Technisches GebietTechnical area
Die vorliegende Erfindung offenbart eine Substratbeförderungsanlage, wobei hierbei insbesondere eine Anlage betroffen ist, bei der während der Beförderung auf der Substratoberfläche sich eine gleichmäßig verteilte chemische Reaktion erreichen lässt.The present invention discloses a substrate conveying system, which in particular involves a system in which a uniformly distributed chemical reaction can be achieved during transport on the substrate surface.
Stand der TechnikState of the art
Die Eigenschaften von Dünnschichten hängen stark von den Herstellungsprozessen ab. Um bei dem Dünnschichtmaterial in den Bestandteilen und Strukturen im Gleichgewichtszustand neue Eigenschaften zu erzielen, wird heutzutage bei dem Herstellungsprozess das Dünnschichtmaterial im Nichtgleichgewichtszustand verarbeitet. Dabei ist die chemische Badabscheidung (CBD) eines der Verfahren zur Herstellung der Dünnschichten.The properties of thin films depend heavily on the manufacturing processes. In order to obtain new properties in the thin film material in the components and structures in the equilibrium state, the thin film material is now processed in the non-equilibrium state in the manufacturing process. Here, the chemical bath deposition (CBD) is one of the methods for the production of thin films.
Bekanntlicherweise ist CBD eines der verwendeten Abscheidungsverfahren. Bei dem üblichen CBD-Verfahren wird das zu verarbeitende Substrat (beispielsweise rostfreier Stahl usw.) für eine bestimmt Zeitdauer in das Bad des chemischen Lösungsmittels eingetaucht, sodass auf der Substratoberfläche sich nach der Abscheidung eine halbleitende Dünnschicht ausbildet. Bei einem bekannten chemischen Abscheidungsverfahren geschieht die Abscheidung während der Beförderung. Bei der bekannten Drehscheibenvorrichtung werden Drehscheiben zum Antreiben und Weiterbefördern der Substrate eingesetzt. Während der Beförderung der Substrate kommt es vereinzelt auch vor, dass das Substrat sich abweichend von der Transportrichtung schief bewegt, oder ein Teil des Substrats sich sogar von der Beförderungsanlage löst und entgleist, was sicherlich viele Probleme beim Transport verursacht.As is known, CBD is one of the deposition methods used. In the conventional CBD method, the substrate to be processed (for example, stainless steel, etc.) is immersed in the bath of the chemical solvent for a certain period of time so that a semiconductive thin film is formed on the substrate surface after deposition. In a known chemical deposition process, the deposition occurs during transportation. In the known turntable device turntables are used for driving and advancing the substrates. Occasionally, during transport of the substrates, the substrate may also move obliquely in a deviation from the transport direction, or even part of the substrate may detach and derail from the conveyor system, which will certainly cause many transport problems.
Außerdem treiben bei der bekannten Beförderungsanlage die Drehscheiben das Substrat zur Beförderung direkt an. An den Stellen, wo die Drehscheiben das Substrat direkt berühren und antreiben, üben die Drehscheiben eine Druckkraft auf das Substrat aus, sodass auf dem Substrat, je nachdem, ob an der Stelle ein direkter Kontakt zwischen den Drehscheiben und dem Substrat besteht, die Kraftverteilung unterschiedlich ist. Diese ungleichmäßige Kraftverteilung schlägt sich auch auf die chemische Reaktionsrate nieder, beispielsweise kommt es zu einer ungleichmäßig verteilten Abscheidung bei dem chemischen Abscheidungsprozess. Deshalb führt eine ungleichmäßige Druckkraftverteilung strukturell zu einer Ungleichmäßigkeit auf der Substratoberfläche. Beispielsweise sind die unterschiedlichen Dicken der abgeschiedenen halbleitenden Substratdünnschicht auf die ungleichmäßige Druckverteilung beim chemischen Abscheidungsprozess zurückzuführen.In addition, drive in the known conveyor the rotors the substrate for transport directly. At the locations where the hubs directly contact and drive the substrate, the hubs exert a compressive force on the substrate so that the force distribution on the substrate differs depending on whether there is direct contact between the hubs and the substrate at that location is. This uneven force distribution is also reflected in the chemical reaction rate, for example, unevenly distributed deposition occurs in the chemical deposition process. Therefore, uneven compressive force distribution structurally results in unevenness on the substrate surface. For example, the different thicknesses of the deposited semiconductive substrate thin film are due to the uneven pressure distribution in the chemical deposition process.
Inhalte der ErfindungContents of the invention
Aufgrund der bekannten technischen Mängel offenbart die vorliegende Erfindung eine Substratbeförderungsanlage, bei der die chemische Reaktion während der Beförderung gleichmäßig auf der Substratoberfläche stattfindet.Due to the known technical defects, the present invention discloses a substrate conveying system in which the chemical reaction takes place uniformly on the substrate surface during conveyance.
In der einen Ausgestaltungsform offenbart die vorliegende Erfindung eine Substratbeförderungsanlage, um die Substrate zu befördern, wobei diese umfasst:
einen Träger, welcher dazu dient, das Substrat zu tragen;
eine Antriebsvorrichtung, die die für die Beförderung des Substrats erforderlichen Schubkräfte bereitstellt;
eine Schienengruppe und eine Rollstückgruppe, wobei die Schienengruppe und Rollstückgruppe sich zwischen dem Träger und der Antriebsvorrichtung befinden. Es darf zwischen der Schienengruppe und der Rollstückgruppe eine relative Bewegung stattfinden, wobei die Schienengruppe eine erste sowie eine zweite Schiene umfasst, wobei derjenige Abschnitt, bei dem zwischen der ersten und der zweiten Schiene „der erste Abstand” herrscht und derjenige Abschnitt, wo zwischen der ersten und der zweiten Schiene „der zweite Abstand” herrscht, jeweils als der erste und der zweite Schienenabschnitt der Schienengruppe definiert werden, und wobei der erste und zweite Abstand voneinander abweichen.In one embodiment, the present invention discloses a substrate conveyor to convey the substrates, comprising:
a support which serves to support the substrate;
a drive device that provides the thrust forces required to transport the substrate;
a rail group and a rolling stock group, the rail group and rolling stock group being located between the carrier and the driving device. There may be a relative movement between the rail group and the rolling stock group, wherein the rail group comprises a first and a second rail, wherein that portion in which between the first and the second rail "the first distance" prevails and the portion where between the first and second rail "the second distance" prevails, respectively, are defined as the first and the second rail portion of the rail group, and wherein the first and second distances are different from each other.
Dabei treibt die Antriebsvorrichtung anhand der erwähnten Schienengruppe und Rollstückgruppe den Träger mitsamt dem Substrat in Beförderungsrichtung an. Wenn das Substrat sich im ersten Schienenabschnitt aufhält, weist das Substrat die erste Breite auf, wohingegen das Substrat die zweite Breite aufweist, wenn das Substrat sich im zweiten Schienenabschnitt aufhält, wobei die erste und zweite Breite unterschiedlich sind. Sobald das Substrat vom ersten zum zweiten Schienenabschnitt übergeht, ändert sich auch die Oberflächenspannung des Substrats.In this case, the drive device drives the carrier together with the substrate in the conveying direction on the basis of the mentioned rail group and rolling piece group. When the substrate is in the first rail portion, the substrate has the first width, whereas the substrate has the second width when the substrate is in the second rail portion, the first and second widths being different. As the substrate transitions from the first to the second rail section, the surface tension of the substrate also changes.
Bei der vorzugsweise verwendeten Ausgestaltungsform weist der Träger die erste und die zweite Klemmengruppe auf, wobei die erste sowie die zweite Klemmengruppe sich jeweils an einem der gegenüberliegenden Seitenränder des Substrats festklammern.In the preferred embodiment, the carrier has the first and second terminal groups, with the first and second terminal groups each clinging to one of the opposite side edges of the substrate.
Die erste und die zweite Schiene verlaufen quasi parallel zueinander.The first and the second rail are more or less parallel to each other.
Die erste Schiene befindet sich in der ersten Höhe, die zweite Schiene befindet sich in der zweiten Höhe und das Substrat ist in der dritten Höhe angeordnet. Sowohl die erste Höhe als auch die zweite Höhe sind dabei höher als die dritte Höhe.The first rail is at the first height, the second rail is at the second height and the substrate is at the third height arranged. Both the first height and the second height are higher than the third height.
Die Rollstückgruppe umfasst eine Vielzahl von den ersten Rollstücken sowie eine Vielzahl von zweiten Rollstücken.The rolling stock group includes a plurality of the first rolling pieces and a plurality of second rolling pieces.
In der anderen Ausgestaltungsform offenbart die vorliegende Erfindung eine Substratbeförderungsanlage, die sich für die Beförderung der Substrate eignet, die umfasst:
einen Träger, der eine Lösungsmittelabdeckung sowie einen Befestigungsmechanismus aufweist. Die Lösungsmittelabdeckung umschließt das Substrat, sodass sich zwischen der Lösungsmittelabdeckung und dem Substrat ein hermetischer Innenraum ausbildet. Der Befestigungsmechanismus sorgt für einen engen Kontakt zwischen dem Lösungsmittel und dem Substrat.
eine Antriebsvorrichtung, die die für die Beförderung des Substrats erforderliche Schubkraft bereitstellt;
eine Schienengruppe sowie eine Rollstückgruppe. Die Schienengruppe und Rollstückgruppe befinden sich zwischen dem Träger und der Antriebsvorrichtung. Zwischen der Schienengruppe und der Rollstückgruppe darf eine relative Bewegung stattfinden. Die Rollstückgruppe lässt sich in die ersten und zweiten Rollstücke aufteilen, die ersten und die zweiten Rollstücke sind jeweils auf den beiden Seiten des Trägers angeordnet. Außerdem weist die Schienengruppe die erste und die zweite Schiene auf. Die erste und zweite Schiene sind in der Beförderungsrichtung auf den beiden Seiten angeordnet. Die erste Schiene und die zweite Schiene weisen jeweils Kontakt mit den ersten und den zweiten Rollstücken auf.In the other embodiment, the present invention discloses a substrate conveying system suitable for transporting the substrates, comprising:
a carrier having a solvent cover and a fixing mechanism. The solvent cover encloses the substrate such that a hermetic interior forms between the solvent cover and the substrate. The attachment mechanism provides close contact between the solvent and the substrate.
a drive device that provides the thrust required to convey the substrate;
a rail group and a group of rolling stock. The rail group and rolling stock group are located between the carrier and the drive device. There may be relative movement between the rail group and the rolling stock group. The rolling stock group can be divided into the first and second rolling pieces, the first and the second rolling pieces are respectively arranged on the two sides of the carrier. In addition, the rail group on the first and the second rail. The first and second rails are arranged on the two sides in the conveying direction. The first rail and the second rail respectively contact the first and second rolling pieces.
Dabei treibt die Antriebsvorrichtung mithilfe der ersten Schiene die ersten Rollstücke und mithilfe der zweiten Schienen die zweiten Rollstücke an, sodass der Träger mitsamt dem Substrat sich in Beförderungsrichtung weiterbewegt.In this case, the drive device drives the first rolling pieces by means of the first rail and the second rolling pieces by means of the second rails, so that the carrier together with the substrate moves in the conveying direction.
Bei der vorzugsweise verwendeten Ausgestaltungsform weist die erste Schiene eine Vielzahl von ersten Rollstücken und die zweite Schiene eine Vielzahl von zweiten Rollstücken auf.In the preferred embodiment, the first rail has a plurality of first rolling pieces and the second rail has a plurality of second rolling pieces.
Die ersten und die zweiten Rollstücke sind dabei auf der Lösungsmittelabdeckung angeordnet.The first and the second rolling pieces are arranged on the solvent cover.
Die ersten und die zweiten Rollstücke sind dabei durch den Befestigungsmechanismus befestigt.The first and the second rolling pieces are fastened by the fastening mechanism.
Bei dem Befestigungsmechanismus handelt es sich um Klemmen.The attachment mechanism is a clamp.
Zwischen der Schienengruppe und der Rollstückgruppe ist eine Anschlagsstruktur vorgesehen, sodass sichergestellt wird, dass die Beförderung des Trägers sowie des Substrats nur innerhalb des durch die erste und die zweite Schiene eingegrenzten Bereichs stattfinden kann.A stop structure is provided between the rail group and the piece of rolling stock, so as to ensure that the carriage of the carrier as well as the substrate can take place only within the area bounded by the first and the second rail.
Die Anschlagsstruktur umfasst eine Rille sowie einen Vorsprung, wobei die Rille an der Schienengruppe und der Vorsprung an der Rollstückgruppe angeordnet sind.The abutment structure comprises a groove and a projection, wherein the groove is arranged on the rail group and the projection on the piece of rolling stock.
Im Vergleich zum Stand der Technik zeichnet sich die vorliegende Erfindung dadurch aus, dass das Substrat während der Beförderung immer stabil bleibt und die Beförderung immer reibungslos verläuft, sodass die auf dem Substrat stattfindende chemische Reaktion immer gleichmäßig bzw. homogen abläuft.Compared with the prior art, the present invention is characterized in that the substrate always remains stable during transport and the transport always runs smoothly, so that the chemical reaction taking place on the substrate always proceeds uniformly or homogeneously.
Figurenlistelist of figures
Es zeigt:It shows:
die 1 schematisch die Strukturansicht der ersten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung;the 1 schematically the structural view of the first embodiment of the present invention;
die 2 schematisch die Querschnittsansicht A-A der 1;the 2 schematically the cross-sectional view AA of 1 ;
die 3 sowie die 4 schematisch die Ansicht zur Veranschaulichung der Bewegungsabläufe in der ersten Ausgestaltungsform von 1;the 3 as well as the 4 schematically the view for illustrating the movements in the first embodiment of 1 ;
die 5 schematisch die Strukturansicht der zweiten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung;the 5 schematically the structural view of the second embodiment of the present invention;
die 6 sowie die 7 schematisch die Ansicht zur Veranschaulichung der Bewegungsabläufe in der zweiten Ausgestaltungsform von 5;the 6 as well as the 7 schematically the view for illustrating the movement sequences in the second embodiment of 5 ;
die 8 die Explosionszeichnung der dritten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung;the 8th the exploded view of the third embodiment of the present invention;
die 9 strukturell die Draufsicht der in der 8 dargestellten Ausgestaltungsform;the 9 structurally the top view of the 8th illustrated embodiment;
die 10 die strukturelle Querschnittsansicht B-B der 9 in vergrößerter Darstellung;the 10 the structural cross-sectional view BB of 9 in an enlarged view;
die 11 die halbe Strukturansicht der vierten Ausgestaltungsform;the 11 the half structure view of the fourth embodiment;
die 12 die Querschnittsansicht der fünften Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung;the 12 the cross-sectional view of the fifth embodiment of the present invention;
die 13 die Querschnittsansicht der sechsten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung.the 13 the cross-sectional view of the sixth embodiment of the present invention.
[Bezugzeichenliste]: [REFERENCE LIST]:
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100, 100A Substratbeförderungsanlage; 10 Schienengruppe; 11 erste Schiene; 111 erster Schienenabschnitt; 112 zweiter Schienenabschnitt; 113 erster Pufferabschnitt; 12 zweite Schiene; 121 dritter Schienenabschnitt; 122 vierter Schienenabschnitt; 123 zweiter Pufferabschnitt; 20 Rollstückgruppe; 21 erste Rollstücke; 211 erste Klemmen; 221 zweite Klemmen; 22 zweite Rollstücke; 30 Substrat; 31 erster Seitenrand; 32 zweiter Seitenrand; 40 Schienengruppe; 41 erste Schiene; 411 fünfter Schienenabschnitt; 412 sechster Schienenabschnitt; 413 dritter Pufferabschnitt; 42 zweite Schiene; 50 Rollstückgruppe; 51 erste Rollstücke; 511 erste Klemmen; 52 zweite Rollstücke; 521 zweite Klemmen; 600 Substratbeförderungsanlage; 60, 60A, 60B Träger; 61, 61A, 61B erste Rollstücke; 611A, 611B Vorsprung; 62 zweite Rollstücke; 63 Lösungsmittelabdeckung; 64 Befestigungsmechanismus; 70 erste Schiene; 71, 71A, 71B erste Rollräder; 711 erste Anschlagsstruktur; 711A, 711B Rille; 80 zweite Schiene; 81 zweite Rollräder; 811 zweite Anschlagsstruktur; D1 erster Abstand; D2 zweiter Abstand; F1 Beförderungsrichtung; H1 erste Höhe; H2 zweite Höhe; H3 dritte Höhe; L1 erstes Segment; L2 zweites Segment; W1 erste Breite; W2 zweite Breite 100 . 100A Substrate transport system; 10 Rail group; 11 first rail; 111 first rail section; 112 second rail section; 113 first buffer section; 12 second rail; 121 third rail section; 122 fourth rail section; 123 second buffer section; 20 Roll-piece group; 21 first pieces of rolling stock; 211 first terminals; 221 second terminals; 22 second pieces of rolling stock; 30 substrate; 31 first margin; 32 second margin; 40 Rail group; 41 first rail; 411 fifth rail section; 412 sixth rail section; 413 third buffer section; 42 second rail; 50 Roll-piece group; 51 first pieces of rolling stock; 511 first terminals; 52 second pieces of rolling stock; 521 second terminals; 600 Substrate transport system; 60 . 60A . 60B Carrier; 61 . 61A . 61B first pieces of rolling stock; 611A . 611B Head Start; 62 second pieces of rolling stock; 63 Solvent cover; 64 Fixing mechanism; 70 first rail; 71 . 71A . 71B first rolling wheels; 711 first stop structure; 711A . 711B Groove; 80 second rail; 81 second rolling wheels; 811 second stop structure; D1 first distance; D2 second distance; F1 transport direction; H1 first height; H2 second altitude; H3 third altitude; L1 first segment; L2 second segment; W1 first width; W2 second width
Technische UmsetzungTechnical implementation
Im Folgenden wird mithilfe der beigefügten Figuren auf die eingesetzte Technik sowie deren Vorzüge zum Erreichen der eingangs erwähnten Aufgaben ausführlich eingegangen, dabei sollen die in den Figuren aufgeschlüsselten Ausgestaltungsformen ausschließlich einem besseren Verständnis dienen und die erfindungsgemäße Technik soll sich nicht darauf beschränken.In the following, the technique used and its advantages for achieving the objects mentioned in the introduction will be discussed in detail with the aid of the attached figures, the embodiments being dissected in the figures should serve exclusively for a better understanding and the technique according to the invention should not be limited thereto.
Es sei hier erst auf die in den 1 und 2 veranschaulichte erste Ausgestaltungsform hingewiesen. Dabei ist die 1 die Strukturansicht der ersten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung, wohingegen es sich bei der 2 um die Querschnittsansicht A-A der 1 handelt. Die Substratbeförderungsanlage 100 umfasst einen Träger, eine Antriebsvorrichtung (nicht in der Fig. dargestellt), eine Schienengruppe 10 und eine Rollstückgruppe 20. Dabei umfasst der Träger eine aus den ersten Klemmen 221 bestehende erste Klemmengruppe sowie eine aus den zweiten Klemmen 221 bestehende zweite Klemmengruppe. Der Träger trägt dabei das Substrat 30 und die Antriebsvorrichtung sorgt für die benötigten Schubkräfte zum Antreiben der Substrate 30. Die Schienengruppe 10 umfasst ihrerseits die erste 11 sowie die zweite Schiene 12, wobei die erste 11 und die zweite Schiene 12 symmetrisch angeordnet sind. Die erste 11 und die zweite Schiene 12 sind parallel zueinander. Die Schienengruppe 10 und die Rollstückgruppe 20 befinden sich zwischen dem Träger und der Antriebsvorrichtung. Dabei darf zwischen der Rollstückgruppe 20 und der Schienengruppe 10 eine relative Bewegung stattfinden.It is only here in the 1 and 2 illustrated first embodiment. It is the 1 the structural view of the first embodiment of the present invention, whereas it is in the 2 around the cross-sectional view AA of 1 is. The substrate conveyor system 100 comprises a carrier, a drive device (not shown in the figure), a rail group 10 and a group of tracks 20 , The carrier comprises one of the first terminals 221 existing first terminal group and one of the second terminals 221 existing second terminal group. The carrier carries the substrate 30 and the drive device provides the required thrust forces for driving the substrates 30 , The rail group 10 in turn, includes the first one 11 as well as the second rail 12 , where the first 11 and the second rail 12 are arranged symmetrically. The first 11 and the second rail 12 are parallel to each other. The rail group 10 and the group of tracks 20 are located between the carrier and the drive device. It may between the rolling stock group 20 and the rail group 10 a relative movement take place.
Die erste Schiene beinhaltet den ersten Schienenabschnitt 111 sowie den zweiten Schienenabschnitt 112. Zwischen dem ersten 111 und dem zweiten Schienenabschnitt 112 befindet sich der erste Pufferabschnitt 113. Die zweite Schiene 12 umfasst wiederum den dritten Schienenabschnitt 121 sowie den vierten Schienenabschnitt 122. Zwischen dem dritten 121 und dem vierten Schienenabschnitt 122 befindet sich wieder der zweite Pufferabschnitt 123. Der erste, zweite, dritte sowie der vierte Schienenabschnitt verlaufen längs der Beförderungsrichtung F1. Der erste Schienenabschnitt 111 steht parallel zum dritten Schienenabschnitt 121, gleichfalls steht der zweite Schienenabschnitt 112 parallel zum vierten Schienenabschnitt 122. Weiterhin definiert sich dasjenige Segment, bei dem zwischen der ersten Schiene 11 und der zweiten Schiene 12 der Abstand D1 herrscht, als das erste Segment L1, das heißt, das erste Segment L1 beinhaltet die Fläche, die durch den ersten Schienenabschnitt 111 und den dritten Schienenabschnitt 121 ausgebildet ist. In gleicher Weise wird dasjenige Segment, bei dem zwischen den Schienen 11 und 12 der Abstand D2 herrscht, als das zweite Segment L2 definiert. Das zweite Segment umschließt die Fläche, die von dem zweiten Schienenabschnitt 112 und dem vierten Schienenabschnitt 122 ausgebildet ist. Dabei sind die Abstände D1 und D2 unterschiedlich. In der vorliegenden Ausgestaltungsform ist der Abstand D2 größer als D1.The first rail includes the first rail section 111 and the second rail section 112 , Between the first 111 and the second rail section 112 is the first buffer section 113 , The second rail 12 again comprises the third rail section 121 and the fourth rail section 122 , Between the third 121 and the fourth rail section 122 is again the second buffer section 123 , The first, second, third and fourth rail sections extend along the conveying direction F1. The first rail section 111 is parallel to the third rail section 121 , likewise the second rail section 112 parallel to the fourth rail section 122 , Furthermore, that segment is defined in which between the first rail 11 and the second rail 12 the distance D1 prevails, as the first segment L1, that is, the first segment L1 includes the area passing through the first rail section 111 and the third rail section 121 is trained. In the same way, that segment, in which between the rails 11 and 12 the distance D2 prevails as the second segment L2 defines. The second segment encloses the surface of the second rail section 112 and the fourth rail section 122 is trained. The distances D1 and D2 are different. In the present embodiment, the distance D2 is greater than D1.
Den Längen von dem ersten 113 und dem zweiten Pufferabschnitt 123 sind keine Grenzen gesetzt. Die zwei Pufferabschnitte dienen dazu, dass es somit vom ersten Schienenabschnitt 111 zum zweiten Schienenabschnitt 112 sowie vom dritten Schienenabschnitt 121 zum vierten Schienenabschnitt 122 vergleichsweise sanft übergeht.The lengths of the first 113 and the second buffer section 123 There are no limits. The two buffer sections thus serve to separate it from the first rail section 111 to the second rail section 112 as well as the third rail section 121 to the fourth rail section 122 comparatively gentle passes.
Die Rollstückgruppe 20 umfasst eine Vielzahl von ersten Rollstücken 21 sowie eine Vielzahl von zweiten Rollstücken 22. Dabei sind in der ersten Ausgestaltungsform die Rollstücke 21 sowie die Rollstücke 22 als Rollräder ausgeführt. Die ersten Rollstücke 21 sind auf der ersten Schiene 11 angebracht. Jedes der ersten Rollstücke weist eine der ersten Klemmen 211 auf. Eine Vielzahl von den ersten Klemmen 211 bildet zusammen die erste Klemmengruppe. Die zweiten Rollstücke 22 sind auf der zweiten Schiene 12 angebracht, Jedes der zweiten Rollstücke 22 weist eine zweite Klemme 221 auf. Eine Vielzahl von zweiten Klemmen 221 bildet die zweite Klemmengruppe. Die ersten Klemmen 211 sind an dem einen Seitenrand 31 des Substrats 30 festgeklemmt, ebenfalls sind die zweiten Klemmen 221 an dem anderen Seitenrand 32 des Substrats 30. Der erste 31 und der zweite Seitenrand des Substrats sind die zwei gegenüberliegenden Seiten des Substrats 30. Dabei ist das Substrat als eine dünne Scheibe aus elastischem Material ausgebildet.The rolling piece group 20 includes a variety of first rolling pieces 21 and a variety of second Rollstücken 22 , In this case, in the first embodiment, the rolling pieces 21 as well as the rolling pieces 22 designed as rolling wheels. The first pieces of rolling 21 are on the first track 11 appropriate. Each of the first rolls has one of the first clamps 211 on. A variety of the first terminals 211 together forms the first terminal group. The second rolls 22 are on the second track 12 attached, each of the second rolls 22 has a second clamp 221 on. A variety of second terminals 221 forms the second terminal group. The first terminals 211 are on the one side edge 31 of the substrate 30 clamped, too are the second terminals 221 on the other side edge 32 of the substrate 30 , The first 31 and the second side edge of the substrate are the two opposite sides of the substrate 30 , In this case, the substrate is formed as a thin disc of elastic material.
Es sei hier auf die 2 hingewiesen. Hier zeigt die 2 schematisch die Querschnittsansicht A-A der 1, wobei sich die erste Schiene auf der ersten Höhe H1 und die zweite Schiene auf der zweiten Höhe H2 befindet. Das Substrat wird durch die ersten Klemmen 211 sowie die zweiten Klemmen 221 auf der dritten Höhe H3 festgehalten. Dabei ist sowohl die erste Höhe H1 als auch die zweite Höhe H2 größer als die dritte Höhe H3. Anders ausgedrückt, sind die erste Schiene 11, die zweite Schiene 12, die ersten Rollstücke 21 und die zweiten Rollstücke höher angeordnet als das Substrat 30. Normalerweise ist die erste Höhe H1 der zweiten Höhe H2 gleichzusetzen. Die ersten Klemmen 211 und die zweiten Klemmen 221 klammern das Substrat auf der dritten Höhe H3, sodass das Substrat sich mit bewegt.It is here on the 2 pointed. Here shows the 2 schematically the cross-sectional view AA of 1 , wherein the first rail is at the first height H1 and the second rail is at the second height H2. The substrate is through the first terminals 211 and the second terminals 221 held at the third height H3. In this case, both the first height H1 and the second height H2 is greater than the third height H3. In other words, the first rail 11 , the second rail 12 , the first pieces of rolling stock 21 and the second rolling pieces are arranged higher than the substrate 30 , Normally, the first height H1 is equal to the second height H2. The first terminals 211 and the second terminals 221 Clamp the substrate at the third height H3 so that the substrate moves with it.
Wie aus den 1, 3 und 4 hervorgeht, handelt es sich bei den 3 und 4 um die Bewegungsansichten der vorliegenden Ausgestaltungsform. Dabei wird die Rollstückgruppe 20 von der Antriebsvorrichtung zur Beförderung angetrieben, wobei die Antriebsvorrichtung die benötigte Schubkraft bereitstellt, sodass die ersten Rollstücke 21 sowie die zweiten Rollstücke 22 jeweils auf der ersten Schiene 11 und der zweiten Schiene 12 rollen können, gleichzeitig klammern die ersten Klemmen 211 und die zweiten Klemmen 221 das Substrat 30 fest, sodass das Substrat sich mitbewegt. Das Substrat 30 wird von der einen Seite der Schienengruppe 10, wo die Schienen aus den ersten 111 und dritten Schienenabschnitten 121 bestehen, zu der anderen Seite der Schienengruppe 10, wo die Schienen aus den zweiten 112 und vierten Schienenabschnitten bestehen, gemäß der in der Fig. angedeuteten Beförderungsrichtung befördert.Like from the 1 . 3 and 4 it appears that the 3 and 4 around the movement views of the present embodiment. This is the rolling stock group 20 driven by the drive device for transport, wherein the drive device provides the required thrust, so that the first rolling pieces 21 as well as the second rolls 22 each on the first rail 11 and the second rail 12 can roll at the same time cling the first terminals 211 and the second terminals 221 the substrate 30 firm so that the substrate moves with it. The substrate 30 is from one side of the rail group 10 where the rails from the first 111 and third rail sections 121 exist, to the other side of the rail group 10 where the rails from the second 112 and fourth rail sections are conveyed according to the conveying direction indicated in the figure.
Es sei auf die 1 verwiesen, wenn sich all die ersten Rollstücke 21 auf dem ersten Schienenabschnitt 111 sowie all die zweiten Rollstücke 22 auch dem dritten Schienenabschnitt 121 befinden, anders formuliert, wenn das Substrat 30 sich auf dem ersten Segment L1 aufhält, werden der erste Seitenrand 31 und der zweite Seitenrand 32 jeweils durch die ersten 211 und die zweiten Klemmen 221 festgeklemmt. Die Breite des Substrats entspricht der ersten Breite W1.It's on the 1 referenced when all the first pieces of rolling 21 on the first rail section 111 as well as all the second rolls 22 also the third rail section 121 put differently, if the substrate 30 being on the first segment L1 becomes the first margin 31 and the second margin 32 each by the first 211 and the second terminals 221 clamped. The width of the substrate corresponds to the first width W1.
Falls die Rollstücke 20 sich gemäß der 3 in der Beförderungsrichtung F1 weiterbewegen, können die ersten 21 und zweiten Rollstücke 22 sich jeweils zum Teil auf dem ersten Schienenabschnitt 111 und dem dritten Schienenabschnitt 121, zum Teil auf dem ersten 113 und dem zweiten Pufferabschnitt 123 sowie auch zum Teil auf dem zweiten 112 und dem vierten Schienenabschnitt 122 aufhalten. Da der zweite Abstand D2 zwischen dem zweiten 112 und vierten 122 Schienenabschnitt größer als der zwischen dem ersten 111 und dritten Schienenabschnitt 121 herrschende erste Abstand D1 ist, ist für die auf dem zweiten 112 und vierten Schienenabschnitt 122 befindlichen ersten 21 und zweiten 22 Rollstücke ein abgespreizter Schienenweg ausgebildet, somit üben die ersten 211 und die zweiten Klemmen 221 jeweils erhöhte Zugkräfte sowohl auf den ersten Seitenrand 31 als auch auf den zweiten Seitenrand 32 des Substrats 30 aus. Dies führt dazu, dass die Breite des Substrats sich auf die zweite Breite W2 erhöht.If the rolling pieces 20 according to the 3 in the transport direction F1, the first 21 and second pieces of rolling stock 22 each partially on the first rail section 111 and the third rail section 121 , partly on the first 113 and the second buffer section 123 as well as partly on the second 112 and the fourth rail section 122 stop them. Since the second distance D2 between the second 112 and fourth 122 Rail section larger than the one between the first 111 and third rail section 121 ruling first distance D1 is for the second 112 and fourth rail section 122 located first 21 and second 22 Roll pieces formed a splayed track, thus practicing the first 211 and the second terminals 221 each increased tensile forces both on the first side edge 31 as well as on the second margin 32 of the substrate 30 out. As a result, the width of the substrate increases to the second width W2.
Es sei auf die 4 hingewiesen. Wenn all die ersten Rollstücke 21 und all die zweiten Rollstücke 22 jeweils auf dem zweiten 112 und dem vierten Schienenabschnitt 122 sich aufhalten, das heißt, wenn das Substrat 30 sich gänzlich auf dem zweiten Segment L2 aufhält, werden der erste 31 und der zweite Seitenrand durch die ersten 211 und die zweiten Klemmen 221 festgehalten, dabei weist das Substrat die zweite Breite W2 auf. Die zweite Breite W2 ist größer als die erste Breite W1. In dem Moment sind die Zugkräfte, die von den ersten 211 und zweiten Klemmen 221 jeweils auf die Seitenränder 31 und 32 ausgeübt werden, größer geworden. Dies sorgt auf der Substratoberfläche für eine symmetrische Oberflächenspannung und eine gute Ebenheit während der Substratbeförderung. Sollte sich die Differenz zwischen dem zweiten Abstand D2 und dem ersten Abstand D1 weiter erhöhen, erhöhen sich dementsprechend auch die Zugkräfte an den ersten 31 und zweiten 32 Seitenrändern. Je nach Bedarf werden die ersten 11 und die zweiten Schienen 12 darauf angepasst. Mit anderen Worten, wenn das Substrat 30 vom ersten Segment L1 auf das zweite Segment L2 übergeht, ändert sich auch die Oberflächenspannung des Substrats 30.It's on the 4 pointed. If all the first pieces of rolling 21 and all the second rolls 22 each on the second 112 and the fourth rail section 122 to stay, that is, when the substrate 30 is completely on the second segment L2, the first 31 and the second margin through the first 211 and the second terminals 221 held, while the substrate has the second width W2. The second width W2 is greater than the first width W1. At the moment, the pulling forces are the first 211 and second terminals 221 each on the margins 31 and 32 be exercised, become bigger. This provides symmetric surface tension and good flatness during substrate transport on the substrate surface. Should the difference between the second distance D2 and the first distance D1 continue to increase, accordingly, the tensile forces on the first increase as well 31 and second 32 Margins. According to need, the first 11 and the second rails 12 adapted to it. In other words, if the substrate 30 from the first segment L1 to the second segment L2, the surface tension of the substrate also changes 30 ,
Es sei weiterhin auf die 2 hingewiesen. Hierbei sind die erste Schiene 11 und die zweite Schiene 12 mit jeweils der ersten Höhe H1 und der zweiten Höhe H2 höher als das auf der dritten Höhe H3 befindliche Substrat 30. Fall es sich bei den auf dem Substrat zu verarbeitenden chemischen Stoffen um ätzende Chemikalien handelt, bleiben die ersten 21 sowie die zweiten Rollstücke 22 aufgrund der niedrig angesetzten Operationsplattform von den ätzenden Chemikalien unbetroffen. Somit lässt sich vermeiden, dass die ersten 11 und die zweiten Rollstücke 12 von den ätzenden Chemikalien angegriffen und beschädigt werden. Somit ist der Verlauf der Substratbeförderung sanft und reibungslos.It is still on the 2 pointed. Here are the first rail 11 and the second rail 12 each having the first height H1 and the second height H2 higher than the substrate located at the third height H3 30 , If the chemical substances to be processed on the substrate are corrosive chemicals, the first ones remain 21 as well as the second rolls 22 unaffected by the corrosive chemicals due to the low scheduled operating platform. Thus it can be avoided that the first 11 and the second rolls 12 be attacked and damaged by the corrosive chemicals. Thus, the progress of substrate conveyance is smooth and smooth.
Aus der 5 geht die zweite Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung hervor. Die erfindungsgemäße Substratbeförderungsanlage umfasst eine Schienengruppe 40 sowie eine Rollstückgruppe 50, wobei die Schienengruppe die erste 41 und die zweite Schiene 42 umfasst, und die Rollstückgruppe 50 beinhaltet eine Vielzahl von den ersten 51 und zweiten Rollstücken 52. Hierbei ist eine Vielzahl der ersten Rollstücke 51 für die erste Schiene 51, und eine Vielzahl der zweiten Rollstücke 52 für die zweite Schiene vorgesehen. Jedes der ersten Rollstücke 51 weist eine der ersten Klemmen 511 und jedes der zweiten Rollstücke 52 weist eine der zweiten Klemmen 521 auf. Dabei klammern sich die ersten 51 und die zweiten Klemmen 52 jeweils an dem einen 31 und dem anderen Seitenrand 32 des Substrats 30 fest.From the 5 shows the second embodiment of the present invention. The substrate conveying system according to the invention comprises a rail group 40 as well as one Roll-piece group 50 , where the group of rails is the first 41 and the second rail 42 includes, and the rolling stock group 50 includes a variety of the first 51 and second rolls 52 , Here is a large number of the first pieces of rolling stock 51 for the first rail 51 , and a variety of the second rolling pieces 52 intended for the second rail. Each of the first pieces of rolling stock 51 has one of the first terminals 511 and each of the second pieces of rolling stock 52 has one of the second terminals 521 on. The first ones are clinging 51 and the second terminals 52 each at the one 31 and the other margin 32 of the substrate 30 firmly.
Die vorliegende Ausgestaltungsform unterscheidet sich von der in der Fig. vorgestellten dadurch, dass die jetzige zweite Schiene 42 eine geradlinige Schiene ist. Die erste Schiene 41 weist dabei einen fünften Schienenabschnitt 411 sowie einen sechsten Schienenabschnitt 412 auf. Zwischen dem fünften 411 und dem sechsten Schienenabschnitt 412 befindet sich der dritte Pufferabschnitt 413. Die erste Schiene 41, der fünfte Schienenabschnitt 411 sowie der sechste Schienenabschnitt 412 erstrecken sich parallel zur Beförderungsrichtung F1. Es herrschen zwischen dem fünften Schienenabschnitt 411 und der zweiten Schiene 42 und zwischen dem sechsten Schienenabschnitt 412 und der zweiten Schiene 42 jeweils der erste Abstand D1 und der zweite Abstand D2. Dabei ist D2 betragsmäßig größer als D1.The present embodiment differs from that presented in the figure in that the current second rail 42 a straight-line rail is. The first rail 41 has a fifth rail section 411 and a sixth rail section 412 on. Between the fifth 411 and the sixth rail section 412 there is the third buffer section 413 , The first rail 41 , the fifth rail section 411 and the sixth rail section 412 extend parallel to the conveying direction F1. It prevail between the fifth rail section 411 and the second rail 42 and between the sixth rail section 412 and the second rail 42 in each case the first distance D1 and the second distance D2. D2 is greater than D1 in terms of amount.
Betrachtet man die 5 bis 7, so wird die Rollstückgruppe 50 von einer Antriebsvorrichtung (nicht in der Fig. eingezeichnet) angetrieben. So ist es möglich, dass die ersten Rollstücke 51 sowie die zweiten Rollstücke 52 sich jeweils auf der ersten 41 und zweiten Schiene 42 bewegen. Gleichzeitig wird das Substrat 30 von den ersten 511 und den zweiten 521 Klemmen zur Beförderung festgehalten. Das Substrat 30 wird von der Seite des fünften Schienenabschnitts der Schienengruppe 40 auf die Seite des sechsten Schienenabschnitts der Schienengruppe gemäß der in der Figur eingezeichneten Beförderungsrichtung befördert.Looking at the 5 to 7 , so the piece of rolling stock becomes 50 from a drive device (not shown in the figure) driven. So it is possible that the first pieces of rolling 51 as well as the second rolls 52 each on the first 41 and second rail 42 move. At the same time, the substrate becomes 30 from the first 511 and the second 521 Clamps held for transport. The substrate 30 becomes from the side of the fifth rail section of the rail group 40 is conveyed to the side of the sixth rail section of the rail group according to the conveying direction indicated in the figure.
Aus der 5 ist die Strukturansicht der zweiten erfindungmäßigen Ausgestaltungsform ersichtlich. All die zweiten Rollstücke 52 befinden sich auf der zweiten Schiene 42. Wenn sich all die ersten Rollstücke 41 dabei auf dem fünften Schienenabschnitt 411 befinden, wird das Substrat 30 am ersten 31 und zweiten Seitenrand 32 jeweils von den ersten 511 und den zweiten Klemmen 521 festgehalten, somit ergibt sich beim Substrat 30 die erste Breite W1.From the 5 the structure view of the second inventive embodiment is apparent. All the second rolls 52 are on the second track 42 , When all the first pieces of rolling 41 while on the fifth rail section 411 will be the substrate 30 at first 31 and second margin 32 each of the first 511 and the second terminals 521 held, thus resulting in the substrate 30 the first width W1.
Es sei ferner auf die 6 hingewiesen. 6 und 7 sind die Schemata der in der 5 dargestellten Ausgestaltungsform zur Veranschaulichung der Bewegungsabläufe. Wenn die Rollstückgruppe 50 sich weiter in Beförderungsrichtung F1 vorwärts bewegt, sind all die zweiten Rollstücke auf der zweiten Schiene 42, gleichzeitig halten sich die ersten Rollstücke zum Teil auf dem fünften Schienenabschnitt 411, zum Teil auf dem dritten Puffabschnitt 413, sowie auch zum Teil auf dem sechsten Schienenabschnitt 412 auf. Aufgrund der Tatsache, dass der zwischen der zweiten Schiene 42 und dem sechsten Schienenabschnitt 412 herrschende Abstand D2 größer als der zwischen dem fünften Schienenabschnitt 411 und der zweiten Schiene 42 herrschende D1 ist, üben die ersten 511 und die zweiten Klemmen 521 jeweils erhöhte Zugkräfte auf den ersten 31 und den zweiten Seitenrand 32 des Substrats 30 aus, sodass das Substrat 30 hinsichtlich der Breite auf W2 ausgedehnt wird.It is also on the 6 pointed. 6 and 7 are the schematics in the 5 illustrated embodiment for illustrating the movement sequences. If the piece of rolling stock 50 Moving further forward in the conveying direction F1, all the second rolling pieces are on the second rail 42 , At the same time hold the first rolling pieces partly on the fifth rail section 411 , partly on the third puff section 413 , as well as partly on the sixth rail section 412 on. Due to the fact that the between the second rail 42 and the sixth rail section 412 prevailing distance D2 greater than that between the fifth rail section 411 and the second rail 42 ruling D1 is practice the first 511 and the second terminals 521 each increased tensile forces on the first 31 and the second margin 32 of the substrate 30 out, leaving the substrate 30 in terms of width is extended to W2.
Aus der 7 geht eine Ansicht der in der 5 dargestellten Ausgestaltungsform hervor. All die zweiten Rollstücke 52 befinden sich auf der zweiten Schiene 42. In dem Moment, wo all die ersten Rollstücke sich dabei auf dem sechsten Schienenabschnitt 412 aufhalten, und das Substrat 30 an dem ersten Seitenrand 31 durch die ersten Klemmen 511 und am dem zweiten Seitenrand 32 durch die zweiten Klemmen 521 festgehalten werden, weist das Substrat 30 die zweite Breite W2, welche größer als die in der 5 festzustellende Breite W1 ist, auf. Dabei erfahren der erste Seitenrand 31 und der zweiten Seitenrand 32 des Substrats 30 jeweils durch die ersten 511 und die zweiten Klemmen 521 vergleichsweise größere Zugkräfte, sodass auf dem Substrat 30 eine Flächenspannung zustande kommt, die auch für eine gute Ebenheit des Substrats 30 während der Beförderung sorgen kann.From the 7 is a view of the in the 5 shown embodiment. All the second rolls 52 are on the second track 42 , At the moment when all the first rolling pieces fall on the sixth rail section 412 stop, and the substrate 30 at the first margin 31 through the first terminals 511 and at the second margin 32 through the second terminals 521 be held, the substrate has 30 the second width W2, which is greater than that in the 5 width W1 to be detected is, on. At the same time the first margin of the page learns 31 and the second margin 32 of the substrate 30 each through the first 511 and the second terminals 521 comparatively larger tensile forces, so on the substrate 30 a surface tension comes about, which also for a good flatness of the substrate 30 during transport.
Die vorstehend in der Ausgestaltungsform vorgestellte Substratbeförderungsanlage zeichnet sich durch die zwischen den Schienen herrschenden unterschiedlichen Abstände aus. Das Substrat durchläuft unterschiedliche Breiten, um dem Substrat eine Oberflächenspannung vorzugeben und diese auch aufrechtzuerhalten, sodass auf dem Substrat für eine gute Ebenheit während der Beförderung gesorgt werden kann. Aus den 1 und 5 ist auch ersichtlich, dass die sich verbreiternden Schienen erfindungsgemäß sowohl beiderseitig symmetrisch als auch einseitig ausgeführt werden können. Aufgrund der niedrig angesetzten Operationsplattform lässt sich vermeiden, dass die Rollstücke von den ätzenden Chemikalien angegriffen und beschädigt werden. Somit ist der Verlauf der Substratbeförderung sanft und reibungslos.The substrate conveying system presented above in the embodiment is characterized by the different distances prevailing between the rails. The substrate passes through different widths to provide and maintain a surface tension to the substrate so that good flatness can be provided on the substrate during conveyance. From the 1 and 5 is also apparent that the widening rails according to the invention can be carried out both sides symmetrical as well as one-sided. Due to the low-set operating platform, it is possible to prevent the rolling pieces from being attacked and damaged by the corrosive chemicals. Thus, the progress of substrate conveyance is smooth and smooth.
Außerdem handelt es sich bei den vorstehend erwähnten Substraten um geeignete Substratmaterialien, flexible Leiterplatten (flexible printed circuit), ausdehnbare Materialien oder bekannte elastische Materialien. Das heißt, dass beim Substrat jegliche durch Hightech hergestellten elastischen oder flexiblen Materialien zum Einsatz kommen dürfen.In addition, the above-mentioned substrates are suitable substrate materials, flexible printed circuit boards, expandable materials or known elastic materials. That means that at the substrate Any high-tech elastic or flexible materials may be used.
Es sei weiter auf die in den 8, 9 sowie 10 dargestellte dritte Ausgestaltungsform hingewiesen. 8, 9 sowie 10 sind jeweils: die Explosionszeichnung der dritten Ausgestaltungsform, die strukturelle Draufsicht der in der 8 dargestellten Ausgestaltungsform sowie die strukturelle Querschnittsansicht B-B der 9 in vergrößerter Form. Die Substratbeförderungsanlage 600 eignet sich für die Beförderung der Substrate 30. Die Substrate 30 können hohe Elastizität aufweisende Leiterplatten (beispielsweise flexible Leiterplatten) oder wenig elastische Hartsubstrate (Solarzellensubstrate oder Kupfersubstrate) sein. In der vorliegenden Ausgestaltungsform handelt es sich bei dem Substrat 30 um Hartsubstrate. Die Substratbeförderungsanlage 600 umfasst einen Träger 60, eine Schienengruppe sowie eine Rollstückgruppe. Die Rollstückgruppe umfasst eine Vielzahl von den ersten Rollstücke 61 und den zweiten Rollstücken 62. Der Träger 60 trägt dabei das Substrat 30. Die ersten Rollstücke 61 sowie die zweiten Rollstücke 62 sind seitlich des Trägers 60 angeordnet. Die Schienengruppe beinhaltet die erste 70 sowie die zweite Schiene 80. An die erste 70 und die zweite Schiene 80 wird eine Antriebsvorrichtung (nicht in der Fig. eingezeichnet) gekoppelt. Bei der Antriebsvorrichtung kann es sich um Motoren handeln und durch die Antriebsvorrichtung wird dem Substrat 30 die benötigte Schubkraft bereitgestellt. Dabei sind die erste 70 und die zweite Schiene 80 sowie die ersten 61 und die zweiten Rollstücke 62 zwischen dem Träger 60 und der Antriebsvorrichtung angeordnet. Die erste 70 und die zweite Schiene 80 verlaufen der Beförderungsrichtung entlang und sind auch auf den beiden Seiten der Beförderungsrichtung angeordnet. Die ersten 61 und die zweiten Rollstücke 62 werden jeweils auf der ersten 70 und zweiten Schiene 80 vorwärts geschoben, dabei besteht kein Kontakt zwischen den Schienen 60, 70 mit dem Substrat 30. Die Antriebsvorrichtung ermöglicht dem Substrat 30 eine Vorwärtsbewegung in Beförderungsrichtung, indem die Antriebsvorrichtung mithilfe der ersten 70 sowie der zweiten Schiene 80 jeweils die ersten 61 sowie die zweiten Rollstücke 62 antreibt. Zwischen der durch die erste Schiene 70 und die zweite Schiene 80 ausgebildeten Schienengruppe und der aus den ersten 61 und den zweiten Rollstücken 62 bestehenden Rollstückgruppe darf eine relative Bewegung stattfinden.It should continue on in the 8th . 9 such as 10 illustrated third embodiment. 8th . 9 such as 10 are respectively: the exploded view of the third embodiment, the structural plan view in the 8th illustrated embodiment, and the structural cross-sectional view BB of 9 in enlarged form. The substrate conveyor system 600 is suitable for transporting the substrates 30 , The substrates 30 may be high resilience printed circuit boards (eg, flexible circuit boards) or low resilience hard substrates (solar cell substrates or copper substrates). In the present embodiment, the substrate is 30 around hard substrates. The substrate conveyor system 600 includes a carrier 60 , a rail group and a group of rolling stock. The rolling stock group includes a plurality of the first rolling pieces 61 and the second rolls 62 , The carrier 60 carries the substrate 30 , The first pieces of rolling 61 as well as the second rolls 62 are the side of the carrier 60 arranged. The rail group includes the first 70 as well as the second rail 80 , At the first 70 and the second rail 80 a drive device (not shown in the figure) is coupled. The drive device may be motors and the drive device will become the substrate 30 provided the required thrust. Here are the first 70 and the second rail 80 as well as the first 61 and the second rolls 62 between the carrier 60 and the drive device arranged. The first 70 and the second rail 80 Run along the transport direction and are also arranged on the two sides of the transport direction. The first 61 and the second rolls 62 be each on the first one 70 and second rail 80 pushed forward, there is no contact between the rails 60 . 70 with the substrate 30 , The drive device allows the substrate 30 a forward movement in the direction of transport by the drive device using the first 70 as well as the second rail 80 each the first 61 as well as the second rolls 62 drives. Between through the first rail 70 and the second rail 80 trained rail group and the one from the first 61 and the second rolls 62 Existing group of blocks may have a relative movement.
In der vorliegenden Ausgestaltungsform findet, wenn der Träger 60 und das Substrat 30 vorwärts in Beförderungsrichtung sich bewegen, die chemische Reaktion, wie zum Beispiel die chemische Badabscheidung, statt. Der Träger weist eine Lösungsmittelabdeckung 63 sowie einen Befestigungsmechanismus 64 auf. Die Lösungsmittelabdeckung 63 verschließt das Substrat 30, sodass sich ein hermetischer Innenraum zwischen der Lösungsmittelabdeckung 63 und der Oberfläche des Substrats 30 ergibt, und der Befestigungsmechanismus sorgt für einen engen Kontakt zwischen der Lösungsmittelabdeckung 63 und dem Substrat 30. Nach der Herstellung des engen Kontakts zwischen der Lösungsmittelabdeckung 63 und dem Substrat 30, werden in den hermetischen Innenraum chemische Stoffe, beispielsweise die bei dem chemischen Badabscheidungsverfahren eingesetzte chemische Lösungen, eingeleitet. In der vorliegenden Ausgestaltungsform werden die ersten 61 sowie die zweiten Rollstücke 62 in dem Befestigungsmechanismus 64 angeordnet. Bei dem Befestigungsmechanismus handelt es sich um Klemmen.In the present embodiment, when the carrier 60 and the substrate 30 move forward in the transport direction, the chemical reaction, such as the chemical bath separation, instead. The carrier has a solvent cover 63 and a fastening mechanism 64 on. The solvent cover 63 closes the substrate 30 so that there is a hermetic interior between the solvent cover 63 and the surface of the substrate 30 results, and the attachment mechanism provides close contact between the solvent cover 63 and the substrate 30 , After making the tight contact between the solvent cover 63 and the substrate 30 , chemical substances are introduced into the hermetic interior, for example the chemical solutions used in the chemical bath deposition process. In the present embodiment, the first 61 as well as the second rolls 62 in the attachment mechanism 64 arranged. The attachment mechanism is a clamp.
In einer anderen Ausgestaltungsform sind die ersten 61 und die zweiten Rollstücke 62 auf der Lösungsmittelabdeckung angeordnet.In another embodiment, the first 61 and the second rolls 62 arranged on the solvent cover.
Es sei auf die 10 hingewiesen. Die erste Schiene 70 umfasst eine Vielzahl von Rollrädern 71. Zwischen den ersten Rollrädern 71 und den ersten Rollstücken 61 befindet sich eine erste Anschlagsstruktur 711. Jede Anschlagsstruktur 711 ist oberhalb jedes Rollrades 71 zur Ankontaktierung an die ersten Rollstücke 61 angeordnet. Zwischen den zweiten Rollrädern 82 und den zweiten Rollstücken 62 befindet sich eine zweite Anschlagsstruktur 811. Jede Anschlagsstruktur 811 ist oberhalb jedes zweiten Rollrades 81 zur Kontaktierung an die zweiten Rollstücke 62 angeordnet. In der vorliegenden Ausgestaltungsform sind die erste 71 und die zweite 81 Anschlagsstruktur 811 jeweils an dem Vorsprung des Außenrands des ersten 71 und des zweiten Rollrades 72 montiert. Mithilfe der ersten 711 sowie der zweiten Anschlagsstruktur 811 wird der Träger 60 mitsamt dem Substrat 30 innerhalb der ersten 70 und der zweiten Schiene 80 eingeschränkt.It's on the 10 pointed. The first rail 70 includes a variety of rolling wheels 71 , Between the first wheels 71 and the first rolls 61 there is a first stop structure 711 , Every stop structure 711 is above each rolling wheel 71 for Ankontaktierung to the first pieces of rolling 61 arranged. Between the second wheels 82 and the second rolls 62 there is a second stop structure 811 , Every stop structure 811 is above every second rolling wheel 81 for contacting the second rolling pieces 62 arranged. In the present embodiment, the first 71 and the second 81 stop structure 811 each at the projection of the outer edge of the first 71 and the second rolling wheel 72 assembled. Using the first 711 and the second stop structure 811 becomes the carrier 60 together with the substrate 30 within the first 70 and the second rail 80 limited.
Aus der 11 geht die halbe Strukturansicht der vierten Ausgestaltungsform hervor. Die 11 veranschaulicht nur die Hälfte der Strukturansicht der vorliegenden Ausgestaltungsform, die gegenüberliegende andere Hälfte wird dabei nicht betrachtet. Die Anschlagsstruktur beinhaltet eine Rille 711A sowie einen Vorsprung 611A. Die Rille 711A ist im ersten Rollrad 71A und der Vorsprung 611A ist am Rollstück 61A angeordnet. Die erwähnte Rille 711A und der Vorsprung 611A sind aufeinander abgestimmt, somit lässt sich der Beförderungsweg für den Träger 60A und das Substrat 30 einschränken.From the 11 shows half the structure view of the fourth embodiment. The 11 only illustrates half of the structural view of the present embodiment, the opposite other half is not considered. The stop structure includes a groove 711A as well as a lead 611A , The groove 711A is in the first rolling wheel 71A and the lead 611A is on the roll piece 61A arranged. The mentioned groove 711A and the lead 611A are coordinated with each other, thus the transport route for the carrier is possible 60A and the substrate 30 limit.
Es sei hier extra zu erwähnen, dass, wenn die chemische Reaktion der dritten und vierten Ausgestaltungsform die chemische Badabscheidung sein sollte, nach der chemischen Badabscheidung eine in Hinblick auf die Dicke gleichmäßig verteilte halbleitende Dünnschicht auf der Oberfläche des Substrats 30 entsteht.It is to be noted here that, if the chemical reaction of the third and fourth embodiments should be the chemical bath deposition, after the chemical bath deposition, a semiconductive thin film evenly distributed in thickness on the surface of the substrate 30 arises.
Zusammenfassend lässt sich sagen, dass in den Ausgestaltungsformen 3 und 4 die auf dem Träger befindlichen ersten 61 und zweiten 62 Rollstücke durch die Schienen angetrieben werden und es besteht keinerlei Kontakt zwischen dem Substrat 30 und der Schienengruppe, sodass in der vorliegenden Substratbeförderungsanlage 600 eine ungleichmäßige Druckkraftverteilung sowie eine folglich ungleichmäßige chemische Reaktionsrate auszuschließen sind. Außerdem sorgen die Anschlagsstrukturen dafür, dass der Träger mitsamt dem Substrat sich nur innerhalb des durch die ersten 70 und zweiten Schienen 80 eingegrenzten Bereichs bewegen kann. Deshalb lässt sich in der Substratbeförderungsanlage 600 vermeiden, dass das Substrat in Beförderungsrichtung schief läuft oder das Substrat sich teilweise von den Beförderungsschienen ablöst.In summary, it can be said that in the embodiments 3 and 4, the first located on the carrier 61 and second 62 Rolling pieces are driven by the rails and there is no contact between the substrate 30 and the rail group, so in the present substrate conveying system 600 an uneven pressure force distribution and a consequently uneven chemical reaction rate are excluded. In addition, the stop structures ensure that the carrier together with the substrate only within the first 70 and second rails 80 can move within a limited range. Therefore, can be in the substrate conveyor system 600 Avoid that the substrate runs in the direction of transport or that the substrate partially separates from the transport rails.
Es sei noch auf die 12 hingewiesen. Die 12 zeigt die Querschnittsansicht der fünften Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung. Diese Ausgestaltungsform unterscheidet sich von den vorherigen durch den Einsatz des flexiblen Substrats 30. Die Oberfläche des Substrats 30 nimmt direkt an der chemischen Reaktion mit einem chemischen Material (nicht in der Fig. dargestellt) teil. Dabei bedarf es in der Ausgestaltungsform keiner Lösungsmittelabdeckung 63. Der Befestigungsmechanismus 64 sorgt für einen engen Kontakt zwischen dem Träger 60 und dem Substrat 30. Während der Vorwärtsbewegung des Trägers 60 sowie des Substrats 30 in Beförderungsrichtung, findet direkt die chemische Reaktion zwischen dem chemischen Material und dem Substrat 30 auf der Substratoberfläche statt. Deshalb bedarf es in der Ausgestaltungsform keiner Lösungsmittelabdeckung. Die chemische Reaktion darf in Auflösungs- oder Beschichtungsform stattfinden, wie z. B. chemische Badabscheidung (CBD).It is still on the 12 pointed. The 12 shows the cross-sectional view of the fifth embodiment of the present invention. This embodiment differs from the previous ones by the use of the flexible substrate 30 , The surface of the substrate 30 participates directly in the chemical reaction with a chemical material (not shown in the figure). In this case, no solvent cover is required in the embodiment 63 , The attachment mechanism 64 ensures close contact between the wearer 60 and the substrate 30 , During the forward movement of the vehicle 60 and the substrate 30 in transport direction, finds directly the chemical reaction between the chemical material and the substrate 30 on the substrate surface instead. Therefore, it does not require solvent coating in the embodiment. The chemical reaction may take place in dissolution or coating form, such. B. chemical bath separation (CBD).
Aus der 13 ist die Querschnittsansicht der sechsten Ausgestaltungsform der vorliegenden Erfindung ersichtlich. Die Anschlagsstruktur der vorliegenden Ausgestaltungsform weist ähnlich wie in der vierten Ausgestaltungsform eine Rille 711B sowie einen Vorsprung 611B auf. Des Weiteren wird hier in der fünften Ausgestaltungsform keinerlei Lösungsmittelabdeckung 63 benötigt und das Substrat 30 ist dabei flexibel. Dabei sind die Rille 711B sowie der Vorsprung 611B jeweils im ersten Rollrad 71B sowie am ersten Rollstück 61B angeordnet.From the 13 the cross-sectional view of the sixth embodiment of the present invention is apparent. The stopper structure of the present embodiment has a groove similar to the fourth embodiment 711B as well as a lead 611B on. Furthermore, here in the fifth embodiment, there is no solvent cover 63 needed and the substrate 30 is flexible. Here are the groove 711B as well as the lead 611B each in the first rolling wheel 71B as well as the first piece of equipment 61B arranged.
Die erwähnte Rille 711B und der Vorsprung 611B sind aufeinander abgestimmt. Somit lässt sich der Beförderungsweg für den Träger 60B und das Substrat 30 einschränken.The mentioned groove 711B and the lead 611B are coordinated. Thus, the transport route for the carrier can be 60B and the substrate 30 limit.
Bei dem in den Ausgestaltungsformen 5 und 6 eingesetzten Befestigungsmechanismus 64 handelt es sich um einen Riegel.In the fastening mechanism used in the embodiments 5 and 6 64 it is a bar.
Außerdem muss, um sicherzustellen, dass auf der Oberfläche des Substrats (30) der fünften bzw. sechsten Ausgestaltungsform die chemische Reaktion gleichmäßig stattfindet, muss auf der Oberfläche des Substrats 30 für eine vorgegebene Flächenspannung gesorgt werden. Während der Vorwärtsbewegung des Trägers 60 sowie des Substrats 30 in Beförderungsrichtung F1, stellen die erste 70 und die zweite Schiene 80 auf den beiden Seiten der Beförderungsrichtung die erforderlichen Zugkräfte bereit. Beispielsweise kommt in der fünften bzw. der sechsten Ausgestaltungsform der in der ersten bzw. der zweiten Ausgestaltungsform verwendete Schienenentwurf (in verschiedenen Segmenten herrschen unterschiedlichen Schienenabstände) zum Einsatz, sodass entlang der Beförderungsrichtung F1 der Abstand zwischen der ersten 70 und der zweiten Schiene 80 sich erhöht. Gleichzeitig stellen während der Vorwärtsbewegung des Trägers 60 sowie des Substrats 30 in der Beförderungsrichtung F1 die erste 70 und die zweite Schiene 80 dem Substrat 30 aufgrund der Abstandserhöhung erhöhte Zugkräfte seitwärts der ersten 70 und der zweiten Schiene 80 nach außen bereit.Also, to make sure that on the surface of the substrate ( 30 ) of the fifth or sixth embodiment, the chemical reaction takes place uniformly, must on the surface of the substrate 30 be provided for a given surface voltage. During the forward movement of the vehicle 60 and the substrate 30 in transport direction F1, represent the first 70 and the second rail 80 on both sides of the transport direction the necessary traction forces ready. For example, in the fifth and the sixth embodiment, respectively, the rail design used in the first and the second embodiment (different rail spacings prevail in different segments) is used, so that along the conveying direction F1 the distance between the first 70 and the second rail 80 increases. At the same time put during the forward movement of the wearer 60 and the substrate 30 in the transport direction F1 the first 70 and the second rail 80 the substrate 30 due to the increase in distance increased tensile forces sideways the first 70 and the second rail 80 ready for the outside.
Im Vergleich zu den eingangs erwähnten Ausgestaltungsformen lässt sich, abgesehen von der Einschränkung des Trägers 60 sowie des Substrats 30 innerhalb der ersten 70 und der zweiten 80 Schiene sowie der Vermeidung einer ungleichmäßig verteilten chemischen Reaktionsrate auf dem Substrat 30, weiterhin das flexible Substrat im chemischen Verfahren einsetzen. Des Weiteren lässt sich mithilfe der Bereitstellung seitlicher Zugkräfte an den Seitenrändern in der Beförderungsrichtung erreichen, dass in den Ausgestaltungsformen 5 und 6 die chemische Reaktionsrate auf der Oberfläche des flexiblen Substrats gleichmäßig verteilt ist.Compared to the embodiments mentioned above can be, apart from the limitation of the carrier 60 and the substrate 30 within the first 70 and the second 80 Rail as well as the avoidance of an unevenly distributed chemical reaction rate on the substrate 30 , continue to use the flexible substrate in the chemical process. Further, by providing lateral pulling forces at the side edges in the conveying direction, it can be achieved that, in embodiments 5 and 6, the chemical reaction rate is evenly distributed on the surface of the flexible substrate.
All das oben Erwähnte stellt ausschließlich die Ausgestaltungsformen der vorliegenden Erfindung dar, und soll nicht als Beschränkung der erfindungsgemäßen Geltungsbereiche betrachtet werden, deshalb sind all die einfachen Abwandlungen sowie Modifikationen unter Bezugnahme auf die erfindungsgemäßen Ansprüche sowie zuzüglich deren Beschreibung durch die vorliegende Erfindung patentrechtlich abgedeckt.All the above is solely the embodiments of the present invention, and is not to be considered as limiting the scope of the present invention, therefore, all the simple modifications and modifications with reference to the claims according to the invention and their description are covered by the present invention patent.
