DE102011075747A1 - Wire saw for use in manufacture of wafers in semiconductor and photovoltaic industries, includes a wire-break monitoring device which is comprised of two electromagnetically acting coils, for monitoring brakeage of saw wire - Google Patents

Wire saw for use in manufacture of wafers in semiconductor and photovoltaic industries, includes a wire-break monitoring device which is comprised of two electromagnetically acting coils, for monitoring brakeage of saw wire Download PDF

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Abstract

The wire saw (10) includes a wire box (18) which is provided with an endless saw wire (16) that is movable in the longitudinal direction. The movable saw wire passes through the guide grooves (14) of guide rollers (12) formed in the wire box, such that the saw wire is spanned around the wire box in parallel, for several times. The wire saw further includes a wire-break monitoring device (38) comprised of two electromagnetically acting coils (34,36) for monitoring brakeage of saw wire.

Description

Die Erfindung betrifft eine Drahtsägevorrichtung zum Herstellen von Wafern für die Halbleiterindustrie nach dem Oberbegriff des Anspruch 1.The invention relates to a wire saw apparatus for producing wafers for the semiconductor industry according to the preamble of claim 1.

Eine solche Drahtsägevorrichtung ist per se bekannt. Als Wafer wird in der Halbleiter-, Photovoltaikindustrie und Mikromechanik eine kreisrunde oder quadratische, ca. 0,2 mm bis 1 mm dicke Scheibe, z.B. aus Silizium, bezeichnet, die ein Substrat (Grundplatte) darstellt, auf dem elektronische Bauelemente, vor allem integrierte Schaltkreise, mikromechanische Bauelemente oder fotoelektrische Beschichtungen durch verschiedene technische Verfahren hergestellt werden. Der größte Teil wird allerdings für Photovoltaikanlagen verwendet. In einer Fertigung werden in der Regel mehrere Wafer zu einem Los zusammengefasst und bevorzugt parallel hergestellt, indem ein Materialrohling in einzelne Scheiben zersägt wird. Die Wafer besteht bevorzugt aus monokristallinem oder multikristallinen Silizium.Such a wire saw apparatus is known per se. As a wafer, in the semiconductor, photovoltaic and micromechanical industries, a circular or square slice about 0.2 mm to 1 mm thick, e.g. silicon, which constitutes a substrate (base plate) on which electronic components, in particular integrated circuits, micromechanical components or photoelectric coatings, are produced by various technical processes. The largest part, however, is used for photovoltaic systems. In a production, several wafers are generally combined into one lot and preferably produced in parallel by sawing a material blank into individual slices. The wafer preferably consists of monocrystalline or multicrystalline silicon.

Silizium und vergleichbare Halbleitermaterialien zeichnen sich durch eine vergleichsweise hohe Sprödigkeit aus, auf die ein Bearbeitungsverfahren angepasst sein muss. Zum Abtrennen von Halbleiterscheiben, beispielsweise aus einem Siliziumrohling, der mit einem runden oder quadratischen Querschnitt ausgebildet sein kann, wird deshalb üblicherweise eine als Multiwire-Säge ausgebildete Drahtsägevorrichtung verwendet.Silicon and comparable semiconductor materials are characterized by a comparatively high brittleness, to which a machining process must be adapted. Therefore, for cutting semiconductor wafers, for example, a silicon ingot which may be formed with a round or square cross-section, a wire sawing machine designed as a multiwire saw is usually used.

Die Säge-Funktion der bekannten Multiwire-Säge ergibt sich dadurch, dass von einer Drahtspule bis zu 100 km Sägedraht über Führungswalzen mehrere tausendmal umgelenkt wird und damit ein Drahtfeld mit zueinander parallelen Schneidedrähten (ähnlich einem Eierschneider) bildet. Das so ausgebildete Drahtfeld erlaubt es, mehrere tausend Wafer gleichzeitig zu schneiden. Am Ende wird der Sägedraht wieder auf eine andere Spule aufgewickelt. Das Drahtfeld kann bekannterweise auch durch einen Endlossägedraht gebildet werden, der von der letzten Führungsnut automatisch wieder zur ersten Führungsnut zurückgeführt wird. Dadurch kann die Länge des Sägedrahts vorteilhafterweise verringert werden. Die Führungswalzen müssen dabei eine identische Drehzahl aufweisen, damit der Sägedraht nicht reißt. Ein Reißen des Sägedrahts kann auch durch Verschleiß hervorgerufen werden.The sawing function of the well-known Multiwire saw results from the fact that from a wire spool up to 100 km saw wire is deflected several thousand times over guide rollers and thus forms a wire field with mutually parallel cutting wires (similar to an egg cutter). The wire field formed in this way allows several thousand wafers to be cut simultaneously. At the end, the saw wire is rewound onto another spool. The wire field can also be known to be formed by a Endlossägedraht, which is automatically returned by the last guide groove back to the first guide. Thereby, the length of the saw wire can be advantageously reduced. The guide rollers must have an identical speed, so that the saw wire does not crack. Tearing of the saw wire can also be caused by wear.

Das Reißen des Sägedrahts führt in jedem Fall zu einer Beeinträchtigung des Sägevorgangs und muss deshalb so früh wie möglich erkannt werden, um den Schaden schnell reparieren zu können. Durch das Reißen des Sägedrahts können innerhalb kurzer Zeit viele der herzustellenden Wafer beschädigt werden, was zu hohen Ausschussraten bei der Herstellung der Wafer führt.The breaking of the saw wire will in any case affect the sawing process and must therefore be recognized as early as possible in order to repair the damage quickly. The breaking of the saw wire can damage many of the wafers to be produced in a short time, resulting in high scrap rates in the production of the wafers.

Die DE 197 28 975 A1 zeigt eine Drahtbruch-Detektionseinrichtung, bei dem ein nicht mehr straff geführtes Drahtende eines gerissenen Sägedraht mit einem Kontaktelement in Berührung kommt und dadurch ein Drahtbruch erkannt wird. Die bekannte Vorrichtung hat den Nachteil, dass der Drahtbruch nicht sofort erkannt werden kann, sondern erst, wenn die gerissene Stelle des Sägedrahts das Kontaktelement passiert. Außerdem arbeitet die Drahtbruch-Detektionseinrichtung berührend und unterliegt demnach einem gewissen Verschleiß.The DE 197 28 975 A1 shows a wire breakage detection device in which a no longer tightly guided wire end of a broken saw wire comes into contact with a contact element and thereby a wire break is detected. The known device has the disadvantage that the wire break can not be detected immediately, but only when the broken point of the saw wire passes the contact element. In addition, the wire break detection device works touching and therefore subject to a certain wear.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Drahtsägevorrichtung mit einer Drahtbruchkontrolleinrichtung bereit zu stellen, die unmittelbar nach einem Reißen des Sägedrahts den Sägedrahtbruch erkennt und mit geringem Aufwand in der Drahtsägevorrichtung installiert werden kann.The invention is therefore an object of the invention to provide a wire saw device with a wire breakage control device that detects the saw wire break immediately after a breakage of the saw wire and can be installed with little effort in the wire saw.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mittels einer Drahtsägevorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass die Drahtbruchkontrolleinrichtung mindestens zwei elektromagnetisch wirkende Spulen aufweist.The object is achieved by means of a wire saw device of the type mentioned above in that the wire breakage control device has at least two electromagnetically acting coils.

Mindestens eine der elektromagnetisch wirkenden Spulen ist in der erfindungsgemäßen Drahtsägevorrichtung bevorzugt derart angeordnet, dass sie einen Abschnitt des Sägedrahtes außerhalb des Drahtfeldes berührungslos umschließt oder umgreift. Der Erfindung liegt die Idee zu Grunde, durch den Sägedraht einen elektrischen Wechselstrom fließen zu lassen, der von der einen Spule induziert wird und dessen Magnetfeld in der anderen Spule eine Spannung erzeugt. Bei einem Drahtbruch kann durch den Sägedraht kein Strom mehr fließen, so dass auch keine Induktionsspannung mehr detektierbar ist. Dies kann beispielsweise in einer Steuereinrichtung der Drahtsägevorrichtung erkannt werden, wobei zum Beispiel veranlasst werden kann, dass die Drahtsägevorrichtung sofort anhält. Optische und/oder akustische Warnanzeigen können den Drahtbruch einem Bedienpersonal der Drahtsägevorrichtung signalisieren, so dass in diesem Fall Sofortmaßnahmen zur Behebung des Drahtbruchs sowie zur Verhinderung von größeren Schäden und eingeleitet werden können. Selbst eine Veränderung des Sägedrahtes, z.B. Querschnittsänderungen durch Längung oder einen Einriss, ist durch den dadurch verringerten ohmschen Widerstand des Sägedrahts (und eine dadurch verringerte Stromstärke) erfassbar, so dass ein sich ankündigender Drahtbruch erkannt werden kann, bevor es zum Bruch kommt.At least one of the electromagnetically acting coils is preferably arranged in the wire saw apparatus according to the invention in such a way that it encloses or grips around a section of the saw wire outside the wire field without contact. The invention is based on the idea of allowing the saw wire to flow an alternating electrical current which is induced by one coil and whose magnetic field generates a voltage in the other coil. In a wire break can flow through the saw wire no more power, so that no induction voltage is more detectable. This can be detected, for example, in a control device of the wire saw device, wherein, for example, the wire saw device can be made to stop immediately. Visual and / or acoustic warning signals can signal the wire break to an operator of the wire saw device, so that in this case, immediate measures to correct the wire break and to prevent major damage and can be initiated. Even a change of the saw wire, e.g. Cross-sectional changes due to elongation or tearing can be detected by the reduced ohmic resistance of the saw wire (and thus a reduced current intensity), so that an initiating wire break can be detected before it breaks.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Drahtsägevorrichtung sind genau zwei elektromagnetisch wirkende Spulen im Bereich des Sägedrahts angeordnet. Dabei ist vorgesehen, dass in mindestens einer ersten Spule die Detektion der Induktionsspannung (wie oben beschrieben) durchgeführt wird. An mindestens einer zweiten Spule wird ein elektrischer Wechselstrom angelegt, der im Bereich der zweiten Spule ein Magnetfeld induziert. Das Magnetfeld wirkt im Bereich des Sägedrahts und induziert dadurch einen Wechselstrom im Sägedraht. Die zweite Spule dient also zum Einspeisen des Stroms in den Sägedraht.In a preferred embodiment of the wire saw device exactly two electromagnetically acting coils are arranged in the region of the saw wire. It is provided that in at least one first coil, the detection of the induction voltage (as described above) performed becomes. At least one second coil, an alternating electrical current is applied, which induces a magnetic field in the region of the second coil. The magnetic field acts in the area of the saw wire and thereby induces an alternating current in the saw wire. The second coil thus serves to feed the current in the saw wire.

Um den Stromfluss im Sägedraht zu gewährleisten, ist der Sägedraht ein Endlosdraht und läuft insbesondere kontinuierlich in einer Richtung um. Dabei ist der Sägedraht über mindestens eine Umlenkrolle von einer ersten Führungswalze zu einer zweiten Führungswalze geführt. Die elektromagnetisch wirkenden Spulen sind dabei in Laufrichtung des Sägedrahts bevorzugt direkt vor oder hinter der jeweiligen Umlenkspule angeordnet.To ensure the flow of current in the saw wire, the saw wire is an endless wire and in particular runs continuously in one direction. In this case, the saw wire is guided over at least one deflection roller from a first guide roller to a second guide roller. The electromagnetically acting coils are preferably arranged in front of or behind the respective deflection coil in the running direction of the saw wire.

Bei einer alternativen Ausführungsform ist mindestens eine der elektromagnetisch wirkenden Spulen in unmittelbarer Nähe neben dem Sägedraht angeordnet. Auch dabei kann durch Induktion ein Strom im Sägedraht eingespeist beziehungsweise durch einen fließendem Wechselstrom im Sägedraht in mindestens einer der elektromagnetisch wirkenden Spulen eine Induktionsspannung erzeugt werden. Diese Alternative weist den Vorteil auf, dass bei einem Austausch des Sägedrahts ein Einfädeln des Sägedrahts in die Spulen entfällt.In an alternative embodiment, at least one of the electromagnetically acting coils is arranged in the immediate vicinity of the saw wire. Here, too, a current can be fed into the sawing wire by induction or an induction voltage can be generated by a flowing alternating current in the sawing wire in at least one of the electromagnetically acting coils. This alternative has the advantage that when replacing the saw wire threading of the saw wire is omitted in the coils.

Die elektromagnetisch wirkenden Spulen können jeweils auf einem Hartstoffträger, bevorzugt in eine Keramikhülse eingelassen oder auf eine Keramikhülse aufgewickel sein, wobei die beiden elektrischen Anschlüsse der Spulen von der Keramikhülse nach außen geführt sind.The electromagnetically acting coils can each be embedded on a hard material carrier, preferably in a ceramic sleeve or wound on a ceramic sleeve, wherein the two electrical terminals of the coils are guided by the ceramic sleeve to the outside.

Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen sowie der nachfolgenden Beschreibung, in der unter Bezugnahme auf die Zeichnung eine bevorzugte Variante der Erfindung im Einzelnen beschrieben ist. Dabei können die in der Zeichnung dargestellten sowie in der Beschreibung und in den Ansprüchen erwähnten Merkmale jeweils einzeln für sich oder in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein.Further advantages, features and details of the invention will become apparent from the subclaims and the following description in which a preferred variant of the invention is described in detail with reference to the drawing. The features shown in the drawing and mentioned in the description and in the claims may each be essential to the invention individually or in any combination.

In der Zeichnung zeigen:In the drawing show:

1 eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Drahtsägevorrichtung; und 1 a perspective view of the wire saw apparatus according to the invention; and

2 die Drahtbruchkontrolleinrichtung in einer detaillierten Darstellung. 2 the wire breakage control device in a detailed representation.

Die 1 zeigt in perspektivischer Darstellung die erfindungsgemäße Drahtsägevorrichtung 10. Die Drahtsägevorrichtung 10 umfasst zwei Führungswalzen 12, die eine Vielzahl von zueinander parallelen Führungsnuten 14 aufweisen. In den Führungsnuten 14 ist ein Endlossägedraht 16, bevorzugt ein Diamantsägedraht, geführt. Der Endlossägedraht 16 ist durch sämtliche Führungsnuten 14 der Führungswalzen 12 nacheinander durchgeschleift, so dass sich ein Drahtfeld 18 aus einer Vielzahl von parallel zueinander geführten Abschnitten des Sägedrahts 16 ergibt.The 1 shows a perspective view of the wire saw device according to the invention 10 , The wire saw device 10 includes two guide rollers 12 having a plurality of mutually parallel guide grooves 14 exhibit. In the guide grooves 14 is an endless wire 16 , preferably a diamond saw wire, guided. The Endlossägedraht 16 is through all the guide grooves 14 the guide rollers 12 looped through one after the other, leaving a wire field 18 from a plurality of parallel to each other guided sections of the saw wire 16 results.

Von der ersten Führungsnut 14 der ersten Führungswalze 12 ist der Endlossägedraht 16 über zwei Umlenkrollen 20 zur letzten Führungsnut 14 der zweiten Führungswalze 12 diagonal über das Drahtfeld 18 geführt. Die Umlenkrollen 20 weisen, wie die Führungswalzen 12, ebenfalls jeweils eine Führungsnut auf.From the first guide groove 14 the first guide roller 12 is the Endlossägedraht 16 over two pulleys 20 to the last guide groove 14 the second guide roller 12 diagonally across the wire field 18 guided. The pulleys 20 Show how the guide rollers 12 , also in each case a guide groove.

In der 1 bewegen sich die Führungswalzen 12 in Drehrichtung 22 und bewegen somit kontinuierlich das gesamte Drahtfeld 18 in Längserstreckung des Sägedrahtes 16 in eine vorgegebene Richtung (an der Oberseite nach linke). Die Bewegungsrichtung des Drahtfeldes 18 muss während des Sägevorgangs nicht verändert, beziehungsweise gewechselt, werden. Der Endlossägedraht 16 läuft in der Drahtsägevorrichtung 10 kontinuierlich um.In the 1 the guide rollers move 12 in the direction of rotation 22 and thus continuously move the entire wire field 18 in longitudinal extension of the saw wire 16 in a given direction (at the top to the left). The direction of movement of the wire field 18 does not have to be changed or changed during the sawing process. The Endlossägedraht 16 runs in the wire saw device 10 continuously around.

Für den Sägevorgang werden z.B. aus Silizium bestehende durchzutrennende Materialblöcke 26 dem Drahtfeld 18 zugeführt. Eine Zuführrichtung der Materialblöcke 26 ist in 1 durch einen Pfeil dargestellt. Das Drahtfeld 18 sägt den Materialblock 26 in einzelne Scheiben, die anschließend als Wafer für die Halbleiterindustrie weiterverwendet werden. For the sawing, for example, be made of silicon durchzutrennende blocks of material 26 the wire field 18 fed. A feed direction of the material blocks 26 is in 1 represented by an arrow. The wire field 18 saws the block of material 26 into individual slices, which are subsequently used as wafers for the semiconductor industry.

An einem von der Führungswalze 12 aufsteigenden Pfad des Sägedrahts 16 ist zwischen der Führungswalze 12 und der Umlenkrolle 20 eine elektromagnetisch wirkende Spule 34 angeordnet. Außerdem ist an einem absteigenden Pfad des Sägedrahts 16 zwischen der zweiten Umlenkrolle 20 und der zweiten Führungswalze 12 ebenfalls eine elektromagnetisch wirkende Spule 36 angeordnet. Die Spulen 34, 36 umschließen dabei den Sägedraht 16. Die Spulen 34, 36 können auch zum Schutz vor Beschädigungen beispielsweise von einer Keramikhülse (nicht dargestellt) getragen werden, wobei die elektrischen Anschlüsse nach außen geführt werden.At one of the guide roller 12 ascending path of the saw wire 16 is between the guide roller 12 and the pulley 20 an electromagnetically acting coil 34 arranged. It is also on a descending path of the saw wire 16 between the second pulley 20 and the second guide roller 12 also an electromagnetically acting coil 36 arranged. The spools 34 . 36 enclose the saw wire 16 , The spools 34 . 36 can also be worn for protection against damage, for example, by a ceramic sleeve (not shown), wherein the electrical connections are led to the outside.

Die elektromagnetisch wirkenden Spulen 34, 36 dienen einer Drahtbruchkontrolle der Drahtsägevorrichtung 10. Die 2 zeigt eine Drahtbruchkontrolleinrichtung 38 in einer detaillierten Darstellung. An Hand der Darstellung gemäß 2 wird das Prinzip der Drahtbruchkontrolle erläutert. Eine bevorzugte Laufrichtung des Sägedrahts 16 ist durch Pfeile 44 gekennzeichnet, ist jedoch für die Erfindung nicht relevant. Zur Drahtbruchkontrolle wird beispielsweise ein elektrischer Wechselstrom I durch die Magnetspule 34 geleitet. Die Magnetspule 34 erzeugt dabei ein Magnetfeld, das im Endlossägedraht 16 einen Wechselstrom induziert, der bei nicht gerissenem Endlossägedraht 16 unter Berücksichtigung eines ohmschen Widerstandes durch den Endlossägedraht 16 fließt. Dieser Strom erzeugt dann durch Induktion in der Magnetspule 36 eine Induktionsspannung U'. Wird keine Spannung U' erzeugt, ist der Stromfluss im Endlossägedraht 16 unterbrochen, was auf einen gerissenen Endlossägedraht 16 hinweist. Entsprechende Maßnahmen können eingeleitet werden.The electromagnetically acting coils 34 . 36 serve a wirebreak control of the wire saw device 10 , The 2 shows a wire breakage control device 38 in a detailed presentation. Based on the representation according to 2 the principle of wire break control is explained. A preferred direction of saw wire 16 is by arrows 44 but is not relevant to the invention. For wire breakage control, for example, an electrical alternating current I through the magnetic coil 34 directed. The magnetic coil 34 creates a magnetic field in the Endlossägedraht 16 induced an alternating current, the non-torn Endlossägedraht 16 taking into account an ohmic resistance through the Endlossägedraht 16 flows. This current is then generated by induction in the magnetic coil 36 an induction voltage U '. If no voltage U 'is generated, the current flow in Endlossägedraht 16 interrupted, indicating a torn Endlossägedraht 16 points. Appropriate measures can be taken.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 19728975 A1 [0006] DE 19728975 A1 [0006]

Claims (7)

Drahtsägevorrichtung (10) zum Herstellen von Wafern, insbesondere für die Halbleiter- und Photovoltaikindustrie, wobei die Drahtsägevorrichtung (10) ein Drahtfeld (18) aus einem in Längserstreckung bewegbaren Sägedraht (16) umfasst, wobei der bewegbare Sägedraht (16) um mindestens zwei voneinander beabstandete, mit Führungsnuten (14) versehene Führungswalzen (12) zur Bildung des Drahtfeldes (18) läuft, wodurch der Sägedraht (16) mehrfach parallel zueinander geführt ist und das Drahtfeld (18) aufspannt, wobei die Drahtsägevorrichtung (10) eine Drahtbruchkontrolleinrichtung (38) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Sägedraht (16) ein Endlosdraht ist und die Drahtbruchkontrolleinrichtung (38) mindestens zwei elektromagnetisch wirkende Spulen (34, 36) aufweist.Wire saw device ( 10 ) for producing wafers, in particular for the semiconductor and photovoltaic industry, wherein the wire sawing apparatus ( 10 ) a wire field ( 18 ) of a longitudinally movable saw wire ( 16 ), wherein the movable sawing wire ( 16 ) spaced apart by at least two, with guide grooves ( 14 ) provided guide rollers ( 12 ) for forming the wire field ( 18 ), whereby the saw wire ( 16 ) is guided several times parallel to each other and the wire field ( 18 ), wherein the wire saw device ( 10 ) a wire breakage control device ( 38 ), characterized in that the sawing wire ( 16 ) is an endless wire and the wire breakage control device ( 38 ) at least two electromagnetically acting coils ( 34 . 36 ) having. Drahtsägevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine der Spulen (34 oder 36) durch Induktion im Sägedraht (16) einen Strom induziert, der seinerseits wieder in der zweiten Spule (36 oder 34) einen Strom erzeugt solange der Sägedraht (16) geschlossen ist.Wire saw apparatus according to claim 1, characterized in that one of the coils ( 34 or 36 ) by induction in the saw wire ( 16 ) induces a current, which in turn is again in the second coil ( 36 or 34 ) generates a current as long as the saw wire ( 16 ) closed is. Drahtsägevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine elektromagnetisch wirkende Spule (34, 36) in einem Bereich außerhalb des Drahtfeldes (18) angeordnet ist.Wire saw apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that at least one electromagnetically acting coil ( 34 . 36 ) in an area outside the wire field ( 18 ) is arranged. Drahtsägevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine elektromagnetisch wirkende Spule (34, 36) – den Sägedraht (16) in einem Abschnitt berührungslos umschließt oder umgreift; oder – in unmittelbarer Nähe neben dem Sägedraht (16) angeordnet ist.Wire saw device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one electromagnetically acting coil ( 34 . 36 ) - the saw wire ( 16 ) encloses or embraces without contact in a section; or - in the immediate vicinity of the saw wire ( 16 ) is arranged. Drahtsägevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sägedraht (16) kontinuierlich in einer Richtung umläuft.Wire saw device according to one of the preceding claims, characterized in that the saw wire ( 16 ) continuously in one direction. Drahtsägevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Sägedraht (16) über mindestens eine Umlenkrolle (20) von einer ersten Führungswalze (12) zu einer zweiten Führungswalze (12) geführt ist.Wire saw device according to one of the preceding claims, characterized in that the saw wire ( 16 ) via at least one deflection roller ( 20 ) from a first guide roller ( 12 ) to a second guide roller ( 12 ) is guided. Drahtsägevorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine elektromagnetisch wirkende Spule (34, 36) auf einem Hartstoffträger, insbesondere an einer Hülse, angeordnet ist.Wire saw device according to one of the preceding claims, characterized in that at least one electromagnetically acting coil ( 34 . 36 ) is arranged on a hard material carrier, in particular on a sleeve.
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