DE102012110618A1 - Baugruppe mit mindestens zwei miteinander gefügten Keramikkörpern, insbesondere Druckmesszelle, und Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots - Google Patents

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Abstract

Baugruppe, umfassend: zwei Keramikkörper 1, 2 die mittels einer Fügestelle, die ein Aktivhartlot 5 aufweist, verbunden sind, wobei das Aktivhartlot über ein zusammenhängendes Kernvolumen, das jeweils von den Keramikkörpern mindestens 1 µm beabstandet ist, eine mittlere Komposition CK mit einer Liquidustemperatur Tl(CK) aufweist, wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt α(CK) = m·α(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m ≤ 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei α(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs der Keramikkörper ist, wobei die Fügestelle Grenzschichten aufweist, die an die Keramikkörper grenzen, dadurch wobei mindestens eine der Grenzschichten, die außerhalb des Kernvolumens liegt, eine mittlere Komposition CG mit einer Liquidustemperatur Tl(CG) aufweist, die nicht weniger als 50 K, vorzugsweise nicht weniger als 100 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur Tl(CK) der mittleren Komposition CK des Kernvolumens liegt.

Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Baugruppe, welche mindestens zwei miteinander gefügte Keramikkörper aufweist, insbesondere eine Druckmesszelle, sowie ein Verfahren zum Fügen von Keramikkörpern mittels eines Aktivhartlots.
  • Aufgrund der besonderen Relevanz der Erfindung für Druckmesszellen wird die Problemstellung der Erfindung zunächst anhand von Druckmesszellen erläutert.
  • Druckmesszellen nach dem Stand der Technik weisen eine keramische Messmembran und einen keramischen Gegenkörper auf, wobei die Messmembran mit dem Gegenkörper entlang einer umlaufenden Fügestelle, welche ein Aktivhartlot aufweist, druckdicht verbunden ist, wobei zwischen der Messmembran und dem Gegenkörper eine Druckkammer gebildet ist, wobei sich die Gleichgewichtslage der Messmembran aus der Differenz zwischen einem in der Druckkammer herrschenden Druck und einem auf die der Druckkammer abgewandten Außenseite der Messmembran einwirkenden Druck ergibt.
  • Als Material für den Gegenkörper und die Messmembran sind insbesondere Aluminiumoxidkeramiken im Einsatz, welche sich aufgrund ihrer elastischen Eigenschaften und ihrer Medienbeständigkeit zur Herstellung von Druckmesszellen eignen. Die genannten Keramikkomponenten werden insbesondere mit einem Aktivhartlot gefügt, welches bevorzugt ein Zr-Ni-Ti-haltiges Aktivhartlot ist. Die Herstellung eines solchen Aktivhartlots ist beispielsweise in der europäischen Offenlegungsschrift EP 0 490 807 A2 offenbart. Nach dem in der Offenlegungsschrift beschriebenen Verfahren lassen sich insbesondere Ringe aus dem Aktivhartlotmaterial herstellen, welche zwischen Messmembran und Gegenkörper zu positionieren sind, um diese miteinander zu verlöten.
  • Zum Fügen der Bauteile werden beispielsweise die Keramikkörper mit einem zwischenliegenden Lotformteil im Hochvakuum auf eine Temperatur erwärmt, welche das Aufschmelzen des Aktivhartlots ermöglicht, so dass eine Reaktion zwischen dem Aktivhartlot und den Keramikkörpern einsetzt. Durch Abkühlen erstarrt das Aktivhartlot, und die Reaktion zwischen dem Aktivhartlot und dem Keramikkörper wird gestoppt. Beim Abkühlen können jedoch unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten des Materials der Keramikkörper einerseits und des Aktivhartlots andererseits zu erheblichen Spannungen zwischen den keramischen Komponenten und der Fügestelle führen, denn immerhin erfolgt nach dem Erstarren des Lots noch eine Abkühlung um einige hundert K.
  • Bei der Auswahl eines Aktivhartlots mit einem zum keramischen Werkstoff passenden Wärmeausdehnungskoeffizienten ist jedoch zu beachten, dass das passende Aktivhartlot nicht einen zu hohen Schmelzpunkt aufweist und insofern nicht zum Fügen der keramischen Komponenten geeignet ist, beispielsweise weil Elektroden, die auf den Keramikkörpern präpariert sind, diesen Temperaturen nicht standhalten.
  • Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Baugruppe und eine Druckmesszelle sowie ein Herstellungsverfahren dafür bereitzustellen, wodurch die genannten Nachteile des Stands der Technik überwunden werden.
  • Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch die Baugruppe gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1, die Druckmesszelle gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 10 und das Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 11.
  • Die erfindungsgemäße Baugruppe umfasst einen ersten Keramikkörper und einen zweiten Keramikkörper, wobei der erste Keramikkörper und der zweite Keramikkörper mittels einer Fügestelle verbunden sind, wobei die Fügestelle ein Aktivhartlot aufweist, wobei das Aktivhartlot, gemittelt über ein zusammenhängendes Kernvolumen, das von dem ersten Keramikkörper und von dem zweiten Keramikkörper jeweils mindestens 1 µm, insbesondere mindestens 2 µm beabstandet ist, eine mittlere Komposition CK mit einer Liquidustemperatur Tl(CK) aufweist,
    wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt: α(CK) = m·α(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m ≤ 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei α(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs bzw. der keramischen Werkstoffe des ersten und zweiten Keramikkörpers ist,
    wobei die Fügestelle eine erste Grenzschicht und eine zweite Grenzschicht aufweist, die an den ersten Keramikkörper bzw. zweiten Keramikkörper grenzen,
    wobei erfindungsgemäß mindestens eine der Grenzschichten, die außerhalb des Kernvolumens liegt, eine mittlere Komposition CG mit einer Liquidustemperatur Tl(CG) aufweist, die nicht weniger als 50 K, insbesondere nicht weniger als100 K, und bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur Tl(CK) der mittleren Komposition CK des Kernvolumens liegt.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist die mindestens eine Grenzschicht eine Stärke von nicht mehr als 3 µm, insbesondere nicht mehr als 2 µm und bevorzugt nicht mehr als 1 µm auf.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weisen mindestens 40%, vorzugsweise mindestens 60% und besonders bevorzugt mindestens 70% des Volumens der Fügestelle die Komposition CK auf.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung weist die Komposition der Grenzschicht CG eine Liquidustemperatur Tl(CG) auf, die nicht mehr als 300 K, vorzugsweise nicht mehr als 150 K, und bevorzugt nicht mehr als 50 K oberhalb der Liquidustemperatur Tl(Ce) des eutektischen Punktes bzw. des nächsten Schnittpunks mit einer eutektischen Rinne mit einer Komposition Ce im Kompositionsraum liegt, wobei Ce := (ce1, ..., ceN), wobei |Ce| = 1, wobei die cei der stöchiometrische Anteil der Komponenten Ki mit i = 1, ..., N am eutektischen Punkt bzw. am nächsten Schnittpunkt mit einer eutektischen Rinne sind, wobei CG := (cG1, ..., cGN), wobei |CG| = 1, und wobei die cGi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots in der Grenzschicht sind.
  • In einer Weiterbildung der Erfindung gilt:
    Ce := (ce1, ..., ceN), wobei |Ce| = 1, wobei die cei die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki mit i = 1, ..., N am eutektischen Punkt bzw. am nächsten Schnittpunkt mit einer eutektischen Rinne sind;
    CK := (cK1, ..., cKN), wobei |CK| = 1, und wobei die cKi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki, mit i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots im Kernvolumen sind; und
    CG := (cG1, ..., cGN), wobei |CG| = 1, und wobei die cGi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots in der Grenzschicht sind,
    wobei die Differenz zwischen der Komposition Ce und der Komposition CG mit einem normierten Differenzvektor DeG beschreibbar ist,
    wobei gilt Ce = CG + aeG·DeG, mit |DeG| = 1,
    wobei die Differenz zwischen der Komposition CK und der Komposition CG mit einem normierten Differenzvektor DKG beschreibbar ist,
    wobei gilt CK = CG + aKG·DKG, mit |DKG| = 1,
    wobei aeG und aKG positive Skalare sind,
    wobei für das Skalarprodukt seK := DeG·DKG gilt:
    seK < 0, insbesondere seK < –0,5, bevorzugt seK < –0,8.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weisen der erste Keramikkörper (1) und / oder der zweite Keramikkörper (2) Al2O3 auf.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist das Aktivhartlot Zr, Ni und Ti auf.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung enthält die Komposition CK, im wesentlichen Zirkon und Titan, mit (50+x) Atom-% Titan und (50 – x) Atom-% Zirkon, wobei x < 10 insbesondere x <5, wobei die Komposition CK insbesondere in der α-(Zr, Ti)-Phase vorliegt.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) auf, für den gilt α(CK) ≤ 10·10–6/K, insbesondere α(CK) ≤ 9,5·10–6/K, vorzugweise α(CK) ≤ 9,2·10–6/K.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung weist die Grenzschicht eine Komposition CG auf, die etwa 42 bis 52 Atom-% Zr, 23 bis 28 Atom-% Ni und 24 bis 30 Atom-% Ti aufweist, wobei ggf. Al eindiffundiert ist, wobei in dem Maße, wie Al vorliegt, insbesondere der Titananteil reduziert ist.
  • Die erfindungsgemäße Druckmesszelle umfasst eine erfindungsgemäße Baugruppe, wobei der erste Keramikkörper einen Membrankörper einer Messmembran der Druckmesszelle bildet, wobei der zweite Keramikkörper einen Gegenkörper der Druckmesszelle bildet, und wobei der Gegenkörper und der Membrankörper mittels der Fügestelle, welche ringförmig ausgebildet ist, druckdicht miteinander gefügt sind.
  • Das erfindungsgemäße Verfahren zum Herstellen einer insbesondere erfindungsgemäßen Baugruppe, die einen ersten Keramikkörper und einen zweiten Keramikkörper aufweist, wobei der erste Keramikkörper und der zweite Keramikkörper mittels eines Aktivhartlots durch das Verfahren zu verbinden sind, weist die folgenden Schritte auf:
    Bereitstellen des Aktivhartlots zwischen den Keramikkörpern, wobei das Aktivhartlot gemittelt über ein zusammenhängendes Kernvolumen eine mittlere Komposition CK0 mit einer Liquidustemperatur Tl(CK0) aufweist, wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt α(CK) = m·α(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m ≤ 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei α(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs bzw. der keramischen Werkstoffe des ersten und zweiten Keramikkörpers ist,
    wobei das Aktivhartlot auf zumindest einer der Oberflächen, die dem Keramikkörper zugewandt sind, eine Grenzschicht mit einer mittleren Komposition CG0 aufweist, wobei die Komposition CG0 eine Liquidustemperatur Tl(CG0) aufweist, die nicht weniger als 50 K, vorzugsweise nicht weniger als 100 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur Tl(CK0) der mittleren Komposition CK0 des Kernvolumens liegt; und
    Erhitzen der Keramikkörper und des Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess bis zum Schmelzen der Komposition CG0, wobei die Schmelze der Grenzschicht sich im Übergang zum Kernbereich mit dem Material des Kernbereichs vermischt, wodurch die Liquidustemperatur der Grenzschicht erhöht wird, so dass die Grenzschicht zumindest teilweise isotherm erstarrt oder höherviskos wird.
  • Die Kompositionen des Kernvolumens CK0 und der Grenzschicht CK0 sind zweckmäßig durch Vektoren beschreibbar, wobei CK0 := (cK01, ..., cK0N), wobei |CK0| = 1, und wobei die cKi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots im Kernvolumen sind, wobei CG0 := (cG01, ..., cG0N), wobei |CG0| = 1, und wobei die cG0i die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots in der Grenzschicht sind.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens umfasst das Bereitstellen des Aktivhartlots, dass ein Lotformteil, welches die Komposition CK0 aufweist, mittels Gasphasenabscheidung, beispielsweise durch Sputtern, mindestens auf einer Oberfläche, vorzugsweise auf zwei gegenüberliegenden Oberflächen mit einer Grenzschicht beschichtet wird, welche die Komposition CG0 aufweist.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens umfasst das Bereitstellen des Aktivhartlots, dass mindestens ein Oberflächenabschnitt eines Keramikkörpers, insbesondere zwei gegenüberliegende Oberflächenabschnitte der beiden Keramikkörper mit jeweils einer Grenzschicht beschichtet wird bzw. werden, welche die Komposition CG0 aufweist, wobei die Beschichtung beispielsweise durch Gasphasenabscheidung, insbesondere Sputtern erfolgt. In einer Ausgestaltung dieser Weiterbildung des Verfahrens wird zwischen den mit der Grenzschicht versehenen Keramikkörper ein Lotformteil angeordnet, welches ein Kernvolumen mit der Komposition CK0 aufweist, und welches ggf. mit einer Grenzschicht der Komposition CG0 beschichtet ist.
  • Gemäß einer Weiterbildung der Erfindung enthält die Komposition CK, im wesentlichen Zirkonium und Titan, mit (50 + x) Atom-% Titan und (50 – x) Atom-% Zirkon, wobei x < 10 insbesondere x <5, wobei die Komposition CK0 insbesondere in der α-(Zr, Ti)-Phase vorliegt.
  • In einer Weiterbildung des Verfahrens weist die Komposition CG0 etwa 42 bis 52 Atom-% Zr, 23 bis 28 Atom-% Ni und 24 bis 30 Atom-% Ti auf, beispielsweise 45 bis 49 Atom-% Zr, 24,5 bis 27 Atom-% Ni und 26 bis 29,5 Atom-% Ti, und vorzugsweise 47 Atom-% Zr, 26 Atom-% Ni und 27 Atom-% Ti.
  • Die Erfindung wird nun anhand des in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels erläutert, es zeigt:
  • 1: Ein vereinfachtes Diagramm für das ternäre System Ni-Ti-Zr;
  • 2: einen Teillängsschnitt durch eine erfindungsgemäße Druckmesszelle;
  • Das in 1 dargestellte Diagramm für ein ternäres metallisches System, nämlich das Ni-Ti-Zr-System, ist auf Daten von Gupta (Journal of Phase Equilibria, 20(4), Seiten 441–448, August 1999) gestützt. Es zeigt die Lage des eutektischen Punkts E und einiger eutektischer Rinnen. Die Pfeile in den eutektischen Rinnen deuten jeweils in Richtung einer niedrigeren Liquidustemperatur.
  • Erfindungsgemäß wird ein Kernvolumen eines Aktivhartlots, das für die mechanischen Eigenschaften einer damit zu bildenden Fügestelle bestimmend ist, mit einer Komposition CK0 beispielsweise eines Lotformteils bereitgestellt, wobei die Oberflächen des Kernvolumens mit einer Grenzschicht einer Komposition CG0 beschichtet werden, wobei die letztgenannte Komposition einen deutlich tieferen Schmelzpunkt aufweist als die Komposition des Kernvolumens.
  • Die Komposition CK0 des Kernvolumens ist vorzugsweise so gewählt, dass der Wärmeausdehnungskoeffizient der Komposition möglichst wenig von dem Wärmeausdehnungskoeffizienten des keramischen Werkstoffs der zu fügenden Keramikkörper abweicht. Zu verschiedenen Kompositionen wurde der Wärmeausdehnungskoeffizient ermittelt. Hierbei erwiesen sich Kompositionen von Zirkonium und Titan mit (50 + x) Atom-% Titan und (50 – x) Atom-% Zirkonium, wobei x < 10 insbesondere x < 5, insbesondere in der α-(Zr, Ti)-Phase als Komposition des Kernvolumens CK0 für das Fügen von Korund besonders geeignet. Die Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) gilt: α(CK) ≤ 9,5·10–6/K, insbesondere α(CK) ≤ 9,2·10–6/K.
  • Wie in 1 dargestellt, kann die Komposition CG0 der Grenzschicht am eutektischen Punkt oder nahe dem eutektischen Punkt gewählt sein, wie durch die entsprechend bezeichnete Fläche in 1 dargestellt ist. Eine geeignete Komposition CG0 umfasst beispielsweise 47 Atom-% Zr, 26 Atom-% Ni und 27 Atom-% Ti. Die zugehörige Liquidustemperatur beträgt etwa 770 °C.
  • Die Liquidustemperatur einer Komposition CK0 des Kernvolumens mit 55 Atom-% Ti und 45 Atom-% Ni beträgt dagegen mehr als 1200 °C.
  • Dem entsprechend kann die Grenzschicht beispielsweise bei einer Löttemperatur von 800 °C bis 850 °C zuverlässig aufgeschmolzen werden, ohne dass das Kernvolumen des Aktivhartlots aufgeschmolzen wird.
  • Damit kann die feinkristalline bzw. amorphe Struktur des Kernvolumens beim Löten erhalten werden. Lediglich an der Grenzfläche zwischen der Grenzschicht und dem Kernvolumen wird es ggf. zu einem Austausch zwischen dem Kernvolumen und der Grenzschicht kommen, so dass die Grenzschicht abschnittsweise einen Anstieg der Liquidustemperatur erfährt, was je nach der gewählten Löttemperatur bewirkt, dass Bereiche der Grenzschicht isotherm zäher werden oder erstarren. Jedenfalls wird aber die Struktur des Kernvolumens kaum verändert.
  • Nach dem geschilderten Prinzip werden nun die Komponenten einer Druckmesszelle gefügt, deren Anordnung vor dem Fügen in 2 dargestellt ist. Die Druckmesszelle umfasst einen keramischen Gegenkörper 1 und eine Messmembran 2, die Aluminiumoxid aufweisen. Die Messmembran 2 und der Gegenkörper sind mittels eines Aktivhartlots zu fügen, wobei das Aktivhartlot als ringförmiges Lotformteil 3 mit einer Stärke von beispielsweise 20 µm bereitgestellt wird, wobei auf beiden Stirnseiten des Lotrings eine Grenzschicht 4, 5 in einer Stärke von 1 µm bis 2 µm aufgesputtert ist.
  • Das Lotformteil weist die oben beschriebene Komposition CK0 des Kernvolumen auf, also Zr und Ti im stöchiometrischen Verhältnis von etwa 3 zu 1. Die Grenzschicht weist dagegen eine Komposition CG0 auf, die nahe am eutektischen Punkt E liegt.
  • Durch Löten im Hochvakuum bei beispielsweise 850°C reagieren die Grenzschichten 4, 5 mit dem Gegenkörper und der Messmembran 1, 2, so dass eine Fügestelle ausgebildet wird, wobei das Kernvolumen des Aktivhartlots nicht aufschmilzt und in seiner amorphen Struktur im wesentlichen erhalten bleibt. Die Messmembran und der Grundkörper weisen weiterhin jeweils eine Elektrode 7, 6 eines kapazitiven Wandlers auf, wobei die Elektroden beispielsweise durch Abscheiden von Ni präpariert sein können.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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  • Zitierte Patentliteratur
    • EP 0490807 A2 [0004]
  • Zitierte Nicht-Patentliteratur
    • Journal of Phase Equilibria, 20(4), Seiten 441–448, August 1999 [0029]

Claims (16)

  1. Baugruppe, umfassend: einen ersten Keramikkörper (1) und einen zweiten Keramikkörper (2), wobei der erste Keramikkörper (1) und der zweite Keramikkörper (2) mittels einer Fügestelle verbunden sind, wobei die Fügestelle ein Aktivhartlot (5) aufweist, wobei das Aktivhartlot, gemittelt über ein zusammenhängendes Kernvolumen, das von dem ersten Keramikkörper (1) und von dem zweiten Keramikkörper (2) jeweils mindestens 1 µm, insbesondere mindestens 2 µm beabstandet ist, eine mittlere Komposition CK mit einer Liquidustemperatur Tl(CK) aufweist, wobei insbesondere CK := (cK1, ..., cKN), wobei |CK| = 1, und wobei die cKi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots im Kernvolumen sind, wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt α(CK) = m·α(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m ≤ 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei α(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs bzw. der keramischen Werkstoffe des ersten und zweiten Keramikkörpers ist, wobei die Fügestelle eine erste Grenzschicht und eine zweite Grenzschicht aufweist, die an den ersten Keramikkörper bzw. zweiten Keramikkörper grenzen, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Grenzschichten, die außerhalb des Kernvolumens liegt, eine mittlere Komposition CG mit einer Liquidustemperatur Tl(CG) aufweist, die nicht weniger als 50 K, vorzugsweise nicht weniger als 100 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur Tl(CK) der mittleren Komposition CK des Kernvolumens liegt, wobei insbesondere CG := (cG1, ..., cGN), wobei |CG| = 1, und wobei die cGi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots in der Grenzschicht sind.
  2. Baugruppe nach Anspruch 1 oder 2, wobei die mindestens eine Grenzschicht eine Stärke von nicht mehr als 3 µm, insbesondere nicht mehr als 2 µm und bevorzugt nicht mehr als 1 µm aufweist.
  3. Baugruppe nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Komposition CG eine Liquidustemperatur Tl(CG) aufweist, die nicht mehr als 300 K, vorzugsweise nicht mehr als 150 K, und bevorzugt nicht mehr als 50 K oberhalb der Liquidustemperatur Tl(Ce) des eutektischen Punktes bzw. des nächsten Schnittpunks mit einer eutektischen Rinne mit einer Komposition Ce im Kompositionsraum liegt, wobei Ce := (ce1, ..., ceN), wobei |Ce| = 1, und wobei die cei der stöchiometrische Anteil der Komponenten Ki mit i = 1, ..., N am eutektischen Punkt bzw. ein nächster Schnittpunkt mit einer eutektischen Rinne ist.
  4. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Legierung der Fügestelle am eutektischen Punkt bzw. am nächsten Schnittpunkt mit einer eutektischen Rinne im Kompositionsraum eine Komposition Ce aufweist, wobei Ce := (ce1, ..., ceN), wobei |Ce| = 1, wobei die cei die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki mit i = 1, ..., N am eutektischen Punkt bzw. am nächsten Schnittpunkt mit einer eutektischen Rinne sind, wobei die Differenz zwischen der Komposition Ce und der Komposition CG mit einem normierten Differenzvektor DeG beschreibbar ist, wobei gilt: Ce = CG + aeG·DeG, mit |DeG| = 1, wobei die Differenz zwischen der Komposition CK und der Komposition CG mit einem normierten Differenzvektor DKG beschreibbar ist, wobei gilt: CK = CG + aKG·DKG, mit |DKG| = 1, wobei aeG und aKG positive Skalare sind, wobei für das Skalarprodukt seK := DeG·DKG gilt: seK < 0, insbesondere seK < –0,5, bevorzugt seK < –0,8.
  5. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Keramikkörper (1) und/oder der zweite Keramikkörper (2) Al2O3 aufweisen.
  6. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Aktivhartlot Zr, Ni und Ti aufweist.
  7. Baugruppe nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei die Komposition CK, im wesentlichen Zirkonium und Titan enthält, mit (50 + x) Atom-% Titan und (50 – x) Atom-% Zirkonium, wobei x < 10 insbesondere x < 5, wobei die Komposition CK insbesondere in der α-(Zr, Ti)-Phase vorliegt.
  8. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt α(CK) ≤ 10·10–6/K, insbesondere α(CK) ≤ 9,5·10–6/K, vorzugweise α(CK) ≤ 9,2·10–6/K.
  9. Baugruppe nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Grenzschicht eine Komposition CG aufweist, die etwa 42 bis 52 Atom-% Zr, 23 bis 28 Atom-% Ni und 24 bis 30 Atom-% Ti aufweist, wobei ggf. Al eindiffundiert ist, wobei in dem Maße, wie Al vorliegt, insbesondere der Titananteil reduziert ist.
  10. Druckmesszelle, umfassend eine erfindungsgemäße Baugruppe, wobei der erste Keramikkörper einen Membrankörper einer Messmembran der Druckmesszelle bildet, wobei der zweite Keramikkörper einen Gegenkörper der Druckmesszelle bildet, und wobei der Gegenkörper und der Messmembran mittels der Fügestelle, welche ringförmig ausgebildet ist, druckdicht miteinander gefügt sind.
  11. Verfahren zum Herstellen einer Baugruppe, insbesondere nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche Baugruppe einen ersten Keramikkörper und einen zweiten Keramikkörper aufweist, wobei der erste Keramikkörper und der zweite Keramikkörper mittels eines Aktivhartlots durch das Verfahren zu verbinden sind, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Bereitstellen des Aktivhartlots zwischen den Keramikkörpern, wobei das Aktivhartlot gemittelt über ein zusammenhängendes Kernvolumen eine mittlere Komposition CK0 mit einer Liquidustemperatur Tl(CK0) aufweist, wobei insbesondere CK0 := (cK01, ..., cK0N), wobei |CK0| = 1, und wobei die cKi die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots im Kernvolumen sind, wobei die Komposition CK einen Wärmeausdehnungskoeffizienten α(CK) aufweist, für den gilt α(CK) = m·α(K), wobei m ≤ 1,5, insbesondere m ≤ 1,3 und bevorzugt m ≤ 1,2, wobei α(K) der mittlere Wärmeausdehnungskoeffizient des keramischen Werkstoffs bzw. der keramischen Werkstoffe des ersten und zweiten Keramikkörpers ist, wobei das Aktivhartlot auf zumindest einer der Oberflächen, die dem Keramikkörper zugewandt sind, eine Grenzschicht mit einer mittleren Komposition CG0 aufweist, wobei die Komposition CG0 eine Liquidustemperatur Tl(CG0) aufweist, die nicht weniger als 50 K, vorzugsweise nicht weniger als 100 K, und besonders bevorzugt nicht weniger als 200 K unter der Liquidustemperatur Tl(CK0) der mittleren Komposition CK0 des Kernvolumens liegt, wobei insbesondere CG0 := (cG01, ..., cG0N), wobei |CG0| = 1, und wobei die cG0i die stöchiometrischen Anteile der Komponenten Ki i = 1, ..., N der mittleren Komposition des Aktivhartlots in der Grenzschicht sind; und Erhitzen der Keramikkörper und des Aktivhartlots in einem Vakuumlötprozess bis zum Schmelzen der Komposition CG0, wobei die Schmelze der Grenzschicht sich im Übergang zum Kernbereich mit dem Material der Grenzschicht vermischt, wodurch die Liquidustemperatur der Grenzschicht erhöht wird, so dass die Grenzschicht zumindest teilweise isotherm erstarrt oder höherviskos wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, wobei das Bereitstellen des Aktivhartlots umfasst, dass ein Lotformteil, welches die Komposition CK0 aufweist, mittels Gasphasenabscheidung, beispielsweise durch Sputtern, mindestens auf einer Oberfläche, vorzugsweise auf zwei gegenüberliegenden Oberflächen mit einer Grenzschicht beschichtet wird, welche die Komposition CG0 aufweist.
  13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, wobei das Bereitstellen des Aktivhartlots umfasst, dass mindestens ein Oberflächenabschnitt eines Keramikkörpers, insbesondere zwei einander gegenüberliegenden Oberflächenabschnitte der beiden Keramikkörper mit jeweils einer Grenzschicht beschichtet wird bzw. werden, welche die Komposition CG0 aufweisen, wobei die Beschichtung beispielsweise durch Gasphasenabscheidung, insbesondere Sputtern erfolgt.
  14. Verfahren nach Anspruch 13, wobei zwischen den mit der Grenzschicht versehenen Keramikkörpern ein Lotformteil angeordnet wird, welches ein Kernvolumen mit der Komposition CK0 aufweist, und welches ggf. mit einer Grenzschicht der Komposition CG0 beschichtet ist.
  15. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 14, wobei die Komposition CK im wesentlichen Zirkonium und Titan mit (50 + x) Atom-% Titan und (50 – x) Atom-% Zirkonium enthält, wobei x < 10 insbesondere x < 5, wobei die Komposition CK insbesondere in der α-(Zr, Ti)-Phase vorliegt.
  16. Verfahren nach einem der Ansprüche 11 bis 15, wobei die Komposition CG0 etwa 42 bis 52 Atom-% Zr, 23 bis 28 Atom-% Ni und 24 bis 30 Atom-% Ti aufweist, beispielsweise 45 bis 49 Atom-% Zr, 24,5 bis 27 Atom-% Ni und 26 bis 29,5 Atom-% Ti, und vorzugsweise 47 Atom-% Zr, 26 Atom-% Ni und 27 Atom-% Ti.
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