DE102010030782A1 - Transport roller for transportation of plate-shaped substrate in substrate treatment plant, has radiation protection arranged at roller end, and plate-shaped diaphragms transversely aligned to rotational axis of roller - Google Patents

Transport roller for transportation of plate-shaped substrate in substrate treatment plant, has radiation protection arranged at roller end, and plate-shaped diaphragms transversely aligned to rotational axis of roller Download PDF

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Abstract

The roller has a radiation protection arranged at a roller end (25). Plate-shaped diaphragms (72) are transversely aligned to a rotational axis of the roller. The two diaphragms are arranged parallel to each other at a distance. A spacer is arranged between the two adjacent diaphragms. The diaphragms are attached on a cuff (71) or clip. The roller end is attached with a bearing pin (26). An end cap (2) is formed with a bore (21). A rotationally symmetric roller body (1) is made of a ceramic material. The end cap is made of stainless steel. The diaphragm is made of stainless steel and ceramic material.

Description

Die Erfindung betrifft eine Transportrolle mit mindestens einem Strahlungsschutz, die vorteilhaft in einer Transporteinrichtung zum Transport von Substraten in Substratbehandlungsanlagen verwendet werden kann, sowie eine Transporteinrichtung mit derartigen Transportrollen.The invention relates to a transport roller with at least one radiation protection, which can be advantageously used in a transport device for transporting substrates in substrate treatment plants, as well as a transport device with such transport rollers.

In Substratbehandlungsanlagen, beispielsweise Anlagen zur Beschichtung oder/und zum Trockenätzen plattenförmiger Substrate, sind Transporteinrichtungen bekannt, die eine Anordnung von Transporträdern oder Transportwalzen aufweisen, auf denen die Substrate stehend oder liegend durch die Substratbehandlungsanlage transportiert werden.In substrate treatment plants, for example systems for coating and / or for dry etching plate-shaped substrates, transport devices are known which have an arrangement of transport wheels or transport rollers on which the substrates are transported standing or lying through the substrate treatment plant.

Unter einer Transportwalze soll dabei ein langgestreckter, im wesentlichen zylindrischer Körper verstanden werden, der beispielsweise in einer typischen Transporteinrichtung zum liegenden (horizontalen) Transport plattenförmiger Substrate an jedem seiner beiden Enden drehbar gelagert ist, wobei mehrere Transportwalzen beispielsweise mit jedem Ende in je einer Lagerbank gelagert sein können, die jeweils die Lager für mehrere in der Transportrichtung der Substrate hintereinander angeordnete Transportwalzen aufweisen. Eine derartige Transporteinrichtung ist beispielsweise in DE 10 2005 016 406 A1 beschrieben.A transport roller should be understood to mean an elongate, essentially cylindrical body which is rotatably mounted, for example, in a typical transport device for horizontal (horizontal) transport of plate-shaped substrates at each of its two ends, wherein a plurality of transport rollers are mounted, for example, with each end in a respective storage bank may each have the bearings for several in the transport direction of the substrates one behind the other arranged transport rollers. Such a transport device is for example in DE 10 2005 016 406 A1 described.

Unter einem Transportrad soll hingegen für die Zwecke dieser Beschreibung ein relativ kurzer, im wesentlichen zylindrischer Körper (mit oder ohne umlaufende Führungsrille) verstanden werden, der beispielsweise in einer typischen Transporteinrichtung zum stehenden (vertikalen oder leicht aus der Vertikalen geneigten) Transport plattenförmiger Substrate an nur einem seiner beiden Enden drehbar gelagert ist. Auch hier können mehrere Transporträder beispielsweise mit einem Ende in einer Lagerbank gelagert sein, die jeweils die Lager für mehrere in der Transportrichtung der Substrate hintereinander angeordnete Transporträder aufweisen. Alternativ können die Lager auch in einer Kammerwand der Substratbehandlungsanlage angeordnet sein. Eine derartige Transporteinrichtung ist beispielsweise in DE 10 2007 052 524 A1 beschrieben.By contrast, for the purposes of this description, a transport wheel should be understood to mean a relatively short, essentially cylindrical body (with or without circumferential guide groove), for example in a typical transport device for upright (vertical or slightly inclined from the vertical) transport of plate-shaped substrates is rotatably mounted one of its two ends. Again, several transport wheels may be stored, for example, with one end in a storage bank, each having the bearings for several in the transport direction of the substrates arranged one behind the other transport wheels. Alternatively, the bearings can also be arranged in a chamber wall of the substrate treatment plant. Such a transport device is for example in DE 10 2007 052 524 A1 described.

Aus Gründen der sprachlichen Vereinfachung werden nachfolgend Transportwalzen und Transporträder der oben beschriebenen Art einheitlich als Transportrollen bezeichnet.For the sake of linguistic simplification, transport rollers and transport wheels of the type described above are hereinafter referred to uniformly as transport rollers.

Insbesondere bei Substratbehandlungsprozessen, die unter hohen Temperaturen oder in aggressiven Atmosphären stattfinden, haben die Prozessbedingungen negative Effekte auf die Lager der Transportrollen. Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, die Lager einer derartigen Transporteinrichtung vor Beschädigungen durch hohe Temperaturen, aggressive Atmosphäre oder ungewollte Beschichtung zu schützen.Especially in substrate treatment processes that take place under high temperatures or in aggressive atmospheres, the process conditions have negative effects on the bearings of the transport rollers. An object of the present invention is to protect the bearings of such a transport device from damage caused by high temperatures, aggressive atmosphere or unwanted coating.

Hierzu wird bei einer Transportrolle, die einen rotationssymmetrischen Rollenkörper und mindestens ein Rollenende umfasst, vorgeschlagen, dass am Rollenende ein Strahlungsschutz angeordnet ist, der mindestens eine quer zur Drehachse der Transportrolle ausgerichtete, plattenförmige Blende umfasst.For this purpose, in a transport roller which comprises a rotationally symmetrical roller body and at least one roller end, it is proposed that a radiation protection be arranged at the roller end, which comprises at least one plate-shaped diaphragm aligned transversely to the axis of rotation of the transport roller.

Die plattenförmige Blende befindet sich mithin stets zwischen dem Substrat und der Substratbehandlungseinrichtung einerseits und dem Lager der Transportrolle andererseits. Die Blende ist an der Transportrolle drehfest angebracht, d. h. sie rotiert mit der Transportrolle, und schützt das dahinterliegende Lager vor Wärme, aggressiven Medien und ungewollter Einwirkung der Substratbehandlungseinrichtung, beispielsweise einer Beschichtung oder einem Ätzangriff.The plate-shaped diaphragm is therefore always located between the substrate and the substrate treatment device on the one hand and the bearing of the transport roller on the other. The aperture is rotatably attached to the transport roller, d. H. it rotates with the transport roller, and protects the underlying storage from heat, aggressive media and unwanted influence of the substrate treatment device, such as a coating or an etching attack.

Mit der Formulierung „am Rollenende” ist im Zusammenhang mit einer Substratbehandlungsanlage gemeint, dass der Strahlungsschutz im Rollenendbereich außerhalb der Substratbewegungszone angeordnet ist. Das Rollenende kann weiterhin einen im Durchmesser vom Rollenende abgesetzten Lagerzapfen umfassen, der in einem Drehlager gelagert ist. Der Strahlungsschutz kann am Rollenende drehfest angeordnet sein oder ohne Verdrehsicherung aufgesteckt sein.The term "at the end of the roll" in the context of a substrate treatment plant means that the radiation protection is arranged in the roll end region outside the substrate movement zone. The roller end may further comprise a bearing pin which is offset in diameter from the roller end and which is mounted in a rotary bearing. The radiation protection can be arranged rotatably at the end of the roll or plugged without rotation.

Anders als ortsfest in der Kammer angeordnete Blenden wird die drehfest an der Transportrolle angeordnete Blende in demselben Arbeitsgang mit der Transportrolle aus der Transporteinrichtung entfernt, wodurch anschließend das Lager für Wartungsarbeiten frei zugänglich ist. Die Blende kann dabei unlösbar, beispielsweise stoffschlüssig durch Schweißen oder andere bekannte Verfahren mit der Transportrolle verbunden sein, auf das Rollenende aufgeklebt oder durch andere bekannte Verfahren mit dem Rollenende verbunden sein.Unlike diaphragms arranged in a stationary manner in the chamber, the diaphragm arranged non-rotatably on the transport roller is removed in the same operation with the transport roller from the transport device, whereby subsequently the bearing is freely accessible for maintenance work. In this case, the diaphragm can be non-releasably connected to the transport roller, for example by material bonding by welding or other known methods, glued to the roller end or connected to the roller end by other known methods.

Die Blende kann jedoch auch lösbar an der Transportrolle befestigt sein, um das Auswechseln oder Reinigen der Blende zu vereinfachen. Die Blende kann damit einfach und schnell von der aus der Kammer entfernten Transportrolle entfernt werden, um sie auszuwechseln oder zu reinigen. Hierfür kann beispielsweise eine Klemmschelle vorgesehen sein, die um das Rollenende gelegt und anschließend gespannt wird, und die an ihrer Außenseite die Blende trägt.However, the bezel may also be releasably secured to the transport roller to facilitate replacement or cleaning of the bezel. The panel can thus be easily and quickly removed from the removed from the chamber transport roller to replace or clean it. For this purpose, for example, a clamp may be provided, which is placed around the roll end and then tensioned, and carries on its outside the panel.

In einer anderen Ausgestaltung ist die Blende an einer Manschette befestigt, die über das Rollenende geschoben ist. Bei entsprechender Auswahl der Passung zwischen Manschette und Rollenende sind weitere Maßnahmen zur Befestigung nicht notwendig, weil die Verbindung zwischen Manschette und Rollenende kein äußeres Drehmoment übertragen muss. Alternativ können die Kontaktflächen von Manschette und Rollenende beispielsweise konisch ausgeführt sein, um eine Klemmwirkung zu erzielen oder/und miteinander verklebt oder anderweitig verkeilt sein. Es versteht sich von selbst, dass mehrere Blenden auf ein und derselben Klemmschelle oder Manschette angeordnet sein können.In another embodiment, the panel is attached to a sleeve, which over the Roll end is pushed. With appropriate selection of the fit between the sleeve and roller end further measures for attachment are not necessary because the connection between the sleeve and roller end no external torque must be transmitted. Alternatively, the contact surfaces of the sleeve and the roller end may, for example, be conical in order to achieve a clamping effect and / or be adhesively bonded together or otherwise wedged. It goes without saying that multiple diaphragms can be arranged on the same clamp or cuff.

„Plattenförmig” soll im Zusammenhang mit der hier beschriebenen Blende bedeuten, dass diese aus einem flächigen Material besteht, das sich radial von der Transportrolle weg erstreckt. Die Blende kann beispielsweise aus Blech gefertigt sein. Die Außenkontur der Blende kann beispielsweise polygonförmig oder kreisförmig sein."Plate-shaped" in the context of the aperture described herein is intended to mean that it consists of a sheet material that extends radially away from the transport roller. The panel may be made of sheet metal, for example. The outer contour of the diaphragm can be polygonal or circular, for example.

Um die Abschirmungswirkung zu verbessern, kann vorgesehen sein, dass mindestens zwei Blenden parallel zueinander mit einem Abstand angeordnet sind, der in einer Weiterbildung größer ist als die Dicke jeder der beiden benachbarten Blenden.In order to improve the shielding effect, it can be provided that at least two diaphragms are arranged parallel to one another with a spacing which in one development is greater than the thickness of each of the two adjacent diaphragms.

Um den Abstand zwischen benachbarten Blenden aufrechtzuerhalten und zu verhindern, dass Verformungen der Blenden durch Hitze oder mechanische Einflüsse bei der Montage auftreten, kann weiter vorgesehen sein, dass zwischen mindestens zwei benachbarten Blenden mindestens ein Abstandhalter angeordnet ist.In order to maintain the distance between adjacent diaphragms and to prevent deformations of the diaphragms due to heat or mechanical influences during assembly, it can further be provided that at least one spacer is arranged between at least two adjacent diaphragms.

Der Abstandhalter kann beispielsweise ein separates Bauelement sein, welches mit zwei oder mehr Blenden so verbunden wird, dass der Abstand zwischen ihnen konstant gehalten wird. In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist der Abstandhalter ein aus der Ebene einer Blende heraus ragender Abschnitt dieser Blende. Die Blende kann, wie oben bereits beschrieben, beispielsweise aus Blech, vorzugsweise Edelstahlblech, hergestellt sein. In diesem Fall kann der Abstandhalter beispielsweise eine lokale Verformung der Blende, wie beispielsweise eine Sicke oder eine freigeschnittene und quer zur Ebene der Blende gebogene Zunge sein, die sich auf die benachbarte Blende zu erstreckt und so den Abstand auf einem Mindestmaß hält. Ist die Blende aus einem anderen, beispielsweise einem keramischen Werkstoff, gefertigt, so kann der Abstandhalter als lokale Verdickung der Blende ausgeführt sein, welche dieselbe Funktion erfüllt.The spacer may for example be a separate component which is connected to two or more panels so that the distance between them is kept constant. In an advantageous embodiment, the spacer is a projecting out of the plane of a panel out section of this panel. The panel can, as already described above, for example, be made of sheet metal, preferably stainless steel sheet. In this case, the spacer may be, for example, a local deformation of the diaphragm, such as a bead or a cut and bent transversely to the plane of the diaphragm tongue, which extends to the adjacent panel and so keeps the distance to a minimum. If the diaphragm is made of another, for example a ceramic material, the spacer can be designed as a local thickening of the diaphragm, which fulfills the same function.

Insbesondere für Substratbehandlungsprozesse, die unter hohen Temperaturen oder in aggressiver Atmosphäre stattfinden, kann eine Ausgestaltung vorteilhaft sein, bei der der Rollenkörper aus einem keramischen Werkstoff gefertigt ist. In gleicher Weise kann die Blende aus einem keramischen Werkstoff gefertigt sein.In particular, for substrate treatment processes that take place under high temperatures or in an aggressive atmosphere, an embodiment may be advantageous in which the roller body is made of a ceramic material. In the same way, the diaphragm can be made of a ceramic material.

Das Rollenende mit dem Lagerzapfen kann gemäß einer weiteren Ausgestaltung eine Endkappe mit einer Aufnahmebohrung sein, in der der Rollenkörper befestigt ist. Spezielle Ausgestaltungen solcher Endkappen, die erfindungsgemäß weitergebildet sein können, sind in der internationalen Patentanmeldung PCT/EP2010/052001 beschrieben. Die Endkappe kann beispielsweise aus Edelstahl gefertigt sein. Edelstahl ist einerseits ein schlechter Wärmeleiter, was im Hinblick auf den Schutz des Lagers vor thermischen Einflüssen vorteilhaft ist. Gleichzeitig ist Edelstahl chemisch weitestgehend inert, so dass unerwünschte Reaktionen unter Prozessatmosphäre nicht zu erwarten sind. Dieselben Vorteile gelten für die oben beschriebene Ausführung der Blende aus Edelstahl.The roller end with the bearing pin can be according to another embodiment, an end cap with a receiving bore in which the roller body is attached. Specific embodiments of such end caps, which may be further developed according to the invention are in the international patent application PCT / EP2010 / 052001 described. The end cap can be made of stainless steel, for example. On the one hand, stainless steel is a poor conductor of heat, which is advantageous in terms of protecting the bearing from thermal influences. At the same time, stainless steel is chemically inert to a great extent, so that undesired reactions under process atmosphere are not to be expected. The same advantages apply to the above-described embodiment of the cover made of stainless steel.

Nachfolgend wird die beschriebene Transportrolle anhand eines Ausführungsbeispiels und zugehöriger Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigenSubsequently, the transport roller described will be explained in more detail using an exemplary embodiment and associated drawings. Show

1 das Ausführungsbeispiel in einer Seitenansicht und einer Schnittdarstellung, und 1 the embodiment in a side view and a sectional view, and

2 das Ausführungsbeispiel in perspektivischer Ansicht. 2 the embodiment in perspective view.

Bei dem Ausführungsbeispiel handelt es sich um eine Transportwalze mit einem langgestreckten Walzenkörper 1, die zur beidseitigen Lagerung in je einem Lager ausgebildet ist.In the embodiment, it is a transport roller with an elongate roll body 1 , which is designed for double-sided storage in a respective camp.

Der keramische Walzenkörper 1 weist zwei Enden 11 auf, die gegenüber dem Durchmesser des mittleren Teils des Walzenkörpers 1 verjüngt sind. An diesem verjüngten Ende 11 befinden sich drei Nuten 12 mit ungefähr halbkreisförmigem Querschnitt, die jeweils um 120° zueinander versetzt sind und parallel zur Symmetrieachse (Längsachse) des Walzenkörpers 1 verlaufen.The ceramic roller body 1 has two ends 11 on, compared with the diameter of the middle part of the roller body 1 are rejuvenated. At this tapered end 11 There are three grooves 12 with approximately semicircular cross-section, each offset by 120 ° to each other and parallel to the axis of symmetry (longitudinal axis) of the roller body 1 run.

Auf das verjüngte Ende 11 des Walzenkörpers 1 ist eine Endkappe 2 aufgesteckt, die der Lagerung der Transportwalze dient. Hierzu weist die Endkappe 2 eine Aufnahmebohrung 21 auf, deren Durchmesser mit dem Durchmesser des Endes 11 des Walzenkörpers 1 eine Presspassung bildet. Zum Fügen der Verbindung zwischen Endkappe 2 und Walzenkörper 1 kann die Endkappe 2 erwärmt und auf das Ende 11 des Walzenkörpers 1 aufgeschrumpft werden. In der Aufnahmebohrung 21 sind ebenfalls drei jeweils um 120° zueinander versetzte Nuten 22 mit ungefähr halbkreisförmigem Querschnitt in der Längsrichtung des Walzenkörpers 1 angeordnet. Beim Fügen der Endkappe 2 muss darauf geachtet werden, dass die Nuten 22 in der Endkappe 2 über den Nuten 12 des Walzenkörpers 1 positioniert sind. Dadurch bildet jedes Nutenpaar 12, 22 einen bohrungsähnlichen Hohlraum 3, in den anschließend ein Spannstift 4 eingeführt wird. Hierzu sind in Verlängerung der Nutenpaare 12, 22 Einführbohrungen 23 an der Endkappe 2 vorgesehen, durch welche die Spannstifte 4 stirnseitig eingeführt werden können, nachdem die Endkappe 2 auf das Ende 11 des Walzenkörpers 1 gesteckt wurde.On the rejuvenated end 11 the roll body 1 is an end cap 2 plugged, which serves for the storage of the transport roller. For this purpose, the end cap 2 a receiving hole 21 on, whose diameter matches the diameter of the end 11 the roll body 1 forms a press fit. For joining the connection between the end cap 2 and roll body 1 can the end cap 2 warmed up and to the end 11 the roll body 1 shrunk. In the receiving hole 21 are also three each offset by 120 ° to each other grooves 22 with an approximately semicircular cross section in the longitudinal direction of the roller body 1 arranged. When joining the end cap 2 Care must be taken that the grooves 22 in the end cap 2 over the grooves 12 the roll body 1 are positioned. This forms each pair of grooves 12 . 22 a hole-like cavity 3 , in the subsequent a tension pin 4 is introduced. These are in extension of the pairs of grooves 12 . 22 insertion holes 23 on the end cap 2 provided by which the dowel pins 4 can be inserted frontally after the end cap 2 to the end 11 the roll body 1 was plugged.

Am Grunde der Aufnahmebohrung 21 ist eine Druckplatte 5 zum Ausdrücken des Walzenkörpers 1 aus der Endkappe 2 angeordnet, die an der Stirnseite des Walzenkörpers 1 anliegt. Weiterhin sind an der Endkappe 2 drei Ausdrückbohrungen 24 exzentrisch, ebenfalls um jeweils 120° zueinander versetzt zwischen je zwei Einführbohrungen 23 angeordnet. Die Ausdrückbohrungen 24 sind mit einem Innengewinde versehen, in das je ein Gewindestift 6 oder eine Schraube eingeschraubt werden kann. Mit fortschreitendem Einschrauben der Gewindestifte 6 kann der Walzenkörper 1 bedarfsweise aus der Endkappe 2 herausgedrückt werden.At the bottom of the mounting hole 21 is a printing plate 5 for expressing the roller body 1 from the end cap 2 arranged on the front side of the roller body 1 is applied. Furthermore, on the end cap 2 three ejection holes 24 eccentric, also offset by 120 ° to each other between each two insertion holes 23 arranged. The Ausdrückbohrungen 24 are provided with an internal thread, in each of which a set screw 6 or a screw can be screwed. With progressive screwing in of the set screws 6 can the roll body 1 if necessary, from the end cap 2 be pushed out.

Die Endkappe 2 bildet damit das Rollenende im Sinne der obigen Beschreibung. Der Aufnahmebereich 25 mit der Aufnahmebohrung 21 weist einen größeren Durchmesser auf als der sich daran anschließende Lagerzapfen 26. Auf dem Aufnahmebereich 25 ist eine Manschette 71 drehfest angebracht. An der Außenseite der Manschette 71 sind drei kreisrunde Blenden 72 lamellenartig, d. h. parallel und mit einem Abstand zueinander angeordnet.The end cap 2 thus forms the role end in the sense of the above description. The recording area 25 with the mounting hole 21 has a larger diameter than the adjoining journals 26 , On the reception area 25 is a cuff 71 rotatably attached. On the outside of the cuff 71 are three circular apertures 72 lamellar, ie arranged in parallel and spaced from one another.

Wie insbesondere aus 2 ersichtlich ist, weisen die Blenden 72 Abstandhalter 73 auf, die durch radiale Einschnitte in die Ränder der Blenden 72 als Zungen ausgebildet sind. Diese Zungen sind aus der Ebene der Blende 72 herausgebogen, so dass sie sich auf eine benachbarte Blende 72 zu erstrecken und so den Abstand auf ein Mindestmaß begrenzen. Der Lagerzapfen 26 der Transportrolle ist in einem Lager 8 drehbar gelagert.As in particular from 2 it can be seen, have the aperture 72 spacer 73 due to radial cuts in the edges of the panels 72 are designed as tongues. These tongues are out of the plane of the iris 72 bent out so that they are on an adjacent aperture 72 extend, thus limiting the distance to a minimum. The journal 26 the transport roller is in a warehouse 8th rotatably mounted.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Walzenkörperroller body
1111
EndeThe End
1212
Nutgroove
22
Endkappeendcap
2121
Aufnahmebohrunglocation hole
2222
Nutgroove
2323
Einführbohrunginsertion hole
2424
AusdrückbohrungAusdrückbohrung
2525
Aufnahmebereichreception area
2626
Lagerzapfenpivot
33
Hohlraumcavity
44
Schraubenfeder oder SpannstiftCoil spring or tension pin
55
Druckplatteprinting plate
66
GewindestiftSet screw
7171
Manschettecuff
7272
Blendecover
7373
Abstandhalterspacer
88th
Lagercamp

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 102005016406 A1 [0003] DE 102005016406 A1 [0003]
  • DE 102007052524 A1 [0004] DE 102007052524 A1 [0004]
  • EP 2010/052001 [0018] EP 2010/052001 [0018]

Claims (10)

Transportrolle, umfassend einen rotationssymmetrischen Rollenkörper (1) und mindestens ein Rollenende (25), dadurch gekennzeichnet, dass am Rollenende (25) ein Strahlungsschutz angeordnet ist, der mindestens eine quer zur Drehachse der Transportrolle ausgerichtete, plattenförmige Blende (72) umfasst.Transport roller comprising a rotationally symmetrical roller body ( 1 ) and at least one roll end ( 25 ), characterized in that at the end of the roll ( 25 ) a radiation protection is arranged, the at least one transverse to the axis of rotation of the transport roller aligned, plate-shaped aperture ( 72 ). Transportrolle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Blenden (72) parallel mit einem Abstand zueinander angeordnet sind.Transport roller according to claim 1, characterized in that at least two diaphragms ( 72 ) are arranged in parallel with a distance to each other. Transportrolle nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand größer ist als die Dicke der Blenden (72).Transport roller according to claim 2, characterized in that the distance is greater than the thickness of the diaphragm ( 72 ). Transportrolle nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen mindestens zwei benachbarten Blenden (72) mindestens ein Abstandhalter (73) angeordnet ist.Transport roller according to one of claims 1 to 3, characterized in that between at least two adjacent diaphragms ( 72 ) at least one spacer ( 73 ) is arranged. Transportrolle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstandhalter (73) ein aus der Ebene einer Blende (72) heraus ragender Abschnitt dieser Blende (72) ist.Transport roller according to claim 4, characterized in that the spacer ( 73 ) one out of the plane of a diaphragm ( 72 ) protruding portion of this aperture ( 72 ). Transportrolle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende oder Blenden (72) auf einer Manschette (71) oder Klemmschelle befestigt ist/sind.Transport roller according to one of claims 1 to 5, characterized in that the diaphragm or diaphragms ( 72 ) on a cuff ( 71 ) or clamp is attached / are. Transportrolle nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Rollenkörper (1) aus einem keramischen Werkstoff gefertigt ist.Transport roller according to one of claims 1 to 6, characterized in that the roller body ( 1 ) is made of a ceramic material. Transportrolle nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Rollenende (25) mit dem Lagerzapfen (26) eine Endkappe (2) mit einer Aufnahmebohrung (21) ist, in der der Rollenkörper (1) befestigt ist.Transport roller according to one of claims 1 to 7, characterized in that the roller end ( 25 ) with the bearing journal ( 26 ) an end cap ( 2 ) with a receiving bore ( 21 ) in which the reel body ( 1 ) is attached. Transportrolle nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Endkappe (2) aus Edelstahl gefertigt ist.Transport roller according to claim 8, characterized in that the end cap ( 2 ) is made of stainless steel. Transportrolle nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Blende oder Blenden (72) aus Edelstahl oder aus einem keramischen Werkstoff gefertigt ist/sind.Transport roller according to one of claims 1 to 9, characterized in that the diaphragm or diaphragm ( 72 ) is made of stainless steel or of a ceramic material is / are.
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WO 2010/094716 A1 (ältere Anmeldung)

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