DE102010027874A1 - Beschichtungsverfahren , Beschichtungsanlage und Materialauffangeinrichtung - Google Patents

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Jochen Dipl.-Ing. Krause
Enno Mirring
Götz Teschner
Steffen Mosshammer
Andreas Dassler
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Von Ardenne GmbH
Original Assignee
Von Ardenne Anlagentechnik GmbH
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

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  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011013596A1 (de) * 2011-03-10 2012-09-13 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Schutz an Heizstabdurchführung für Vakuumbehälter
DE102012209051A1 (de) * 2012-05-30 2013-12-05 Roth & Rau Ag Schutzfolienanordnung für Vakuumbeschichtungsanlagen
DE202015101514U1 (de) 2015-03-25 2015-04-21 Von Ardenne Gmbh Magnetroneinrichtung mit Rohrtarget

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