DE102014115386A1 - Maintenance trolley and vacuum substrate treatment plant - Google Patents

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer Arbeitsplattform und Rädern sowie eine Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, wobei mindestens eine Kammerwand als von der Anlagenkammer entfernbare Kammertür ausgebildet ist, die in einer ersten Türposition eine Kammeröffnung verschließt und in einer zweiten Türposition die Kammeröffnung freigibt, wobei mindestens ein Wartungswagen zwischen einer Ruheposition und mindestens einer Arbeitsposition hin und her beweglich ist, wobei die Arbeitsplattform in der mindestens einen Arbeitsposition vor der Kammeröffnung und auf derselben Höhe wie eine untere Begrenzung der Kammeröffnung positioniert ist.The invention relates to a maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant with a working platform and wheels and a vacuum substrate treatment plant with a chamber chamber bounded by chamber walls, wherein at least one chamber wall is formed as removable from the plant chamber chamber door which closes a chamber opening in a first door position and in a second door position releases the chamber opening, wherein at least one maintenance trolley between a rest position and at least one working position is movable back and forth, wherein the working platform is positioned in the at least one working position in front of the chamber opening and at the same height as a lower boundary of the chamber opening.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Substratbehandlungsanlage, insbesondere eine Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlage für bandförmige Substrate wie Folien, Metallbänder und dergleichen, mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1. The invention relates to a vacuum substrate treatment plant, in particular a roll-to-roll coating plant for strip-shaped substrates such as films, metal strips and the like, having the features of patent claim 1.

Bekannte Vakuumbeschichtungsanlagen zum Beschichten von bandförmigem Material in Prozesskammern umfassen in einer ersten evakuierbaren Haspelkammer eine Abwickeleinrichtung mit einem eingesetzten Abwickel des zu beschichtenden bandförmigen Materials, der in einem ersten Walzenstuhl angeordnet ist, und in einer zweiten evakuierbaren Haspelkammern eine Aufwickeleinrichtung mit einem herausnehmbaren Aufwickel des beschichteten Materials, der in einem zweiten Walzenstuhl angeordnet ist. Zwischen den Haspelkammern durchläuft das zu beschichtende bandförmige Material mindestens eine evakuierbare Prozesskammer, wobei in jeder Prozesskammer ein Prozesswalzenstuhl mit Führungseinrichtungen für das bandförmige Material und eine Kühlwalze angeordnet ist, über deren Oberfläche sich mindestens eine Magnetronsputterquelle befindet. Known vacuum coating systems for coating strip-shaped material in process chambers comprise in a first evacuatable coiler chamber an unwinding device with an inserted unwinding of the strip material to be coated, which is arranged in a first roll mill, and in a second evacuatable coiler chambers a take-up device with a removable take-up of the coated material which is arranged in a second roller mill. Between the reel chambers to be coated band-shaped material passes through at least one evacuated process chamber, wherein in each process chamber, a process roller chair with guide means for the band-shaped material and a cooling roller is arranged, over the surface of which is at least one Magnetronsputterquelle.

Bei anderen bekannten Bandbeschichtungsanlagen sind Abwickel und Aufwickel innerhalb der Prozesskammer angeordnet, mit dem Vorteil, dass keine separaten Haspelkammern benötigt werden, aber mit dem Nachteil, dass ein Austausch der Haspeln nicht ohne Belüftung der gesamten Prozesskammer möglich ist. Auch dieser Anlagentyp kann durch die hierin beschriebene Erfindung vorteilhaft verbessert werden. In other known coil coating systems unwinding and winding are arranged within the process chamber, with the advantage that no separate reel chambers are needed, but with the disadvantage that a replacement of the reels is not possible without ventilation of the entire process chamber. Also, this type of equipment can be advantageously improved by the invention described herein.

Aus der DE 197 35 603 C1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage für bandförmige Materialien bekannt, die zwei Prozesskammern aufweist. In jeder Prozesskammer gibt es einen Walzenstuhl, in dem Umlenkrollen, Bandzugmesswalzen und eine Kühlwalze gelagert sind. Jeder Walzenstuhl ist horizontal und vertikal verstellbar ausgeführt, um eine Justage zueinander zu ermöglichen und damit Faltenbildung des bandförmigen Materials zu vermeiden. Die Prozesskammern sowie die Haspelkammern sind durch Bandventile vakuummäßig voneinander getrennt, um mit unterschiedlichen Gasen und mit unterschiedlichen Drücken arbeiten zu können. Durch die Bandventile wird das zu beschichtende bandförmige Material transportiert. From the DE 197 35 603 C1 For example, a vacuum coating machine for strip-shaped materials is known, which has two process chambers. In each process chamber there is a roller mill, in which deflection rollers, Bandzugmesswalzen and a cooling roller are mounted. Each roller mill is horizontally and vertically adjustable to allow an adjustment to each other and thus avoid wrinkling of the band-shaped material. The process chambers and the reel chambers are vacuum-separated from each other by band valves in order to be able to work with different gases and with different pressures. Through the band valves to be coated band-shaped material is transported.

Abwickel und Aufwickel befinden sich in Haspelkammern. Das zu beschichtende Material wird in der ersten Haspelkammer vom Abwickel abgerollt, dem Beschichtungsprozess zugeführt und anschließend in der zweiten Haspelkammer aufgewickelt. Unwind and take-up are located in reel chambers. The material to be coated is unrolled in the first reel chamber from the unwind, fed to the coating process and then wound up in the second coiler chamber.

Für die Beschichtung des bandförmigen Materials können beispielsweise Magnetronsputterquellen, aber auch andere Beschichtungsquellen wie beispielsweise thermische Verdampfer mit Dampfverteilerrohren oder Ionenquellen verwendet werden, die relativ zur jeweiligen Kühlwalze verstellbar angeordnet sind, dass ihre Mittellängslinie zur Mittelachse ihrer zugehörigen Kühlwalze achsenparallel justierbar ist. In Abhängigkeit von der verwendeten Beschichtungsquelle kann vorgesehen sein, dass ein oder mehrere Beschichtungsquellen in jeweils einem Kompartment angeordnet sind, das zur Gasseparation der jeweiligen Beschichtungsquelle gegenüber der Prozesskammer geeignet ist. Magnetron sputtering sources, for example, but also other coating sources such as thermal evaporators with steam distribution tubes or ion sources can be used for the coating of the band-shaped material, which are arranged adjustable relative to the respective cooling roller, that their central longitudinal line to the central axis of their associated cooling roller is adjustable axis-parallel. Depending on the coating source used, it can be provided that one or more coating sources are arranged in each case in a compartment which is suitable for gas separation of the respective coating source relative to the process chamber.

Neben den benannten Beschichtungsquellen kann auch andere zusätzlich benötigte Prozesstechnik in der Peripherie der Kühlwalze angeordnet werden. Hinsichtlich der Montage der Prozesstechnik können zwei Gruppen unterschieden werden. So ist Prozesstechnik bekannt, die vor dem Verschließen der Kammerwand einer Prozesskammer in der Prozesskammer angeordnet werden kann. Die andere Gruppe von Prozesstechnik kann erst nach oder mit dem Verschließen der Kammerwand in der Prozesskammer angeordnet werden, indem diese Prozesstechnik durch eine Öffnung in der Kammerwand in die Prozesskammer bringbar ist, wobei diese Prozesstechnik einseitig nach Art eines Kragträgers (Cantilever) an der Kammerwand selbst gehaltert ist. In addition to the named coating sources, other additionally required process technology can be arranged in the periphery of the cooling roller. With regard to the assembly of the process technology, two groups can be distinguished. So process technology is known, which can be arranged in the process chamber before closing the chamber wall of a process chamber. The other group of process technology can be arranged only after or with the closing of the chamber wall in the process chamber by this process technology can be brought through an opening in the chamber wall in the process chamber, this process technique on one side in the manner of a Kragträgers (cantilever) on the chamber wall itself is held.

Aus DE 101 57 186 C1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage der eingangs genannten Art bekannt, bei der der Walzenstuhl für den Abwickel auf einem ersten Befestigungspunkt in der ersten Haspelkammer, der Prozesswalzenstuhl auf einem zweiten und einem dritten Befestigungspunkt in der Prozesskammer und der Walzenstuhl für den Aufwickel auf einem vierten Befestigungspunkt in der zweiten Haspelkammer befestigt ist. Im Betriebszustand der Anlage beträgt die Druckdifferenz, zwischen einer Haspelkammer und der Prozesskammer, maximal 50 Pa. Out DE 101 57 186 C1 a vacuum coating apparatus of the aforementioned type is known in which the roll mill for the unwinding at a first attachment point in the first coiler chamber, the process roll mill at a second and a third attachment point in the process chamber and the roll mill for winding at a fourth attachment point in the second Bobbin chamber is attached. In the operating condition of the system, the pressure difference between a reel chamber and the process chamber, a maximum of 50 Pa.

Es hat sich in der Praxis gezeigt, dass eine rein achsenparallele Verschiebung der Anordnung von üblicherweise mehreren, entlang der Peripherie der Oberfläche der Kühlwalze mit einem geringen Spalt angeordneten Magnetronsputterquellen oder/und Kompartments schwierig zu realisieren ist, ohne dass es zu Berührungen zwischen der Anordnung und der Kühlwalze kommt. It has been shown in practice that a purely axis-parallel displacement of the arrangement of usually several, along the periphery of the surface of the cooling roller arranged with a small gap Magnetronsputterquellen or / and Kompartments is difficult to implement, without causing any contact between the arrangement and the chill roll comes.

Deshalb wurden in der Vergangenheit auch Mehrfachbeschichtungseinrichtungen mit einer Kühlwalze und einer Anordnung von Beschichtungsquellen und Kompartments entlang der Peripherie der Kühlwalze verwendet, die dieses Problem zu umgehen suchen. Dazu sind diese Anordnungen in mehrere, meist drei Teilanordnungen von Kompartments unterteilt, die jeweils einen Teilumfang der Kühlwalze von nicht mehr als 180° umfassen und die untereinander schwenkbar verbunden sind. Therefore, in the past, multiple coaters having a chill roll and an array of coating sources and compartments along the periphery of the chill roll have been used which seek to circumvent this problem. These arrangements are in several, usually three sub-arrangements of compartments divided, each comprising a partial circumference of the cooling roller of not more than 180 ° and which are pivotally connected to each other.

Aus DE 101 47 708 C1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von bandförmigem Material in Prozesskammern bekannt, bei der eine Abwickeleinrichtung und eine Aufwickeleinrichtung angeordnet ist, zwischen denen das zu beschichtende bandförmige Material mindestens eine evakuierbare Prozesskammer, in der Prozesskammervakuum herrscht, durchläuft, wobei in der Prozesskammer mindestens eine Kühlwalze angeordnet ist, über deren Oberfläche sich jeweils mindestens zwei Magnetronsputterquellen befinden, die voneinander getrennt, in Kompartments angeordnet sind, wobei die Kompartments jeweils durch die Kühlwalze einerseits und durch Kompartmentwände andererseits begrenzt sind, wobei die Kompartments die Kühlwalze mittels Strömungswiderständen partiell umschließen, und die Kompartmentwände außerhalb vollständig von dem Prozesskammervakuum umgeben sind und zwischen einem jeden Kompartment und dem Prozesskammervakuum eine Druckdifferenz einstellbar ist. In einer Ausführung ist vorgesehen, dass die Kompartmentwände zumindest mittelbar an einem gemeinsamen Wagen befestigt sind, der parallel zur Kühlwalzenachse verfahrbar ist. In einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass oberhalb der waagerechten Ebene, in der die Kühlwalzenachse liegt, angeordnete Kompartments von der Kühlwalze wegschwenkbar sind. In einer weiteren Ausführung ist vorgesehen, dass die Kompartments in Verbindung mit dem gemeinsamen Wagen absenkbar sind. Out DE 101 47 708 C1 a vacuum coating system for coating strip-shaped material in process chambers is known, in which an unwinding device and a winding device is arranged, between which the strip material to be coated passes through at least one evacuatable process chamber in which process chamber vacuum prevails, wherein at least one cooling roller is arranged in the process chamber , over the surface of which at least two magnetron sputtering sources are located, which are separated from each other, arranged in compartments, the compartments being bounded respectively by the cooling roll on the one hand and by compartment walls on the other hand, the compartments partially enclosing the cooling roll by means of flow resistances, and the compartment walls outside completely are surrounded by the process chamber vacuum and between each compartment and the process chamber vacuum, a pressure difference is adjustable. In one embodiment, it is provided that the compartment walls are fastened at least indirectly to a common carriage, which is movable parallel to the cooling roller axis. In a further embodiment, it is provided that above the horizontal plane in which the cooling roller axis lies, arranged compartments are pivotable away from the cooling roller. In a further embodiment it is provided that the compartments are lowered in conjunction with the common car.

Bei einer Kühlwalze mit horizontal ausgerichteter Achse sind Behandlungseinrichtungen wie beispielsweise Beschichtungsquellen und den Raum um die Behandlungseinrichtungen begrenzende Kompartments auf den Positionen 2 Uhr, 4 Uhr, 6 Uhr, 8 Uhr und 10 Uhr angeordnet, wobei analog zu einem Zifferblatt die 6-Uhr-Position dem tiefsten Punkt der Peripherie der Kühlwalze entspricht. In a horizontally oriented chill roll, treatment devices such as coating sources and compartments delimiting the treatment facilities are located at the 2 o'clock, 4 o'clock, 6 o'clock, 8 o'clock and 10 o'clock positions, with the 6 o'clock position analogous to a dial corresponds to the lowest point of the periphery of the cooling roller.

In WO 2014/060468 A1 wurde eine Mehrfachbeschichtungseinrichtung zur Oberflächenbeschichtung eines Bandsubstrats vorgeschlagen, umfassend eine Kühlwalze mit einer zylindrischen Mantelfläche zur kühlenden Führung des Bandsubstrats um einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche herum sowie eine über einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche verteilte Anordnung von Kompartments mit mindestens jeweils einer darin angeordneten Behandlungseinrichtung, wobei die Anordnung von Kompartments in zwei durch eine Trennebene getrennte Teilanordnungen von Kompartments aufgeteilt ist, die Kompartments jeder Teilanordnung relativ zueinander ortsfest angeordnet sind und jede Teilanordnung einen Teilumfang der Mantelfläche der Kühlwalze von nicht mehr als 180° umschließt, wobei beide Teilanordnungen in einer Richtung senkrecht zur Trennebene von der Kühlwalze weg verschiebbar sind. In WO 2014/060468 A1 a multi-coating device for surface coating of a tape substrate has been proposed, comprising a cooling roller with a cylindrical surface for cooling the tape substrate around a more than 180 ° part circumference of the lateral surface around and a distributed over a more than 180 ° part circumference of the lateral surface arrangement of compartments with at least each arranged therein treatment device, wherein the array of compartments is divided into two partitions separated by a dividing plane of compartments, the compartments of each subassembly are arranged relative to each other stationary and each subassembly encloses a partial circumference of the lateral surface of the cooling roller of not more than 180 °, wherein Both sub-assemblies are displaced in a direction perpendicular to the parting plane of the cooling roller away.

Die Erfindung stellt sich die Aufgabe, Anlagen der beschriebenen Art dahingehend zu verbessern, dass die Zugänglichkeit der Kühlwalze und der Kompartments verbessert und damit die Wartung der Anlage wesentlich erleichtert wird. The invention has the object to improve systems of the type described in that the accessibility of the cooling roller and the compartments improved and thus the maintenance of the system is much easier.

Diese Aufgabe wird gelöst durch einen Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit den Merkmalen des Anspruchs 5. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben. This object is achieved by a maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant having the features of claim 1 and a vacuum substrate treatment plant having the features of claim 5. Advantageous embodiments and further developments are described in the dependent claims.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and associated drawings.

Dabei zeigt die einzige 1 ein Ausführungsbeispiel für den vorgeschlagenen Wartungswagen. The only one shows 1 an embodiment of the proposed maintenance car.

Dieser Wartungswagen ist Bestandteil einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, wobei mindestens eine Kammerwand als von der Anlagenkammer entfernbare Kammertür ausgebildet ist, die in einer ersten Türposition eine Kammeröffnung verschließt und in einer zweiten Türposition die Kammeröffnung freigibt. Die Kammertür weist Rollen oder Räder auf, die auf dritten Führungsschienen geführt sind, um die Kammerwand quer zur Anlagenkammer bewegen zu können. This service trolley is part of a vacuum substrate treatment system with a chamber chamber bounded by chamber walls, wherein at least one chamber wall is formed as a chamber door removable from the installation chamber, which closes a chamber opening in a first door position and releases the chamber opening in a second door position. The chamber door has rollers or wheels which are guided on third guide rails in order to be able to move the chamber wall transversely to the installation chamber.

Der Wartungswagen ist zwischen einer Ruheposition und mindestens einer Arbeitsposition entlang der Anlagenkammer, d.h. quer zur Bewegungsrichtung der Kammertür, auf vierten Führungsschienen hin und her beweglich, wobei die Arbeitsplattform 2 in der mindestens einen Arbeitsposition vor der Kammeröffnung und auf derselben Höhe wie eine untere Begrenzung der Kammeröffnung positioniert ist. The maintenance trolley is movable between a rest position and at least one working position along the installation chamber, ie transversely to the direction of movement of the chamber door, on fourth guide rails and back, wherein the working platform 2 is positioned in the at least one working position before the chamber opening and at the same height as a lower boundary of the chamber opening.

Der dargestellte Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage weist ein Grundgestell 1, eine darauf angebrachte Arbeitsplattform 2 mit Sicherheitsgeländer 6 sowie an der Unterseite des Grundgestells 1 eine Anordnung von Rädern 3 auf. The illustrated maintenance trolley a vacuum substrate treatment plant has a base frame 1 , a working platform attached to it 2 with safety railing 6 and at the bottom of the base frame 1 an arrangement of wheels 3 on.

Auf der Arbeitsplattform 2 sind erste Führungsschienen 4 angeordnet, deren Anordnung und Abstände den zweiten Führungsschienen entsprechen, die in der Anlagenkammer der zugehörigen Vakuum-Substratbehandlungsanlage angeordnet sind. On the work platform 2 are first guide rails 4 arranged, whose arrangement and distances correspond to the second guide rails, which are arranged in the plant chamber of the associated vacuum substrate treatment plant.

Die Arbeitsplattform 2 weist einen klappbaren Randbereich 5 auf, der in der Ruheposition des Wartungswagens und während des Bewegens in die Arbeitsposition hochgeklappt ist. The work platform 2 has a hinged edge area 5 on, which is folded up in the rest position of the maintenance cart and while moving to the working position.

In der Anlagenkammer sind zweite Führungsschienen für eine entnehmbare Anlagenkomponente angeordnet. In the plant chamber second guide rails for a removable system component are arranged.

Beispielsweise kann in der Anlagenkammer mindestens eine Kühlwalze zur kühlenden Führung eines Bandsubstrats und mindestens eine Mehrfachbeschichtungseinrichtung mit einer über die Mantelfläche verteilten Anordnung von Kompartments mit mindestens jeweils einer darin angeordneten Behandlungseinrichtung angeordnet sein, wobei die Anordnung von Kompartments in Teilanordnungen unterteilt sein kann. For example, at least one cooling roller for cooling guidance of a belt substrate and at least one multiple coating device with an arrangement of compartments distributed over the lateral surface can be arranged in the plant chamber with at least one treatment device arranged therein, wherein the arrangement of compartments can be subdivided into subassemblies.

Wenn die Behandlungseinrichtungen wie Magnetrons oder dergleichen an der Kammertür befestigt und mit dieser aus der Anlagenkammer entnehmbar sind, kann beispielsweise die Anordnung von Kompartments die entnehmbare Anlagenkomponente sein, die auf den Wartungswagen bewegt wird. For example, when the treatment devices such as magnetrons or the like are attached to the chamber door and removable therewith from the plant chamber, the arrangement of compartments can be the removable plant component which is moved onto the maintenance trolley.

Die entnehmbare Anlagenkomponente kann dazu beispielsweise eigene Rollen oder Räder aufweisen, die auf den zweiten Führungsschienen gehalten sind und auf die fluchtend dazu ausgerichteten Führungsschienen des Wartungswagens gezogen werden. For example, the removable system component can have its own wheels or wheels, which are held on the second guide rails and are pulled onto the guide rails of the maintenance carriage which are aligned therewith.

Erst in der Arbeitsposition des Wartungswagens wird der klappbare Randbereich 5 heruntergeklappt, so dass die darauf angeordneten Abschnitte der ersten Führungsschienen 4 direkt an die in der Anlagenkammer angeordneten zweiten Führungsschienen anschließen, d.h. in der Arbeitsposition des Wartungswagens fluchten die ersten Führungsschienen 4 des Wartungswagens mit den zweiten Führungsschienen der Anlagenkammer, so dass die entnehmbare Komponente ohne Probleme aus der Anlagenkammer heraus und auf die Arbeitsplattform 2 bewegt werden kann. Only in the working position of the maintenance trolley is the hinged edge area 5 folded down so that the sections of the first guide rails arranged thereon 4 connect directly to the arranged in the installation chamber second guide rails, ie in the working position of the maintenance trolley, the first guide rails 4 the maintenance trolley with the second guide rails of the plant chamber, so that the removable component without problems from the plant chamber out and on the work platform 2 can be moved.

Die Räder 3 des Wartungswagens weisen jeweils eine Tandem-Anordnung auf. Unter einer Tandem-Anordnung soll dabei Folgendes verstanden werden: Ein auf Rädern 3 gelagerter Gegenstand benötigt jeweils an einer bestimmten Anzahl von Stützpunkten Räder 3, um kippsicher zu stehen. Üblicherweise werden Räder 3 zu diesem Zweck möglichst weit außen angeordnet. Im Falle eines wie im Ausführungsbeispiel gezeigten rechteckigen Wartungswagens wird Kippsicherheit erreicht, wenn das Grundgestell 1 mit der Arbeitsplattform 2 an den vier Ecken der Arbeitsplattform 2 gestützt wird. Aus diesem Grunde würde man beispielsweise an jeder dieser vier Ecken je ein Rad 3 anbringen. Abweichend davon sind im Ausführungsbeispiel die Räder 3 jeweils als Tandem angeordnet, d.h. in jeder Ecke (an jedem Stützpunkt) des Wartungswagens sind zwei Räder 3 mit zueinander parallelen Drehachsen und mit geringem Abstand zueinander angeordnet. Das zusätzliche Rad 3 trägt zur Kippsicherheit des Wartungswagens nichts bei; allein aus diesem Gesichtspunkt betrachtet wird das zusätzliche Rad 3 nicht benötigt. The wheels 3 of the maintenance cart each have a tandem arrangement. Under a tandem arrangement should be understood as follows: On wheels 3 A stored object requires wheels at a certain number of points each 3 to be tip-proof. Usually wheels are 3 arranged as far outside as possible for this purpose. In the case of a rectangular service trolley as shown in the embodiment, anti-tilting is achieved when the base frame 1 with the work platform 2 at the four corners of the work platform 2 is supported. For this reason, one would for example at each of these four corners ever a wheel 3 Attach. Deviating from this, in the exemplary embodiment, the wheels 3 each arranged in tandem, ie in each corner (at each base) of the maintenance cart are two wheels 3 arranged with mutually parallel axes of rotation and at a small distance from each other. The additional wheel 3 does not contribute to the tipping safety of the maintenance trolley; considered from this point of view alone is the additional wheel 3 not required.

Die Tandem-Anordnung der Räder 3 erfüllt jedoch eine andere Funktion:
Sie ermöglicht es, den Wartungswagen längs zur Anlagenkammer auch quer über die dritten Führungsschienen der Kammertür hinweg zu bewegen. Die Funktion der Tandem-Anordnung besteht dabei darin, dass in jeder möglichen Position des Wartungswagens, d.h. auch während des Verfahrens des Wartungswagens längs zur Anlagenkammer und damit quer über die dritten Führungsschienen der Kammertür hinweg, wo die vierten Führungsschienen des Wartungswagens unterbrochen sind, mindestens ein Rad 3 der Tandem-Anordnung auf den vierten Führungsschienen steht und der Wartungswagen somit jederzeit auf allen zuvor beschriebenen Stützpunkten gestützt wird. Zusätzlich sind die Räder 3 durch eine Feststellbremse 7 blockierbar. The tandem arrangement of the wheels 3 but fulfills another function:
It makes it possible to move the maintenance trolley also across the third guide rails of the chamber door, longitudinally of the installation chamber. The function of the tandem arrangement consists in that in any possible position of the maintenance trolley, ie also during the process of the maintenance trolley along the plant chamber and thus across the third guide rails of the chamber door, where the fourth guide rails of the maintenance trolley are interrupted, at least one wheel 3 the tandem arrangement is on the fourth guide rails and the maintenance car is thus supported at all times on all previously described support points. In addition, the wheels 3 by a parking brake 7 blockable.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1
Grundgestell base frame
2 2
Arbeitsplattform working platform
3 3
Rad wheel
4 4
erste Führungsschiene first guide rail
5 5
klappbarer Randbereich folding edge area
6 6
Sicherheitsgeländer safety railings
7 7
Feststellbremse Parking brake

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • WO 2014/060468 A1 [0013] WO 2014/060468 A1 [0013]

Claims (10)

Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer Arbeitsplattform (2) und Rädern (3), wobei auf der Arbeitsplattform (2) erste Führungsschienen (4) angeordnet sind. Maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant with a working platform ( 2 ) and wheels ( 3 ), whereas on the work platform ( 2 ) first guide rails ( 4 ) are arranged. Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer Arbeitsplattform (2) und Rädern (3), wobei die Arbeitsplattform (2) mindestens einen klappbaren Randbereich (5) aufweist. Maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant with a working platform ( 2 ) and wheels ( 3 ), whereby the working platform ( 2 ) at least one foldable edge region ( 5 ) having. Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer Arbeitsplattform (2) und Rädern (3), wobei die Räder (3) jeweils eine Tandem-Anordnung aufweisen. Maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant with a working platform ( 2 ) and wheels ( 3 ), the wheels ( 3 ) each have a tandem arrangement. Wartungswagen einer Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer Arbeitsplattform (2) und Rädern (3), wobei die Räder (3) durch eine Feststellbremse (7) blockierbar sind. Maintenance trolley of a vacuum substrate treatment plant with a working platform ( 2 ) and wheels ( 3 ), the wheels ( 3 ) by a parking brake ( 7 ) are blockable. Vakuum-Substratbehandlungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, wobei mindestens eine Kammerwand als von der Anlagenkammer entfernbare Kammertür ausgebildet ist, die in einer ersten Türposition eine Kammeröffnung verschließt und in einer zweiten Türposition die Kammeröffnung freigibt, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Wartungswagen nach einem der vorhergehenden Ansprüche zwischen einer Ruheposition und mindestens einer Arbeitsposition hin und her beweglich ist, wobei die Arbeitsplattform (2) in der mindestens einen Arbeitsposition vor der Kammeröffnung und auf derselben Höhe wie eine untere Begrenzung der Kammeröffnung positioniert ist. Vacuum substrate treatment system with a chamber chamber bounded by chamber walls, at least one chamber wall being designed as a chamber door which closes a chamber opening in a first door position and releases the chamber opening in a second door position, characterized in that at least one maintenance trolley according to one of preceding claims between a rest position and at least one working position is movable back and forth, wherein the working platform ( 2 ) is positioned in the at least one working position in front of the chamber opening and at the same height as a lower boundary of the chamber opening. Vakuum-Substratbehandlungsanlage nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass in der Anlagenkammer zweite Führungsschienen für eine entnehmbare Anlagenkomponente angeordnet sind und in der Arbeitsposition des Wartungswagens die ersten Führungsschienen (4) mit den zweiten Führungsschienen fluchten. Vacuum substrate treatment system according to claim 5, characterized in that in the plant chamber second guide rails are arranged for a removable system component and in the working position of the maintenance trolley, the first guide rails ( 4 ) are aligned with the second guide rails. Vakuum-Substratbehandlungsanlage nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass in der Anlagenkammer mindestens eine Kühlwalze zur kühlenden Führung eines Bandsubstrats und mindestens eine Mehrfachbeschichtungseinrichtung mit einer über die Mantelfläche verteilten Anordnung von Kompartments mit mindestens jeweils einer darin angeordneten Behandlungseinrichtung angeordnet ist. Vacuum substrate treatment plant according to claim 5 or 6, characterized in that in the plant chamber at least one cooling roller for cooling guidance of a tape substrate and at least one multiple coating device is arranged with a distributed over the lateral surface arrangement of compartments with at least one treatment device arranged therein. Vakuum-Substratbehandlungsanlage nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung von Kompartments in Teilanordnungen unterteilt ist. Vacuum substrate treatment system according to claim 7, characterized in that the arrangement of compartments is subdivided into subassemblies. Vakuum-Substratbehandlungsanlage nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Anordnung von Kompartments die entnehmbare Anlagenkomponente ist. Vacuum substrate treatment plant according to claim 7 or 8, characterized in that the arrangement of compartments is the removable plant component. Vakuum-Substratbehandlungsanlage nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die entnehmbare Anlagenkomponente Rollen oder Räder aufweist, die auf den zweiten Führungsschienen gehalten sind. Vacuum substrate treatment plant according to one of claims 6 to 9, characterized in that the removable plant component comprises rollers or wheels which are held on the second guide rails.
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