-
Stand der Technik
-
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zur berührungslosen Interaktion mit einem Modul nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Ferner geht die vorliegende Erfindung aus von einem Laserprojektor und von einem Modul mit einer Schnittstelle zur berührungslosen Interaktion mit einem Objekt.
-
Vorrichtungen zur Bereitstellung einer Mensch-Maschinen-Schnittstelle sind allgemein bekannt.
-
Offenbarung der Erfindung
-
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren, ein Modul und einen Laserprojektor vorzuschlagen, wodurch eine berührungslose Interaktion eines Benutzers mit einem vergleichsweise kompakt und kostengünstig konstruierten Modul und/oder Laserprojektor ermöglicht wird.
-
Das erfindungsgemäße Verfahren zur berührungslosen Interaktion mit dem Modul, das Modul und der Laserprojektor gemäß den nebengeordneten Ansprüchen haben gegenüber dem Stand der Technik den Vorteil, dass eine vergleichsweise zuverlässige und präzise Erkennung von Steuerbefehlen durch die berührungslose Detektion des Objekts ermöglicht wird. In besonders vorteilhafter Weise ist das zweite Teilmodul derart konfiguriert, dass durch Ablenkung des Primärstrahls durch das zweite Teilmodul die Bildinformation in den Projektionsbereich und die Bedieninformation in den Bedienbereich projiziert wird. Durch eine solche Konfiguration des zweiten Teilmoduls wird in vorteilhafter Weise ermöglicht, dass durch die Ablenkung des Primärstrahls mit derselben Ablenkvorrichtung (d.h. beispielsweise einer mikroelektromechanischen Scanspiegelstruktur) der Primärstrahl durch das zweite Teilmodul derart abgelenkt wird, dass der Projektionsbereich und der Bedienbereich (räumlich und/oder zeitlich) separat voneinander angeordnet werden bzw. sind. Durch die separate Anordnung des Bedienbereichs – beispielsweise einer Bedienfläche oder Bedienebene – und des Projektionsbereichs – beispielsweise einer Projektionsfläche oder Projektionsebene – wird in vorteilhafter Weise eine vergleichsweise zuverlässige und präzise Detektion des Steuerbefehls (bezüglich einer Bewegung und/oder Position eines Objekts) in einer mit dem Primärstrahl assoziierten Ortungszone realisiert. Bevorzugt wird der Steuerbefehl in Abhängigkeit einer Ortung – d.h. Positionsbestimmung und/oder Abstandsbestimmung – des Objekts (relativ zum Modul) durch das Modul 2 erkannt. Hierdurch wird durch das Modul eine Schnittstelle, insbesondere Mensch-Maschinen-Schnittstelle, bereitgestellt, wobei die Mensch-Maschinen-Schnittstelle auch als Human-Machine-Interface (HMI) und das Modul als HMI-Modul bezeichnet wird. In vorteilhafter Weise kann das Modul (nach dem Baukastenprinzip) in flexibler Weise in verschiedene elektrische Geräte integriert werden, sodass für das elektrische Gerät eine Schnittstelle zur berührungslosen Interaktion zwischen dem Objekt und dem elektrischen Gerät realisiert wird. Beispielsweise wird durch die kompakte Konstruktion des Moduls eine Integration in ein tragbares elektrisches Gerät ermöglicht, beispielsweise in einen tragbaren Laserprojektor bzw. ein mobiles Telekommunikationsendgerät.
-
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen, sowie der Beschreibung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen entnehmbar.
-
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das zweite Teilmodul eine mikroelektromechanische Scanspiegelstruktur umfasst, wobei der Primärstrahl durch die mikroelektromechanische Scanspiegelstruktur abgelenkt wird.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die Verwendung einer mikroelektromechanischen Scanspiegelstruktur ein gegenüber dem Stand der Technik vergleichsweise stark miniaturisiertes Modul zur Bereitstellung einer Mensch-Maschinen-Schnittstelle zur Verfügung gestellt wird.
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der Primärstrahl durch die mikroelektromechanische Scanspiegelstruktur derart abgelenkt wird, dass in den Projektionsbereich und in den Bedienbereich jeweils zeilenweise zusammengesetzte Bilder projiziert werden.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch dieselbe Scanspiegelstruktur ein Bild in den Projektionsbereich (bzw. auf eine Projektionsfläche) und ein Bild in den Bedienbereich (bzw. auf eine Bedienfläche) projiziert werden, sodass insbesondere separate Mittel zur Erzeugung des Bedienbereichs eingespart werden können.
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der Primärstrahl derart abgelenkt wird,
- – dass sich der Projektionsbereich und der Bedienbereich entlang derselben Ebene erstrecken oder
- – dass sich der Projektionsbereich und der Bedienbereich entlang nicht-paralleler, insbesondere orthogonaler, Ebenen erstrecken.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die (räumlich) separate Anordnung des Bedienbereichs und des Projektionsbereichs eine bequeme und benutzerfreundliche Steuerung des Moduls (und insbesondere des Laserprojektors) ermöglicht wird, da durch die Bewegung und/oder Positionierung des Objekts in dem Bedienbereich bei der Eingabe des Steuerbefehls das in den Projektionsbereich projizierte Bild nicht gestört wird (wie beispielsweise bei einem Schattenwurf).
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass der Steuerbefehl eine Position und/der Bewegung eines Objekts entlang eines mit dem Bedienbereich assoziierten Ortungsbereichs der Ortungszone umfasst, wobei in dem vierten Verfahrensschritt die Position und/oder Bewegung des Objekts durch Ortung des Objekts mit dem Primärstrahl detektiert wird.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass eine bequeme und benutzerfreundliche berührungslose Eingabe von Steuerbefehlen durch den Benutzer ermöglicht wird, wobei der Steuerbefehl durch Ortung des Objekts dennoch vergleichsweise präzise durch das Modul erkannt werden kann. Weiterhin wird hierdurch vorteilhaft ermöglicht, dass der Primärstrahl sowohl zur Projektion der Bildinformation und Bedieninformation als auch zur Detektion des Objekts eingesetzt wird, sodass das Modul gegenüber dem Stand der Technik besonders kompakt konstruiert ist.
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass in dem dritten Verfahrensschritt die Bedieninformation eingeblendet wird, wenn ein Objekt in einem mit dem Projektionsbereich assoziierten weiteren Ortungsbereich der Ortungszone durch das Modul detektiert wird.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass die Bedieninformation auf einen Steuerbefehl des Benutzers hin eingeblendet wird und ansonsten (beispielsweise nach einem vorbestimmten Zeitintervall) ausgeblendet wird oder ist, sodass Energie eingespart werden kann.
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass in Abhängigkeit des Steuersignals das erste und/oder zweite Teilmodul derart gesteuert werden, dass eine veränderte Bildinformation in den Projektionsbereich projiziert wird.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die Detektion des Steuerbefehls (insbesondere durch Ortung des Objekts in der Ortungszone) das Modul berührungslos gesteuert werden kann.
-
Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung ist vorgesehen, dass das Modul in einem Laserprojektor integriert ist, wobei in Abhängigkeit des Steuersignals der Laserprojektor gesteuert wird, wobei insbesondere der Laserprojektor ein Tonerzeugungsmittel und/oder ein Anzeigemittel aufweist, wobei insbesondere das Tonerzeugungsmittel und/oder das Anzeigemittel des Laserprojektors in Abhängigkeit des Steuersignals gesteuert wird.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die Detektion des Steuerbefehls (insbesondere durch Ortung des Objekts in der Ortungszone) der Laserprojektor berührungslos gesteuert werden kann.
-
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Moduls ist vorgesehen, dass das zweite Teilmodul eine mikroelektromechanische Scanspiegelstruktur zur Ablenkung des Primärstrahls umfasst, wobei die Scanspiegelstruktur ein um eine erste Achse verschwenkbares Scanspiegelelement aufweist, wobei das Scanspiegelelement um eine zur ersten Achse orthogonale zweite Achse verschwenkbar ist und/oder wobei die Scanspiegelstruktur ein um die zweite Achse verschwenkbares weiteres Scanspiegelelement umfasst.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die Verwendung einer mikroelektromechanischen Scanspiegelstruktur ein gegenüber dem Stand der Technik vergleichsweise stark miniaturisiertes Modul zur Bereitstellung einer Mensch-Maschinen-Schnittstelle zur Verfügung gestellt wird.
-
Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemäßen Laserprojektors ist vorgesehen, dass der Laserprojektor in Abhängigkeit des Steuersignals des Moduls steuerbar ist, wobei der Laserprojektor ein Tonerzeugungsmittel und/oder ein Anzeigemittel aufweist, wobei das Tonerzeugungsmittel und/oder das Anzeigemittel des Laserprojektors in Abhängigkeit des Steuersignals steuerbar ist.
-
Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass durch die Detektion des Steuerbefehls (insbesondere durch Ortung des Objekts in der Ortungszone) der Laserprojektor berührungslos gesteuert werden kann.
-
Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert.
-
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
-
Es zeigen
-
1 ein Modul gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
-
2 und 3 einen Laserprojektor gemäß unterschiedlicher Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung,
-
4 einen Projektionsbereich und einen gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens der vorliegenden Erfindung separat angeordneten Bedienbereich,
-
5 einen Laserprojektor gemäß einer Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung,
-
6 einen Projektionsbereich und einen gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens der vorliegenden Erfindung separat angeordneten Bedienbereich,
-
7 eine Scanspiegelstruktur eines Moduls gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
-
Ausführungsform(en) der Erfindung
-
In den verschiedenen Figuren sind gleiche Teile stets mit den gleichen Bezugszeichen versehen und werden daher in der Regel auch jeweils nur einmal benannt bzw. erwähnt.
-
In 1 ist ein Modul 2 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt. Durch das Modul 2 wird eine Schnittstelle – insbesondere eine Benutzerschnittstelle bzw. Mensch-Maschinen-Schnittstelle (Human-Machine-Interface – HMI) – zur berührungslosen Interaktion mit einem Objekt 4 (eines Benutzers) bereitgestellt. Das Objekt 4 ist insbesondere ein Auswahlobjekt bzw. Steuerobjekt – beispielsweise ein Finger, Stift oder ein anderer räumlich-körperlicher Gegenstand. Insbesondere erfolgt die Interaktion des Moduls 2 mit dem Objekt 4 durch Detektion einer Bewegung und/oder Position des Objekts 4, wobei das Objekt 4 insbesondere geortet wird.
-
Das Modul 2 weist ein erstes Teilmodul 21 zur Erzeugung eines Primärstrahls 3 auf. Das erste Teilmodul 21 ist insbesondere ein Lichtmodul 21, bevorzugt ein Lasermodul 21, besonders bevorzugt ein Rot-Grün-Blau(RGB-)Modul 21. Bevorzugt ist der Primärstrahl 3 ein Primärlaserstrahl 3, wobei der Primärlaserstrahl 3 rotes Licht, grünes Licht, blaues Licht und/oder Infrarotlicht aufweist.
-
Weiterhin weist das Modul 2 ein zweites Teilmodul 22 zur Ablenkung des Primärstrahls 3 auf, sodass der Primärstrahl 3 insbesondere eine zeilenartige Scanbewegung durchführt. Das zweite Teilmodul 22 ist derart konfiguriert, dass durch Ablenkung des Primärstrahls 3 eine Bildinformation in einen Projektionsbereich 200 – insbesondere auf eine Projektionsfläche 200 eines Projektionsobjekts 20 – projiziert wird. Das bedeutet insbesondere, dass die Scanbewegung des Primärstrahls 3 in einer solchen Weise erfolgt, dass mit dem Primärstrahl 3 ein für den Benutzer sichtbares Bild auf das Projektionsobjekt 4 – beispielsweise eine Wand – projiziert wird. Insbesondere bezieht sich die Bildinformation auf ein zeilenweise zusammengesetztes Bild – beispielsweise ein Einzelbild bzw. Stehbild einer Videosequenz, eine fotografische Abbildung, ein computergeneriertes Bild und/oder ein anderes Bild. Bevorzugt ist das zweite Teilmodul 22 ein Scanmodul 22 bzw. Scanspiegelmodul 22, wobei das Scanspiegelmodul 22 besonders bevorzugt ein mikroelektromechanisches System (MEMS) zur Ablenkung des Primärstrahls 3 umfasst. Bevorzugt wird der Primärstrahl 3 durch das zweite Teilmodul 22 derart abgelenkt, dass der Primärstrahl 3 die Scanbewegung (d.h. insbesondere eine mehrzeilige bzw. rasterartige Abtastbewegung) entlang des Projektionsbereichs 200 (d.h. insbesondere der Projektionsfläche 200 des Projektionsobjekts 20) durchführt. Bevorzugt ist das Scanspiegelmodul 22 zur Erzeugung eines (zeitabhängigen) Ablenkstellungssignals bezüglich einer Ablenkstellung des Scanspiegelmoduls 22 während der Scanbewegung konfiguriert.
-
Bevorzugt weist das Modul 2 ein drittes Teilmodul 23, insbesondere ein Detektionsmodul 23, zur Detektion eines durch Wechselwirkung des Primärstrahls 3 mit dem Objekt 4 erzeugten Sekundärsignals 5 auf. Beispielsweise wird das Sekundärsignal durch Reflexion des Primärstrahls 3 an dem Objekt 4 erzeugt, wenn das Objekt 4 derart relativ zum Modul 2 positioniert ist und/oder bewegt wird, dass das Objekt 4 von dem Primärstrahl 3 während der Scanbewegung des Primärstrahls 3 erfasst werden kann. Insbesondere wird durch das Detektionsmodul 23 ein (zeitabhängiges) Detektionssignal erzeugt, wobei das Detektionssignal insbesondere eine Information bezüglich des detektierten Sekundärsignals 5 und/oder bezüglich weiterer Sekundärsignale 5‘ umfasst. Beispielsweise beziehen sich die weiteren Sekundärsignale 5‘ auf eine Reflexion des Primärstrahls (siehe Bezugszeichen 3‘) an anderen Objekten wie beispielsweise dem Projektionsobjekt 20.
-
Bevorzugt weist das Modul 2 ein viertes Teilmodul 24 zur Erzeugung eines Ortungssignals auf, wobei das Ortungssignal insbesondere eine Information bezüglich einer (zeitlichen) Korrelation des Detektionssignals mit dem Ablenkstellungssignal umfasst. Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, dass eine Position und/oder Bewegung des Objekts 4 (relativ zum Modul 2 und/oder relativ zum Projektionsobjekt 20) berührungslos – insbesondere durch Ortung des Objekts 4 mit dem Primärstrahl 3 – detektiert wird. Hierbei bedeutet „Ortung“ insbesondere eine Positionsbestimmung und/oder Abstandsbestimmung.
-
Bevorzugt weist das Modul 2 ferner ein fünftes Teilmodul 25 zur Steuerung des ersten Teilmoduls 21 und/oder des zweiten Teilmoduls 22 auf. Beispielsweise ist das fünfte Teilmodul 25 ein Steuermodul 25 zur Erzeugung eines Steuersignals zur Steuerung des ersten Teilmoduls 21 und/oder des zweiten Teilmoduls 22 in Abhängigkeit des Ortungssignals.
-
In 2 ist ein Laserprojektor 1 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei in dem Laserprojektor 1 ein Modul 2 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung integriert ist. Die hier dargestellte Ausführungsform des Moduls 2 ist insbesondere im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen. Das zweite Teilmodul 22 des Moduls 2 ist derart konfiguriert, dass durch Ablenkung des Primärstrahls 3 eine Bedieninformation in einen Bedienbereich 300 projiziert wird. Beispielsweise bezieht sich die Bedieninformation auf ein zeilenweise zusammengesetztes Bild – beispielsweise ein Einzelbild bzw. Stehbild einer Videosequenz, eine fotografische Abbildung, ein computergeneriertes Bild und/oder ein anderes Bild.
-
Das zweite Teilmodul 22 des Moduls 2 ist derart zur Ablenkung des Primärstrahls 3 konfiguriert, dass der (durch diese Ablenkung des Primärstrahls 3 erzeugte) Projektionsbereich 200 und der der (durch diese Ablenkung des Primärstrahls 3 erzeugte) Bedienbereich 300 separat voneinander angeordnet sind. Beispielsweise ist der Laserprojektor 1 auf einer Unterlage 10 (beispielsweise einem Tisch) angeordnet, wobei sich beispielsweise die Unterlage 10 und das Projektionsobjekt 20 hauptsächlich entlang zueinander senkrechter Ebenen erstrecken. Insbesondere wird dabei die Bildinformation in den Projektionsbereich 200 (d.h. eine Projektionsfläche 200) auf das Projektionsobjekt 20 projiziert und die Bedieninformation in den Bedienbereich 300 (d.h. eine Bedienfläche) auf die Unterlage 10 projiziert. Wird das Objekt 4 in der dargestellten Weise (siehe gestrichelte Linie) – hier von oben (d.h. entlang einer Projektionsrichtung im Wesentlichen senkrecht zu einer Haupterstreckungsebene der Unterlage 10) – zu der Bedienfläche 300 hinbewegt, so wird – beispielsweise bei einem Kontakt zwischen Objekt 4 und Bedienfläche 300 – der (mit der Position und/oder Bewegung des Objekts 4 assoziierte) Steuerbefehl durch das Modul 2 detektiert.
-
In 3 ist ein Laserprojektor 1 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die hier dargestellte Ausführungsform im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen ist. Das Modul 2 ist derart konfiguriert, dass das Steuersignal (zur Steuerung des ersten Teilmoduls 21 und/oder des zweiten Teilmoduls 22 in Abhängigkeit des Ortungssignals) erzeugt wird, wenn ein (mit einer Bewegung und/oder Position des Objekts 4 verknüpfter) Steuerbefehl in einer mit dem Primärstrahl 3 assoziierten Ortungszone 30, 30‘ (durch Ortung der Bewegung und/oder Position des Objekts 4) detektiert wird. Die Ortungszone 30, 30‘ umfasst insbesondere einen mit dem Bedienbereich 300 assoziierten Ortungsbereich 30 (d.h. Raumwinkelbereich) und/oder einen mit dem Projektionsbereich 200 assoziierten weiteren Ortungsbereich 30‘ (d.h. Raumwinkelbereich).
-
Wenn die Bedieninformation zunächst noch ausgeblendet ist (d.h. die Bedieninformation wird nicht in den Bedienbereich 300 projiziert bzw. ist nicht sichtbar), wird die Bedieninformation (erst dann) eingeblendet, wenn das Objekt 4 durch das Modul 2 detektiert – insbesondere geortet – wird. Beispielsweise wird das Objekt 4 detektiert, wenn das Objekt 4 in einem mit dem Projektionsbereich 200 assoziierten weiteren Ortungsbereich 30‘ (durch Ortung der Bewegung und/oder Position des Objekts 4) positioniert und/oder entlang des weiteren Ortungsbereichs 30‘ bewegt wird.
-
In 4 ist ein Projektionsbereich 200 und ein separat angeordneter Bedienbereich 300 gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die hier dargestellte Ausführungsform im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen ist. Der Primärstrahl 3 wird derart abgelenkt, dass sich der Projektionsbereich 200 und der Bedienbereich 300 entlang derselben Ebene erstrecken, aber (getrennt) nebeneinander angeordnet sind. Beispielsweise sind der Projektionsbereich 200 und der Bedienbereich (aus Sicht eines stehenden Benutzers) untereinander (siehe linke Seite) oder übereinander (siehe rechte Seite) angeordnet.
-
In 5 ist ein Laserprojektor 1 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die hier dargestellte Ausführungsform im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen ist. Durch das zweite Teilmodul 22 wird der Primärstrahl 3 derart abgelenkt, dass durch Projektion der Bedieninformation wenigstens ein Steuerelement in den Bedienbereich 300 projiziert (d.h. abgebildet) wird, wobei insbesondere jeweils ein Steuerelement 301, 302, 303 des wenigstens einen Steuerelements des Bedienbereichs 300 einem Steuerbefehl zugeordnet ist. Beispielsweise ist ein erstes Steuerelement 301 einem ersten Steuerbefehl (z.B. bezüglich einer Film-Rückspul-Funktionalität des Laserprojektors 1) zugeordnet, ein zweites Steuerelement 302 einem zweiten Steuerbefehl (z.B. bezüglich einer Film-Vorspul-Funktionalität des Laserprojektors 1) zugeordnet und/oder ein drittes Steuerelement 303 einem dritten Steuerbefehl (z.B. bezüglich einer Lautstärkeregelung eines Tonerzeugungsmittels des Laserprojektors 1) zugeordnet. In entsprechender Weise werden insbesondere weitere Steuerelemente (nicht dargestellt) weiteren Steuerbefehlen (bezüglich einer Wiedergabe von Medieninhalten oder anderen Funktionen) zugeordnet.
-
Besonders bevorzugt wird durch das Modul 2 ein einem bestimmten Steuerelement 301, 302, 303 zugeordneter Steuerbefehl erkannt, wenn durch Ortung des Objekts 4 (durch das Modul 2) detektiert wird, dass das Objekt 4 in einem Teilbereich des Bedienbereichs 300 positioniert bzw. dort entlang bewegt wird, der mit dem bestimmten Steuerelement 301, 302, 303 (räumlich und/oder zeitlich) verknüpft ist.
-
In 6 ist ein Projektionsbereich 200 und ein gemäß einer Ausführungsform des Verfahrens der vorliegenden Erfindung separat angeordneter Bedienbereich 300 dargestellt, wobei die hier dargestellte Ausführungsform im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen ist. Der Steuerbefehl bezieht sich hier auf eine Bewegung des Objekts 4 (beispielsweise des Fingers des Benutzers) entlang eines sich flächig erstreckenden – insbesondere planen – Bedienbereichs 200 (beispielsweise auf der Oberfläche der Unterlage 10). Die Bewegung des Objekts 4 ist beispielsweise eine Gestenbewegung, Klickbewegung und/oder andere Bewegung. Hierdurch ist es vorteilhaft möglich, eine Befehlsgeberfunktionalität (beispielsweise eine Mousepad-Funktionalität oder Tastaturfunktionalität) durch das erfindungsgemäße Modul 2 bereitzustellen.
-
In 7 ist ein Scanspiegelelement 7 einer Scanspiegelstruktur 7, 7‘ eines Moduls 2 gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei die hier dargestellte Ausführungsform insbesondere im Wesentlichen identisch zu den anderen erfindungsgemäßen Ausführungsformen ist. Das Scanspiegelelement 7 der Scanspiegelstruktur 7, 7‘ weist ein verschwenkbares Spiegelmittel 71, eine Federstruktur 72, eine bewegliche Balkenstruktur 73 und eine weitere Federstruktur 74 auf. Insbesondere erstreckt sich die Federstruktur 72 und die weitere Federstruktur 74 hauptsächlich entlang einer ersten Achse 701. Weiterhin ist das Spiegelmittel 71 insbesondere über die Federstruktur 72 an dem Balkenelement 73 mittelbar verbunden und das Balkenelement 73 über die weitere Federstruktur 74 an einem Substrat 75 mittelbar verbunden. Bevorzugt sind die Federstruktur 72 und/oder die weitere Federstruktur 74 Torsionsfedern und/oder Biegefedern. Bevorzugt ist das Scanspiegelelement 7 derart konfiguriert, dass das Spiegelmittel 71 um die erste Achse 701 und um die zweite Achse 702 verschwenkbar ist, wobei die erste Achse 701 im Wesentlichen senkrecht zur zweiten Achse 702 ist, wobei sich insbesondere die erste Achse 701 und/oder die zweite Achse im Wesentlichen parallel zu einer Haupterstreckungsebene des Substrats 75 erstrecken.
