DE102013108086B3 - Cooling arrangement for use in cooling system for power semiconductor module, has main body including fluid port that transitions at specific angle to one side surface of main body, and emerges into connection space for cooling channels - Google Patents

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Abstract

The arrangement (1) has a liquid cooling device (3) including a main body (30) with a main surface (300), two side surfaces (302, 303) and two longitudinal surfaces (304, 305). A power semiconductor module (2) is thermally and conductively connected to the main body, where cooling channels (32) extend from one side surface to the other side surface. The main body includes a fluid port (34) on one longitudinal surface, where the fluid port transitions at an angle between 30 and 75 degrees to one side surface and emerges into a connection space (420) for the cooling channels. Independent claims are also included for the following: (1) a cooling system (2) a method for manufacturing a cooling arrangement.

Description

Die Erfindung beschreibt eine Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung, ein mit dieser Anordnung aufgebautes Kühlsystem und ein Verfahren zur Herstellung der Anordnung. The invention describes an arrangement with a power semiconductor module and a cooling device, a cooling system constructed with this arrangement and a method for producing the arrangement.

Aus dem Stand der Technik, beispielhaft offenbart in der DE 197 47 321 A1 , ist eine Kühleinrichtung für ein Leistungshalbleitermodul bekannt, wobei die Kühleinrichtung aus einem die Wärme gut leitenden Kühlkörper, der mehrere Kühlkanäle zur Aufnahme von flüssigen Kühlmedien aufweist. In jeder dieser Kühlkanäle ist verdrehungssicher eine Spirale platziert, deren Außendurchmesser der Windungen gleich groß ist wie die Innenkontur der Kühlkanäle. Die Zulauf- und Ablauföffnungen der Kühleinrichtung sind an den Seitenflächen versetzt eingebracht, sodass keine bevorzugten Röhren mit geringerem Fließwiderstand vorhanden sind. From the prior art, disclosed by way of example in the DE 197 47 321 A1 , a cooling device for a power semiconductor module is known, wherein the cooling device of a heat-conducting well heat sink having a plurality of cooling channels for receiving liquid cooling media. In each of these cooling channels, a spiral is placed without twisting, the outer diameter of the turns is the same size as the inner contour of the cooling channels. The inlet and outlet openings of the cooling device are introduced offset on the side surfaces, so that no preferred tubes with lower flow resistance are present.

Eine Anpassung der Durchflussmenge an die jeweilig Röhre ist hierbei nicht gegeben oder nur mit erheblichem Aufwand realisierbar. Zudem sind die jeweils äußeren Kühlkanäle bezüglich der Durchflussmenge bevorzugt. An adjustment of the flow rate to the respective tube is not given here or can be realized only with considerable effort. In addition, the respective outer cooling channels with respect to the flow rate are preferred.

In Kenntnis der genannten Gegebenheiten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung, sowie ein besonders bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer derartigen Anordnung, vorzustellen, wobei die Durchflussmenge mehrerer Kühlkanäle in ihrem Verhältnis angepasst und gleichzeitig oder alternativ angeglichen werden kann. With the above circumstances in mind, it is the object of the invention to present an arrangement with a power semiconductor module and a cooling device, as well as a particularly preferred method for producing such an arrangement, wherein the flow rate of a plurality of cooling channels can be adapted in their ratio and adjusted simultaneously or alternatively ,

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Anordnung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, sowie durch ein Verfahren nach Anspruch 14. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen beschrieben. This object is achieved by an arrangement with the features of claim 1, and by a method according to claim 14. Preferred embodiments are described in the respective dependent claims.

Bei der erfindungsgemäßen Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung, ist die Kühleinrichtung als Flüssigkeitskühleinrichtung mit einem quaderförmigen Hauptkörper mit jeweils einer ersten und einer zweiten parallel zueinander angeordneten Haupt-, Seiten- und Längsflächen und mit einem ersten Seitenelement ausgebildet, wobei auf der ersten Hauptfläche das Leistungshalbleitermodul angeordnet und thermisch leitend mit dem Hauptkörper verbunden ist. Hierbei erstreckt sich eine Mehrzahl von Kühlkanälen durch den Hauptkörper von der ersten zur zweiten Seitenfläche, wobei das erste Seitenelement an der ersten Seitenfläche des Hauptkörpers dichtend anliegt und eine dieser ersten Seitenfläche zugewandte Ausnehmung aufweist, in die die Kühlkanäle münden und die einen Verbindungsraum für diese Kühlkanäle ausbildet Hierbei weist der Hauptkörper an seiner ersten Längsseite einen ersten Flüssigkeitsanschluss auf, wobei der erste Flüssigkeitsanschluss in einen ersten Anschlusskanal übergeht, der unter einem ersten Winkel zwischen 30° und 75° an der ersten Seitenfläche austritt und ebenfalls in den dortigen ersten Verbindungsraum an einer ersten Mündung mündet. In the arrangement according to the invention with a power semiconductor module and a cooling device, the cooling device is designed as a liquid cooling device with a cuboid main body having in each case a first and a second main, side and longitudinal surfaces arranged parallel to one another and with a first side element, wherein on the first main surface Power semiconductor module is arranged and thermally conductively connected to the main body. Here, a plurality of cooling passages extends through the main body from the first to the second side surface, wherein the first side member sealingly abuts the first side surface of the main body and has a recess facing this first side surface into which the cooling passages open and a connecting space for these cooling passages In this case, the main body has on its first longitudinal side a first liquid connection, wherein the first liquid connection merges into a first connection channel, which exits at a first angle between 30 ° and 75 ° at the first side surface and also in the local first connection space at a first Mouth opens.

Grundsätzlich kann als äquivalente Lösung der Verbindungsraum teilweise im Hauptkörper angeordnet sein, indem dort eine Ausnehmung analog derjenigen des Seitenelements vorgesehen ist. In principle, as an equivalent solution, the connection space can be partially arranged in the main body by providing a recess there analogous to that of the side element.

Selbstverständlich handelt es sich bei dem genannten Leistungshalbleitermodul um mindestens ein Leistungshalbleitermodul, wobei mehrere Leistungshalbleiterbauelemente auf einem Hauptkörper angeordnet sein können. Of course, the mentioned power semiconductor module is at least one power semiconductor module, wherein a plurality of power semiconductor components can be arranged on a main body.

Es kann bevorzugt sein, wenn der erste Anschlusskanal beim Übergang vom ersten Flüssigkeitsanschluss eine erste Breite und erste Querschnittsfläche und bei der ersten Mündung in den ersten Verbindungsraum eine zweite Breite und eine zweite Querschnittsfläche aufweist, wobei die zweite Querschnittsfläche einen Flächeninhalt von 75% bis 125% der ersten Querschnittsfläche aufweist. Hierbei kann die erste, die zweite, oder beide Querschnittsflächen rund ausgebildet sein. Hier und im Folgenden wird unter erster und zweiter Querschnittsfläche immer eine Fläche senkrecht zur Fließrichtung verstanden. Eine Breite ist ebenso definiert als die Breite dieser Querschnittsfläche. It may be preferred if the first connection channel has a first width and a first cross-sectional area at the transition from the first liquid connection and a second width and a second cross-sectional area at the first opening into the first connection space, the second cross-sectional area having an area of 75% to 125%. having the first cross-sectional area. In this case, the first, the second, or both cross-sectional areas may be round. Here and below, the first and second cross-sectional area is always understood to mean a surface perpendicular to the direction of flow. A width is defined as well as the width of this cross-sectional area.

Ebenso kann der erste Flüssigkeitsanschluss von der zugeordneten ersten Seitenfläche einen Abstand aufweisen, der zwischen das 0,5- bis 5-fachen der ersten Breite beträgt. Likewise, the first fluid port may have a distance from the associated first side surface that is between 0.5 and 5 times the first width.

Vorzugsweise weist der erste Anschlusskanal einen ersten geraden Kanalabschnitt senkrecht zur ersten Seitenfläche und einen zweiten geraden Kanalabschnitt auf, der unter dem ersten Winkel aus der ersten Seitenfläche in den ersten Verbindungsraum mündet, wobei beide Kanalabschnitte einen Übergangsbereich aufweisen der die beiden Kanalabschnitte verbindet. Preferably, the first connection channel has a first straight channel section perpendicular to the first side face and a second straight channel section which opens from the first side face into the first connection space at the first angle, wherein both channel sections have a transition region connecting the two channel sections.

Weiterhin kann es vorteilhaft sein, wenn die Kühlkanäle eine dritte Breite und einen äquidistanten Abstand zueinander aufweisen der das 0,2- bis 3-fachen der dritten Breite beträgt. Hierbei wird unter der Breite eines Kühlkanals die Breite parallel zu den Hauptflächen des Hauptkörpers und senkrecht zur Strömungsrichtung der Kühlflüssigkeit des Kühlmediums verstanden. Hierbei kann die erste Mündung vom benachbarten Kühlkanal einen Abstand aufweisen, der das 0,5- bis 5-fachen des Abstandes der Kühlkanäle zueinander beträgt. Furthermore, it may be advantageous if the cooling channels have a third width and an equidistant distance from each other which is 0.2 to 3 times the third width. Here, the width of a cooling channel is understood to mean the width parallel to the main surfaces of the main body and perpendicular to the flow direction of the cooling liquid of the cooling medium. Here, the first mouth of the adjacent cooling channel may have a distance which is 0.5 to 5 times the distance of the cooling channels to each other.

In bevorzugter Weise kann die Ausnehmung des ersten Seitenelements eine U-förmige dritte Querschnittsfläche aufweisen. Hierbei kann die dritte Querschnittsfläche einen Flächeninhalt aufweisen, der über die Länge konstant ist oder von derjenigen Seite die der ersten Mündung zugeordnet ist stetig oder unstetig abnimmt. Unter dem Flächeninhalt der dritten Querschnittsfläche wird hier und im Folgenden natürlich nur der relevante Bereich zwischen der ersten Mündung und dem letzten Kühlkanal verstanden. Unter stetiger Abnahme soll hier verstanden werden, dass der Durchmesser im relevanten Bereich von der ersten Mündung zum letzten Kühlkanal nicht zunimmt sondern geringer wird. Eine unstetige Abnahme soll bedeuten, dass in einem kurzen Bereich der Durchmesser größer sein kann, z.B. um in unmittelbarer Nähe zur ersten Mündung eine Wirbelkammer auszubilden. In a preferred manner, the recess of the first side element may have a U-shaped third cross-sectional area. In this case, the third cross-sectional area can have a surface area which is constant over the length or steadily or discontinuously decreases from the side which is assigned to the first orifice. Of course, the surface area of the third cross-sectional area is understood here and below to mean only the relevant area between the first orifice and the last cooling channel. Constant decrease is to be understood here as meaning that the diameter does not increase in the relevant region from the first orifice to the last cooling channel, but decreases. An unsteady decrease should mean that the diameter can be larger in a short range, eg in order to form a vortex chamber in the immediate vicinity of the first mouth.

Von besonderem Vorteil ist es, wenn der Hauptkörper symmetrisch zu seiner Mittelebene ausgebildet ist, und somit auch einen zweiten Flüssigkeitsanschluss aufweist, wobei der zweite Flüssigkeitsanschluss in einen zweiten Anschlusskanal übergeht, der unter einem zweiten Winkel zwischen 30° und 75° an der zweiten Seitenfläche austritt und ebenfalls in den dortigen zweiten Verbindungsraum eines zweiten Seitenelements an einer zweiten Mündung mündet. Unter Mittelebene wird hier eine Symmetrieebene verstanden, die parallel zu den Seitenflächen verläuft und die Haupt- und Längsflächen mittig schneidet. Hierbei ist es besonders vorteilhaft, wenn der erste und zweite Flüssigkeitsanschluss in Längsrichtung des Hauptkörpers nebeneinander angeordnet sind. It is particularly advantageous if the main body is formed symmetrically to its center plane, and thus also has a second fluid port, wherein the second fluid port merges into a second port which emerges at a second angle between 30 ° and 75 ° at the second side surface and also in the local second connecting space of a second side member opens at a second mouth. By midplane is meant here a plane of symmetry which runs parallel to the side surfaces and cuts the main and longitudinal surfaces in the middle. It is particularly advantageous if the first and second liquid connection are arranged side by side in the longitudinal direction of the main body.

Ein erfindungsgemäßes Kühlsystem weist zwei der oben genannten Anordnungen mit nur jeweils einem Flüssigkeitsanschluss auf. Die beiden Anordnungen sind mit ihren zweiten Seitenflächen parallel und spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet und mittels einer zusätzlichen Verbindungseinrichtung miteinander verbunden. A cooling system according to the invention has two of the abovementioned arrangements with only one fluid connection each. The two arrangements are arranged with their second side surfaces parallel and mirror-symmetrical to each other and connected to each other by means of an additional connecting device.

Es ist hierfür besonders vorteilhaft, wenn die Verbindungseinrichtung eine Koppeleinrichtung ist, die zugeordnete zueinander fluchtenden Kühlkanäle zweier Anordnungen jeweils miteinander verbindet. It is particularly advantageous for this purpose if the connection device is a coupling device which connects associated mutually aligned cooling channels of two arrangements with each other.

Das besonders bevorzugte Verfahren zur Herstellung einer Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung, wobei die Kühleinrichtung als Flüssigkeitskühleinrichtung ausgebildet ist, ist gekennzeichnet durch die folgenden wesentlichen Verfahrensschritt:

  • a) Strangpressen eines Hauptkörpers aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung, wobei hierbei ausschließlich die Kühlkanäle ausgebildet werden;
  • b) Ausbilden eines ersten und zweiten Kanalabschnitts, indem der erste Kanalabschnitt von der ersten Längsfläche des Hauptkörpers senkrecht eingebracht wird und wobei der zweite Kanalabschnitt von der ersten Seitenfläche unter einem ersten Winkel zwischen 30° und 75° eingebracht wird; vorzugsweise wird hierbei der erste und zweite Kanalabschnitt jeweils mittels eines spanenden Verfahrens eingebracht.
  • c) Anordnen eines Seitenelements und des Leistungshalbleitermoduls.
The particularly preferred method for producing an arrangement with a power semiconductor module and a cooling device, wherein the cooling device is designed as a liquid cooling device, is characterized by the following essential method step:
  • a) extruding a main body of aluminum or an aluminum alloy, in which case only the cooling channels are formed;
  • b) forming a first and second channel portion by vertically inserting the first channel portion from the first longitudinal surface of the main body and inserting the second channel portion from the first side surface at a first angle between 30 ° and 75 °; In this case, the first and second channel sections are preferably introduced by means of a cutting process.
  • c) arranging a page element and the power semiconductor module.

Es versteht sich, dass die verschiedenen Ausgestaltungen der Erfindung einzeln oder in beliebigen sich nicht per se ausschließenden Kombinationen realisiert sein können, um Verbesserungen zu erreichen. Insbesondere sind die vorstehend genannten und erläuterten Merkmale, unabhängig ob sie im Rahmen des Verfahrens oder des Gegenstands genannt sind, nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. It will be understood that the various embodiments of the invention may be implemented individually or in any combinations that are not per se exclusive in order to achieve improvements. In particular, the above-mentioned and explained features, regardless of whether they are mentioned in the context of the method or the subject, can be used not only in the specified combinations but also in other combinations or alone, without departing from the scope of the present invention.

Weitere Erläuterung der Erfindung, vorteilhafte Einzelheiten und Merkmale, ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den 1 bis 7 dargestellten Ausführungsbeispiele der erfindungsgemäßen Anordnung oder von Teilen hiervon. Further explanation of the invention, advantageous details and features will become apparent from the following description of the in the 1 to 7 illustrated embodiments of the inventive arrangement or parts thereof.

1 zeigt eine erste Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung in Draufsicht auf eine Hauptfläche. 1 shows a first embodiment of an inventive arrangement with a power semiconductor module and a cooling device in plan view of a main surface.

2 zeigt eine zweite Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Anordnung in Draufsicht. 2 shows a second embodiment of an arrangement according to the invention in plan view.

3 zeigt ein erstes erfindungsgemäßes Kühlsystem in Draufsicht. 3 shows a first inventive cooling system in plan view.

4 zeigt ein zweites erfindungsgemäßes Kühlsystem in Draufsicht. 4 shows a second inventive cooling system in plan view.

5 zeigt ein Seitenelement einer erfindungsgemäßen Anordnung im Querschnitt. 5 shows a side member of an inventive arrangement in cross section.

6 zeigt die erste erfindungsgemäße Anordnung in der Ansicht auf eine erste Seitenfläche. 6 shows the first arrangement according to the invention in the view on a first side surface.

7 zeigt die erste erfindungsgemäße Anordnung in der Ansicht auf eine erste Längsfläche. 7 shows the first arrangement according to the invention in the view on a first longitudinal surface.

1 zeigt einen Schnitt durch eine erste Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Anordnung mit einem Leistungshalbleitermodul und einer Kühleinrichtung in Draufsicht auf eine Hauptfläche. Dargestellt ist hierbei ein Hauptkörper 30 mit jeweils einer ersten und einer zweiten parallel zueinander angeordneten Haupt- 300, 301, Seiten- 302, 303 und Längsfläche 304, 305 sowie mit vier Kühlkanälen, die sich von der ersten Seitenfläche 302 zur zweiten Seitenfläche 303 erstrecken. Diese Kühlkanäle 32 wurden ausgebildet indem der Hauptkörper 32 in einem Strangpressverfahren aus Aluminium oder aus einer im wesentlichen Aluminium enthaltenden Legierung hergestellt wurde. 1 shows a section through a first embodiment of an inventive arrangement with a power semiconductor module and a cooling device in plan view of a main surface. Shown here is a main body 30 each having a first and a second main parallel arranged 300 . 301 , Pages- 302 . 303 and longitudinal surface 304 . 305 as well as with four cooling channels extending from the first side surface 302 to the second side surface 303 extend. These cooling channels 32 were formed by the main body 32 was produced in an extrusion of aluminum or an alloy essentially containing aluminum.

Auf der ersten Hauptfläche 300, vgl. auch 6, sind eine Mehrzahl von Leistungshalbleitermodulen 2 angeordnet, von den der Übersicht halber nur eines dargestellt ist. Die Leistungshalbleitermodule 2 sind bevorzugt fachüblich hergestellte Leistungshalbleitermodule, die typischerweise im Bereich der ebenfalls schematisch dargestellten Leistungshalbleiterbauelemente 20 lokal die höchsten Kühlanforderungen aufweisen. Simulationen zeigen, dass bei Kühleinrichtungen nach dem genannten Stand der Technik häufig gerade die mittleren Kühlkanäle eine geringer Durchflussmenge der Kühlflüssigkeit und damit eine geringere Kühlleistung aufweisen als die jeweils äußeren Kühlkanäle. Andererseits erfordern meist die oberhalb der mittleren Kühlkanäle angeordneten Leistungshalbleiterbauelemente 20 die höchste Kühlleistung, weil eine seitliche Wärmeabfuhr in geringerem Maße möglich ist als bei Leistungshalbleiterbauelementen 20, die oberhalb der äußeren Kühlkanäle angeordnet sind. On the first main surface 300 , see. also 6 , are a plurality of power semiconductor modules 2 arranged, of the sake of clarity only one is shown. The power semiconductor modules 2 are preferably power semiconductor modules which are customarily produced, which are typically in the range of the power semiconductor components likewise shown schematically 20 locally have the highest cooling requirements. Simulations show that in cooling devices according to the cited prior art often just the middle cooling channels have a lower flow rate of the cooling liquid and thus a lower cooling capacity than the respective outer cooling channels. On the other hand, usually the power semiconductor components arranged above the middle cooling channels require 20 the highest cooling capacity, because lateral heat dissipation is possible to a lesser extent than with power semiconductor components 20 , which are arranged above the outer cooling channels.

Die Kühleinrichtung 3 weist weiterhin, aus Gründen der Übersichtlichkeit hier beabstandet dargestellt, ein erstes Seitenelement 40 auf, das dichtend, beispielhaft mittels einer schematisch angedeuteten Schraubverbindung und einer nicht dargestellten Dichteinrichtung, auf der ersten Seitenfläche 302 des Hauptkörpers 30 angeordnet ist. Das erste Seitenelement 40 weist an seiner am der ersten Seitenfläche 302 anliegenden Seite eine erste Ausnehmung 42 auf. Diese Ausnehmung 42 bildet somit einen Verbindungsraum 420 aus in den alle Kühlkanäle 32 münden. Die Ausnehmung 42 weist hierbei eine U-förmige dritte Querschnittsfläche aufweist, deren Flächeninhalt hier über die gesamte relevante Länge konstant ist. The cooling device 3 furthermore, for the sake of clarity here shown spaced apart, a first side member 40 on, the sealing, for example by means of a schematically indicated screw and a sealing device, not shown, on the first side surface 302 of the main body 30 is arranged. The first page element 40 indicates at its on the first side surface 302 adjacent side a first recess 42 on. This recess 42 thus forms a connection space 420 out in the all cooling channels 32 lead. The recess 42 in this case has a U-shaped third cross-sectional area whose surface area is constant over the entire relevant length here.

Erfindungsgemäß weist der Hauptkörper 30 an seiner ersten Längsseite 304 angeordnet einen ersten Flüssigkeitsanschluss 34 auf. Dieser erste Flüssigkeitsanschluss 34 kann wie dargestellt als Schraubverbindung ausgebildet sein, an die eine Einrichtung zur Zu- oder Abfuhr von Kühlflüssigkeit angeschlossen werden kann. According to the invention, the main body 30 on its first long side 304 arranged a first liquid connection 34 on. This first fluid connection 34 can be designed as a screw connection, as shown, to which a device for supplying or removing coolant can be connected.

Der erste Flüssigkeitsanschluss 34 geht in einen ersten Anschlusskanal 36 über, der einen ersten geraden Kanalabschnitt 360 aufweist, der wie dargestellt bevorzugt senkrecht von der ersten Längsseite 304 in den Hauptkörper 30 hinein verläuft. Der erste Anschlusskanal 36 weist weiterhin einen zweite geraden Kanalabschnitt 370 auf, der unter einem ersten Winkel α aus der ersten Seitenfläche 302 an einer ersten Mündung 38 in den ersten Verbindungsraum 420 mündet. Die beiden Kanalabschnitte 360, 370 weisen einen gemeinsamen Übergangsbereich 364 im Volumen des Hauptkörpers 30 auf. Der erste Kanalabschnitts 360 ist hierbei mittels eines spanenden Verfahrens, beispielhaft eines Bohr- oder Fräsverfahrens, ausgehend von der ersten Längsfläche 304 senkrecht in den Hauptkörpers 30 eingebracht. Der zweite Kanalabschnitts 370 ist hierbei ebenfalls mittels des spanenden Verfahrens, ausgehend von der ersten Seitenfläche 302 unter dem ersten Winkel α in den Hauptkörpers 30 eingebracht. The first fluid connection 34 goes into a first connection channel 36 over, a first straight channel section 360 having, as shown, preferably perpendicular from the first longitudinal side 304 in the main body 30 into it. The first connection channel 36 also has a second straight channel section 370 on, at a first angle α from the first side surface 302 at a first estuary 38 in the first connection room 420 empties. The two channel sections 360 . 370 have a common transition area 364 in the volume of the main body 30 on. The first channel section 360 is here by means of a cutting process, for example a drilling or milling process, starting from the first longitudinal surface 304 perpendicular to the main body 30 brought in. The second channel section 370 Here is also by means of the cutting process, starting from the first side surface 302 at the first angle α in the main body 30 brought in.

Der erste Anschlusskanal 36 weist beim Übergang vom ersten Flüssigkeitsanschluss 34 und in seinem weiteren Verlauf eine erste Breite 362 und eine erste rund ausgebildete Querschnittsfläche auf. Ebenso weist der zweite Anschlusskanal 37 bei der ersten Mündung 38 in den ersten Verbindungsraum 420 in seinem sonstigen Verlauf eine zweite Breite 372 und eine zweite ebenfalls rund ausgebildete Querschnittsfläche auf. In dieser Ausgestaltung weist die zweite Querschnittsfläche einen Flächeninhalt von 90% der ersten Querschnittsfläche aufweist, wodurch die Fließgeschwindigkeit der Kühlflüssigkeit erhöht wird. The first connection channel 36 indicates at the transition from the first fluid port 34 and in its further course a first width 362 and a first round cross-sectional area. Likewise, the second connection channel 37 at the first estuary 38 in the first connection room 420 in its other course a second width 372 and a second likewise round cross-sectional area. In this embodiment, the second cross-sectional area has a surface area of 90% of the first cross-sectional area, whereby the flow speed of the cooling liquid is increased.

2 zeigt in analoger Darstellung zu 1 eine zweite Ausgestaltung einer erfindungsgemäßen Anordnung, bei der aus Gründen der Übersichtlichkeit kein Leistungshalbleitermodul, sondern nur die Kühleinrichtung dargestellt ist. Diese zweite Ausgestaltung unterscheidet sich von derjenigen gemäß 1 im Wesentlichen darin, dass der Hauptkörper 30 symmetrisch zu seiner Mittelebene 9 ausgebildet ist. Der Hautkörper 30 weist somit einen zweiten Flüssigkeitsanschluss 54 auf. Hierbei sind der erste und zweite Flüssigkeitsanschluss 34, 56 in Längsrichtung des Hauptkörpers 30 nebeneinander aber beabstandet angeordnet. 2 shows in an analogous representation 1 a second embodiment of an arrangement according to the invention, in which, for reasons of clarity, no power semiconductor module, but only the cooling device is shown. This second embodiment differs from that according to FIG 1 essentially in that the main body 30 symmetrical to its median plane 9 is trained. The skin body 30 thus has a second fluid port 54 on. Here are the first and second fluid port 34 . 56 in the longitudinal direction of the main body 30 but arranged next to each other at a distance.

Dieser zweite Flüssigkeitsanschluss 54 geht in einen zweiten Anschlusskanal 56 über, der unter einem zweiten, zum ersten identischen, Winkel an der zweiten Seitenfläche 303 des Hauptkörpers 30 austritt und in den dortigen zweiten Verbindungsraum eines zweiten Seitenelements 60 an einer zweiten Mündung mündet. This second fluid connection 54 goes into a second connection channel 56 over, at a second, to the first identical, angle on the second side surface 303 of the main body 30 exit and in the local second connection space of a second side element 60 opens at a second mouth.

Die jeweiligen Ausnehmungen 42 des ersten und zweiten Seitenelements 40, 60 weisen spiegelsymmetrisch gleiche U-förmige dritte Querschnittsflächen auf. Diese dritten Querschnittsflächen weisen einen Flächeninhalt auf, der von derjenigen Seite die der jeweiligen Mündung 38 zugeordnet ist über die relevante Länge stetig abnimmt. The respective recesses 42 of the first and second page elements 40 . 60 have mirror-symmetrically the same U-shaped third cross-sectional areas. These third cross-sectional areas have an area, that of the side of the respective mouth 38 is assigned over the relevant length steadily decreasing.

Dargestellt ist zudem die Wirkung des Kühlflüssigkeitszuflusses über einen Anschlusskanal gemäß der Erfindung. Der Austritt von Kühlflüssigkeit aus dem Anschlusskanal in einen Verbindungsraum unter einem Winkel, vorzugsweise unter einem Winkel von 50° bis 60°, erzeugt eine turbulente Strömung, die für eine gleichmäßige Durchflussmenge in den Kühlkanälen sorgt. Das wesentliche Merkmal der Erfindung ist der Austritt der Kühlflüssigkeit aus der Mündung unter einem definierten Winkel. Die Feinabstimmung erfolgt über die relative Lage der Mündung zu den Kühlkanälen, vgl. 6. Simulationen zeigen, dass beim Stand der Technik die Durchflussmenge des bestdurchströmten Kühlkanal um bis zu einem Faktor 5 höher liegt im Vergleich um Kühlkanal mit der geringsten Durchflussmenge. Bei einer Ausgestaltung wie hier vorgeschlagen liegen die Unterschiede im Bereich von 30% bis 40% ohne weitere Maßnahmen zur Regelung oder Führung der Strömung. Also shown is the effect of the coolant inflow via a connection channel according to the invention. The exit of cooling liquid from the connection channel into a connection space at an angle, preferably at an angle of 50 ° to 60 °, creates a turbulent flow, which ensures a uniform flow rate in the cooling channels. The essential feature of the invention is the exit of the cooling liquid from the mouth at a defined angle. The fine tuning takes place via the relative position of the mouth to the cooling channels, cf. 6 , Simulations show that in the prior art, the flow rate of the best-flowing cooling channel is up to a factor of 5 higher compared to cooling channel with the lowest flow rate. In one embodiment, as proposed here, the differences are in the range of 30% to 40% without further measures to control or guide the flow.

3 zeigt ein erstes erfindungsgemäßes Kühlsystem 10 in Draufsicht. Dieses Kühlsystem 10 besteht aus zwei Anordnungen 3 gemäß 1, wobei die beiden Anordnungen 3 mit ihren zweiten Seitenflächen 303, vgl. 1, parallel und spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet sind und mittels einer zusätzlichen Verbindungseinrichtung miteinander verbunden sind. Diese zusätzliche Verbindungseinrichtung besteht hier aus einer Koppeleinrichtung 70, die zugeordnete zueinander fluchtende Kühlkanäle 32 zweier Anordnungen 3 bzw. Hauptkörper 30 jeweils miteinander verbindet. Hierdurch entstehen gewissermaßen verknüpfte Kühlkanäle, die durch die beide Anordnungen 3 und die Koppeleinrichtung 70 geradlinig hindurch verlaufen. 3 shows a first inventive cooling system 10 in plan view. This cooling system 10 consists of two arrangements 3 according to 1 , where the two arrangements 3 with their second side surfaces 303 , see. 1 , are arranged parallel and mirror-symmetrical to each other and are connected to each other by means of an additional connecting device. This additional connection device consists here of a coupling device 70 , the associated mutually aligned cooling channels 32 two arrangements 3 or main body 30 each interconnected. This creates a kind of linked cooling channels through the two arrangements 3 and the coupling device 70 straight through.

Jeweils ein Seitenelement 30, 60 bildet den Abschluss des Kühlsystems 10. Beispielhaft dient bei diesem Kühlsystem 10 der erste Flüssigkeitsanschluss 34 als Zulauf, über den die Kühlflüssigkeit durch den ersten Anschlusskanal 36 und über die erste Mündung 38 in den ersten Verbindungsraum 420 gelangt. Durch die Kühlkanäle gelangt die Kühlflüssigkeit in den zweiten Verbindungsraum 620 und von dort durch die zweite Mündung 58 in den zweiten Anschlusskanal 56. Der zugeordnete zweite Flüssigkeitsanschluss 54 dient dann als Ablauf der Kühlflüssigkeit. One side element each 30 . 60 forms the conclusion of the cooling system 10 , By way of example, this cooling system is used 10 the first fluid port 34 as an inlet, through which the coolant through the first connection channel 36 and over the first estuary 38 in the first connection room 420 arrives. Through the cooling channels, the cooling liquid enters the second connection space 620 and from there through the second estuary 58 in the second connection channel 56 , The associated second fluid port 54 then serves as drain of the cooling liquid.

Die Koppeleinrichtung 70 stellt darüber hinaus zusätzliche Verbindungseinrichtungen zur mechanischen Verbindung der beiden Anordnungen 3 dar. Zudem stelle die Koppeleinrichtung 70 oder der jeweils damit zu verbindende Hauptkörper 30 eine Dichteinrichtung zur flüssigkeitsdichten Verbindung bereit. The coupling device 70 also provides additional connecting means for mechanically connecting the two assemblies 3 In addition, make the coupling device 70 or the main body to be connected therewith 30 a sealing device for liquid-tight connection ready.

Auf den beiden Anordnungen sind Leistungshalbleitermodule 2 angeordnet. Dargestellt ist hier schematisch nur eines dieser Leistungshalbleitermodule 2. On the two arrangements are power semiconductor modules 2 arranged. Shown here is schematically only one of these power semiconductor modules 2 ,

4 zeigt ein zweites erfindungsgemäßes Kühlsystem in Draufsicht. Dieses weist wiederum zwei spiegelsymmetrisch mit ihren zweiten Seitenflächen 303, vgl. 1, zueinander angeordnete und mittels einer zusätzlichen Verbindungseinrichtung miteinander verbundene Anordnungen auf. Die Verbindungseinrichtung weist einen Nebenkörper 80, der einem Hauptkörper 30 ähnlich ausgebildet ist, wie auch zwei Koppeleinrichtungen 70 auf. Der Nebenkörper gleicht dem Hauptkörper, weist allerdings weder einen Flüssigkeitsanschluss noch einen Anschlusskanal auf. Durch die Anreihung einer Anordnung 3 mit einem Hauptkörper 30 eines Nebenkörpers 80 und einer weiteren Anordnung 3, wiederum mit einem Hauptkörpers 30, entstehen gewissermaßen verknüpfte Kühlkanäle, die durch das Kühlsystem 10 geradlinig hindurch verlaufen. 4 shows a second inventive cooling system in plan view. This in turn has two mirror symmetry with its second side surfaces 303 , see. 1 , mutually arranged and interconnected by means of an additional connecting means arrangements. The connecting device has a secondary body 80 , the one main body 30 is designed similarly, as well as two coupling devices 70 on. The secondary body is similar to the main body, but has neither a liquid connection nor a connection channel. By the arrangement of an arrangement 3 with a main body 30 a secondary body 80 and another arrangement 3 , again with a main body 30 , so to speak, linked cooling channels are created by the cooling system 10 straight through.

Auf den Haupt- 30 und Nebenkörpern 80 sind Leistungshalbleitermodule 2 angeordnet. Dargestellt ist hier schematisch nur eines dieser Leistungshalbleitermodule 2. On the main 30 and secondary bodies 80 are power semiconductor modules 2 arranged. Shown here is schematically only one of these power semiconductor modules 2 ,

5 zeigt ein Seitenelement einer erfindungsgemäßen Anordnung im Querschnitt aus Sicht auf eine Längsfläche eines zugeordneten Hauptkörpers. Erkennbar ist hier die zur zugeordneten Seitenfläche 302 des Hauptkörpers offene Ausnehmung, die bei der Anordnung zum Hauptkörper 30 einen Verbindungsraum 420, vgl. 1 ausbildet. Diese Ausnehmung ist U-förmig ausgebildet und weist eine dritte Querschnittsfläche auf. 5 shows a side member of an arrangement according to the invention in cross-section from view of a longitudinal surface of an associated main body. Recognizable here is the associated side surface 302 of the main body open recess, which in the arrangement to the main body 30 a connection room 420 , see. 1 formed. This recess is U-shaped and has a third cross-sectional area.

6 zeigt die erste erfindungsgemäße Anordnung 1 mit dem Hauptkörper 30 einer Kühleinrichtung und einem Leistungshalbleitermodul 2 in der Ansicht auf eine erste Seitenfläche des Hauptkörpers. Das Leistungshalbleitermodul weist hierbei schematisch dargestellt ein Gehäuse 22, Leistungshalbleiterbauelemente 20 angeordnete auf eine elektrisch isolierenden und thermisch leitenden Substrat 26 und Anschlusseinrichtungen 24 auf. 6 shows the first arrangement according to the invention 1 with the main body 30 a cooling device and a power semiconductor module 2 in the view on a first side surface of the main body. The power semiconductor module in this case has a housing shown schematically 22 , Power semiconductor components 20 arranged on an electrically insulating and thermally conductive substrate 26 and connection devices 24 on.

Dargestellt sind hierbei die Kühlkanäle 32, die hier eine die im Vergleich zu einer kreisförmigen Ausgestaltung eine die Oberfläche vergrößernde sternartige Ausgestaltung aufweisen. Grundsätzlich ist es immer das Bestreben Kühlkanäle derart auszugestalten, dass der Wärmeübergang vom Kühlkörpermaterial auf die Kühlflüssigkeit möglichst effizient ist. Varianten der Ausgestaltung der Kühlkanäle, insbesondere fachüblichen Ausgestaltungen, sind nicht Gegenstand dieser Erfindung. Shown here are the cooling channels 32 which have a star-like configuration enlarging the surface in comparison with a circular configuration here. Basically, it is always the endeavor to design cooling channels in such a way that the heat transfer from the heat sink material to the cooling liquid is as efficient as possible. Variants of the design of the cooling channels, in particular customary embodiments, are not the subject of this invention.

Die Kühlkanäle 32 weisen jeweils eine einheitliche dritte Breite 320 und einen äquidistanten Abstand 320 zueinander auf, der hier circa das 0,5-fache der dritten Breite beträgt. The cooling channels 32 each have a uniform third width 320 and an equidistant distance 320 to each other, which is about 0.5 times the third width here.

Die erste Mündung 38 weist hier vom benachbarten Kühlkanal 32 einen Abstand 324 auf, der das 2-fache des Abstandes 322 der Kühlkanäle zueinander beträgt. The first estuary 38 points here from the adjacent cooling channel 32 a distance 324 on, which is 2 times the distance 322 the cooling channels to each other.

7 zeigt die erste erfindungsgemäße Anordnung 1 in der Ansicht auf eine erste Längsfläche 304 des Hauptkörpers. Dargestellt ist wiederum schematisch das Leistungshalbleitermodul, wie auch der erste Flüssigkeitsanschluss 34 und der daran anschließende erste Anschlusskanal 36 mit einer ersten Breite 362. Der Abstand 340 des Flüssigkeitsanschlusses 34 von der zugeordneten ersten Seitenfläche 302 beträgt hier das 2,5-fachen der ersten Breite 362 des ersten Anschlusskanals. 7 shows the first arrangement according to the invention 1 in the view on a first longitudinal surface 304 of the main body. In turn, the power semiconductor module, as well as the first fluid connection, are shown schematically 34 and the subsequent first connection channel 36 with a first width 362 , The distance 340 of the liquid connection 34 from the associated first side surface 302 here is 2.5 times the first width 362 of the first connection channel.

Claims (15)

Anordnung (1) mit einem Leistungshalbleitermodul (2) und einer Kühleinrichtung (3), wobei die Kühleinrichtung (3) als Flüssigkeitskühleinrichtung mit einem quaderförmigen Hauptkörper (30) mit jeweils einer ersten und einer zweiten parallel zueinander angeordneten Haupt- (300, 301), Seiten- (302, 303) und Längsflächen (304, 305) und mit einem ersten Seitenelement (40) ausgebildet ist, wobei auf der ersten Hauptfläche (300) das Leistungshalbleitermodul (2) angeordnet und thermisch leitend mit dem Hauptkörper (30) verbunden ist, wobei eine Mehrzahl von Kühlkanälen (32) sich durch den Hauptkörper (30) von der ersten (302) zur zweiten Seitenfläche (303) erstrecken, das erste Seitenelement (40) an der ersten Seitenfläche (302) des Hauptkörpers (30) dichtend anliegt und eine dieser ersten Seitenfläche (302) zugewandte Ausnehmung (42) aufweist, in die die Kühlkanäle (32) münden und die einen ersten Verbindungsraum (420) für diese Kühlkanäle (32) ausbildet, wobei der Hauptkörper (30) an seiner ersten Längsseite (304) einen ersten Flüssigkeitsanschluss (34) aufweist, wobei der erste Flüssigkeitsanschluss (34) in einen ersten Anschlusskanal (36) übergeht, der unter einem ersten Winkel (α) zwischen 30° und 75° an der ersten Seitenfläche (302) austritt und ebenfalls in den dortigen ersten Verbindungsraum (420) an einer ersten Mündung (38) mündet. Arrangement ( 1 ) with a power semiconductor module ( 2 ) and a cooling device ( 3 ), wherein the cooling device ( 3 ) as a liquid cooling device with a cuboid main body ( 30 ) each having a first and a second main (parallel) 300 . 301 ), Pages- ( 302 . 303 ) and longitudinal surfaces ( 304 . 305 ) and with a first page element ( 40 ), wherein on the first main surface ( 300 ) the power semiconductor module ( 2 ) and thermally conductive with the main body ( 30 ), wherein a plurality of cooling channels ( 32 ) through the main body ( 30 ) from the first ( 302 ) to the second side surface ( 303 ), the first page element ( 40 ) on the first side surface ( 302 ) of the main body ( 30 ) sealingly abuts and one of these first side surface ( 302 ) facing recess ( 42 ) into which the cooling channels ( 32 ) and the first connection room ( 420 ) for these cooling channels ( 32 ), the main body ( 30 ) on its first longitudinal side ( 304 ) a first fluid port ( 34 ), wherein the first fluid port ( 34 ) in a first connection channel ( 36 passing at a first angle (α) between 30 ° and 75 ° at the first side surface ( 302 ) and also into the first connection room ( 420 ) at a first mouth ( 38 ) opens. Anordnung nach Anspruch 1, wobei der erste Anschlusskanal (36) beim Übergang vom ersten Flüssigkeitsanschluss (34) eine erste Breite (362) und erste Querschnittsfläche und bei der ersten Mündung (38) in den ersten Verbindungsraum (420) eine zweite Breite (372) und eine zweite Querschnittsfläche aufweist, wobei die zweite Querschnittsfläche einen Flächeninhalt von 75% bis 125% der ersten Querschnittsfläche aufweist. Arrangement according to claim 1, wherein the first connection channel ( 36 ) at the transition from the first fluid port ( 34 ) a first width ( 362 ) and first cross-sectional area and at the first mouth ( 38 ) into the first connection room ( 420 ) a second width ( 372 ) and a second cross-sectional area, wherein the second cross-sectional area has an area of 75% to 125% of the first cross-sectional area. Anordnung nach Anspruch 2, wobei die erste, die zweite, oder beide Querschnittsflächen rund ausgebildet sind. Arrangement according to claim 2, wherein the first, the second, or both cross-sectional areas are formed round. Anordnung nach Anspruch 3, wobei der erste Flüssigkeitsanschluss (34) von der zugeordneten ersten Seitenfläche (302) einen Abstand (340) aufweist, der zwischen das 0,5- bis 5-fachen der ersten Breite (362) beträgt. Arrangement according to claim 3, wherein the first fluid connection ( 34 ) from the associated first side surface ( 302 ) a distance ( 340 ) which is between 0.5 to 5 times the first width ( 362 ) is. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Anschlusskanal (36) einen ersten geraden Kanalabschnitt (360) senkrecht zur ersten Seitenfläche (304) und einen zweiten geraden Kanalabschnitt (370) aufweist, der unter dem ersten Winkel (α) aus der ersten Seitenfläche (302) in den ersten Verbindungsraum (420) mündet und beide Kanalabschnitte (360, 370) einen Übergangsbereich (364) aufweisen. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein the first connection channel ( 36 ) a first straight channel section ( 360 ) perpendicular to the first side surface ( 304 ) and a second straight channel section ( 370 ), which at the first angle (α) from the first side surface ( 302 ) into the first connection room ( 420 ) and both channel sections ( 360 . 370 ) a transitional area ( 364 ) exhibit. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Kühlkanäle (32) eine dritte Breite (320) und einen äquidistanten Abstand (320) zueinander aufweisen der das 0,2- bis 3-fachen der dritten Breite beträgt. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein the cooling channels ( 32 ) a third width ( 320 ) and an equidistant distance ( 320 ) which is 0.2 to 3 times the third width. Anordnung nach Anspruch 6, wobei die erste Mündung (38) vom benachbarten Kühlkanal (32) einen Abstand (324) aufweist, der das 0,5- bis 5-fachen des Abstandes (322) der Kühlkanäle zueinander beträgt. Arrangement according to claim 6, wherein the first mouth ( 38 ) from the adjacent cooling channel ( 32 ) a distance ( 324 ), which is 0.5 to 5 times the distance ( 322 ) of the cooling channels to each other. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Ausnehmung (42) des ersten Seitenelements (40) eine U-förmige dritte Querschnittsfläche aufweist. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein the recess ( 42 ) of the first page element ( 40 ) has a U-shaped third cross-sectional area. Anordnung nach Anspruch 8, wobei die dritte Querschnittsfläche einen Flächeninhalt hat der über die Länge konstant ist oder von derjenigen Seite die der ersten Mündung (38) zugeordnet ist stetig oder unstetig abnimmt. Arrangement according to claim 8, wherein the third cross-sectional area has an area which is constant over the length or from the side of the first mouth ( 38 ) is steadily or discontinuously decreasing. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Hauptkörper (30) symmetrisch zu seiner Mittelebene (9) ausgebildet ist, und somit auch einen zweiten Flüssigkeitsanschluss (54) aufweist, wobei der zweite Flüssigkeitsanschluss (54) in einen zweiten Anschlusskanal (56) übergeht, der unter einem zweiten Winkel zwischen 30° und 75° an der zweiten Seitenfläche (303) austritt und ebenfalls in den dortigen zweiten Verbindungsraum eines zweiten Seitenelements (60) an einer zweiten Mündung mündet. Arrangement according to one of the preceding claims, wherein the main body ( 30 ) symmetrical to its median plane ( 9 ), and thus also a second liquid connection ( 54 ), wherein the second liquid connection ( 54 ) in a second connection channel ( 56 ), which at a second angle between 30 ° and 75 ° at the second side surface ( 303 ) and also in the local second connection space of a second side element ( 60 ) opens at a second mouth. Anordnung nach Anspruch 10, wobei der erste und zweite Flüssigkeitsanschluss (34, 56) in Längsrichtung des Hauptkörpers (30) nebeneinander angeordnet sind. Arrangement according to claim 10, wherein the first and second fluid connection ( 34 . 56 ) in the longitudinal direction of the main body ( 30 ) are arranged side by side. Kühlsystem (10) mit zwei Anordnungen nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die beiden Anordnungen mit ihren zweiten Seitenflächen (303) parallel und spiegelsymmetrisch zueinander angeordnet sind und mittels einer zusätzlichen Verbindungseinrichtung miteinander verbunden sind. Cooling system ( 10 ) with two arrangements according to one of claims 1 to 9, wherein the two arrangements with their second side surfaces ( 303 ) arranged parallel and mirror-symmetrical to each other are and are interconnected by means of an additional connecting device. Kühlsystem nach Anspruch 12, wobei die Verbindungseinrichtung eine Koppeleinrichtung (70) ist, die zugeordnete zueinander fluchtenden Kühlkanäle (32) zweier Anordnungen jeweils miteinander verbindet. Cooling system according to claim 12, wherein the connecting device comprises a coupling device ( 70 ), the associated mutually aligned cooling channels ( 32 ) connects two arrangements each with each other. Verfahren zur Herstellung einer Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9 mit einem Leistungshalbleitermodul (2) und einer Kühleinrichtung (3), wobei die Kühleinrichtung (3) als Flüssigkeitskühleinrichtung ausgebildet ist, gekennzeichnet durch die folgenden wesentlichen Verfahrensschritte: a) Strangpressen eines Hauptkörpers aus Aluminium oder eine Aluminiumlegierung, wobei hierbei ausschließlich die Kühlkanäle (32) ausgebildet werden; b) Ausbilden eines ersten und zweiten Kanalabschnitts (360, 370), indem der erste Kanalabschnitt (360) von der ersten Längsfläche (304) des Hauptkörpers (30) senkrecht eingebracht wird und wobei der zweite Kanalabschnitt (370) von der ersten Seitenfläche (302) unter einem ersten Winkel (α) zwischen 30° und 75° eingebracht wird; c) Anordnen eines Seitenelements (40) und des Leistungshalbleitermoduls (2). Method for producing an arrangement according to one of Claims 1 to 9 with a power semiconductor module ( 2 ) and a cooling device ( 3 ), wherein the cooling device ( 3 ) is formed as a liquid cooling device, characterized by the following essential process steps: a) extrusion molding of a main body made of aluminum or an aluminum alloy, in which case only the cooling channels ( 32 ) be formed; b) forming a first and a second channel section ( 360 . 370 ), by the first channel section ( 360 ) from the first longitudinal surface ( 304 ) of the main body ( 30 ) is introduced vertically and wherein the second channel section ( 370 ) from the first side surface ( 302 ) is introduced at a first angle (α) between 30 ° and 75 °; c) arranging a page element ( 40 ) and the power semiconductor module ( 2 ). Verfahren nach Anspruch 14, wobei der erste und zweite Kanalabschnitt (360, 370) jeweils mittels eines spanenden Verfahrens eingebracht wird. The method of claim 14, wherein the first and second channel sections ( 360 . 370 ) is introduced in each case by means of a cutting process.
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