DE102012025493A1

DE102012025493A1 - Precision holder for correct fixation of e.g. optical lens to carriers, has intermediate elements that are arranged in intermediate links, such that zero degree of freedom is ensured by movement of components relative to carriers

Info

Publication number: DE102012025493A1
Application number: DE201210025493
Authority: DE
Inventors: Manfred Steinbach
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2012-12-21
Filing date: 2012-12-21
Publication date: 2014-06-26

Abstract

The holder comprises mutually identical intermediate elements (2-25) that are arranged in multiple groups of three or six intermediate links, such that a zero degree of freedom of each group of links is ensured by the movement of multiple optical components (26) relative to the respective cup-shaped carriers (1). The sizes of the intermediate links are distributed at regular intervals. The intermediate elements are formed as wires. The wires are guided in bores or tubes. The intermediate elements are designed as angled metal sheets or sheet metal strips.

Description

Die Erfindung betrifft eine Präzisionshalterung zur Fixierung von vorzugsweise optischen Bauteilen an ihren Trägern mit Hilfe von partiell elastisch nachgiebigen, in Längsrichtung jedenfalls steif, gestalteten Zwischengliedern, die sowohl mit den Bauteilen als auch mit den Trägern fest verbunden sind.The invention relates to a precision holder for fixing preferably optical components to their carriers by means of partially elastically yielding, in the longitudinal direction in any case stiff, designed intermediate members which are firmly connected both to the components and to the carriers.

Bekanntlich müssen im Präzisionsgerätebau (z. B. für die Astronomie, Geodäsie, Halbleitertechnik, Weltraumtechnik) bestimmte Präzisionsbauteile so gehaltert werden, dass mögliche Lageveränderungen und Deformationen auch unter extremen Einsatzbedingungen die Größenanordnung der Lichtwellenlänge nicht überschreiten. Die bekannten konstruktiven Lösungen zu dieser Problematik sind hierzu wenig oder nicht geeignet.As is well known, in precision equipment construction (eg for astronomy, geodesy, semiconductor technology, space technology) certain precision components must be supported in such a way that possible positional changes and deformations do not exceed the size arrangement of the light wavelength even under extreme conditions of use. The known structural solutions to this problem are little or not suitable for this purpose.

So ist es bekannt, optische Bauteile durch Bördeln in metallischen Fassungen zu halten ( Bliedtner, J.; Gräfe, G.: Optiktechnologie. Leipzig: Fachbuchverlag/Carl Hanser-Verlag. 2008 ).So it is known to hold optical components by crimping in metallic versions ( Bliedtner, J .; Gräfe, G .: Optical Technology. Leipzig: specialist book publisher / Carl Hanser-Verlag. 2008 ).

In Steinbach, M. „Fixierung von Präzisionsbauteilen: Optikfassungen und Plattenlagerungen” ( In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141–222 ) werden Optikbauteile in Dreipunktauflage unter Zuhilfenahme eines Vorschraubrings und federnder Elemente in metallischen Fassungen gehalten. Eine andere bekannte Möglichkeit der möglichst exakten Fixierung von Bauelementen besteht in der Verwendung torischer oder ringschneidenartiger Flächen als Auflagen mit Klebern zur Befestigung ( Guyenot, V.: Justierdrehen – die Historie einer Montagetechnologie für Objektive. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 11 (2008) 239–259 ]).In Steinbach, M. "Fixation of precision components: optical sockets and plate bearings" ( In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141-222 ) optical components are held in three-point support with the aid of a Vorschraubrings and resilient elements in metallic versions. Another known possibility of the most exact possible fixation of components is the use of toric or annular cutting surfaces as supports with adhesives for attachment ( Guyenot, V .: Justierdrehen - the history of a mounting technology for lenses. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 11 (2008) 239-259 ]).

Auch ist aus der WO 2006/119970 A2 bekannt, Optikbauelemente über Justiereinrichtungen in metallischen Fassungen möglichst exakt zu lagern. Bei astronomischen Fernrohren werden Teleskopspiegel mit einer Vielzahl von Entlastungssystemen gelagert, die die Massenkräfte in jeder Teleskoplage gemäß der Richtung des Schwerevektors gegenüber dem Gerät so aufnehmen, dass keine Beeinträchtigung der Beobachtungs- bzw. Messgenauigkeit eintritt ( Steinbach, M.: Fixierung von Präzisionsbauteilen: Optikfassungen und Plattenlagerungen. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141–222 ). Jeder dieser bekannten Lösungen haftet mindestens einer der nachfolgend genannten Mängel an:

– Bei den meist vorhandenen ungleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten von Präzisionsbauteil und Fassung (Träger) entstehen Zwangskräfte oder Losen, die sich letztlich negativ auf die Funktion des Gesamtsystems auswirken.
– Die Lagerung in umgebenden mechanischen Bauteilen (Fassungen) ist nur möglich, wenn ein zumindest kleines Fassungsspiel vorhanden ist. Dieses Spiel ermöglicht aber Dezentrierungen und andere Lageänderungen des Bauteils, die seiner exakten und kinematisch richtigen Lagerung entgegenstehen.
– Die meist geforderte eindeutige Auflage in den Fassungskörpern führt zu wenigen Auflageflächen an den Bauteilen: entweder auf nur drei eng begrenzten Flächen oder auf einer umlaufenden Schneide. Bei starken Beschleunigungen, Schüttel- oder Stoßkräften führt das aber zu großen Spannungen in den Bauteilen, die insbesondere bei spröden Werkstoffen zur Zerstörung führen können.
– Damit eine Halterung genügend sicher ist und auch größeren Kräften widerstehen kann, müssen die Klebeflächen, insbesondere am Präzisionsbauteil eine Mindestgröße haben. Die (bei Dreipunkt- oder Schneidenlagerungen) erforderlichen ausgedehnten Klebestellen im Falle zu erwartender Beschleunigungskräfte führen zu mechanischen Spannungen und in der Folge in optischen Bauteilen zu strahlungsbeeinflussenden Brechkraftveränderungen. Dafür sind Aushärtungsprozesse, Alterungsprozesse und Temperatureinwirkungen ursächlich.
– Spannungen im Bauteil werden auch dadurch erzeugt, dass bei herkömmlichen Klebeverbindungen der Kleber zwischen Bauteilaußenwand und Trägerinnenwand gekammert ist und bei temperaturbedingter Ausdehnung nicht ausweichen kann. Auch dadurch kann es zu einer erheblichen Druckbelastung des Präzisionsbauteils und damit zu Fehlern im angestrebten Ergebnis kommen.

Also is from the WO 2006/119970 A2 known to store optical components as precisely as possible via adjusting in metallic versions. In astronomical telescopes, telescope mirrors are mounted with a variety of unloading systems that receive the mass forces in each telescopic position according to the direction of the gravity vector relative to the device so that no impairment of the observation or measurement accuracy occurs ( Steinbach, M .: Fixation of precision components: optical sockets and plate bearings. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141-222 ). Each of these known solutions is liable for at least one of the following defects:

- For the most common unequal coefficients of thermal expansion of precision component and socket (carrier), forcing forces or lots arise, which ultimately have a negative effect on the function of the overall system.
- The storage in surrounding mechanical components (sockets) is only possible if at least a small clearance play exists. This game allows decentrations and other changes in position of the component, which preclude its exact and kinematically correct storage.
- The most required clear support in the socket bodies leads to a few bearing surfaces on the components: either on only three narrow surfaces or on a circumferential cutting edge. In the case of strong accelerations, shaking or impact forces, however, this leads to great stresses in the components, which in particular can lead to destruction in the case of brittle materials.
- For a holder is sufficiently safe and can withstand greater forces, the adhesive surfaces, in particular on the precision component must have a minimum size. The (in three-point or edge bearings) required extended splices in the case of expected acceleration forces lead to mechanical stresses and subsequently in optical components to radiation-influencing refractive power changes. Curing processes, aging processes and temperature effects are the cause of this.
- Stresses in the component are also produced by the fact that in conventional adhesive bonds, the adhesive is chambered between the component outer wall and the carrier inner wall and can not escape when temperature-induced expansion. This can also lead to a significant pressure load on the precision component and thus errors in the desired result.

In Steinbach, M.: Fixierung von Präzisionsbauteilen: Optikfassungen und Plattenlagerungen. (In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141–222), Seiten 200–201 ] ist eine Optikhalterung beschrieben, deren zahlreiche Hebel nicht nur zur Halterung von gläsernen Strichplatten, sondern vor allem zur Sicherstellung eines homogenen elektrischen Anschlusses der leitfähigen Schicht auf den Glasplatten eines ionenoptischen Halbleiterproduktionssystems dienen. Die Anordnung und Gestaltung der Hebel ist keinesfalls zu einer zwangsfreien Halterung der Strichplatten bzw. ihres Trägers geeignet.In Steinbach, M .: Fixation of precision components: optical sockets and plate bearings. (In: Jenaer yearbook to the technology and industrial history 14 (2011) 141-222), pages 200-201 ] describes an optical holder whose numerous levers serve not only to hold glass reticles, but above all to ensure a homogeneous electrical connection of the conductive layer on the glass plates of an ion-optical semiconductor production system. The arrangement and design of the lever is in no way suitable for a non-positive retention of the reticles or their wearer.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zu Grunde, Bauteile, insbesondere Präzisionsbauteile, kinematisch richtig und ohne störende oder fehlende Freiheitsgrade an ihren Trägern reproduzierbar zu halten, so dass sich externe Einflüsse ebenso wenig auf die Zuordnung von Bauteil und Träger auswirken wie Einflüsse von Materialalterung, Aushärtung eines verwendeten Klebers, oder Temperatureinwirkungen.The invention is therefore based on the object to keep components, especially precision components, kinematically correct and without disturbing or missing degrees of freedom on their carriers reproducible, so that external influences have no effect on the assignment of component and carrier as influences of material aging, curing a used adhesive, or temperature effects.

Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, dass die Zwischenglieder in mehreren Gruppen zu je drei oder sechs Zwischengliedern angeordnet sind, von denen jede für sich den Freiheitsgrad null hinsichtlich der gegenseitigen Bewegung von Bauteil und Träger gewährleistet. According to the invention, this object is achieved in that the intermediate members are arranged in a plurality of groups of three or six pontics, each of which ensures the degree of freedom zero with respect to the mutual movement of the component and the carrier.

Wie viele Dreier- oder Sechsergruppen verwendet werden, hängt dabei von der Beanspruchung, der Dimensionierung und dem Material der mitwirkenden Bauteile ab. Ebenso hat das Anwendungsgebiet erheblichen Einfluss. Es müssen aber mindestens zwei Dreier- oder Sechsergruppen sein.How many threes or groups of six are used depends on the load, the dimensioning and the material of the components involved. Likewise, the field of application has considerable influence. But there must be at least two groups of three or six.

Je mehr Zwischenglieder verwendet werden, desto kleiner können die Verbindungsflächen, insbesondere Klebeflächen, an Bauteil und Träger sein, und desto geringer werden die an jedem der Zwischenglieder angreifenden Kräfte und Beeinflussungen. Trotz Verkleinerung der Einzelverbindungsflächen kann die Gesamtverbindungsfläche größer sein als bei Befestigung an wenigen ausgedehnteren Stellen des Bauteils.The more intermediate members are used, the smaller the connecting surfaces, in particular adhesive surfaces, on component and carrier can be, and the lower are the forces and influences acting on each of the intermediate members. Despite reducing the size of the interconnect surfaces, the overall interconnect area may be greater than when attached to a few extended locations of the device.

Außerdem ist es zumeist möglich, die Zwischenglieder in größerer Entfernung von den funktionell wirksamen Flächen und Volumina des Präzisionsbauteils/der Präzisionsbauteile angreifen zu lassen. Schubspannungen innerhalb der Verbindungsfläche, Kammerungseffekte und Beeinflussungen der Bauteilfunktionen werden dadurch erheblich verringert. Beim Verkleben werden die in das jeweilige Bauelement eingeleiteten Spannungen durch Aushärten des Klebers, seine Alterung und Temperatureffekte sehr viel kleiner als bei Fixierung an nur wenigen größeren Flächen. Beschleunigungskräfte, z. B. durch Transport, verteilen sich gleichmäßiger auf das gesamte Bauteil und bewirken dadurch eine Verringerung der Gefahr von Transportschäden.In addition, it is usually possible to allow the intermediate links to act at a greater distance from the functionally effective surfaces and volumes of the precision component (s). Shear stresses within the joint surface, chambering effects and influencing of the component functions are thereby considerably reduced. When gluing the introduced into the respective component voltages by curing the adhesive, its aging and temperature effects are much smaller than when fixed to only a few larger areas. Acceleration forces, z. B. by transport, distribute more evenly over the entire component, thereby reducing the risk of damage in transit.

Die Herstellung der Klebeverbindungen an unwirksamen Außenflächen der Bauteile an vielen Punkten gewährleistet die Aufnahme größerer Kräfte als bei Befestigung an wenigen Punkten.The production of adhesive bonds on ineffective outer surfaces of the components at many points ensures the absorption of larger forces than when attached to a few points.

Innerhalb der Dreier- oder Sechsergruppen können die Zwischenglieder unterschiedlich dimensioniert oder aus unterschiedlichem Material hergestellt werden, müssen aber aufeinander abgestimmt sein. Unerlässlich ist es jedoch, dass alle Zwischengliedergruppen einer Halterung identisch ausgebildet sind, weil nur dadurch die Gleichheit ihrer Wirkungsweise gesichert ist. Im Nebeneffekt wird damit im Allgemeinen auch ihre Herstellungstechnik vereinfacht.Within the groups of three or six, the intermediate links can be dimensioned differently or made of different materials, but must be coordinated with each other. It is essential, however, that all intermediate member groups of a holder are identical, because only by the equality of their operation is secured. As a side effect, this also generally simplifies their production technology.

Die bei der geforderten hohen Präzision als Festkörpergelenke ausgebildeten Zwischenglieder können Drähte sein, die in Röhren oder Bohrungen geführt werden, um ein Ausknicken bei Überlastung auf ein unschädliches Maß zu begrenzen. Diese Ausknickungen können auch vorteilhaft dadurch vermieden werden, dass die Mittelteile zwischen ihren Befestigungsstellen am Bauteil und seinem Träger verdickt gestaltet sind.The formed at the required high precision as solid joints intermediate members may be wires that are guided in tubes or holes to limit buckling in case of overload to a harmless level. These Ausknickungen can also be advantageously avoided by the fact that the middle parts are designed thickened between their attachment points on the component and its carrier.

Aus fertigungstechnischen Gründen können die Zwischenglieder vorteilhaft auch als Blechwinkel oder Blechstreifen ausgebildet sein. Ist das (Präzisions-)Bauteil zylindrisch gestaltet, so können in Abhängigkeit vom Material und dem Verwendungszweck des Bauteils die Zwischenglieder mit dem Zylindermantel, mit einer Zylinderdeckfläche oder mit beiden in geeigneter Weise verbunden sein. Letzteres ist besonders dann sinnvoll, wenn die Zwischenglieder paarweise gestaltet sind. Zur Vermeidung von Zwangskräften im oder auf das Bauteil sind alle Zwischenglieder so angeordnet, dass das Bauteil bei Änderungen der Lage oder Länge der Zwischenglieder frei ausweichen kann. Das Ausweichen kann sich in einer lateralen Verschiebung oder einer Drehung um eine Achse äußern.For technical reasons, the intermediate links can be advantageously designed as a sheet metal angle or metal strip. If the (precision) component is of cylindrical design, then, depending on the material and the intended use of the component, the intermediate members may be connected to the cylinder jacket, to a cylinder cover surface or to both in a suitable manner. The latter is particularly useful when the intermediate links are designed in pairs. To avoid coercive forces in or on the component all intermediate links are arranged so that the component can move freely with changes in the position or length of the intermediate links. Dodging may be manifested in a lateral displacement or rotation about an axis.

Ist das Bauteil als Prisma ausgebildet, so können die Zwischenglieder zur zwangsfreien Fixierung nur mit einer Planfläche des Primas oder nur an einem Teil dieser Planfläche verbunden sein. Bei entsprechenden Anwendungsbedingungen kann es von Vorteil sein, wenn die Zwischenglieder an mehreren Planflächen des Prismas bzw. Teilen dieser Planfläche angreifen.If the component is designed as a prism, then the intermediate members for positive fixation can be connected only to a plane surface of the primate or only to a part of this plane surface. Under appropriate conditions of use, it may be advantageous if the intermediate links act on a plurality of planar surfaces of the prism or parts of this plane surface.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:The invention will be explained in more detail with reference to the schematic drawing. Show it:

1: die Draufsicht auf eine erfindungsgemäß gestaltete Halterung, 1 : the top view of a holder designed according to the invention,

2: einen Axialschnitt z-z der Halterung gemäß 1, 2 : an axial section zz of the holder according to 1 .

3: eine Aufrissdarstellung zur Erläuterung der erforderlichen Freiheitsgrade der Zwischenglieder und des Gesamtfreiheitsgrades, 3 FIG. 2 is an elevational view for explaining the required degrees of freedom of the links and the total degree of freedom. FIG.

4a–c: Darstellungen zu den Kombinationsmöglichkeiten für die Einzelfreiheitsgrade in einer Gruppe von sechs Zwischengliedern, 4a -C: representations for the combinations of the individual degrees of freedom in a group of six pontics,

5a–e: Gestaltungsmöglichkeiten für jedes Zwischenglied in perspektivischer Darstellung, 5a -E: design options for each intermediate member in perspective,

6a–c: die besondere Gestaltung von Zwischengliedern, die in verschiedene Raumrichtungen wirken, 6a -C: the special design of pontics that act in different spatial directions,

7a-c: Möglichkeiten zur Verhinderung des Ausknickens von dünnen Zwischengliedern, 7a -c: ways to prevent the buckling of thin pontics,

8: eine umlaufende Fassung für eine Linse in perspektivischer Darstellung, 8th : a peripheral socket for a lens in perspective,

9: einen Ausschnitt aus einem dünnwandigen Träger mit einem Zwischenglied in Ansicht und Schnitt x-x, 9 : a section of a thin-walled carrier with an intermediate link in view and section xx,

10: einen Ausschnitt aus einem anderen Träger mit zwei Zwischengliedsystemen in Ansicht und Schnitt y-y und 10 : a section from another vehicle with two pontoon systems in view and intersection yy and

11: einen kinematisch richtig gehalterten prismatischen Körper in perspektivischer Darstellung. 11 : a kinematically correctly held prismatic body in perspective view.

In den 1 und 2 ist ein topfförmiger Träger 1 dargestellt, an dem über Zwischenglieder 2 bis 25 ein zylindrisches Präzisionsbauteil 26 gehaltert ist. Die Zwischenglieder 2 bis 25 sind durch den Träger 1 hindurchgeführt und mit ihm fest verbunden, z. B. durch Kleben oder Schweißen. Anstatt die Zwischenglieder 2 bis 25 durch den Träger 1 hindurchzuführen, können sie auch an der Innenwand des Trägers 1 durch Klebung oder Schweißung befestigt sein. Das Präzisionsbauteil 26 ist mit den Zwischengliedern verbunden, indem es in vierundzwanzig kleinen Flächen 263, 264 an seinem Boden 261 und an seinem Zylindermantel 262 angeklebt ist. Das Präzisionsbauteil 26 hat eine Zylinderachse O₁-O₁. Die Zwischenglieder 2 bis 25 bilden biegeweiche und längssteife Festkörpergelenke. Die Zwischenglieder 2 bis 13 sind tangential am Zylinderumfang und die Zwischenglieder 14 bis 25 parallel zur Zylinderachse O₁-O₁ und rechtwinklig zur Zylinderabschlussfläche 261 angeordnet. Sämtliche Zwischenglieder sind gleichmäßig über den Zylinderumfang derart verteilt, dass jeweils ein tangential angeordnetes Zwischenglied, z. B. 2, einem axial angeordneten Zwischenglied, z. B. 14, zugeordnet ist, mit ihm ein Paar bildet, und dass ihre Befestigungspunkte am Zylinder 26 nahe beieinander liegen. Die insgesamt vierundzwanzig Zwischenglieder 2 bis 25 bilden vier Sechsergruppen {2, 14; 6, 18; 10, 22}; {3, 15; 7, 19; 11, 23}; {4, 16; 8, 20; 12, 24}; {5, 17; 9, 21; 13, 25} und zwölf Paare {2, 14}; {3, 15}; {4, 16}; {5, 17}; {6, 18}; {7, 19}; {8, 20}; {9, 21}; {10, 22}; {11, 23}; {12, 24}; {13, 25}, wobei die Zwischenglieder jedes Paares unterschiedlich dimensioniert sein können, die Paare untereinander aber identisch gestaltet sind.In the 1 and 2 is a cup-shaped carrier 1 shown at the intermediate links 2 to 25 a cylindrical precision component 26 is held. The intermediate links 2 to 25 are through the carrier 1 passed and firmly connected with him, z. B. by gluing or welding. Instead of the intermediate links 2 to 25 through the carrier 1 They can also pass on the inner wall of the carrier 1 be attached by gluing or welding. The precision component 26 is connected to the pontics by placing it in twenty-four small areas 263 . 264 at its bottom 261 and on his cylinder jacket 262 is glued on. The precision component 26 has a cylinder axis O ₁ -O ₁ . The intermediate links 2 to 25 form flexurally soft and longitudinal rigid joints. The intermediate links 2 to 13 are tangential to the cylinder circumference and the intermediate links 14 to 25 parallel to the cylinder axis O ₁ -O ₁ and at right angles to the cylinder end surface 261 arranged. All intermediate links are evenly distributed over the circumference of the cylinder such that in each case a tangentially arranged intermediate member, for. B. 2 , an axially disposed intermediate member, for. B. 14 , is associated with it forms a pair, and that its attachment points on the cylinder 26 lie close to each other. The total of twenty four pontics 2 to 25 form four groups of six { 2 . 14 ; 6 . 18 ; 10 . 22 }; { 3 . 15 ; 7 . 19 ; 11 . 23 }; { 4 . 16 ; 8th . 20 ; 12 . 24 }; { 5 . 17 ; 9 . 21 ; 13 . 25 } and twelve pairs { 2 . 14 }; { 3 . 15 }; { 4 . 16 }; { 5 . 17 }; { 6 . 18 }; { 7 . 19 }; { 8th . 20 }; { 9 . 21 }; { 10 . 22 }; { 11 . 23 }; { 12 . 24 }; { 13 . 25 }, where the intermediate links of each pair can be dimensioned differently, but the pairs are identical to each other.

Die Anordnung und die Vielzahl der Zwischenglieder 2 bis 25 sowie der Verbindungsflächen 263, 264 ermöglichen bei auf den Träger 1 wirkenden äußern Kräften ein Ausweichen des Präzisionsbauteils 26. Vermöge der Zwischenglieder 2 bis 13 dreht es sich (mit winzigen Beträgen) um seine Achse O₁-O₁, und zufolge der Zwischenglieder 14 bis 25 erfährt es eine Verschiebung parallel zur Achse O₁-O₁. Unerwünschte Dezentrierungen und innere Spannungen bezüglich des Präzisionsbauteils 26 werden vermieden. Beim Wegfall der äußeren Kräfte nimmt das Bauteil wieder seine ursprüngliche Lage ein. Das Präzisionsbauteil 26 soll mit jeder der gesamten Sechsergruppen am Träger 1 zwangsfrei gehaltert sein, d. h. der Gesamtfreiheitsgrad zufolge der Wirkung einer jeden Sechsergruppe soll null sein. Dies wird nachfolgend schematisch anhand der 3 erläutert, wobei zur theoretischen Begründung die Grundgleichung der Mechanismentechnik von P. L. Tschebyschev herangezogen wird und dabei nicht die Vervielfachung der Zwischengliedguppen berücksichtigt wird. Die Gleichung lautet

worin n die Anzahl der verwendeten Glieder (nicht Zwischenglieder, sondern Zwischenglieder plus Bauteil plus Träger) ist, g die Anzahl der verwendeten Gelenke, f_i die Freiheitsgrade der beteiligten Gelenke und F der Gesamtfreiheitsgrad der Gesamtanordnung aus Träger, Bauteil und drei Zwischengliedgruppen ist. F soll null sein, also

The arrangement and the multiplicity of intermediate links 2 to 25 as well as the connection surfaces 263 . 264 allow on to the vehicle 1 acting forces divert the precision component 26 , By virtue of the intermediate links 2 to 13 it turns (with tiny amounts) about its axis O ₁ -O ₁ , and according to the pontics 14 to 25 it experiences a shift parallel to the axis O ₁ -O ₁ . Unwanted decentrations and internal stresses with respect to the precision component 26 are avoided. When the external forces are removed, the component returns to its original position. The precision component 26 should with each of the entire groups of six on the carrier 1 be constrained, ie the total degree of freedom according to the effect of each group of six should be zero. This will be described schematically below with reference to 3 Theoretical justification is based on the basic equation of PL Chebyshev's mechanistic technique and does not take into account the multiplication of the intermediate groups. The equation is

where n is the number of links used (not links, but linkages plus device plus carrier), g is the number of joints used, f _{i is} the degrees of freedom of the joints involved, and F is the total degree of freedom of the overall assembly of carrier, component, and three link groups. F should be zero, so

Befinden sich an jedem Zwischenglied zwei Gelenke, was zwar nicht notwendig, aber in allen folgenden Beispielen der Fall ist, so gilt n = 5 und g = 6 bei Dreiergruppen, sowie n = 8 und g = 12 bei Sechsergruppen. Wäre F < 0 würde das eine Überbestimmung und damit evtl. einen Zwang bedeuten. F > 0 deutet auf Lose und unerwünschte Freiheiten hin.If there are two joints at each pontic, which is not necessary but is the case in all the following examples, then n = 5 and g = 6 in groups of three, and n = 8 and g = 12 in groups of six. If F <0, that would mean over-determination and thus possibly coercion. F> 0 indicates lots and unwanted liberties.

Weiterhin ist zu beachten, dass nur Zwischenglieder mit Einzelfreiheitsgraden zwischen 1 und 5 sinnvoll sind, also 1 ≤ f_i ≤ 5 Furthermore, it should be noted that only intermediate links with individual degrees of freedom between 1 and 5 make sense, ie 1 ≤ f _i ≤ 5

In 3 sind zwischen einem Träger 1 und einen Bauteil 26 sechs Zwischenglieder 27 bis 32 mit zwölf Gelenken 33 bis 44 vorgesehen. Es ist also n = 8 und g = 12. Daraus ergibt sich

In 3 are between a carrier 1 and a component 26 six intermediate links 27 to 32 with twelve joints 33 to 44 intended. It is therefore n = 8 and g = 12

Bei gleicher Aufteilung der Gelenke auf die Zwischenglieder sind die Freiheitsgradkombinationen f_i = 1 + 4 oder f_i = 2 + 3 an jedem Zwischenglied möglich. Ähnlich würde sich bei der Befestigung des Bauteils 26 am Träger 1 mit drei gleichen Zwischengliedern, an denen sich je zwei Gelenke befinden, für jedes Zwischenglied vier Freiheitsgrade ergeben, die an jeden Zwischenglied die Freiheitsgradkombinationen f_i = 1 + 3 oder f_i = 2 + 2 zuließen.With equal distribution of the joints on the intermediate links, the degrees of freedom combinations f _i = 1 + 4 or f _i = 2 + 3 are possible at each intermediate link. Similar would be in the attachment of the component 26 on the carrier 1 with three equal pontics, on each of which there are two joints, four degrees of freedom result for each pontic, which allowed the freedom degrees combinations f _i = 1 + 3 or f _i = 2 + 2 to each pontic.

Im Falle der Verwendung von sechs Zwischengliedern in den Sechsergruppen kommen also die Freiheitsgradkombinationen f_i = 1 + 4 oder f_i = 2 + 3 sechsmal zur Anwendung. Wie die 4 zeigt, bestehen unterschiedliche Möglichkeiten der Verknüpfung für die Einzelfreiheitsgrade an den Zwischengliedern. In 4a befinden sich an den Befestigungsstellen der Zwischenglieder am Träger 1 je vier Freiheitsgrade und in den Befestigungsstellen am Bauteil 26 je ein Freiheitsgrad (die Freiheitsgrade sind immer in die 4 a, b, c eingeschrieben. Die Bezugsziffern für die Zwischenglieder sind der Übersichtlichkeit halber weggelassen.). In 4a ist jedes von sechs Zwischengliedern mit vier Freiheitsgraden an den Träger 1 und mit einem Freiheitsgrad an das Bauteil 26 angelenkt. In 4b ist jedes von drei Zwischengliedern einer Dreiergruppe mit drei Freiheitsgraden am Träger 1 und mit zwei Freiheitsgraden am Bauteil 26 befestigt, und jedes der korrespondierenden Zwischenglieder der anderen Dreiergruppe mit einem und mit vier Freiheitsgraden befestigt. Schließlich hat in 4c jedes Zwischenglied an seinem dem Träger 1 zugewandten Ende drei Freiheitsgrade und an seinem dem Bauteil 26 zugewandten Ende zwei Freiheitsgrade. In jedem Fall könnten die Freiheitsgrade an den Enden jedes Zwischengliedes auch miteinander vertauscht sein.In the case of the use of six pontics in the groups of six come So the degrees of freedom combinations f _i = 1 + 4 or f _i = 2 + 3 six times for the application. As the 4 shows, there are different possibilities of linking for the individual degrees of freedom at the pontics. In 4a are located at the attachment points of the intermediate links on the carrier 1 four degrees of freedom and in the attachment points on the component 26 one degree of freedom (the degrees of freedom are always in the 4 a, b, c inscribed. The reference numbers for the intermediate links are omitted for clarity.). In 4a is each of six pontics with four degrees of freedom to the wearer 1 and with a degree of freedom to the component 26 hinged. In 4b is each of three pinnacles of a triad of three degrees of freedom at the wearer 1 and with two degrees of freedom on the component 26 attached, and each of the corresponding intermediate links of the other tripartite with one and four degrees of freedom attached. Finally, in 4c each link at its the carrier 1 facing end three degrees of freedom and at its the component 26 facing end two degrees of freedom. In any case, the degrees of freedom at the ends of each pontic could also be interchanged.

Die Gesamtzahl der Freiheitsgrade an jedem Zwischenglied einer Sechsergruppe beträgt, wie auch in 4 direkt addiert werden kann, fünf. Bei Dreiergruppen werden Zwischenglieder mit angekoppelten Gelenken mit vier Freiheitsgraden benötigt.The total number of degrees of freedom at each intermediary of a group of six, as well as in 4 can be added directly, five. In groups of three, intermediate links with coupled joints with four degrees of freedom are needed.

In 5 sind unter a, b, c, d, e verschiedene Ausführungsformen von Zwischengliedern 45 angegeben, die an ihren Enden Gelenke tragen, und die damit einen Träger 1 mit einem Bauteil 26 verbinden und mit diesen bspw. durch Klebung verbunden sind.In 5 under a, b, c, d, e are different embodiments of pontics 45 indicated that carry joints at their ends, and thus a carrier 1 with a component 26 connect and connected with these example. By gluing.

In 5a ist das Zwischenglied 45 unten über ein Gelenk 451 mit einem Freiheitsgrad an den Träger 1 und oben über draht- oder stelzenförmiges Gelenk 453 mit drei Freiheitsgraden an das Bauteil 26 angekoppelt. In dieser Form ist das auch Stelze genannte Bauteil für die Verwendung in Dreiergruppen geeignet.In 5a is the intermediate link 45 down over a joint 451 with a degree of freedom to the wearer 1 and above via a wire or stilt-shaped joint 453 with three degrees of freedom to the component 26 coupled. In this form the also called Stelze component is suitable for use in groups of three.

In 5b ist das Zwischenglied 45 dem Träger 1 zugewandt mit zwei rechtwinklig gegeneinander verdrehten Kippgelenken 451, 452 mit je einem Freiheitsgrad und dem Bauteil 26 zugewandt mit einem Drahtgelenk 453 ausgestattet, das drei Freiheitsgrade gewährleistet – insgesamt also fünf Freiheitsgrade. Die Anordnung ist zur Verwendung in Sechsergruppen geeignet.In 5b is the intermediate link 45 the carrier 1 facing with two right angles twisted against each other tilting joints 451 . 452 with one degree of freedom and the component 26 facing with a wire joint 453 equipped, which guarantees three degrees of freedom - a total of five degrees of freedom. The arrangement is suitable for use in groups of six.

In 5c hat das Zwischenglied 45 kreuzförmigen Querschnitt (454, 455), wodurch es torsionsweich ist und einen Freiheitsgrad der Rotation aufbringt. Die schlitzförmigen Ausnehmungen 456, 457, 458, 459 rechtwinklig zu ihren Längsseiten bewirken, dass in der Nähe des Trägers 1 und des Bauteils 26 jeweils zwei zueinander rechtwinklige Kippgelenke entstehen, die insgesamt vier Freiheitsgrade aufbringen. Dadurch ergeben sich zwischen Träger 1 und Bauteil 26 fünf Freiheitsgrade, was wiederum die Verwendung in Sechsergruppen nahelegt.In 5c has the intermediate link 45 cross-shaped cross section ( 454 . 455 ), which makes it torsionally soft and provides a degree of freedom of rotation. The slot-shaped recesses 456 . 457 . 458 . 459 perpendicular to their longitudinal sides cause that near the wearer 1 and the component 26 each two mutually perpendicular tilting joints arise, which raise a total of four degrees of freedom. This results between carriers 1 and component 26 five degrees of freedom, which in turn suggests use in groups of six.

In 5d ist das mittig verdickte Zwischenteil 45 über Drähte 460, 461 mit dem Träger 1 und dem Bauteil 26 fest verbunden, die beide je drei Freiheitsgrade bei den gegenseitigen Bewegungen ermöglichen. Damit sind anstatt der gewünschten fünf nunmehr sechs Freiheitsgrade gegeben, nämlich ein an sich unerwünschter Rotationsfreiheitsgrad, der bei hochfrequenten Anregungen Anlass zu resonanten Rotationsschwingungen des Zwischenteils 45 geben kann. Durch geeignete Dimensionierung solcher Zwischenglieder kann dem jedoch entgegengewirkt werden: wenn das Rotationsträgheitsmoment des Zwischenteils 45 genügend klein und die Drehsteifigkeit der Gelenke 460 und 461 genügend hoch gehalten ist, dann liegt die Rotationseigenfrequenz in einem Bereich, der für das Gesamtsystem nicht mehr relevant ist.In 5d is the middle thickened intermediate part 45 over wires 460 . 461 with the carrier 1 and the component 26 firmly connected, which allow each three degrees of freedom in the mutual movements. Thus, instead of the desired five, there are now six degrees of freedom, namely an undesirable rotational degree of freedom, which in the case of high-frequency excitations gives rise to resonant rotational oscillations of the intermediate part 45 can give. However, this can be counteracted by suitable dimensioning of such intermediate links: if the rotational moment of inertia of the intermediate part 45 sufficiently small and the torsional rigidity of the joints 460 and 461 is kept sufficiently high, then the rotational natural frequency is in an area that is no longer relevant to the overall system.

Ähnliches gilt für 5e, bei der das Zwischenstück 26 eine einfache Drahtstelze ist, die im strengen Sinne zu viele Freiheitsgrade aufweist, aber bei geeigneter Dimensionierung im vorliegenden Fall verwendbar ist. Die Knicksteifigkeit des Drahtes muss genügen groß sein, während die Massenbelegung des Drahtes so gering sein muss, dass Biegeeigenschwingungen im interessierenden Frequenzbereich nicht angeregt werden können.The same applies to 5e in which the intermediate piece 26 is a simple wire wagtail, which has too many degrees of freedom in the strict sense, but with suitable dimensioning in the present case is usable. The buckling stiffness of the wire must be large enough, while the mass density of the wire must be so low that bending natural oscillations in the frequency range of interest can not be excited.

In 6a, b, c sind die Zwischenglieder 46 winkelförmig gestaltet und an den Stellen der Winkelscheitel mit kleinen Platten 462 verklebt oder verschweißt. Die Platten 462 bilden die Klebflächen zur Verbindung mit dem Bauteil 26. Die Winkelenden 463 sind am Träger 1 befestigt. Auf diese Weise kann der Fixierungseffekt in allen Richtungen wirken.In 6a , b, c are the intermediate links 46 Angular shaped and at the points of the angle apex with small plates 462 glued or welded. The plates 462 form the adhesive surfaces for connection to the component 26 , The angle ends 463 are on the carrier 1 attached. In this way, the fixation effect can work in all directions.

In 7a, b, c dienen filigrane Zwischenglieder 47 zur stabilen Halterung eines Bauteils 26 an einem Träger 1. Damit das Zwischenglied 47 bei starker Belastung nicht oder nur wenig ausknicken kann, wird es gemäß 7a in einer Bohrung 471 oder einer dünnen Röhre mit wenig Spiel geführt. Eine andere Möglichkeit zur Verhinderung des Ausknickens besteht in der Verstärkung des Mittenbereichs der Zwischenglieder 47. Dabei erfährt gemäß 7b das als Draht ausgebildete Zwischenglied 47 eine Verdickung in allen Querrichtungen. Siehe hierzu auch 5d. In 7c dargestellte, als Zwischenglied dienende Blechteil 473 besitzt in der Nähe seiner Verbindungsstellen zum Träger 1 bzw. Bauteil 26 Ausnehmungen (Schmalstellen) 474 und ist in seinem Mittelteil breit gestaltet.In 7a , b, c are filigree intermediate links 47 for stable mounting of a component 26 on a carrier 1 , So that the intermediate link 47 If it can not buckle or only slightly buckle under heavy load, it will 7a in a hole 471 or a thin tube with little play. Another way to prevent buckling is to reinforce the center of the links 47 , It learns according to 7b the formed as a wire intermediate member 47 a thickening in all transverse directions. See also 5d , In 7c shown, serving as an intermediate member sheet metal part 473 owns near its connection points to the carrier 1 or component 26 Recesses (narrow points) 474 and is broad in its middle part.

In 8 ist ein umlaufendes Fassungsteil 48 für eine in gerissener Darstellung angedeutete Linse 49 erkennbar. Aus dem Fassungsteil 48 sind durch Erodieren achtzehn winkelförmig angeordnete Zwischenglieder 50 herausgearbeitet, die jeweils an ihren äußeren Enden 501 im Querschnitt verkleinert sind und somit Gelenke gegenüber dem Fassungsteil 48 bilden. Die Zwischenglieder sind an ihren inneren Enden 502 wiederum durch Gelenke mit kleinen Klebflächen 503 verbunden, die ihrerseits die Verbindungen zur Linse 49 herstellen. Die achtzehn winkelförmigen Zwischenglieder sind in regelmäßiger Verteilung in drei Sechsergruppen über den gesamten Umfang des Fassungsteils 48 angeordnet. Jedes Zwischenglied 50 bildet ein Gelenk mit fünf Freiheitsgraden, siehe 5b. In 8th is a circumferential mount part 48 for a lens indicated in a torn representation 49 recognizable. From the frame part 48 are by erosion eighteen angularly arranged intermediate links 50 worked out, each at their outer ends 501 are reduced in cross-section and thus joints against the socket part 48 form. The intermediate links are at their inner ends 502 again through joints with small adhesive surfaces 503 connected, in turn, the connections to the lens 49 produce. The eighteen angular intermediate links are regularly distributed in three groups of six over the entire circumference of the socket 48 arranged. Each pontic 50 forms a joint with five degrees of freedom, see 5b ,

In 9 sind ein dünnwandiger Träger 51 und ein Präzisionsbauteil 52 erkennbar, die beide über winkelförmige Zwischenglieder 53 miteinander verbunden sind, die aus dem Träger 51 herausgearbeitet und jeweils in ihren Scheiteln 531 (die zwecks Bildung von Klebflächen definierter Größe als kleine Platten ausgebildet sind) mit dem Präzisionsbauteil 52 verklebt sind. An den Scheiteln 51 sind die Zwischenglieder mit Löchern 532 versehen, durch die der Kleber an die jeweilige Klebestelle zwischen Zwischenglied 53 und Präzisionsbauteil 52 einbringbar ist. Die Zwischenglieder 53 sollen in Dreiergruppen angeordnet sein.In 9 are a thin-walled carrier 51 and a precision component 52 recognizable, both over an angle-shaped intermediate links 53 connected to each other from the carrier 51 worked out and in each case in their vertices 531 (which are formed as small plates for the formation of adhesive surfaces of defined size) with the precision component 52 are glued. At the crests 51 are the intermediate links with holes 532 provided by the adhesive to the respective splice between the intermediate member 53 and precision component 52 can be introduced. The intermediate links 53 should be arranged in groups of three.

In 10 sind wieder ein Träger 54 und ein Präzisionsbauteil 55 teilweise erkennbar. Aus dem Träger 54 sind nebeneinander liegend zwei Reihen von winkelförmigen Zwischengliedern 541 und 542 herausgearbeitet, deren Gestaltung und Anbringung der 9 gleicht. Die Zwischenglieder jeder Reihe müssen in genau gleicher Weise auf äußere Kräfte reagieren. Die Zwischenglieder sollen in Sechsergruppen angeordnet sein.In 10 are again a carrier 54 and a precision component 55 partially recognizable. From the carrier 54 are two adjacent rows of angular pontics 541 and 542 worked out, their design and attachment of the 9 like. The links of each row must respond in exactly the same way to external forces. The intermediate links should be arranged in groups of six.

In 11 ist ein prismatisches oder quaderförmiges Bauteil 56 dargestellt, das mit Hilfe dreier Sechsergruppen von Zwischengliedern m; n, o bezüglich eines mit gerissenen Linien angedeuteten Trägers 1 kinematisch richtig gehaltert ist. In 11 sind die Sechsergruppen mit drei Flächen verbunden, die sich nicht gegenüber liegen bzw. um eine Quaderecke herum angeordnet sind. Die gleiche Wirkung kann aber auch erreicht werden, wenn die Sechsergruppen nur an einer oder an zwei Flächen angreifen. In jedem Fall werden Zwangskräfte und Spannungen im Bauteil 56 vermieden, weil das Bauteil bei Änderungen der Lage des Fassungsteils, der Länge der Zwischenglieder oder der Dimensionen des Bauteils frei ausweichen kann. Das Ausweichen kann sich durch laterale Positionsverschiebung oder durch Drehung äußern. Nach Wegfall der äußeren Kräfte nimmt das Bauteil 56 wieder seine ursprüngliche Lage ein, sofern keine Überschreitung der Materialbelastbarkeit stattgefunden hat.In 11 is a prismatic or cuboid component 56 represented by means of three groups of six of pontics m; n, o with respect to a carrier indicated by broken lines 1 is kinematically properly supported. In 11 the groups of six are connected with three surfaces that are not opposite each other or are arranged around a corner of a rectangle. However, the same effect can also be achieved if the groups of six only attack on one or two surfaces. In any case, forcing forces and stresses in the component 56 avoided because the component can freely evade with changes in the position of the socket part, the length of the intermediate links or the dimensions of the component. Dodging can be manifested by lateral positional shift or by rotation. After elimination of external forces, the component decreases 56 returns to its original position, provided that it has not exceeded the material load capacity.

Alle in der Beschreibung, den Ausführungsbeispielen und den nachfolgenden Ansprüchen dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.All features described in the description, the exemplary embodiments and the following claims may be essential to the invention both individually and in any combination with one another.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1,541.54: Trägercarrier
2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 132, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 13: Zwischengliederbetween members
14, 15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 25, 27, 28, 29, 30, 31, 32, 45, 47, 50, 53, 541, 542, 26, 52, 55, 5614, 15, 16, 17, 18, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 25, 27, 28, 29, 30, 31, 32, 45, 47, 50, 53, 541, 542, 26, 52, 55, 56: Bauteilcomponent
261261: Zylinderabschlussfläche des Bauteils 26 Cylinder end surface of the component 26
262262: Zylindermantel des Bauteils 26 Cylinder shell of the component 26
263, 264263, 264: kleine Klebflächensmall adhesive surfaces
33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 40, 4133, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 40, 41: Gelenkejoints
42, 43, 44, 451, 453, 454, 45542, 43, 44, 451, 453, 454, 455: längliche Blecheelongated sheets
456, 457, 458, 459, 474456, 457, 458, 459, 474: Ausnehmungenrecesses
460, 461460, 461: Drähtewires
462462: die Klebeflächen bildenden kleinen Platten, die an den Winkelscheiteln befestigt sindthe adhesive surfaces forming small plates which are attached to the angle apexes
502, 531502, 531: Winkelscheitelangle point
463463: Winkelendenangle ends
471471: Bohrungdrilling
473473: Blechteilsheet metal part
4848: Fassungsteilsocket part
4949: Linselens
501501: Schenkelendenleg ends
503503: Klebflächen mit LöchernAdhesive surfaces with holes
m, n, om, n, o: Sechsergruppen von ZwischengliedernSix groups of pontics
O₁-O₁ O ₁ -O ₁: Zylinderachsecylinder axis
x-x, y-y, z-zx-x, y-y, z-z: Schnitteslice

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

WO 2006/119970 A2 [0005]

Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

Bliedtner, J .; Gräfe, G .: Optical Technology. Leipzig: specialist book publisher / Carl Hanser-Verlag. 2008 [0003]
In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141-222 [0004]
Guyenot, V .: Justierdrehen - the history of a mounting technology for lenses. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 11 (2008) 239-259 [0004]
Steinbach, M .: Fixation of precision components: optical sockets and plate bearings. In: Jenaer Jahrbuch zur Technik- und Industriegeschichte 14 (2011) 141-222 [0005]
Steinbach, M .: Fixation of precision components: optical sockets and plate bearings. (In: Jenaer yearbook to the technology and industrial history 14 (2011) 141-222), pages 200-201 [0006]

Claims

Precision holder for the kinematically correct fixation of preferably optical components to their carriers by means of partially bendable, but longitudinally stiff pinned members, which are firmly connected to both the components and with their carriers, characterized in that the intermediate links in several groups of three or six intermediate members are arranged, each of which group ensures for itself the degree of freedom zero in the movement of the respective components relative to the carrier.

Precision mounting according to claim 1, characterized in that the component is an optical lens, over the circumference of the intermediate member groups are arranged distributed at equal intervals.

Precision holder according to claim 1 or 2, characterized in that the intermediate members are formed identical to each other.

Precision holder according to at least one of the preceding claims, characterized in that the intermediate members are designed as wires.

Precision holder according to claim 4, characterized in that the wires are guided in bores or tubes.

Precision mount according to at least one of claims 1 to 3, characterized in that the intermediate links have thickened middle parts between their attachment points on the component and on the carrier.

Precision holder according to at least one of claims 1 to 3, characterized in that the intermediate members are formed as a sheet metal bracket or as a sheet metal strip.

Precision holder according to at least one of the preceding claims, characterized in that the carrier is designed as a cylinder and the intermediate members are parts of the cylinder jacket and were worked out of this.

Precision holder according to at least one of claims 1 to 7, characterized in that the carrier is designed as a cylinder and the intermediate members are connected only to at least one of its cover surfaces.

Precision mounting according to at least one of claims 1 to 7, characterized in that the carrier are arranged as a cylinder and the intermediate members in pairs and each an intermediate member of a pair of intermediate links with cylinder jacket surface and one connected to the cylinder top surface.

Precision mount according to at least one of claims 1 to 7, characterized in that the component is formed as a cuboid and the intermediate links are connected to three surfaces of the cuboid, which do not face each other.

Precision holder according to at least one of claims 1 to 7, characterized in that the component is designed as a prism or cuboid and all intermediate links are connected only to a single surface of the component.

Precision holder according to at least one of the preceding claims, characterized in that the intermediate members are connected only to partial surfaces of the component.

Precision holder according to at least one of the preceding claims, characterized in that all intermediate links engage the component such that the latter can freely escape when there are changes in the position and length of the intermediate links.

Precision holder according to at least one of the preceding claims, characterized in that the intermediate members of each group of three have at their ends a total of four joint degrees of freedom.

Precision mount according to at least one of the preceding claims, characterized in that the intermediate links of each group of six have at their two ends a total of five joint degrees of freedom.