DE102014003348B4 - Galvanometer-Abtastkamera mit variablem Fokus und Verfahren - Google Patents

Galvanometer-Abtastkamera mit variablem Fokus und Verfahren Download PDF

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Abstract

Ein Verfahren zum Untersuchen eines Werkstücks durch das Erzeugen eines hochauflösenden Bildes, aufweisend die Schritte von:
Bereitstellen eines Sensorfeldes und einer optischen Linse, die eine optische Achse zum Fokussieren einer Ansicht von dem Werkstück auf das Sensorfeld definiert;
Bereitstellen einer Spiegelbaugruppe mit einer Ausrichtung zum Umlenken der Sicht von dem Sensorfeld;
Neigen des Sensorfeldes bezüglich der optischen Achse von der optischen Linse;
Verändern der Orientierung von der Spiegelbaugruppe zum Lenken der Sicht von dem Sensorfeld auf einen ausgewählten Bereich auf dem Werkstück, wobei die optische Linse die Ansicht von dem ausgewählten Bereich auf einen Teil von dem Sensorfeld lenkt, der bestimmt wurde, um die Auflösung von einem Bild zu erhöhen, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück basierend auf dem Neigungswinkel von dem Sensorfeld bezüglich der optischen Achse.

Description

  • Technisches Feld
  • Die vorliegende Anmeldung bezieht sich im Allgemeinen auf ein Verfahren zum Untersuchen eines Werkstücks. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Anmeldung auf das Erzeugen eines hochauflösenden Bildes von einem ausgewählten Bereich von einem Werkstück.
  • Hintergrund
  • Bildverarbeitungssysteme, die verwendet werden zum Untersuchen der Qualität von hergestellten Komponenten verbreiten sich immer stärker in der Industrie, um die Qualität von den hergestellten Produkten zu garantieren. Zum Beispiel zusammengesetzte Materialen, die in der Luftfahrt zum Reduzieren von dem Gewicht von einem Flugzeug verwendet werden, benötigen ein hohes Maß an Festigkeit. Es existiert ein noch nicht realisiertes Bedürfnis die Faserausrichtung und Platzierung von Karbonfasermaterial, das in der Konstruktion von diesen Luftfahrtkomponenten verwendet wird unter Verwendung eines Bildverarbeitungssystems aus einer bestimmten Entfernung zu untersuchen. Zusätzlich werden Schweißnahtqualität, Maßhaltigkeit und andere Gebiete von hergestellten Produkten, die eine Qualitätsinspektion benötigen, zunehmend mittels eines Bildverarbeitungssystems oder einer Bildverarbeitungsbaugruppe überprüft. Derartige Bildverarbeitungssysteme sind aus DE 41 21 538 A1 und US 2009 / 0 195 790 A1 bekannt. Ein typisches Bildverarbeitungssystem besteht aus einer
    Kamera und einer Linsenbaugruppe, die im Allgemeinen ein großes Sichtfeld mit einer geringen Auflösung abbilden kann, z.B. unter Verwendung einer Weitwinkellinse oder ein schmales Sichtfeld mit einer hohen Auflösung, z.B. unter Verwendung einer Teleobjektivlinse, die präzise auf einen spezifischen ausgewählten Bereich fokussiert ist. Jedoch benötigen Anwendungen, wie das Abbilden einer großen Luftfahrtkomponente auf einem Niveau das ausreicht, um Fasern in dem Material aufgelöst darzustellen, eine hohe Auflösung und ein weites Sichtfeld, um die großen Ausmaße von der Komponente zu umfassen, was die Auflösung auf ein Niveau reduziert, das ein Bildverarbeitungssystem dieser Art unpraktisch macht. Ein Versuch um diese Begrenzungen von diesen Systemen anzusprechen ist durch Bildverarbeitungssystembaugruppen, die Galvanometer-Abtastspiegel benutzen, wie sie im Allgemeinen in 10 von 1 gezeigt werden. Eine Kamera 12 ist ausgerichtet, so dass ihr Sichtfeld 14 in Richtung eines ersten Spiegels 16 gelenkt wird, der das Sichtfeld 14 in Richtung eines zweiten Spiegels 18 lenkt und danach auf ein Werkstück 20.
  • Eine Winkelorientierung von dem ersten Spiegel 16 bezüglich des Sichtfelds 14 von der Kamera 12 wird gesteuert von einem ersten Galvanometer 22. In einer ähnlichen Weise wird die Winkelorientierung von dem zweiten Spiegel 18 bezüglich zu dem Sichtfeld 14 von der Kamera 12 gesteuert durch ein zweites Galvanometer 24.
  • Diese Anordnung kombiniert mit einer geeigneten Auswahl von Kameraauflösung und Linsensichtfeld kann beliebige Stufen von theoretischer Auflösung bereitstellen. Zum Beispiel kann eine Teleobjektivlinse ausgewählt werden, so dass die Auflösung von einem einzigen Element von einem hochauflösenden Kamerasensor übereinstimmen kann mit ein paar Tausendstel von einer Inch-Auflösung über ganze Teile, die viele Fuß umspannen. Jedoch ist diese Sensorraumauflösung uneffektiv, wenn das Bild auf dem Sensor nicht präzise fokussiert ist und ist verschwommen über eine große Anzahl von Pixeln auf dem Sensor, was diese Alternative unpraktisch macht für diese Arten von Anwendungen, von denen stark profitiert werden könnte. Ein weiteres Problem mit dieser Anordnung ist im Speziellen, dass das Fokussieren der Kamera 12 auf eine dreidimensionale Oberfläche langsam ist, was diese Art von Anordnung uneffektiv für einen schnellen Herstellungsprozess macht. Obwohl bekannt ist, dass die Galvanometer das Sichtfeld 14 von der Kamera 12 in einer zweidimensionalen (X, Y) Umgebung bewegen, ist der Fokus von der Kamera 12 in einer dreidimensionalen Umgebung uneffektiv. Diese Art von Anordnung ist allgemein beschrieben in US 5 615 013 A von dem gleichen Erfinder, wie von der vorliegenden Anmeldung. Der Inhalt von dieser Anmeldung ist durch Referenz miteinbezogen.
  • 2 zeigt einen Versuch zum Einstellen des Fokus von der Kamera 12 in eine dreidimensionale Richtung, die eine ähnliche Galvanometer- und Spiegelanordnung nutzt. In dieser Anordnung wird ein CCD oder CMOS des Sensorfelds 26 genutzt, um ein Bild entlang des Sichtfelds 14 von der Kamera aufzunehmen. Eine Linse 28 wird entlang einer Achse a von dem Sichtfeld 14 von der Kamera 12 über einen Verschiebungsmechanismus 30 bewegt. Jedoch ist der Verschiebungsmechanismus 30, der verwendet wird um die Linse 28 entlang einer Z-Achse von einer dreidimensionalen Oberfläche zu bewegen, um die Klarheit des Bildes zu verbessern, sehr kostspielig und zu langsam, um den Anforderungen von moderne Herstellungssystemen gerecht zu werden. Zusätzlich ist der Linsenverschiebungsmechanismus 30 umständlich und kann nicht auf ein kleines Gebiet zusammengepackt werden. Weiterhin produzieren alle Abweichungen in der Position von der Linse von der Verschiebungsachse, sogar nur bei einem Abstand von Mikrometern, einen Abstand in der abgebildeten Position, generiert durch die Kamera 12, der akkurate Messungen unmöglich macht. Daher wäre es wünschenswert ein konsistenteres, akkurateres, schnelleres und kosteneffizienteres Verfahren bereitzustellen, zum Erzeugen eines hochauflösenden Bildes entlang der drei Achsen von einem Werkstück.
  • Zusammenfassung
  • Eine Untersuchungsbaugruppe zum Erzeugen eines hochauflösenden Bildes von einem Werkstück beinhaltet ein Sensorfeld und eine optische Linse, die eine optische Achse zum Fokussieren einer Ansicht von dem Werkstück auf das Sensorfeld definiert. Eine Spiegelbaugruppe ist ausgerichtet zum Umlenken der Sicht von dem Sensorfeld. Das Sensorfeld ist bezüglich der optischen Achse von der optischen Linse geneigt. Die Ausrichtung von der Spiegelbaugruppe ist eingestellt zum Lenken der Sicht von dem Sensorfeld auf einen ausgewählten Bereich auf dem Werkstück. Die optische Linse lenkt die Sicht von dem ausgewählten Bereich auf einen Teil von dem Sensorfeld, der bestimmt wurde, um ein präzises fokussiertes Bild zu produzieren, um die Auflösung von dem Bild zu erhöhen, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück basierend auf dem Neigungswinkel von dem Sensorfeld bezüglich der optischen Achse.
  • Diese Anordnung stellt einen schnellen Fokus von einem ausgewählten Bereich von einem Werkstück bereit, wobei nur die Spiegelbaugruppe eingestellt werden muss, um das Sichtfeld von der Kamera auf einen ausgewählten Bereich auf dem Werkstück zu richten. Die optische Linse von der erfindungsgemäßen Kamera lenkt das Sichtfeld auf ein Gebiet von dem Sensorfeld, bei dem bekannt ist, dass es zusammenhängt mit dem präzisesten fokussierten, höchst aufgelösten Bild, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück. Deshalb bleibt die Position von der optischen Linse im Wesentlichen bezüglich dem Sensorfeld konstant, ohne das bewegliche Teile benötigt werden, um den Brennpunkt von der Kamera entlang einer Tiefe von dem Werkstück zu bewegen, um ein hochaufgelöstes präzise fokussiertes Bild zu erhalten. Weil außer den Galvanometern keine beweglichen Komponenten in der erfindungsgemäßen Baugruppe beinhaltet sind, wird eine günstige, schnelle, präzise fokussierte Untersuchung von einem Werkstück erreicht.
  • Figurenliste
  • Weitere Vorteile von der vorliegenden Erfindung werden sofort verständlich werden, weil sie verständlicher werden in Verbindung mit der folgenden detaillierten Beschreibung, wenn sie zusammen mit den angefügten Abbildungen gelesen wird, wobei:
    • 1 zeigt eine Stand der Technik Ausführungsform von einem Bildverarbeitungssystem;
    • 2 zeigt eine zweite Stand der Technik Ausführungsform von einem Bildverarbeitungssystem;
    • 3 zeigt eine Galvanometer-Abtastkamerabaugruppe von der vorliegenden Erfindung;
    • 4a und 4b zeigen eine von einer Galvanometereinstellung von dem Fokus von der Galvanometer-Abtastkamera von der vorliegenden Erfindung;
    • 5 zeigt ein Schema von einer Anordnung, um den Effekt von dem variablen Fokus von dem geneigten Sensor zu zeigen, durch das Abbilden von zwei optischen Testzielen zu variierenden Abständen von der Kameralinse;
    • 6 zeigt ein Bild erzeugt durch ein Sensorfeld, übereinstimmend mit der Anordnung von 5;
    • 7 zeigt ein Schema von einem Prozess, wobei eine Vielzahl von Bildern kombiniert werden in ein zusammengesetztes Bild; und
    • 8 zeigt eine alternative Ausführungsform von der vorliegenden Erfindung, wobei eine Leuchtquelle beinhaltet ist in der Galvanometer-Abtastkamera von der vorliegenden Erfindung.
  • Detaillierte Beschreibung
  • Eine Galvanometer-Abtastkamera von der vorliegenden Erfindung wird allgemein in 32 in 3 gezeigt. Eine Kamerabaugruppe 34 beinhaltet eine optische Linse 36 und ein Sensorfeld 38. Das Sensorfeld ist entweder ein ladungsgekoppeltes Gerät CCD oder ein komplementäres Metalloxidhalbleiter CMOS Sensorfeld, jedes beinhaltet ein Feld von Pixeln, das in der Lage ist Bilder von reflektierenden Lichtern zu erfassen, so wie es jedem Fachmann bekannt ist. Die optische Linse 36 definiert eine optische Achse a. Das Sensorfeld 38 ist angeordnet in einem versetzen Winkel von der optischen Achse, wie es weiterhin hierin unten beschrieben wird. Die optische Linse 36 definierte ein Sichtfeld 40, das von einem ersten Spiegel 42 und einem zweiten Spiegel 44 reflektiert wird. Der erste Spiegel 42 wird durch Galvanometer 46 bewegt und der zweite Spiegel 44 wird durch ein zweites Galvanometer 48 bewegt, zum Umlenken des Brennpunkts von der Kamera 34 entlang einer x und einer y Achse von einem kartesischen Koordinatensystem. Deshalb wird das Sichtfeld 40 von der Linse von dem ersten Spiegel 42 reflektiert und danach von dem zweiten Spiegel 44 und dann auf eine Oberfläche von einem Werkstück 50. Es sollte von einem Fachmann verstanden werden, dass für manche Anwendung auch ein einziger Galvanometer-Abtastspiegel genutzt werden kann.
  • Der vorausberechnete Abstand von einem Werkstück 50 wird benutzt, um den optimalen Neigungswinkel von dem Sensorfeld 38 zu der Achse a von der optischen Linse 36 zu bestimmen. Deshalb wird der Neigungswinkel von dem Sensorfeld 38 bezüglich der Achse a einem erwarteten Abstandsbereich von dem Werkstück zu der Kamera 34 zugeordnet. Umso größer der erwartete Abstandsbereich von dem Werkstück 50 zu der Kamera 34 ist, umso größer wird der Neigungswinkel, der benötigt wird, um den gewünschten Bereich des Fokus von dem Sensorfeld 38 zu erreichen. Ein größeres Sensorfeld würde nicht das gleiche Ausmaß von Neigung benötigen, wie es ein kleinerer Sensor benötigen würde, weil es einen größeren Abstandsbereich in einer geringeren Neigung benötigt.
  • Die Kamerabaugruppe 34 wird auch mit CAD Daten von dem Werkstück 50 versorgt, das abgetastet wird. Deshalb ist die Kamera sogar noch besser in der Lage, ein hochauflösendes Bild von dem ausgewählten Bereich von dem Werkstück 50 zu erzeugen. Zum Beispiel können die CAD Daten einen Ort von einem ausgewählten Bereich darstellen, so wie zum Beispiel eine Niete eines Flugzeugs, die signalisiert wird an die Galvanometer 46, 48, zum Bewegen der jeweiligen Spiegel 42, 44 auf eine Position und Ausrichtung die sicherstellt, dass das ausgewählte Merkmal auf dem Sensorfeld 38 positioniert wird, bei dem bekannt ist, das ein am präzisesten fokussiertes Bild mit der höchsten Auflösung bereit gestellt wird basierend auf dem erwarteten Abstand zu dem ausgewählten Bereich.
  • Die erfindungsgemäße Anordnung von der Galvanometer-Abtastkamerabaugruppe 32 ermöglicht es ein Bild entlang von drei Achsen zu erzeugen, durch bloßes Rotieren der Ausrichtung von dem ersten Spiegel 42 und von dem zweiten Spiegel 44 bezüglich der optischen Achse a von der optischen Linse 36. Durch gleichzeitiges Schwenken von dem ersten Spiegel 42 und dem zweiten Spiegel 44, wird der Brennpunkt 52 in die x und y Richtung auf einen ausgewählten Bereich von dem Werkstück 50 bewegt. Wegen des Winkelverhältnisses von dem Sensorfeld 38 zu der optischen Achse a fokussiert nun der Ort an dem ein Bild auf Pixeln empfangen wird (nicht gezeigt) von dem Sensorfeld 38 jetzt den Brennpunkt 52 entlang der Z-Achse, was der Baugruppe ermöglicht ein hochauflösendes Bild von dem ausgewählten Bereich von dem Werkstück in drei Achsen zu erzeugen.
  • Der Prozess des Erzeugens eines hochauflösenden Bildes auf dem Sensorfeld 38 wird weiterhin verständlich durch das Anschauen von 4a und 4b. Zum Erzeugen eines hochauflösenden Bildes von einem dreidimensionalem Werkstück 50 wird zumindest einer von den zwei galvanometerangetriebenen Spiegeln 42, 44 geschwenkt um eine Galvanometerachse g in einer bekannten Weise. Zum einfacheren Verständnis wird das Folgende mit einem einzigen galvanometerangetriebenen Spiegel 42 beschrieben. Jedoch sollte es für einen Fachmann verständlich sein, dass ein zweiter Spiegel 42 auch genutzt werden kann für den Zweck den Brennpunkt 52 von der Kamera 34 zu bewegen. Das Werkstück 50, das in den 4a und 4b dargestellt ist, beinhaltet eine erste Oberfläche 54 und eine zweite Oberfläche 56. Die zweite Oberfläche 56 liegt weiter weg von der Kamera 34 als die erste Oberfläche 54.
  • Das Rotieren des ersten Spiegels 42 um eine Galvanometerachse g auf einen Winkel b von der optischen Achse a, projiziert den Brennpunkt von der Kamera 34 auf die erste Oberfläche 52 von dem Werkstück 50. Basierend auf der Optik von der optischen Linse 36 und des Winkelverhältnisses von dem Sensorfeld 38 wo das präziseste fokussierte Bild mit der höchsten Auflösung erzeugt wird, durch die Pixel, die auf dem Sensorfeld 38 mit einem größten Abstand von der optischen Linse 36 verteilt sind. Ein ausgewählter Bereich von dem Werkstück 50 der am meisten entfernt ist von der Kamera 34, wird durch eine zweite Oberfläche 56 dargestellt. In diesem Beispiel wird der erste Spiegel 42 um eine Galvanometerachse g geschwenkt, so dass die hochauflösende Projektion auf die Pixel von dem Sensorfeld 38 näher an die optische Linse 36 bewegt wird. Auf diese Art wird durch das bloße Schwenken der ersten Spiegel- 42 Galvanometerachse g ein weiter entfernter Brennpunkt 52, der auf eine zweite Oberfläche von dem Werkstück 50 gerichtet ist, projiziert auf den Teil von dem Sensorfeld 38, der das Bild mit der höchsten Auflösung von dem ausgewählten Bereich bereitstellt. Schnelles Rotieren des ersten Spiegels 42 und des zweiten Spiegels 44 um die Galvanometerachse g ermöglicht es das Bild von der Kamera 34 beliebig auf einen gewünschten, ausgewählten Bereich zu Re-Positionieren, während es gleichzeitig präzise fokussiert ist in einem Betrieb, der nur ein Paar hundertstel Micro-Sekunden benötigt, um das gewünschte hochauflösende Bild zu erzeugen.
  • Es sollte von dem Fachmann verstanden werden, dass ein Fokusbereich kontinuierlich auf dem Sensorfeld liegt. Dies ist am besten in dargestellt. In diesem Beispiel sind die Galvanometer-Abtastspiegel zum Zwecke der Übersichtlichkeit entfernt. Wie es detailliert oben beschrieben ist, definiert die optische Linse 36 eine optische Achse a. Das Sensorfeld 38 ist beabstandet in einem Winkel von der optischen Achse a, so dass unterschiedliche Pixel, die in dem Sensorfeld 38 verteilt sind, unterschiedliche Abstände von der optischen Linse 36 haben. Zur Klarheit beinhaltet die Kamera ein Sichtfeld das auf zwei optische Auflösungstestmuster verteilt ist, die positioniert sind an der Grenze von dem gewünschten Untersuchungsabstandsbereich, die das Bild das in 6 dargestellt ist erzeugen. Der erste Ort 58 ist weiter entfernt als der zweite Ort 60, während er auf einem Testmuster 62 verteilt ist, wie es in 6 gezeigt ist. Wenn das Licht, das von dem ersten und dem zweiten Ort 58, 60 reflektiert wird, durch die optische Linse fällt, wird es auf die unterschiedlichen Orte von dem Sensorfeld 38 projiziert. Zum Beispiel erzeugen die Pixel, die verteilt sind auf dem Sensorfeld 38 die nahe der optischen Linse 36 sind, das Bild mit der höchsten Auflösung von dem weiterentfernten ersten Ort 58. Die Pixel die auf dem Sensorfeld 38 mit einem größeren Abstand von der optischen Linse 36 verteilt sind erzeugen ein Bild mit der höchsten Auflösung von dem geringer entfernten zweiten Ort 60. Bezüglich 6 wird der Bereich mit der geringeren Auflösung, der zwischen dem ersten und zweiten Bereich 58, 60 verteilt ist unscharf basierend auf seiner Verteilung bezüglich der optischen Linse 36. Der unscharfe Bereich von dem Bild kann wie unten beschrieben abgeschnitten werden.
  • Die unscharfen Bereiche von dem Bild sind auch von Belang. In dem Beispiel oben wird ein unscharfes Bild von dem ausgewählten Bereich von dem Werkstück 50 erzeugt. Der Abstand von dem Werkstück 50 zu der Kamerabaugruppe ist bestimmbar, wenn die Korrekturmaßnahmen berechnet werden, um den ausgewählten Bereich auf die gewünschte Auflösung zu bringen. Auf diese Weise können die Galvanometerbaugruppe 32 und die Kamerabaugruppe 34 auf die Arbeitsumgebung kalibriert werden in welcher sie betrieben werden.
  • Es sollte von dem Fachmann verstanden werden, dass die Kamerabaugruppe 34 schnell viele Bilder aufnimmt, die eine hohe Auflösung haben und basierend auf der Geschwindigkeit von den Galvanometern 46, 48 in der Lage ist schnell mehrere Bilder von einem ausgewählten Bereich zu erzeugen. Als solches ist die Baugruppe in der Lage ein zusammengesetztes Bild zu erzeugen von variierenden Bändern, die in der Lage sind eine Bildaufnahme zu simulieren, wie sie in den Fokuseinstellungen spezifiziert ist. Die Einbeziehung von Hochkontrastdaten von allen Bildzonen könnte ein Multibrennweitenbild erzeugen das Auflösung und Details über eine große Feldtiefe bereitstellt, die nicht einfach erhalten werden unter Verwendung anderer optischer Techniken. Als solches wird eine Vielzahl von Bildern kombiniert, um ein fokussiertes zusammengesetztes Bild von hoher Auflösung von dem ausgewählten Bereich zu erhalten. Dies wird am Besten dargestellt in . Ein erstes Bild 62, ein zweites Bild 63 und ein drittes Bild 64 werden erzeugt durch das Sensorfeld 38 von einem ausgewählten Bereich an einem dreidimensionalen Werkstück. Basierend auf dem Winkelverhältnis von dem Sensorfeld 38 zu der optischen Achse a wird ein ausreichender hoher Auflösungsanteil von dem Bild das durch das Sensorfeld 38 erzeugt wird identifiziert in jeder Bildelementnummer 68, 70 und 72. Diese Bereiche 68, 70 und 72 werden zusammengestellt in ein zusammengesetztes Bild, das einen weiten Bereich von hochauflösenden Bildern erzeugt, was ein ausgeweitetes Untersuchungsfeld von dem Werkstück 50 ermöglicht.
  • Eine weitere Ausführungsform von der vorliegenden Erfindung wird allgemein in 70 von 8 gezeigt, wobei eine gleiche Elementanzahl von gleichen Elementen von den vorhergehenden Ausführungsformen weiterbehalten wird. In manchen Anwendungen ist es wünschenswert eine Lichtquelle 72 hinzuzufügen. Die Lichtquelle, die von dem Erfinder in Erwägung gezogen wird, ist in der Form von einer Cree Xlamp XP-E hochintensitäts LED, deren Licht gebündelt wird von einer asphärischen Verdampfer-Linse. Jedoch sollte es von dem Fachmann verstanden werden, dass äquivalente Lichtquellen auch innerhalb des Erfindungsbereiches verwendet werden können. Ein Strahlenteiler 74 wird innerhalb des Sichtfeldes 40 von der Kamerabaugruppe 34 auf einem Winkel positioniert, der berechnet wurde um Licht zu projizieren, das durch die Lichtquelle 72 erzeugt wurde, übereinstimmend mit dem Sichtfeld 40 von der Kamerabaugruppe 34. Deshalb lenkt die Lichtquelle 72 Licht entlang eines Sichtfelds 40 von der Kamera, durch das Reflektieren des Lichts von dem ersten Spiegel 42 und dem zweiten Spiegel 44 auf einen ausgewählten Bereich von dem Werkstück 50. Deshalb ist das Ausleuchtungsgebiet immer zweckmäßig für die Kamerasicht 34. Diese Anordnung ermöglicht eine hochkonzentrierte Ausleuchtung, die kurze Kamerablenden-Intervalle ermöglicht, zum Weiterverbessern der Bildauflösung, die Umgebungslicht-Bedingungen überschreiten. In einer zusätzlichen Verbesserung kann die Lichtquelle 7 monochrom sein. Weiter kann ein Lichtfilter zwischen dem Sichtfeld 40 von der Kamera positioniert werden, um Umgebungslicht zu filtern, aber nur um Belichtungslicht mit der Wellenlänge von der Lichtquelle 72 in die Kamerabaugruppe 34 zu lassen.
  • Die Kamerabaugruppe 32 von der vorliegenden Erfindung ist auch kombinierbar mit einem Abtastlasersystem, das galvanometerangetriebene Spiegel benutzt, die einsetzbar sind mit den Spiegeln 42, 44 und Galvanometern 46, 48 zum schnellen Wiederfokussierung durch Triangulation. Deshalb ist die Bereichsabschätzung für den optimalen Hochauflösungsfokus mit dem Laserscanner erreichbar mit einem unscharfen Bild von dem Werkstück 50, das erzeugt wurde von dem Laserscanner, welches dem Computer ermöglicht die benötigte Abstandsposition von dem Sensorfeld 38 zu berechnen, um den ausgewählten Bereich 52 in den gewünschten Hochauflösungsfokus zu bringen. Diese Konfiguration ermöglicht kontinuierliche und präzise Fokusanpassung, ohne andere bewegliche Teile als die Galvanometer 40, 48 zu benötigen.
  • Offensichtlich sind viele Modifikationen und Variationen von der vorliegenden Erfindung im Lichte der obigen Lehre möglich. Die vorstehende Erfindung wurde in Übereinstimmung mit den relevanten gesetzlichen Normen beschrieben; deshalb ist die Beschreibung eher beispielhaft als einschränkend in ihrer Natur. Variationen und Modifikationen der beschriebenen Ausführungsformen werden den Fachleuten offensichtlich werden und gehen mit dem Umfang der Erfindung einher. Demnach kann der gesetzliche Schutzumfang dieser Erfindung nur durch das Studieren der folgenden Ansprüche bestimmt werden.

Claims (22)

  1. Ein Verfahren zum Untersuchen eines Werkstücks durch das Erzeugen eines hochauflösenden Bildes, aufweisend die Schritte von: Bereitstellen eines Sensorfeldes und einer optischen Linse, die eine optische Achse zum Fokussieren einer Ansicht von dem Werkstück auf das Sensorfeld definiert; Bereitstellen einer Spiegelbaugruppe mit einer Ausrichtung zum Umlenken der Sicht von dem Sensorfeld; Neigen des Sensorfeldes bezüglich der optischen Achse von der optischen Linse; Verändern der Orientierung von der Spiegelbaugruppe zum Lenken der Sicht von dem Sensorfeld auf einen ausgewählten Bereich auf dem Werkstück, wobei die optische Linse die Ansicht von dem ausgewählten Bereich auf einen Teil von dem Sensorfeld lenkt, der bestimmt wurde, um die Auflösung von einem Bild zu erhöhen, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück basierend auf dem Neigungswinkel von dem Sensorfeld bezüglich der optischen Achse.
  2. Das Verfahren von Anspruch 1, wobei der Schritt des Bereitstellens einer Spiegelbaugruppe weiter definiert ist durch das Bereitstellen eines Galvanometer-Ausgerichteten-Spiegels.
  3. Das Verfahren von Anspruch 1, wobei der Schritt des Bereitstellens einer Spiegelbaugruppe weiter definiert ist durch das Bereitstellen einer Vielzahl von Galvanometer-Ausgerichteten-Spiegeln.
  4. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Lenkens von Licht das mit einem Sichtpfad von der Ansicht von dem Bildsensor übereinstimmt.
  5. Das Verfahren von Anspruch 4, wobei der Schritt des Lenkens von Licht weiter definiert ist durch das Lenken von Licht, das von einer LED Lichtquelle erzeugt wurde, konzentriert durch eine Sammel-Optik.
  6. Das Verfahren von Anspruch 4, wobei der Schritt des Lenkens von Licht, das mit einem Sichtpfad von der Ansicht von dem Bildsensor übereinstimmt, weiter definiert ist durch das Kombinieren eines Strahls von dem Licht und dem Ansichtspfad von dem Bildsensor mit einem Strahlenteiler.
  7. Das Verfahren von Anspruch 1, wobei der Schritt des Fokussierens einer Ansicht von dem Werkstück auf das Sensorfeld weiter definiert ist durch das Ausrichten der Spiegelbaugruppe, während die optische Linse und das Sensorfeld in einer festgelegten Position bleiben.
  8. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Kombinierens von verschiedenen Bildern, die wahrgenommen wurden von dem Sensorfeld in ein zusammengesetztes Bild für ein verbessertes Untersuchungsfeld.
  9. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Fokussierens des Sensorfeldes auf einer Vielzahl von Bereichen von dem Werkstück, wobei die Vielzahl von Bereichen von dem Werkstück verschiedene Abstände von dem Sensorfeld haben.
  10. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Bereitstellens einer Beleuchtungsquelle, ausgestrahlt von einem Ort, der unterschiedlich ist von dem Sensorfeld und dem Werkstück, zum Verbessern der Auflösung von dem Bild, das von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück erzeugt wurde.
  11. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Bereitstellens von CAD-Daten von dem Werkstück zum Vorbestimmen des gewünschten Sichtfeldes von der optischen Linse und Lenken der Spiegelbaugruppe, um das Sichtfeld von der optischen Linse auf das gewünschte Sichtfeld zu fokussieren, das bestimmt wurde um die Auflösung eines Bildes zu erhöhen, das erzeugt wurde von dem ausgewählten Bereich auf dem Werkstück basierend auf dem Neigungswinkel von dem Sensorfeld bezüglich der optischen Achse, wie es durch die CAD-Daten bestimmt wurde.
  12. Das Verfahren von Anspruch 1, weiter beinhaltend den Schritt des Projizierens eines Lasermusters auf das Werkstück mit einer bekannten Abstands-Position zu dem Werkstück zum Berechnen einer Abstands-Distanz zu dem projizierten Lasermuster und Re-Positionieren des Bildes auf dem Sensorfeld durch das Einstellen der Spiegelbaugruppe zum Bereitstellen eines korrekt fokussierten Bildes von dem projizierten Lasermuster.
  13. Eine Kamerabaugruppe zum Erzeugen eines hochauflösenden Bildes von einem ausgewählten Bereich auf einem Werkstück, aufweisend: ein Sensorfeld zum Empfangen von Licht, das von einem Werkstück reflektiert wurde; eine optische Linse zum Fokussieren von Licht, das von dem Werkstück auf das Sensorfeld reflektiert wurde, zum Erzeugen eines Bildes von einem ausgewählten Bereich von dem Werkstück, die optische Linse definiert eine optische Achse; eine Spiegelbaugruppe ausgerichtet zum Lenken eines Sichtfeldes von der optischen Linse in Richtung des ausgewählten Bereichs auf dem Werkstück, dadurch Übertragen von Licht, das von dem ausgewählten Bereich reflektiert wurde, von dem Werkstück auf das Sensorfeld; und das Sensorfeld ist angeordnet in einer festgelegten Position bezüglich der optischen Linse und ist geneigt bezüglich der optischen Achse, dadurch Bereitstellen verschiedener Auflösungsgrade bezüglich eines Abstands von dem ausgewählten Bereich von dem Werkstück von der Kamerabaugruppe, um die Kamerabaugruppe in die Lage zu versetzen hochauflösende Bilder in verschiedenen Abständen von der Kamerabaugruppe zu erzeugen, ohne die optische Linse bezüglich des Sensorfeldes einzustellen.
  14. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei die Spiegelbaugruppe einen galvanometergesteuerten Spiegel aufweist, zum Bewegen des Sichtfeldes von der optischen Linse entlang einer Oberfläche von dem Werkstück.
  15. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei die Spiegelbaugruppe zusammenwirkende galvanometergesteuerte Spiegel aufweist, zum Bewegen des Sichtfeldes von der optischen Linse in zwei Richtungen entlang einer Oberfläche von dem Werkstück.
  16. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei die Spiegelbaugruppe ein Paar von galvanometergesteuerten Spiegel aufweist, die zusammenwirkend eine Brennweite von einem Brennpunkt von der optischen Linse bewegen.
  17. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei das Sensorfeld einen Neigungswinkel beinhaltet, der zusammenhängt mit einem Abstand von dem Werkstück von der Kamerabaugruppe.
  18. Die Baugruppe von Anspruch 13, weiter beinhaltend eine Lichtquelle, die im Wesentlichen übereinstimmend ist mit dem Sichtfeld der optischen Linse.
  19. Die Baugruppe von Anspruch 18, weiter beinhaltend einen Strahlenteiler, zum Lenken von Licht das erzeugt wurde durch die Lichtquelle in einer Richtung übereinstimmend mit dem Sichtfeld von der optischen Linse.
  20. Die Baugruppe von Anspruch 18, wobei die Lichtquelle eines von einem Laser oder eine konzentrierte Hochintensitäts-Lichtabgebende Diode aufweist.
  21. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei das Sensorfeld eine Vielzahl von überdeckenden Bildern erzeugt, zum Erzeugen einer Zusammensetzung mit zusammengesetzten Bereichen von optischem Fokus.
  22. Die Baugruppe von Anspruch 13, wobei das Sensorfeld aufweist eines von einem ladungsgekoppelten Gerät oder einem komplementären Metall-Oxid Halbleiter.
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