DE102012216868A1

DE102012216868A1 - Receiving device for leakage test of reference samples by differential pressure testing, has gas-tight lockable reference and testing chambers thermally coupled with one another by heat guiding plate and base element

Info

Publication number: DE102012216868A1
Application number: DE201210216868
Authority: DE
Inventors: Dirk Raschke
Original assignee: ZF Friedrichshafen AG
Current assignee: ZF Friedrichshafen AG
Priority date: 2012-09-20
Filing date: 2012-09-20
Publication date: 2014-03-20

Abstract

The device (100) has a gas-tight lockable reference chamber (110) and a gas-tight lockable testing chamber (130) receiving a reference sample (140) and actuated over terminals (114, 134) with pressure. The reference and testing chambers are thermally coupled with one another by a heat guiding plate and a base element (120) that represents a wall section of the reference and testing chambers. The reference and testing chamber comprises a lid and/or an upper part (132). A seal (136) is arranged at a portion of the base element and formed as a seal ring. Independent claims are also included for the following: (1) a testing system for testing leakage of samples by differential pressure testing (2) a method for testing leakage of samples by differential pressure testing.

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Aufnahmevorrichtungen für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung, auf ein Prüfsystem für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung und auf Prüfverfahren zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung. The present invention relates to receiving devices for leak testing of specimens by means of differential pressure testing, to a test system for a leak test of specimens by means of differential pressure test and to test methods for testing specimens for leaks by differential pressure testing.

Zur Ermittlung einer Dichtigkeit bzw. einer Leckagerate eines Prüflings mit einem Hohlraum, beispielsweise eines geschlossenen Gehäuses, kann insbesondere eine Differenzdruckprüfung durchgeführt werden. Somit können Prüfgeräte für eine sogenannte Closed-Component-Prüfung basierend auf dem Differenzdruckprüfungsprinzip arbeiten. In order to determine a tightness or a leakage rate of a test specimen with a cavity, for example a closed housing, in particular a differential pressure test can be carried out. Thus, test equipment can work for a so-called closed-component test based on the differential pressure test principle.

Vor diesem Hintergrund schafft die vorliegende Erfindung verbesserte Aufnahmevorrichtungen für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung, ein verbessertes Prüfsystem für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung und verbesserte Prüfverfahren zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung gemäß den Hauptansprüchen. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung. Against this background, the present invention provides improved differential pressure tester integrity test equipment, an improved test system for differential pressure test of test specimens, and improved test methods for testing Draft Density specimens according to the main claims. Advantageous embodiments will become apparent from the dependent claims and the description below.

Bei gängigen Konzepten zur Differenzdruckprüfung auf Dichtigkeit wird ein Prüfling in eine vorgesehene Vorrichtung zum Druckdifferenzmessen gesetzt. Dabei kann es sein, dass der Prüfling durch vorangehende Fertigungsschritte, wie z.B. Laser-Schweißen von Kunststoffteilen oder Vergussprozessen mit Aushärteofen oder dergleichen, eine andere Temperatur hat als die Vorrichtung zur Aufnahme des Prüflings. Die Differenzdruckprüfung auf Bauteil- oder Baugruppendichtigkeit unterliegt üblicherweise Temperatureinflüssen. Je genauer eine solche Druckmessung gewünscht ist, desto mehr können schon geringe Temperaturdifferenzen zwischen unterschiedlichen Vorrichtungsabschnitten und auch dem Prüfling und der Vorrichtung zu Abweichungen und verfälschten Ergebnissen führen. Woher Messabweichungen herrühren, d.h. von einem tatsächlich undichten Prüfling oder von einem solchen Temperatureinfluss, ist üblicherweise dann nicht mehr feststellbar. Wenn an ein Prüfgerät lediglich ein Aufnahmeabschnitt an einer ersten Seite eines Differenzdrucksensors angeschlossen ist, kann dieser Aufnahmeabschnitt sich thermisch anders verhalten, als eine zweite Seite des Differenzdrucksensors, an der kein Aufnahmeabschnitt angeschlossen ist. In conventional concepts for differential pressure testing for leaks a specimen is placed in a designated device for pressure difference measurements. In this case, it may be that the test specimen is affected by previous production steps, such as Laser welding of plastic parts or casting processes with curing oven or the like, a different temperature than the device for receiving the test specimen. The differential pressure test for component or module sealing is usually subject to temperature influences. The more precisely such a pressure measurement is desired, the more even small temperature differences between different device sections and also the test object and the device can lead to deviations and distorted results. Where deviations originate from, i. from an actual leaking specimen or from such a temperature influence, is then usually no longer detectable. If only one receiving section is connected to a test device on a first side of a differential pressure sensor, this receiving section may behave thermally differently than a second side of the differential pressure sensor to which no receiving section is connected.

Um solche Temperatureinflüsse weitestgehend zu eliminieren, kann gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ein Temperaturausgleich zwischen Prüflingen und der Messvorrichtung, insbesondere der Aufnahmevorrichtung für die Prüflinge erfolgen bzw. ermöglicht werden, sodass beim eigentlichen Differenzdruckprüfschritt etwaige Temperaturdifferenzen zwischen Prüflingen und der Messvorrichtung bereits beseitigt sind. So ist gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung insbesondere eine Wärmekopplung zwischen Vorrichtungsabschnitten vorgesehen. Auch kann beispielsweise eine zyklische Bestückung und Prüfung einer Mehrzahl von Prüflingen mittels eines Prüfsystems mit einer Mehrzahl von Aufnahmevorrichtungen vorgesehen sein. In order to eliminate such temperature influences as far as possible, according to embodiments of the present invention, a temperature compensation between DUTs and the measuring device, in particular the recording device for the DUTs done or made possible, so that the actual Differenzdruckprüfschritt any temperature differences between DUTs and the measuring device are already eliminated. Thus, according to embodiments of the present invention, in particular a heat coupling between device sections is provided. Also, for example, a cyclic assembly and testing of a plurality of specimens may be provided by means of a test system with a plurality of receiving devices.

Vorteilhafterweise können gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung temperaturdifferenzbedingte Probleme vermieden werden, die beispielsweise entstehen können, wenn ein Prüfling eine andere Temperatur als die Prüf- und/oder Aufnahmevorrichtung hat. Durch den vorteilhaften Temperaturausgleich zwischen Vorrichtung und Prüfling kann während der eigentlichen Prüfung eine vom Prüfling verursachte, temperaturdifferenzbedingte Änderung des in der Vorrichtung herrschenden Druckes verhindert werden, sodass das Messergebnis vor thermischer Beeinflussung geschützt ist. Messergebnisse verfälschende Temperatureinflüsse können demnach so weit wie möglich eliminiert werden. Somit kann vermieden werden, dass dichte Prüflinge fälschlicherweise als nicht dichte Prüflinge deklariert und aussortiert werden oder nicht dichte Prüflinge als dicht deklariert werden. Es werden Vorrichtungen und Verfahren geschaffen, die eine thermische Optimierung von Differenzdruckprüfungen ermöglichen, insbesondere auch eine Aufnahmevorrichtung für Prüflinge zur thermischen Optimierung von Differenzdruckprüfungen. Somit kann erreicht werden, dass unter Verwendung einer Vorrichtung bzw. eines Verfahrens gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung Temperatureinflüsse während der Prüfung eliminiert werden und daher die Messergebnisse thermisch möglichst unverfälscht sind. Daher sind genauere Druckmessungen und somit zuverlässigere Prüfungen ermöglicht, wobei falsch positive und falsch negative Prüfergebnisse minimiert werden können. Advantageously, according to embodiments of the present invention, temperature-related problems can be avoided which may arise, for example, when a device under test has a different temperature than the test and / or recording device. Due to the advantageous temperature compensation between the device and the test object, a temperature-difference-dependent change in the pressure prevailing in the device can be prevented during the actual test, so that the measurement result is protected against thermal influence. Accordingly, measurement results that distort the temperature can be eliminated as much as possible. Thus it can be avoided that dense specimens are falsely declared and sorted out as non-dense specimens or dense specimens are declared dense. Devices and methods are provided which enable a thermal optimization of differential pressure tests, in particular also a receiving device for test objects for the thermal optimization of differential pressure tests. It can thus be achieved that, using a device or a method according to embodiments of the present invention, temperature influences during the test are eliminated and therefore the measurement results are thermally as unadulterated as possible. Therefore, more accurate pressure measurements and thus more reliable tests are possible, whereby false positive and false negative test results can be minimized.

Eine Aufnahmevorrichtung für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung weist eine luftdicht bzw. gasdicht bzw. fluiddicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings und eine luftdicht bzw. gasdicht bzw. fluiddicht verschließbare und über einen zweiten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Prüfkammer zur Aufnahme eines Prüflings auf und ist dadurch gekennzeichnet, dass die Referenzkammer und die Prüfkammer thermisch miteinander gekoppelt sind. A receiving device for a leak test of test specimens by means of differential pressure testing has an airtight or gas-tight closable and pressurizable via a first port reference chamber for receiving a Referenzprüflings and airtight or gas-tight or fluid-tight sealable and pressurizable via a second port with pressure Test chamber for receiving a test specimen and is characterized in that the reference chamber and the test chamber are thermally coupled together.

Bei dem Prüfling kann es sich um ein Gehäuse, beispielsweise ein Steuerungsgehäuse, Sensorgehäuse oder dergleichen handeln. Der Referenzprüfling soll die gleichen Abmessungen wie der Prüfling aufweisen. Der Referenzprüfling kann ohne innere Hohlräume ausgeformt sein. Die Aufnahmevorrichtung kann zur Verwendung mit oder als Teil von einem Prüfgerät bzw. Prüfsystem für eine sogenannte Closed-Component-Prüfung vorgesehen sein. Ein solches Prüfsystem kann ausgebildet sein, um Druckunterschiede zwischen zwei Seiten eines Differenzdrucksensors zu messen. Die Prüfkammer und die Referenzkammer sind dabei über ihren jeweiligen Anschluss mit dem Differenzdrucksensor mittels Schlauchleitungen bzw. Fluidleitungen verbindbar. Dabei kann die Prüfkammer, in der ein verschlossener bzw. abgeschlossener Prüfling anordenbar ist, unter Prüfdruck bzw. Prüfunterdruck gesetzt werden. Sofern alle Teile des Prüflings dicht sind, bleibt der Druck in der Prüfkammer im Wesentlichen konstant. Wenn der Prüfling undicht ist, erfolgt ein Druckausgleich zwischen dem Druck in einem Hohlraum des Prüflings und einem Druck in der Umgebung, in diesem Fall in der Prüfkammer. Wenn irgendein Teil des Prüflings undicht ist, wird sich der Druck in der Prüfkammer bzw. auf einer der Prüfkammer zugeordneten Seite des Differenzdrucksensors verändern, z.B. abfallen. Eine solche Druckänderung kann mittels des Differenzdrucksensors gemessen werden, wobei sich der Druck auf der Referenzseite nicht ändert. Anders ausgedrückt kann bei einer Differenzdruckmessung ein Prüfling in eine Aufnahmevorrichtung, welche dann dicht verschlossen wird, eingesetzt bzw. bestückt werden. Um Temperaturdifferenzeinflüsse innerhalb der Aufnahmevorrichtung auszuschließen, kann die Referenzkammer verwendet werden, in der ein Referenzprüfling bzw. Testprüfling, der keinen Hohlraum aufweist, fest verschlossen untergebracht sein kann. Es können zur Prüfung beide Kammern mit einem definierten Druck beaufschlagt werden. Mittels einer Differenzdruckmessvorrichtung, z.B. mittels eines Differenzdrucksensors, kann festgestellt werden, ob der Prüfling dicht ist oder nicht. Wenn der Prüfling nicht dicht ist, ändert sich der Druck in der Prüfkammer und die Differenzdruckmessvorrichtung kann eine solche Druckänderung erfassen. Wenn der Prüfling dicht ist, wird kein Differenzdruck erfasst. Die Referenzkammer und die Prüfkammer sollen hinsichtlich ihrer Abmessungen gleich sein. Die Referenzkammer und die Prüfkammer sollen hinsichtlich ihres Aufbaus gleich sein. Die Referenzkammer und die Prüfkammer sollen ein identisches Innenvolumen bzw. Prüfvolumen aufweisen, das im gasdicht verschlossenen Zustand derselben eingeschlossen ist. Die Referenzkammer kann mit dem Referenzprüfling darin insbesondere mittels einer kraftschlüssigen und/oder formschlüssigen Verbindung verschließbar sein. Die Prüfkammer kann ausgebildet sein, um ein unkompliziertes und zügiges Öffnen und Schließen der Prüfkammer zu ermöglichen. Auf diese Weise können nacheinander mehrere Prüflinge überprüft werden, wobei der Referenzprüfling jeweils als Referenz beibehalten werden kann. Die Referenzkammer und die Prüfkammer können als Wandabschnitte derselben Teilabschnitte der Aufnahmevorrichtung aufweisen. Die Referenzkammer und die Prüfkammer können benachbart zueinander anordenbar oder angeordnet sein. The test object may be a housing, for example a control housing, sensor housing or the like. The reference specimen should have the same dimensions as the specimen. The Referenzprüfling may be formed without internal cavities. The cradle may be provided for use with or as part of a so-called closed-component inspection system. Such a test system may be configured to measure pressure differences between two sides of a differential pressure sensor. The test chamber and the reference chamber can be connected via their respective connection to the differential pressure sensor by means of hose lines or fluid lines. In this case, the test chamber, in which a sealed or closed test specimen can be arranged, be set under test pressure or test vacuum. If all parts of the test specimen are tight, the pressure in the test chamber remains substantially constant. If the test specimen is leaking, a pressure equalization between the pressure in a cavity of the specimen and a pressure in the environment, in this case in the test chamber. If any part of the test piece is leaking, the pressure in the test chamber or on a side of the differential pressure sensor associated with the test chamber will change, for example fall off. Such a pressure change can be measured by means of the differential pressure sensor, wherein the pressure does not change on the reference side. In other words, in a differential pressure measurement, a test specimen in a receiving device, which is then sealed, are used or equipped. In order to exclude temperature differences within the receiving device, the reference chamber can be used, in which a Referenzprüfling or Testprüfling having no cavity, can be housed tightly closed. It can be applied to test both chambers with a defined pressure. By means of a differential pressure measuring device, for example by means of a differential pressure sensor, it can be determined whether the specimen is tight or not. If the test specimen is not tight, the pressure in the test chamber changes and the differential pressure measuring device can detect such pressure change. If the DUT is tight, no differential pressure is detected. The reference chamber and the test chamber should be the same in terms of their dimensions. The reference chamber and the test chamber should be the same in terms of their construction. The reference chamber and the test chamber should have an identical inner volume or test volume, which is enclosed in the gas-tight closed state thereof. The reference chamber can be closed with the reference specimen therein, in particular by means of a non-positive and / or positive connection. The test chamber can be designed to allow an uncomplicated and rapid opening and closing of the test chamber. In this way, a plurality of specimens can be successively checked, wherein the Referenzprüfling can each be maintained as a reference. The reference chamber and the test chamber may have as wall sections of the same sections of the receiving device. The reference chamber and the test chamber may be arranged adjacent to each other or arranged.

Gemäß einer Ausführungsform sind die Referenzkammer und die Prüfkammer hinsichtlich ihres Aufbaus gleich. Unter einem gleichen Aufbau ist hierbei ein identischer Aufbau oder ein Aufbau mit die Prüfung und Wärmekopplung nicht beeinflussenden konstruktiven Unterschieden zu verstehen. Die Referenzkammer und die Prüfkammer sind hinsichtlich ihrer Abmessungen gleich. Die Referenzkammer und die Prüfkammer weisen ein identisches Innenvolumen bzw. Prüfvolumen auf, das im gasdicht verschlossenen Zustand derselben eingeschlossen ist. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass durch den gleichen Aufbau eine besonders genaue Prüfung ermöglicht wird. According to one embodiment, the reference chamber and the test chamber are the same in construction. Under a same structure here is an identical structure or structure to understand the test and heat coupling not affecting structural differences. The reference chamber and the test chamber are the same in terms of their dimensions. The reference chamber and the test chamber have an identical internal volume or test volume, which is enclosed in the gas-tight sealed state thereof. Such an embodiment offers the advantage that a particularly accurate test is made possible by the same structure.

Ferner kann eine Wärmeleitplatte vorgesehen sein, mittels derer die Referenzkammer und die Prüfkammer thermisch gekoppelt sind. Dabei kann die Wärmeleitplatte aus einem wärmeleitfähigen Metall hergestellt sein, beispielsweise Aluminium. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die thermische Kopplung der Referenzkammer und der Prüfkammer miteinander einfach zu realisieren ist. Furthermore, a heat conducting plate can be provided, by means of which the reference chamber and the test chamber are thermally coupled. In this case, the heat conducting plate may be made of a thermally conductive metal, such as aluminum. Such an embodiment has the advantage that the thermal coupling of the reference chamber and the test chamber is easy to implement with each other.

Auch kann ein gemeinsames Bodenelement vorgesehen sein, das einen Wandabschnitt der Referenzkammer und einen Wandabschnitt der Prüfkammer darstellt. Hierbei können die Referenzkammer und die Prüfkammer mittels des Bodenelements thermisch gekoppelt sein. Auch können die Referenzkammer und die Prüfkammer in einem Blech gearbeitet sein, wobei die Aufnahmevorrichtung somit ein Unterteil und ein Oberteil mit jeweils zwei Aufnahmeabschnitten zum Ausbilden der Referenzkammer und der Prüfkammer aufweisen kann. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die thermische Kopplung konstruktiv günstig zu realisieren ist. Also, a common bottom element may be provided which represents a wall portion of the reference chamber and a wall portion of the test chamber. In this case, the reference chamber and the test chamber may be thermally coupled by means of the bottom element. Also, the reference chamber and the test chamber can be worked in a metal sheet, wherein the receiving device can thus have a lower part and an upper part, each with two receiving portions for forming the reference chamber and the test chamber. Such an embodiment offers the advantage that the thermal coupling can be realized in a structurally favorable manner.

Günstig ist es auch, wenn zusätzlich oder alternativ die Aufnahmevorrichtung in einem Wärmeübertragungskanal einer Temperaturausgleichsvorrichtung angeordnet ist bzw. wird, wobei die Kammern der Aufnahmevorrichtung mittels eines Luftstroms in dem Wärmeübertragungskanal thermisch koppelbar oder gekoppelt sind. It is also favorable if, additionally or alternatively, the receiving device is or is arranged in a heat transfer channel of a temperature compensation device, wherein the chambers of the receiving device are thermally coupled or coupled by means of an air flow in the heat transfer channel.

Eine weitere Aufnahmevorrichtung für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung weist eine gasdicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings auf und ist gekennzeichnet durch eine Mehrzahl von gasdicht verschließbaren Prüfkammern, wobei die Mehrzahl von Prüfkammern zur Aufnahme einer Mehrzahl von Prüflingen ausgebildet ist und über eine Mehrzahl von zweiten Anschlüssen mit Druck beaufschlagbar ist. Another receiving device for a leak test of test specimens by means of differential pressure testing has a gas-tight sealable and via a first port with pressure acted upon reference chamber for receiving a Reference Prüflings and is characterized by a plurality of gas-tight sealable test chambers, wherein the plurality of test chambers for receiving a plurality of test pieces is formed and can be acted upon by a plurality of second terminals with pressure.

Dabei kann die Aufnahmevorrichtung für eine zyklische Bestückung der Mehrzahl von Prüfkammern mit Prüflingen sowie eine zyklische Prüfung der Prüflinge ausgebildet sein. Es kann die Mehrzahl von Prüfkammern nacheinander mit Prüflingen bestückt werden. Die Mehrzahl von Prüflingen in den Prüfkammern kann nacheinander geprüft werden. Hierbei kann jede Prüfkammer einen Prüfling aufnehmen. Auch können die Referenzkammer und die Prüfkammer hinsichtlich ihres Aufbaus gleich sein. Unter einem gleichen Aufbau kann hierbei ein identischer Aufbau oder ein Aufbau mit die Prüfung und Wärmekopplung nicht beeinflussenden konstruktiven Unterschieden verstanden werden. Die Referenzkammer und die Prüfkammer können somit hinsichtlich ihrer Abmessungen gleich sein. Die Referenzkammer und die Prüfkammer können ein identisches Innenvolumen bzw. Prüfvolumen aufweisen, das im gasdicht verschlossenen Zustand derselben eingeschlossen ist. In this case, the receiving device for a cyclic assembly of the plurality of test chambers with test specimens and a cyclic examination of the specimens can be formed. The majority of test chambers can be equipped successively with test pieces. The majority of test pieces in the test chambers can be tested consecutively. In this case, each test chamber can accommodate a test object. Also, the reference chamber and the test chamber may be the same in construction. In this case, an identical structure or a construction with structural differences that do not influence the test and heat coupling can be understood to mean the same structure. The reference chamber and the test chamber can thus be the same in terms of their dimensions. The reference chamber and the test chamber may have an identical internal volume or test volume, which is enclosed in the gas-tight closed state thereof.

Ein Prüfsystem für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung weist eine Differenzdruck-Prüfvorrichtung und eine Mehrzahl von Schlauchleitungen auf und ist gekennzeichnet durch eine Variante einer vorstehend beschriebenen Aufnahmevorrichtung, deren Kammern mittels der Schlauchleitungen mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung verbunden sind. A test system for leak testing of specimens by means of differential pressure testing has a differential pressure tester and a plurality of hose lines and is characterized by a variant of a receiving device described above, the chambers of which are connected by means of the hose lines with the differential pressure tester.

Die Differenzdruck-Prüfvorrichtung kann einen Differenzdrucksensor aufweisen. Die Differenzdruck-Prüfvorrichtung kann ausgebildet sein, um eine Differenz zwischen zwei Absolutdrücken zu messen bzw. erfassen. Bei einem ersten Absolutdruck kann es sich um einen Druck innerhalb der gasdicht verschlossenen und mit Druck beaufschlagten Referenzkammer handeln. Bei einem zweiten Absolutdruck kann es sich um einen Druck innerhalb der bzw. einer gasdicht verschlossenen und mit Druck beaufschlagten Prüfkammer handeln. Die Referenzkammer ist mittels einer Schlauchleitung mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung verbunden. Die bzw. jede Prüfkammer ist mittels einer weiteren Schlauchleitung mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung verbunden. The differential pressure tester may include a differential pressure sensor. The differential pressure test apparatus may be configured to measure a difference between two absolute pressures. A first absolute pressure may be a pressure within the gas-tight and pressurized reference chamber. A second absolute pressure may be a pressure within the gas-tight and pressurized test chamber. The reference chamber is connected by means of a hose with the differential pressure tester. The or each test chamber is connected by means of a further hose with the differential pressure tester.

Gemäß einer Ausführungsform können die Schlauchleitungen miteinander verdrillt sein und zusätzlich oder alternativ gemeinsam von einer Umgebung thermisch isoliert sein. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass Temperatureinflüsse von außen auf die Schlauchleitungen und somit auch auf unterschiedliche Vorrichtungsabschnitte gleich wirken. So können Temperaturdifferenzen zwischen unterschiedlichen Vorrichtungsabschnitten weiter reduziert werden. According to one embodiment, the hose lines may be twisted together and additionally or alternatively be thermally insulated together from an environment. Such an embodiment offers the advantage that temperature influences from the outside on the hose lines and thus also act on different device sections the same. Thus, temperature differences between different device sections can be further reduced.

Auch kann eine Temperaturausgleichsvorrichtung mit einem Wärmeübertragungskanal vorgesehen sein, in dem die Differenzdruck-Prüfvorrichtung, die Schlauchleitungen und die Aufnahmevorrichtung angeordnet sind. Die Temperaturausgleichsvorrichtung und der Wärmeübertragungskanal können ausgebildet sein, um einen Temperierluftstrom zum Umströmen der Differenzdruck-Prüfvorrichtung, der Schlauchleitungen und der Aufnahmevorrichtung zu führen. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die thermische Kopplung der Vorrichtungen und Leitungen miteinander und somit ein Temperaturausgleich zwischen denselben besonders wirksam ist. Also, a temperature compensation device may be provided with a heat transfer channel, in which the differential pressure testing device, the hose lines and the receiving device are arranged. The temperature compensation device and the heat transfer channel can be designed to guide a tempering air flow for flowing around the differential pressure tester, the hose lines and the receiving device. Such an embodiment offers the advantage that the thermal coupling of the devices and lines with each other and thus a temperature compensation between them is particularly effective.

Dabei können zu prüfende Prüflinge vor einer Bestückung in die zumindest eine Prüfkammer der Aufnahmevorrichtung in dem Wärmeübertragungskanal der Temperaturausgleichsvorrichtung angeordnet sein. Hierbei können die zu prüfenden Prüflinge vor der Bestückung beispielsweise entgegen einer Strömungsrichtung des Temperierluftstroms in dem Wärmeübertragungskanal gefördert werden. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass die thermische Kopplung der Vorrichtungen und Leitungen miteinander bzw. der Temperaturausgleich zwischen denselben weiter verbessert werden kann. Test specimens to be tested can be arranged in the heat transfer channel of the temperature compensation device prior to placement in the at least one test chamber of the receiving device. In this case, the test specimens to be tested can be conveyed, for example, counter to a direction of flow of the tempering air flow in the heat transfer channel, prior to equipping. Such an embodiment offers the advantage that the thermal coupling of the devices and lines together or the temperature compensation between them can be further improved.

Ein Prüfverfahren zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung ist dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren folgende Schritte umfasst:
Anordnen eines Prüflings in einer Aufnahmevorrichtung, die eine gasdicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings und eine gasdicht verschließbare und über einen zweiten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Prüfkammer zur Aufnahme des Prüflings aufweist;
Durchführen eines Temperaturausgleichs zwischen der Referenzkammer und der Prüfkammer mittels thermischer Kopplung der Referenzkammer und der Prüfkammer miteinander in Vorbereitung auf ein Prüfen des Prüflings; und Prüfen des Prüflings auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung. A test method for testing specimens for leakage by means of differential pressure testing is characterized in that the method comprises the following steps:
Arranging a test specimen in a receiving device, which has a gas-tight sealable and pressurizable via a first port reference chamber for receiving a Referenzprüflings and a gas-tight sealable and pressurizable via a second port test chamber for receiving the specimen;
Performing temperature equalization between the reference chamber and the test chamber by thermally coupling the reference chamber and the test chamber together in preparation for testing the test object; and checking the test specimen for leaks using differential pressure testing.

Das Verfahren kann unter Verwendung eines vorstehend beschriebenen Prüfsystems mit einer Variante der oben beschriebenen Aufnahmevorrichtung vorteilhaft ausgeführt werden, um Prüflinge mittels Differenzdruckprüfung auf Dichtigkeit zu prüfen. Der Schritt des Durchführens des Temperaturausgleichs kann hierbei ein Ableiten von Wärme mittels der thermisch gekoppelten Referenzkammer und Prüfkammer aufweisen. The method can be advantageously carried out using a test system described above with a variant of the recording device described above, to test samples by means of differential pressure test for leaks. The step of performing the temperature compensation may in this case have a dissipation of heat by means of the thermally coupled reference chamber and test chamber.

Zum Bestücken der Prüfkammer mit einem Prüfling im Schritt des Anordnens können sowohl die Prüfkammer als auch die Referenzkammer geöffnet werden. Hierbei kann eine Befüllung der Prüfkammer und der Referenzkammer mit einheitlich temperiertem Gas bzw. einheitlich temperierter Luft bewirkt werden. Die neu einströmende Außenluft kann sich somit auf die Prüfkammer und die Referenzkammer gleich auswirken und die Prüfung positiv beeinflussen. For equipping the test chamber with a test specimen in the step of arranging both the test chamber and the reference chamber can be opened. In this case, a filling of the test chamber and the reference chamber with uniformly tempered gas or uniformly tempered air can be effected. The new incoming outside air can thus have the same effect on the test chamber and the reference chamber and positively influence the test.

Die vorliegende Erfindung schafft ferner ein Prüfverfahren zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren einen Schritt des zeitlich versetzten Anordnens einer Mehrzahl von Prüflingen in einer Aufnahmevorrichtung, die eine gasdicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings und eine Mehrzahl von gasdicht verschließbaren Prüfkammern aufweist, wobei die Mehrzahl von Prüfkammern zur Aufnahme einer Mehrzahl von Prüflingen ausgebildet ist und über eine Mehrzahl von zweiten Anschlüssen mit Druck beaufschlagbar ist, und einen Schritt des Durchführens eines Temperaturausgleichs zwischen der Referenzkammer und der Mehrzahl von Prüfkammern durch bezüglich des Anordnens zeitlich versetztes Prüfen der Prüflinge auf Dichtigkeit. The present invention further provides a test method for testing DUTs for leak testing by differential pressure testing, characterized in that the method comprises a step of staggering a plurality of DUTs in a receptacle which provides a gas tight sealable reference chamber pressurisable via a first port Receiving a reference Prüflings and a plurality of gas-tight sealable test chambers, wherein the plurality of test chambers is adapted to receive a plurality of test pieces and can be acted upon by a plurality of second terminals with pressure, and a step of performing a temperature compensation between the reference chamber and the plurality from test chambers with respect to the arranging time-staggered testing of the test specimens for leaks.

Das Verfahren kann unter Verwendung eines vorstehend beschriebenen Prüfsystems mit einer Variante der oben beschriebenen Aufnahmevorrichtung vorteilhaft ausgeführt werden, um Prüflinge mittels Differenzdruckprüfung vorteilhaft auf Dichtigkeit zu prüfen. Der Schritt des Durchführens des Temperaturausgleichs kann hierbei ein Erzeugen eines Zeitversatzes zwischen dem Schritt des Anordnens eines einzelnen Prüflings und einem Schritt des Prüfens des einzelnen Prüflings auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung aufweisen. Somit kann ein zeitlich versetztes oder sich zeitlich nur teilweise überlappendes Durchführen des Temperaturausgleichs durchgeführt werden. The method can be carried out advantageously using a test system described above with a variant of the recording device described above, to test specimens by means of differential pressure test advantageous for tightness. The step of performing the temperature compensation may include generating a time offset between the step of disposing a single sample and a step of checking the individual sample for leakage by differential pressure testing. Thus, a temporally offset or temporally only partially overlapping performing the temperature compensation can be performed.

Zum Bestücken der Prüfkammer mit einem Prüfling im Schritt des Anordnens können sowohl eine zu bestückende Prüfkammer als auch die Referenzkammer geöffnet werden. Hierbei kann eine Befüllung dieser Prüfkammer und der Referenzkammer mit einheitlich temperiertem Gas bzw. einheitlich temperierter Luft bewirkt werden. Die neu einströmende Außenluft kann sich somit auf diese Prüfkammer und die Referenzkammer gleich auswirken und die Prüfung positiv beeinflussen. For equipping the test chamber with a test specimen in the step of arranging both a test chamber to be equipped and the reference chamber can be opened. In this case, a filling of this test chamber and the reference chamber with uniformly tempered gas or uniformly tempered air can be effected. The new incoming outside air can thus have the same effect on this test chamber and the reference chamber and positively influence the test.

Die Erfindung wird anhand der beigefügten Zeichnungen beispielhaft näher erläutert. Es zeigen: The invention will be described by way of example with reference to the accompanying drawings. Show it:

1 eine Aufnahmevorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; 1 a pickup device according to an embodiment of the present invention;

2 bis 4 Prüfsysteme gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung; und 2 to 4 Test systems according to embodiments of the present invention; and

5 und 6 Ablaufdiagramme von Verfahren gemäß Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung. 5 and 6 Flowcharts of methods according to embodiments of the present invention.

In der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen Figuren dargestellten und ähnlich wirkenden Elemente gleiche oder ähnliche Bezugszeichen verwendet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente verzichtet wird. In the following description of preferred embodiments of the present invention, the same or similar reference numerals are used for the elements shown in the various figures and similarly acting, wherein a repeated description of these elements is omitted.

1 zeigt eine Aufnahmevorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Gezeigt sind die Aufnahmevorrichtung 100, eine Referenzkammer 110, ein Deckel bzw. Oberteil 112 der Referenzkammer 110, ein erster Anschluss 114 bzw. Druckanschluss, ein Boden bzw. Unterteil 120, eine Prüfkammer 130, ein Deckel bzw. Oberteil 132 der Prüfkammer 130, ein zweiter Anschluss 134 bzw. Druckanschluss, eine Dichtung 136, Führungsstangen 138 und ein Prüfling 140. Die Aufnahmevorrichtung 100 ist zur Aufnahme von Prüflingen wie dem Prüfling 140 für eine Dichtigkeitsprüfung mittels Differenzdruckprüfung ausgebildet. Die Aufnahmevorrichtung 100 weist die Referenzkammer 110 und die Prüfkammer 130 auf. 1 shows a recording device 100 according to an embodiment of the present invention. Shown are the recording device 100 , a reference chamber 110 , a lid or top 112 the reference chamber 110 , a first connection 114 or pressure connection, a bottom or lower part 120 , a test chamber 130 , a lid or top 132 the test chamber 130 , a second connection 134 or pressure connection, a seal 136 , Guide rods 138 and a candidate 140 , The cradle 100 is for the admission of examinees such as the examinee 140 designed for a leak test by means of differential pressure testing. The cradle 100 has the reference chamber 110 and the test chamber 130 on.

Die Referenzkammer 110 weist den Deckel bzw. das Oberteil 112 und den ersten Anschluss 114 auf. Das Oberteil 112 und ein erster Abschnitt des Bodens bzw. Unterteils 120 stellen Wandabschnitte der Referenzkammer 110 dar. Die Referenzkammer 110 ist über den ersten Anschluss 114 mit Druck beaufschlagbar. In der Referenzkammer 110 ist ein Referenzprüfling angeordnet, der in Fig. darstellungsbedingt nicht gezeigt ist, da die Referenzkammer 110 gasdicht verschlossen dargestellt ist. The reference chamber 110 has the lid or the upper part 112 and the first connection 114 on. The top 112 and a first portion of the bottom 120 make wall sections of the reference chamber 110 dar. The reference chamber 110 is about the first connection 114 pressurizable. In the reference chamber 110 a Referenzprüfling is arranged, which is not shown in Fig. Due to the presentation, since the reference chamber 110 shown sealed gas-tight.

Die Prüfkammer 130 weist den Deckel bzw. das Oberteil 132, den zweiten Anschluss 134, die Dichtung 136 und die Führungsstangen 138 auf. Das Oberteil 132 und ein von dem ersten Abschnitt unterschiedlicher, zweiter Abschnitt des Bodens bzw. Unterteils 120 stellen Wandabschnitte der Prüfkammer 130 dar. Die Prüfkammer 130 ist über den zweiten Anschluss 134 mit Druck beaufschlagbar. Die Dichtung 136 ist beispielhaft an dem zweiten Abschnitt des Unterteils 120 angeordnet und als Dichtungsring ausgeformt. Eine erste der Führungsstangen 138 ist in einer ersten Ecke des zweiten Abschnitts des Unterteils 120 angeordnet. Eine zweite der Führungsstangen 138 ist beispielhaft in einer der ersten Ecke diagonal gegenüberliegenden, zweiten Ecke des zweiten Abschnitts des Unterteils 120 angeordnet. Die Führungsstangen 138 erstrecken sich in eine Richtung von dem Unterteil 120 weg. Das Oberteil 132 der Prüfkammer 130 ist ausgebildet, um entlang den Führungsstangen 138 verschiebbar zu sein. Der Prüfling 140 ist in der Prüfkammer 130 angeordnet. In 1 ist die Prüfkammer 130 in einem geöffneten Zustand dargestellt. Genau gesagt ist das Oberteil 132 der Prüfkammer 130 in dem geöffneten Zustand entlang der Führungsstangen 138 von dem zweiten Abschnitt des Unterteils 120 beabstandet angeordnet. Der Prüfling 140 ist in einem von der Dichtung 136 der Prüfkammer 130 umschlossenen Bereich der Prüfkammer 130 angeordnet. In einem in 1 nicht gezeigten, geschlossenen Zustand der Prüfkammer 130 ist das Oberteil 132 entlang der Führungsstangen 138 an dem zweiten Abschnitt des Unterteils 120 angeordnet, wobei die Dichtung 136 zwischen dem Oberteil 132 und dem zweiten Abschnitt des Unterteils 120 angeordnet ist. Die Dichtung 136 ist ausgebildet, um im geschlossenen Zustand der Prüfkammer 130 einen Innenraum der Prüfkammer 130, in dem der Prüfling 140 angeordnet ist, bezüglich einer Umgebung abzudichten. The test chamber 130 has the lid or the upper part 132 , the second connection 134 , the seal 136 and the guide rods 138 on. The top 132 and a second portion of the bottom or base different from the first portion 120 make wall sections of the test chamber 130 dar. The test chamber 130 is over the second port 134 pressurizable. The seal 136 is exemplary of the second section of the base 120 arranged and shaped as a sealing ring. A first of the guide rods 138 is in a first corner of the second section of the base 120 arranged. A second of the guide rods 138 is exemplary in one of the first corner diagonally opposite, second corner of the second section of the base 120 arranged. The guide rods 138 extend in one direction from the base 120 path. The top 132 the test chamber 130 is designed to move along the guide rods 138 to be displaceable. The examinee 140 is in the test chamber 130 arranged. In 1 is the test chamber 130 shown in an open state. In fact, the top part is 132 the test chamber 130 in the opened state along the guide rods 138 from the second section of the base 120 spaced apart. The examinee 140 is in one of the poetry 136 the test chamber 130 enclosed area of the test chamber 130 arranged. In an in 1 not shown, closed state of the test chamber 130 is the shell 132 along the guide rods 138 at the second portion of the base 120 arranged, with the seal 136 between the shell 132 and the second section of the base 120 is arranged. The seal 136 is designed to be in the closed state of the test chamber 130 an interior of the test chamber 130 in which the examinee 140 is arranged to seal with respect to an environment.

Der Boden bzw. das Unterteil 120 ist als eine gemeinsame Bodenplatte für die Referenzkammer 110 und die Prüfkammer 130 ausgeformt. Das Unterteil 120 ist aus einem wärmeleitfähigen Material hergestellt und ist ausgebildet, um eine thermische Kopplung der Referenzkammer 110 und der Prüfkammer 130 zu ermöglichen. Das Unterteil 120 weist beispielhaft eine rechteckige Grundfläche auf, wobei der erste Abschnitt und der zweite Abschnitt des Unterteils 120 beispielhaft eine quadratische Grundfläche aufweisen und benachbart zueinander angeordnet sind. The floor or the lower part 120 is as a common bottom plate for the reference chamber 110 and the test chamber 130 formed. The lower part 120 is made of a thermally conductive material and is adapted to a thermal coupling of the reference chamber 110 and the test chamber 130 to enable. The lower part 120 has, for example, a rectangular base surface, wherein the first portion and the second portion of the lower part 120 By way of example, they have a square base surface and are arranged adjacent to one another.

2 zeigt eine schematische Teilschnittansicht eines Prüfsystems gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Gezeigt sind eine Referenzkammer 110, ein Oberteil 112 der Referenzkammer 110, eine Prüfkammer 130, ein Oberteil 132 der Prüfkammer 130, eine Dichtung 136 der Prüfkammer 130, ein Prüfling 140, das Prüfsystem 200, eine Dichtung 216 der Referenzkammer 110, ein Referenzprüfling 218, ein Unterteil 221 der Referenzkammer 110, ein Verschluss 222 der Referenzkammer 110, ein Unterteil 223 der Prüfkammer 130, eine Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 bzw. ein Differenzdrucksensor, eine erste Schlauchleitung 262, eine zweite Schlauchleitung 264 und eine Druckkraft F zum Abdichten der Prüfkammer 130. Bei der Referenzkammer 110 und der Prüfkammer 130 handelt es sich beispielsweise um die Referenzkammer und die Prüfkammer der Aufnahmevorrichtung aus 1. Das Prüfsystem 200 ist für eine Dichtigkeitsprüfung von Prüflingen mittels Differenzdruckprüfung vorgesehen. Das Prüfsystem 200 weist die Referenzkammer 110, die Prüfkammer 130, die Schlauchleitungen 262 und 264 sowie die Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 bzw. Differenzdruck-Messvorrichtung auf. 2 shows a schematic partial sectional view of a test system according to an embodiment of the present invention. Shown are a reference chamber 110 , a shell 112 the reference chamber 110 , a test chamber 130 , a shell 132 the test chamber 130 , a seal 136 the test chamber 130 , a candidate 140 , the testing system 200 , a seal 216 the reference chamber 110 , a reference sample 218 , a lower part 221 the reference chamber 110 , a lock 222 the reference chamber 110 , a lower part 223 the test chamber 130 , a differential pressure tester 250 or a differential pressure sensor, a first hose line 262 , a second hose line 264 and a pressing force F for sealing the test chamber 130 , At the reference chamber 110 and the test chamber 130 For example, it is the reference chamber and the test chamber of the recording device 1 , The test system 200 is intended for a leak test of test specimens by differential pressure testing. The test system 200 has the reference chamber 110 , the test chamber 130 , the hose lines 262 and 264 as well as the differential pressure tester 250 or differential pressure measuring device.

Die Referenzkammer 110 weist das Oberteil 112, die Dichtung 216, den Referenzprüfling 218, das Unterteil 221 und den Verschluss 222 bzw. die Verschlusselemente auf. Die Dichtung 216 ist zwischen dem Oberteil 112 und dem Unterteil 221 angeordnet. Das Oberteil 112 und das Unterteil 221 sind mittels des Verschlusses 222 verschlossen, wobei die Dichtung 216 zwischen denselben komprimiert ist. Bei dem Verschluss 222 handelt es sich beispielsweise um ein Paar Halteklammern oder dergleichen. Die Dichtung 216, das Oberteil 112 und das Unterteil 221 umschließen einen gasdicht abgedichteten Innenraum der Referenzkammer 110. Der Referenzprüfling 218 ist in dem Innenraum der Referenzkammer 110 angeordnet. An einem Anschluss in dem Oberteil 112 ist die erste Schlauchleitung 262 an der Referenzkammer 110 angeschlossen. Die Referenzkammer 110 ist mittels der ersten Schlauchleitung 262 mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 verbunden. The reference chamber 110 has the top 112 , the seal 216 , the reference candidate 218 , the lower part 221 and the closure 222 or the closure elements. The seal 216 is between the shell 112 and the lower part 221 arranged. The top 112 and the lower part 221 are by means of the lock 222 closed, with the seal 216 compressed between them. At the closure 222 For example, it is a pair of retaining clips or the like. The seal 216 , the top 112 and the lower part 221 enclose a gas-tight sealed interior of the reference chamber 110 , The reference sample 218 is in the interior of the reference chamber 110 arranged. At a connection in the shell 112 is the first hose line 262 at the reference chamber 110 connected. The reference chamber 110 is by means of the first hose line 262 with the differential pressure tester 250 connected.

Die Prüfkammer 130 weist das Oberteil 132, die Dichtung 136 und das Unterteil 223 auf. Die Dichtung 136 ist zwischen dem Oberteil 132 und dem Unterteil 223 angeordnet. Das Oberteil 132 und das Unterteil 223 sind mittels der Druckkraft F temporär bzw. reversibel verschlossen, wobei die Dichtung 136 zwischen denselben komprimiert ist. Die Dichtung 136, das Oberteil 132 und das Unterteil 223 umschließen einen gasdicht abgedichteten Innenraum der Prüfkammer 130. Der Prüfling 140 ist in dem Innenraum der Prüfkammer 130 angeordnet. An einem Anschluss in dem Oberteil 132 ist die zweite Schlauchleitung 264 an der Prüfkammer 130 angeschlossen. Die Prüfkammer 130 ist mittels der zweiten Schlauchleitung 264 mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 verbunden. The test chamber 130 has the top 132 , the seal 136 and the lower part 223 on. The seal 136 is between the shell 132 and the lower part 223 arranged. The top 132 and the lower part 223 are temporarily or reversibly closed by means of the pressure force F, wherein the seal 136 compressed between them. The seal 136 , the top 132 and the lower part 223 enclose a gas-tight sealed interior of the test chamber 130 , The examinee 140 is in the interior of the test chamber 130 arranged. At a connection in the shell 132 is the second hose line 264 at the test chamber 130 connected. The test chamber 130 is by means of the second hose line 264 with the differential pressure tester 250 connected.

Die Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 ist mittels der ersten Schlauchleitung 262 mit der Referenzkammer 110 verbunden und ist mittels der zweiten Schlauchleitung 264 mit der Prüfkammer 130 verbunden. Die Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 ist ausgebildet, um die Referenzkammer 110 und die Prüfkammer 130 mit einem definierten Druck zu beaufschlagen und einen etwaigen Differenzdruck zwischen der Referenzkammer 110 und der Prüfkammer 130 zu erfassen bzw. messen. The differential pressure tester 250 is by means of the first hose line 262 with the reference chamber 110 connected and is by means of the second hose line 264 with the test chamber 130 connected. The differential pressure tester 250 is designed to be the reference chamber 110 and the test chamber 130 to apply a defined pressure and any differential pressure between the reference chamber 110 and the test chamber 130 to capture or measure.

Prüfgeräte wie die Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 bieten einen sogenannten Referenzanschluss an, an den die Referenzkammer 110 auf einer Referenzseite der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 bzw. des Differenzdrucksensors anschließbar ist. Dabei ist auf der Referenzseite eine identisch zur Prüfkammer 130 aufgebaute Referenzkammer 110 angeschlossen, in der ein zum Prüfling 140 geometrisch identischer Referenzprüfling 218 eingelegt ist. Der Referenzprüfling 218 ist so aufgebaut sein, dass er keinen Hohlraum hat, der undicht sein könnte. Dadurch heben sich Temperaturunterschiede, die durch die Prüfung selbst oder von außen auf die Kammern 110 und 130 wirken, gegenseitig auf. Auch können die beiden Kammern 110 und 130 durch eine gemeinsame, thermisch leitende Grundplatte beispielsweise aus Aluminium miteinander verbunden sein oder ein gemeinsames Unterteil aufweisen, wie es in 1 gezeigt ist. Damit können sich die beiden Kammern 110 und 130 thermisch ausgleichen. Damit auch andere, von außen wirkende Temperatureinflüsse auf beide Kammern 110 und 130 gleich wirken, können die Schlauchleitungen 262 und 264 bzw. Druckschläuche von der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 zu den Kammern 110 und 130 miteinander verdrillt und gemeinsam gegen die Umwelt thermisch isoliert ausgelegt bzw. verlegt sein. Sollte lokal eine leichte Erwärmung, z.B. Abwärme der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 oder von im Prüfprozess benötigten Einrichtungen, stattfinden, so sind beide Schlauchleitungen 262 und 264 gleich davon betroffen. Test equipment such as the differential pressure tester 250 offer a so-called reference terminal to which the reference chamber 110 on a reference page of the differential pressure tester 250 or the differential pressure sensor can be connected. It is identical to the test chamber on the reference page 130 constructed reference chamber 110 connected, in the one to the examinee 140 geometrically identical reference specimen 218 is inserted. The reference sample 218 is designed so that it has no cavity that could be leaking. This raises temperature differences caused by the test itself or from the outside to the chambers 110 and 130 work on each other. Also, the two chambers 110 and 130 be interconnected by a common, thermally conductive base plate, for example made of aluminum or have a common lower part, as in 1 is shown. This allows the two chambers 110 and 130 thermally equalize. So that also other external temperature influences on both chambers 110 and 130 can work the same, the hose lines 262 and 264 or pressure hoses from the differential pressure tester 250 to the chambers 110 and 130 twisted together and designed to be thermally insulated against the environment. Should be locally a slight warming, eg waste heat of the differential pressure tester 250 or of equipment required in the test process, so are both hose lines 262 and 264 immediately affected.

3 zeigt eine schematische Teilschnittansicht eines Prüfsystems 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Bei dem Prüfsystem 200 handelt es sich um das Prüfsystem aus 2 und die Darstellung in 3 entspricht der Darstellung aus 2 mit der Ausnahme, dass in 3 zusätzlich beispielhaft fünf zu prüfende Prüflinge 140 gezeigt sind und das Prüfsystem 200 zusätzlich eine Temperaturausgleichsvorrichtung 370 aufweist, die einen Wärmeübertragungskanal zum Führen eines mittels Pfeilen symbolisierten Temperierluftstroms 375 aufweist. Die Differenzdruck-Prüfvorrichtung, die Schlauchleitungen, die Referenzkammer, die Prüfkammer und die zu prüfende Prüflinge 140 sind in dem Wärmeübertragungskanal der Temperaturausgleichsvorrichtung 370 angeordnet. Der Temperierluftstrom 375 umströmt zunächst das eigentliche Prüfsystem 200 mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung, den Schlauchleitungen, der Referenzkammer sowie der Prüfkammer und umströmt daraufhin die zu prüfenden Prüflinge 140, mit denen die Prüfkammer zu bestücken ist. 3 shows a schematic partial sectional view of a test system 200 according to an embodiment of the present invention. In the test system 200 it is the test system 2 and the representation in 3 corresponds to the illustration 2 with the exception that in 3 additionally five samples to be tested 140 shown and the test system 200 in addition a temperature compensation device 370 comprising a heat transfer channel for guiding a symbolized by means of arrows Temperierluftstroms 375 having. The differential pressure tester, tubing, reference chamber, test chamber, and specimens to be tested 140 are in the heat transfer channel of the temperature compensation device 370 arranged. The tempering air flow 375 first flows around the actual test system 200 With the differential pressure tester, the hose lines, the reference chamber and the test chamber and then flows around the DUTs to be tested 140 with which the test chamber is to be equipped.

Es kann beispielsweise in einem Herstellungsprozess z.B. eines Sensorgehäuses nach einem Verschweißen des Gehäuses und vor dem Differenzdruckprüfung bzw. Differenzdruckmessen die Temperaturausgleichsvorrichtung 370 vorgesehen sein. Bei dieser Temperaturausgleichsvorrichtung 370 kann es sich z.B. um einen Temperaturausgleichskanal handeln. Kommen die Prüflinge 140 vom Verschweißen, werden sie in den Wärmeübertragungskanal geführt und durch diesen Kanal zu der Prüfkammer zum Prüfen gebracht. Innerhalb des Wärmeübertragungskanals wird z.B. ein Temperierluftstrom 375 eingesetzt, der durch den Wärmeübertragungskanal von den Kammern des Prüfsystems 200 her kommend den auf beispielsweise einem Transportband angeordneten Prüflingen 140 entgegenströmt und so eine Temperatur der Prüflinge 140 auf eine vorgegebene Temperatur abkühlen bzw. aufheizen kann. Durch die bewegte Luft des Temperierluftstroms 375 kann eine Wärmeübertragung relativ schnell erfolgen. Zusätzlich befindet sich in dem Wärmeübertragungskanal auch die Differenzdruck-Prüfvorrichtung. Dadurch wird auch die Differenzdruck-Prüfvorrichtung durch den Temperierluftstrom 375 auf eine definierte Temperatur abgekühlt bzw. aufgeheizt bzw. gehalten. Langsame Änderungen einer Temperatur des Temperierluftstroms 375 haben keinen wesentlichen Einfluss auf die Genauigkeit der Messung, weil die Temperaturen des Prüfsystems 200 und der Prüflinge 140 sich ebenfalls mit ändern. Beispielsweise mittels eines Roboterarms, der so angeordnet ist, dass sich zumindest ein Teil desselben innerhalb des Wärmeübertragungskanals befindet, um ebenfalls dem Temperierluftstrom 375 ausgesetzt zu sein, um die Prüflinge 140 thermisch nicht zu beeinflussen, werden die Prüflinge 140 dann in die Prüfkammer gesetzt. In einem nächsten Schritt erfolgt dann die Differenzdruckmessung mittels des Prüfsystems 200. Dadurch, dass die Prüflinge 140 und das Prüfsystem 200 annähernd die gleiche Temperatur aufweisen, kann eine Verfälschung des Messergebnisses vermieden werden. Damit wird sichergestellt, dass dichte Prüflinge 140 auch als solche erkannt werden bzw. umgekehrt keine dichten Prüflinge 140 aussortiert werden. It can, for example, in a manufacturing process such as a sensor housing after welding of the housing and before the differential pressure test or differential pressure measuring the temperature compensation device 370 be provided. In this temperature compensation device 370 it may be, for example, a temperature compensation channel. Come the candidates 140 from welding, they are fed into the heat transfer channel and brought through this channel to the test chamber for testing. Within the heat transfer channel, for example, a Temperierluftstrom 375 inserted through the heat transfer channel from the chambers of the test system 200 Coming from the example arranged on a conveyor belt specimens 140 counterflows and so a temperature of the specimens 140 can cool or heat to a predetermined temperature. Due to the moving air of the tempering air flow 375 Heat transfer can be done relatively quickly. In addition, there is also the differential pressure test device in the heat transfer channel. As a result, the differential pressure test device by the Temperierluftstrom 375 cooled or heated or maintained at a defined temperature. Slow changes in a temperature of the tempering air flow 375 have no significant effect on the accuracy of the measurement, because the temperatures of the test system 200 and the examinees 140 also change with. For example, by means of a robot arm, which is arranged so that at least a part thereof is located within the heat transfer channel, also to the Temperierluftstrom 375 to be exposed to the examinees 140 thermally not to be influenced, the test specimens 140 then put in the test chamber. In a next step, the differential pressure measurement then takes place by means of the test system 200 , By doing that the examinees 140 and the test system 200 have approximately the same temperature, a falsification of the measurement result can be avoided. This will ensure that dense specimens 140 also be recognized as such or vice versa no dense specimens 140 be sorted out.

4 zeigt eine schematische Teilschnittansicht eines Prüfsystems 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Bei dem Prüfsystem 200 handelt es sich um das Prüfsystem aus 2 und die Darstellung in 4 entspricht der Darstellung aus 2 mit der Ausnahme, dass in 4 das Prüfsystem 200 zusätzlich beispielhaft zwei weitere Prüfkammern 130 und eine dritte Schlauchleitung 466 sowie eine vierte Schlauchleitung 468 aufweist. Die weiteren Prüfkammern 130 entsprechen der bereits in 2 gezeigten und beschriebenen Prüfkammer 130. In den weiteren Prüfkammern 130 sind ebenfalls Prüflinge angeordnet. Ferner sind bezüglich 2 nicht alle Elemente des Prüfsystems 200 mit Bezugszeichen bezeichnet. Eine erste der weiteren Prüfkammern 130 ist mittels der dritten Schlauchleitung 466 mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 verbunden. Eine zweite der weiteren Prüfkammern 130 ist mittels der vierten Schlauchleitung 468 mit der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 verbunden. Somit sind gemäß dem in 4 gezeigten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung die Referenzkammer 110 und beispielhaft drei Prüfkammern 130 an der Differenzdruck-Prüfvorrichtung 250 mittels der beispielhaft vier Schlauchleitungen 262, 264, 266 und 268 angeschlossen. 4 shows a schematic partial sectional view of a test system 200 according to an embodiment of the present invention. In the test system 200 it is the test system 2 and the representation in 4 corresponds to the illustration 2 with the exception that in 4 the test system 200 additionally two further test chambers as an example 130 and a third hose line 466 and a fourth hose line 468 having. The other test chambers 130 match the already in 2 shown and described test chamber 130 , In the other test chambers 130 are also arranged samples. Further, regarding 2 not all elements of the test system 200 denoted by reference numeral. A first of the other test chambers 130 is by means of the third hose line 466 with the differential pressure tester 250 connected. A second of the other test chambers 130 is by means of the fourth hose line 468 with the differential pressure tester 250 connected. Thus, according to the in 4 shown embodiment of the present invention, the reference chamber 110 and by way of example three test chambers 130 at the differential pressure tester 250 by way of example four hose lines 262 . 264 . 266 and 268 connected.

Somit sind die Prüfkammern 130 mehrfach vorgesehen. Hierbei werden die Prüflinge und die Prüfkammern 130 bzw. das Prüfsystem 200 nicht zusätzlich gekühlt bzw. beheizt, sondern es wird die Temperatur über eine gewisse Zeitdauer ausgeglichen, in der jeweils ein Prüfling in eine Prüfkammer 130 gesetzt wird und gewartet wird, bis beide dieselbe Temperatur angenommen haben. Erst dann wird geprüft. Um jedoch ein Verfahren zum Herstellen z.B. einer Steuerung, wobei die Prüfung mittels des Prüfsystems 200 im Verlauf des Verfahrens zum Herstellen erfolgt, nicht zu beeinflussen, indem durch die Wartezeit ein Stau in der Abfolge der Produktion erzeugt wird, sind die mehreren Prüfkammern 130 vorgesehen. Hierbei ist eine Anzahl der Prüfkammern 130 nicht auf das in 4 gezeigte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschränkt. Über z.B. einen Multiplexer oder dergleichen werden die Prüfkammern 130 nacheinander mit den darin bereits temperaturausgeglichenen Prüflingen angesteuert, um den Differenzdruck zu ermitteln. Nach dem Prüfen einer ersten Prüfkammer 130 wird dann der Prüfling entfernt und ein neuer Prüfling bestückt. Nacheinander werden alle Prüfkammern 130 nacheinander geprüft und nach dem Prüfen wieder mit einem neuen Prüfling bestückt. In dieser Zeit kann sich die Temperatur des Prüflings mit jener der jeweiligen Prüfkammer 130 ausgleichen und eine Verfälschung der Messergebnisse bei der Dichtheitsprüfung durch Temperaturschwankungen kann vermieden werden. Thus, the test chambers 130 provided several times. Here are the specimens and the test chambers 130 or the test system 200 not additionally cooled or heated, but it is the temperature over a period of time compensated, in each case a DUT in a test chamber 130 is set and waited until both have assumed the same temperature. Only then will be checked. However, a method of manufacturing, for example, a controller, wherein the test using the test system 200 In the course of the manufacturing process, it is not affected by creating a jam in the sequence of production by the waiting time, the plurality of test chambers 130 intended. Here is a number of test chambers 130 not on the in 4 shown embodiment of the present invention limited. About example, a multiplexer or the like, the test chambers 130 one after the other with the already temperature-balanced test specimens in order to determine the differential pressure. After testing a first test chamber 130 then the test object is removed and a new test object populated. Successively all test chambers 130 checked one after the other and after testing again fitted with a new test object. During this time, the temperature of the specimen with that of the respective test chamber 130 compensate and a falsification of the results in the leak test by temperature fluctuations can be avoided.

Unter Bezugnahme auf die 1 bis 4 ist anzumerken, dass die Referenzkammer 110 und die zumindest eine Prüfkammer 130 hinsichtlich ihres Aufbaus gleich sind. Unter einem gleichen Aufbau ist hierbei ein identischer Aufbau oder ein Aufbau mit die Prüfung und Wärmekopplung nicht beeinflussenden konstruktiven Unterschieden zu verstehen. Die Referenzkammer 110 und die zumindest eine Prüfkammer 130 sind hinsichtlich ihrer Abmessungen gleich. Die Referenzkammer 110 und die zumindest eine Prüfkammer 130 weisen ein identisches Innenvolumen bzw. Prüfvolumen auf, das im gasdicht verschlossenen Zustand derselben eingeschlossen ist. With reference to the 1 to 4 it should be noted that the reference chamber 110 and the at least one test chamber 130 are the same in terms of their construction. Under a same structure here is an identical structure or structure to understand the test and heat coupling not affecting structural differences. The reference chamber 110 and the at least one test chamber 130 are the same in terms of their dimensions. The reference chamber 110 and the at least one test chamber 130 have an identical internal volume or test volume, which is enclosed in the gas-tight closed state thereof.

5 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Prüfverfahrens 500 zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Verfahren 500 weist einen Schritt des Anordnens 510 eines Prüflings in einer Aufnahmevorrichtung auf. Die Aufnahmevorrichtung weist hierbei eine gasdicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings und eine gasdicht verschließbare und über einen zweiten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Prüfkammer zur Aufnahme des Prüflings auf. Auch weist das Verfahren 500 einen Schritt des Durchführens 520 eines Temperaturausgleichs zwischen der Referenzkammer und der Prüfkammer auf. Der Temperaturausgleich wird über eine thermische Kopplung der Referenzkammer und der Prüfkammer realisiert. Durch den Schritt des Durchführens 520 des Temperaturausgleichs wird das Prüfen des Prüflings auf Dichtigkeit vorbereitet. In einem folgenden Schritt 530 wird der Prüfling, wie bereits beschrieben, mittels Differenzdruckprüfung geprüft. Das Verfahren 500 kann in Verbindung mit einer Aufnahmevorrichtung wie der Aufnahmevorrichtung aus 1 sowie in Verbindung mit einem Prüfsystem wie dem Prüfsystem aus 3 vorteilhaft ausgeführt werden. 5 shows a flowchart of a test method 500 for testing specimens for leaks by means of differential pressure testing, according to an embodiment of the present invention. The procedure 500 has a step of arranging 510 a specimen in a receiving device. In this case, the receiving device has a reference chamber which can be closed in a gas-tight manner and subjected to pressure via a first port for receiving a reference test object and a test chamber which can be closed in a gas-tight manner and subjected to pressure via a second port for receiving the test object. Also, the procedure assigns 500 a step of performing 520 a temperature compensation between the reference chamber and the test chamber. The temperature compensation is realized via a thermal coupling of the reference chamber and the test chamber. Through the step of performing 520 the temperature compensation, the testing of the DUT is prepared for leaks. In a following step 530 As described above, the test specimen is tested by differential pressure testing. The procedure 500 may work in conjunction with a cradle like the cradle 1 and in conjunction with a test system such as the test system 3 be carried out advantageously.

6 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Prüfverfahrens 600 zum Prüfen von Prüflingen auf Dichtigkeit mittels Differenzdruckprüfung, gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Verfahren 600 weist einen Schritt des zeitlich versetzten Anordnens 610 einer Mehrzahl von Prüflingen in einer Aufnahmevorrichtung auf. Hierbei weist die Aufnahmevorrichtung eine gasdicht verschließbare und über einen ersten Anschluss mit Druck beaufschlagbare Referenzkammer zur Aufnahme eines Referenzprüflings und eine Mehrzahl von gasdicht verschließbaren Prüfkammern auf. Die Mehrzahl von Prüfkammern ist zur Aufnahme einer Mehrzahl von Prüflingen ausgebildet und ist über eine Mehrzahl von zweiten Anschlüssen mit Druck beaufschlagbar. Auch weist das Verfahren 600 einen Schritt des Durchführens 620 eines Temperaturausgleichs zwischen der Referenzkammer und der Mehrzahl von Prüfkammern durch bezüglich des Anordnens zeitlich versetztes Prüfen der Prüflinge auf Dichtigkeit auf. Das Verfahren 600 kann in Verbindung mit einer Aufnahmevorrichtung wie der Aufnahmevorrichtung aus 1 sowie in Verbindung mit einem Prüfsystem wie dem Prüfsystem aus 4 vorteilhaft ausgeführt werden. 6 shows a flowchart of a test method 600 for testing specimens for leaks by means of differential pressure testing, according to an embodiment of the present invention. The procedure 600 has a step of staggered placement 610 a plurality of specimens in a receiving device. In this case, the receiving device has a gas-tight sealable and pressurized via a first port reference chamber for receiving a Referenzprüflings and a plurality of gas-tight sealable test chambers. The plurality of test chambers is designed to receive a plurality of test pieces and can be acted upon by a plurality of second terminals with pressure. Also, the procedure assigns 600 a step of performing 620 a temperature compensation between the reference chamber and the plurality of test chambers by with respect to the arranging time-staggered testing of the test specimens for leaks. The procedure 600 may work in conjunction with a cradle like the cradle 1 and in conjunction with a test system such as the test system 4 be carried out advantageously.

Die beschriebenen und in den Figuren gezeigten Ausführungsbeispiele sind nur beispielhaft gewählt. Unterschiedliche Ausführungsbeispiele können vollständig oder in Bezug auf einzelne Merkmale miteinander kombiniert werden. Auch kann ein Ausführungsbeispiel durch Merkmale eines weiteren Ausführungsbeispiels ergänzt werden. Schritte der beschriebenen Verfahren können wiederholt ausgeführt werden. The embodiments described and shown in the figures are chosen only by way of example. Different embodiments may be combined together or in relation to individual features. Also, an embodiment can be supplemented by features of another embodiment. Steps of the described methods can be carried out repeatedly.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

100 100: Aufnahmevorrichtung cradle
110 110: Referenzkammer reference chamber
112 112: Deckel bzw. Oberteil der Referenzkammer Cover or upper part of the reference chamber
114 114: erster Anschluss bzw. Druckanschluss first connection or pressure connection
120 120: Boden bzw. Unterteil Bottom or lower part
130 130: Prüfkammer test chamber
132 132: Deckel bzw. Oberteil der Prüfkammer Cover or upper part of the test chamber
134 134: zweiter Anschluss bzw. Druckanschluss second connection or pressure connection
136 136: Dichtung der Prüfkammer Seal of the test chamber
138 138: Führungsstangen guide rods
140 140: Prüfling examinee
200 200: Prüfsystem Test System
216 216: Dichtung der Referenzkammer Seal of the reference chamber
218 218: Referenzprüfling Referenzprüfling
221 221: Boden bzw. Unterteil der Referenzkammer Base or lower part of the reference chamber
222 222: Verschluss der Referenzkammer Closure of the reference chamber
223 223: Boden bzw. Unterteil der Prüfkammer Bottom or lower part of the test chamber
250 250: Differenzdruck-Prüfvorrichtung bzw. Differenzdrucksensor Differential pressure tester or differential pressure sensor
262 262: erste Schlauchleitung first hose line
264 264: zweite Schlauchleitung second hose line
F F: Druckkraft zum Abdichten der Prüfkammer Pressure force for sealing the test chamber
370 370: Temperaturausgleichsvorrichtung Temperature compensation device
375 375: Temperierluftstrom Temperierluftstrom
466 466: dritte Schlauchleitung third hose line
468 468: vierte Schlauchleitung fourth hose line
500 500: Prüfverfahren test methods
510 510: Schritt des Anordnens Step of Arranging
520 520: Schritt des Durchführens eines Temperaturausgleichs Step of performing a temperature compensation
530 530: Schritt des Prüfens Step of testing
600 600: Prüfverfahren test methods
610 610: Schritt des Anordnens Step of Arranging
620 620: Schritt des Durchführens eines Temperaturausgleichs Step of performing a temperature compensation

Claims

Receiving device ( 100 ) for a leak test of test specimens ( 130 ) by means of differential pressure testing, wherein the receiving device ( 100 ) a gastight sealable and a first connection ( 114 ) pressurized reference chamber ( 110 ) for receiving a reference sample ( 218 ) and a gastight sealable and a second connection ( 134 ) pressurized test chamber ( 130 ) for receiving a test object ( 140 ), characterized in that the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) are thermally coupled together.

Receiving device ( 100 ) according to claim 1, characterized in that the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) are the same in terms of their construction.

Receiving device ( 100 ) according to one of the preceding claims, characterized by a heat conducting plate, by means of which the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) are thermally coupled.

Receiving device ( 100 ) according to one of the preceding claims, characterized by a common floor element ( 120 ), which has a wall section of the reference chamber ( 110 ) and a wall portion of the test chamber ( 130 ), the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) by means of the floor element ( 120 ) are thermally coupled.

Receiving device ( 100 ) for a leak test of test specimens ( 140 ) by means of differential pressure testing, wherein the receiving device ( 100 ) a gastight sealable and a first connection ( 114 ) pressurized reference chamber ( 110 ) for receiving a reference sample ( 218 ), characterized by a plurality of gastight sealable test chambers ( 130 ), the plurality of test chambers ( 130 ) for receiving a plurality of test pieces ( 140 ) is formed and via a plurality of second terminals ( 134 ) can be acted upon with pressure.

Testing system ( 200 ) for a leak test of test specimens ( 140 ) by means of differential pressure testing, whereby the test system ( 200 ) a differential pressure tester ( 250 ) and a plurality of hose lines ( 262 . 264 ; 266 . 268 ), characterized by a receiving device ( 100 ) according to one of the preceding claims, whose chambers ( 110 . 130 ) by means of the hose lines ( 262 . 264 ; 266 . 268 ) with the differential pressure tester ( 250 ) are connected.

Testing system ( 200 ) according to claim 6, characterized in that the hose lines ( 262 . 264 ; 266 . 268 ) are twisted together and / or thermally insulated together from an environment.

Testing system ( 200 ) according to one of claims 6 to 7, characterized by a temperature compensation device ( 370 ) with a heat transfer channel in which the differential pressure test device ( 250 ), the hose lines ( 262 . 264 ; 266 . 268 ) and the receiving device ( 100 ) are arranged.

Testing system ( 200 ) according to claim 8, characterized in that test specimens to be tested ( 140 ) before placement in the at least one test chamber ( 130 ) of the receiving device ( 100 ) in the heat transfer channel of the temperature compensation device ( 370 ) are arranged.

Test method ( 500 ) for testing DUTs ( 140 ) for leakage by differential pressure testing, characterized in that the method ( 500 ) comprises the following steps: arranging ( 510 ) of a test object ( 140 ) in a receiving device ( 100 ), which is a gastight sealable and a first connection ( 114 ) pressurized reference chamber ( 110 ) for receiving a reference sample ( 218 ) and a gas-tight lockable and via a second port ( 134 ) pressurized test chamber ( 130 ) for receiving the test piece ( 140 ) having; Carry out ( 520 ) of a temperature compensation between the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) by means of thermal coupling of the reference chamber ( 110 ) and the test chamber ( 130 ) in preparation for testing the device under test ( 140 ); and checking ( 530 ) of the test piece ( 140 ) for leaks by means of differential pressure testing.

Test method ( 600 ) for testing DUTs ( 140 ) for leakage by differential pressure testing, characterized in that the method ( 600 ) a step of staggered placement ( 610 ) a plurality of test pieces ( 140 ) in a receiving device ( 100 ), which is a gastight sealable and a first connection ( 114 ) pressurized reference chamber ( 110 ) for receiving a reference sample ( 218 ) and a plurality of gastight sealable test chambers ( 130 ), wherein the plurality of test chambers ( 130 ) for receiving a plurality of test pieces ( 140 ) is formed and via a plurality of second terminals ( 134 ) is pressurizable, and a step of performing ( 620 ) of a temperature compensation between the reference chamber ( 110 ) and the majority of test chambers ( 130 ) by means of arranging ( 610 ) time-delayed testing of the test specimens ( 140 ) on tightness.