DE102013001457A1 - In a workpiece processing machine to be recorded temperature-compensated probe and method for temperature compensation of a probe - Google Patents

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Abstract

Die vorgeschlagene Temperaturkompensation für einen in einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmenden Messtaster sieht einen berührend oder berührungslos messenden Messtaster zum Erfassen von Messwerten an einem Werkstück und zum Ausgeben für die Messwerte repräsentativer Signale vor, wobei der Messtaster eine Tasteinrichtung zur ein- oder mehrdimensionalen Antastung eines Werkstücks, wenigstens einen Antastsensor zum Umsetzen solcher Antastungen in die repräsentativen Signale, wenigstens einen Temperatursensor, der in dem Messtaster aufgenommen ist, um ein für die Temperatur des Messtaster repräsentatives Signal zu erzeugen, und eine Verknüpfungseinrichtung aufweist, welche die Signale des Antastsensors mit den Signalen des Temperatursensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal verknüpft, das dazu bestimmt ist, an eine numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine ausgegeben zu werden.The proposed temperature compensation for a pickup to be included in a workpiece processing machine provides a contact or contactless measuring probe for acquiring measured values on a workpiece and for outputting the measured values of representative signals, wherein the probe has a sensing device for one or more dimensional probing of a workpiece, at least one A touch sensor for converting such touches into the representative signals, at least one temperature sensor, which is incorporated in the probe to produce a signal representative of the temperature of the probe, and a linking device, which the signals of the touch sensor with the signals of the temperature sensor to a associated temperature compensated detection signal, which is intended to be issued to a numerical control of the workpiece processing machine.

Description

Hintergrundbackground

Hier wird ein Verfahren zur Temperaturkompensation eines in einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmenden Messtasters und ein temperaturkompensierter Messtaster beschrieben. Letzterer ist dazu eingerichtet, zum Beispiel in einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufgenommen zu werden.Here, a method for temperature compensation of a probe to be included in a workpiece processing machine and a temperature-compensated probe will be described. The latter is adapted, for example, to be received in a workpiece processing machine.

Die Werkstückbearbeitungsmaschine kann eine (numerisch gesteuerte) Werkzeugmaschine, ein (Mehrachsen-)Bearbeitungszentrum, eine (Mehrachsen-)Fräsmaschine oder dergl. sein. Nachstehend wird für alle diese oder derartigen Maschinen auch der Begriff Werkzeugmaschine verwendet. Eine solche Maschine hat eine Spindel, an der ein Werkzeug oder ein Werkstück montiert ist; die Spindel kann fest positioniert oder zum Beispiel in drei orthogonalen Richtungen X, Y, Z innerhalb eines Arbeitsraums der Maschine bewegt und angetrieben werden.The workpiece processing machine may be a (numerically controlled) machine tool, a (multi-axis) machining center, a (multi-axis) milling machine or the like. Hereinafter, the term machine tool is used for all these or such machines. Such a machine has a spindle on which a tool or a workpiece is mounted; the spindle may be fixedly positioned or, for example, moved and driven in three orthogonal directions X, Y, Z within a working space of the machine.

Das Werkzeug kann durch die Werkzeugmaschine in einen Messraum, einen zur Messung festgelegten Bereich, eines berührend oder berührungslos funktionierenden Tasters bewegt werden. Der berührungslos funktionierenden Taster detektiert die Nähe einer Oberfläche beispielsweise mit einer kapazitiven, induktiven oder optischen Einrichtung. Der berührend funktionierenden Tasters detektiert eine Oberfläche bei Kontakt. Für jedes detektierte Merkmal geben Kontakt- und kontaktlose Taster entsprechende Messdaten an eine numerische (Maschinen-)Steuerung weiter, die ein Computerprogramm enthalten kann. Zusammen mit Maschinenpositionsinformationen aus der Steuerung ermöglichen die Tastermessdaten, dass die (numerische) Steuerung ein genaues Bild der Abmessungen des Werkzeugs oder Werkstücks ermitteln kann.The tool can be moved by the machine tool into a measuring space, an area specified for the measurement, a touch or non-contact button. The non-contact button detects the proximity of a surface, for example, with a capacitive, inductive or optical device. The touching button detects a surface on contact. For each detected feature, contact and contactless probes pass corresponding measurement data to a numerical (machine) controller, which may include a computer program. Together with machine position information from the controller, the probe measurement data allows the (numerical) controller to obtain an accurate picture of the dimensions of the tool or workpiece.

Stand der TechnikState of the art

Aus der DE 102 62 188 A1 ist ein multidirektionaler Messtaster bekannt. Dieser Messtaster hat ein Gehäuse, in dem ein ringförmiges Stützlager ausgebildet ist, das eine X,Y-Lagerebene und eine dazu normale zentrale Achse Z des Messtasters definiert. Ein Tragkörper hat ein ringförmiges Gegenlager, durch das eine Längsachse des Tragkörpers definiert ist. Eine Feder ist zwischen dem Gehäuse und dem Tragkörper eingespannt und bestrebt letzteren in einer Ruhelage zu halten, in der das Gegenlager am Stützlager anliegt und die Längsachse des Tragkörpers mit der zentralen Achse Z des Messtasters übereinstimmt. Eine Taststiftaufnahme ist am Tragkörper zentral angeordnet um einen Taststift aufzunehmen. Ein Übertragungsglied ist im Gehäuse entlang der zentralen Achse Z verschiebbar geführt um beliebige Auslenkungen des Tragkörpers aus seiner Ruhelage in geradlinige Bewegungen umzusetzen. Ein Sensor setzt solche Bewegungen des Übertragungsgliedes in Messsignale um. Ein Ende des Übertragungsgliedes ist an der Taststiftaufnahme mittig angeordnet und nur ein an das andere Ende angrenzender Abschnitt ist in Richtung der zentralen Achse Z geführt. Das Übertragungsglied ist an einer Stelle des Tragkörpers angeordnet, die vom Sensor aus betrachtet jenseits der Lagerebene liegt. Der Sensor kann Teil einer Lichtschranke mit wegabhängig analogem Messsignal sein. Die Taststiftaufnahme kann entlang der Längsachse des Tragkörpers an diesem verschiebbar geführt und in Richtung auf eine durch einen Anschlag definierte Normalstellung federnd vorgespannt sein.From the DE 102 62 188 A1 is a multidirectional probe known. This probe has a housing in which an annular support bearing is formed, which defines an X, Y-bearing plane and a normal to this central axis Z of the probe. A support body has an annular abutment, by which a longitudinal axis of the support body is defined. A spring is clamped between the housing and the support body and endeavor to keep the latter in a rest position in which abuts the abutment on the support bearing and the longitudinal axis of the support body coincides with the central axis Z of the probe. A stylus recording is centrally located on the support body to receive a stylus. A transmission member is slidably guided in the housing along the central axis Z to implement any deflections of the support body from its rest position into rectilinear movements. A sensor converts such movements of the transmission element into measuring signals. One end of the transmission member is arranged centrally on the Taststiftaufnahme and only one adjacent to the other end portion is guided in the direction of the central axis Z. The transmission member is arranged at a location of the support body, which, viewed from the sensor, lies beyond the storage plane. The sensor can be part of a light barrier with path-dependent analog measurement signal. The Taststiftaufnahme can be guided along the longitudinal axis of the support body on this slidably and resiliently biased toward a normal position defined by a stop.

Aus der US 3,250,012 A ist ein Messtaster mit einem zylindrischen Gehäuse bekannt, das aus einem proximalen und einem distalen Gehäuseteil zusammengesetzt ist. Das proximale Gehäuseteil hat einen radial nach außen ragenden Flansch zur Befestigung des Messtasters an einem Schlitten einer Mess- oder Werkzeugmaschine. Das distale Gehäuseteil endet mit einem radial nach innen ragenden Flansch, an dem ein kugelsegmentförmiges konkaves Stützlager ausgebildet ist. Auf diesem Stützlager ruht ein ungefähr halbkugelförmiger Tragkörper, der mit seiner konvexen Außenfläche ein ringförmiges Gegenlager bildet und an seiner proximalen Seite eine ebene Ringfläche aufweist. An dieser Ringfläche liegt eine Stirnfläche eines kolbenartiges Übertragungsgliedes an, das im distalen Gehäuseteil axial verschiebbar geführt und von einer zwischen dem Übertragungsglied und dem ihm zugewandten Ende des proximalen Gehäuseteils eingespannten Feder belastet ist. Im Gehäuse und teilweise in dem kolbenartigen Übertragungsglied ist ein Sensor untergebracht, der axiale Verschiebungen des Kolbens in Messsignale umwandelt. Vom Tragkörper erstreckt sich axial eine Taststiftaufnahme weg, an der ein Taststift mit einem Tastkopf befestigt ist.From the US 3,250,012 A is a probe with a cylindrical housing is known, which is composed of a proximal and a distal housing part. The proximal housing part has a radially outwardly projecting flange for attaching the probe to a carriage of a measuring or machine tool. The distal housing part ends with a radially inwardly projecting flange on which a spherical segment-shaped concave support bearing is formed. On this support bearing rests an approximately hemispherical support body, which forms with its convex outer surface an annular abutment and has on its proximal side a flat annular surface. At this annular surface is an end face of a piston-like transmission member, which is axially displaceably guided in the distal housing part and loaded by a clamped between the transmission member and the end facing him of the proximal housing part spring. In the housing and partially in the piston-like transmission member, a sensor is housed, which converts axial displacements of the piston into measurement signals. From the support body axially extends a Taststiftaufnahme away, on which a stylus is attached to a probe.

Aus der WO 00/17602 A1 sind ebenfalls Messtaster bekannt. Hierbei ist das Übertragungsglied ein gerades Stück Draht von erheblicher Länge und ist in einem Gehäuse untergebracht, dessen Länge diejenige des Übertragungsgliedes noch wesentlich überschreitet. Ein ähnlicher multidirektionaler Messtaster ist aus DE 42 17 641 A1 bekannt.From the WO 00/17602 A1 are also known touch probe. Here, the transmission member is a straight piece of wire of considerable length and is housed in a housing, the length of which exceeds that of the transmission element substantially. A similar multidirectional probe is off DE 42 17 641 A1 known.

Auch dort ist innerhalb eines distalen Gehäuseteils ein halbkugelförmiger Tragkörper angeordnet, gegen den ein Übertragungsglied in Form eines federbelastenden Kolbens drückt. Die ebene Fläche des halbkugelförmigen Tragkörpers ist hier jedoch diejenige, von der sich die Taststiftaufnahme weg erstreckt, wohingegen die sphärische Fläche des Tragkörpers dem wiederum kolbenartigen Übertragungsglied zugewandt ist und über dieses von einer Feder in axialer Richtung belastet wird.There, too, a hemispherical support body is arranged within a distal housing part against which a transmission member in the form of a spring-loaded piston presses. However, the flat surface of the hemispherical support body here is the one from which the stylus receiver extends away, whereas the spherical surface of the support body is in turn piston-like Transition member faces and is loaded on this by a spring in the axial direction.

Der Anmelderin sind aus ihrer betrieblichen Praxis Werkzeugmaschinen mit Werkzeugaufnahmen und Messtaster bekannt, die in die Werkzeugaufnahme der Werkzeugmaschinen einzusetzen sind. Eine Werkzeugmaschine kann zum Beispiel zur Hochgeschwindigkeitsbearbeitung eine sich drehende Spindelwelle und ein Wellengehäuse zur Lagerung der Spindelwelle aufweisen. Aufgrund der hohen Drehzahlen der Spindelwelle erwärmen sich die Spindelwelle und auch das Wellengehäuse. Daher ist das Wellengehäuse der Spindelwelle mit einer Kühlung ausgestattet, welche jedoch in der Regel nicht ausreicht, um die Wärme vollständig abzuführen. Der im Betrieb unvermeidliche Wärmeeintrag auf die in der Spindelwelle eingespannte Werkzeugaufnahme und das darin befestigte Werkzeug führt zu thermisch bedingten Mess- und Bearbeitungsfehlern. Bei einem Wechsel einer Werkzeugaufnahme hat diese zunächst Umgebungstemperatur, ebenso ein darin angeordnetes Werkzeug, wie z. B. ein Messtaster. Die aus dem Wärmeeintrag in die Spindelwelle resultierende Erwärmung führt dazu, dass sich die Werkzeugaufnahme und das Werkzeug längen. Wird nun ein Werkstück mit dem Messtaster in Antastrichtung ”Z” angefahren, dann berührt der erwärmte Messtaster das Werkstück früher, als es bei einem nicht erwärmten Messtaster der Fall wäre. Dadurch wird der Messtaster vorzeitig ausgelenkt. Dies hat zur Folge, dass ein ”Ausgelenkt”-Signal früher als es korrekt wäre (ggf. über einen Empfänger) an eine (numerische) Maschinensteuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine gesendet und dort empfangen wird. Zum Zeitpunkt des ”Ausgelenkt”-Signals wird von der Maschinensteuerung die Ist-Position der Z-Achse am maschineninternen Messsystem ausgelesen. Diese Position weicht um dasselbe Maß vom korrekten Wert ab, um welches der Messtaster gelängt ist. Diese Fehlmessung entspricht also dem Maß der thermisch induzierten Längung des Messtasters.The Applicant are known from their operational practice machine tools with tool holders and probes, which are to be used in the tool holder of the machine tools. For example, a machine tool may have a rotating spindle shaft and a shaft housing for supporting the spindle shaft for high-speed machining. Due to the high rotational speeds of the spindle shaft, the spindle shaft and also the shaft housing heat up. Therefore, the shaft housing of the spindle shaft is equipped with a cooling, which, however, is usually not sufficient to dissipate the heat completely. The inevitable during operation heat input to the clamped in the spindle shaft tool holder and the tool mounted therein leads to thermally induced measurement and processing errors. When changing a tool holder, this first ambient temperature, as well as a tool disposed therein, such. B. a probe. The resulting from the heat input into the spindle shaft heating causes the tool holder and the tool length. If a workpiece is now approached with the probe in probe direction "Z", then the heated probe touches the workpiece earlier than would be the case with a non-heated probe. As a result, the probe is deflected prematurely. This has the consequence that a "deflected" signal earlier than it would be correct (possibly via a receiver) sent to a (numerical) machine control of the workpiece processing machine and received there. At the time of the "deflected" signal, the machine controller reads out the actual position of the Z axis on the machine-internal measuring system. This position deviates by the same amount from the correct value by which the probe has lengthened. This incorrect measurement thus corresponds to the extent of the thermally induced elongation of the probe.

Keine dieser Anordnungen berücksichtigt aus Temperaturschwankungen resultierende Dimensionsänderungen des Messtasters.None of these arrangements takes into account dimensional changes resulting from temperature fluctuations of the probe.

Aus der DE 10 2007 043 030 A1 ist eine Werkzeugaufnahme sowie ein Messtaster mit einer Werkzeugaufnahme bekannt. Die Werkzeugaufnahme dient zur Anbringung eines Messtasters an einer Werkzeugmaschine mit einer Schnittstelle. Die Werkzeugaufnahme hat, von der Schnittstelle für die Spindel aus betrachtet, einen Materialabschnitt, der sich vom üblichen Grundmaterial einer Werkzeugaufnahme durch einen kleineren Längenausdehnungskoeffizienten oder eine kleinere Wärmeleitfähigkeit unterscheidet. So wird ein unerwünscht großer Wärmeeintrag in die Werkzeugaufnahme vermieden, so dass eine Wärmeausdehnung vergleichsweise gering bleibt. Damit soll eine Dimensionsänderung durch Wärmeausdehnung auf ein noch tolerierbares Maß reduziert werden. Dabei wird durch Lage, Dimensionierung und Materialauswahl des Materialabschnitts eine Wärmeausdehnung der Werkzeugaufnahme von der Schnittstelle bis zu einem Werkzeug bei üblichen Temperaturverhältnissen an Motorspindeln nach dem Einsetzen einer Werkzeugaufnahme reduziert. Der Materialabschnitt kann dabei die komplette Werkzeugaufnahme bis z. B. zu einem Messtaster umfassen, sodass die Werkzeugaufnahme vollständig aus einem Werkstoff mit einem kleineren Längenausdehnungskoeffizient/einer kleineren Wärmeleitfähigkeit gebildet ist. Ein Wärmeeintrag in einen Bereich nach dem Materialabschnitt z. B. in einen Messtaster und in den Materialabschnitt soll so deutlich verzögert sein. Allerdings können Temperaturschwankungen aus der Umgebung der Werkzeugmaschine, z. B. dem Arbeitsraum eines Bearbeitungszentrums, welche ebenfalls den Messtaster/das Werkzeug in seiner Länge verändern, nicht kompensiert werden. Außerdem dauert es bei diesem Konzept relativ lange, bis nach einem Wechsel des Messtasters/des Werkzeugs thermisch stabile Verhältnisse eingetreten sind.From the DE 10 2007 043 030 A1 is a tool holder and a probe with a tool holder known. The tool holder serves to attach a probe to a machine tool with an interface. The tool holder has, viewed from the interface for the spindle, a material portion which differs from the usual base material of a tool holder by a smaller coefficient of linear expansion or a smaller thermal conductivity. Thus, an undesirably large heat input is avoided in the tool holder, so that a thermal expansion remains relatively low. This is intended to reduce a dimensional change due to thermal expansion to an even tolerable level. In this case, a thermal expansion of the tool holder is reduced by the position, dimensioning and material selection of the material section from the interface to a tool at normal temperature conditions on motor spindles after inserting a tool holder. The material section can be the complete tool holder to z. B. to a probe, so that the tool holder is completely formed of a material with a smaller coefficient of linear expansion / a smaller thermal conductivity. A heat input into an area after the material section z. B. in a probe and in the material section should be so clearly delayed. However, temperature fluctuations from the environment of the machine tool, for. As the working space of a machining center, which also change the probe / tool in its length, are not compensated. In addition, it takes a relatively long time in this concept, until after a change of the probe / tool thermally stable conditions have occurred.

Zugrundeliegendes ProblemUnderlying problem

Ziel der hier vorgestellten Temperaturkompensation ist es, die temperaturinduzierte Längenänderung des Messtasters so zu berücksichtigen, dass durch Temperaturänderungen bedingte Messfehler auf ein Minimum reduziert werden.The aim of the temperature compensation presented here is to take the temperature-induced change in length of the probe into account so that measurement errors caused by temperature changes are reduced to a minimum.

Lösungsolution

Die vorgeschlagene Temperaturkompensation für einen in einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmenden Messtaster sieht einen berührend oder berührungslos messenden Messtaster zum Erfassen von Messwerten an einem Werkstück und zum Ausgeben für die Messwerte repräsentativer Signale vor, wobei der Messtaster eine Tasteinrichtung zur ein- oder mehrdimensionalen Antastung eines Werkstücks, wenigstens einen Antastsensor zum Umsetzen solcher Antastungen in die repräsentativen Signale, wenigstens einen Temperatursensor, der in dem Messtaster aufgenommen ist, um ein für die Temperatur des Messtaster repräsentatives Signal zu erzeugen, und eine Verknüpfungseinrichtung aufweist, welche die Signale des Antastsensors mit den Signalen des Temperatursensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal verknüpft, das dazu bestimmt ist, an eine numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine ausgegeben zu werden.The proposed temperature compensation for a pickup to be included in a workpiece processing machine provides a contact or contactless measuring probe for acquiring measured values on a workpiece and for outputting the measured values of representative signals, wherein the probe comprises a sensing device for one or more dimensional probing of a workpiece, at least one A touch sensor for converting such touches into the representative signals, at least one temperature sensor incorporated in the probe to produce a signal representative of the temperature of the probe, and a linking device for combining the signals of the probe sensor with the signals of the temperature sensor associated temperature compensated detection signal, which is intended to be issued to a numerical control of the workpiece processing machine.

Unter einem Messtaster ist hier sowohl ein Werkzeugabtaster als auch ein Werkstückabtaster verstanden. Unter Temperatur des Messtasters ist hier die Temperatur verstanden, welche sich durch Wärmestrahlung aus der Umgebung des Messtasters, als auch durch Wärmeleitung aus mit dem Messtaster mechanisch verbundenen Komponenten in dem Messtaster, als auch durch Erwärmung des Messtasters aus dessen Umgebung über Konvektion ergibt. Unter einem Messwert wird hier sowohl ein binäres Schaltsignal „0”, „1” als auch ein analoges Messergebnis, z. B. „0,000”...„10,000”, verstanden, wobei die Art der Codierung, also zum Beispiel als Spannungs- oder Stromwert, oder als digital codierte Impulsfolge unerheblich ist. Ebenso wird hier unter einem Werkstück je nach Messaufgabe sowohl ein Werkzeug, als auch ein Werkstück verstanden. Außerdem kann der Messtaster dazu eingerichtet sein, entweder direkt oder zum Beispiel drahtlos über eine Empfangsschnittstelle des Messtasters mit einer numerischen Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine zu kommunizieren.Below a probe is here both a tool scanner and a workpiece scanner Understood. Temperature of the probe here is understood to mean the temperature resulting from thermal radiation from the surroundings of the probe, as well as by heat conduction from mechanically connected to the probe components in the probe, as well as by heating the probe from its surroundings via convection. Under a measured value here is both a binary switching signal "0", "1" and an analog measurement result, for. B. "0.000" ... "10,000", understood, with the type of coding, so for example as a voltage or current value, or as a digitally coded pulse train is irrelevant. Likewise, a workpiece is understood to mean both a tool and a workpiece, depending on the measuring task. In addition, the probe can be configured to communicate either directly or, for example, wirelessly via a receiving interface of the probe with a numerical control of the workpiece processing machine.

Diese hier vorgestellte Temperaturkompensation hat den Vorteil, dass der numerischen Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine bereits ein temperaturkompensiertes Antastsignal bereitgestellt wird. Somit liefert der Messtaster ein Antastsignal, das für sich genommen unmittelbar in der numerischen Steuerung weiterverarbeitet werden kann, ohne dass dort auch noch eine zum Beispiel arithmetische Temperaturkompensation des Antastsignals erfolgen müsste. Das Antastsignal kann damit in einem standardisierten Datenprotokoll übertragen werden. Außerdem muss kein separates Temperaturwertsignal an die numerische Steuerung übertragen werden. So ist der solcherart temperaturkompensierte Messtaster zusammen mit den unterschiedlichsten numerischen Steuerungen direkt einsetzbar. Allerdings sind auch Varianten vorgesehen, bei denen anstelle oder zusätzlich ein oder mehrere Dehnungsmessstreifen an dem Messtaster angebracht sind, um eine temperaturbedingte Längung des Messtaster an repräsentativer Stelle zu messen und dieses Messergebnis an die numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine zur Verrechnung zu senden. Die jeweiligen Messergebnisse können auch durch eine vorherige Kalibrierung in Längenänderungen umgesetzt werden.This temperature compensation presented here has the advantage that the numerical control of the workpiece processing machine is already provided a temperature-compensated detection signal. Thus, the probe provides a probing signal that can be further processed directly in the numerical control, without even there would also be an arithmetic temperature compensation of the probing signal, for example. The probing signal can thus be transmitted in a standardized data protocol. In addition, no separate temperature value signal needs to be transmitted to the numerical controller. Thus, the temperature-compensated probe in this way can be directly used together with a wide variety of numerical controls. However, variants are also provided in which instead of or in addition one or more strain gauges are mounted on the probe to measure a temperature-induced elongation of the probe at a representative point and send this measurement result to the numerical control of the workpiece processing machine for billing. The respective measurement results can also be converted into length changes by a previous calibration.

Unter einer Antastung ist hier jegliche Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück verstanden, die ggf. einen ein Übergang im Antastsignal zwischen „nicht angetastet” und „angetastet” oder umgekehrt hervorruft.Under a probing here any relative movement between the probe and a workpiece is understood, which possibly causes a transition in the probing signal between "not touched" and "touched" or vice versa.

In einer Variante des temperaturkompensierten Messtasters sind mehrere Temperatursensoren in dem Messtaster aufgenommen, deren Signale in der Verknüpfungseinrichtung mit den Signalen des Antastsensors verknüpft werden. Damit können unterschiedliche Bauabschnitte des Messtasters und deren Materialien/temperaturbedingten Eigenschaften (Wärmeleitfähigkeit, Wärmeausdehnungskoeffizient) zur noch präziseren Temperaturkompensation des Antastsignals berücksichtigt werden, als dies mit nur einem Temperatursensor möglich wäre. Mit nur einem Temperatursensor wird die Temperatur des Messtasters an einer durch Versuche gefundenen Position erfasst. Die an dieser Stelle ermittelte Temperatur ist dann repräsentativ für die Temperatur des gesamten Messtasters. Dabei wird ausgenutzt, dass es während der Erwärmungsphase des Messtasters in diesem Orte gibt, deren Temperatur über der vom Temperatursensor gemessenen Temperatur liegt und Orte, deren Temperatur unter der vom Temperatursensor erfassten Temperatur liegt. Durch den Einsatz von zwei oder mehrerer Temperatursensoren kann die Temperaturverteilung im Messtaster exakter ermittelt werden. Somit kann auch eine exaktere Temperaturkompensation des Messtasters durchgeführt werden.In a variant of the temperature-compensated measuring probe, a plurality of temperature sensors are accommodated in the measuring probe whose signals in the linking device are linked to the signals of the touch sensor. This allows different sections of the probe and their materials / temperature-related properties (thermal conductivity, thermal expansion coefficient) to be taken into account for even more precise temperature compensation of the probing signal than would be possible with only one temperature sensor. With only one temperature sensor, the temperature of the probe is detected at a position found by tests. The temperature determined at this point is then representative of the temperature of the entire probe. It is exploited that there are during the heating phase of the probe in this place, whose temperature is above the temperature measured by the temperature sensor and places whose temperature is below the temperature detected by the temperature sensor. By using two or more temperature sensors, the temperature distribution in the probe can be determined more accurately. Thus, a more accurate temperature compensation of the probe can be performed.

In einer weiteren Variante des temperaturkompensierten Messtasters werden die (nicht temperaturkompensierten) Signale des Antastsensors mit den Signalen des Temperatursensors zum Beispiel in der Verknüpfungseinrichtung zu einem temperaturkompensierten Antastsignal in der Weise verknüpft, dass ein Signal des Antastsensors in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal des/jedes Temperatursensors wiedergibt, zeitverzögert als temperaturkompensiertes Antastsignal ausgegeben wird. Insbesondere, wenn die Antastgeschwindigkeit des Messtasters in der Messrichtung (X-/Y-Richtung oder Z-Richtung) und ggf. die Laufzeit des (nicht temperaturkompensierten) Antastsignals vom Messtaster zu der numerischen Steuerung bekannt sind, lässt sich das Maß der Verzögerung der Übertragung des Antastsignals bezogen auf die Temperaturänderung des Messtasters festlegen.In a further variant of the temperature-compensated measuring probe, the (non-temperature-compensated) signals of the touch sensor are combined with the signals of the temperature sensor, for example in the linking device to form a temperature-compensated detection signal in such a way that a signal of the touch sensor in dependence on the temperature, which the signal of the / each temperature sensor, is output with a time delay as a temperature-compensated detection signal. In particular, if the probing speed of the measuring probe in the measuring direction (X / Y direction or Z direction) and possibly the running time of the (non-temperature-compensated) touch probe from the probe to the numerical control are known, the degree of delay of the transmission can be of the probe signal based on the temperature change of the probe.

Wenn sich zum Beispiel der Messtaster pro 1°K Temperaturanstieg um 1 μm längt, und die relative Antastgeschwindigkeit zwischen Werkstück und Messtaster 40 mm/s beträgt, wird gemäß der hier vorgestellten Temperaturkompensation pro 1°K Temperaturanstieg die Übertragung des Antastsignals an die numerische Steuerung um 25 μs verzögert. Da das Antastsignal bei der numerischen Steuerung um 25 μs verzögert ankommt, reagiert diese entsprechend verzögert. Dadurch bewegt sich der Messtaster in der Antastrichtung um genau die Weglänge 1 μm weiter, um die der Messtaster durch den Temperaturanstieg gelängt ist. Dies kann durch die Wegerfassung der Werkstückbearbeitungsmaschine erfasst und in der numerischen Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine verarbeitet werden. Im Ergebnis hat so die Längung des Messtasters auf Verarbeitung und die Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine keinen – die Bearbeitungsgenauigkeit des Werkstücks verringernden – Einfluss.For example, if the probe length is 1 μm per 1 ° K increase in temperature, and the relative probing speed between the workpiece and the probe is 40 mm / s, transmission of the probing signal to the numerical controller will be converted per 1 ° K increase in temperature as shown here 25 μs delayed. Since the probing signal arrives delayed by 25 μs in the numerical control, this responds accordingly delayed. As a result, the probe moves in the probe direction by exactly the path length of 1 micron, by which the probe is extended by the temperature rise. This can be detected by the path detection of the workpiece processing machine and processed in the numerical control of the workpiece processing machine. As a result, the elongation of the probe for processing and the control of the workpiece processing machine has no influence - reducing the machining accuracy of the workpiece.

In einer anderen Variante des temperaturkompensierten Messtasters werden die (nicht temperaturkompensierten) Signale des Antastsensors mit den Signalen des/jedes Temperatursensors zum Beispiel in der Verknüpfungseinrichtung zu einem temperaturkompensierten Antastsignal in der Weise verknüpft, dass in einem (analog wegabhängigen) Signal des Antastsensors eine Schaltschwelle (= Übergang zwischen „nicht angetastet” und „angetastet”) in Abhängigkeit von der Temperatur verändert wird, welche das Signal des/jedes Temperatursensors wiedergibt, so dass das Signal des Antastsensors als temperaturkompensiertes Antastsignal ausgegeben wird. Dabei wird die Schaltschwelle in Abhängigkeit der Temperatur (sowie ggf. der Messrichtung (X-/Y-Richtung oder Z-Richtung) des Messtasters) verändert. Auf diese Weise wird der Schaltzeitpunkt so verschoben, wie es sich aus der temperaturbedingten Längenänderung und der (konstanten) Antastgeschwindigkeit des Messtasters ergibt. Ein weiterer Vorteil dieser Variante ist, dass die Kompensation des Z-Antastsignals von der Antastgeschwindigkeit unabhängig ist. Kann hierbei zur Unterscheidung oder Erkennung der Antastrichtung nicht die Antastgeschwindigkeit genutzt werden. In another variant of the temperature-compensated measuring probe, the (non-temperature-compensated) signals of the touch sensor are combined with the signals of / each temperature sensor, for example in the linking device, to form a temperature-compensated detection signal such that a switching threshold (in a path-dependent signal) of the touch sensor ( = Transition between "not touched" and "touched") is changed in dependence on the temperature, which reproduces the signal of the / each temperature sensor, so that the signal of the Antastsensors is output as a temperature-compensated detection signal. In this case, the switching threshold is changed as a function of the temperature (and possibly the measuring direction (X / Y direction or Z direction) of the probe). In this way, the switching time is shifted as it results from the temperature-induced change in length and the (constant) sensing speed of the probe. Another advantage of this variant is that the compensation of the Z-probe signal is independent of the probing speed. Can not be used to distinguish or detect the Antastrichtung the scanning speed.

In einer weiteren Variante des temperaturkompensierter Messtaster verknüpft die Verknüpfungseinrichtung die Signale des wenigstens einen Antastsensors mit den Signalen des/jedes Temperatursensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal in einer Weise, dass die Signale des/jedes Temperatursensors gemäß einer hinterlegten Funktion nach Zeit, Verlauf, und/oder Betrag verändert werden und eine entsprechende Schaltschwelle an den wenigstens einen Antastsensor vorgegeben wird.In a further variant of the temperature-compensated measuring probe, the linking device combines the signals of the at least one touch sensor with the signals of the / each temperature sensor to form a temperature-compensated detection signal in such a way that the signals of the / each temperature sensor according to a stored function according to time, course, and / or Amount can be changed and a corresponding switching threshold is specified to the at least one Antastsensor.

In einer Variante des temperaturkompensierten Messtasters hat der Messtaster ein Gehäuse, in dem ein ringförmiges Stützlager ausgebildet ist, das eine X,Y-Lagerebene und eine dazu normale zentrale Z-Achse des Messtasters definiert. Ein Tragkörper hat ein ringförmiges Gegenlager, durch das eine Längsachse des Tragkörpers definiert ist. Eine Feder ist zwischen dem Gehäuse und dem Tragkörper eingespannt und bestrebt, letzteren in einer Ruhelage zu halten, in der das Gegenlager am Stützlager anliegt und die Längsachse des Tragkörpers mit der zentralen Achse Z des Messtasters zumindest annähernd übereinstimmt. Eine Taststiftaufnahme ist am Tragkörper zentral angeordnet um einen Taststift aufzunehmen. Alternativ kann die Taststiftaufnahme auch fester Bestandteil des Tragkörpers sein, so dass die Taststiftaufnahme nicht relativ zu dem Tragkörper verschiebbar ist. Ein Übertragungsglied ist im Gehäuse entlang der zentralen Z-Achse verschiebbar geführt um beliebige Auslenkungen des Tragkörpers aus seiner Ruhelage in geradlinige Bewegungen umzusetzen. Dabei kann das Übertragungsglied mit dem Tragkörper über ein Kugelgelenk verbunden sein. Die Bewegung des Übertragungsgliedes ist dabei nicht exakt geradlinig entlang der Z-Achse; vielmehr führt das Übertragungsglied bei Auslenkungen in der X,Y-Lagerebene des Messtasters eine Art Taumelbewegung aus.In a variant of the temperature-compensated probe, the probe has a housing in which an annular support bearing is formed, which defines an X, Y-bearing plane and a normal Z-axis of the probe to normal. A support body has an annular abutment, by which a longitudinal axis of the support body is defined. A spring is clamped between the housing and the support body and endeavors to hold the latter in a rest position in which the abutment rests against the support bearing and the longitudinal axis of the support body at least approximately coincides with the central axis Z of the probe. A stylus recording is centrally located on the support body to receive a stylus. Alternatively, the stylus can also be an integral part of the support body, so that the Taststiftaufnahme is not displaced relative to the support body. A transmission member is slidably guided in the housing along the central Z-axis to implement any deflections of the support body from its rest position in rectilinear movements. In this case, the transmission member may be connected to the support body via a ball joint. The movement of the transfer member is not exactly straight along the Z-axis; Rather, the transfer member performs a kind of wobbling movement in deflections in the X, Y-bearing plane of the probe.

Der Antastsensor setzt solche Bewegungen des Übertragungsgliedes in die Signale um. Ein Ende des Übertragungsgliedes ist an der Taststiftaufnahme mittig angeordnet und nur ein an das andere Ende angrenzender Abschnitt ist in Richtung der zentralen Achse Z geführt. Das Übertragungsglied ist an einer Stelle des Tragkörpers angeordnet, die vom Antastsensor aus betrachtet jenseits der Lagerebene liegt.The touch sensor converts such movements of the transmission element into the signals. One end of the transmission member is arranged centrally on the Taststiftaufnahme and only one adjacent to the other end portion is guided in the direction of the central axis Z. The transmission member is disposed at a position of the support body, which is beyond the storage level viewed from the Antastsensor.

Der Antastsensor kann dabei Teil einer Lichtschranke mit wegabhängig analogem Messsignal, oder ein binär schaltender Sensor sein. Die Taststiftaufnahme kann entlang der Längsachse des Tragkörpers an diesem verschiebbar geführt und in Richtung auf eine durch einen Anschlag definierte Normalstellung federnd vorgespannt sein. Bei einem solchen Messtaster ist ein Bewegungsrichtungsdetektor vorgesehen, der zumindest dazu eingerichtet ist, Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters von Bewegungen in der X,Y-Lagerebene des Messtasters zu unterscheiden und dies wiedergebende Signale an die Verknüpfungseinrichtung abzugeben. Die Verknüpfungseinrichtung ist dazu eingerichtet, bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters temperaturkompensierte Antastsignale auszugeben und bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des Antastsensors auszugeben.The touch sensor may be part of a light barrier with path-dependent analog measurement signal, or a binary switching sensor. The Taststiftaufnahme can be guided along the longitudinal axis of the support body on this slidably and resiliently biased toward a normal position defined by a stop. In such a probe, a movement direction detector is provided, which is at least adapted to distinguish relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe of movements in the X, Y-bearing plane of the probe and this reproducing signals to the linking device leave. The linking device is set up to output temperature-compensated probing signals during relative movements between the measuring probe and a workpiece along the central Z-axis of the measuring probe and during relative movements between the measuring probe and a workpiece along the central Z-axis of the measuring probe in the X, Y-bearing plane of the To output probes temperature-uncompensated signals of the touch sensor.

Ein mehrdimensionaler Messtaster ist sowohl für Antastungen bei Messungen in Z-Richtung als auch für seitliche Messungen in X und Y-Richtung nutzbar. Während die Erwärmung den Messtasters aufgrund seines Aufbaus und seiner Proportionen in erster Linie (in Z-Richtung) längt, bleibt die Tastkugel exakt in der zentralen Z-Achse des Messtasters. Das heißt, (temperaturbedingte) Längenänderungen des Messtasters beeinflussen in erster Näherung nicht die Richtigkeit/Genauigkeit von Messungen in X,Y-Richtung. Die Temperaturkompensation darf also bei X-,Y-Antastungen nicht erfolgen. Das Messwerk eines Messtasters besteht aus einem festen Teil, welcher fest mit dem Gehäuse des Messtasters verbunden ist und die Lagerung für den beweglichen Teil verkörpert, und aus einem beweglichen Teil. Letzterer wird mittels Federkraft in einer stabilen Ruhelage im festen Teil gehalten. Der bewegliche Teil nimmt den Taststift auf. Wird die Tastkugel des Taststifts bei Kontakt mit dem Werkstück ausgelenkt, dann wird die damit verbundene Bewegung des beweglichen Messwerkteiles von einem geeigneten Sensor aufgenommen und von der Geräteelektronik ausgewertet. Bei den meisten Messtastern, die in Werkzeugmaschinen eingesetzt werden bedingt die Gestalt des beweglichen Messwerkteiles, dass sich die Signaländerung am Sensor bei einer Auslenkung in Z-Richtung schneller vollzieht als bei einer Auslenkung in X,Y-Richtung. Hierbei gilt, dass die von der Maschine benutzten Antastgeschwindigkeiten für alle Richtungen (X, Y, und Z) identisch sind. Somit kann der Bewegungsrichtungsdetektor eine hohe Signaländerungsrate der wegabhängig analogen Messsignale des Antastsensors als Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters werten und (bei vergleichbarer Antastgeschwindigkeit) eine vergleichsweise niedrige Signaländerungsrate der wegabhängig analogen Messsignale des Antastsensors Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters werten.A multi-dimensional probe can be used for probing measurements in the Z direction as well as for lateral measurements in the X and Y directions. While the heating lengthens the probe primarily due to its structure and proportions (in the Z-direction), the probe ball remains exactly in the central Z-axis of the probe. This means that changes in the length of the probe (due to temperature) do not influence the correctness / accuracy of measurements in the X, Y direction to a first approximation. The temperature compensation must therefore not take place with X, Y probing. The measuring mechanism of a measuring probe consists of a fixed part, which is firmly connected to the housing of the measuring probe and embodies the bearing for the moving part, and a moving part. The latter is held by spring force in a stable rest position in the fixed part. The moving part picks up the stylus. Will the stylus of the stylus contact the workpiece deflected, then the associated movement of the moving part of the measuring mechanism is picked up by a suitable sensor and evaluated by the device electronics. For most probes that are used in machine tools, the shape of the moving part of the measuring instrument causes the signal change at the sensor to take place more rapidly in the Z direction than in the X, Y direction. In this case, the scanning speeds used by the machine are identical for all directions (X, Y, and Z). Thus, the movement direction detector can evaluate a high signal change rate of the path-dependent analog measuring signals of the touch sensor as relative movements between the probe and a workpiece along the central Z axis of the probe and (at comparable probing speed) a comparatively low signal change rate of the path-dependent analog measuring signals of the touch sensor relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y bearing plane of the probe.

In einer anderen Variante des temperaturkompensierten Messtasters sind mehrere Bewegungsrichtungssensoren für die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück vorgesehen, durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreicht ist, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung ausgegeben wird.In another variant of the temperature-compensated probe several movement direction sensors for the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece are provided, is achieved by the mechanical arrangement and orientation that only one of the Z-direction associated movement direction sensor, a temperature compensation activating signal to the Linking device is output.

In einer weiteren Variante des temperaturkompensierten Messtasters sind Beschleunigungssensoren vorgesehen, um die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen des Messtasters zu erfassen. Durch deren mechanische Anordnung und Orientierung ist erreicht, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung ausgegeben wird. Diese Variante eines temperaturkompensierten Messtasters hat ein Messwerk mit mehreren Sensoren für die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen. Durch die entsprechende mechanische Anordnung der Sensoren zu den Bewegungsrichtungen führt eine Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück mit einer Z-Bewegungskomponente nur bei dem der Z-Richtung zugeordneten Sensor zu einer Signaländerung.In a further variant of the temperature-compensated measuring probe, acceleration sensors are provided in order to detect the different directions of movement of the measuring probe. Due to their mechanical arrangement and orientation is achieved that only one of the Z-direction associated movement direction sensor, a temperature compensation activating signal is output to the linking device. This variant of a temperature-compensated probe has a measuring mechanism with several sensors for the different directions of movement. Due to the corresponding mechanical arrangement of the sensors to the directions of movement, a relative movement between the probe and a workpiece with a Z-movement component only in the Z-direction associated sensor leads to a signal change.

In einer weiteren Variante kann das Messwerk mechanisch auch so aufgebaut sein, dass den unterschiedlichen Auslenkrichtungen eigene Antastsensoren zugeordnet sind um die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück zu erfassen. Durch deren mechanische Anordnung und Orientierung ist erreicht, dass bei einer solchen Variante nur das Signal des der Z-Richtung zugeordneten Antastsensors temperaturkompensiert werden muss. Dazu kann basierend auf dem Signal des der Z-Richtung zugeordneten Antastsensors ein aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung ausgegeben wird. Alternativ dazu wird nur das Signal des der Z-Richtung zugeordneten Antastsensors hinsichtlich der Temperatur kompensiert. Der Bewegungsrichtungsensor kann damit entfallen oder dient eben nur dazu, die Kompensation nur bei Signalen des der Z-Richtung zugeordneten Sensors zuzuschalten.In a further variant, the measuring mechanism can also be constructed mechanically such that the separate deflection directions are assigned their own touch sensors in order to detect the different directions of movement of the relative movements between the measuring probe and a workpiece. Due to their mechanical arrangement and orientation is achieved that in such a variant, only the signal of the Z-direction associated Antastsensors must be temperature compensated. For this purpose, based on the signal of the Z-direction associated Antastsensors an activating signal is output to the linking device. Alternatively, only the signal of the Z-direction associated Antastsensors is compensated for the temperature. The movement direction sensor can thus be dispensed with or serves only to switch on the compensation only for signals of the sensor assigned to the Z direction.

Eine weitere Variante des temperaturkompensierten Messtasters hat drei Antastsensoren, zum Beispiel in Form von Dehnungsmessstreifen. Diese bilden jeweils einen eigenen Antastsensor, wobei jede Auslenkrichtung eine Signaländerung eines, zweier oder aller drei Dehnungsmessstreifen bewirkt. Durch Auswertung der drei Dehnungsmessstreifen-Signale ist die Auslenkrichtung und auch der Betrag der Auslenkung bestimmbar. Auch hier wird nur das Signal des der Z-Richtung zugeordneten Sensors temperaturkompensiert.Another variant of the temperature-compensated probe has three antisensors, for example in the form of strain gauges. These each form a separate touch sensor, each deflection direction causing a signal change of one, two or all three strain gauges. By evaluating the three strain gauge signals, the deflection direction and also the amount of deflection can be determined. Again, only the signal of the Z-direction associated sensor is temperature compensated.

Eine andere Variante des temperaturkompensierten Messtasters hat mehrere Antastsensoren für die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück. Durch die mechanische Anordnung und Orientierung der Antastsensoren ist erreicht, dass nur durch einen der Z-Richtung zugeordneten Antastsensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung ausgegeben wird. Alternativ oder zusätzlich kann auch nur das Signal des der Z-Richtung zugeordneten Antastsensors temperaturkompensiert werden.Another variant of the temperature-compensated probe has a plurality of touch sensors for the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece. Due to the mechanical arrangement and orientation of the antitast sensors, it is achieved that a temperature compensation-activating signal is output to the linking device only by a scanning sensor assigned to the Z direction. Alternatively or additionally, only the signal of the antivessel sensor assigned to the Z direction can be temperature-compensated.

In einer anderen Variante des temperaturkompensierten Messtasters ist der Verknüpfungseinrichtung eine dem Messtaster übermittelte die Bewegungsrichtung mittels eines Schalters manuell vorzugeben. Alternativ dazu kann der Verknüpfungseinrichtung die Bewegungsrichtung des Messtasters auch durch die numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine vorzugeben sein. Je nach Maschinenkonzept kann entweder der Messtaster sich gegenüber dem ortsfesten Werkstück bewegen oder der Messtaster kann stehen und das Werkstück wird über eine Tischbewegung zum Messtaster hin bewegt.In another variant of the temperature-compensated measuring probe, the linking device is to manually specify a direction of movement transmitted to the measuring probe by means of a switch. Alternatively, the linking device, the direction of movement of the probe can also be specified by the numerical control of the workpiece processing machine. Depending on the machine concept, either the probe can move in relation to the stationary workpiece or the probe can stop and the workpiece is moved to the probe via a table movement.

In einer anderen Variante des temperaturkompensierten Messtasters übermittelt die numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine dem Messtaster über eine Datenschnittstelle zu Beginn jeder Messbewegung die Bewegungsrichtung, so dass bei Bewegungen entlang der Z-Achse die Temperaturkompensation durch die Verknüpfungseinrichtung zu aktivieren ist.In another variant of the temperature-compensated measuring probe, the numerical control of the workpiece processing machine transmits the measuring direction to the measuring probe via a data interface at the beginning of each measuring movement, so that during movements along the Z-axis Axis, the temperature compensation by the linking device is to be activated.

Schließlich kann eine Temperaturkompensation eines Messtasters auch dadurch erfolgen, dass der Messtaster über eine Datenschnittstelle einer numerischen Steuerung einer Werkstückbearbeitungsmaschine zu Beginn einer jeden Messbewegung oder in zeitlichen Abständen einen Temperatur- oder Längenkorrekturwert übermittelt, den die numerische Steuerung bei Messungen entlang der Z-Achse die Temperaturkompensation mit dem über ein Wegmesssystem der Werkstückbearbeitungsmaschine ermittelten Positionswert verrechnet.Finally, a temperature compensation of a probe can also take place in that the probe transmits via a data interface of a numerical control of a workpiece processing machine at the beginning of each measurement movement or at intervals a temperature or length correction value, the numerical control in measurements along the Z axis, the temperature compensation is offset with the determined via a displacement measuring system of the workpiece processing machine position value.

Kurzbeschreibung der ZeichnungBrief description of the drawing

Weitere Ziele, Merkmale, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung einiger Ausführungsbeispiele und zugehöriger Zeichnungen. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den hier offenbarten Gegenstand, auch unabhängig von ihrer Gruppierung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehungen.Other objects, features, advantages and applications will become apparent from the following description of some embodiments and associated drawings. All described and / or illustrated features alone or in any combination form the subject matter disclosed herein, also independent of their grouping in the claims or their relationships.

1 zeigt ein Flussdiagramm einer hier vorgestellten Verfahrensvariante. 1 shows a flowchart of a method variant presented here.

2 zeigt schematisch eine Werkzeugmaschine, die mit einer Maschinensteuerung gekoppelt ist, welche dazu eingerichtet ist, von einem Messtaster Signale zu empfangen und ggf. diesem auch Signale zu senden. 2 schematically shows a machine tool, which is coupled to a machine control, which is adapted to receive signals from a probe and, if necessary, to send signals.

3 und 4 zeigen wie die Signale jedes Antastsensors mit den Signalen jedes Temperatursensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal verknüpft werden. 3 and 4 show how the signals of each Antastsensors are linked to the signals of each temperature sensor to a temperature-compensated detection signal.

5 und 6 zeigen Messtaster schematisch im Längssschnitt in unterschiedlicher Längung und in unterschiedlichen Antastsituationen. 5 and 6 Show probe schematically in longitudinal section in different elongation and in different Antastsituationen.

Detaillierte BeschreibungDetailed description

Ein in einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmender, berührend oder berührungslos messender temperaturkompensierter Messtaster dient zum Erfassen von Messwerten an einem Werkstück und zum Ausgeben für die Messwerte repräsentativer Signale.A temperature-compensated measuring probe which is to be recorded in a workpiece-processing machine and which makes contact or contactlessly serves for detecting measured values on a workpiece and for outputting the measured values of representative signals.

Wie in 1 veranschaulicht, dient eine Tasteinrichtung des Messtasters ein- oder mehrdimensionalen Antastung eines Werkstücks. Diese Tasteinrichtung steuert einen Antastsensor zum Umsetzen solcher Antastungen in Signale an. Ein dem Messtaster zugeordneter Temperatursensor erzeugt ein für die Temperatur des Messtasters repräsentatives Signal. In einer Verknüpfungseinrichtung werden die Signale des Antastsensors mit den Signalen des Temperatursensors dann zu einem temperaturkompensierten Antastsignal verknüpft, das dazu bestimmt ist, an eine numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine ausgegeben zu werden, wenn die Antastung entlang der Z(entral)-Achse des Messtasters erfolgt. Ansonsten wird das unkompensierte Signal des Antastsensors an die numerische Steuerung der Werkstückbearbeitungsmaschine ausgegeben.As in 1 illustrates a sensing device of the probe one or more dimensional probing of a workpiece. This sensing device controls a probing sensor to convert such probes into signals. A temperature sensor associated with the probe generates a signal representative of the temperature of the probe. In a linking device, the signals of the touch sensor with the signals of the temperature sensor are then linked to a temperature-compensated sound signal, which is intended to be output to a numerical control of the workpiece processing machine when the probing along the Z (entral) axis of the probe takes place. Otherwise, the uncompensated signal of the touch sensor is output to the numerical control of the workpiece processing machine.

In einer Verfahrensvariante sind Signale mehrerer dem Messtaster zugeordneter Temperatursensoren in der Verknüpfungseinrichtung mit den Signalen des Antastsensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal verknüpft werden.In a variant of the method, signals of a plurality of temperature sensors assigned to the measuring probe in the linking device are combined with the signals of the touch sensor to form a temperature-compensated detection signal.

Dabei werden die Signale des/jedes Antastsensors mit den Signalen des/jedes Temperatursensors zu einem temperaturkompensierten Antastsignal in der Weise verknüpft werden, dass ein Signal des Antastsensors in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal des/jedes Temperatursensors wiedergibt, zeitverzögert als temperaturkompensiertes Antastsignal ausgegeben wird. Alternativ dazu können die Signale des/jedes Antastsensors mit den Signalen des/jedes Temperatursensors und einem aus dem/den Temperatursignal(en) generierten Temperaturgradienten zu einem temperaturkompensierten Antastsignal in der Weise verknüpft werden, dass ein Signal des Antastsensors in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal des/jedes Temperatursensors wiedergibt, zeitverzögert als temperaturkompensiertes Antastsignal ausgegeben wird. Dies wird auch in den 3, 4 veranschaulicht.The signals of the / each Antastsensors with the signals of / each temperature sensor are linked to a temperature-compensated detection signal in such a way that a signal of the Antastsensors depending on the temperature, which reproduces the signal of / each temperature sensor, time-delayed output as a temperature-compensated detection signal becomes. Alternatively, the signals of the / each touch sensor may be combined with the signals of each temperature sensor and a temperature gradient generated from the temperature signal (s) to form a temperature compensated strobe signal such that a signal from the touch sensor is dependent on the temperature the signal of the / each temperature sensor reproduces, time-delayed output as a temperature-compensated detection signal. This is also in the 3 . 4 illustrated.

Zur Temperaturkompensation eines analoge Signale ausgebenden Messtasters (siehe z. B. auch 5, 6) können die Signale des/jedes Antastsensors ASE mit den Signalen des/jedes Temperatursensors TS1...n zu einem temperaturkompensierten Antastsignal TKAS in einer Weise verknüpft werden, dass eine Schaltschwelle eines Signals des Antastsensors ASE in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal T des/jedes Temperatursensors TS1...n wiedergibt, verändert wird, so dass das Signal des Antastsensors ASE als temperaturkompensiertes Antastsignal TKAS ausgegeben wird.For temperature compensation of a probe emitting analog signals (see, for example, also 5 . 6 ), the signals of the / each touch sensor ASE can be linked to the signals of the / each temperature sensor TS1... n to a temperature compensated sound signal TKAS in such a way that a switching threshold of a signal of the touch sensor ASE as a function of the temperature which the signal T of the / each temperature sensor TS1 ... n is changed, so that the signal of the touch sensor ASE is output as a temperature-compensated detection signal TKAS.

Ein Bewegungsrichtungsdetektor BRD kann zumindest Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters von der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene unterscheiden und dies wiedergebende Richtungssignale an die Verknüpfungseinrichtung VE abgeben (siehe 3) Die Verknüpfungseinrichtung VE ist eine Logikschaltung oder ein Microcontroller, der dazu eingerichtet und bestimmt ist, bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters temperaturkompensierte Antastsignale TKAS auszugeben und bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des Antastsensors ASE auszugeben.A movement direction detector BRD can distinguish at least relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe from the relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y-bearing plane and give this reproducing direction signals to the linking device VE (see 3 ) The linking device VE is a logic circuit or a Microcontroller, which is set up and intended to output temperature-compensated probing signals TKAS during relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe and temperature-uncompensated for relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y-bearing plane of the probe Output signals of the touch sensor ASE.

Der Bewegungsrichtungsdetektor BRD kann dabei die Richtungssignale aus der Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals ermitteln (siehe 6) und die Richtungssignale an die Verknüpfungseinrichtung VE abgeben. Bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters gibt die Verknüpfungseinrichtung VE temperaturkompensierte Antastsignale TKAS aus und bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters gibt die Verknüpfungseinrichtung VE temperatur-unkompensierte Signale des Antastsensor ASE aus.The movement direction detector BRD can determine the direction signals from the signal change rate of the path-dependent analog measurement signal (see 6 ) and send the direction signals to the linking device VE. During relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe, the link device VE outputs temperature-compensated probing signals TKAS and in relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y-bearing plane of the probe, the linkage device VE temperature-uncompensated signals of the touch sensor ASE.

Wie in 6 veranschaulicht, wertet der Bewegungsrichtungsdetektor BRD eine hohe Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des Antastsensors ASE als Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters. Eine vergleichsweise niedrige Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des Antastsensors ASE wird als Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters gewertet.As in 6 illustrated, the movement direction detector BRD evaluates a high signal change rate of the path-dependent analog measurement signal of the touch sensor ASE as relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe. A comparatively low signal change rate of the path-dependent analog measuring signal of the touch sensor ASE is evaluated as a relative movement between the probe and a workpiece in the X, Y bearing plane of the probe.

Bei einem binär schaltenden Messtaster, oder bei einem sich nach außen (auch) wie ein binär schaltender Messtaster verhaltender Messtaster, oder bei einem Messtaster mit binär schaltendem Antastsensor ist aus dem Schaltsignal keine Information über die Antastrichtung ermittelbar. Daher können in dem Messtaster mehrere Bewegungsrichtungssensoren für die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreichen, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung VE ausgegeben wird. Alternativ dazu können die Beschleunigungssensoren die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück erfassen und durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreichen, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung VE ausgegeben wird.In the case of a binary-switching measuring probe, or in the case of a measuring probe behaving outwards (also) like a binary-switching measuring probe, or in the case of a measuring probe with a binary switching scanning sensor, no information about the scanning direction can be determined from the switching signal. Therefore, in the probe several movement direction sensors for the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece by their mechanical arrangement and orientation can achieve that only one of the Z-direction associated movement direction sensor, the temperature compensation activating signal is output to the linking device VE. Alternatively, the acceleration sensors can detect the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece and achieve by their mechanical arrangement and orientation that only in one of the Z direction associated movement direction sensor, a temperature compensation activating signal is output to the linkage device VE.

Alternativ dazu kann der Verknüpfungseinrichtung (VE) die Bewegungsrichtung der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück mittels eines nicht weiter veranschaulichten Schalters manuell, oder durch die numerische Steuerung NC der Werkstückbearbeitungsmaschine WBM vorgegeben werden.Alternatively, the linking device (VE), the direction of movement of the relative movements between the probe and a workpiece by means of a not further illustrated switch manually, or by the numerical control NC of the workpiece processing machine WBM be specified.

Die vorangehend beschriebenen Varianten des Verfahrens und der Vorrichtung dienen lediglich dem besseren Verständnis der Struktur, der Funktionsweise und der Eigenschaften der vorgestellten Lösung; sie schränken die Offenbarung nicht etwa auf die Ausführungsbeispiele ein. Die Fig. sind schematisch, wobei wesentliche Eigenschaften und Effekte zum Teil deutlich vergrößert dargestellt sind, um die Funktionen, Wirkprinzipien, technischen Ausgestaltungen und Merkmale zu verdeutlichen. Dabei kann jede Funktionsweise, jedes Prinzip, jede technische Ausgestaltung und jedes Merkmal, welches/welche in den Fig. oder im Text offenbart ist/sind, mit allen Ansprüchen, jedem Merkmal im Text und in den anderen Fig., anderen Funktionsweisen, Prinzipien, technischen Ausgestaltungen und Merkmalen, die in dieser Offenbarung enthalten sind oder sich daraus ergeben, frei und beliebig kombiniert werden, so dass alle denkbaren Kombinationen der beschriebenen Lösung zuzuschreiben sind. Dabei sind auch Kombinationen zwischen allen einzelnen Ausführungen im Text, das heißt in jedem Abschnitt der Beschreibung, in den Ansprüchen und auch Kombinationen zwischen verschiedenen Varianten im Text, in den Ansprüchen und in den Fig. umfasst.The above-described variants of the method and the device are only for the better understanding of the structure, the operation and the properties of the proposed solution; they do not restrict the revelation to the exemplary embodiments. The figures are schematic, essential features and effects being shown, in part, clearly enlarged, in order to clarify the functions, operating principles, technical configurations and features. In this case, every mode of operation, every principle, every technical embodiment and every feature which is / are disclosed in the figures or in the text, with all claims, every feature in the text and in the other figures, other modes of operation, principles, technical embodiments and features contained in or resulting from this disclosure are combined freely and arbitrarily, so that all conceivable combinations attributable to the described solution. In this case, combinations between all individual versions in the text, that is to say in every section of the description, in the claims and also combinations between different variants in the text, in the claims and in the figures.

Die vorstehend erläuterten Vorrichtungs- und Verfahrensdetails sind zwar im Zusammenhang dargestellt; es sei jedoch darauf hingewiesen, dass sie auch unabhängig voneinander sind und auch frei miteinander kombinierbar sind. Die in den Fig. gezeigten Verhältnisse der einzelnen Teile und Abschnitte hiervon zueinander und deren Abmessungen und Proportionen sind nicht einschränkend zu verstehen. Vielmehr können einzelne Abmessungen und Proportionen auch von den gezeigten abweichen.The device and method details explained above are shown in context; It should be noted, however, that they are independent of each other and can also be freely combined with each other. The ratios of the individual parts and sections thereof to one another and their dimensions and proportions shown in the figures are not to be understood as limiting. Rather, individual dimensions and proportions may differ from those shown.

Auch die Ansprüche limitieren nicht die Offenbarung und damit die Kombinationsmöglichkeiten aller aufgezeigten Merkmale untereinander. Alle aufgezeigten Merkmale sind explizit auch einzeln und in Kombination mit allen anderen Merkmalen hier offenbart.Also, the claims do not limit the disclosure and thus the combination options of all identified features with each other. All features shown are also explicitly disclosed individually and in combination with all other features here.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • DE 102007043030 A1 [0010] DE 102007043030 A1 [0010]

Claims (20)

In einer Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) aufzunehmender, berührend oder berührungslos messender temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) zum Erfassen von Messwerten an einem Werkstück (WS) und zum Ausgeben für die Messwerte repräsentativer Signale, wobei der Messtaster (MTS, MTE) • eine Tasteinrichtung (TE) zur ein- oder mehrdimensionalen Antastung eines Werkstücks (WS), • wenigstens einen Antastsensor (ASE) zum Umsetzen solcher Antastungen in Signale, • wenigstens einen Temperatursensor (TS), der dem Messtaster (MTS) zugeordnet ist, um ein für die Temperatur des Messtasters (MTS) repräsentatives Signal (T) zu erzeugen, und • eine Verknüpfungseinrichtung (VE) aufweist, welche die Signale wenigstens eines Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) verknüpft, das dazu bestimmt ist, an eine numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) ausgegeben zu werden.Temperature compensated probe (MTS, MTE) to be recorded in a workpiece processing machine (WBM) for detecting measured values on a workpiece (WS) and for outputting the measured values of representative signals, wherein the measuring probe (MTS, MTE) A sensing device (TE) for one or more dimensional probing of a workpiece (WS), At least one touch sensor (ASE) for converting such probes into signals, At least one temperature sensor (TS) associated with the probe (MTS) for generating a probe temperature (MTS) representative signal (T), and • has a linking device (VE), which the signals of at least one Antastsensors (ASE) with the signals (T) of the temperature sensor (TS) linked to a temperature compensated probe signal (TKAS), which is intended to a numerical control (NC) of Workpiece processing machine (WBM) to be issued. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach dem vorherigen Anspruch, wobei mehrere Temperatursensoren (TS) dem Messtaster (MTS) zugeordnet sind, deren Signale in der Verknüpfungseinrichtung (VE) mit den Signalen wenigstens eines Antastsensors (ASE) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) verknüpft werden.Temperature compensated probe (MTS, MTE) according to the preceding claim, wherein a plurality of temperature sensors (TS) are associated with the probe (MTS) whose signals in the linking device (VE) with the signals of at least one Antastsensors (ASE) to a temperature-compensated probe signal (TKAS) be linked. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Verknüpfungseinrichtung (VE) die Signale wenigstens eines Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise verknüpft, dass ein Signal des wenigstens einen Antastsensors (ASE) in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal (T) des/jedes Temperatursensors (TS) wiedergibt, zeitverzögert als temperaturkompensiertes Antastsignal (TKAS) ausgegeben wird, und/oder wobei die Verknüpfungseinrichtung (VE) die Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise verknüpft, dass eine Schaltschwelle eines Signals des wenigstens einen Antastsensors (ASE) in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal (T) des/jedes Temperatursensors (TS) wiedergibt, verändert wird, so dass das Signal des Antastsensors (ASE) als temperaturkompensiertes Antastsignal (TKAS) ausgegeben wird, und/oder wobei die Verknüpfungseinrichtung (VE) die Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise verknüpft, dass die Signale (T) des/jedes Temperatursensors (TS) gemäß einer hinterlegten Funktion nach Zeit, Verlauf, und/oder Betrag verändert werden und eine entsprechende Schaltschwelle an den wenigstens einen Antastsensor (ASE) vorgegeben wird.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein the linking device (VE) the signals of at least one Antastsensors (ASE) with the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) to a temperature-compensated detection signal (TKAS) in a manner linked, that a signal of the at least one Antastsensors (ASE) depending on the temperature, which reproduces the signal (T) of the / each temperature sensor (TS) is time-delayed output as a temperature-compensated detection signal (TKAS), and / or wherein the linking device (VE) combines the signals of the at least one touch sensor (ASE) with the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) into a temperature-compensated detection signal (TKAS) in such a way that a switching threshold of a signal of the at least one touch sensor ( ASE) is changed as a function of the temperature which reproduces the signal (T) of the / each temperature sensor (TS), so that the signal of the touch sensor (ASE) is output as a temperature-compensated detection signal (TKAS), and / or wherein the linking means (VE) combines the signals of the at least one touch sensor (ASE) with the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) to form a temperature compensated strobe signal (TKAS) in a manner that the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) according to a stored function according to time, course, and / or amount are changed and a corresponding switching threshold to the at least one Antastsensor (ASE) is specified. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE), bei dem ein oder mehrere Dehnungsmessstreifen an dem Messtaster angebracht sind, um eine temperaturbedingte Längung des Messtaster an repräsentativer Stelle zu messen und dieses Messergebnis an die numerische Steuerung einer Werkstückbearbeitungsmaschine zur Verrechnung zu senden.Temperature Compensated Probe (MTS, MTE) which has one or more strain gauges attached to the probe to measure a temperature-related elongation of the probe at a representative location and send that measurement to the numerical control of a workpiece processing machine for offsetting. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Messtaster ein Gehäuse (G) hat, in dem ein ringförmiges Stützlager (SL) ausgebildet ist, das eine X,Y-Lagerebene und eine dazu normale zentrale Z-Achse des Messtasters definiert, ein Tragkörper (TK) ein ringförmiges Gegenlager (GL) aufweist, durch das eine Längsachse des Tragkörpers (TK) definiert ist, eine Feder (F) zwischen dem Gehäuse (G) und dem Tragkörper (TK) eingespannt und bestrebt ist, letzteren in einer Ruhelage zu halten, in der das Gegenlager (GL) am Stützlager (SL) anliegt und die Längsachse des Tragkörpers (TK) mit der zentralen Achse Z des Messtasters (MTS, MTE) zumindest annähernd übereinstimmt, eine Taststiftaufnahme (TSA) am Tragkörper (TK) zentral angeordnet ist um einen Taststift (TS) aufzunehmen, ein Übertragungsglied (UG) im Gehäuse (G) entlang der zentralen Z-Achse verschiebbar geführt ist um beliebige Auslenkungen des Tragkörpers (TK), hervorgerufen durch eine Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück, aus seiner Ruhelage in geradlinige Bewegungen umzusetzen, und wenigstens ein Antastsensor (ASE) solche Bewegungen des Übertragungsgliedes in die Signale umsetzt, wobei ein Ende des Übertragungsgliedes (UG) an der Taststiftaufnahme (TSA) mittig angeordnet ist und nur ein an das andere Ende angrenzender Abschnitt in Richtung der zentralen Achse Z geführt ist, wobei das Übertragungsglied (UG) an einer Stelle des Tragkörpers (TK) angeordnet ist, die von dem wenigstens einen Antastsensor (ASE) aus betrachtet jenseits der Lagerebene liegt, wobei der wenigstens eine Antastsensor (ASE) Teil einer Lichtschranke mit wegabhängig analogem Messsignal ist oder einem binären Schaltsignal ist und die Taststiftaufnahme (TSA) an dem Tragkörper (TK) angeordnet oder ein Teil des Tragkörpers (TK) ist und entlang dessen Längsachse verschiebbar geführt und in Richtung auf eine durch einen Anschlag definierte Normalstellung federnd vorgespannt ist.Temperature compensated probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein the probe has a housing (G) in which an annular support bearing (SL) is formed, which has an X, Y bearing plane and a normal Z-axis of the normal Assembled probe defined, a support body (TK) has an annular abutment (GL), by which a longitudinal axis of the support body (TK) is defined, a spring (F) between the housing (G) and the support body (TK) is clamped and striving, to hold the latter in a rest position in which abutment (GL) abuts the support bearing (SL) and the longitudinal axis of the support body (TK) at least approximately coincides with the central axis Z of the probe (MTS, MTE), a stylus recording (TSA) on Supporting body (TK) is centrally arranged to receive a stylus (TS), a transmission member (UG) in the housing (G) along the central Z-axis slidably guided by any deflections of the support body (TK), caused d urch a relative movement between the probe and a workpiece to convert from its rest position into linear movements, and at least one Antastsensor (ASE) such movements of the transmission member into the signals, with one end of the transmission member (UG) on the Taststiftaufnahme (TSA) arranged centrally and only a portion adjacent to the other end is guided in the direction of the central axis Z, wherein the transmission member (UG) at a position of the support body (TK) is arranged, which viewed from the at least one touch sensor (ASE) beyond the storage plane wherein the at least one touch sensor (ASE) is part of a light barrier with path-dependent analog measurement signal or a binary switching signal and the stylus (TSA) arranged on the support body (TK) or part of the support body (TK) and slidable along its longitudinal axis guided and fed towards a defined by a stop normal position ernd biased. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) wobei ein Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) vorgesehen ist, der dazu eingerichtet ist, (i) zumindest Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters von Bewegungen in der X,Y-Lagerebene zu unterscheiden und (ii) dies wiedergebende Richtungssignale an die Verknüpfungseinrichtung (VE) abzugeben, und wobei die Verknüpfungseinrichtung (VE) dazu eingerichtet ist, bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters temperaturkompensierte Antastsignale (TKAS) auszugeben und bei bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des Antastsensors (ASE) auszugeben. Temperature Compensated Probe (MTS, MTE) having a direction of motion detector (BRD) adapted to (i) at least relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe of movements in the X, Y bearing plane and (ii) outputting reproducing directional signals to the linking device (VE), and wherein the linking device (VE) is adapted to output temperature-compensated sound signals (TKAS) during relative movements between the measuring probe and a workpiece along the central Z-axis of the measuring probe, and in the case of relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y bearing plane of the probe, output temperature-uncompensated signals of the probe sensor (ASE). Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) dazu eingerichtet ist, die Richtungssignale aus der Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals zu ermitteln und bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters temperaturkompensierte Antastsignale (TKAS) auszugeben und bei Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) auszugeben, und/oder wobei der Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) eine hohe Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des Antastsensors (ASE) als Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters wertet und eine vergleichsweise niedrige Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des Antastsensors (ASE) als Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters wertet.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein the movement direction detector (BRD) is adapted to determine the direction signals from the signal change rate of the path-dependent analog measuring signal and relative movements between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the To output probes temperature-compensated probing signals (TKAS) and to output temperature-uncompensated signals of at least one Antastsensors (ASE) for relative movements between the probe and a workpiece in the X, Y-bearing plane of the probe, and / or wherein the movement direction detector (BRD) a high signal change rate the path-dependent analog measurement signal of the touch sensor (ASE) as a relative movement between the probe and a workpiece along the central Z-axis of the probe evaluates and a comparatively low signal change rate of the path-dependent analog measurement signal of Antastsensors (ASE) a ls Evaluates the relative movement between the probe and a workpiece in the X, Y bearing plane of the probe. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei mehrere Antastsensoren (ASE) für die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück vorgesehen sind, wobei durch die mechanische Anordnung und Orientierung der Antastsensoren (ASE) erreicht ist, dass nur durch einen der Z-Richtung zugeordneten Antastsensor (ASE) ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung (VE) ausgegeben wird und/oder nur das Signal des der Z-Richtung zugeordneten Antastsensors (ASE) hinsichtlich der Temperatur zu kompensieren ist.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein a plurality of touch sensors (ASE) are provided for the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece, wherein achieved by the mechanical arrangement and orientation of the touch sensors (ASE) that a signal activating the temperature compensation signal is output to the linking device (VE) only by a scanning sensor (ASE) assigned to the Z direction, and / or only the signal of the scanning sensor (ASE) assigned to the Z direction is to be compensated with respect to the temperature. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei Beschleunigungssensoren vorgesehen sind, um die unterschiedlichen Bewegungsrichtungen der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück zu erfassen und durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreicht ist, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung (VE) ausgegeben wird.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein acceleration sensors are provided to detect the different directions of movement of the relative movements between the probe and a workpiece and is achieved by the mechanical arrangement and orientation that in only one of the Z-direction associated movement direction sensor, a temperature compensation activating signal is output to the linking device (VE). Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei der Verknüpfungseinrichtung (VE) die Bewegungsrichtung der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück mittels eines Schalters manuell vorzugeben ist, und/oder wobei der Verknüpfungseinrichtung (VE) die Bewegungsrichtung der Relativbewegungen zwischen dem Messtaster und einem Werkstück durch die numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) vorzugeben ist.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to one of the preceding claims, wherein the linking device (VE), the direction of movement of relative movements between the probe and a workpiece manually by means of a switch is to specify, and / or wherein the linking device (VE) the direction of movement of the relative movements between the probe and a workpiece by the numerical control (NC) of the workpiece processing machine (WBM) is to specify. Temperaturkompensierter Messtaster (MTS, MTE) nach dem vorherigen Anspruch, wobei die numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) dem Messtaster über eine Datenschnittstelle zu Beginn jeder Messbewegung die Bewegungsrichtung übermittelt, so dass bei einer Relativbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück entlang der Z-Achse des Messtasters die Temperaturkompensation durch die Verknüpfungseinrichtung (VE) zu aktivieren ist.Temperature-compensated measuring probe (MTS, MTE) according to the preceding claim, wherein the numerical control (NC) of the workpiece processing machine (WBM) transmits the direction of movement to the probe via a data interface at the beginning of each measuring movement, so that during a relative movement between the probe and a workpiece along the Z-axis of the probe the temperature compensation by the linking device (VE) is to be activated. Temperaturkompensation eines Messtasters, wobei der Messtaster über eine Datenschnittstelle einer numerischen Steuerung (NC) einer Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) zu Beginn einer jeden Messbewegung zwischen dem Messtaster und einem Werkstück oder in zeitlichen Abständen einen Temperatur- oder Längenkorrekturwert übermittelt, den die numerische Steuerung (NC) bei Messungen entlang der Z-Achse des Messtasters die Temperaturkompensation mit dem über ein Wegmesssystem der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) ermittelten Positionswert verrechnet.Temperature compensation of a probe, whereby the probe transmits, via a data interface of a numerical control (NC) of a workpiece processing machine (WBM) at the beginning of each measuring movement between the probe and a workpiece or at intervals a temperature or length correction value which the numerical control (NC) For measurements along the Z axis of the probe, the temperature compensation is calculated with the position value determined via a path measuring system of the workpiece processing machine (WBM). Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE), der in einer Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) aufzunehmen ist, mit den Schritten • Antasten eines Werkstücks (WS) mittels einer Tasteinrichtung (TE) des Messtasters (MTS, MTE), • Umsetzen solcher Antastungen in Signale mittels wenigstens eines Antastsensors (ASE) des Messtasters, • Erzeugen eines für die Temperatur des Messtasters (MTS) repräsentatives Signal (T) mittels wenigstens eines Temperatursensors (TS), der dem Messtaster (MTS) zugeordnet ist, und • Verknüpfen der Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) des Messtasters, das dazu bestimmt ist, an eine numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) ausgegeben zu werden.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE), which is to be incorporated in a workpiece processing machine (WBM), comprising the steps of • probing a workpiece (WS) by means of a probe (TE) of the probe (MTS, MTE), • converting such probes into Signals by means of at least one Antastsensors (ASE) of the probe, • Generating a temperature for the probe (MTS) representative signal (T) by means of at least one temperature sensor (TS), which is assigned to the probe (MTS), and • Linking the signals of at least one Antastsensors (ASE) with the signals (T) of the temperature sensor (TS) to a temperature-compensated probing signal (TKAS) of the probe, which is intended to a numerical control (NC) of the workpiece processing machine (WBM) output to become. Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach dem vorherigen Verfahrensanspruch, wobei Signale mehrerer dem Messtaster (MTS) zugeordneter Temperatursensoren (TS1, TS2, ...) in der Verknüpfungseinrichtung (VE) mit den Signalen des wenigstens einen Antastsensors (ASE) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) des Messtasters verknüpft werden.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to the preceding method claim, wherein signals of several of the probe (MTS) associated temperature sensors (TS1, TS2, ...) in the linking device (VE) with the signals of the at least one touch sensor (ASE) be linked to a temperature-compensated detection signal (TKAS) of the probe. Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Verfahrensansprüche, wobei die Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise verknüpft werden, dass ein Signal des Antastsensors (ASE) in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal (T) des/jedes Temperatursensors (TS) wiedergibt, zeitverzögert als temperaturkompensiertes Antastsignal (TKAS) des Messtasters ausgegeben wird, und/oder wobei die Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise verknüpft werden, dass eine Schaltschwelle eines Signals des Antastsensors (ASE) in Abhängigkeit von der Temperatur, welche das Signal (T) des/jedes Temperatursensors (TS) wiedergibt, verändert wird, so dass das Signal des wenigstens einen Antastsensors (ASE) als temperaturkompensiertes Antastsignal (TKAS) des Messtasters ausgegeben wird, und/oder wobei die Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) mit den Signalen (T) des/jedes Temperatursensors (TS) zu einem temperaturkompensierten Antastsignal (TKAS) in einer Weise werden, dass die Signale (T) des/jedes Temperatursensors (TS) gemäß einer hinterlegten Funktion nach Zeit, Verlauf, und/oder Betrag verändert werden und eine entsprechende Schaltschwelle an den wenigstens einen Antastsensors (ASE) des Messtasters vorgegeben wird.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to one of the preceding method claims, wherein the signals of the at least one touch sensor (ASE) with the signals (T) of / each temperature sensor (TS) linked to a temperature-compensated detection signal (TKAS) in a manner be that a signal of the Antastsensors (ASE) in response to the temperature, which reproduces the signal (T) of / each temperature sensor (TS), time-delayed output as a temperature compensated probe signal (TKAS) of the probe, and / or wherein the signals of the at least one touch sensor (ASE) are combined with the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) to form a temperature compensated detection signal (TKAS) in such a way that a switching threshold of a signal of the touch sensor (ASE) depends on the Temperature, which reproduces the signal (T) of / each temperature sensor (TS) is changed, so that the signal of the at least one Antastsensors (ASE) is output as a temperature-compensated detection signal (TKAS) of the probe, and / or wherein the signals of the at least one touch sensor (ASE) with the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) to a temperature compensated detection signal (TKAS) in such a way that the signals (T) of the / each temperature sensor (TS) according to a deposited function according to time, course, and / or amount are changed and a corresponding switching threshold to the at least one Antastsensors (ASE) of the probe is specified. Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Verfahrensansprüche, ein Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) (i) zumindest Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters von Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters unterscheidet und (ii) dies wiedergebende Richtungssignale an die Verknüpfungseinrichtung (VE) abgibt, und wobei die Verknüpfungseinrichtung (VE) bei Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück entlang der zentralen Z-Achse des Messtasters temperaturkompensierte Antastsignale (TKAS) ausgibt und bei Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) ausgibt.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to one of the preceding method claims, a movement direction detector (FR) (i) at least relative movements between probe and workpiece along the central Z-axis of the probe of relative movements between probe and workpiece in the X, Y (Ii) this reproduces reproducing direction signals to the linking device (VE), and wherein the linking device (VE) outputs relative to movements between probe and workpiece along the central Z-axis of the probe temperature-compensated probing signals (TKAS) and relative movements between Probe and workpiece in the X, Y bearing plane of the probe outputs temperature-uncompensated signals of at least one touch sensor (ASE). Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Verfahrensansprüche, wobei der Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) die Richtungssignale aus der Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals ermittelt und bei Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück entlang der zentralen Z-Achse temperaturkompensierte Antastsignale (TKAS) ausgibt und bei Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück in der X,Y-Lagerebene des Messtasters temperatur-unkompensierte Signale des wenigstens einen Antastsensors (ASE) ausgibt, und/oder wobei der Bewegungsrichtungsdetektor (BRD) eine hohe Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des wenigstens einen Antastsensors (ASE) als Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück entlang der zentralen Z-Achse wertet und eine vergleichsweise niedrige Signaländerungsrate des wegabhängig analogen Messsignals des wenigstens einen Antastsensors (ASE) als Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück in der X,Y-Lagerebene wertet, und/oder wobei mehrere Bewegungsrichtungssensoren für die unterschiedlichen Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreichen, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung (VE) ausgegeben wird.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to one of the preceding method claims, wherein the movement direction detector (BRD) determines the direction signals from the signal change rate of the path-dependent analog measuring signal and at relative movements between probe and workpiece along the central Z-axis temperature-compensated probing signals (TKAS) outputs and outputs relative to movements between the probe and workpiece in the X, Y-bearing plane of the probe temperature-uncompensated signals of at least one Antastsensors (ASE), and / or wherein the movement direction detector (BRD) evaluates a high signal change rate of the path-dependent analog measurement signal of the at least one touch sensor (ASE) as relative movements between the probe and the workpiece along the central Z axis and a comparatively low signal rate of the path-dependent analog measurement signal of the at least one Antastsensors (ASE) Evaluates relative movements between probe and workpiece in the X, Y bearing plane, and / or wherein a plurality of movement direction sensors for the different relative movements between the probe and workpiece by their mechanical arrangement and orientation achieve that only in one of the Z direction associated movement direction sensor, a temperature compensation activating signal is output to the linking device (VE). Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Verfahrensansprüche, wobei Beschleunigungssensoren die unterschiedlichen Richtungen der Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück erfassen und durch deren mechanische Anordnung und Orientierung erreichen, dass nur bei einem der Z-Richtung zugeordneten Bewegungsrichtungssensor ein die Temperaturkompensation aktivierendes Signal an die Verknüpfungseinrichtung (VE) ausgegeben wird.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to one of the preceding method claims, wherein acceleration sensors detect the different directions of the relative movements between probe and workpiece and achieve by the mechanical arrangement and orientation that only in one of the Z-direction associated movement direction sensor, the temperature compensation activating signal is output to the linking device (VE). Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach einem der vorherigen Verfahrensansprüche, wobei der Verknüpfungseinrichtung (VE) die dem Messtaster übermittelte Bewegungsrichtung der Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück mittels eines Schalters manuell vorgegeben wird, und/oder wobei der Verknüpfungseinrichtung (VE) die dem Messtaster übermittelte Bewegungsrichtung der Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück durch die numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) vorgegeben wird.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to one of the preceding method claims, wherein the linking device (VE) transmitted to the probe movement direction of the relative movements between the probe and the workpiece by means of a switch is manually specified, and / or wherein the linking device (VE) is transmitted to the probe transmitted movement direction of the relative movements between the probe and the workpiece by the numerical control (NC) of the workpiece processing machine (WBM). Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters (MTS, MTE) nach dem vorherigen Verfahrensanspruch, wobei die numerische Steuerung (NC) der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) dem Messtaster über eine Datenschnittstelle zu Beginn jeder Messbewegung die Richtung der Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück übermittelt, so dass bei Relativbewegungen zwischen Messtaster und Werkstück entlang der Z-Achse des Messtasters die Temperaturkompensation durch die Verknüpfungseinrichtung (VE) zu aktivieren ist, und/oder wobei der Messtaster über eine Datenschnittstelle einer numerischen Steuerung (NC) einer Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) zu Beginn einer jeden Messbewegung oder in zeitlichen Abständen einen Temperatur- oder Längenkorrekturwert übermittelt, den die numerische Steuerung (NC) bei Messungen entlang der Z-Achse das Temperaturkompensationssignal mit dem über ein Wegmesssystem der Werkstückbearbeitungsmaschine (WBM) ermittelten Positionswert verrechnet.Method for temperature compensation of a probe (MTS, MTE) according to the previous method claim, wherein the numerical control (NC) of the workpiece processing machine (WBM) transmits to the probe via a data interface at the beginning of each measuring movement, the direction of the relative movements between the probe and the workpiece, so that during relative movements between the probe and the workpiece along the Z-axis of the probe, the temperature compensation by the linking device (VE) is to be activated, and / or wherein the probe via a data interface of a numerical control (NC) of a workpiece processing machine (WBM) at the beginning of each measuring movement or in time intervals a temperature or length correction value transmitted to the numerical control (NC) in measurements along the Z-axis, the temperature compensation signal with the determined via a path measuring system of the workpiece processing machine (WBM) calculated position value.
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