DE102011050684A1 - Apparatus and method for producing highly porous, crystalline surface coatings - Google Patents

Apparatus and method for producing highly porous, crystalline surface coatings Download PDF

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Hasan Arslan
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung, deren Verwendung und ein Verfahren zur Herstellung von hoch porösen, kristallinen Oberflächenbeschichtungen mit wenigstens zwei Sprühvorrichtungen zum Auftragen von Beschichtungsmitteln aus dem Vorratsgefäß (3, 4) auf ein auf einem Probenhalter (1) angeordnetes Material und wenigstens einer Spülvorrichtung (5, 13, 16) zur Entfernung ungebundener Moleküle von der beschichteten Oberfläche.The present invention relates to a device, its use and a method for producing highly porous, crystalline surface coatings with at least two spray devices for applying coating agents from the storage vessel (3, 4) to a material arranged on a sample holder (1) and at least one rinsing device (5, 13, 16) to remove unbound molecules from the coated surface.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie deren Verwendung zur Herstellung von hoch porösen kristallinen Oberflächenbeschichtungen sowie ein Verfahren unter Verwendung der betreffenden Vorrichtung. The present invention relates to a device and its use for the production of highly porous crystalline surface coatings and a method using the device in question.

Metallorganische Gerüstverbindungen (englisch: Metal-organic frameworks – MOF's) sind hybride anorganisch-organische Feststoffe mit hoher Porösität. Zu ihren herausragenden Eigenschaften zählen hohe Gasspeicherkapazitäten für Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe sowie Anwendungspotenziale in den Bereichen Gas-Trennung, Sensorik und Katalyse ( Mueller, U.; Schubert, M.; Teich, F.; Puetter, H.; Schierle-Arndt, K; Pastre, J. J. Mater. Chem. 2006, 16, 626–636 ).Organometallic frameworks (MOFs) are hybrid inorganic-organic solids with high porosity. Their outstanding features include high gas storage capacities for hydrogen and hydrocarbons as well as potential applications in the areas of gas separation, sensor technology and catalysis ( Mueller, U .; Schubert, M .; Pond, F .; Puetter, H .; Schierle-Arndt, K; Pastre, JJ Mater. Chem. 2006, 16, 626-636 ).

Metall-organische Gerüstverbindungen sind komplexe 2D- bzw. 3-D-Zeolith-ähnliche Netzwerke mit perfekter Translationssymmetrie. Basierend auf der Werner-Typ-Koordinationschemie bestehen metallorganische Gerüstverbindungen aus Metallkationen Nm+ (m = 2; 3) und oligo-funktionalisierten organischen Liganden. Das Design und die präzise Steuerung der Bildung der jeweiligen Netzwerke wurden in der Literatur wiederholt beschrieben und untersucht ( G. Ferey, Chem. Soc. Rev., 2008, 37, 191, O.M. Yaghi, M. O´Keeffe, N. W. Ockwig, H.K. Chae, M. Eddaoudi and J. Kim, Nature, 2003, 423, 705 , K. Uemura, R. Matsuda and S. Kitagawa, J. Solid State Chem., 2005, 178, 2420–2429 ). Metal-organic frameworks are complex 2D or 3-D zeolite-like networks with perfect translational symmetry. Based on the Werner-type coordination chemistry, organometallic frameworks consist of metal cations N m + (m = 2; 3) and oligo-functionalized organic ligands. The design and precise control of the formation of the respective networks have been repeatedly described and investigated in the literature ( G. Ferey, Chem. Soc. Rev., 2008, 37, 191, OM Yaghi, M. O'Keeffe, NW Ockwig, HK Chae, M. Eddaoudi and J. Kim, Nature, 2003, 423, 705 . K. Uemura, R. Matsuda and S. Kitagawa, J. Solid State Chem., 2005, 178, 2420-2429 ).

Während die Produktion pulverförmiger metallorganischer Gerüstverbindungen für Speichermaterialien im halbtechnischen Maßstab durchführbar ist, sind die entsprechenden Verfahren für die Nanotechnologie noch nicht ausreichend. Solche Verfahren sind insbesondere erforderlich für die Herstellung von Membranen, katalytischen Beschichtungen, chemischen Sensoren und anderen nanotechnologischen Anwendungen. While the production of powdered organometallic frameworks for storage materials on a pilot scale is feasible, the corresponding methods for nanotechnology are not yet sufficient. Such processes are particularly required for the manufacture of membranes, catalytic coatings, chemical sensors, and other nanotechnology applications.

Für zahlreiche Anwendungen der Beschichtung von Substraten mit MOFs werden grundsätzlich bisher drei Möglichkeiten verfolgt:

  • a) Wachstum bzw. direkte Abscheidung aus solvothermalen Lösungen
  • b) Die Zusammenführung von zuvor in Lösung gebildeten Nanokristallen auf Oberflächen und
  • c) das schrittweise (quasi-epitaktische) „Layer by Layer“-Wachstum auf einer Oberfläche.
( Zacher, D.; Shekhah, O.; Wöll, C.; Fischer, R.A. Chem. Soc. Rev. 2009, 38, 1418–1429 ; Shekhah. O.; Materials, 2010, 3, 1302–1315 )For many applications of the coating of substrates with MOFs basically three possibilities are pursued so far:
  • a) Growth or direct deposition from solvothermal solutions
  • b) The merging of previously formed in solution nanocrystals on surfaces and
  • c) the stepwise (quasi-epitaxial) "layer by layer" growth on a surface.
( Zacher, D .; Shekhah, O .; Woell, C .; Fischer, RA Chem. Soc. Rev. 2009, 38, 1418-1429 ; Shekhah. O.; Materials, 2010, 3, 1302-1315 )

Die Herstellung von metallorganischen Gerüstverbindungen erfolgt gewöhnlich durch solvothermale bzw. hydrothermale Verfahren, bei denen aus einer Mischung der Prekursor-Substanzen kristalline MOF-Partikel ausgefällt werden. Für eine Reihe von Applikationen sind derartige pulverförmige Materialien jedoch nicht geeignet.The preparation of organometallic framework compounds is usually carried out by solvothermal or hydrothermal processes in which crystalline MOF particles are precipitated from a mixture of the precursor substances. However, such powdery materials are not suitable for a number of applications.

Die Herstellung von Multilagen-Oberflächenbeschichtungen aus verschiedenen Substanzen wird teilweise durch zyklisches Eintauchen des Substrats in mit gelösten Substanzen gefüllte Reservoire durchgeführt. Ein Beispiel ist das Verfahren zur Herstellung von Polyelektrolytschichten ( Gero Decher, et al., Science 1997 277, 1232– 1237 ).The preparation of multi-layer surface coatings of various substances is carried out in part by cyclically submerging the substrate in solutes filled reservoirs. An example is the process for the preparation of polyelectrolyte layers ( Gero Decher, et al., Science 1997 277, 1232-1237 ).

Bei diesem Verfahren resultiert die annähernd monomolekulare Ausbildung der Lagen bei gleichzeitiger Haftung der unterschiedlichen Lagen aufeinander aus der Verwendung entgegengesetzt geladener Polyelektrolyte. Nach der Ausbildung einer monomolekularen Schicht tritt eine elektrostatische Abstoßung auf, die Anlagerung weiterer Moleküle gleicher Ladung ist sodann inhibiert. Wird das Substrat jedoch anschließend in ein zweites Reservoir mit einem Polyelektrolyten entgegengesetzter Ladung getaucht, kommt es zu einer elektrostatischen Anbindung einer Monolage dieser Substanz. Durch einen zyklischen Wechsel des Eintauchens in die beiden Reservoire bildet sich eine definierte Schichtung der Polyelektrolytlagen aus. Die Anordnung der Polyelektrolytmoleküle innerhalb einer Lage weist keinerlei kristallinen Charakter auf. In this process, the approximately monomolecular formation of the layers with simultaneous adhesion of the different layers results from the use of oppositely charged polyelectrolytes. After the formation of a monomolecular layer electrostatic repulsion occurs, the addition of further molecules of the same charge is then inhibited. However, if the substrate is subsequently immersed in a second reservoir with a polyelectrolyte of opposite charge, an electrostatic attachment of a monolayer of this substance occurs. By a cyclical change of the immersion in the two reservoirs, a defined layering of the polyelectrolyte layers is formed. The arrangement of the polyelectrolyte molecules within a layer does not have any crystalline character.

Neben der Abscheidung solcher Polyelektrolytschichten aus Lösungen gibt es auch die Herstellung von Multilagen-Beschichtungen unter Verwendung von Sprühprozessen. Beispiele sind die Herstellung von Oberflächenbeschichtungen bzw. Filmen durch zyklisches, abwechselndes Aufsprühen von Poly(styrolsulfonat) und Poly(diallyldimethylammonium)-Lösungen ( Schlenoff J.; Dubas S.; and Farhat T.; Langmuir 2000; 16; 9968–9969 ).In addition to the deposition of such polyelectrolyte layers from solutions, there is also the production of multilayer coatings using spray processes. Examples are the production of surface coatings or films by cyclic, alternating spraying of poly (styrenesulfonate) and poly (diallyldimethylammonium) solutions ( Schlenoff J .; Dubas S .; and Farhat T .; Langmuir 2000; 16; 9968-9969 ).

Der Sprühprozess erfolgt dabei mittels einfacher, von Hand gepumpter Sprühflaschen. Die resultierenden Filme zeigen eine gleichmäßige Oberfläche und weisen wegen des Einsatzes der Layer by Layer-Technik eine Lagenstruktur mit senkrecht zur Oberfläche orientierten Schichten auf ( Izquierdo A.; Ono SS, Voegel J-C.; Schaaf P and Decher G.; Langmuir 2005; 21, 7558–7567 ; Kolasinska M et al.; Langmuir 2009; 25, 1224–1232 ; Lu C and Fery A. Chem. Mater. 2006; 18, 6204–6210 ). The spraying process is carried out by means of simple, hand-pumped spray bottles. The resulting films show a uniform surface and, because of the use of the layer by layer technique, have a layer structure with layers oriented perpendicular to the surface ( Izquierdo A .; Ono SS, Voegel JC .; Schaaf P and Decher G .; Langmuir 2005; 21, 7558-7567 ; Kolasinska M et al .; Langmuir 2009; 25, 1224-1232 ; Lu C and Fery A. Chem. Mater. 2006; 18, 6204-6210 ).

Bekannt ist ferner ein automatisierter Sprühprozess zur Generierung von in der Layer-by-Layer-Technik aufgebrachten Polyelektrolyt-Schichten. Hierbei erfolgt der Sprühprozess über drei extern gesteuerte Magnetventile und Sprühdüsen, die die Polyelektrolyte bzw. Wasser als Spülmedium sequenziell auf eine Oberfläche sprühen. Die Magnetventile erlauben es dabei, das Sprühen der in Vorratsgefäßen unter Druck stehenden Medien elektronisch an- bzw. abzustellen. Der Druck in den Vorratsgefäßen wird über eine Stickstoffzuleitung und manuell einstellbare Druckregler aufrecht erhalten. Zur Erzeugung der Schichten wurden wiederum Polyelektrolyte, Kombinationen aus Polyelektrolyten mit Nanopartikeln sowie eine Kombination aus Polyacrylsäure und Polyethylenoxid, die über Wasserstoffbrückenbindungen wirken, eingesetzt. Keines dieser Systeme weist aber über Röntgendiffraktometrie nachweisbare kristalline Ordnungen auf. Also known is an automated spraying process for the generation of polyelectrolyte layers applied in the layer-by-layer technique. Here, the spraying process via three externally controlled solenoid valves and spray nozzles, which spray the polyelectrolytes or water as a rinsing medium sequentially on a surface. The Solenoid valves make it possible to electronically switch on or off the spraying of the media under pressure in storage vessels. The pressure in the storage vessels is maintained via a nitrogen supply line and manually adjustable pressure regulator. To produce the layers, polyelectrolytes, combinations of polyelectrolytes with nanoparticles, and a combination of polyacrylic acid and polyethylene oxide, which act via hydrogen bonds, were used in turn. However, none of these systems has detectable crystalline orders by X-ray diffractometry.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung war es nunmehr, hoch poröse kristalline Oberflächenbeschichtungen mittels eines Sprühverfahrens zu erzeugen. Es sollte die Möglichkeit der Herstellung großflächiger Schichten geschaffen werden. Ferner sollte gegenüber dem bisherigen Verfahren eine Zeitersparnis erreicht werden. D.h. es sollte eine rasche Synthese viellagiger Schichten ermöglicht werden, wobei kürzere Synthesedauern auch zu konstanteren Bedingungen führen. Zugleich sollte eine Materialersparnis sowie ein günstigerer Verteilungskoeffizient zwischen Molekülen in Lösung und Molekülen an der Oberfläche erzielt werden. The object of the present invention was now to produce highly porous crystalline surface coatings by means of a spraying process. It should be created the possibility of producing large-scale layers. Furthermore, a time saving should be achieved compared to the previous method. That a rapid synthesis of multi-layer coatings should be possible, with shorter synthesis times also leading to more constant conditions. At the same time, a material saving and a favorable distribution coefficient between molecules in solution and molecules at the surface should be achieved.

Diese Aufgabe wird durch die Vorrichtung zur Herstellung von hoch porösen, kristallinen Oberflächenbeschichtungen mit wenigstens zwei Sprühvorrichtungen, über welche unter Zuführung von Trägergas aus einem Vorratsbehälter Precursor-Substanzen zur Herstellung der Oberflächenbeschichtungen aus dem Vorratsgefäß auf die Oberfläche aufgetragen werden und mit wenigstens einer Spülvorrichtung zur Entfernung von auf dem zu beschichtenden Trägermaterial ungebundenen Molekülen, gelöst.This object is achieved by the apparatus for producing highly porous, crystalline surface coatings with at least two spray devices, via which precursor substances for producing the surface coatings from the storage vessel are applied to the surface while supplying carrier gas from a storage container and with at least one rinsing device for removal of unbound on the support to be coated molecules dissolved.

Ferner wird die Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung von hoch porösen kristallinen Oberflächenbeschichtungen, bei welchem

  • a) Precursor-Substanzen mittels Sprühvorrichtungen unter Zuführung von Trägergas aus einem Vorratsbehälter auf eine Oberfläche eines Trägermaterials aufgebracht,
  • b) mittels Spülvorrichtungen ungebundene Moleküle von der beschichteten Oberfläche abgespült,
  • c) weitere Precursur-Substanzen mittels der Sprühvorrichtungen aufgebracht,
  • d) mittels der Spülvorrichtungen ungebundene Moleküle von der beschichteten Oberfläche abgespült,
  • e) die Schritte a) bis d) wiederholt werden, bis die gewünschten Dicken der Oberflächenschichten erreicht sind,
gelöst. Furthermore, the object is achieved by a process for the production of highly porous crystalline surface coatings, in which
  • a) applying precursor substances to a surface of a carrier material by means of spraying devices while supplying carrier gas from a storage container,
  • b) rinsing off unbound molecules from the coated surface by means of rinsing devices,
  • c) applying further precursor substances by means of the spray devices,
  • d) rinsing off unbound molecules from the coated surface by means of the rinsing devices,
  • e) the steps a) to d) are repeated until the desired thicknesses of the surface layers are reached,
solved.

Den Sprühvorrichtungen werden Precursor-Substanzen zugeführt, aus welchen sich nach dem Aufsprühen auf die Beschichtungsoberfläche die Beschichtungsmaterialien bilden und die mithin der Beschichtung der Oberflächen dienen. Beispielsweise sind die Precursor-Substanzen so ausgelegt, dass eine Kristallbildung erst auf der beschichteten Fläche erfolgt, d.h. erst nachdem die Precursor-Substanzen auf der Oberfläche des Trägermaterials anhaften. The spraying devices are supplied with precursor substances from which, after spraying onto the coating surface, the coating materials form and thus serve to coat the surfaces. For example, the precursor substances are designed such that crystal formation only takes place on the coated surface, i. only after the precursor substances adhere to the surface of the carrier material.

In einer erfindungsgemäß bevorzugten Form sind mindestens zwei, bevorzugt 2 bis 10, insbesondere bevorzugt 2 bis 6, Sprühvorrichtungen vorgesehen, welche der Zufuhr unterschiedlich zusammengesetzter Precursor-Substanzen dienen. Z.B. können über eine Sprühvorrichtung organische Komponenten und über die zweite Sprühvorrichtung Metallionen enthaltende Precursor-Substanzen zugeführt werden. Über eine entsprechende Mess-, Steuer- und Regeltechnik wird die Zuführung der einzelnen Precursor-Substanzen geregelt. Vorzugsweise handelt es sich um druckgesteuerte Regelventile. In a preferred form according to the invention, at least two, preferably from 2 to 10, particularly preferably from 2 to 6, spray devices are provided, which serve to supply differently composed precursor substances. For example, For example, organic components can be supplied via a spraying device and precursor substances containing metal ions via the second spraying device. The feed of the individual precursor substances is regulated by means of a corresponding measurement and control technology. Preferably, it is pressure-controlled control valves.

Die Sprühvorrichtungen sind auf die Oberfläche des zu beschichtenden Trägermaterials gerichtet. In einer vorzugsweisen Ausführungsform der Erfindung sind die Sprühvorrichtungen horizontal oder nahezu horizontal ausgerichtet. Die Oberfläche des zu beschichtenden Trägermaterials ist vorzugsweise vertikal oder nahezu vertikal ausgerichtet. In einer bevorzugten Anordnung der Erfindung ist das zu beschichtende Material auf einem Probenbehälter angebracht. Z.B. kann die Befestigung mittels Unterdrucks erfolgen. Der Probenbehälter ist in einer Variante der Erfindung temperierbar ausgelegt. The sprayers are directed to the surface of the substrate to be coated. In a preferred embodiment of the invention, the spraying devices are aligned horizontally or nearly horizontally. The surface of the substrate to be coated is preferably oriented vertically or nearly vertically. In a preferred arrangement of the invention, the material to be coated is mounted on a sample container. For example, the attachment can be done by means of negative pressure. The sample container is designed to be tempered in a variant of the invention.

Das Trägergas wird ebenfalls über eine Prozesssteuerung dosiert und den Sprühvorrichtungen zugeführt. Durch die Zufuhr des Trägergases wird eine Vernebelung der Precursor-Substanzlösung erreicht. The carrier gas is also metered via a process control and fed to the spray devices. By supplying the carrier gas, a nebulisation of the precursor substance solution is achieved.

Die Precursor-Substanzen werden im Rahmen der vorliegenden Erfindung vor Beginn des eigentlichen Sprühprozesses in einem herkömmlichen Lösungsmitteln, bevorzugt Ethanol, DMF, Wasser gelöst und in die Vorratsbehälter gefüllt. In the context of the present invention, the precursor substances are dissolved in a conventional solvent, preferably ethanol, DMF, water, and filled into the reservoir before the actual spraying process begins.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht ein Verfahren, welches im Gegensatz zum Stand der Technik in einem streng kontrollierten Sprühprozess mit einer sequenziellen Abfolge des Aufbringens verschiedener Precursor-Substanzen arbeitet. Im Unterschied zu bisher bekannten Sprühprozessen zur Erzeugung von Polyelektrolyt-Multilagenschichten ergeben sich dabei hinsichtlich der Dosierung und Verteilung der pro Fläche aufzubringenden Substanzmengen sowie der Spülprozesse zwischen dem Aufbringen der Precursor-Substanzen besondere Anforderungen (Erzeugen eines dünnen, sehr gleichmäßigen Flüssigkeitsfilms der Precursorlösung auf dem Trägermaterial, sehr effizienter Spülprozess zur vollständigen Entfernung ungebundener Reste der vorhergegangenen Precursorlösung, strikte Vermeidung eines Kontakts der Precursorlösungen in sämtlichen Anlagenkomponenten wie Ventilen, Schlauchzuführungen, Düsen). Dies wird durch die spezielle erfindungsgemäße Verfahrensweise gewährleistet. The device according to the invention makes possible a method which, in contrast to the prior art, operates in a strictly controlled spraying process with a sequential sequence of application of different precursor substances. In contrast to previously known spray processes for the production of polyelectrolyte multilayer layers, there are special requirements with regard to the metering and distribution of the substance quantities to be applied per area and the rinsing processes between the application of the precursor substances (generation of a thin, very uniform liquid film of the precursor solution on the carrier material , very efficient Rinsing process for complete removal of unbound residues of the previous precursor solution, strict avoidance of contact of the precursor solutions in all system components such as valves, hose feeders, nozzles). This is ensured by the special procedure according to the invention.

Insbesondere ist es ein entscheidendes Merkmal der vorliegenden Erfindung, dass die durch die erfindungsgemäße Verfahrensweise erzeugten Beschichtungen eine nachweisbare Kristallinität, d.h. strenge dreidimensionale Ordnung aufweisen. In particular, it is a critical feature of the present invention that the coatings produced by the method of the present invention have a detectable crystallinity, i. have strict three-dimensional order.

Während die bisher bekannten Sprühprozesse zur Erzeugung von Layer-by-Layer-Anordnungen unter Druck stehende Lösung der Precursor-Substanzen durch eine Düse pressen und dadurch die Zerstäubung erreichen, werden in der vorliegenden Erfindung nach dem Prinzip einer Strahlpumpe die Precursor-Substanzen angesaugt, wobei die o.g. Trägergase verwendet werden. D.h. es wird im Gegensatz zum Stand der Technik eine Zweistoffzerstäubertechnik zur Beschichtung verwendet. Dieses Verfahren ermöglicht die Verwendung von wesentlich geringeren Lösungsmengen als dies bei Druck betriebenen Sprühdüsen möglich ist.While the previously known spray processes for the production of layer-by-layer arrangements press pressurized solution of the precursor substances through a nozzle and thereby achieve the atomization, in the present invention, the precursor substances are sucked in according to the principle of a jet pump the above Carrier gases are used. That In contrast to the prior art, a two-component atomizing technique is used for the coating. This method allows the use of much smaller amounts of solution than is possible with pressure-operated spray nozzles.

Nach jedem Besprühen der Oberfläche wird diese wiederum gespült, um nicht abreagierte Moleküle der Precursor-Substanzlösung zu entfernen. Im zweiten Schritt wird sodann wieder Precursor-Substanzlösung aufgebracht und im nächsten Schritt wieder gespült. In einer erfindungsgemäß bevorzugten Form wird zunächst eine Komponente, z.B. die organische Komponente enthaltende Precursor-Substanz, aufgebracht. Im zweiten Schritt wird sodann die unterschiedliche Komponente, beispielsweise die Metallionen enthaltene Precursor-Substanz, aufgesprüht. Zwischen jedem Sprühvorgang wird abgespült. Die entsprechenden Sprüh- und Spülprozesse werden so oft wiederholt, bis die gewollte Schichtdicke erreicht ist. After each spraying of the surface, it is again rinsed to remove unreacted molecules of the precursor substance solution. In the second step, precursor substance solution is then applied again and rinsed again in the next step. In a preferred form according to the invention, first a component, e.g. the organic component-containing precursor substance applied. In the second step, the different component, for example the metal-containing precursor substance, is then sprayed on. Between each spraying process is rinsed. The corresponding spraying and rinsing processes are repeated until the desired layer thickness is reached.

Durch den Sprühprozess bilden sich die Oberflächenbeschichtungen aus. Die Spülung ist erforderlich, um ungebundene Precursor-Moleküle vollständig zu entfernen, bevor die nächste Komponente aufgesprüht wird. Der Spülprozess muss dabei vollständig und zugleich schonend sein, so dass sich das Aufsprühen der Spüllösung hierfür nur bedingt eignet. Die vorliegende Erfindung setzt daher bevorzugt eine Spülvorrichtung ein, die die Spüllösung über eine Pumpe fördert und über einen Flüssigkeitsverteiler auf der Oberfläche aufbringt. Vorzugsweise ist der Verteiler so ausgelegt, dass die Spüllösung vom oberen Ende der beschichteten Oberflächen des vertikal oder nahezu vertikal angeordneten Trägermaterials auf diesem nach unten abläuft.Through the spray process, the surface coatings form. The rinse is required to completely remove unbound precursor molecules before the next component is sprayed on. The rinsing process must be complete and at the same time gentle, so that the spraying of the rinsing solution is only of limited use for this purpose. The present invention therefore preferably employs a flushing device which delivers the rinse solution via a pump and applies it via a liquid distributor on the surface. Preferably, the manifold is designed so that the rinse solution drains down from the top of the coated surfaces of the vertically or nearly vertically disposed substrate.

Die durch den Sprühvorgang und die Spülung anfallende Flüssigkeit wird am Boden gesammelt und abgesaugt. The liquid produced by the spraying process and the rinsing is collected at the bottom and sucked off.

In einer erfindungsgemäß bevorzugten Form befinden sich Sprühvorrichtung, Spülvorrichtung und Probenhalter in einer geschlossenen Kammer. Es handelt sich hierbei vorzugsweise um eine klimatisierte Kammer, in welcher eine Kontrolle von Temperatur und Luftfeuchtigkeit erfolgt. Beides wird in Abhängigkeit von den Messergebnissen geregelt. In a preferred form according to the invention, the spraying device, flushing device and sample holder are located in a closed chamber. This is preferably an air-conditioned chamber in which a control of temperature and humidity takes place. Both are regulated depending on the measurement results.

Für die Verwendung flüchtiger Precursor-Substanz-Lösungsmittel können auch besondere Sicherheitsvorkehrungen vorgesehen sein. So kann die Klimakammer mit Stickstoff gespült werden, um die Bildung explosiver Gasgemische zu vermeiden. Special safety precautions may also be provided for the use of volatile precursor-substance solvents. Thus, the climate chamber can be purged with nitrogen to avoid the formation of explosive gas mixtures.

Für die Precursor-Substanzen werden im Falle der Metallionen vorzugsweise Acetatverbindungen eingesetzt, da diese bereits in Lösung in einer Konformation vorliegen, die der im späteren Kristallgitter entspricht.In the case of the metal ions, acetate compounds are preferably used for the precursor substances, since these are already present in solution in a conformation which corresponds to that in the later crystal lattice.

Als organische Komponenten werden vorzugsweise Carboxylate und Pyridinverbindungen eingesetzt. Carboxylates and pyridine compounds are preferably used as organic components.

Als Metallionen werden vorzugsweise Kupfer- Eisen- und/oder Zinkionen, insbesondere Cu(II), Zn(II), Fe(III), eingesetzt The metal ions used are preferably copper iron and / or zinc ions, in particular Cu (II), Zn (II), Fe (III)

Die Precursor-Substanzen liegen vorzugsweise als Lösungen vor. Als Lösemittel kommt die gesamte Palette herkömmlicher Lösemittel, bevorzugt Ethanol, DMF, Wasser in Betracht.The precursor substances are preferably present as solutions. Suitable solvents are the entire range of conventional solvents, preferably ethanol, DMF, water into consideration.

Als Trägergas kommen vorzugsweise inerte Gase in Betracht. Besonders bevorzugt sind Stickstoff, Argon, Helium.Suitable carrier gases are preferably inert gases. Particularly preferred are nitrogen, argon, helium.

Als Spülmittel werden erfindungsgemäß insbesondere Ethanol, DMF, Wasser eingesetzt.As a rinsing agent according to the invention, in particular ethanol, DMF, water are used.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren wird eine Beschichtung erreicht, welche eine geordnete Kristallstruktur aufweist. Die entstehende Schicht ist hoch porös mit Porösitäten zwischen 8 bis 50 Angström. Die Erfindung erlaubt erstmals die schnelle und sichere Herstellung homogen kristalliner und hoch poröser Beschichtungen. The method according to the invention achieves a coating which has an ordered crystal structure. The resulting layer is highly porous with porosities between 8 to 50 angstroms. For the first time, the invention enables the rapid and reliable production of homogeneously crystalline and highly porous coatings.

Als Anwendungsmöglichkeiten wird auf die einfache und direkte Herstellung von Sensoren durch Beschichten von Elektroden für Quarzkristallwaagen hingewiesen. Ferner ist der Einschluss katalytisch hochwirksamer metallischer Nanocluster in poröse Gerüste möglich. Die MOF-Struktur ermöglicht einen Kontakt der Reaktanten mit dem Katalysator bei gleichzeitiger Verhinderung einer Agglomeration oder Ablösung der Nanocluster. Die Generierung neuartiger Membranen mit eindeutig definierter Porenstruktur und Ausrichtung wird durch die erfindungsgemäßen Verfahren ebenfalls ermöglicht. As applications is pointed to the simple and direct production of sensors by coating electrodes for quartz crystal scales. Furthermore, the inclusion of catalytically highly effective metallic nanoclusters in porous frameworks is possible. The MOF structure allows contact of the reactants with the catalyst while preventing a Agglomeration or detachment of the nanoclusters. The generation of novel membranes with a clearly defined pore structure and orientation is likewise made possible by the processes according to the invention.

Im Folgenden wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert:The invention is explained in more detail below with reference to the figures:

1 zeigt ein Beispiel einer erfindungsgemäß einsetzbaren Anlage. 1 shows an example of an inventively usable plant.

2 zeigt das Ergebnis des Röntgendiffraktogramms gemäß Beispiel 1 (HKUST-1 (40 Lagen) auf einer COOH-funktionalisierten Oberfläche). 2 shows the result of the X-ray diffractogram according to Example 1 (HKUST-1 (40 layers) on a COOH-functionalized surface).

3 zeigt das Röntgendiffraktogramm gemäß Beispiel 2 (Cu2(bdc)2 MOF (40 Lagen) auf einer COOH-funktionalisierten Oberfläche). 3 shows the X-ray diffractogram according to Example 2 (Cu 2 (bdc) 2 MOF (40 layers) on a COOH-functionalized surface).

4 zeigt das Röntgendiffraktogramm gemäß Beispiel 3 (Cu2(bdc)2(dabco) MOF (20 Lagen) auf einer Pyridin-funktionalisierten Oberfläche). 4 shows the X-ray diffractogram according to Example 3 (Cu 2 (bdc) 2 (dabco) MOF (20 layers) on a pyridine-functionalized surface).

Die Bezugszeichen in 1 haben folgende Bedeutung:The reference numerals in 1 have the following meaning:

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
temperier- und verfahrbare Vakuumhalteeinheit.Temperature-controlled and movable vacuum holding unit.
22
Gasflasche für Inertgas.Gas bottle for inert gas.
33
Vorlagegefäß für die Precursor-Substanz enthaltend Komponente A.Storage vessel for the precursor substance containing component A.
44
Vorlagegefäß für die Precursor-Substanz enthaltend Komponente B.Storage vessel for the precursor substance containing component B.
55
Vorlage für Spüllösung.Template for rinse solution.
66
Perforierte Bodenplatte.Perforated floor plate.
77
Anschluss zum Absaugen von Gas.Connection for suction of gas.
88th
Ablass für Flüssigkeiten.Drain for liquids.
99
PC mit Steuerungssoftware.PC with control software.
1010
Ventil-Prüf- bzw. Prüfverteiler mit Kommunikation zum PC.Valve test or test distributor with communication to the PC.
1111
Sprühvorrichtung für die Precursor-Substanz enthaltend Komponente A.Spraying device for the precursor substance containing component A.
1212
Sprühvorrichtung für die Precursor-Substanz enthaltend Komponente B.Spraying device for the precursor substance containing component B.
1313
Auslassdüse für Spüllösung.Outlet nozzle for rinsing solution.
1414
Wanddurchführung mit Schnellverbindern.Wall duct with quick connectors.
1515
temperierbare Klimakammer.temperature controlled climate chamber.
1616
Pumpe für Spüllösung.Pump for rinsing solution.
1717
Stickstoffversorgung für Druckluftventile.Nitrogen supply for compressed air valves.
1818
Steuerblock für Druckluftventile.Control block for compressed air valves.

Die Sprühvorrichtungen 11 und 12 können unter Einsatz eines inerten Gases 2 die Precursor-Substanzen mit den Komponenten A und B tropfenfrei auf eine Oberfläche aufnebeln. Die Komponenten A und B sind voneinander verschiedene chemische Verbindungen. Z.B. kann A die organische Komponente und B die Metallionen enthaltende Komponente sein. Diese werden über die Sprühvorrichtung 11 und 12 getrennt aufgebraucht, d.h. Komponente A über die Sprühvorrichtung 11 und Komponente B über die Sprühvorrichtung 12. Die Spülvorrichtung 13 erlaubt mit ihrer Vorlage 5 und der Pumpe 16 die Zufuhr von Spüllösung zur vollständigen Entfernung ungebundener Precursor-Moleküle, ohne die aufgesprühten Schichten negativ zu beeinflussen. Hierfür wird mittels der Pumpe 16 aus der Vorlage 5 Spüllösung auf die beschichtete Oberfläche aufgebracht. The sprayers 11 and 12 can be done using an inert gas 2 the precursor substances with the components A and B mist-free on a surface. Components A and B are different chemical compounds from each other. For example, A may be the organic component and B may be the metal ion-containing component. These are over the spray device 11 and 12 used separately, ie component A via the spray device 11 and component B via the spraying device 12 , The flushing device 13 allowed with their template 5 and the pump 16 the supply of rinse solution for complete removal of unbound precursor molecules, without negatively affecting the sprayed layers. For this purpose, by means of the pump 16 from the template 5 Rinse applied to the coated surface.

Die Sprühvorrichtungen 11 und 12 sind mit den Vorratsgefäßen 3 und 4 verbunden. Durch die Zuführung von Trägergas aus dem Vorratsbehälter 2 wird nach dem Prinzip einer Strahlpumpe Lösung an Precursor-Substanzen aus den Vorratsbehältern 3 und 4 angesaugt. Die Öffnung der Precursor-Substanz-Zuführung an den Sprühvorrichtungen 11 und 12 erfolgt über druckluftgesteuerte Regelventile. Dagegen kann die Zufuhr von Trägergas über die computergesteuerte Prozesssteuerung 9 und 10 erfolgen. Die Vorrichtung 10 ist hierbei ein Ventil- bzw. Sprühverteiler, welcher über einen PC 9 gesteuert wird. The sprayers 11 and 12 are with the storage vessels 3 and 4 connected. By the supply of carrier gas from the reservoir 2 is based on the principle of a jet pump solution of precursor substances from the storage tanks 3 and 4 sucked. The opening of the precursor substance supply to the spray devices 11 and 12 via compressed air controlled control valves. In contrast, the supply of carrier gas via the computer-controlled process control 9 and 10 respectively. The device 10 Here is a valve or spray distributor, which via a PC 9 is controlled.

Das Material, dessen Oberfläche beschichtet werden soll, ist vertikal auf dem Probenhalter 1 angebracht. Das Material wird an diesen mittels Unterdruck angesaugt. The material whose surface is to be coated is vertical on the sample holder 1 appropriate. The material is sucked into this by means of negative pressure.

Die Spülvorrichtung 13 ist derart angeordnet, dass aus ihr austretende Spülmittel an der Oberfläche des beschichteten Materials vom oberen Ende her entlang läuft und so nicht abreagierte Precursor-Substanz-Moleküle abgespült werden. Ablaufende Spüllösungen laufen über die perforierte Bodenplatte 6 ab. Über die Öffnung 8 können die Flüssigkeiten abgesaugt werden. The flushing device 13 It is arranged in such a way that rinsing agents leaving it run along the surface of the coated material from the upper end, thus rinsing unreacted precursor substance molecules. Expiring rinse solutions run over the perforated bottom plate 6 from. About the opening 8th The liquids can be sucked off.

In der erfindungsgemäßen Anlage gemäß 1 sind Probenhalter 1, Spülvorrichtung 13 sowie Beschichtungsvorrichtungen 11 und 12 in einer Klimakammer 15 angeordnet, in welcher Temperatur und Luftfeuchtigkeit kontrolliert und geregelt werden können. In the plant according to the invention according to 1 are sample holders 1 , Rinsing device 13 as well as coating devices 11 and 12 in a climatic chamber 15 arranged, in which temperature and humidity can be controlled and regulated.

Die Vorrichtung gemäß 1 enthält auch konstruktive Elemente zur Verwendung flüchtiger Precursor-Substanz-Lösungsmittel, z.B. von Ethanol. Hierfür ist die Absaugvorrichtung 7 vorgesehen. D. h. mittels dieser Vorrichtung kann die Klimakammer 15 mittels Stickstoff gespült werden, um die Bildung explosiver Gasgemische zu vermeiden. The device according to 1 also contains constructive elements for use with volatile precursor-substance solvents, eg ethanol. This is the suction device 7 intended. Ie. by means of this device, the climatic chamber 15 be purged with nitrogen to avoid the formation of explosive gas mixtures.

Alle Anschlüsse an die Klimakammer können über die Schnellkupplungen 14 bewerkstelligt werden. All connections to the climate chamber can be made via the quick-release couplings 14 be accomplished.

Beispiel 1: Example 1:

Herstellung des MOF Cu3(btc)2 × H2O HKUST-1 (40 Lagen) auf einer COOH funktionalisierten Oberfläche. (btc = 1,3,5-Benzentricarboxylsäure; HKUST = Hong-Kong University of Science and Technology).Preparation of the MOF Cu 3 (btc) 2 × H 2 O HKUST-1 (40 layers) on a COOH-functionalized surface. (btc = 1,3,5-benzenetricarboxylic acid; HKUST = Hong Kong University of Science and Technology).

Als Vorbereitung für den Versuch wurde auf einem goldbedampften Stück (ca. 15 × 20 mm) eines Siliziumwafers durch Eintauchen in eine Mercaptohexadecansäure-(MHDA)-Lösung für 48 Stunden eine selbstassemblierte Monolage (SAM) erzeugt. Nach dem Eintauchen wurde die Probe mit Ethanol gespült und anschließend mit Stickstoff getrocknet. In preparation for the experiment, a self-assembled monolayer (SAM) was produced on a gold-plated piece (about 15 x 20 mm) of a silicon wafer by immersion in a mercaptohexadecanoic acid (MHDA) solution for 48 hours. After immersion, the sample was rinsed with ethanol and then dried with nitrogen.

Für den Sprühprozess wurde zuerst Cu(CH3COO)2-Lösung für 15 Sekunden auf die SAM gesprüht. Als zweite Substanz wurde für 25 Sekunden mit BTC (Benzentricarboxylsäure) gesprüht. Zwischen jedem Sprühschritt wurde die Probe mit Ethanol gespült. Insgesamt wurden 40 Zyklen der beschriebenen Abfolge durchgeführt. Die resultierende Probe wurde getrocknet und mittels XRD analysiert. Das resultierende Röntgendiffraktogramm zeigt zwei scharfe Intensitätspeaks, die den streng kristallinen und räumlich geordneten Charakter der gebildeten Schicht belegen. Die entsprechenden Schichten bestehen aus 40 Lagen.For the spraying process, Cu (CH 3 COO) 2 solution was first sprayed onto the SAM for 15 seconds. As a second substance, sprayed with BTC (benzene tricarboxylic acid) for 25 seconds. Between each spraying step, the sample was rinsed with ethanol. A total of 40 cycles of the described sequence were performed. The resulting sample was dried and analyzed by XRD. The resulting X-ray diffractogram shows two sharp intensity peaks that demonstrate the strictly crystalline and spatially ordered character of the layer formed. The corresponding layers consist of 40 layers.

Beispiel 2:Example 2:

Herstellung des MOF Cu2 (bdc)2 (40 Lagen) auf einer COOH funktionalisierten Oberfläche (bdc = 1,4 Benzoldicarboxylsäure).Preparation of the MOF Cu 2 (bdc) 2 (40 layers) on a COOH-functionalized surface (bdc = 1.4 benzenedicarboxylic acid).

Als Vorbereitung für den Versuch wurde auf einem goldbedampften Stück (ca. 15 × 20 mm) eines Siliziumwafers durch Eintauchen in eine Mercaptohexadecansäure-(MHDA)-Lösung für 48 Stunden ein SAM erzeugt. Nach dem Eintauchen wurde die Probe mit Ethanol gespült und anschließend mit Stickstoff getrocknet. In preparation for the experiment, a SAM was produced on a gold-plated piece (about 15 x 20 mm) of a silicon wafer by immersion in a mercaptohexadecanoic acid (MHDA) solution for 48 hours. After immersion, the sample was rinsed with ethanol and then dried with nitrogen.

Für den Sprühprozess wurde zuerst Cu(CH3COO)2-Lösung für 15 Sekunden auf die SAM gesprüht. Als zweite Substanz wurde für 25 Sekunden mit bdc (bdc = 1,4-Benzendicarboxylsäure) gesprüht. Zwischen jedem Sprühschritt wurde die Probe mit Ethanol gespült. Insgesamt wurden 40 Zyklen der beschriebenen Abfolge durchgeführt. Die resultierende Probe wurde getrocknet und mittels XRD analysiert. Insgesamt ergab sich eine 40-lagige Beschichtung. Die resultierenden sehr scharfen Intensitätspeaks belegen auch für diesen zweiten MOF-Typ den streng kristallinen und räumlich geordneten Charakter der gebildeten Schicht. For the spraying process, Cu (CH 3 COO) 2 solution was first sprayed onto the SAM for 15 seconds. As a second substance, sprayed with bdc (bdc = 1,4-benzenedicarboxylic acid) for 25 seconds. Between each spraying step, the sample was rinsed with ethanol. A total of 40 cycles of the described sequence were performed. The resulting sample was dried and analyzed by XRD. Overall, a 40-layer coating resulted. The resulting very sharp intensity peaks also prove the strictly crystalline and spatially ordered character of the layer formed for this second MOF type.

Beispiel 3:Example 3:

Herstellung des MOF Cu2(ndc)2 (dabco) (20 Lagen) auf einer Pyridin funktionalisierten Oberfläche (20 Zyklen [Cu2(ndc)2(dabco)] auf Pyridin-SAM).Preparation of MOF Cu 2 (ndc) 2 (dabco) (20 layers) on a pyridine functionalized surface (20 cycles [Cu 2 (ndc) 2 (dabco)] on pyridine-SAM).

Als Vorbereitung für den Versuch wurde auf einem goldbedampften Stück (ca. 15 × 20 mm) eines Siliziumwafers durch Eintauchen in eine 4,4-Pyridyl-benzolmethanthiol (PBMT)-Lösung für 30 Minuten ein SAM erzeugt. Nach dem Eintauchen wurde die Probe mit Ethanol gespült und anschließend mit Stickstoff getrocknet.In preparation for the experiment, a SAM was formed on a gold-plated piece (about 15 x 20 mm) of a silicon wafer by immersion in a 4,4-pyridylbenzene methanethiol (PBMT) solution for 30 minutes. After immersion, the sample was rinsed with ethanol and then dried with nitrogen.

Für den Sprühprozess wurde zuerst Cu (CH3C00)2-Lösung für 15 Sekunden auf die SAM gesprüht. Als zweite Substanz wurde für 25 Sekunden mit einer 1:1 Mischung aus ndc (ndc = 1,4 Naphtalindicarboxylsäure) und dabco = 1,4-Diazabicyclo [2.2.2] octan gesprüht.For the spraying process, Cu (CH 3 C00) 2 solution was first sprayed onto the SAM for 15 seconds. The second substance was sprayed for 25 seconds with a 1: 1 mixture of ndc (ndc = 1.4 naphthalene dicarboxylic acid) and dabco = 1,4-diazabicyclo [2.2.2] octane.

Zwischen jedem Sprühschritt wurde die Probe mit Ethanol gespült. Insgesamt wurden 20 Zyklen der beschriebenen Abfolge durchgeführt. Die resultierende Probe wurde getrocknet und mittels XRD analysiert. Insgesamt ergab sich eine 20-lagige Beschichtung.Between each spraying step, the sample was rinsed with ethanol. A total of 20 cycles of the described sequence were performed. The resulting sample was dried and analyzed by XRD. Overall, a 20-layer coating resulted.

In diesem Beispiel wurde durch Änderung des zugrunde liegenden SAMs eine andere räumliche Ausrichtung des entstehenden Kristallgitters erreicht.In this example, changing the underlying SAM resulted in a different spatial orientation of the resulting crystal lattice.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte Nicht-PatentliteraturCited non-patent literature

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Claims (14)

Vorrichtung zur Herstellung von hoch porösen, kristallinen Oberflächenbeschichtungen mit wenigstens zwei Sprühvorrichtungen, über welche unter Zuführung von Trägergas aus einem Vorratsbehälter (2) Precursor-Substanzen zur Herstellung der Oberflächenbeschichtungen aus dem Vorratsgefäß (3, 4) auf die Oberfläche eines zu beschichtenden Trägermaterials aufgetragen werden und mit wenigstens einer Spülvorrichtung (5, 13, 16) zur Entfernung ungebundener Moleküle von der beschichteten Oberfläche.Device for the production of highly porous, crystalline surface coatings with at least two spray devices, by means of which carrier gas is supplied from a storage container ( 2 ) Precursor substances for producing the surface coatings from the storage vessel ( 3 . 4 ) are applied to the surface of a substrate to be coated and with at least one rinsing device ( 5 . 13 . 16 ) to remove unbound molecules from the coated surface. Vorrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, dass das Trägermaterial auf einen Probenhalter (1) angeordnet ist.Apparatus according to claim 1, characterized in that the carrier material on a sample holder ( 1 ) is arranged. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass sie Regel- und Steuervorrichtungen für die Zufuhr des Trägergases (9, 10) aus dem Vorratsbehälter (2) und die Zufuhr von Precursor-Substanzen aus den Vorratsgefäßen (3, 4) aufweist.Device according to one of the preceding claims, characterized in that it comprises control and supply devices for the supply of the carrier gas ( 9 . 10 ) from the reservoir ( 2 ) and the supply of precursor substances from the storage vessels ( 3 . 4 ) having. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch gekennzeichnet, dass der Probenaufnahmebehälter (2) und die Sprühvorrichtungen (11, 12) und die Spülvorrichtung (5) in einem geschlossenen Raum (15) angeordnet sind, dessen Temperatur und Luftfeuchtigkeit gemessen, gesteuert und geregelt wird.Device according to one of the preceding claims, characterized in that the sample container ( 2 ) and the spray devices ( 11 . 12 ) and the flushing device ( 5 ) in a closed room ( 15 ) are arranged, the temperature and humidity measured, controlled and regulated. Verfahren zur Herstellung von hoch porösen kristallinen Oberflächenbeschichtungen, bei welchem a) Precursor-Substanzen mittels Sprühvorrichtungen (11, 12) unter Zuführung von Trägergas aus einem Vorratsbehälter auf eine Oberfläche eines Trägermaterials aufgebracht, b) mittels Spülvorrichtungen (5, 13, 18) ungebundene Moleküle von der beschichteten Oberfläche abgespült, c) weitere Precursor-Substanzen mittels der Sprühvorrichtungen (11, 12) aufgebracht, d) mittels der Spülvorrichtungen (5, 13, 18) ungebundene Moleküle von der beschichteten Oberfläche abgespült, e) die Schritte a bis d wiederholt werden, bis die gewünschten Dicken der Oberflächenschichten erreicht sind.Process for the preparation of highly porous crystalline surface coatings, in which a) precursor substances are spray-dried ( 11 . 12 ) is applied to a surface of a carrier material while supplying carrier gas from a storage container, b) by means of rinsing devices ( 5 . 13 . 18 ) rinsed off unbound molecules from the coated surface, c) further precursor substances by means of the spray devices ( 11 . 12 ), d) by means of the flushing devices ( 5 . 13 . 18 rinse unbound molecules from the coated surface; e) repeat steps a through d until the desired surface layer thicknesses are achieved. Verfahren nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, dass in den einzelnen Verfahrensschritten wenigstens zwei voneinander verschiedene Precursor-Substanzen eingesetzt werden.A method according to claim 5, characterized in that in the individual process steps at least two mutually different precursor substances are used. Verfahren nach Anspruch 6 dadurch gekennzeichnet, dass eine Precursor-Substanz organische und eine weitere Precursor-Substanz Metallionen enthält.A method according to claim 6, characterized in that a precursor substance contains organic and a further precursor substance metal ions. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass als organische Komponente 1,3,5-Benzentricarboxylsäure, 1,4-Benzoldicarboxylsäure oder Naphthalindicarboxylsäure eingesetzt werden.Process according to claim 7, characterized in that 1,3,5-benzenetricarboxylic acid, 1,4-benzenedicarboxylic acid or naphthalenedicarboxylic acid are used as the organic component. Verfahren nach Anspruch 7 dadurch gekennzeichnet, dass als Metallionen Cu(II), Zn(II), Fe(III) eingesetzt werden.A method according to claim 7, characterized in that are used as metal ions Cu (II), Zn (II), Fe (III). Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 9 dadurch gekennzeichnet, dass die Precursor-Substanz unter Einsatz von Trägergas in Form von in dem Gas fein verteilten Flüssigkeitstropfen aufgebracht werden.Method according to one of claims 5 to 9, characterized in that the precursor substance are applied using carrier gas in the form of finely distributed liquid droplets in the gas. Verfahren nach Anspruch 10 dadurch gekennzeichnet, dass als Trägergas inertes Gas eingesetzt wird.A method according to claim 10, characterized in that inert gas is used as the carrier gas. Verfahren nach Anspruch 11 dadurch gekennzeichnet, dass als Trägergas Stickstoff, Argon und/oder Helium eingesetzt wird.A method according to claim 11, characterized in that nitrogen, argon and / or helium is used as the carrier gas. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 12 dadurch gekennzeichnet, dass als Spülmittel Ethanol, Wasser und/oder DMF eingesetzt wird.Method according to one of claims 5 to 12, characterized in that as a rinsing agent ethanol, water and / or DMF is used. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 zur Herstellung hoch poröser kristalliner Oberflächenbeschichtungen.Use of the device according to one of claims 1 to 4 for the production of highly porous crystalline surface coatings.
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