DE102014109872A1

DE102014109872A1 - Transport device for the transport of a belt-shaped substrate, vacuum chamber and substrate treatment plant

Info

Publication number: DE102014109872A1
Application number: DE102014109872.2A
Authority: DE
Inventors: Thomas Rumberger
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2014-07-15
Filing date: 2014-07-15
Publication date: 2016-01-21

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung zum Transportieren eines Substrates. Zudem betrifft die Erfindung sowohl eine Vakuumkammer als auch eine Substratbehandlungsanlage, die eine solche Transporteinrichtung aufweist.
Die Transporteinrichtung (1) weist einen drehbar gelagerten Walzenkörper (5) mit einer Mantelfläche (6) und mit einer Auflagekontur (12) auf. Ferner weist Walzenkörper (5) ein erstes Walzenende (8), ein zweites Walzenende (9) und eine Walzenmitte (7) zwischen dem ersten Walzenende (8) und dem zweiten Walzenende (9) auf, zudem einen ersten Walzenabschnitt (10) zwischen dem ersten Walzenende (8) und der Walzenmitte (7) sowie einen zweiten Walzenabschnitt (11) zwischen dem zweiten Walzenende (9) und der Walzenmitte (7). Die Auflagekontur (12) ist derart gestaltet, dass diese mehrere Erhebungen auf der Mantelfläche (6) aufweist, wobei mindestens eine erste gerichtete Erhebung (17) in dem ersten Walzenabschnitt (10) verläuft und wobei mindestens eine zweite gerichtete Erhebung (18) in dem zweiten Walzenabschnitt (11) verläuft. The invention relates to a transport device for transporting a substrate. In addition, the invention relates to both a vacuum chamber and a substrate treatment plant having such a transport device.
The transport device (1) has a rotatably mounted roller body (5) with a lateral surface (6) and with a support contour (12). Further, the roll body (5) has a first roll end (8), a second roll end (9) and a roll center (7) between the first roll end (8) and the second roll end (9), and a first roll portion (10) between the roll end (8) first roll end (8) and the roll center (7) and a second roll section (11) between the second roll end (9) and the roll center (7). The support contour (12) is designed such that it has a plurality of elevations on the lateral surface (6), wherein at least one first directed elevation (17) in the first roller section (10) and at least one second directed elevation (18) in the second roller section (11) extends.

Description

Die Erfindung betrifft eine Transporteinrichtung zum Transportieren eines Substrates. Zudem betrifft die Erfindung sowohl eine Vakuumkammer als auch eine Substratbehandlungsanlage, die eine solche Transporteinrichtung aufweist. The invention relates to a transport device for transporting a substrate. In addition, the invention relates to both a vacuum chamber and a substrate treatment plant having such a transport device.

Bei der Substratbehandlungsanlage kann es sich um eine Anlage zum Behandeln eines bandförmigen Substrates wie Kunststofffolie oder Metallband handeln. Ferner kann die Anlage für das Behandeln von diskreten Substraten wie Glasscheiben ausgelegt sein. Weiterhin kommen eher solche Substratbehandlungsanlagen oder allgemein Anlagen in Betracht, die für das Behandeln des Substrates (Substratbehandlung) unter subatmosphärischen Druckverhältnissen (Vakuumbehandlung) eingerichtet sind. Ferner kann die Transporteinrichtung für Anlagen, die für ein Behandeln des Substrates oder der Substrate im sog. Durchlaufverfahren ausgelegt sind, geeignet sein. The substrate treatment plant may be a plant for treating a belt-shaped substrate such as plastic film or metal strip. Furthermore, the system can be designed for the treatment of discrete substrates such as glass panes. Furthermore, such substrate treatment systems or systems which are set up for treating the substrate (substrate treatment) under subatmospheric pressure conditions (vacuum treatment) are more suitable. Furthermore, the transport device can be suitable for systems which are designed for treating the substrate or the substrates in the so-called continuous process.

Unter einem Durchlaufverfahren ist zu verstehen, dass das bewegte oder auch transportierte Substrat nacheinander mehreren zum Teil unterschiedlichen Vakuumbehandlungen unterzogen wird. Eine Anlage für ein Durchlaufverfahren ist folglich so ausgeführt, dass entlang eines Transportpfades nacheinander folgend, unterschiedliche Mittel für die jeweilige Vakuumbehandlung vorgesehen sind. Beim Betrieb der Anlage wird das Substrat entlang des Transportpfades und folglich an den Mitteln zur Vakuumbehandlung vorbei bewegt. Beispielsweise lässt sich durch den Gebrauch der Anlage ein modifiziertes Substrat gewinnen, das eine ggf. mehrere Teilschichten umfassende Beschichtung aufweist. Die Beschichtung könnte unter anderem dafür angelegt sein, dass die Substratoberfläche reflektiert oder absorbiert, oder andersartig modifiziert ist. Allgemeine Beispiele für die Vakuumbehandlung sind Plasmaätzen zum Abtragen, Magnetronsputtern und Verdampfen zum Beschichten sowie Tempern zum Modifizieren der Schichteigenschaften. A continuous process is to be understood as meaning that the moved or transported substrate is successively subjected to several, in part, different vacuum treatments. A plant for a continuous process is thus designed so that following a transport path successively different means for the respective vacuum treatment are provided. During operation of the plant, the substrate is moved along the transport path and consequently past the means for vacuum treatment. By way of example, the use of the system makes it possible to obtain a modified substrate which has a coating which may comprise a plurality of partial layers. The coating could, inter alia, be designed so that the substrate surface is reflected or absorbed, or otherwise modified. Common examples of the vacuum treatment are plasma etching for ablation, magnetron sputtering and evaporation for coating, and annealing for modifying the coating properties.

Für den Betrieb einer Anlage im Durchlaufverfahren ist es notwendig, Substrat in ausreichender Menge bereitzustellen und/oder vorzuhalten. Bei einem bandförmigen Substrat oder auch Endlossubstrat wie bei einer Kunststofffolie auf einer Rolle weist eine Anlage zusätzliche Vakuumkammern (Wickelkammern) zum Auf- und Abwickeln der Rolle auf. Der Begriffe der Rolle soll hier als eine solche zu verstehen sein, auf der eine größere Menge entweder unbehandeltes oder behandeltes Substrat aufgewickelt sein kann. For the operation of a plant in a continuous process, it is necessary to provide substrate in sufficient quantity and / or vorzuhalten. In the case of a strip-shaped substrate or endless substrate, as in the case of a plastic film on a roll, a system has additional vacuum chambers (winding chambers) for winding and unwinding the roll. The term roll is to be understood here as one on which a greater amount of either untreated or treated substrate can be wound up.

Im Gegensatz zum Begriff der Rolle ist der einer Walze oder Transportwalze so zu verstehen, dass diese zum Transportieren und Führen des Substrates vorgesehen ist bzw. sind. In contrast to the term of the role of a roller or transport roller is to be understood that it is provided for transporting and guiding the substrate or are.

Allgemein ist in einer Anlage zur Vakuumbehandlung eine Vielzahl von Walzen für den Transport des Substrates und mithin die Ausgestaltung des Transportweges oder -pfades vorgesehen. Die Walzen sollen zunächst für den möglichst störungsfreien und schonenden Transport des Substrates sorgen. Bei einem bandförmigen Substrat wie Kunststofffolie oder Metallband kommen Walzen in Betracht, an denen das Substrat lediglich anliegt, solche, an denen das Substrat eine abgewinkelte Führung erfährt, sowie solche, an oder mit denen das Substrat gespannt oder angetrieben wird. In general, in a plant for vacuum treatment, a plurality of rollers for the transport of the substrate and thus the design of the transport path or path are provided. The rollers should initially provide the most trouble-free and gentle transport of the substrate. In a band-shaped substrate such as plastic film or metal strip rolls come into consideration, in which the substrate is only applied, those on which the substrate undergoes an angled guide, and those on or with which the substrate is stretched or driven.

Ein bekanntes Bedürfnis bei der Ausgestaltung einer Substrattransportvorrichtung besteht darin, dass das Substrat mit einer möglichst definierten Spannung in der sog. Längsrichtung geführt werden kann. Die Längsrichtung meint eine Richtung parallel zur Substratkante. Hierbei kann es vorkommen, dass aufgrund der Spannung das Substrat (wie Kunststofffolie) eine wellige Form in der Querrichtung (quer zur Substratkante) einnimmt. Diesem Problem entgegen wirkend sind Breitstreckvorrichtungen oder sog. Breitstreckwalzen bekannt. Breitstreckwalzen bewirken, unabhängig davon ob diese selbst angetrieben werden oder nicht, bereits durch ihre Formgebung, dass das Substrat in der Querrichtung quasi bereitgestreckt oder anschaulich gesagt zum jeweiligen Ende der Walze hin auseinander gezogen wird. In der Folge ergibt sich eine glatte Substratführung oder ein glatter Substrattransport, was heißt, dass das Substrat durch die Wirkung der Breitstreckwalze nunmehr keine wellige Form oder Falten aufweist. A known need in the design of a substrate transport device is that the substrate can be guided with a voltage as defined as possible in the so-called. Longitudinal direction. The longitudinal direction means a direction parallel to the substrate edge. In this case, due to the stress, the substrate (such as plastic film) assumes a wavy shape in the transverse direction (transverse to the substrate edge). Counteracting this problem, spreading devices or so-called spreader rolls are known. Spreader rolls, regardless of whether they are driven by themselves or not, already by their shape, that the substrate in the transverse direction is quasi ready stretched or illustratively pulled apart towards the respective end of the roll. As a result, there is a smooth substrate guide or a smooth substrate transport, which means that the substrate now has no wavy shape or folds by the action of the spreader roller.

Eine Ausführungsform einer bekannten Breistreckwalze ist beispielsweise durch einen Walzenkörper gebildet, wobei der Walzenkörper um eine gekrümmte Achse drehbar gelagert ist. Mit einer derartigen Breistreckwalze ist der erstrebte Substrattransport mit möglichst wenig oder keinen Wellen oder Falten möglich. Allerdings ist diese Form der Breistreckwalze aufwändig, da der Walzenkörper zunächst flexibel genug sein muss, um um die gekrümmte Achse rotieren zu können. Des Weiteren ist zum Bereitstellen der reversiblen Krümmung der gekrümmten Achse ein Mechanismus an einem Ende der gekrümmten Achse notwendig, der die Kraft zum Krümmen bereitstellt. Ferner ist zu beachten, dass zu keiner Verstellung der Lager des Walzenkörpers dann kommt, wenn die Achse gekrümmt wird oder ist. An embodiment of a known width stretching roller is formed for example by a roller body, wherein the roller body is rotatably mounted about a curved axis. With such a spreading roller of the desired substrate transport with as little or no waves or wrinkles is possible. However, this form of the spread sheet roll is complex, since the roll body initially has to be flexible enough to be able to rotate about the curved axis. Further, to provide the reversible curvature of the curved axis, a mechanism at one end of the curved axis is necessary, which provides the force for curving. It should also be noted that no adjustment of the bearings of the roller body occurs when the axle is curved or is.

In verschiedenen Ausführungsformen weist eine Transporteinrichtung für den Transport eines bandförmigen Substrates in einer Substratbehandlungsanlage einen drehbar gelagerten Walzenkörper mit einer Mantelfläche und mit einer Auflagekontur auf. Ferner weist der Walzenkörper ein erstes Walzenende, ein dem ersten Walzenende gegenüberliegendes zweites Walzenende und eine Walzenmitte zwischen dem ersten Walzenende und dem zweiten Walzenende auf. Zudem weist der Walzenkörper einen ersten Walzenabschnitt zwischen dem ersten Walzenende und der Walzenmitte sowie einen zweiten Walzenabschnitt zwischen dem zweiten Walzenende und der Walzenmitte auf. Die Auflagekontur weist mehrere Erhebungen auf der Mantelfläche auf, wobei mindestens eine erste gerichtete Erhebung in dem ersten Walzenabschnitt verläuft und wobei mindestens eine zweite gerichtete Erhebungen in dem zweiten Walzenabschnitt verläuft, wobei die erste gerichtete Erhebung in einem ersten Winkel zu der Achse des Walzenkörpers in Richtung des ersten Walzenendes ausgerichtet ist und wobei die zweite gerichtete Erhebung in einem zweiten Winkel zu der Achse des Walzenkörpers in Richtung des zweiten Walzenendes ausgerichtet ist. In various embodiments, a transport device for transporting a strip-shaped substrate in a substrate treatment system has a rotatably mounted roller body with a lateral surface and with a support contour. Furthermore, the roller body has a first Roll end, a second end of the roll opposite the first roll end and a roll center between the first roll end and the second roll end. In addition, the roller body has a first roller section between the first roller end and the roller center and a second roller section between the second roller end and the roller center. The support contour has a plurality of elevations on the lateral surface, wherein at least one first directed elevation extends in the first roller portion and wherein at least one second directed elevations extending in the second roller portion, wherein the first directed elevation at a first angle to the axis of the roller body in the direction the first roll end is aligned and wherein the second directional elevation is aligned at a second angle to the axis of the roll body in the direction of the second roll end.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung ist die Auflagekontur auf der Mantelfläche symmetrisch bezüglich einer Axialebene der Achse des Walzenkörpers angelegt. In a further embodiment of the transport device, the support contour on the lateral surface is applied symmetrically with respect to an axial plane of the axis of the roller body.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung ist die Axialebene in der Walzenmitte angeordnet sowie der erste Walzenabschnitt und der zweite Walzenabschnitt sind in etwa gleich lang. In a further embodiment of the transport device, the axial plane is arranged in the middle of the roll and the first roller section and the second roller section are approximately the same length.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung sind die beiden absoluten Beträge des ersten Winkels und des zweiten Winkels gleich. In a further embodiment of the transport device, the two absolute amounts of the first angle and the second angle are the same.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung weist jede gerichtete Erhebung eine Länge auf, die sich ergibt aus dem Abstand der jeweiligen zwei Projektionspunkte auf die Ache des Walzenkörpers am Anfang sowie am Ende der gerichteten Erhebung, und die gerichteten Erhebungen sind mit gleicher Länge ausgebildet. In a further embodiment of the transport device, each directed elevation has a length which results from the distance between the respective two projection points on the axis of the roller body at the beginning and at the end of the directed elevation, and the directed elevations are formed with the same length.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung verläuft zumindest eine gerichtete Erhebung entlang einer Schraubenlinie. In a further embodiment of the transport device, at least one directional elevation runs along a helical line.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung ist der Drehsinn der Schraubenlinie der ersten gerichteten Erhebung dem Drehsinn der Schraubenlinie der zweiten gerichteten Erhebung entgegen gerichtet. In a further embodiment of the transport device, the direction of rotation of the helix of the first directed elevation is directed opposite to the direction of rotation of the helix of the second directed elevation.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung ist die Auflagekontur aus genau zwei gerichteten Erhebungen gebildet. In a further embodiment of the transport device, the support contour is formed from exactly two directed elevations.

In einer weiteren Ausführungsform der Transporteinrichtung sind die gerichteten Erhebungen in einem Abstand zueinander derart angeordnet, dass die Auflagekontur in der Mitte des Walzenkörpers unterbrochen ist. In a further embodiment of the transport device, the directed elevations are arranged at a distance from each other such that the support contour is interrupted in the middle of the roller body.

In verschiedenen Ausführungsformen weist eine Vakuumkammer eine vorstehend beschriebene Transporteinrichtung auf. In various embodiments, a vacuum chamber has a transport device as described above.

In verschiedenen Ausführungsformen weist eine Substratbehandlungsanlage mehrere vorstehend beschriebene Vakuumkammern auf, wobei jede Transporteinrichtung einen separaten Antrieb aufweist. In various embodiments, a substrate treatment plant has a plurality of vacuum chambers described above, wherein each transport device has a separate drive.

In einer weiteren Ausführungsform der Substratbehandlungsanlage weist diese ferner eine Transportvorrichtung mit mehreren Transportwalzen und einer Walze einer Transporteinrichtung auf, wobei über die Transportwalzen und/oder über die Walze der Transporteinrichtung das bandförmige Substrat gespannt und/oder geführt ist. In a further embodiment of the substrate treatment plant, this further comprises a transport device with a plurality of transport rollers and a roller of a transport device, wherein the belt-shaped substrate is tensioned and / or guided over the transport rollers and / or over the roller of the transport device.

Ein erster Vorteil der Erfindung ist es, dass mittels der Auflagekontur im Zuge der Rotation des Walzenkörpers das bandförmige Substrat zu den beiden Enden des Walzenkörpers derart beansprucht wird, dass es breitgezogen wird. Folglich unterbleibt die eingangs als problematisch beschriebene Wellen-/Faltenbildung. Der Erfindung kommt zugute, dass diese mit weniger Aufwand als für bekannte Lösungen zu bewerkstelligen ist. Folglich kann selbst die häufigere Verwendung einer Transportwalze mit einer sog. Breitstreckfunktion noch wirtschaftlich sein, wenn Wellen- oder Faltenbildung mehrfach innerhalb eines Transportpfades zu vermeiden ist. Das wiederum könnte bei empfindlichen Substraten oder Substraten mit empfindlichen Schichten von Vorteil sein. A first advantage of the invention is that by means of the support contour in the course of the rotation of the roller body, the band-shaped substrate is claimed to the two ends of the roller body such that it is drawn wide. Consequently, the wave / wrinkling initially described as problematic is omitted. The invention benefits that it can be accomplished with less effort than known solutions. Consequently, even the more frequent use of a transport roller with a so-called. Spreading function can still be economical if wave or wrinkling is to be avoided multiple times within a transport path. This in turn could be advantageous for sensitive substrates or substrates with sensitive layers.

Nachfolgend soll die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben werden. Dazu sind in den Zeichnungen wie folgt dargestellt: The invention will be described in more detail below with reference to exemplary embodiments. These are shown in the drawings as follows:

1 Draufsicht auf Walzenkörper mit Auflagekontur 1 Top view of roller body with support contour

2 Räumliche Ansicht der Transporteinrichtung mit Foliensubstrat 2 Spatial view of the transport device with film substrate

In der 1 ist der Walzenkörper 5 in einer Draufsicht gezeigt. Der Walzenkörper 5 weist das erste Walzenende 8 das, zweite Walzenende 9 sowie zwischen den beiden Walzenenden die Walzenmitte 7 auf. Zwischen den Walzenenden 8 und 9 und der Walzenmitte 7 ist der erste Walzenabschnitt 10 beziehungsweise der zweite Walzenabschnitt 11 angelegt. Auf der Mantelfläche des Walzenkörpers 5 ist die Auflagekontur 12 derart angelegt, dass je Walzenabschnitt die Auflagekontur 12 mittels zumindest einer gerichteten Erhebung gebildet ist. Demnach ist im ersten Walzenabschnitt 10 zumindest eine erste gerichtete Erhebung 17 und im zweiten Walzenabschnitt 11 zumindest eine zweite gerichteten Erhebung 18 angelegt. Mit der Substratrandlinie 16 soll die Lage eines Substrates angedeutet sein. In the 1 is the roll body 5 shown in a plan view. The roll body 5 has the first roll end 8th the, second roll end 9 and between the two roll ends the roll center 7 on. Between the roll ends 8th and 9 and the roll center 7 is the first roller section 10 or the second roller section 11 created. On the lateral surface of the roller body 5 is the support contour 12 designed so that each roller section the support contour 12 is formed by at least one directional survey. Accordingly, in the first roller section 10 at least a first directed survey 17 and in the second roller section 11 at least a second directed survey 18 created. With the substrate edge line 16 the location of a substrate should be indicated.

Anhand der 2 ist ersichtlich, dass der Walzenkörper 5 der Transporteinrichtung 1 um die Achse 13 drehbar ist. Sofern der Walzenkörper 5 in der angezeigten Drehrichtung 15 gedreht wird, wird auch das Substrat 2 (z.B. Kunststofffolie) sowohl gerade in der Transportrichtung 3 als auch um die Transporteinrichtung 1 herum bewegt. Dabei folgt der Drehung des Walzenkörpers 5 anteilig die Bewegung des Substrates 2, wobei das Substrat 2 an der Transporteinrichtung 1 überwiegend an der Auflagekontur 12 anliegen kann. Die Auflagekontur 12 ist zunächst auf der Mantelfläche 6 des Walzenkörpers 5 angelegt. Indem die Auflagekontur 12 mittels gerichteter Erhebungen gebildet ist, kann in Folge einer Drehbewegung des Walzenkörpers 5 das Substrat 2 zu den beiden Walzenenden 8 und 9 hin in einer jeweiligen Breitstreckrichtung 14 auseinander gezogen werden. Die Auflagekontur 12 ist aus Gründen der Vereinfachung nur in dem ersten Walzenabschnitt dargestellt. Based on 2 it can be seen that the roll body 5 the transport device 1 around the axis 13 is rotatable. If the roll body 5 in the indicated direction of rotation 15 is turned, also becomes the substrate 2 (eg plastic film) both straight in the transport direction 3 as well as the transport device 1 moved around. This is followed by the rotation of the roller body 5 proportionally the movement of the substrate 2 where the substrate 2 at the transport device 1 mainly on the support contour 12 can be present. The support contour 12 is initially on the lateral surface 6 the roll body 5 created. By the support contour 12 is formed by directed elevations can, as a result of a rotational movement of the roller body 5 the substrate 2 to the two roll ends 8th and 9 towards in a respective spreading direction 14 be pulled apart. The support contour 12 is shown for the sake of simplicity only in the first roller section.

Für die Ausgestaltung der Transporteinrichtung ist die Form der Walze, die des Walzenkörpers sowie die der Mantelfläche von einer ersten Bedeutung. Der Walzenkörper kann eine kreiszylindrische Mantelfläche oder auch eine Mantelfläche mit einer konvexen Krümmung aufweisen. Der Walzenkörper mit einer kreiszylindrischen Mantelfläche könnte aus Gründen der Fertigung bevorzugt werden. For the design of the transport device, the shape of the roller, that of the roller body and the lateral surface of a first importance. The roller body may have a circular cylindrical surface or a lateral surface with a convex curvature. The roll body with a circular cylindrical surface could be preferred for reasons of manufacture.

Eine weitere Bedeutung kommt der Ausgestaltung der Auflagekontur zu, wobei vielfältige Ausführungsformen denkbar sind. Eine mögliche Auflagekontur könnte zumindest je Walzenabschnitt entlang einer Schraubenlinie verlaufen oder eben so verlaufend angelegt sein. Bei dem Bild der Schraubenlinie bleibend wäre es denkbar, dass diese durchgehend oder unterbrochen sein kann. Die Schraubenlinie könnte aus vielen kleinen halbkugelförmigen Erhebungen gebildet sein. Ferner könnten in einem Abschnitt auch mehrere Schraubenlinien nebeneinander verlaufend angelegt sein. Die Steigung einer Schraubenlinie könnte konstant, abnehmend oder zunehmend sein, wobei es außerdem von Vorteil sein könnte, wenn die Steigung zum Walzenende hin zunimmt. Another importance is the design of the support contour, with various embodiments are conceivable. A possible support contour could run at least per roller section along a helical line or just laid out running. In the image of the helix, it would be conceivable that it can be continuous or interrupted. The helix could be formed from many small hemispherical elevations. Furthermore, a plurality of helical lines could also be applied running side by side in one section. The pitch of a helix could be constant, decreasing, or increasing, and it could also be advantageous if the pitch increases towards the end of the roll.

Möglicherweise ist es ferner von Vorteil, wenn die Walze insofern rutschfest ist, dass das Substrat an der Walze, also an der Mantelfläche und/oder an der Auflagekontur derart anhaftet, das insbesondere bei der Drehung der Walze Schupf zwischen Folie und Walze vermieden oder vermindert wird. Zumeist kommen um die besagte Rutschfestigkeit zu erhalten Bauteile oder Beschichtung mit oder aus verschiedensten Elastomeren zum Einsatz. Demnach kann die Ausführung der Walze bezüglich der Auflagekontur sehr unterschiedlich sein. Möglich ist zum einen das Befestigen einer Gummistruktur auf der Mantelfläche der Walze (z.B. mittels Aufkleben). Dazu kann in der Walze eine Nut zur Befestigung vorgesehen sein. Des Weiteren lässt sich die Auflagekontur möglicherweise indem bereitstellen, dass auf dem Walzenkörper eine Kontur aus Metall aufgebracht ist, wobei Walzenkörper und Kontur mit einer Beschichtung (Gummierung) überzogen sind. Gleichermaßen denkbar ist, dass eine Art Schlauch oder Überzug auf einer kreiszylindrischen Walze befestigt wird, der sowohl die Mantelfläche als auch die Auflagekontur bereitstellt. Beachtlich ist noch, dass wegen des Betriebes im Vakuum vorzugsweise sowohl Luft- oder Gaseinschlüsse zu vermeidenden sind als auch wegen z.B. Desorption und Wasseraufnahme lediglich taugliche Elastomere zu verwenden sind. It may also be advantageous if the roller is non-slip insofar as the substrate adheres to the roller, that is to say on the lateral surface and / or on the support contour, which is avoided or reduced, in particular during the rotation of the roller, between film and roller , In most cases come to the said skid resistance to obtain components or coating with or from a variety of elastomers for use. Accordingly, the execution of the roller with respect to the support contour can be very different. It is possible, on the one hand, to attach a rubber structure to the surface of the roller (for example by means of gluing). For this purpose, a groove may be provided for fastening in the roller. Furthermore, the support contour can possibly be provided by applying a contour of metal on the roller body, wherein the roller body and contour are coated with a coating (rubber coating). Equally conceivable is that a type of hose or coating is mounted on a circular cylindrical roller, which provides both the lateral surface and the support contour. It is noteworthy that, because of the operation in a vacuum, preferably both air or gas inclusions are to be avoided as well as due to e.g. Desorption and water absorption are only suitable elastomers to use.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11: Transporteinrichtung transport means
2 2: Substrat substratum
33: Transportrichtung transport direction
44: Walze roller
55: Walzenkörper roller body
66: Mantelfläche lateral surface
77: Walzenmitte roll center
88th: erstes Walzenende first roll end
99: zweites Walzenende second roll end
1010: erster Walzenabschnitt first roller section
1111: zweiter Walzenabschnitt second roller section
1212: Auflagekontur / Erhebungen Support contour / elevations
1313: Achse axis
1414: Breitstreckrichtung Spreading direction
1515: Drehrichtung direction of rotation
1616: Substratrandlinie Substrate boundary line
1717: erste gerichtete Erhebung first directed survey
1818: zweite gerichtete Erhebung second directed survey

Claims

Transport device ( 1 ) for the transport of a strip-shaped substrate ( 2 ) in a substrate treatment plant, comprising: a rotatably mounted roll body ( 5 ) with a lateral surface ( 6 ) and with a support contour ( 12 ), wherein the roller body ( 5 ) a first roll end ( 8th ), a first roll end ( 8th ) opposite second roll end ( 9 ) and a roll center ( 7 ) between the first roll end ( 8th ) and the second roll end ( 9 ), wherein the roller body ( 5 ) a first roller section ( 10 ) between the first roll end ( 8th ) and the roll center ( 7 ) and a second roller section ( 11 ) between the second roll end ( 9 ) and the roll center ( 7 ), wherein the support contour ( 12 ) several elevations on the lateral surface ( 6 ), at least one first directed survey ( 17 ) in the first Roller section ( 10 ) and at least one second directed survey ( 18 ) in the second roller section ( 11 ), whereby the first directed survey ( 17 ) at a first angle to the axis ( 13 ) of the roller body ( 15 ) in the direction of the first roll end ( 8th ) and where the second targeted survey ( 18 ) at a second angle to the axis ( 13 ) of the roller body ( 15 ) in the direction of the second roll end ( 9 ) is aligned.

Transport device according to claim 1, wherein the support contour ( 12 ) on the lateral surface ( 6 ) symmetrical with respect to an axial plane of the axis ( 13 ) of the roller body ( 5 ) is created.

Transport device according to claim 2, wherein the axial plane in the roll center ( 7 ) and wherein the first roller section ( 10 ) and the second roller section ( 11 ) are about the same length.

Transport device according to one of claims 1 to 3, wherein the two absolute amounts of the first angle and the second angle are equal.

Transport device according to one of claims 1 to 4, wherein each directed survey ( 17 . 18 ) has a length which results from the distance of the respective two projection points to the axis ( 13 ) of the roller body ( 5 ) at the beginning and at the end of the targeted survey ( 17 . 18 ), and where the targeted surveys ( 17 . 18 ) are formed with the same length.

Transport device according to one of claims 1 to 5, wherein at least one directional survey ( 17 . 18 ) runs along a helical line.

Transport device according to claim 6, wherein the direction of rotation of the helix of the first directed survey ( 17 ) the sense of rotation of the helix of the second directed survey ( 18 ) is directed counter.

Transport device according to one of claims 1 to 7, wherein the support contour ( 12 ) from exactly two surveys ( 17 . 18 ) is formed.

Transport device according to one of claims 1 to 8, wherein the directed surveys ( 17 . 18 ) are arranged at a distance from each other such that the support contour ( 12 ) in the middle ( 7 ) of the roller body ( 5 ) is interrupted.

Vacuum chamber comprising a transport device ( 1 ) according to one of claims 1 to 9.

Substrate treatment plant comprising a plurality of vacuum chambers according to claim 10, wherein each transport device ( 1 ) has a separate drive.

Substrate treatment plant according to claim 11, further comprising a transport device with a plurality of transport rollers and a roller ( 4 ) a transport device ( 1 ) according to one of claims 1 to 11, wherein via the transport rollers and / or over the roller ( 4 ) of the transport device ( 1 ) the band-shaped substrate is stretched and guided.