DE102010028913A1

DE102010028913A1 - Mikroskop und Verfahren zur Hautuntersuchung

Info

Publication number: DE102010028913A1
Application number: DE201010028913
Authority: DE
Inventors: Axel Rumberg; Michael Thiel; Ulrich Kallmann
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 2010-05-12
Filing date: 2010-05-12
Publication date: 2011-11-17
Also published as: EP2569666A1; WO2011141202A1

Abstract

Ein Mikroskop (10) zur Hautuntersuchung mittels THz-Strahlung hat eine im sichtbaren Spektralbereich arbeitende Kamera (14) und eine im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Vis-Abbildungsoptik (15) zur Abbildung einer Probe (11) auf die Kamera (14). Das Mikroskop (10) weist weiterhin eine THz-Strahlungsquelle (31) zur Erzeugung von THz-Strahlung, eine im THz-Spektralbereich arbeitende THz-Kamera (32) und eine im THz-Spektralbereich arbeitende THz-Abbildungsoptik (33) zur Beleuchtung der Probe (11) mit der THz-Strahlung und Abbildung der Probe (11) auf die THz-Kamera (32) auf.

Description

Stand der Technik
Die Erfindung geht aus von einer Mikroskop und einem Verfahren zur Hautuntersuchung. Mikroskope zur Hautuntersuchung sind bekannt, beispielsweise aus der US 2008239474 . Verschiedene optische Verfahren zur Erkennung von Hautkrebs werden vom Arzt durchgeführt und haben entsprechend dem apparativen Aufwand Treffsicherheiten im Bereich 60% bis 98%. Der Einsatz von THz-Strahlung zur Erkennung von Hautkrebs ist ebenfalls bekannt. Im Frequenzbereich 0.1–5 THz können in der Haut Änderungen des Brechungsindex und des Absorptionsverhalten durch Reflexionsmessungen analysiert werden, wobei gesunde Hautzellen und Krebszellen einen unterschiedlichen Wassergehalt und daher einen unterschiedlichen Brechungsindex und ein unterschiedliches Absorptionsverhalten aufweisen. Die zu erwartende Abweichung zwischen gesunder und an Krebs erkrankter Haut liegt bei ca. 10%. Durch die Frequenz wird die optische Auflösung und Eindringtiefe bestimmt. Niedrige Frequenzen um 200 GHz besitzen eine Auflösung von 2.5 mm. Höhere Frequenzen können feiner auflösen, haben aber eine geringere Eindringtiefe und erfordern einen größeren Aufwand bei der Generierung. Die US 2008/0319321 offenbart eine bildgebende Untersuchung mittels THz-Strahlung, wobei die THz-Strahlung mittels Femtosekunden-Impulsen eines modengekoppelten Titan-Saphir Lasers in einer Dipolantenne erzeugt werden. Die von einer Probe reflektierte THz-Strahlung wird ebenfalls in einer Dipolantenne in ein elektrisches Signal gewandelt, welches dann analysiert wird. Diese Strahlungserzeugung und der Strahlungsnachweis erfordern einen hohen Aufwand. Inzwischen sind kostengünstigere THz-Strahlungsquellen verfügbar. Das THz-Bild ist nur schwer mit dem Bild im optischen Spektralbereich vergleichbar.
Offenbarung der Erfindung
Dagegen haben das Mikroskop und das Verfahren zur Hautuntersuchung gemäß der vorliegenden Erfindung den Vorteil, dass eine einfache und kostengünstige Hautkrebs-Voruntersuchung oder Hautkrebsuntersuchung ermöglicht wird. Das Mikroskop kann als Patientengerät konzipiert werden, das eine genaue Beobachtung von Naevi ermöglicht und zusätzlich die untersuchten Naevi aufgrund einer Analyse des Wassergehaltes bewertet. Durch eine Relativmessung arbeitet das Verfahren unabhängig von der absoluten Hautfeuchtigkeit. Die Erfassung der Hautfeuchtigkeit geschieht mit Hilfe der THz-Strahlung. Der zu untersuchende Hautbereich wird mit THz-Strahlung und mit visueller Strahlung ausgeleuchtet. Die reflektierte THz-Strahlung und visuelle Strahlung wird erfasst, ausgewertet und in einem überlagerten Bild dargestellt. Es werden grundsätzlich Hautbereiche betrachtet, die aus normaler (gesunder) Haut und potentiell erkrankter Haut bestehen. Über ein farbiges Display wird der untersuchte Bereich vergrößert, und mögliche Unterschiede in der Hautfeuchtigkeit werden durch eine zusätzliche Verfärbung dargestellt.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen erläutert, in denen
1 eine schematische Darstellung des Mikroskops gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
2 eine schematische Darstellung des Mikroskops gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt; und
3 ein Flussdiagramm des Verfahrens gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
Ausführungsformen der Erfindung
1 stellt das Mikroskop 10 zur Hautuntersuchung mittels THz-Strahlung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung als Auflichtmikroskop und eine zu untersuchende Hautprobe 11 dar. Das Mikroskop 10 weist einen visuellen Strahlengang 12 im sichtbaren Spektralbereich auf, der zwischen einer Lichtquelle 13 und der Hautprobe 11 sowie zwischen der Hautprobe 11 und einer im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Kamera 14 mit einem Visible-CMOS-Detektor verläuft. Im optischen Strahlengang 12 wird mittels einer im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Vis-Abbildungsoptik 15 einerseits die Lichtquelle 13 auf die Probe 11 abgebildet und andererseits die Probe 11 auf die Kamera 14 abgebildet, genauer gesagt auf einen Sensor in der Kamera 14. Die Vis-Abbildungsoptik 15 besteht aus den Linsen 16, 17 und den Strahlteilern 18 und 19. Die visuelle Nutzstrahlung verläuft entsprechend der Pfeile 20, 21, 22 und 23. Dabei geht eine visuelle Vis-Sendestrahlung von der annähernd punktförmigen Lichtquelle 13 aus, wird durch die Strahlteiler 18 und 19 umgelenkt, mittels der Linse 16 parallelisiert, und der mittels der Linse 17 auf die Hautprobe 11 gebündelt und beleuchtet dort einen beleuchteten Bereich 24. Von der Hautprobe 11 geht nun eine visuelle Vis-Empfangsstrahlung aus, wird mittels der Linse 17 parallelisiert, und der mittels der Linse 16 auf die Kamera 14 gebündelt und dabei durch den Strahlteiler 19 umgelenkt. Die Vis-Empfangsstrahlung aus einem Erfassungsbereich 25 wird von der Kamera 14 erfasst. Der beleuchtete Bereich 24 und der Erfassungsbereich 25 werden durch Justierung zur Deckung gebracht.
Das Mikroskop 10 weist einen THz-Strahlengang 30 im THz-Spektralbereich auf, der zwischen einer THz-Strahlungsquelle 31 und der Hautprobe 11 sowie zwischen der Hautprobe 11 und einer im THz-Spektralbereich arbeitenden THz-Kamera 32 verläuft. Im THz-Strahlengang 30 wird mittels einer im THz-Spektralbereich arbeitenden THz-Abbildungsoptik 33 einerseits die THz-Strahlungsquelle 31 auf die Probe 11 abgebildet und andererseits die Probe 11 auf die THz-Kamera 32 abgebildet, genauer gesagt auf einen Sensor in der THz-Kamera 32, ein CMOS-Array, welches im Bereich der THz-Strahlung empfindlich ist. Die THz-Abbildungsoptik 33 besteht aus den Linsen 34, 35, und 36 und dem Strahlteiler 37. Die THz-Nutzstrahlung verläuft entsprechend der Pfeile 38, 39 und 40. Dabei geht eine THz-Sendestrahlung von der annähernd punktförmigen THz-Strahlungsquelle 31 aus, wird mittels der Linse 34 parallelisiert, durch den Strahlteiler 37 umgelenkt, mittels der Linse 35 auf die Hautprobe 11 gebündelt und beleuchtet dort einen THz-beleuchteten Bereich 41. Von der Hautprobe 11 geht nun eine THz-Empfangsstrahlung aus, wird mittels der Linse 35 parallelisiert, und der mittels der Linse 36 auf die THz-Kamera 32 gebündelt. Die THz-Empfangsstrahlung aus einem THz-Erfassungsbereich 45 wird von der THz-Kamera 32 erfasst. Der THz-beleuchtete Bereich 41 und der THz-Erfassungsbereich 45 werden durch Justierung zur Deckung gebracht.
Ebenfalls muss eine Justierung sicher stellen, dass das visuelle Bild und das THz-Bild zueinander ausgerichtet sind. Dazu wird mit einer geeigneten Justierprobe das visuelle Bild vorzugsweise durch Justieren des Strahlteilers 19 mit dem THz-Bild in Deckung gebracht. Dem zentralen Bildpixel des visuellen und des THz-Bildes entspricht nun jeweils dieselbe kleine Objektfläche der Probe, so dass aus beiden ein überlagertes Bild generiert werden kann.
Das Mikroskop 10 weist weiterhin eine Steuer- und Auswerteeinheit 42 und einen Monitor 43 als Ausgabeeinheit 44 auf. Die Steuer- und Auswerteeinheit 42 ist mit der Lichtquelle 13, der Kamera 14, der THz-Strahlungsquelle 31, der THz-Kamera 32 und dem Monitor 43 verbunden.
Die THz-Strahlungsquelle 31 in 1 ist ein Quanten Kaskaden Laser. Geeignete alternative THz-Strahlungsquellen sind auch eine Oszillator-Mischer-Frequenzvervielfacher Kombination oder ein Backward Wave Oszillator.
Die THz-Kamera 32 weist hier ein CMOS-Array auf, welches im Bereich der THz-Strahlung empfindlich ist. Die THz-Kamera kann grundsätzlich durch verschiedene Detektorsysteme realisiert werden. Für eine gute räumliche Auflösung muss sicher gestellt werden, dass einem Bildpixel eine kleine Objektfläche entspricht, dass ein Detektorpixel zu einem Zeitpunkt also nur Strahlung von dieser kleinen Objektfläche empfängt. Das zweidimensionale THz-Bild der Probe kann mit einem Punktdetektor mittels zweidimensionalem Scannen, mit einem Liniendetektor mittels eindimensionalen Scannens oder mit einem zweidimensionalen Detektor ohne Scannen erhalten werden. Das Scannen kann durch Verschiebung der Probe oder durch eleganter durch Verschieben des Detektors oder der Strahlquelle oder Umlenken des Empfangsstrahls oder des Sendestrahls erreicht werden. Vorteilhaft ist die Umlenkung, da nur geringe Massen bewegt werden. Verschiedene Varianten werden nun vorgestellt.
So kann die THz-Kamera einen Punktdetektor und das Mikroskop einen zweidimensionalen Scan-Mechanismus aufweisen. In diesem Fall wird in einer ersten Variante bei punktförmiger THz-Beleuchtung des Objekts das Objekt verfahren. Gemäß einer zweiten Variante wird der Strahlteiler 37 und der Punktdetektor in zwei Achsen bewegt zum zweidimensionalen Abscannen einer ruhenden Probe; bei einer linienförmigen THz-Beleuchtung wird der Strahlteiler 37 in nur einer Achse bewegt.
Gemäß einer dritten Variante wird das Objekt bei genügend THz-Leistung flächig beleuchtet und der Punktdetektor verfahren.
Nach weiteren Varianten weist die THz-Kamera einen Linienarray-Detektor und das Mikroskop einen eindimensionalen Scan-Mechanismus auf. Bei flächiger Beleuchtung ist gemäß einer vierten Variante ist das Linienarray in einer Richtung verschiebbar oder gemäß einer fünften Variante der Strahlteiler 37 einachsig verschiebbar. In einer sechsten Variante wird eine Oszillator-Mischer-Frequenzvervielfacher Kombination als THz-Strahlungsquelle eingesetzt. Derartige Oszillatoren können entweder diskret oder kostengünstig integriert in CMOS-Technik aufgebaut werden.
Eine weitere Variante benutzt als Detektorsystem für die THz-Kamera ein zweidimensionales Detektorarray, ein Focal Plane Array mit flächiger Beleuchtung, wie bereits auf CMOS Basis entwickelt worden ist. Diese Variante hat den Vorteil, dass kein Scannen erforderlich ist bzw. nicht Teile des Strahlengangs beweglich sein müssen.
Die in 1 dargestellte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Mikroskops als Auflichtmikroskop weist über der Probe einen gemeinsamen visuellen und THz-Strahlengangabschnitt 46 auf. Die THz-Abbildungsoptik 33 und die Vis-Abbildungsoptik 15 bilden eine gemeinsame Abbildungsoptik 47 mit gleichzeitig im sichtbaren und THz-Spektralbereich arbeitenden Elementen. Dies hat den Vorteil, dass die von den visuellen und THz-Kameras aufgenommenen Bilder aus derselben Perspektive aufgenommen werden und beide senkrecht zur Probenoberfläche beleuchtet werden. Das erleichtert die Beobachtung und die Justierung, denn die Bilder können leicht übereinander gebracht werden. Die optischen Linsen 16, 17 und die THz-Linsen 36, 35 sind in dem gemeinsamen Strahlengangabschnitt 46 und die Linsen 16, 36 und 17, 35 sind jeweils identisch als Linsen 48 und 49. Die Linsen bestehen aus einem Material, das im optischen und THz-Frequenzbereich einen annähernd gleichen Brechungsindex aufweisen, insbesondere Polymere wie Polymethylpentene (TPX) und Cyclo-Olefin Polymer (COP).
Die beiden Strahlteiler 19 und 37 weisen unterschiedliche Eigenschaften auf. Die Aufgabe des Strahlteilers 19 ist die Reflexion von optischer Strahlung und die Transmission von THz-Strahlung. Der Strahlteiler 19 besteht aus unbeschichtetem Quarzglas, in Frage kommt noch das Material Silizium, welches optisch nicht transparent ist. Die Aufgabe des Strahlteilers 37 ist das Einkoppeln von THz-Strahlung zum gemeinsamen visuellen und THz-Strahlengangabschnitt 46, also die Transmission von optischer Strahlung und die Reflexion von THz-Strahlung. Der Strahlteiler 37 besteht aus unbeschichtetem Quarzglas. Ein alternatives Material des Strahlteilers 37 sind Polymere wie TPX, COP.
2 stellt das Mikroskop 60 zur Hautuntersuchung mittels THz-Strahlung gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung als Auflichtmikroskop und eine zu untersuchende Hautprobe 11 dar, wobei die aus dem in 1 dargestellten Mikroskop 10 bekannten oben bereits beschriebenen Teile die in 1 verwendeten Bezugszeichen aufweisen. Der wesentliche Unterschied zu dem Mikroskop 10 aus 1 besteht darin, dass die Positionen von optischer Kamera und THz-Kamera ausgetauscht sind und zu dieser Geometrie Strahlteiler sowie die Einkopplung der Lichtquelle in den Strahlengang angepasst wurden. Das Mikroskop 60 weist einen visuellen Strahlengang 61 im sichtbaren Spektralbereich auf, der zwischen einer Lichtquelle 62 und der Hautprobe 11 sowie zwischen der Hautprobe 11 und einer im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Kamera 63 verläuft. Die Aufgabe des Strahlteilers 64 ist die Transmission von optischer Strahlung und die Reflexion von THz-Strahlung. Der Strahlteiler 64 koppelt nun THz-Strahlung seitlich aus zur THz-Kamera 65. Der Strahlteiler 64 besteht aus Quarzglas und ist dazu auf der der Probe zugewandten Seite beschichtet mit einem Transparent Conducting Oxide (TCO), insbesondere Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Zinkoxid (ZnO), mit hoher Reflektivität im THz-Bereich und hoher Transparenz in optischen Spektralbereich. Auf diese Weise werden am Strahlteiler 64 der THz-Strahl annähernd vollständig reflektiert und der visuelle Strahl annähernd vollständig transmittiert und somit werden THz-Strahlung und visuelle Strahlung voneinander getrennt. Der Strahlengang von der Lichtquelle 62 verläuft nun über den Strahlteiler 66, der ein optischer Strahlteiler mit 50% Transmission und 50% Reflektion ist. Der optische Strahl passiert nun den Strahlteiler 64 in beiden Richtungen gemäß Pfeil 67 ohne Ablenkung, von der Lichtquelle zur Probe 11 hin und von der Probe 11 zur optischen Kamera 63.
Der Fachmann erkennt, dass ein gemeinsamer visueller und THz-Strahlengang auf verschiedene Weise gestaltet werden kann. Mit den beschriebenen Strahlteilern der Mikroskope 10 und 60 kann visuelle oder THz-Strahlung ein- oder ausgekoppelt werden. Im Falle einer Ausführung der THz-Kamera als Punkt- oder Liniendetektor ist der oben beschriebene Scan-Mechanismus entsprechend anzupassen. Ebenso kann der Fachmann an Stelle der Linsen Reflexionsoptiken, z. B. Aluminium Hohlspiegel, verwenden, wobei der Strahlengang entsprechend zu gestalten ist, jedoch eine komplizierte geometrische Form annimmt. Ebenso können Beleuchtung und Beobachtung der Probe unter separaten Raumwinkeln erfolgen oder der visuelle und der THz-Strahlengang räumlich getrennt sein. Diese räumlichen Trennungen erleichtern die Materialauswahl der Strahlteiler unter Verzicht auf Vorzüge der Auflichtmikroskopie.
Die Beleuchtung im optischen Spektralbereich ist in 1 und 2 beispielhaft mittels Lichtquelle 13 dargestellt, kann aber auf vielfältige andere Art realisiert werden, beispielsweise an anderen Positionen der Lichtquelle mit entsprechender Positionierung und Auswahl der Strahlteiler oder auch als LED-Ring um Linse 17.
3 beschreibt in Flussdiagramm 50 ein erfindungsgemäßes Verfahren zur Hautuntersuchung mittels Bestrahlung einer Probe mit Sende-THz-Strahlung und Auswertung einer von der Probe stammenden Empfangs-THz-Strahlung mit den Verfahrenschritten:

a) Beleuchten einer Probe mit Sende-THz-Strahlung;
b) Beleuchten einer Probe mit visueller Vis-Sende-Strahlung;
c) Erfassen eines THz-Bildes der Probe mittels einer Empfangs-THz-Strahlung;
d) Erfassen eines Vis-Bildes der Probe mittels einer Vis-Empfangs-Strahlung;
e) Generieren eines überlagerten Bildes aus dem THz-Bild und dem Vis-Bild;
f) Anzeigen des THz-Bildes, Vis-Bildes und/oder des überlagerten Bildes. Die Verfahrensschritt-Paare a) und b) sowie c) und d) können jeweils in beliebiger Reihenfolge oder gleichzeitig erfolgen. Das Verfahren wird von der Steuereinheit 42 gesteuert, welche auch das überlagerte Bild generiert und auf dem Monitor 43 zur Anzeige bringt.

Dem Verfahren geht eine Kalibrierung an einer Referenz-Hautstelle voraus, gegen deren Referenz-Hautfeuchtigkeit Abweichungen der Hautproben ermittelt werden. Im THz-Bereich ist die Reflexion der Sende-THz-Strahlung abhängig vom Wassergehalt der Haut, der bei Melanomen im Vergleich zu gesunder Haut erhöht ist. Um einen Vergleich durchführen zu können, muss also immer eine gesunde Referenz-Hautstelle und eine zu untersuchende Hautprobe bestrahlt werden.
Die Hautfeuchtigkeit der Probe wird mit dem Verfahren im Vergleich zur Hautfeuchtigkeit der Referenz-Hautstelle aus der Empfangs-THz-Strahlung ermittelt und in dem überlagerten Bild angezeigt. Abweichungen von der Hautfeuchtigkeit der Referenz-Hautstelle werden mit Falschfarben dem visuellen Bild überlagert.
Das Mikroskop eignet sich auch für sonstige Untersuchungen der Hautfeuchtigkeit und Untersuchungen von Muttermalen. Das Mikroskop und das Verfahren werden im Frequenzbereich 0.1–5 THz eingesetzt. Es kann sowohl mit direkter Detektion gearbeitet werden als auch mit der Dunkelfeld- und der Phasenkontrastmikroskopie. Bei den letztgenannten beiden Methoden sind weitere Blenden und Phasenplättchen im Strahlengang vonnöten. Beide Bilder, sowohl das THz-Bild als auch das Bild im sichtbaren Frequenzbereich, werden auf einem Display ausgegeben, entweder separat oder als Overlay. Aus beiden Bildinformationen können dann Daten für eine Diagnose herangezogen werden.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

US 2008239474 [0001]
US 2008/0319321 [0001]

Claims

Mikroskop zur Hautuntersuchung mit einer im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Kamera (14, 63) und einer im sichtbaren Spektralbereich arbeitenden Vis-Abbildungsoptik (15) zur Abbildung einer Probe (11) auf die Kamera (14, 63), dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (10, 60) weiterhin eine THz-Strahlungsquelle (31) zur Erzeugung von THz-Strahlung, eine im THz-Spektralbereich arbeitende THz-Kamera (32, 65) und eine im THz-Spektralbereich arbeitende THz-Abbildungsoptik (33) zur Beleuchtung der Probe (11) mit der THz-Strahlung und Abbildung der Probe (11) auf die THz-Kamera (32) aufweist.
Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die THz-Strahlungsquelle (31) einen Quanten Kaskaden Laser, eine Oszillator Mischer Kombination oder einen Backward Wave Oszillator aufweist.
Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die THz-Abbildungsoptik (33) und die Vis-Abbildungsoptik (15) eine gemeinsame Abbildungsoptik (47) mit im gleichzeitig im sichtbaren und THz-Spektralbereich arbeitenden Elementen (19, 37, 48, 49, 64) bilden.
Mikroskop nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die gemeinsame Abbildungsoptik (47) Linsen (48, 49) aus Polymethylpentene (TPX) oder Cyclo-Olefin Polymer (COP) aufweist.
Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (10, 60) über der Probe (11) einen gemeinsamen visuellen und THz-Strahlengangabschnitt (46) aufweist.
Mikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (10, 60) einen Strahlteiler (64) zum Trennen oder Zusammenführen von THz-Strahlung und visueller Strahlung aus dem oder in den gemeinsamen visuellen und THz-Strahlengangabschnitt (46) aufweist.
Mikroskop nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlteiler (64) zum Trennen oder Zusammenführen von THz-Strahlung und visueller Strahlung aus Quarzglas mit einer Beschichtung aus einem Transparent Conducting Oxide (TCO), insbesondere Indium-Zinn-Oxid (ITO) oder Zinkoxid (ZnO) besteht.
Mikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (10) einen Strahlteiler (37) für THz-Strahlung aufweist.
Mikroskop nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass der Strahlteiler (37) für THz-Strahlung aus Quarzglas besteht.
Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Mikroskop (10, 60) eine Lichtquelle (13, 62) und einen weiteren Strahlteiler (18, 66) zur Beleuchtung der Probe (11) mit sichtbarer Strahlung aufweist.
Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die THz-Kamera (32, 65) einen Punktdetektor und das Mikroskop (10, 60) einen zweidimensionalen Scan-Mechanismus aufweist.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die THz-Kamera (32, 65) einen Linienarray-Detektor und das Mikroskop einen eindimensionalen Scan-Mechanismus aufweist.
Mikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die THz-Kamera (32, 65) ein zweidimensionales Detektorarray aufweist.
Verfahren zur Hautuntersuchung mittels Bestrahlung einer Probe mit Sende-THz-Strahlung und Auswertung einer von der Probe stammenden Empfangs-THz-Strahlung mit den Verfahrenschritten; a) Beleuchten einer Probe mit Sende-THz-Strahlung; b) Beleuchten einer Probe mit visueller Vis-Sende-Strahlung; c) Erfassen eines THz-Bildes der Probe mittels einer Empfangs-THz-Strahlung; d) Erfassen eines Vis-Bildes der Probe mittels einer Vis-Empfangs-Strahlung; e) Generieren eines überlagerten Bildes aus dem THz-Bild und dem Vis-Bild; f) Anzeigen des THz-Bildes, Vis-Bildes und/oder des überlagerten Bildes.
Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass eine Hautfeuchtigkeit aus der Empfangs-THz-Strahlung ermittelt und in dem überlagerten Bild angezeigt wird.