DE102014105695B4

DE102014105695B4 - Vacuum treatment chamber system and closing arrangement for closing a door opening of a treatment chamber by means of a chamber door

Info

Publication number: DE102014105695B4
Application number: DE102014105695.7A
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel; Reinhard Jaeger
Original assignee: Von Ardenne GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2014-04-23
Filing date: 2014-04-23
Publication date: 2016-02-18
Anticipated expiration: 2034-04-24
Also published as: DE102014105695A1

Abstract

Schließanordnung (100) zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer (210) mittels einer Kammertür (220), wobei die Schließanordnung (100) zumindest einen Schubstangenspanner und eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung (70) aufweist, die an einem äußeren Seitenwandabschnitt (240) der Behandlungskammer (210) fixierbar sind, wobei der Schubstangenspanner zumindest eine Koppelstange (60) und einen Schließbolzen (80) aufweist, die miteinander gekuppelt sind, und wobei die Koppelstange (60) von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung (70) über eine Kurbelanordnung (41, 42) derart bewegbar ist, dass von dem an einer Kammertür (220) angreifenden Schließbolzen (80) die Kammertür (220) gegen eine Umrandung der Türöffnung zieh- und/oder pressbar ist.A closure arrangement (100) for closing a door opening of a treatment chamber (210) by means of a chamber door (220), wherein the closure arrangement (100) comprises at least one push rod tensioner and a pneumatically operating actuating device (70) which is attached to an outer side wall section (240) of the treatment chamber (240). 210) are fixable, wherein the push rod tensioner at least one coupling rod (60) and a locking pin (80) which are coupled together, and wherein the coupling rod (60) from the pneumatically operating actuating device (70) via a crank assembly (41, 42) is movable such that of the engaging on a chamber door (220) locking bolt (80) the chamber door (220) against a border of the door opening pull and / or can be pressed.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuum-Behandlungskammeranlage und eine Schließanordnung zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer mittels einer Kammertür.The invention relates to a vacuum treatment chamber system and a closing arrangement for closing a door opening of a treatment chamber by means of a chamber door.

Insbesondere bei der Behandlung von Materialien unter Vakuumbedingungen kommen evakuierbare Behandlungskammern zum Einsatz, die üblicherweise zumindest einen zu öffnenden Eingangsbereich aufweisen, durch welchen hindurch die zu behandelnden Materialien in die Behandlungskammern transportiert werden können (und aus diesen wieder heraus), und der zum Aufbau eines Vakuums beispielsweise mittels einer Tür verschlossen werden muss. Je nach Art und Größe der zu behandelnden Materialien müssen die Behandlungskammern entsprechend groß bereitgestellt werden. Wenn darüber hinaus ein Vorvakuum oder Hochvakuum in der Behandlungskammer bereitgestellt werden soll, müssen die Behandlungskammer und die Tür eine entsprechende mechanische Stabilität aufweisen, das heißt, das Gehäuse und die Tür (Deckel) der Behandlungskammer sollen aus vakuumtauglichen Materialien hergestellt sein. Um die angesprochene mechanische Stabilität bereitstellen zu können, können beispielsweise bei großen Behandlungskammern die den Eingangsbereich verschließenden Türen ein erhebliches Eigengewicht aufweisen. Vor dem Erzeugen eines Vakuums (Vorvakuum und/oder Hochvakuum) in einer Behandlungskammer muss der Eingangsbereich bzw. eine Türöffnung der Behandlungskammer mittels der Tür verschlossen werden. Dabei versteht sich, dass die Tür die Türöffnung vollständig abdecken muss, wobei beispielsweise Abschnitte der Tür die die Türöffnung umgebende Umrandung bzw. Umfangswandung mit abdecken und an dieser möglichst dicht anliegen sollen.In particular, in the treatment of materials under vacuum conditions evacuable treatment chambers are used, which usually have at least one openable input area through which the materials to be treated can be transported (and out of these again) in the treatment chambers, and to build a vacuum for example, must be closed by a door. Depending on the type and size of the materials to be treated, the treatment chambers must be provided correspondingly large. Moreover, if a pre-vacuum or high vacuum is to be provided in the treatment chamber, the treatment chamber and the door must have a corresponding mechanical stability, that is, the housing and the door (lid) of the treatment chamber should be made of vacuum-compatible materials. In order to be able to provide the mentioned mechanical stability, for example, in the case of large treatment chambers, the doors closing the entrance area can have a considerable dead weight. Before generating a vacuum (pre-vacuum and / or high vacuum) in a treatment chamber, the entrance area or a door opening of the treatment chamber must be closed by means of the door. It is understood that the door must completely cover the door opening, for example, portions of the door to cover the border surrounding the door opening or peripheral wall with and should fit as close as possible to this.

Aus dem Dokument DE 20 2006 012 192 U1 ist eine Schließanordnung zum Verschließen einer Türöffnung eines unter Druck stehenden Raumes bekannt.From the document DE 20 2006 012 192 U1 For example, a closing arrangement for closing a door opening of a pressurized space is known.

Aus dem Dokument WO 2010/115 917 A1 sind ein Vakuumventil und ein Vakuumkammersystem bekannt.From the document WO 2010/115 917 A1 For example, a vacuum valve and a vacuum chamber system are known.

Aus dem Dokument JP 2002-206 650 A ist ein Vakuumventil zum Verschließen einer Öffnung einer Vakuumkammer bekannt.From the document JP 2002-206 650 A For example, a vacuum valve for closing an opening of a vacuum chamber is known.

Da in der Vakuumtechnik ein gewisses Maß an Sauberkeit auch im Außenbereich, das heißt, um die Behandlungskammer bzw. um die Behandlungskammeranlagen herum gewährleistet sein soll, werden entsprechende Anforderungen auch an die beispielsweise mechanischen Kammerbestandteile gestellt, die zum manuellen oder automatischen Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer mittels einer Kammertür verwendet werden.Since in the vacuum technology a certain degree of cleanliness in the outdoor area, that is, to be guaranteed around the treatment chamber or around the treatment chamber systems, appropriate requirements are also placed on the example mechanical chamber components, the manual or automatic closing a door opening of a treatment chamber be used by a chamber door.

Gemäß verschiedener Ausführungsformen kann eine Schließanordnung zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer mittels einer Kammertür vorgesehen sein, die zumindest einen Schubstangenspanner und eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung aufweisen kann, welche an einem äußeren Seitenwandabschnitt der Behandlungskammer fixierbar sind. Der Schubstangenspanner kann zumindest eine Koppelstange und einen Schließbolzen aufweisen, die miteinander gekuppelt sind, wobei die Koppelstange von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung über eine Kurbelanordnung derart bewegbar sein kann, dass von dem an einer Kammertür angreifenden Schließbolzen die Kammertür gegen eine Umrandung der Türöffnung zieh- und/oder pressbar ist.According to various embodiments, a closing arrangement for closing a door opening of a treatment chamber may be provided by means of a chamber door, which may comprise at least one push rod tensioner and a pneumatically operating actuating device, which can be fixed to an outer side wall portion of the treatment chamber. The push rod tensioner may comprise at least one coupling rod and a locking bolt, which are coupled to each other, wherein the coupling rod of the pneumatically operating actuator via a crank assembly can be moved so that the chamber door pull against a border of the door opening of the engaging on a chamber door lock bolt / or is pressable.

Anschaulich kann eine Schließanordnung zum Verschließen einer Kammertür einen Schubstangenspanner und eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung aufweisen, von der der Schubstangenspanner betätig werden kann, wobei beispielsweise die Verwendung der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung als Betätigungsmittel den Anforderungen an saubere Bearbeitungstechnik entspricht. Die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung kann dabei mit einer Kurbelanordnung gekuppelt sein, über welche eine Zieh- bzw. Schubkraft auf die Koppelstange und damit an den Schließbolzen übertragbar ist.Illustratively, a closing arrangement for closing a chamber door can have a push rod tensioner and a pneumatically operating actuating device, from which the push rod tensioner can be actuated, wherein, for example, the use of the pneumatically operating actuating device as actuating means meets the requirements for clean machining technology. The pneumatically operating actuating device can be coupled with a crank assembly, via which a pulling or pushing force on the coupling rod and thus to the locking pin is transferable.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die Koppelstange und der Schließbolzen zum Ausführen einer Linearbewegung ausgebildet sein, wobei die Linearbewegung von einer zur Verschieberichtung des Schließbolzens senkrechten Hubbewegung der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung erzeugbar ist.According to various embodiments, the coupling rod and the locking bolt can be designed for carrying out a linear movement, wherein the linear movement can be generated by a lifting movement of the pneumatically operating adjusting device that is perpendicular to the direction of displacement of the locking bolt.

Mit anderen Worten kann von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung eine Hubbewegung bereitstellt werden, die über die Kurbelanordnung in eine um 90° zu der Hubbewegung versetzte Verschiebebewegung des Schließbolzens umgewandelt wird. Die Kurbelanordnung kann in Form einer Kniehebelanordnung ausgebildet sein.In other words, a lifting movement can be provided by the pneumatically operating adjusting device, which is converted via the crank assembly into a displaced by 90 ° to the stroke movement displacement movement of the locking bolt. The crank assembly may be in the form of a toggle assembly.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Schließanordnung zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer mittels einer Kammertür bereitgestellt werden, wobei die Schließanordnung aufweisen kann: ein erstes und ein zweites Festlager, die mit einem Abstand voneinander jeweils an einem äußeren Seitenwandabschnitt einer Behandlungskammer fixierbar sind, einen Lagerbock, der zwischen den zwei Festlagern an dem Seitenwandabschnitt der Behandlungskammer fixierbar ist, einen ersten und einen zweiten langgestreckten Kurbelabschnitt, die sich nacheinander zwischen dem ersten Festlager und dem zweiten Festlager erstrecken und an einander zugewandten ersten Endabschnitten mittels eines Gelenkbolzens drehbar miteinander gekuppelt sind, wobei der erste Kurbelabschnitt mit seinem zweiten Endabschnitt an dem Lagerbock schwenkbar befestigt ist und der zweite Kurbelabschnitt mit seinem zweiten Endabschnitt vermittels einer Lageranordnung an dem zweiten Festlager zu dem zweiten Festlager relativ verschiebbar abgestützt ist, einen Schließbolzen, der in dem ersten Festlager verschiebbar abgestützt ist und mit jeweils einem Endabschnitt aus dem ersten Festlager vorsteht, zumindest eine Koppelstange, die sich zwischen dem ersten Festlager und dem zweiten Festlager erstreckt und mit ihrem zweiten Endabschnitt mit dem zweiten Endabschnitt des zweiten Kurbelabschnitts gekuppelt ist und die mit ihrem ersten Endabschnitt mit dem Schließbolzen gekuppelt ist, und eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung, die mit dem Gelenkbolzen gekuppelt und bezüglich der Längserstreckung der zwei Kurbelabschnitte senkrecht verstellbar ist, wobei durch ein Betätigen der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung der Schließbolzen in dem ersten Festlager zwischen einer Offenstellung und einer Schließstellung verschiebbar ist.According to various embodiments, a closure assembly for closing a door opening of a treatment chamber may be provided by means of a chamber door, the closure assembly may include: a first and a second fixed bearing, which are fixable to each other at an outer side wall portion of a treatment chamber, a bearing block can be fixed between the two fixed bearings on the side wall portion of the treatment chamber is, a first and a second elongate crank portion, which extend successively between the first bearing and the second bearing and are rotatably coupled to each other at first end portions by means of a hinge pin, wherein the first crank portion is pivotally mounted with its second end portion to the bearing block and the second crank portion is relatively slidably supported by its second end portion by means of a bearing assembly on the second fixed bearing to the second fixed bearing, a locking bolt which is slidably supported in the first fixed bearing and projects with one end portion of the first bearing, at least one coupling rod, which extends between the first bearing and the second bearing and is coupled with its second end portion with the second end portion of the second crank portion and which is coupled with its first end portion with the locking pin, and a pneumatically operating actuating device which is coupled to the hinge pin and vertically adjustable with respect to the longitudinal extent of the two crank sections, wherein the locking pin in the first bearing between an open position and a closed position is displaceable by operating the pneumatically operating actuating device.

Anschaulich können der erste und der zweite beispielsweise strang-, stangen- oder leistenförmige Kurbelabschnitt, die sich nacheinander zwischen dem ersten Festlager und dem zweiten Festlager erstrecken und an einander zugewandten ersten Endabschnitten mittels eines Gelenkbolzens drehbar bzw. gelenkig miteinander gekuppelt sind eine Kniehebelanordnung bereitstellen, bei der der erste Kurbelabschnitt (erster Hebel) mit seinem zweiten Endabschnitt an dem Lagerbock schwenkbar bzw. gelenkig befestigt ist und der zweite Kurbelabschnitt (zweite Hebel) mit seinem zweiten Endabschnitt vermittels einer Lageranordnung an dem zweiten Festlager zu dem zweiten Festlager relativ verschiebbar abgestützt ist.Illustratively, the first and the second, for example, rod, rod or strip-shaped crank section, which successively extend between the first bearing and the second bearing and on mutually facing first end portions by means of a hinge pin rotatably or hingedly coupled together provide a toggle lever assembly at the second crank portion (second lever) is relatively slidably supported by its second end portion by means of a bearing arrangement on the second bearing to the second bearing.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Lageranordnung einen Gleitlagerabschnitt und einen Kupplungsbolzen aufweisen, wobei der Gleitlagerabschnitt in dem zweiten Festlager verschiebbar aufgenommen ist und mit einem Endabschnitt in Richtung zu dem ersten Festlager hin aus dem zweiten Festlager vorsteht, wobei der zweite Endabschnitt des zweiten Kurbelabschnitts mittels des Kupplungsbolzens um den freien Endabschnitt des Gleitlagerabschnitts drehbar bzw. gelenkig an diesem befestigt ist.According to various embodiments, the bearing assembly may comprise a sliding bearing portion and a coupling pin, wherein the sliding bearing portion is slidably received in the second fixed bearing and protrudes with an end portion toward the first fixed bearing out of the second fixed bearing, wherein the second end portion of the second crank portion by means of the coupling pin around the free end portion of the sliding bearing portion is rotatably mounted thereto.

Indem die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung mittels einer Hubbewegung auf den Gelenkbolzen eine bezüglich der Verbindungslinie zwischen dem gelenkig gelagerten zweiten Endabschnitt des ersten Kurbelabschnitts und dem gelenkig gelagerten zweiten Endabschnitt des zweiten Kurbelabschnitts senkrecht wirkende Kraft aufbringt, kann von dem zweiten Endabschnitt des zweiten Kurbelabschnitts, der gelenkig an dem Gleitlagerabschnitt befestigt ist, auf den Gleitlagerabschnitt, der in dem zweiten Festlager verschiebbar abgestützt ist, eine senkrecht zur Hubbewegung umgewandelte Schiebebewegung aufgebracht werden.By the pneumatic working actuator by means of a lifting movement on the hinge pin perpendicular with respect to the connecting line between the articulated second end portion of the first crank portion and the articulated second end portion of the second crank portion applying force can from the second end portion of the second crank portion, the hinged to is attached to the sliding bearing portion, on the sliding bearing portion which is slidably supported in the second fixed bearing, a perpendicular to the stroke movement converted sliding movement are applied.

Mit anderen Worten kann mittels des kinematischen Aufbaus der Schließanordnung der Schließbolzen eine wesentlich größere Kraft auf eine beispielsweise Kammertür aufbringen, als diese von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung bereitgestellt wird. Beispielsweise kann die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung unter Aufwendung einer Kraft von 4000 N einen Hub von 52 mm ausführen, wodurch mittels des kinematischen Aufbaus des Schubstangenspanners der Schließbolzen 25 mm bewegt werden kann und eine Kraft von 12000 N auf die Kammertür aufbringen kann. Anschaulich wird der Hubweg, der von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung bereitgestellt wird, in einen um 90° versetzten Hubweg mit deutlich untersetzter Weglänge umgewandelt.In other words, by means of the kinematic structure of the closing arrangement, the locking bolt can apply a substantially greater force to, for example, a chamber door than is provided by the pneumatically operating actuating device. For example, the pneumatic adjusting device can perform a stroke of 52 mm by applying a force of 4000 N, whereby the locking pin can be moved 25 mm by means of the kinematic structure of the push rod tensioner and can apply a force of 12000 N to the chamber door. Clearly, the stroke, which is provided by the pneumatically operating adjusting device, converted into a offset by 90 ° stroke with clearly understated path length.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der zweite Endabschnitt der Koppelstange mittels des Kupplungsbolzens mit dem aus dem zweiten Festlager vorstehenden Endabschnitt des Gleitlagerabschnitts gekuppelt sein. Indem die Koppelstange mit dem Gleitlagerabschnitt verbunden ist, wird eine von dem Gleitlagerabschnitt ausgeführte Schiebebewegung direkt auf die Koppelstange übertragen, von welcher der Schließbolzen, der seinerseits in dem ersten Festlager verschiebbar gehalten wird, verschoben bzw. linear bewegt wird.According to various embodiments, the second end portion of the coupling rod may be coupled by means of the coupling pin with the projecting from the second bearing end portion of the sliding bearing portion. By the coupling rod is connected to the sliding bearing portion, a sliding movement performed by the sliding bearing portion is transmitted directly to the coupling rod, of which the locking bolt, which in turn is slidably supported in the first fixed bearing, is moved linearly.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Schließanordnung zwei Koppelstangen aufweisen, wobei die zwei Koppelstangen beidseits der Kurbelabschnitte positioniert sind und somit geeignet sind, die von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung in die Schließanordnung eingetragene Kraft gleichförmig und stabil auf den Schließbolzen zu übertragen.According to various embodiments, the locking arrangement may comprise two coupling rods, wherein the two coupling rods are positioned on both sides of the crank sections and thus are adapted to transmit uniformly and stably the force applied by the pneumatically operating actuating device into the locking arrangement on the locking bolt.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuum-Behandlungskammeranlage mit einer Türöffnung und einer die Türöffnung verschließenden Kammertür mindestens eine Schließanordnung gemäß einer der vorbeschriebenen Ausführungsformen aufweisen, von welcher die Kammertür gegen eine Umrandung der Türöffnung zieh- und/oder pressbar ist.According to various embodiments, a vacuum treatment chamber system with a Door opening and a chamber door closing the door opening have at least one closing arrangement according to one of the above-described embodiments, from which the chamber door can be pulled and / or pressed against a border of the door opening.

Anschaulich kann eine Vakuum-Behandlungskammeranlage zumindest eine Behandlungskammer aufweisen, die mit zumindest einer Türöffnung und einer die Türöffnung verschließenden Kammertür versehen ist. Um in der zumindest einen Behandlungskammer ein Vorvakuum oder Hochvakuum erzeugen zu können, sollte die Türöffnung der Behandlungskammer mit einer entsprechend passenden Tür möglichst dicht verschlossen werden. Mit anderen Worten sollte die Kammertür vor dem Erzeugen des Vakuums dicht an der Türöffnung umgebenden Umfangswandung anliegen. Beispielsweis können an den die Türöffnung umgebenden Umfangswandungsabschnitten Dichtungselemente beispielsweise in Form von Dichtlippen angeordnet sein, die eine Dichtfläche für die im geschlossenen Zustand daran anliegenden Kammertürabschnitte bilden. Es ist aber auch möglich, dass die Kammertür in den Bereichen, mit welchen die Kammertür an den die Türöffnung umgebenden Umfangswandungsabschnitten im geschlossenen Zustand anliegt, mit Dichtungselementen beispielsweise in Form von Dichtlippen ausgestattet ist.Illustratively, a vacuum treatment chamber system can have at least one treatment chamber, which is provided with at least one door opening and a chamber door closing the door opening. In order to be able to generate a pre-vacuum or high vacuum in the at least one treatment chamber, the door opening of the treatment chamber should be closed as tightly as possible with a correspondingly fitting door. In other words, the chamber door should bear against the circumferential wall surrounding the door opening before generating the vacuum. By way of example, sealing elements, for example in the form of sealing lips, which form a sealing surface for the chamber-door sections adjacent thereto in the closed state, can be arranged on the circumferential wall sections surrounding the door opening. However, it is also possible for the chamber door to be provided with sealing elements, for example in the form of sealing lips, in the regions with which the chamber door bears against the circumferential wall sections surrounding the door opening in the closed state.

Zum Verschließen der Türöffnung mittels der Kammertür, das heißt, zum Heranziehen der Kammertür und/oder zum Anpressen der Kammertür an die Umrandung der Türöffnung, kann eine Schließanordnung, wie hierin beschrieben, verwendet werden.For closing the door opening by means of the chamber door, that is, for pulling the chamber door and / or for pressing the chamber door to the border of the door opening, a closing arrangement as described herein can be used.

Die Schließanordnung kann an der Außenseite einer Seitenwand der Behandlungskammer befestigt werden, wobei der Schließbolzen der Schließanordnung beispielsweise parallel zu der Seitenwand verschiebbar ausgebildet sein kann, so dass ein freies Ende des Schließbolzens einer sich in entspanntem Zustand befindenden Schließanordnung mit einer vor der Türöffnung der Behandlungskammer positionierten Kammertür in Eingriff gebracht werden kann. Durch Betätigen der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung der Schließanordnung kann der Schließbolzen vermittels des Schubstangenspanners in eine von der Kammertür wegweisende Richtung bewegt werden, wodurch die Kammertür von dem Schließbolzen gegen die Umrandung der Türöffnung gezogen und/oder gepresst werden kann.The closure assembly may be secured to the exterior of a side wall of the treatment chamber, wherein the closure bolt of the closure assembly may be slidable parallel to the side wall such that a free end of the closure bolt is in a relaxed condition with a closure positioned in front of the door opening of the processing chamber Chamber door can be engaged. By actuating the pneumatically operated actuating device of the closing arrangement, the locking bolt can be moved by means of the push rod tensioner in a direction away from the chamber door direction, whereby the chamber door can be pulled by the locking pin against the border of the door opening and / or pressed.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuum-Behandlungskammeranlage beispielsweise an jeder der beidseitig der Türöffnung ausgebildeten äußeren Seitenwandabschnitte einer Behandlungskammer jeweils zumindest zwei Schließanordnungen aufweisen.According to various embodiments, the vacuum treatment chamber system can have, for example, at least two closing arrangements at each of the outer side wall sections of a treatment chamber formed on both sides of the door opening.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können an Seitenrandabschnitten der Kammertür Eingriffsanordnungen ausgebildet sein, in welche die freien Endabschnitte der Schließbolzen verrastbar in Eingriff bringbar sind, so dass von den freien Endabschnitten der Schließbolzen die Kammertür gegen die Umrandung der Türöffnung zieh- und/oder pressbar ist. Mit anderen Worten kann der Schließbolzen an seinem freien Ende beispielsweise einen Flansch aufweisen, der einen größeren Umfang aufweist als der übrige Schließbolzen, und kann die Kammertür eine daran angepasste Eingriffsanordnung aufweisen, in die der Schließbolzen derart eingreifen kann, dass der Flansch an den die Eingriffsanordnung umgebenden Wandabschnitten anliegen kann.According to various embodiments, engaging arrangements may be formed on side edge portions of the chamber door into which the free end portions of the latch bolts are latchably engageable such that from the free end portions of the latch bolts the chamber door can be pulled and / or pressed against the border of the door opening. In other words, the locking bolt may, for example, have at its free end a flange which has a larger circumference than the rest of the locking bolt, and the chamber door may have an adapted engagement arrangement into which the locking bolt can engage such that the flange engages the engagement arrangement can rest against surrounding wall sections.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Kammertür zum Öffnen/Schließen der Türöffnung von der Türöffnung seitlich verschiebbar, also als Schiebetür ausgebildet sein.According to various embodiments, the chamber door for opening / closing the door opening from the door opening laterally displaceable, so be designed as a sliding door.

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuum-Behandlungskammeranlage an zwei einander gegenüberliegenden Endseiten jeweils eine Türöffnung aufweisen, welche von jeweils einer seitlich verschiebbaren Kammertür verschließbar ist, wobei zum Verschließen jeder der Türöffnungen jeweils beispielsweise vier Schließanordnungen angeordnet sein können.According to various embodiments, the vacuum treatment chamber system can each have a door opening on two opposite end sides, which can be closed by a laterally displaceable chamber door, wherein for closing each of the door openings each four locking arrangements can be arranged, for example.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert. Die Zeichnung zeigt in:Embodiments of the invention are illustrated in the figures and are explained in more detail below. The drawing shows in:

1 einen Abschnitt einer Vakuum-Behandlungskammeranlage mit einer eine Türöffnung verschließenden Kammertür gemäß verschiedenen Ausführungsformen; 1 a portion of a vacuum treatment chamber system with a door opening occlusive chamber door according to various embodiments;

2 eine Schließanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen. 2 a closure assembly according to various embodiments.

In 1 ist ein Abschnitt einer schematisch dargestellten Vakuum-Behandlungskammeranlage 200 mit einer eine Türöffnung verschließenden Kammertür 220 gemäß verschiedenen Ausführungsformen gezeigt.In 1 is a section of a schematically illustrated vacuum treatment chamber plant 200 with a door opening closing a door opening 220 shown according to various embodiments.

Eine Vakuum-Behandlungskammeranlage 200 kann eine Mehrzahl von beispielsweise nacheinander angeordneten Behandlungskammern, Schleusenkammern, wie Eingangsschleusen und Ausgangsschleusen, oder dergleichen aufweisen, die miteinander verbunden werden können. Der in 1 dargestellte Abschnitt einer Vakuum-Behandlungskammeranlage 200 kann eine Behandlungskammer 210 (Schleusenkammer 210) mit einer Kammerwand 230 aufweisen, die beispielsweise an eine Kammerwand einer nachfolgenden Behandlungskammer (nicht dargestellt) anschließbar bzw. andockbar ist. Ferner kann die Behandlungskammer 210 an zwei einander gegenüberliegenden Seiten Seitenwände 240 (nur eine Seitenwand ist dargestellt) aufweisen, die die Behandlungskammer 210 seitlich begrenzen, und eine Bodenwand (nicht dargestellt) und eine Deckenwand 250 aufweisen, die die Behandlungskammer 210 nach unten bzw. nach oben hin begrenzen.A vacuum treatment chamber system 200 may comprise a plurality of, for example, successively arranged treatment chambers, lock chambers, such as entrance locks and exit locks, or the like, which can be interconnected. The in 1 illustrated section of a vacuum treatment chamber system 200 can be a treatment chamber 210 (Lock chamber 210 ) with a chamber wall 230 have, for example, to a chamber wall of a subsequent treatment chamber (not shown) can be connected or docked. Furthermore, the treatment chamber 210 Side walls on two opposite sides 240 (Only one side wall is shown), which is the treatment chamber 210 limit laterally, and a bottom wall (not shown) and a ceiling wall 250 have the treatment chamber 210 Limit downwards or upwards.

Auf der der Kammerwand 230 gegenüberliegenden Seite der Behandlungskammer 210 weist die Behandlungskammer 210 eine Türöffnung (nicht gezeigt) auf, die von einer Kammertür 220 verschließbar ist. Die Türöffnung kann beispielsweise von den Seitenwänden 240, der Deckenwand 250 und der Bodenwand begrenzt sein. Ferner können von den freien Stirnseiten der Seitenwände 240, der Deckenwand 250 und der Bodenwand, die jeweils der Kammertür 220 zugewandt sind, die Umrandung der Türöffnung bereitgestellt werden, an die die Kammertür 220 in dichte Anlage gebracht werden kann. An dieser Umrandung können geeignete Dichtungen beispielsweise in Form von Dichtlippen angeordnet sein, die eine Dichtfläche für die im geschlossenen Zustand daran anliegenden Kammertürabschnitte bereitstellen. Alternativ oder zusätzlich dazu kann die Kammertür in den Bereichen, mit welchen diese die Umrandung der Türöffnung im geschlossenen Zustand kontaktiert, Dichtungselemente aufweisen, so dass die Türöffnung der Behandlungskammer vermittels der Kammertür 220 dicht verschließbar ist. Die Dichtungselemente können beispielsweise in Form von Dichtlippen bereitgestellt werden. Die Kammertür 220 kann seitlich von der Türöffnung verschiebbar ausgebildet sein. On the chamber wall 230 opposite side of the treatment chamber 210 has the treatment chamber 210 a door opening (not shown) from a chamber door 220 is closable. The door opening can be, for example, from the side walls 240 , the ceiling wall 250 and the bottom wall be limited. Furthermore, from the free end faces of the side walls 240 , the ceiling wall 250 and the bottom wall, each of the chamber door 220 are facing, the border of the door opening to be provided to the the chamber door 220 can be brought into tight contact. Suitable seals may be arranged on this border, for example in the form of sealing lips, which provide a sealing surface for the chamber-door sections adjacent thereto in the closed state. Alternatively or additionally, the chamber door in the areas with which it contacts the border of the door opening in the closed state, sealing elements, so that the door opening of the treatment chamber by means of the chamber door 220 is tightly closed. The sealing elements can be provided for example in the form of sealing lips. The chamber door 220 can be designed to be displaceable laterally from the door opening.

Wie ferner aus 1 ersichtlich ist, können entweder an einer der Seitenwände 240 oder an beiden Seitenwänden 240 jeweils eine, zwei oder mehr Schließanordnungen 100 angeordnet sein, mittels welcher die Kammertür 220 gegen die Umrandung der Türöffnung ziehbar und/oder pressbar ist. Die Schließanordnungen 100 weisen jeweils einen Schließbolzen 80 (2) auf, die mit Eingriffsanordnungen 221, die an der Kammertür 220 entsprechend vorgesehen sein können, in Eingriff gebracht werden können. Mit anderen Worten kann beispielsweise ein freier Endabschnitt des Schließbolzens an der Eingriffsanordnung 221 Kammertür 220 verrasten, so dass beim Verbringen des Schließbolzens 80 aus einem entspannten Zustand, in welchem die Kammertür 220 vor der Türöffnung positioniert wird, in einen Verriegelungszustand, das heißt, beim Bewegen des Schließbolzens in Richtung zu der Kammerwand 230 hin, die Kammertür 220 fest gegen die Türöffnung bzw. die Umrandung der Türöffnung gezogen werden kann.As further out 1 It can be seen, either on one of the side walls 240 or on both side walls 240 one, two or more locking arrangements 100 be arranged, by means of which the chamber door 220 can be pulled and / or pressed against the border of the door opening. The locking arrangements 100 each have a locking pin 80 ( 2 ), with engagement arrangements 221 at the door of the chamber 220 can be provided accordingly, can be brought into engagement. In other words, for example, a free end portion of the latch bolt on the engagement assembly 221 chamber door 220 latch so that when you bring the locking bolt 80 from a relaxed state, in which the chamber door 220 is positioned in front of the door opening, in a locking state, that is, when moving the locking bolt toward the chamber wall 230 down the chamber door 220 firmly against the door opening or the border of the door opening can be pulled.

In 2 ist eine Schließanordnung gemäß verschiedenen Ausführungsformen dargestellt.In 2 a closure assembly according to various embodiments is shown.

Gemäß verschiedenen Ausgestaltungen kann eine Schließanordnung 100 zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer 210 mittels einer Kammertür 220 zumindest einen Schubstangenspanner und eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung 70 aufweisen, die an einem äußeren Seitenwandabschnitt 210 der Behandlungskammer 220 (1) fixierbar sind. Der Schubstangenspanner kann zumindest eine Koppelstange 60 und einen Schließbolzen 80 aufweisen, die miteinander gekuppelt sind, wobei die Koppelstange 60 von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung 70 über eine Kurbelanordnung 41, 42 bewegbar ist, so dass der Schließbolzen 80 linear bewegt werden kann. Beispielsweis kann der Schließbolzen 80 mit einer Kammertür 220 (1) in Eingriff gebracht werden, und durch anschließendes Bewegen des Schließbolzens 80 kann die Kammertür 220 gegen eine Umrandung der Türöffnung gezogen und/oder gepresst werden.According to various embodiments, a closing arrangement 100 for closing a door opening of a treatment chamber 210 by means of a chamber door 220 at least one push rod tensioner and a pneumatically operated adjusting device 70 having on an outer side wall portion 210 the treatment chamber 220 ( 1 ) are fixable. The push rod tensioner can at least one coupling rod 60 and a locking bolt 80 have, which are coupled together, wherein the coupling rod 60 from the pneumatically operated adjusting device 70 via a crank assembly 41 . 42 is movable, so that the locking bolt 80 can be moved linearly. For example, the locking bolt 80 with a chamber door 220 ( 1 ), and by subsequently moving the striker 80 can the chamber door 220 pulled against a border of the door opening and / or pressed.

Die Schließanordnung 100 zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer 210 mittels einer Kammertür 220 gemäß der in 2 dargestellten Ausführungsform kann ein erstes Festlager 101, ein zweites Festlager 102 und einen Lagerbock 30 aufweisen, wobei das erste Festlager 101 und das zweite Festlager 102 mit einem Abstand voneinander jeweils an der Außenseite eines Seitenwandabschnitts 240 (1) der Behandlungskammer 210 fixierbar sind und der Lagerbock 30 zwischen den zwei Festlagern 101 und 102 an dem Seitenwandabschnitt 240 der Behandlungskammer 210 festlegbar ist.The closing arrangement 100 for closing a door opening of a treatment chamber 210 by means of a chamber door 220 according to the in 2 illustrated embodiment, a first fixed bearing 101 , a second camp 102 and a bearing block 30 have, wherein the first fixed bearing 101 and the second camp 102 at a distance from each other on the outside of a side wall portion 240 ( 1 ) of the treatment chamber 210 can be fixed and the bearing block 30 between the two fixed camps 101 and 102 on the sidewall portion 240 the treatment chamber 210 is determinable.

Ferner kann die Schließanordnung 100 einen beispielsweise stangenförmigen ersten Kurbelabschnitt 41 und einen beispielsweise stangenförmigen zweiten Kurbelabschnitt 42 aufweisen, die sich nacheinander zwischen dem ersten Festlager 101 und dem zweiten Festlager 102 erstrecken. Der erste Kurbelabschnitt 41 und der zweite Kurbelabschnitt 42 sind an ihren einander zugewandten ersten Endabschnitten 412 und 421 mittels eines Gelenkbolzens 43 drehbar miteinander gekuppelt. Der erste Kurbelabschnitt 41 ist mit seinem zweiten Endabschnitt 411 mittels eines Bolzens 44 an dem Lagerbock 30 schwenkbar befestigt und der zweite Kurbelabschnitt 42 ist mit seinem zweiten Endabschnitt 422 vermittels einer Lageranordnung 50 an dem zweiten Festlager 102 zu dem zweiten Festlager 102 relativ verschiebbar abgestützt.Furthermore, the closing arrangement 100 an example rod-shaped first crank section 41 and a rod-shaped second crank portion, for example 42 exhibit, which successively between the first fixed bearing 101 and the second camp 102 extend. The first crank section 41 and the second crank portion 42 are at their mutually facing first end portions 412 and 421 by means of a hinge pin 43 rotatably coupled with each other. The first crank section 41 is with its second end section 411 by means of a bolt 44 on the bearing block 30 pivotally mounted and the second crank section 42 is with its second end section 422 by means of a bearing arrangement 50 at the second camp 102 to the second camp 102 relatively slidably supported.

Die Lageranordnung 50 kann einen Gleitlagerabschnitt 51 und einen Kupplungsbolzen 45 aufweisen, wobei der Gleitlagerabschnitt 51 in dem zweiten Festlager 102 verschiebbar aufgenommen ist und mit einem freien Endabschnitt in Richtung zu dem ersten Festlager 101 hin aus dem zweiten Festlager 102 vorstehen kann. Mittels des Kupplungsbolzens 45 kann der zweite Endabschnitt 422 des zweiten Kurbelabschnitts 42 um den freien Endabschnitt des Gleitlagerabschnitts 51 drehbar an diesem befestigt sein.The bearing arrangement 50 can be a plain bearing section 51 and a coupling pin 45 have, wherein the sliding bearing portion 51 in the second camp 102 slidably received and with a free end portion in the direction of the first fixed bearing 101 out of the second camp 102 can protrude. By means of the coupling bolt 45 can the second end section 422 of the second crank section 42 around the free end portion of the sliding bearing portion 51 be rotatably attached to this.

Ferner kann die Schließanordnung 100 einen Schließbolzen 80 aufweisen, der in dem ersten Festlager 101 verschiebbar abgestützt ist und mit jeweils einem Endabschnitt aus dem ersten Festlager 101 vorsteht.Furthermore, the closing arrangement 100 a locking bolt 80 that in the first fixed bearing 101 slidably supported and with one end portion from the first fixed bearing 101 protrudes.

Der Schließbolzen 80 kann beispielsweise an seinem freien Endabschnitt, der dem zweiten Festlager 102 abgewandt ist, beispielsweise einen Flansch 81 aufweisen, der mit einer an einer Kammertür 220 ausgebildeten Eingriffsanordnung 221 lösbar verrastbar in Eingriff gebracht werden kann. The locking bolt 80 For example, at its free end portion, the second fixed bearing 102 turned away, for example, a flange 81 exhibit, with one at a chamber door 220 trained engagement arrangement 221 releasably lockable can be brought into engagement.

Die Schließanordnung 100 weist ferner zumindest eine Koppelstange 60 auf, die sich zwischen dem ersten Festlager 101 und dem zweiten Festlager 102 erstreckt und mit ihrem zweiten Endabschnitt 62 mit dem freien Endabschnitt des Gleitlagerabschnitts 51 und damit folglich zumindest indirekt mit dem zweiten Endabschnitt 422 des zweiten Kurbelabschnitts 42 gekuppelt ist. Die Verbindung des zweiten Endabschnitts 62 der Koppelstange mit dem Gleitlagerabschnitt 51 kann beispielsweise mittels desselben Kupplungsbolzens 45 erfolgen mittels welchem der zweite Kurbelabschnitt 42 mit dem Gleitlagerabschnitt 51 gekuppelt ist. Alternativ können der zweite Kurbelabschnitt 42 und der zweite Endabschnitt der Koppelstange 62 auch mit voneinander unabhängigen Befestigungselementen mit dem freien Endabschnitt des Gleitlagerabschnitts 51 gekuppelt bzw. verbunden werden, anstatt mittels desselben Kupplungsbolzens 45.The closing arrangement 100 also has at least one coupling rod 60 on, which is between the first camp 101 and the second camp 102 extends and with its second end portion 62 with the free end portion of the sliding bearing portion 51 and thus consequently at least indirectly with the second end portion 422 of the second crank section 42 is coupled. The connection of the second end section 62 the coupling rod with the plain bearing section 51 For example, by means of the same coupling pin 45 take place by means of which the second crank section 42 with the plain bearing section 51 is coupled. Alternatively, the second crank portion 42 and the second end portion of the coupling rod 62 even with independent fasteners with the free end portion of the sliding bearing portion 51 coupled or connected, instead of using the same coupling pin 45 ,

Die Koppelstange 60 ist mit ihrem ersten Endabschnitt 61 mit dem Endabschnitt des Schließbolzen 80 gekuppelt, der in Richtung zu dem zweiten Festlager 102 aus dem ersten Festlager 101 vorsteht, wobei zum Koppeln bzw. Verbinden der Koppelstange 60 mit dem Schließbolzen 80 beispielsweise ein Verbindungsbolzen 82 verwendet werden kann. Auch wenn nicht dargestellt, kann die Schließanordnung 100 zwei Koppelstangen 60 aufweisen, wobei dann die Kurbelabschnitte 41, 42 zwischen den Koppelstangen 60 angeordnet sind und die zweite Koppelstange mit dem Kupplungsbolzen 45 einerseits und mit dem Verbindungsbolzen 82 andererseits gehalten ist und mit der Koppelstange 60 folglich eine Wirkverbindung aufweisen kann.The coupling rod 60 is with her first end section 61 with the end portion of the locking bolt 80 coupled, which towards the second camp 102 from the first camp 101 projecting, wherein for coupling or connecting the coupling rod 60 with the locking pin 80 for example, a connecting bolt 82 can be used. Although not shown, the closing arrangement 100 two coupling rods 60 have, in which case the crank sections 41 . 42 between the coupling rods 60 are arranged and the second coupling rod with the coupling pin 45 on the one hand and with the connecting bolt 82 on the other hand is held and with the coupling rod 60 consequently may have an active compound.

Darüber hinaus weist die Schließanordnung 100 eine pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung 70 auf, die bei der Verwendung der Schließanordnung 100 zum Verschließen einer Türöffnung einer Behandlungskammer 210 mittels einer Kammertür 220 an der Außenseite eines Seitenwandabschnitts 240 (1) der Behandlungskammer 210 fixierbar ist. Die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung 70 weist am freien Ende eines bewegbaren Hubabschnitts 72 einen Gelenkkopf 71 auf, der mit dem Gelenkbolzen 45 gekuppelt ist. Die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung 70 bzw. deren bewegbarer Hubabschnitt 72 ist bezüglich der Längserstreckung der zwei Kurbelabschnitte 41, 42 bzw. bezüglich der Verbindungslinie zwischen dem Kupplungsbolzen 45 und dem Bolzen 44 senkrecht verstellbar.In addition, the locking arrangement 100 a pneumatically operated adjusting device 70 on that when using the locking assembly 100 for closing a door opening of a treatment chamber 210 by means of a chamber door 220 on the outside of a side wall section 240 ( 1 ) of the treatment chamber 210 can be fixed. The pneumatically operated adjusting device 70 has at the free end of a movable lifting section 72 a condyle 71 on that with the hinge pin 45 is coupled. The pneumatically operated adjusting device 70 or their movable lifting section 72 is with respect to the longitudinal extent of the two crank sections 41 . 42 or with respect to the connecting line between the coupling pin 45 and the bolt 44 vertically adjustable.

Wenn die pneumatisch arbeitende Stelleinrichtung 70 bzw. deren bewegbarer Hubabschnitt 72 auf den Gelenkbolzen 43 eine bezüglich der Verbindungslinie zwischen dem Kupplungsbolzen 45 und dem Bolzen 44 senkrecht wirkende Kraft aufbringt, wird auf den Gleitlagerabschnitt 51, der in dem zweiten Festlager 102 verschiebbar abgestützt ist, ein Zug- oder Schiebekraft aufgebracht, so dass der Gleitlagerabschnitt 51 in Richtung zu dem ersten Festlager linear hin- oder in Richtung von dem ersten Festlager 102 wegbewegt wird.When the pneumatically operated adjusting device 70 or their movable lifting section 72 on the hinge pin 43 a with respect to the connecting line between the coupling pin 45 and the bolt 44 acting perpendicular force is applied to the sliding bearing section 51 who is in the second camp 102 slidably supported, applied a pulling or pushing force, so that the plain bearing section 51 towards the first bearing linear towards or in the direction of the first bearing 102 is moved away.

Da die Koppelstange 60 mit dem Gleitlagerabschnitt 51 gekuppelt bzw. verbunden ist, folgt somit die Koppelstange 60 der Bewegung des Gleitlagerabschnitts 51 in die eine oder andere Richtung, so dass der Schließbolzen 80, der seinerseits in dem ersten Festlager 101 verschiebbar abgestützt und mit der Koppelstange 60 verbunden ist, zwischen einer Offenstellung und einer Schließstellung verschiebbar ist.Because the coupling rod 60 with the plain bearing section 51 coupled or connected, thus follows the coupling rod 60 the movement of the slide bearing section 51 in one direction or the other, leaving the locking pin 80 who, in turn, in the first camp 101 slidably supported and with the coupling rod 60 is connected, is displaceable between an open position and a closed position.

Mit anderen Worten kann die Hubbewegung des Hubabschnitts 72 über die Kurbelanordnung 41, 42 in eine um 90° zu der Hubbewegung versetzte Verschiebebewegung des Schließbolzens 80 umgewandelt bzw. umgeformt werden.In other words, the lifting movement of the lifting section 72 over the crank assembly 41 . 42 in a displaced by 90 ° to the lifting movement displacement movement of the locking bolt 80 be converted or reshaped.

Aufgrund des kinematischen Aufbaus der Schließanordnung 100 kann der Schließbolzen 80 eine wesentlich größere Kraft auf eine beispielsweise Kammertür 220 (1) aufbringen, als von der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung 70 bereitgestellt wird, da der Hubweg, den der Hubabschnitt 72 der pneumatisch arbeitenden Stelleinrichtung 70 zurücklegt, in einen um 90° versetzten Hubweg mit deutlich untersetzter Weglänge umgewandelt wird.Due to the kinematic structure of the closing arrangement 100 can the locking pin 80 a much greater force on, for example, a chamber door 220 ( 1 ), as by the pneumatically operated actuator 70 is provided because the stroke, the lifting section 72 the pneumatically operated adjusting device 70 is converted into a offset by 90 ° stroke with clearly understated path length.

Die hierin beschriebene Schließanordnung 100 kann beispielsweise zum Verschließen einer seitlich zu öffnenden Kammertür 220 einer Eingangsschleuse oder Ausgangsschleuse einer Folienbeschichtungsanlage 200 verwendet werden. Zum Evakuieren der Eingangsschleuse oder der Ausgangsschleuse kann es beispielsweise notwendig oder hilfreich sein, die Kammertür 220 zumindest kurzzeitig an das Kammergehäuse der Eingangsschleuse oder Ausgangsschleuse anzupressen oder anzuziehen, so dass ein Unterdruck in der Eingangsschleuse oder Ausgangsschleuse erzeugt werden kann. Das Kammergehäuse der Eingangsschleuse oder der Ausgangsschleuse kann beispielsweise aus den Kammerwänden gebildet sein, wie vorangehend beschrieben ist.The closure assembly described herein 100 can for example be used to close a side-opening chamber door 220 an entrance lock or exit lock a film coating plant 200 be used. To evacuate the entrance lock or the exit lock, it may be necessary or helpful, for example, the chamber door 220 at least briefly press or attract to the chamber housing the entrance lock or exit lock, so that a negative pressure in the entrance lock or exit lock can be generated. The chamber housing the entrance lock or the exit lock may for example be formed from the chamber walls, as described above.

In der Eingangsschleuse oder Ausgangsschleuse kann beispielsweise ein auf eine Rolle aufgewickeltes Bandsubstrat bereitgestellt sein oder werden. Anschaulich kann ein Bandsubstrat, z. B. eine Folie, zwischen der Eingangsschleuse und der Ausgangsschleuse einer Folienbeschichtungsanlage 200 von Rolle zu Rolle transportiert werden. Die Eingangsschleuse oder die Ausgangsschleuse kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass diese unabhängig von anderen Bereichen der Folienbeschichtungsanlage 200 evakuiert werden kann. Die Kammertür 220 und/oder das Kammergehäuse der Eingangsschleuse oder der Ausgangsschleuse kann beispielsweise eine um die Türöffnung umlaufende Dichtung aufweisen, z. B. eine Viton-Dichtung oder eine Lippendichtung, mittels welcher das Kammergehäuse vakuumdicht abgedichtet werden kann.In the entrance lock or exit lock, for example, a tape substrate wound on a roll can be provided. Illustratively, a tape substrate, for. B. a film, between the entrance lock and the exit lock a film coating plant 200 transported from roll to roll. The entrance lock or the exit lock can for example be set up such that it is independent of other areas of the film coating installation 200 can be evacuated. The chamber door 220 and / or the chamber housing the entrance lock or the exit lock, for example, have a circumferential seal around the door opening, z. As a Viton seal or a lip seal, by means of which the chamber housing can be sealed vacuum-tight.

Claims

Closing arrangement ( 100 ) for closing a door opening of a treatment chamber ( 210 ) by means of a chamber door ( 220 ), wherein the closing arrangement ( 100 ) at least one push rod tensioner and a pneumatically operated actuating device ( 70 ), which on an outer side wall portion ( 240 ) of the treatment chamber ( 210 ) are fixable, wherein the push rod tensioner at least one coupling rod ( 60 ) and a locking bolt ( 80 ), which are coupled together, and wherein the coupling rod ( 60 ) from the pneumatically operated actuating device ( 70 ) via a crank assembly ( 41 . 42 ) is movable in such a way that by a chamber door ( 220 ) engaging locking bolt ( 80 ) the chamber door ( 220 ) can be pulled and / or pressed against a border of the door opening.

Locking arrangement according to claim 1, wherein the coupling rod ( 60 ) and the locking bolt ( 80 ) are designed for carrying out a linear movement, wherein the linear movement of a to the direction of displacement of the locking bolt ( 80 ) vertical lifting movement of the pneumatically operating actuating device ( 70 ) is producible.

Closing arrangement ( 100 ) for closing a door opening of a treatment chamber ( 210 ) by means of a chamber door ( 220 ), wherein the closing arrangement ( 100 ): a first fixed bearing ( 101 ) and a second fixed storage ( 102 ) spaced apart from each other at an outer sidewall portion (FIG. 240 ) of the treatment chamber ( 210 ) are fixable, a bearing block ( 30 ), which is between the two fixed camps ( 101 . 102 ) on the side wall section ( 240 ) of the treatment chamber ( 210 ) is fixable, a first elongated crank section ( 41 ) and a second elongated crank section ( 42 ), which successively between the first camp ( 101 ) and the second camp ( 102 ) and at first end portions facing each other ( 412 . 421 ) by means of a hinge pin ( 43 ) are rotatably coupled together, wherein the first crank portion ( 41 ) with its second end portion ( 412 ) on the bearing block ( 30 ) is pivotally mounted and the second crank section ( 42 ) with its second end portion ( 422 ) by means of a bearing arrangement ( 50 ) at the second camp ( 102 ) to the second camp ( 102 ) is supported relatively displaceable, a locking bolt ( 80 ) in the first camp ( 101 ) is slidably supported and with one end portion from the first fixed bearing ( 101 ) projects, at least one coupling rod ( 60 ), which is located between the first camp ( 101 ) and the second camp ( 102 ) and with its second end portion ( 62 ) with the second end portion ( 422 ) of the second crank section ( 42 ) and which with its first end section ( 61 ) with the locking bolt ( 80 ), and a pneumatically operated actuating device ( 70 ), which with the hinge pin ( 43 ) and with respect to the longitudinal extent of the two crank sections ( 41 . 42 ) is vertically adjustable, wherein by actuating the pneumatically operating actuating device ( 70 ) the locking bolt ( 80 ) in the first camp ( 101 ) is displaceable between an open position and a closed position.

Locking arrangement according to claim 3, wherein the bearing arrangement ( 50 ) a plain bearing section ( 51 ) and a coupling pin ( 45 ), wherein the plain bearing section ( 45 ) in the second camp ( 102 ) is slidably received and with an end portion in the direction of the first fixed bearing ( 101 ) out of the second camp ( 102 ), wherein the second end portion ( 422 ) of the second crank section ( 42 ) by means of the coupling pin ( 45 ) about the free end portion of the sliding bearing portion ( 51 ) is rotatably attached thereto.

Locking arrangement according to claim 4, wherein the second end portion ( 62 ) of the coupling rod ( 60 ) by means of the coupling pin ( 45 ) with the one from the second camp ( 102 ) projecting end portion of the sliding bearing portion ( 51 ) is coupled.

Locking arrangement according to one of claims 3 to 5 with two coupling rods ( 60 ), wherein the two coupling rods ( 60 ) on both sides of the crank sections ( 41 . 42 ) are positioned.

Vacuum treatment chamber system ( 200 ) with a treatment chamber ( 210 ) with a door opening and a chamber door closing the door opening ( 220 ), comprising at least one closing arrangement ( 100 ) according to one of claims 1 to 6 by means of which the chamber door ( 220 ) can be pulled and / or pressed against a border of the door opening.

Vacuum treatment chamber system ( 200 ) according to claim 7 with four locking arrangements ( 100 ), wherein on each of the formed on both sides of the door opening outer side wall portions ( 240 ) one Treatment chamber ( 210 ) at least two locking arrangements ( 100 ) are arranged.

Vacuum treatment chamber system ( 200 ) according to claim 7 or 8, wherein at side edge portions of the chamber door ( 220 ) Intervention arrangements ( 221 ) are formed, with which the free end portions of the locking bolt ( 80 ) are latchably engageable, so that of the free end portions of the locking bolt ( 80 ) the chamber door ( 220 ) can be pulled and / or pressed against the border of the door opening.

Vacuum treatment chamber system ( 200 ) according to one of claims 7 to 9, wherein the chamber door ( 220 ) is laterally displaceable to open / close the door opening of the door opening.

Vacuum treatment chamber system ( 200 ) according to one of claims 7 to 10, wherein the treatment chamber system ( 200 ) each have a door opening on two opposite end sides, which in each case of a laterally displaceable chamber door ( 220 ) is closable, wherein for closing each of the door openings in each case four locking arrangements ( 100 ) are arranged.