen der ersten Diode 4-1 und der zweiten Diode 4-2 ist ein Messanschluss 5 angeordnet, welcher mit einer steuerbaren Stromquelle 6 gekoppelt ist. Lediglich zur Veranschaulichung sind in 1 in der Stromquelle 6 zwei Symbole für Stromquellen 20, 21 angeordnet, welche wechselweise über einen Schalter 23 mit dem Messanschluss 5 gekoppelt werden können. Dabei erzeugt die Stromquelle 20 einen negativen Strom 7-2 und die Stromquelle 21 einen positiven Strom 7-1.
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Ebenfalls mit dem Messanschluss 5 gekoppelt ist eine Auswerteeinrichtung 8, die jeweils bei einem an dem Messanschluss 5 anliegenden negativen Strom 7-2 und bei einem an dem Messanschluss 5 anliegenden positiven Strom 7-1 die Spannung 9-1, 9-2 an dem Messanschluss 5 erfasst.
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In 1 ist ferner dargestellt, dass die Auswerteeinrichtung 8 einen Analog- Digital-Wandler 15 aufweist, welcher die Spannungen 9-1, 9-2 erfasst und für jede der erfassten Spannungen 9-1, 9-2 eine Temperatur 11-1, 11-2 berechnet. Der Analog-Digital-Wandler 15 ist dazu mit einer Referenzspannung 25 gekoppelt, welche umschaltbar entweder mit dem positiven Versorgungsanschluss 2 oder dem negativen Versorgungsanschluss 3 gekoppelt wird.
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In einer Ausführungsform kann die Referenzspannung mit dem positiven Versorgungsanschluss 2 gekoppelt werden, wenn die Stromquelle 6 einen negativen Strom 7-2 erzeugt. Erzeugt die Stromquelle 6 dagegen einen positiven Strom 7-1, kann die Referenzspannung mit dem negativen Versorgungsanschluss 3 gekoppelt werden. Dies ist aber nicht zwingend notwendig. Als Referenzspannung kann auch eine beliebige andere Spannung genutzt werden.
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Zur Berechnung der Temperaturen 11-1, 11-2 kann der Analog-Digital-Wandler 15 z.B. eine Logik aufweisen, welche die jeweils gemessene Spannung 9-1, 9-2 auf eine entsprechende Temperatur abbildet. In einer weiteren Ausführungsform kann z.B. auch eine separate Logik 16 (siehe 2) hierfür vorgesehen sein.
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Die Stromquelle 6 und die Auswerteeinrichtung 8 können in einer Ausführungsform als einzelne Elemente des Temperatursensors 1 ausgebildet sein. In weiteren Ausführungsformen können die Stromquelle 6 und die Auswerteeinrichtung 8 z.B. in einem ASIC oder dergleichen angeordnet sein.
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2 zeigt ein Blockschaltbild einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Sensoreinrichtung 12.
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Die Sensoreinrichtung 12 der 2 weist einen Temperatursensor 1 gemäß 1 auf. Der Übersichtlichkeit halber sind hier lediglich die Elemente des Temperatursensor 1 eingezeichnet. Der Temperatursensor 1 ist nicht separat bezeichnet.
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Der Temperatursensor 1 der 2 unterscheidet sich von dem Temperatursensor 1 der 1 dahingehend, dass in der Auswerteeinrichtung 8 eine eigene Logik 16 vorgesehen ist, die die von dem Analog-Digital-Wandler 15 aufgenommenen Spannungen 9-1, 9-2 verarbeitet und die Temperaturen 11-1, 11-2 berechnet.
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Die Sensoreinrichtung 12 weist ferner ein Sensorelement 13 auf, welches gemeinsam mit vier Dioden 4-1–4-2 und dem zwischen den Dioden 4-1–4-4 angeordneten Messanschluss 5 auf einem Messelement 31 angeordnet ist. Dabei stellt das Sensorelement 13 der Logik 16 einen Messwert 30 einer physikalischen Größe, z.B. eines Drucks oder einer Beschleunigung oder dergleichen bereit. Die Stromquelle 6 und die Auswerteeinrichtung 8 sind gemeinsam in einem ASIC 32 angeordnet.
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Das Sensorelement 13 kann z.B. ein mikroelektromechanisches Drucksensorelement 13 und/oder ein Gassensor 13 sein. Weitere Sensorarten sind ebenfalls möglich.
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Die Erfassung der zwei Temperaturen 11-1, 11-2 wird nacheinander durchgeführt. Die Betriebsspannung, welche an dem positiven Versorgungsanschluss 2 anliegt, beträgt in dieser beispielhaften Ausführungsform das Doppelte der maximalen Durchlassspannung der Dioden 4-1–4-4 zuzüglich einer Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung 8
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Zuerst wird durch die Stromquelle 6 ein negativer Strom 7-2 erzeugt, der von dem positiven Versorgungsanschluss 2 über die Dioden 4-2, 4-1 und die Stromquelle 6 in den negativen Versorgungsanschluss 3 läuft. Dazu wird der Schalter 23 derart gestellt, dass die Stromquelle 20 mit dem Messanschluss 5 gekoppelt ist. Über die Dioden 4-1, 4-2 fällt nun die doppelte Durchlassspannung 9-1 ab. Diese Durchlassspannung 9-1 ist proportional zur Temperatur des ersten Diodenpaares und ermöglicht damit die Messung der ersten Temperatur 11-1.
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Über dem zweiten Diodenpaar, bestehende aus Dioden 4-3, 4-4, fällt nur die deutlich geringere Sättigungsspannung der Auswerteschaltung 8 ab. Der parasitäre Strom, der durch die Sättigungsspannung durch die Dioden 4-3, 4-4 fließt, ist üblicherweise um mehrere Zehnerpotenzen kleiner als der Messstrom und daher vernachlässigbar.
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Nach der Messung der ersten Temperatur 4-1 wird ein positiver Messstrom 7-1 von dem positiven Versorgungsanschluss 2 über die Stromquelle 6 in den Messanschluss 5 erzeugt. Dazu wird der Schalter 23 derart gestellt, dass die Stromquelle 21 mit dem Messanschluss 5 gekoppelt ist.
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Die doppelte Durchlassspannung 9-2 fällt nun über dem zweiten Diodenpaar, bestehend aus Dioden 4-3, 4-4 ab und das erste Diodenpaar, bestehend aus Dioden 4-1, 4-2 ist genähert als nicht leitend anzusehen. Auch diese Durchlassspannung 9-2 ist proportional zur Temperatur des zweiten Diodenpaares und ermöglicht damit die Messung der zweiten Temperatur 11-2.
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Erzeugt die Stromquelle 6 einen positiven Strom 7-1, wird die Referenzspannung 25 des Analog-Digital-Wandlers 15 mit dem negativen Versorgungsanschluss 3 gekoppelt. Erzeugt die Stromquelle 6 einen negativen Strom 7-2, wird die Referenzspannung 25 des Analog-Digital-Wandlers 15 mit dem positiven Versorgungsanschluss 2 gekoppelt.
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Die Logik 16 kann in einer Ausführungsform z.B. auch die Messwerte 30 basierend auf den erfassten Temperaturen 11-1, 11-2 korrigieren und einen korrigierten Messwert 30 ausgeben
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Die Anzahl der Dioden 4-1–4-2 wird in einer Ausführungsform derart gewählt, dass der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 über die Dioden 4-1–4-2 in den negativen Versorgungsanschluss 3 fließende Strom vernachlässigbar gegenüber dem üblichen Messstrom ist, welcher durch das Sensorelement 13 fliest. Die Serienschaltung der Dioden 4-1–4-2 kann im Betrieb also immer genähert als nicht leitend angesehen werden kann.
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In einer Ausführungsform wird die Anzahl der Dioden 4-1, 4-2 und 4-3, 4-4 eines Teilzweiges (z.B. die Hälfte der Gesamtanzahl der Dioden 4-1–4-2) so gewählt, dass der maximal mögliche Spannungsabfall über dem jeweiligen Teilzweig knapp unterhalb der Betriebsspannung liegt, also der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 anliegenden Spannung. Die Feineinstellung des Spannungsabfalls kann dabei über den Arbeitspunkt und die Größe der Dioden 4-1–4-4 erfolgen. Der benötigte Abstand zur Betriebsspannung wird über den minimal erlaubten Spannungsabfall der Auswerteschaltung begrenzt.
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Durch Prozessschwankung und große Temperaturbereiche können die o.g. Bedingungen nicht immer durch Dimensionierung und Anzahl der Dioden allein eingehalten werden. Deshalb kann in einer Ausführungsform die Auswerteeinrichtung 8 ausgebildet sein den Arbeitspunkt zusätzlich immer knapp unter der Betriebsspannung abzüglich der Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung 8 zu regeln.
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3 zeigt ein Ablaufdiagramm einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens zum Herstellen eines erfindungsgemäßen Temperatursensors 1. Erfindungsgemäß ist das Bereitstellen S1 eines positiven Versorgungsanschlusses 2 und eines negativen Versorgungsanschlusses 3 vorgesehen. Ferner werden mindestens zwei Dioden 4-1–4-4 zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 elektrisch in Durchlassrichtung und in Serie angeordnet, S2. Zwischen den mindestens zwei Dioden 4-1–4-4 wird ein Messanschlusses 5 angeordnet, S3.
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Schließlich werden eine steuerbare Stromquelle 6 und eine Auswerteeinrichtung 8 mit dem Messanschluss 5 gekoppelt, S4 und S5.
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Die steuerbare Stromquelle 6 legt einen positiven und einen negativen Strom 7-1, 7-2 im Wechsel an dem Messanschluss 5 an und die Auswerteeinrichtung 8 ist ausgebildet, eine Spannung 9-1, 9-2 an dem Messanschluss 5 für einen positiven Strom 7-1 der Stromquelle 6 und für einen negativen Strom 7-2 der Stromquelle 6 zu erfassen und basierend den erfassten Spannungen 9-1, 9-2 eine Temperatur 11-1, 11-2 zu berechnen.
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In einer Ausführungsform des Verfahrens wird eine gerade Anzahl an Dioden 4-1–4-4 zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 angeordnet. Ferner wird der Messanschluss 5 in der Mitte der Serie angeordnet. Ferner wird in einer Ausführungsform die Anzahl der Dioden 4-1–4-4 basierend auf der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 anliegenden Spannung derart ausgewählt, dass der durch die Dioden 4-1–4-4 fließende Strom einen ersten Schwellwert nicht überschreitet.
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In einer Ausführungsform kann die Anzahl der Dioden 4-1–4-2 zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem Messanschluss 5 und die Anzahl der Dioden 4-3–4-4 zwischen dem Messanschluss 5 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 derart ausgewählt werden, dass ein jeweiliger maximal möglicher Spannungsabfall jeweils unter der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 anliegenden Spannung liegt.
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In einer Ausführungsform wird die Anzahl der Dioden 4-1–4-4 derart gewählt, dass der jeweilige maximal mögliche Spannungsabfall über den Dioden 4-1–4-2 zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem Messanschluss 5 oder den Dioden 4-3–4-4 zwischen dem Messanschluss 5 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 anliegenden Spannung minus einer Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung 8 entspricht.
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In einer Ausführungsform kann die steuerbare Stromquelle 6 derart regelbar ausgeführt werden, dass die Spannung an dem Messanschluss 5 unterhalb der zwischen dem positiven Versorgungsanschluss 2 und dem negativen Versorgungsanschluss 3 anliegenden Spannung minus einer Sättigungsspannung der Auswerteeinrichtung 8 liegt.
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Obwohl die vorliegende Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele vorstehend beschrieben wurde, ist sie darauf nicht beschränkt, sondern auf vielfältige Art und Weise modifizierbar. Insbesondere lässt sich die Erfindung in mannigfaltiger Weise verändern oder modifizieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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