DE102014218754A1

DE102014218754A1 - Magnetischer Sensor, Sensoranordnung und Verfahren zur Bestimmung der Position eines magnetisch wirksamen Elements

Info

Publication number: DE102014218754A1
Application number: DE102014218754.0A
Authority: DE
Inventors: Heinrich Acker
Original assignee: Continental Teves AG and Co OHG
Current assignee: Continental Teves AG and Co OHG
Priority date: 2014-09-18
Filing date: 2014-09-18
Publication date: 2016-03-24
Also published as: EP3194895A1; WO2016041976A1; US20170276517A1; CN107076579A; KR20170043618A

Abstract

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Sensor, eine Sensoranordnung mit einem solchen magnetischen Sensor und ein Verfahren zum Bestimmen der Position eines magnetisch wirksamen Elements. Bei dem erfindungsgemäßen Sensor sind mehrere Messspulen in Reihe entlang eines Pfads hintereinandergeschaltet, wodurch die Position eines magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads gemessen werden kann.

Description

Die Erfindung betrifft einen magnetischen Sensor zur Detektion eines magnetisch wirksamen Elements. Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Sensoranordnung, welche einen solchen magnetischen Sensor aufweist. Außerdem betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Bestimmung der Position eines magnetisch wirksamen Elements.
Magnetische Sensoren können auf verschiedene Arten ausgeführt sein und für unterschiedliche Detektionsaufgaben eingesetzt werden. Sie können insbesondere dazu eingesetzt werden, die Anwesenheit eines magnetisch wirksamen Elements zu detektieren, wobei es sich bei einem magnetisch wirksamen Element typischerweise um ein Element handelt, welches magnetische und/oder elektrische Eigenschaften von in seiner Umgebung befindlichen Bauelementen verändern kann.
Es ist eine Aufgabe der Erfindung, einen im Vergleich zu bekannten magnetischen Sensoren alternativen, beispielsweise in bestimmten Eigenschaften verbesserten magnetischen Sensor bereitzustellen. Es ist des Weiteren eine Aufgabe der Erfindung, eine Sensoranordnung mit einem solchen magnetischen Sensor bereitzustellen. Außerdem ist es eine Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Detektion eines magnetisch wirksamen Elements unter Verwendung eines solchen magnetischen Sensors bereitzustellen.
Dies wird erfindungsgemäß durch einen magnetischen Sensor gemäß Anspruch 1, eine Sensoranordnung gemäß Anspruch 8 und ein Verfahren gemäß Anspruch 12 erreicht. Vorteilhafte Ausgestaltungen können beispielsweise den jeweiligen Unteransprüchen entnommen werden. Der Inhalt der Ansprüche wird durch ausdrückliche Inbezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht.
Die Erfindung betrifft einen magnetischen Sensor zur Detektion eines magnetisch wirksamen Elements. Der magnetische Sensor weist eine Mehrzahl von Messspulen auf. Dabei kann es sich um eine Anzahl von beispielsweise zwei, drei, vier, fünf, acht oder eine beliebige andere Anzahl von Messspulen handeln, wobei mindestens zwei Messspulen vorhanden sind. Jede Messspule weist einen ihr zugeordneten Magnetkern auf. Die jeweiligen Magnetkerne sind vorzugsweise jeweils innerhalb einer Messspule, welche dem Magnetkern zugeordnet ist, angeordnet. Die Messspulen sind entlang eines Pfads angeordnet. Dieser kann beispielsweise gerade oder auch gekrümmt sein. Entlang des Pfads sind die Messspulen elektrisch in Reihe geschaltet. Des Weiteren weisen die Messspulen jeweilige Induktivitäten auf, welche entlang des Pfads in einer Richtung ansteigen. Dies kann insbesondere bedeuten, dass eine jeweilige Induktivität einer in einer bestimmten Richtung hinter einer anderen Messspule angeordneten Messspule größer ist als die Induktivität der anderen Messspule.
Mittels des magnetischen Sensors ist eine besonders einfache, exakte und zuverlässige Detektion eines magnetisch wirksamen Elements möglich. Hierzu können weiter unten erläuterte Parameter, beispielsweise eine Gesamtinduktivität des magnetischen Sensors, ausgelesen werden, wobei typischerweise auch auf die Position des magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads geschlossen werden kann.
Die Messspulen sind bevorzugt SMD-bestückbar und/oder kompatibel zu SMD-Bestückungsautomaten ausgebildet. Dies erlaubt eine einfache Herstellung eines erfindungsgemäßen magnetischen Sensors. Besonders bevorzugt ist der magnetische Sensor dementsprechend mittels Surface-Mounted-Device(SMD)-Technologie bestückt. Derartige Induktivitäten sind häufig von kleiner räumlicher Ausdehnung, was sich für den erfindungsgemäßen magnetischen Sensor als vorteilhaft herausgestellt hat.
Bevorzugt ist der magnetische Sensor dazu ausgebildet, ein gemeinsames Ausgangssignal abhängig von einer Position des magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads zu erzeugen. Insbesondere ist es dabei bevorzugt, wenn es sich bei dem gemeinsamen Ausgangssignal um eine Gesamtinduktivität handelt. Hierbei handelt es sich um eine Gesamtinduktivität der in Reihe geschalteten Messspulen. Es sei jedoch verstanden, dass auch andere gemeinsame Ausgangssignale verwendet werden können, beispielsweise eine Resonanzfrequenz bei einer Ergänzung der in Reihe geschalteten Messspulen mit einem Kondensator zu einem Schwingkreis, oder auch ein Verlustwinkel der in Reihe geschalteten Messspulen. Es sei verstanden, dass auch zwei solcher gemeinsamer Ausgangssignale verwendet werden können, um den magnetischen Sensor auszulesen.
Bei dem magnetisch wirksamen Element handelt es sich bevorzugt um einen ferromagnetischen hochpermeablen Körper, um einen elektrisch leitfähigen Körper oder um einen Permanentmagneten. Wenn ein ferromagnetischer, hochpermeabler Körper in der Nähe einer Messspule angeordnet wird, wirkt der Körper als Flussleiter. Der Fluss durch den Körper hängt von Position und/oder Winkel des Körpers relativ zur Induktivität ab. Dadurch wird der Induktivitätswert verändert. Wird ein elektrisch leitfähiger Körper in der Nähe einer Messspule angeordnet, fließt durch Induktion ein Wirbelstrom durch den Körper, wobei dieser Wirbelstrom von Position und/oder Winkel des Körpers relativ zur Induktivität abhängt. Dadurch werden Induktivitätswert und Verlustwiderstand verändert.
Wird ein Permanentmagnet in der Nähe einer Sensorinduktivität angeordnet, erzeugt der Magnet einen Fluss, der einen ferromagnetischen, hochpermeablen Körper sättigen kann, welcher derart angeordnet ist, dass er als Kern einer Messspule wirkt. Der Fluss durch den Körper, beispielsweise also durch den Kern einer Messspule, hängt von Position und/oder Winkel des Magneten relativ zur Induktivität ab. Dadurch wird überwiegend der Induktivitätswert verändert.
Bevorzugt weisen die jeweiligen Magnetkerne keine remanente Magnetisierung auf. Dies kann beispielsweise bedeuten, dass sie nur eine Magnetisierung von einem vernachlässigbaren Wert aufweisen, welcher für eine Messung keine Rolle spielt. Wenn die jeweiligen Magnetkerne keine Magnetisierung aufweisen, weisen sie eine besonders hohe Permeabilität auf, da die Kurve von magnetischer Flussdichte B in Abhängigkeit von einer magnetischen Feldstärke H an dieser Stelle eine besonders hohe Steigung aufweist. Dies ermöglicht eine besonders gute und genaue Messung.
Die Messspulen sind bevorzugt auf einer Leiterplatte, einem Leadframe oder einem Molded-Interconnected-Devices(MID)-Träger angeordnet. Unter einem MID-Träger wird insbesondere ein räumlich spritzgegossener Schaltungsträger verstanden. Derartige Ausführungen haben sich als vorteilhaft erwiesen.
Gemäß einer Ausführung ist jede Messspule aus abgeschiedenen und strukturierten und/oder laminierten Schichten aus einem Metall, insbesondere einem Leichtmetall, Kupfer oder einer Legierung mit Nickel und/oder Palladium und einem ferromagnetischen Material aufgebaut. Eine solche Ausführung hat sich insbesondere hinsichtlich der Herstellung als vorteilhaft erwiesen. Es kann dabei beispielsweise eine Technologie wie bei einem Multilayer-Keramikkondensator (MLCC) verwendet werden.
Bei dem ferromagnetischen Material handelt es sich bevorzugt um ein hochpermeables Material.
In derartigen Bauelementen entwickelt sich typischerweise wenig Streufluss, stattdessen stellt sich aufgrund eines geschlossenen magnetischen Kreises ein hoher Fluss im hochpermeablen Material ein, wodurch ein hoher Induktivitätswert auf kleinem Raum möglich ist.
Derartige Messspulen können beispielsweise auch als SMD-Ferritperlen, SMD-Multilayer-Induktivitäten oder auch als drahtgewickelte SMD-Induktivitäten ausgeführt sein. Diese SMD-Bauelemente beinhalten typischerweise auch einen Kern.
Bevorzugt sind die Messspulen so nah voneinander beabstandet, dass sich bei Bewegung eines magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads eine Kennlinie der Gesamtinduktivität ergibt, welche zumindest über die Hälfte des Pfads, bevorzugt über zumindest drei Viertel des Pfads, monoton steigend oder fallend ist. Dies ermöglicht eine eindeutige Zuordnung eines gemessenen Werts der Gesamtinduktivität zu einer Position des magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads. Es sei verstanden, dass hier anstelle der Gesamtinduktivität auch die anderen, beispielsweise die weiter oben beschriebenen gemeinsamen Ausgangssignale verwendet werden können, so dass diese eine monoton steigende oder fallende Kennlinie haben. Die hier erwähnte Monotonität ist bevorzugt eine strenge Monotonität.
Die Erfindung betrifft des Weiteren eine Sensoranordnung. Die Sensoranordnung weist einen erfindungsgemäßen magnetischen Sensor auf. Dabei kann auf alle beschriebenen Ausführungen und Varianten zurückgegriffen werden. Erläuterte Vorteile gelten entsprechend. Die Sensoranordnung weist des Weiteren ein magnetisch wirksames Element sowie eine Führung für das magnetisch wirksame Element auf. Die Führung ist derart ausgebildet, dass das magnetisch wirksame Element entlang des Pfads bewegbar ist.
Mittels der erfindungsgemäßen Sensoranordnung ist es möglich, die Position des magnetisch wirksamen Elements, welches Teil der Sensoranordnung ist, entlang des durch den magnetischen Sensor vorgegebenen Pfads zu bestimmen. Die Führung muss dabei nicht zwangsläufig ausschließlich zu dem Sensor gehören, sie kann beispielsweise auch als Teil eines anderen Bauteils ausgeführt sein, welches auch ohne den Sensor vorhanden wäre. Der Sensor kann vorteilhaft beispielsweise zur Messung eines Wegs oder eines Winkels in bestimmten Situationen eingesetzt werden.
Das magnetisch wirksame Element weist bevorzugt ein Betätigungsglied auf, mittels welchem es von außerhalb der Führung entlang des Pfads bewegbar ist. Dieses Betätigungsglied kann dann beispielsweise außerhalb des Sensors mit einem Bauteil verbunden werden, dessen Bewegung relativ zu einem anderen Bauteil gemessen werden soll. Wenn der restliche Teil der Sensoranordnung mit dem anderen Bauteil verbunden ist, kann sich die Bewegung des zu messenden Bauteils über das Betätigungsglied auf das magnetisch wirksame Element übertragen, dessen Position wiederum in oben beschriebener Weise gemessen werden kann.
Das magnetisch wirksame Element ist bevorzugt ein ferromagnetischer hochpermeabler Körper, ein elektrisch leitfähiger Körper oder ein Permanentmagnet. Bezüglich der möglichen Details und Funktionsweisen wird auf die weiter oben stehenden Ausführungen hierzu verwiesen.
Im Falle der Verwendung eines ferromagnetischen hochpermeablen Körpers oder eines elektrisch leitfähigen Körpers haben sich herkömmliche SMD-Induktivitäten als Messspulen mit offenem magnetischen Kreis als besonders vorteilhaft erwiesen. SMD-Ferritperlen und SMD-Multilayer-Induktivitäten mit geschlossenem magnetischem Kreis haben sich hingegen als besonders vorteilhaft für die Verwendung im Zusammenhang mit einem Permanentmagneten erwiesen.
Es sei verstanden, dass grundsätzlich bei einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung auch mehrere magnetisch wirksame Elemente, insbesondere auch unterschiedlich ausgeführte magnetisch wirksame Elemente verwendet werden können. Beispielsweise können zwei oder mehrere unterschiedliche, jedoch jeweils nach einem der oben aufgeführten Alternativen ausgebildete magnetisch wirksame Elemente verwendet werden.
Die Sensoranordnung weist weiter bevorzugt eine Messschaltung zum Ermitteln einer Gesamtinduktivität der Messspulen auf. Dies ermöglicht ein integriertes Auslesen der Sensoranordnung durch die eigene Messschaltung. Dabei kann insbesondere auf bewährte Ausführungen zurückgegriffen werden.
Die Gesamtinduktivität kann dabei als komplexe Impedanz mit zwei reellen Parametern aufgefasst werden. Beispielsweise kann es sich hierbei um Induktivität und Serienwiderstand, um Betrag der Impedanz und Verlustwinkel oder um Induktivität und Güte handeln. Eine Messschaltung ist dabei bevorzugt in der Lage, zumindest einen dieser Parameter oder auch beide zusammen zu bestimmen.
Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Verfahren zur Bestimmung der Position eines magnetisch wirksamen Elements, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:

– Anordnen des magnetisch wirksamen Elements über einem erfindungsgemäßen magnetischen Sensor entlang des Pfads,
– Messen einer Gesamtinduktivität der Messspulen und
– Ermitteln der Position basierend auf der Gesamtinduktivität.

Mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens kann ein erfindungsgemäßer magnetischer Sensor in bevorzugter Weise verwendet werden, um eine Position eines magnetisch wirksamen Elements zu ermitteln. Hinsichtlich des magnetischen Sensors kann auf alle weiter oben beschriebenen Ausführungen und Varianten zurückgegriffen werden. Erläuterte Vorteile gelten entsprechend.
Es sei verstanden, dass anstelle der Gesamtinduktivität auch eine andere Größe gemessen und/oder ausgewertet werden kann, welche vorzugsweise mit der Gesamtinduktivität in Beziehung steht, beispielsweise von ihr abhängig ist.
Das magnetisch wirksame Element kann insbesondere gemäß zumindest einer der Ausführungen wie weiter oben erläutert ausgeführt sein.
Das Verfahren weist bevorzugt ferner einen Schritt des Veränderns der Position des magnetisch wirksamen Elements entlang des Pfads auf. Bei einem solchen Schritt kann insbesondere vorteilhaft auch die dadurch entstandene neue Position des magnetisch wirksamen Elements in oben beschriebener Art und Weise gemessen werden.
Das magnetisch wirksame Element ist bevorzugt ein ferromagnetischer hochpermeabler Körper, ein elektrisch leitfähiger Körper oder ein Permanentmagnet. Zu den weiteren Details und Funktionsweisen hierzu sei auf die obigen Ausführungen verwiesen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführung ist der Sensor Teil einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung. Dabei kann auf alle weiter oben beschriebenen Ausführungen und Varianten der Sensoranordnung zurückgegriffen werden. Erläuterte Vorteile gelten entsprechend.
Durch die Integration des Sensors in eine Sensoranordnung werden die weiter oben beschriebenen Vorteile einer erfindungsgemäßen Sensoranordnung für das erfindungsgemäße Verfahren nutzbar gemacht.
Weitere Merkmale und Vorteile wird der Fachmann dem nachfolgend mit Bezug auf die beigefügte Zeichnung beschriebenen Ausführungsbeispiel entnehmen.
Dabei zeigen:
1: eine Sensoranordnung mit einem Sensor,
2: eine Kennlinie des Sensors von 1.
1 zeigt eine Sensoranordnung 10 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensoranordnung 10 weist einen Sensor 5 auf.
Der Sensor 5 weist insgesamt sechs Messspulen L1, L2, L3, L4, L5, L6 auf, welche auf einer nicht dargestellten Leiterplatte montiert sind. Jede der Messspulen weist einen jeweils zugeordneten Kern K1, K2, K3, K4, K5, K6 auf. Die Kerne K1, K2, K3, K4, K5, K6 sind im Grundzustand nicht magnetisiert. Die Messspulen L1, L2, L3, L4, L5, L6 sind wie gezeigt elektrisch in Reihe geschaltet. Sie sind geometrisch entlang eines durch ihre Anordnung vorgegebenen Pfads angeordnet, welcher gerade ist. Für die jeweiligen Induktivitäten, welche gleich wie die Messspulen bezeichnet werden, gilt die Beziehung L1 < L2 < L3 < L4 < L5 < L6. Die Induktivitäten steigen also von links nach rechts an. Vorliegend weist jede Messspule eine Induktivität auf, welche verglichen mit der Induktivität der Messspule unmittelbar links von ihr um 50 % erhöht ist.
Die Sensoranordnung 10 weist ferner eine Führung 20 auf. Die Führung 20 ist unmittelbar über dem durch die Messspulen L1, L2, L3, L4, L5, L6 vorgegebenen Pfad angeordnet. An der Führung 20 ist ein magnetisch wirksames Element in Form eines Permanentmagneten 30 angeordnet. Der Permanentmagnet 30 kann in der Führung 20 entlang des Pfads verschoben werden.
Der Permanentmagnet 30 ist mit einem Betätigungsglied in Form einer Stange 35 verbunden. Die Stange 35 kann an ein Bauteil angeschlossen werden, dessen Bewegung relativ zum Sensor 5 gemessen werden soll. Eine Bewegung des nicht dargestellten Bauteils wird dann über die Stange 35 auf den Permanentmagneten 30 übertragen, welcher sich entsprechend entlang des Pfads in der Führung 20 bewegt.
Die Sensoranordnung 10 weist ferner eine Messschaltung 40 auf, welche in bekannter Art und Weise ausgeführt ist. Die Messschaltung 40 ist dazu ausgebildet, eine Gesamtinduktivität der in Reihe geschalteten Messspulen L1, L2, L3, L4, L5, L6 zu messen.
2 zeigt eine typische Kennlinie des Sensors 5 von 1. Auf der horizontalen Achse ist dabei eine dimensionslose Größe s als Maß für eine Verschiebung des Permanentmagneten 30 entlang des Pfads angegeben. Auf der vertikalen Achse ist eine ebenfalls dimensionslose Größe M als Maß für einen von der Messschaltung 40 gemessenen Wert angegeben. Hierbei handelt es sich um einen Wert, welcher aus der Gesamtinduktivität des Sensors 5 berechnet wird. Wie gezeigt ist die Kennlinie bei Werten zwischen etwa s = –20 und s = 20 monoton fallend. In diesem Bereich kann aus dem Wert von M unmittelbar auf die jeweilige Position des Permanentmagneten 30 entlang des Pfads geschlossen werden. In diesem Bereich der Kennlinie eignet sich somit der Sensor 5 für eine unmittelbare Positionsbestimmung des Permanentmagneten 30 entlang des Pfads. Hierdurch kann insbesondere auch auf eine Position eines mit dem Permanentmagneten 30 über die Stange 35 verbundenen Bauteils geschlossen werden. Damit kann der Sensor 5 als Teil der Sensoranordnung 10 zum Messen relativer Bewegungen verwendet werden.
Die zur Anmeldung gehörigen Ansprüche stellen keinen Verzicht auf die Erzielung weitergehenden Schutzes dar.
Sofern sich im Laufe des Verfahrens herausstellt, dass ein Merkmal oder eine Gruppe von Merkmalen nicht zwingend nötig ist, so wird anmelderseitig bereits jetzt eine Formulierung zumindest eines unabhängigen Anspruchs angestrebt, welcher das Merkmal oder die Gruppe von Merkmalen nicht mehr aufweist. Hierbei kann es sich beispielsweise um eine Unterkombination eines am Anmeldetag vorliegenden Anspruchs oder um eine durch weitere Merkmale eingeschränkte Unterkombination eines am Anmeldetag vorliegenden Anspruchs handeln. Derartige neu zu formulierende Ansprüche oder Merkmalskombinationen sind als von der Offenbarung dieser Anmeldung mit abgedeckt zu verstehen.
Es sei ferner darauf hingewiesen, dass Ausgestaltungen, Merkmale und Varianten der Erfindung, welche in den verschiedenen Ausführungen oder Ausführungsbeispielen beschriebenen und/oder in den Figuren gezeigt sind, beliebig untereinander kombinierbar sind. Einzelne oder mehrere Merkmale sind beliebig gegeneinander austauschbar. Hieraus entstehende Merkmalskombinationen sind als von der Offenbarung dieser Anmeldung mit abgedeckt zu verstehen.
Rückbezüge in abhängigen Ansprüchen sind nicht als ein Verzicht auf die Erzielung eines selbständigen, gegenständlichen Schutzes für die Merkmale der rückbezogenen Unteransprüche zu verstehen. Diese Merkmale können auch beliebig mit anderen Merkmalen kombiniert werden.
Merkmale, die lediglich in der Beschreibung offenbart sind oder Merkmale, welche in der Beschreibung oder in einem Anspruch nur in Verbindung mit anderen Merkmalen offenbart sind, können grundsätzlich von eigenständiger erfindungswesentlicher Bedeutung sein. Sie können deshalb auch einzeln zur Abgrenzung vom Stand der Technik in Ansprüche aufgenommen werden.

Claims

Magnetischer Sensor (5) zur Detektion eines magnetisch wirksamen Elements (30), – welcher eine Mehrzahl von Messspulen (L) aufweist, – wobei jede Messspule (L) einen ihr zugeordneten Magnetkern (K) aufweist, – wobei die Messspulen (L) entlang eines Pfads angeordnet sind, – wobei die Messspulen (L) elektrisch entlang des Pfads in Reihe geschaltet sind, und – wobei die Messspulen (L) jeweilige Induktivitäten aufweisen, welche entlang des Pfads in einer Richtung ansteigen.
Magnetischer Sensor (5) nach Anspruch 1, – welcher dazu ausgebildet ist, ein gemeinsames Ausgangssignal, insbesondere eine Gesamtinduktivität, abhängig von einer Position des magnetisch wirksamen Elements (30) entlang des Pfads zu erzeugen.
Magnetischer Sensor (5) nach Anspruch 2, – wobei das magnetisch wirksame Element (30) – ein ferromagnetischer hochpermeabler Körper, – ein elektrisch leitfähiger Körper, oder – ein Permanentmagnet ist.
Magnetischer Sensor (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, – wobei die jeweiligen Magnetkerne (K) keine remanente Magnetisierung aufweisen.
Magnetischer Sensor (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, – wobei die Messspulen (L) auf einer Leiterplatte, einem Leadframe oder einem Molded Interconnected Devices(MID)-Träger angeordnet sind.
Magnetischer Sensor (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, – wobei jede Messspule (L) aus abgeschiedenen und strukturierten und/oder laminierten Schichten aus einem Metall, insbesondere einem Leichtmetall, Kupfer oder einer Legierung mit Nickel und/oder Palladium, und einem ferromagnetischen Material aufgebaut ist.
Magnetischer Sensor (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, – wobei die Messspulen (L) so nah voneinander beabstandet sind, dass sich bei Bewegung eines magnetisch wirksamen Elements (30) entlang des Pfads eine Kennlinie der Gesamtinduktivität ergibt, welche zumindest über die Hälfte des Pfads, bevorzugt über zumindest drei Viertel des Pfads, monoton steigend oder fallend ist.
Sensoranordnung (10), aufweisend – einen magnetischen Sensor (5) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, – ein magnetisch wirksames Element (30), und – eine Führung (20) für das magnetisch wirksames Element (30), – wobei die Führung (20) derart ausgebildet ist, dass das magnetisch wirksame Element (30) entlang des Pfads bewegbar ist.
Sensoranordnung (10) nach Anspruch 8, – wobei das magnetisch wirksame Element (30) ein Betätigungsglied (35) aufweist, mittels welchem es von außerhalb der Führung (20) entlang des Pfads bewegbar ist.
Sensoranordnung (10) nach Anspruch 8 oder 9, – wobei das magnetisch wirksame Element (30) – ein ferromagnetischer hochpermeabler Körper, – ein elektrisch leitfähiger Körper, oder – ein Permanentmagnet ist.
Sensoranordnung (10) nach einem der Ansprüche 8 bis 10, – welche ferner eine Messschaltung (40) zum Ermitteln einer Gesamtinduktivität der Messspulen (L) aufweist.
Verfahren zur Bestimmung der Position eines magnetisch wirksamen Elements (30), wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist: – Anordnen des magnetisch wirksamen Elements (30) über einem magnetischen Sensor (5) nach einem der Ansprüche 1 bis 7 entlang des Pfads, – Messen einer Gesamtinduktivität der Messspulen (L), und – Ermitteln der Position basierend auf der Gesamtinduktivität.
Verfahren nach Anspruch 12, – welches ferner einen Schritt des Veränderns der Position des magnetisch wirksamen Elements (30) entlang des Pfads aufweist.
Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, – wobei das magnetisch wirksame Element (30) – ein ferromagnetischer hochpermeabler Körper, – ein elektrisch leitfähiger Körper, oder – ein Permanentmagnet ist.
Verfahren nach einem der Ansprüche 12 bis 14, – wobei der Sensor (5) Teil einer Sensoranordnung (10) nach einem der Ansprüche 8 bis 11 ist.