DE102010045596A1 - Surface-mountable optoelectronic semiconductor component and lead frame composite - Google Patents

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Abstract

In mindestens einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils (1) ist dieses oberflächenmontierbar und umfasst einen metallischen Leiterrahmen (2) mit mindestens zwei separaten Teilen. Das Halbleiterbauteil (2) umfasst mindestens zwei elektrische Anschlussflächen (3) zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung. An genau einem ersten der Teile des Leiterrahmens (2) ist mindestens ein optoelektronischer Halbleiterchip (4) befestigt, der mit einem zweiten der Teile elektrisch verbunden ist. Den Halbleiterchip (4) und den Leiterrahmen (2) umgibt zumindest stellenweise ein linsenartig geformter Vergusskörper (5). Die Anschlussflächen (3) befinden sich neben oder unter dem Vergusskörper (5). Eine Dicke (D0) des Leiterrahmens (2) beträgt mindestens 0,1 mm und ein mittlerer thermischer Widerstand zwischen dem Halbleiterchip (4) und zumindest einer der Anschlussflächen (3) liegt bei höchstens 20 K/W.In at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component (1), the latter can be surface-mounted and comprises a metallic lead frame (2) with at least two separate parts. The semiconductor component (2) comprises at least two electrical connection surfaces (3) for electrical and thermal contact. At least one optoelectronic semiconductor chip (4), which is electrically connected to a second of the parts, is fastened to precisely one first of the parts of the leadframe (2). The semiconductor chip (4) and the lead frame (2) are surrounded at least in places by a potting body (5) shaped like a lens. The connection surfaces (3) are located next to or below the potting body (5). A thickness (D0) of the lead frame (2) is at least 0.1 mm and an average thermal resistance between the semiconductor chip (4) and at least one of the connection surfaces (3) is at most 20 K / W.

Description

Es wird ein oberflächenmontierbares optoelektronisches Halbleiterbauteil angegeben. Darüber hinaus wird ein Leiterrahmenverbund für ein solches Halbleiterbauteil angegeben.A surface-mountable optoelectronic semiconductor component is specified. In addition, a lead frame composite for such a semiconductor device is specified.

In der Druckschrift WO 2006/045287 A2 sind ein elektromagnetische Strahlung emittierendes Halbleiterbauelement und ein Bauelementgehäuse offenbart.In the publication WO 2006/045287 A2 For example, an electromagnetic radiation emitting semiconductor device and a device package are disclosed.

Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein oberflächenmontierbares optoelektronisches Halbleiterbauteil mit einer hohen thermischen Belastbarkeit anzugeben. Eine weitere zu lösende Aufgabe besteht darin, einen Leiterrahmenverbund für ein solches Halbleiterbauteil anzugeben.An object to be solved is to provide a surface mountable optoelectronic semiconductor device with a high thermal capacity. Another object to be solved is to provide a lead frame composite for such a semiconductor device.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist dieses oberflächenmontierbar. Das heißt, das Halbleiterbauteil ist bevorzugt auf einer externen Leiterplatte oder auf einem externen Anschlussträger montierbar, ohne dass elektrische Anschlusseinrichtungen des Halbleiterbauteils Hauptflächen des externen Anschlussträgers durchdringen. Insbesondere ist das Halbleiterbauteil dann mittels Oberflächenmontagetechnologie, englisch Surface Mount Technology oder kurz SMT, montierbar.According to at least one embodiment of the semiconductor device, this is surface mountable. That is, the semiconductor device is preferably mountable on an external circuit board or on an external connection carrier without electrical connection means of the semiconductor device penetrating main surfaces of the external connection carrier. In particular, the semiconductor device is then by means of surface mount technology, English Surface Mount Technology or SMT short, mountable.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils umfasst dieses einen metallischen Leiterrahmen mit mindestens zwei separaten Teilen. Der Leiterrahmen weist zwei Haupterstreckungsrichtungen auf, die eine Hauptebene aufspannen. Die Hauptebene verläuft insbesondere durch ein Gebiet einer Oberfläche des Leiterrahmens, das am weitesten von einem anderen Gebiet der Oberfläche, das zur Kontaktierung mit dem externen Anschlussträger vorgesehen ist, in Richtung senkrecht zu der Hauptebene entfernt ist und/oder durch ein Gebiet der Oberfläche des Leiterrahmens, das einen Chipanschlussbereich darstellt. Metallischer Leiterrahmen bedeutet, dass der Leiterrahmen metallische Eigenschaften wie hohe elektrische und thermische Leitfähigkeit aufweist und dass zumindest ein Metall ein wesentlicher Bestandteil des Leiterrahmens ist. Zum Beispiel weist der Leiterrahmen ein Kupfer oder eine Kupferlegierung auf oder besteht hieraus.According to at least one embodiment of the semiconductor device, this comprises a metallic lead frame with at least two separate parts. The lead frame has two main directions of extension that span a main plane. Specifically, the main plane passes through an area of a surface of the lead frame farthest from another area of the surface intended for contacting with the external terminal support in a direction perpendicular to the main plane and / or an area of the surface of the lead frame which represents a chip connection area. Metallic leadframe means that the leadframe has metallic properties such as high electrical and thermal conductivity and that at least one metal is an integral part of the leadframe. For example, the lead frame comprises or consists of a copper or a copper alloy.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils sind an den Teilen des Leiterrahmens mindestens zwei elektrische Anschlussflächen ausgebildet. Die elektrischen Anschlussflächen sind zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils an dem externen Anschlussträger eingerichtet. Insbesondere sind die Anschlussflächen dazu eingerichtet, in mittelbarem oder unmittelbarem Kontakt zu dem externen Anschlussträger zu stehen. Bevorzugt weist jedes der Teile des Leiterrahmens genau eine oder mindestens eine der elektrischen Anschlussflächen auf.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, at least two electrical connection surfaces are formed on the parts of the leadframe. The electrical connection surfaces are set up for electrical and thermal contacting of the semiconductor component to the external connection carrier. In particular, the connection surfaces are adapted to be in direct or indirect contact with the external connection carrier. Preferably, each of the parts of the leadframe has exactly one or at least one of the electrical connection surfaces.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils beinhaltet dieses mindestens einen optoelektronischen Halbleiterchip. Der Halbleiterchip ist bevorzugt zur Erzeugung einer elektromagnetischen Strahlung eingerichtet. Beispielsweise emittiert der Halbleiterchip im Betrieb Strahlung im sichtbaren Spektralbereich oder im nahinfraroten Spektralbereich. Zum Beispiel beinhaltet der Halbleiterchip eine auf einem III-V-Verbindungshalbleitermaterial wie GaAs oder InGaAs basierende Halbleiterschichtenfolge. Basieren bedeutet, dass neben den genannten Bestandteilen die Halbleiterschichtenfolge weitere Stoffe, insbesondere Dotierstoffe, enthalten kann und dass insbesondere eine oder mehrere aktive Zonen zur Strahlungserzeugung eines der genannten Halbleitermaterialien aufweisen oder hieraus bestehen.According to at least one embodiment of the semiconductor device, this includes at least one optoelectronic semiconductor chip. The semiconductor chip is preferably set up for generating electromagnetic radiation. For example, during operation, the semiconductor chip emits radiation in the visible spectral range or in the near-infrared spectral range. For example, the semiconductor chip includes a semiconductor layer sequence based on a III-V compound semiconductor material such as GaAs or InGaAs. Basing means that in addition to the constituents mentioned, the semiconductor layer sequence may contain further substances, in particular dopants, and in particular that one or more active zones for generating radiation comprise or consist of one of the mentioned semiconductor materials.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist der mindestens eine Halbleiterchip an genau einem ersten der Teile des Leiterrahmens befestigt. Mit anderen Worten ist der Halbleiterchip unmittelbar und mechanisch fest mit dem ersten Teil des Leiterrahmens verbunden. Mit einem zweiten der Teile des Leiterrahmens ist der Halbleiterchip elektrisch, beispielsweise mittels eines Bonddrahts, und mechanisch mittelbar, zum Beispiel über den Vergusskörper, verbunden.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the at least one semiconductor chip is fastened to exactly one of the first parts of the leadframe. In other words, the semiconductor chip is directly and mechanically fixedly connected to the first part of the leadframe. With a second of the parts of the lead frame of the semiconductor chip is electrically connected, for example by means of a bonding wire, and mechanically indirectly, for example via the potting.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils umfasst dieses einen Vergusskörper, der linsenartig geformt ist. Linsenartig heißt, dass der Vergusskörper zumindest stellenweise wie eine Linse geformt ist. Zum Beispiel ist ein Linsenbereich des Vergusskörpers sphärisch, ellipsoid, paraboloid, hyperbolisch, asymmetrisch und/oder als Freiformfläche geformt. In Draufsicht gesehen kann der Linsenbereich des Vergusskörpers insbesondere die Form eines Kreises, einer Ellipse oder eines Rechtecks mit abgerundeten Ecken aufweisen. Der Vergusskörper umgibt den Halbleiterchip und den Leiterrahmen stellenweise. Über den Vergusskörper sind die Teile des Leiterrahmens mechanisch miteinander verbunden. Der Vergusskörper ist bevorzugt einstückig ausgebildet und für eine von dem Halbleiterchip im Betrieb erzeugte Strahlung ebenso bevorzugt klarsichtig und transparent. Ein Material des Vergusskörpers ist zum Beispiel ein Epoxid, ein Silikon-Epoxid-Hybridmaterial oder ein Silikon. Es kann der Halbleiterchip vollständig ringsum von dem Vergusskörper zusammen mit dem Leiterrahmen umgeben sein.According to at least one embodiment of the semiconductor device, this comprises a potting body which is shaped like a lens. Lenticular means that the potting body is at least locally shaped like a lens. For example, a lens region of the potting body is spherical, ellipsoidal, paraboloidal, hyperbolic, asymmetric and / or shaped as a free-form surface. Seen in plan view, the lens region of the potting body may in particular have the shape of a circle, an ellipse or a rectangle with rounded corners. The potting body surrounds the semiconductor chip and the lead frame in places. About the potting body, the parts of the lead frame are mechanically connected. The potting body is preferably formed in one piece and, for a radiation generated by the semiconductor chip during operation, also preferably transparent and transparent. A material of the potting body is for example an epoxy, a silicone-epoxy hybrid material or a silicone. The semiconductor chip may be completely surrounded by the potting body together with the leadframe.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils befinden sich die Anschlussflächen zur elektrischen und thermischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils, in Draufsicht auf die durch die Haupterstreckungsrichtung aufgespannte Hauptebene gesehen, vollständig neben dem Vergusskörper. Mit anderen Worten sind die Anschlussflächen nicht von dem Vergusskörper überdeckt. Alternativ hierzu ist es möglich, dass die Anschlussflächen, in Draufsicht gesehen, vollständig von dem Vergusskörper überdeckt sind oder dass sich die Anschlussflächen sowohl teilweise neben dem Vergusskörper befinden als auch teilweise von dem Vergusskörper überdeckt sind.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the connection surfaces are for electrical and thermal contacting of the semiconductor device, seen in plan view of the plane spanned by the main extension direction main plane, completely adjacent to the potting. In other words, the connection surfaces are not covered by the potting body. Alternatively, it is possible that the connection surfaces, as seen in plan view, are completely covered by the potting or that the pads are both partially adjacent to the potting and are partially covered by the potting.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils sind die Anschlussflächen parallel zu der durch die Haupterstreckungsrichtung aufgespannten Hauptebene orientiert, insbesondere mit einer Toleranz von höchstens 15° oder mit einer Toleranz von höchstens 5°.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the connection surfaces are oriented parallel to the main plane spanned by the main extension direction, in particular with a tolerance of at most 15 ° or with a tolerance of at most 5 °.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist der Vergusskörper in Form einer Sammellinse ausgebildet. Eine optische Achse des Vergusskörpers ist bevorzugt senkrecht zu der Hauptebene orientiert, beispielsweise mit einer Toleranz von höchstens 15° oder höchstens 5°. Eine maximale, richtungsabhängige Intensität wird im Betrieb insbesondere entlang der optischen Achse emittiert. Ein Emissionswinkel, innerhalb dessen die emittierte Intensität auf 50% einer maximalen Intensität abfällt, entsprechend also einem Winkel voller Breite bei halber Intensität, kurz FWHM, liegt zum Beispiel zwischen einschließlich 0° und 40°, bevorzugt zwischen einschließlich 0° und 30°.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the potting body is designed in the form of a converging lens. An optical axis of the potting body is preferably oriented perpendicular to the main plane, for example with a tolerance of at most 15 ° or at most 5 °. A maximum, direction-dependent intensity is emitted during operation, in particular along the optical axis. An emission angle within which the emitted intensity drops to 50% of a maximum intensity, ie corresponding to a full width half-width angle, FWHM for short, is for example between 0 ° and 40 °, preferably between 0 ° and 30 °.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils beträgt eine Dicke des Leiterrahmens mindestens 0,1 mm, bevorzugt mindestens 0,5 mm, besonders bevorzugt mindestens 0,9 mm. Mit anderen Worten ist der Leiterrahmen vergleichsweise dick.According to at least one embodiment of the semiconductor device, a thickness of the lead frame is at least 0.1 mm, preferably at least 0.5 mm, particularly preferably at least 0.9 mm. In other words, the lead frame is comparatively thick.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils beträgt ein mittlerer thermischer Widerstand zwischen dem Halbleiterchip und zumindest einer oder aller der Anschlussflächen höchstens 20 K/W, insbesondere höchstens 15 K/W oder höchstens 10 K/W. Ein thermischer Widerstand zwischen dem Halbleiterchip und den Anschlussflächen ist also vergleichsweise klein.According to at least one embodiment of the semiconductor device, an average thermal resistance between the semiconductor chip and at least one or all of the pads is at most 20 K / W, in particular at most 15 K / W or at most 10 K / W. A thermal resistance between the semiconductor chip and the pads is therefore comparatively small.

In mindestens einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils ist dieses oberflächenmontierbar und umfasst einen metallischen Leiterrahmen mit mindestens zwei separaten Teilen. Zwei Haupterstreckungsrichtungen des Leiterrahmens spannen eine Hauptebene auf. Das Halbleiterbauteil umfasst mindestens zwei elektrische Anschlussflächen an den Teilen des Leiterrahmens zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils. An genau einem ersten der Teile des Leiterrahmens ist mindestens ein optoelektronischer Halbleiterchip befestigt, der mit einem zweiten der Teile elektrisch verbunden ist. Den Halbleiterchip und den Leiterrahmen umgibt zumindest stellenweise ein linsenartig geformter Vergusskörper, der die Teile des Leiterrahmens mechanisch miteinander verbindet. In Draufsicht auf die Hauptebene gesehen, befinden sich die Anschlussflächen neben und/oder unter dem Vergusskörper, wobei die Anschlussflächen ferner parallel zu der Hauptebene orientiert sind. Eine Dicke des Leiterrahmens beträgt mindestens 0,1 mm und ein mittlerer thermischer Widerstand zwischen dem Halbleiterchip und zumindest einer der Anschlussflächen liegt bei höchstens 20 K/W.In at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the latter is surface-mountable and comprises a metallic leadframe with at least two separate parts. Two main directions of extension of the lead frame span a main plane. The semiconductor device comprises at least two electrical connection pads on the parts of the leadframe for electrical and thermal contacting of the semiconductor device. At least a first one of the parts of the leadframe is mounted at least one optoelectronic semiconductor chip, which is electrically connected to a second of the parts. At least in places, the semiconductor chip and the leadframe surround a lenticular molded potting body which mechanically connects the parts of the leadframe to one another. Seen in plan view of the main plane, the pads are adjacent and / or below the potting body, wherein the pads are further oriented parallel to the main plane. A thickness of the lead frame is at least 0.1 mm and a mean thermal resistance between the semiconductor chip and at least one of the pads is at most 20 K / W.

Durch die vergleichsweise große Dicke des Leiterrahmens ist eine gute Entwärmung des Halbleiterbauteils realisierbar. Hierdurch ist eine thermische Belastbarkeit des Halbleiterbauteils, zum Beispiel aufgrund von Abwärme im Betrieb des Halbleiterchips, besonders hoch.Due to the comparatively large thickness of the lead frame, a good heat dissipation of the semiconductor device can be realized. As a result, a thermal load capacity of the semiconductor device, for example, due to waste heat in the operation of the semiconductor chip, particularly high.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils befinden sich die elektrischen Anschlussflächen auf derselben Seite der Hauptebene. Insbesondere spannt eine der Anschlussflächen eine weitere Ebene auf, innerhalb der auch alle anderen Anschlussflächen liegen, im Rahmen der Herstellungstoleranzen. Bevorzugt schneidet die weitere Ebene, in der sich die Anschlussflächen befinden, nicht den Vergusskörper und/oder nicht den Halbleiterchip.According to at least one embodiment of the semiconductor device, the electrical connection pads are located on the same side of the main plane. In particular, one of the connection surfaces spans a further plane within which all the other connection surfaces lie, within the scope of the manufacturing tolerances. Preferably, the further plane in which the connection surfaces are located does not intersect the potting body and / or the semiconductor chip.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist der Halbleiterchip in einer Reflektorwanne angeordnet, wobei die Reflektorwanne in dem ersten Teil des Leiterrahmens ausgeformt ist. Die Reflektorwanne weist zum Beispiel eine planare Bodenfläche auf. Bei dem Halbleiterchip handelt es sich beispielsweise um einen Dünnfilm-Leuchtdiodenchip mit einer Strahlungsaustrittsfläche insbesondere von zirka 1 mm2.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the semiconductor chip is arranged in a reflector trough, wherein the reflector trough is formed in the first part of the leadframe. The reflector trough has, for example, a planar bottom surface. The semiconductor chip is, for example, a thin-film light-emitting diode chip with a radiation exit area, in particular of approximately 1 mm 2 .

Es kann der Halbleiterchip eine Epitaxiestruktur mit einer oder mit mehreren aktiven, im Betrieb zu einer Strahlungserzeugung vorgesehenen Schichten aufweisen, wobei die Schichten zu einer Emission bei voneinander verschiedenen Wellenlängen eingerichtet sein können. Die Epitaxiestruktur ist eine einfache oder eine mehrfache Epitaxiestruktur. Der Halbleiterchip ist an der Bodenfläche montiert, insbesondere über ein Löten oder ein Kleben. In lateraler Richtung ist der Halbleiterchip an der Bodenfläche vollständig oder teilweise von Wänden der Reflektorwanne umgeben. Die Wände der Reflektorwanne können mit einem reflektierenden Material, beispielsweise mit Silber, beschichtet sein. Eine Reflektivität der Wände der Reflektorwanne für eine vom Halbleiterchip im Betrieb emittierte Strahlung beträgt beispielsweise mindestens 80% oder mindestens 90% oder mindestens 95%. Bevorzugt reflektieren die Wände der Reflektorwanne spiegelnd und nicht diffus.The semiconductor chip may have an epitaxial structure with one or more active layers that are provided for generating radiation in operation, wherein the layers may be arranged to emit at mutually different wavelengths. The epitaxial structure is a single or a multiple epitaxial structure. The semiconductor chip is mounted on the bottom surface, in particular via soldering or gluing. In the lateral direction, the semiconductor chip on the bottom surface is completely or partially surrounded by walls of the reflector trough. The walls of the reflector trough may be coated with a reflective material, such as silver. A reflectivity of the walls of the reflector trough for a radiation emitted by the semiconductor chip during operation is for example at least 80% or at least 90% or at least 95%. Preferably, the walls of the reflector pan reflect specularly and not diffusely.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterchips liegt ein Quotient L/T aus einer Diagonale L des Halbleiterchips und einer Tiefe T der Reflektorwanne zwischen einschließlich 0,5 und 2,0. Mit anderen Worten ist die Tiefe der Reflektorwanne vergleichbar mit der Diagonalen des Halbleiterchips. Die Diagonale ist insbesondere eine Entfernung zwischen zwei einander gegenüberliegenden Ecken der dem Leiterrahmen abgewandten Strahlungsaustrittsfläche des Halbleiterchips, in Draufsicht auf die durch die Haupterstreckungsrichtungen aufgespannte Hauptebene gesehen.According to at least one embodiment of the semiconductor chip, a quotient L / T lies between a diagonal L of the semiconductor chip and a depth T of the reflector trough between 0.5 and 2.0 inclusive. In other words, the depth of the reflector well is comparable to the diagonal of the semiconductor chip. The diagonal is in particular a distance between two opposite corners of the leadframe facing away from the radiation exit surface of the semiconductor chip seen in plan view of the plane spanned by the main extension directions of the main plane.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils liegt der Quotient L/T aus der Diagonalen L des Halbleiterchips und der Tiefe T der Reflektorwanne zwischen einschließlich 0,8 und 1,2 oder, bevorzugt, zwischen einschließlich 0,9 und 1,1. Zum Beispiel für einen Dünnfilm-Halbleiterchip mit einer Kantenlänge von zirka 1 mm und einer Strahlungsaustrittsfläche von zirka 1 mm2 beträgt die Tiefe der Reflektorwanne zirka 1,5 mm.In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the quotient L / T of the diagonal L of the semiconductor chip and the depth T of the reflector trough lies between 0.8 and 1.2 or, preferably, between 0.9 and 1.1. For example, for a thin-film semiconductor chip having an edge length of approximately 1 mm and a radiation exit surface of approximately 1 mm 2 , the depth of the reflector trough is approximately 1.5 mm.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des optoelektronischen Halbleiterbauteils weist die Reflektorwanne die Form eines Kegelstumpfes oder eines Pyramidenstumpfes auf. Ebenso ist es möglich, dass die Wände der Reflektorwanne eine paraboloide oder hyperboloide Form, in einem Querschnitt gesehen, aufweisen.In accordance with at least one embodiment of the optoelectronic semiconductor component, the reflector trough has the shape of a truncated cone or a truncated pyramid. It is also possible that the walls of the reflector trough have a paraboloidal or hyperboloidal shape, seen in a cross section.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils liegt der mittlere Durchmesser der Bodenfläche der Reflektorwanne zwischen einschließlich der Länge der Diagonalen L des Halbleiterchips und der Länge der Diagonalen L plus 300 μm. Mit anderen Worten entspricht der mittlere Durchmesser der Bodenfläche näherungsweise der Länge der Diagonalen des Halbleiterchips plus einer Montagetoleranz.According to at least one embodiment of the semiconductor device, the mean diameter of the bottom surface of the reflector well is between plus the length of the diagonal L of the semiconductor chip and the length of the diagonal L plus 300 microns. In other words, the mean diameter of the bottom surface approximately corresponds to the length of the diagonal of the semiconductor chip plus a mounting tolerance.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils beträgt eine Dicke von durch den Leiterrahmen gebildeten Begrenzungsseiten wie den Wänden oder dem Boden der Reflektorwanne mindestens 0,5 mm, insbesondere mindestens 0,7 mm. Es sind die Begrenzungsseiten also vergleichsweise dick. Hierdurch ist eine gute Wärmeabfuhr von dem Halbleiterchip gewährleistbar und eine thermische Belastbarkeit erhöhbar.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, a thickness of boundary sides formed by the lead frame, such as the walls or the bottom of the reflector trough, is at least 0.5 mm, in particular at least 0.7 mm. It is the boundary pages so comparatively thick. As a result, a good heat dissipation from the semiconductor chip can be ensured and a thermal load capacity can be increased.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils beträgt ein Quotient aus einer Querschnittsfläche des Leiterrahmens, senkrecht zu der durch die Haupterstreckungsrichtungen aufgespannten Hauptebene, und einer thermischen Verlustleistung des Halbleiterchips im bestimmungsgemäßen Betrieb des Halbleiterbauteils mindestens 5 mm2/W, bevorzugt mindestens 7,5 mm2/W oder mindestens 10 mm2/W. Zum Beispiel beträgt die Querschnittsfläche mindestens 3 mm2 oder mindestens 5 mm2.According to at least one embodiment of the semiconductor device, a quotient of a cross-sectional area of the leadframe, perpendicular to the main plane spanned by the main extension directions, and a thermal power dissipation of the semiconductor chip during normal operation of the semiconductor device is at least 5 mm 2 / W, preferably at least 7.5 mm 2 / W or at least 10 mm 2 / W. For example, the cross-sectional area is at least 3 mm 2 or at least 5 mm 2 .

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist der Halbleiterchip unmittelbar von einer inneren Vergussmasse umgeben, die wiederum von dem Vergusskörper und dem Leiterrahmen umgeben ist. Ist eine Reflektorwanne vorhanden, so ist die innere Vergussmasse bevorzugt im Wesentlichen auf die Reflektorwanne begrenzt. Ein Material der inneren Vergussmasse kann eine geringere Härte aufweisen als ein Material des Vergusskörpers, insbesondere bei einer stationären Betriebstemperatur des Halbleiterbauteils. Durch die innere Vergussmasse sind mechanische Spannungen zwischen dem Halbleiterchip und dem Vergusskörper aufgrund von Temperaturänderungen reduzierbar. Das Material der inneren Vergussmasse ist zum Beispiel ein Silikon oder enthält ein Silikon. Das Material des Vergusskörpers ist zum Beispiel ein Epoxid oder umfasst ein Epoxid.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the semiconductor chip is surrounded directly by an inner potting compound, which in turn is surrounded by the potting body and the leadframe. If a reflector trough is present, then the inner casting compound is preferably essentially limited to the reflector trough. A material of the inner potting compound may have a lower hardness than a material of the potting body, in particular at a stationary operating temperature of the semiconductor device. Due to the inner potting compound, mechanical stresses between the semiconductor chip and the potting body can be reduced due to temperature changes. The material of the inner potting compound is for example a silicone or contains a silicone. The material of the potting body is for example an epoxy or comprises an epoxide.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils durchstößt ein Bonddraht, mittels dem der Halbleiterchip elektrisch kontaktiert ist, eine Grenzfläche zwischen dem Vergusskörper und der inneren Vergussmasse mit einer Toleranz von höchstens 45° oder höchstens 30° senkrecht. Dadurch, dass der Bonddraht eine Grenzfläche zwischen der Vergussmasse und dem Vergusskörper insbesondere mit der angegebenen Toleranz senkrecht schneidet, sind mechanische Spannungen auf den Bonddraht durch temperaturinduzierte oder herstellungsbedingte Volumenänderungen der inneren Vergussmasse und/oder des Vergusskörpers reduzierbar.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, a bonding wire, by means of which the semiconductor chip is electrically contacted, pierces an interface between the potting body and the inner potting compound with a tolerance of at most 45 ° or at most 30 ° vertically. Because the bonding wire perpendicularly intersects an interface between the potting compound and the potting body, in particular with the specified tolerance, mechanical stresses on the bonding wire can be reduced by temperature-induced or production-related volume changes of the inner potting compound and / or the potting body.

Hierdurch steigt eine thermische Belastbarkeit des Halbleiterbauteils an.As a result, a thermal load capacity of the semiconductor device increases.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils überragt der Bonddraht die Reflektorwanne und/oder die innere Vergussmasse nicht, in einer Richtung senkrecht zu der Hauptebene und weg von dem Halbleiterchip.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the bonding wire does not project beyond the reflector well and / or the inner casting compound, in a direction perpendicular to the main plane and away from the semiconductor chip.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils weist die Reflektorwanne mindestens einen oder genau einen Randbereich verringerter Höhe auf, der dem zweiten Teil des Leiterrahmens zugewandt ist. Bevorzugt in diesem Bereich verringerter Wandhöhe verlässt der Bonddraht die Reflektorwanne, insbesondere ohne die Reflektorwanne in eine Richtung senkrecht zu der Hauptebene zu verlassen. In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the reflector trough has at least one or exactly one edge region of reduced height, which faces the second part of the leadframe. The bonding wire preferably leaves the reflector trough in this area of reduced wall height, in particular without leaving the reflector trough in a direction perpendicular to the main plane.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils erstreckt sich der erste Teil des Leiterrahmens, an dem der Halbleiterchip befestigt ist, über zwei einander gegenüberliegenden Seiten des Vergusskörpers über diesen hinaus. Insbesondere sind an zwei einander gegenüberliegenden Seiten des Vergusskörpers die Anschlussbereiche an dem ersten Teil des Leiterrahmens ausgebildet. Das heißt, der erste Teil des Leiterrahmens kann sich vollständig entlang zumindest einer der Haupterstreckungsrichtungen erstrecken. Hierdurch ist eine besonders effiziente Wärmeableitung aus dem Halbleiterbauteil heraus gewährleistbar.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the first part of the leadframe on which the semiconductor chip is attached extends beyond two opposite sides of the potting body beyond it. In particular, the connection regions are formed on the first part of the leadframe on two opposite sides of the potting body. That is, the first part of the leadframe may extend completely along at least one of the main extension directions. As a result, a particularly efficient heat dissipation from the semiconductor device can be ensured.

Gemäß zumindest einer Ausführungsform des Halbleiterbauteils ist der erste Teil des Leiterrahmens, in Draufsicht auf die durch die Haupterstreckungsrichtungen aufgespannte Hauptebene gesehen und neben und/oder unter dem Vergusskörper, gabelartig mit Zinken geformt. Zwischen zwei Zinken des ersten Teils, in Draufsicht gesehen, kann sich der zweite Teil des Leiterrahmens befinden.In accordance with at least one embodiment of the semiconductor component, the first part of the leadframe, seen in plan view of the main plane spanned by the main directions of extension and next to and / or under the potting body, is fork-shaped with prongs. Between two tines of the first part, seen in plan view, the second part of the lead frame may be located.

Es wird darüber hinaus ein Leiterrahmenverbund angegeben. Beispielsweise kann das optoelektronische Halbleiterbauteil, wie in Verbindung mit einer oder mehreren der oben genannten Ausführungsformen beschrieben, ein Teilstück des Leiterrahmenverbundes enthalten. Merkmale des Leiterrahmenverbundes sind daher auch für das hier beschriebene Halbleiterbauteil offenbart und umgekehrt.It also specifies a ladder frame composite. For example, as described in connection with one or more of the above embodiments, the optoelectronic semiconductor device may include a portion of the lead frame composite. Features of the lead frame composite are therefore also disclosed for the semiconductor device described here and vice versa.

In mindestens einer Ausführungsform des Leiterrahmenverbundes beinhaltet dieser eine Vielzahl von metallischen Leiterrahmen. Die Leiterrahmen weisen jeweils mindestens zwei Teile sowie zwei eine Hauptebene aufspannende Haupterstreckungsrichtungen auf. An den Teilen von jedem der Leiterrahmen sind insgesamt mindestens zwei elektrische Anschlussflächen zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung ausgebildet. An einem ersten der Teile befindet sich zumindest ein Chipanschlussbereich zur Montage eines optoelektronischen Halbleiterchips. Die Anschlussflächen befinden sich, in Draufsicht auf die Hauptebene gesehen, neben dem Chipanschlussbereich und sind parallel zu der Hauptebene orientiert. Jeder der Leiterrahmen weist einen oder mehrere Stege auf, über die die Teile des Leiterrahmens mechanisch miteinander verbunden sind. Die Stege sind dazu vorgesehen, bei oder nach einer Montage eines Halbleiterchips entfernt zu werden, sodass mindestens zwei der Teile pro Leiterrahmen voneinander separierbar sind. Eine Dicke des Leiterrahmens beträgt mindestens 0,1 mm. Ein thermischer Widerstand zwischen dem Chipanschlussbereich und wenigstens einer der Anschlussflächen beträgt höchstens 20 K/W.In at least one embodiment of the lead frame composite, this includes a plurality of metallic lead frames. The lead frames each have at least two parts as well as two main extension directions spanning a main plane. At the parts of each of the lead frames, a total of at least two electrical pads for electrical and thermal contact are formed. At a first of the parts there is at least one chip connection region for mounting an optoelectronic semiconductor chip. The pads are, seen in plan view of the main plane, adjacent to the chip connection area and are oriented parallel to the main plane. Each of the leadframes has one or more webs over which the parts of the leadframe are mechanically interconnected. The webs are intended to be removed during or after assembly of a semiconductor chip, so that at least two of the parts per leadframe are separable from each other. A thickness of the lead frame is at least 0.1 mm. A thermal resistance between the chip connection region and at least one of the pads is at most 20 K / W.

Nachfolgend wird ein hier beschriebenes optoelektronisches Halbleiterbauteil sowie ein hier beschriebener Leiterrahmenverbund unter Bezugnahme auf die Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen geben dabei gleiche Elemente in den einzelnen Figuren an.In the following, an optoelectronic semiconductor component described here as well as a leadframe composite described here will be explained in more detail with reference to the drawings on the basis of exemplary embodiments. The same reference numerals indicate the same elements in the individual figures.

Es zeigen:Show it:

1, 4, 7 und 8 schematische Darstellungen von Ausführungsbeispielen von hier beschriebenen optoelektronischen Halbleiterbauteilen, 1 . 4 . 7 and 8th schematic representations of embodiments of optoelectronic semiconductor devices described herein,

2 und 5 schematische Draufsichten von Ausführungsbeispielen von hier beschriebenen Leiterrahmenverbünden, und 2 and 5 schematic plan views of embodiments of ladder frame assemblies described herein, and

3 und 6 schematische Darstellungen von Ausführungsbeispielen von hier beschriebenen Leiterrahmen. 3 and 6 schematic representations of embodiments of lead frames described herein.

In 1A ist eine Vorderansicht, in 1B eine Seitenansicht und in 1C eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines optoelektronischen Halbleiterbauteils 1 dargestellt. Darüber hinaus ist in 1D eine perspektivische Darstellung des Halbleiterbausteils 1 gezeigt. In der 3A ist eine Draufsicht und in den 3B und 3C sind Schnittdarstellungen eines Leiterrahmens 20 des Halbleiterbauteils 1 veranschaulicht. Die 1 und 3 sind insbesondere entlang von Haupterstreckungsrichtung M1, M2 gleich skaliert.In 1A is a front view, in 1B a side view and in 1C a plan view of an embodiment of an optoelectronic semiconductor device 1 shown. In addition, in 1D a perspective view of the Halbleiterbausteils 1 shown. In the 3A is a top view and in the 3B and 3C are sectional views of a ladder frame 20 of the semiconductor device 1 illustrated. The 1 and 3 are in particular scaled the same along the main extension direction M1, M2.

Der Leiterrahmen 20 weist ein erstes Teil 2a sowie ein zweites Teil 2b auf. An dem ersten Teil 2a ist in einer Reflektorwanne 7 ein Halbleiterchip 4 an einer Bodenfläche 8 angebracht. Die Bodenfläche 8 weist einen Chipanschlussbereich 13 auf. Über einen Bonddraht 9a ist der Halbleiterchip 4 elektrisch mit dem zweiten Teil 2b des Leiterrahmens 20 verbunden. Der Bonddraht 9a überragt die Reflektorwanne 7 nicht. Weiterhin ist die Reflektorwanne 7 mit einer inneren Vergussmasse 6 ausgefüllt. Die innere Vergussmasse 6 weist ein im Vergleich zu einem Vergusskörper 5 weiches Material auf. Eine mechanische Verbindung der Teile 2a, 2b des Leiterrahmens 20 erfolgt über den Vergusskörper 5, der linsenartig geformt ist und die innere Vergussmasse 6a sowie die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens 20 umgibt.The ladder frame 20 has a first part 2a and a second part 2 B on. At the first part 2a is in a reflector pan 7 a semiconductor chip 4 on a floor surface 8th appropriate. The floor area 8th has a chip connection area 13 on. About a bonding wire 9a is the semiconductor chip 4 electrically with the second part 2 B of the ladder frame 20 connected. The bonding wire 9a surmounted the reflector trough 7 Not. Furthermore, the reflector tray 7 with an inner potting compound 6 filled. The inner casting compound 6 has a compared to a potting body 5 soft material on. A mechanical connection of the parts 2a . 2 B of the ladder frame 20 via the potting body 5 which is lens-shaped and the inner potting compound 6a as well as the parts 2a . 2 B of the ladder frame 20 surrounds.

Insbesondere anhand der 1A und 1C wird der Leiterrahmen 20 detaillierter beschrieben. Eine Dicke D0 des Leiterrahmens 20 beträgt bevorzugt zwischen einschließlich 0,5 mm und 3 mm, zum Beispiel 1 mm +/– 0,2 mm. Durch diese vergleichsweise große Dicke D0 des Leiterrahmens 20 ist eine gute Wärmeabführung von dem Halbleiterchip 4 weg gewährleistbar. Eine Ausdehnung D4 des Leiterrahmens 20 entlang der Haupterstreckungsrichtung M1 liegt bevorzugt zwischen einschließlich 10 mm und 40 mm, zum Beispiel bei 21 mm +/– 5 mm. Bei allen diesen sowie nachfolgend angegebenen Abmessungen handelt es sich lediglich um exemplarische Abmessungen. Erfindungsgemäße Halbleiterbauteile 1 können auch hiervon deutlich abweichende Abmessungen aufweisen.In particular, based on the 1A and 1C becomes the ladder frame 20 described in more detail. A thickness D0 of the lead frame 20 is preferably between 0.5 mm and 3 mm inclusive, for example 1 mm +/- 0.2 mm. Due to this comparatively large thickness D0 of the lead frame 20 is a good heat dissipation from the semiconductor chip 4 away guaranteed. An extension D4 of the lead frame 20 along the main extension direction M1 is preferably between including 10 mm and 40 mm, for example at 21 mm +/- 5 mm. All of these and the dimensions given below are merely exemplary dimensions. Semiconductor components according to the invention 1 may also have significantly different dimensions.

Entlang der weiteren Haupterstreckungsrichtung M2 beträgt eine Breite D11 des Teils 2a insbesondere zwischen einschließlich 2 mm und 30 mm, zum Beispiel 8 mm +/– 3 mm.Along the further main extension direction M2 is a width D11 of the part 2a in particular between 2 mm and 30 mm inclusive, for example 8 mm +/- 3 mm.

Das erste Teil 2a des Leiterrahmens 20 erstreckt sich an zwei einander gegenüberliegenden Seiten des Vergusskörpers 5 in Draufsicht auf eine durch die Haupterstreckungsrichtungen M1, M2 aufgespannte Hauptebene E. Mit anderen Worten ist das erste Teil 2a gabelartig geformt, wobei sich das stiftartig geformte zweite Teil 2b zwischen Zinken 11 des gabelartigen ersten Teils 2a befindet. Eine Breite D13 der Zinken 11 des ersten Teils 2a liegt bevorzugt zwischen einschließlich 0,5 mm und 10 mm, beispielsweise bei 2 mm +/– 1 mm. Eine Breite D12 des zweiten Teils 2b ist bevorzugt kleiner als die Breite D13 und liegt bevorzugt zwischen einschließlich 0,3 mm und 10 mm, beispielsweise bei 1 mm +/– 0,5 mm. Ein Abstand zwischen den Zinken 11 des ersten Teils 2a und dem zweiten Teil 2b entlang der Haupterstreckungsrichtung M2 ist bevorzugt kleiner als die Breite D13.The first part 2a of the ladder frame 20 extends on two opposite sides of the potting body 5 in plan view of a spanned by the main extension directions M1, M2 main plane E. In other words, the first part 2a formed like a fork, with the pin-like shaped second part 2 B between tines 11 the fork-like first part 2a located. A width D13 of the tines 11 of the first part 2a is preferably between 0.5 mm and 10 mm inclusive, for example at 2 mm +/- 1 mm. A width D12 of the second part 2 B is preferably smaller than the width D13 and is preferably between 0.3 mm and 10 mm inclusive, for example at 1 mm +/- 0.5 mm. A distance between the tines 11 of the first part 2a and the second part 2 B along the main extension direction M2 is preferably smaller than the width D13.

An von der Hauptebene E am weitesten entfernten Bereichen der Teile 2a, 2b, gemessen in einer Richtung senkrecht zu der Hauptebene E, sind elektrische und thermische Anschlussflächen 3a, 3b ausgebildet, die zu einer Lötmontage oder Klebemontage des Halbleiterbauteils 1 an einen externen, nicht gezeichneten Anschlussträger ausgebildet sind. Insbesondere die Anschlussfläche 3a des ersten Teils 2a ist vergleichsweise groß und erlaubt eine gute thermische Kopplung des Halbleiterchips 4 an den nicht dargestellten externen Anschlussträger.At areas furthest away from the main plane E 2a . 2 B , measured in a direction perpendicular to the main plane E, are electrical and thermal pads 3a . 3b formed, which leads to a solder assembly or adhesive mounting of the semiconductor device 1 are formed on an external, not shown connection carrier. In particular, the connection surface 3a of the first part 2a is comparatively large and allows a good thermal coupling of the semiconductor chip 4 to the external connection carrier, not shown.

Ein Abstand D14 zwischen einer Unterseite des Vergusskörpers 5 und den Anschlussflächen 3a, 3b liegt bevorzugt zwischen einschließlich 0 mm und 2 mm, zum Beispiel bei 0,5 mm +/–0,25 mm. Anders als in 1 dargestellt ist es auch möglich, dass die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens 20 keine Biegung aufweisen und dass somit eine weitere Ebene, in der die Anschlussflächen 3a, 3b liegen, den Vergusskörper 5 schneidet. In diesem Fall kann der nicht gezeigte externe Anschlussträger eine Vertiefung für den Vergusskörper 5 aufweisen. Eine Breite D5 der Anschlussflächen 3a, 3b liegt bevorzugt zwischen einschließlich 0,5 mm und 10 mm, zum Beispiel bei 1,5 mm +/– 0,5 mm.A distance D14 between a bottom of the potting body 5 and the connection surfaces 3a . 3b is preferably between 0 mm and 2 mm, for example 0.5 mm +/- 0.25 mm. Unlike in 1 it is also possible that the parts 2a . 2 B of the ladder frame 20 have no bend and that thus another plane in which the pads 3a . 3b lie, the potting body 5 cuts. In this case, the external connection carrier, not shown, a recess for the potting body 5 exhibit. A width D5 of the connection surfaces 3a . 3b is preferably between 0.5 mm and 10 mm inclusive, for example 1.5 mm +/- 0.5 mm.

Der Vergusskörper 5 wird nachfolgend anhand der 1A bis 1C detaillierter erläutert. Der Vergusskörper 5 weist eine optische Achse O auf, die im Wesentlichen senkrecht zur Hauptebene E orientiert ist. Eine Gesamthöhe D6, bezogen auf die Hauptebene E, liegt bevorzugt zwischen einschließlich 2 mm und 30 mm, beispielsweise bei 7 mm +/– 3 mm. Ein quaderförmiger Bereich des Vergusskörpers 5, der die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens 20 unmittelbar umgibt, weist eine Höhe D9 bevorzugt zwischen einschließlich 2 mm und 10 mm, zum Beispiel 4 mm +/– 1,5 mm auf. Dieser quaderförmige Bereich weist eine Breite D3 von bevorzugt zwischen einschließlich 4 mm und 30 mm, zum Beispiel 9 mm +/– 4 mm, auf. Die Breite D3 entspricht näherungsweise der Breite D8. Die Breiten D3, D8 sind bevorzugt um mindestens 0,5 mm und/oder um mindestens 5% oder um mindestens 10% größer als die Breite D11.The potting body 5 is described below on the basis of 1A to 1C explained in more detail. The potting body 5 has an optical axis O, which is oriented substantially perpendicular to the main plane E. An overall height D6, relative to the main plane E, is preferably between 2 mm and 30 mm inclusive, for example 7 mm +/- 3 mm. A cuboid region of the potting body 5 , the parts 2a . 2 B of the ladder frame 20 immediately surrounds, preferably has a height D9 between 2 mm and 10 mm, for example, 4 mm +/- 1.5 mm. This cuboid region has a width D3 of preferably between 4 mm and 30 mm inclusive, for example 9 mm +/- 4 mm. The width D3 corresponds approximately to the width D8. The widths D3, D8 are preferably at least 0.5 mm and / or at least 5% or at least 10% larger than the width D11.

Eine Höhe D10 des linsenartig geformten Bereichs des Vergusskörpers 5 liegt bevorzugt zwischen einschließlich 1 mm und 30 mm, beispielsweise bei 6 mm +/– 3 mm. Eine Gesamthöhe des Vergusskörpers 5 ergibt sich aus der Summe der Höhen D9 und D10. In eine Richtung weg von dem Leiterrahmen 20 und beginnend bei der Höhe D7, die bevorzugt bei 3 mm +/– 2 mm liegt, weist der Vergusskörper 5 in einem Linsenbereich eine zum Beispiel sphärische Formgebung auf. Ein Durchmesser D2 des linsenförmigen Linsenbereichs des Vergusskörpers 5 bei der Höhe D7 beträgt bevorzugt zwischen einschließlich 3 mm und 30 mm, beispielsweise 8,5 mm +/– 3 mm. Ein Durchmesser D1 bei der Höhe D9 liegt bevorzugt zischen einschließlich 1% und 10% und ist größer als der Durchmesser D2. In einem Zwischenbereich zwischen der Höhe D7 und dem quaderförmigen, die Teile 2a, 2b unmittelbar umgebenden Bereich des Vergusskörpers 5 weist der Vergusskörper 5 bevorzugt die Form eines Kegelstumpfes auf, wobei ein Öffnungswinkel α des Kegels beispielsweise zwischen einschließlich 5° und 15° liegt.A height D10 of the lenticular shaped portion of the potting body 5 is preferably between 1 mm and 30 mm inclusive, for example 6 mm +/- 3 mm. An overall height of the potting body 5 results from the sum of the heights D9 and D10. In a direction away from the ladder frame 20 and starting at the height D7, which is preferably 3 mm +/- 2 mm, the potting body 5 in a lens area, for example, a spherical shape. A diameter D2 of the lenticular lens portion of the potting body 5 at the height D7 is preferably between and including 3 mm and 30 mm, for example, 8.5 mm +/- 3 mm. A diameter D1 at the height D9 is preferably between 1% and 10% and is greater than the diameter D2. In an intermediate area between the height D7 and the cuboid, the parts 2a . 2 B immediately surrounding region of the potting 5 has the potting body 5 prefers the shape of a truncated cone, wherein an opening angle α of the cone is for example between 5 ° and 15 ° inclusive.

Speziell in den 3A und 3B ist die Reflektorwanne 7 des Halbleiterbauteils 1 genauer dargestellt. Der Halbleiterchip 4 weist eine Chipdiagonale L auf, die in Draufsicht gesehen näherungsweise einem Durchmesser d der Bodenfläche 8 entspricht. Weiterhin entspricht eine Tiefe T der Reflektorwanne 7, gemessen von der Hauptebene E bis zu der Bodenfläche 8, ungefähr der Chipdiagonalen L. Begrenzungsseiten der Reflektorwanne 7, die mit einem reflektierenden Material wie Silber beschichtet sein können, weisen eine Dicke D* von mindestens 0,5 mm auf.Especially in the 3A and 3B is the reflector tray 7 of the semiconductor device 1 shown in more detail. The semiconductor chip 4 has a chip diagonal L, seen in plan view approximately a diameter d of the bottom surface 8th equivalent. Furthermore, a depth T corresponds to the reflector trough 7 , measured from the principal plane E to the bottom surface 8th , approximately the chip diagonal L. Limiting sides of the reflector pan 7 , which may be coated with a reflective material such as silver, have a thickness D * of at least 0.5 mm.

Der Halbleiterchip 4 ist über den Bonddraht 9a mit dem Teil 2b verbunden. Der Bonddraht 9a ist innerhalb der Reflektorwanne 7 in die innere Vergussmasse 6a eingebettet. Ein Durchmesser des Bonddrahts beträgt zum Beispiel 40 μm +/– 20 μm. Eine dem Halbleiterchip 4 abgewandte Oberseite der inneren Vergussmasse 6a kann planar oder konvex gekrümmt geformt sein. Der Bonddraht 9a verlässt die Reflektorwanne 7 in einem Wandbereich 70a mit verminderter Höhe. Bevorzugt weist der Bonddraht 9a keinen konstanten Krümmungsradius auf, sondern ist nahe der Oberseite der inneren Vergussmasse 6a in der Reflektorwanne 7 am stärksten gekrümmt. Der Bonddraht 9a durchstößt eine Begrenzungsfläche der inneren Vergussmasse 6a bevorzugt nahezu senkrecht.The semiconductor chip 4 is over the bonding wire 9a with the part 2 B connected. The bonding wire 9a is inside the reflector pan 7 into the inner casting compound 6a embedded. A diameter of the bonding wire is, for example, 40 μm +/- 20 μm. A the semiconductor chip 4 remote top side of the inner potting compound 6a can be planar or convex be curved shaped. The bonding wire 9a leaves the reflector tray 7 in a wall area 70a with reduced height. Preferably, the bonding wire 9a no constant radius of curvature, but is close to the top of the inner potting compound 6a in the reflector tray 7 most curved. The bonding wire 9a pierces a boundary surface of the inner potting compound 6a preferably almost perpendicular.

Optional ist an dem ersten Teil 2a in einer weiteren Wanne eine Schutzdiode 15 gegen elektrostatische Entladung angebracht. Die weitere Wanne weist ebenfalls einen Bereich verminderter Höhe 70b auf. Die Schutzdiode 15 ist über den Bonddraht 9b mit dem Teil 2b elektrisch verbunden. Ebenfalls bevorzugt ist die weitere Wanne mit der Schutzdiode 15 mit einer weiteren inneren Vergussmasse 6b gefüllt.Optional is on the first part 2a in another well a protective diode 15 attached against electrostatic discharge. The further tub also has an area of reduced height 70b on. The protective diode 15 is over the bonding wire 9b with the part 2 B electrically connected. Also preferred is the further tub with the protective diode 15 with another inner potting compound 6b filled.

Außerdem kann an dem Teil 2b ein Anschlussbereich 90 für die Bonddrähte 9a, 9b ausgebildet sein, wie speziell in den 3A und 3C dargestellt. Das Teil 2b ist hierbei so geformt, dass der Anschlussbereich 90 gegenüber der Ebene E zurück versetzt ist und sich zum Beispiel in etwa im selben Abstand von der Ebene E befindet wie der Boden der weiteren Wanne für die Schutzdiode 15. Es ist möglich, dass der Bonddraht 9a die Ebene E nicht schneidet und/oder höchstens um die Dicke D0 des Leiterrahmens gegenüber der Ebene E zurück versetzt ist. Mit anderen Worten verläuft der Bonddraht 9a dann, in einer Seitenansicht gesehen, vergleiche 3B, ausschließlich zwischen der Ebene E und einer der Ebene E gegenüberliegenden Hauptseite F des Teils 2a.Also, on the part 2 B a connection area 90 for the bonding wires 9a . 9b be trained as special in the 3A and 3C shown. The part 2 B is here shaped so that the connection area 90 is offset back to the plane E and is, for example, at about the same distance from the plane E as the bottom of the further well for the protective diode 15 , It is possible that the bonding wire 9a the plane E does not intersect and / or is at most offset back by the thickness D0 of the leadframe from the plane E. In other words, the bonding wire runs 9a then, seen in a side view, compare 3B , exclusively between the plane E and a major side F opposite the plane E of the part 2a ,

In 3A ist der Leiterrahmen 20 nach der Montage des Halbleiterchips 4 und vor dem Anbringen des Vergusskörpers 5 gezeigt. Die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens 20 sind noch über Stege 12 mechanisch miteinander verbunden, sodass der Leiterrahmen 20 gemäß 3A einstückig ausgebildet ist. Die Stege 12 werden in einem nachfolgenden Verfahrensschritt entfernt, sodass mit dem Entfernen der Stege 12 die Teile 2a, 2b voneinander separiert werden. Zur Verbesserung einer mechanischen Verbindung des Vergusskörpers 5 mit dem Leiterrahmen 20 weist insbesondere der erste Teil 2a Einkerbungen 16 sowie Öffnungen 17 auf.In 3A is the ladder frame 20 after mounting the semiconductor chip 4 and before attaching the potting body 5 shown. The parts 2a . 2 B of the ladder frame 20 are still over jetties 12 mechanically interconnected so that the lead frame 20 according to 3A is integrally formed. The bridges 12 are removed in a subsequent process step, so with the removal of the webs 12 the parts 2a . 2 B be separated from each other. To improve a mechanical connection of the potting body 5 with the ladder frame 20 points in particular the first part 2a notches 16 as well as openings 17 on.

Ein Leiterrahmenverbund 200 mit Leiterrahmen 20, wie in Verbindung mit dem Halbleiterbauteil 1 insbesondere gemäß 1 verwendet, ist in einer Draufsicht in 2 illustriert. Benachbarte Leiterrahmen 20 sind über Vereinzelungsbereiche 14 einstückig miteinander verbunden. Eine Montage der Halbleiterchips 4 an den Chipanschlussbereichen 13 an der Bodenfläche 8 der Reflektorwanne 7 sowie ein Formen der inneren Vergussmassen 6a, 6b sowie des Vergusskörpers 5 kann noch im Leiterrahmenverbund 200 erfolgen. Ein Vereinzeln zu einzelnen Halbleiterbauteilen 1 geschieht also bevorzugt, nachdem alle Komponenten des Halbleiterbauteils 1 geformt und/oder montiert sind.A ladder frame composite 200 with ladder frame 20 as in connection with the semiconductor device 1 in particular according to 1 used is in a plan view in 2 illustrated. Adjacent ladder frames 20 are about separation areas 14 integrally connected. An assembly of the semiconductor chips 4 at the chip connection areas 13 at the bottom surface 8th the reflector tray 7 as well as a molding of the inner casting compounds 6a . 6b and the potting body 5 can still in ladder frame composite 200 respectively. Singulation to individual semiconductor components 1 Thus, preferably, after all components of the semiconductor device 1 are shaped and / or mounted.

Beim Formen der Vergusskörper 5, zum Beispiel mittels Gießen oder Spritzgießen, können diese einstückig und/oder strangförmig ausgebildet sein und sich zusammenhängend über mehrere der Leiterrahmen 20 hinweg erstrecken. Bei dem Vereinzeln zu einzelnen Halbleiterbauteilen 1 werden dann auch die Vergusskörper 5 vereinzelt und voneinander separiert. Alternativ ist es hierzu möglich, dass die Vergusskörper 5 bereits voneinander separiert geformt werden und keine zusammenhängende Verbindung aufweisen und dann beim Vereinzeln nur die Vereinzelungsbereiche 14 durchtrennt werden.When molding the potting body 5 For example, by casting or injection molding, these may be formed in one piece and / or strand-shaped and connected over several of the lead frame 20 extend. In the singulation of individual semiconductor components 1 then also the potting body 5 isolated and separated from each other. Alternatively, it is possible for this that the potting 5 already formed separated from each other and have no coherent connection and then singling only the separation areas 14 be severed.

Analog zu den 1 bis 3 ist in den maßstäblichen 4 bis 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel des Halbleiterbauteils 1 sowie des zugehörigen Leiterrahmenverbundes 200 illustriert. Anders als gemäß 1 weist der Leiterrahmen 20 des Halbleiterbauteils 1 gemäß 4 keine Reflektorwanne auf, sondern der Halbleiterchip 4 ist an der Hauptebene E auf das erste Teil 2a angebracht.Analogous to the 1 to 3 is in the scale 4 to 6 a further embodiment of the semiconductor device 1 and the associated lead frame composite 200 illustrated. Other than according to 1 points the ladder frame 20 of the semiconductor device 1 according to 4 no reflector trough, but the semiconductor chip 4 is at the main level E on the first part 2a appropriate.

Durch den Verzicht auf die Reflektorwanne ist eine besonders gute thermische Ankopplung des Halbleiterchips 4 an einen nicht dargestellten externen Anschlussträger erreichbar. Um eine besonderes gerichtete Abstrahlung zu erzielen, weist der Vergusskörper 5 eine große Höhe D10 auf, die bevorzugt zwischen einschließlich 4 mm und 30 mm, beispielsweise bei 10 mm +/– 3 mm liegt. Ab einer Höhe D7, die bevorzugt zwischen einschließlich 2 mm und 20 mm, beispielsweise bei 7 mm +/– 3 mm, liegt, weist der Vergusskörper 5 eine sphärische Form auf. Der von dem quaderförmigen Bereich bis zur Höhe D7 reichende Zwischenbereich des Vergusskörpers 5 ist kegelstumpfartig geformt mit einem Öffnungswinkel α von beispielsweise 4° +/– 2°.By dispensing with the reflector trough is a particularly good thermal coupling of the semiconductor chip 4 reachable to an external connection carrier, not shown. To achieve a special directed radiation, the potting body 5 a large height D10, which is preferably between 4 mm and 30 mm inclusive, for example at 10 mm +/- 3 mm. From a height D7, which is preferably between 2 mm and 20 mm inclusive, for example at 7 mm +/- 3 mm, has the potting 5 a spherical shape. The intermediate region of the potting body extending from the cuboid region to the height D7 5 is truncated cone-shaped with an opening angle α of, for example, 4 ° +/- 2 °.

Der Leiterrahmen 20 des Halbleiterbauteils 1 ist detaillierter in 6 dargestellt. Eine Tiefe D15 der Biegung liegt insbesondere zwischen einschließlich 0 mm und 5 mm, beispielsweise bei 1 mm +/– 0,5 mm. Eine Breite D16 eines Zentralbereichs des Leiterrahmens 20, in der der Vergusskörper 5 angebracht ist, beträgt bevorzugt zwischen einschließlich 5 mm und 30 mm, beispielsweise 13 mm +/– 5 mm. Die Breite D16 beträgt bevorzugt mindestens 50% oder mindestens 60% der Breite D4, vergleiche die 1A und 4A.The ladder frame 20 of the semiconductor device 1 is more detailed in 6 shown. A depth D15 of the bend is in particular between 0 mm and 5 mm, for example 1 mm +/- 0.5 mm. A width D16 of a central portion of the lead frame 20 in which the potting body 5 is appropriate, is preferably between 5 mm and 30 mm, for example, 13 mm +/- 5 mm. The width D16 is preferably at least 50% or at least 60% of the width D4, compare the 1A and 4A ,

Anders als dargestellt ist der Halbleiterchip 4 in dem Ausführungsbeispiel gemäß der 4 bis 6 optional mit der inneren Vergussmasse umgeben, die den Halbleiterchips 4 tropfenförmig oder halbkugelförmig überdecken kann. In diesem Fall verlässt der Bonddraht 9a die innere Vergussmasse bevorzugt näherungsweise senkrecht.Other than illustrated, the semiconductor chip 4 in the embodiment according to the 4 to 6 optionally surrounded with the inner potting compound, which surrounds the semiconductor chips 4 can cover drop-shaped or hemispherical. In this case leaves the bonding wire 9a the inner potting compound preferably approximately perpendicular.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des Halbleiterbauteils 1 ist in 7A in einer Vorderansicht, in 7B in einer Draufsicht und in 7C in einer perspektivischen Darstellung gezeigt. Die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens sind außerhalb des Vergusskörpers 5 U-förmig gebogen und reichen, in Draufsicht gesehen, bis unter den Vergusskörper 5. Die Anschlussflächen 3 liegen, ebenfalls in Draufsicht gesehen, teilweise neben und teilweise unter dem Vergusskörper 5. An lateralen Begrenzungsflächen und an einer Unterseite des Vergusskörpers 5, die dem Linsenbereich des Vergusskörpers 5 gegenüber liegt, verlaufen die Teile 2a, 2b in einem Abstand zu dem Vergusskörper 5.Another embodiment of the semiconductor device 1 is in 7A in a front view, in 7B in a plan view and in 7C shown in a perspective view. The parts 2a . 2 B of the lead frame are outside the potting body 5 U-shaped bent and rich, seen in plan view, to under the potting 5 , The connection surfaces 3 lie, also seen in plan view, partly next to and partially below the potting 5 , At lateral boundary surfaces and at a bottom of the potting body 5 that is the lens area of the potting body 5 is opposite, run the parts 2a . 2 B at a distance to the potting body 5 ,

Anders als in 7 illustriert ist es alternativ ebenso möglich, dass die U-förmig gebogenen Teile 2a, 2b auch an den lateralen Begrenzungsflächen und/oder an der Unterseite des Vergusskörpers 5 in unmittelbarem Kontakt zu dem Vergusskörper 5 stehen.Unlike in 7 illustrated, it is alternatively also possible that the U-shaped bent parts 2a . 2 B also on the lateral boundary surfaces and / or on the underside of the potting body 5 in direct contact with the potting body 5 stand.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel des Halbleiterbauteils 1 ist in 8A in einer Vorderansicht, in 8B in einer Draufsicht und in 8C in einer perspektivischen Darstellung gezeigt. Durchstoßbereiche, in denen die Teile 2a, 2b des Leiterrahmens äußere Begrenzungsflächen des Vergusskörpers 5 durchstoßen, befinden sich an der Unterseite des Vergusskörpers 5 und sind, in Draufsicht gesehen, von dem Vergusskörper 5 überdeckt. Ebenso sind die Anschlussflächen 3 vollständig von dem Vergusskörper 5 überdeckt, in Draufsicht gesehen. Es erstrecken sich die Teile 2a, 2b L-förmig weg von der Unterseite. Wie auch gemäß 7 können die Teile 2a, 2b U-förmig geformt sein, wobei eine erste Biegestelle der Teile 2a, 2b bevorzugt innerhalb des Vergusskörpers 5 liegt, siehe 8A. Ebenso wie gemäß den 1, 4 und 7 sind die Teile 2a, 2b gabelartig geformt.Another embodiment of the semiconductor device 1 is in 8A in a front view, in 8B in a plan view and in 8C shown in a perspective view. Puncture areas, in which the parts 2a . 2 B of the lead frame outer boundary surfaces of the potting body 5 pierced, are located at the bottom of the potting 5 and are, seen in plan view, of the potting body 5 covered. Likewise, the pads 3 completely from the potting body 5 covered, seen in plan view. The parts extend 2a . 2 B L-shaped off the bottom. As well as according to 7 can the parts 2a . 2 B U-shaped, with a first bend of the parts 2a . 2 B preferably within the potting body 5 lies, see 8A , As well as according to the 1 . 4 and 7 are the parts 2a . 2 B shaped like a fork.

Die hier beschriebene Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von Merkmalen, was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.The invention described here is not limited by the description based on the embodiments. Rather, the invention encompasses any novel feature as well as any combination of features, including in particular any combination of features in the claims, even if this feature or combination itself is not explicitly stated in the patent claims or exemplary embodiments.

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

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Claims (14)

Oberflächenmontierbares optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) mit – einem metallischen Leiterrahmen (20) mit mindestens zwei separaten Teilen (2a, 2b) und mit zwei eine Hauptebene (E) aufspannenden Haupterstreckungsrichtungen (M), – mindestens zwei elektrischen Anschlussflächen (3) an den Teilen (2a, 2b) zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung des Halbleiterbauteils (1), – mindestens einem optoelektronischen Halbleiterchip (4), der an genau einem ersten der Teile (2a) befestigt und mit einem zweiten der Teile (2b) elektrisch verbunden ist, und – einem linsenartig geformten Vergusskörper (5), der den Halbleiterchip (4) und den Leiterrahmen (20) mindestens stellenweise umgibt und die Teile (2a, 2b) mechanisch miteinander verbindet, wobei – sich die Anschlussflächen (3), in Draufsicht auf die Hauptebene (E) gesehen, neben und/oder unter dem Vergusskörper (5) befinden und parallel zu der Hauptebene (E) orientiert sind, – eine Dicke (D0) des Leiterrahmens (20) mindestens 0,1 mm beträgt, und – ein mittlerer thermischer Widerstand zwischen dem Halbleiterchip (4) und wenigstens einer der Anschlussflächen (3) höchstens 20 K/W beträgt.Surface-mountable optoelectronic semiconductor component ( 1 ) with - a metallic lead frame ( 20 ) with at least two separate parts ( 2a . 2 B ) and with two main directions of extent (M) spanning a main plane (E), - at least two electrical connecting surfaces ( 3 ) on the parts ( 2a . 2 B ) to an electrical and thermal contacting of the semiconductor device ( 1 ), - at least one optoelectronic semiconductor chip ( 4 ) on exactly one of the first parts ( 2a ) and with a second of the parts ( 2 B ) is electrically connected, and - a lens-like molded potting ( 5 ), the semiconductor chip ( 4 ) and the lead frame ( 20 ) at least in places and the parts ( 2a . 2 B ) mechanically interconnects, wherein - the connecting surfaces ( 3 ), seen in plan view of the main plane (E), next to and / or below the potting body ( 5 ) and are oriented parallel to the main plane (E), - a thickness (D0) of the lead frame ( 20 ) is at least 0.1 mm, and - a mean thermal resistance between the semiconductor chip ( 4 ) and at least one of the pads ( 3 ) is at most 20 K / W. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, bei dem der Halbleiterchip (4) in einer Reflektorwanne (7) angeordnet ist, die in dem ersten Teil (2a) des Leiterrahmens (20) ausgeformt ist, wobei ein Quotient L/T aus einer Diagonale (L) des Halbleiterchips (4) und einer Tiefe (T) der Reflektorwanne (7) zwischen einschließlich 0,5 und 2,0 beträgt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to the preceding claim, in which the semiconductor chip ( 4 ) in a reflector pan ( 7 ), which in the first part ( 2a ) of the lead frame ( 20 ), wherein a quotient L / T from a diagonal (L) of the semiconductor chip ( 4 ) and a depth (T) of the reflector trough ( 7 ) between 0.5 and 2.0 inclusive. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach dem vorhergehenden Anspruch, bei dem der Quotient L/T zwischen einschließlich 0,8 und 1,2 oder zwischen einschließlich 0,9 und 1,1 liegt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to the preceding claim, wherein the quotient L / T is between 0.8 and 1.2 inclusive or between 0.9 and 1.1 inclusive. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach Anspruch 2 oder 3, bei dem ein mittlerer Durchmesser (d) einer Bodenfläche (8) der Reflektorwanne (7) zwischen einschließlich der Länge der Diagonalen (L) des Halbleiterchips (4) und der Länge der Diagonalen (L) plus 300 μm beträgt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to claim 2 or 3, wherein a mean diameter (d) of a bottom surface ( 8th ) of the reflector tray ( 7 ) between and including the length of the diagonal (L) of the semiconductor chip ( 4 ) and the length of the diagonal (L) plus 300 microns. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem die Dicke (D*) von durch den Leiterrahmen (20) gebildeten Begrenzungsseiten der Reflektorwanne (7) mindestens 0,5 mm beträgt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of claims 2 to 4, wherein the thickness (D *) of the lead frame ( 20 ) formed limiting sides of the reflector pan ( 7 ) is at least 0.5 mm. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem ein Quotient A/P aus einer Querschnittsfläche (A) des Leiterrahmens (20), senkrecht zu der Hauptebene (E), und einer thermischen Verlustleistung P des Halbleiterchips (4) im bestimmungsgemäßen Betrieb des Halbleiterbauteils (1) mindestens 5 mm2/W beträgt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of the preceding claims, wherein a quotient A / P from a cross-sectional area (A) of the lead frame ( 20 ), perpendicular to the main plane (E), and a thermal power loss P of the semiconductor chip ( 4 ) in normal operation of the semiconductor device ( 1 ) is at least 5 mm 2 / W. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Halbleiterchip (4) von einer inneren Vergussmasse (6) umgeben ist, die von dem Vergusskörper und dem Leiterrahmen (20) umgeben ist, wobei ein Material der inneren Vergussmasse (6) eine geringer Härte aufweist als ein Material des Vergusskörpers (5), und wobei der Halbleiterchip (4) mit dem zweiten Teil (2) über einen Bonddraht (9) elektrisch verbunden ist.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of the preceding claims, in which the semiconductor chip ( 4 ) of an inner potting compound ( 6 ) surrounded by the potting body and the lead frame ( 20 ), wherein a material of the inner casting compound ( 6 ) has a lower hardness than a material of the potting body ( 5 ), and wherein the semiconductor chip ( 4 ) with the second part ( 2 ) via a bonding wire ( 9 ) is electrically connected. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach Anspruch 2 und nach dem vorhergehenden Anspruch, bei dem die Reflektorwanne (7) mit der inneren Vergussmasse (6) ausgefüllt ist, wobei der Bonddraht (9) eine Grenzfläche (56) zwischen dem Vergusskörper (5) und der inneren Vergussmasse (6) senkrecht mit einer Toleranz von höchstens 45° durchstößt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to claim 2 and according to the preceding claim, wherein the reflector trough ( 7 ) with the inner casting compound ( 6 ), the bonding wire ( 9 ) an interface ( 56 ) between the potting body ( 5 ) and the inner potting compound ( 6 ) penetrates vertically with a maximum tolerance of 45 °. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach Anspruch 7 oder 8, bei dem der Bonddraht (9) die Reflektorwanne (7) und/oder die innere Vergussmasse (6), in eine Richtung (S) senkrecht zu der Hauptebene und weg von dem Halbleiterchip (4), nicht überragt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to claim 7 or 8, wherein the bonding wire ( 9 ) the reflector tray ( 7 ) and / or the inner casting compound ( 6 ), in a direction (S) perpendicular to the main plane and away from the semiconductor chip ( 4 ), not overlooked. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) zumindest nach Anspruch 2, bei dem die Reflektorwanne (7) mindesten einen oder genau einen Wandbereich (70) verringerter Höhe aufweist, der dem zweiten Teil (2b) des Leiterrahmens (20) zugewandt ist.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) at least according to claim 2, wherein the reflector trough ( 7 ) at least one or exactly one wall area ( 70 ), the second part ( 2 B ) of the lead frame ( 20 ) is facing. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem sich der erste Teil (2a) des Leiterrahmens (20), an dem der Halbleiterchip (4) befestigt ist, an zwei einander gegenüberliegenden Seiten des Vergusskörpers (5), in der Hauptebene (E) gesehen, über den Vergusskörper (5) hinaus erstreckt.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of the preceding claims, in which the first part ( 2a ) of the lead frame ( 20 ), on which the semiconductor chip ( 4 ) is attached, on two opposite sides of the potting body ( 5 ), seen in the main plane (E), over the potting body ( 5 ) extends. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der erste Teil (2a) des Leiterrahmens (20), in Draufsicht auf die Hauptebene (E) gesehen und neben oder unter dem Vergusskörper (5), gabelartig mit Zinken (11) geformt ist.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of the preceding claims, in which the first part ( 2a ) of the lead frame ( 20 ), seen in plan view of the main plane (E) and next to or below the potting body ( 5 ), forked with prongs ( 11 ) is shaped. Optoelektronisches Halbleiterbauteil (1) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem Durchstoßbereiche, in denen die Teile (2a, 2b) äußere Begrenzungsflächen des Vergusskörper (5) durchstoßen, in Draufsicht auf die Hauptsebene (E) gesehen von dem Vergusskörper (5) überdeckt sind.Optoelectronic semiconductor component ( 1 ) according to one of the preceding claims, in which puncture areas in which the parts ( 2a . 2 B ) outer boundary surfaces of the potting body ( 5 ) pierced, seen in plan view of the main plane (E) of the potting body ( 5 ) are covered. Leiterrahmenverbund (200) mit einer Vielzahl von metallischen Leiterrahmen (20), wobei die Leiterrahmen (20) jeweils aufweisen: – mindestens zwei Teile (2a, 2b), – zwei eine Hauptebene (E) aufspannende Haupterstreckungsrichtungen (M), – mindestens zwei Anschlussflächen (3) an den Teilen (2a, 2b) zu einer elektrischen und thermischen Kontaktierung, – mindestens einen Chipanschlussbereich (13) zur Montage eines optoelektronischen Halbleiterchip (4) an einem ersten der Teile (2a), wobei – sich die Anschlussflächen (3), in Draufsicht auf die Hauptebene (E) gesehen, neben dem Chipanschlussbereich (13) befinden und parallel zu der Hauptebene (E) orientiert sind, – die Teile (2a, 2b) über Stege (12) mechanisch miteinander verbunden sind und die Stege (12) dazu vorgesehen sind, bei oder nach einer Montage des Halbleiterchips (4) entfernt zu werden, so dass mindestens zwei der Teile (2a, 2b) pro Leiterrahmen (20) voneinander abtrennbar sind, – eine Dicke (D) des Leiterrahmens (20) mindestens 0,1 mm beträgt, und – ein mittlerer thermischer Widerstand zwischen dem Chipanschlussbereich (13) und wenigstens einer der Anschlussflächen (3) höchstens 20 K/W beträgt.Lead frame composite ( 200 ) with a plurality of metallic lead frames ( 20 ), the lead frames ( 20 ) each comprise: - at least two parts ( 2a . 2 B ), - two main directions of extension (M) spanning a main plane (E), - at least two connecting surfaces ( 3 ) on the parts ( 2a . 2 B ) to an electrical and thermal contact, - at least one chip connection area ( 13 ) for mounting an optoelectronic semiconductor chip ( 4 ) on a first of the parts ( 2a ), where - the connecting surfaces ( 3 ), seen in plan view of the main plane (E), next to the chip connection area ( 13 ) and oriented parallel to the main plane (E), - the parts ( 2a . 2 B ) over bridges ( 12 ) are mechanically interconnected and the webs ( 12 ) are provided, during or after assembly of the semiconductor chip ( 4 ), so that at least two of the parts ( 2a . 2 B ) per ladder frame ( 20 ) are separable from each other, - a thickness (D) of the lead frame ( 20 ) is at least 0.1 mm, and - a mean thermal resistance between the chip connection region ( 13 ) and at least one of the pads ( 3 ) is at most 20 K / W.
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