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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Beleuchtungseinrichtung für eine EUV-Projektionsbelichtungsanlage sowie ein Verfahren zur Beleuchtung eines Retikels bei einem Mikrolithografieverfahren.
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STAND DER TECHNIK
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Projektionsbelichtungsanlagen und entsprechende Mikrolithografieverfahren werden zur Herstellung mikro- und nanostrukturierter Bauteile der Elektrotechnik und der Mikrosystemtechnik eingesetzt. Durch die fortschreitende Miniaturisierung entsprechender Bauteile müssen durch Projektionsbelichtungsanlagen immer kleinere Strukturen auf ein Substrat abgebildet werden. Um die entsprechende Auflösung zu erzielen, wird Arbeitslicht mit immer kleineren Wellenlängen eingesetzt. So bewegt sich der Bereich der Wellenlängen des eingesetzten Arbeitslichts bis in den Bereich des extrem ultravioletten Lichts (EUV), also beispielsweise mit Wellenlängen von 5 nm bis 15 nm.
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Um hierbei die benötigte Lichtleistung zu erreichen müssen unter Umständen Lichtquellen eingesetzt werden, deren Eigenschaften in anderen Bereichen nicht den Anforderungen für derzeit eingesetzte Projektionsbelichtungsanlagen entsprechen.
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So können beispielsweise anstatt der Plasmalichtquellen Freie-Elektronen-Laser als Lichtquellen eingesetzt werden, die auch als Röntgenlaser bezeichnet werden. Deren Licht zeichnet sich jedoch durch eine sehr geringe Divergenz aus, sodass in herkömmlichen Beleuchtungseinrichtungen einer Projektionsbelichtungsanlage die erforderliche Ausleuchtung eines Feldspiegels nicht möglich ist.
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG AUFGABE DER ERFINDUNG
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Es ist deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Beleuchtungseinrichtung bzw. ein Verfahren zum Beleuchten eines Retikels, insbesondere für EUV-Projektionsbelichtungsanlagen, die einen Freie-Elektronen-Laser als Lichtquelle nutzen, bereitzustellen, bei welchen trotz geringer Divergenz der Lichtquelle eine ausreichende Beleuchtung des Feldspiegels einer Beleuchtungseinrichtung gegeben ist. Darüber hinaus soll die Lösung einfach realisierbar sein und zuverlässige Ergebnisse liefern.
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TECHNISCHE LÖSUNG
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Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Beleuchtungseinrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 12 und einer Projektionsbelichtungsanlagen mit den Merkmalen des Anspruchs 16. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
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Die Erfindung geht aus von der Erkenntnis, dass das Problem einer mangelnden Divergenz der Lichtquelle und insbesondere eines Freie-Elektronen-Lasers dadurch gelöst werden kann, dass die Divergenz des Lichtstrahls, also die Aufspannung eines großen Winkelraums für die Ausleuchtung des Retikels im zeitlichen Mittel realisiert wird, also innerhalb einer bestimmten Zeitspanne aus einzelnen Teilen zusammengesetzt wird.
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Bei einer entsprechenden Beleuchtungseinrichtung, bei der das Licht einer Lichtquelle, wie beispielsweise eines Freie-Elektronen-Lasers, auf einen Feldspiegel geleitet wird, von dem es auf einen Pupillenspiegel reflektiert und von dort zur Ausleuchtung des Feldes auf ein Retikel gestrahlt wird, wird somit der Feldspiegel beweglich ausgebildet, sodass der Feldspiegel verschiedene unterschiedliche Positionen einnehmen kann, in denen das reflektierte Licht des Feldspiegels in unterschiedlichen Bereichen des Pupillenspiegels auftrifft. Die durch die unterschiedlichen Positionen des Feldspiegels beleuchteten Bereiche des Pupillenspiegels ergeben über eine vorgegebene Zeitspanne eine zusammengesetzte Beleuchtungspupille, die den Anforderungen zur Ausleuchtung des Retikels genügt. Entsprechend wird also der Feldspiegel innerhalb einer bestimmten Zeitspanne so in verschiedene Positionen bewegt, dass das bei den unterschiedlichen Positionen reflektierte Licht in Summe über der Zeitspanne im Pupillenspiegel eine Beleuchtungspupille ergibt.
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Bei der Beleuchtungseinrichtung können sowohl der Feldspiegel als auch der Pupillenspiegel als Facettenspiegel mit einer Vielzahl von Spiegelfacetten ausgebildet sein, die eine unterschiedliche Reflexion der auftreffenden Strahlung ermöglichen.
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Um die unterschiedlichen Beleuchtungsbereiche des Pupillenspiegels zu ermöglichen, kann der Feldspiegel um mindestens eine Achse, vorzugsweise um mindestens zwei quer, insbesondere senkrecht zueinander angeordnete Achsen dreh- oder verschwenkbar sein, sodass je nach Position des Feldspiegels, das heißt je nach Ausrichtung des Feldspiegels bezüglich der Drehposition um eine der Achsen, der reflektierte Lichtdtrahl einen Bereich des Pupillenspiegels in einem zweidimensionalen Feld ausleuchten kann. Durch entsprechendes Verdrehen oder Verkippen des Feldspiegels um die entsprechenden Achsen kann jeder Punkt des zweidimensionalen Feldes erreicht werden.
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Die Bewegung des Feldspiegels kann dabei so erfolgen, dass das vom Feldspiegel reflektierte Licht in Art eines Rasters auf die verschiedenen Bereiche des Pupillenspiegels geleitet wird, beispielsweise zeilenförmig entlang einer oder mehrerer übereinander und untereinander angeordneter Zeilen. Allerdings ist auch die beliebige Ausleuchtung unterschiedlicher Bereiche des Pupillenspiegels durch den bewegbaren Feldspiegel denkbar.
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Entsprechend kann der Feldspiegel individuell diskret von einer zur nächsten Position bewegt werden oder kontinuierliche oder wiederkehrende Bewegungen gleichmäßig oder ungleichmäßig auszuführen, um die verschiedenen Positionen einzunehmen, in denen unterschiedliche Bereiche des Pupillenspiegels beleuchtet werden.
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Die Bewegung des Feldspiegels kann abgestimmt sein mit der Erzeugung von Lichtpulsen durch die Lichtquelle, insbesondere dem Freie-Elektronen-Laser, sodass Lichtpulse von der Lichtquelle nur erzeugt werden, wenn der Feldspiegel eine gewünschte Position einnimmt, in der eine beabsichtigte Beleuchtung eines Bereichs des Pupillenspiegels erfolgt. Die Erzeugung der Lichtpulse kann dabei gleichmäßig, also in gleichen Intervallen, erfolgen oder variabel entsprechend der Positionierung des Feldspiegels und somit auch mit ungleichen Intervallen zwischen den einzelnen Lichtpulsen.
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Entsprechend kann die Beleuchtungseinrichtung eine Steuerungs- und/oder Regelungseinrichtung aufweisen, mit deren Hilfe die Erzeugung der Lichtpulse der Lichtquelle und die Positionierung des Feldspiegels aufeinander abgestimmt werden können.
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Insbesondere können auch verschiedene Maßnahmen kombiniert werden, wie beispielsweise eine ungleichmäßige oder variable Erzeugung der Lichtpulse in Kombination mit einer gleichmäßigen kontinuierlichen Bewegung des Feldspiegels oder eine gleichmäßige Erzeugung von Lichtpulsen in gleichmäßigen Intervallen bei gleichzeitiger ungleichmäßiger Bewegung des Feldspiegels, sodass unterschiedliche Bereiche des Pupillenspiegels beleuchtet werden. Folglich kann durch Kombination unterschiedlicher Betriebsmodi von Lichtquelle und/oder Feldspiegel innerhalb einer bestimmten Zeitspanne eine Beleuchtungspupille aus einer Vielzahl von verschiedenen Beleuchtungspunkten am Pupillenspiegel zusammengesetzt werden kann.
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Unter gleichmäßigen wiederkehrenden Bewegungen des Feldspiegels können beispielsweise Schwenkbewegungen des Feldspiegels um eine Achse verstanden werden, bei der das Hin- und Herschwenken des Feldspiegels in gleichbleibenden Intervallen erfolgt. Eine kontinuierliche gleichmäßige Bewegung kann beispielsweise die konstante Drehung eines Feldspiegels mit einer gleichbleibenden Drehfrequenz sein. Eine ungleichmäßige kontinuierliche Bewegung kann durch eine Drehung des Feldspiegels mit unterschiedlichen Drehfrequenzen sein, während eine ungleichmäßige wiederkehrende Bewegung des Feldspiegels durch Schwenkbewegungen mit unterschiedlichen Zeitintervallen oder dergleichen sein kann.
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Ausgehend von den unterschiedlichen Betriebsmodi kann der Feldspiegel auch in unterschiedlichen Formen ausgebildet sein. Eine Möglichkeit besteht darin, den Feldspiegel als Facettenrad auszubilden, bei welchem mehrere Spiegelfacetten an einer Mantelfläche um die Radachse angeordnet sind, sodass die Drehung um die Radachse bewirkt, dass die verschiedenen Spiegelfacetten an der Mantelfläche nacheinander in Positionen gelangen, in denen sie Lichtpulse der Lichtquelle auf den Pupillenspiegel reflektieren können. Ist die Orientierung zu dem Lichtstrahl der Lichtquelle durch eine unterschiedliche Anordnung der Spiegelfacetten am Facettenrad oder durch eine Variation der Drehbewegung des Facettenrads oder der Pulserzeugung der Lichtpulse für die einzelnen Spiegelfacetten unterschiedlich, so kann dadurch eine unterschiedliche Beleuchtung des Pupillenspiegels über den Zeitablauf erzeugt werden.
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Neben der unterschiedlichen Ausrichtung des Feldspiegels durch ein Drehen oder Verschwenken um eine oder mehrere Achsen kann zusätzlich die Position des Feldspiegels auch durch eine Lageveränderung verändert werden, indem beispielsweise eine Halterung des Feldspiegels so ausgebildet ist, dass eine translatorische Bewegung und/oder ein Verschwenken oder Drehen des Feldspiegels an sich möglich sind. Durch die unterschiedliche Lage des Feldspiegels im Bezug auf die Lichtquelle und/oder den Pupillenspiegel können ebenfalls unterschiedliche Reflexionsbedingungen eingestellt werden, sodass auch dadurch eine Beleuchtung des Pupillenspiegels in verschiedenen Bereichen realisiert werden kann.
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Insgesamt lassen sich somit die unterschiedlichen Positionen des Feldspiegels sowohl einzeln als auch in Kombination durch Veränderung der Ausrichtung oder Orientierung des Feldspiegels im Raum und/oder durch die Veränderung der Lage des Feldspiegels im Raum bzw. relativ zu der Lichtquelle und/oder dem Pupillenspiegel einstellen.
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Um die Divergenz des Lichtstrahls der Lichtquelle, also beispielsweise eines Freie-Elektronen-Lasers zu erhöhen, kann zusätzlich ein Diffusor zwischen Lichtquelle und Feldspiegel angeordnet sein. Bei einer ausreichenden Beleuchtung des Feldspiegels, bei der also der gesamte Feldspiegel überstrahlt wird, kann der Feldspiegel in der Form ausgebildet sein, wie das Beleuchtungsfeld des zu beleuchtenden Retikels.
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KURZBESCHREIBUNG DER FIGUREN
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Die beigefügten Zeichnungen zeigen in rein schematischer Weise in
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1 eine Darstellung einer ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung;
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2 eine Darstellung einer zweiten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung;
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3 eine Darstellung einer dritten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung;
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4 eine Darstellung einer vierten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung;
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5 eine Darstellung einer fünften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung;
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6 eine Darstellung der Bildung einer Beleuchtungspupille auf dem Pupillenspiegel gemäß einer ersten Ausführungsform; und in
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7 eine weitere Darstellung der Ausbildung einer Beleuchtungspupille auf dem Pupillenspiegel gemäß einer anderen Ausführungsform.
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AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
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Weitere Vorteile, Kennzeichen und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden bei der nachfolgenden detaillierten Beschreibung der Ausführungsbeispiele deutlich. Allerdings ist die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt.
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Die 1 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung mit einem Freie-Elektronen-Laser 1, einem verstellbaren Feldspiegel 2 und einem Pupillenspiegel 3 sowie das zu beleuchtende Retikel 4. Der von dem Freie-Elektronen-Laser erzeugte Lichtstrahl 5 trifft auf den Feldspiegel 2, welcher als Facettenspiegel ausgebildet sein kann, und wird in Richtung des Pupillenspiegels 3, welcher ebenfalls als Facettenspiegel ausgebildet sein kann, reflektiert. Der auf den Pupillenspiegel 3 einfallende Lichtstrahl 6 wird durch den Pupillenspiegel 3 in Richtung des Retikels 4 reflektiert, sodass das Retikel 4 mit dem Lichtstrahl 7 beleuchtet wird.
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Durch die mit den Pfeilen verdeutlichte Bewegbarkeit des Feldspiegels 2 werden auf dem Pupillenspiegel 3 unterschiedliche Bereiche beleuchtet. Insbesondere durch die schnelle Beweglichkeit des Feldspiegels 2 kann dieser in sehr kurzen Zeitabständen hintereinander verschiedene Positionen einnehmen, sodass innerhalb einer kurzen Zeitspanne verschiedene Bereiche des Pupillenspiegels 3 beleuchtet werden. Da der Pupillenspiegel 3 den Feldspiegel 2 auf das Retikel 4 abbildet, bilden die kurz hintereinander beleuchteten Bereiche des Pupillenspiegels 3 gemittelt über die Zeitspanne die Beleuchtungspupille für die Beleuchtung des Retikels 4. Somit wird über eine bestimmte Zeitspanne eine Beleuchtungspupille aus einzelnen Beleuchtungspunkten bzw. Bereichen aufgebaut und betrachtet über die Zeitspanne ergibt sich aus den Beleuchtungspunkten bzw. –bereichen zusammengesetzt die Beleuchtungspupille. Mit anderen Worten wird durch eine über die vorgegebene Zeitspanne gemittelte Betrachtung der aufeinanderfolgenden Beleuchtung unterschiedlicher Bereiche des Pupillenspiegels 3 eine Pupille erzeugt, die gemittelt über der Zeitspanne eine gleichmäßige Beleuchtung aufweist. Somit kann durch den beweglichen Feldspiegel 2 im zeitlichen Mittel ein großer Winkelraum für die Beleuchtung aufgespannt werden, der den für die gegebene Feldgröße und numerische Apertur des Systems benötigten Lichtleitwert im zeitlichen Mittel erzeugt und so das Problem einer geringen Divergenz des Freie-Elektronen-Lasers löst.
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Der Feldspiegel 2 kann, wie bereits oben erwähnt, als Feldfacettenspiegel ausgebildet sein, sodass der Lichtstrahl 5 des Freie-Elektronen-Lasers 1 durch eine Vielzahl von Spiegelfacetten in einen entsprechenden Bereich des Pupillenspiegels 3 reflektiert werden kann.
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Bei einer gegebenen Position des Feldspiegels 2 wird somit ein Teil der Beleuchtungspupille am Pupillenspiegel 3 erzeugt, während bei der nachfolgenden Position des Feldspiegels 2 der nächste Teil der Beleuchtungspupille erzeugt wird. Der Feldspiegel 2 kann nun in der Weise bewegt werden, dass nacheinander die einzelnen Bereiche der Beleuchtungspupille am Pupillenspiegel 3 ausgeleuchtet werden. Dazu kann eine Verkippung bzw. Verschwenkung des Feldpspiegels 2 um zwei senkrecht zueinander angeordnete Drehachsen erfolgen, sodass durch die zwei unabhängigen Drehrichtungen ein zweidimensionales Feld auf dem Pupillenspiegel 3 ausgeleuchtet werden kann.
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Die verschiedenen Positionen, die der Feldspiegel 2 in dieser Ausführungsform einnehmen kann, sind durch die unterschiedlichen Kippwinkel um die Drehachsen gegeben, sodass der Feldspiegel 2 bei der Ausführungsform der 1 im Raum ortsfest angeordnet ist, aber seine Orientierung bzw. Ausrichtung im Raum entsprechend verändern kann. Die Bewegung des Felsspiegels 2 kann durch individuelle, diskrete Bewegungen von einer Position in die nächste Position erfolgen. So können Verschwenkungen bzw. Kippungen um die beiden Drehachsen einzeln oder kombiniert erfolgen, um bestimmte Bereiche des Pupillenspiegels 3 ausleuchten zu können.
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Durch eine entsprechende Reflexion des Lichtstrahls 6 am Pupillenspiegel 3 wird das Beleuchtungsfeld am Retikel 4 durch den Lichtstrahl 7 ebenfalls in einer zeitlich aufeinanderfolgenden Reihenfolge aufgebaut, sodass auch am Retikel über der vorgegebenen Zeitspanne eine entsprechende Feldausleuchtung vorliegt.
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Die 2 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Beleuchtungseinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung, wobei identische oder vergleichbare Komponenten mit der Ausführungsform der 1 mit gleichen Bezugszeichen versehen sind und zur Beschreibung dieser Komponenten auf die Ausführungen zum Ausführungsbeispiel der 1 verwiesen wird. Dies gilt im Nachfolgenden auch für die weiteren Ausführungsbeispiele, bei denen wiederum identische oder vergleichbare Komponenten mit identischen Bezugszeichen versehen sind. Auch hier gilt die Beschreibung der einzelnen Komponenten in vergleichbarer Weise für die anderen Ausführungsformen.
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Die Ausführungsform der 2 unterscheidet sich von der Ausführungsform der 1 dadurch, dass zwischen dem Feldspiegel 2 und dem Freie-Elektronen-Laser 1 ein Diffusor vorgesehen ist, der eine Strahlaufweitung des Laserstrahls bewirkt, um einen größeren Bereich des Feldspiegels auszuleuchten. Der Diffusor muss den Lichtleitwert des Laserstrahls nur soweit erhöhen, dass eine ausreichende Beleuchtung des Feldspiegels 2 ermöglicht wird.
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Bei einer Ausleuchtung des Feldspiegels 2, wie sie in der 3 dargestellt ist, bei der der Lichtstrahl 5 den gesamten Feldspiegel 2 überdeckt, kann der Feldspiegel 2 so ausgebildet sein, dass er die Form des Beleuchtungsfeldes am Retikel definiert. Entsprechend ist bei der Ausführungsform der 3 gezeigt, dass ein Teil des Lichtstrahls 5 am Feldspiegel 2 vorbeigeht (siehe Teillichtstrahl 9).
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Die 4 zeigt eine weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungsanordnung, wobei der Feldspiegel 2 als Facettenrad ausgebildet ist, bei welchem eine Vielzahl von Spiegelfacetten 10 an einer Mantelfläche um die Radachse 11 angeordnet sind.
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Das Facettenrad kann sich kontinuierlich um die Drehachse 11 drehen, sodass nacheinander die verschiedenen Spiegelfacetten 10 in den Strahlengang des Laserlichts geschwenkt werden.
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Sofern der Freie-Elektronen-Laser 1 die Lichtpulse abgestimmt auf die Drehgeschwindigkeit des Facettenrads erzeugt, kann immer dann, wenn eine Spiegelfacette 10 des Facettenrads in der entsprechenden Position ausgerichtet ist, ein Lichtpuls erzeugt werden. Wird die Erzeugung der Lichtpulse bzw. die Intervalle zwischen den Lichtpulsen mit der Drehgeschwindigkeit des Facettenrades synchronisiert, sodass die Ausrichtung der einzelnen Facettenspiegel 10 zum Zeitpunkt des Lichtpulses immer gleich ist, dann wird der immer gleiche Bereich am Pupillenspiegel 3 beleuchtet. Es wird lediglich die Strahlungsbelastung für die einzelnen Facettenspiegel reduziert. Allerdings lässt sich durch eine Veränderung der Drehgeschwindigkeit des Facettenspiegels und/oder einer Änderung der Lichtpulsintervalle eine Veränderung der Ausrichtung der einzelnen Spiegelfacetten 10 einstellen, sodass der beleuchtete Bereich am Pupillenspiegel 3 je nach Stellung der Spiegelfacette in einer Richtung verschoben werden kann. Im gezeigten Ausführungsbeispiel ergibt sich somit die Möglichkeit, den beleuchteten Bereich am Pupillenspiegel entlang der Y-Richtung, die in der Bildebene verläuft, zu verschieben.
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Darüber hinaus kann das Facettenrad um einer weitere Drehachse 12, die senkrecht zur Radachse 11 bzw. zu der damit identischen Radachse des Facettenrads ist, verschwenkt werden, sodass der am Feldspiegel 2 reflektierte Strahl aus der Bildebene abgelenkt wird und somit eine Variation des beleuchteten Bereichs auf dem Pupillenspiegel 3 entlang der X-Richtung erfolgen kann, die senkrecht zur Bildebene angeordnet ist.
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Anstelle einer Verkippung des Facettenrads um die Drehachse 12 könnte eine Verschiebung des Beleuchtungspunkts bzw. des Beleuchtungsbereiches am Pupillenspiegel 3 entlang der X-Richtung auch dadurch realisiert werden, dass die Spiegelfacetten 10 entsprechend verkippt am Facettenrad angeordnet sind. Mit einer entsprechend verkippten Anordnung der Spiegelfacetten ließe sich auch eine Verschiebung des Beleuchtungsbereichs des Pupillenspiegels 3 in Y-Richtung erzeugen, wenn bei einer gleichmäßigen Drehzahl des Facettenrades und einer damit synchronisierten Lichtpulserzeugung des Freie-Elektronen-Lasers die Facettenspiegel 10 in ihrer Drehorientierung um die Drehachse 11 entsprechend ungleichmäßig angeordnet sind bzw. zwischen sich unterschiedliche Winkel einschließen. Entsprechend könnte also das Facettenrad so ausgebildet sein, dass anstelle von parallel zur Drehachse 11 in Form eines gleichmäßigen Körpers mit mehreckigem Grundriss angeordnete Spiegelfacetten 10 mit ihrer Spiegelfläche geneigt zur Drehachse 11 und/oder mit unterschiedlichen Winkeln zueinander vorgesehen sind.
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Die 5 zeigt einer weitere Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Beleuchtungseinrichtung, bei der ähnlich der Ausführungsform der 4 wiederum ein Facettenrad zum Einsatz kommt, wobei hier zusätzlich zur unterschiedlichen Positionierung des Feldspiegels 2 über die Drehung der Facettenspiegel 10 um die Radachse und Verkippung der Radachse 11 um eine Achse senkrecht dazu eine Lageveränderung des Feldspiegels 2 über die Halterung 13 ermöglicht ist, sodass auch darüber eine Veränderung des Beleuchtungsbereichs des Pupillenspiegels 3 möglich ist. Bei einer vollständig gleichmäßigen Erzeugung der Laserpulse durch den Freie-Elektronen-Laser 1 und eine vollständige Synchronisierung mit der Drehzahl eines Facettenrads, welches die Spiegelfacetten in einer gleichmäßigen Anordnung aufweist, kommt es, wie oben bereits erwähnt, zu der wiederholten Beleuchtung desselben Bereichs am Pupillenspiegel 3. Wird jedoch die Lage des Feldspiegels 2 beispielsweise durch Verschwenken der Halterung 13 verändert, so ändert sich der Reflexionswinkel an der entsprechenden Spiegelfacette 10 und es könne unterschiedliche Bereiche an dem Pupillenspiegel 3 beleuchtet werden, wenn die Halterung und somit die Lage des Feldspiegels 2 verändert wird.
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Die verschiedenen Möglichkeiten zur Veränderung des Beleuchtungsbereichs am Pupillenspiegel 3 können selbstverständlich miteinander kombiniert werden, sodass eine Lageveränderung des Feldspiegels 2 durch eine Bewegung der Halterung 13 mit einer Änderung der Ausrichtung oder Orientierung des Feldspiegels 2 durch eine Drehung um die Drehachse 11 oder die Drehachse 12 miteinander kombiniert werden können. Zusätzlich lassen sich noch die Lichtpulserzeugung durch den Frei-Elektronen-Laser 1 und die Bewegungsgeschwindigkeit bzw. Bewegungszeitpunkte für den Feldspiegel 2 verändern und aufeinander abstimmen, sodass vielfache Möglichkeiten zur Veränderung der Beleuchtungsposition am Pupillenspiegel 3 gegeben sind.
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Die 6 und 7 zeigen zwei Beispiele, wie die Beleuchtungspupille am Pupillenspiegel 3 durch zeitlich aufeinanderfolgende Beleuchtungspunkte 14 an verschiedenen Orten am Pupillenspiegel 3 erzeugt werden kann.
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Bei der Ausführungsform der 6 werden die Beleuchtungspunkte 14 der Reihe nach zeilenweise erzeugt, sodass also in der 6 links oben beginnend die einzelnen Punkte nach rechts nacheinander erzeugt werden und nach der Erzeugung des letzten Beleuchtungspunktes in einer Zeile in einer darunter liegenden nächsten Zeile entweder von rechts nach links zurücklaufend oder von links nach rechts die nächsten Beleuchtungspunkte erzeugt werden. Dies ist durch die Pfeile am Rand der 6 dargestellt, wobei hier die mäanderförmige, zeilenweise Erzeugung der Beleuchtungspunkte dargestellt ist.
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Die Ausführungsform der 7 zeigt die Erzeugung einer Dipol-Beleuchtungspupille mit entsprechend zwei Bereichen von Beleuchtungspunkten 14, die in beliebiger Reihenfolge nacheinander erzeugt werden können. Insbesondere kann hier bei der Reihenfolge der Erzeugung der Beleuchtungspunkte 14 auf die Erfordernisse der Lichtpulserzeugung und/oder der Positionierung des Feldspiegels Rücksicht genommen werden, so dass diese optimiert werden können.
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Obwohl die vorliegende Erfindung anhand der Ausführungsbeispiele detailliert beschrieben worden ist, ist für den Fachmann selbstverständlich, dass die Erfindung nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt ist, sondern dass vielmehr Abwandlungen in der Weise möglich sind, dass einzelne Merkmale weggelassen oder andersartige Kombinationen von Merkmalen verwirklicht werden können, solange der Schutzbereich der beigefügten Ansprüche nicht verlassen wird. Die Offenbarung der vorliegenden Erfindung schließt sämtliche Kombinationen der vorgestellten Einzelmerkmale ein.
