DE102011106380A1

DE102011106380A1 - Vorrichtung zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten

Info

Publication number: DE102011106380A1
Application number: DE102011106380A
Authority: DE
Inventors: Frank Herzog
Original assignee: CL Schutzrechtsverwaltung GmbH
Current assignee: Concept Laser GmbH
Priority date: 2011-06-10
Filing date: 2011-06-10
Publication date: 2012-12-13

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung 1 zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten 6 durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines pulverförmigen, infolge eines Sinter- oder Schmelzvorgangs verfestigbaren Aufbaumaterials 2, mittels elektromagnetischer Strahlung 3, insbesondere gebündelter Strahlung, wie einen Elektronenstrahl oder Laserstrahlung, an den dem jeweiligen Querschnitt der Objekte entsprechenden Stellen, wobei die Vorrichtung 1 eine Tragevorrichtung 5 zum Tragen des Objekts 6 auf einer dem Objekt zugewandten Oberseite 7 eines Trägers 8 aufweist und eine BeschichtuAufbaumaterials 2 auf die Tragevorrichtung oder eine zuvor gebildete Schicht vorgesehen ist, sowie eine Bestrahlungseinrichtung zum Bestrahlen der Schicht des Aufbaumaterials 2 an den den jeweiligen Querschnitt des Objekts 6 entsprechenden Stellen, wobei der Träger 8 innerhalb eines Baubehälters 10 höhenverlagerbar angeordnet ist, wobei unmittelbar über der zu belichtenden Schicht des Aufbaumaterials 2 ein mit wenigstens einer Belichtungsöffnung 13 zum Durchtritt der elektromagnetischen Strahlung 3 auf die Schicht versehenes flächiges Spritzpartikel- oder Schweißrauch-Auffangelement 14 angeordnet ist.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines pulverförmiges, mittels elektromagnetischer Strahlung, insbesondere gebündelter Strahlung wie Laserstrahlung oder Elektronenstrahlung infolge eines Schmelzvorganges verfestigbare metallischen Aufbaumaterials.
Derartige Vorrichtungen sind in unterschiedlicher Ausbildung bekannt und werden in der Regel als Laserschmelzvorrichtungen bezeichnet. Die Kombination der Merkmale des Oberbegriffes des Anspruches 1 erlaubt es, durch selektives Laserschmelzen in kurzer Zeit metallische Objekte mit hoher Präzision aufzubauen und in unterschiedlichster Weise einzusetzen. Angesprochen sind insbesondere Formenbau, aber auch die Herstellung von Gebrauchsgegenständen oder Elementen, die im medizinischen Bereich oder Dentalbereich eingesetzt werden. Angesprochen sind insbesondere Implantate oder Zahnersatz. Generell erlaubt es die angesprochene Technik, die generativ hergestellten Gegenstände in allen Lebensbereichen einzusetzen, z. B. im Bereich der Luftfahrttechnologie.
Beim Lasersintern oder -schmelzen treten infolge der Fokussierung des Laserstrahls in der Regel Schmelzespritzer oder Schweißrauch auf. Die Schmelzespritzer fallen dann zurück auf die Umgebung des Schmelzepools, der durch den Brennfleck des Lasers oder der sonstigen Strahlungsquelle erzeugt wird und beeinträchtigen die Qualität der Pulveroberfläche und damit auch die Qualität des hergestellten Bauteils. Auf der Pulveroberfläche abgelagerte bereits angeschmolzene Schmelzpartikel, wie sie durch Schweißspritzer erzeugt werden können, beeinträchtigen insbesondere auch den Beschichtungsvorgang der nächsten Schicht. Der Beschichter kann infolge der ungleichmäßigen „Körnung” hängen bleiben und ist dadurch nicht mehr in der Lage, eine sehr dünne, gleichmäßige Pulverschicht auf darunterliegende Pulverschichten oder bereits fertiggestellte Bauteilschichten aufzutragen.
Die Problematik der Schweißrauchabfuhr wurde bereits erkannt. Man hat im Stand der Technik z. B. versucht, durch Gasströme, die möglichst gerichtet über das Baufeld geführt wurden, Schweißrauch aus der Bauzone abzuführen. Dieses Bemühen hat aber nicht gänzlich zu dem angestrebten Erfolg geführt.
Der Erfindung liegt die hiervon ausgehend die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspruches 1 derart auszubilden, dass das Zurückfallen von Schweißspritzern auf das Baufeld mit relativ großer Wahrscheinlichkeit verhindert wird und dadurch die Qualität des Pulverauftrages und daraus resultierend auch die Qualität des entstehenden Bauteils deutlich verbessert wird. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass unmittelbar über der zu belichtenden Schicht des Baumaterials, das ein metallisches Aufbaumaterial sein kann, aber auch durch Kunststoffmaterialien oder mehrkomponentige Materialien gebildet werden kann, ein mit wenigstens einer Belichtungsöffnung zum Durchtritt der elektromagnetischen Strahlung auf die Schicht versehendes flächiges Spitzpartikel-Auffangelement angeordnet ist.
Als der Kern der Erfindung wird es damit angesehen, ein flächiges Spritzpartikel-Auffangelement vorzusehen, das mit einer Belichtungsöffnung versehen ist. Spritzpartikel, die aus dem Schmelzepool nach oben herausspritzen, werden die Belichtungsöffnung nach oben durchtreten und – sofern sie nicht senkrecht zurückfallen – vom Auffangelement aufgefangen, insbesondere durch der Peripherie der Belichtungsöffnung. Damit wird verhindert, dass die heißen Spritzpartikel auf die Bauteiloberfläche oder auf eine das Bauteil umgebende Pulverschicht zurückfallen. Die Spritzpartikel können sich auf dem Spritzpartikel-Auffangelement sammeln und von dort gezielt abgeführt und/oder entsorgt werden.
Um die wenigstens eine Belichtungsöffnung möglichst klein zu gestalten, ist es zweckdienlich, wenn die Belichtungsöffnung abhängig vom Ort der Belichtung über der Schicht veränderbar ist. Werden allerdings nur sehr kleine Gegenstände gebaut, wie beispielsweise Zähne oder Schraubenköpfe oder dergleichen, dann ist es auch möglich, eine Mehrzahl von Belichtungsöffnungen in dem flächigen Spritzpartikelauffangelement vorzusehen, deren Orte den jeweiligen Bestrahlungsorten entsprechen.
Zum Verfahren der wenigstens einen Belichtungsöffnung über der Baufläche gibt es grundsätzlich zwei Möglichkeiten: entweder ist die wenigstens eine Belichtungsöffnung ortsfest in dem Auffangelement angeordnet, d. h. sie kann nicht relativ zur Fläche des Auffangelementes verschoben werden, dann ist es unter Umständen erforderlich, das gesamte Auffangelement zu verfahren, wenn die Belichtungsöffnung kleiner als der Querschnitt des herzustellenden Gegenstandes ist.
Zusätzlich oder alternativ ist es aber auch möglich, die Belichtungsöffnung nach Art einer Schlitzblende auszubilden, die variable Kanten hat. Dann lässt sich die Belichtungsöffnung relativ zur Fläche des Auffangelementes verändern, sodass das Auffangelement ortsfest angebracht werden kann.
Das Auffangelement lässt sich grundsätzlich an der Beschichtungseinrichtung anordnen, die für den Auftrag einer neuen Pulverschicht verantwortlich ist. Dann kann das Auffangelement mit der Beschichtungsanordnung verfahren werden. Es ist aber auch möglich, für das Spritzpartikel-Auffangelement eine gesonderte verfahrbare oder bewegbare Tragevorrichtung vorzusehen.
Mehrere Belichtungsöffnungen in dem Auffangelement können unterschiedliche Geometrien und/oder Größen aufweisen. Es ist z. B. möglich, langgestreckte, rechteckige, quadratische, runde oder polygone Belichtungsöffnungen vorzusehen, je nachdem, wie der Querschnitt des zu bauenden Gegenstandes ausgebildet ist.
Über der Fläche des Auffangelementes kann vorteilhafterweise ein gerichteter Gasstrom erzeugt werden. Der Gasstrom sorgt dafür, dass durch die Belichtungsöffnung von unten hin durchtretende Schweißspritzer von der Belichtungsöffnung wegtransportiert werden und damit nicht mehr durch die Belichtungsöffnung auf die Oberfläche des herzustellenden Gegenstandes zurückfallen können. Das Führen des Gasstromes über dem Auffangelement hat zudem den Vorteil, dass unter dem Auffangelement kein Gasstrom erzeugt werden muss, wodurch das Pulver in der Bauzone weiter beruhigt wird.
Das Auffangelement kann wenigstens ein Partikelsammelreservoir aufweisen. Als Partikelsammelreservoir kommen grundsätzlich Vertiefungen oder Rinnen infrage, in die die Partikel hineinfallen oder hineingeblasen werden. Grundsätzlich ist es auch möglich, das Auffangelement schwenkbar von einer Freigabeposition in eine Arbeitsposition über der Schicht zu bewegen. In der Freigabeposition ist das Auffangelement hochgeschwenkt, d. h. auf dem Auffangelement abgelagerte Partikel können z. B. durch die Schwenkbewegung in ein rinnenartiges Partikelsammelreservoir befördert und dort gesammelt werden. Außerdem ist das Auffangelement in seiner hochgeklappten Freigabeposition dem Beschichter nicht im Wege, wenn dieser neues Pulver auf die Baufläche fördert.
Im Innenbereich des Auffangelementes ist es zweckdienlich, wenigstens eine nach oben weisende Schutzrippe anzuordnen. Dies führt dazu, dass durch den Gasstrom seitlich neben einer Belichtungsöffnung abgelagerte Schweißpartikel nicht in die Belichtungsöffnung geblasen werden.
Die genaue Anordnung der Schutzrippen auf dem Auffangelement hängt von der Anordnung der Löcher, von der Richtung des Gasstromes und dergleichen ab.
Darüber hinaus ist es möglich, am Auffangelement eine Gasführungsfläche zur Umlenkung eines von oben auf das Auffangelement auftretenden Gasstromes anzuordnen. Die Gasführungsfläche leitet einen von oben auftreffenden Gasstrom in eine zur Fläche des Auffangelementes im Wesentlichen parallele Richtung um. Genauso ist es aber auch möglich, auf dem Auffangelement eine oder mehrere Gasaustrittsdüsen vorzusehen, die für eine parallele Führung eines Gasstromes sorgen.
Im Bereich des Auffangelementes lässt sich auch wenigstens eine Partikelabsaugeinrichtung anordnen, die laufend oder intervallweise abgelagerte Partikel von der Oberfläche des Auffangelementes entfernt. Um unterschiedliche Baugeometrien mit unterschiedlichen Belichtungsöffnungsanordnungen und Geometrien bedienen zu können, ist es grundsätzlich möglich, das Auffangelement austauschbar anzuordnen. Es lässt sich dann z. B. ein Auffangelement mit einer grollen Mittenöffnung austauschen in ein Auffangelement mit vielen kleinen Öffnungen, schlitzartigen Öffnungen und dergleichen. Es ist möglich, das Auffangelement als einfaches Blech auszubilden und in einem Rahmen oder in einer seitlichen Halterung zu lagern, wobei der Rahmen und die seitliche Halterung für die Befestigung des Auffangelementes sorgen.
Die Erfindung ist anhand vorteilhafter Ausführungsbeispiele in den Zeichnungsfiguren näher erläutert. Diese zeigen:
1 einen Schnitt durch eine Vorrichtung zur generativen Herstellung von dreidimensionalen Objekten, nämlich eine Laserschmelz- oder Lasersinteranlage mit einem flächigen Spritzpartikel-Auffangelement, das an einem Beschichter der Vorrichtung angebracht ist;
2 eine Darstellung gem. 1, wobei auf der Oberseite des Spritzpartikel-Auffangelements eine gesonderte Gasdüse angeordnet ist;
3 eine Anlage ähnlich der in 1 und 2 dargestellten, wobei das Spritzpartikel-Auffangelement um eine Drehachse nach oben schwenkbar ist, um die Baufläche für den nächsten Beschichtervorgang freizugeben;
4 eine Anlage ähnlich der in 1 dargestellten, wobei das Auffangelement austauschbar in einem Rahmenelement gehalten ist.
Die insgesamt mit 1 bezeichnete Vorrichtung zur generativen Herstellung von dreidimensionalen Objekten durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines pulverförmigen, infolge eines Sinter- oder Schmelzvorgangs verfestigbaren pulverartigen Aufbaumaterials 2, weist eine Strahlungsquelle auf, die einen gebündelten Strahl 3, z. B. einen Laserstrahl, an die dem jeweiligen Querschnitt des herzustellenden Objekts entsprechenden Stellen auf die Baufläche 4 der Vorrichtung richtet. Die Vorrichtung 1 umfasst eine Tragevorrichtung 5 zum Tragen des Objekts 6 auf einer dem Objekt zugewandten Oberseite 7 eines Trägers 8. Ferner ist eine Beschichtungsvorrichtung 9 vorgesehen, die zum Aufbringen von dünnen Schichten des Aufbaumaterials 2 auf die Tragevorrichtung oder eine zuvor gebildete Schicht dient.
Der Träger 8 ist innerhalb eines Baubehälters 10 höhenverlagerbar angeordnet. Neben dem Baubehälter 10 ist ferner eine Dosierkammer 11 angeordnet, die ebenfalls Aufbaumaterial enthält und einen höhenverlagerbaren Boden 12 aufweist, um Aufbaumaterial 2 in den Zugriffbereich der Beschichtungsvorrichtung 9 hochfördern zu können.
Unmittelbar über der zu belichtenden Schicht des Aufbaumaterials 2 ist ein mit wenigstens einer Belichtungsöffnung 13 zum Durchtritt der elektromagnetischen Strahlung bzw. des Laserstrahls 3 auf die Schicht ein flächiges Spritzpartikel-Auffangelement 14 angeordnet, welches geeignet ist, Spritzpartikel 15, die aus dem Schmelzepool 16 austreten und die Belichtungsöffnung 13 nach oben durchdringen, auf der Oberfläche 17 des Auffangelements 14 aufzufangen.
Das Auffangelement 14 ist bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel an der Beschichtungsvorrichtung 9 befestigt und wird mit dieser in Pfeilrichtung 18 horizontal über der Baufläche verfahren.
Durch das Verfahren des Auffangelements 14 ist die Belichtungsöffnung 13 abhängig vom Ort der Belichtung über der Baufläche 4 bzw. der Schicht des Baumaterials veränderbar angeordnet. Dazu wird das gesamte Auffangelement 14 zusammen mit dem Beschichter hin- und hergefahren.
Es ist aber genauso gut möglich, das Auffangelement 14 an einer gesondert verfahrbaren oder bewegbaren Tragevorrichtung anzuordnen, die beispielsweise in 3 dargestellt ist und geeignet ist, das Auffangelement 14 um eine Achse 19 von einer Arbeitsposition (horizontal) in eine nach oben weisende Freigabeposition hochzuschwenken. In diesem Fall bildet die Achse 19 die Tragevorrichtung, der Schwenkvorgang kann durch einen motorischen Antrieb 20 vollzogen werden.
Es ist auch möglich, die wenigstens eine Belichtungsöffnung innerhalb des Auffangelements verschiebbar anzuordnen, was beispielsweise durch zwei geschlitzte Rollen oder Masken geschehen kann, die im 90° Winkel zueinander angeordnet werden können. Durch die relative Bewegung der geschlitzten Rollen können an unterschiedlichen Stellen Belichtungsöffnungen realisiert werden. Hierbei bestimmt die Schlitzbreite die Größe der Belichtungsöffnung. Es ist aber auch möglich, Belichtungsöffnungen nach Art von Ringblenden ähnlich der Blende einer fotografischen Linse zu verstellen.
Bei dem in Zeichnungsfigur 3 dargestellten Ausführungsbeispiel sind mehrere Belichtungsöffnungen in dem Auffangelement angeordnet, die auch unterschiedliche Geometrien oder Größen haben können. Die Auswahl der Geometrie bzw. Größe der Belichtungsöffnung wird von der Geometrie und der Größe des herzustellenden Bauteils abhängig gemacht.
Es ist auch möglich, Größe und Form der wenigstens einen Belichtungsöffnung 13 veränderbar auszubilden.
Über der Oberfläche 17 des Auffangelements 14 wird vorteilhafterweise ein gerichteter Gasstrom erzeugt. Bei dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist eine Gasführungsfläche 30 vorgesehen, die geeignet ist, einen von oben auf das Auffangelement 14 auftreffenden Gasstrom 31 in eine zur Oberfläche 17 des Auffangelements 14 im Wesentlichen parallele Richtung zu lenken. Es ist aber genauso gut möglich, den Gasstrom 31 durch die in 2 dargestellte Gasdüse oder einen entsprechend angeordneten Ventilator zu erzeugen.
Im Auffangelement 14 ist wenigstens ein Partikelsammelreservoir vorgesehen. Dieses wird bei allen Ausführungsbeispielen durch eine auf der links dargestellten Seite des Auffangelements 14 vorgesehene rinnenartige Vertiefung gebildet. Das Partikelsammelreservoir 35 dient dazu, durch den Gasstrom in den Kantenbereich geförderte Spritzpartikel zu sammeln, sodass sie gezielt von dort durch eine Absaugeeinrichtung 36 entsorgt werden können.
Das Auffangelement 14 kann austauschbar an dem es tragenden Bauteil der Vorrichtung angeordnet sein, dazu kann beispielsweise ein Rahmenelement 40 vorgesehen werden, das in Zeichnungsfigur 4 dargestellt ist. Dann kann das Auffangelement 14 z. B. als relativ einfach gestaltetes, geschnittenes und/oder geprägtes Blech ausgebildet sein. Damit lassen sich in einer Anlage unterschiedliche Auffangelemente 14 verwenden, die unterschiedliche Arten, Größen oder Formen von Belichtungsöffnungen 13 aufweisen.
Es kann auch von Vorteil sein, eine oder mehrere Belichtungsöffnungen 13 des Auffangelements 14 verschließbar auszubilden. Dies kann z. B. durch angenietete Verschlussschieber oder dergleichen realisiert werden.
Eine weitere Art einer vorteilhaften Belichtungsöffnung 13 ist eine lange Schlitzform, wobei die Länge des Schlitzes im Wesentlichen einer Dimension des Baufeldes der Vorrichtung entspricht. Das Auffangelement 14 muss dann im Wesentlichen nur noch rechtwinklig zur Längsrichtung des Schlitzes des Auffangelements verfahren werden.
Bezugszeichenliste

1: Vorrichtung
2: Aufbaumaterial
3: Strahl
4: Baufläche
5: Tragevorrichtung
6: Objekt
7: Oberseite
8: Träger
9: Beschichtungsvorrichtung
10: Baubehälter
11: Dosierkammer
12: Boden v. 11
13: Belichtungsöffnung
14: Auffangelement
15: Spritzpartikel
16: Schmelzepool
17: Oberfläche
18: Pfeil
19: Achse
20: motorischer Antrieb
30: Gasführungsfläche
31: Gasstrom
35: Partikelsammelreservoir
36: Absaugeeinrichtung
40: Rahmenelement

Claims

Vorrichtung (1) zur Herstellung von dreidimensionalen Objekten (6) durch aufeinanderfolgendes Verfestigen von Schichten eines pulverförmigen, infolge eines Sinter- oder Schmelzvorgangs verfestigbaren Aufbaumaterials (2), mittels elektromagnetischer Strahlung (3), insbesondere gebündelter Strahlung, wie einen Elektronenstrahl oder Laserstrahlung, an den dem jeweiligen Querschnitt der Objekte entsprechenden Stellen, wobei die Vorrichtung (1) eine Tragevorrichtung (5) zum Tragen des Objekts (6) auf einer dem Objekt zugewandten Oberseite (7) eines Trägers (8) aufweist und eine Beschichtungsvorrichtung (9) zum Aufbringen von Schichten des Aufbaumaterials (2) auf die Tragevorrichtung oder eine zuvor gebildete Schicht vorgesehen ist, sowie eine Bestrahlungseinrichtung zum Bestrahlen der Schicht des Aufbaumaterials (2) an den den jeweiligen Querschnitt des Objekts (6) entsprechenden Stellen, wobei der Träger (8) innerhalb eines Baubehälters (10) höhenverlagerbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass unmittelbar über der zu belichtenden Schicht des Aufbaumaterials (2) ein mit wenigstens einer Belichtungsöffnung (13) zum Durchtritt der elektromagnetischen Strahlung (3) auf die Schicht versehenes flächiges Spritzpartikel- oder Schweißrauch-Auffangelement (14) angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Belichtungsöffnung (13) abhängig vom Ort der Belichtung über der Schicht veränderbar ist.
Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zum Verfahren der wenigstens einen Belichtungsöffnung (13) das gesamte Auffangelement (14) verfahrbar ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Auffangelement (14) an der Beschichtungsvorrichtung (9) oder einer gesondert verfahrbaren oder bewegbaren Tragevorrichtung angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Belichtungsöffnung (13) innerhalb des Auffangelements (14) verschiebbar angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mehrere Belichtungsöffnungen (13) in dem Auffangelement (14) unterschiedliche Geometrien und/oder Größen aufweisen.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Größen und/oder die Form der wenigstens einen Belichtungsöffnung (13) veränderbar ausgebildet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass über der Fläche des Auffangelements (14) ein gerichteter Gasstrom (31) erzeugbar ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Auffangelement (14) mit wenigstens einem Partikelsammelreservoir (35) versehen ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Auffangelement (14) durch eine Schwenkbewegung von einer Freigabeposition in eine Arbeitsposition über der Schicht absenkbar ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Innenbereich des Auffangelements (14) wenigstens eine nach oben weisende Schutzrippe angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass am Auffangelement (14) entweder eine Gasführungsfläche (30) zur Umlenkung eines von oben auf das Auffangelement auftreffenden Gasstroms (31) in eine zur Oberfläche (17) des Auffangelements (14) im Wesentlichen parallele Richtung und/oder eine Gasdüse und/oder ein Ventilator zur Erzeugung eines zur Oberseite des Auffangelementes (14) i. w. parallelen Gasstromes (31) angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass im Bereich des Auffangelements (14) eine Partikelabsaugeinrichtung (36) angeordnet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Auffangelement (14) austauschbar an dem es tragenden Bauteil der Vorrichtung angeordnet ist.
Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Auffangelement (14) austauschbar in einem Rahmenelement (40) gehalten ist und durch eine Innenfläche mit unterschiedlichen Belichtungsöffnungen (13) gebildet ist.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere Belichtungsöffnungen (13) des Auffangelements (14) verschließbar ausgebildet sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Belichtungsöffnung (13) als langer, schmaler Schlitz ausgebildet ist, dessen Länge im Wesentlichen einer Dimension des Baufeldes der Vorrichtung (1) entspricht und das Auffangelement (14) während der Belichtung der zu belichtenden Schicht sukzessive im Wesentlichen rechtwinkelig zur Längsrichtung des Schlitzes verfahrbar ist.