DE102012016337A1 - Method for determining optical quality of photo module for electronic communication device, involves using image sensor as wavefront sensor, by which wavefront profile of light falling from light source through lens is determined - Google Patents
Method for determining optical quality of photo module for electronic communication device, involves using image sensor as wavefront sensor, by which wavefront profile of light falling from light source through lens is determined Download PDFInfo
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Abstract
Description
Gebiet der ErfindungField of the invention
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Bestimmen einer optischen Qualität eines Fotomoduls für ein elektronisches Kommunikationsgerät, wobei das Fotomodul ein Objektiv und einen bildseitig des Objektivs auf dessen optischer Achse angeordneten Bildsensor umfasst.The invention relates to a method for determining an optical quality of a photo module for an electronic communication device, wherein the photo module comprises an objective and an image sensor arranged on the image side of the objective on the optical axis thereof.
Stand der TechnikState of the art
Ein derartiges Verfahren ist bekannt aus der
Moderne Kommunikationsgeräte, wie beispielsweise Mobiltelefone, sind heute durchweg mit einer „Kamera” ausgestattet. Diese besteht aus einem Objektiv, einem elektronischen Bildsensor und einer Ansteuer- und Auswerteelektronik. Den extrem beengten Bauraumverhältnissen in elektronischen Kommunikationsgeräten ist eine extrem kompakte Bauform aller Elemente geschuldet. Insbesondere hat es sich durchgesetzt, das Objektiv und den Bildsensor als sogenanntes Fotomodul, d. h. als eine Baueinheit zu gestalten. Diese wird zu einem gegebenen Zeitpunkt des Fertigungsprozesses des Kommunikationsgerätes als Ganzes eingesetzt. Hiermit sind Qualitätssicherungsprobleme verbunden. Zwar ist es ohne weiteres möglich, vor dem Zusammensetzen des Fotomoduls das Objektiv und den Sensor einzeln zu prüfen. Die Prüfung der Objektivqualität erfolgt typischerweise durch eine Wellenfrontanalyse, bei der eine durch das Objektiv laufende Lichtwellenfront von einem dahinter angeordneten Wellenfrontsensor, typischerweise einem Shack-Hartmann-Sensor analysiert wird. Wesentlichen Einfluss auf die Qualität der Kamera hat die relative Ausrichtung von Objektiv und Sensor. Bei reinen, d. h. nicht in ein Kommunikationsgerät integrierten Kameras, beispielsweise Wechselobjektiv-Spiegelreflexkameras, ist die mechanische Schnittstelle zwischen dem Objektiv und dem den Bildsensor enthaltenden Kameragehäuse in präzisions- und nicht in erster Linie kostenoptimierter Weise gefertigt und daher ohne weiteres reproduzierbar. Eine isolierte Qualitätsmessung des Objektivs ist in diesen Fällen daher hinreichend. Bei Fotomodulen für kleinformatige Kommunikationsgeräte ist die Anbindung des Objektivs an den Bildsensor jedoch eine höchst filigrane und im Serienfertigungsprozess nur bedingt zugängliche Angelegenheit. Dies ist insbesondere bei fokussierbaren Fotomodulen der Fall, wo das Objektiv in einer Tauchspulenanordung vor den Bildsensor positioniert und durch Bestromung der Tauchspule in seiner Entfernung von dem Bildsensor einstellbar ist. Ein solches Fotomodul ist der üblichen Wellenfrontanalyse nicht zugänglich, da an der Stelle, an welcher der Wellenfrontsensor zu positionieren wäre, im fertigen Fotomodul bereits der Bildsensor angeordnet ist.Modern communication devices, such as mobile phones, are now equipped with a "camera" throughout. This consists of a lens, an electronic image sensor and a control and evaluation. The extremely cramped space conditions in electronic communication devices is due to an extremely compact design of all elements. In particular, it has prevailed, the lens and the image sensor as a so-called photo module, d. H. as a structural unit. This is used at a given time of the manufacturing process of the communication device as a whole. This involves quality assurance issues. Although it is readily possible to individually check the lens and the sensor before assembling the photo module. The examination of the lens quality is typically carried out by a wavefront analysis in which an optical wavefront passing through the objective is analyzed by a wavefront sensor, typically a Shack-Hartmann sensor, arranged behind it. The relative orientation of the lens and the sensor has a significant influence on the quality of the camera. In pure, d. H. not integrated into a communication device cameras, such as interchangeable lens reflex cameras, the mechanical interface between the lens and the camera housing containing the image sensor is manufactured in a precise and not primarily cost-optimized manner and therefore readily reproducible. An isolated quality measurement of the lens is therefore sufficient in these cases. For photo modules for small-sized communication devices, however, the connection of the lens to the image sensor is a highly delicate and in the mass production process only partially accessible matter. This is the case in particular with focusable photo modules, where the lens is positioned in front of the image sensor in a Tauchspulenanordung and adjustable by energizing the plunger coil in its distance from the image sensor. Such a photo module is not accessible to the usual wavefront analysis since the image sensor is already arranged in the finished photo module at the location where the wavefront sensor would be positioned.
Aus der vorgenannten
Aufgabenstellungtask
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Qualitätsprüfungsverfahren für Fotomodule für Kommunikationsgeräte zur Verfügung zu stellen, mit welchem sich insbesondere ähnlich umfassende Qualitätsaussagen machen lassen, wie dies mit bekannten Wellenfrontmessverfahren für Objektive möglich ist.It is the object of the present invention to provide an improved quality testing method for photo modules for communication devices, with which in particular similar comprehensive quality statements can be made, as is possible with known wavefront measuring methods for lenses.
Darlegung der ErfindungPresentation of the invention
Diese Aufgabe wird in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs von Anspruch 1 dadurch gelöst, dass der Bildsensor als Wellenfrontsensor verwendet wird, mittels dessen ein Wellenfrontverlauf des von der Lichtquelle durch das Objektiv fallenden Lichtes bestimmt wird.This object is achieved in conjunction with the features of the preamble of claim 1, characterized in that the image sensor is used as a wavefront sensor, by means of which a wavefront profile of the incident light from the light source through the lens is determined.
Bevorzugte Ausführungsformen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.Preferred embodiments are subject of the dependent claims.
Wesentliches Element der Erfindung ist die Verwendung des Bildsensors als Wellenfrontsensor. Dies erscheint zunächst erstaunlich, da typische Wellenfrontsensoren, wie beispielsweise der Shack-Hartmann-Wellenfrontsensor als Bildsensor nicht geeignet sind. Allerdings sind dem Fachmann aus der Astronomie durchaus Verfahren bekannt, bei denen herkömmliche Bilddetektoren, beispielsweise ein CCD-, ein CID- oder ein CMOS-Sensor bei geeigneter Ansteuerung als Wellenfrontsensoren genutzt werden können. Beispielhaft sei hier das Prinzip des sogenannten „Curvature Wavefront Sensing” (CWS) genannt, welches auch bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens angewendet wird. Das CWS-Verfahren ist beispielsweise bei
Beim CWS-Verfahren werden, wie bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, wenigstens ein erstes Bild, aufgenommen bei einer ersten Fokaleinstellung, in der die Fokalebene des Objektivs axial vor der Ebene des Bildsensors liegt, und ein zweites Bild, aufgenommen bei einer zweiten Fokaleinstellung, in der die Fokalebene des Objektivs axial hinter der Ebene des Bildsensors liegt, bezüglich ihrer Intensitätsverteilung zur Ermittlung einer Krümmung der Wellenfront verglichen. Mit anderen Worten werden „Bilder” außerhalb der Bildebene des Objektivs aufgenommen, nämlich einerseits vor der eigentlichen Bildebene, und andererseits dahinter. Die Intensitätsunterschiede, die sich bei der „Abbildung” einer (virtuell) unendlich weit entfernten punktförmigen Lichtquelle ergeben, lassen Rückschlüsse zu auf die Abbildungsqualität des Systems und bei geeigneter mathematischer Analyse, beispielsweise einer Beschreibung der Wellenfront durch Zernicke-Polgnome, sogar auf konkrete Fehler des Abbildungssystems.In the CWS method, as provided in a preferred embodiment of the invention, at least a first image taken at a first focal position, in which the focal plane of the objective lies axially in front of the plane of the image sensor, and a second image, taken at a second focal position in which the focal plane of the objective lies axially behind the plane of the image sensor, compared with respect to its intensity distribution for determining a curvature of the wavefront. In other words, "images" are taken outside the image plane of the lens, on the one hand in front of the actual image plane, and on the other hand behind it. The differences in intensity that result in the "imaging" of a (virtually) infinitely distant point-like light source allow conclusions to be drawn on the imaging quality of the system and suitable mathematical analysis, for example a description of the wavefront by Zernicke polynomials, even on concrete errors of the imaging system.
Im Rahmen der vorliegenden Erfindung kann die erforderliche Relativverlagerung von Sensorebene und tatsächlicher Bildebene auf unterschiedliche Weisen realisiert werden. Bei einer ersten Variante ist vorgesehen, dass zur axialen Verlagerung der Fokalebene das Objektiv in axialer Richtung relativ zu dem Bildsensor verschoben wird. Hierzu kann die normale Fokussiervorrichtung des Fotomoduls verwendet werden. Typischerweise beschränkt sich die Fokussiermöglichkeit eines Fotomoduls für ein kompaktes Kommunikationsgerät nämlich auf die axiale Bewegung des gesamten Objektivs, beispielsweise mittels einer Tauchspulenanordung. Eine (tatsächlich oder virtuell) unendlich weit entfernte Punktlichtquelle kann auf diese Weise vor oder hinter der Sensorebene abgebildet werden, was analog einer Verlagerung der Sensorebene hinter bzw. vor die Fokalebene entspricht. Allerdings kann eine mögliche Verkippung der Optik, bedingt durch ungenügende Führungsgenauigkeit des Fokusmechanismus, das Ergebnis der Wellenfrontberechnung verfälschen.In the context of the present invention, the required relative displacement of the sensor plane and the actual image plane can be realized in different ways. In a first variant, it is provided that, for the axial displacement of the focal plane, the objective is displaced in the axial direction relative to the image sensor. For this purpose, the normal focusing device of the photo module can be used. Namely, the focusing ability of a photo module for a compact communication device is limited to the axial movement of the entire lens, for example, by means of a Tauchspulenanordung. A (actually or virtually) infinitely far away point light source can be imaged in this way in front of or behind the sensor plane, which analogously corresponds to a displacement of the sensor plane behind or in front of the focal plane. However, a possible tilting of the optics, due to insufficient guidance accuracy of the focus mechanism, may distort the result of the wavefront calculation.
Zur Realisierung der Lichtquelle ist bevorzugt vorgesehen, dass die Lichtquelle ein Leuchtelement und einen Kollimator aufweist, zwischen denen in der eingangsseitigen Brennebene des Kollimators eine Blendenanordnung positioniert ist. Hierdurch wird eine virtuell unendlich weit entfernte Punktlichtquelle geschaffen, d. h. es wird eine tatsächlich unendlich weit entfernte Punktlichtquelle simuliert.In order to realize the light source, it is preferably provided that the light source has a luminous element and a collimator, between which an aperture arrangement is positioned in the input-side focal plane of the collimator. As a result, a virtually infinitely far away point light source is created, i. H. an actually infinitely far away point light source is simulated.
Bei einer alternativen Ausführungsform der Erfindung kann vorgesehen sein, dass zur axialen Verlagerung der Fokalebene die Blendenanordnung in axialer Richtung relativ zu dem Kollimator verschoben wird. Auch diese Variante zeitigt das Ergebnis einer Relativverschiebung von Fokalebene und Sensorebene, die zur Durchführung des CWS-Verfahrens erforderlich ist. Allerdings wird durch diese Vorgehensweise die virtuelle Objektentfernung geändert, auch das kann zu einem verfälschten Ergebnis der Wellenfront führen.In an alternative embodiment of the invention it can be provided that, for the axial displacement of the focal plane, the diaphragm arrangement is displaced in the axial direction relative to the collimator. This variant also brings about the result of a relative displacement of focal plane and sensor plane, which is necessary for carrying out the CWS method. However, this procedure changes the virtual object distance, which can also lead to a falsified result of the wavefront.
Es ist möglich, beide Ausführungsformen zur Verschiebung der Fokalebene hintereinander in einem Messvorgang durchzuführen. Durch das Gewinnen von solcherart redundanter Information und der Kenntnis des genauen optischen Designs ist eine Minimierung des Fehlers bei der Wellenfrontberechnung realisierbar, zumal beide Verschiebungen sehr klein sind.It is possible to carry out both embodiments for displacing the focal plane one behind the other in a measuring process. By gaining such redundant information and knowing the exact optical design, it is possible to minimize the error in the wavefront calculation, since both shifts are very small.
Um eine möglichst umfassende Aussage zur Qualität des Fotomoduls machen zu können, ist bei einer Weiterbildung der Erfindung vorgesehen, dass eine Mehrzahl von Messungen mit unterschiedlichen Winkeleinstellungen der optischen Achse der Lichtquelle zu der optischen Achse des Fotomoduls durchgeführt werden. Mit anderen Worten wird das Verfahren für unterschiedliche Einfallswinkel des Lichtes durchgeführt, sodass bei geeigneter mathematischer Analyse, beispielsweise mittels der oben genannten Zernicke-Polynome, und hinreichender Kenntnis des optischen und mechanischen Aufbaus des Fotomoduls Rückschlüsse auf konkrete Fehljustagen gezogen werden können, beispielsweise auf eine Verkippung der Objektivachse zur Sensornormalen oder auf eine Fehljustage von Objektivlinsen zueinander.In order to make the most comprehensive possible statement about the quality of the photo module, it is provided in a development of the invention that a plurality of measurements with different angular settings of the optical axis of the light source to the optical axis of the photo module are performed. In other words, the method is carried out for different angles of incidence of the light, so that with suitable mathematical analysis, for example by means of the above-mentioned Zernicke polynomials, and sufficient knowledge of the optical and mechanical structure of the photo module conclusions on concrete misalignments can be drawn, for example, a tilt the lens axis to the sensor normal or a misalignment of objective lenses to each other.
Je nach genauer Ausgestaltung des Fotomoduls kann diese Qualitätsanalyse zu einem Verwerfen der Einheit oder – bei sehr hochwertigen Optiken – gegebenenfalls zu einer Justagekorrektur genutzt werden. Letzteres erscheint insbesondere dann sinnvoll, wenn das Objektiv und/oder das Fotomodul so konstruiert sind, dass sie zentrale Justiermittel aufweisen.Depending on the precise design of the photo module, this quality analysis can be used to discard the unit or - in the case of very high-quality optics - if necessary to an adjustment correction. The latter appears to be particularly useful when the lens and / or the photo module are constructed so that they have central adjustment means.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden speziellen Beschreibung und der Zeichnung.Further features and advantages of the invention will become apparent from the following specific description and the drawings.
Kurzbeschreibung der ZeichnungBrief description of the drawing
Es zeigt:It shows:
Ausführliche Beschreibung bevorzugter Ausführungsformen Detailed description of preferred embodiments
Das Objektiv
Als virtuell unendlich entfernte Lichtquelle
Bei der dargestellten Ausführungsform ist zwischen der Blende
Das kollimierte Licht der virtuell unendlich entfernten Lichtquelle
Der Verstellpfeil
In
Natürlich stellen die in der speziellen Beschreibung diskutierten und in den Figuren gezeigten Ausführungsformen nur illustrative Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung dar. Dem Fachmann ist im Lichte der hiesigen Offenbarung ein breites Spektrum von Variationsmöglichkeiten an die Hand gegeben.Of course, the embodiments discussed in the specific description and shown in the figures represent only illustrative embodiments of the present invention. A broad range of possible variations will be apparent to those skilled in the art in light of the disclosure herein.
BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS
- 1010
- FotomodulPhoto module
- 101101
- Objektivlens
- 102102
- Bildsensorimage sensor
- 103103
- Sensorebenesensor level
- 104104
- tatsächliche Lagen der Fokalebeneactual layers of the focal plane
- 1212
- Lichtquellelight source
- 121121
- Leuchtelementlight element
- 122122
- Kollimatorcollimator
- 123123
- Pinholepinhole
- 1414
- FarbfiltereinrichtungColor filter arrangement
- 141141
- Farbfiltercolor filter
- 142142
-
Eingangslinse von
14 Entrance lens of14 - 143143
-
Ausgangslinse von
14 Exit lens of14 - 1616
- Einstellpfeilsetting arrow
- 1818
- Auswerteeinheitevaluation
- 2020
- Einstellpfeilsetting arrow
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION
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Zitierte PatentliteraturCited patent literature
- US 7697124 B2 [0002, 0004] US 7697124 B2 [0002, 0004]
Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature
- Manuel, A. M. et al.: „Curvature Wavefront Sensing: Performance Evaluation for active Correction of the large Synoptic Survey Telescope (LSST)” Optics Express, Band 18, Nr. 2, Seite 1528 ff. (2010) [0008] Manuel, AM et al .: "Curvature Wavefront Sensing: Performance Evaluation for Active Correction of the Large Synoptic Survey Telescope (LSST)" Optics Express, Vol. 18, No. 2, p. 1528 et seq. (2010) [0008]
Claims (7)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023072889A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Trioptics Gmbh | Apparatus for checking an adjustment state of an image sensor, and method for checking an adjustment state of an image sensor |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006078849A (en) | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Sharp Corp | Lens system adjusting device and lens system adjusting method using the same |
EP1708136A1 (en) | 2004-01-15 | 2006-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Measuring method for optical transfer function, image restoring method, and digital imaging device |
KR100808019B1 (en) | 2006-10-20 | 2008-02-28 | 삼성전기주식회사 | Test device and controlling method thereof |
-
2012
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1708136A1 (en) | 2004-01-15 | 2006-10-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Measuring method for optical transfer function, image restoring method, and digital imaging device |
JP2006078849A (en) | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Sharp Corp | Lens system adjusting device and lens system adjusting method using the same |
KR100808019B1 (en) | 2006-10-20 | 2008-02-28 | 삼성전기주식회사 | Test device and controlling method thereof |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023072889A1 (en) * | 2021-10-29 | 2023-05-04 | Trioptics Gmbh | Apparatus for checking an adjustment state of an image sensor, and method for checking an adjustment state of an image sensor |
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Legal Events
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