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Die Erfindung betrifft einen Magnetfeldsensor und ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetfeldsensors, insbesondere bei der Bestückung von Hallsensoren in SMD-Gehäusen mit Magnetflusssammlern.
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Stand der Technik
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In vielen Anwendungen ist es notwendig oder wünschenswert, das Magnetfeld der Umgebung zu messen. Dabei können unterschiedliche Sensoren eingesetzt werden. Häufig werden Hallsensoren eingesetzt, die auf der Basis des Hall-Effekts einer von einem magnetischen Fluss durchsetzten Leiterschleife eine elektrische Spannung bzw. einen elektrischen Strom als Ausgangssignal erzeugen. Diese Hallsensoren können für die Großserienfertigung in oberflächenmontierten Gehäusen (SMD-Gehäuse, „surface mounted devices“) gehäust sein. Insbesondere können mehrere Hallsensoren innerhalb eines Gehäuses integriert sein, beispielsweise für differentielle Magnetfeldmessungen.
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Mit Hallsensoren können betragsmäßig sehr kleine Magnetfelder gemessen werden. Dazu kann es vorteilhaft sein, den magnetischen Fluss über eine bestimmte Fläche zu sammeln und durch die aktive Fläche des Hallsensors zu leiten. Damit kann eine Verstärkung des Magnetfelds über die aktive Fläche des Hallsensors erreicht werden.
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In der Druckschrift
US 5,883,567 A beispielsweise wird ein Magnetflusssammler aus einem Material hoher magnetischer Permeabilität in ein Halbleitergehäuse über einem Hallsensor integriert. Die Druckschrift
US 7,358,724 B2 offenbart einen Magnetfeldsensor mit einem Hallsensor und einer über dem Hallsensor befindlichen Aussparung in einem Halbleitersubstrat, an deren Seitenwänden eine den magnetischen Fluss sammelnden Schicht aus einem Material hoher magnetischer Permeabilität aufgebracht ist.
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Es besteht daher ein Bedarf an Magnetfeldsensoren, mit welchen ein magnetischer Fluss über der aktiven Fläche des darin integrierten Hallsensors gebündelt werden kann. Dabei ist insbesondere eine kostengünstige Realisierung erwünscht, die mit geringem Zusatzaufwand in einer Großserienfertigung in der Fertigung der Magnetfeldsensoren implementiert werden kann.
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Offenbarung der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung schafft gemäß einem Aspekt einen Magnetfeldsensor, mit einer Leiterplatte mit einer ersten Oberfläche, einer der ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberfläche und einer sich von der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche erstreckenden Aussparung, einem Hallsensorbauelement, welches ein Gehäuse und mindestens einen in dem Gehäuse angeordneten Hallsensor mit einer parallel zu der ersten Oberfläche angeordneten aktiven Sensorfläche aufweist, und welches in dem Bereich der Aussparung auf der Seite der zweiten Oberfläche auf der Leiterplatte angeordnet ist, und einen ersten Magnetflusssammler aus einem magnetisch permeablen Material, welcher auf der Seite der ersten Oberfläche auf der Leiterplatte gegenüberliegend des Hallsensorbauelements angeordnet ist, und welcher eine von der Leiterplatte abgewandte Seitenfläche mit einem ersten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte zugewandte Seitenfläche mit einem zweiten Flächeninhalt aufweist, wobei der erste Flächeninhalt größer als der zweite Flächeninhalt ist.
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Die vorliegende Erfindung schafft gemäß einem weiteren Aspekt ein Verfahren zum Herstellen eines Magnetfeldsensors, mit den Schritten des Montierens eines Hallsensorbauelements, welches ein Gehäuse und mindestens einen in dem Gehäuse angeordneten Hallsensor aufweist, auf einer Leiterplatte mit einer ersten Oberfläche, einer der ersten Oberfläche gegenüberliegenden zweiten Oberfläche und einer sich von der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche erstreckenden Aussparung in dem Bereich der Aussparung auf der Seite der zweiten Oberfläche, und des Montierens eines ersten Magnetflusssammlers aus einem magnetisch permeablen Material auf der Seite der ersten Oberfläche auf der Leiterplatte gegenüberliegend des Hallsensorbauelements, wobei der Magnetflusssammler eine von der Leiterplatte abgewandte Seitenfläche mit einem ersten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte zugewandte Seitenfläche mit einem zweiten Flächeninhalt aufweist, und wobei der erste Flächeninhalt größer als der zweite Flächeninhalt ist.
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Vorteile der Erfindung
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Es ist eine Idee der vorliegenden Erfindung, einen Magnetflusssammler für einen Hallsensor bereitzustellen, der in SMD-Technologie auf einer Leiterplatte bestückt werden kann. Der Magnetflusssammler verstärkt das Magnetfeld über einer aktiven Fläche eines Hallsensors. Insbesondere wird mit diesem Magnetflusssammler eine Integration in eine Großserienfertigungslinie möglich, ohne dass eine aufwändige Integration des Magnetflusssammlers in die Konstruktion des Hallsensors notwendig wird.
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Ein erheblicher Vorteil dieses Magnetfeldsensors besteht darin, dass die in dem Magnetfeldsensor verwendeten Hallsensoren eine höhere Auflösung sowie ein verbessertes Signal-zu-Rausch-Verhältnis erzielen können. Zugleich kann die elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) des Magnetfeldsensors verbessert werden, wenn der Magnetflusssammler mit dem Massepotential des Magnetfeldsensors verbunden wird.
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Gemäß einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann der erste Magnetflusssammler eine trapezoide Querschnittsfläche aufweisen. Gemäß einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann der erste Magnetflusssammler eine Querschnittsfläche aufweisen, die einem Längsschnitt durch eine Hälfte eines einschaligen Hyperboloids entspricht. Diese Formen ermöglichen ein effektives Bündeln des magnetischen Flusses über der aktiven Sensorfläche des Hallsensors, insbesondere da der erste Magnetflusssammler mit den angegebenen Formen in die Aussparung hineinreichen kann. Dadurch ergibt sich der Vorteil, dass die Bauform des Magnetfeldsensors insgesamt flach bleibt, ohne dass die Effizienz des Bündelns des magnetischen Flusses beeinträchtigt wird.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann der zweite Flächeninhalt der der Leiterplatte zugewandten Seitenfläche des ersten Magnetflusssammlers dem Flächeninhalt der aktiven Sensorfläche des Hallsensors entsprechen. Damit ist eine effektive Verstärkung des Magnetfelds über dem Hallsensor möglich.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann das Hallsensorbauelement mindestens zwei entlang der zweiten Oberfläche der Leiterplatte benachbart gelegene Hallsensoren aufweisen, und die der Leiterplatte zugewandte Seitenfläche des ersten Magnetflusssammlers kann über der aktiven Sensorfläche eines der beiden Hallsensoren angeordnet sein. Diese Aufbauform ermöglicht in vorteilhafter Weise eine differentielle Auswertung der Ausgangssignale der beiden Hallsensoren.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann der erste Magnetflusssammler auf der ersten Oberfläche der Leiterplatte mit Lötkontakten befestigt sein. Dies bietet den Vorteil, dass die Montage des Magnetfeldsammlers einfach und kostengünstig in den Bestückungsprozess der Leiterplatten eingebunden werden kann.
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Gemäß einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Magnetfeldsensors kann der Magnetfeldsensor weiterhin einen zweiten Magnetflusssammler aus einem magnetisch permeablen Material umfassen, welcher auf der Seite der zweiten Oberfläche auf der Leiterplatte so angeordnet ist, dass das Hallsensorbauelement entlang der Erstreckung der Aussparung zwischen dem ersten Magnetflusssammler und dem zweiten Magnetflusssammler angeordnet ist, wobei der zweite Magnetflusssammler eine von der Leiterplatte abgewandte Seitenfläche mit einem dritten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte zugewandte Seitenfläche mit einem vierten Flächeninhalt aufweist, und wobei der dritte Flächeninhalt größer als der vierte Flächeninhalt ist. Dadurch ist eine weitergehende Optimierung des magnetischen Flusses durch den bzw. Hallsensoren möglich.
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Gemäß einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens kann das Verfahren weiterhin den Schritt des Montierens eines zweiten Magnetflusssammlers aus einem magnetisch permeablen Material auf der Seite der zweiten Oberfläche auf der Leiterplatte umfassen, so dass das Hallsensorbauelement entlang der Erstreckung der Aussparung zwischen dem ersten Magnetflusssammler und dem zweiten Magnetflusssammler angeordnet ist, wobei der zweite Magnetflusssammler eine von der Leiterplatte abgewandte Seitenfläche mit einem dritten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte zugewandte Seitenfläche mit einem vierten Flächeninhalt aufweist, und wobei der dritte Flächeninhalt größer als der vierte Flächeninhalt ist.
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Weitere Merkmale und Vorteile von Ausführungsformen der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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Die beschriebenen Ausgestaltungen und Weiterbildungen lassen sich, sofern sinnvoll, beliebig miteinander kombinieren. Weitere mögliche Ausgestaltungen, Weiterbildungen und Implementierungen der Erfindung umfassen auch nicht explizit genannte Kombinationen von zuvor oder im Folgenden bezüglich der Ausführungsbeispiele beschriebenen Merkmale der Erfindung.
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Die beiliegenden Zeichnungen sollen ein weiteres Verständnis der Ausführungsformen der Erfindung vermitteln. Sie veranschaulichen Ausführungsformen und dienen im Zusammenhang mit der Beschreibung der Erklärung von Prinzipien und Konzepten der Erfindung. Andere Ausführungsformen und viele der genannten Vorteile ergeben sich im Hinblick auf die Zeichnungen. Die Elemente der Zeichnungen sind nicht notwendigerweise maßstabsgetreu zueinander gezeigt.
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Es zeigen:
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1 eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors mit einem Magnetflusssammler im Querschnitt gemäß einer Ausführungsform;
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2 eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors aus 1 in Draufsicht von unten;
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3 eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors aus 1 in Draufsicht von oben;
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4 eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors mit einem Magnetflusssammler im Querschnitt gemäß einer weiteren Ausführungsform;
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5 eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors mit zwei Magnetflusssammlern im Querschnitt gemäß einer weiteren Ausführungsform;
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6 eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors aus 5 in Draufsicht von unten;
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7 eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors aus 5 in Draufsicht von oben; und
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8 eine schematische Darstellung eines Verfahrens zum Herstellen eines Magnetfeldsensors gemäß einer weiteren Ausführungsform.
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1 zeigt eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors 100 mit einem Magnetflusssammler 2 im Querschnitt. Der Magnetfeldsensor 100 umfasst eine Leiterplatte 1 mit einer Aussparung 5, ein Hallsensorbauelement 4, welches in dem Bereich der Aussparung 5 auf der Leiterplatte 1 aufgebracht ist, und einen Magnetflusssammler 2 aus einem magnetisch permeablen Material, welcher auf der gegenüberliegenden Seite zu dem Hallsensorbauelement 4 auf der Leiterplatte 1 angeordnet ist.
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Die Leiterplatte 1 weist eine erste Oberfläche 1a und eine der ersten Oberfläche 1a gegenüberliegende zweite Oberfläche 1b auf. Die Aussparung 5 erstreckt sich dabei von der ersten Oberfläche 1a zur zweiten Oberfläche 1b durch die Leiterplatte 1 hindurch. Die Form und die Ausmaße der Aussparung 5 können dabei variieren. Beispielsweise kann die Querschnittsfläche der Aussparung 5 kreisrund, rechteckig oder rechteckig mit abgerundeten Kanten sein. Die Aussparung 5 selbst kann beispielsweise auf beiden Seiten der Leiterplatte eine kongruente Form aufweisen.
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Die Leiterplatte 1 kann zum Beispiel eine Leiterplatte aufweisen, die sich für die Oberflächenmontage (SMD-Leiterplatte) eignet. Beispielsweise kann die Leiterplatte 1 eine FR-Leiterplatte, eine Prepreg-Leiterplatte, eine HDI-(High-Density-Interconnect)-Leiterplatte oder ähnliche Bauformen umfassen.
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Das Hallsensorbauelement 4 umfasst ein Gehäuse 4a, beispielsweise ein SO-Gehäuse („small outline“, kleiner Grundriss), und mindestens einen in dem Gehäuse 4a angeordneten Sensorchip. Der Sensorchip kann beispielsweise ein Hallsensor 6 sein, der eine parallel zu der ersten Oberfläche 1a angeordnete aktive Sensorfläche aufweist. Das Hallsensorbauelement 4 kann beispielsweise an der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte 1 über der Aussparung aufgebracht sein. Alternativ dazu kann das Hallsensorbauelement 4 auch teilweise oder ganz in der Aussparung eingebettet werden. Dazu kann das Hallsensorbauelement 4 mit dem Gehäuse 4a über einen Kontaktdraht 4b bzw. Kontaktpins 4b mit der Leiterplatte 1 verbunden werden. Die Kontaktpins 4b können dazu in SMD-Technologie über (nicht in 1 gezeigte) Lötkontakte mit der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte verbunden werden.
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Der Magnetflusssammler 2 kann aus einem magnetisch permeablen Material wie Eisen, Kobalt, Nickel, Ferriten oder Kombinationen bzw. Legierungen dieser Materialien bestehen. Vorzugsweise weist das Material des Magnetflusssammlers 2 eine sehr hohe magnetische Permeabilitätszahl auf. Der Magnetflusssammler 2 ist auf der Seite der ersten Oberfläche 1a auf der Leiterplatte 1 gegenüberliegend des Hallsensorbauelements 4 angeordnet. Die Bauform des Magnetflusssammlers 2 ist im allgemeinen trichterförmig, das heißt, eine von der Leiterplatte 1 abgewandte Seitenfläche 2a weist einen ersten Flächeninhalt auf, der größer ist, als ein zweiter Flächeninhalt einer der Leiterplatte 1 zugewandten Seitenfläche 2b des Magnetflusssammlers 2. Die Außenwand 2c des Trichters ist im Beispiel der 1 abgeschrägt. Die Schräge der Außenwand 2c kann derart gewählt werden, dass der Magnetflusssammler 2 mit seiner Seitenfläche 2b möglichst weit in die Aussparung 5 hinein reicht bzw. die Seitenfläche 2b des Magnetflusssammlers 2 möglichst dicht über der aktiven Sensorfläche des Hallsensors 6 angeordnet ist. Im Beispiel der 1 weist der Magnetflusssammler 2 damit eine trapezoide Querschnittsfläche auf.
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Der Magnetflusssammler 2 kann auf der ersten Oberfläche 1a der Leiterplatte 1 mit Lötkontakten 3 befestigt sein. Vorzugsweise ist die Form des Magnetflusssammlers 2 dergestalt, dass die Seitenfläche 2a des Magnetflusssammlers 2 möglichst nah an der ersten Oberfläche 1a der Leiterplatte befindlich ist, um eine kompakte und insbesondere flache Bauform des Magnetfeldsensors 100 zu gewährleisten.
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Der zweite Flächeninhalt der der Leiterplatte 1 zugewandten Seitenfläche 2b des Magnetflusssammlers 2 kann dem Flächeninhalt der aktiven Sensorfläche des Hallsensors 6 entsprechen, so dass – wie in 1 durch die Magnetflusslinien Φ angedeutet – der magnetische Fluss des umgebenden Magnetfelds auf die aktive Sensorfläche des Hallsensors 6 hin gebündelt werden kann. Dadurch kann eine effektive Verstärkung des Magnetfelds über dem Hallsensor 6 ermöglicht werden.
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In 1 sind mit den Bezugszeichen II-II und III-III zwei Schnittlinien angedeutet, die die Draufsicht auf die Leiterplatte 1 von der zweiten Oberfläche 1b und der ersten Oberfläche 1a her anzeigen. In den 2 und 3 sind jeweils schematische Darstellungen dieser Draufsichten gezeigt. 2 zeigt eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors 100 aus 1 in Draufsicht von unten, während 3 eine schematische Darstellung des Magnetfeldsensors 100 aus 1 in Draufsicht von oben zeigt.
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Das Hallsensorbauelement 4 kann beispielsweise mindestens zwei entlang der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte 1 benachbart gelegene Hallsensoren 6 aufweisen. Dabei kann die der Leiterplatte 1 zugewandte Seitenfläche 2b des Magnetflusssammlers 2 über der aktiven Sensorfläche eines der beiden Hallsensoren 6 angeordnet sein. Mit dieser Anordnung wird der magnetische Fluss nur über einem der beiden Hallsensoren 6 verstärkt, so dass differentielle Messungen mit den beiden Hallsensoren 6 ermöglicht werden.
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Die Anzahl der Hallsensoren 6 und die Anzahl der Drahtkontakte 4b sind jeweils nicht auf die in 2 beispielhaft gezeigte Darstellung beschränkt, sondern können auch andere Werte annehmen. Ebenso ist die Querschnittsform des Hallsensorbauelements 4 nicht auf die in 2 beispielhaft gezeigte Darstellung beschränkt. Jede andere Bauform des Gehäuses 4a ist ebenso denkbar.
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4 zeigt eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors 200 mit einem Magnetflusssammler 2 im Querschnitt gemäß einem alternativen Ausführungsbeispiel. Der Magnetfeldsensor 200 der 4 unterscheidet sich von dem Magnetfeldsensor 100 der 1 im Wesentlichen darin, dass der Magnetflusssammler 2 eine Querschnittsfläche aufweist, die einem Längsschnitt durch eine Hälfte eines einschaligen Hyperboloids entspricht, das heißt, dass die Außenwand 2c des Trichters des Magnetflusssammlers 2 eine konkave Bogenlinie aufweist. Dadurch kann bei gleicher (flacher) Bauhöhe des Magnetflusssammlers 2 ein tieferes Eintauchen der zweiten Seitenfläche 2b in die Aussparung 5 bzw. eine laterale Verkleinerung der Aussparung 5 erfolgen.
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5 zeigt eine schematische Darstellung eines Magnetfeldsensors 300 mit einem ersten Magnetflusssammler 2 und einem zweiten Magnetflusssammler 7 im Querschnitt. Die 6 und 7 zeigen jeweils schematische Darstellungen des Magnetfeldsensors 300 aus 5 in Draufsicht von unten bzw. oben, wie mit den Schnittlinien VI-VI und VII-VII in 5 angedeutet. Der Magnetfeldsensor 300 der 5 unterscheidet sich von dem Magnetfeldsensor 100 der 1 im Wesentlichen darin, dass der Magnetfeldsensor zusätzlich einen zweiten Magnetflusssammler 7 aus einem magnetisch permeablen Material aufweist, welcher auf der Seite der zweiten Oberfläche 1b auf der Leiterplatte 1 so angeordnet ist, dass das Hallsensorbauelement 4 entlang der Erstreckung der Aussparung 5 zwischen dem ersten Magnetflusssammler 2 und dem zweiten Magnetflusssammler 7 angeordnet ist.
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Der zweite Magnetflusssammler 7 kann eine von der Leiterplatte 1 abgewandte Seitenfläche 7a mit einem dritten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte 1 zugewandte Seitenfläche 7b mit einem vierten Flächeninhalt aufweisen, so dass der dritte Flächeninhalt größer als der vierte Flächeninhalt ist. Insgesamt kann die Bauweise des zweiten Magnetflusssammlers 7 im Wesentlichen der Bauweise des ersten Magnetflusssammlers 2 entsprechen. Insbesondere können die äußere Form sowie die Auswahl der magnetisch permeablen Baumaterialien an den jeweiligen Parametern für den ersten Magnetflusssammler 2 orientiert sein.
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Die Anordnung des Hallsensorbauelements 4 in 5 ist so gewählt, dass der Hallsensor 6 in der Aussparung 5 eingebettet ist, das heißt, dass die aktive Sensorfläche des Hallsensor 6 innerhalb der Aussparung 5 zwischen der ersten Oberfläche 1a und der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte 1 gelegen ist. Dazu können beispielsweise die Kontaktpins 4b des Hallsensorbauelements 4 „reverse“ gebogen werden, das heißt, so gebogen werden, dass sie über die untere Seite des Hallsensorbauelements 4 hinausstehen, wie in 5 gezeigt. Anschließend können die gebogenen Kontaktpins 4b des Hallsensorbauelements 4 mit Lötkontakten 4c an der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte 1 befestigt werden.
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Der zweite Magnetflusssammler 7 kann ebenfalls in SMD-Technologie über Lötkontakte 8 auf der zweiten Oberfläche 1b der Leiterplatte 1 befestigt werden. Mithilfe des zweiten Magnetflusssammlers 7 kann in ähnlicher Weise wie mit dem ersten Magnetflusssammler 2 der magnetische Fluss Φ auf der dem ersten Magnetflusssammler 2 gegenüberliegenden Seite der aktiven Sensorfläche des Hallsensors 6 gebündelt werden. Dadurch kann die Durchsetzung des Hallsensors 6 durch das zu messende Magnetfeld weiter optimiert werden.
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8 zeigt eine schematische Darstellung eines Verfahrens 10 zum Herstellen eines Magnetfeldsensors, insbesondere eines im Zusammenhang mit dem 1 bis 7 gezeigten Magnetfeldsensors 100, 200 oder 300. Das Verfahren 10 umfasst in einem ersten Schritt 11 ein Montieren eines Hallsensorbauelements 4, welches ein Gehäuse 4a und mindestens einen in dem Gehäuse 4a angeordneten Hallsensor 6 aufweist, auf einer Leiterplatte 1 mit einer ersten Oberfläche 1a, einer der ersten Oberfläche 1a gegenüberliegenden zweiten Oberfläche 1b und einer sich von der ersten Oberfläche 1a zur zweiten Oberfläche 1b erstreckenden Aussparung 5 in dem Bereich der Aussparung 5 auf der Seite der zweiten Oberfläche 1b. Das Montieren des Hallsensorbauelements 4 kann beispielsweise in einem Oberflächenmontageschritt (SMD-Technologie) erfolgen.
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In einem zweiten Schritt 12 erfolgt dann ein Montieren eines ersten Magnetflusssammlers 2 aus einem magnetisch permeablen Material auf der Seite der ersten Oberfläche 1a auf der Leiterplatte 1 gegenüberliegend des Hallsensorbauelements 4, wobei der Magnetflusssammler 2 eine von der Leiterplatte 1 abgewandte Seitenfläche 2a mit einem ersten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte 1 zugewandte Seitenfläche 2b mit einem zweiten Flächeninhalt aufweist, und wobei der erste Flächeninhalt größer als der zweite Flächeninhalt ist.
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Optional kann in einem dritten Schritt 13 ein Montieren 13 eines zweiten Magnetflusssammlers 7 aus einem magnetisch permeablen Material auf der Seite der zweiten Oberfläche 1b auf der Leiterplatte 1, so dass das Hallsensorbauelement 4 entlang der Erstreckung der Aussparung 5 zwischen dem ersten Magnetflusssammler 2 und dem zweiten Magnetflusssammler 7 angeordnet ist, wobei der zweite Magnetflusssammler 7 eine von der Leiterplatte 1 abgewandte Seitenfläche 7a mit einem dritten Flächeninhalt und eine der Leiterplatte 1 zugewandte Seitenfläche 7b mit einem vierten Flächeninhalt aufweist, und wobei der dritte Flächeninhalt größer als der vierte Flächeninhalt ist.
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Die Schritte 12 und 13 können dabei vorzugsweise ebenfalls in SMD-Technologie durchgeführt werden, indem die ersten und zweiten Magnetflusssammler 2 bzw. 7 über Lötkontakte 3 bzw. 8 an der Leiterplatte 1 befestigt werden.
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Die vorstehend erläuterten Magnetfeldsensoren und deren Herstellungsverfahren können beispielsweise in allen Anwendungen eingesetzt werden, in denen ein Magnetfeld räumlich aufgelöst erfasst werden soll. Besonders vorteilhaft sind diese Magnetfeldsensoren in Anwendungsfällen, in denen Magnetfelder mit geringem Betrag ermittelt werden sollen, beispielsweise in Drehmomentsensoren – zum Beispiel für elektrische Servolenkungen –, drahtlosen Drehmomentsensoren, Stromsensoren, Lageerkennungssensoren, Kompassanwendungen, für kontaktlose Signalgeber oder in ähnlichen Fällen.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- US 5883567 A [0004]
- US 7358724 B2 [0004]
