DE102010061079A1 - Radiation detector has fluid nozzle that is provided for evacuating or filling housing interior with fluid, and housing formed such that radiation sensor and fluid nozzle are separable upon opening the housing - Google Patents

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Abstract

The detector has housing (1) with housing portions (2) whose housing interior (5) is hermetically sealed. A radiation window (4) is integrated in the housing, for permitting radiation to be detected into the housing interior. A radiation sensor (6) is received in the housing interior, such that the light passing through the radiation window is detectable. A fluid nozzle (10) is provided for evacuating or filling the housing interior with the fluid. The radiation sensor and the fluid nozzle formed in housing portions are separable upon opening of the housing. An independent claim is included for method for processing or servicing radiation detector.

Description

Die Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor sowie ein Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines Strahlungsdetektors.The invention relates to a radiation detector and a method for processing or maintenance of a radiation detector.

Hintergrund der ErfindungBackground of the invention

Derartige Strahlungsdetektoren verfügen üblicherweise über ein Gehäuse, welches einen Gehäuseinnenraum umschließt. In dem Gehäuseinnenraum ist wenigstens ein Strahlungssensor angeordnet, mit dem Strahlung detektierbar ist, die durch ein in dem Gehäuse gebildetes Strahlungsfenster in den Gehäuseinnenraum einfällt.Such radiation detectors usually have a housing which encloses a housing interior. In the housing interior at least one radiation sensor is arranged, with which radiation can be detected, which is incident through a radiation window formed in the housing into the housing interior.

Um in den Gehäuseinnenraum ein für den Strahlungssensor geeignete Umgebung zu schaffen, verfügen derartige Strahlungsdetektoren über einen Fluidstutzen, über den der Gehäuseinnenraum von außen evakuierbar und/oder mit einem Fluid befüllbar ist, beispielsweise einem Schutzgas. Zur Verbesserung der Detektionseigenschaften kann weiterhin vorgesehen sein, den im Gehäuseinnenraum angeordneten Strahlungssensor zu temperieren, insbesondere zu kühlen.In order to create a suitable environment for the radiation sensor in the housing interior, such radiation detectors have a fluid nozzle, via which the housing interior can be evacuated from the outside and / or filled with a fluid, for example an inert gas. To improve the detection properties may further be provided to temper the arranged in the housing interior radiation sensor, in particular to cool.

Aus dem Dokument US 6,307,590 B1 ist eine gekühlte CCD-Kamera bekannt, bei der das Gehäuse von einem Bodenteil und einem hierauf montierten Kopfteil gebildet wird, in welchem das Strahlungsfenster angeordnet ist. Elektrische Anschlussleitungen sind durch hermetisch dichte Durchbrüche im Bodenteil hindurch nach außen geführt. Die bekannte CCD-Kamera weist keinen Fluidstutzen auf.From the document US Pat. No. 6,307,590 B1 a cooled CCD camera is known in which the housing is formed by a bottom part and a head part mounted thereon, in which the radiation window is arranged. Electrical connection lines are led through hermetically sealed openings in the bottom part to the outside. The known CCD camera has no fluid nozzle.

Aus dem Dokument US 5,508,740 ist ein luftdichtes Gehäuse für einen Festkörper-Strahlungssensor mit integriertem Temperatursensor bekannt.From the document US 5,508,740 is an airtight housing for a solid-state radiation sensor with integrated temperature sensor known.

Eine CCD-Kamera mit Kühlfunktion in einem Gehäuseinnenraum ist weiterhin aus dem Dokument US 2004/0195676 A1 bekannt. Auch das Dokument JP 2003189194 A betrifft eine gekühlte CCD-Kamera.A CCD camera with cooling function in a housing interior is still out of the document US 2004/0195676 A1 known. Also the document JP 2003189194 A concerns a cooled CCD camera.

Zusammenfassung der ErfindungSummary of the invention

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Strahlungsdetektor sowie ein Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines solchen Strahlungsdetektors zu schaffen, mit denen die Gebrauchseigenschaften für den Strahlungsdetektor verbessert sind, insbesondere im Zusammenhang mit der Wartung und Wiedergewinnung von zumindest Teilen des Detektors.The object of the invention is to provide a radiation detector and a method for processing or maintenance of such a radiation detector, with which the performance characteristics for the radiation detector are improved, in particular in connection with the maintenance and recovery of at least parts of the detector.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Strahlungsdetektor nach dem unabhängigen Anspruch 1 sowie ein Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines Spannungsdetektors nach dem unabhängigen Anspruch 10 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand von abhängigen Unteransprüchen.This object is achieved by a radiation detector according to the independent claim 1 and a method for refurbishment or maintenance of a voltage detector according to independent claim 10. Advantageous embodiments of the invention are the subject of dependent subclaims.

Die Erfindung umfasst den Gedanken eines Strahlungsdetektors mit einem Gehäuse, das mit mehreren Gehäuseteilen und mit dem ein Gehäuseinnenraum hermetisch abgeschlossen ist, einem Strahlungsfenster, welches in das Gehäuse integriert und für zu detektierende Strahlung durchlässig ist, derart, dass die zu detektierende Strahlung durch das Strahlungsfenster in den Gehäuseinnenraum einfallen kann, einem Strahlungssensor, der in dem Gehäuseinnenraum aufgenommen ist, derart, dass die durch das Strahlungsfenster einfallende Strahlung mit dem Strahlungssensor detektierbar ist, und einem Fluidstutzen, über den der Gehäuseinnenraum von außen evakuierbar und/oder mit einem Fluid befüllbar ist, wobei der Strahlungssensor an einem Gehäuseteil angeordnet und der Fluidstutzen in einem anderen Gehäuseteil gebildet ist, welches beim Öffnen des Gehäuses von dem Gehäuseteil trennbar ist.The invention encompasses the idea of a radiation detector with a housing that is hermetically sealed with a plurality of housing parts and with a housing interior, a radiation window, which is integrated into the housing and permeable to radiation to be detected, such that the radiation to be detected through the radiation window can occur in the housing interior, a radiation sensor which is received in the housing interior, such that the radiation incident through the radiation window with the radiation sensor is detectable, and a fluid nozzle, via which the housing interior from the outside can be evacuated and / or filled with a fluid wherein the radiation sensor is arranged on a housing part and the fluid nozzle is formed in another housing part, which is separable from the housing part when opening the housing.

Nach einem weiteren Aspekt der Erfindung ist ein Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines Strahlungsdetektors geschaffen, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Öffnen eines Gehäuses, indem ein Gehäuseteil, an dem ein Strahlungssensor angeordnet ist, und ein anderes Gehäuseteil, an dem ein Fluidstutzen zum Evakuieren und/oder Befüllen eines Gehäuseinnenraumes gebildet ist, getrennt werden, Bearbeiten des anderen Gehäuseteils mit dem Fluidstutzen getrennt von dem Gehäuseteil mit dem hieran angeordneten Strahlungssensor, wobei hierbei der Fluidstutzen geöffnet wird, und hermetisches Schließen des Gehäuses, wobei hierbei das Gehäuseteil und das andere Gehäuseteil wieder über eine reversible Dichtung verbunden und der Fluidstutzen wieder geschlossen werden.According to a further aspect of the invention, there is provided a method of refurbishing or servicing a radiation detector, the method comprising the steps of: opening a housing by disposing a housing portion on which a radiation sensor is disposed and another housing portion having a fluid stub for Evacuation and / or filling of a housing interior is formed, the processing of the other housing part with the fluid nozzle separated from the housing part with the radiation sensor arranged thereon, in which case the fluid nozzle is opened, and hermetically closing the housing, in which case the housing part and the other Housing part again connected via a reversible seal and the fluid port are closed again.

Mit der Erfindung ist die Möglichkeit geschaffen, bei der wenigstens teilweisen Demontage des Strahlungsdetektors Gehäuseteile zu trennen, an denen einerseits der Strahlungssensor selbst und andererseits der Fluidstutzen angeordnet sind. Das Gehäuseteil mit hieran angeordnetem Strahlungssensor kann so separiert und zur Seite gelegt werden, um andere Gehäuseteile oder Elemente des Strahlungsdetektors zu bearbeiten, beispielsweise zur Wiedergewinnung oder Wartung. Es wird so vermieden, dass der empfindliche Strahlungssensor aufgrund der Bearbeitung unbeabsichtigt beschädigt wird. Beispielsweise kann vorgesehen sein, den Fluidstutzen auszutauschen, was zum Beispiel mit mechanischer und/oder thermischer Beanspruchung verbunden sein kann. Auch eine chemische Bearbeitung kann Teil des Wiedergewinnungs- oder Wartungsprozesses sein. Hierdurch eventuell entstehende Belastungen können mit Hilfe der Erfindung für den Strahlungssensor vermieden werden.With the invention, the possibility is created to separate in the at least partial disassembly of the radiation detector housing parts on which on the one hand, the radiation sensor itself and on the other hand, the fluid nozzle are arranged. The housing part with the radiation sensor arranged thereon can thus be separated and set aside in order to process other housing parts or elements of the radiation detector, for example for recovery or maintenance. It is thus avoided that the sensitive radiation sensor is inadvertently damaged due to the processing. For example, it may be provided to replace the fluid connection, which may be associated, for example, with mechanical and / or thermal stress. Chemical processing can also be part of the recovery or maintenance process. As a result, any resulting stresses can be avoided by means of the invention for the radiation sensor.

Das Strahlungsfenster, durch welches die zu detektierende Strahlung in den Gehäuseinnenraum auf den Strahlungssensor gelangt, ist beispielsweise als ein optisches Fenster ausgeführt. Als Strahlungssensor kann beispielsweise ein CCD-Sensor zum Einsatz kommen. The radiation window through which the radiation to be detected passes into the interior of the housing onto the radiation sensor is embodied, for example, as an optical window. As a radiation sensor, for example, a CCD sensor can be used.

In einer Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass der Fluidstutzen als ein nicht reversibel zu öffnender Fluidstutzen ausgeführt ist. Dieses kann in einer Ausführungsform bedeuten, dass der Fluidstutzen mit Hilfe von miteinander nicht lösbar verbundenen Stutzenelementen gebildet ist, zwischen denen beispielsweise Kleb- oder Lötverbindungen gebildet sind. In einer Ausgestaltung kann ein verschlossener Fluidstutzen auf diese Weise in das Gehäuse eingelassen sein.In one embodiment, it may be provided that the fluid connection is designed as a non-reversibly opening fluid connection. This may mean in one embodiment that the fluid nozzle is formed by means of non-releasably connected nozzle elements, between which, for example, adhesive or solder joints are formed. In one embodiment, a sealed fluid nozzle can be embedded in the housing in this way.

Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass in dem Gehäuseinnenraum eine Temperierungseinrichtung aufgenommen ist, die konfiguriert ist, den Strahlungssensor zu temperieren. In einer Ausgestaltung ist die Temperierungseinrichtung als eine Kühleinrichtung ausgeführt, beispielsweise mit einem Peltierelement, die konfiguriert ist, den Strahlungssensor im Betrieb zu kühlen. Für das Umsetzen der Temperierungsfunktion ist die Temperierungseinrichtung vorzugsweise direkt wärmetechnisch an den Strahlungssensor gekoppelt, so dass alternativ oder ergänzend zu einer Temperierung der Umgebung in dem Gehäuseinnenraum ein direkter Wärmeenergieaustausch zwischen der Temperierungseinrichtung und dem Strahlungssensor ausführbar ist.A preferred embodiment of the invention provides that in the housing interior a temperature control device is received, which is configured to temper the radiation sensor. In one embodiment, the tempering device is designed as a cooling device, for example with a Peltier element, which is configured to cool the radiation sensor during operation. For implementing the tempering function, the tempering device is preferably coupled directly to the radiation sensor by thermal technology, so that a direct heat energy exchange between the tempering device and the radiation sensor can be carried out as an alternative or in addition to ambient temperature control in the housing interior.

Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das der Strahlungssensor auf der Temperierungseinrichtung angeordnet ist. Bei einer Weiterbildung der Erfindung ist die Temperierungseinrichtung selbst auf der Gehäuseinnenwand montiert, so dass der Strahlungssensor mittels der Temperierungseinrichtung an dem Gehäuse gehalten wird.In an expedient embodiment of the invention it can be provided that the radiation sensor is arranged on the temperature control device. In a further development of the invention, the tempering device itself is mounted on the housing inner wall, so that the radiation sensor is held by means of the temperature control device to the housing.

Eine vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass der Gehäuseinnenraum derart hermetisch abgeschlossen ist, dass im Gehäuseinnenraum für den Strahlungssensor eine Vakuum- oder eine Überdruckumgebung ausbildbar sind, beispielsweise eine Hochvakuumumgebung. Hochvakuum liegt üblicherweise bei Drücken von etwa 10–3 bis etwa 10–7 hPa vor.An advantageous embodiment of the invention provides that the housing interior is hermetically sealed such that in the housing interior for the radiation sensor, a vacuum or an overpressure environment are formed, for example, a high vacuum environment. High vacuum is usually at pressures of about 10 -3 to about 10 -7 hPa.

Bevorzugt sieht eine Fortbildung der Erfindung vor, dass das Gehäuseteil und das andere Gehäuseteil im geschlossenen Zustand des Gehäuses über eine reversible Dichtung verbunden sind.Preferably, a development of the invention provides that the housing part and the other housing part are connected in the closed state of the housing via a reversible seal.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass das Strahlungsfenster und ein das Strahlungsfenster aufnehmendes Gehäuseteil im geschlossenen Zustand des Gehäuses über eine Fensterdichtung miteinander verbunden sind. In einer Ausgestaltung ist die Fensterdichtung als eine nicht reversible Dichtung ausgeführt, die also nicht wieder herstellbar ist, wenn die dichtende Verbindung zwischen dem Strahlungsfenster und dem das Strahlungsfenster aufnehmenden Gehäuseteil getrennt wurde. In einer Ausgestaltung kann vorgesehen sein, dass das Gehäuse des Strahlungsdetektors – abgesehen von der gedichteten Anordnung des Fluidstutzens in dem anderem Gehäuseteil, der Dichtung zwischen dem Gehäuseteil und dem anderen Gehäuseteil sowie der Fensterdichtung – dichtungsfrei ausgeführt ist, was bedeutet, dass neben den drei genannten Dichtungen keine weiteren Dichtung vorhanden sind, wodurch der leckfreie hermetische Abschluss des Gehäuseinnenraums optimiert ist.In an advantageous embodiment of the invention can be provided that the radiation window and the radiation window receiving housing part are connected to each other in the closed state of the housing via a window seal. In one embodiment, the window seal is designed as a non-reversible seal, which is therefore not recoverable when the sealing connection between the radiation window and the radiation window receiving housing part was separated. In one embodiment, it may be provided that the housing of the radiation detector - apart from the sealed arrangement of the fluid nozzle in the other housing part, the seal between the housing part and the other housing part and the window seal - is made seal-free, which means that in addition to the three mentioned Seals no further seal are present, whereby the leak-free hermetic completion of the housing interior is optimized.

Eine Weiterbildung der Erfindung kann vorsehen, dass ein oder mehrere Anschlüsse über hermetische Gehäusedurchführungen aus dem Gehäuseinnenraum nach außen geführt sind. Über die hermetischen Gehäusedurchführungen, die zweckmäßig als nicht reversible Durchführungen Gehäusebestandteil sind, können beliebige Anschluss- oder Versorgungsleitungen aus dem Gehäuseinnenraum nach außen geführt werden, beispielsweise elektrische Anschlüsse.A further development of the invention can provide that one or more connections are led out of the interior of the housing via hermetic housing leadthroughs. About the hermetic housing feedthroughs, which are useful as non-reversible feedthroughs housing component, any connection or supply lines from the housing interior can be led to the outside, such as electrical connections.

Eine bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass das Gehäuseteil als ein Bodenteil und das andere Gehäuseteil als ein Kopfteil gebildet sind.A preferred embodiment of the invention provides that the housing part are formed as a bottom part and the other housing part as a head part.

Bei einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass der Fluidstutzen mittels einer nicht reversiblen Dichtung in das andere Gehäuseteil eingelassen ist. Bei einer Ausgestaltung ist der Fluidstutzen in das andere Gehäuseteil eingelötet.In an expedient embodiment of the invention can be provided that the fluid port is inserted by means of a non-reversible seal in the other housing part. In one embodiment, the fluid nozzle is soldered into the other housing part.

In Verbindung mit dem Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines Strahlungsdetektors gelten die vorangemachten Anmerkungen entsprechend. Das Verfahren kann in der im Zusammenhang mit dem Strahlungsdetektor beschriebenen Art und Weise fortgebildet werden. In einer Ausführungsform ist zum Beispiel vorgesehen, dass im Verlaufe des hermetischen Schließens des Gehäuses der Gehäuseinnenraum über den Fluidstutzen evakuiert und/oder mit einen Fluid, beispielsweise einem Schutzgas, befüllt wird. Im Anschluss daran wird der Fluidstutzen verschlossen, vorzugsweise nicht reversibel. Ein nicht reversibles Schließen kann zum Beispiel mittels löten, kleben oder crimpen ausgeführt werden. Mit dem Evakuieren und/oder Fluidbefüllen des Gehäuseinnenraums kann hierin für den Strahlungssensor eine Unterdruck- oder eine Überdruckumgebung hergestellt werden.In connection with the procedure for refurbishing or servicing a radiation detector, the remarks made above apply accordingly. The method can be developed in the manner described in connection with the radiation detector. In one embodiment it is provided, for example, that in the course of the hermetic closing of the housing, the housing interior is evacuated via the fluid nozzle and / or filled with a fluid, for example a protective gas. Subsequently, the fluid nozzle is closed, preferably not reversible. Non-reversible closure can be accomplished, for example, by soldering, gluing or crimping. With the evacuation and / or fluid filling of the housing interior, a negative pressure or overpressure environment can be established for the radiation sensor herein.

Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele der Erfindung Description of preferred embodiments of the invention

Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf Figuren einer Zeichnung näher erläutert. Hierbei zeigen:The invention will be explained in more detail below by means of embodiments with reference to figures of a drawing. Hereby show:

1 eine schematische Darstellung eines Strahlungsdetektors im geschlossenen Zustand und 1 a schematic representation of a radiation detector in the closed state and

2 eine schematische Darstellung des Strahlungsdetektors aus 1 im geöffneten Zustand. 2 a schematic representation of the radiation detector from 1 in the open state.

1 zeigt eine schematische Darstellung eines Strahlungsdetektors im geschlossenen Zustand, bei dem ein Gehäuse 1 mit einem Bodenteil 2 und einem Kopfteil 3 gebildet ist. Das Bodenteil 2 und das Kopfteil 3 sind über eine reversible Dichtung 4 miteinander verbunden, so dass Bodenteil 2 und Kopfteil 3 beim Öffnen des Gehäuses 1 (vgl. 2) voneinander getrennt und später wieder dichtend miteinander verbunden werden können. 1 shows a schematic representation of a radiation detector in the closed state, in which a housing 1 with a bottom part 2 and a headboard 3 is formed. The bottom part 2 and the headboard 3 are about a reversible seal 4 connected together, leaving the bottom part 2 and headboard 3 when opening the case 1 (see. 2 ) can be separated from each other and later sealed together again.

Gemäß den 1 und 2 ist an dem Kopfteil 3 ein Strahlungsfenster 5 aufgenommen, durch welches hindurch zu detektierende Strahlung in einen hermetisch abgeschlossenen Gehäuseinnenraum 6 einfallen kann. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind das Strahlungsfenster 5 und das Kopfteil 3 über eine nicht reversible Dichtung 7 miteinander verbunden.According to the 1 and 2 is at the headboard 3 a radiation window 5 received, through which radiation to be detected in a hermetically sealed housing interior 6 can come up. In the illustrated embodiment, the radiation window 5 and the headboard 3 via a non-reversible seal 7 connected with each other.

Hinter dem Strahlungsfenster, welches bevorzugt als ein optisches Fenster ausgeführt ist, ist in dem Gehäuseinnenraum 6 ein Strahlungssensor 8 angeordnet, bei dem es sich beispielsweise um einen CCD-Sensor handelt. Der Strahlungssensor 8 ist auf eine Temperiereinrichtung 9 montiert, bei der es sich zum Beispiel um eine Kühleinrichtung handelt, die als Peltierelement ausgeführt sein kann. Die Temperiereinrichtung 9 ihrerseits ist an dem Bodenteil 2 montiert.Behind the radiation window, which is preferably designed as an optical window, is in the housing interior 6 a radiation sensor 8th arranged, which is for example a CCD sensor. The radiation sensor 8th is on a tempering device 9 mounted, which is for example a cooling device, which may be designed as a Peltier element. The tempering device 9 in turn is at the bottom part 2 assembled.

Anschlussleitungen 10 sind über Gehäusedurchführungen 11 durch das Bodenteil 2 nach außen geführt. Hierbei kann es sich beispielsweise um elektrische Versorgungsleitungen für die Temperiereinrichtung 9 und/oder den Strahlungssensor 8 handeln. Auch Signalleitungen des Strahlungssensors 8 können auf diese Weise aus dem Gehäuseinnenraum 6 nach außen geführt werden.connecting cables 10 are above housing bushings 11 through the bottom part 2 led to the outside. These may be, for example, electrical supply lines for the tempering device 9 and / or the radiation sensor 8th act. Also signal lines of the radiation sensor 8th This way you can get out of the housing interior 6 be led to the outside.

In das Kopfteil 3 ist ein Fluidstutzen 12 eingelassen, über den der Gehäuseraum 6 im geschlossenen Zustand (vgl. 1) evakuiert werden kann, um beispielsweise eine Vakuum- oder Unterdruckumgebung für den Strahlungssensor 8 auszubilden. Alternativ oder ergänzend kann vorgesehen sein, über den Fluidstutzen 12 ein Fluid in dem Gehäuseinnenraum 6 einzubringen, beispielsweise eine Schutzgasfüllung.In the headboard 3 is a fluid connector 12 let in, over which the housing room 6 in the closed state (cf. 1 ) can be evacuated to, for example, a vacuum or vacuum environment for the radiation sensor 8th train. Alternatively or additionally, it can be provided via the fluid connection piece 12 a fluid in the housing interior 6 contribute, for example, a protective gas filling.

Im getrennten Zustand des Bodenteils 2 und des Kopfteils 3 (vgl. 2) kann der Fluidstutzen 12 zum Austauschen mechanisch, thermisch und/oder chemisch bearbeitet werden, um den Fluidstutzen 12 herauszulösen und einen neuen Fluidstutzen einzubringen. Aufgrund der Trennung von Bodenteil 2 und Kopfteil 3 erfolgt diese Bearbeitung, ohne dass eine unbeabsichtigte Beschädigung des Strahlungssensors 8 stattfinden kann. Nach dem Aufarbeiten des Fluidstutzen 12 und/oder anderer Bestandteile des Strahlungsdetektors können Bodenteil 2 und Kopfteil 3 wieder miteinander verbunden werden, um anschließend gegebenenfalls den Gehäuseinnenraum 6 zu evakuieren und/oder mit einem Fluid zu befüllen.In the separated state of the bottom part 2 and the headboard 3 (see. 2 ) can the fluid port 12 be exchanged mechanically, thermally and / or chemically to exchange the fluid port 12 remove and introduce a new fluid nozzle. Due to the separation of bottom part 2 and headboard 3 This processing is done without any accidental damage to the radiation sensor 8th can take place. After working up the fluid connection 12 and / or other components of the radiation detector may bottom part 2 and headboard 3 be reconnected to each other, then optionally the housing interior 6 to evacuate and / or to fill with a fluid.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Ansprüchen und der Zeichnung offenbarten Merkmale der Erfindung können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausführungsformen von Bedeutung sein.The features of the invention disclosed in the foregoing description, in the claims and in the drawing may be of importance both individually and in any combination for the realization of the invention in its various embodiments.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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  • JP 2003189194 A [0006] JP 2003189194 A [0006]

Claims (11)

Strahlungsdetektor, mit: – einem Gehäuse (1), das mit mehreren Gehäuseteilen (2, 3) gebildet und mit dem ein Gehäuseinnenraum hermetisch abgeschlossen ist, – einem Strahlungsfenster (4), welches in das Gehäuse (1) integriert und für zu detektierende Strahlung durchlässig ist, derart, dass die zu detektierende Strahlung durch das Strahlungsfenster (4) in den Gehäuseinnenraum (5) einfallen kann, – einem Strahlungssensor (6), der in dem Gehäuseinnenraum (5) aufgenommen ist, derart, dass die durch das Strahlungsfenster (4) einfallende Strahlung mit dem Strahlungssensor (6) detektierbar ist, und – einem Fluidstutzen (10), über den der Gehäuseinnenraum (5) von außen evakuierbar und/oder mit einem Fluid befüllbar ist, wobei der Strahlungssensor (6) an einem Gehäuseteil (2) angeordnet und der Fluidstutzen (10) in einem anderen Gehäuseteil (3) gebildet ist, welches beim Öffnen des Gehäuses (1) von dem Gehäuseteil (2) trennbar ist.Radiation detector, comprising: - a housing ( 1 ), which with several housing parts ( 2 . 3 ) and with which a housing interior is hermetically sealed, - a radiation window ( 4 ), which in the housing ( 1 ) and is transparent to radiation to be detected, such that the radiation to be detected by the radiation window ( 4 ) in the housing interior ( 5 ), - a radiation sensor ( 6 ), which in the housing interior ( 5 ), such that through the radiation window ( 4 ) incident radiation with the radiation sensor ( 6 ) is detectable, and - a fluid connector ( 10 ), over which the housing interior ( 5 ) can be evacuated from the outside and / or filled with a fluid, wherein the radiation sensor ( 6 ) on a housing part ( 2 ) and the fluid connection ( 10 ) in another housing part ( 3 ) is formed, which when opening the housing ( 1 ) of the housing part ( 2 ) is separable. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuseinnenraum (5) eine Temperierungseinrichtung (7) aufgenommen ist, die konfiguriert ist, den Strahlungssensor (6) zu temperieren.Radiation detector according to claim 1, characterized in that in the housing interior ( 5 ) a tempering device ( 7 ) configured to connect the radiation sensor ( 6 ) to temper. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlungssensor (6) auf der Temperierungseinrichtung (7) angeordnet ist.Radiation detector according to claim 1 or 2, characterized in that the radiation sensor ( 6 ) on the temperature control device ( 7 ) is arranged. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehäuseinnenraum (5) derart hermetisch abgeschlossen ist, dass im Gehäuseinnenraum für den Strahlungssensor eine Vakuum- oder eine Überdruckumgebung ausbildbar sind.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that the housing interior ( 5 ) is hermetically sealed such that in the housing interior for the radiation sensor, a vacuum or an overpressure environment can be formed. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuseteil (2) und das andere Gehäuseteil (3) im geschlossenen Zustand des Gehäuses (1) über eine reversible Dichtung miteinander verbunden sind.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that the housing part ( 2 ) and the other housing part ( 3 ) in the closed state of the housing ( 1 ) are connected to each other via a reversible seal. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Strahlungsfenster (4) und ein das Strahlungsfenster (4) aufnehmendes Gehäuseteil (3) im geschlossenen Zustand des Gehäuses (1) über eine Fensterdichtung miteinander verbunden sind.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that the radiation window ( 4 ) and the radiation window ( 4 ) receiving housing part ( 3 ) in the closed state of the housing ( 1 ) are connected to each other via a window seal. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein oder mehrere Anschlüsse über hermetische Gehäusedurchführungen aus dem Gehäuseinnenraum (5) nach außen geführt sind.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that one or more connections via hermetic housing feedthroughs from the housing interior ( 5 ) are led to the outside. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuseteil (2) als ein Bodenteil und das andere Gehäuseteil (3) als ein Kopfteil gebildet sind.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that the housing part ( 2 ) as a bottom part and the other housing part ( 3 ) are formed as a head part. Strahlungsdetektor nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidstutzen (10) mittels einer nicht reversiblen Dichtung in das andere Gehäuseteil (3) eingelassen ist.Radiation detector according to at least one of the preceding claims, characterized in that the fluid connection ( 10 ) by means of a non-reversible seal in the other housing part ( 3 ) is admitted. Verfahren zum Aufarbeiten oder Warten eines Strahlungsdetektors nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: – Öffnen eines Gehäuses (1), indem ein Gehäuseteil (2), an dem ein Strahlungssensor (6) angeordnet ist, und ein anderes Gehäuseteil (3), an dem ein Fluidstutzen (10) zum Evakuieren und/oder Befüllen eines Gehäuseinnenraumes (5) gebildet ist, getrennt werden, – Bearbeiten des anderen Gehäuseteiles (3) mit dem Fluidstutzen (10) getrennt von dem Gehäuseteil (2) mit dem hieran angeordneten Strahlungssensor (6), wobei hierbei der Fluidstutzen (10) geöffnet wird, und – hermetisches Schließen des Gehäuses (1), wobei hierbei das Gehäuseteil (2) und das andere Gehäuseteils (3) wieder über eine reversible Dichtung verbunden und der Fluidstutzen (10) wieder geschlossen werden.A method of processing or servicing a radiation detector according to at least one of the preceding claims, the method comprising the steps of: - opening a housing ( 1 ) by a housing part ( 2 ), to which a radiation sensor ( 6 ) is arranged, and another housing part ( 3 ), to which a fluid connection ( 10 ) for evacuating and / or filling a housing interior ( 5 ), be separated, - edit the other housing part ( 3 ) with the fluid nozzle ( 10 ) separated from the housing part ( 2 ) with the radiation sensor arranged thereon ( 6 ), in which case the fluid connection ( 10 ), and - hermetically closing the housing ( 1 ), wherein in this case the housing part ( 2 ) and the other housing part ( 3 ) again connected via a reversible seal and the fluid port ( 10 ) be closed again. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das hermetische Schließen Schritte zum Evakuieren und/oder Fluidbefüllen des Gehäuseinnenraumes (5) über den Fluidstutzen (10) und zum anschließenden Verschließen des Fluidstutzens (10) umfasst.A method according to claim 10, characterized in that the hermetic closing steps for evacuating and / or fluid filling the housing interior ( 5 ) via the fluid connection ( 10 ) and then closing the fluid nozzle ( 10 ).
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