DE102013209009B3

DE102013209009B3 - Strip substrate processing system comprises conditioning chamber, rotary drum in chamber having cylindrical surface area for guiding strip substrate by partial circumference around the circumferential surface, and a coating device

Info

Publication number: DE102013209009B3
Application number: DE201310209009
Authority: DE
Inventors: Michael Hentschel; Andreas Daßler
Original assignee: Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2013-05-15
Filing date: 2013-05-15
Publication date: 2014-07-24
Anticipated expiration: 2033-05-16
Also published as: JP5658397B2; JP2014224319A

Abstract

Strip substrate processing system comprises: a conditioning chamber; at least a rotary drum (1) in the conditioning chamber having a cylindrical surface area for guiding the strip substrate by at least a partial circumference around the circumferential surface; and at least one coating device (2) with a coating source (4) arranged in a housing (3) which is directed in coating direction to the mantle surface of the drum. A frame panel (5) is arranged with an opening on housing between at least one coating source and mantle surface of drum such that coating material reaches strip substrate. Strip substrate processing system comprises: a conditioning chamber; at least a rotary drum (1) in the conditioning chamber having a cylindrical surface area for guiding the strip substrate by at least a partial circumference around the circumferential surface; and at least one coating device (2) with a coating source (4) arranged in a housing (3) which is directed in coating direction to the mantle surface of the drum. A frame panel (5) is arranged with an opening on the housing between at least one coating source and the mantle surface of the drum such that the coating material reaches strip substrate from the coating source through the aperture on the circumferential surface. The frame shutter is arranged to be movable in the radial direction of the drum to the housing and at least two spaced-apart spacer rollers are arranged on the frame panel in the axial direction of the drum which define the outer surfaces by contact of the circumferential surface of the drum to the distance between the frame panel of the mantle surface.

Description

Die Erfindung betrifft eine Bandsubstratbehandlungsanlage gemäß Oberbegriff von Patentanspruch 1. The invention relates to a belt substrate treatment plant according to the preamble of claim 1.

Bekannte Vakuumbeschichtungsanlagen zum Beschichten von bandförmigem Material in Prozesskammern umfassen in einer ersten evakuierbaren Haspelkammer eine Abwickeleinrichtung mit einem eingesetzten Abwickel des zu beschichtenden bandförmigen Materials, der in einem ersten Walzenstuhl angeordnet ist, und in einer zweiten evakuierbaren Haspelkammer eine Aufwickeleinrichtung mit einem herausnehmbaren Aufwickel des beschichteten Materials, der in einem zweiten Walzenstuhl angeordnet ist. Zwischen den Haspelkammern durchläuft das zu beschichtende bandförmige Material mindestens eine evakuierbare Prozesskammer, wobei in jeder Prozesskammer ein Prozesswalzenstuhl mit Führungseinrichtungen für das bandförmige Material und eine Kühlwalze angeordnet ist, über deren Oberfläche sich mindestens eine Magnetronsputterquelle befindet. Known vacuum coating systems for coating strip-shaped material in process chambers comprise in a first evacuated bobbin an unwinding device with an inserted unwinding of the strip material to be coated, which is arranged in a first roll mill, and in a second evacuated bobbin reel with a removable winding of the coated material which is arranged in a second roll mill. Between the reel chambers to be coated band-shaped material passes through at least one evacuated process chamber, wherein in each process chamber, a process roller chair with guide means for the band-shaped material and a cooling roller is arranged, over the surface of which is at least one Magnetronsputterquelle.

Bei anderen bekannten Bandbeschichtungsanlagen sind Abwickel und Aufwickel innerhalb der Prozesskammer angeordnet, mit dem Vorteil, dass keine separaten Haspelkammern benötigt werden, aber mit dem Nachteil, dass ein Austausch der Haspeln nicht ohne Belüftung der gesamten Prozesskammer möglich ist. Auch dieser Anlagentyp kann durch die hierin beschriebene Erfindung vorteilhaft verbessert werden. In other known coil coating systems unwinding and winding are arranged within the process chamber, with the advantage that no separate reel chambers are needed, but with the disadvantage that a replacement of the reels is not possible without ventilation of the entire process chamber. Also, this type of equipment can be advantageously improved by the invention described herein.

Aus der DE 197 35 603 C1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage für bandförmige Materialien bekannt, die zwei Prozesskammern aufweist. In jeder Prozesskammer gibt es einen Walzenstuhl, in dem Umlenkrollen, Bandzugmesswalzen und eine Kühlwalze gelagert sind. Jeder Walzenstuhl ist horizontal und vertikal verstellbar ausgeführt, um eine Justage zueinander zu ermöglichen und damit Faltenbildung des bandförmigen Materials zu vermeiden. Die Prozesskammern sowie die Haspelkammern sind durch Bandventile vakuummäßig voneinander getrennt, um mit unterschiedlichen Gasen und mit unterschiedlichen Drücken arbeiten zu können. Durch die Bandventile wird das zu beschichtende bandförmige Material transportiert. From the DE 197 35 603 C1 For example, a vacuum coating machine for strip-shaped materials is known, which has two process chambers. In each process chamber there is a roller mill, in which deflection rollers, Bandzugmesswalzen and a cooling roller are mounted. Each roller mill is horizontally and vertically adjustable to allow an adjustment to each other and thus avoid wrinkling of the band-shaped material. The process chambers and the reel chambers are vacuum-separated from each other by band valves in order to be able to work with different gases and with different pressures. Through the band valves to be coated band-shaped material is transported.

Abwickel und Aufwickel befinden sich in Haspelkammern. Das zu beschichtende Material wird in der ersten Haspelkammer vom Abwickel abgerollt, dem Beschichtungsprozess zugeführt und anschließend in der zweiten Haspelkammer aufgewickelt. Unwind and take-up are located in reel chambers. The material to be coated is unrolled in the first reel chamber from the unwind, fed to the coating process and then wound up in the second coiler chamber.

Für die Beschichtung des bandförmigen Materials können beispielsweise Magnetronsputterquellen, aber auch andere Beschichtungsquellen wie beispielsweise thermische Verdampfer mit Dampfverteilerrohren, verwendet werden, die relativ zur jeweiligen Kühlwalze verstellbar angeordnet sind, dass ihre Mittellängslinie zur Mittelachse ihrer zugehörigen Kühlwalze achsenparallel justierbar ist. For example, magnetron sputtering sources, but also other coating sources such as, for example, thermal evaporators with steam distribution tubes can be used for the coating of the strip-shaped material, which are adjustably arranged relative to the respective cooling roller, so that their central longitudinal line to the central axis of their associated cooling roller can be adjusted parallel to the axis.

Aus DE 101 57 186 C1 ist eine Vakuumbeschichtungsanlage der eingangs genannten Art bekannt, bei der der Walzenstuhl für den Abwickel auf einem ersten Befestigungspunkt in der ersten Haspelkammer, der Prozesswalzenstuhl auf einem zweiten und einem dritten Befestigungspunkt in der Prozesskammer und der Walzenstuhl für den Aufwickel auf einem vierten Befestigungspunkt in der zweiten Haspelkammer befestigt ist. Out DE 101 57 186 C1 a vacuum coating apparatus of the aforementioned type is known in which the roll mill for the unwinding at a first attachment point in the first coiler chamber, the process roll mill at a second and a third attachment point in the process chamber and the roll mill for winding at a fourth attachment point in the second Bobbin chamber is attached.

Es hat sich in der Praxis gezeigt, dass eine rein achsenparallele Verschiebung der Anordnung von üblicherweise mehreren, entlang der Peripherie der Oberfläche der Kühlwalze mit einem geringen Spalt angeordneten Magnetronsputterquellen schwierig zu realisieren ist, ohne dass es zu Berührungen zwischen der Anordnung und der Kühlwalze kommt. It has been found in practice that a purely axis-parallel displacement of the arrangement of usually several arranged along the periphery of the surface of the cooling roller with a small gap Magnetronsputterquellen is difficult to implement without causing contact between the assembly and the cooling roller.

Deshalb wurden in der Vergangenheit auch Mehrfachbeschichtungseinrichtungen mit einer Kühlwalze und einer Anordnung von Beschichtungsquellen entlang der Peripherie der Kühlwalze verwendet, die dieses Problem zu umgehen suchen. Dazu sind diese Anordnungen in mehrere, meist drei Teilanordnungen von Beschichtungsquellen unterteilt, die jeweils einen Teilumfang der Kühlwalze von nicht mehr als 180° umfassen und die untereinander schwenkbar verbunden sind. Therefore, in the past, multiple coating devices having a chill roll and an array of coating sources along the periphery of the chill roll have been used which seek to circumvent this problem. For this purpose, these arrangements are divided into several, usually three sub-assemblies of coating sources, each comprising a partial circumference of the cooling roller of not more than 180 ° and which are pivotally connected to each other.

Bei einer Kühlwalze mit horizontal ausgerichteter Achse sind beispielsweise Beschichtungsquellen auf den Positionen 2 Uhr, 4 Uhr, 6 Uhr, 8 Uhr und 10 Uhr angeordnet, wobei analog zu einem Zifferblatt die 6-Uhr-Position dem tiefsten Punkt der Peripherie der Kühlwalze entspricht. For example, in a chill roll with a horizontally aligned axis, coating sources are located at the 2 o'clock, 4 o'clock, 6 o'clock, 8 o'clock, and 10 o'clock positions, with the 6 o'clock position corresponding to the lowest point of the periphery of the chill roll analogous to a dial.

Die physikalisch notwendige Distanz der Beschichtungsquellen zur Kühlwalze beträgt dabei im Beschichtungsbetrieb wenige Millimeter, beispielsweise 2 bis 3 mm wegen der notwendigen Druckseparation. Eine bekannte Mehrfachbeschichtungseinrichtung zur Oberflächenbeschichtung eines Bandsubstrats umfasst eine Kühlwalze mit einer zylindrischen Mantelfläche zur kühlenden Führung des Bandsubstrats um einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche herum sowie eine über einen mehr als 180° umfassenden Teilumfang der Mantelfläche verteilte Anordnung von Beschichtungsquellen mit jeweils einer auf die Mantelfläche gerichteten Beschichtungsrichtung, wobei die Anordnung von Beschichtungsquellen in zwei durch eine Trennebene getrennte Teilanordnungen aufgeteilt ist, die Beschichtungsquellen jeder Teilanordnung relativ zueinander ortsfest angeordnet sind und jede Teilanordnung einen Teilumfang der Mantelfläche der Kühlwalze von nicht mehr als 180° umschließt, wobei beide Teilanordnungen in einer Richtung senkrecht zur Trennebene von der Kühlwalze weg verschiebbar sind. The physically necessary distance of the coating sources to the cooling roller is in the coating operation a few millimeters, for example 2 to 3 mm because of the necessary pressure separation. A known multiple coating device for surface coating of a tape substrate comprises a cooling roller with a cylindrical surface for cooling the tape substrate around a more than 180 ° part circumference of the lateral surface around and a distributed over more than 180 ° part circumference of the lateral surface array of coating sources with one on each the coating surface facing the coating surface, wherein the arrangement of coating sources is divided into two sub-arrangements separated by a dividing plane, the coating sources of each sub-assembly are arranged stationary relative to each other and each subassembly encloses a partial circumference of the lateral surface of the cooling roller of not more than 180 °, wherein both sub-assemblies are displaceable away in a direction perpendicular to the parting plane of the cooling roller.

Mehrere Beschichtungseinrichtungen, die jeweils eine oder mehrere in einem gemeinsamen Gehäuse angeordnete Beschichtungsquellen aufweisen, können dabei in sogenannten Teilanordnungen, die auch als Compartment Units bezeichnet werden, fest miteinander verbunden sein. Die Beschichtungsquellen können beispielsweise drehbare Rohrmagnetrons sein. Several coating devices, each having one or more coating sources arranged in a common housing, can be firmly connected to one another in so-called subassemblies, which are also referred to as compartment units. The coating sources may be rotatable tubular magnetrons, for example.

Dabei ist es erforderlich, die radiale Entfernung der Beschichtungseinrichtungen zur Herstellung einer effektiven Druckseparation von zum Beispiel 1:100 bis 1:300 hochgenau einstellen zu können, so dass zwischen der Beschichtungseinrichtung und der Mantelfläche der Trommel, die beispielsweise als Heiz- oder Kühlwalze ausgeführt sein kann, ein Spalt verbleibt, der gerade zum Hindurchführen des Bandsubstrats ausreicht, ohne dass das Bandsubstrat an der Beschichtungseinrichtung schleift. Dieser Spalt wird einerseits durch die Mantelfläche der Trommel und andererseits durch eine Rahmenblende begrenzt, die am Gehäuse der Beschichtungseinrichtung befestigt ist und eine Öffnung aufweist, durch die das dampfförmige Beschichtungsmaterial von der Beschichtungsquelle zur Oberfläche des über die Trommel geführten Substrats gelangt. Der Form der zylindrischen Mantelfläche der Trommel folgend weist die Rahmenblende eine gebogene Form auf, so dass der Spalt an jeder Stelle gleich groß ist. It is necessary to be able to set the radial distance of the coating devices for producing an effective pressure separation of, for example, 1: 100 to 1: 300 with high precision, so that between the coating device and the lateral surface of the drum, which may be designed for example as a heating or cooling roller can remain, a gap which is just sufficient for passing the tape substrate without the tape substrate rubbing on the coating device. This gap is delimited on the one hand by the lateral surface of the drum and on the other by a frame stop which is fastened to the housing of the coating device and has an opening through which the vaporous coating material passes from the coating source to the surface of the substrate guided over the drum. Following the shape of the cylindrical surface of the drum, the frame plate has a curved shape, so that the gap is the same size at each point.

Dazu wird die Compartment Unit, ohne die Trommel zu berühren, aufwendig mechanisch fixiert. Schwingungen, die während des Betriebs der Bandsubstratbehandlungsanlage, namentlich der Trommel und der Bandsubstratbehandlungseinrichtung auftreten können, thermische Verwerfungen und Ausdehnungen kann diese Art des Positionierens jedoch nicht standhalten, wodurch es zu Berührungen zwischen dem Bandsubstrat und der Beschichtungseinrichtung, genauer deren Rahmenblende, kommen kann. In diesem Fall wird die abgeschiedene Schicht beschädigt und das Bandsubstrat muss verworfen werden. For this purpose, the Compartment Unit, without the drum to touch, consuming mechanically fixed. However, vibrations that may occur during operation of the belt substrate treatment equipment, namely the drum and the belt substrate treatment equipment, can not withstand this type of positioning, which may result in contact between the belt substrate and the coating equipment, more particularly its frame bezel. In this case, the deposited layer is damaged and the tape substrate must be discarded.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die beschriebenen Nachteile bekannter Bandsubstratbehandlungsanlagen zu beseitigen und dadurch die Ausbeute an korrekt beschichtetem Bandsubstrat zu erhöhen. It is an object of the present invention to eliminate the described disadvantages of known tape substrate processing equipment and thereby increase the yield of correctly coated tape substrate.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Bandsubstratbehandlungsanlage mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbindungen sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben. This object is achieved by a belt substrate treatment system with the features of claim 1. Advantageous embodiments and further developments are described in the dependent claims.

Bei einer Bandsubstratbehandlungsanlage, die eine Anlagenkammer und in der Anlagenkammer mindestens eine drehbare Trommel mit einer zylindrischen Mantelfläche zur Führung des Bandsubstrats um mindestens einen Teilumfang der Mantelfläche herum, sowie mindestens eine Beschichtungseinrichtung umfasst, die mindestens eine in einem Gehäuse angeordnete Beschichtungsquelle mit einer auf die Mantelfläche der Trommel gerichteten Beschichtungsrichtung aufweist, wobei zwischen der mindestens einen Beschichtungsquelle und der Mantelfläche der Trommel am Gehäuse eine Rahmenblende mit einer Öffnung so angeordnet ist, dass das Beschichtungsmaterial von der Beschichtungsquelle durch die Öffnung auf das über die Mantelfläche geführte Bandsubstrat gelangt, wird vorgeschlagen, dass die Rahmenblende am Gehäuse in der radialen Richtung der Trommel beweglich angeordnet ist und an der Rahmenblende mindestens zwei in der axialen Richtung der Trommel beabstandete Distanzrollen angeordnet sind, deren Außenflächen durch Berührung der Mantelfläche der Trommel den Abstand der Rahmenblende von der Mantelfläche festlegen. In a belt substrate treatment plant comprising a plant chamber and in the plant chamber at least one rotatable drum with a cylindrical surface for guiding the tape substrate around at least a partial circumference of the lateral surface around, and at least one coating device, the at least one arranged in a housing coating source with a on the lateral surface the drum facing coating direction, wherein between the at least one coating source and the lateral surface of the drum on the housing, a frame aperture is arranged with an opening so that the coating material passes from the coating source through the opening on the guided over the lateral surface belt substrate, it is proposed that the frame panel is movably disposed on the housing in the radial direction of the drum and at least two spacer rollers spaced apart in the axial direction of the drum are disposed on the frame panel; In outer surfaces, contact the outer surface of the drum to set the distance between the frame and the outer surface.

Durch die relative Beweglichkeit der Rahmenblende bezüglich des Gehäuses sowie durch die axial zueinander beabstandeten Distanzrollen wird eine stets korrekte Einstellung des radialen Abstands der Rahmenblende zur Mantelfläche der Trommel über die gesamte Länge der Beschichtungseinrichtung in axialer Richtung der Trommel garantiert. Da sich die Trommel dreht, drehen sich auch die Distanzrollen, so dass zwischen den Distanzrollen und der Trommel keine Haftreibung auftritt, die den Prozess verunreinigen könnte. Due to the relative mobility of the frame panel with respect to the housing and by axially spaced apart spacer rollers always correct adjustment of the radial distance of the frame panel is guaranteed to the lateral surface of the drum over the entire length of the coating device in the axial direction of the drum. As the drum rotates, the spacer rollers also rotate, so there is no stiction between the spacer rollers and the drum that could contaminate the process.

Insbesondere bei Ausgestaltungen, bei denen die radiale Verschiebbarkeit der Rahmenblende deren einzigen Freiheitsgrad darstellt, ist die Anordnung von je einer Distanzrolle an jedem Ende der Beschichtungseinrichtung, also beispielsweise auf jeder Seite des vom Bandsubstrat bedeckten Bereichs der Mantelfläche der Trommel, ausreichend, um die Breite des Spalts zwischen Beschichtungseinrichtung und Trommel definiert einzustellen und zu gewährleisten. Um dies zu erreichen ist es sinnvoll, die Rahmenblende am Gehäuse in radialer Richtung der Trommel zwangszuführen. In particular, in embodiments in which the radial displaceability of the frame aperture represents their single degree of freedom, the arrangement of each a spacer roller at each end of the coating device, so for example on each side of the tape substrate covered area of the lateral surface of the drum, sufficient to the width of the Defines gap between coating device and drum defined and ensure. To achieve this, it makes sense to forcibly guide the frame panel on the housing in the radial direction of the drum.

In einer Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Rahmenblende am Gehäuse in radialer Richtung der Trommel federnd angeordnet ist. Dadurch können einerseits Toleranzen ausgeglichen werden und andererseits sichergestellt werden, dass der radiale Abstand der Rahmenblende zur Mantelfläche der Trommel stets korrekt ist, auch wenn sich Teile der Beschichtungseinrichtung oder/und die Trommel durch Wärmeeinwirkung ausdehnen. In one embodiment, it is provided that the frame panel is resiliently arranged on the housing in the radial direction of the drum. As a result, on the one hand tolerances can be compensated and on the other hand it can be ensured that the radial distance of the frame panel to the lateral surface of the drum is always correct, even if parts extend the coating device and / or the drum by the action of heat.

In einer anderen Ausgestaltung ist vorgesehen, dass die Distanzrollen außerhalb des vom Bandsubstrat bedeckten Bereichs der Mantelfläche der Trommel angeordnet sind. Dadurch wird eine Berührung des Bandsubstrats durch die Distanzrollen vermieden, so dass die auf dem Bandsubstrat abgeschiedene Schicht von Beschichtungsmaterial unberührt bleibt. In another embodiment, it is provided that the spacer rollers are arranged outside the region of the lateral surface of the drum covered by the tape substrate. Thereby, a contact of the tape substrate is avoided by the spacer rollers, so that the deposited on the tape substrate layer of coating material remains untouched.

In einer weiteren Ausgestaltung ist vorgesehen, dass auf jeder Seite des vom Bandsubstrat bedeckten Bereichs der Mantelfläche der Trommel mindestens zwei Distanzrollen angeordnet sind. Diese Ausgestaltung ist insbesondere dafür geeignet, ein unerwünschtes Kippen der Rahmenblende um eine parallel zur Achse der Trommel verlaufende Kippachse zu verhindern, falls die Rahmenblende in radialer Richtung nicht geführt wird. In a further embodiment it is provided that at least two spacer rollers are arranged on each side of the area covered by the tape substrate of the lateral surface of the drum. This embodiment is particularly suitable for preventing undesired tilting of the frame panel about a tilting axis extending parallel to the axis of the drum, if the frame panel is not guided in the radial direction.

Weiter kann vorgesehen sein, dass der Abstand der Rahmenblende zur Mantelfläche der Trommel im Betrieb der Bandsubstratbehandlungsanlage verstellbar ist. Es gibt Ausgestaltungen von in der Bandsubstratbehandlungsanlage durchführbaren Beschichtungsprozessen, bei denen das Bandsubstrat nicht nur in einer Vorwärtsrichtung, sondern auch entgegengesetzt dazu bewegt werden muss. Dies ist immer dann der Fall, wenn das eigentliche Beschichtungsverfahren in einer ersten Transportrichtung mit einer (relativ geringen) Prozessgeschwindigkeit stattfindet, wobei das Bandsubstrat vom Abwickel abgewickelt und auf den Aufwickel aufgewickelt wird, und anschließend das Bandsubstrat zurückgespult, d.h. mit einer (relativ hohen) Rückspulgeschwindigkeit vom Aufwickel abgewickelt und auf den Abwickel aufgewickelt wird. Da beim Rücktransport des Bandsubstrats Geschwindigkeiten von ca. 100 m/min gefordert werden, kann sich für die Distanzrollen eine Drehzahl von beispielsweise 10 U/s ergeben, wenn diese während des Zurückspulens in Kontakt mit der Trommel bleiben. Um dabei Kollisionen des Bandsubstrats mit der Rahmenblende zu vermeiden und die Reibung zwischen den Distanzrollen und der Trommel aufzuheben, ist es sinnvoll, den Abstand zwischen der Rahmenblende und der Trommel beim Zurückspulen des Bandsubstrats zu vergrößern, wodurch gleichzeitig die Distanzrollen von der Trommel abheben. It can further be provided that the distance between the frame panel and the jacket surface of the drum is adjustable during operation of the belt substrate treatment installation. There are embodiments of coating processes that can be carried out in the belt substrate treatment installation, in which the belt substrate has to be moved not only in a forward direction, but also in the opposite direction. This is always the case when the actual coating process takes place in a first transport direction at a (relatively low) process speed, wherein the tape substrate is unwound from the take-up and wound onto the take-up, and then the tape substrate is rewound, i. unwound from the take-up with a (relatively high) rewinding speed and wound up on the unwind. Since speeds of about 100 m / min are required for the return transport of the tape substrate, a speed of, for example, 10 U / s may result for the spacer rollers if they remain in contact with the drum during rewinding. In order to avoid collisions of the tape substrate with the frame panel and to eliminate the friction between the spacer rollers and the drum, it makes sense to increase the distance between the frame and the drum when rewinding the tape substrate, which at the same time lift the spacer rollers from the drum.

Die Rollkörper oder ihre in Kontakt mit der Trommel stehenden Außenflächen sind vorzugsweise mit Kunststoff, beispielsweise einer Umhüllung wie einer Bandage oder dergleichen aus Viton, NBR oder dergleichen belegt, um einerseits ein Zerkratzen der Trommel zu vermeiden und andererseits die durch Reibung mit der Trommel verursachte synchrone Drehbewegung der Distanzrollen sicherzustellen, weil diese direkten Kontakt zur hartverchromten Trommel haben. The rolling bodies or their outer surfaces in contact with the drum are preferably covered with plastic, for example a cladding such as a bandage or the like made of Viton, NBR or the like, in order to avoid scratches on the one hand and the synchronous friction caused by friction with the drum To ensure rotational movement of the spacer rollers, because they have direct contact with the hard chrome drum.

Die radiale Verstellbarkeit der Rahmenblende kann beispielsweise dadurch erzielt werden, dass der Abstand der Rahmenblende zur Mantelfläche der Trommel durch einen Hebelmechanismus verstellbar ist, der mindestens eine achsparallel zur Trommel angeordnete Welle und mindestens einen an der Welle drehfest angeordneten, mit der Rahmenblende gelenkig verbundenen Hebel aufweist. Dieser einfache Mechanismus funktioniert auch unter erhöhten Temperaturen zuverlässig und problemlos. The radial adjustability of the frame panel can be achieved, for example, that the distance of the frame panel to the lateral surface of the drum is adjustable by a lever mechanism having at least one axially parallel to the drum shaft and at least one rotatably mounted on the shaft, hingedly connected to the frame panel lever , This simple mechanism works reliably and easily even at elevated temperatures.

Um eine gleichmäßige radiale Verschiebung der Rahmenblende auch bei großen Substratbreiten, d.h. sehr langen Trommeln und Beschichtungseinrichtungen, zu gewährleisten, kann weiter vorgesehen sein, dass an der mindestens einen Welle mindestens zwei Hebel angeordnet sind, die an einer entsprechenden Anzahl von in der axialen Richtung der Trommel zueinander beabstandeten Angriffspunkten mit der Rahmenblende gelenkig verbunden sind. Greift beispielsweise je ein Hebel an jedem Ende der Beschichtungseinrichtung an die Rahmenblende an, so wird sichergestellt, dass die radiale Verschiebung an beiden Enden gleich groß ist. To ensure uniform radial displacement of the frame stop, even with large substrate widths, i. To ensure very long drums and coating devices, can be further provided that at least two levers are arranged on the at least one shaft, which are connected at a corresponding number of mutually spaced in the axial direction of the drum attack points with the frame panel. If, for example, a lever on each end of the coating device engages the frame panel, this ensures that the radial displacement at both ends is the same.

Dabei kann die Welle oder können die Wellen durch ein Hebelgetriebe oder/und einen Seilzug oder/und ein Zahnradgetriebe mit einer Antriebseinrichtung wirkverbunden sein. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass die Beschichtungseinrichtung mindestens zwei Wellen aufweist, die mit derselben Antriebseinrichtung in Wirkverbindung stehen oder/und dass die Wellen von zwei oder mehr Beschichtungseinrichtungen mit derselben Antriebseinrichtung in Wirkverbindung stehen. Dadurch verringert sich der apparative Aufwand zum Betätigen der radialen Verschiebung der Rahmenblende oder Rahmenblenden erheblich, wodurch die Bandsubstratbehandlungsanlage insgesamt preiswerter herstellbar ist. Darüber hinaus sind hierdurch einzelne Blenden gleichmäßiger bewegbar und mehrere Blenden synchron zueinander verstellbar. In this case, the shaft or the waves can be operatively connected by a lever mechanism and / or a cable pull and / or a gear transmission with a drive device. In particular, it can be provided that the coating device has at least two shafts which are in operative connection with the same drive device and / or that the shafts of two or more coating devices are in operative connection with the same drive device. As a result, the expenditure on equipment for actuating the radial displacement of the frame panel or frame panels is reduced considerably, as a result of which the band substrate treatment installation is less expensive to produce overall. In addition, as a result, individual apertures are more uniformly movable and multiple apertures synchronously adjustable.

In einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass die Antriebseinrichtung außerhalb der Anlagenkammer angeordnet ist und mit der oder den Wellen mittels einer in einer Wand der Anlagenkammer angeordneten Drehdurchführung und über eine lösbare Steckverbindung wirkverbunden ist. Einerseits kann dadurch eine preiswerte Antriebseinrichtung, beispielsweise ein nicht vakuumfester Elektromotor verwendet werden, andererseits ist die Antriebseinrichtung zu Wartungszwecken leichter zugänglich und schließlich kann eine als Kammertür ausgebildete Kammerwand, an der die Antriebseinrichtung befestigt ist, geöffnet werden, wobei sich die als lösbare Steckverbindung ausgebildete Kupplung zwischen der Antriebseinrichtung und der oder den Wellen ohne weitere Maßnahmen löst. In a further development, it is provided that the drive device is arranged outside the installation chamber and is operatively connected to the shaft or shafts by means of a rotary feedthrough arranged in a wall of the installation chamber and via a detachable plug connection. On the one hand, a low-cost drive device, for example, a non-vacuum-proof electric motor can be used, on the other hand, the drive device for maintenance purposes more easily accessible and finally designed as a chamber door chamber wall to which the drive device is attached to be opened, which is designed as a detachable connector coupling between the drive device and the waves or solves without further action.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen The invention will be explained in more detail with reference to embodiments and accompanying drawings. Show

1 eine Beschichtungseinrichtung in Arbeitsstellung, 1 a coating device in working position,

2 die Beschichtungseinrichtung gemäß 1 in einer ausgerückten Stellung, 2 the coating device according to 1 in a disengaged position,

3 eine Teilanordnung von zwei Beschichtungseinrichtungen mit einem ersten Betätigungsmechanismus, und 3 a partial arrangement of two coating devices with a first actuating mechanism, and

4 eine Teilanordnung von zwei Beschichtungseinrichtungen mit einem zweiten Betätigungsmechanismus 4 a subassembly of two coating devices with a second actuating mechanism

In 1 und 2 ist jeweils ein Querschnitt durch eine Beschichtungseinrichtung 2 sowie eine Trommel 1 mit einer zylindrischen Mantelfläche zur Führung des Bandsubstrats um mindestens einen Teilumfang der Mantelfläche herum dargestellt, die beide in einer (hier nicht dargestellten) Anlagenkammer einer Bandsubstratbehandlungsanlage angeordnet sind. Ein Detail der Beschichtungseinrichtung 2 ist jeweils nochmals vergrößert dargestellt. In 1 and 2 is in each case a cross section through a coating device 2 as well as a drum 1 shown with a cylindrical lateral surface for guiding the tape substrate around at least a partial circumference of the lateral surface around, both of which are arranged in a (not shown here) system chamber a belt substrate treatment plant. A detail of the coating device 2 is shown enlarged again.

Die Beschichtungseinrichtung 2 weist ein Gehäuse 3 auf, in dem zwei Beschichtungsquellen 4, nämlich zwei drehbare Rohrmagnetrons, angeordnet sind. Die Beschichtungsrichtung der beiden Rohrmagnetrons ist jeweils auf die Mantelfläche der Trommel 1 gerichtet. Die Drehachsen der Trommel 1 sowie der beiden Beschichtungsquellen 4 stehen senkrecht auf der Zeichenebene. Zwischen den beiden Beschichtungsquellen 4 und der Mantelfläche der Trommel 1 ist am Gehäuse 3 eine Rahmenblende 5 mit einer Öffnung 6 angeordnet, durch die das Beschichtungsmaterial auf das Bandsubstrat trifft. Das Bandsubstrat wird durch einen schmalen Spalt zwischen der Beschichtungseinrichtung 2 und der Trommel 1 hindurchgeführt. Dieser Spalt weist in den Darstellungen der 1 und 2 unterschiedliche Breiten B1 und B2 auf, wie nachfolgend noch näher erläutert wird. The coating device 2 has a housing 3 in which two coating sources 4 , namely two rotatable tubular magnetrons, are arranged. The coating direction of the two tubular magnetrons is in each case on the lateral surface of the drum 1 directed. The axes of rotation of the drum 1 as well as the two coating sources 4 stand perpendicular to the drawing plane. Between the two coating sources 4 and the lateral surface of the drum 1 is on the case 3 a frame panel 5 with an opening 6 arranged, through which the coating material strikes the tape substrate. The tape substrate is passed through a narrow gap between the coating device 2 and the drum 1 passed. This gap has in the representations of 1 and 2 different widths B1 and B2, as will be explained in more detail below.

Die Rahmenblende 5 ist am Gehäuse 3 in der radialen Richtung der Trommel 1 beweglich angeordnet. Dadurch wird die oben erwähnte Veränderung der Breite des Spalts zwischen der Rahmenblende 5 und der Mantelfläche der Trommel 1 bei stillstehendem Gehäuse 3 der Beschichtungseinrichtung 2, d.h. ohne Bewegung des Gehäuses 3, ermöglicht. The frame bezel 5 is on the case 3 in the radial direction of the drum 1 movably arranged. Thereby, the above-mentioned change in the width of the gap between the frame panel becomes 5 and the lateral surface of the drum 1 with the housing stationary 3 the coating device 2 ie without movement of the housing 3 , allows.

An der Rahmenblende 5 sind zwei Paare von in der axialen Richtung der Trommel 1 beabstandeten Distanzrollen 7 angeordnet, deren Außenflächen durch Berührung der Mantelfläche der Trommel 1 den Abstand der Rahmenblende 5 von der Mantelfläche der Rolle 1 festlegen. Mit anderen Worten sind auf jeder Seite des vom Bandsubstrat bedeckten Bereichs der Mantelfläche der Trommel 1, genauer: außerhalb des vom Bandsubstrat bedeckten Bereichs, mindestens zwei Distanzrollen 7 angeordnet. Von jedem Paar axial zueinander beabstandeter Distanzrollen 7 ist in den 1 und 2 nur jeweils eine Distanzrolle 7 sichtbar, weil die Drehachse der Trommel 1 senkrecht zur Zeichenebene verläuft und daher die jeweils andere, axial beabstandete Distanzrolle 7 sich hinter der jeweils sichtbaren Distanzrolle 7 befindet. At the frame panel 5 are two pairs of in the axial direction of the drum 1 spaced spacer rollers 7 arranged, whose outer surfaces by touching the lateral surface of the drum 1 the distance of the frame panel 5 from the lateral surface of the roll 1 establish. In other words, on each side of the area covered by the tape substrate, the surface area of the drum is 1 More precisely: outside the area covered by the tape substrate, at least two spacer rollers 7 arranged. Of each pair of axially spaced spacers 7 is in the 1 and 2 only one spacer each 7 visible because the axis of rotation of the drum 1 perpendicular to the plane and therefore the other, axially spaced spacer roller 7 behind the respective visible spacer roller 7 located.

Wie aus dem direkten Vergleich der Darstellungen in 1 und 2 ersichtlich, ist der Abstand der Rahmenblende 5 zur Mantelfläche der Trommel 1 im Betrieb der Bandsubstratbehandlungsanlage verstellbar. Dies wird dadurch erreicht, dass die Rahmenblende 5 mit einem Hebelmechanismus verbunden ist, der für jedes der beiden Paare axial beabstandeter Distanzrollen 7 eine achsparallel zur Trommel 1 angeordnete Welle 8 und an jedem der beiden Enden der Beschichtungseinrichtung 2 je einen an der Welle 8 drehfest angeordneten und mit der Rahmenblende 5 gelenkig verbundenen Hebel 9 aufweist. As from the direct comparison of the representations in 1 and 2 can be seen, the distance of the frame panel 5 to the lateral surface of the drum 1 adjustable during operation of the belt substrate treatment plant. This is achieved by the frame bezel 5 is connected to a lever mechanism for each of the two pairs of axially spaced spacer rollers 7 an axis parallel to the drum 1 arranged wave 8th and at each of the two ends of the coating device 2 one each on the shaft 8th rotatably arranged and with the frame panel 5 articulated lever 9 having.

Jeder der beiden an einer Welle 8 angebrachten Hebel 9 ist an einem Angriffspunkt mit der Rahmenblende 5 gelenkig verbunden. Der Angriffspunkt ist im Ausführungsbeispiel ein Zapfen, der an der Rahmenblende 5 befestigt ist. Die gelenkige Verbindung des jeweiligen Zapfens mit einem Hebel 9 ist durch eine Aussparung des Hebels 9 realisiert, in welcher der Zapfen angeordnet ist. Die Aussparung ermöglicht neben der gelenkigen Anbindung, d.h. der relativen Verdrehbarkeit des Zapfens bezüglich des Hebels 9, außerdem eine Relativverschiebung, um kinematische Unverträglichkeiten zu vermeiden. Each of the two on a wave 8th attached lever 9 is at a point of attack with the frame panel 5 articulated. The point of attack is in the exemplary embodiment a pin, which on the frame panel 5 is attached. The articulated connection of the respective pin with a lever 9 is through a recess of the lever 9 realized in which the pin is arranged. The recess allows in addition to the articulated connection, ie the relative rotatability of the pin relative to the lever 9 , as well as a relative shift to avoid kinematic incompatibilities.

In den 3 und 4 sind zwei unterschiedliche Ausgestaltungen eines Mechanismus dargestellt, der zum Verstellen der Rahmenblende 5 verwendet wird. In the 3 and 4 Two different embodiments of a mechanism are shown, for adjusting the frame panel 5 is used.

Dargestellt ist jeweils eine Teilanordnung von zwei fest zu einer sogenannten Compartment Unit miteinander verbundenen Beschichtungseinrichtungen 2, die jeweils ein in einem gemeinsamen Grundgestell befestigtes Gehäuse 3 mit darin angeordneten (hier nicht dargestellten) Beschichtungsquellen 4 aufweisen. An der Seite, die der (hier nicht dargestellten) Trommel 1 zugewandt ist, ist an den beiden Gehäusen 3 je eine Rahmenblende 5 in der radialen Richtung der Trommel 1 beweglich angebracht. Jede Rahmenblende 5 weist eine Öffnung 6 auf, durch die der Beschichtungsmaterialdampf zum Bandsubstrat gelangt. Shown is in each case a subassembly of two fixedly connected to a so-called Compartment Unit coating devices 2 each having a housing fixed in a common base frame 3 arranged therein (not shown) coating sources 4 exhibit. On the side, the (not shown here) drum 1 is facing, is on the two housings 3 one frame trim each 5 in the radial direction of the drum 1 movably mounted. Each frame bezel 5 has an opening 6 through which the coating material vapor passes to the tape substrate.

An jeder Rahmenblende 5 sind zwei Paare von in der axialen Richtung der Trommel 1 beabstandeten Distanzrollen 7 angeordnet, deren Außenflächen durch Berührung der Mantelfläche der Trommel 1 den Abstand der Rahmenblende 5 von der Mantelfläche festlegen. Die Rahmenblenden 5 sind auf jeder Seite mit je einem Hebelmechanismus verbunden, der jeweils eine achsparallel zur Trommel angeordnete Welle 8 und an jedem der beiden Enden der Beschichtungseinrichtung 2 je einen an der Welle 8 drehfest angeordneten und mit der Rahmenblende 5 gelenkig verbundenen Hebel 9 aufweist. At every frame bezel 5 are two pairs of in the axial direction of the drum 1 spaced spacer rollers 7 arranged, whose outer surfaces by touching the lateral surface of the drum 1 the distance of the frame panel 5 determine from the lateral surface. The frame panels 5 are connected on each side with a respective lever mechanism, each having an axis parallel to the drum shaft arranged 8th and at each of the two ends of the coating device 2 one each on the shaft 8th rotatably arranged and with the frame panel 5 articulated lever 9 having.

Die Wellen 8 sind in 1 durch eine Kombination aus Hebelgetrieben 10 und Seilzügen 11 mit einer Antriebseinrichtung wirkverbunden. In 2 hingegen sind die Wellen 8 nur durch Hebelgetriebe 10 mit der Antriebseinrichtung wirkverbunden. The waves 8th are in 1 through a combination of lever gears 10 and cables 11 operatively connected to a drive device. In 2 however, the waves are 8th only by lever gear 10 operatively connected to the drive device.

Das Hebelgetriebe 10 umfasst bei beiden Ausführungsbeispielen der 3 und 4 auch Rückstellfedern 12, die bewirken, dass die Rahmenblenden 5 am jeweiligen Gehäuse 3 in radialer Richtung der Trommel 1 federnd angeordnet sind. The lever mechanism 10 includes in both embodiments of the 3 and 4 also return springs 12 that cause the frame borders 5 on the respective housing 3 in the radial direction of the drum 1 are arranged resiliently.

In beiden Ausführungsbeispielen sind alle vier Wellen 8 der beiden Beschichtungseinrichtungen 2 mit derselben Antriebseinrichtung wirkverbunden. Die (hier nicht dargestellte) Antriebseinrichtung ist außerhalb der Anlagenkammer angeordnet und mit den Wellen 8 mittels einer in einer (hier nicht dargestellten) Wand der Anlagenkammer angeordneten Drehdurchführung über eine lösbare Steckverbindung 13 wirkverbunden. In both embodiments, all four waves 8th the two coating devices 2 operatively connected to the same drive device. The (not shown here) drive means is arranged outside the plant chamber and with the waves 8th by means of a in a (not shown here) wall of the system chamber arranged rotary feedthrough a releasable connector 13 operatively connected.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1: Trommel drum
2 2: Beschichtungseinrichtung coater
3 3: Gehäuse casing
4 4: Beschichtungsquelle coating source
5 5: Rahmenblende frame cover
6 6: Öffnung opening
7 7: Distanzrolle Spacing roller
8 8th: Welle wave
9 9: Hebel lever
10 10: Hebelgetriebe lever mechanism
11 11: Seilzug cable
12 12: Rückstellfeder Return spring
13 13: Steckverbindung connector

Claims

A belt substrate treatment plant comprising a plant chamber and in the plant chamber at least one rotatable drum ( 1 ) with a cylindrical lateral surface for guiding the band substrate around at least a partial circumference of the lateral surface, as well as at least one coating device ( 2 ), at least one in a housing ( 3 ) coating source ( 4 ) with a on the lateral surface of the drum ( 1 ), wherein between the at least one coating source ( 4 ) and the lateral surface of the drum ( 1 ) on the housing ( 3 ) a frame panel ( 5 ) with an opening ( 6 ) is arranged so that the coating material from the coating source ( 4 ) through the opening ( 6 ) passes to the guided over the lateral surface band substrate, characterized in that the frame panel ( 5 ) on the housing ( 3 ) in the radial direction of the drum ( 1 ) is movably arranged and on the frame panel ( 5 ) at least two in the axial direction of the drum ( 1 ) spaced spacer rollers ( 7 ) are arranged whose outer surfaces by touching the lateral surface of the drum ( 1 ) the distance of the frame panel ( 5 ) from the lateral surface.

Tape substrate treatment installation according to claim 1, characterized in that the frame panel ( 5 ) on the housing ( 3 ) in the radial direction of the drum ( 1 ) is arranged resiliently.

Belt substrate treatment plant according to claim 1 or 2, characterized in that the spacer rollers ( 7 ) outside of the band substrate covered area of the lateral surface of the drum ( 1 ) are arranged.

Tape substrate treatment installation according to one of claims 1 to 3, characterized in that on each side of the area covered by the tape substrate of the lateral surface of the drum ( 1 ) at least two spacers ( 7 ) are arranged.

Tape substrate treatment installation according to one of claims 1 to 4, characterized in that the distance between the frame panel ( 5 ) to the lateral surface of the drum ( 1 ) is adjustable during operation of the belt substrate treatment plant.

Belt substrate treatment plant according to claim 5, characterized in that the distance of the frame panel ( 5 ) to the lateral surface of the drum ( 1 ) is adjustable by a lever mechanism, the at least one axis parallel to the drum ( 1 ) arranged wave ( 8th ) and at least one on the shaft ( 8th ) rotatably mounted, with the frame panel ( 5 ) articulated lever ( 9 ) having.

Belt substrate treatment plant according to claim 6, characterized in that on the at least one shaft ( 8th ) at least two levers ( 9 are arranged at a corresponding number of in the axial direction of the drum ( 1 ) spaced apart attack points with the frame panel ( 5 ) are hingedly connected.

Belt substrate treatment plant according to claim 6 or 7, characterized in that the shafts ( 8th ) by a lever mechanism ( 10 ) and / or a cable ( 11 ) and / or a gear transmission with a drive device are operatively connected.

Tape substrate treatment plant according to one of claims 6 to 8, characterized in that the coating device ( 2 ) at least two waves ( 8th ), which are in operative connection with the same drive means.

Tape substrate treatment installation according to one of claims 6 to 9, characterized in that the waves ( 8th ) of two or more coating devices ( 2 ) are in operative connection with the same drive device.

Belt substrate treatment plant according to one of claims 8 to 10, characterized in that the drive device is arranged outside the plant chamber and with the shaft or shafts ( 8th ) by means of a arranged in a wall of the system chamber rotary feedthrough and a detachable plug connection ( 13 ) is operatively connected.