DE102013214219B4 - Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation - Google Patents
Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation Download PDFInfo
- Publication number
- DE102013214219B4 DE102013214219B4 DE102013214219.6A DE102013214219A DE102013214219B4 DE 102013214219 B4 DE102013214219 B4 DE 102013214219B4 DE 102013214219 A DE102013214219 A DE 102013214219A DE 102013214219 B4 DE102013214219 B4 DE 102013214219B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- laser
- laser radiation
- radiation
- resonator
- active medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 111
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 66
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 210000000554 iris Anatomy 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 1
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
- H01S3/108—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity using non-linear optical devices, e.g. exhibiting Brillouin or Raman scattering
- H01S3/109—Frequency multiplication, e.g. harmonic generation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08018—Mode suppression
- H01S3/0804—Transverse or lateral modes
- H01S3/0805—Transverse or lateral modes by apertures, e.g. pin-holes or knife-edges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0811—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection
- H01S3/0812—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors incorporating a dispersive element, e.g. a prism for wavelength selection using a diffraction grating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/0602—Crystal lasers or glass lasers
- H01S3/0604—Crystal lasers or glass lasers in the form of a plate or disc
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
- H01S3/08063—Graded reflectivity, e.g. variable reflectivity mirror
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
- H01S3/0813—Configuration of resonator
- H01S3/0816—Configuration of resonator having 4 reflectors, e.g. Z-shaped resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/102—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
- H01S3/1022—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation by controlling the optical pumping
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/16—Solid materials
- H01S3/1601—Solid materials characterised by an active (lasing) ion
- H01S3/1603—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth
- H01S3/1618—Solid materials characterised by an active (lasing) ion rare earth ytterbium
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
Laseranordnung (1) zum Erzeugen einer frequenzkonvertierten Laserstrahlung (2a), mit einem durch zwei Endspiegel (3a, 3b) gebildeten Laserresonator (4), der ein laseraktives Medium (5) in Form einer Laserscheibe, zum Erzeugen einer fundamentalen Laserstrahlung (2b), mindestens ein nichtlineares Medium (8), insbesondere mindestens einen nichtlinearen Kristall, zum Erzeugen der frequenzkonvertierten Laserstrahlung (2a) aus der fundamentalen Laserstrahlung (2b) und mindestens zwei im Strahlengang des Laserresonators (4) angeordnete Blenden (10) aufweist, von denen die eine als Lochblende (9) ausgebildet und die andere durch den gepumpten Bereich (7) auf dem laseraktiven Medium (5; 18) gebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass im Strahlengang des Laserresonators (4) sowohl ein optisches Gitter (11) zur Selektion eines Wellenlängenbereichs der Laserstrahlung (2b) als auch Zusatzumlenkspiegel (20) angeordnet sind, die je resonatorinternen Umlauf der Laserstrahlung (2b) die Laserstrahlung (2b) mehrfach auf den gepumpten Bereich (7) richten.Laser arrangement (1) for generating a frequency-converted laser radiation (2a), having a laser resonator (4) formed by two end mirrors (3a, 3b), which comprises a laser-active medium (5) in the form of a laser disk for generating a fundamental laser radiation (2b), at least one nonlinear medium (8), in particular at least one nonlinear crystal, for generating the frequency-converted laser radiation (2a) from the fundamental laser radiation (2b) and at least two in the beam path of the laser resonator (4) arranged aperture (10), of which one formed as a pinhole (9) and the other by the pumped region (7) on the laser-active medium (5; 18) is formed, characterized in that in the beam path of the laser resonator (4) both an optical grating (11) for selecting a wavelength range the laser radiation (2b) and Zusatzumlenkspiegel (20) are arranged, the per intracavity circulation of the laser radiation (2b) the laser radiation ( 2b) several times on the pumped area (7).
Description
Die Erfindung betrifft eine Laseranordnung zum Erzeugen einer frequenzkonvertierten Laserstrahlung mit einem durch zwei Endspiegel gebildeten Laserresonator, der ein laseraktives Medium in Form einer Laserscheibe zum Erzeugen einer fundamentalen Laserstrahlung, mindestens ein nichtlineares Medium, insbesondere mindestens einen nichtlinearen Kristall, zum Erzeugen der frequenzkonvertierten Laserstrahlung aus der fundamentalen Laserstrahlung und mindestens zwei im Strahlengang des Laserresonators angeordnete Blenden aufweist, von denen die eine als Lochblende ausgebildet und die andere durch den gepumpten Bereich auf dem laseraktiven Medium gebildet ist.The invention relates to a laser arrangement for generating a frequency-converted laser radiation having a laser resonator formed by two end mirrors, the laser active medium in the form of a laser disk for generating a fundamental laser radiation, at least one non-linear medium, in particular at least one non-linear crystal for generating the frequency-converted laser radiation from the fundamental laser radiation and at least two arranged in the beam path of the laser resonator apertures, one of which is formed as a pinhole and the other is formed by the pumped region on the laser-active medium.
Eine derartige Laseranordnung ist beispielsweise durch die
Bei Laseranordnungen mit resonatorinterner Frequenzkonversion, die im Dauerstrichbetrieb oder im Pulsbetrieb eingesetzt werden, ist es möglich, dass im laseraktiven Medium Wellenlängen anschwingen, die von dem nichtlinearen Medium bzw. Kristall nicht konvertiert werden können. Dies hat seine Ursache darin, dass die Verstärkungsbandbreite der meisten gängigen laseraktiven Medien bzw. Laserscheiben in der Regel breiter ist als die Bandbreite der von dem nichtlinearen Medium bzw. nichtlinearen Kristall für die Frequenzkonversion akzeptierten Wellenlängen. Wenn allerdings Wellenlängen außerhalb des Akzeptanzbereichs anschwingen, stellt dies für die Laseranordnung einen deren Effizienz entsprechend verringernden Verlust dar. Um dennoch eine vergleichsweise hohe Effizienz zu erreichen bzw. derartige Verluste zu verringern, ist es erstrebenswert, einen gewünschten bzw. vorbestimmten Wellenlängenbereich aus einem breiteren Wellenlängenbereich zu selektieren oder mit anderen Worten die Wellenlänge in der Laseranordnung zu stabilisieren.In the case of laser arrangements with intracavity frequency conversion, which are used in continuous wave mode or in pulse mode, it is possible for wavelengths in the laser-active medium to rise which can not be converted by the nonlinear medium or crystal. This is due to the fact that the gain bandwidth of most common laser-active media or laser discs is usually wider than the bandwidth of the wavelengths accepted by the non-linear medium or non-linear crystal for frequency conversion. However, when wavelengths out of the range of acceptance oscillate, this represents a loss corresponding to the efficiency of the laser array. However, to achieve comparatively high efficiency or reduce such losses, it is desirable to have a desired wavelength range from a broader wavelength range to select or, in other words, to stabilize the wavelength in the laser array.
Bei der aus der
Allerdings kann bei laseraktiven Medien mit einem breiten Verstärkungsband, wie zum Beispiel Yb: dotierten Medien sowie bei Laseranordnungen mit vergleichsweise hohen Laserleistungen, durch Etalons nicht sichergestellt werden, dass unerwünschte Wellenlängen bzw. Spektralbereiche vollständig unterdrückt werden. Folglich können vereinzelt entsprechende Wellenlängen in nachteiliger Weise anschwingen. Wenn ein zweites Etalon zur weiteren Stabilisierung der Wellenlänge im Strahlengang einer derartigen Laseranordnung angeordnet wird, müssen die beiden Etalons allerdings in geometrisch exakt zueinander ausgerichteter Lage positioniert bzw. justiert werden. Darüber hinaus müssen beide Etalons auf derselben Temperatur gehalten werden, um zu verhindern, dass sich deren Wirkungsweisen als optische Filter verändern. Auch wird von der das Etalon transmittierenden Laserstrahlung ein Strahlungsanteil absorbiert, durch den sich weitere Verluste in der Laseranordnung ergeben. Ein anderer Strahlungsanteil wird reflektiert.However, in the case of laser-active media with a wide amplification band, such as Yb: doped media and laser arrangements with comparatively high laser powers, etalons can not ensure that unwanted wavelengths or spectral ranges are completely suppressed. As a result, isolated wavelengths may disadvantageously swing. If a second etalon is arranged to further stabilize the wavelength in the beam path of such a laser arrangement, however, the two etalons must be positioned or adjusted in geometrically exactly aligned position. In addition, both etalons must be kept at the same temperature to prevent their effects from changing as optical filters. Also, a portion of the radiation absorbed by the laser beam transmitting the etalon absorbs further losses in the laser arrangement. Another part of the radiation is reflected.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine eingangs genannte Laseranordnung anzugeben, die die Nachteile des Standes der Technik überwindet. Insbesondere soll eine alternative Lösung zur Wellenlängenselektion mittels Etalons angegeben werden.The present invention has for its object to provide a laser arrangement mentioned above, which overcomes the disadvantages of the prior art. In particular, an alternative solution for wavelength selection by means of etalons should be specified.
Diese Aufgabe wird durch eine Laseranordnung der eingangs genannten Art gelöst, die dadurch gekennzeichnet ist, dass im Strahlengang des Laserresonators sowohl ein optisches Gitter zur Selektion eines Wellenlängenbereichs der Laserstrahlung als auch Zusatzumlenkspiegel angeordnet sind, die je resonatorinternen Umlauf der Laserstrahlung die Laserstrahlung mehrfach auf den gepumpten Bereich richten. Durch die Anordnung eines (optischen) Gitters im Strahlengang des Laserresonators ist es möglich, gezielt einen vorbestimmten Wellenlängenbereich zu selektieren. Anders ausgedrückt kann die Wellenlänge der Laserstrahlung durch die entsprechende Verwendung eines optischen Gitters gewissermaßen „stabilisiert” bzw. „fixiert” werden. Ein bestimmter Wellenlängenbereich der sich im Laserresonator ausbreitenden Laserstrahlung ist damit einstellbar. Bevorzugt ist der durch das optische Gitter selektierbare bzw. einstellbare Wellenlängenbereich an den Akzeptanzbereich der Frequenzkonversion (d. h. an den Akzeptanzbereich des nichtlinearen Mediums zur Frequenzkonversion) angepasst. D. h. die Bandbreite des selektierten Wellenlängenbereichs und die Bandbreite des Akzeptanzbereichs werden auf identische oder im Wesentlichen übereinstimmende Bereiche eingestellt. Dadurch kann in vorteilhafter Weise verhindert werden, dass Wellenlängen außerhalb des Akzeptanzbereichs der Frequenzkonversion anschwingen, die zu Verlusten in der Laseranordnung führen.This object is achieved by a laser arrangement of the type mentioned, which is characterized in that both an optical grating for selecting a wavelength range of the laser radiation and Zusatzumlenkspiegel are arranged in the beam path of the laser resonator per second of the laser radiation, the laser radiation several times on the pumped Set up the area. By arranging an (optical) grating in the beam path of the laser resonator, it is possible to selectively select a predetermined wavelength range. In other words, the wavelength of the laser radiation can be effectively "stabilized" by the corresponding use of an optical grating. A certain wavelength range of the laser radiation propagating in the laser radiation is thus adjustable. The wavelength range which can be selected or set by the optical grating is preferably adapted to the acceptance range of the frequency conversion (that is to say to the acceptance range of the non-linear medium for frequency conversion). Ie. the bandwidth of the selected wavelength range and the bandwidth of the acceptance range are set to identical or substantially coincident ranges. As a result, it can be advantageously prevented that wavelengths outside of the acceptance range of the frequency conversion oscillate, which lead to losses in the laser arrangement.
Darüber hinaus können die bei der Nutzung eines Etalons zur Wellenlängenselektion auftretenden Nachteile durch das optische Gitter vermieden werden. Insbesondere ist eine wesentlich verbesserte Unterdrückung der unerwünschten Wellenlängen bzw. Wellenlängenbereiche mit nur einem optischen Element (mit dem Gitter) möglich. Das aufwändige Angleichen der Temperaturen bzw. Justage mehrerer optischer Elemente zueinander, beispielsweise zweier Etalons, entfällt. Die geometrische Justage ist bei Vorhandensein lediglich eines einzigen optischen Gitters in der Laseranordnung vereinfacht. Das optische Gitter kann als Reflexionsgitter oder als Transmissionsgitter ausgebildet sein. Bevorzugt ist das optische Gitter als Reflexionsgitter ausgebildet. Durch den Einsatz eines Reflexionsgitters lassen sich absorptionsbedingte und auch reflektionsbedingte Verluste verringern. Ferner ist der erfindungsgemäße Einsatz des optischen Gitters insbesondere für Hochleistungslaser bzw. für Laser mit hohen Laserleistungen vorteilhaft. Moreover, the disadvantages of using the optical grating when using a wavelength selection etalon can be avoided. In particular, a substantially improved suppression of the unwanted wavelengths or wavelength ranges with only one optical element (with the grating) is possible. The complex matching of the temperatures or adjustment of several optical elements to one another, for example two etalons, is eliminated. The geometric adjustment is simplified in the presence of only a single optical grating in the laser array. The optical grating can be designed as a reflection grating or as a transmission grating. Preferably, the optical grating is formed as a reflection grating. The use of a reflection grille reduces absorption-related and also reflection-related losses. Furthermore, the use of the optical grating according to the invention is advantageous in particular for high-power lasers or for lasers with high laser powers.
Anstelle des optischen Gitters können erfindungsgemäß jedwede diffraktiven optischen Elemente eingesetzt werden. Beispielsweise kann das erfindungsgemäße optische Gitter als ein so genanntes Blazegitter mit für bestimmte Beugungsordnungen maximierter Beugungseffizienz ausgebildet sein. Diese maximierte Beugungseffizienz lässt sich hierbei für die so genannte Blaze-Wellenlänge erreichen. Neben der Wellenlänge der Laserstrahlung hängt die Beugungseffizienz von optischen Gittern grundsätzlich auch von den Gitterparametern (beispielsweise der Gitterkonstante des optischen Gitters) und von dem Einfallswinkel der einfallenden Laserstrahlung ab. Laserstrahlung anderer (unerwünschter) Wellenlänge oder unter anderen Einfallswinkeln einfallende Laserstrahlung wird mit reduzierter Effizienz gebeugt. Durch Variation dieser Parameter (Gitterparameter, Einfallswinkel der Laserstrahlung, etc.) können gezielt bestimmte Wellenlängen der Laserstrahlung selektiert werden.Instead of the optical grating, any diffractive optical elements can be used according to the invention. For example, the optical grating according to the invention may be formed as a so-called blaze grating with diffraction efficiency maximized for certain diffraction orders. This maximized diffraction efficiency can be achieved for the so-called blaze wavelength. In addition to the wavelength of the laser radiation, the diffraction efficiency of optical gratings basically also depends on the grating parameters (for example the grating constant of the optical grating) and on the angle of incidence of the incident laser radiation. Laser radiation of other (unwanted) wavelength or incident at other angles of incidence laser radiation is diffracted with reduced efficiency. By varying these parameters (lattice parameters, angles of incidence of the laser radiation, etc.), specific wavelengths of the laser radiation can be selectively selected.
Das laseraktive Medium bzw. die Laserscheibe wird von einer Pumplichtanordnung, die eine Pumpstrahlung bereitstellt, in bekannter Weise gepumpt. Das nichtlineare Medium oder die nichtlinearen Medien zur Frequenzkonversion bzw. der oder die nichtlinearen Kristalle sind typischerweise resonatorintern, insbesondere im Strahlengang zwischen einem Auskoppelspiegel und einem Endspiegel des Laserresonators, angeordnet. Es ist auch möglich, zwischen dem Auskoppelspiegel und dem Endspiegel mindestens ein Umlenkspiegel anzuordnen. Zur Frequenzkonversion kann beispielsweise ein nichtlineares Medium vorgesehen sein, mittels dessen eine Frequenzverdoppelung erzielt wird (SHG: second harmonic generation; engl. zweite Harmonische). Zur Erzielung einer Frequenzverdreifachung oder Frequenzvervierfachung können beispielsweise zwei nichtlineare Medien bzw. zwei nichtlineare Kristalle vorgesehen sein. Durch die im Strahlengang des Laserresonators angeordneten Blenden wird die Strahlrichtung und die Strahllage im Laserresonator, welche beispielsweise aufgrund von räumlichen Dejustierungen der Endspiegel des Laserresonators von einer Soll-Richtung bzw. einer Soll-Lage abweichen können, stabilisiert bzw. festgelegt. Somit wird durch die mindestens zwei im Strahlengang des Laserresonators angeordnete Blenden verhindert, dass die Laserstrahlung durch eine Veränderung der Strahlrichtung, bei der sich der Einfallswinkel auf das optische Gitter ändert, auf eine andere Frequenz ausweicht. Dadurch kann auch verhindert werden, dass die spektrale Breite zunimmt, d. h. dass mehrere unterschiedliche Wellenlängen auftreten und mithin die Verluste im Laserresonator zunehmen. Die Blenden sind bevorzugt in Abschnitten des Strahlengangs des Laserresonators angeordnet, in denen sich die fundamentale Laserstrahlung ausbreitet.The laser-active medium or the laser disk is pumped by a pumping light arrangement, which provides a pump radiation, in a known manner. The non-linear medium or the non-linear media for frequency conversion or the non-linear crystals are typically arranged inside the resonator, in particular in the beam path between an output mirror and an end mirror of the laser resonator. It is also possible to arrange at least one deflecting mirror between the outcoupling mirror and the end mirror. For frequency conversion, for example, a nonlinear medium can be provided, by means of which a frequency doubling is achieved (SHG: second harmonic generation; To achieve a frequency tripling or frequency quadrupling, for example, two non-linear media or two non-linear crystals may be provided. By arranged in the beam path of the laser resonator aperture, the beam direction and the beam position in the laser resonator, which may differ from a desired direction or a desired position, for example, due to spatial misalignments of the end mirror of the laser resonator, stabilized or fixed. Thus, the at least two apertures arranged in the beam path of the laser resonator prevent the laser radiation from escaping to a different frequency due to a change in the beam direction in which the angle of incidence changes to the optical grating. This can also be prevented that the spectral width increases, d. H. that several different wavelengths occur and thus increase the losses in the laser resonator. The diaphragms are preferably arranged in sections of the beam path of the laser resonator, in which the fundamental laser radiation propagates.
Fundamentale Laserstrahlung breitet sich beispielsweise in Abschnitten des Strahlengangs aus, in denen das laseraktive Medium bzw. die Laserscheibe zur Erzeugung der fundamentalen Laserstrahlung angeordnet ist und die einenends durch einen Endspiegel des Laserresonators und anderenends durch eine Auskoppelstelle begrenzt sind. Beispielsweise kann an der Auskoppelstelle ein als dichroitischer Spiegel ausgebildeter Auskoppelspiegel vorgesehen sein, der frequenzkonvertierte Laserstrahlung transmittiert und fundamentale Laserstrahlung reflektiert. Die erfindungsgemäße Laseranordnung kann sowohl im Dauerstrichbetrieb als auch im Pulsbetrieb eingesetzt werden.Fundamental laser radiation propagates, for example, in sections of the beam path in which the laser-active medium or the laser disk for generating the fundamental laser radiation is arranged and which are limited at one end by an end mirror of the laser resonator and the other end by a decoupling point. For example, at the decoupling point, a coupling-out mirror designed as a dichroic mirror may be provided, which transmits frequency-converted laser radiation and reflects fundamental laser radiation. The laser arrangement according to the invention can be used both in continuous wave mode and in pulse mode.
Lochblenden begrenzen (meist kreisförmig) die Apertur des optischen Systems und bilden so genannte harte Blenden. Die Öffnung in der mindestens einen Blende der Lochblende kann variabel einstellbarer ausgebildet sein.Aperture diaphragms limit (usually circular) the aperture of the optical system and form so-called hard diaphragms. The opening in the at least one aperture of the pinhole can be variably adjustable.
Der gepumpte Bereich auf dem laseraktiven Medium kann als eine („weiche”) Blende genutzt werden. Da der ungepumpte Außenbereich eines laseraktiven Mediums, beispielsweise der ungepumpte Bereich einer Laserscheibe mit Ytterbium-dotierten Lasermaterialien (Yb:YAG etc.), für Laserstrahlung absorbierend oder nicht verstärkend wirkt, bildet er in Verbindung mit dem gepumpten Bereich, also dem Pumpfleck, eine so genannte weiche Blende: Im gepumpten Innenbereich, d. h. dem Pumpfleck, findet eine Verstärkung der Laserstrahlung statt, wohingegen im ungepumpten Außenbereich die Laserstrahlung absorbiert oder nicht verstärkt wird. Die Größe des gepumpten Bereichs definiert gewissermaßen die Apertur der entsprechenden Blende. Die Größe des gepumpten Bereichs ist in der Regel kleiner als Die Größe des laseraktiven Mediums (bzw. der Laserscheibe). ”Weiche” Blenden können vorteilhaft die Funktion von beispielsweise als Lochblenden ausgebildeten „harten” Blenden bei vergleichsweise reduzierten Beugungsverlusten übernehmen.The pumped area on the laser active medium can be used as a ("soft") aperture. Since the unpumped outer region of a laser-active medium, for example the unpumped region of a laser disk with ytterbium-doped laser materials (Yb: YAG etc.), has an absorbing or non-amplifying effect for laser radiation, it forms one in connection with the pumped region, ie the pump leak In the pumped inner area, ie the pump leak, an amplification of the laser radiation takes place, whereas in the unpumped outer area the laser radiation is absorbed or not amplified. The size of the pumped area effectively defines the aperture of the corresponding aperture. The size of the pumped area is usually smaller than the size of the laser-active medium (resp. the laser disc). "Soft" diaphragms can advantageously take on the function of, for example, "pinhole" shaped "hard" diaphragms with comparatively reduced diffraction losses.
Die Zusatzumlenkspiegel richten je resonatorinternen Umlauf der Laserstrahlung die Laserstrahlung mehrfach auf den gepumpten Bereich. Zum einen wird durch das mehrfache Durchlaufen des gepumpten Bereichs eine höhere Verstärkung erzielt. Zum anderen kann dadurch die bereits einmal auf den gepumpten Bereich gerichtete und durch das laseraktive Medium verstärkte sowie durch den Einfluss des gepumpten Bereich als „weiche” Blende beeinflusste Laserstrahlung erneut ein weiteres (zweites) Mal auf dasselbe laseraktive Medium gerichtet werden, wodurch sich die Laserstrahlung erneut hinsichtlich Verstärkung und Festlegung der Strahllage beeinflussen lässt. Die Zusatzumlenkspiegel sind typischerweise in einem Abschnitt des Laserresonators angeordnet, in dem sich fundamentale Laserstrahlung ausbreitet.The additional deflecting mirrors direct the laser radiation onto the pumped area several times per intracavity circulation of the laser radiation. On the one hand, a higher gain is achieved by passing through the pumped area several times. On the other hand, the laser radiation, which has already been directed once to the pumped area and amplified by the laser-active medium and influenced by the pumped area as a "soft" diaphragm, can be directed anew (second) time to the same laser-active medium, whereby the laser radiation again with regard to amplification and determination of the beam position can be influenced. The additional deflection mirrors are typically located in a portion of the laser cavity in which fundamental laser radiation propagates.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist das optische Gitter zwischen den Endspiegeln des Laserresonators angeordnet. Dann bildet das optische Gitter einen im Strahlengang des Laserresonators zwischen den Endspiegeln angeordneten Umlenkspiegel. Das optische Gitter ist insbesondere in einem Abschnitt des Strahlengangs angeordnet, in dem sich die fundamentale Laserstrahlung ausbreitet, sodass durch das optische Gitter die fundamentale Laserstrahlung umgelenkt wird.In a preferred embodiment, the optical grating is arranged between the end mirrors of the laser resonator. Then, the optical grating forms a deflecting mirror arranged in the beam path of the laser resonator between the end mirrors. The optical grating is arranged, in particular, in a section of the beam path in which the fundamental laser radiation propagates, so that the fundamental laser radiation is deflected by the optical grating.
Bei einer anderen bevorzugten Ausführungsform bildet das optische Gitter einen der Endspiegel des Laserresonators aus. Dadurch entfällt zumindest ein als Endspiegel eingesetzter herkömmlicher Reflektionsspiegel, wodurch die hierbei typischerweise auftretenden Verluste vermieden oder zumindest verringert werden können. Das optische Gitter ist als Endspiegel in der Regel am Ende eines Abschnitts des Strahlengangs des Laserresonators angeordnet, an dem die fundamentale Laserstrahlung reflektiert wird.In another preferred embodiment, the optical grating forms one of the end mirrors of the laser resonator. This eliminates at least one used as an end mirror conventional reflection mirror, whereby the typically occurring losses can be avoided or at least reduced. The optical grating is arranged as an end mirror usually at the end of a portion of the beam path of the laser resonator on which the fundamental laser radiation is reflected.
Bei einer bevorzugten Weiterbildung der vorhergehenden Ausführungsform ist das optische Gitter bezüglich der optischen Achse der Laserstrahlung in der Littrow-Anordnung angeordnet. Durch das gemäß der Littrow-Anordnung bezüglich der optischen Achse der einfallenden Laserstrahlung schräg ausgerichtete optische Gitter wird die unter einem Einfallwinkel auftreffende Laserstrahlung unter identischem Ausfallwinkel an dem optischen Gitter gebeugt. Die einfallende und ausfallende Laserstrahlung (die optischen Achsen der entsprechenden Laserstrahlen) verlaufen mithin kollinear zueinander. Die Laserstrahlung wird also zurück in die Richtung der einfallenden Laserstrahlung gebeugt, wodurch das optische Gitter die Funktion des Endspiegels übernimmt.In a preferred development of the preceding embodiment, the optical grating is arranged with respect to the optical axis of the laser radiation in the Littrow arrangement. As a result of the optical grating aligned obliquely in accordance with the Littrow arrangement with respect to the optical axis of the incident laser radiation, the laser radiation incident at an angle of incidence is diffracted at the optical grating with an identical angle of projection. The incident and failing laser radiation (the optical axes of the corresponding laser beams) thus run collinear to each other. The laser radiation is thus diffracted back in the direction of the incident laser radiation, whereby the optical grating takes over the function of the end mirror.
Bevorzugt ist auch eine Ausführungsform, bei der das optische Gitter ein dielektrisches Gitter ist. Dielektrische Gitter sind besonders geeignet, bei hohen Laserleistungen resonatorintern betrieben zu werden.An embodiment in which the optical grating is a dielectric grating is also preferred. Dielectric gratings are particularly suitable for being operated resonator-internally at high laser powers.
Bevorzugt ist auch eine Ausführungsform der Laseranordnung, bei der mindestens eine Blende dem optischen Gitter unmittelbar nebengeordnet ist. Dadurch trifft die sich im Laserresonator ausbreitende Laserstrahlung vor ihrem Auftreffen auf das optische Gitter zuvor auf die Blende. Die Blende ist somit derart im Strahlengang des Laserresonators angeordnet, dass die Strahllage auf dem optischen Gitter (bzw. der Strahlauftreffpunkt auf dem optischen Gitter und/oder die Strahlauftreffrichtung) festgelegt bzw. eingestellt sind. Zwischen dem optischen Gitter und der Blende sind dann keine weiteren optischen Elemente angeordnet, die die Strahllage (in diesem Abschnitt des Strahlengangs) beeinflussen könnten. Für den Fall, dass mehrere Blenden im Strahlengang vorgesehen sind, ist es weiterhin bevorzugt, dass auch zwischen der ersten und gegebenenfalls der weiteren Blende keine weiteren optischen Elemente angeordnet sind, sodass die Strahllage der Laserstrahlung durch die (unmittelbar nacheinander durchlaufenen) Blenden festgelegt bzw. eingestellt wird. Die dem optischen Gitter unmittelbar nebengeordnete Blende ist in Ausbreitungsrichtung eines auf das optische Gitter einfallenden Laserstrahls betrachtet dem optischen Gitter unmittelbar vorgeordnet. In Ausbreitungsrichtung eines von dem optischen Gitter ausfallenden bzw. reflektierten Laserstrahls betrachtet ist die Blende dem optischen Gitter unmittelbar nachgeordnet.An embodiment of the laser arrangement in which at least one aperture is directly adjacent to the optical grating is also preferred. As a result, the laser radiation propagating in the laser resonator hits the diaphragm before it hits the optical grating. The diaphragm is thus arranged in the beam path of the laser resonator such that the beam position on the optical grating (or the beam impingement point on the optical grating and / or the beam impingement direction) are set or adjusted. Between the optical grating and the diaphragm then no further optical elements are arranged, which could influence the beam position (in this section of the beam path). In the event that a plurality of diaphragms are provided in the beam path, it is further preferred that no further optical elements are arranged between the first and optionally the further diaphragm, so that the beam position of the laser radiation by the (immediately successively traversed) aperture fixed or is set. The aperture directly adjacent to the optical grating is viewed in the propagation direction of an incident on the optical grating laser beam the optical grating immediately upstream. Viewed in the propagation direction of a laser beam which emerges from or reflects off the optical grating, the diaphragm is arranged directly downstream of the optical grating.
Vorzugsweise weist der Laserresonator in seinem Strahlengang mindestens ein weiteres laseraktives Medium zum Erzeugen der fundamentalen Laserstrahlung auf, wobei mindestens eine weitere Blende durch den gepumpten Bereich auf dem weiteren laseraktiven Medium gebildet ist. Dadurch kann die bereits einmal auf den gepumpten Bereich des einen laseraktiven Mediums aufgetroffene und durch dieses laseraktive Medium verstärkte sowie durch den Einfluss des gepumpten Bereichs dieses laseraktiven Mediums als „weiche” Blende beeinflusste Laserstrahlung erneut ein weiteres (zweites) Mal auf das weitere zweite laseraktive Medium gerichtet werden, wodurch die Laserstrahlung erneut hinsichtlich Verstärkung und Festlegung der Strahllage beeinflusst wird. Dadurch dass zwei unterschiedliche laseraktive Medien von der Laserstrahlung durchlaufen werden, kann die Laserstrahlung durch jedes Medium unterschiedlich beeinflusst werden. Durch das Durchlaufen mehrerer laseraktiver Medien kann ferner eine höhere Verstärkung erzielt werden.The laser resonator preferably has in its beam path at least one further laser-active medium for generating the fundamental laser radiation, wherein at least one further diaphragm is formed by the pumped region on the further laser-active medium. As a result, the laser radiation already impinged on the pumped region of the one laser-active medium and amplified by this laser-active medium and influenced by the influence of the pumped region of this laser-active medium as a "soft" diaphragm can once again (second) strike the further second laser-active medium be directed, whereby the laser radiation is again affected in terms of gain and determination of the beam position. The fact that two different laser-active media are traversed by the laser radiation, the laser radiation can be influenced differently by each medium. By passing through several laser-active media can also be achieved a higher gain.
Bevorzugt ist schließlich eine Weiterbildung, bei der die Größe des gepumpten Bereichs oder die Größen der gepumpten Bereiche einstellbar sind. Die Einstellung kann durch die Wahl des Pumpstrahldurchmessers (der Querschnittsgröße des Pumpstrahls) erfolgen. Durch die Beeinflussung des Pumpstrahldurchmessers kann das Verhältnis der Größe des gepumpten Bereichs des laseraktiven Mediums zum ungepumpten Außenbereich des laseraktiven Mediums variiert werden. Der Pumpstrahldurchmesser kann beispielsweise durch die die Pumpstrahlung erzeugende Pumpeinheit zur Zuführung von Energie in das laseraktive Medium oder durch geeignete Optiken vergrößert oder verkleinert werden. Finally, a development is preferred in which the size of the pumped region or the sizes of the pumped regions are adjustable. The adjustment can be made by the choice of the pump jet diameter (the cross-sectional size of the pump jet). By influencing the pump beam diameter, the ratio of the size of the pumped region of the laser-active medium to the unpumped outer region of the laser-active medium can be varied. The pump beam diameter can be increased or decreased, for example, by the pumping unit generating the pumping unit for supplying energy into the laser-active medium or by suitable optics.
Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstands der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung, den Ansprüchen und der Zeichnung. Ebenso können die vorstehend genannten und die noch weiter aufgeführten Merkmale je für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen Verwendung finden. Die gezeigten und beschriebenen Ausführungsformen sind nicht als abschließende Aufzählung zu verstehen, sondern haben vielmehr beispielhaften Charakter für die Schilderung der Erfindung. Die Figuren der Zeichnung zeigen den erfindungsgemäßen Gegenstand stark schematisiert und sind nicht maßstäblich zu verstehen.Further advantages and advantageous embodiments of the subject invention will become apparent from the description, the claims and the drawings. Likewise, the features mentioned above and the features listed further can be used individually or in combination in any combination. The embodiments shown and described are not to be understood as exhaustive enumeration, but rather have exemplary character for the description of the invention. The figures of the drawing show the subject matter according to the invention in a highly schematized manner and are not to be understood to scale.
Es zeigen:Show it:
Der Laserresonator
Im Betrieb der Laseranordnung
Bei Laseranordnungen, die wie die vorbeschriebene Laseranordnung
Durch die Anordnung des Reflexionsgitters
Darüber hinaus wirkt sich die Anordnung der beiden als Lochblenden
Bei der in
Durch den Pumpfleck
Bei der in
In
In
In der
Grundsätzlich ist es ebenso möglich, dass durch eine reflektive Beschichtung am laseraktiven Medium
Claims (9)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013214219.6A DE102013214219B4 (en) | 2013-07-19 | 2013-07-19 | Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation |
PCT/EP2014/065494 WO2015007882A1 (en) | 2013-07-19 | 2014-07-18 | Laser arrangement for generating a frequency-converted laser |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102013214219.6A DE102013214219B4 (en) | 2013-07-19 | 2013-07-19 | Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102013214219A1 DE102013214219A1 (en) | 2015-01-22 |
DE102013214219B4 true DE102013214219B4 (en) | 2017-02-23 |
Family
ID=51211773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE102013214219.6A Expired - Fee Related DE102013214219B4 (en) | 2013-07-19 | 2013-07-19 | Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102013214219B4 (en) |
WO (1) | WO2015007882A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102021003704A1 (en) * | 2020-10-18 | 2022-04-21 | Keming Du | Multipass pump arrangement for amplifiers and multipass amplifiers with a large mode cross section |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07135359A (en) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | Solid-state laser oscillator |
US5487079A (en) * | 1995-01-05 | 1996-01-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Continuously tunable UV Ce:LiSAF solid state laser |
US20110122896A1 (en) * | 2009-11-23 | 2011-05-26 | Guilin Mao | High-power diode end-pumped solid-state uv laser |
US20120051375A1 (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | Fedor Karpushko | Intra-cavity second harmonic generation (shg) laser device |
DE102005025128B4 (en) * | 2005-05-27 | 2012-12-27 | Jenoptik Laser Gmbh | Laser arrangement and method for generating a multi-mode operation with intracavity frequency doubling |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2751795B1 (en) * | 1996-07-26 | 1998-08-28 | Commissariat Energie Atomique | CAVITE MICROLASER AND MODE-SELECTED MICROLASER, AND METHODS OF MAKING |
US6298076B1 (en) * | 1999-03-05 | 2001-10-02 | Coherent, Inc. | High-power external-cavity optically-pumped semiconductor lasers |
US6603788B1 (en) * | 1999-11-23 | 2003-08-05 | Lambda Physik Ag | Resonator for single line selection |
-
2013
- 2013-07-19 DE DE102013214219.6A patent/DE102013214219B4/en not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-07-18 WO PCT/EP2014/065494 patent/WO2015007882A1/en active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07135359A (en) * | 1993-11-11 | 1995-05-23 | Hitachi Ltd | Solid-state laser oscillator |
US5487079A (en) * | 1995-01-05 | 1996-01-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Continuously tunable UV Ce:LiSAF solid state laser |
DE102005025128B4 (en) * | 2005-05-27 | 2012-12-27 | Jenoptik Laser Gmbh | Laser arrangement and method for generating a multi-mode operation with intracavity frequency doubling |
US20110122896A1 (en) * | 2009-11-23 | 2011-05-26 | Guilin Mao | High-power diode end-pumped solid-state uv laser |
US20120051375A1 (en) * | 2010-08-25 | 2012-03-01 | Fedor Karpushko | Intra-cavity second harmonic generation (shg) laser device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102013214219A1 (en) | 2015-01-22 |
WO2015007882A1 (en) | 2015-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69530497T2 (en) | PASSIVELY STABILIZED LASER WITH DOUBLE FREQUENCY DOUBLE WITHIN THE RESONATOR | |
EP2577818B1 (en) | Ultrashort pulse microchip laser, semiconductor laser, laser system, and pump method for thin laser media | |
DE112011100812T5 (en) | System and method for wavelength beam combination | |
WO2006045303A2 (en) | Multispectral laser comprising several gain elements | |
EP3167516B1 (en) | Microchip laser | |
WO2013143862A1 (en) | Pump radiation arrangement and method for pumping a laser-active medium | |
DE10338417B3 (en) | Laser with laser amplifier with a disk-shaped active medium | |
AT521942B1 (en) | Q-switched solid-state laser | |
DE102013214219B4 (en) | Laser arrangement for generating frequency-converted laser radiation | |
EP3078088B1 (en) | Amplifier arrangement and driver laser arrangement for an euv light source comprising same | |
DE4008225A1 (en) | Laser diode pumped solid state laser - has resonator divided into number of volumes using number of pumping diodes | |
WO2019091514A1 (en) | Laser amplification method | |
EP4154062A1 (en) | Device for spectral broadening of a laser pulse, and laser system | |
EP2308142A1 (en) | Semiconductor laser having an optically non-linear crystal | |
DE102005016200A1 (en) | Laser bandwidth reduction, for an excimer laser used for semiconductor wafer lithography, divides the laser beam into two part-beams to strike the end reflector at different angles | |
DE19960765A1 (en) | Highly repetitive femtosecond laser | |
WO2017182352A1 (en) | Frequency doubler and method for generating electromagnetic radiation | |
DE102012220541B4 (en) | Disk laser with intracavity fiber | |
EP2583363A1 (en) | Laser system having spectral filtration | |
EP2523277B1 (en) | Laser resonator for generating frequency converted laser radiation | |
EP1689053B1 (en) | Regenerative amplifier with internal telescope of cylindrical lenses | |
DE102018209602B4 (en) | Optical assembly for reducing a spectral bandwidth of an output beam of a laser | |
DE4401131C2 (en) | Laser for generating narrowband and tunable emissions | |
WO2003085446A2 (en) | Device for amplifying short, particularly ultrashort, laser pulses | |
DE102022101088A1 (en) | Optical arrangement with auxiliary resonator and method for amplifying or for generating a laser beam |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R012 | Request for examination validly filed | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: KOHLER SCHMID MOEBUS PATENTANWAELTE, DE Representative=s name: KOHLER SCHMID MOEBUS PATENTANWAELTE PARTNERSCH, DE |
|
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R016 | Response to examination communication | ||
R018 | Grant decision by examination section/examining division | ||
R020 | Patent grant now final | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |