DE102013219382A1 - Arrangement and method for measuring a relative position and / or a relative movement of two relatively movable parts - Google Patents

Arrangement and method for measuring a relative position and / or a relative movement of two relatively movable parts Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils (51) und eines relativ zu dem ersten Teil (51) um eine Drehachse (R) drehbeweglichen zweiten Teils (53), wobei die Messanordnung aufweist: • eine Maßverkörperung (75), die an dem ersten Teil (51) ausgebildet ist oder die mit dem ersten Teil (51) verbindbar ist, • zumindest einen Messsensor (74a, 74b), der an dem zweiten Teil (53) derart angeordnet oder anordenbar ist und der während eines Messbetriebes der Messanordnung derart mit der Maßverkörperung (75) zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors (74a, 74b) Informationen über eine Drehposition des Messsensors (74a, 74b) bezüglich der Drehachse (R) und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors (74a, 74b) um die Drehachse (R) enthalten und damit eine Bestimmung der relativen Position und/oder der relativen Bewegung des ersten Teils (51) und des zweiten Teils (53) ermöglichen, • eine Halterung (72), die zum Halten des Messsensors (74a, 74b) mit dem Messsensor (74a, 74b) verbunden ist, oder die Teil des Messsensors ist, und • eine Basis (71) zum Fixieren der Halterung mit dem von der Halterung gehaltenen Messsensor (74a, 74b), wobei die Basis (71) während des Betriebes der Messanordnung an dem zweiten Teil befestigt ist, wobei • die Halterung als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist, der/das sich um die Drehachse (R) erstreckt, welche einen Mittelpunkt des Kreisrings oder des Kreisringsegments enthält, und • die Halterung wahlweise in einer von verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse an der Basis (71) positionierbar ist, sodass die Halterung in der jeweiligen Drehstellung an der Basis (71) fixiert wird und sodass die Drehstellung und somit eine Position, die der Messsensor (74a, 74b) während des Betriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil einnimmt, einstellbar ist.The invention relates to a measuring arrangement for measuring a relative position and / or relative movement of a first part (51) and a second part (53) rotatable relative to the first part (51) about a rotation axis (R), the measuring arrangement comprising: A measuring graduation (75) which is formed on the first part (51) or which is connectable to the first part (51), at least one measuring sensor (74a, 74b) arranged on the second part (53) or can be arranged and which cooperates during a measuring operation of the measuring arrangement with the material measure (75) that measuring signals of the measuring sensor (74 a, 74 b) information about a rotational position of the measuring sensor (74 a, 74 b) with respect to the axis of rotation (R) and / or information about a Rotational movement of the measuring sensor (74a, 74b) about the axis of rotation (R) and thus allow a determination of the relative position and / or the relative movement of the first part (51) and the second part (53) A holder (72) which is connected to the measuring sensor (74a, 74b) for holding the measuring sensor (74a, 74b) or which is part of the measuring sensor, and a base (71) for fixing the holder to the the measuring device (74a, 74b) held in the holder, wherein the base (71) is fastened to the second part during operation of the measuring device, wherein • the holder is designed as a circular ring or as an annular segment which surrounds the axis of rotation (R) extending, which contains a center of the annulus or the annulus segment, and • the holder is selectively positionable in one of different rotational positions about the axis of rotation on the base (71), so that the holder is fixed in the respective rotational position on the base (71) and so that the rotational position and thus a position occupied by the measuring sensor (74a, 74b) during operation of the measuring arrangement relative to the second part is adjustable.

Description

Die Erfindung betrifft eine Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils und eines relativ zu dem ersten Teil um eine Drehachse drehbeweglichen zweiten Teils. Die Messanordnung weist eine Maßverkörperung auf, die an dem ersten Teil ausgebildet ist oder die mit dem ersten Teil verbindbar ist. Zumindest ein Messsensor, der an dem zweiten Teil derart angeordnet oder anordenbar ist und der während eines Messbetriebes der Messanordnung derart mit der Maßverkörperung zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors Informationen über eine Drehposition des Messsensors bezüglich der Drehachse und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors um die Drehachse enthalten und damit eine Bestimmung der relativen Position und/oder der relativen Bewegung des ersten Teils und des zweiten Teils ermöglichen, und eine Halterung, die zum Halten des Messsensors mit dem Messsensor verbunden ist, sind ebenfalls Bestandteile der Messanordnung. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Betreiben der Messanordnung, ein Koordinatenmessgerät, das die Messanordnung aufweist, wobei das Koordinatenmessgerät das erste Teil und das relativ zu dem ersten Teil bewegliche zweite Teil aufweist, und eine Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks oder einer Koordinaten-Messeinrichtung in einer Anordnung zum Messen von Koordinaten des Werkstücks, wobei die Drehvorrichtung die Messanordnung, das erste Teil und das zweite Teil aufweist, wobei das zweite Teil relativ zu dem ersten Teil um eine Drehachse der Drehvorrichtung drehbeweglich ist und wobei das Werkstück oder die Koordinaten-Messeinrichtung an dem ersten Teil oder dem zweiten Teil anordenbar ist.The invention relates to a measuring arrangement for measuring a relative position and / or a relative movement of a first part and a second part rotatable relative to the first part about a rotation axis. The measuring arrangement has a material measure, which is formed on the first part or which is connectable to the first part. At least one measuring sensor which is arranged or can be arranged on the second part and which cooperates with the material measure during a measuring operation of the measuring arrangement such that measuring signals of the measuring sensor information about a rotational position of the measuring sensor with respect to the axis of rotation and / or information about a rotational movement of the measuring sensor include the axis of rotation and thus allow a determination of the relative position and / or the relative movement of the first part and the second part, and a holder which is connected to hold the measuring sensor with the measuring sensor, are also components of the measuring arrangement. The invention also relates to a method for operating the measuring arrangement, a coordinate measuring machine having the measuring arrangement, the coordinate measuring machine having the first part and the second part movable relative to the first part, and a turning device for rotating a workpiece or a coordinate measuring device an arrangement for measuring coordinates of the workpiece, the rotating device having the measuring arrangement, the first part and the second part, wherein the second part is rotatable relative to the first part about a rotation axis of the rotating device and wherein the workpiece or the coordinate measuring device the first part or the second part can be arranged.

Es ist bekannt, Werkstücke zum Zweck der Messung ihrer Koordinaten oder zum Zweck der Bearbeitung des Werkstücks drehbar zu lagern. Z.B. werden auf dem Gebiet der Koordinatenmesstechnik Werkstücke auf drehbaren Tischen (so genannte Drehtische) angeordnet. Auf diese Weise kann das Werkstück in verschiedene Arbeitsausrichtungen gebracht werden, in denen das Koordinatenmessgerät arbeitet, d.h. Koordinaten des Werkstücks misst. Insbesondere können die Koordinaten des Werkstücks kontinuierlich (z. B. scannend) gemessen werden, während die Drehvorrichtung das Werkstück um ihre Drehachse dreht. Entsprechendes gilt für die Bearbeitung eines Werkstücks durch eine Werkzeugmaschine. Das Werkstück kann in verschiedene Arbeitsausrichtungen gebracht werden, um das Werkzeug zu bearbeiten. Insbesondere kann das Werkstück kontinuierlich gedreht werden, während es bearbeitet wird. Um die Drehposition des Werkstücks bezüglich der Drehachse zu bestimmen, wird eine Drehpositions-Messvorrichtung verwendet.It is known to rotatably support workpieces for the purpose of measuring their coordinates or for the purpose of machining the workpiece. For example, In the field of coordinate metrology, workpieces are arranged on rotatable tables (so-called turntables). In this way, the workpiece can be placed in various working orientations in which the coordinate measuring machine operates, i. Coordinates the workpiece. In particular, the coordinates of the workpiece may be measured continuously (eg, scanning) while the rotating device rotates the workpiece about its axis of rotation. The same applies to the machining of a workpiece by a machine tool. The workpiece can be placed in different working orientations to machine the tool. In particular, the workpiece can be continuously rotated while it is being processed. In order to determine the rotational position of the workpiece with respect to the axis of rotation, a rotational position measuring device is used.

An Koordinatenmessgeräten werden ferner Drehgelenke mit zumindest einer Drehachse verwendet, wobei ein Sensor oder Taster des Koordinatenmessgeräts über das Drehgelenk mit anderen Teilen des Koordinatenmessgeräts verbunden ist, sodass das Drehgelenk den Sensor oder Taster in eine gewünschte Drehposition bringen kann. Insbesondere kann das Drehgelenk auch zwei Drehachsen aufweisen, die zum Beispiel senkrecht zueinander verlaufen. Üblicher Weise ist für jede der Drehachsen eine Drehpositions-Messvorrichtung vorhanden.Rotary joints with at least one axis of rotation are also used on coordinate measuring machines, wherein a sensor or probe of the coordinate measuring machine is connected to other parts of the coordinate measuring machine via the rotary joint, so that the rotary joint can bring the sensor or button into a desired rotational position. In particular, the rotary joint can also have two axes of rotation which run, for example, perpendicular to one another. Usually, a rotational position measuring device is provided for each of the rotary axes.

Koordinatenmessgeräte oder Werkzeugmaschinen weisen häufig in geradliniger Richtung bewegliche Teile auf, deren Position bezüglich einer in dieser Richtung verlaufenden Linearachse zu bestimmen ist. Z.B. weisen Koordinatenmessgeräte in Portalbauweise ein entlang einer ersten Linearachse bewegliches Portal, einen entlang einer zweiten Linearachse relativ zu dem Portal beweglichen Schlitten und eine entlang einer dritten Linearachse relativ zu dem Schlitten bewegliche Pinole auf, an der ein Messkopf angeordnet ist. Der genannte Messkopf z. B. kann über zumindest ein Drehgelenk mit der Pinole verbunden sein. Ferner kommen bei alternativen Bauweisen von Koordinatenmessgeräten oder Werkzeugmaschinen Drehgelenke vor, die mit anderen Drehgelenken kombiniert sind, z.B. bei sogenannten Gelenkarm-Koordinatenmessgeräten.Coordinate measuring machines or machine tools often have in the rectilinear direction movable parts, the position of which is to be determined with respect to a linear axis extending in this direction. For example, gantry-type coordinate measuring machines have a gantry movable along a first linear axis, a carriage movable along a second linear axis relative to the gantry, and a quill movable relative to the carriage along a third linear axis, on which a measuring head is arranged. The mentioned measuring head z. B. can be connected via at least one rotary joint with the quill. Further, in alternative constructions of coordinate measuring machines or machine tools, there are hinges combined with other hinges, e.g. in so-called articulated arm coordinate measuring machines.

In allen genannten Fällen ist die Relativposition eines ersten Teils zu einem zweiten Teil zu messen. Alternativ kann die relative Bewegung der Teile gemessen werden. Aus der gemessenen relativen Bewegung, z.B. aus dem in der Bewegungsrichtung der Teile zurückgelegten Weg, lässt sich wieder die Relativposition bestimmen. Z.B. bei sogenannten Inkrementalmaßstäben sind entlang der Bewegungsrichtung vorzugsweise in regelmäßigen, konstanten Abständen Markierungen angeordnet. Eine so gebildete Maßverkörperung befindet sich an dem ersten der relativ zueinander beweglichen Teile. An dem zweiten Teil befindet sich ein Messsensor, der während der Relativbewegung die sich relativ zu ihm vorbeibewegenden Markierungen erfasst und entsprechende Messsignale erzeugt. Derartige Messsysteme können für die Messung von geradlinigen Bewegungen (z.B. entlang der genannten Linearachsen) oder für die Messung von Drehbewegungen ausgestaltet sein.In all the cases mentioned, the relative position of a first part to a second part is to be measured. Alternatively, the relative movement of the parts can be measured. From the measured relative movement, e.g. from the path traveled in the direction of movement of the parts, the relative position can be determined again. For example, In the case of so-called incremental scales, markings are preferably arranged at regular, constant intervals along the direction of movement. A dimensional standard formed in this way is located on the first of the relatively movable parts. At the second part there is a measuring sensor, which detects the relative to him moving past markers during the relative movement and generates corresponding measurement signals. Such measuring systems may be designed for the measurement of rectilinear movements (for example along said linear axes) or for the measurement of rotational movements.

Außer Inkrementalmaßstäben gibt es zahlreiche andere Arten von Messsystemen. Z.B. kann die Maßverkörperung an dem ersten der beiden relativ zueinander beweglichen Teile statt Markierungen Information über Positionen entlang der Bewegungsrichtung beinhalten, die von dem zugeordneten Messsensor an dem zweiten Teil erfassbar sind. Auch unabhängig von der Ausgestaltung der Maßverkörperung als Träger von Information über Positionen, Weglängen und/oder anderer Größen, aus denen die relative Position und/oder relative Bewegung der beiden Teile bestimmbar ist, gibt es auch unterschiedliche Messprinzipien, gemäß denen der Messsensor oder eine Mehrzahl von Messsensoren die Information der Maßverkörperung abhängig von der Bewegung der beiden Teile relativ zueinander erfasst, nämlich z. B. optische, mechanische, kapazitive, magnetische und induktive. Diese Messprinzipien können auch miteinander kombiniert werden.In addition to incremental scales, there are many other types of measuring systems. For example, the measuring standard on the first of the two relatively movable parts instead of markings may include information about positions along the direction of movement, which are detectable by the associated measuring sensor on the second part. Also independent of the design of the material measure as a carrier of information about Positions, path lengths and / or other variables from which the relative position and / or relative movement of the two parts can be determined, there are also different measuring principles, according to which the measuring sensor or a plurality of measuring sensors, the information of the material measure depending on the movement of the two Parts detected relative to each other, namely z. As optical, mechanical, capacitive, magnetic and inductive. These measuring principles can also be combined with each other.

Insbesondere für den Betrieb von Koordinatenmessgeräten sind hochpräzise Messungen der Relativbewegung der Teile erforderlich. Neben systematischen Fehlern der Messanordnung, die üblicherweise durch Kalibrierung der Messanordnung korrigiert werden, trägt auch die Bewegungsvorrichtung, die die Relativbeweglichkeit der beiden Teile ermöglicht, zum Fehler der Messanordnung bei. Unter dem Fehler der Bewegungsvorrichtung wird die Abweichung von einer gewünschten Idealbewegung (im Fall einer Linearachse eine exakt geradlinige Bewegung und im Fall einer Drehbewegung um eine Drehachse eine exakt kreisrunde Bewegung um die nicht im Raum schwankende Drehachse) verstanden. Particularly for the operation of coordinate measuring machines, highly precise measurements of the relative movement of the parts are required. In addition to systematic errors of the measuring arrangement, which are usually corrected by calibration of the measuring arrangement, the movement device, which enables the relative mobility of the two parts, also contributes to the error of the measuring arrangement. Under the error of the movement device, the deviation from a desired ideal movement (in the case of a linear axis, an exactly rectilinear movement and in the case of a rotational movement about a rotation axis, an exactly circular motion around the non-space fluctuating axis of rotation).

Z. B. kann eine Drehvorrichtung so konstruiert werden, dass ihre Fehler bestimmte Vorgaben erfüllen. Insbesondere können Luftlagerungen zur Lagerung der drehbeweglichen Teile der Drehvorrichtung eingesetzt werden und bei motorisch angetriebenen Drehvorrichtungen Direktantriebe eingesetzt werden. Je kleiner der Fehler der Drehvorrichtung sein soll, desto höher ist der konstruktive Aufwand.For example, a turning device can be designed so that its defects meet certain specifications. In particular, air bearings can be used to support the rotatable parts of the rotating device and direct drives are used in motor-driven rotating devices. The smaller the error of the rotating device should be, the higher the design effort.

Alternativ oder zusätzlich können Fehler der Drehvorrichtung mit einem Koordinatenmessgerät gemessen werden, wobei ein Kalibrierkörper oder eine Anordnung von Kalibrierkörpern an dem drehbaren Teil der Drehvorrichtung angeordnet wird (z.B. auf den Drehtisch gestellt wird) und vermessen wird. Die Vermessung der Fehler der Drehvorrichtung bezüglich aller sechs möglichen Freiheitsgrade der Bewegung mittels eines Koordinatenmessgeräts, das auch Werkstücke vermessen kann, ist jedoch zeitaufwendig. Bei hoher geforderter Genauigkeit muss die Kalibrierung wiederholt werden, beispielsweise wenn die Drehvorrichtung Temperaturschwankungen ausgesetzt ist. Entsprechendes gilt für eine Drehvorrichtung, die ausgestaltet ist, Werkstücke im Bearbeitungsbereich einer Werkzeugmaschine drehbar zu halten. Der Aufwand für eine Kalibrierung ist in diesem Fall im Vergleich zur Koordinatenmesstechnik meist noch größer, da auf dem Gebiet der Koordinatenmesstechnik meist das Koordinatenmessgerät für die Kalibrierung eingesetzt werden kann, das auch später die Vermessung von Werkstücken durchführt.Alternatively or additionally, errors of the rotary device can be measured with a coordinate measuring machine, wherein a calibration body or an array of calibration bodies is placed on the rotatable part of the rotary device (e.g., placed on the turntable) and measured. The measurement of the errors of the rotating device with respect to all six possible degrees of freedom of movement by means of a coordinate measuring machine, which can also measure workpieces, but is time consuming. If high accuracy is required, the calibration must be repeated, for example, if the rotary device is exposed to temperature fluctuations. The same applies to a rotating device that is configured to rotatably hold workpieces in the processing area of a machine tool. The cost of a calibration is in this case in comparison to the coordinate measuring usually mostly greater, since in the field of coordinate measuring usually the coordinate measuring machine can be used for the calibration, which also carries out the measurement of workpieces later.

Im Fall von Linearachsen gilt entsprechendes für die möglichst fehlerfreie Konstruktion und/oder Messung und Korrektur vorhandener Fehler.In the case of linear axes, the same applies to the most error-free construction and / or measurement and correction of existing errors.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils und eines relativ zu dem ersten Teil beweglichen zweiten Teils anzugeben, die es erlaubt die Auswirkungen von Bewegungsfehlern der Bewegungsvorrichtung, gemäß der die beiden Teile relativ zueinander beweglich sind, zu verringern. Es ist eine weitere Aufgabe der Erfindung, ein entsprechendes Verfahren zum Betreiben einer solchen Messanordnung, ein Koordinatenmessgerät mit einer solchen Messanordnung und eine Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks oder einer Koordinaten-Messeinrichtung eines Koordinatenmessgerätes mit einer solchen Messanordnung anzugeben. It is an object of the present invention to provide a measuring arrangement for measuring a relative position and / or a relative movement of a first part and a second part movable relative to the first part, which allows the effects of movement errors of the moving device according to which the two Parts are movable relative to each other, to reduce. It is a further object of the invention to provide a corresponding method for operating such a measuring arrangement, a coordinate measuring machine with such a measuring arrangement and a rotating device for rotating a workpiece or a coordinate measuring device of a coordinate measuring machine with such a measuring arrangement.

Gemäß einem Grundgedanken der vorliegenden Erfindung weisen Bewegungsvorrichtungen zum Bewegen der beiden Teile relativ zueinander verschiedenartige reproduzierbare Bewegungsfehler auf, die die Abweichungen von der idealen Bewegung bewirken. Z.B. können bei einer Drehvorrichtung Taumelfehler der Drehachse und Querverschiebungen der Drehachse auftreten. Im Ergebnis weist die Drehbewegung unerwünschte translatorische und rotatorische Bewegungsanteile auf, die zu den Abweichungen von der idealen Drehbewegung führen. Über den Verlauf einer vollständigen Umdrehung bezüglich der Drehachse betrachtet kompensieren und verstärken sich die verschiedenen Bewegungsfehler und wirken sich in ihrer Gesamtheit daher abhängig vom Messort des Messsensors der Drehvorrichtung unterschiedlich auf die Messgenauigkeit der Drehpositionsmessung oder Messung der Drehbewegung aus. Daher gibt es Positionen für den Messsensor oder die Messsensoren, an denen sich die verschiedenen Bewegungsfehler über den gesamten möglichen Bewegungsbereich (zum Beispiel eine vollständige Umdrehung um die Drehachse oder ein Teil einer vollständigen Umdrehung) besser kompensieren als in dem Fall, in dem der Messsensor oder die Messsensor anders positioniert ist/sind.In accordance with one aspect of the present invention, moving means for moving the two parts relative to each other have a variety of reproducible motion errors that cause the deviations from the ideal motion. For example, can occur in a rotating tumbling error of the axis of rotation and transverse displacements of the axis of rotation. As a result, the rotational movement on undesirable translational and rotational motion components, which lead to the deviations from the ideal rotational movement. When considered over the course of a complete revolution with respect to the axis of rotation, the various movement errors compensate each other and therefore affect the measuring accuracy of the rotational position measurement or measurement of the rotational movement in their entirety differently depending on the measuring location of the measuring sensor of the rotary device. Therefore, there are positions for the measuring sensor or the measuring sensors, at which the different movement errors over the entire possible range of motion (for example, a complete rotation about the axis of rotation or part of a complete revolution) compensate better than in the case in which the measuring sensor or the measuring sensor is positioned differently.

Für Linearachsen mit idealer Weise geradlinigen Bewegungen gilt Entsprechendes. Über den gesamten möglichen Bewegungsbereich treten in der Regel rotatorische und translatorische Zusatzbewegungen auf, die sich je nach Position des Messsensors oder der Messsensoren unterschiedlich stark auf den Messfehler auswirken. Z.B. kompensieren sich in einem bestimmten Abstand seitlich der Linearachse deren rotatorische und translatorische Fehler. Vorzugsweise wird daher der Messsensor in diesem Abstand zu der Linearachse angeordnet.The same applies to linear axes with ideally linear movements. As a rule, rotational and translational additional movements occur over the entire possible range of motion, which have different effects on the measurement error, depending on the position of the measuring sensor or the measuring sensors. For example, compensated at a certain distance to the side of the linear axis of their rotational and translational errors. Preferably, therefore, the measuring sensor is arranged at this distance to the linear axis.

Hinzu kommt, dass bestimmte Richtungen der Abweichung von der idealen Bewegung aufgrund der Bewegungsfehler für die Messung schädlicher sind als andere. Wenn die reale Drehbewegung der Drehvorrichtung im Vergleich zu der idealen Drehbewegung zu einer zusätzlichen Bewegung in einer Richtung tangential zur Drehrichtung (d.h. tangential zur Umlaufrichtung um die Drehachse) der Drehvorrichtung führt, verfälscht dies die Messung der Drehposition oder Drehbewegung. Dagegen verfälscht eine zusätzliche Bewegung in einer Richtung radial zur Drehvorrichtung die Messung der Drehposition oder Drehbewegung nicht oder nicht erheblich. Die für den Messsensor relevante Komponente des Bewegungsfehlers verläuft daher in der Richtung tangential zur Drehrichtung und wird im Folgenden als tangentialer Bewegungsfehler bezeichnet und ist auf den jeweils betrachteten Messort bezogen. Im Fall von Linearachsen gilt ebenfalls, dass zusätzliche Bewegungen aufgrund von Bewegungsfehlern quer zur gewünschten Bewegungsrichtung unschädlich oder weniger schädlich sind als zusätzliche Bewegungen in der gewünschten Bewegungsrichtung. In addition, certain directions of deviation from ideal motion due to motion errors are more damaging to the measurement than others. If the real rotational movement of the rotating device leads to additional movement in one direction tangential to the direction of rotation (ie tangential to the direction of rotation about the axis of rotation) of the rotating device compared to the ideal rotational movement, this will falsify the measurement of the rotational position or rotational movement. In contrast, an additional movement in a direction radially to the rotating device does not or does not significantly affect the measurement of the rotational position or rotational movement. The component of the motion error relevant to the measuring sensor therefore runs in the direction tangential to the direction of rotation and is referred to below as a tangential motion error and is related to the respectively considered measuring location. In the case of linear axes also applies that additional movements due to movement errors across the desired direction of movement harmless or less harmful than additional movements in the desired direction of movement.

Die Erfindung geht nun davon aus, dass nicht lediglich durch Kalibration systematische Fehler der Messanordnung und der Bewegungsvorrichtung korrigiert werden, sondern der Messsensor oder die Messsensoren an einer besonders günstigen Position positioniert wird/werden, in der der Messsensor oder in denen die Messsensoren dann während der Bewegung verbleibt/verbleiben. Insbesondere ist die günstige Position bei einer Drehvorrichtung eine günstige Winkelposition bezüglich der Drehachse und bei einer Linearachse ein günstiger Abstand zu der Linearachse oder eine günstige Linearposition entlang der Linearachse.The invention now assumes that not only systematic errors of the measuring arrangement and the movement device are corrected by calibration, but the measuring sensor or the measuring sensors is / are positioned at a particularly favorable position in which the measuring sensor or in which the measuring sensors then during the Movement remains / remain. In particular, the favorable position in a rotating device is a favorable angular position with respect to the axis of rotation and, in the case of a linear axis, a favorable distance from the linear axis or a favorable linear position along the linear axis.

Dabei ist zu beachten, dass die günstige Position des Messsensors nicht zwangsläufig die Position sein muss, an der über den gesamten Bewegungsbereich der geringste mittlere Messfehler aufgrund der Bewegungsfehler oder der geringste maximale Messfehler aufgrund der Bewegungsfehler auftritt.It should be noted that the favorable position of the measuring sensor does not necessarily have to be the position at which over the entire range of motion the lowest mean measuring error due to the movement error or the smallest maximum measuring error due to the movement error occurs.

Insbesondere unterscheiden sich an verschiedenen möglichen Messorten die Amplituden des Bewegungsfehlers über den Verlauf der Bewegung. Der Begriff Amplitude bezeichnet wie üblich die maximale Abweichung von der idealen Bewegung. Es kann aber nicht nur diese Amplitude betrachtet werden und ein Messort ermittelt werden, an dem diese Amplitude klein oder sogar minimal ist. Vielmehr kann der Verlauf des (z. B. tangentialen) Bewegungsfehlers während der Drehbewegung auch in anderer Weise betrachtet werden und ein Messort mit besonders günstigem Verlauf ermittelt werden, wobei „günstig“ durch zumindest ein vorgegebenes Kriterium definiert sein kann. Z.B. gibt es Messaufgaben in der Koordinatenmesstechnik oder Bearbeitungsaufgaben bei der Bearbeitung von Werkstücken durch Werkzeugmaschinen, bei denen auf Präzision bezüglich einer bestimmten Ordnung der Abweichungen zwischen einem ideal kreisrunden Verlauf des Außenumfangs oder Innenumfangs des Werkstücks zu achten ist. Ein Verlauf mit drei Maxima und drei Minima der Abweichung über einen vollständigen Umlauf um die Drehachse oder über einen vorgegebenen Bereich von Drehpositionen (d.h. insbesondere einen Teil eines Umlaufs, der z. B. ein ganzzahliger Bruchteil eines vollständigen Umlauf ist) hat beispielsweise die Ordnung drei. Den drei Maxima und drei Minima entsprechen drei Wellen. In der Beschreibung des tangentialen Bewegungsfehlers als Ortsfunktion (Abweichung von der idealen Drehbewegung als Funktion der Drehposition) können selbstverständlich Überlagerungen mehrerer Ordnungen vorliegen. Die Ortsfunktion ist der Zeitfunktion (Abweichung als Funktion des Zeitpunktes der Drehbewegung) äquivalent, wenn die Geschwindigkeit als Funktion der Zeit oder des Ortes bekannt ist, z. B. bei konstanter Geschwindigkeit. Die Erfindung ist auch nicht auf die Betrachtung der Ordnung drei beschränkt. Vielmehr können beliebige Ordnungen des tangentialen Bewegungsfehlers betrachtet werden. Im Fall von Linearachsen gilt ebenfalls, dass über den möglichen Bewegungsbereich Wellen der Abweichung mit Maxima und Minima auftreten können und eine entsprechend Ordnung des Fehlers angegeben werden kann. In particular, the amplitudes of the movement error differ over the course of the movement at different possible measuring locations. The term amplitude denotes, as usual, the maximum deviation from the ideal movement. However, not only can this amplitude be considered and a measurement location can be determined at which this amplitude is small or even minimal. Rather, the course of the (eg tangential) movement error during the rotational movement can also be viewed in another way and a measuring location can be determined with a particularly favorable course, where "favorable" can be defined by at least one predetermined criterion. For example, There are measuring tasks in the coordinate metrology or machining tasks in the machining of workpieces by machine tools, which is to pay attention to precision with respect to a certain order of deviations between an ideal circular course of the outer circumference or inner circumference of the workpiece. For example, a trace having three maxima and three minima of deviation over one complete revolution about the axis of rotation or over a predetermined range of rotational positions (ie, in particular, a portion of a revolution which is, for example, an integer fraction of a full revolution) has the third order , The three maxima and three minima correspond to three waves. In the description of the tangential motion error as a local function (deviation from the ideal rotational movement as a function of the rotational position), superimpositions of several orders may, of course, be present. The location function is equivalent to the time function (deviation as a function of the time of rotational movement) when the speed is known as a function of time or location, e.g. At constant speed. The invention is not limited to the consideration of order three. Rather, any orders of the tangential motion error can be considered. In the case of linear axes, it is also true that waves of deviation with maxima and minima can occur over the possible range of motion and a corresponding order of the error can be specified.

Das vorgegebene Kriterium kann auch als vorgegebene Bedingung bezeichnet werden, die zu erfüllen ist. Zum Beispiel kann ein Verlauf des tangentialen Bewegungsfehlers über den bei der Drehbewegung durchlaufenen Bereich von Drehpositionen (insbesondere über einen vorgegebenen Bereich von Drehpositionen) mit 9 Wellen (d.h. 9 Maxima und Minima der Abweichung) oder einer anderen vorgegebenen Anzahl von Wellen günstig sein. Dem liegt der Gedanke zu Grunde, dass abhängig von der betrachteten Winkelposition der Drehpositionsmessung eine unterschiedliche Anzahl von Wellen auftreten kann und/oder die Amplitude des Bewegungsfehlers bei der Ordnung (zum Beispiel bei 9 Wellen) unterschiedlich groß sein kann. Insbesondere wird zur Erfüllung des vorgegebenen Kriteriums daher zum Beispiel der Drehpositionsmessort ermittelt, an dem die Amplitude des Bewegungsfehlers in Bezug auf eine vorgegebene Ordnung maximal ist. Im Fall von Linearachsen kann entsprechend verfahren werden.The given criterion may also be referred to as a predetermined condition to be met. For example, a trace of tangential motion error may be beneficial over the range of rotational positions (particularly over a predetermined range of rotational positions) traversed by the rotational motion with 9 waves (i.e., 9 maxima and minima of deviation) or other predetermined number of waves. This is based on the idea that depending on the considered angular position of the rotational position measurement, a different number of waves can occur and / or the amplitude of the motion error in the order (for example, 9 waves) can be different. In particular, to fulfill the predetermined criterion, therefore, for example, the rotational position measuring location is determined at which the amplitude of the movement error with respect to a predetermined order is maximum. In the case of linear axes can be moved accordingly.

Um auf das Beispiel der Ordnung drei zurückzukommen, ist es in diesem Fall erwünscht, dass der Messfehler des Messsensors aufgrund eines Bewegungsfehlers der Bewegungsvorrichtung mit der Ordnung drei besonders gering ist, damit die dreiwellige Form des Werkstücks möglichst präzise gemessen werden kann. Auch in diesem Fall ist die Ordnung drei lediglich ein Ausführungsbeispiel. Für andere Ordnungen größer als eins kann entsprechend verfahren werden, z.B. indem ein Messort ermittelt wird, für den der sich auf die Messung auswirkende Bewegungsfehler der Bewegungsvorrichtung bezüglich der Ordnung klein ist, minimal ist oder eine vorgegebene Bedingung und damit ein Kriterium erfüllt (z.B. kleiner als ein vorgegebener Grenzwert ist). In this case, to return to the third order example, it is desirable that the measuring error of the measuring sensor due to a movement error of the third order moving device be particularly small so that the three-wave shape of the workpiece can be measured as accurately as possible. Also in this case is the Order three only one embodiment. For other orders greater than one, it is possible to proceed accordingly, for example by determining a measuring location for which the motion error of the moving device affecting the measurement is small with respect to the order, is minimal or fulfills a predetermined condition and thus a criterion (eg less than is a predetermined limit).

Entsprechend kann auch für zumindest einen Bereich von Ordnungen (zum Beispiel drei bis fünf Wellen) vorgegangen werden, der mehr als eine Ordnung enthält. Statt von der Anzahl der Wellen einer Abweichung über den Bewegungsbereich (z. B. einen Umlauf um die Drehachse der Drehvorrichtung bzw. um die Rotationssymmetrieachse des Werkstücks oder über einen vorgegebenen Bereich von Positionen entlang der Linearachse oder von Drehpositionen) kann auch von der Frequenz gesprochen werden.Accordingly, at least one range of orders (for example, three to five waves) containing more than one order may be used. Instead of the number of waves of a deviation over the range of motion (eg a rotation about the rotation axis of the rotating device or about the rotational symmetry axis of the workpiece or over a predetermined range of positions along the linear axis or rotational positions) can also be spoken of the frequency become.

Als Maß für den sich auf die Messung auswirkenden Bewegungsfehler über einen Bereich von Positionen (insbesondere einen Bereich mit allen Winkelpositionen um die Drehachse oder einen Teilbereich des möglichen Bewegungsbereichs) kann insbesondere die Amplitude des sich auf die Messung auswirkenden Bewegungsfehlers in dem Bereich (das heißt die Amplitude der Ortsfunktion oder der Zeitfunktion, s.o.) oder die Amplitude nach einer Transformation (insbesondere eine Fouriertransformation) des sich auf die Messung auswirkenden Bewegungsfehlers in den Frequenzraum (d.h. die Amplitude im Frequenzraum) verwendet werden.As a measure of the motion error affecting the measurement over a range of positions (in particular a range with all angular positions about the axis of rotation or a portion of the possible range of motion), in particular the amplitude of the motion error affecting the measurement in the range (ie Amplitude of the spatial function or the time function, see above) or the amplitude after a transformation (in particular a Fourier transformation) of the motion error affecting the measurement into the frequency domain (ie the amplitude in the frequency domain).

Basierend auf den vorhergehend beschriebenen Erkenntnissen können zum Zweck der Reduzierung der Auswirkungen (z. B. auf die Koordinatenmessung) von Fehlern einer Bewegungsvorrichtung, die eine Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils und eines relativ zu dem ersten Teil beweglichen zweiten Teils aufweist, Bewegungsfehler der Bewegungsvorrichtung, d.h. Fehler der Bewegungsvorrichtung aufgrund von Abweichungen zwischen der realen Bewegung einerseits und einer idealen Bewegung der Bewegungsvorrichtung andererseits, gemessen werden und eine günstige Position zumindest eines Messsensors ermittelt werden. Insbesondere wird ein Messort des Messsensors ermittelt, an dem sich der Bewegungsfehler geringer auswirkt, insbesondere kleiner ist als für andere mögliche Messorte, und/oder eine vorgegebene Bedingung erfüllt. Dabei kann insbesondere, wie z.B. bereits oben erwähnt wurde, eine vorgegebene Messaufgabe oder Bearbeitungsaufgabe zugrunde gelegt werden, für die der Messort günstig sein soll. Based on the above-described findings, for the purpose of reducing the effects (eg, on the coordinate measurement) of errors of a moving device comprising a measuring device for measuring a relative position and / or a relative movement of a first part and a relative to the first Part having movable second part, movement error of the movement device, ie Errors of the movement device due to deviations between the real movement on the one hand and an ideal movement of the movement device on the other hand, are measured, and a favorable position of at least one measuring sensor can be determined. In particular, a measuring location of the measuring sensor is determined at which the movement error has a smaller effect, in particular smaller than for other possible measuring locations, and / or fulfills a predetermined condition. In particular, such as e.g. has already been mentioned above, a given measurement task or processing task are based, for which the location should be favorable.

Details einer solchen Bestimmung von Bewegungsfehlern sind in der internationalen Patentanmeldung PCT/EP2013/056123 und der deutschen Patentanmeldung DE 10 2013 216 093.3 beschrieben. In der deutschen Patentanmeldung DE 10 2013 216 093.3 ist auch beschrieben, wie aus den Bewegungsfehlern eine günstige Position eines Messsensors, nämlich eines Drehpositionssensors, ermittelt werden kann. Insbesondere können als erste Schritte des hier beschriebenen Verfahrens zum Betreiben einer Messanordnung wie in den genannten Patentanmeldungen beschrieben der Bewegungsfehler bestimmt werden und die günstigen Position des Messsensors ermittelt werden. Ferner kann die hier beschriebene Messanordnung Bestandteil der in den genannten Patentanmeldungen beschriebenen Anordnungen oder Koordinatenmessgeräte sein.Details of such a determination of motion errors are in the international patent application PCT / EP2013 / 056123 and the German patent application DE 10 2013 216 093.3 described. In the German patent application DE 10 2013 216 093.3 It is also described how a favorable position of a measuring sensor, namely a rotational position sensor, can be determined from the movement errors. In particular, as first steps of the method described here for operating a measuring arrangement as described in the cited patent applications, the movement errors can be determined and the favorable position of the measuring sensor can be determined. Furthermore, the measuring arrangement described here may be part of the arrangements or coordinate measuring machines described in the cited patent applications.

Um einen Messort einstellen zu können, wird eine Messanordnung der eingangs genannten Art vorgeschlagen, die eine Basis zum Fixieren der Halterung mit dem von der Halterung gehaltenen Messsensor aufweist. Die Basis ist während des Betriebes der Messanordnung an dem zweiten Teil befestigt oder Bestandteil des zweiten Teils. Daher kann der Messsensor, der nun an der Basis fixiert ist, in Wechselwirkung mit der Maßverkörperung an dem ersten Teil die relative Position und/oder relative Bewegung der beiden Teile messen. In order to be able to set a measuring location, a measuring arrangement of the aforementioned type is proposed which has a base for fixing the holder to the measuring sensor held by the holder. The base is attached to the second part during operation of the measuring assembly or part of the second part. Therefore, the measuring sensor, which is now fixed to the base, in interaction with the measuring scale on the first part, can measure the relative position and / or relative movement of the two parts.

Die Basis erstreckt sich insbesondere entlang einer Bewegungsrichtung der von der Bewegungsvorrichtung vorgesehenen Bewegung der Teile. Erfindungsgemäß ist die Halterung wahlweise in verschiedenen Haltepositionen (nämlich Drehstellungen) entlang der Bewegungsrichtung an der Basis positionierbar. Nach Wahl der Halteposition wird die Halterung in der Halteposition an der Basis fixiert. Dies schließt nicht aus, dass die Halterung und/oder der Messsensor auch entlang einer anderen Richtung versetzt wird, zum Beispiel in axialer Richtung der Drehachse.The base extends, in particular, along a direction of movement of the movement of the parts provided by the movement device. According to the invention, the holder can optionally be positioned in different holding positions (namely rotational positions) along the direction of movement on the base. After selecting the holding position, the holder is fixed in the holding position on the base. This does not exclude that the holder and / or the measuring sensor is also displaced along another direction, for example in the axial direction of the axis of rotation.

Im Fall einer geradlinigen Bewegung entlang einer Linearachse kann sich die Basis quer zur Bewegungsrichtung erstrecken. Dementsprechend kann die Halterung in der Richtung quer zur Bewegungsrichtung in verschiedenen Haltepositionen entlang der Basis positioniert werden und insbesondere durch Magnetkräfte an der Basis gehalten werden. Vorzugsweise wird dann eine Halteposition eingestellt, in der sich rotatorische und translatorische Bewegungsfehler kompensieren. Dabei kann die Position der Maßverkörperung ebenfalls in der Richtung quer zur Bewegungsrichtung eingestellt werden, sodass der von der Halterung gehaltene Messsensor durch Zusammenwirken mit der Maßverkörperung Signale zur Bestimmung der jeweiligen Position in der Bewegungsrichtung erzeugen kann.In the case of a linear movement along a linear axis, the base may extend transversely to the direction of movement. Accordingly, the holder can be positioned in the direction transverse to the direction of movement in various holding positions along the base and in particular held by magnetic forces on the base. Preferably, a holding position is then set in which compensate for rotational and translational motion errors. In this case, the position of the material measure can also be adjusted in the direction transverse to the direction of movement, so that the measurement sensor held by the holder can generate signals for determining the respective position in the direction of movement by interacting with the material measure.

Es gibt verschiedene Möglichkeiten der Fixierung. Insbesondere ist eine Fixierung durch Erzeugung eines Unterdrucks in einem Raum zwischen der Halterung und der Basis möglich. Z.B. kann zu diesem Zweck zumindest ein Saugnapf an der Halterung vorgesehen sein oder Luft kann z.B. gemäß dem Prinzip des Aufsetzens von Schröpfgläsern erhitzt werden. Alternativ oder zusätzlich kann die Halterung mechanisch an der Basis fixiert werden, z.B. formschlüssig und/oder kraftschlüssig. In einer Ausgestaltung ist an der Basis oder der Halterung eine Nut ausgebildet, die sich entlang der Bewegungsrichtung erstreckt. Insbesondere verläuft die Nut kreisringförmig um die Drehachse der Bewegungsvorrichtung. Zumindest ein Nutenstein der Halterung oder der Basis greift in die Nut ein, sodass unter Bewegung des zumindest einen Nutensteins die Halteposition der Halterung einstellbar ist. In der dann eingestellten Halteposition kann der Nutenstein fixiert werden. Alternativ oder zusätzlich zu einer mechanischen Fixierung des Nutensteins ist auch eine andere Fixierung möglich, z.B. durch Magnetkräfte. There are different ways of fixation. In particular, a fixation by generating a negative pressure in a space between the holder and the base is possible. For example, at least one suction cup may be provided on the holder for this purpose, or air may be heated, for example, according to the principle of placing cupping glasses. Alternatively or additionally, the holder can be mechanically fixed to the base, for example, positively and / or non-positively. In one embodiment, a groove is formed on the base or the holder, which extends along the direction of movement. In particular, the groove extends annularly around the axis of rotation of the moving device. At least one sliding block of the holder or the base engages in the groove, so that the holding position of the holder can be adjusted while the at least one sliding block moves. In the holding position then set the nut can be fixed. Alternatively or in addition to a mechanical fixation of the sliding block, another fixation is possible, for example by magnetic forces.

Bevorzugtermaßen wird die Halterung durch Magnetkräfte in einer Anpressrichtung an die Basis angepresst und wird dadurch die Halterung mit dem von der Halterung gehaltenen Messsensor an der Basis fixiert. Es kann auf eine zusätzliche Fixierung (z.B. mechanische Fixierung) verzichtet werden.By preference, the holder is pressed against the base by magnetic forces in a pressing direction, thereby fixing the holder to the base with the measuring sensor held by the holder. It can be dispensed with an additional fixation (for example, mechanical fixation).

Unabhängig von der Art der Fixierung gehören zum Umfang der Erfindung auch ein Verfahren zum Betreiben der Messanordnung, ein Koordinatenmessgerät, das die Messanordnung aufweist, und eine Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks oder einer Koordinaten-Messeinrichtung in einer Anordnung zum Messen von Koordinaten des Werkstücks. Ausgestaltungen des Betriebsverfahrens, des Koordinatenmessgeräts und der Drehvorrichtung ergeben sich aus der Beschreibung von Ausgestaltungen der Messanordnung. Dabei kann die magnetische Fixierung durch eine andere Fixierung ergänzt oder ersetzt werden.Regardless of the type of fixation, the scope of the invention also includes a method for operating the measuring arrangement, a coordinate measuring machine having the measuring arrangement, and a rotating device for rotating a workpiece or a coordinate measuring device in an arrangement for measuring coordinates of the workpiece. Embodiments of the operating method, the coordinate measuring machine and the rotating device will become apparent from the description of embodiments of the measuring arrangement. The magnetic fixation can be supplemented or replaced by another fixation.

Insbesondere wird vorgeschlagen: Eine Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils und eines relativ zu dem ersten Teil um eine Drehachse drehbeweglichen zweiten Teils, wobei die Messanordnung aufweist:

  • • eine Maßverkörperung, die an dem ersten Teil ausgebildet ist oder die mit dem ersten Teil verbindbar ist,
  • • zumindest einen Messsensor, der an dem zweiten Teil derart angeordnet oder anordenbar ist und der während eines Betriebes der Messanordnung derart mit der Maßverkörperung zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors Informationen über eine Drehposition des Messsensors bezüglich der Drehachse und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors um die Drehachse enthalten und damit eine Bestimmung der relativen Position und/oder der relativen Bewegung des ersten Teils und des zweiten Teils ermöglichen,
  • • eine Halterung, die zum Halten des Messsensors mit dem Messsensor verbunden ist, oder die Teil des Messsensors ist, und
  • • eine Basis zum Fixieren der Halterung mit dem von der Halterung gehaltenen Messsensor,
wobei die Basis während des Betriebes der Messanordnung an dem zweiten Teil befestigt ist und wobei
  • • die Halterung als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist, der/das sich um die Drehachse erstreckt, welche einen Mittelpunkt des Kreisrings oder des Kreisringsegments enthält, und
  • • die Halterung wahlweise in einer von verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse an der Basis positionierbar ist, sodass die Halterung in der jeweiligen Drehstellung an der Basis fixiert wird und sodass die Drehstellung und somit eine Position, die der Messsensor während des Betriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil einnimmt, einstellbar ist.
In particular, it is proposed: A measuring arrangement for measuring a relative position and / or a relative movement of a first part and a second part rotatable relative to the first part about a rotation axis, the measuring arrangement comprising:
  • A material measure which is formed on the first part or which can be connected to the first part,
  • At least one measuring sensor which is arranged or can be arranged on the second part and which cooperates with the measuring standard during operation of the measuring arrangement such that measuring signals of the measuring sensor contain information about a rotational position of the measuring sensor relative to the rotational axis and / or information about a rotational movement of the measuring sensor to contain the axis of rotation and thus allow a determination of the relative position and / or the relative movement of the first part and the second part,
  • • a holder which is connected to the measuring sensor for holding the measuring sensor or which is part of the measuring sensor, and
  • A base for fixing the holder to the measuring sensor held by the holder,
wherein the base is attached to the second part during operation of the measuring assembly, and wherein
  • • The holder is configured as a circular ring or as a circular ring segment which extends around the axis of rotation, which includes a center of the annulus or the annulus segment, and
  • • The holder is selectively positioned in one of different rotational positions about the axis of rotation at the base, so that the holder is fixed in the respective rotational position on the base and thus the rotational position and thus a position that the measuring sensor during operation of the measuring arrangement relative to the second part occupies, is adjustable.

Insbesondere kann sich die Basis entlang einer Bewegungsrichtung der Drehbewegung erstrecken, in der sich beim Betrieb der Messanordnung die Maßverkörperung und der Messsensor relativ zueinander bewegen.In particular, the base may extend along a direction of movement of the rotational movement in which the material measure and the measuring sensor move relative to one another during operation of the measuring arrangement.

Ferner wird vorgeschlagen: Ein Verfahren zum Betreiben einer Messanordnung, die ausgestaltet ist, eine relative Position und/oder eine relative Bewegung eines ersten Teils und eines relativ zu dem ersten Teil um eine Drehachse drehbeweglichen zweiten Teils zu messen, wobei:

  • • zumindest ein Messsensor der Messanordnung, der an dem zweiten Teil angeordnet ist, derart mit einer Maßverkörperung, welche an dem ersten Teil ausgebildet ist oder welche mit dem ersten Teil verbunden ist, zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors Informationen über eine Drehposition des Messsensors bezüglich der Drehachse und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors um die Drehachse enthalten, und aus den Informationen die relative Position und/oder die relative Bewegung des ersten Teils und des zweiten Teils bestimmt wird,
wobei vor der Erzeugung der Messsignale:
  • • der Messsensor mit einer Halterung verbunden wird oder ist, oder die Halterung Teil des Messsensors ist, sodass die Halterung den Messsensor hält, wobei die Halterung als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist, der/das sich um die Drehachse erstreckt, welche einen Mittelpunkt des Kreisrings oder des Kreisringsegments enthält,
  • • die Halterung wahlweise in einer von verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse an der Basis positioniert wird, sodass die Halterung in der jeweiligen Drehstellung an der Basis fixiert wird und so dass die Drehstellung und somit eine Position, die der Messsensor während eines Messbetriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil einnimmt, eingestellt wird.
It is further proposed: A method of operating a measuring arrangement configured to measure a relative position and / or relative movement of a first part and a second part rotatable relative to the first part about a rotation axis, wherein:
  • At least one measuring sensor of the measuring arrangement, which is arranged on the second part, cooperates with a material measure, which is formed on the first part or which is connected to the first part, that measuring signals of the measuring sensor information about a rotational position of the measuring sensor with respect Axis of rotation and / or information about a rotational movement of the measuring sensor about the axis of rotation, and from the information the relative position and / or the relative movement of the first part and the second part is determined
wherein prior to the generation of the measurement signals:
  • • the measuring sensor is or is connected to a holder, or the holder is part of the measuring sensor, so that the holder holds the measuring sensor, wherein the holder is configured as a circular ring or a circular ring segment which extends around the axis of rotation, which Center of the annulus or annulus segment contains,
  • The support is selectively positioned in one of several rotational positions about the axis of rotation at the base so that the support is fixed in the respective rotational position on the base and so that the rotational position and thus a position that the measuring sensor during a measuring operation of the measuring arrangement relative to the second part is set.

Der Messsensor muss nur einmal mit der Halterung verbunden werden. Wenn die Drehstellung anders eingestellt wird, kann die Verbindung des Messsensors mit der Halterung beibehalten werden. Dies ist auch dann der Fall, wenn die Halterung in den Messsensor integriert ist. Zum Beispiel kann die Halterung in ein Gehäuse des Messsensors integriert sein, zum Beispiel als Bereich, der eine sich entlang einem Ringsegment erstreckende Nut aufweist.The measuring sensor only has to be connected to the holder once. If the rotational position is adjusted differently, the connection of the measuring sensor with the holder can be maintained. This is also the case when the holder is integrated in the measuring sensor. For example, the holder may be integrated in a housing of the measuring sensor, for example as a region having a groove extending along a ring segment.

Unter einem Kreisring und einem Kreisringsegment wird ein Gegenstand verstanden, der sich entlang einer Kreislinie bzw. einem Kreisliniensegment um den Mittelpunkt des Kreises erstreckt. Dabei muss der Gegenstand nicht zwingend symmetrisch bezüglich des Mittelpunkts sein. Bezüglich der Halterung wird aber unter einem Kreisring und einem Kreisringsegment insbesondere verstanden, dass die verschiedenen Drehstellungen der Halterung auf einer Kreislinie bzw. einem Kreisliniensegment um den Mittelpunkt des Kreises liegen.A circular ring and a circular ring segment are understood to mean an object which extends along a circular line or a circle segment around the center of the circle. The object does not necessarily have to be symmetrical with respect to the center. With regard to the holder but is understood in particular by a circular ring and a circular ring segment, that the different rotational positions of the holder lie on a circular line or a circle segment around the center of the circle.

Insbesondere kann ein Koordinatenmessgerät die Messanordnung in einer ihrer Ausgestaltungen aufweisen, wobei das Koordinatenmessgerät das erste Teil und das relativ zu dem ersten Teil bewegliche zweite Teil aufweist.In particular, a coordinate measuring machine may have the measuring arrangement in one of its configurations, wherein the coordinate measuring machine has the first part and the second part which is movable relative to the first part.

Eine Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks oder einer Koordinaten-Messeinrichtung in einer Anordnung zum Messen von Koordinaten des Werkstücks kann die Messanordnung in einer ihrer Ausgestaltungen, das erste Teil und das zweite Teil aufweisen, wobei das zweite Teil relativ zu dem ersten Teil um eine Drehachse der Drehvorrichtung drehbeweglich ist und wobei das Werkstück oder die Koordinaten-Messeinrichtung an dem ersten Teil oder dem zweiten Teil anordenbar ist. Bei der Drehvorrichtung zum Drehen eines Werkstücks handelt es sich z.B. um einen Drehtisch, der beispielsweise auf einem Messtisch (z. B. auf einer Grundplatte aus Stein) eines Koordinatenmessgeräts angeordnet sein kann. Bei der Drehvorrichtung zum Drehen einer Koordinaten-Messeinrichtung kann es sich z.B. um eine Ausführungsform eines der oben erwähnten Drehgelenke handeln. Beispielsweise kann die Drehvorrichtung an einem Arm oder einer Pinole eines Koordinatenmessgerätes angeordnet sein und z.B. die Drehung eines Messkopfes des Koordinatenmessgerätes ermöglichen.A rotating device for rotating a workpiece or a coordinate measuring device in an arrangement for measuring coordinates of the workpiece, the measuring device in one of its embodiments, the first part and the second part, wherein the second part relative to the first part about an axis of rotation of the Rotary device is rotatable and wherein the workpiece or the coordinate measuring device can be arranged on the first part or the second part. The turning device for rotating a workpiece is e.g. around a turntable, which can be arranged for example on a measuring table (eg on a base plate made of stone) of a coordinate measuring machine. The rotating device for rotating a coordinate measuring device may be e.g. to act an embodiment of one of the above-mentioned hinges. For example, the rotating device may be disposed on an arm or quill of a coordinate measuring machine, and e.g. enable the rotation of a measuring head of the coordinate measuring machine.

Insbesondere können das erste Teil und/oder das zweite Teil Bestandteil der Messanordnung sein. Alternativ kann es sich bei der Messanordnung um eine zusätzliche Messanordnung handeln, die z.B. nachträglich an einer vorhandenen Bewegungsvorrichtung (z.B. einer Vorrichtung zur Realisierung einer geradlinigen Bewegung entlang einer Linearachse oder einer Drehvorrichtung) angebracht wird.In particular, the first part and / or the second part may be part of the measuring arrangement. Alternatively, the measuring arrangement may be an additional measuring arrangement, e.g. is subsequently attached to an existing moving device (e.g., a device for realizing linear movement along a linear axis or a rotating device).

Dadurch, dass die Basis während des Betriebes der Messanordnung an dem zweiten Teil befestigt ist oder Bestandteil des zweiten Teils ist, die Halterung in der Halteposition an der Basis fixiert ist und die Halterung mit dem Messsensor verbunden ist und diesen hält, oder die Halterung Teil des Messsensors ist, ist auch der Messsensor an der Basis fixiert und mit dieser indirekt (d.h. über die Halterung) verbunden. Ein Ausführungsbeispiel für die Integration der Halterung in den Messsensor ist ein Materialbereich aus magnetischem oder magnetisierbarem Material, der direkt mit dem Messsensor verbunden ist, zum Beispiel verklebt und/oder verschraubt ist. Ein anderes Ausführungsbeispiel ist die Ausführung eines Messsensors mit gleichen Abmessungen und gleicher Konstruktion wie bei einem an sich bekannten Messsensor, wobei jedoch zumindest ein Bereich des Messsensors aus einem magnetischen oder magnetisierbaren Material besteht.Characterized in that the base is attached to the second part during the operation of the measuring assembly or is part of the second part, the holder is fixed in the holding position on the base and the holder is connected to the measuring sensor and holds this, or the holder part of Measuring sensor is also the measuring sensor is fixed to the base and connected to this indirectly (ie via the bracket). An embodiment of the integration of the holder in the measuring sensor is a material region of magnetic or magnetizable material, which is connected directly to the measuring sensor, for example glued and / or screwed. Another embodiment is the execution of a measuring sensor with the same dimensions and the same construction as in a known measuring sensor, but at least a portion of the measuring sensor consists of a magnetic or magnetizable material.

Insbesondere ist bzw. wird die Halterung derart an der Basis fixiert, dass die Halterung an eine Anlagefläche der Basis angepresst wird, wobei sich der Messsensor und die Anlagefläche auf einander gegenüberliegenden Seiten der Halterung befinden. Auf diese Weise ist der Messsensor von der Anlagefläche entfernt angeordnet und kann die Fixierung der Halterung an der Basis so ausgestaltet werden, dass die Funktion des Messsensors nicht gestört wird. Dies ist insbesondere von Vorteil, wenn wie bei einer Fixierung durch Magnetkräfte das Funktionsprinzip der Fixierung zu Störungen der Funktion des Messsensors führen kann. In particular, the holder is or is fixed to the base such that the holder is pressed against a contact surface of the base, wherein the measuring sensor and the contact surface are on opposite sides of the holder. In this way, the measuring sensor is arranged away from the contact surface and the fixing of the holder to the base can be configured such that the function of the measuring sensor is not disturbed. This is particularly advantageous if, as with a fixation by magnetic forces, the operating principle of the fixation can lead to disturbances in the function of the measuring sensor.

Um die freie Positionierbarkeit des Messsensors (z.B. eines Lesekopfes) zu ermöglichen, kann der Messsensor (z. B. ein Lesekopf) magnetisch gehalten werden. In einer einfachen Ausgestaltung ist die Basis der Messanordnung z.B. eine ringförmige Grundplatte (im Fall einer Drehvorrichtung) oder eine längliche Grundplatte (im Fall einer Linearachse). Die Grundplatte kann insbesondere eine ebene Oberfläche aufweisen, die als Anlagefläche zum Anpressen einer Halterung des Messsensors dient. Außer einer ebenen Anlagefläche kommen aber auch andere Formen von Anlageflächen in Betracht, z.B. eine im Querschnitt V-förmige Anlagefläche, wobei die Oberfläche der Halterung in diesem Fall vorzugsweise komplementär geformt ist, sodass die Halterung an den zueinander abgewinkelten Bereichen der Anlagefläche angepresst wird.In order to enable the free positioning of the measuring sensor (eg a reading head), the measuring sensor (eg a reading head) can be held magnetically. In a simple embodiment, the basis of the measuring arrangement is, for example, an annular base plate (in the case of a rotating device) or an elongate base plate (in the case of a linear axis). In particular, the base plate may have a flat surface which serves as a contact surface for pressing a holder of the measuring sensor. In addition to a flat contact surface but other forms of contact surfaces come into consideration, for example, a cross-sectional V-shaped contact surface, wherein the surface of the holder in this case is preferably formed complementarily, so that the holder is pressed against the mutually angled areas of the contact surface.

Z.B. kann die Basis aus einem magnetischen Material bestehen oder ein magnetisches Material aufweisen. Als magnetisches Material kommt z.B. Eisen oder ein magnetischer Edelstahl infrage. Im Gegensatz dazu, bildet ein magnetisierbares Material erst unter Einfluss eines Magneten (z. B. des magnetischen Materials oder eines Elektromagneten) magnetische Pole aus und werden dadurch Magnetkräfte auf das Material ausgeübt. Wie die Basis kann die Halterung ebenfalls ein magnetisches Material aufweisen oder daraus bestehen. Alternativ oder zusätzlich kann die Halterung ein magnetisierbares Material aufweisen. Wiederum alternativ kann die Basis kein magnetisches Material aufweisen, jedoch ein magnetisierbares Material, das unter dem Einfluss des Magnetfeldes eines magnetischen Materials der Halterung oder eines Elektromagneten magnetisiert wird, sodass die Halterung aufgrund entsprechender Magnetkräfte an die Basis angepresst wird.For example, For example, the base may be made of a magnetic material or comprise a magnetic material. As the magnetic material, e.g. Iron or a magnetic stainless steel in question. In contrast, a magnetizable material forms magnetic poles only under the influence of a magnet (eg, the magnetic material or an electromagnet), thereby applying magnetic forces to the material. Like the base, the holder can also comprise or consist of a magnetic material. Alternatively or additionally, the holder may comprise a magnetizable material. Again alternatively, the base may not comprise a magnetic material, but a magnetizable material which is magnetized under the influence of the magnetic field of a magnetic material of the holder or an electromagnet, so that the holder is pressed against the base due to corresponding magnetic forces.

Das magnetische oder magnetisierbare Material sowohl der Basis als auch der Halterung kann, muss aber nicht die Oberfläche der Basis bzw. der Halterung bilden, die in dem an der Basis fixierten Zustand der Halterung die Anlagefläche bildet bzw. an die Anlagefläche angepresst wird. Insbesondere kann die Oberfläche durch eine Lage aus nicht magnetischem Material gebildet werden, um die Größe der Magnetkräfte zu beschränken, welche die Halterung an die Basis anpressen. Optional kann die Lage aus nicht magnetischem Material, z.B. aus Kunststoff oder Papier, nur vorübergehend an der Anlagefläche anliegen, während die Halterung entlang der Lage in die gewünschte Halteposition verschoben wird. Dies erleichtert die Verschiebung in die gewünschte Halteposition. Nach dem Erreichen der Halteposition kann die Lage entfernt werden. Als magnetisierbares Material kann z.B. Neodym verwendet werden. Die magnetische Suszeptibilität handelsüblicher Neodym-Körper für magnetische Halterungen ist ausreichend groß, um Veränderungen der eingestellten Halteposition aufgrund von Erschütterungen und Vibrationen während des Betriebes eines Koordinatenmessgerätes zu verhindern, wenn ein entsprechendes Magnetfeld auf den Neodym-Körper einwirkt. The magnetic or magnetizable material of both the base and the holder may, but need not, form the surface of the base or holder which forms the abutment surface in the state of the holder fixed to the base or is pressed against the abutment surface. In particular, the surface may be formed by a layer of non-magnetic material to limit the size of the magnetic forces which press the holder to the base. Optionally, the layer of non-magnetic material, e.g. made of plastic or paper, abut only temporarily on the contact surface, while the holder is moved along the position in the desired holding position. This facilitates the shift to the desired stop position. After reaching the holding position, the situation can be removed. As the magnetizable material, e.g. Neodymium can be used. The magnetic susceptibility of commercial neodymium magnetic holder bodies is sufficiently large to prevent changes in the adjusted stop position due to shock and vibration during operation of a coordinate measuring machine when a corresponding magnetic field is applied to the neodymium body.

Der Messsensor kann z.B. an der Halterung festgeschraubt sein. Z.B. wird zumindest ein Körper aus magnetischem oder magnetisierbarem Material mit einem Grundkörper der Halterung verbunden, z.B. in eine Aufnahme des Grundkörpers eingeklebt. Zur Verklebung können z.B. Klebstoffe auf Kunstharzbasis verwendet werden, die im Handel erhältlich sind.The measuring sensor may e.g. be screwed to the bracket. For example, At least one body of magnetic or magnetizable material is connected to a body of the holder, e.g. glued into a receptacle of the body. For bonding, e.g. Resin-based adhesives are commercially available.

Die Anlagefläche der Basis, die auch als Anpressfläche zum Anpressen der Halterung in den verschiedenen möglichen Haltepositionen bezeichnet werden kann, erstreckt sich in bevorzugter Ausgestaltung in konstantem Abstand zu der Maßverkörperung. Dadurch kann der Messsensor in den verschiedenen Haltepositionen immer in demselben Abstand zu der Maßverkörperung gehalten werden. The contact surface of the base, which can also be referred to as a contact surface for pressing the holder in the various possible holding positions, extends in a preferred embodiment at a constant distance from the material measure. As a result, the measuring sensor in the various holding positions can always be kept at the same distance from the material measure.

Gemäß einer Ausgestaltung weist die Halterung ein erstes Material, das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer ersten magnetischen Suszeptibilität ist, und ein zweites Material, das ein Material mit einer zweiten magnetischen Suszeptibilität ist, auf. Dabei bewirkt das erste Material in Wechselwirkung mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material der Basis zumindest einen Teil der Magnetkräfte, die die Halterung in der Anpressrichtung an die Basis anpressen. Die zweite magnetische Suszeptibilität ist kleiner als die erste magnetische Suszeptibilität. Das zweite Material ist an einander gegenüberliegenden Seiten des ersten Materials angeordnet, sodass das erste Material betrachtet in einer quer zur Anpressrichtung verlaufenden Querrichtung von dem zweiten Material eingeschlossen ist. Insbesondere umläuft das zweite Material das erste Material ringförmig, so dass das erste Material betrachtet in einer quer zur Anpressrichtung verlaufenden Querschnittsfläche in allen quer zur Anpressrichtung verlaufenden Richtungen eingeschlossen ist. Alternativ zu der Ringform kann zum Beispiel das zweite Material in radialer Richtung einer Drehachse der Drehvorrichtung betrachtet außerhalb und innerhalb des ersten Materials (oder oberhalb und unterhalb des ersten Materials) angeordnet sein, wobei sich das erste Material ringförmig um die Drehachse erstreckt. Insbesondere ist die zweite magnetische Suszeptibilität um zumindest einen Faktor 10, vorzugsweise zumindest um einen Faktor 100, kleiner als die erste magnetische Suszeptibilität, d.h. ihr Verhältnis beträgt höchstens 1/10 bzw. höchstens 1/100. Die erste und zweite magnetische Suszeptibilität können sich auch noch um größere Faktoren voneinander unterscheiden. Für das zweite Material eignet sich z.B. Messing, das als nicht magnetisch gilt und daher eine magnetische Suszeptibilität von nahe Null hat (z.B. 0,03). According to one embodiment, the holder has a first material, which is a magnetic or magnetizable material having a first magnetic susceptibility, and a second material, which is a material having a second magnetic susceptibility. In this case causes the first material in interaction with a magnetic or magnetizable material of the base at least a portion of the magnetic forces, which press the holder in the pressing direction to the base. The second magnetic susceptibility is smaller than the first magnetic susceptibility. The second material is disposed on opposite sides of the first material such that when viewed in a transverse direction transverse to the pressing direction, the first material is enclosed by the second material. In particular, the second material rotates annularly around the first material, so that the first material, viewed in a cross-sectional area extending transversely to the pressing direction, is enclosed in all directions extending transversely to the pressing direction. As an alternative to the ring shape, for example, the second material may be arranged in the radial direction of a rotation axis of the rotating device outside and inside the first material (or above and below the first material), the first material extending annularly around the axis of rotation. In particular, the second magnetic susceptibility is at least a factor of 10, preferably at least a factor of 100, smaller than the first magnetic susceptibility, i. their ratio is at most 1/10 or at most 1/100. The first and second magnetic susceptibility may also differ from each other by larger factors. For the second material, e.g. Brass, which is considered non-magnetic and therefore has a near-zero magnetic susceptibility (e.g., 0.03).

Dadurch, dass das zweite Material das erste Material einschließt, werden die magnetischen Feldlinien innerhalb des ersten Materials gebündelt und in Anpressrichtung geführt, sodass ein starkes und homogenes Magnetfeld entsteht, welches die Halterung mit dem Messsensor stabil in der Halteposition hält.The fact that the second material includes the first material, the magnetic field lines are bundled within the first material and guided in the pressing direction, so that a strong and homogeneous magnetic field is formed, which holds the holder with the measuring sensor stably in the holding position.

Im Folgenden wird von einem dritten Material der Halterung gesprochen. Das dritte Material muss aber nicht zwangsläufig zusätzlich zu dem zweiten Material vorhanden sein, auch wenn dies bevorzugt wird. Vielmehr ist es auch möglich, dass eine Ausgestaltung der Halterung lediglich das erste und das dritte Material aufweist.The following is spoken by a third material of the holder. However, the third material need not necessarily be present in addition to the second material, although this is preferred. Rather, it is also possible that one Embodiment of the holder has only the first and the third material.

Gemäß einer Ausgestaltung weist die Halterung ein erstes Material, das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer ersten magnetischen Suszeptibilität ist, und ein drittes Material, das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer dritten magnetischen Suszeptibilität ist, auf. Die dritte magnetische Suszeptibilität ist größer als die erste magnetische Suszeptibilität. Wenn die Halterung durch die Magnetkräfte an die Basis angepresst ist und dadurch die Halterung an der Basis fixiert ist, befindet sich das erste Material näher an der Basis als das dritte Material und befindet sich das dritte Material zwischen dem Messsensor und dem ersten Material.According to one embodiment, the holder comprises a first material which is a magnetic or magnetizable material having a first magnetic susceptibility and a third material which is a magnetic or magnetizable material having a third magnetic susceptibility. The third magnetic susceptibility is greater than the first magnetic susceptibility. When the holder is pressed against the base by the magnetic forces and thereby the holder is fixed to the base, the first material is closer to the base than the third material and the third material is between the measuring sensor and the first material.

Durch das dritte Material wird der Messsensor von dem Magnetfeld abgeschirmt, dessen Feldlinien innerhalb des ersten Materials verlaufen. Es kann daher eine Beeinträchtigung der Funktion des Messsensors verhindert werden. The third material shields the measuring sensor from the magnetic field whose field lines run within the first material. Therefore, deterioration of the function of the measuring sensor can be prevented.

Gemäß einer Ausgestaltung weist die Messanordnung eine Abstandseinrichtung auf, die zumindest einen Abstandshalter aufweist, der einen Mindest-Abstand zwischen magnetischen oder magnetisierbaren Materialien der Basis einerseits und der Halterung andererseits gewährleistet. Die magnetischen oder magnetisierbaren Materialien bewirken zumindest einen Teil der Magnetkräfte, die die Halterung in der Anpressrichtung an die Basis anpressen, wobei eine Abmessung des Abstandshalters (insbesondere eine wirksame Länge in Richtung der Magnetkräfte, die zwischen der Basis und der Halterung wirken) zwischen der Basis und der Halterung einstellbar ist, sodass auch der Mindest-Abstand einstellbar ist. According to one embodiment, the measuring arrangement has a spacing device which has at least one spacer which ensures a minimum distance between magnetic or magnetizable materials of the base on the one hand and the holder on the other hand. The magnetic or magnetizable materials cause at least a portion of the magnetic forces that press the support in the pressing direction to the base, wherein a dimension of the spacer (in particular an effective length in the direction of the magnetic forces acting between the base and the bracket) between the base and the holder is adjustable, so that the minimum distance is adjustable.

Auf diese Weise kann die Stärke der Magnetkräfte, mit denen die Halterung an die Basis angepresst wird, verändert werden. Mit zunehmendem Abstand zwischen Basis und Halterung nehmen die Magnetkräfte ab. Bezüglich des Verfahrens ist daher folgende Ausgestaltung möglich: Die Halterung wird in der ausgewählten Halteposition vorpositioniert, während eine Abstandseinrichtung der Messanordnung in einem ersten Betriebszustand ist, in dem zumindest ein Abstandshalter der Abstandseinrichtung einen größeren Mindest-Abstand zwischen den magnetischen oder magnetisierbaren Materialien der Basis und der Halterung gewährleistet als in einem zweiten Betriebszustand der Abstandseinrichtung. Nach der Vorpositionierung der Halterung in der ausgewählten Halteposition wird die Abstandseinrichtung durch Einstellen einer Abmessung des zumindest einen Abstandshalters zwischen der Basis und der Halterung in den zweiten Betriebszustand gebracht, in dem die Halterung durch stärkere (d.h. größere) Magnetkräfte der magnetischen oder magnetisierbaren Materialien der Basis und der Halterung in der Halteposition gehalten wird als in dem ersten Betriebszustand.In this way, the strength of the magnetic forces with which the holder is pressed against the base can be changed. As the distance between the base and the bracket increases, the magnetic forces decrease. The following configuration is therefore possible with respect to the method: The holder is prepositioned in the selected holding position, while a spacing device of the measuring arrangement is in a first operating state in which at least one spacer of the spacing device has a larger minimum distance between the magnetic or magnetizable materials of the base and the holder ensures than in a second operating state of the spacer device. After pre-positioning the fixture in the selected holding position, the spacing means is brought into the second operating state by adjusting a dimension of the at least one spacer between the base and the fixture in which the fixture is supported by stronger (ie larger) magnetic forces of the magnetic or magnetizable materials of the base and the holder is held in the holding position as in the first operating state.

Da sich zumindest ein Teil des Abstandshalters zwischen der Basis und der Halterung befindet und da die Abmessung des Abstandshalters oder des Teils des Abstandshalters zwischen der Basis und der Halterung einstellbar ist, kann die Stärke der Magnetkräfte eingestellt werden. Während der Vorpositionierung ist ein größerer Abstand und sind daher schwächere Magnetkräfte eingestellt als in dem zweiten Betriebszustand, in dem die Halterung dauerhaft für den Messbetrieb der Messanordnung an der Basis fixiert ist. Dies schließt nicht aus, dass z.B. durch Vergrößerung des Abstandes zwischen Basis und Halterung wieder der erste Betriebszustand oder ein anderer Betriebszustand mit vergrößertem Abstand eingestellt wird und die Halterung dann wieder in eine andere ausgewählte Halteposition gebracht wird.Since at least a portion of the spacer is located between the base and the bracket, and because the dimension of the spacer or portion of the spacer between the base and bracket is adjustable, the strength of the magnetic forces can be adjusted. During the pre-positioning is a greater distance and therefore weaker magnetic forces are set than in the second operating state in which the holder is permanently fixed for the measuring operation of the measuring arrangement on the base. This does not exclude that e.g. By increasing the distance between the base and the holder, the first operating state or another operating state is set at an increased distance, and the holder is then returned to another selected holding position.

Z.B. kann die Abstandseinrichtung eine Mehrzahl von Abdrückschrauben aufweisen, die parallel zur Anpressrichtung in Richtung der Basis herausgeschraubt und in der Gegenrichtung wieder in die Halterung hineingeschraubt werden können. In diesem Fall handelt es sich bei dem Abstandshalter um die Schraube, die optional mit einem weiteren Teil des Abstandshalters verbunden sein kann. Z.B. können sich drei solcher Schrauben an den Ecken eines gedachten, vorzugsweise gleichseitigen Dreiecks an der der Basis zugewandten Oberfläche der Halterung befinden. Durch drei Schrauben liegen die freien Enden der so realisierten drei Abstandshalter gleichzeitig an der Oberfläche der Basis an, sodass insbesondere anders als bei lediglich zwei Schrauben oder mehr als drei Schrauben keine Verkippung der Halterung um den Kontaktpunkt eines der Abstandshalter an der Basis stattfinden kann. Insbesondere kann jeder der Schrauben ein Gewinde an der Halterung oder in der Halterung zugeordnet sein. For example, For example, the spacing device can have a plurality of forcing screws, which can be unscrewed in the direction of the base parallel to the pressing direction and screwed back into the holder in the opposite direction. In this case, the spacer is the screw, which can optionally be connected to another part of the spacer. For example, For example, three such screws can be located at the corners of an imaginary, preferably equilateral, triangle on the base-facing surface of the holder. By three screws, the free ends of the thus realized three spacers are simultaneously on the surface of the base, so that in particular unlike only two screws or more than three screws no tilting of the holder can take place around the point of contact of one of the spacers on the base. In particular, each of the screws may be associated with a thread on the holder or in the holder.

Die Abstandseinrichtung, insbesondere die Abdrückschrauben, vereinfachen auch die Demontage der Halterung von der Basis. Dazu wird zunächst ein größerer Abstand der magnetischen oder magnetisierbaren Materialien der Halterung von der Basis eingestellt und dann in dem so erreichten Zustand, in dem schwächere Magnetkräfte als zuvor wirken, die Halterung mit dem Messsensor von der Basis entfernt.The spacer means, in particular the jacking screws, also simplify the disassembly of the holder from the base. For this purpose, initially a greater distance of the magnetic or magnetizable materials of the holder is adjusted from the base and then removed in the thus achieved state in which weaker magnetic forces than before, the holder with the measuring sensor from the base.

Es wurde bereits ein Beispiel dafür erwähnt, dass die Abstandseinrichtung drei Abstandshalter aufweisen kann, die an den Ecken eines gedachten Dreiecks den Mindest-Abstand zwischen der Basis und der Halterung gewährleisten. Es wird nun bevorzugt, dass der durch den jeweiligen Abstandshalter definierte Mindest-Abstand individuell, das heißt unabhängig von den anderen Abstandshaltern eingestellt werden kann. Dies ermöglicht auch eine Einstellung der Ausrichtung der Halterung und damit des Messsensors relativ zur Basis. Eine Anzahl von drei Abstandshaltern hat aber auch den Vorteil, dass die Halterung eine eindeutige Position und Ausrichtung relativ zu der Basis hat. Dies ist zum Beispiel bei vier Abstandshaltern an den Ecken eines gedachten Vierecks nicht der Fall.An example has already been mentioned that the spacer means may comprise three spacers which ensure at the corners of an imaginary triangle the minimum distance between the base and the holder. It is now preferred that the defined by the respective spacer minimum distance individually, that is can be adjusted independently of the other spacers. This also allows adjustment of the orientation of the holder and thus of the measuring sensor relative to the base. However, a number of three spacers also have the advantage that the holder has a unique position and orientation relative to the base. This is not the case, for example, with four spacers at the corners of an imaginary quadrilateral.

Außer der Möglichkeit zur Einstellung einer Halteposition für einen Messsensor hat die Erfindung auch den Vorteil, dass an der Basis vorübergehend zusätzliche Messsensoren (z.B. Leseköpfe) montiert werden können. Solche zusätzlichen Messsensoren werden z.B. für eine Kalibrierung der Bewegungsvorrichtung und/oder der Messanordnung verwendet. Die Kalibrierung kann z.B. im Rahmen der Herstellung der Bewegungsvorrichtung und/oder der Messanordnung oder nach Auslieferung beim Anwender vorgenommen werden. Z. B. werden zur Aufnahme der für die Kalibrierung und/oder aufgrund der Kalibrierung für die spätere Korrektur während des Betriebes benötigten Daten fünf Messsensoren an vorgegebenen Positionen relativ zueinander entlang der Bewegungsrichtung angeordnet, insbesondere in vorgegebenen Winkelabständen zueinander um die Drehachse. Die nur vorübergehend an der Basis angeordneten Messsensoren werden nach der Kalibrierung und/oder der Datenaufnahme für die Kalibrierung wieder entfernt. Ein entsprechendes Verfahren zur Kalibrierung wird z.B. in EP 192 36 70 A1 beschrieben. Es gibt auch Kalibrierverfahren, bei denen eine andere Zahl von Messsensoren an vorgegebenen Positionen relativ zueinander und/oder in beliebigen, nicht vorgegebenen Positionen relativ zueinander verwendet wird.In addition to the possibility of setting a holding position for a measuring sensor, the invention also has the advantage that additional measuring sensors (eg reading heads) can be temporarily mounted on the base. Such additional measuring sensors are used eg for a calibration of the movement device and / or the measuring arrangement. The calibration can be carried out, for example, within the framework of the production of the movement device and / or the measuring arrangement or after delivery to the user. For example, five measuring sensors are arranged at predetermined positions relative to one another along the direction of movement, in particular at predetermined angular distances from one another about the axis of rotation, for recording the data required for the calibration and / or due to the calibration for the later correction during operation. The measurement sensors, which are only temporarily located at the base, are removed after the calibration and / or the data acquisition for the calibration. A corresponding procedure for the calibration is eg in EP 192 36 70 A1 described. There are also calibration methods in which a different number of measuring sensors are used at predetermined positions relative to one another and / or in any, non-predefined positions relative to one another.

Vorzugsweise wird zumindest einer der lediglich vorübergehend an der Basis montierten Messsensoren durch Magnetkräfte gehalten. Insbesondere kann daher zumindest eine zusätzliche Halterung zum Halten eines zweiten Messsensors vorgesehen sein, wobei die zusätzliche Halterung (auch als zweite Halterung zu bezeichnende Halterung) eine beliebige Kombination der Merkmale aufweisen kann, die für die erste Halterung offenbart sind.Preferably, at least one of the measuring sensors mounted only temporarily on the base is held by magnetic forces. In particular, therefore, at least one additional holder may be provided for holding a second measuring sensor, wherein the additional holder (also as second holder to be designated holder) may have any combination of the features that are disclosed for the first holder.

Allgemein formuliert kann daher eine Mehrzahl separater Halterungen zum Halten jeweils zumindest eines Messsensors vorgesehen sein, wobei jede Halterung ausgestaltet ist, durch Magnetkräfte oder auf andere Weise an der Basis fixiert zu werden.Generally speaking, therefore, a plurality of separate holders may be provided for holding at least one measuring sensor, wherein each holder is configured to be fixed to the base by magnetic forces or otherwise.

Bevorzugt, wie im Folgenden noch näher beschrieben wird, ist eine Halterung oder eine einzige Halterung ausgestaltet, eine Mehrzahl von Messsensoren zu halten.Preferably, as will be described in more detail below, a holder or a single holder is designed to hold a plurality of measuring sensors.

Bei einer Mehrzahl von Messsensoren müssen nicht alle Messsensoren über die gemeinsame Halterung (insbesondere durch Magnetkräfte zwischen der Halterung und der Basis) an der Basis gehalten werden. Vielmehr kann zumindest einer der Messsensoren auf andere Weise, z.B. durch Festschrauben, direkt an der Basis oder an einem anderen Bestandteil der Messanordnung fixiert werden. In the case of a plurality of measuring sensors, not all the measuring sensors need to be held on the base via the common holder (in particular by magnetic forces between the holder and the base). Rather, at least one of the measurement sensors may be otherwise provided, e.g. be fixed by screwing, directly to the base or to another component of the measuring device.

Insbesondere kann die Halterung Halteelemente aufweisen. Durch die Halteelemente ist/wird in zumindest zwei durch die Halteelemente der Halterung definierten (insbesondere vorgegebenen) Positionen jeweils ein Messsensor zur Gewinnung der Informationen über die Drehposition des Messsensors und/oder die Drehbewegung des Messsensors gehalten. Wie zumindest zwei definierten Positionen (in jedem Zustand, in dem die Halterung an der Basis fixiert ist) sind in einer Richtung entlang der Maßverkörperung (und damit während des Messbetriebes entlang der Bewegungsrichtung der zwei relativ zueinander beweglichen Teile) voneinander beabstandet. Insbesondere gilt nicht nur für diese Ausgestaltung, dass die Richtung entlang der Maßverkörperung auch eine Richtung entlang der Bewegungsrichtung der relativ zueinander beweglichen Teile ist. Die Halterung für zumindest zwei Messsensoren hat den Vorteil, dass zwar der Abstand der Messsensoren aufgrund der Gestaltung der Halterung fest vorgegeben sein kann und/oder sich durch die an der Halterung montierten Messsensoren ergibt, die Positionierung der von der Halterung gehaltenen Messsensoren bezüglich der Basis aber einstellbar und/oder wählbar ist.In particular, the holder may have holding elements. By the holding elements in each case at least two defined by the holding elements of the holder (in particular predetermined) positions a measuring sensor for obtaining the information about the rotational position of the measuring sensor and / or the rotational movement of the measuring sensor is held. Like at least two defined positions (in any state in which the holder is fixed to the base) are spaced apart in one direction along the measuring scale (and thus during the measuring operation along the direction of movement of the two relatively movable parts). In particular, not only applies to this embodiment, that the direction along the material measure is also a direction along the direction of movement of the relatively movable parts. The holder for at least two measuring sensors has the advantage that, although the distance between the measuring sensors can be fixed due to the design of the holder and / or results from the measuring sensors mounted on the holder, the positioning of the measuring sensors held by the holder relative to the base is adjustable and / or selectable.

Alternativ oder zusätzlich kann zumindest ein Messsensor nicht in einer definierten, fest vorgegebenen Position an der Halterung angebracht sein bzw. aufgrund von entsprechenden Halteelementen in der fest vorgegebenen Position anzubringen sein. Mit einer zusätzlichen Halterung, die diesen Messsensor hält, kann die Position des Messsensors relativ zu der Basis eingestellt werden, zum Beispiel durch Verschiebung entlang der Richtung, in der sich die Maßverkörperung erstreckt. Dies ermöglicht es, die Position dieses Messsensors relativ zu zumindest einem weiteren Messsensor, der von der ersten Halterung gehalten wird, besonders genau einzustellen, zum Beispiel auf einen Winkelabstand von 180°.Alternatively or additionally, at least one measuring sensor can not be mounted in a defined, fixed predetermined position on the holder or be mounted in the fixed position due to corresponding holding elements. With an additional support holding this measuring sensor, the position of the measuring sensor relative to the base can be adjusted, for example by displacement along the direction in which the measuring scale extends. This makes it possible to adjust the position of this measuring sensor particularly accurately relative to at least one further measuring sensor which is held by the first holder, for example at an angular distance of 180 °.

Bei den Halteelementen kann es sich zum Beispiel um Gewindebohrungen und entsprechende Befestigungsschrauben zum Befestigen des jeweiligen Messsensors handeln. Es sind auch andere Ausgestaltungen möglich, in denen die Halterung den jeweiligen Messsensor mechanisch (zum Beispiel kraftschlüssig und/oder formschlüssig) hält. Zum Beispiel können die Halteelemente als Saugnäpfe oder Klettverschlüsse ausgestaltet sein oder ein Gehäuse des Messsensors kann in die Halterung integriert sein. Allgemeiner formuliert muss die Halterung nicht mit dem Messsensor verbunden sein, sondern ist zum Beispiel in den Messsensor integriert. In all diesen Fällen definiert bereits das Halteelement oder die Mehrzahl von Halteelementen die vorgegebene Position, in der der Messsensor von der Halterung gehalten werden kann. Alternativ oder zusätzlich kann ein Messsensor z. B. mit Klebstoff als Halteelement an die Halterung angeklebt sein. In diesem Fall ist die Position auch durch den bereits an der Halterung montierten Messsensor definiert. Es ist auch eine Kombination eines mechanischen Halteelements und Klebstoff möglich. Zum Beispiel kann eine Aussparung an der Oberfläche der Halterung einen Aufnahmeraum für einen Messsensor darstellen, der aber in die Aussparung eingeklebt wird.The retaining elements may, for example, be threaded bores and corresponding fastening screws for fastening the respective measuring sensor. Other configurations are also possible in which the holder holds the respective measuring sensor mechanically (for example, in a force-locking and / or form-locking manner). For example, the holding elements may be configured as suction cups or hook-and-loop fasteners or a housing of the measuring sensor may be in the holder be integrated. More generally, the holder does not have to be connected to the measuring sensor, but is integrated into the measuring sensor, for example. In all these cases already defines the holding element or the plurality of holding elements, the predetermined position in which the measuring sensor can be held by the holder. Alternatively or additionally, a measuring sensor z. B. be glued to the bracket with adhesive as a holding element. In this case, the position is also defined by the measuring sensor already mounted on the holder. It is also a combination of a mechanical holding element and adhesive possible. For example, a recess on the surface of the holder may constitute a receiving space for a measuring sensor, but which is glued into the recess.

In besonderer Ausgestaltung erstreckt sich die Maßverkörperung zum Messen einer relativen Drehposition und/oder einer relativen Drehbewegung über einen Verlauf eines Kreises oder eines Kreissegmentes und ist die Basis als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet.In a particular embodiment, the material measure for measuring a relative rotational position and / or a relative rotational movement extends over a course of a circle or a circular segment and the base is designed as a circular ring or as a circular ring segment.

Insbesondere können aufgrund der ringförmigen Gestaltung der Halterung und optional auch der Basis Messsensoren in einem Winkelabstand von 180°, d.h. bezüglich der Drehachse einander gegenüberliegend, von der Halterung gehalten werden, wobei jedoch die Drehstellung bezüglich des zweiten Teils eingestellt werden kann. Die Einstellung erfolgt z.B. durch Drehung der Halterung um die Drehachse der Drehbewegung relativ zu der Basis. Dies ist selbstverständlich auch dann möglich, wenn die zwei Positionen, in denen die zwei Messsensoren von der Halterung gehalten werden oder zu halten sind, nicht einen Winkelabstand von 180° haben. Wenn aber ein solcher Winkelabstand von 180° vorhanden ist, lassen sich mit den so positionierten Messsensoren Messungen der relativen Drehposition des ersten und zweiten Teils durchführen, wobei systematische Messfehler, die sich an den bezüglich der Drehachse einander gegenüberliegenden Positionen der Messsensoren entgegengesetzt auswirken, durch bekannte Verfahren der Auswertung (insbesondere durch Bildung des arithmetischen Mittelwerts der Messsignale der beiden Messsensoren) eliminiert werden können. Z.B. lassen sich auf diese Weise Messfehler eliminieren, die dadurch entstehen, dass die Maßverkörperung exzentrisch bezüglich der Drehachse der Drehbewegung montiert ist.In particular, due to the annular configuration of the support and optionally also the base, measurement sensors may be angularly spaced apart by 180 °, i. with respect to the axis of rotation opposite one another, are held by the holder, however, the rotational position with respect to the second part can be adjusted. The adjustment is made e.g. by rotation of the holder about the axis of rotation of the rotational movement relative to the base. Of course, this is also possible if the two positions in which the two measuring sensors are held by the holder or to be held, do not have an angular distance of 180 °. If, however, such an angular distance of 180 ° is present, measurements of the relative rotational position of the first and second part can be carried out with the measuring sensors positioned in this way, whereby systematic measurement errors, which are opposite to the positions of the measuring sensors opposite to the rotational axis, are known Method of evaluation (in particular by forming the arithmetic mean of the measuring signals of the two measuring sensors) can be eliminated. For example, can be eliminated in this way measurement errors that arise because the measuring scale is mounted eccentrically with respect to the axis of rotation of the rotary motion.

Insbesondere weist die Messanordnung eine Führung auf, durch die eine mögliche Relativbewegung (insbesondere eine Drehbewegung um die Drehachse der Drehvorrichtung) der Halterung und der Basis geführt wird, wobei durch Ausführung der Relativbewegung die Halterung in die verschiedenen Haltepositionen bringbar ist bzw. gebracht wird. Dadurch wird die Einstellung der Position, die der Messsensor während eines Messbetriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil einnimmt, erleichtert.In particular, the measuring arrangement has a guide, through which a possible relative movement (in particular a rotational movement about the rotational axis of the rotating device) of the holder and the base is guided, wherein by carrying out the relative movement, the holder can be brought or brought into the various holding positions. As a result, the adjustment of the position which the measuring sensor assumes during a measuring operation of the measuring arrangement relative to the second part is facilitated.

Vorzugsweise wird die Führung durch eine kreisringförmige Nut in der Halterung oder in der Basis gebildet, in die ein vorspringender Bereich der Basis oder der Halterung eingreift, d.h. das entsprechende andere Bauteil (also die Halterung oder die Basis) greift in die Nut ein. Die Nut ist ringförmig bezüglich der Drehachse der Drehbewegung ausgestaltet. Unter ringförmig wird auch die Form eines Ringsegments verstanden.Preferably, the guide is formed by an annular groove in the bracket or in the base into which a protruding portion of the base or bracket engages, i. the corresponding other component (ie the holder or the base) engages in the groove. The groove is configured annular with respect to the axis of rotation of the rotary movement. Under ring is also understood the shape of a ring segment.

Vorzugsweise wird die ringförmige Halterung durch die erwähnten Magnetkräfte an der ringförmigen Basis gehalten. Insbesondere im Fall der Nut, aber auch in anderen Fällen kann die ringförmige Halterung alternativ oder zusätzlich zu Magnetkräften auf andere Weise an der Basis fixiert werden, sodass die Halteposition des zumindest einen von der Halterung gehaltenen Messsensors während des Betriebes der Messanordnung stabil bleibt.Preferably, the annular support is held by the mentioned magnetic forces on the annular base. In particular, in the case of the groove, but also in other cases, the annular holder can be fixed to the base alternatively or in addition to magnetic forces in another way, so that the holding position of the at least one held by the holder measuring sensor remains stable during operation of the measuring arrangement.

Z.B. im Fall der oben bereits erwähnten Nutensteine (von denen z.B. drei Stück vorhanden sein können, die vorzugsweise gleichmäßig über den Umlauf um die Drehachse verteilt sind) kann die Fixierung der Halterung an der Basis dadurch vorgenommen werden, dass die Nutensteine in der Nut fixiert werden (z.B. durch Klemmwirkung, Magnetkräfte oder durch Festschrauben). For example, in the case of the above-mentioned sliding blocks (of which, for example, three pieces may be present, which are preferably distributed uniformly over the circulation around the axis of rotation), the fixing of the holder to the base can be carried out by fixing the sliding blocks in the groove ( eg by clamping action, magnetic forces or by tightening).

Die Ausgestaltung der Halterung und der Basis als Ring hat insbesondere im Fall der Nut den Vorteil, dass der zumindest eine von der Halterung gehaltene Messsensor auf besonders einfache Weise in die gewünschte Halteposition gebracht werden kann. The configuration of the holder and the base as a ring has the advantage, in particular in the case of the groove, that the at least one measuring sensor held by the holder can be brought into the desired holding position in a particularly simple manner.

Bei einer Variante ist lediglich die Halterung ringförmig ausgestaltet. In diesem Fall ist die Basis also nicht ringförmig. Andere der in dieser Beschreibung und den Figuren offenbarten Merkmale der Basis können aber vorhanden sein. Z.B. kann die Basis das erwähnte magnetische oder magnetisierbare Material aufweisen, um die ringförmige Halterung durch Magnetkräfte an der Basis zu halten. Alternativ oder zusätzlich kann die Basis z.B. die erwähnten Nutensteine aufweisen, die in diesem Fall in der ringförmigen Nut der ringförmigen Halterung geführt sind, sodass die ringförmige Halterung um die Drehachse der Drehbewegung gedreht werden kann, bis die gewünschte Halteposition des zumindest einen von der Halterung gehaltenen Messsensors erreicht ist. Es ist nicht nur in diesem Fall auch möglich, die Halterung zunächst in die gewünschte Position zu bringen und dann den zumindest einen Messsensor an der Halterung zu befestigen. Z.B. aufgrund der Gestaltung der Halterung ist auch schon vor der Befestigung des Messsensors erkennbar, an welcher Position und/oder mit welcher Ausrichtung der Messsensor an der Halterung befestigt sein wird. In one variant, only the holder is designed annular. In this case, the base is not ring-shaped. However, other features of the base disclosed in this specification and figures may be present. For example, the base may include the mentioned magnetic or magnetizable material to retain the annular support by magnetic forces on the base. Alternatively or additionally, the base may, for example, comprise the mentioned sliding blocks, which in this case are guided in the annular groove of the annular holder, so that the annular holder can be rotated about the axis of rotation of the rotary movement until the desired holding position of the at least one held by the holder Measuring sensor is reached. It is not only in this case also possible to bring the holder first in the desired position and then to attach the at least one measuring sensor to the holder. For example, due to the design of the holder can be seen even before the attachment of the measuring sensor to which Position and / or with which orientation the measuring sensor will be attached to the holder.

Wie oben beschrieben ermöglicht die Basis eine wahlweise Fixierung der Halterung in verschiedenen Haltepositionen, insbesondere in Haltepositionen innerhalb eines kontinuierlichen Bereichs entlang der Bewegungsrichtung bzw. entlang der Maßverkörperung. In der Regel weisen Messsensoren eine (z. B. elektrische oder optische) Anschlussleitung auf, über die insbesondere die erzeugten Messsignale übertragen werden. Alternativ oder zusätzlich kann der jeweilige Messsensor über eine elektrische Anschlussleitung mit Energie für seinen Betrieb versorgt werden. Die Anschlussleitung kann mehrere Adern aufweisen, die z. B. elektrisch gegeneinander isoliert sind. Da die Halteposition des Messsensors nicht fest vorgegeben ist, kann der Verlauf der Anschlussleitung von dem Messsensor zu dem entgegengesetzten Ende der Anschlussleitung variieren, je nachdem, welche Halteposition gewählt wird. Die Anschlussleitung, die insbesondere ausreichend lang gewählt ist, damit der Messsensor in allen möglichen Haltepositionen an der Basis fixiert werden kann, stört möglicherweise den Betrieb der Messanordnung oder sogar den Betrieb der Bewegungsvorrichtung, wenn der Verlauf von Leitungsabschnitte nicht festgelegt ist. Es wird daher Folgendes vorgeschlagen: Eine Anschlussleitung des Messsensors

  • – ist mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material verbunden und/oder
  • – weist ein magnetisches oder magnetisierbares Material auf und/oder
  • – ist mit einem Leitungshalter verbunden, der ein magnetisches oder magnetisierbares Material aufweist,
wobei ein Abschnitt der Anschlussleitung durch Magnetkräfte des magnetischen oder magnetisierbaren Materials an der Halterung und/oder an der Basis fixiert ist/wird.As described above, the base allows an optional fixation of the holder in different holding positions, in particular in holding positions within a continuous area along the direction of movement or along the measuring scale. As a rule, measuring sensors have a connecting line (eg electrical or optical) via which, in particular, the generated measuring signals are transmitted. Alternatively or additionally, the respective measuring sensor can be supplied with energy for its operation via an electrical connecting line. The connecting cable can have several wires, the z. B. are electrically isolated from each other. Since the holding position of the measuring sensor is not fixed, the course of the connecting line from the measuring sensor to the opposite end of the connecting line can vary, depending on which holding position is selected. The connecting line, which in particular is selected to be sufficiently long so that the measuring sensor can be fixed to the base in all possible holding positions, possibly interferes with the operation of the measuring arrangement or even the operation of the moving device if the course of line sections is not fixed. Therefore, the following is proposed: A connecting lead of the measuring sensor
  • - Is connected to a magnetic or magnetizable material and / or
  • - Has a magnetic or magnetizable material and / or
  • Is connected to a conductor holder comprising a magnetic or magnetizable material,
wherein a portion of the lead is fixed to the support and / or the base by magnetic forces of the magnetic or magnetizable material.

Dem Vorschlag liegt der Gedanke zugrunde, die magnetischen Eigenschaften der Halterung oder der Basis, insbesondere der ringförmigen Halterung oder Basis, auch für die Befestigung eines Abschnitts der Anschlussleitung zu nutzen. Dadurch wird der Abschnitt fixiert und befindet sich an einer gewünschten Position, die so gewählt werden kann, dass sie den Betrieb nicht stört. Vorzugsweise ist die Basis magnetisch, z.B. ferromagnetisch.The proposal is based on the idea to use the magnetic properties of the holder or the base, in particular the annular support or base, for the attachment of a portion of the connecting cable. As a result, the section is fixed and located at a desired position, which can be chosen so that it does not interfere with the operation. Preferably, the base is magnetic, e.g. ferromagnetic.

Es werden nun mehrere Ausgestaltungen der Befestigung eines Abschnitts oder mehrerer Abschnitte der Anschlussleitung an der Basis beschrieben, wobei die Ausgestaltungen auch beliebig miteinander kombinierbar sind. Gemäß einer ersten Ausgestaltung ist die Anschlussleitung mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material verbunden. Z.B. kann die Anschlussleitung mit einem zusätzlichen Mantel aus magnetischem oder magnetisierbarem Material versehen werden. Hierzu weist der Mantel, der vorzugsweise aus elastischem magnetischem oder magnetisierbarem Material besteht, einen in Längsrichtung verlaufenden Schlitz oder Spalt auf, durch den hindurch zumindest der Abschnitt der Anschlussleitung in das Innere des Mantels eingebracht werden kann. Im Fall eines elastischen Materials wird der Abschnitt vorzugsweise allein aufgrund der elastischen Kräfte des Mantelmaterials im Inneren des Mantels gehalten. Bei einer Variante besteht nicht der gesamte Mantel aus dem magnetischen oder magnetisierbaren Material, sondern ist das magnetische oder magnetisierbare Material z.B. an einer Seite des Mantels an diesem befestigt. Der Mantel ist in jeder seiner Ausgestaltungen auch ein Ausführungsbeispiel für einen mit dem Abschnitt der Anschlussleitung verbindbaren Leitungshalter. Es muss aber nicht ein Leitungshalter vorgesehen sein, der ein magnetisches oder magnetisierbares Material aufweist. Vielmehr ist gemäß der ersten Ausgestaltung lediglich gefordert, dass die Anschlussleitung mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material verbunden ist. Daher könnte z.B. ein magnetisches Material an der Außenoberfläche der Anschlussleitung befestigt werden (z.B. angeklebt werden), ohne dass das angeklebte magnetische oder magnetisierbare Material die Anschlussleitung in der Art eines Leitungshalters umfasst. Leitungshalter werden auch als Clip bezeichnet. Ein anderes Beispiel für einen Leitungshalter ist ein Clip (oder eine Mehrzahl von Clips), wobei an dem Clip ein Körper aus magnetischem oder magnetisierbarem Material befestigt ist. Z.B. kann das magnetische oder magnetisierbare Material in einem Gehäuse angeordnet sein, welches einen Schlitz aufweist, durch den der Clip geführt ist. Several embodiments of the attachment of a section or a plurality of sections of the connection line to the base will now be described, wherein the embodiments can also be combined with one another as desired. According to a first embodiment, the connecting line is connected to a magnetic or magnetizable material. For example, The connecting cable can be provided with an additional sheath of magnetic or magnetizable material. For this purpose, the jacket, which preferably consists of elastic magnetic or magnetizable material, has a longitudinally extending slot or gap, through which at least the section of the connecting line can be introduced into the interior of the jacket. In the case of an elastic material, the portion is preferably held inside the shell solely due to the elastic forces of the jacket material. In one variant, not all of the jacket is made of the magnetic or magnetizable material, but the magnetic or magnetizable material is e.g. attached to one side of the jacket on this. The jacket is in each of its embodiments, an embodiment of a connectable to the portion of the connecting line conductor holder. However, it does not have to be provided a line holder having a magnetic or magnetizable material. Rather, according to the first embodiment, it is only required that the connection line is connected to a magnetic or magnetizable material. Therefore, e.g. a magnetic material may be attached (e.g., adhered) to the outer surface of the lead without the adhered magnetic or magnetizable material comprising the lead in the manner of a lead holder. Line holders are also referred to as clips. Another example of a conductor holder is a clip (or a plurality of clips), to which clip a body of magnetic or magnetizable material is attached. For example, For example, the magnetic or magnetizable material can be arranged in a housing which has a slot through which the clip is guided.

Gemäß einer weiteren Ausgestaltung weist die Anschlussleitung bereits selbst ein magnetisches oder magnetisierbares Material auf. Z.B. kann der Mantel, der mehrere Adern (mit gegebenenfalls individuellen isolierenden Ader-Ummantelungen) umschließt und insbesondere elektrisch gegen die Umgebung isoliert, aus magnetisierbarem Material bestehen. According to a further embodiment, the connection line itself already has a magnetic or magnetizable material. For example, For example, the sheath, which encloses several cores (with possibly individual insulating core sheaths) and in particular electrically isolated from the environment, may consist of magnetizable material.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nun unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeichnung beschrieben. Die einzelnen Figuren der Zeichnung zeigen:Embodiments of the invention will now be described with reference to the accompanying drawings. The individual figures of the drawing show:

1 ein Koordinatenmessgerät in Portalbauweise mit einem drehbeweglichen Tastkopf und mit einem Drehtisch zum Drehen von Werkstücken, wobei andere Teile des Koordinatenmessgeräts in geradliniger Richtung relativ zueinander beweglich sind, 1 a gantry-type coordinate measuring machine having a rotary probe and a turntable for rotating workpieces, other parts of the coordinate measuring machine being movable in a straight line relative to each other,

2 eine Draufsicht auf eine Messanordnung mit einem ringförmigen Inkrementalmaßstab und einem Messsensor, 2 a top view of a measuring arrangement with an annular incremental scale and a measuring sensor,

3 einen Längsschnitt durch eine Drehvorrichtung, insbesondere den Drehtisch aus 1, 3 a longitudinal section through a rotating device, in particular the turntable 1 .

4 schematisch einen Längsschnitt durch eine Messanordnung, bei der der Messsensor auf eine an einem Außenumfang eines drehbeweglichen Teils angeordnete Maßverkörperung gerichtet ist, 4 FIG. 2 schematically a longitudinal section through a measuring arrangement in which the measuring sensor is directed to a measuring graduation arranged on an outer circumference of a rotatable part, FIG.

5 schematisch einen Längsschnitt durch eine Messanordnung, bei der ein Messsensor in einer axialen Richtung quer zu einer Drehachse auf eine Maßverkörperung eines um die Drehachse drehbeweglichen Teils gerichtet ist, 5 3 shows a schematic longitudinal section through a measuring arrangement in which a measuring sensor is directed in an axial direction transversely to a rotation axis onto a measuring graduation of a part which is rotatable about the rotation axis;

6 eine Draufsicht auf eine Halterung zum Halten eines Messsensors, wobei die Halterung drei Gewindebohrungen aufweist, die es in Kombination mit jeweils einer Schraube ermöglichen, die Halterung von einer Basis abzudrücken, 6 a top view of a holder for holding a measuring sensor, wherein the holder has three threaded holes, which allow in combination with a respective screw to press the holder from a base,

7 einen Längsschnitt durch eine Anordnung mit der Halterung aus 6, wobei in dem Längsschnitt eine der Abdrückschrauben erkennbar ist, mit denen die Halterung von einer Basis abgedrückt und damit in einem entsprechenden Mindest-Abstand gehalten wird, 7 a longitudinal section through an arrangement with the bracket 6 wherein in the longitudinal section one of the jacking screws can be seen, with which the holder is pressed from a base and thus kept in a corresponding minimum distance,

8 schematisch einen Längsschnitt durch eine Anordnung mit einer ringförmigen Basis und einer ringförmigen Halterung, wobei die Halterung eine ringförmige Nut aufweist, in die ein entsprechender ringförmiger Vorsprung oder Nutensteine der Basis eingreifen, 8th 1 is a schematic longitudinal section through an assembly having an annular base and an annular support, the support having an annular groove in which a corresponding annular projection or sliding blocks of the base engage;

9 eine Draufsicht auf eine ringförmige Halterung zum Halten einer Mehrzahl von Messsensoren, 9 a plan view of an annular holder for holding a plurality of measuring sensors,

10 eine Draufsicht auf eine ringförmige Halterung mit einem gehaltenen Messsensor, dessen Anschlussleitung unter Verwendung von drei Leitungshaltern an der Oberfläche der ringförmigen Halterung gehalten wird, 10 a plan view of an annular support with a held measuring sensor whose lead is held using three wire holders on the surface of the annular support,

11 einen Längsschnitt durch die ringförmige Halterung und einen der Leitungshalter aus 10, der die Anschlussleitung hält, 11 a longitudinal section through the annular holder and one of the line holder 10 who keeps the connection line,

12 einen Endabschnitt einer Anordnung mit einer Anschlussleitung eines Messsensors, wobei die Anschlussleitung einen zusätzlichen Mantel aus magnetischem oder magnetisierbarem Material aufweist, und 12 an end portion of an arrangement with a connecting lead of a measuring sensor, wherein the connecting lead has an additional sheath of magnetic or magnetizable material, and

13 schematisch eine Seitenansicht auf einen Bereich eines ersten Teils mit einer Maßverkörperung in Form eines linearen Inkrementalmaßstabes und auf ein zweiten Teil, das in der Linearachse entlang des Inkrementalmaßstabes relativ zu dem ersten Teil linearbeweglich ist. 13 schematically a side view of a portion of a first part with a measuring scale in the form of a linear incremental scale and on a second part which is linearly movable in the linear axis along the incremental scale relative to the first part.

Das in 1 dargestellte Koordinatenmessgerät (KMG) 211 in Portalbauweise weist einen Messtisch 201 auf, über dem Säulen 202, 203 in Z-Richtung eines kartesischen Koordinatensystems beweglich angeordnet sind. Die Säulen 202, 203 bilden zusammen mit einem Querträger 204 ein Portal des KMG 211. Der Querträger 204 ist an seinen gegenüberliegenden Enden mit den Säulen 202 bzw. 203 verbunden. Z. B. nicht näher dargestellte Elektromotoren verursachen die Linearbewegung der Säulen 202, 203 in Z-Richtung. Dabei ist z. B. jeder der beiden Säulen 202, 203 ein Elektromotor zugeordnet.This in 1 illustrated coordinate measuring machine (CMM) 211 in portal construction has a measuring table 201 on, over the pillars 202 . 203 are arranged movably in the Z direction of a Cartesian coordinate system. The columns 202 . 203 form together with a cross member 204 a portal of the KMG 211. The cross member 204 is at its opposite ends with the pillars 202 respectively. 203 connected. For example, electric motors not shown cause the linear movement of the columns 202 . 203 in the Z direction. It is z. B. each of the two columns 202 . 203 associated with an electric motor.

Der Querträger 204 ist mit einem Querschlitten 207 kombiniert, welcher z. B. luftgelagert entlang dem Querträger 204 in X-Richtung des kartesischen Koordinatensystems beweglich ist. Die momentane Position des Querschlittens 207 relativ zu dem Querträger 204 kann anhand eines Inkrementalmaßstabs 206 festgestellt werden. Die Bewegung des Querträgers 204 in X-Richtung wird z. B. durch einen weiteren Elektromotor angetrieben. An dem Querschlitten 207 ist eine in vertikaler Richtung bewegliche Pinole 208 gelagert, die an ihrem unteren Ende über eine Montageeinrichtung 210 und eine Drehvorrichtung 205, die eine integrierte Drehpositions-Messanordnung (nicht in 1 dargestellt) aufweist, mit einer Koordinatenmesseinrichtung 209 verbunden ist. Die Koordinatenmesseinrichtung 209 weist einen abgewinkelten Tastkopf 215 auf, an dem ein Taststift 111 mit Tastkugel 121 abnehmbar angeordnet ist. Die Koordinatenmesseinrichtung 209 kann angetrieben z. B. durch einen weiteren Elektromotor relativ zu dem Querschlitten 207 in Y-Richtung des kartesischen Koordinatensystems bewegt werden. Durch die Elektromotoren des KMG kann der Taststift 111 in dem Bereich unterhalb des Querträgers 204 in nahezu beliebige Positionen bewegt werden. Ferner kann die Drehvorrichtung 205 den Tastkopf 215 um die Y-Achse drehen, sodass der Taststift 111 in unterschiedliche Richtungen ausgerichtet werden kann.The crossbeam 204 is with a cross slide 207 combined, which z. B. air bearing along the cross member 204 movable in the X direction of the Cartesian coordinate system. The current position of the cross slide 207 relative to the cross member 204 can be based on an incremental scale 206 be determined. The movement of the crossbeam 204 in the X direction z. B. driven by a further electric motor. At the cross slide 207 is a vertically movable quill 208 stored at its lower end via a mounting device 210 and a turning device 205 having an integrated rotational position measuring arrangement (not in 1 shown), with a coordinate measuring device 209 connected is. The coordinate measuring device 209 has an angled probe 215 on, on which a stylus 111 with tactile ball 121 is arranged detachably. The coordinate measuring device 209 can be driven z. B. by another electric motor relative to the cross slide 207 in the Y direction of the Cartesian coordinate system. By the electric motors of the CMM, the stylus 111 in the area below the cross member 204 be moved in almost any position. Furthermore, the rotating device 205 the probe 215 turn the Y-axis so that the stylus 111 can be aligned in different directions.

Auf dem Messtisch 201 ist ein Drehtisch 217 (d.h. eine Drehvorrichtung) mit integrierter Drehpositions-Messanordnung (nicht in 1 dargestellt) angeordnet. Die Anordnung ist schematisch zu verstehen. In der Praxis wird der Drehtisch 217 an einer Position angeordnet sein, in der der Taststift 111 oder ein anderer Taststift ein auf dem Drehtisch 217 angeordnetes Werkstück (nicht dargestellt) möglichst ungehindert von allen Seiten in radialer Richtung der Drehachse des Drehtischs 217, d.h. in möglichst beliebigen Arbeitsausrichtungen, antasten kann. Entsprechendes gilt möglichst auch über den gesamten Höhenbereich entlang der Erstreckung der Drehachse der Drehvorrichtung 217 für alle Arbeitspositionen des Taststifts.On the measuring table 201 is a turntable 217 (ie a rotating device) with integrated rotational position measuring arrangement (not in 1 shown). The arrangement is to be understood schematically. In practice, the turntable 217 be arranged at a position in which the stylus 111 or another stylus on the turntable 217 arranged workpiece (not shown) as freely as possible from all sides in the radial direction of the axis of rotation of the turntable 217 , ie in as much as possible work orientations, can touch. The same applies as far as possible over the entire height range along the extent of Rotary axis of the rotary device 217 for all working positions of the stylus.

Das Koordinatenmessgerät in Portalbauweise ist lediglich ein Ausführungsbeispiel für ein Koordinatenmessgerät. Es können daher auch Koordinatenmessgeräte anderer Bauweise, zum Beispiel Gantry-Bauweise oder Gelenkarm-Bauweise, verwendet werden, die ebenfalls Bewegungsvorrichtungen für eine Linearbewegung und/oder eine Drehbewegung aufweisen können. The coordinate measuring machine in gantry design is only one embodiment of a coordinate measuring machine. It is therefore also coordinate measuring machines of other construction, for example, gantry design or articulated arm construction, can be used, which may also have moving devices for linear motion and / or rotational movement.

Um z. B. die Bewegungsvorrichtung einer Drehvorrichtung (zum Beispiel des Drehtischs 217 oder der Drehvorrichtung 205 aus 1) auf Bewegungsfehler zu untersuchen, kann ein Kalibrierkörper (z.B. ein Zylinder oder ein Stab mit zwei in einer Längsrichtung des Stabes voneinander beabstandeten kugelförmigen Bereichen) an der Drehvorrichtung (zum Beispiel dem Drehtisch 217) angeordnet werden, sodass die Längsachse des Zylinders oder des Stabes mit der Drehachse des Drehtischs übereinstimmt. Ferner kann eine separate Messvorrichtung mit mehreren Sensoren (zum Beispiel Abstandssensoren, die in verschiedenen Drehstellungen des Kalibrierkörpers den Abstand zu dem Kalibrierkörper messen) dazu verwendet werden, die Bewegungsfehler der Drehvorrichtung zu messen. Vorzugsweise sind dabei die Sensoren und auch zumindest ein Drehpositionssensor der Drehvorrichtung mit der Steuerung des Koordinatenmessgeräts verbunden, sodass die Messwerte der Sensoren und auch des zumindest einen Drehpositionssensors von der Steuerung erfasst und einander zugeordnet werden können. Jeder vermessenen Drehposition entspricht zumindest ein Messwert eines der Sensoren. Umgekehrt ist jeder der Messwerte der Sensoren einer Drehposition zugeordnet. To z. B. the moving device of a rotating device (for example, the turntable 217 or the rotary device 205 out 1 In order to investigate motion errors, a calibration body (eg a cylinder or a rod with two spherical regions spaced apart in a longitudinal direction of the rod) may be attached to the rotating device (for example the turntable) 217 ) are arranged so that the longitudinal axis of the cylinder or the rod coincides with the axis of rotation of the turntable. Furthermore, a separate measuring device with a plurality of sensors (for example, distance sensors, which measure the distance to the calibration body in different rotational positions of the calibration body) can be used to measure the movement errors of the rotary device. Preferably, the sensors and also at least one rotational position sensor of the rotary device are connected to the control of the coordinate measuring machine, so that the measured values of the sensors and also of the at least one rotational position sensor can be detected by the controller and assigned to one another. Each measured rotational position corresponds to at least one measured value of one of the sensors. Conversely, each of the measured values of the sensors is assigned to a rotational position.

Zur Bestimmung von Bewegungsfehlern einer Bewegungsvorrichtung zur Bewegung entlang einer Linearachse (zum Beispiel entlang einer der Koordinatenachsen des oben erwähnten kartesischen Koordinatensystems) kann entsprechend vorgegangen werden. Zum Beispiel wird an dem zweiten Teil, das relativ zu dem ersten Teil geradlinig beweglich ist, ein Kalibrierkörper angeordnet, der sich mit dem zweiten Teil bewegt. Dabei werden die Bewegungsfehler mit einer Mehrzahl von Sensoren gemessen, die an dem ersten Teil befestigt sind. Ähnlich wie in der deutschen Patentanmeldung DE 10 2013 216 093.3 beschrieben kann nun ein günstiger Messort für den zumindest einen Messsensor ermittelt werden, der die Position und/oder die Bewegung des zweiten Teils relativ zu dem ersten Teil misst.For determining motion errors of a moving device for movement along a linear axis (for example, along one of the coordinate axes of the above-mentioned Cartesian coordinate system) can be proceeded accordingly. For example, at the second part, which is rectilinearly movable relative to the first part, a calibration body is arranged which moves with the second part. In this case, the movement errors are measured with a plurality of sensors, which are attached to the first part. Similar to the German patent application DE 10 2013 216 093.3 described can now be determined a favorable location for the at least one measuring sensor, which measures the position and / or the movement of the second part relative to the first part.

Im Folgenden werden Beispiele für Messanordnungen erläutert, die die Drehposition oder Drehbewegung einer Drehvorrichtung messen. Z.B. kann die Messanordnung in die Drehvorrichtung integriert sein, sodass die Messanordnung vollständig von Bauteilen der Drehvorrichtung umschlossen ist und so vor äußeren Einflüssen geschützt ist (siehe 3). The following are examples of measuring arrangements that measure the rotational position or rotational movement of a rotating device. For example, the measuring arrangement can be integrated in the rotating device, so that the measuring arrangement is completely enclosed by components of the rotating device and thus protected against external influences (see 3 ).

Die Draufsicht einer Messanordnung in 2 zeigt eine Maßverkörperung 75, die einen Inkrementalmaßstab mit einer Vielzahl von strichförmigen Markierungen 82 aufweist, die sich in dem Ausführungsbeispiel in radialer Richtung zu einer Drehachse D der Drehvorrichtung erstrecken, d.h. senkrecht zur Drehachse D. Alternativ können sich die Markierungen am Außenumfang eines im Querschnitt kreisförmigen Körpers oder am Innenumfang eines Körpers mit kreisförmiger Aussparung befinden. Idealerweise ist der Winkelabstand der strichförmigen Markierungen 82 konstant, z.B. bei 360 Markierungen würde der Winkelabstand daher 1° betragen. Eine derartige Anordnung von strichförmigen Markierungen einer Maßverkörperung kann auch als Teilkreisscheibe bezeichnet werden.The top view of a measuring arrangement in 2 shows a material measure 75 , which is an incremental scale with a variety of line-shaped markings 82 extending in the embodiment in the radial direction to a rotation axis D of the rotating device, that is perpendicular to the rotation axis D. Alternatively, the marks on the outer periphery of a circular in cross section body or on the inner circumference of a body with a circular recess. Ideally, the angular distance of the line-shaped markings 82 constant, eg with 360 markings, the angular distance would therefore be 1 °. Such an arrangement of line-shaped markings of a material measure can also be referred to as a pitch disk.

2 zeigt ferner eine X-Achse und eine Y-Achse eines Koordinatensystems, wobei die X-Achse und die Y-Achse senkrecht zueinander und jeweils senkrecht zu der Drehachse D verlaufen. Ferner ist ein optischer Messsensor 74 dargestellt, der in axialer Richtung der Drehachse D oberhalb der Teilkreisscheibe, das heißt in Blickrichtung der 2 vor der Teilkreisscheibe, angeordnet ist. In der Praxis kann mehr als ein solcher Sensor vorhanden sein. Der optische Erfassungsbereich des Messsensors 74 enthält eine oder mehrere der strichförmigen Markierungen 82 gleichzeitig. Der Erfassungsbereich ist insbesondere der Bereich mit etwa fünf Markierungen 82, die unmittelbar unterhalb des rechteckigen Bereichs liegen, der in 2 den Messsensor 74 darstellt. Mit der Drehbewegung der Drehvorrichtung durchlaufen die Markierungen 82 nacheinander den Erfassungsbereich. Ein erster Teil der Drehvorrichtung trägt die Teilkreisscheibe, während der Messsensor 74 an einem zweiten Teil der Drehvorrichtung angeordnet ist. Der erste und der zweite Teil der Drehvorrichtung sind relativ zueinander um die Drehachse D drehbar. 2 further shows an X-axis and a Y-axis of a coordinate system, wherein the X-axis and the Y-axis are perpendicular to each other and each perpendicular to the rotation axis D. Furthermore, an optical measuring sensor 74 shown in the axial direction of the axis of rotation D above the pitch circle disc, that is in the direction of the 2 in front of the pitch disc, is arranged. In practice, more than one such sensor may be present. The optical detection range of the measuring sensor 74 Contains one or more of the line-shaped markings 82 simultaneously. The detection area is in particular the area with about five marks 82 which lie immediately below the rectangular area which is in 2 the measuring sensor 74 represents. With the rotary motion of the rotary device go through the markings 82 one after the other the detection area. A first part of the rotating device carries the pitch disk, while the measuring sensor 74 is arranged on a second part of the rotating device. The first and the second part of the rotating device are rotatable relative to each other about the rotation axis D.

Es sind auch andere Gestaltungen von Maßverkörperungen möglich, insbesondere mit magnetischen Markierungen. In diesem Fall erfasst der Messsensor nicht auf optische Weise strichförmige Markierungen, sondern das Magnetfeld, das sich aufgrund des Passierens von magnetischen Markierungen ändert. Other designs of measuring scales are possible, in particular with magnetic markings. In this case, the measuring sensor does not optically detect line marks, but the magnetic field that changes due to the passing of magnetic marks.

3 zeigt einen Längsschnitt durch eine Drehvorrichtung (z. B. den Drehtisch 217 aus 1) mit integrierter Messanordnung. Dabei handelt es sich um eine besonders niedrig bauende Ausführungsform, d.h. die Erstreckung entlang der Drehachse R ist besonders klein. Die Teilkreisscheibe 75 des Messsystems, bei der es sich zum Beispiel um die Teilkreisscheibe gemäß 2 handeln kann, ist an dem unteren Ende eines stabförmigen Trägers 73 des Rotors 51 (erster Teil der Drehvorrichtung) angeordnet. Der Rotor 51 ist über ein Drehlager 44, bei dem es sich um ein Ringlager handelt, mit dem Stator 53 (zweiter Teil der Drehvorrichtung) drehbar gekoppelt. Von dem Stator 53 aus gesehen radial nach innen Richtung Drehachse R, d.h. in einem Innenraum des Stators 53, sind zwei bezüglich der Drehachse R einander gegenüberliegende Messsensoren 74a, 74b angeordnet. Der Stator 53 steht z. B. auf dem Messtisch des Koordinatenmessgeräts in 1. 3 shows a longitudinal section through a rotating device (eg the turntable 217 out 1 ) with integrated measuring arrangement. This is a particularly low-build embodiment, ie the extension along the Rotary axis R is particularly small. The circular disk 75 of the measuring system, which is, for example, the pitch plate according to 2 can act is at the lower end of a rod-shaped carrier 73 of the rotor 51 (first part of the rotating device). The rotor 51 is about a pivot bearing 44 , which is a ring bearing, with the stator 53 (second part of the rotating device) rotatably coupled. From the stator 53 seen from radially inward direction of rotation R, ie in an interior of the stator 53 , two with respect to the rotation axis R are opposite measuring sensors 74a . 74b arranged. The stator 53 is z. B. on the measuring table of the coordinate measuring machine in 1 ,

Die Darstellung in 3 ist schematisch zu verstehen, da die Abmessungen der Bestandteile in der Praxis anders ausgestaltet sein können. Außerdem sind weitere Bestandteile, wie z.B. Anschlussleitungen der Messsensoren 74, in 3 nicht dargestellt.The representation in 3 is to be understood schematically, since the dimensions of the components may be configured differently in practice. In addition, other components, such as connecting cables of the measuring sensors 74 , in 3 not shown.

Die Messsensoren 74 werden in dem Ausführungsbeispiel der 3 von einer gemeinsamen ringförmigen Halterung 72 gehalten, deren Symmetrieachse koaxial zu der Drehachse R angeordnet ist. Die Halterung 72 wiederum wird durch eine ebenfalls ringförmige Basis 71 getragen, deren Symmetrieachse ebenfalls koaxial zu der Drehachse R verläuft. The measuring sensors 74 be in the embodiment of 3 from a common annular holder 72 held, whose axis of symmetry is arranged coaxially with the axis of rotation R. The holder 72 in turn, is by a likewise annular base 71 supported, whose axis of symmetry is also coaxial with the axis of rotation R.

Eine derartige Anordnung einer ringförmigen Basis und einer ringförmigen Halterung mit Symmetrieachsen koaxial zur Drehachse der Bewegungsvorrichtung können auch bei anderen Ausgestaltungen der Drehvorrichtung vorkommen. Dabei kann der zumindest eine von der Halterung gehaltene Messsensor in einer Richtung parallel zur Drehachse auf die Maßverkörperung ausgerichtet sein, kann aber alternativ z.B. in radialer Richtung der Drehachse auf eine Maßverkörperung ausgerichtet sein, die z.B. am Außenumfang eines Körpers mit zylindrischer Außenoberfläche angeordnet ist.Such an arrangement of an annular base and an annular support with axes of symmetry coaxial with the axis of rotation of the moving device may also occur in other embodiments of the rotating device. In this case, the at least one measuring sensor held by the holder can be aligned in a direction parallel to the axis of rotation on the measuring standard, but may alternatively be e.g. be aligned in the radial direction of the axis of rotation on a measuring scale, the e.g. is arranged on the outer circumference of a body with a cylindrical outer surface.

Im Fall der Ausführungsform von 3 wird die ringförmige Halterung 72 ausschließlich durch Magnetkräfte an der ringförmigen Basis 71 gehalten und somit von der Basis 71 getragen. Gleichzeitig fixieren die Magnetkräfte die Halterung 72 in der eingestellten Drehstellung der Halterung 72 bezüglich der Drehachse R. Durch Drehung der Halterung 72 um die Drehachse R kann diese Drehstellung und damit auch die Halteposition des zumindest einen Messsensors 74 verändert und dadurch eingestellt werden.In the case of the embodiment of 3 becomes the annular holder 72 solely by magnetic forces on the annular base 71 held and thus from the base 71 carried. At the same time, the magnetic forces fix the holder 72 in the set rotational position of the holder 72 with respect to the axis of rotation R. By rotation of the holder 72 around the axis of rotation R, this rotational position and thus also the holding position of the at least one measuring sensor 74 changed and thereby adjusted.

Anders als in 3 dargestellt kann die Drehvorrichtung nicht zwei bezüglich der Drehachse R einander gegenüberliegend angeordnete Messsensoren 74a, 74b aufweisen. Vielmehr kann auch lediglich einer der Messsensoren 74 vorhanden sein oder es können weitere oder andere Messsensoren, z.B. zusätzlich zu dem Messsensor 74a, vorhanden sein. Vorzugsweise werden weitere Messsensoren ebenfalls von der gemeinsamen Halterung 72 gehalten. Bei einer weiteren Variante haben verschiedene von der Basis getragene Messsensoren keine gemeinsame Halterung, sondern jeweils eine separate Halterung. Dies ermöglicht es, die Messsensoren einzeln an beliebigen Winkelpositionen um die Drehachse R anzuordnen.Unlike in 3 illustrated, the rotating device can not two with respect to the rotation axis R arranged opposite each other measuring sensors 74a . 74b exhibit. Rather, only one of the measuring sensors can 74 be present or it may be other or other measuring sensors, for example, in addition to the measuring sensor 74a , to be available. Preferably, further measuring sensors are also of the common holder 72 held. In a further variant, different measuring sensors carried by the base do not have a common mounting but each have a separate mounting. This makes it possible to arrange the measuring sensors individually at arbitrary angular positions about the axis of rotation R.

Bei der in 3 dargestellten Bauweise einer Drehvorrichtung ist es möglich, den Bewegungsfehler der Drehvorrichtung zu messen, indem auf dem Rotor 51 ein Kalibrierkörper angeordnet wird und in verschiedenen Drehpositionen Abweichungen von der idealen Position des Kalibrierkörpers gemessen werden. Dabei hat die Bauweise den Vorteil, dass der Maßverkörperung der Messanordnung (hier: die Teilkreisscheibe 75) mit dem Rotor 51 verbunden ist, jedoch nach unten ragt. Es kann daher für den zumindest einen Messsensor ein günstiger Messort unterhalb des Drehlagers 44 ermittelt werden, obwohl der Bewegungsfehler lediglich oberhalb des Drehlagers 44 gemessen wird. At the in 3 As shown, a rotary device construction makes it possible to measure the movement error of the rotary device by acting on the rotor 51 a calibration is arranged and measured in different rotational positions deviations from the ideal position of the calibration. The construction has the advantage that the material measure of the measuring arrangement (here: the partial disc 75 ) with the rotor 51 is connected, however, protrudes downwards. It can therefore for the at least one measuring sensor a favorable measuring location below the pivot bearing 44 be determined, although the motion error only above the pivot bearing 44 is measured.

In 4 ist ein erstes Teil 100 dargestellt, das um eine Drehachse R drehbar gelagert ist. Mit einem nicht oder nicht vollständig in 4 dargestellten zweiten Teil, das relativ zu dem ersten Teil 100 um die Drehachse R drehbar ist, sind eine Basis 101, eine Halterung 102 und ein von der Halterung 102 gehaltener Messsensor 104 verbunden. Die Basis 101 kann ein Bereich des zweiten Teils sein oder, z.B. wie es bei der in 3 dargestellten Drehvorrichtung der Fall ist, zusätzlich zu dem zweiten Teil vorhanden sein und mit diesem verbunden sein. Die Basis ist aus einem magnetischen oder magnetisierbaren Material gefertigt. Dies ist durch die von links oben nach rechts unten verlaufenden Schraffurlinien angedeutet.In 4 is a first part 100 illustrated, which is rotatably mounted about a rotation axis R. With a not or not completely in 4 illustrated second part, relative to the first part 100 is rotatable about the rotation axis R, are a base 101 , a holder 102 and one of the bracket 102 held measuring sensor 104 connected. The base 101 may be an area of the second part or, for example, as in the case of 3 Turning device shown is the case, be present in addition to the second part and connected to this. The base is made of a magnetic or magnetizable material. This is indicated by the hatching lines running from top left to bottom right.

Die Halterung 102 ist in 4 in einem geringen Abstand zu der nach oben weisenden Oberfläche der Basis 101 dargestellt. Dieser Abstand kann z.B. durch einen in 4 nicht dargestellten Abstandshalter als Mindest-Abstand gewährleistet sein. Es ist aber auch möglich, dass die zu der Basis 101 weisende Oberfläche der Halterung 102 vollflächig an der Oberfläche der Basis 101 anliegt, wenn sich die Halterung 102 in der gewünschten Halteposition befindet.The holder 102 is in 4 at a short distance from the upwardly facing surface of the base 101 shown. This distance can be determined by an in 4 Spacers not shown to be guaranteed as a minimum distance. But it is also possible that to the base 101 facing surface of the bracket 102 full surface on the surface of the base 101 abuts when the bracket 102 is in the desired stop position.

Die Halterung 102 weist einen Bereich 105 aus magnetischem oder magnetisierbarem Material auf. Dies ist durch von rechts oben nach links unten verlaufende Schraffurlinien angedeutet. Insbesondere besteht dieser Bereich 105 aus magnetischem Material, während die Basis 101 aus magnetisierbarem Material besteht. Gelangt der magnetische Bereich 105 in die Nähe der Basis 101, wird das magnetisierbare Material der Basis 101 magnetisiert, sodass sich auch dort ein magnetischer Pol ausbildet. Im Ergebnis werden der magnetische Bereich 105 und damit die Halterung 102 durch Magnetkräfte an der Basis 101 fixiert. The holder 102 has an area 105 made of magnetic or magnetizable material. This is indicated by hatching lines running from top right to bottom left. In particular, this area exists 105 made of magnetic material, while the base 101 made of magnetizable material. If the magnetic field arrives 105 near the base 101 , that will magnetizable material of the base 101 magnetized, so that also forms there a magnetic pole. As a result, the magnetic field 105 and thus the holder 102 by magnetic forces at the base 101 fixed.

Bevorzugtermaßen weist die Halterung 102 einen ringförmigen Bereich 106 auf, der sich um den Bereich 105 herum erstreckt, oder zwei Bereiche 106 auf, die die Drehachse R umlaufen und dabei den Bereich 105 zwischen sich einschließen. In dem Längsschnitt von 4 sind rechts und links von dem Bereich 105 dargestellte Teile des ringförmigen Bereichs 106 bzw. die zwei Bereiche 106 erkennbar. Der Bereich 106 oder die Bereiche 106 ist/sind aus einem nicht magnetischen Material oder einem nahezu nicht magnetischen Material, wie z.B. Messing, gefertigt. Daher werden die Magnetfeldlinien innerhalb des Bereichs 105 entlang der Längserstreckung des Bereichs 106 oder der Bereiche 106 geführt und innerhalb des Bereichs 105 gebündelt. Vorzugsweise erstreckt sich dabei der Bereich 106 oder erstrecken sich die Bereiche 106 bis zu der Oberfläche der Halterung 102, die der Basis 101 zugewandt ist. Dadurch sind die Magnetfeldlinien in dem Bereich 105 an der Oberfläche der Halterung 102 gebündelt und bilden ein starkes, homogenes Magnetfeld für die Fixierung der Halterung 102 an der Basis 101.Preferred dimensions, the holder 102 an annular area 106 on, which is around the area 105 around, or two areas 106 on, which revolve around the rotation axis R and thereby the area 105 between them. In the longitudinal section of 4 are right and left of the area 105 shown parts of the annular region 106 or the two areas 106 recognizable. The area 106 or the areas 106 is / are made of a non-magnetic material or a nearly non-magnetic material, such as brass. Therefore, the magnetic field lines become within the range 105 along the longitudinal extent of the area 106 or the areas 106 led and within the range 105 bundled. Preferably, the area extends 106 or extend the areas 106 up to the surface of the holder 102 that the base 101 is facing. As a result, the magnetic field lines are in the range 105 on the surface of the holder 102 bundled and form a strong, homogeneous magnetic field for fixing the bracket 102 at the base 101 ,

Ein weiteres optionales Merkmal der in 4 dargestellten Ausführungsform der Halterung 102 stellt ein Materialbereich 107 aus magnetisierbarem Material dar, welches eine größere magnetische Suszeptibilität als das Material in dem Bereich 105 aufweist. In dem Materialbereich 107 werden die Magnetfeldlinien daher ebenfalls gebündelt, aber auch in die Richtung quer zu der Anpressrichtung der Halterung 102 an die Oberfläche der Basis 101 umgelenkt. Ausgehend von der Kontaktfläche zwischen der Basis 101 und der Halterung 102 oder ausgehend von einem Punkt an der Oberfläche der Basis 101, der der Halterung 102 am nächsten liegt, erstrecken sich die Magnetfeldlinien bezogen auf die Darstellung in 4 zunächst senkrecht nach oben durch den Bereich 105, treten in den Materialbereich 107 ein, werden in diesem nach rechts und links umgelenkt und verlaufen nicht mehr gebündelt außerhalb des Materialbereichs 107 zurück in dies Basis 101. Im Ergebnis ist der Ortsbereich, in dem sich der Messsensor 104 an der Oberseite der Halterung 102 befindet, nahezu frei von dem Magnetfeld, das die Halterung 102 an der Basis 101 hält.Another optional feature of in 4 illustrated embodiment of the holder 102 represents a material area 107 of magnetizable material having a greater magnetic susceptibility than the material in the range 105 having. In the material area 107 Therefore, the magnetic field lines are also bundled, but also in the direction transverse to the pressing direction of the holder 102 to the surface of the base 101 diverted. Starting from the contact area between the base 101 and the holder 102 or starting from a point on the surface of the base 101 , the holder 102 is closest to, extend the magnetic field lines with respect to the representation in 4 first vertically up through the area 105 , enter the material area 107 a, are deflected in this right and left and no longer run bundled outside of the material area 107 back to this base 101 , As a result, the location area in which the measuring sensor 104 at the top of the bracket 102 is located, almost free of the magnetic field, the holder 102 at the base 101 holds.

Der Messsensor 104 ist auf den um die Drehachse R verlaufenden Außenumfang des ersten Teils 100 gerichtet. An diesem Außenumfang befindet sich die Maßverkörperung 109, z.B. ein ringförmiger Inkrementalmaßstab. Der Messsensor 104 ist z.B. ein optischer Sensor, der die parallel zur Drehachse R verlaufenden strichförmigen Markierungen des Inkrementalmaßstabes detektiert und z.B. ein entsprechendes Impulssignal erzeugt, wenn sich eine der Markierungen an dem Erfassungsbereich des Messsensors 104 vorbeibewegt. Durch einen spitz zulaufenden Bereich des Messsensors 104 ist in 4 angedeutet, wo sich der Erfassungsbereich des Messsensors 104 befinden kann. Alternativ zu einem Messsensor mit einer optischen Erfassung der Bewegung des ersten Teils kann z.B. ein Messsensor mit einer magnetischen Erfassung der Drehbewegung des ersten Teils vorgesehen sein.The measuring sensor 104 is on the about the rotation axis R extending outer circumference of the first part 100 directed. At this outer circumference is the material measure 109 , eg an annular incremental scale. The measuring sensor 104 is, for example, an optical sensor, which detects the parallel to the rotation axis R extending line-shaped markings of the incremental scale and, for example, generates a corresponding pulse signal when one of the markings at the detection range of the measuring sensor 104 moved past. Through a pointed area of the measuring sensor 104 is in 4 indicated where the detection range of the measuring sensor 104 can be located. As an alternative to a measuring sensor with an optical detection of the movement of the first part, for example, a measuring sensor can be provided with a magnetic detection of the rotational movement of the first part.

Der rechts von der Drehachse R liegende Teil der Darstellung in 4 illustriert auch ein mögliche Anordnung des ersten Teils und des relativ zu dem ersten Teil beweglichen zweiten Teils, wobei die Relativbewegung geradlinig in einer Richtung senkrecht zur Figurenebene der 4 stattfindet. Z.B. könnte sich das erste Teil bewegen oder das zweite Teil mit der Basis 101, der Halterung 102 und dem Messsensor 104 bewegen (oder beide Teile). Ähnliches gilt für die im Folgenden beschriebene Darstellung in 5. Die dort rechts von der Drehachse R dargestellten Teile und Elemente könnten relativ zueinander in der geradlinig senkrecht zur Figurenebene verlaufenden Richtung beweglich sein. The right of the axis of rotation R part of the representation in 4 also illustrates a possible arrangement of the first part and the second part movable relative to the first part, the relative movement being rectilinear in a direction perpendicular to the plane of the figure 4 takes place. For example, the first part could move or the second part could move with the base 101 , the bracket 102 and the measuring sensor 104 move (or both parts). The same applies to the illustration in FIG 5 , The parts and elements illustrated there to the right of the axis of rotation R could be movable relative to one another in the direction that runs in a straight line perpendicular to the plane of the figure.

Die in 5 dargestellte Anordnung weist ein erstes Teil 150 auf sowie eine Basis 151, die mit einem zweiten Teil verbunden ist oder Bestandteil des zweiten Teils ist. Das erste Teil 150 und das zweite Teil mit der Basis 151 sind relativ zueinander um die Drehachse R (links in 5) drehbar. An der der Basis 151 zugewandten Seite des ersten Teils 150 ist eine Maßverkörperung 159 angeordnet, auf die der an der Basis 151 fixierte Messsensor 154 gerichtet ist. Die Maßverkörperung 159 und der Messsensor 154 ermöglichen die Messung der relativen Position und/oder relativen Bewegung des ersten und zweiten Teils.In the 5 The arrangement shown has a first part 150 on as well as a base 151 which is connected to a second part or is part of the second part. The first part 150 and the second part with the base 151 are relative to each other about the axis of rotation R (left in 5 ) rotatable. At the base 151 facing side of the first part 150 is a material measure 159 arranged on the base 151 fixed measuring sensor 154 is directed. The measuring standard 159 and the measuring sensor 154 allow the measurement of the relative position and / or relative movement of the first and second parts.

Der Messsensor 154 wird von einer Halterung 152 gehalten, welche durch Magnetkräfte an der Basis 151 gehalten wird und dadurch den Messsensor 154 an der Basis 151 fixiert. Die Basis 151 weist einen Bereich 155 aus magnetischem oder magnetisierbarem Material auf, der mit magnetischem oder magnetisierbarem Material der Halterung 152 derart zusammenwirkt, dass die Magnetkräfte die Halterung 152 an die Basis 151 anpressen.The measuring sensor 154 is from a bracket 152 held by magnetic forces at the base 151 is held and thereby the measuring sensor 154 at the base 151 fixed. The base 151 has an area 155 made of magnetic or magnetizable material which is fitted with magnetic or magnetizable material of the holder 152 cooperates such that the magnetic forces the holder 152 to the base 151 press it.

Die Anordnung gemäß 5 kann auch umgekehrt ausgeführt werden, d.h. der erste Teil mit der Maßverkörperung ist oberhalb des zweiten Teils mit der Basis angeordnet. Eine solche Anordnung ergibt sich, wenn 5 auf den Kopf gestellt betrachtet wird.The arrangement according to 5 can also be performed vice versa, ie the first part with the material measure is arranged above the second part with the base. Such an arrangement arises when 5 looking upside down.

Bei der Anordnung aus der Basis 101 und der Halterung 102 mit dem Messsensor 104 in 4 und bei der Anordnung des Bereiches 155 mit der Halterung 152 und dem Messsensor 154 in 5 kann es sich jeweils um eine ringförmige Anordnung handeln, d.h. sowohl die Basis 101 bzw. die Basis 151 (und optional auch der Bereich 155) als auch die Halterung 102 bzw. die Halterung 152 können ringförmig ausgestaltet sein und sich um die Drehachse R herumerstrecken, entweder als Ringsegment oder als in sich geschlossen umlaufender Ring. Wieder alternativ kann lediglich die Halterung 102 bzw. Die Halterung 152 ringförmig ausgestaltet sein, nicht aber die Basis 101 oder der magnetische oder magnetisierbare Bereich 155. Auf Merkmale einer ringförmigen Halterung bzw. einer ringförmigen Basis wird noch anhand von 8 bzw. 10 eingegangen. Diese Merkmale können auch bei der Halterung 102 aus 4 bzw. der Halterung 152 aus 5 sowie bei der Basis 101 aus 4 und dem Bereich 155 der Basis 151 aus 5 vorgesehen sein.When ordering from the base 101 and the holder 102 with the measuring sensor 104 in 4 and in the arrangement of the area 155 with the bracket 152 and the measuring sensor 154 in 5 each may be an annular arrangement, ie both the base 101 or the base 151 (and optionally also the area 155 ) as well as the bracket 102 or the holder 152 may be annular and extend around the axis of rotation R, either as a ring segment or as a self-contained circumferential ring. Again, alternatively, only the holder 102 or The holder 152 be ring-shaped, but not the base 101 or the magnetic or magnetizable region 155 , On features of an annular support or an annular base is still based on 8th respectively. 10 received. These features can also be used when mounting 102 out 4 or the holder 152 out 5 as well as at the base 101 out 4 and the area 155 the base 151 out 5 be provided.

Die in Draufsicht in 6 dargestellte Halterung 182 weist einen polygonalen Außenumriss auf und ist plattenförmig ausgestaltet. Abweichend von der sechseckigen polygonalen Umrisslinie können andere Gestaltungen einer plattenförmigen Halterung gewählt werden, z.B. mit abgerundeten Ecken.The in plan view in 6 illustrated bracket 182 has a polygonal outer contour and is designed plate-shaped. Deviating from the hexagonal polygonal outline, other configurations of a plate-shaped holder can be selected, for example with rounded corners.

Die Halterung 182 hält einen Messsensor 184. Ferner weist die Halterung 182 drei vorzugsweise an den Ecken eines gedachten gleichseitigen Dreiecks angeordnete Durchgangs-Gewindebohrungen 186a, 186b, 186c auf. The holder 182 holds a measuring sensor 184 , Furthermore, the holder has 182 three, preferably at the corners of an imaginary equilateral triangle arranged through threaded holes 186a . 186b . 186c on.

Wie 7 anhand der Gewindebohrung 186b zeigt, kann in jede der Gewindebohrungen 186 eine Schraube 188 eingeschraubt sein, sodass die Schrauben 188 als Abstandshalter zur Gewährleistung eines Mindest-Abstandes zu der Oberfläche einer Basis 181 dienen. Durch Verdrehen der Schrauben 188 wird der Mindest-Abstand eingestellt. Wenn die Halterung 182 durch Magnetkräfte an die Basis 181 angepresst wird, können daher durch Einstellen des Mindest-Abstandes die maximal möglichen, in dem eingestellten Mindest-Abstand wirkenden Magnetkräfte eingestellt werden. Durch Vergrößerung des Mindest-Abstandes können daher die Magnetkräfte verringert werden, sodass ein vollständiges Entfernen der Halterung von der Basis erleichtert wird und/oder die Halterung in eine andere Position relativ zu der Basis gebracht werden kann. Im Fall der 7 kann z.B. bei vergrößertem Mindest-Abstand die Halterung 182 senkrecht zur Figurenebene verschoben werden. Bei anderen Ausgestaltungen einer Abstandseinrichtung mit Schrauben als Abstandshalter, kann eine andere Anzahl von Schrauben und Gewindebohrungen vorhanden sein. Das Prinzip des Abdrückens und Gewährleisten des Mindest-Abstands ist jedoch das gleiche.As 7 based on the threaded hole 186b shows, in each of the threaded holes 186 a screw 188 be screwed in so that the screws 188 as a spacer to ensure a minimum distance to the surface of a base 181 serve. By turning the screws 188 the minimum distance is set. When the bracket 182 by magnetic forces to the base 181 is pressed, therefore, by setting the minimum distance, the maximum possible, acting in the set minimum distance magnetic forces can be adjusted. By increasing the minimum distance, therefore, the magnetic forces can be reduced, so that a complete removal of the holder is facilitated by the base and / or the holder can be brought into a different position relative to the base. In the case of 7 For example, at an increased minimum distance, the holder 182 be moved perpendicular to the plane of the figure. In other embodiments of a spacer with screws as spacers, a different number of screws and tapped holes may be present. However, the principle of pushing off and ensuring the minimum distance is the same.

Insbesondere, nicht nur bezogen auf das Ausführungsbeispiel der 7, kann die Halterung Gewindebohrungen aufweisen, die sowohl für die Befestigung des Messsensors an der Halterung als auch für die Abstandseinstellung genutzt werden. Zum Beispiel wird der Messsensor mit zwei Schrauben an der Halterung befestigt, indem die zwei Schrauben jeweils in eine Gewindebohrung ein geschraubt werden. Dieselben Schrauben können auf den oder die Abstandshalter einwirken. Durch Verdrehung der Schrauben wird der Abstand zur Basis eingestellt, wobei die Schrauben den Messsensor in den verschiedenen möglichen Drehstellungen, die unterschiedlichen Abständen entsprechen, jeweils an der Halterung befestigen. In particular, not only with respect to the embodiment of the 7 , the bracket may have threaded holes, which are used both for the attachment of the measuring sensor to the bracket as well as for the distance adjustment. For example, the measuring sensor is attached to the bracket with two screws by screwing the two screws into a threaded hole. The same screws can act on the spacer (s). By turning the screws, the distance to the base is adjusted, whereby the screws fix the measuring sensor in the various possible rotational positions, which correspond to different distances, respectively on the holder.

Zum Beispiel kann ein Blattfeder-Stapel zwischen der Halterung und der Basis angeordnet sein, z. B. zwischen dem Messsensor und dem Schraubenkopf einer oder mehrerer Schrauben. In diesem Fall ist eine Einstellung der Ausrichtung des Messsensors relativ zu der Basis und damit relativ zu der Maßverkörperung möglich, insbesondere mittels einer einzigen Justierschraube oder einer Mehrzahl von Justierschrauben. Durch Drehen der einzigen Justierschraube oder zumindest einer der Justierschrauben kann dann die Ausrichtung des Messsensors eingestellt werden. Die zumindest eine Justierschaube kann eine weitere Funktion haben, z. B. als Abstandshalter diesen und/oder als Befestigungsschraube zur Befestigung des Messsensors an der Halterung.For example, a leaf spring stack may be disposed between the bracket and the base, e.g. B. between the measuring sensor and the screw head of one or more screws. In this case, an adjustment of the orientation of the measuring sensor relative to the base and thus relative to the measuring standard is possible, in particular by means of a single adjusting screw or a plurality of adjusting screws. By turning the single adjusting screw or at least one of the adjusting screws then the orientation of the measuring sensor can be adjusted. The at least one adjustment cover can have a further function, for. B. as a spacer and / or as a fastening screw for mounting the measuring sensor to the holder.

8 zeigt eine ringförmige Halterung 32, die sich um die Drehachse R der Anordnung herumerstreckt. Insbesondere kann auch die dargestellte Basis 31 ringförmig bezüglich der Drehachse R ausgestaltet sein. Es ist jedoch auch möglich, dass die beiden rechts und links in 8 dargestellten Bereiche der Basis 31 separate Bereiche sind, die sich nicht ringförmig um die Drehachse R erstrecken. 8th shows an annular holder 32 extending around the rotation axis R of the assembly. In particular, the illustrated base 31 be configured annular with respect to the axis of rotation R. However, it is also possible that the two right and left in 8th represented areas of the base 31 are separate areas that do not extend annularly about the axis of rotation R.

Die ringförmige Halterung 32 bildet an der der Basis 31 zugewandten Seite eine ringförmige, sich um die Drehachse R herum erstreckende Nut 39 aus, in die ein vorspringender Bereich 38 der Basis 31 eingreift. Der in 8 dargestellte Abstand zwischen dem vorspringenden Bereich 38 und dem Grund der Nut 39 kann durch eine nicht dargestellte Abstandseinrichtung gewährleistet sein. Alternativ oder zusätzlich kann der Abstand beim Betrieb der Messanordnung (der zumindest eine Messsensor ist in 8 nicht dargestellt und befindet sich z.B. an der Oberseite der ringförmigen Halterung 32) null werden, d.h. der vorspringenden Bereich 38 liegt an dem Nutengrund an. Die ringförmige Halterung 32 ist aufgrund von Magnetkräften an der Basis 31 fixiert. Die Magnetkräfte werden durch Wechselwirkung eines magnetischen oder magnetisierbaren Bereichs 37 der Halterung 32 mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Bereich 35 im vorspringenden Bereich 38 der Basis 31 erzeugt.The annular holder 32 forms at the base 31 side facing an annular, extending around the axis of rotation R around groove 39 out, into which a projecting area 38 the base 31 intervenes. The in 8th illustrated distance between the projecting area 38 and the bottom of the groove 39 can be ensured by a spacing device, not shown. Alternatively or additionally, the distance during operation of the measuring arrangement (the at least one measuring sensor is in 8th not shown and is located, for example, at the top of the annular holder 32 ) become zero, ie the projecting area 38 lies on the bottom of the groove. The annular holder 32 is due to magnetic forces at the base 31 fixed. The magnetic forces are generated by the interaction of a magnetic or magnetizable region 37 the holder 32 with a magnetic or magnetizable area 35 in the projecting area 38 the base 31 generated.

Nicht nur bei der in 8 dargestellten Anordnung, sondern z.B. auch bei nicht zwangsläufig ringförmigen Gestaltungen wie in 4 und 5 muss die Anordnung der magnetisch miteinander wechselwirkenden Bereiche der Basis einerseits und der Halterung andererseits nicht wie dargestellt sein. In der Darstellung wirken die Magnetkräfte in der axialen Richtung, die parallel zur Drehachse R verläuft, anziehend. Diese magnetisch miteinander wechselwirkenden Bereiche können alternativ in radialer Richtung hintereinander angeordnet sein, sodass die Magnetkräfte in radialer Richtung anziehend wirken. Z.B. kann sich bei der Anordnung in 4 die Basis radial innenseitig oder radial außenseitig der Halterung befinden.Not only at the in 8th arrangement shown, but also for example not necessarily annular shapes as in 4 and 5 The arrangement of the magnetically interacting areas of the base on the one hand and the holder on the other hand, not as shown. In the illustration, the magnetic forces in the axial direction, which is parallel to the rotation axis R, attractive. These magnetically interacting regions can alternatively be arranged one behind the other in the radial direction, so that the magnetic forces act attractively in the radial direction. For example, in the arrangement in 4 the base are radially inside or radially outside of the holder.

Im Fall einer Bewegungsvorrichtung mit Beweglichkeit in Richtung einer Linearachse können die magnetisch miteinander wechselwirkenden Bereiche der Basis einerseits und der Halterung des Messsensors andererseits in jeder Richtung hintereinander angeordnet sein, die quer zur Richtung der Linearachse verläuft. In the case of a movement device with mobility in the direction of a linear axis, the magnetically interacting regions of the base, on the one hand, and the mounting of the measuring sensor, on the other hand, can be arranged one behind the other in each direction, which runs transversely to the direction of the linear axis.

Um auf die Anordnung in 8 zurückzukommen, kann bei einer Variante die ringförmige Halterung 31 den vorspringenden Bereich 38 bilden, der in eine Nut 39 der ringförmigen Basis eingreift, wenn die Halterung während des Messbetriebes der Messanordnung an der Basis fixiert ist. To put on the arrangement in 8th come back, in a variant, the annular holder 31 the projecting area 38 that form into a groove 39 the annular base engages when the holder is fixed to the base during the measuring operation of the measuring arrangement.

Es sind dabei folgende Ausgestaltungen möglich: Der vorspringende Bereich 38 kann ebenfalls ringförmig, die Drehachse R umlaufend ausgestaltet sein. Alternativ kann eine Mehrzahl der vorspringenden Bereiche 38 als Nutensteine vorhanden sein. Es ist sogar auch möglich, dass die Halterung nicht ringförmig ausgestaltet ist. Die ringförmige Nut 39 ermöglicht dennoch eine Einstellung der gewünschten Halteposition auf einfache Weise, indem die Halterung 31 mit dem vorspringenden Bereich 38 innerhalb der Nut 39 um die Drehachse R verschoben wird oder indem die Halterung 31 mit dem vorspringenden Bereich 38 aus der Nut 39 entnommen wird und an einer anderen gewünschten Halteposition wieder in die Nut 39 eingebracht wird. Eine nicht ringförmige Halterung hat z.B. den Vorteil, dass vorübergehend mehrere der Halterungen, die jeweils einen Messsensor halten, in eine Halteposition gebracht werden können. Dann kann ein Messbetrieb mit mehreren z.B. redundanten Messsensoren stattfinden und zumindest ein Teil der Messsensoren kann danach wieder entfernt werden.The following configurations are possible: The protruding area 38 can also be annular, the axis of rotation R be configured circumferentially. Alternatively, a plurality of the projecting portions 38 be available as nuts. It is even possible that the holder is not designed annular. The annular groove 39 nevertheless allows adjustment of the desired holding position in a simple manner by the holder 31 with the projecting area 38 inside the groove 39 is moved around the axis of rotation R or by the bracket 31 with the projecting area 38 out of the groove 39 is removed and at another desired holding position back into the groove 39 is introduced. A non-annular holder has the advantage, for example, that temporarily several of the holders, each holding a measuring sensor, can be brought into a holding position. Then, a measuring operation with several eg redundant measuring sensors take place and at least a part of the measuring sensors can then be removed again.

Die Ausgestaltung in 9 zeigt eine Halterung 32, die z.B. die ringförmige Halterung 32 aus 8 sein kann, wobei die oben in 8 liegende Oberseite in 9 dargestellt ist. In jedem Fall wird von der ringförmigen Halterung 32 in 9 an zwei bezüglich der Drehachse einander gegenüberliegenden Positionen jeweils ein Messsensor 34a, 34b gehalten, wobei die Messsensoren 34 z.B. jeweils über zwei Schrauben 30 an der ringförmigen Halterung 32 festgeschraubt sind. Die Drehachse durchstößt den Kreuzungspunkt M der beiden in 9 dargestellten strichpunktierten Linien und verläuft senkrecht zur Figurenebene.The design in 9 shows a holder 32 , for example, the annular holder 32 out 8th can be, with the above in 8th lying top in 9 is shown. In any case, from the annular holder 32 in 9 in each case one measuring sensor at two positions which are opposite one another with respect to the axis of rotation 34a . 34b held, with the measuring sensors 34 eg each with two screws 30 on the annular holder 32 are screwed. The axis of rotation pierces the intersection point M of the two in 9 shown dash-dotted lines and runs perpendicular to the plane of the figure.

Die ringförmige Halterung 32 weist ferner eine Mehrzahl von Durchgangsöffnungen 36a, 36b, 36c, 36d auf, von denen z.B. zwei Durchgangsöffnungen 36a, 36b, die z. B. bezüglich der Drehachse einander gegenüberliegen, Gewindebohrungen darstellen, die für Abdrückschrauben in der Art verwendet werden, die anhand von 7 erläutert wurde. Die anderen beiden Durchgangsöffnungen 36c, 36d werden z.B. zum Hindurchstecken eines Werkzeuges bei der Montage der Gesamtanordnung verwendet. The annular holder 32 also has a plurality of passage openings 36a . 36b . 36c . 36d on, of which, for example, two through holes 36a . 36b that z. B. opposed to each other with respect to the axis of rotation, represent threaded holes, which are used for jacking screws in the manner described by 7 was explained. The other two through holes 36c . 36d are used, for example, for inserting a tool during assembly of the overall arrangement.

Insbesondere wenn (wie bei einer Ausgestaltung der in 8 dargestellten Anordnung) sowohl die Basis als auch die Halterung ringförmig sind, eignet sich die Anordnung gut für die Halterung und Fixierung von zumindest zwei Messsensoren, wobei die Relativposition und/oder der Abstand der Messsensoren fest vorgegeben sein kann, insbesondere auch durch die Gestaltung der Halterung fest vorgegeben sein kann. Z.B. ist dies bei der in 9 dargestellten Anordnung mit zwei Messsensoren 34 der Fall.In particular if (as in one embodiment of the in 8th arrangement shown), both the base and the holder are annular, the arrangement is well suited for holding and fixing of at least two measuring sensors, the relative position and / or the distance of the measuring sensors can be fixed, in particular by the design of the holder can be fixed. For example, this is at the in 9 illustrated arrangement with two measuring sensors 34 the case.

Die Position für die Messsensoren 34 ist z.B. durch Gewindebohrungen für die Schrauben 30 fest vorgegeben. Wie erwähnt muss aber die zugehörige Basis, an der die Halterung fixiert wird, nicht unbedingt ringförmig sein.The position for the measuring sensors 34 is eg through threaded holes for the screws 30 fixed. As mentioned, but the associated base to which the holder is fixed, not necessarily be annular.

Anders als in 8 dargestellt, kann die Fixierung der Halterung an der Basis alternativ oder zusätzlich zu einer Fixierung durch Magnetkräfte auf andere Weise realisiert werden, z.B. durch Unterdruck und/oder auf mechanische Weise. Z.B. kann ein Nutenstein in der ringförmigen Nut 39 durch Spreizung seiner Außenoberflächen mechanisch an die Ränder der Nut angepresst werden, sodass der Nutenstein kraftschlüssig fixiert wird. Unlike in 8th illustrated, the fixation of the holder to the base can alternatively or in addition to a fixation by magnetic forces in other ways be realized, for example by vacuum and / or in a mechanical manner. For example, a sliding block in the annular groove 39 be pressed by spreading its outer surfaces mechanically to the edges of the groove, so that the sliding block is fixed non-positively.

Im Fall der bezüglich der Drehachse einander gegenüberliegend angeordnet Messsensoren (wie z.B. die Messsensoren 34 in 9) kann durch Einstellung der Drehstellung der ringförmigen Halterung bezüglich der Drehachse und durch Fixierung der Halterung an der Basis in dieser Drehstellung wie oben beschrieben eine günstige Halteposition für die einander gegenüberliegenden Messsensoren eingestellt werden.In the case of the measuring sensors arranged opposite one another with respect to the axis of rotation (such as, for example, the measuring sensors 34 in 9 ) can be adjusted by adjusting the rotational position of the annular support with respect to the axis of rotation and by fixing the holder to the base in this rotational position as described above, a favorable holding position for the opposite measuring sensors.

Die Draufsicht in 10 auf einen ringförmigen Gegenstand 42 zeigt einen Messsensor 44 mit einer Anschlussleitung 48. Damit die Anschlussleitung 48 nicht störend verläuft, ist die Anschlussleitung 48 mittels einer Mehrzahl (hier: drei) Leitungshaltern 49 an der Oberfläche des ringförmigen Gegenstandes 42 gehalten. Insbesondere kann jeder der Leitungshalter 49 ein magnetisches oder magnetisierbares Material aufweisen und durch Magnetkräfte an dem ebenfalls magnetischen oder magnetisierbaren Gegenstand 42 gehalten werden. Bei dem Gegenstand 42 kann es sich um eine Ausgestaltung der Halterung oder der Basis handeln. Im Fall der Basis ist der Messsensor durch eine nicht dargestellte Halterung vorzugsweise durch Magnetkräfte an der Basis fixiert. The top view in 10 on an annular object 42 shows a measuring sensor 44 with a connection cable 48 , So that the connection line 48 is not disturbing, is the connecting cable 48 by means of a plurality (here: three) wire holders 49 on the surface of the annular article 42 held. In particular, each of the line holders 49 have a magnetic or magnetizable material and by magnetic forces on the likewise magnetic or magnetizable object 42 being held. At the object 42 it may be an embodiment of the holder or the base. In the case of the base of the measuring sensor is preferably fixed by a holder, not shown, by magnetic forces on the base.

Eine besondere Ausgestaltung eines der Leitungshalter 49 ist aus 11 erkennbar. Der Leitungshalter 49 weist ein Gehäuse 50 auf, in dem ein Magnet 46 aufgenommen ist. Als optionales Merkmal kann ferner das Gehäuse 50 einen oder mehrere Schlitze aufweisen, durch das/die sich ein Haltemittel zum Halten der Anschlussleitung 48 erstreckt. In dem in 11 dargestellten Fall sind zwei solcher Schlitze vorgesehen, an denen ein ringförmiges Haltemittel 47 durch den einen Schlitz in das Gehäuse 50 hinein und durch den anderen Schlitz aus dem Gehäuse 50 wieder herausgeführt ist. Entweder wird die Anschlussleitung durch das ringförmige Haltemittel 47 hindurchgeführt oder, bevorzugter Maßen, ist das ringförmige Haltemittel 47 ein Kabelbinder, der um den Außenumfang der Anschlussleitung 48 herumgeführt und geschlossen wird. Insbesondere kann es sich um einen Kabelbinder handeln, der in an sich bekannter Weise einen Verschluss aufweist, welcher ein Festspannen des Kabelbinders an dem Gehäuse und damit ein Halten der Anschlussleitung durch Klemmwirkung ermöglicht. A particular embodiment of the conductor holder 49 is out 11 recognizable. The conductor holder 49 has a housing 50 in which a magnet 46 is included. As an optional feature may further include the housing 50 have one or more slots through which a holding means for holding the connecting cable 48 extends. In the in 11 illustrated case, two such slots are provided, in which an annular retaining means 47 through the one slot in the housing 50 into and out of the housing through the other slot 50 is led out again. Either the connecting line through the annular holding means 47 passed through or, more preferably, is the annular retaining means 47 a cable tie around the outer circumference of the connecting cable 48 is led around and closed. In particular, it may be a cable tie, which has a closure in a conventional manner, which allows a tightening of the cable tie on the housing and thus holding the connecting cable by clamping action.

Der Magnet 46 in dem Gehäuse 50 steht in Wechselwirkung mit dem magnetischen oder magnetisierbaren Material des ringförmigen Gegenstandes 42. Z.B. ist das Material des ringförmigen Gegenstandes 42 ferromagnetisch. The magnet 46 in the case 50 is in interaction with the magnetic or magnetizable material of the annular article 42 , For example, the material of the annular object 42 ferromagnetic.

12 zeigt einen zusätzlichen Mantel 61 für die Anschlussleitung 48 eines Messsensors. Der Mantel 61 ist vorzugsweise aus einem magnetischen Kunststoff gefertigt, z.B. aus einem Kunststoff, in dem ein magnetisches oder magnetisierbares Material (z.B. in Pulverform) gebunden ist. Zum Einbringen in elastische Kunststoffe eignen sich z.B. Pulver aus Hartferrit oder aus seltenen Erden. 12 shows an additional coat 61 for the connection cable 48 a measuring sensor. The coat 61 is preferably made of a magnetic plastic, for example of a plastic, in which a magnetic or magnetizable material (eg in powder form) is bound. Powders made of hard ferrite or rare earths are suitable for incorporation into elastic plastics.

Vorzugsweise ist der zusätzliche Mantel 61 aus einem elastischen Material gefertigt und weist einen Schlitz 62 auf, der sich in Längsrichtung der Anschlussleitung 48 erstreckt, wenn diese in dem Mantel 61 aufgenommen ist. Die Anschlussleitung 48 wird in den Mantel 61 eingebracht, indem der Mantel 61 entgegen seiner elastischen Rückstellkräfte elastisch verformt wird, bis der Schlitz 62 soweit erweitert ist, dass die Anschlussleitung 61 in den Aufnahmeraum 63 des Mantels 61 eingebracht werden kann. Aufgrund der elastischen Rückstellkräfte schließt sich der Schlitz 62 wieder ganz oder teilweise und die Anschlussleitung 48 wird in dem Aufnahmeraum 63 gehalten.Preferably, the additional jacket 61 made of an elastic material and has a slot 62 on, extending in the longitudinal direction of the connecting cable 48 extends when this in the mantle 61 is included. The connection cable 48 gets into the coat 61 introduced by the mantle 61 is elastically deformed against its elastic restoring forces until the slot 62 so far extended that the connecting line 61 in the recording room 63 of the coat 61 can be introduced. Due to the elastic restoring forces, the slot closes 62 again whole or in part and the connecting line 48 will be in the recording room 63 held.

Wie in 12 dargestellt weist der Mantel 61 zumindest eine ebene oder komplementär zu der Oberflächenform der Halterung geformte Oberfläche auf, sodass die ebene Oberfläche (auf einer entsprechenden ebenen Oberfläche der Halterung) oder die komplementär geformte Oberfläche des Mantels 61 auf der Oberfläche der Halterung vollflächig anliegen kann und dabei von den Magnetkräften fixiert wird, die zwischen der Halterung und dem magnetischen oder magnetisierbaren Material des Mantels 61 wirken.As in 12 shown has the coat 61 at least one plane or complementary to the surface shape of the holder shaped surface, so that the flat surface (on a corresponding planar surface of the holder) or the complementarily shaped surface of the shell 61 can rest on the surface of the holder over its entire surface and is thereby fixed by the magnetic forces between the holder and the magnetic or magnetizable material of the jacket 61 Act.

Da der Mantel 61 lediglich eine Oberfläche als Anlagefläche zu der Oberfläche der Halterung benötigt, kann der Mantel eine andere Querschnittsform haben als in 12 dargestellt. Z.B. kann der Mantel oben eine runde Oberfläche haben. Die in 12 dargestellte, im Wesentlichen (mit Ausnahme des Schlitzes 62) quadratische Querschnittsform ist daher nicht zwingend erforderlich.Since the coat 61 merely requiring a surface as a bearing surface to the surface of the holder, the jacket may have a different cross-sectional shape than in 12 shown. For example, the mantle above can have a round surface. In the 12 shown, in essence (except for the slot 62 ) square cross-sectional shape is therefore not mandatory.

Generell, nicht nur in Bezug auf die in den Figuren dargestellten Ausführungsformen, müssen die Magnetkräfte, die die Halterung an der Basis halten, nicht ausschließlich durch die Materialien der Basis einerseits und der Halterung andererseits aufgebracht werden. Vielmehr kann z.B. zusätzlich ein Elektromagnet vorgesehen sein und/oder es kann zumindest ein zusätzlicher Körper aus magnetischem Material vorgesehen sein. Dadurch lassen sich die Magnetkräfte an dem Ort, an dem die Halterung an der Basis fixiert werden soll, verstärken.Generally, not only with respect to the embodiments shown in the figures, the magnetic forces holding the holder to the base need not be applied solely by the materials of the base, on the one hand, and the holder, on the other hand. Rather, e.g. In addition, an electromagnet may be provided and / or at least one additional body of magnetic material may be provided. As a result, the magnetic forces at the place where the holder is to be fixed to the base, reinforce.

Alternativ zu dem anhand von 12 erläuterten Mantel kann zur Befestigung der Anschlussleitung eines Messsensors an der Halterung, insbesondere an einer ringförmigen Halterung, eine Umhüllung vorgesehen sein, die über die Anschlussleitung gezogen wird, sodass sie zumindest einen Abschnitt der Anschlussleitung um dessen Umfang geschlossen umlaufend umhüllt. Z.B. kann die Umhüllung an ihrer Außenoberfläche als Teil eines Klettverschlusses ausgeführt sein, wobei der andere Teil des Klettverschlusses an der Oberfläche der Halterung befestigt ist, z.B. am Rand der Halterung, insbesondere am außenliegenden Rand der Oberfläche einer ringförmigen Halterung.Alternatively to that with reference to 12 described jacket may be provided for attaching the connecting lead of a measuring sensor to the holder, in particular on an annular support, a sheath which is pulled over the connecting line, so that it surrounds at least a portion of the connecting line circumferentially closed circumferentially. For example, the envelope may be embodied on its outer surface as part of a hook-and-loop fastener, the other part of the hook-and-loop fastener being fastened to the surface of the holder, eg on the edge of the holder, in particular on the outer edge of the surface of an annular holder.

13 zeigt einen Teilabschnitt eines ersten Teils 301, wobei das erste Teil 301 sich nach rechts und/oder nach links weiter erstrecken kann, als es in 13 dargestellt ist. Ein zweites Teil 304 ist in horizontaler Richtung der 13 (die z.B. in der Praxis ebenfalls eine horizontale Richtung oder auch eine andere Richtung ist) geradlinig beweglich an dem ersten Teil 301 gelagert. 13 shows a section of a first part 301 , where the first part 301 to the right and / or may extend farther to the left than it does in 13 is shown. A second part 304 is in the horizontal direction of the 13 (which in practice is also a horizontal direction or another direction) is rectilinearly movable on the first part 301 stored.

Oben an der in 13 erkennbaren Vorderseite des ersten Teils 301 ist ein Inkrementalmaßstab 206 als Maßverkörperung vorgesehen. Die in der Figur vertikal verlaufenden Markierungen mit konstanten Abständen zueinander sind erkennbar. Im mittleren Teil der 13 jedoch sind diese Markierungen und auch die Oberkante des ersten Teils 301 durch gestrichelte Linien dargestellt, da das zweite Teil 304 diesen Bereich in Blickrichtung abdeckt. At the top of the in 13 recognizable front of the first part 301 is an incremental scale 206 provided as a material measure. The vertically extending markings in the figure with constant distances from each other are recognizable. In the middle part of the 13 however, these are the marks and also the top of the first part 301 represented by dashed lines, since the second part 304 covers this area in the direction of view.

Das zweite Teil 304 weist eine Basis 311 auf, die an ihrer Unterseite eine Halterung 312 trägt, welche wiederum einen Messsensor 314 hält. Die Halterung 312 kann in der Bewegungsrichtung der Relativbewegung zwischen dem ersten Teil 301 und dem zweiten Teil 304 verschoben werden und in der gewünschten Halteposition bezüglich der Basis 311 fixiert werden, z.B. durch Magnetkräfte ähnlich der Anordnung in 4 und 5. Auf diese Weise kann der Messsensor 314 in eine günstige Halteposition gebracht werden. In jeder möglichen Halteposition ist der Messsensor 314 in der Lage, bei Relativbewegung des ersten Teils 301 und des zweiten Teils 304 die relative Bewegung der Teile 301, 304 zu messen, z.B. indem jeweils dann ein Impulssignal erzeugt wird, wenn eine der strichförmigen Markierungen des Inkrementalmaßstabes 206 den Erfassungsbereich des Messsensors 314 passiert. The second part 304 has a base 311 on, which on its underside a holder 312 carries, which in turn a measuring sensor 314 holds. The holder 312 can in the direction of movement of the relative movement between the first part 301 and the second part 304 be moved and in the desired holding position relative to the base 311 be fixed, for example by magnetic forces similar to the arrangement in 4 and 5 , In this way, the measuring sensor 314 be brought into a favorable holding position. In every possible stop position is the measuring sensor 314 capable of relative movement of the first part 301 and the second part 304 the relative movement of the parts 301 . 304 to measure, for example, in each case by a pulse signal is generated when one of the bar-shaped markers of the incremental scale 206 the detection range of the measuring sensor 314 happens.

Bei einer Variante der in 13 dargestellten Anordnung erstreckt sich die Basis nicht entlang dem Inkrementalmaßstab und somit nicht entlang der Bewegungsrichtung, sondern in einer Richtung quer zur Bewegungsrichtung. Dementsprechend kann die Halterung in der Richtung quer zur Bewegungsrichtung in verschiedenen Haltepositionen entlang der Basis positioniert werden und durch Magnetkräfte an der Basis gehalten werden. Vorzugsweise wird dann eine Halteposition eingestellt, in der sich rotatorische und translatorische Bewegungsfehler kompensieren. Dabei kann die Position des Inkrementalmaßstabes ebenfalls in der Richtung quer zur Bewegungsrichtung eingestellt werden, sodass der von der Halterung gehaltene Messsensor durch Ablesen des Inkrementalmaßstabes Signale zur Bestimmung der jeweiligen Position in der Bewegungsrichtung erzeugen kann.In a variant of in 13 As shown, the base does not extend along the incremental scale, and thus not along the direction of movement, but in a direction transverse to the direction of movement. Accordingly, the support can be positioned in the direction transverse to the direction of movement in various holding positions along the base and held by magnetic forces on the base. Preferably, a holding position is then set in which compensate for rotational and translational motion errors. In this case, the position of the incremental scale can also be set in the direction transverse to the direction of movement, so that the measuring sensor held by the holder can generate signals for determining the respective position in the direction of movement by reading the incremental scale.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • EP 2013/056123 [0023] EP 2013/056123 [0023]
  • DE 102013216093 [0023, 0023, 0095] DE 102013216093 [0023, 0023, 0095]
  • EP 1923670 A1 [0056] EP 1923670 A1 [0056]

Claims (15)

Messanordnung zum Messen einer relativen Position und/oder einer relativen Bewegung eines ersten Teils (51) und eines relativ zu dem ersten Teil (51) um eine Drehachse (R) drehbeweglichen zweiten Teils (53), wobei die Messanordnung aufweist: • eine Maßverkörperung (75), die an dem ersten Teil (51) ausgebildet ist oder die mit dem ersten Teil (51) verbindbar ist, • zumindest einen Messsensor (74a, 74b), der an dem zweiten Teil (53) derart angeordnet oder anordenbar ist und der während eines Messbetriebes der Messanordnung derart mit der Maßverkörperung (75) zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors (74a, 74b) Informationen über eine Drehposition des Messsensors (74a, 74b) bezüglich der Drehachse (R) und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors (74a, 74b) um die Drehachse (R) enthalten und damit eine Bestimmung der relativen Position und/oder der relativen Bewegung des ersten Teils (51) und des zweiten Teils (53) ermöglichen, • eine Halterung (72), die zum Halten des Messsensors (74a, 74b) mit dem Messsensor (74a, 74b) verbunden ist, oder die Teil des Messsensors ist, und • eine Basis (71) zum Fixieren der Halterung mit dem von der Halterung gehaltenen Messsensor (74a, 74b), wobei die Basis (71) während des Betriebes der Messanordnung an dem zweiten Teil befestigt ist, wobei • die Halterung als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist, der/das sich um die Drehachse (R) erstreckt, welche einen Mittelpunkt des Kreisrings oder des Kreisringsegments enthält, und • die Halterung wahlweise in einer von verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse an der Basis (71) positionierbar ist, sodass die Halterung in der jeweiligen Drehstellung an der Basis (71) fixiert wird und sodass die Drehstellung und somit eine Position, die der Messsensor (74a, 74b) während des Betriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil einnimmt, einstellbar ist. Measuring arrangement for measuring a relative position and / or a relative movement of a first part ( 51 ) and one relative to the first part ( 51 ) about a rotational axis (R) rotatable second part ( 53 ), wherein the measuring arrangement comprises: • a material measure ( 75 ), the first part ( 51 ) or with the first part ( 51 ), at least one measuring sensor ( 74a . 74b ), the second part ( 53 ) is arranged or can be arranged in such a way and during a measuring operation of the measuring arrangement in such a way with the material measure ( 75 ) cooperates, that measuring signals of the measuring sensor ( 74a . 74b ) Information about a rotational position of the measuring sensor ( 74a . 74b ) with respect to the axis of rotation (R) and / or information about a rotational movement of the measuring sensor ( 74a . 74b ) about the axis of rotation (R) and thus a determination of the relative position and / or the relative movement of the first part ( 51 ) and the second part ( 53 ), • a bracket ( 72 ) used to hold the measuring sensor ( 74a . 74b ) with the measuring sensor ( 74a . 74b ), or that is part of the measuring sensor, and • a base ( 71 ) for fixing the holder to the measuring sensor held by the holder ( 74a . 74b ), whereby the basis ( 71 ) is attached to the second part during operation of the measuring assembly, wherein • the support is configured as a circular ring or annulus segment extending around the rotation axis (R) containing a center of the annulus or annulus segment; Holder either in one of different rotational positions about the axis of rotation at the base ( 71 ) is positionable, so that the holder in the respective rotational position at the base ( 71 ) and so that the rotational position and thus a position that the measuring sensor ( 74a . 74b ) during operation of the measuring device relative to the second part occupies, is adjustable. Messanordnung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Halterung (32) Halteelemente (30) aufweist, durch die in zumindest zwei durch die Halteelemente (30) vorgegebenen Positionen der Halterung (32) jeweils ein Messsensor (34a, 34b) zur Gewinnung der Informationen über die Drehposition des Messsensors (34a, 34b) und/oder die Drehbewegung des Messsensors (34a, 34b) haltbar ist und/oder gehalten wird, wobei die zumindest zwei vorgegebenen Positionen in einer Richtung entlang der Maßverkörperung voneinander beabstandet sind.Measuring arrangement according to the preceding claim, wherein the holder ( 32 ) Holding elements ( 30 ), in which at least two by the holding elements ( 30 ) predetermined positions of the holder ( 32 ) one measuring sensor each ( 34a . 34b ) for obtaining the information about the rotational position of the measuring sensor ( 34a . 34b ) and / or the rotational movement of the measuring sensor ( 34a . 34b ) is durable and / or held, wherein the at least two predetermined positions in a direction along the measuring graduation are spaced from each other. Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zum Messen einer relativen Drehposition und/oder einer relativen Drehbewegung durch den Messsensor (74a, 74b) sich die Maßverkörperung (75) über einen Verlauf eines Kreises oder eines Kreissegmentes erstreckt und die Basis (71) als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist.Measuring arrangement according to one of the preceding claims, wherein for measuring a relative rotational position and / or a relative rotational movement by the measuring sensor ( 74a . 74b ) the material measure ( 75 ) extends over a course of a circle or a circle segment and the base ( 71 ) is designed as a circular ring or as a circular ring segment. Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Basis (101; 151) eine Anpressfläche zum Anpressen der Halterung (102; 152) in den verschiedenen Drehstellungen aufweist, wobei sich die Anpressfläche in konstantem Abstand zu der Maßverkörperung (75) erstreckt.Measuring arrangement according to one of the preceding claims, wherein the base ( 101 ; 151 ) a contact surface for pressing the holder ( 102 ; 152 ) in the different rotational positions, wherein the contact surface at a constant distance from the material measure ( 75 ). Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Halterung durch Magnetkräfte in einer Anpressrichtung an die Basis (71; 101) angepresst wird,Measuring arrangement according to one of the preceding claims, wherein the holder by magnetic forces in a pressing direction to the base ( 71 ; 101 ) is pressed, Messanordnung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Halterung (102) ein erstes Material (105), das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer ersten magnetischen Suzeptibilität ist, und ein zweites Material (106), das ein Material mit einer zweiten magnetischen Suzeptibilität ist, aufweist, wobei das erste Material (105) in Wechselwirkung mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material der Basis (101) zumindest einen Teil der Magnetkräfte bewirkt, die die Halterung (102) in der Anpressrichtung an die Basis (101) anpressen, wobei die zweite magnetische Suzeptibilität kleiner ist als die erste magnetische Suzeptibilität und wobei das zweite Material (106) an einander gegenüberliegenden Seiten des ersten Materials (105) angeordnet ist, sodass das erste Material (105) betrachtet in einer quer zur Anpressrichtung verlaufenden Querrichtung von dem zweiten Material (106) eingeschlossen ist. Measuring arrangement according to the preceding claim, wherein the holder ( 102 ) a first material ( 105 ), which is a magnetic or magnetizable material having a first magnetic susceptibility, and a second material ( 106 ), which is a material having a second magnetic susceptibility, wherein the first material ( 105 ) in interaction with a magnetic or magnetizable material of the base ( 101 ) causes at least a portion of the magnetic forces that the holder ( 102 ) in the pressing direction to the base ( 101 ), wherein the second magnetic susceptibility is smaller than the first magnetic susceptibility and wherein the second material ( 106 ) on opposite sides of the first material ( 105 ), so that the first material ( 105 ) viewed in a transversely to the pressing direction transverse direction of the second material ( 106 ) is included. Messanordnung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei die Halterung (102) ein erstes Material (105), das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer ersten magnetischen Suzeptibilität ist, und ein drittes Material (107), das ein magnetisches oder magnetisierbares Material mit einer dritten magnetischen Suzeptibilität ist, aufweist, wobei die dritte magnetische Suzeptibilität größer ist als die erste magnetische Suzeptibilität und wobei – wenn die Halterung (102) durch die Magnetkräfte an die Basis (101) angepresst ist und dadurch die Halterung (102) an der Basis (101) fixiert ist – sich das erste Material (105) näher an der Basis (101) befindet als das dritte Material (107) und sich das dritte Material (107) zwischen dem Messsensor (104) und dem ersten Material (105) befindet.Measuring arrangement according to one of the two preceding claims, wherein the holder ( 102 ) a first material ( 105 ), which is a magnetic or magnetizable material having a first magnetic susceptibility, and a third material ( 107 ), which is a magnetic or magnetizable material having a third magnetic susceptibility, wherein the third magnetic susceptibility is greater than the first magnetic susceptibility and wherein - when the holder ( 102 ) by the magnetic forces to the base ( 101 ) is pressed and thereby the bracket ( 102 ) at the base ( 101 ) - the first material ( 105 ) closer to the base ( 101 ) is located as the third material ( 107 ) and the third material ( 107 ) between the measuring sensor ( 104 ) and the first material ( 105 ) is located. Messanordnung nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, aufweisend eine Abstandseinrichtung (186, 188), die zumindest einen Abstandshalter (188) aufweist, der einen Mindest-Abstand zwischen magnetischen oder magnetisierbaren Materialien der Basis (181) einerseits und der Halterung (182) andererseits gewährleistet, wobei die magnetischen oder magnetisierbaren Materialien zumindest einen Teil der Magnetkräfte bewirken, die die Halterung (182) in der Anpressrichtung an die Basis (181) anpressen, und wobei eine Abmessung des Abstandshalters zwischen der Basis (181) und der Halterung (182) einstellbar ist, sodass auch der Mindest-Abstand einstellbar ist. Measuring arrangement according to one of the three preceding claims, comprising a spacing device ( 186 . 188 ), which at least one spacer ( 188 ), which has a minimum distance between magnetic or magnetizable materials of the base ( 181 ) on the one hand and the bracket ( 182 ), on the other hand, wherein the magnetic or magnetizable materials at least cause some of the magnetic forces affecting the mount ( 182 ) in the pressing direction to the base ( 181 ), and wherein a dimension of the spacer between the base ( 181 ) and the bracket ( 182 ) is adjustable, so that the minimum distance is adjustable. Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messanordnung eine Führung (38, 39) aufweist, durch die eine mögliche Relativbewegung der Halterung (32) und der Basis (31) geführt wird, wobei durch Ausführung der Relativbewegung die Halterung (32) in die verschiedenen Haltepositionen bringbar ist.Measuring arrangement according to one of the preceding claims, wherein the measuring arrangement comprises a guide ( 38 . 39 ), by which a possible relative movement of the holder ( 32 ) and the base ( 31 ), wherein by carrying out the relative movement, the holder ( 32 ) Can be brought into the various holding positions. Messanordnung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Führung (38, 39) durch eine kreisringförmige Nut (39) in der Halterung (32) oder in der Basis gebildet ist, in die ein vorspringender Bereich (38) der Basis (31) oder der Halterung eingreift. Measuring arrangement according to the preceding claim, wherein the guide ( 38 . 39 ) by an annular groove ( 39 ) in the holder ( 32 ) or is formed in the base into which a projecting area ( 38 ) the base ( 31 ) or the bracket engages. Koordinatenmessgerät (211), aufweisend die Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Koordinatenmessgerät (211) das erste Teil (210) und das relativ zu dem ersten Teil drehbewegliche zweite Teil (209) aufweist.Coordinate measuring machine ( 211 ), comprising the measuring arrangement according to one of the preceding claims, wherein the coordinate measuring machine ( 211 ) the first part ( 210 ) and the relative to the first part rotatable second part ( 209 ) having. Drehvorrichtung (217; 205) zum Drehen eines Werkstücks oder einer Koordinaten-Messeinrichtung (209) in einer Anordnung zum Messen von Koordinaten des Werkstücks, wobei die Drehvorrichtung (217; 205) die Messanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, das erste Teil (218; 210) und das zweite Teil (219; 209) aufweist, wobei das zweite Teil (219; 209) relativ zu dem ersten Teil (218; 210) um eine Drehachse der Drehvorrichtung (217; 205) drehbeweglich ist und wobei das Werkstück oder die Koordinaten-Messeinrichtung an dem ersten Teil (218; 210) oder dem zweiten Teil (219; 209) anordenbar ist.Turning device ( 217 ; 205 ) for rotating a workpiece or a coordinate measuring device ( 209 ) in an arrangement for measuring coordinates of the workpiece, wherein the rotating device ( 217 ; 205 ) the measuring arrangement according to one of the preceding claims, the first part ( 218 ; 210 ) and the second part ( 219 ; 209 ), the second part ( 219 ; 209 ) relative to the first part ( 218 ; 210 ) about an axis of rotation of the rotary device ( 217 ; 205 ) is rotatable and wherein the workpiece or the coordinate measuring device at the first part ( 218 ; 210 ) or the second part ( 219 ; 209 ) can be arranged. Verfahren zum Betreiben einer Messanordnung, die ausgestaltet ist, eine relative Position und/oder eine relative Bewegung eines ersten Teils (51) und eines relativ zu dem ersten Teil (51) um eine Drehachse (R) drehbeweglichen zweiten Teils (53) zu messen, wobei: • zumindest ein Messsensor (74a, 74b) der Messanordnung, der an dem zweiten Teil (53) angeordnet ist, derart mit einer Maßverkörperung (75), welche an dem ersten Teil (51) ausgebildet ist oder welche mit dem ersten Teil (51) verbunden ist, zusammenwirkt, dass Messsignale des Messsensors (74a, 74b) Informationen über eine Drehposition des Messsensors (74a, 74b) bezüglich der Drehachse und/oder Informationen über eine Drehbewegung des Messsensors (74a, 74b) um die Drehachse (R) enthalten, und aus den Informationen die relative Position und/oder die relative Bewegung des ersten Teils (51) und des zweiten Teils (53) bestimmt wird, wobei vor der Erzeugung der Messsignale: • der Messsensor (74a, 74b) mit einer Halterung (72) verbunden wird oder ist oder die Halterung bereits Teil des Messsensors ist, sodass die Halterung (72) den Messsensor (74a, 74b) hält, wobei die Halterung (72) als Kreisring oder als Kreisringsegment ausgestaltet ist, der/das sich um die Drehachse (R) erstreckt, welche einen Mittelpunkt des Kreisrings oder des Kreisringsegments enthält, • die Halterung (72) wahlweise in einer von verschiedenen Drehstellungen um die Drehachse (R) an der Basis (71) positioniert wird, sodass die Halterung (72) in der jeweiligen Drehstellung an der Basis (71) fixiert wird und so dass die Drehstellung und somit eine Position, die der Messsensor (74a, 74b) während eines Messbetriebes der Messanordnung relativ zu dem zweiten Teil (53) einnimmt, eingestellt wird.Method for operating a measuring arrangement that is configured, a relative position and / or a relative movement of a first part ( 51 ) and one relative to the first part ( 51 ) about a rotational axis (R) rotatable second part ( 53 ), wherein: at least one measuring sensor ( 74a . 74b ) of the measuring arrangement, which at the second part ( 53 ) is arranged, in such a way with a material measure ( 75 ), which in the first part ( 51 ) is formed or which with the first part ( 51 ), cooperates, that measuring signals of the measuring sensor ( 74a . 74b ) Information about a rotational position of the measuring sensor ( 74a . 74b ) with respect to the axis of rotation and / or information about a rotational movement of the measuring sensor ( 74a . 74b ) about the axis of rotation (R), and from the information the relative position and / or the relative movement of the first part ( 51 ) and the second part ( 53 ), wherein before the generation of the measurement signals: 74a . 74b ) with a holder ( 72 ) is or is or the holder is already part of the measuring sensor, so that the holder ( 72 ) the measuring sensor ( 74a . 74b ), the holder ( 72 ) is configured as a circular ring or as a circular ring segment which extends around the axis of rotation (R), which contains a center of the circular ring or of the circular ring segment, 72 ) optionally in one of different rotational positions about the axis of rotation (R) at the base ( 71 ) is positioned so that the bracket ( 72 ) in the respective rotational position at the base ( 71 ) and so that the rotational position and thus a position that the measuring sensor ( 74a . 74b ) during a measuring operation of the measuring arrangement relative to the second part ( 53 ) is set, is set. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei magnetische oder magnetisierbare Materialien der Basis (71) einerseits und der Halterung andererseits zumindest einen Teil der Magnetkräfte bewirken, die die Halterung in einer Anpressrichtung an die Basis (71) anpressen und dadurch die Halterung an der Basis (71) fixieren.Method according to the preceding claim, wherein magnetic or magnetizable materials of the base ( 71 ) on the one hand and the holder on the other hand cause at least a part of the magnetic forces, the holder in a pressing direction to the base ( 71 ) and thereby the bracket on the base ( 71 ). Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, wobei eine Anschlussleitung (48) des Messsensors (44) mit einem magnetischen oder magnetisierbaren Material (61) verbunden wird und/oder ein magnetisches oder magnetisierbares Material aufweist und wobei ein Abschnitt der Anschlussleitung (48) durch Magnetkräfte des magnetischen oder magnetisierbaren Materials (61) an der Halterung oder der Basis (71) fixiert wird.Method according to one of the two preceding claims, wherein a connecting line ( 48 ) of the measuring sensor ( 44 ) with a magnetic or magnetizable material ( 61 ) and / or comprises a magnetic or magnetisable material and wherein a portion of the connecting line ( 48 ) by magnetic forces of the magnetic or magnetizable material ( 61 ) on the bracket or the base ( 71 ) is fixed.
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