DE102013222909A1 - Method and device for coating pipe inside, as well as use of a miniaturized plasma coating nozzle - Google Patents

Method and device for coating pipe inside, as well as use of a miniaturized plasma coating nozzle Download PDF

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Abstract

Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung von Rohrinnenseiten, sowie Verwendung einer miniaturisierten Plasmabeschichtungsdüse Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von Rohrinnenseiten, insbesondere von wasserdurchflossenen Rohren wie bei Kraftwerkswärmetauschern. Die Erfindung löst das Problem der Innenbeschichtung von Wärmetauscherrohren dadurch, dass eine Plasmabeschichtungsdüse auf einem Schlitten durch ein Rohr gezogen wird und dabei die Rohrinnenseite eine Plasmabeschichtung erhält.The invention relates to a method and a device for coating inner sides of pipes, in particular of pipes through which water flows, such as in power plant heat exchangers. The invention solves the problem of internal coating of heat exchanger tubes in that a plasma coating nozzle is pulled on a carriage through a pipe and thereby receives the plasma inside a plasma coating.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung von Rohrinnenseiten, insbesondere von wasserdurchflossenen Rohren wie bei Kraftwerkswärmetauschern. The invention relates to a method and a device for coating pipe inside, in particular of water-carrying pipes as in power plant heat exchangers.

In großtechnischen Anlagen, insbesondere in Kraftwerken werden zur Kühlung verschiedener Komponenten wasserdurchflossene Kühlrohre eingesetzt. Bei Kraftwerkswärmetauschern, die zur Kondensatrückgewinnung eingesetzt werden, kommt als Kühlmedium meist Waser aus Flüssen oder auch Meerwasser zum Einsatz. Da dieses Kühlwasser ohne weitere Aufarbeitung verwendet wird, lagern sich im Laufe des Betriebs der Anlagen, die im Wasser befindlichen organischen Substanzen (Biopolymere, Bakterien) auf der Rohrinnenseite ab. Werden zusätzlich im Wasser enthaltene anorganische Stoffe (Feinsand, Kalk) in die Ablagerung mit eingebaut, so erfolgt eine Verfestigung der Biooberfläche, die weitere Ansiedlung von Bakterien, Diatomeen, und Algen ermöglicht, so dass der Biofilm weiter wächst. In large-scale systems, especially in power plants, water-carrying cooling tubes are used for cooling various components. In power plant heat exchangers, which are used for condensate recovery, is used as a cooling medium mostly water from rivers or seawater. Since this cooling water is used without further processing, stored in the course of the operation of the plants, the organic substances located in the water (biopolymers, bacteria) on the inside of the tube. If inorganic substances (fine sand, lime) that are contained in the water are also incorporated into the deposit, the bio-surface solidifies, allowing the further settlement of bacteria, diatoms, and algae, so that the biofilm continues to grow.

Im Anfangsstadium verschlechtert ein sich bildender Biofilm lediglich den Wärmeübertrag aus dem Rohr in die Kühlwasserseite, so dass der Pumpaufwand zum Erreichen einer gleichbleibend hohen Kühlleistung erhöht werden muss. Wächst der Film weiter an, so kann es zu einer deutlichen Verringerung des Rohrquerschnitts kommen und letztendlich sogar zur Verstopfung einzelner Rohre. In the initial stage, a forming biofilm only deteriorates the heat transfer from the tube to the cooling water side, so that the pumping effort to achieve a consistently high cooling capacity must be increased. If the film continues to grow, it can lead to a significant reduction in the tube cross-section and ultimately even blockage of individual tubes.

Zudem können Biofilme durch Abscheidung aggressiver Stoffe zur Zerstörung der Edelstahl- oder Titanrohre durch so genannte Biokorrosion führen. In addition, biofilms can lead to the destruction of stainless steel or titanium tubes by so-called biocorrosion by deposition of aggressive substances.

Da eine Verschlechterung des Wirkungsgrads oder gar ein Totalausfall von Kühlsystemen in dauerbetriebenen technischen Anlagen unter allen Umständen zu vermeiden ist, werden sowohl mechanische wie auch chemische Verfahren zur Entfernung oder gar Vermeidung von Biofilmen eingesetzt. Im ersten Fall werden beispielsweise über ein Bypass-System in regelmäßigen Abständen Schaumstoffkugeln, die wie ein Putzschwamm wirken, mit dem Kühlwasser durch die Rohre gepumpt und nach dem Verlassen des Wärmetauschers wieder aus dem Wasser ausgesiebt (Koller GmbH, Erkrath). Darüber hinaus besteht die Möglichkeit des Einsatzes von abrasiven Reinigungskugeln oder Bürsten und metallischen Schabern aller Art. Jedoch kann der Einsatz derartiger Werkzeuge das Öffnen des Kondensators erfordern und damit zu einer Betriebsunterbrechung führen. Since a deterioration of the efficiency or even a total failure of cooling systems in continuous-duty technical equipment is to be avoided under all circumstances, both mechanical and chemical methods for removing or even avoiding biofilms are used. In the first case, for example, via a bypass system at regular intervals foam balls that act like a sponge, pumped with the cooling water through the pipes and screened after leaving the heat exchanger out of the water (Koller GmbH, Erkrath). In addition, there is the possibility of using abrasive cleaning balls or brushes and metallic scrapers of all kinds. However, the use of such tools may require the opening of the capacitor and thus lead to a business interruption.

Auf chemischer Seite werden oftmals biozide, auf Cu- oder Snbasierte, organische Verbindungen (z.B. Kupfer(I)oxid Cu2O, Kupfer(I)thiocyanat CuSCN sowie Tributylzinnhydrid (TBT), Tributylzinnoxide (TBTO) oder Tributylzinnfluoride (TBTF)) in Form von sog. Releasesystemen eingesetzt, die für eine kontrollierte und kontinuierliche Freisetzung der Stoffe im Wasserstrom sorgen sollen. On the chemical side, often biocidal, Cu or Sn based, organic compounds (eg copper (I) oxide Cu2O, copper (I) thiocyanate CuSCN and tributyltin hydride (TBT), tributyltin oxides (TBTO) or tributyltin fluorides (TBTF)) in the form of so-called Releases systems are used to ensure a controlled and continuous release of the substances in the water stream.

Darüber hinaus existieren Ansätze zur Reinigung mittels Ultraschall bzw. Einsatz von UV-Licht zur Keimabtötung. In addition, there are approaches to cleaning by means of ultrasound or use of UV light for germ killing.

Im Falle von größeren Rohren, die beispielsweise in der Abwassertechnik Verwendung finden, ist die Aufbringung einer nasschemischen Beschichtung auf der Rohrinnenseite Stand der Technik, die aber einen gewissen Rohrinnendurchmesser zur Einbringung des Beschichtungswerkzeugs voraussetzt. In the case of larger pipes, which are used, for example, in wastewater technology, the application of a wet-chemical coating on the inside of the pipe is state of the art, but requires a certain internal pipe diameter for the introduction of the coating tool.

Für kleinere Wasserleitungen existieren pulverlack- oder polymerbasierte Beschichtungsmaterialien. All diese Beschichtungslösungen sind jedoch für Anwendungen im Wärmetauscherbereich wenig sinnvoll, da durch die hohe Beschichtungsdicke von etlichen µ-Metern ein zusätzlicher Wärmewiderstand geschaffen wird, der die Kühlleistung bereits im Ausgangszustand massiv vermindern würde. Zudem ist das Aufbringungsverfahren dieser Schichten nicht inline-fähig – die Rohre müssen abschnittsweise lackiert werden. For smaller water pipes there are powder coating or polymer based coating materials. However, all these coating solutions are of little use for applications in the heat exchanger sector, since the high coating thickness of several μ meters creates additional thermal resistance, which would already massively reduce the cooling capacity in the initial state. In addition, the application process of these layers is not inline-capable - the pipes must be painted in sections.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verminderung der Ausbildung eines Biofilms für insbesondere dünne Rohre von Wärmetauschern zu schaffen. The object of the present invention is therefore to provide a method and a device for reducing the formation of a biofilm for, in particular, thin tubes of heat exchangers.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung durch das Verfahren und die Vorrichtung wie in den Ansprüchen, der Beschreibung und der Figur offenbart, gelöst. This object is achieved according to the invention by the method and the device as disclosed in the claims, the description and the figure.

Dementsprechend ist Gegenstand der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zur Beschichtung der Rohrinnenseiten, wobei eine entsprechende Plasmabeschichtungsdüse durch ein Rohr so gezogen wird, dass sie das Rohr einseitig verschließt und zur anderen Seite das Plasmagas entweichen kann. Ebenso ist Gegenstand der vorliegenden Erfindung eine Vorrichtung zur Innenbeschichtung eines Rohres, wobei eine Plasmabeschichtungsdüse auf einem Schlitten innerhalb eines Rohres vorgesehen ist. Accordingly, the subject of the present invention is a method for coating the tube inside, wherein a corresponding plasma coating nozzle is pulled through a pipe so that it closes the tube on one side and the plasma gas can escape to the other side. Likewise, the subject of the present invention is a device for internal coating of a tube, wherein a plasma coating nozzle is provided on a carriage within a tube.

Nach einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist der Schlitten so ausgeführt, dass er abdichtende Dichtlippen umfasst, so dass die Plasmabeschichtungsdüse innen durch das Rohr auf einem abdichtenden Schlitten bewegbar ist, wobei die Dichtlippen einen ersten, mit Plasmagas gefüllten Bereich des Rohres von einem zweiten, mit Zuleitungen zur Plasmabeschichtungsdüse versehenen Bereich, abtrennen. According to an advantageous embodiment of the invention, the carriage is designed so that it comprises sealing sealing lips, so that the plasma coating is movable inside through the tube on a sealing slide, wherein the sealing lips a first, filled with plasma gas portion of the tube of a second, with Supply lines to the plasma coating nozzle provided area, disconnect.

Gemäß der Erfindung wird vorgeschlagen, eine miniaturisierte AD-Plasmabeschichtungsdüse, welche einen Durchmesser kleiner als den des Rohres besitzt, hier zu verwenden. Nach einer vorteilhaften Ausführungsform des Verfahrens wird die Plasmabeschichtungsdüse während der Beschichtung auf dem Schlitten von einem Rohrende zum anderen gezogen. According to the invention, it is proposed to use a miniaturized AD plasma coating nozzle, which has a diameter smaller than that of the tube, here. According to an advantageous embodiment of the method, the plasma coating nozzle is drawn from one end of the tube to the other during the coating on the carriage.

Die Dichtlippen des Schlitten dichten dabei das Rohr so ab, dass eine Plasma-Gasbewegung ausschließlich entgegen der Fahrtrichtung der Plasmabeschichtungsdüse erfolgt und somit Zutritt von Luftatmosphäre während der Beschichtung der Rohrinnenseite vermindert oder vermieden wird. The sealing lips of the carriage thereby seal off the tube so that a plasma gas movement takes place exclusively counter to the direction of travel of the plasma coating nozzle and thus reduces or avoids access of air atmosphere during the coating of the tube inside.

Als Precursoren für die Beschichtung sind beispielsweise alkylfunktionelle Silane, wie z.B. HMDSO, TEOS, VTMS, OMCTS; kurzkettige Kohlenwasserstoffe wie z.B. Methan; ungesättigte Kohlenwasserstoffe, wie z.B. Acetylen, Ethen; halogen- oder pseudohalogen-substituierte und/oder cyclische Kohlenwasserstoffe, wie beispielsweise fluorhaltige Kohlenwasserstoffe wie z.B. Octafluoro-cyclo-butan, Octafluoro-cyclo-pentan und Mischungen daraus vorgesehen. As precursors for the coating, for example, alkyl-functional silanes, such. HMDSO, TEOS, VTMS, OMCTS; short chain hydrocarbons, e.g. Methane; unsaturated hydrocarbons, e.g. Acetylene, ethene; halogen or pseudohalogen-substituted and / or cyclic hydrocarbons, such as, for example, fluorine-containing hydrocarbons, e.g. Octafluoro-cyclo-butane, octafluoro-cyclopentane and mixtures thereof.

Als Rohre werden insbesondere Wärmetauscherrohre mit Innendurchmessern von kleiner 50 mm, beispielsweise solche mit 15 bis 25mm, insbesondere mit 19 bis 25 mm durch das vorliegende Verfahren beschichtet. In particular heat exchanger tubes with inner diameters of less than 50 mm, for example those with 15 to 25 mm, in particular 19 to 25 mm, are coated by the present method as tubes.

Im Fokus der vorliegenden Erfindung standen insbesondere Rohre aus Metall oder einer Metalllegierung, wie beispielsweise Rohre aus Edelstahl und/oder einer Titanlegierung; es können aber auch, je nach Anwendung andere Rohrmaterialien gemäß der Erfindung beschichtet werden, die für Plasmabeschichtungen erforderlichen Temperatur- und Druckbedingungen standhalten. The focus of the present invention was in particular pipes made of metal or a metal alloy, such as pipes made of stainless steel and / or a titanium alloy; but it can also, depending on the application, other pipe materials are coated according to the invention, which withstand the temperature and pressure conditions required for plasma coatings.

Der Schlitten auf dem die Düse durch das Rohr gezogen wird ist vorteilhafterweise auf Kugeln, Stäben oder Rädern gelagert, wobei eine gewisse Flexibilität des Gestells erforderlich ist, da die zu beschichteten Innenseiten der Rohre auch eine gewisse Rauigkeit bis hin zu Unebenheiten aufweise können und der Schlitten diese ausgleicht. The carriage on which the nozzle is pulled through the tube is advantageously mounted on balls, rods or wheels, with a certain flexibility of the frame is required because the coated inner sides of the tubes can also have a certain roughness to bumps and the carriage this compensates.

Ebenso sind die Dichtlippen konzipiert, einerseits aus einem Material, das abdichtend wirkt und soweit Elastizität zeigt, dass es durch die Rohrinnenseite gezogen werden kann und dort befindliche Unebenheiten ausgleicht und andererseits aus einem Material, das Plasmabeschichtungsmethoden standhält. Likewise, the sealing lips are designed, on the one hand from a material that acts sealing and as far as elasticity shows that it can be pulled through the inside of the tube and compensates for any unevenness there and on the other hand of a material that withstands plasma coating methods.

Wird ein Rohr für andere Anwendungen als bei einem Wärmetauscher eingesetzt, so kann beispielsweise durch angepasste Prozessparameter (Lichtbogenenergie, Gase) auch eine Nitrierung oder Phosphatierung der Rohrinnenseite erreicht werden, so dass zusätzliche mechanisch härtende oder korrosionsschützende Eigenschaften durch das Verfahren nach der Erfindung erreicht werden können. If a pipe is used for applications other than a heat exchanger, it is also possible to achieve nitriding or phosphating of the inside of the pipe by adapted process parameters (arc energy, gases), so that additional mechanical hardening or corrosion-protecting properties can be achieved by the method according to the invention ,

Im Folgenden wird die Erfindung noch anhand einer Figur näher erläutert:
Die Figur zeigt eine Reihe von drei Rohren 1 bis 3, die Teil eines Kühlsystems sind. Die offenen Rohrseiten sind jeweils durch eine Zickzack-Linie, die einfach bedeutet, dass das Rohr an der Stelle weitergeht, dargestellt. Die Rohre sind an einer Verbindungsleitung 4, die links im Bild zu sehen ist, fixiert. In the following the invention will be explained in more detail with reference to a figure:
The figure shows a series of three pipes 1 to 3 that are part of a cooling system. The open tube sides are each represented by a zigzag line, which simply means that the tube continues at the location. The pipes are on a connecting line 4 , which can be seen in the picture on the left, fixed.

Im mittleren Rohr 2 befindet sich die AD-Plasmabeschichtungsdüse 5 auf einem Schlitten 6 mit Dichtlippen 7, wobei Zuleitungen 8 vorgesehen sind, durch die Precursoren, Strom, Gas etc. zur Plasmabeschichtungsdüse 5 geführt werden. Die Dichtlippen 7 trennen einen ersten Bereich 12 des Rohres, in dem die Plasmaflamme 10 und das Plasmagas sich befinden und durch den die Plasmabeschichtungsdüse 5 schon gezogen wurde, von einem zweiten Bereich 9, in dem die Zuleitungen 8 zur Plasmabeschichtungsdüse 5 und gegebenenfalls eine Zugvorrichtung (nicht gezeigt) für die Bewegung des Schlittens in Richtung 11, angeordnet sind. In the middle tube 2 is the AD plasma coating nozzle 5 on a sledge 6 with sealing lips 7 , wherein supply lines 8th are provided by the precursors, electricity, gas, etc. to the plasma coating nozzle 5 be guided. The sealing lips 7 separate a first area 12 of the tube in which the plasma flame 10 and the plasma gas are through and through the plasma coating nozzle 5 has already been pulled, from a second area 9 in which the supply lines 8th to the plasma coating nozzle 5 and optionally a pulling device (not shown) for the movement of the carriage in the direction 11 , are arranged.

Im ersten Bereich 12 mit Plasmaflamme 10 ist gemäß der Figur an den Rohrinnenseiten die Plasmabeschichtung 13 erkennbar. In the first area 12 with plasma flame 10 is the plasma coating according to the figure on the tube inner sides 13 recognizable.

Die Erfindung ermöglicht erstmals die Einbringung einer Beschichtung zur Bewuchs-Minderung innerhalb eines Rohres eines fertig aufgebauten und montierten Wärmetauschers wie einem Kondensator. Zudem ist auch die Reparierbarkeit / Erneuerbarkeit der Rohrinnen-Beschichtung durch die erfindungsgemäße Vorrichtung und das erfindungsgemäße Verfahren gegeben, so dass ein entsprechender Beschichtungsprozess im Rahmen von Service- und/oder Wartungsmaßnahmen durchgeführt werden kann. For the first time, the invention makes it possible to introduce a coating for fouling reduction within a tube of a completely constructed and mounted heat exchanger, such as a condenser. In addition, the repairability / renewability of the inner tube coating by the device according to the invention and the inventive method is given, so that a corresponding coating process can be carried out as part of service and / or maintenance measures.

Auch die Nachrüstung mit einer Beschichtung der Rohrinnenseiten in bereits bestehenden Wärmetauschersystemen ist möglich. The retrofitting with a coating of the tube inside in existing heat exchanger systems is possible.

Technologiebedingt beträgt die Beschichtungsdicke unter einem µ-Meter, so dass der Wärmeübergang im Wärmetauscher nicht oder nicht nennenswert behindert wird. Due to the technology, the coating thickness is less than one μ-meter, so that the heat transfer in the heat exchanger is not or not appreciably impeded.

Des Weiteren kann auf die bisher verwendeten Maßnahmen zur Unterdrückung von Biofouling verzichtet bzw. der Aufwand für Reinigungsarbeiten vermindert oder auch auf den Einsatz von Chemikalien verzichtet werden. Konkret bedeutet dies:

  • – Dauerhaft hohe Leistung des Wärmetauschers
  • – Einsparungen bei der Fertigung (Bypass-System zur Spülung)
  • – Geringere Umweltbelastung (Einsatz von Chemikalien)
Furthermore, it is possible to dispense with the measures previously used to suppress biofouling or to reduce the expense of cleaning work or to dispense with the use of chemicals. Specifically, this means:
  • - Permanently high performance of the heat exchanger
  • - savings in production (bypass system for flushing)
  • - Lower environmental impact (use of chemicals)

Aufgrund des hier vorgestellten Beschichtungskonzepts werden besonders vorteilhafte Bedingungen für die Erzeugung qualitativ hochwertiger und v.a. beständiger Beschichtungen geschaffen, da bedingt durch den Aufbau „Düse im Rohr“ der Zutritt von Luft (insb. Sauerstoff) vermieden wird. Dieser ist unerwünscht, da dieser in Form von Hydrolyse-empfindlichen Bindungen in die Schicht eingebaut wird, so dass Funktion und Lebensdauer der Beschichtung abnehmen. Due to the coating concept presented here, particularly advantageous conditions for the production of high-quality and v.a. stable coatings created because of the construction "nozzle in the pipe" the access of air (esp. Oxygen) is avoided. This is undesirable because it is incorporated in the layer in the form of hydrolysis-sensitive bonds, so that the function and lifetime of the coating decrease.

Falls gewünscht, kann im Einzelfall durch Eindüsung von z.B. Formiergas als Ionisationsgas sogar unter Spezialatmosphäre (evtl. sogar bei Unterdruck durch Abpumpen am Rohrende), so dass Beschichtungen mit nochmals gesteigerten Oberflächeneigenschaften erzeugt werden können. If desired, in individual cases by injection of e.g. Forming gas as Ionisationsgas even under special atmosphere (possibly even at negative pressure by pumping at the pipe end), so that coatings can be produced with even increased surface properties.

In Abhängigkeit der für den Düsenkopf verwendeten Zuleitungen für Strom, Gas und Precursor ist eine nahezu unbegrenzte Rohrlänge beschichtbar. Im Fokus standen bei der Entwicklung typischerweise Rohrlängen von 5–10m, jedoch selten mehr als 15m, so dass verschiedenste Typen von Wärmetauscherrohren erfindungsgemäß behandelt werden können. Depending on the supply lines for electricity, gas and precursor used for the nozzle head, an almost unlimited tube length can be coated. In the development focus was typically pipe lengths of 5-10m, but rarely more than 15m, so that various types of heat exchanger tubes can be treated according to the invention.

Die Erfindung löst das Problem der Innenbeschichtung von Wärmetauscherrohren dadurch, dass eine Plasmabeschichtungsdüse auf einem Schlitten durch ein Rohr gezogen wird und dabei die Rohrinnenseite eine Plasmabeschichtung erhält. The invention solves the problem of internal coating of heat exchanger tubes in that a plasma coating nozzle is pulled on a carriage through a pipe and thereby receives the plasma inside a plasma coating.

Claims (7)

Verfahren zur Beschichtung der Rohrinnenseiten, wobei eine entsprechende Plasmabeschichtungsdüse durch ein Rohr so gezogen wird, dass sie das Rohr innen beschichtet und das Plasmagas entgegen der Fahrtrichtung der Plasmabeschichtungsdüse entweichen kann.  Method for coating the inside of the tube, wherein a corresponding plasma coating nozzle is pulled through a tube so that it can coat the tube inside and the plasma gas can escape in the direction opposite to the direction of travel of the plasma coating nozzle. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Prozessparameter wie Lichtbogenenergie, Gase, Precursoren an die jeweiligen Rohrbelastungen und/oder Rohranforderungen angepasst werden.  The method of claim 1, wherein the process parameters such as arc energy, gases, precursors are adapted to the respective pipe loads and / or pipe requirements. Vorrichtung zur Innenbeschichtung eines Rohres, wobei eine Plasmabeschichtungsdüse auf einem Schlitten innerhalb eines Rohres vorgesehen ist.  Apparatus for internally coating a pipe, wherein a plasma coating nozzle is provided on a carriage within a pipe. Vorrichtung nach Anspruch 3, wobei der Schlitten so ausgeführt ist, dass er abdichtende Dichtlippen umfasst, so dass die Plasmabeschichtungsdüse innen durch das Rohr auf einem abdichtenden Schlitten bewegbar ist und die Dichtlippen einen ersten, mit Plasmagas gefüllten Bereich des Rohres von einem zweiten, mit Zuleitungen zur Plasmabeschichtungsdüse versehenen Bereich, abtrennen.  The apparatus of claim 3, wherein the carriage is configured to include sealing lips such that the plasma coating nozzle is moveable internally through the tube on a sealing slide and the sealing lips define a first plasma gas filled portion of the tube from a second one having leads to the plasma coating nozzle area. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, wobei als Precursoren für die Beschichtung alkylfunktionelle Silane, wie z.B. HMDSO, TEOS, VTMS, OMCTS; kurzkettige Kohlenwasserstoffe wie z.B. Methan; cyclische Kohlenwasserstoffe; ungesättigte Kohlenwasserstoffe, wie z.B. Acetylen, Ethen; und/oder halogen- oder pseudohalogen-substituierte, wie beispielsweise fluorhaltige Kohlenwasserstoffe wie z.B. Octafluoro-cyclo-butan, Octafluoro-cyclo-pentan, sowie Mischungen daraus vorgesehen sind.  Device according to claim 3 or 4, wherein as precursors for the coating alkyl-functional silanes, such as e.g. HMDSO, TEOS, VTMS, OMCTS; short chain hydrocarbons, e.g. Methane; cyclic hydrocarbons; unsaturated hydrocarbons, e.g. Acetylene, ethene; and / or halo or pseudohalogen-substituted, such as fluorine-containing hydrocarbons such as e.g. Octafluoro-cyclo-butane, octafluoro-cyclo-pentane, and mixtures thereof are provided. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei der Schlitten und/oder die Dichtlippen an der Plasmabeschichtungsdüse so konzipiert sind, dass Unebenheiten auf der Rohrinnenseite ausgleichbar sind.  Device according to one of claims 3 to 5, wherein the carriage and / or the sealing lips are designed on the plasma coating nozzle so that unevenness on the pipe inside are compensated. Verwendung einer miniaturisierten AD-Plasmabeschichtungsdüse in einer Vorrichtung oder einem Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche.  Use of a miniaturized AD plasma coating nozzle in a device or a method according to any one of the preceding claims.
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