DE102012010461A1 - Method for correcting reflected radiation portion in electromagnetic radiation of investigation object, involves assigning numerical value of reflected radiation portion corresponds to certain solid angle region from radiation - Google Patents

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Abstract

The method involves determining solid angle regions in test structure such as specimen by detecting reflected electromagnetic radiation (4) of investigation object (5), from which detected reflected radiation is incident on test structure. The numerical value of reflected radiation portion (7) corresponds to certain solid angle region is assigned from the sensed reflected electromagnetic radiation of investigation object. An independent claim is included for measurement device.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Korrektur eines reflektierten Strahlungsanteils in einem ortsauflösenden Messergebnis, wobei das Messergebnis durch Erfassung elektromagnetischer Strahlung von einem Untersuchungsobjekt in einem nicht-sichtbaren Spektralbereich gewonnen wird und wobei ein reflektierter Strahlungsanteil, welcher durch Reflexion der Hintergrundstrahlung an dem Untersuchungsobjekt bewirkt ist, in dem Messergebnis korrigiert wird.The invention relates to a method for correcting a reflected radiation component in a spatially resolving measurement result, wherein the measurement result is obtained by detecting electromagnetic radiation from an examination subject in a non-visible spectral region and wherein a reflected radiation component, which is caused by reflection of the background radiation on the examination subject, is corrected in the measurement result.

Die Erfindung betrifft weiter eine Messvorrichtung mit einem Detektor zur Erfassung elektromagnetischer Strahlung in einem nicht-sichtbaren Spektralbereich und mit Mitteln zur Gewinnung eines ortsauflösenden Messergebnisses von einem Untersuchungsobjekt aus der erfassten Strahlung und mit Mitteln zur automatischen Korrektur des ortsauflösenden Messergebnisses um einen reflektierten Strahlungsanteil.The invention further relates to a measuring device with a detector for detecting electromagnetic radiation in a non-visible spectral range and with means for obtaining a spatially resolving measurement result of an examination subject from the detected radiation and with means for automatically correcting the spatially resolving measurement result by a reflected radiation component.

Derartige Verfahren und Messvorrichtungen sind bekannt und werden eingesetzt, um das Messergebnis, einen Temperaturmesswert oder ein Wärmebild, um den reflektierten Strahlungsanteil, die sogenannte reflektierte Temperatur, derart korrigieren zu können, dass das Messergebnis mit möglichst großer Genauigkeit die Temperatur des Untersuchungsobjektes wiedergibt.Such methods and measuring devices are known and used to be able to correct the measurement result, a temperature measurement or a thermal image in order to correct the reflected radiation component, the so-called reflected temperature, such that the measurement result reproduces the temperature of the examination subject with the greatest possible accuracy.

Es hat sich herausgestellt, dass eine derartige Korrektur sehr viel Erfahrung verlangt, da die auf das Untersuchungsobjekts einfallende und zur Messvorrichtung reflektierte Strahlung nicht direkt sichtbar ist.It has been found that such a correction requires a great deal of experience, since the radiation incident on the examination object and reflected by the measuring device is not directly visible.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Gebrauchseigenschaften einer Messvorrichtung der eingangs beschriebenen Art zu verbessern.The invention has for its object to improve the performance characteristics of a measuring device of the type described above.

Erfindungsgemäß wird zur Lösung dieser Aufgabe bei einem Verfahren der eingangs beschriebenen Art vorgeschlagen, dass an einem Probekörper reflektierte elektromagnetische Strahlung erfasst wird, dass ein Raumwinkelbereich bestimmt wird, aus welchem die erfasste reflektierte Strahlung auf den Probekörper eingefallen ist, und dass aus der erfassten reflektierten Strahlung ein Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil abgeleitet wird, welcher dem bestimmten Raumwinkelbereich zugeordnet wird. Die elektromagnetische Strahlung kann hierbei mit einem für den nicht-sichtbaren Spektralbereich empfindlichen Detektor einer Messvorrichtung erfassbar sein und erfasst werden. Bevorzugt erfolgt das Erfassen der elektromagnetischen Strahlung von dem Untersuchungsobjekt zur Erstellung des Messergebnisses und der reflektierten elektromagnetischen Strahlung von dem Probekörper zur Bestimmung des dem Raumwinkel zugeordneten, reflektierten Strahlungsanteils mit demselben Detektor der Messvorrichtung. Die Erfindung bietet den Vorteil, dass mit dem Probekörper der Einfluss der auf das eigentliche Untersuchungsobjekt einfallenden elektromagnetischen Hintergrundstrahlung für wenigstens einen Raumwinkelbereich nachbildbar ist. Somit kann der aus diesem Raumwinkelbereich auf das Untersuchungsobjekt einfallende Anteil elektromagnetischer Hintergrundstrahlung, welcher durch Reflexion an dem Untersuchungsobjekt eine Verfälschung des Messergebnisses bewirkt, auf einfache Weise herausgerechnet werden. Vereinfacht gesprochen kann der Probekörper daher verwendet werden, um die aus dem Raumwinkelbereich einfallende reflektierte Temperatur zu ermitteln und zur Korrektur des Messergebnisses bereitzustellen.According to the invention, in order to achieve this object, it is proposed in a method of the type described above that electromagnetic radiation reflected at a test specimen is detected, that a solid angle range is determined from which the detected reflected radiation has impinged on the specimen, and that from the detected reflected radiation a numerical value for a reflected radiation component is derived, which is assigned to the determined solid angle range. In this case, the electromagnetic radiation can be detectable and detected by a detector of a measuring device which is sensitive to the non-visible spectral range. Preferably, the detection of the electromagnetic radiation from the examination subject to produce the measurement result and the reflected electromagnetic radiation from the specimen for determining the spatial angle associated, reflected radiation component with the same detector of the measuring device. The invention has the advantage that the influence of the electromagnetic background radiation incident on the actual examination object can be reproduced with the specimen for at least one solid angle range. Thus, the proportion of electromagnetic background radiation incident on the examination subject from this solid angle range, which causes a falsification of the measurement result by reflection on the examination subject, can be easily calculated out. In simple terms, therefore, the specimen can be used to determine the reflected temperature incident from the solid angle range and to provide for the correction of the measurement result.

Hierbei kann der erfassten reflektierten Strahlung derjenige Raumbereich zugeordnet werden oder sein, aus welchem die reflektierte Strahlung als Hintergrundstrahlung auf den Probekörper und/oder das Untersuchungsobjekt eingefallen ist oder einfallen würde, um zur Messvorrichtung reflektiert zu werden.In this case, the detected reflected radiation can be associated with or be that spatial region from which the reflected radiation as background radiation has collapsed onto the specimen and / or the examination object or would be incident to be reflected to the measuring device.

Bevorzugt handelt es sich bei der reflektierten elektromagnetischen Strahlung um eine Infrarot-(IR-)Strahlung. Von Vorteil ist dabei, dass das erfindungsgemäße Verfahren zur Temperaturmessung und/oder zur Erstellung eines Wärmebildes mit korrigierten Temperaturangaben als Messergebnis einsetzbar ist. Auch bei der Hintergrundstrahlung kann es sich um Infrarot-Strahlung handeln.The reflected electromagnetic radiation is preferably an infrared (IR) radiation. The advantage here is that the inventive method for temperature measurement and / or for creating a thermal image with corrected temperature information can be used as a measurement result. The background radiation can also be infrared radiation.

Das Messergebnis kann hierbei mit einer eine optische Achse aufweisenden Messvorrichtung aufgenommen werden. Hierbei kann der wenigstens eine Raumwinkelbereich in einem von Null verschiedenen Winkel zu der optischen Achse der Messvorrichtung angeordnet oder ausgerichtet sein. Dies kann durch entsprechende Ausrichtung des Probekörpers erreicht werden.In this case, the measurement result can be recorded with a measuring device having an optical axis. Here, the at least one solid angle range can be arranged or aligned at an angle other than zero to the optical axis of the measuring device. This can be achieved by appropriate alignment of the specimen.

Beispielsweise kann der Probekörper in die erfindungsgemäße Messvorrichtung integriert sein. Hierzu kann der Probekörper beispielsweise durch den Detektor der Messvorrichtung gegeben sein. Von Vorteil ist dabei, dass der Raumwinkelbereich durch die Messrichtung der Messvorrichtung vorgegeben und einfach ermittelbar ist. Auf diese Weise kann die aus einem Raumwinkelbereich auf den Probekörper einfallende und an dem Probekörper absorbierte elektromagnetische Strahlung direkt erfasst werden.For example, the test specimen can be integrated into the measuring device according to the invention. For this purpose, the specimen may be given for example by the detector of the measuring device. The advantage here is that the solid angle range is predetermined by the measuring direction of the measuring device and can be easily determined. In this way, the electromagnetic radiation incident on the test specimen from a solid angle range and absorbed on the specimen can be detected directly.

In vielen Anwendungsfällen ist der Probekörper jedoch separat von der Messvorrichtung ausgebildet. In diesem Fall wird die aus dem Raumwinkelbereich auf den Probekörper einfallende und an dem Probekörper in Richtung eines Detektors der Messvorrichtung reflektierte elektromagnetische Strahlung erfasst.In many applications, however, the specimen is formed separately from the measuring device. In this case, the incident on the specimen from the solid angle range and on the specimen in the direction of a detector of the Measuring device detects reflected electromagnetic radiation.

Der abgeleitete Zahlenwert kann zur vorzugsweise automatischen Korrektur des reflektierten Strahlungsanteils in dem ortsaufgelösten Messergebnis verwendet werden.The derived numerical value can be used for preferably automatic correction of the reflected radiation component in the spatially resolved measurement result.

Der erfindungsgemäße Probekörper kann als flächenhafter Gegenstand oder als dreidimensionaler Gegenstand ausgebildet sein.The test specimen according to the invention can be designed as a planar article or as a three-dimensional object.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass auf einen Probekörper aus wenigstens zwei Raumwinkelbereichen einfallende und am Probekörper reflektierte elektromagnetische Strahlung in dem Spektralbereich für die wenigstens zwei Raumwinkelbereiche getrennt erfasst wird. Es kann somit der unterschiedliche Einfluss von auf das Untersuchungsobjekt aus unterschiedlichen Richtungen einfallender Hintergrundstrahlung auf das Messergebnis separat für wenigstens zwei Richtungen oder für jede Richtung erfasst und korrigiert werden.In one embodiment of the invention, it can be provided that electromagnetic radiation incident on a test specimen from at least two solid angle ranges and reflected on the specimen is detected separately in the spectral range for the at least two solid angle ranges. Thus, the different influence of background radiation incident on the examination object from different directions can be detected and corrected for the measurement result separately for at least two directions or for each direction.

Hierbei kann vorgesehen sein, dass aus der erfassten reflektierten Strahlung zu jedem der wenigstens zwei Raumwinkelbereiche jeweils ein Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil abgeleitet wird. Somit ist berücksichtigbar, dass an dem Untersuchungsobjekt aufgrund der Oberflächengestalt die in Richtung auf eine Messvorrichtung reflektierte elektromagnetische Strahlung aus unterschiedlichen Raumwinkelbereichen stammt. Die Korrektur des Messergebnisses ist damit verfeinerbar.In this case, it can be provided that a numerical value for a reflected radiation component is derived in each case from the detected reflected radiation to each of the at least two solid angle ranges. Thus, it is possible to take into account that due to the surface shape, the electromagnetic radiation reflected in the direction of a measuring device originates from different solid angle ranges on the examination object. The correction of the measurement result is therefore verifiable.

Je mehr unterschiedliche Raumwinkelbereiche getrennt verarbeitbar sind, desto besser kann der Einfluss der auf das Untersuchungsobjekt einfallenden Hintergrundstrahlung, die das Messergebnis durch Reflexionen verfälscht, korrigiert werden.The more different solid angle ranges can be processed separately, the better the influence of the background radiation incident on the examination subject, which falsifies the measurement result by reflections, can be corrected.

Beispielsweise kann vorgesehen sein, wenigstens drei oder sogar wenigstens zehn Raumwinkelbereiche getrennt zu erfassen. Dies ist beispielsweise durch Gestaltung der Oberfläche des Probekörpers oder sukzessive Neuausrichtung des Probekörpers erreichbar.For example, it may be provided to detect at least three or even at least ten solid angle ranges separately. This can be achieved, for example, by designing the surface of the specimen or successively realigning the specimen.

Bevorzugt wird die für die wenigstens zwei Raumwinkelbereiche getrennt erfasste reflektierte Strahlung gleichzeitig erfasst. Dies kann beispielsweise mit einem ortauflösenden Detektor durchgeführt werden, welcher die den jeweiligen Raumwinkelbereichen zugeordnete reflektierte elektromagnetische Strahlung räumlich getrennt erfasst. Bei anderen Ausgestaltungen wird die Strahlung zeitlich getrennt erfasst.Preferably, the reflected radiation detected separately for the at least two solid angle ranges is detected simultaneously. This can be carried out, for example, with a location-resolving detector which detects the reflected electromagnetic radiation associated with the respective solid angle regions in a spatially separate manner. In other embodiments, the radiation is detected separately in time.

Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass aus den Zahlenwerten für die reflektierten Strahlungsanteile der Raumwinkelbereiche durch Interpolation ein weiterer Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil für einen weiteren Raumwinkelbereich berechnet wird. Somit ist die Winkelauflösung der erfassten Strahlung nicht durch die geometrische Gestaltung des Probenkörpers limitiert.For example, it can be provided that, from the numerical values for the reflected radiation components of the solid angle ranges, a further numerical value for a reflected radiation component for a further solid angle range is calculated by interpolation. Thus, the angular resolution of the detected radiation is not limited by the geometric design of the sample body.

Beispielsweise kann auf diese Weise der reflektierte Anteil im Messergebnis von einer Schrägfläche bestimmt werden, indem an dem Probekörper die reflektierten Anteile von einer beispielsweise horizontal ausgerichteten und einer beispielsweise im Winkel hierzu und/oder vertikal ausgerichteten Reflexionsfläche getrennt voneinander erfasst werden, wobei der reflektierte Anteil der elektromagnetischen Strahlung von einer das Untersuchungsobjekt bildenden oder zu dem Untersuchungsobjekt gehörenden Schrägfläche aus einem durch den Schrägungswinkel bestimmten Zahlenverhältnis der erfassten Anteile durch Interpolation ermittelt wird. Somit kann der reflektierte Anteil in der elektromagnetischen Strahlung von dem Untersuchungsobjekt im Messergebnis auch für die Schrägfläche herausgerechnet werden.For example, in this way the reflected component in the measurement result can be determined by an oblique surface, in which the reflected portions of a specimen, for example, horizontally aligned and an example at an angle thereto and / or vertically aligned reflection surface are detected separately from each other, wherein the reflected portion of electromagnetic radiation is determined by an oblique surface forming the examination object or belonging to the examination subject from a numerical ratio of the detected proportions determined by the helix angle by interpolation. Thus, the reflected component in the electromagnetic radiation from the examination subject in the measurement result can also be calculated out for the oblique surface.

Es kann vorgesehen sein, dass der weitere Raumwinkelbereich durch ein Flächenelement an dem Untersuchungsobjekt vorgegeben ist, wobei die von dem Flächenelement reflektierte Strahlung aus dem weiteren Raumwinkelbereich auf das Untersuchungsobjekt eingefallen ist. Es kann somit die Ausrichtung des Flächenelements in Bezug auf den Probekörper zur Berechnung des reflektierten Strahlungsanteils durch Interpolation aus den zuvor erfassten reflektierten oder absorbierten elektromagnetischen Strahlungen, welche aus den jeweiligen Raumwinkelbereichen auf den Probekörper eingefallen sind, berechnet werden.It can be provided that the further solid angle range is predetermined by a surface element on the examination object, wherein the radiation reflected by the surface element has been incident on the examination object from the further solid angle range. Thus, the orientation of the surface element with respect to the specimen for calculating the reflected radiation fraction can be calculated by interpolation from the previously detected reflected or absorbed electromagnetic radiations which have dropped from the respective solid angle regions onto the specimen.

Zur Erfassung von den Anteilen von zwei Hemisphären kann vorgesehen sein, dass an dem Probekörper den wenigstens zwei Raumwinkelbereichen jeweils eine Reflexionsfläche zugeordnet ist, welche die aus dem Raumwinkelbereich einfallende elektromagnetische Hintergrundstrahlung reflektiert. Im einfachsten Fall kann somit der Probekörper als zweidimensionaler Gegenstand in Form einer Pappkarte oder dergleichen ausgebildet sein.In order to detect the proportions of two hemispheres, it can be provided that a reflection surface, which reflects the electromagnetic background radiation incident from the solid angle range, is assigned to each of the at least two solid angle regions. In the simplest case, the test specimen can thus be designed as a two-dimensional object in the form of a cardboard card or the like.

Die Winkelauflösung der Erfassung der reflektierten Strahlungsanteile kann erhöht werden, indem die Zahl der unterschiedlichen Reflexionsflächen größer als zwei gewählt wird. Hierbei ist es umso günstiger, je mehr unterschiedliche Reflexionsflächen am Probekörper ausgebildet sind. Besonders günstig ist es, wenn der Probekörper als konvexer Körper ausgebildet ist. Hierbei wird unter einem konvexen Körper ein geometrischer Körper verstanden, bei welchem die Verbindungslinien zwischen allen Paaren von Punkten an der Oberfläche des Probekörpers durch den oder im Probekörper verlaufen.The angular resolution of the detection of the reflected radiation components can be increased by selecting the number of different reflection surfaces greater than two. In this case, it is all the more favorable, the more different reflection surfaces are formed on the specimen. It is particularly favorable if the specimen is designed as a convex body. Here, by a convex body is meant a geometric body in which the connecting lines between all pairs of points on the surface of the specimen run through or in the specimen.

Ist beispielsweise der Probekörper als Polyeder ausgebildet, so definieren die Flächen des Probekörpers jeweils ebene Reflexionsflächen. Diese Reflexionsflächen können in Bezug auf die Messrichtung zur Messvorrichtung jeweils einen Raumwinkelbereich definieren, aus welchem auf den Probekörper einfallende Hintergrundstrahlung zum Detektor der Messvorrichtung reflektiert wird. If, for example, the test specimen is designed as a polyhedron, then the surfaces of the test specimen each define planar reflection surfaces. In relation to the measuring direction to the measuring device, these reflection surfaces can each define a solid angle range from which background radiation incident on the test specimen is reflected to the detector of the measuring device.

Beispielsweise definiert auf diese Weise ein auf den Erdboden oder eine Unterlage gesetzter Tetraeder drei Raumwinkelbereiche, die durch die zugehörigen Raumrichtungen der Oberflächennormalen bestimmt sind. Analog kann der Probekörper als Würfel ausgebildet sein, mit welchem fünf Raumwinkelbereiche erfassbar sind, wenn der Würfel mit einer Fläche auf eine Unterlage gesetzt und aus unterschiedlichen Raumrichtungen mit dem erfindungsgemäßen Verfahren vermessen wird.In this way, for example, a tetrahedron set on the ground or a base defines three solid angle ranges, which are determined by the associated spatial directions of the surface normals. Analogously, the specimen may be formed as a cube, with which five solid angle ranges can be detected when the cube is placed with a surface on a substrate and measured from different spatial directions with the inventive method.

Der Probekörper kann beispielsweise auch als Dodekaeder oder als Ikosaeder oder als anderer, vorzugsweise regelmäßiger, Körper ausgebildet sein. Beispielsweise kann der Probekörper auch als Kugel ausgebildet sein, um infinitesimale Raumwinkelbereiche erfassen zu können.The specimen may, for example, also be embodied as a dodecahedron or as an icosahedron or as another, preferably regular, body. For example, the specimen may also be designed as a ball in order to detect infinitesimal solid angle ranges.

Bei entsprechender Ausrichtung wendet ein Tetraeder der Messvorrichtung bis zu drei Reflexionsflächen zu, für welche die reflektierte Strahlung aus drei Raumwinkelbereichen erfassbar ist. Ein Würfel wendet der Messvorrichtung bei entsprechender Ausrichtung ebenfalls drei Reflexionsflächen zu, die gegenüber dem Tetraeder zu einander weniger steil angestellt sind. Ein Dodekaeder wendet der Messvorrichtung bei entsprechender Ausrichtung sechs Reflexionsflächen zu, mit denen somit sechs Raumwinkelbereiche getrennt voneinander erfassbar sind. Ein Ikosaeder wendet der Messvorrichtung bei entsprechender Ausrichtung sogar zehn Reflexionsflächen zu. Werden alle Reflexionsflächen ausgewertet, so sind somit bis zu zehn unterschiedliche Raumwinkelbereiche getrennt voneinander erfassbar. Dies kann durch kompliziertere geometrische Formgebungen fortgesetzt werden. Eine (Halb-)Kugel als Probekörper definiert beispielsweise unendlich viel Raumwinkelbereiche.With appropriate orientation, a tetrahedron of the measuring device applies up to three reflection surfaces for which the reflected radiation can be detected from three solid angle ranges. A cube also applies to the measuring device with appropriate orientation to three reflection surfaces, which are compared to the tetrahedron employed to each other less steep. A dodecahedron of the measuring device with appropriate orientation to six reflective surfaces, with which thus six solid angle ranges can be detected separately. An icosahedron even applies ten reflecting surfaces to the measuring device when aligned. If all reflective surfaces are evaluated, then up to ten different solid angle ranges can be detected separately. This can be continued by more complicated geometric shapes. For example, a (semi-) sphere as a test specimen defines infinite solid angle ranges.

Um den reflektierten Strahlungsanteil in dem Messergebnis möglich genau bestimmen zu können, kann vorgesehen sein, dass der Probekörper mit Reflexionsflächen versehen wird, welche jeweils einen definierten Reflexionskoeffizienten aufweisen. Von Vorteil ist dabei, dass an dem Probekörper definierte Reflexionsverhältnisse eingerichtet sind, die eine möglichst genaue Bestimmung der reflektierten Temperatur ermöglichen. Es kann auch vorgesehen sein, dass der Probekörper mit Reflexionsflächen versehen wird oder ist, welche jeweils eine definierte Winkelabhängigkeit der Abstrahlstärke aufweisen. Beispielsweise kann hier vorgesehen sein, dass die Reflexionsflächen des Probekörpers Lambert-Strahler bilden. Von Vorteil ist dabei, dass eine Schwächung der Abstrahlung aufgrund einer Schrägstellung der Reflexionsflächen in Bezug auf die Aufnahmerichtung einfach korrigierbar ist, wenn beispielsweise der Winkel der Schrägstellung bekannt ist oder bestimmt wird.In order to be able to determine the reflected radiation component in the measurement result as accurately as possible, provision can be made for the specimen to be provided with reflection surfaces which each have a defined reflection coefficient. The advantage here is that defined reflection ratios are set to the specimen, which allow the most accurate determination of the reflected temperature. It can also be provided that the specimen is provided with reflection surfaces or is, which each have a defined angular dependence of the emission intensity. For example, it may be provided here that the reflection surfaces of the test specimen form Lambert radiators. The advantage here is that a weakening of the radiation due to an inclination of the reflection surfaces in relation to the recording direction is easy to correct, for example, if the angle of inclination is known or determined.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die Reflexionsflächen des Probekörpers jeweils mit einem Identifikationsmerkmal versehen werden, welches zur Identifikation der zugehörigen Reflexionsfläche automatisch erkennbar ist und erkannt wird. Dies kann ein Symbol oder eine Form oder eine Farbe sein. Somit ist erreichbar, dass die zugehörige Reflexionsfläche automatisch erkennbar ist und erkannt wird. Von Vorteil ist dabei, dass eine automatische Erfassung der reflektierten Strahlungsanteile durchführbar ist.In one embodiment of the invention can be provided that the reflection surfaces of the specimen are each provided with an identification feature, which is automatically recognizable for identification of the associated reflection surface and is recognized. This can be a symbol or a shape or a color. Thus, it is achievable that the associated reflection surface is automatically recognizable and recognized. The advantage here is that an automatic detection of the reflected radiation components is feasible.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass ein einer Reflexionsfläche zugeordneter Raumwinkelbereich durch Auswertung einer geometrischen Form und/oder Größe der Reflexionsfläche in einer die Reflexionsfläche abbildenden Aufnahme berechnet wird. Beispielsweise kann hierzu die geometrische Form und/oder Größe der Reflexionsfläche in einem die Reflexionsfläche abbildenden ortsauflösenden Messergebnis berechnet werden. Es kann auch vorgesehen sein, dass die abgebildete Form und/oder Größe mit einer hinterlegten Form und/oder Größe automatisch verglichen wird. Von Vorteil ist dabei, dass die Zuordnung des Raumwinkelbereiches zu den von dem Probekörper reflektierten elektromagnetischen Strahlungen automatisiert durchführbar ist. Besonders günstig ist dabei, wenn die Reflexionsflächen des Probekörpers einfache geometrische Formen aufweisen. Somit kann der zugehörige Raumwinkelbereich durch Ermittlung der geometrischen Verzerrung der Form in der Aufnahme, beispielsweise in dem Messergebnis, bestimmt werden.In an embodiment of the invention, provision may be made for a solid angle region assigned to a reflection surface to be calculated by evaluating a geometric shape and / or size of the reflection surface in a recording image which images the reflection surface. For example, for this purpose, the geometric shape and / or size of the reflection surface can be calculated in a spatially resolving measurement result which images the reflection surface. It can also be provided that the imaged shape and / or size is automatically compared with a stored shape and / or size. The advantage here is that the assignment of the solid angle range to the reflected electromagnetic radiation from the sample is carried out automatically. It is particularly advantageous if the reflection surfaces of the specimen have simple geometric shapes. Thus, the associated solid angle range can be determined by determining the geometric distortion of the shape in the recording, for example in the measurement result.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass zur Bestimmung der Zahlenwerte ein ortsauflösendes Messergebnis erstellt und ausgewertet wird, welches das Untersuchungsobjekt und den Probekörper abbildet. Von Vorteil ist dabei, dass die Messung des Untersuchungsobjektes und die Messung der reflektierten Strahlungsanteile simultan durchführbar sind. Somit kann vermieden werden, dass sich die Messbedingungen zwischen Einzelaufnahmen verändern.In an embodiment of the invention, it can be provided that a spatially resolving measurement result is created and evaluated for determining the numerical values, which images the examination subject and the test specimen. The advantage here is that the measurement of the examination subject and the measurement of the reflected radiation components are simultaneously feasible. Thus it can be avoided that the measurement conditions change between individual shots.

Es kann vorgesehen sein, dass der Probekörper vor Erfassung der Strahlung in Bezug auf die Himmelsrichtungen definiert ausgerichtet wird. Von Vorteil ist dabei, dass ein unterschiedlicher Einfluss der den Himmelsrichtungen zugeordneten reflektierten Temperaturen oder Anteilen der Hintergrundstrahlung einfach erfassbar ist. Beispielsweise ist so der Stand der Sonne berücksichtigbar.It can be provided that the specimen is aligned in a defined manner before detection of the radiation with respect to the cardinal directions. The advantage here is that a different influence of the cardinal directions associated reflected Temperatures or proportions of background radiation is easily detected. For example, the state of the sun can be taken into account.

Es kann auch vorgesehen sein, dass der Probekörper vor Erfassung der Strahlung in Bezug auf das Untersuchungsobjekt definiert ausgerichtet wird. Von Vorteil ist dabei, dass die von dem Probekörper bereitgestellten Reflexionsflächen optimal ausnutzbar sind.It can also be provided that the specimen is aligned in a defined manner before detection of the radiation with respect to the examination object. The advantage here is that the provided by the specimen reflection surfaces are optimally exploitable.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die von dem Probekörper aus unterschiedlichen Raumwinkelbereichen reflektierte Strahlung in aufeinanderfolgenden, getrennten Schritten erfasst und ausgewertet wird. Von Vorteil ist dabei, dass der Einfluss der reflektierten Temperatur und/oder der Hintergrundstrahlung aus einem insgesamt größeren Raumwinkelbereich erfassbar ist. Hierbei kann vorgesehen sein, dass die Ausrichtung des Probekörpers in Bezug auf die Messvorrichtung zwischen den einzelnen Schritten verändert wird.In an embodiment of the invention, it can be provided that the radiation reflected by the specimen from different solid angle ranges is detected and evaluated in successive, separate steps. The advantage here is that the influence of the reflected temperature and / or the background radiation from an overall larger solid angle range can be detected. It can be provided that the orientation of the specimen is changed with respect to the measuring device between the individual steps.

Für einen typischen Anwendungsfall kann vorgesehen sein, dass als elektromagnetische Strahlung IR-Strahlung, also Infrarot-Strahlung, erfasst wird. Dies ermöglicht, dass als ortsauflösende Messergebnisse Wärmebilder gewonnen werden und/oder erstellt werden können. Von Vorteil ist dabei, dass als Zahlenwert für die reflektierten Strahlungsanteile jeweils ein reflektierter Temperaturkorrekturwert (reflected temperature coefficient, RTC), also eine reflektierte Temperatur, berechnet werden kann.For a typical application it can be provided that IR radiation, ie infrared radiation, is detected as electromagnetic radiation. This allows thermal images to be obtained and / or created as spatially resolving measurement results. The advantage here is that a reflected temperature correction value (reflected temperature coefficient, RTC), ie a reflected temperature, can be calculated in each case as the numerical value for the reflected radiation components.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass als Raumwinkelbereiche jeweils Halbräume verwendet werden. Von Vorteil ist dabei, dass ebene Reflexionsflächen verwendbar sind. Beispielsweise kann vorgesehen sein, dass jede Reflexionsfläche einen Halbraum definiert, welcher den der Reflexionsfläche zugeordneten Raumwinkelbereich umfasst oder beschreibt. Werden ebene Reflexionsflächen verwendet, so kann der Halbraum durch den außerhalb des Probekörpers auf einer Seite in Bezug auf die Reflexionsfläche liegenden Halbraum definiert sein. Wenn als Probekörper eine Kugel oder ein Teil einer Kugel verwendet wird, kann der Halbraum beispielsweise durch den auf der von dem Probekörper abgewandten Seite einer Tangentialebene an den Probekörper liegenden Halbraum definiert sein. Hierbei wird unter einem Halbraum derjenige Teil des dreidimensionalen Raums verstanden, welcher auf einer Seite in Bezug auf eine unendlich ausgedehnte Ebene liegt.In one embodiment of the invention can be provided that are used as solid angle areas each half spaces. The advantage here is that flat reflective surfaces can be used. For example, it can be provided that each reflection surface defines a half-space which encompasses or describes the solid-angle region associated with the reflection surface. If flat reflecting surfaces are used, the half-space can be defined by the half-space lying outside the test-piece on one side with respect to the reflection surface. If a ball or a part of a ball is used as the test specimen, the half-space can be defined, for example, by the half space lying on the side of a tangential plane facing away from the specimen on the specimen. Here, a half-space is understood to mean that part of the three-dimensional space which lies on one side with respect to an infinitely extended plane.

Zur Lösung der genannten Aufgabe ist bei einer Messvorrichtung der eingangs genannten Art erfindungsgemäß vorgesehen, dass Mittel zur Ausführung eines erfindungsgemäßen Verfahren ausgebildet und eingerichtet sind. Bevorzugt umfassen diese Mittel eine Datenverarbeitungseinheit, welche zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens durch entsprechende Programmierung eingerichtet ist.To achieve the object mentioned, it is provided according to the invention in a measuring device of the type mentioned at the beginning that means for carrying out a method according to the invention are designed and set up. Preferably, these means comprise a data processing unit which is set up to execute the method according to the invention by appropriate programming.

Günstig ist es, wenn der reflektierte Strahlungsanteil durch Reflexion von Hintergrundstrahlung an dem Untersuchungsobjekt bewirkt ist.It is favorable if the reflected radiation component is caused by reflection of background radiation on the examination subject.

Die Erfindung wird nun anhand von Ausführungsbeispielen näher beschrieben, ist jedoch nicht auf diese Ausführungsbeispiele beschränkt. Weitere Ausführungsbeispiele ergeben sich durch Kombination einzelner oder mehrerer Merkmale der Schutzansprüche untereinander und/oder mit einzelnen oder mehreren Merkmalen der Ausführungsbeispiele.The invention will now be described in more detail with reference to embodiments, but is not limited to these embodiments. Further embodiments result from combining one or more features of the protection claims with each other and / or with one or more features of the embodiments.

Es zeigt:It shows:

1: eine schematische Darstellung zur Erläuterung des erfindungsgemäßen Verfahrens, 1 : a schematic representation for explaining the method according to the invention,

2: eine erfindungsgemäße Verwendung eines Probekörpers bei dem Verfahren gemäß 1, 2 : an inventive use of a specimen in the method according to 1 .

3: einen weiteren erfindungsgemäßen Probekörper und 3 a further test specimen according to the invention and

4: die Verwendung eines weiteren erfindungsgemäßen Probekörpers. 4 : the use of another test specimen according to the invention.

1 zeigt in einer stark schematisierten Darstellung eine Messvorrichtung 1, welche in an sich bekannter Weise zur Aufnahme und Erstellung eines ortsauflösenden Messergebnisses eingerichtet ist. 1 shows a highly schematic representation of a measuring device 1 which is set up in a manner known per se for recording and generating a spatially resolving measurement result.

Zur Erläuterung des Erfindungsprinzips und Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels ist die Messvorrichtung 1 als Wärmebildkamera dargestellt, mit welcher Wärmebilder erstellbar sind.To explain the principle of the invention and depicting a preferred embodiment, the measuring device 1 shown as a thermal imaging camera, with which thermal images can be created.

Die Messvorrichtung 1 weist hinter einer Aufnahmeoptik 2 einen Detektor 3 auf, welcher zur Erfassung von IR-Strahlung als elektromagnetische Strahlung 4 in einem nicht-sichtbaren Spektralbereich eingerichtet ist. Der Detektor 3 weist somit in an sich bekannter Weise nicht weiter dargestellte Detektorelemente auf, die für die elektromagnetische Strahlung 4 empfindlich sind. Mit der Aufnahmeoptik 2 ist somit elektromagnetische Strahlung 4 von einem Untersuchungsobjekt 5 erfassbar und auf den Detektor 3 leitbar.The measuring device 1 points behind a recording optics 2 a detector 3 which is used to detect IR radiation as electromagnetic radiation 4 is set up in a non-visible spectral range. The detector 3 Thus, in a manner known per se, has detector elements which are not further illustrated and which are responsible for the electromagnetic radiation 4 are sensitive. With the recording optics 2 is thus electromagnetic radiation 4 from an examination object 5 detectable and on the detector 3 be conducted.

In der Messvorrichtung 1 sind Mittel 6 zur Gewinnung eines ortsauflösenden Messergebnisses in Form eines Wärmebildes mit Temperaturwerten aus der erfassten elektromagnetischen Strahlung 4 von einem Untersuchungsobjekt 5, hier beispielsweise einem Haus, ausgebildet. Beispielsweise kann der Detektor 3 als FPA ausgebildet sein, oder es kann eine Scannertechnik eingerichtet sein.In the measuring device 1 are means 6 for obtaining a spatially resolving measurement result in the form of a thermal image with temperature values from the detected electromagnetic radiation 4 from an examination object 5 , here for example a house trained. For example, the detector 3 be designed as FPA, or it may be set up a scanner technology.

Bei der Messung der elektromagnetischen Strahlung 4 besteht generell das Problem, dass die elektromagnetische Strahlung 4 einen reflektierten Strahlungsanteil 7 aufweist, welcher von der Hintergrundstrahlung 8 herrührt, die an dem Untersuchungsobjekt 5 in Richtung der Messvorrichtung 1 reflektiert wird.In the measurement of electromagnetic radiation 4 Generally there is the problem that the electromagnetic radiation 4 a reflected radiation component 7 which of the background radiation 8th that comes from the object under investigation 5 in the direction of the measuring device 1 is reflected.

Um das ortsauflösende Messergebnis um den reflektierten Strahlungsanteil 7 derart korrigieren zu können, dass der reflektierte Strahlungsanteil 7 zu dem korrigierten ortsauflösenden Messergebnisses nicht beiträgt, wird der Detektor 3 gemäß der stark vereinfachten Prinzipdarstellung nach 2 auf einen Probekörper 9 gerichtet.To the spatially resolved measurement result by the reflected radiation component 7 be able to correct so that the reflected radiation component 7 does not contribute to the corrected spatially resolving measurement result, the detector becomes 3 according to the simplified schematic diagram 2 on a test piece 9 directed.

Hierbei wird der Detektor 3 zunächst in die rechte Position in 2 gebracht, um die von dem Probekörper 9 reflektierte elektromagnetische Strahlung 10 zu erfassen, die von der auf den Probekörper 9 einstrahlenden Hintergrundstrahlung 8 herrührt.This is where the detector becomes 3 first in the right position in 2 brought to the of the specimen 9 reflected electromagnetic radiation 10 to capture that from the to the specimen 9 radiating background radiation 8th arises.

Hierbei wird die Hintergrundstrahlung 8 an einer Reflexionsfläche 12 des Probekörpers 9 als reflektierte elektromagnetische Strahlung in Richtung der Messvorrichtung 1 reflektiert. Die Hintergrundstrahlung 8 wird von der Reflexionsfläche 13 des Probekörpers als reflektierte elektromagnetische Strahlung 11 zu der Messvorrichtung 1 reflektiert. Der Detektor 3 „sieht” somit die Reflexionsflächen 12 und 13.Here, the background radiation 8th on a reflection surface 12 of the test piece 9 as reflected electromagnetic radiation in the direction of the measuring device 1 reflected. The background radiation 8th is from the reflection surface 13 of the specimen as reflected electromagnetic radiation 11 to the measuring device 1 reflected. The detector 3 Thus "sees" the reflection surfaces 12 and 13 ,

Aus 2 ist ersichtlich, dass die Reflexionsfläche 12 die aus einem Raumwinkelbereich 14 auf den Probeköper 9 eingestrahlte Hintergrundstrahlung 8 zur Messvorrichtung 1 reflektiert, während die Reflexionsfläche 13 die Hintergrundstrahlung 8 aus einem Raumwinkelbereich 15 zu der Messvorrichtung 1 reflektiert.Out 2 it can be seen that the reflection surface 12 from a solid angle area 14 on the test object 9 irradiated background radiation 8th to the measuring device 1 reflected while the reflection surface 13 the background radiation 8th from a solid angle area 15 to the measuring device 1 reflected.

Der Probekörper 9 ist als Würfel ausgebildet und weist somit sechs Seiten auf, die jeweils eine quadratische Form aufweisen.The test piece 9 is formed as a cube and thus has six sides, each having a square shape.

In dem Abbild, welches von dem Probekörper 9 mit der Messvorrichtung 1 durch Aufnahme der reflektierten elektromagnetische Strahlung 10, 11 erstellt wird, sind diese quadratischen Formen geometrisch verzerrt. Aus der Verzerrung lässt sich die Neigung der Reflexionsflächen 12, 13 in Bezug auf die Aufnahmerichtung der Messvorrichtung 1 automatisch errechnen.In the image, which of the specimen 9 with the measuring device 1 by receiving the reflected electromagnetic radiation 10 . 11 is created, these square shapes are geometrically distorted. From the distortion can be the inclination of the reflection surfaces 12 . 13 with respect to the take-up direction of the measuring device 1 automatically calculate.

Hieraus kann der jeweils der Reflexionsfläche 12 bzw. 13 zugeordnete Raumwinkelbereich 14 bzw. 15 bestimmt werden. Dieser Raumwinkelbereich 14, 15 ergibt sich aus der Ausrichtung der nicht weiter dargestellten Flächennormale der eben ausgebildeten Reflexionsflächen 12, 13.From this, each of the reflection surface 12 respectively. 13 assigned solid angle range 14 respectively. 15 be determined. This solid angle area 14 . 15 results from the orientation of the surface normal, not shown, of the newly formed reflection surfaces 12 . 13 ,

Die Reflexionsflächen 12, 13 sind mit einer Beschichtung 16 versehen, durch welche an den Reflexionsflächen 12, 13 jeweils ein definierter Reflexionskoeffizient, und eine definierte Winkelabhängigkeit der Abstrahlstärke, die für einen Lampert-Strahler gilt, aufweisen.The reflection surfaces 12 . 13 are with a coating 16 provided by which at the reflection surfaces 12 . 13 each having a defined reflection coefficient, and a defined angular dependence of the emission intensity, which applies to a Lampert radiator having.

Aus diesen definierten Reflexionsverhältnissen an den Reflexionsflächen 12, 13 lässt sich somit aus der reflektierten elektromagnetischen Strahlung 10 bzw. 11 eine reflektierte Temperatur ableiten, welche dem jeweiligen Raumwinkelbereich 14 bzw. 15 als Zahlenwert zur Charakterisierung des reflektierten Strahlungsanteils zu dem Raumwinkelbereich 14, 15 zugeordnet ist.From these defined reflection ratios at the reflection surfaces 12 . 13 can thus be derived from the reflected electromagnetic radiation 10 respectively. 11 derive a reflected temperature which corresponds to the respective solid angle range 14 respectively. 15 as a numerical value for characterizing the reflected radiation component relative to the solid angle range 14 . 15 assigned.

In 2 ist ersichtlich, dass der Probekörper 9 mit einer Seite auf eine Unterlage 17 abgestellt ist. Auf diese Weise wird erreicht, dass der Probeköper 9 in Bezug auf das Untersuchungsobjekt 5, welches ebenfalls auf der Unterlage 17 steht, definiert ausgerichtet ist.In 2 it can be seen that the specimen 9 with one side on a pad 17 is turned off. In this way it is achieved that the test object 9 in relation to the object under investigation 5 which is also on the underlay 17 is aligned, defined.

Auf diese Weise wird erreicht, dass die Reflexionsfläche 12 vertikal angeordnet ist.In this way it is achieved that the reflection surface 12 is arranged vertically.

Bei entsprechender Ausrichtung des Probekörpers 9 auf der Unterlage kann erreicht werden, dass die vertikale Reflexionsfläche 12 parallel zu der ein Flächenelement 18 bildenden Hauswand des Untersuchungsobjekts 5 ausgerichtet ist. Der Probekörper 9 wird mit dem Untersuchungsobjekt 5 in einer gemeinsamen Aufnahme gleichzeitig aufgenommen, und es wird ein ortsauflösendes Messergebnis erstellt, welches den Probekörper 9 und das Untersuchungsobjekt 5 abbildet.With appropriate alignment of the specimen 9 on the underlay can be achieved that the vertical reflection surface 12 parallel to the one surface element 18 forming house wall of the examination object 5 is aligned. The test piece 9 becomes with the examination object 5 recorded simultaneously in a common recording, and it is created a spatially resolving measurement result, which the specimen 9 and the examination object 5 maps.

In diesem ortsauflösenden Messergebnis wird die Reflexionsfläche 12 automatisch identifiziert. Hierzu kann die Reflexionsfläche 12 nicht weiter dargestellte Identifikationsmerkmale aufweisen, beispielsweise Marker oder dergleichen, um die Reflexionsfläche 12 automatisch zu identifizieren.In this spatially resolved measurement result, the reflection surface 12 automatically identified. For this purpose, the reflection surface 12 not further illustrated identification features, such as markers or the like, to the reflection surface 12 automatically identify.

Da die Reflexionsverhältnisse aufgrund der Beschichtung 16 am Probekörper 9 bekannt sind, kann aus der von dieser Reflexionsfläche 12 erfassten reflektierten elektromagnetische Strahlung 10 direkt der reflektierte Strahlungsanteil 7 in der zur Erstellung des ortsauflösenden Messergebnisses erfassten elektromagnetische Strahlung 4 bestimmt werden. Hierzu wird verwendet, dass die Reflexionsfläche 12 aufgrund ihrer parallelen Ausrichtung zu dem Flächenelement 18 Hintergrundstrahlung 8 aus demselben Raumwinkelbereich 14 zur Messvorrichtung 1 reflektiert, wie das Flächenelement 18 selbst.Because the reflection ratios due to the coating 16 on the test piece 9 may be known from the of this reflection surface 12 detected reflected electromagnetic radiation 10 directly the reflected radiation component 7 in the electromagnetic radiation detected for generating the spatially resolving measurement result 4 be determined. This is done using the reflection surface 12 due to their parallel alignment with the surface element 18 Background radiation 8th from the same solid angle range 14 to the measuring device 1 reflected as the surface element 18 even.

Der zuvor berechnete Zahlenwert für die reflektierte Temperatur zu dem Raumwinkelbereich 14 kann somit zur Bestimmung des reflektierten Strahlungsanteils 7 für das Flächenelement 18 herangezogen werden. The previously calculated numerical value for the reflected temperature to the solid angle range 14 can thus be used to determine the reflected radiation component 7 for the surface element 18 be used.

Das Flächenelement 19, welches an dem Untersuchungsobjekt 5 durch eine Dachfläche gebildet wird, ist gegenüber dem Flächenelement 18 geneigt. Das Flächenelement 19 reflektiert daher Hintergrundstrahlung 8 aus einem anderen Raumwinkelbereich.The surface element 19 which is attached to the examination object 5 is formed by a roof surface is opposite to the surface element 18 inclined. The surface element 19 therefore reflects background radiation 8th from another solid angle area.

In der Ausrichtung des Probekörpers 9 gemäß 2 ist keine der Seiten des Probekörpers 9 parallel zu dem Flächenelement 19 ausgerichtet.In the orientation of the specimen 9 according to 2 is not one of the sides of the specimen 9 parallel to the surface element 19 aligned.

Mit dem Detektor 3 der Messvorrichtung 1 wurde jedoch die reflektierte elektromagnetische Strahlung 10 von der Reflexionsfläche 12 und die reflektierte elektromagnetische Strahlung 11 von der Reflexionsfläche 13 getrennt erfasst und gemessen.With the detector 3 the measuring device 1 however, the reflected electromagnetic radiation became 10 from the reflection surface 12 and the reflected electromagnetic radiation 11 from the reflection surface 13 recorded separately and measured.

Aus den für die Raumwinkelbereiche 14 und 15 hierbei berechneten Zahlenwerten, also reflektierten Temperaturen, kann die reflektierte Temperatur zu dem schräg gestellten Flächenelement 19 durch Interpolation berechnet werden.From the for the solid angle areas 14 and 15 In this case calculated numerical values, ie reflected temperatures, the reflected temperature to the inclined surface element 19 be calculated by interpolation.

In dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird der Probekörper 9 zusammen mit dem Untersuchungsobjekt 6 mittels des Detektors 3 aufgenommen, um von den beiden Gegenständen ein gemeinsames, ortsauflösendes Messergebnis in Form eines Wärmebildes zu erstellen.In the described embodiment, the specimen 9 together with the examination object 6 by means of the detector 3 recorded to create a common, spatially resolving measurement result of the two objects in the form of a thermal image.

Aus 2 ist ersichtlich, dass die Reflexionsfläche 14 einen Halbraum auszeichnet, der oberhalb des Probekörpers 9 liegt. Dieser Halbraum bildet den Raumwinkelbereich 14, aus welchem die Hintergrundstrahlung aufgesammelt und in Richtung des Detektors 3 reflektiert werden kann.Out 2 it can be seen that the reflection surface 14 a half space is distinguished, which is above the specimen 9 lies. This half space forms the solid angle range 14 from which the background radiation is picked up and in the direction of the detector 3 can be reflected.

Ebenso definiert die Reflexionsfläche 13 einen Halbraum, der in 2 rechts von einer unendlich ausgedehnten Ebene liegt, die die Reflexionsfläche 13 umfasst. Die Reflexionsfläche 13 kann Hintergrundstrahlung 8 aus diesem Halbraum zu dem Detektor 3 reflektieren.Likewise defines the reflection surface 13 a half-space in 2 to the right of an infinitely extended plane, which is the reflection surface 13 includes. The reflection surface 13 can background radiation 8th from this half-space to the detector 3 reflect.

Auf diese Weise verbleibt ein Viertel des Vollraums, aus welchem wegen der Ausrichtung der Reflexionsflächen 12, 13 keine Hintergrundstrahlung 8 auf den Detektor 3 reflektiert werden kann. Zu diesem zugehörigen Raumwinkelbereich kann daher keine reflektierte Temperatur als Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil ermittelt werden.In this way, a quarter of the full space remains, for which reason of the orientation of the reflection surfaces 12 . 13 no background radiation 8th on the detector 3 can be reflected. For this associated solid angle range, therefore, no reflected temperature can be determined as a numerical value for a reflected radiation component.

Um auch hierfür einen Zahlenwert zu ermitteln, wird in einem zweiten, getrennten Schritt der Detektor 3 in die in 2 linke Arbeitsposition verbracht, und es wird erneut die von dem Probekörper 9 reflektierte elektromagnetische Strahlung 20, 21 erfasst. In dieser Position „sieht” der Detektor die Reflexionsfläche 12 und 23.In order to determine a numerical value for this, in a second, separate step, the detector 3 in the in 2 left working position, and it is again the one from the specimen 9 reflected electromagnetic radiation 20 . 21 detected. In this position, the detector "sees" the reflection surface 12 and 23 ,

Hierbei ist die reflektierte elektromagnetische Strahlung 20 durch die an der Reflexionsfläche 12 in Richtung auf den Detektor 3 reflektierte Hintergrundstrahlung 8 bestimmt, während die Hintergrundstrahlung 8 aus einem Raumwinkelbereich 22 auf die Reflexionsfläche 23 des Probekörpers 9 fällt und in Richtung des Detektors 3 in der linken Aufnahmeposition als reflektierte elektromagnetische Strahlung 22 reflektiert wird.Here, the reflected electromagnetic radiation 20 through the at the reflection surface 12 towards the detector 3 reflected background radiation 8th determined while the background radiation 8th from a solid angle area 22 on the reflection surface 23 of the test piece 9 falls and in the direction of the detector 3 in the left pickup position as reflected electromagnetic radiation 22 is reflected.

Somit kann in analoger Weise – wie zuvor zu den Reflexionsflächen 12 und 13 beschrieben – aus der reflektierten elektromagnetischen Strahlung 21 ein Zahlenwert für einen dem Raumwinkelbereich 22 zugeordneten, reflektierten Strahlungsanteil abgeleitet werden. Im Ausführungsbeispiel ist dies eine reflektierte Temperatur, die dem Raumwinkelbereich 22 zugeordnet ist.Thus, in an analogous manner - as before to the reflection surfaces 12 and 13 described - from the reflected electromagnetic radiation 21 a numerical value for a solid angle range 22 associated, reflected radiation component are derived. In the exemplary embodiment, this is a reflected temperature that corresponds to the solid angle range 22 assigned.

3 zeigt einen weiteren erfindungsgemäßen Probekörper 9, der statt des Probekörpers 9 in 2 erfindungsgemäß verwendbar ist. 3 shows a further sample according to the invention 9 , instead of the specimen 9 in 2 is usable according to the invention.

Hierbei sind funktionell oder konstruktiv zu dem Ausführungsbeispiel nach 2 gleichartige oder ähnliche Bauteile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und nicht noch einmal gesondert beschrieben.Here are functional or constructive to the embodiment according to 2 similar or similar components with the same reference numerals and not described separately again.

Der Probekörper 9 weist in einem in 3 dargestellten Querschnitt die Form eines Oktagons auf. Hierdurch ist an dem Probekörper 9 gemäß 3 eine gegenüber dem Ausführungsbeispiel nach 2 größere Anzahl von Reflexionsflächen 12, 13, 23, 24 ausgebildet, die jeweils Hintergrundstrahlung 8 aus einem individuell zugeordneten Raumwinkelbereich erfassen und zu einer nicht weiter dargestellten Messvorrichtung reflektieren können.The test piece 9 points in an in 3 illustrated cross section in the shape of an octagon. This is due to the specimen 9 according to 3 one compared to the embodiment according to 2 larger number of reflective surfaces 12 . 13 . 23 . 24 formed, each background radiation 8th can detect from an individually assigned solid angle range and reflect to a measuring device not shown.

Der winkelabhängige Einfluss der Hintergrundstrahlung 8 auf das ortsauflösende Messergebnis ist somit in feineren Abstufungen erfassbar.The angle-dependent influence of the background radiation 8th on the spatially resolving measurement result is thus detected in finer gradations.

4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel, in welchem der Probekörper 9 kugelförmig ausgebildet ist. 4 shows a further embodiment in which the specimen 9 is formed spherical.

Auch in dem Ausführungsbeispiel gemäß 4 sind funktionell oder konstruktiv zu den Ausführungsbeispielen gemäß 2 und 3 gleichartige oder ähnliche Bauteile mit denselben Bezugszeichen bezeichnet und nicht noch einmal gesondert beschrieben.Also in the embodiment according to 4 are functional or constructive to the embodiments according to 2 and 3 similar or similar components with the same reference numerals and not described separately again.

Durch die Kugelform des Probekörpers 9 sind an der Oberfläche des Probekörpers 9 eine unendliche Anzahl von infinitisimal kleinen Reflexionsflächen 12, 13, 23, 24 ausgebildet, mit denen jeweils aus einem zugeordneten Raumwinkelbereich einfallende Hintergrundstrahlung 8 zu dem Detektor 3 reflektiert wird.Due to the spherical shape of the test specimen 9 are on the surface of the specimen 9 an infinite number of infinitely small reflection surfaces 12 . 13 . 23 . 24 formed, with which in each case from an associated solid angle region incident background radiation 8th to the detector 3 is reflected.

Hierbei wird in einem ersten Schritt der Detektor 3 in die rechte Aufnahmeposition gemäß 4 verbracht, und es werden die reflektierten elektromagnetischen Strahlungen 10, 11 erfasst. In einem zweiten Schritt wird der Detektor 3 in die in 4 linke Aufnahmeposition verbracht, und es werden die reflektierten elektromagnetischen Strahlungen 21, 25 erfasst.In this case, in a first step, the detector 3 in the right receiving position according to 4 spent, and it will be the reflected electromagnetic radiation 10 . 11 detected. In a second step, the detector becomes 3 in the in 4 left recording position, and it will be the reflected electromagnetic radiation 21 . 25 detected.

Aus den erfassten und reflektierten elektromagnetischen Strahlungen 10, 11, 22, 25 wird jeweils eine reflektierte Temperatur als Zahlenwert abgeleitet, wobei diese Zahlenwerte jeweils einem sehr schmalen Raumwinkelbereich 14, 15, 26, 27 zugeordnet werden, der aufgrund des Reflexionsgesetzes den reflektierten elektromagnetischen Strahlungen 10, 11, 21, 25 jeweils zugeordnet ist.From the detected and reflected electromagnetic radiation 10 . 11 . 22 . 25 In each case, a reflected temperature is derived as a numerical value, these numerical values each having a very narrow solid angle range 14 . 15 . 26 . 27 are assigned due to the law of reflection the reflected electromagnetic radiation 10 . 11 . 21 . 25 is assigned respectively.

Auf diese Weise ergibt sich eine sehr feine Winkelauflösung der reflektierten Temperatur zu der von der Umgebung einfallenden Hintergrundstrahlung 8.In this way results in a very fine angular resolution of the reflected temperature to the incident of the surrounding background radiation 8th ,

In 2 können die Raumwinkelbereiche 14, 15, 22 auch kleiner als die den Reflexionsflächen 12, 13 und 23 jeweils zugeordneten Halbräume sein. In diesem Fall können die Raumwinkelbereiche 14, 15, 22 auch aufgrund des Reflexionsgesetzes als Menge aller derjenigen Einfallswinkel von Hintergrundstrahlung 8 auf die jeweilige Reflexionsfläche 12, 13 oder 23 gegeben sein, die aufgrund des Reflexionsgesetzes in Richtung des Detektors 3 reflektiert werden.In 2 can the solid angle ranges 14 . 15 . 22 also smaller than the reflection surfaces 12 . 13 and 23 each associated half spaces. In this case, the solid angle ranges 14 . 15 . 22 also due to the law of reflection as the set of all those incident angles of background radiation 8th on the respective reflection surface 12 . 13 or 23 given due to the law of reflection in the direction of the detector 3 be reflected.

Eine entsprechende Definition der zugeordneten Raumwinkelbereiche zu den Reflexionsflächen 12, 13, 23, 24 ist bei dem Ausführungsbeispiel gemäß 3 realisiert.A corresponding definition of the assigned solid angle ranges to the reflection surfaces 12 . 13 . 23 . 24 is in the embodiment according to 3 realized.

Es sei noch erwähnt, dass die Messvorrichtung 1 nicht weiter dargestellte Mittel 28 zur automatischen Korrektur des ortsauflösenden Messergebnisses um den reflektierten Strahlungsanteil 7 aufweist, wobei bei der Korrektur die bestimmten Zahlenwerte in Abhängigkeit von den zugehörigen Raumwinkelbereichen 14, 15, 22, 26, 27 Berücksichtigung finden.It should be noted that the measuring device 1 not shown means 28 for the automatic correction of the spatially resolving measurement result by the reflected radiation component 7 wherein, in the correction, the determined numerical values depend on the associated solid angle ranges 14 . 15 . 22 . 26 . 27 Consideration.

In der Messvorrichtung 1 ist schließlich eine Datenverarbeitungseinheit durch entsprechende Programmierung zur Ausführung des beschriebenen Verfahrens eingerichtet. Diese Datenverarbeitungseinheiten bildet somit ein Mittel 29 zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens.In the measuring device 1 Finally, a data processing unit is set up by appropriate programming for carrying out the described method. These data processing units thus forms a means 29 for carrying out the method according to the invention.

In der Messvorrichtung 1 mit einem für die Aufnahme elektromagnetischer Strahlung 4 von einem Untersuchungsobjekt 5 zur Erstellung eines ortsauflösenden Messergebnisses eingerichteten Detektor 3 wird vorgeschlagen, zur Bestimmung eines reflektierten Strahlungsanteils 7 in der aufgenommenen elektromagnetischen Strahlung 4 die an einem Probeköper 9 reflektierte elektromagnetische Strahlung 10, 11, 20, 21, 25 zu erfassen, wobei zu der reflektierten elektromagnetischen Strahlung 10, 11, 20, 21, 25 jeweils ein Raumwinkelbereich 14, 15, 22, 26, 27 bestimmt wird, aus welchem die reflektierte Strahlung 10, 11, 20, 21, 25 auf den Probekörper 9 eingefallen ist, und aus der gemessenen reflektierten elektromagnetischen Strahlung 10, 11, 20, 21, 25 einen dem jeweils zugehörigen Raumwinkelbereich 14, 15, 22, 26, 27 zugeordneten Zahlenwert RTC für einen reflektierten Strahlungsanteil abzuleiten, welcher zur Ermittlung des reflektierten Strahlungsanteils 7 in der elektromagnetischen Strahlung 4 verwendbar ist und verwendet wird.In the measuring device 1 with one for receiving electromagnetic radiation 4 from an examination object 5 for establishing a spatially resolving measurement result equipped detector 3 is proposed for determining a reflected radiation component 7 in the recorded electromagnetic radiation 4 the on a test object 9 reflected electromagnetic radiation 10 . 11 . 20 . 21 . 25 to capture, in addition to the reflected electromagnetic radiation 10 . 11 . 20 . 21 . 25 one solid angle area each 14 . 15 . 22 . 26 . 27 is determined from which the reflected radiation 10 . 11 . 20 . 21 . 25 on the test piece 9 and from the measured reflected electromagnetic radiation 10 . 11 . 20 . 21 . 25 a the respective associated solid angle range 14 . 15 . 22 . 26 . 27 derived numerical value RTC for a reflected radiation component, which for determining the reflected radiation component 7 in the electromagnetic radiation 4 is usable and used.

Claims (13)

Verfahren zur Korrektur eines reflektierten Strahlungsanteils (7) in einem ortsauflösenden Messergebnis, wobei das Messergebnis durch Erfassung elektromagnetischer Strahlung (4) von einem Untersuchungsobjekt (5) in einem nicht-sichtbaren Spektralbereich gewonnen wird und wobei ein reflektierter Strahlungsanteil, welcher durch Reflexion von Hintergrundstrahlung (8) an dem Untersuchungsobjekt (5) bewirkt ist, in dem Messergebnis korrigiert wird, dadurch gekennzeichnet, dass an einem Probekörper (9) reflektierte elektromagnetische Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) erfasst wird, dass ein Raumwinkelbereich (14, 15, 22, 26, 27) bestimmt wird, aus welchem die erfasste reflektierte Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) auf den Probekörper (9) eingefallen ist, und dass aus der erfassten reflektierten Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) ein Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil abgeleitet wird, welcher dem bestimmten Raumwinkelbereich (14, 15, 22, 26, 27) zugeordnet wird.Method for correcting a reflected radiation component ( 7 ) in a spatially resolving measurement result, the measurement result being detected by detecting electromagnetic radiation ( 4 ) of an examination object ( 5 ) is obtained in a non-visible spectral range and wherein a reflected radiation component, which by reflection of background radiation ( 8th ) on the examination object ( 5 ) is corrected, is corrected in the measurement result, characterized in that on a specimen ( 9 ) reflected electromagnetic radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) is detected that a solid angle range ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ), from which the detected reflected radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) on the specimen ( 9 ) and that from the detected reflected radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) a numerical value for a reflected radiation component is derived which corresponds to the determined solid angle range ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ). Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf einen Probekörper (9) aus wenigstens zwei Raumwinkelbereichen (14, 15, 22, 26, 27) einfallende und am Probekörper (9) reflektierte elektromagnetische Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) in dem Spektralbereich für die wenigstens zwei Raumwinkelbereiche (14, 15, 22, 26, 27) getrennt erfasst wird und/oder dass aus der erfassten reflektierten Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) zu jedem der wenigstens zwei Raumwinkelbereiche jeweils ein Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil (10, 11, 20, 21, 25) abgeleitet wird und/oder dass aus den Zahlenwerten für die reflektierten Strahlungsanteile der Raumwinkelbereiche (14, 15, 22, 26, 27) durch Interpolation ein weiterer Zahlenwert für einen reflektierten Strahlungsanteil für einen weiteren Raumwinkelbereich berechnet wird.Method according to claim 1, characterized in that a specimen ( 9 ) from at least two solid angle regions ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) and on the specimen ( 9 ) reflected electromagnetic radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) in the spectral range for the at least two solid angle ranges ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) is detected separately and / or that from the detected reflected radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) to each of the at least two solid angle ranges in each case a numerical value for a reflected radiation component ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) and / or that from the numerical values for the reflected radiation components of the solid angle ranges ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) by interpolation another numerical value for a reflected radiation component is calculated for a further solid angle range. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der weitere Raumwinkelbereich durch ein Flächenelement (18, 19) an dem Untersuchungsobjekt (5) vorgegeben ist, wobei die von dem Flächenelement (18, 19) reflektierte Strahlung aus dem weiteren Raumwinkelbereich auf das Untersuchungsobjekt (5) eingefallen ist.A method according to claim 1 or 2, characterized in that the further solid angle range by a surface element ( 18 . 19 ) on the examination object ( 5 ) is predetermined, whereby the surface element ( 18 . 19 ) reflected radiation from the further solid angle range on the examination subject ( 5 ) has fallen. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass an dem Probekörper (9) den wenigstens zwei Raumwinkelbereichen (14, 15, 22, 26, 27) jeweils eine Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) zugeordnet ist, welche die aus dem Raumwinkelbereich (14, 15, 22, 26, 27) einfallende Hintergrundsstrahlung (8) reflektiert.Method according to one of claims 1 to 3, characterized in that on the test specimen ( 9 ) the at least two solid angle ranges ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) each have a reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) associated with the from the solid angle range ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) incident background radiation ( 8th ) reflected. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Probekörper (9) mit Reflexionsflächen (12, 13, 23, 24) versehen wird, welche jeweils einen definierten Reflexionskoeffizienten und/oder eine definierte Winkelabhängigkeit der Abstrahlstärke aufweisen.Method according to one of claims 1 to 4, characterized in that the test specimen ( 9 ) with reflection surfaces ( 12 . 13 . 23 . 24 ), which in each case have a defined reflection coefficient and / or a defined angular dependence of the emission intensity. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Reflexionsflächen (12, 13, 23, 24) des Probekörpers (9) jeweils mit einem Identifikationsmerkmal versehen werden, welches zur Identifikation der zugehörigen Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) automatisch erkennbar ist und erkannt wird.Method according to one of claims 1 to 5, characterized in that the reflection surfaces ( 12 . 13 . 23 . 24 ) of the test specimen ( 9 ) are each provided with an identification feature which is used to identify the associated reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) is automatically recognizable and recognized. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass ein einer Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) zugeordneter Raumwinkelbereich (14, 15, 22, 26, 27) durch Auswertung einer geometrischen Form und/oder Größe der Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) in einer die Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) abbildenden Aufnahme und/oder in einem die Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) abbildenden ortsauflösenden Messergebnis berechnet wird.Method according to one of claims 1 to 6, characterized in that a reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) assigned solid angle range ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) by evaluation of a geometric shape and / or size of the reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) in one the reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) imaging and / or in a the reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) imaging spatially resolving measurement result is calculated. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bestimmung der Zahlenwerte ein ortsauflösendes Messergebnis erstellt und ausgewertet wird, welches das Untersuchungsobjekt (5) und den Probekörper (9) abbildet.Method according to one of claims 1 to 7, characterized in that for the determination of the numerical values a spatially resolving measurement result is created and evaluated, which contains the examination subject ( 5 ) and the specimen ( 9 ) maps. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Probekörper (9) vor Erfassung der reflektierten Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) in Bezug auf die Himmelsrichtungen und/oder das Untersuchungsobjekt (5) definiert ausgerichtet wird.Method according to one of claims 1 to 8, characterized in that the test specimen ( 9 ) before detection of the reflected radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) with respect to the cardinal points and / or the object to be examined ( 5 ) is aligned. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die von dem Probekörper (9) aus unterschiedlichen Raumwinkelbereichen (14, 15, 22, 26, 27) reflektierte Strahlung (10, 11, 20, 21, 25) in aufeinanderfolgenden, getrennten Schritten erfasst und ausgewertet wird.Method according to one of claims 1 to 9, characterized in that the of the sample ( 9 ) from different solid angle ranges ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) reflected radiation ( 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) is recorded and evaluated in successive, separate steps. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass als elektromagnetische Strahlung (4, 10, 11, 20, 21, 25) IR-Strahlung erfasst wird und/oder dass als ortsauflösende Messergebnisse Wärmebilder gewonnen und/oder erstellt werden und/oder dass als Zahlenwert für die reflektierten Strahlungsanteile jeweils ein reflektierter Temperaturkorrekturwert (RTC) berechnet wird.Method according to one of claims 1 to 10, characterized in that as electromagnetic radiation ( 4 . 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) IR radiation is detected and / or that thermal images are obtained and / or created as spatially resolving measurement results and / or that in each case a reflected temperature correction value (RTC) is calculated as the numerical value for the reflected radiation components. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass als Raumwinkelbereiche (14, 15, 22, 26, 27) jeweils Halbräume verwendet werden und/oder dass jede Reflektionsfläche (12, 13, 23, 24) einen Halbraum definiert, welcher den der Reflexionsfläche (12, 13, 23, 24) zugeordneten Raumwinkelbereich (14, 15, 22, 26, 27) umfasst oder beschreibt.Method according to one of claims 1 to 11, characterized in that as solid angle ranges ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) half spaces are used and / or that each reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) defines a half-space which corresponds to that of the reflection surface ( 12 . 13 . 23 . 24 ) associated solid angle range ( 14 . 15 . 22 . 26 . 27 ) comprises or describes. Messvorrichtung (1), mit einem Detektor (3) zur Erfassung elektromagnetischer Strahlung (4, 10, 11, 20, 21, 25) in einem nicht-sichtbaren Spektralbereich und mit Mitteln (6) zur Gewinnung eines ortsauflösenden Messergebnisses von einem Untersuchungsobjekt (5) aus der erfassten Strahlung (4, 10, 11, 20, 21, 25) und mit Mitteln (28) zur automatischen Korrektur des ortsauflösenden Messergebnisses um einen reflektierten Strahlungsanteil (7), dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (29) zur Ausführung eines Verfahrens nach einem der vorangegangenen Ansprüche ausgebildet und eingerichtet sind.Measuring device ( 1 ), with a detector ( 3 ) for detecting electromagnetic radiation ( 4 . 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) in a non-visible spectral range and with means ( 6 ) for obtaining a spatially resolving measurement result from an examination object ( 5 ) from the detected radiation ( 4 . 10 . 11 . 20 . 21 . 25 ) and with funds ( 28 ) for the automatic correction of the spatially resolving measurement result by a reflected radiation component ( 7 ), characterized in that means ( 29 ) are designed and configured to carry out a method according to one of the preceding claims.
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