DE102013215169A1

DE102013215169A1 - OPTICAL DEVICE AND LITHOGRAPHY SYSTEM

Info

Publication number: DE102013215169A1
Application number: DE102013215169.1A
Authority: DE
Inventors: Stacy Figueredo; Timo Laufer
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2013-08-01
Filing date: 2013-08-01
Publication date: 2015-02-05
Also published as: WO2015014947A1

Abstract

Offenbart wird eine optische Vorrichtung (100), aufweisend: ein optisches Element (102), eine Basis (106), ein Tragelement (108), welches das optische Element (102) beabstandet von der Basis (106) trägt, ein Isolationselement (110), welches in einem ersten thermischen Leitungspfad (116) zwischen dem optischen Element (102) und der Basis (106) angeordnet ist, wobei das Isolationselement (110) zwischen dem optischen Element (102) und dem Tragelement (108) angeordnet oder in das Tragelement (108) integriert ist.Disclosed is an optical device (100) comprising: an optical element (102), a base (106), a support member (108) supporting the optical element (102) spaced from the base (106), an isolation member (110 ) disposed in a first thermal conduction path (116) between the optical element (102) and the base (106), wherein the insulation element (110) is disposed between or in the optical element (102) and the support element (108) Support element (108) is integrated.

Description

Die Erfindung betrifft eine optische Vorrichtung und eine Lithographieanlage.The invention relates to an optical device and a lithography system.

Lithographieanlagen werden beispielsweise bei der Herstellung von integrierten Schaltungen bzw. ICs verwendet, um ein Maskenmuster in einer Maske auf ein Substrat, wie z.B. einem Siliziumwafer, abzubilden. Dabei wird ein von einem optischen System erzeugtes Lichtbündel durch die Maske auf das Substrat gerichtet. For example, lithography equipment is used in the manufacture of integrated circuits (ICs) to pattern a mask in a mask onto a substrate, such as a substrate. a silicon wafer. In this case, a light beam generated by an optical system is directed through the mask onto the substrate.

In dem Streben nach immer kleineren Strukturen insbesondere bei der Herstellung integrierter Schaltungen werden derzeit EUV-Lithographieanlagen entwickelt, welche Licht mit einer Wellenlänge im Bereich von 5 nm bis 30 nm, insbesondere 13,5 nm verwenden. „EUV“ steht für „Extreme Ultra Violet“. Hinsichtlich der in solchen Lithographieanlagen zum Einsatz kommenden Komponenten, beispielsweise der Spiegel, bestehen höchste Positionieranforderungen. Absolute Temperaturen, Temperaturänderungen über die Zeit wie auch thermische Gradienten innerhalb einzelner Elemente spielen dabei eine entscheidende Rolle, da diese zu thermischen Verformungen führen können.In the pursuit of smaller and smaller structures, particularly in the manufacture of integrated circuits, EUV lithography systems are currently being developed which use light having a wavelength in the range of 5 nm to 30 nm, in particular 13.5 nm. "EUV" stands for "Extreme Ultra Violet". With regard to the components used in such lithographic systems, for example the mirror, the highest positioning requirements exist. Absolute temperatures, temperature changes over time as well as thermal gradients within individual elements play a decisive role, since they can lead to thermal deformations.

Beispielsweise beschreibt die US 2011/0181852 A1 ein Spiegelfeld mit einer Spiegeleinheit, welche einen Spiegel, eine Steuereinrichtung zum Einstellen einer Position des Spiegels relativ zu einer Basis und wärmeleitende Elemente aufweist. Die wärmeleitenden Elemente dienen dazu, Wärme von dem Spiegel zur Basis zu leiten. Damit soll eine zu hohe Spiegeltemperatur vermieden werden, welche zu dessen Beschädigung oder zu einer Beschädigung anderer Teile führen könnte.For example, this describes US 2011/0181852 A1 a mirror array comprising a mirror unit having a mirror, control means for adjusting a position of the mirror relative to a base and heat-conducting elements. The heat-conducting elements serve to conduct heat from the mirror to the base. This is to avoid a high mirror temperature, which could lead to its damage or damage to other parts.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine verbesserte optische Vorrichtung bereitzustellen, welche sich insbesondere durch geringere thermische Verformungen auszeichnet.An object of the present invention is to provide an improved optical device, which is characterized in particular by lower thermal deformations.

Diese Aufgabe wird durch eine optische Vorrichtung mit einem optischen Element, einer Basis, einem Tragelement und einem Isolationselement gelöst. Das Tragelement trägt das optische Element beabstandet von der Basis. Das Isolationselement ist in einem ersten thermischen Leitungspfad zwischen dem optischen Element und der Basis angeordnet. Das Isolationselement ist zwischen dem optischen Element und dem Tragelement angeordnet oder in das Tragelement integriert.This object is achieved by an optical device having an optical element, a base, a support element and an insulation element. The support member carries the optical element spaced from the base. The isolation element is disposed in a first thermal conduction path between the optical element and the base. The insulation element is arranged between the optical element and the support element or integrated into the support element.

Mittels des Isolationselements wird der Wärmeeintrag in das Tragelement oder zumindest in einen Teil desselben reduziert. Entsprechend reduziert ist auch eine thermische Verformung desselben, was sich positiv auf die Genauigkeit einer Positionierbarkeit des optischen Elements auswirkt. Außerdem wird so die Möglichkeit eröffnet, einen größeren Teil der Wärme entlang eines zweiten thermischen Leitungspfads zu zwingen, welcher nicht durch das Tragelement führt. By means of the insulating element of the heat input is reduced in the support member or at least in a part thereof. Correspondingly reduced is also a thermal deformation of the same, which has a positive effect on the accuracy of a positioning of the optical element. In addition, this opens up the possibility of forcing a greater part of the heat along a second thermal conduction path which does not lead through the support element.

Das optische Element kann als ein Spiegel oder eine Linse ausgebildet sein.The optical element may be formed as a mirror or a lens.

Es kann ein Halteelement – auch als Fassung bezeichnet – vorgesehen sein, welche das optische Element hält. Das Tragelement kann in diesem Fall mit dem Halteelement verbunden sein, um das optische Element beabstandet von der Basis zu tragen.It can be a holding element - also called socket - provided, which holds the optical element. The support member may in this case be connected to the support member to support the optical member spaced from the base.

Damit, dass das Tragelement das optische Element beabstandet von der Basis trägt, ist gemeint, dass das Tragelement das optische Element unmittelbar oder mittelbar tragen kann. Beim mittelbaren Tragen sind weitere Elemente, beispielsweise ein Haltelement oder ein oder mehrere weitere Gelenke, Stützelemente und dergleichen zwischen dem Tragelement und dem optischen Element angeordnet.In that the support element carries the optical element at a distance from the base, it is meant that the support element can bear the optical element directly or indirectly. In indirect carrying other elements, such as a holding element or one or more other joints, support elements and the like between the support member and the optical element are arranged.

Die Basis fungiert als Wärmesenke und kann hierzu eine Kühleinrichtung, beispielsweise eine Flüssigkeitskühlung, aufweisen.The base acts as a heat sink and for this purpose can have a cooling device, for example a liquid cooling.

Ein „Isolationselement“ ist ein Element, welches einen höheren thermischen Widerstand als ein unmittelbar an dieses angrenzendes Element aufweist. Handelt es sich jedoch bei dem unmittelbar angrenzenden Element um ein Gelenk, so kann dieses einen höheren thermischen Widerstand als das Isolationselement aufweisen. An "isolation element" is an element that has a higher thermal resistance than a directly adjacent element. If, however, the immediately adjacent element is a joint, then this may have a higher thermal resistance than the insulating element.

Mit „integriert“ ist gemeint, dass das Isolationselement das Tragelement unterbricht und in zwei Tragabschnitte unterteilt und/oder in einer Vertiefung in dem Tragelement angeordnet ist. By "integrated" it is meant that the insulation element interrupts the support element and is divided into two support sections and / or arranged in a recess in the support element.

Die Vorrichtung kann als Spiegeleinheit insbesondere eines Spiegelfeldes ausgebildet sein. Auch andere Anwendungen der Vorrichtungen insbesondere bei einer Lithographieanlage sind denkbar. The device can be designed as a mirror unit, in particular of a mirror field. Other applications of the devices, in particular in a lithography system, are also conceivable.

Gemäß einer Ausführungsform ist das Gelenk für ein Verstellen einer Orientierung des optischen Elements eingerichtet. Das Gelenk kann zwischen dem Tragelement und dem optischen Element angeordnet oder in das Tragelement integriert sein. Mit „Verstellen einer Orientierung“ ist insbesondere ein Verschwenken des optischen Elements gemeint. Alternativ oder zusätzlich kann sich das „Verstellen einer Orientierung“ auf eine lineare Bewegung des optischen Elements beziehen. Die Linearbewegung kann beispielsweise mittels zweier Parallelogrammlenker vorgesehen werden. Mit „integriert“ ist hier gemeint, dass das Gelenk das Tragelement in zwei Tragabschnitte unterteilt, so dass diese zueinander gelenkig vorgesehen sind. Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Gelenk als Festkörpergelenk oder Drehgelenk gebildet. „Festkörpergelenk“ meint ein Gelenk, welches eine Relativbewegung zwischen zwei Starrkörpern durch Biegung erlaubt. Mit „Drehgelenk“ ist ein Gelenk im Sinne eines kinematischen Paars gemeint, wobei zumindest einer der kinematischen Partner eine Schwenkbewegung um eine Drehachse durchführt.According to one embodiment, the joint is arranged for adjusting an orientation of the optical element. The joint can be arranged between the support element and the optical element or integrated into the support element. By "adjusting an orientation" is meant in particular a pivoting of the optical element. Alternatively or additionally, the "adjustment of an orientation" may refer to a linear movement of the optical element. The linear movement can be provided for example by means of two parallelogram. By "integrated" is meant here that the joint divides the support element into two support sections, so that these are provided hinged to each other. According to a further embodiment, the joint is formed as a solid-body joint or swivel joint. "Solid-state joint" means a joint that allows a relative movement between two rigid bodies by bending. By "hinge" is meant a hinge in the sense of a kinematic pair, wherein at least one of the kinematic partners performs a pivoting movement about a rotation axis.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Isolationselement einen höheren thermischen Widerstand als das Tragelement und/oder das Gelenk auf. Der thermische Widerstand ist vorliegend definiert als die Temperaturänderung, welche aus einem definierten Wärmeeintrag in ein Element in einer definierten Richtung resultiert. Der thermische Widerstand weist typischerweise die SI-Einheit [K/W] auf. Beispielsweise beträgt der thermische Widerstand R_therm eines Stabs mit konstantem Querschnitt:

, wobei L die Länge, A den Querschnitt und k_therm die Wärmeleitfähigkeit des entsprechenden Elements bezeichnet. Der thermische Widerstand meint bevorzugt einen Wärmeleitwiderstand, nicht dagegen einen solchen, der sich aufgrund von Wärmestrahlung oder Wärmekonvektion ergibt. Außerdem umfasst der thermische Widerstand bevorzugt auch einen effektiven thermischen Widerstand, wie er sich beispielsweise für Flüssigkeiten mit Phasenwechsel ergibt. According to a further embodiment, the insulation element has a higher thermal resistance than the support element and / or the joint. The thermal resistance is defined herein as the temperature change resulting from a defined heat input into an element in a defined direction. The thermal resistance typically has the SI unit [K / W]. For example, the thermal resistance R _{therm of} a rod with constant cross section:

where L denotes the length, A the cross section and k _therm the thermal conductivity of the corresponding element. The thermal resistance preferably means a thermal resistance, but not one which results from thermal radiation or thermal convection. In addition, the thermal resistance preferably also includes an effective thermal resistance, as it results, for example, for liquids with phase change.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Isolationselement eine geringere Wärmeleitfähigkeit als das Tragelement auf. Die Wärmeleitfähigkeit k_therm ist eine intrinsische Eigenschaft des Materials und nicht von geometrischen Verhältnissen abhängig, wie das bei dem thermischen Widerstand der Fall ist. Das Isolationselement weist bevorzugt auch eine geringere Wärmeleitfähigkeit als das Gelenk und/oder andere Wärmeübergänge auf.According to a further embodiment, the insulation element has a lower thermal conductivity than the support element. The thermal conductivity k _therm is an intrinsic property of the material and not dependent on geometrical conditions, as is the case with the thermal resistance. The insulation element preferably also has a lower thermal conductivity than the joint and / or other heat transfers.

Die vorstehenden Ausführungen zum thermischen Widerstand und zur Wärmeleitfähigkeit gelten entsprechend auch für die anderen hier genannten Elemente oder Mittel.The above statements on the thermal resistance and thermal conductivity apply accordingly to the other elements or means mentioned here.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist der Wärmeausdehnungskoeffizient des Isolationselements derart gewählt, dass eine Deformation, eine Spannung und/oder Bewegung zumindest einer zu dem Isolationselement benachbarten Komponente für eine definierte Temperaturänderung des Isolationselements ein Minimum ist. Mit anderen Worten soll der Wärmeausdehnungskoeffizient des Isolationselements derart gewählt werden, dass der mechanische Einfluss auf benachbarte Komponenten so gering wie möglich ist. Bei der zumindest einen Komponente kann es sich beispielsweis um ein Bauteil wie das Tragelement oder das optische Element handeln. According to a further embodiment, the thermal expansion coefficient of the insulating element is selected such that a deformation, a voltage and / or movement of at least one component adjacent to the insulating element for a defined temperature change of the insulating element is a minimum. In other words, the thermal expansion coefficient of the insulating element should be chosen such that the mechanical influence on adjacent components is as low as possible. The at least one component may, for example, be a component such as the support element or the optical element.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Isolationselement einen geringeren Wärmeausdehnungskoeffizienten als das Tragelement und/oder das Gelenk auf. Die thermische Verformung des Isolationselements sollte so klein wie möglich vorgesehen werden. Außerdem sollte der Wärmeausdehnungskoeffizient des Isolationselements auf angrenzende Elemente, beispielsweise das Tragelement und/oder das Gelenk in der Weise abgestimmt sein, dass thermische Verformungen insgesamt reduziert werden. Der Wärmeausdehnungskoeffizient ist definiert als die Längenänderung als Bruchteil der Gesamtlänge des Elements geteilt durch die Temperaturänderung. Dies ist eine Materialeigenschaft, welche sich nicht linear zur Temperatur verhalten kann. Beispielsweise ist der lineare Wärmeausdehnungskoeffizient α für einen Stab wie folgt definiert:

, wobei ΔL die Längenänderung, L₀ die Ausgangslänge und ΔT die Temperaturänderung des entsprechenden Elements bezeichnet.According to a further embodiment, the insulation element has a lower thermal expansion coefficient than the support element and / or the joint. The thermal deformation of the insulating element should be made as small as possible. In addition, the thermal expansion coefficient of the insulating element should be matched to adjacent elements, for example the support element and / or the joint in such a way that thermal deformation is reduced overall. The thermal expansion coefficient is defined as the change in length as a fraction of the total length of the element divided by the temperature change. This is a material property that can not behave linearly with temperature. For example, the linear thermal expansion coefficient α for a rod is defined as follows:

, where ΔL denotes the change in length, L ₀ the initial length and ΔT the temperature change of the corresponding element.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform sind eine Wärmesenke und ein thermisches Kopplungsmittel vorgesehen, welches in einem zweiten thermischen Leitungspfad zwischen dem optischen Element und der Wärmesenke angeordnet ist. Der Großteil der Wärme aus dem optischen Element soll über den zweiten thermischen Leitungspfad abgeführt werden. According to a further embodiment, a heat sink and a thermal coupling means are provided, which is arranged in a second thermal conduction path between the optical element and the heat sink. The majority of the heat from the optical element is to be dissipated via the second thermal conduction path.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist ein Wärmefluss entlang des zweiten thermischen Leitungspfads größer als ein Wärmefluss entlang des ersten thermischen Leitungspfads. Beispielsweise kann größer 50 %, größer 80 %, größer 90 % oder größer 95 % der Wärme über den zweiten thermischen Leitungspfad abgeführt werden. Dadurch fließt also nur wenig Wärme durch den ersten thermischen Leitungspfad, weshalb thermische Verformung insbesondere des Tragelements gering gehalten werden können. Entsprechend hoch ist die Genauigkeit der Positionierbarkeit des optischen Elements. In dem zweiten thermischen Leitungspfad sind bevorzugt keine Elemente angeordnet, welche aufgrund thermischer Verformung derselben auf die Position des optischen Elements wesentlich Einfluss nehmen können. Der gesamte thermische Widerstand R_Ges bezogen auf das optische Element kann wie folgt definiert sein:

, wobei R₁ den thermischen Widerstand des ersten thermischen Leitungspfads und R₂ den thermischen Widerstand des zweiten thermischen Leitungspfads bezeichnet.According to another embodiment, a heat flow along the second thermal conduction path is greater than a heat flow along the first thermal conduction path. For example, greater than 50%, greater than 80%, greater than 90% or greater than 95% of the heat can be dissipated via the second thermal conduction path. As a result, only a small amount of heat flows through the first thermal conduction path, which is why thermal deformation, in particular of the support element, can be kept low. The accuracy of the positioning of the optical element is correspondingly high. In the second thermal conduction path, no elements are preferably arranged which, due to thermal deformation thereof, can substantially influence the position of the optical element. The total thermal resistance R _Ges with respect to the optical element can be defined as follows:

wherein R ₁ denotes the thermal resistance of the first thermal conduction path and R ₂ denotes the thermal resistance of the second thermal conduction path.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das thermische Kopplungsmittel einen geringeren thermischen Widerstand als das Isolationselement, das Tragelement und/oder das Gelenk auf. Dadurch wird ein großer Anteil der Wärme über den zweiten thermischen Leitungspfad abgeführt.According to a further embodiment, the thermal coupling means has a lower thermal resistance than the insulating element, the supporting element and / or the joint. As a result, a large portion of the heat is dissipated via the second thermal conduction path.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das thermische Kopplungsmittel eine höhere Wärmeleitfähigkeit als das Isolationselement, das Tragelement und/oder das Gelenk auf.According to a further embodiment, the thermal coupling means has a higher thermal conductivity than the insulating element, the support element and / or the joint.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das Isolationselement eine Keramik oder Glas auf. Diese Materialien können eine geringe thermische Leitfähigkeit aufweisen.According to a further embodiment, the insulating element to a ceramic or glass. These materials may have low thermal conductivity.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das Isolationselement als Einsatz, Klebstoff, Paste oder Folie ausgebildet. Geeignete Isolationselemente weisen beispielsweise Polyamide, insbesondere poly-oxydiphenylene-pyromellitimide (beispielsweise unter dem Markennamen Kapton erhältlich), oder Glimmer, insbesondere eine Glimmerschicht, auf. Das Tragelement kann beispielsweise eine Ausnehmung aufweisen, in welche der Einsatz eingesetzt ist oder welche mit dem Klebstoff oder der Paste verfüllt ist. According to a further embodiment, the insulation element is designed as an insert, adhesive, paste or foil. Suitable insulation elements include, for example, polyamides, in particular polyoxydiphenylenes-pyromellitimides (available, for example, under the brand name Kapton), or mica, in particular a mica layer. The support element may for example have a recess into which the insert is inserted or which is filled with the adhesive or the paste.

Weiterhin wird eine optische Vorrichtung mit einem optischen Element, einer Basis, einem Tragelement, einem Gelenk und einem thermischen Kopplungsmittel bereitgestellt. Das Tragelement trägt das optische Element beabstandet von der Basis. Das Gelenk ist für ein Verstellen einer Orientierung des optischen Elements eingerichtet. Das Gelenk verbindet das optische Element mit dem Tragelement, zwei Tragabschnitte des Tragelements miteinander oder das Tragelement mit der Basis gelenkig. Das thermische Kopplungsmittel verbindet das Halteelement mit dem Tragelement, die zwei Tragabschnitte miteinander und/oder das Tragelement mit der Basis und überbrückt das Gelenk. Furthermore, an optical device having an optical element, a base, a support member, a hinge, and a thermal coupling means is provided. The support member carries the optical element spaced from the base. The hinge is adapted for adjusting an orientation of the optical element. The hinge connects the optical element to the support element, two support sections of the support element with each other or the support element with the base articulated. The thermal coupling means connects the retaining element with the support element, the two support sections with each other and / or the support element with the base and bridges the joint.

Vorteilhaft muss bei dieser optischen Vorrichtung das thermische Kopplungsmittel nicht die gesamte Strecke von dem optischen Element zur Basis reichen. Vielmehr werden lediglich ein oder mehrere Gelenke überbrückt. Da Gelenke im Allgemeinen einen hohen thermischen Widerstand aufweisen, kann die Wärme so effizient an diesen vorbeigeführt werden. Die thermischen Kopplungsmittel können vorteilhaft kurz ausgebildet und damit einfach herstellbar sein. Advantageously, in this optical device, the thermal coupling agent need not reach the entire distance from the optical element to the base. Rather, only one or more joints are bridged. Since joints generally have a high thermal resistance, the heat can be passed to them so efficiently. The thermal coupling means can advantageously be made short and thus easy to produce.

Gemäß einer Ausführungsform weist das Tragelement mehr als zwei Tragabschnitte auf, welche jeweils mittels Gelenken miteinander verbunden sind, wobei das wärmeleitende Kopplungsmittel mehrere Gelenke überbrückt. Dadurch können mehrere Gelenke einfach überbrückt werden.According to one embodiment, the support element has more than two support sections, which are each connected to one another by means of joints, wherein the heat-conducting coupling means bridges a plurality of joints. As a result, multiple joints can be easily bridged.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das wärmeleitende Kopplungsmittel einen geringen thermischen Widerstand als das Gelenk auf. Dadurch kann der Großteil der Wärme an dem Gelenk vorbeigeführt werden.According to a further embodiment, the heat-conducting coupling means has a low thermal resistance than the joint. This allows the majority of the heat to pass the joint.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das thermische Kopplungsmittel eine höhere Wärmeleitfähigkeit auf als das Gelenk. Auch durch diese Maßnahme kann ein Großteil der Wärme an dem Gelenk vorbeigeführt werden. According to a further embodiment, the thermal coupling agent has a higher thermal conductivity than the joint. Also by this measure, a large part of the heat can be passed to the joint.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das thermische Kopplungsmittel für das Verstellen des optischen Elements flexibel ausgebildet. According to a further embodiment, the thermal coupling means for the adjustment of the optical element is flexible.

Das thermische Kopplungsmittel kann die Funktion eines Lagers für das optische Element erfüllen. Das thermische Kopplungsmittel kann dabei eine rotatorische oder lineare Lagerung des optischen Elements ermöglichen. Vorzugsweise ist vorgesehen, dass das thermische Kopplungsmittel nicht tragend ausgebildet ist und ausschließlich der Wärmeableitung dient. The thermal coupling means can fulfill the function of a bearing for the optical element. The thermal coupling means can thereby enable a rotational or linear mounting of the optical element. It is preferably provided that the thermal coupling means is not designed to be load-bearing and serves exclusively for heat dissipation.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform weist das thermische Kopplungsmittel eine geringere Steifigkeit in einer Verstellrichtung für das Verstellen des optischen Elements als das Tragelement und/oder das Gelenk auf. Dadurch kann eine Verstellung des optischen Elements mit wenig Kraftaufwand erfolgen. According to a further embodiment, the thermal coupling means has a lower rigidity in an adjustment direction for the adjustment of the optical element than the support element and / or the joint. This can be done with little effort an adjustment of the optical element.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das thermische Kopplungsmittel ein Fluid oder ein Festkörper. „Fluid“ meint eine Flüssigkeit oder ein Gas oder ein Gemisch derselben. Bevorzugt ist das thermische Kopplungsmittel als Festkörpergelenk ausgebildet. Das Fluid kann in einem Körper, beispielsweise in dem Tragelement oder in einer separaten Hülle, eingeschlossen sein. Weiter kann das Fluid statisch oder bewegt (Hier ist gemeint, dass sich im Gegensatz zu nur lokalen Strömungen der Schwerpunkt des Fluids bewegt und/oder dieses aktiv, also gezielt gesteuert, bewegt wird.) sein. Das Fluid kann beispielsweise mit einer Pumpe bewegt werden.According to another embodiment, the thermal coupling agent is a fluid or a solid. "Fluid" means a liquid or a gas or a mixture thereof. Preferably, the thermal coupling agent is designed as a solid-body joint. The fluid can be enclosed in a body, for example in the support element or in a separate sheath. Furthermore, the fluid can be static or agitated (here it is meant that, in contrast to only local flows, the center of gravity of the fluid is moved and / or the latter is actively, ie purposefully controlled, moved). The fluid can be moved with a pump, for example.

Das thermische Kopplungsmittel kann beispielsweise ein Metall, insbesondere Stahl, Kupfer, Silber oder Gold, ein Halbmetall, insbesondere Bor, oder einen Halbleiter, insbesondere Siliziumcarbid, aufweisen. Als Flüssigkeit kann für das thermische Kopplungsmittel eine solche Flüssigkeit verwendet werden, welche durch einen Phasenwechsel Wärme aufnimmt und abgibt. The thermal coupling agent may comprise, for example, a metal, in particular steel, copper, silver or gold, a semimetal, in particular boron, or a semiconductor, in particular silicon carbide. As the liquid for the thermal coupling agent, such a liquid can be used, which absorbs heat by a phase change and releases.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist das thermische Kopplungsmittel in Form zumindest eines Streifens, Drahts, Geflechts oder Folienstapels gebildet. Die Einzelfolien des Folienstapels können beabstandet zueinander, insbesondere parallel beabstandet, vorgesehen sein. Dadurch wird ein geringeres Flächenträgheitsmoment und damit eine geringere Biegesteifigkeit als bei einem einstückigen thermischen Kopplungsmittel erzielt. Ein einzelner Streifen, einzelner Draht, einzelnes Geflecht oder einzelne Folie des Folienstapels können jeweils ein Federelement ausbilden.According to a further embodiment, the thermal coupling means is formed in the form of at least one strip, wire, braid or film stack. The individual films of the film stack can be spaced apart from one another, in particular spaced apart in parallel. As a result, a lower area moment of inertia and thus a lower bending stiffness than with a one-piece thermal coupling agent is achieved. A single strip, a single wire, a single braid or a single foil of the film stack can each form a spring element.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist eine Zwei-, Drei- oder Sechsbeinabstützung vorgesehen, wobei einem jeweiligen Bein ein Tragelement zugeordnet ist. Ferner können ein oder mehrere Isolationselemente vorgesehen sein, welche zwischen dem optischen Element und den mehreren Tragelementen angeordnet oder in ein jeweiliges Tragelement integriert sind.According to a further embodiment, a two-, three- or six-leg support is provided, wherein a respective leg is assigned a support element. Furthermore, one or more isolation elements may be provided, which are arranged between the optical element and the plurality of support elements or integrated into a respective support element.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform ist ein Aktuator zum Verstellen der Orientierung des optischen Elements vorgesehen. Es kann sich beispielsweise um einen elektromechanischen oder einen piezoelektrischen Aktuator handeln.According to a further embodiment, an actuator for adjusting the orientation of the optical element is provided. It may, for example, be an electromechanical or a piezoelectric actuator.

Weiterhin wird eine Lithographieanlage mit zumindest einer vorstehend beschriebenen Vorrichtung bereitgestellt. Bei der Lithographieanlage kann es sich insbesondere um eine EUV-Lithographieanlage handeln.Furthermore, a lithography system with at least one device described above is provided. The lithography system may in particular be an EUV lithography system.

„Ein“ schließt vorliegend keine Vielzahl aus. So kann die optische Vorrichtung beispielsweise mehrere Isolationselemente oder Tragelement aufweisen.In the present case, "a" does not exclude a large number. For example, the optical device may have a plurality of insulation elements or support element.

Weitere Ausführungsbeispiele werden bezugnehmend auf die beiliegenden Figuren der Zeichnungen näher erläutert.Further embodiments will be explained with reference to the accompanying figures of the drawings.

1 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel; 1 shows a schematic sectional view of an optical device according to a first embodiment;

1A zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine Variante gegenüber 1. 1A shows a schematic sectional view of a variant opposite 1 ,

2 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel; 2 shows a schematic sectional view of an optical device according to a second embodiment;

3 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel; 3 shows a schematic sectional view of an optical device according to a third embodiment;

3A zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine Variante gegenüber 3. 3A shows a schematic sectional view of a variant opposite 3 ,

4 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem vierten Ausführungsbeispiel; 4 shows a schematic sectional view of an optical device according to a fourth embodiment;

4A zeigt drei schematische Schnittansichten einer Variante gegenüber 4, wobei rechts ein Schnitt I-I und oben ein Schnitt II-II aus der mittigen Figur gezeigt ist; 4A shows three schematic sectional views of a variant opposite 4 , where on the right a section II and at the top a section II-II from the central figure is shown;

5 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel; 5 shows a schematic sectional view of an optical device according to a fifth embodiment;

6 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem sechsten Ausführungsbeispiel; 6 shows a schematic sectional view of an optical device according to a sixth embodiment;

7 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem siebten Ausführungsbeispiel; 7 shows a schematic sectional view of an optical device according to a seventh embodiment;

8 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einem achten Ausführungsbeispiel; 8th shows a schematic sectional view of an optical device according to an eighth embodiment;

9 zeigt in einer schematischen Schnittansicht eine optische Vorrichtung gemäß einer neunten Ausführungsbeispiel; und 9 shows a schematic sectional view of an optical device according to a ninth embodiment; and

10 zeigt in einer schematischen Ansicht eine Lithographieanlage gemäß einem Ausführungsbeispiel. 10 shows a schematic view of a lithographic system according to an embodiment.

Falls nichts anderes angegeben ist, bezeichnen gleiche Bezugszeichen in den Figuren gleiche oder funktionsgleiche Elemente. Ferner sollte beachtet werden, dass die Darstellungen in den Figuren nicht notwendigerweise maßstabsgerecht sind.Unless otherwise indicated, like reference numerals in the figures denote like or functionally identical elements. It should also be noted that the illustrations in the figures are not necessarily to scale.

1 zeigt eine optische Vorrichtung 100 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Bei der optischen Vorrichtung 100 kann es sich um eine Spiegeleinheit eines Spiegelfeldes einer in 10 gezeigten EUV-Lithographieanlage 1000 handeln. 1 shows an optical device 100 according to a first embodiment. In the optical device 100 it can be a mirror unit of a mirror field of a 10 shown EUV lithography system 1000 act.

Die optische Vorrichtung 100 umfasst ein optisches Element 102. Das optische Element 102 kann beispielsweise als Spiegel ausgebildet sein, welcher einfallendes Licht 104 reflektiert. Dabei ergibt sich ein Wärmeeintrag, in das optische Element 102. The optical device 100 includes an optical element 102 , The optical element 102 For example, it can be designed as a mirror, which incident light 104 reflected. This results in a heat input, in the optical element 102 ,

Die optische Vorrichtung 100 umfasst weiterhin eine Basis 106, welche gestellfest vorgesehen sein kann. The optical device 100 also includes a base 106 , which can be provided fixed to the frame.

Ferner umfasst die optische Vorrichtung 100 ein Tragelement 108. Das Tragelement 108 trägt das optische Element 102 beabstandet von der Basis 106. Anders gesagt fungiert das Tragelement 108 als Lager für das optische Element 102, so dass ein aus der Lagerung resultierender Kraftfluss durch das Tragelement 108 fließt. Furthermore, the optical device comprises 100 a support element 108 , The support element 108 carries the optical element 102 spaced from the base 106 , In other words, the support element acts 108 as a bearing for the optical element 102 , so that a force flow resulting from the storage by the support element 108 flows.

Das Tragelement 108 kann unmittelbar mit dem optischen Element 102 verbunden sein, wie beispielsweise in 2 gezeigt. Alternativ kann das Tragelement 108 mittelbar mit dem optischen Element 102 verbunden sein, wie in 1 gezeigt. In 1 ist ein Isolationselement 110 zwischen dem optischen Element 102 und dem Tragelement 108 angeordnet. The support element 108 can be directly with the optical element 102 be connected, such as in 2 shown. Alternatively, the support element 108 indirectly with the optical element 102 be connected as in 1 shown. In 1 is an isolation element 110 between the optical element 102 and the support element 108 arranged.

Das Tragelement 108 hat, indem es das optische Element 102 von der Basis 106 beabstandet hält, auch die Funktion, ein Verstellen einer Orientierung des optischen Elements 102, beispielsweise ein Verschwenken desselben zu ermöglichen. Die Verstellrichtung ist in 1 mit 112 bezeichnet. The support element 108 has, by the optical element 102 from the base 106 Also spaced apart is the function of adjusting an orientation of the optical element 102 to allow, for example, a pivoting of the same. The adjustment direction is in 1 With 112 designated.

Weiterhin ist ein Gelenk 114 vorgesehen. Gemäß dem Ausführungsbeispiel ist das Gelenk 114 in das Tragelement 108 integriert. Dies ist dadurch vorgesehen, dass das Tragelement 108 als ein Festkörpergelenk ausgebildet ist und für das Verschwenken des optischen Elements 102 verbogen wird, wie durch die gestrichelte Linie in 1 angedeutet. Furthermore, a joint 114 intended. According to the embodiment, the joint 114 in the support element 108 integrated. This is provided by the fact that the support element 108 is designed as a solid-state joint and for the pivoting of the optical element 102 is bent as indicated by the dashed line in 1 indicated.

Das Isolationselement 110 ist in einem ersten thermischen Leitungspfad 116 angeordnet, welcher von dem optischen Element 102 durch das Isolationselement 110 sowie durch das Tragelement 108 und damit auch durch das Gelenk 114 in die Basis 106 führt. Die Basis 106 dient als Wärmesenke und kann mit einer zusätzlichen Kühlung vorgesehen sein, beispielsweise einer Fluidkühlung. The isolation element 110 is in a first thermal conduction path 116 arranged, which of the optical element 102 through the insulation element 110 as well as through the support element 108 and thus also through the joint 114 in the base 106 leads. The base 106 serves as a heat sink and may be provided with additional cooling, such as fluid cooling.

Das Isolationselement 110 ist beispielsweise aus Keramik oder Glas ausgebildet und weist einen höheren thermischen Widerstand sowie eine geringere thermische Wärmeleitfähigkeit als das Tragelement 108 und damit auch als das Gelenk 114 auf. Weiterhin weist das Isolationselement 110 einen geringeren Wärmeausdehnungskoeffizienten als das Tragelement 108 und damit auch als das Gelenk 114 auf. Darüber hinaus kann der Wärmeausdehnungskoeffizient des Isolationselements 110 derart gewählt sein, dass eine rotatorische und/oder lineare Bewegung des optischen Elements 102 für eine definierte Temperaturänderung des Isolationselements 110 im Arbeitstemperaturbereich der optischen Vorrichtung 100 bzw. des Isolationselements 110 ein Minimum ist.The isolation element 110 For example, is made of ceramic or glass and has a higher thermal resistance and a lower thermal thermal conductivity than the support element 108 and thus as the joint 114 on. Furthermore, the insulating element 110 a lower thermal expansion coefficient than the support element 108 and thus as the joint 114 on. In addition, the thermal expansion coefficient of the insulating element 110 be chosen such that a rotational and / or linear movement of the optical element 102 for a defined temperature change of the insulation element 110 in the working temperature range of the optical device 100 or of the insulation element 110 a minimum.

Die optische Vorrichtung 100 weist weiterhin eine Wärmesenke 118 auf. Das optische Element 102 ist mittels thermischer Kopplungsmittel 120 mit der Wärmesenke 118 wärmeleitend verbunden. Dadurch ergibt sich ein zweiter thermischer Leitungspfad 122, welcher von dem optischen Element 102 durch die thermischen Kopplungsmittel 120 hindurch zu der Wärmesenke 118 führt. Der Wärmefluss aus dem optischen Element 102 ist entlang des zweiten thermischen Leitungspfads 122 um ein Vielfaches größer als der Wärmefluss entlang des ersten thermischen Leitungspfads 116. Beispielsweise kann 90 % der Wärmeleistung über den zweiten Wärmeleitungspfad 122 und nur 10 % der Wärmeleistung über den ersten Leitungspfad 116 abgegeben werden. Hierzu weisen die thermischen Kopplungsmittel einen sehr viel geringeren thermischen Widerstand auf als das Isolationselement 110. Zu diesem Zweck können die thermischen Kopplungsmittel beispielsweise als Festkörpergelenk aus Metall, insbesondere Gold, hergestellt sein. Dadurch weisen diese auch eine höhere Wärmeleitfähigkeit als das Isolationselement 110, das Tragelement 108 und das Gelenk 114 auf. The optical device 100 also has a heat sink 118 on. The optical element 102 is by means of thermal coupling agent 120 with the heat sink 118 thermally conductive connected. This results in a second thermal conduction path 122 , which of the optical element 102 through the thermal coupling agents 120 through to the heat sink 118 leads. The heat flow from the optical element 102 is along the second thermal conduction path 122 many times greater than the heat flow along the first thermal conduction path 116 , For example, 90% of the heat output via the second heat conduction path 122 and only 10% of the heat output over the first conduction path 116 be delivered. For this purpose, the thermal coupling means have a much lower thermal resistance than the insulating element 110 , For this purpose, the thermal coupling means may be made, for example, as a solid-state joint made of metal, in particular gold. As a result, they also have a higher thermal conductivity than the insulating element 110 , the supporting element 108 and the joint 114 on.

Aufgrund des Umstands, dass nur wenig Wärme durch das Tragelement 108 fließt bzw. dessen absolute Temperatur niedrig ist, erfährt dieses eine nur geringe thermische Verformung. Entsprechend genau kann das optische Element 102 ausgerichtet, beispielsweise in der Verstellrichtung 112 positioniert werden. Due to the fact that only little heat through the support element 108 flows or its absolute temperature is low, this undergoes little thermal deformation. Exactly exactly the optical element 102 aligned, for example in the adjustment 112 be positioned.

Für die Positionierung des optischen Elements in der Verstellrichtung 112 kann ein Aktuator 124 vorgesehen sein, welcher das optische Element 102 in der Verstellrichtung 112 betätigt.For the positioning of the optical element in the adjustment direction 112 can be an actuator 124 be provided, which is the optical element 102 in the adjustment 112 actuated.

Für das Verstellen des optischen Elements 102 sind die thermischen Kopplungsmittel 120 flexibel ausgebildet. Insbesondere weisen die thermischen Kopplungsmittel 120 eine geringere Steifigkeit in der Verstellrichtung 112 auf als das Tragelement 108 sowie das Gelenk 114 auf. Die thermischen Kopplungsmittel 120 sind gemäß dem Ausführungsbeispiel nicht tragend ausgebildet, das heißt, ein Kraftfluss durch diese ausgehend von dem optischen Element 102 ist im Wesentlichen Null.For adjusting the optical element 102 are the thermal coupling agents 120 flexible. In particular, the thermal coupling agents 120 a lower rigidity in the adjustment 112 on as the support element 108 as well as the joint 114 on. The thermal coupling agents 120 According to the embodiment, they are not designed to be load-bearing, that is to say a force flow through them starting from the optical element 102 is essentially zero.

Um die geringe Steifigkeit der Kopplungsmittel 120 zu erreichen, sind diese bevorzugt in Form mehrerer Streifen, Drähte, eines Geflechts oder eines Folienstapels ausgebildet. Zwei parallele Folien 126, welche beabstandet zueinander angeordnet sind, bilden in 1 beispielhaft einen Folienstapel. Die thermischen Kopplungsmittel 120 zeichnen sich bevorzugt dadurch aus, dass sie ein sehr hohes Verhältnis von Länge und Breite zu Dicke (beispielsweise im Fall einer Folie) oder ein sehr hohes Verhältnis von Länge zu Dicke und Breite (beispielsweise im Falle eines Drahtes) aufweisen. To the low rigidity of the coupling agent 120 to reach, they are preferably formed in the form of several strips, wires, a braid or a foil stack. Two parallel slides 126 , which are spaced from each other, form in 1 an example of a film stack. The thermal coupling agents 120 are characterized by the fact that they are a very high Ratio of length and width to thickness (for example in the case of a film) or a very high ratio of length to thickness and width (for example in the case of a wire).

1A illustriert eine gegenüber 1 spezifischere Ausführungsform des Isolationselements 110. Dieses kann grundsätzlich insbesondere als Einsatz, Klebstoff, Paste oder Folie ausgebildet sein. Dies gilt auch für die Ausführungsbeispiele nach den 2 bis 4A. 1A illustrates one opposite 1 more specific embodiment of the isolation element 110 , This can in principle be designed in particular as an insert, adhesive, paste or film. This also applies to the embodiments according to the 2 to 4A ,

Beispielsweise ist in dem Tragelement 108 oben, also dem optischen Element 102 zugewandt, eine Vertiefung 128 ausgebildet. Das Isolationselement 110 ist in der Vertiefung 128 angeordnet und kann seinerseits eine Vertiefung 130 aufweisen. Ein an dem optischen Element 102 (oder in einer anderen Ausführungsform an dem Halteelement 300, siehe 3) ausgebildeten Vorsprung 132 ragt in die Vertiefung 130 hinein. For example, in the support element 108 above, so the optical element 102 facing, a recess 128 educated. The isolation element 110 is in the depression 128 arranged and can in turn a recess 130 exhibit. One on the optical element 102 (or in another embodiment on the retaining element 300 , please refer 3 ) formed projection 132 protrudes into the depression 130 into it.

Ein Isolationselement 110 in Form eines Einsatzes lässt sich nun beispielsweise dadurch vorsehen, dass dieses in die Vertiefung 128 eingesetzt und hiernach das optische Element 102 aufgesetzt wird, wobei der Vorsprung 132 in die Vertiefung 130 bewegt wird. Der Einsatz 110 kann hierzu vorab mit einer im Querschnitt U-förmigen Gestalt hergestellt werden.An isolation element 110 in the form of an insert can now, for example, provide that this in the depression 128 and then the optical element 102 is put on, the projection 132 into the depression 130 is moved. The use 110 can this be made in advance with a cross-sectionally U-shaped design.

Ist das Isolationselement 110 dagegen als Klebstoff oder Paste ausgebildet, so kann dieser bzw. diese in die Vertiefung 128 appliziert werden, woraufhin der Vorsprung 132 gegebenenfalls unter Aufbringens von Wärme und/oder Druck in die Vertiefung 128 bewegt wird. Dadurch erlangt der Klebstoff oder die Paste dann seine bzw. ihre in 1A gezeigte, im Querschnitt U-förmige Gestalt. Der Klebstoff verbindet im ausgehärteten Zustand das optische Element 102 fest mit dem Tragelement 108.Is the isolation element 110 In contrast, designed as an adhesive or paste, so this or this in the depression 128 be applied, whereupon the lead 132 optionally with the application of heat and / or pressure in the depression 128 is moved. As a result, the adhesive or paste then obtains its own 1A shown, in cross section U-shaped figure. The adhesive in the cured state connects the optical element 102 firmly with the support element 108 ,

Wird als Isolationselement 110 eine Folie verwendet, so kann diese in die Vertiefung 128 eingelegt werden, woraufhin der Vorsprung 132 gegebenenfalls unter Aufbringens von Wärme und/oder Druck in die Vertiefung 128 bewegt wird. Dabei wird die Folie verformt und erhält ihre in 1A gezeigte, im Querschnitt U-förmige Gestalt. Alternativ kann die Folie 110 auch um den Vorsprung 132 gewickelt werden, woraufhin der Vorsprung 132 gegebenenfalls unter Aufbringens von Wärme und/oder Druck in die Vertiefung 128 bewegt wird.Is used as insulation element 110 If a foil is used, it may be in the depression 128 are inserted, whereupon the projection 132 optionally with the application of heat and / or pressure in the depression 128 is moved. The film is deformed and receives its in 1A shown, in cross section U-shaped figure. Alternatively, the film 110 also about the lead 132 be wound, whereupon the lead 132 optionally with the application of heat and / or pressure in the depression 128 is moved.

Das Isolationselement 110 kann, insbesondere wenn dieses als Einsatz oder Folie vorgesehen wird, ein Lochmuster 134 aufweisen. Dieses kann beispielweise durch Laserschneiden erzeugt werden. Löcher des Lochmusters 134 können mit Flüssigkeit oder Gas, insbesondere Luft, gefüllt sein. Die Flüssigkeit oder das Gas dienen hier ebenfalls als Isolator.The isolation element 110 can, especially if this is provided as an insert or foil, a hole pattern 134 exhibit. This can be generated for example by laser cutting. Holes of the hole pattern 134 can be filled with liquid or gas, in particular air. The liquid or the gas also serve here as an insulator.

Anhand der 2 bis 4A werden nachfolgend verschiedene Varianten gegenüber den 1 und 1A erläutert.Based on 2 to 4A Below are different variants compared to the 1 and 1A explained.

Im Unterschied zu 1 ist bei dem Ausführungsbeispiel nach 2 die Wärmesenke 118 in die Basis 106 integriert, also mit dieser teilweise oder vollständig bauteilidentisch. Dadurch kann die zusätzliche Wärmesenke 118 eingespart werden.In contrast to 1 is in the embodiment after 2 the heat sink 118 in the base 106 integrated, so with this partially or completely identical to the component. This allows the extra heat sink 118 be saved.

Weiterhin ist bei dem Ausführungsbeispiel nach 2 das Gelenk 114 als separates Gelenk vorgesehen und nicht in das Tragelement 108 integriert. Außerdem ist das Gelenk 114 als Drehgelenk ausgebildet. Das Drehgelenk 114 umfasst zwei separate kinematische Partner, beispielsweise einen Gelenkkopf und eine Gelenkpfanne oder eine Welle, die in einer Buchse gelagert ist. Die Bewegung resultiert hier nicht aus einer Verbiegung wie das bei dem Festkörpergelenk der Fall ist.Furthermore, in the embodiment according to 2 the joint 114 provided as a separate joint and not in the support element 108 integrated. Besides, the joint is 114 designed as a swivel joint. The swivel joint 114 comprises two separate kinematic partners, for example a condyle and a socket or a shaft which is mounted in a bushing. The movement does not result from a bending as is the case with the solid-body joint.

Außerdem ist das Gelenk 114 in das Tragelement 108 integriert. Entsprechend verbindet das Gelenk 114 zwei Tragabschnitte 200, 202 gelenkig miteinander. Weiterhin ist das Isolationselement 110 zwischen einem Tragabschnitt 204 und dem Tragabschnitt 202 des Tragelements 108 angeordnet, also in das Tragelement 108 integriert. Alternativ kann es sich bei dem Abschnitt 204 auch um ein weiteres Tragelement handeln, welches von dem Tragelement 108 separat gebildet ist und das optische Element 102 mit dem Isolationselements verbindet. Besides, the joint is 114 in the support element 108 integrated. Accordingly, the joint connects 114 two support sections 200 . 202 articulated with each other. Furthermore, the isolation element 110 between a support section 204 and the support section 202 of the support element 108 arranged, ie in the support element 108 integrated. Alternatively, it may be at the section 204 also act to another support element, which of the support element 108 is formed separately and the optical element 102 connects to the insulation element.

3 unterscheidet sich von der Ausführungsform nach 1 dadurch, dass zwischen dem Tragelement 108 und dem optischen Element 102 ein Halteelement 300 vorgesehen ist, welches auch als Fassung bezeichnet wird. Das Halteelement 300 befestigt somit das optische Element 102 an dem Tragelement 108. 3 differs from the embodiment according to 1 in that between the support element 108 and the optical element 102 a holding element 300 is provided, which is also referred to as a version. The holding element 300 thus secures the optical element 102 on the support element 108 ,

Weiter ist im Unterschied zu 1A das Isolationselement 110 in eine seitliche Vertiefung 302 des Tragelements 108 integriert. Das Isolationselement 110 kann die Vertiefung 302 teilweise oder vollständig (in 3 gezeigt) ausfüllen. Mittels Klebstoffs oder einer Paste als Isolationsmaterial lässt sich die Vertiefung 302 besonders einfach verfüllen und dadurch das Isolationselement 110 erzeugen. Next is different from 1A the isolation element 110 in a lateral depression 302 of the support element 108 integrated. The isolation element 110 can the depression 302 partial or complete (in 3 shown). By means of adhesive or a paste as insulation material, the depression can be 302 particularly easy to fill and thus the insulation element 110 produce.

Bei dem Ausführungsbeispiel nach 3 führt der erste Wärmeleitpfad 116 nur teilweise durch das Isolationselement 110. Ein Teil der Wärme kann auch mittels eines Bereichs 304 des Tragelements 108 an dem Isolationselement 110 vorbeifließen.According to the embodiment 3 leads the first heat conduction path 116 only partially through the insulation element 110 , Part of the heat can also be made by means of an area 304 of the support element 108 on the insulation element 110 flow past.

3A zeigt im Unterschied zu 3 eine Ausführungsform, bei welcher zwei Isolationselemente 110 in gegenüberliegenden, seitlichen Vertiefungen 302 des Tragelements 108 angeordnet sind. Der erste Wärmeleitpfad 116 führt damit durch einen Bereich 304 zwischen den beiden Vertiefungen 302. 3A shows in contrast to 3 an embodiment in which two insulation elements 110 in opposite, lateral depressions 302 of the support element 108 are arranged. The first heat conduction path 116 thus leads through an area 304 between the two wells 302 ,

Die Vertiefungen 302 können eine im Querschnitt U-förmige Gestalt aufweisen. Die Isolationselemente 110 können die Vertiefungen 302 teilweise (in 3A gezeigt) oder vollständig ausfüllen. In der gezeigten Ausführungsform weisen die Isolationselemente 110 jeweils wiederum – insbesondere im Querschnitt U-förmige – Vertiefungen 310 auf, in welche ein Element 306 eingesetzt ist. Das Element 306 kann selbst ein Isolator sein, welcher jedoch ein anderes Material aufweist als ein jeweils zugeordnetes Isolationselement 110. Alternativ kann das Element 306 ein Wärmeleiter sein. The wells 302 can have a cross-sectionally U-shaped configuration. The insulation elements 110 can the wells 302 partly (in 3A shown) or complete. In the embodiment shown, the insulation elements 110 in turn - in particular in cross-section U-shaped - depressions 310 in which an element 306 is used. The element 306 may itself be an insulator, but which has a different material than a respective associated isolation element 110 , Alternatively, the element 306 to be a heat conductor.

Beispielsweise kann ein Klebstoff oder eine Paste in die Vertiefungen 310 gefüllt werden. Alternativ wird eine Folie in oder auf die Vertiefung 310 gelegt. Hiernach wird jeweils ein Element 306 in den Klebstoff, die Paste oder die Folie gedrückt und so ein jeweiliges Isolationselement 110 erzeugt.For example, an adhesive or paste may be in the wells 310 be filled. Alternatively, a film in or on the recess 310 placed. After this, one element each becomes 306 pressed into the adhesive, the paste or the foil and so a respective insulation element 110 generated.

Weiterhin ist in 3A gezeigt, dass die thermischen Kopplungselemente 120 nicht an das optische Element 102 (siehe 1) oder an das Halteelement 300 (siehe 3) anschließen, sondern mit einem Abschnitt 308 zwischen den Isolationselementen 110 und dem optischen Element 102 bzw. dem Halteelement 300 verbunden sein können. Furthermore, in 3A shown that the thermal coupling elements 120 not to the optical element 102 (please refer 1 ) or to the holding element 300 (please refer 3 ) but with a section 308 between the insulation elements 110 and the optical element 102 or the holding element 300 can be connected.

4 zeigt eine Ausführungsform der optischen Vorrichtung 100 mit einer Zweibeinabstützung 400. Die Zweibeinabstützung 400 umfasst zwei Beine 402 und 404. Ein jeweiliges Bein 402, 404 umfasst ein Tragelement 108, ein Gelenk 114 und ein Isolationselement 110. Jedes der Beine 402, 404 kann aber auch beispielsweise den in einer der 2 oder 3 gezeigten Aufbau aufweisen. Durch jedes der Beine 402, 404 ergibt sich ein erster thermischer Leitungspfad 116. Zwischen den Beinen 402, 404 ist das thermische Kopplungselement 120 angeordnet und verbindet die Basis 106 mit dem Halteelement 300. 4 shows an embodiment of the optical device 100 with a bipod support 400 , The bipod support 400 includes two legs 402 and 404 , A respective leg 402 . 404 includes a support element 108 , a joint 114 and an isolation element 110 , Each of the legs 402 . 404 But also, for example, in one of the 2 or 3 have shown construction. Through each of the legs 402 . 404 This results in a first thermal conduction path 116 , Between the legs 402 . 404 is the thermal coupling element 120 arranged and connects the base 106 with the holding element 300 ,

4A zeigt im Unterschied zu 4 eine Ausführungsform, wobei die Tragelemente 108 an ihrem oberen Ende gemeinsam eine Vertiefung 128 bilden. Hierzu können die Tragelemente 108 in ihrem oberen Bereich einstückig ausgebildet sein. In die Vertiefung 128 ist ein Isolationselement 110 eingesetzt. Dieses weist wiederum seinerseits eine Vertiefung 130 auf. In die Vertiefung 130 reicht ein an dem optischen Element 102 ausgebildeter Vorsprung 132. In einem der Vertiefung 130 zugeordneten Boden 406 des Isolationselements 110 ist ein Durchbruch 408 ausgebildet, welcher sich auch durch einen der Vertiefung 128 zugeordneten Boden 410 im Material der Tragelemente 108 erstreckt. Das Kopplungsmittel 120 reicht von unten nach oben zu dem Vorsprung 132 des optischen Elements 102 hin. 4A shows in contrast to 4 an embodiment, wherein the support elements 108 together at the top of a recess 128 form. For this purpose, the support elements 108 be integrally formed in its upper region. In the depression 128 is an isolation element 110 used. In turn, this in turn has a depression 130 on. In the depression 130 extends to the optical element 102 trained lead 132 , In one of the deepening 130 assigned ground 406 of the insulation element 110 is a breakthrough 408 formed, which also through one of the recess 128 assigned ground 410 in the material of the support elements 108 extends. The coupling agent 120 reaches from bottom to top to the projection 132 of the optical element 102 out.

5 zeigt eine optische Vorrichtung 500. Auch die optische Vorrichtung 500 kann in der in 10 gezeigten Lithographieanlage 1000 verwendet werden. Beispielsweise kann es sich bei der optischen Vorrichtung 500 um eine Spiegeleinheit eines Spiegelfelds handeln. 5 shows an optical device 500 , Also the optical device 500 can in the in 10 shown lithographic system 1000 be used. For example, the optical device may be 500 to act as a mirror unit of a mirror field.

Die optische Vorrichtung 500 umfasst ein optisches Element 502. Das optische Element 502 kann beispielsweise als Spiegel ausgebildet sein, welcher einfallendes Licht 504 reflektiert. Das einfallende Licht 504 bedingt einen Energieeintrag in das optische Element 502.The optical device 500 includes an optical element 502 , The optical element 502 For example, it can be designed as a mirror, which incident light 504 reflected. The incident light 504 requires an energy input into the optical element 502 ,

Die optische Vorrichtung 500 weist weiterhin eine Basis 506 auf. Die Basis 506 kann gestellfest vorgesehen sein.The optical device 500 still has a base 506 on. The base 506 can be provided fixed to the frame.

Ferner weist die optische Vorrichtung 500 ein Tragelement 508 auf, welches das optische Element 502 beabstandet von der Basis 506 trägt. Das Tragelement 508 kann das optische Element 502 unmittelbar, wie in 5 dargestellt, oder mittelbar, wie in 6 gezeigt, tragen. In 6 ist ein Halteelement 600, welches auch als Fassung bezeichnet wird, zwischen dem Tragelement 508 und dem optischen Element 502 angeordnet. Furthermore, the optical device 500 a support element 508 on which the optical element 502 spaced from the base 506 wearing. The support element 508 can the optical element 502 directly, as in 5 represented, or indirectly, as in 6 shown, wear. In 6 is a holding element 600 , which is also referred to as socket, between the support element 508 and the optical element 502 arranged.

Die Funktion des Tragelements 508 besteht darin, das optische Element 502 zu lagern, um ein Verstellen einer Orientierung des optischen Elements 502, beispielsweise ein Verschwenken desselben in einer Verstellrichtung 512 zu ermöglichen. Das Tragelement 508 nimmt dabei die aus der Lagerung resultierenden Kräfte aus dem optischen Element 502 auf und führt diese in die Basis 506. The function of the support element 508 is the optical element 502 to store, to adjust an orientation of the optical element 502 , For example, a pivoting thereof in an adjustment direction 512 to enable. The support element 508 takes the forces resulting from the storage of the optical element 502 and leads them to the base 506 ,

Die optische Vorrichtung 500 weist weiterhin ein Gelenk 514 auf, welches gemäß dem Ausführungsbeispiel als Drehgelenk ausgebildet ist.The optical device 500 still has a joint 514 on, which is designed according to the embodiment as a hinge.

Das Tragelement 508 setzt sich aus zwei Tragabschnitten 550 und 552 zusammen, welche mittels des Gelenks 514 gelenkig miteinander verbunden sind. Der erste Tragabschnitt 550 verbindet das Gelenk 514 mit der Basis 506, der Tragabschnitt 552 das optische Element 502 mit dem Gelenk 514.The support element 508 consists of two support sections 550 and 552 together, which by means of the joint 514 are hinged together. The first support section 550 connects the joint 514 with the base 506 , the carrying section 552 the optical element 502 with the joint 514 ,

Somit ergibt sich ein erster Wärmeleitungspfad 516, welcher von dem optischen Element 502 durch den Tragabschnitt 552, durch das Gelenk 514, durch den Tragabschnitt 550 in die Basis 506 führt. Die Basis 506 hat gleichzeitig die Funktion einer Wärmesenke und kann hierzu eine Kühleinrichtung, beispielsweise eine Fluidkühlung, aufweisen.This results in a first heat conduction path 516 , which of the optical element 502 through the support section 552 , through the joint 514 through the support section 550 in the base 506 leads. The base 506 at the same time has the function of a heat sink and for this purpose can have a cooling device, for example a fluid cooling.

Ferner weist die optische Vorrichtung 500 zumindest ein thermisches Kopplungsmittel 520 auf, welches das optische Element 502 wärmeleitend mit dem ersten Tragabschnitt 550 verbindet und dabei das Gelenk 514 überbrückt. Somit ergibt sich ein zweiter thermischer Leitungspfad 522, welcher an dem Gelenk 514 vorbeiführt. Furthermore, the optical device 500 at least one thermal coupling agent 520 on which the optical element 502 heat-conducting with the first support section 550 connects and at the same time the joint 514 bridged. This results in a second thermal conduction path 522 , which at the joint 514 passes.

Das thermische Kopplungselement 520 weist einen geringeren thermischen Widerstand als das Gelenk 514 auf. Außerdem weist das thermische Kopplungsmittel 520 eine höhere Wärmeleitfähigkeit auf als das Gelenk 514. The thermal coupling element 520 has a lower thermal resistance than the joint 514 on. In addition, the thermal coupling agent has 520 a higher thermal conductivity than the joint 514 ,

Das thermische Kopplungsmittel kann beispielsweise als Festkörpergelenk ausgebildet sein. Das thermische Kopplungsmittel kann Metall, insbesondere Gold, aufweisen. Beispielhaft ist das thermische Kopplungsmittel 520 als Folienstapel mit einer Vielzahl paralleler Folien 526 gebildet, welche zueinander beabstandet sind. Hier gelten die Ausführungen in Bezug auf das thermische Kopplungsmittel 120 entsprechend. The thermal coupling means may be formed, for example, as a solid-body joint. The thermal coupling agent may comprise metal, in particular gold. Exemplary is the thermal coupling agent 520 as a film stack with a large number of parallel films 526 formed, which are spaced from each other. The statements relating to the thermal coupling agent apply here 120 corresponding.

Folglich fließt der weit überwiegende Teil der Wärme aus dem optischen Element 502 über den zweiten Wärmeleitungspfad 522 in die Basis 506. Der Wärmeeintrag in das Gelenk 514 wie auch in zumindest einen Teil des Tragelements 508, insbesondere in den zweiten Tragabschnitt 552, ist gering. Entsprechend gering fallen die thermischen Verformungen des Gelenks 514 und des Tragabschnitts 508 aus. Damit ergibt sich eine genaue Positionierbarkeit des optischen Elements 502 in der Verstellrichtung 512. Zur Verstellung der Verstellrichtung 512 kann ein Aktuator 524 vorgesehen sein. Consequently, the vast majority of the heat flows from the optical element 502 over the second heat conduction path 522 in the base 506 , The heat input into the joint 514 as well as in at least part of the support element 508 , in particular in the second support section 552 , is low. Correspondingly low fall the thermal deformations of the joint 514 and the support section 508 out. This results in an accurate positioning of the optical element 502 in the adjustment 512 , For adjusting the adjustment 512 can be an actuator 524 be provided.

Vorzugsweise ist das thermische Kopplungsmittel 520 für das Verstellen des optischen Elements 512 in der Verstellrichtung 514 flexibel ausgebildet, bevorzugt nicht tragend. Insbesondere weist das thermische Kopplungsmittel 520 eine geringere Steifigkeit als das Gelenk 514 in der Verstellrichtung 512 auf. Preferably, the thermal coupling agent is 520 for adjusting the optical element 512 in the adjustment 514 flexible, preferably not pregnant. In particular, the thermal coupling agent 520 a lower stiffness than the joint 514 in the adjustment 512 on.

Die 6 bis 9 zeigen verschiedene Varianten der optischen Vorrichtung 500 aus 5.The 6 to 9 show different variants of the optical device 500 out 5 ,

Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach 6 verbindet das thermische Kopplungsmittel 520 die beiden Tragabschnitte 550 und 552 wärmeleitend miteinander. According to the embodiment according to 6 connects the thermal coupling agent 520 the two support sections 550 and 552 thermally conductive with each other.

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 7 verbindet das thermische Kopplungsmittel 520 den zweiten Tragabschnitt 552 wärmeleitend mit der Basis 506. In the embodiment according to 7 connects the thermal coupling agent 520 the second support section 552 thermally conductive with the base 506 ,

Bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 8 unterteilt sich das Tragelement 508 in drei Tragabschnitte, nämlich einen ersten Tragabschnitt 550, einen zweiten Tragabschnitt 552 und einen dritten Tragabschnitt 800. Der Tragabschnitt 550 verbindet die Basis 506 mit dem Gelenk 514, der Tragabschnitt 552 verbindet das Gelenk 514 mit einem Gelenk 802 und der Tragabschnitt 800 das Gelenk 802 mit der Halterung 600 (oder direkt mit dem optischen Element 502 gemäß einer anderen Ausführungsform). In the embodiment according to 8th divided the support element 508 in three support sections, namely a first support section 550 , a second support section 552 and a third support section 800 , The supporting section 550 connects the base 506 with the joint 514 , the carrying section 552 connects the joint 514 with a joint 802 and the support section 800 the joint 802 with the bracket 600 (or directly to the optical element 502 according to another embodiment).

Das thermische Kopplungsmittel 520 überbrückt sämtliche Gelenke 514, 802. Es verbindet dabei beispielsweise den Tragabschnitt 800 mit dem Tragabschnitt 550 wärmeleitend.The thermal coupling agent 520 bridges all joints 514 . 802 , It connects, for example, the support section 800 with the support section 550 thermally conductive.

9 zeigt eine optische Vorrichtung 500, welche eine Zweibeinabstützung 900 aufweist. Die Zweibeinabstützung 900 setzt sich aus zwei Beinen 902 und 904 zusammen. Ein jeweiliges Bein 902, 904 umfasst ein Tragelement 508 und ein Gelenk 514. Jeweils ein thermisches Kopplungsmittel 520 verbindet das Halteelement 600 (oder in einer anderen Ausführungsform das optische Element 502) direkt mit dem ersten Tragabschnitt 550, wobei ein jeweiliges Gelenk 514 überbrückt wird. 9 shows an optical device 500 which is a bipod support 900 having. The bipod support 900 is made up of two legs 902 and 904 together. A respective leg 902 . 904 includes a support element 508 and a joint 514 , In each case a thermal coupling agent 520 connects the retaining element 600 (or in another embodiment, the optical element 502 ) directly with the first support section 550 where a respective joint 514 is bridged.

Gemäß dem Ausführungsbeispiel nach 10 umfasst die Lithographieanlage 1000 eine Lichtformungseinheit 1002, ein Beleuchtungssystem 1004 und ein Projektionsobjektiv 1006. Das Licht (Arbeitslicht) aus der Lichtformungseinheit 1002, welches in 10 teilweise als Strahlengang dargestellt ist, wird beispielsweise im Beleuchtungssystem 1004 auf Spiegel eines Spiegelfelds 1008 gelenkt, welche das Licht auf Spiegel eines Spiegelfelds 1010 reflektieren. Am Ende des Beleuchtungssystems 1004 wird ein Retikel 1012 beleuchtet. Das Licht wird hiernach im Projektionsobjektiv 1006 auf ein Substrat 1014 gelenkt, so dass die in dem Retikel 1012 enthaltene Struktur verkleinert auf dem Substrat 1014 abgebildet wird.According to the embodiment according to 10 includes the lithography system 1000 a light-shaping unit 1002 , a lighting system 1004 and a projection lens 1006 , The light (work light) from the light shaping unit 1002 which is in 10 is partially shown as a beam path is, for example, in the lighting system 1004 on mirror of a mirror field 1008 directed the light on mirror of a mirror field 1010 reflect. At the end of the lighting system 1004 becomes a reticle 1012 illuminated. The light is then in the projection lens 1006 on a substrate 1014 steered so that in the reticle 1012 contained structure reduced on the substrate 1014 is shown.

Die optischen Vorrichtungen 100 oder 500 können beispielsweise bei den Spiegelfeldern 1008, 1010 Anwendung finden, um einzelne Spiegel beweglich, insbesondere verkippbar, zu lagern.The optical devices 100 or 500 can, for example, in the mirror fields 1008 . 1010 Use to store individual mirrors movable, in particular tiltable store.

Obwohl die Erfindung anhand verschiedener Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie darauf keineswegs beschränkt, sondern vielfältig modifizierbar.Although the invention has been described with reference to various embodiments, it is by no means limited thereto, but variously modifiable.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

100100: Optische Vorrichtung Optical device
102102: Optisches Element Optical element
104104: Licht light
106106: Basis Base
108108: Tragelement supporting member
110110: Isolationselement insulation element
112112: Verstellrichtung adjustment
114 114: Gelenk joint
116116: erster thermischer Leitungspfad first thermal conduction path
118118: Wärmesenke heat sink
120120: thermisches Kopplungsmittel thermal coupling agent
122122: zweiter thermischer Leitungspfad second thermal conduction path
124124: Aktuator actuator
126126: Folie foil
128128: Vertiefung deepening
130130: Vertiefung deepening
132132: Vorsprung head Start
134134: Lochmuster hole pattern
200200: Tragabschnitt supporting section
202202: Tragabschnitt supporting section
204204: Tragabschnitt supporting section
300300: Halteelement retaining element
302302: Vertiefung deepening
304304: Bereich Area
306306: Element element
308308: Abschnitt section
310310: Vertiefung deepening
400400: Zweibeinabstützung Two-leg support
402402: Bein leg
404404: Bein leg
406406: Boden ground
408408: Durchbruch breakthrough
410410: Boden ground
500500: optische Vorrichtung optical device
502502: optisches Element optical element
504504: Licht light
506506: Basis Base
508508: Tragelement supporting member
512512: Verstellrichtung adjustment
514514: Gelenk joint
516516: erster thermischer Leitungspfad first thermal conduction path
520520: thermisches Kopplungsmittel thermal coupling agent
522522: zweiter thermischer Leitungspfad second thermal conduction path
524524: Aktuator actuator
526526: Folie foil
550550: erster Tragabschnitt first support section
552552: zweiter Tragabschnitt second support section
600600: Halteelement retaining element
800800: dritter Tragabschnitt third support section
802802: Gelenk joint
900900: Zweibeinabstützung Two-leg support
902902: Bein leg
904904: Bein leg
10001000: Lithographieanlage lithography system
10021002: Lichtformungseinheit Light shaping unit
10041004: Beleuchtungssystem lighting system
10061006: Produktionsobjektiv production lens
10081008: Spiegelfeld Spiegelfeld
10101010: Spiegelfeld Spiegelfeld
10121012: Retikel reticle
10141014: Substrat substratum

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

US 2011/0181852 A1 [0004]

Claims

Optical device ( 100 ), comprising: an optical element ( 102 ), One Base ( 106 ), a support element ( 108 ), which the optical element ( 102 ) spaced from the base ( 106 ), an insulation element ( 110 ), which in a first thermal conduction path ( 116 ) between the optical element ( 102 ) and the base ( 106 ) is arranged, wherein the insulation element ( 110 ) between the optical element ( 102 ) and the support element ( 108 ) or in the support element ( 108 ) is integrated.

An optical device according to claim 1, further comprising a joint ( 114 ) for adjusting an orientation of the optical element ( 102 ), where the joint ( 114 ) between the support element ( 108 ) and the optical element ( 102 ) or in the support element ( 108 ) is integrated.

An optical device according to claim 2, wherein the joint ( 114 ) is formed as a solid-state joint or swivel joint.

Optical device according to one of claims 1 to 3, wherein the insulating element ( 110 ) a higher thermal resistance than the support element ( 108 ) and / or the joint ( 114 ) having.

Optical device according to claim 4, wherein the insulating element ( 110 ) a lower thermal conductivity than the support element ( 108 ) and / or the joint ( 114 ) having.

Optical device according to one of claims 1 to 5, wherein the thermal expansion coefficient of the insulating element is selected such that a deformation, a voltage and / or movement of at least one of the insulating element ( 110 ) adjacent component ( 102 . 108 . 300 ) is a minimum for a defined temperature change.

Optical device according to one of claims 1 to 6, wherein the insulating element ( 110 ) has a lower thermal expansion coefficient than the support element ( 108 ) and / or the joint ( 114 ) having.

An optical device according to any one of claims 1 to 7, further comprising a heat sink ( 118 ) and a thermal coupling agent ( 120 ), which in a second thermal conduction path ( 122 ) between the optical element ( 102 ) and the heat sink ( 118 ) is arranged.

An optical device according to claim 8, wherein a heat flow along the second thermal conduction path ( 122 ) greater than a heat flux along the first thermal conduction path ( 116 ).

An optical device according to claim 8 or 9, wherein the thermal coupling agent ( 120 ) a lower thermal resistance than the insulating element ( 110 ), the support element ( 108 ) and / or the joint ( 114 ) having.

An optical device according to claim 10, wherein the thermal coupling agent ( 120 ) has a higher thermal conductivity than the insulating element ( 110 ), the support element ( 108 ) and / or the joint ( 114 ) having.

Optical device according to one of claims 1 to 11, wherein the insulating element ( 110 ) has a ceramic or glass.

Optical device according to one of claims 1 to 12, wherein the insulating element ( 110 ) is designed as an insert, adhesive, paste or foil.

Optical device ( 500 ), comprising: an optical element ( 502 ), One Base ( 506 ), a support element ( 508 ), which the optical element ( 502 ) spaced from the base ( 506 ), a joint ( 514 ) and for adjusting an orientation of the optical element ( 502 ), where the joint ( 514 ) the optical element ( 502 ) with the support element ( 508 ), two support sections ( 550 . 552 ) of the support element ( 508 ) with each other or the support element ( 508 ) with the base ( 506 ) and a thermal coupling agent ( 520 ), which the optical element ( 502 ) with the support element ( 508 ), the two support sections ( 550 . 552 ) with each other or the support element ( 508 ) with the base ( 506 ) and the joint ( 514 ) bridged.

Optical device according to claim 14, wherein the support element ( 508 ) more than two support sections ( 550 . 552 . 800 ), which in each case by means of joints ( 514 . 802 ), wherein the heat-conducting coupling agent ( 520 ) several joints ( 514 . 802 ) bridged.

An optical device according to claim 14 or 15, wherein the thermal coupling agent ( 520 ) a lower thermal resistance than the joint ( 514 . 802 ) having.

An optical device according to claim 16, wherein the thermal coupling agent ( 520 ) a higher thermal conductivity than the joint ( 514 . 802 ) having.

An optical device according to any one of claims 8 to 17, wherein the thermal coupling agent ( 120 . 520 ) for adjusting the optical element ( 102 . 502 ) is flexible and / or a lower rigidity in the adjustment ( 112 . 512 ) as the support element ( 108 . 508 ) and / or the joint ( 114 . 514 . 802 ) having.

An optical device according to any one of claims 8 to 18, wherein the thermal coupling agent ( 120 . 520 ) is a fluid or a solid.

Optical device according to one of claims 8 to 19, wherein the thermal coupling agent ( 120 . 520 ) comprises a metal, a semi-metal or a semiconductor.

An optical device according to any one of claims 8 to 20, wherein the thermal coupling agent ( 120 . 520 ) is formed in the form of at least one strip, wire, braid or foil stack.

An optical device according to any one of claims 1 to 21, further comprising a two, three or six leg support ( 400 . 900 ), whereby a respective leg ( 402 . 404 . 902 . 904 ) a support element ( 108 . 508 ) assigned.

An optical device according to any one of claims 2 to 22, further comprising an actuator ( 124 . 524 ) for adjusting the orientation of the optical element ( 102 . 502 ).

Lithography plant ( 1000 ) with at least one optical device ( 100 . 500 ) according to one of the preceding claims.