DE102013220158B4 - Method for providing graphs - Google Patents
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Abstract
Verfahren zur Bereitstellung von Graphen (106), wobei das Verfahren umfasst: – Bereitstellen eines Transfermaterials (400), wobei der Wärmeausdehnungskoeffizient des Transfermaterials (400) höchstens 8·10–6 K–1 beträgt, – Synthese von Graphen (106) bei einer ersten Temperatur, wobei das Graphen (106) auf einem Substrat (100) synthetisiert wird, – Abkühlen des synthetisierten Graphens (106) von der ersten Temperatur auf eine zweite Temperatur, wobei während dem Abkühlen ausschließlich das Transfermaterial (400) mit dem Graphen (106) verbunden ist, – Ablösen des Graphens (106) von dem Transfermaterial (400), wobei nach der Synthese das Transfermaterial (400) auf das Graphen (106) aufgebracht, dann das Substrat (100) von dem Graphen (106) entfernt wird und danach das Abkühlen des synthetisierten Graphens (106) erfolgt.A method of providing graphene (106), the method comprising: - providing a transfer material (400), wherein the thermal expansion coefficient of the transfer material (400) is at most 8 · 10-6 K-1, - synthesis of graphene (106) at one first temperature, wherein the graphene (106) is synthesized on a substrate (100), - cooling the synthesized graphene (106) from the first temperature to a second temperature, wherein during cooling only the transfer material (400) with the graphene (106 detaching the graphene (106) from the transfer material (400), after which the transfer material (400) is applied to the graphene (106), then the substrate (100) is removed from the graphene (106) and then the cooling of the synthesized graph (106) is carried out.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bereitstellung von Graphen sowie eine Vorrichtung zur Bereitstellung von Graphen.The invention relates to a method for providing graphene and to an apparatus for providing graphene.
Die Synthese von Graphen beispielsweise mittels chemischer Gasphasenabscheidung (Chemical Vapor Deposition – CVD) ist aus dem Stand der Technik bekannt. Üblicherweise wird hierzu ein Substrat aufgeheizt und unter Zugabe von Methan wird die Graphenbildung ausgelöst. Anschließend wird das so hergestellte Graphen zusammen mit seinem Substrat abgekühlt. Entsprechendes ist bekannt, beispielsweise aus P. Trinsoutrot et al., Surface and Coatings Technology, 2013, 230, 87–92 sowie L. Huang, Carbon, 2012, 50, 551–556.The synthesis of graphene by, for example, chemical vapor deposition (CVD) is well known in the art. Usually, a substrate is heated for this purpose and with the addition of methane, the graphene formation is triggered. Subsequently, the graph thus prepared is cooled together with its substrate. The same is known, for example from P. Trinsoutrot et al., Surface and Coatings Technology, 2013, 230, 87-92 and L. Huang, Carbon, 2012, 50, 551-556.
Das Ablösen des hergestellten Graphens vom Substrat kann durch beispielsweise die Verwendung eines sogenannten Bubble-Transferprozesses realisiert werden. Ein solcher Prozess ist beispielsweise bekannt aus L. Eao et al., Nature Communications, DOI: 10.1038/NCOMMS1702.The detachment of the produced graphene from the substrate can be realized by, for example, the use of a so-called bubble transfer process. Such a process is known, for example, from L. Eao et al., Nature Communications, DOI: 10.1038 / NCOMMS1702.
Ferner ist beispielsweise aus der
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes Verfahren und eine verbesserte Vorrichtung zur Graphen-Herstellung anzugeben. Die der Erfindung zugrunde liegenden Aufgaben werden durch die Merkmale der unabhängigen Patentansprüche gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den abhängigen Patentansprüchen angegeben.The invention has for its object to provide an improved method and an improved device for producing graphene. The objects underlying the invention are achieved by the features of the independent claims. Preferred embodiments of the invention are indicated in the dependent claims.
Es wird ein Verfahren beschrieben zur Bereitstellung von Graphen, wobei das Verfahren umfasst:
- – Bereitstellen eines Transfermaterials, wobei der Wärmeausdehnungskoeffizient des Transfermaterials höchstens 8·10–6 K–1 beträgt,
- – Synthese von Graphen bei einer ersten Temperatur, wobei das Graphen auf einem Substrat synthetisiert wird,
- – Abkühlen des synthetisierten Graphens von der ersten Temperatur auf eine zweite Temperatur, wobei während des Abkühlens ausschließlich das Transfermaterial mit dem Graphen verbunden ist,
- – Ablösen des Graphens von dem Transfermaterial,
- Providing a transfer material, wherein the thermal expansion coefficient of the transfer material is at most 8 × 10 -6 K -1 ,
- Synthesis of graphene at a first temperature, wherein the graphene is synthesized on a substrate,
- Cooling the synthesized graphene from the first temperature to a second temperature, wherein during the cooling only the transfer material is connected to the graphene,
- Detaching the graphene from the transfer material,
Im Rahmen der gesamten Beschreiben kann grundsätzlich eine Verbindung zwischen dem Graphen und dem zweiten Transfermaterial z. B. aufgrund einer selbständigen Haftwirkung oder Adhäsion des Graphens am Transfermaterial resultieren. Ursache könnten Van-der-Waals Bindungskräfte und/oder elektrostatische Bindungskräfte auf molekularer Ebene sein.In the context of the entire description may in principle be a connection between the graphene and the second transfer material z. B. due to an independent adhesion or adhesion of the graphene to the transfer material. Cause could be Van der Waals binding forces and / or electrostatic binding forces at the molecular level.
Ausführungsformen der Erfindung könnten den Vorteil haben, dass gewährleistet sein könnte, dass während des Abkühlens des synthetisierten Graphens das Graphen ausschließlich mit einem solchen Material in Verbindung steht, welches in der Lage ist, der aus der Wärmeausdehnung des Graphens resultierenden Größenveränderung während dem Abkühlprozess zu folgen, ohne nennenswerte mechanische Spannungen im Graphen aufzubauen. Dies könnte dazu beitragen, dass die strukturelle Ordnung des Graphens bis zur atomaren Ebene hin auch während dem Abkühlprozess nach erfolgreicher und qualitativ hochwertiger Synthese beibehalten werden kann.Embodiments of the invention could have the advantage of ensuring that during cooling of the synthesized graphene, the graphene is exclusively associated with such material as is capable of following the dimensional change resulting from thermal expansion of the graphene during the cooling process without building up significant mechanical stresses in the graph. This could contribute to maintaining the structural order of graphene down to the atomic level during the cooling process after successful and high-quality synthesis.
Erfindungsgemäß entspricht der Wärmeausdehnungskoeffizient des Transfermaterials ungefähr dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des Graphens. Dann könnte das „Sichzusammenziehen” von Graphen und Transfermaterial in gleicher Weise stattfinden, so dass hier mechanische Spannungen innerhalb der Graphenschicht vermieden werden könnten. Der besagte Wert des Wärmeausdehnungskoeffizienten des Transfermaterials von höchstens 8·10–6 K–1 trägt dem Rechnung, dass auch ein Transfermaterial mit einem solchen Wärmekoeffizienten von 8·10–6 K–1 noch in der Lage sein könnte, beim Abkühlprozess des Graphens die im Graphen erzeugten Fehlstellungen und Strukturveränderungen minimal zu halten.According to the invention, the thermal expansion coefficient of the transfer material approximately corresponds to the coefficient of thermal expansion of the graphene. Then, the "contracting together" of graphene and transfer material could take place in the same way, so that in this case mechanical stresses within the graphene layer could be avoided. The said value of the coefficient of thermal expansion of the transfer material of at most 8 · 10 -6 K -1 takes into account that even a transfer material having such a thermal coefficient of 8 · 10 -6 K -1 might still be able to do so during the cooling process of the graphene in the graph generated misalignments and structural changes to minimize.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung findet die Synthese in einem Reaktormodul statt, wobei das Abkühlen in einem Kühlmodul erfolgt, wobei das Substrat als Band kontinuierlich dem Reaktormodul zugeführt wird, wobei das synthetisierte Graphen kontinuierlich vom Reaktormodul dem Kühlmodul zugeführt wird.According to one embodiment of the invention, the synthesis takes place in a reactor module, wherein the cooling takes place in a cooling module, wherein the substrate is fed as a continuous band to the reactor module, wherein the synthesized graphene is fed continuously from the reactor module to the cooling module.
Durch die kontinuierliche Synthese des Graphens in Bandform ist es möglich, das besagte Verfahren in einem industriellen Produktionsprozess einzusetzen. Reaktormodul und Kühlmodul können hierbei vollständig voneinander getrennt verwendet werden. Im Reaktormodul kann die Synthese von Graphen in qualitativ hochwertiger Weise vorgenommen werden, wohingegen im Kühlmodul auf einen vordefinierten Kühlprozess des Graphens zusammen mit dem Transfermaterial Wert gelegt werden kann.Through the continuous synthesis of graphene graphene it is possible to do the said To use processes in an industrial production process. Reactor module and cooling module can be used completely separated from each other here. In the reactor module, the synthesis of graphene can be carried out in a high-quality manner, whereas in the cooling module value can be attached to a predefined cooling process of the graphene together with the transfer material.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung handelt es sich bei dem Transfermaterial um eine Legierung. Bevorzugt sind hierbei z. B. Invar-Legierungen welche aufgrund ihres geringen Längenausdehnungskoeffizienten dazu beitragen könnten, die beim Abkühlen im Graphen induzierten Spannungen minimal zu halten oder vollständig zu vermeiden.According to one embodiment of the invention, the transfer material is an alloy. In this case, z. B. Invar alloys which, due to their low coefficient of linear expansion, could contribute to minimizing or completely avoiding the stresses induced in the graph during cooling.
In einer alternativen Ausführungsform wird nach der Synthese und vor dem Abkühlen das Transfermaterial auf das Graphen aufgebracht und es wird das Substrat von dem Graphen entfernt. Es könnte also in dieser Ausführungsform im Reaktormodul zunächst die Graphen-Synthese auf dem Substrat stattfinden. Bevor nun der Abkühlprozess stattfindet, wird z. B. in einem Transfermodul das Transfermaterial auf das Graphen aufgebracht und anschließend das Substrat von dem Graphen entfernt. Auch nun ist es möglich, den Abkühlprozess des Graphens zu initiieren, da nun das Transfermaterial der durch den Abkühlprozess induzierten Längenänderung des Graphens folgen kann, ohne dass es bei der Abkühlung zu einer Beschädigung der Graphen-Schicht kommt.In an alternative embodiment, after the synthesis and before cooling, the transfer material is applied to the graphene and the substrate is removed from the graphene. Thus, in this embodiment, the graphene synthesis could initially take place on the substrate in the reactor module. Before now the cooling process takes place, z. B. applied in a transfer module, the transfer material on the graphene and then removes the substrate from the graph. It is also now possible to initiate the cooling process of the graphene since the transfer material can now follow the change in length of the graphene induced by the cooling process, without damage to the graphene layer during cooling.
Mach einer Ausführungsform der Erfindung ist zwischen dem Reaktormodul und dem Kühlmodul ein Transfermodul angeordnet, wobei das synthetisierte Graphen kontinuierlich vom Reaktormodul dem Transfermodul zugeführt wird, wobei in dem Transfermodul das Transfermaterial (insbesondere ebenfalls kontinuierlich) auf das Graphen aufgebracht wird und das Substrat (insbesondere ebenfalls kontinuierlich) von dem Graphen entfernt wird.According to one embodiment of the invention, a transfer module is arranged between the reactor module and the cooling module, wherein the synthesized graphene is fed continuously from the reactor module to the transfer module, wherein in the transfer module the transfer material (in particular also continuously) is applied to the graphene and the substrate (in particular also continuously) is removed from the graph.
Voraussetzung ist hier jedoch, dass in dem Transfermodul das Graphen nach wie vor dieselbe Temperatur aufweist, welche das Graphen auch im Reaktormodul nach der Synthese hatte. Erst nach dem Verlassen des Transfermoduls sollte im Kühlmodul die Abkühlung des synthetisierten Graphens von der ersten Temperatur auf die zweite Temperatur stattfinden.However, the prerequisite here is that in the transfer module, the graphene still has the same temperature that the graphene had in the reactor module after the synthesis. Only after leaving the transfer module should the cooling of the synthesized graphene from the first temperature to the second temperature take place in the cooling module.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung weist das Transfermaterial ein Polymer auf oder es handelt sich bei dem Transfermaterial um ein Polymer. Die Verwendung eines Polymers könnte mehrere Vorteile haben. Zum einen ist bei Polymeren die Einstellbarkeit der Temperaturbeständigkeit auch für die im Reaktormodul vorherrschenden Temperaturen möglich.According to one embodiment of the invention, the transfer material comprises a polymer or the transfer material is a polymer. The use of a polymer could have several advantages. On the one hand, the adjustability of the temperature resistance of polymers is also possible for the temperatures prevailing in the reactor module.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung weist das Substrat Kupfer auf. Die Verwendung von Kupfer als Substrat könnte den Vorteil haben, dass zunächst aufgrund der hohen mechanischen Stabilität von Kupfer die kontinuierliche Graphen-Herstellung in insbesondere industriellem Maßstab vereinfacht wird. Kupfer kann in Band-Form von einer entsprechenden Abrollvorrichtung kontinuierlich dem Reaktormodul zur Verfügung gestellt werden. Außerdem ist Kupfer ein guter Katalysator für die Synthese von Graphen und es besitzt eine ausgezeichnete Wärmeleitfähigkeit, sodass eine gleichmäßige Graphen-Synthese auf der Kupferoberfläche im Reaktormodul gewährleistet sein könnte.According to one embodiment of the invention, the substrate comprises copper. The use of copper as a substrate could have the advantage that, first of all, owing to the high mechanical stability of copper, continuous graphene production is simplified, in particular on an industrial scale. Copper can be continuously supplied to the reactor module in band form by a corresponding unwinding device. In addition, copper is a good catalyst for the synthesis of graphene and has excellent thermal conductivity so that even graphene synthesis on the copper surface in the reactor module could be ensured.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung haftet das Graphen selbständig bei der ersten Temperatur am Transfermaterial an. Z. B. ist das Transfermaterial so ausgebildet, dass diese Haftung bei der ersten Temperatur stattfindet. Unter einem nachfolgenden z. B. Bubble-Transferprozess kann, wie obig beschrieben, daraufhin das Ablösen des Substrats vom Graphen bewirkt werden. Während des Ablöseprozesses bleibt das Transfermaterial am Graphen selbständig haften und nach dem vollständigen Ablösen des Substrats vom Graphen kann der Abkühlprozess von Graphen und Transfermaterial stattfinden.According to one embodiment of the invention, the graphene adheres to the transfer material independently at the first temperature. For example, the transfer material is formed so that this adhesion takes place at the first temperature. Under a subsequent z. B. Bubble transfer process, as described above, then the detachment of the substrate are caused by the graph. During the stripping process, the transfer material adheres to the graphene on its own and after the complete detachment of the substrate from the graphene, the cooling process of graphene and transfer material can take place.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist die Haftfähigkeit des Graphens am Transfermaterial im Zustand einer ersten Dehnung des Transfermaterials höher als im Zustand einer zweiten Dehnung des Transfermaterials, wobei die erste Dehnung kleiner ist als die zweite Dehnung, wobei während dem Aufbringen des Transfermaterials auf das Graphen das Transfermaterial den Zustand der ersten Dehnung aufweist, wobei nach dem Abkühlen und vor dem Ablösen des Graphens von dem Transfermaterial das Transfermaterial von dem Zustand der ersten Dehnung in den Zustand der zweiten Dehnung überführt wird.According to one embodiment of the invention, the adhesiveness of the graphene to the transfer material is higher in a state of first elongation of the transfer material than in a state of second elongation of the transfer material, the first elongation being smaller than the second elongation, during the application of the transfer material to the graphene Transfer material has the state of the first elongation, wherein after cooling and before the separation of the graphene from the transfer material, the transfer material from the state of the first elongation in the state of the second elongation is transferred.
Durch die besagte Überführung des Transfermaterials von dem Zustand der ersten Dehnung in den Zustand der zweiten Dehnung kann damit automatisch die Haftfähigkeit des Graphens am Transfermaterial minimiert werden, sodass daraufhin eine einfache Ablösung des Transfermaterials am Graphen möglich ist.By means of said transfer of the transfer material from the state of the first stretch to the state of the second stretch, the adhesion of the graphene to the transfer material can thus be automatically minimized, so that a simple detachment of the transfer material on the graphene is then possible.
Eine alternative Variante zur Ablösung des Transfermaterials vom Graphen könnte im Auflösen des Transfermaterials oder eines das Graphen und das Transfermaterials verbindenden Haftvermittlers durch ein entsprechendes Lösungsmittel liegen. Beispielsweise könnte, wenn es sich bei dem Transfermaterial um ein Polymer handelt, ein entsprechendes Lösungsmittel wie Aceton oder Ähnliches eingesetzt werden, sodass daraufhin das Transfermaterial automatisch vom Graphen aufgrund einer Auflösungserscheinung des Transfermaterials entfernt wird. Wird lediglich der Haftvermittler (also ein Klebstoff) aufgelöst, könnte anschließend das Transfermaterial erneute Verwendung zur Unterstützung des Abkühlprozesses von weiterem Graphen finden. Kommt ein Haftvermittler zum Einsatz, muss dieser vor dem Aufbringen des Transfermaterials oder zusammen mit dem Transfermaterial auf das Graphen aufgebracht werden.An alternative variant for detaching the transfer material from the graphene could be dissolving the transfer material or an adhesion promoter which connects the graphene and the transfer material by means of a suitable solvent. For example, if the transfer material is a polymer, a suitable solvent such as acetone or the like could be used so that then the transfer material would be automatically removed from the graph due to a Dissolution phenomenon of the transfer material is removed. If only the adhesion promoter (ie, an adhesive) is dissolved, then the transfer material could then be reused to assist the cooling process of more graphene. If a bonding agent is used, it must be applied to the graphene before application of the transfer material or together with the transfer material.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung wird das Graphen nach dem Abkühlen auf ein Trägermaterial aufgebracht, wobei zumindest nach dem Abkühlen und vor dem Ablösen des Graphens von dem Transfermaterial die Haftfähigkeit des Graphens am Trägermaterial höher ist als die Haftfähigkeit des Graphens am Transfermaterial. Damit findet ein selbständiges Anhaften des Graphens am Trägermaterial statt, sodass daraufhin das Transfermaterial vom Graphen abgelöst werden kann, ohne dass es zu einem Abheben des Graphens vom Trägermaterial und damit zu einer etwaigen ungewollten Beschädigung des Graphens und dessen Struktur kommt. So ist es zum Beispiel möglich, das Transfermaterial in dem Zustand der zweiten Dehnung vom Graphen abzulösen, wenn die Haftfähigkeit des Graphens am Trägermaterial höher ist als die Haftfähigkeit des Graphens am Transfermaterial, wenn sich das Transfermaterial in dem Zustand der zweiten Dehnung befindet.According to one embodiment of the invention, the graphene is applied after cooling on a carrier material, wherein at least after cooling and before the separation of the graphene from the transfer material, the adhesion of the graphene to the substrate is higher than the adhesion of the graphene to the transfer material. Thus, an independent adhesion of the graphene takes place on the carrier material, so that then the transfer material can be detached from the graphene, without resulting in a lifting of the graphene from the substrate and thus to any unwanted damage to the graphene and its structure. For example, it is possible to peel off the transfer material in the state of second elongation from the graphene when the adhesiveness of the graphene to the substrate is higher than the adhesiveness of the graphene to the transfer material when the transfer material is in the state of second elongation.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung ist das Transfermaterial auf einer Oberfläche einer Walze angeordnet, wobei die Walze um ihren Umfang verteilte Segmente aufweist, wobei die Segmente zur radialen Abstützung des Transfermaterials ausgebildet sind, wobei die Segmente in radialer Richtung der Walze gesehen beweglich sind. Dies könnte den Vorteil haben, dass durch die Segmente die in Umfangsrichtung wirkende mechanische Spannung des Transfermaterials in vordefinierter Weise auch während des Abkühlprozesses aufrechterhalten werden kann. Beispielsweise könnte die in radialer Richtung der Walze gesehene Beweglichkeit der Segmente aktorisch aktiv gesteuert werden oder alternativ über Federelemente wie Druckfedern reguliert werden. Führt nun also während des Abkühlprozesses das Graphen eine „Schrumpfung” seiner Struktur durch, wird das Transfermaterial versuchen, dieser Strukturänderung zu folgen, indem es sich ebenfalls zusammenzieht (maßgeblich aufgrund seines Wärmeausdehnungskoeffizienten). Dadurch würde in Umfangsrichtung der Walze gesehen die auf das Transfermaterial wirkende Spannung erhöht werden. Durch ein Einfahren der Segmente in radialer Richtung der Walze gesehen kann nun dieser Spannung wieder nachgegeben werden.According to one embodiment of the invention, the transfer material is arranged on a surface of a roller, the roller having segments distributed around its circumference, wherein the segments are designed for radial support of the transfer material, the segments being movable in the radial direction of the roller. This could have the advantage that the circumferentially acting mechanical stress of the transfer material can be maintained in a predefined manner by the segments during the cooling process. For example, the mobility of the segments seen in the radial direction of the roller could be actively controlled in an active manner or alternatively be regulated via spring elements such as compression springs. If, during the cooling process, the graph shrinks its structure, the transfer material will try to follow this structural change by contracting as well (mainly due to its thermal expansion coefficient). As a result, the tension acting on the transfer material would be increased in the circumferential direction of the roller. Seen by retracting the segments in the radial direction of the roller can now be given this voltage again.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das Verfahren das Überführen des Transfermaterials von dem Zustand der ersten Dehnung in den Zustand der zweiten Dehnung durch die Bewegung eines oder mehrerer der Segmente in der radialen Richtung. Durch gezielte Bewegung der Segmente ist es damit möglich, das Transfermaterial von dem Zustand der ersten Dehnung in den Zustand der zweiten Dehnung an einer bestimmten Position der Walze zu überführen, sodass an dieser Position ein vorzugsweise selbständiges Ablösen des Graphens vom Transfermaterial aufgrund der induzierten Dehnung des Transfermaterials stattfindet.According to one embodiment of the invention, the method comprises transferring the transfer material from the state of first elongation to the state of second elongation by moving one or more of the segments in the radial direction. By targeted movement of the segments, it is thus possible to transfer the transfer material from the state of the first stretch in the state of the second stretch at a certain position of the roller, so that at this position, preferably independent separation of the graphene from the transfer material due to the induced strain of the Transfer material takes place.
Nach einer Ausführungsform der Erfindung umfasst das Verfahren ferner die Verwendung einer Heizvorrichtung für das Substrat zur Erhitzung des Substrats auf die erste Temperatur, wobei die Heizvorrichtung mehrere Heizelemente aufweist, wobei das Verfahren ferner umfasst:
- – Detektion der Temperatur des Substrats für mehrere vordefinierte Bereiche des Substrats,
- – Regelung der durch die Heizelemente bewirkten Erhitzung des Substrats in Abhängigkeit von der detektierten Temperatur, wobei die Regelung individuell für die vordefinierten Bereiche erfolgt, wobei die Regelung für eine identische Erwärmung der vordefinierten Bereiche auf die erste Temperatur erfolgt.
- Detecting the temperature of the substrate for a plurality of predefined regions of the substrate,
- - Regulation of the heating caused by the heating elements of the substrate as a function of the detected temperature, wherein the control is done individually for the predefined areas, wherein the control for an identical heating of the predefined areas is carried out to the first temperature.
Vorzugsweise handelt es sich bei den vordefinierten Bereichen um eine Vielzahl von Bereichen, die unmittelbar aneinander angrenzen. Durch die besagte rückgekoppelte Regelung ist es möglich, das Substrat auch über eine große Substratfläche gleichmäßig zu erhitzen. Diese gleichmäßige Erhitzung könnte ein Garant dafür sein, dass die Qualität des hergestellten Graphens gleichmäßig über das gesamte Substrat ist. Für z. B. jeden der Bereiche wird die Temperatur dieses Bereichs ermittelt und anschließend erfolgt dann in Abhängigkeit von der detektierten Temperatur die Regelung der Erhitzung des Substrats.The predefined regions are preferably a multiplicity of regions which adjoin one another directly. The said feedback control makes it possible to heat the substrate evenly over a large substrate area. This uniform heating could be a guarantee that the quality of the produced graphene is uniform over the entire substrate. For z. As each of the areas, the temperature of this area is determined, and then takes place depending on the detected temperature, the control of the heating of the substrate.
In einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Bereitstellung von Graphen, wobei die Vorrichtung umfasst:
- – Mittel zum Bereitstellen eines Transfermaterials, wobei der Wärmeausdehnungskoeffizient des Transfermaterials höchstens 8·10–6 K–1 beträgt,
- – Synthesemittel zur Synthese von Graphen bei einer ersten Temperatur, wobei das Graphen auf einem Substrat synthetisierbar ist,
- – Kühlmedium zum Abkühlen des synthetisierten Graphens von der ersten Temperatur auf eine zweite Temperatur, wobei während des Abkühlens ausschließlich das Transfermaterial mit dem Graphen verbunden ist,
- – Mittel zum Ablösen des Graphens von dem Transfermaterial,
- Means for providing a transfer material, wherein the thermal expansion coefficient of the transfer material is at most 8 · 10 -6 K -1 ,
- Synthesis means for the synthesis of graphene at a first temperature, wherein the graphene is synthesizable on a substrate,
- Cooling medium for cooling the synthesized graphene from the first temperature to a second temperature, wherein during the cooling only the transfer material is connected to the graphene,
- Means for releasing the graphene from the transfer material,
Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:In the following, preferred embodiments of the invention are explained in more detail with reference to the drawings. Show it:
Im Folgenden werden einander ähnliche Elemente mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet.Hereinafter, similar elements will be denoted by the same reference numerals.
Die
Nach erfolgreicher Synthese des Graphens auf dem Kupfersubstrat soll nun gewährleistet werden, dass das Graphen wieder auf Zimmertemperatur abgekühlt wird, um so einen Transport des Graphens für eine weitere Verwendung (zum Beispiel der Herstellung von Elektronikbauteilen) zu ermöglichen.After successful synthesis of the graphene on the copper substrate is now to ensure that the graphene is cooled back to room temperature, so as to allow a transport of graphene for further use (for example, the production of electronic components).
Während des Abkühlprozesses findet aufgrund des Wärmeausdehnungskoeffizients von Graphen eine Art Schrumpfungsprozess des Graphens statt, sodass sich dessen Struktur aufgrund der Abnahme der Wärmeausdehnung verändert. Wären nun der Wärmeausdehnungskoeffizient des Substrats und der Wärmeausdehnungskoeffizient von Graphen sehr unterschiedlich, so würde der Schrumpfungsprozess von Graphen ein anderer sein als der Schrumpfungsprozess des Substrats. Dadurch könnte es zu Verwerfungen und Ausbildung von Fehlstellen im Graphen kommen.During the cooling process, due to the thermal expansion coefficient of graphene, a kind of shrinkage process of graphene occurs, so that its structure changes due to the decrease in thermal expansion. Now, if the thermal expansion coefficient of the substrate and the thermal expansion coefficient of graphene were very different, the shrinkage process of graphene would be different from the shrinkage process of the substrate. This could lead to distortions and the formation of defects in the graph.
Um dieses zu vermeiden wird vorgeschlagen, im noch heißen Zustand des Graphens, das heißt bei jener Temperatur, bei welcher das Graphen auch auf das Substrat
Das Separieren von Graphen und Substrat kann beispielsweise durch einen Rubble-Transferprozess erfolgen. Dadurch ergibt sich in der Transportrichtung
In der
Nachdem nun also das in Richtung
Das auf dem Transfermaterial befindliche Graphen
Das auf der Rolle
Im Bereich
Die
Bei dem Reaktormodul
Die Kammer
In der Kammer
Wie oben bereits erwähnt, kann insbesondere auch die Kammer
Nach der Synthese des Graphens auf der Oberfläche des Substrats
Die obig bezüglich der
Um eine möglichst gleichmäßige flächige Erhitzung des Substrats auf die Synthesetemperatur des Graphens zu gewährleisten, ist es möglich, dass in der Kammer
Die
Im nachgelagerten Schritt erfolgt daraufhin, wie in
Die
Nachdem also (wie in der
Es sei an dieser Stelle angemerkt, dass bei den besagten Synthesetemperaturen, welche üblicherweise im Bereich von mehreren 100°C liegen, ein klassischer Bubble-Transferprozess problematisch sein könnte, da hier üblicherweise wasserhaltige Komponenten zum Einsatz kommen, welche bei dieser Temperatur gasförmig sind. Aus diesem Grund ist es denkbar, diese wasserhaltigen Komponenten durch bei dieser Temperatur flüssige Kunststoffkomponenten zu ersetzen, mittels derer ebenfalls ein Bubble-Transferprozess möglich ist.It should be noted at this point that at the said synthesis temperatures, which are usually in the range of several 100 ° C, a classical bubble transfer process could be problematic, since usually water-containing components are used, which are gaseous at this temperature. For this reason, it is conceivable to replace these water-containing components by plastic components which are liquid at this temperature, by means of which a bubble transfer process is likewise possible.
Nachdem nun also die in
In
Diese Kombination von Trägermaterial und Graphen kann daraufhin aufgerollt und weiterverwendet werden.This combination of carrier material and graphene can then be rolled up and reused.
Die
Es sei an dieser Stelle angemerkt, dass der Ablösevorgang des Graphens
Als Resultat ergibt sich wieder die Kombination von Trägermaterial
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 100100
- Substratsubstratum
- 101101
- Richtungdirection
- 102102
- Reaktormodulreactor module
- 104104
- BereichArea
- 105105
- Transfermodultransfer module
- 106106
- Graphengraphs
- 107107
- Rollerole
- 108108
- Rollerole
- 110110
- Rollerole
- 111111
- Transfermodultransfer module
- 112112
- Transportrolletransport roller
- 114114
- Transportrolletransport roller
- 120120
- BereichArea
- 130130
- Kühlmodulcooling module
- 200200
- Gaszuführunggas supply
- 202202
- Gaszuführunggas supply
- 204204
- Gaszuführunggas supply
- 206206
- Kammerchamber
- 208208
- Kammerchamber
- 210210
- Kammerchamber
- 300300
- Trägermaterialsupport material
- 400400
- Transfermaterialtransfer material
- 500500
- Walzeroller
- 502502
- Walzeroller
- 508508
- BereichArea
- 510510
- Segmentsegment
- 512512
- Aktuatoractuator
- 520520
- BereichArea
- 530530
- BereichArea
- 600600
- BereichArea
Claims (13)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013220158.3A DE102013220158B4 (en) | 2013-10-04 | 2013-10-04 | Method for providing graphs |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013220158.3A DE102013220158B4 (en) | 2013-10-04 | 2013-10-04 | Method for providing graphs |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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