DE102010027516A1 - Apparatus for high-precision structuring of the thin film solar cell modules, comprises a transport device for receiving and transporting a thin film solar cell module to a process unit in a transport direction, and a track detection unit - Google Patents

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Abstract

The apparatus for high-precision structuring of the thin film solar cell modules, comprises a transport device (2) to receive and transport a thin film solar cell module (1) to a process unit (12) in a transport direction vertical to the width of the incorporated thin film solar cell module, where the process unit has structuring tools (3) and holders (4) movable on a rail vertical to the transport direction and controllable independent of each other, and a track detection unit for detecting and storing the track curves and the position of already introduced track, and a track control unit. The apparatus for high-precision structuring of the thin film solar cell modules, comprises a transport device (2) for receiving and transporting a thin film solar cell module (1) to a process unit (12) in a transport direction vertical to the width of the incorporated thin film solar cell module, where the process unit has structuring tools (3) and holders (4) movable on a rail vertical to the transport direction and controllable independent of each other, and a track detection unit for detecting and storing the track curves and the position of already introduced track, and a track control unit, with which linear drives present independent of the stored information are controlled, where the track control unit is connected with one holder. Each holder exactly carries a structuring tool, which moves the rail to a main rail that is parallelly arranged to the rail vertical to the transport direction. An additional main linear drive is present in connection with the rail to displace the rail along the main rail over the width of the incorporated thin film solar cell module. The linear drives have a common passive part, which is formed as magnet path along the rail. One of the structuring tools is a reference structuring tool, which is fixedly connected with the rail over the holder arranged to it.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Strukturierung von Dünnschichtsolarzellenmodulen, wie sie gattungsgemäß aus der DE 10 2006 051 555 B3 bekannt ist.The invention relates to a device for structuring thin-film solar cell modules, as generically from the DE 10 2006 051 555 B3 is known.

Dünnschichtsolarzellenmodule bestehen aus einem starren oder flexiblen Substrat, welches als Träger für darauf aufgebrachte dünne Funktionsschichten dient.Thin film solar cell modules consist of a rigid or flexible substrate which serves as a support for thin functional layers applied thereon.

Zur Herstellung von Dünnschichtsolarzellenmodulen wird typischerweise nach dem flächigen Aufbringen einer ersten Funktionsschicht auf das Substrat diese linienförmig in vorbestimmten Abständen zueinander abgetragen, wodurch p1-Spuren mit einer Tiefe gleich der Dicke der ersten Funktionsschicht gebildet werden.In order to produce thin-film solar cell modules, after the planar application of a first functional layer to the substrate, it is typically removed linearly at predetermined distances from one another, whereby p1 traces having a depth equal to the thickness of the first functional layer are formed.

Anschließend wird eine zweite Funktionsschicht flächig aufgetragen, mit der die p1-Spuren verfüllt werden. Möglichst nahe der p1-Spuren werden hierzu parallel p2-Spuren erzeugt, in denen die zweite Funktionsschicht, nicht jedoch die erste Funktionsschicht abgetragen wird. Nach dem flächigen Auftragen einer dritten Funktionsschicht, welche die p2-Spuren verfüllt, werden nahe der p2-Spuren und der p1-Spuren jeweils sogenannte p3-Spuren erzeugt, in denen die zweite und dritte Funktionsschicht, nicht jedoch die erste Funktionsschicht abgetragen wird.Subsequently, a second functional layer is applied flat, with which the p1-traces are filled. As close as possible to the p1 tracks, parallel p2 tracks are generated for this, in which the second functional layer, but not the first functional layer, is removed. After the planar application of a third functional layer, which fills the p2 tracks, so-called p3 traces are generated near the p2 tracks and the p1 tracks, in which the second and third functional layer, but not the first functional layer, is removed.

Jeweils in verschiedenen Bearbeitungsebenen liegende, zueinander benachbarte p1,- p2,- und p3-Spuren bilden gemeinsam einen Übergangsbereich, der die einzelnen Funktionsbereiche des Dünnschichtsolarzellenmoduls voneinander trennt.Mutually adjacent p1, p2, and p3 traces, which lie adjacent to each other in different processing planes, together form a transition region which separates the individual functional regions of the thin-film solar cell module.

Zum Einbringen der Spuren sind unterschiedliche Technologien bekannt, die auf mechanischen, chemischen oder thermischen Effekten beruhen können. Dabei sollen die Spuren innerhalb eines Übergangsbereiches, ohne sich zu überlappen oder gar zu überkreuzen, einen möglichst geringen Abstand zueinander aufweisen, um die Übergangsbereiche so schmal wie möglich zu gestalten.For the introduction of the tracks different technologies are known, which can be based on mechanical, chemical or thermal effects. In this case, the tracks within a transition region, without overlapping or even crossing, have the smallest possible distance from each other to make the transition areas as narrow as possible.

Unabhängig von der Technologie des Einbringens der Spuren wird das Substrat wenigstens beim Aufbringen der Funktionsschichten thermisch belastet, was zu dessen Verformung und damit zur Verformung bereits eingebrachter Spuren führen kann.Regardless of the technology of introducing the tracks, the substrate is subjected to thermal stress at least when applying the functional layers, which can lead to its deformation and thus to the deformation of already introduced tracks.

Aus diesem Grund ist bei fest eingestellten Spurabständen der Größe des Abstandes benachbarter Spuren nach unten hin eine Grenze gesetzt, die gewährleistet, dass sich die Spuren in den unterschiedlichen Schichtebenen trotz maximal möglicher Verformung nicht überlappen oder kreuzen.For this reason, at fixed track pitches, the size of the spacing of adjacent tracks toward the bottom has a limit that ensures that the tracks in the different layer planes do not overlap or intersect despite maximum possible deformation.

Eine Anordnung, mit der gleichzeitig mehrere zueinander parallele Spuren z. B. in Wafer eingebracht werden können, ist aus der DE 198 40 936 B4 bekannt. Die Anordnung weist einen Tisch zur Aufnahme z. B. eines Wafers und mindestens zwei Faserlaser (Strukturierungswerkzeuge) mit Abschlussstücken auf, die auf einer Profilschiene so angeordnet sind, dass der gegenseitige Abstand der Abschlussstücke, welcher den Spurabstand bestimmt, veränderbar ist. Unter veränderbaren Abständen sind hier zweifelsfrei nur außerhalb des Betriebes der Anordnung variabel einstellbare Abstände zwischen den Ritzwerkzeugen gemeint. Um die zur Erzeugung der Spuren notwendige Relativbewegung zwischen der Profilschiene und dem Tisch realisieren zu können, ist der Tisch und/oder die Profilschiene wenigstens in einer Richtung bewegbar. Indem die Profilschiene oder der Tisch auch um eine Achse verdrehbar ist, kann der Spurabstand verringert werden, ohne dass die Abstände der Ritzwerkzeuge verändert werden.An arrangement with the same time several parallel tracks z. B. can be introduced into wafers, is from the DE 198 40 936 B4 known. The arrangement has a table for receiving z. As a wafer and at least two fiber lasers (structuring tools) with end pieces, which are arranged on a rail so that the mutual distance of the end pieces, which determines the track pitch, is variable. Under variable distances are here beyond doubt only outside the operation of the arrangement variably adjustable distances between the scoring tools meant. In order to realize the necessary relative to the generation of the tracks relative movement between the rail and the table, the table and / or the rail can be moved at least in one direction. By the rail or the table is also rotatable about an axis, the track spacing can be reduced without the distances of the scoring tools are changed.

Bei einer Verwendung dieser Anordnung zum Einbringen von Spuren in Dünnschichtsolarzellenmodule ist es von Nachteil, dass sie nicht geeignet ist, Spurabstandsschwankungen bereits erzeugter Spuren bei der Erzeugung von weiteren Spuren zu beachten, weshalb die Übergangsbereiche so breit gewählt werden müssen, dass diese Spurabstandsschwankungen nicht zur Überlappung von benachbarten Spuren führt.When using this arrangement for introducing tracks in thin-film solar cell modules, it is disadvantageous that it is not suitable to observe track pitch variations of already generated tracks in the generation of further tracks, so the transition areas must be chosen so broad that these track pitch variations do not overlap leads from adjacent tracks.

Bei einer üblichen Ausrichtung der Spurverläufe anhand einer Außenkante eines Dünnschichtsolarzellenmoduls werden daher Sicherheitsabstände von ca. 100–200 μm für den Sollverlauf der Spuren zueinander vorgegeben. Das heißt das Strukturierungswerkzeug wird für die Spuren innerhalb eines Übergangsbereiches mit Abständen parallel zur Außenkante geführt, die sich zueinander je nach Spurbreite um ca. 100–200 μm unterscheiden. Dadurch entsteht eine Mindestbreite für einen Übergangsbereich von größer 200–400 μm.In a conventional alignment of the tracks on the basis of an outer edge of a thin-film solar cell module therefore safety distances of about 100-200 microns for the desired course of the tracks are given to each other. That is, the patterning tool is guided for the tracks within a transition region with distances parallel to the outer edge, which differ from each other depending on the track width by about 100-200 microns. This creates a minimum width for a transition region of greater than 200-400 microns.

Um ein Dünnschichtsolarzellenmodul mit schmaleren Übergangsbereichen und damit einem verbesserten Wirkungsgrad zur Verfügung zu stellen, wird in der DE 10 2006 051 555 B4 vorgeschlagen, vor dem Einbringen weiterer Spuren den Verlauf bereits vorhandener Spuren zu bestimmen und beim Einbringen der weiteren Spuren deren Verlauf relativ zum Verlauf der vorhandenen Spuren zu regeln. Dabei wird von der Überlegung ausgegangen, dass die Spurverläufe nebeneinander angeordneter Spuren (hier sind Spuren in einer Bearbeitungsebene gemeint und nicht benachbarte Spuren, die sämtlich in verschiedenen Bearbeitungsebenen erzeugt werden) näherungsweise dieselben sind, und der Spurverlauf von zueinander weiter entfernten Spuren variiert. Dieser Überlegung folgend werden die Spurengruppen gebildet, deren Abstände während des Strukturierungsprozesses zueinander verändert werden, wodurch weitere Spuren jeweils in einer Spurengruppe erzeugt werden, deren Spurverläufe dem Spurverlauf der benachbarten, bereits vorhandenen Spurengruppe wenigstens nahe kommen. Die Übergangsbereiche können damit schmaler konzipiert werden.In order to provide a thin film solar cell module with narrower transition regions and thus improved efficiency, the DE 10 2006 051 555 B4 proposed to determine the course of already existing tracks before introducing further tracks and to regulate their course relative to the course of the existing tracks when introducing the further tracks. It is assumed that the tracks of juxtaposed tracks (here, tracks in one processing plane and non-adjacent tracks, all of which are generated in different processing planes) are approximately the same, and the track course of tracks further apart varies. Following this reasoning, the trace groups are formed, the distances of which are changed during the structuring process to each other, whereby more tracks are each generated in a group of tracks whose lane tracks at least come close to the lane course of the adjacent, already existing track group. The transition areas can thus be designed narrower.

Gleich dem in der DE 10 2006 051 555 B3 erkannten zu lösenden Problem, soll mit einer erfindungsgemäßen Vorrichtung der Abstand der einen Übergangsbereich bildenden Strukturierungslinien (Spuren) möglichst gering gehalten werden, um den Übergangsbereich, der keinen Beitrag zur Energiegewinnung durch das Dünnschichtsolarzellenmodul liefert, minimal zu gestalten.Same as in the DE 10 2006 051 555 B3 recognized problem to be solved should be kept as low as possible with a device according to the invention, the distance of a transition region forming structuring lines (tracks) to make the transition region that provides no contribution to energy production by the thin film solar cell module, minimal.

In der DE 10 2006 051 555 B4 wird auch eine geeignete Strukturierungsvorrichtung vorgeschlagen, mit der Spuren wie beschrieben erzeugt werden können.In the DE 10 2006 051 555 B4 There is also proposed a suitable structuring device with which tracks can be produced as described.

Eine solche Strukturierungsvorrichtung weist eine Spurerfassungseinheit mit einer Kamera auf, mit der bereits zuvor eingebrachte und damit vorhandene Spuren hinsichtlich ihres Spurverlaufes und ihrer Lage erfasst werden. Mit einer der Kamera nachgeschalteten Bildverarbeitungseinheit wird das aufgenommene, die Spuren zeigende Digitalbild mit an sich bekannten Mustererkennungsverfahren (z. B. Kantendetektionsverfahren) ausgewertet. Die ausgewerteten Informationen, insbesondere die entlang der Spurverläufe unterschiedlicher Spurengruppen zueinander oder jeweils zur ersten Spurengruppe (Referenzgruppe) variierenden Abstände werden in einer Speichereinheit der Spurerfassungseinheit abgespeichert.Such a structuring device has a track detection unit with a camera, with which previously introduced and thus existing tracks are detected with regard to their track course and their position. With an image processing unit connected downstream of the camera, the recorded digital image showing the tracks is evaluated by per se known pattern recognition method (eg edge detection method). The evaluated information, in particular the distances that are varying along the track courses of different track groups relative to one another or to the first track group (reference group) in each case, are stored in a memory unit of the track detection unit.

Die abgespeicherten Informationen werden dann einer mit der Spurerfassungseinheit verbundenen Spursteuereinheit zugeführt, welche die Einbringung weiterer Spuren gruppenweise steuert.The stored information is then supplied to a tracking control unit connected to the track detection unit, which controls the introduction of further tracks in groups.

Des Weiteren weist eine Strukturierungsvorrichtung gemäß der DE 10 2006 051 555 B4 eine Transportvorrichtung, z. B. einen Luftkissentisch, zur Aufnahme und zum Transport des zu bearbeitenden Dünnschichtsolarzellenmoduls auf. Der Transport erfolgt in einer Transportrichtung relativ zu einer Prozesseinheit, die mehrere voneinander unabhängig senkrecht zur Transportrichtung ansteuerbare Strukturierungseinheiten aufweist, wobei jede Strukturierungseinheit wenigstens zwei zueinander mit einem festen Abstand fixierte Strukturierungswerkzeuge umfasst.Furthermore, a structuring device according to the DE 10 2006 051 555 B4 a transport device, for. As an air cushion table, for receiving and transporting the thin-film solar cell module to be processed. The transport takes place in a transport direction relative to a process unit which has a plurality of structuring units which can be controlled independently of one another perpendicular to the transport direction, wherein each structuring unit comprises at least two structuring tools fixed to one another at a fixed distance.

Die Strukturierungseinheiten sind jeweils mit einer beweglichen Halterung an einer quer zur Transporteinrichtung angeordneten Schiene aufgehängt und sind somit entlang der Schienenachse voneinander beabstandet in einer Reihe angeordnet. Jede Halterung ist mit einem Antrieb versehen, welcher durch die Spursteuereinheit angesteuert wird.The structuring units are each suspended with a movable support on a rail arranged transversely to the transport device and are thus arranged spaced apart along the rail axis in a row. Each holder is provided with a drive which is controlled by the tracking control unit.

Die Strukturierungswerkzeuge können z. B. mechanische Ritznadeln sein.The structuring tools can, for. B. be mechanical scoring needles.

Es erschließt sich dem Fachmann, dass eine Vorrichtung gemäß der DE 10 2006 051 555 B4 vorteilhaft im Vergleich zu einer Anordnung gemäß der DE 198 40 936 B4 ist, da Dünnschichtsolarzellenmodule mit schmaleren Übergangsbereichen und damit mit einem höheren Wirkungsgrad realisiert werden können.It will be apparent to those skilled in the art that a device according to the DE 10 2006 051 555 B4 advantageous compared to an arrangement according to the DE 198 40 936 B4 is because thin film solar cell modules can be realized with narrower transition areas and thus with a higher efficiency.

Die Offenbarung der DE 198 40 936 B4 lässt die Annahme zu, dass die Prozesseinheit so viele Strukturierungswerkzeuge trägt, wie Spuren über die Gesamtbreite des Dünnschichtsolarzellenmoduls erzeugt werden sollen. Durch die Zusammenfassung der Strukturierungswerkzeuge in einzelnen Strukturierungseinheiten werden nur so viele Antriebe, bewegliche Halterungen u. s. w. benötigt, wie Strukturierungseinheiten vorhanden sind. Je weniger Strukturierungseinheiten allerdings vorhanden sind, desto mehr Strukturierungswerkzeuge müssen pro Strukturierungseinheit vorgesehen werden und umso größer sind folglich die Abweichungen der Spurverläufe der weiteren Spuren von den bereits eingebrachten Spuren, da jeweils alle Strukturierungswerkzeuge einer Strukturierungseinheit gemeinsam angesteuert werden.The revelation of DE 198 40 936 B4 allows the assumption that the process unit carries as many structuring tools as to create tracks over the entire width of the thin-film solar cell module. By combining the structuring tools in individual structuring units only so many drives, movable brackets, etc. are needed, as structuring units are available. However, the fewer structuring units are present, the more structuring tools must be provided per structuring unit, and thus the greater the deviations of the tracks of the other tracks from the already introduced tracks, since all structuring tools of a structuring unit are controlled jointly.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zum Strukturieren von Dünnschichtsolarzellenmodulen vorzuschlagen, mit der, ohne dass der technische Aufwand für die Vorrichtung erhöht wird, die weiteren Spuren mit Spurverläufen erzeugt werden, die genauer auf die Spurverläufe bereits eingebrachter Spuren abgestimmt sind.It is the object of the invention to propose a device for structuring thin-film solar cell modules, with which, without increasing the technical complexity of the device, the further tracks are generated with track curves, which are more precisely tuned to the tracks of already introduced tracks.

Die Aufgabe wird für eine Vorrichtung zur hochgenauen Strukturierung von Dünnschichtsolarzellenmodulen mit einer Transporteinrichtung zur Aufnahme und zum Transport eines Dünnschichtsolarzellenmoduls in eine Transportrichtung senkrecht zur Breite eines aufgenommenen Dünnschichtsolarzellenmoduls, einer Prozesseinheit, die eine Vielzahl von Strukturierungswerkzeugen und an einer Schiene senkrecht zur Transportrichtung voneinander unabhängig ansteuerbare bewegliche Halterungen aufweist, sowie einer Spurerfassungseinheit zum Erfassen und Abspeichern der Spurverläufe und der Lage bereits eingebrachter Spuren und einer Spursteuereinheit, mit der in Abhängigkeit der abgespeicherten Informationen vorhandene Linearantriebe angesteuert werden, die jeweils mit einer Halterung in Verbindung stehen, dadurch gelöst, dass jede Halterung genau ein Strukturierungswerkzeug trägt, die Schiene an einer zu dieser parallel angeordneten Haupt-Schiene senkrecht zur Transporteinrichtung beweglich ist und ein zusätzlicher mit der Schiene in Verbindung stehender Haupt-Linearantrieb vorhanden ist, um die Schiene über die Breite eines aufgenommenen Dünnschichtsolarzellenmoduls entlang der Haupt-Schiene versetzen zu können.The object is for a device for highly accurate structuring of thin film solar cell modules with a transport device for receiving and transporting a thin film solar cell module in a transport direction perpendicular to the width of a recorded thin film solar cell module, a process unit, the plurality of structuring tools and on a rail perpendicular to the transport direction independently controllable movable Has holders, and a track detection unit for detecting and storing the track characteristics and the location of already introduced tracks and a tracking control unit, with the existing depending on the stored information linear actuators are triggered, each of which is in connection with a holder, achieved in that each holder carries exactly one structuring tool, the rail is movable on a parallel to this arranged main rail perpendicular to the transport device and an additional associated with the rail main Linear drive is available to move the rail across the width of a recorded thin film solar cell module along the main rail can.

Vorteilhaft weisen die Linearantriebe einen gemeinsamen passiven Teil auf, der als Magnetbahn entlang der Schiene ausgebildet ist.Advantageously, the linear drives on a common passive part, which is designed as a magnetic path along the rail.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn eines der Strukturierungswerkzeuge ein Referenz-Strukturierungswerkzeug ist, das vorteilhaft über die ihm zugeordnete Halterung fest mit der Schiene verbunden ist.Furthermore, it is advantageous if one of the structuring tools is a reference structuring tool, which is advantageously fixedly connected to the rail via the holder assigned to it.

Anhand der Zeichnung wird die Vorrichtung im Folgenden beispielhaft näher erläutert.Reference to the drawing, the device will be explained in more detail below by way of example.

Es zeigen:Show it:

1 eine Prinzipdarstellung einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 1 a schematic diagram of a device according to the invention

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung, gezeigt in 1, umfasst im Wesentlichen eine Transporteinrichtung 2 zur Aufnahme und zum Transport eines Dünnschichtsolarzellenmoduls 1, eine Spurerfassungseinheit 6, eine Spursteuereinheit 8 und eine Prozesseinheit 12 mit Strukturierungswerkzeugen 3.A device according to the invention, shown in FIG 1 , essentially comprises a transport device 2 for receiving and transporting a thin-film solar cell module 1 , a track detection unit 6 , a tracking control unit 8th and a process unit 12 with structuring tools 3 ,

Auch wenn es sich bei dem Werkstück noch nicht um ein fertiggestelltes Dünnschichtsolarzellenmodul 1 handelt, sondern um ein Substrat in verschiedenen Beschichtungszuständen, soll hier der Begriff Dünnschichtsolarzellenmodul verwendet werden, um nicht verschiedene Begriffe für ein und dasselbe Werkstück in Abhängigkeit vom Fertigungszustand zu verwenden.Even if the workpiece is not yet a finished thin-film solar cell module 1 but a substrate in various coating states, the term thin film solar cell module is used here to not use different terms for one and the same workpiece depending on the manufacturing state.

Die Transporteinrichtung 2 unterscheidet sich nicht von gattungsgemäß gleichen Einrichtungen. Sie besteht im Wesentlichen aus einem linearen Führungssystem und einem Werkzeugtisch, der als Schlitten in dem linearen Führungssystem in x-Richtung, welche die Transportrichtung darstellt, über einen Linearantrieb 9 bewegbar ist.The transport device 2 does not differ from generically identical facilities. It consists essentially of a linear guide system and a tool table, which as a slide in the linear guide system in the x-direction, which represents the transport direction, via a linear drive 9 is movable.

Mittels der Transporteinrichtung 2 kann ein auf dem Werkzeugtisch vorteilhaft mittels Vakuumspannung fixiertes Dünnschichtsolarzellenmodul 1 in x-Richtung, in der die Längskante des Dünnschichtsolarzellenmoduls 1 ausgerichtet ist, gegenüber einer Prozesseinheit 12, an der sich die Strukturierungswerkzeuge 3, in z-Richtung auf das Dünnschichtsolarzellenmodul gerichtet befinden, transportiert werden.By means of the transport device 2 can be on the tool table advantageous by means of vacuum voltage-fixed thin-film solar cell module 1 in the x-direction, in which the longitudinal edge of the thin-film solar cell module 1 aligned with a process unit 12 , at which the structuring tools 3 , in the z direction directed to the thin film solar cell module, are transported.

Die Transporteinrichtung 2 ist in der Zeichnung nur durch den Werkzeugtisch dargestellt.The transport device 2 is shown in the drawing only through the tool table.

Die Ausführung der Prozesseinheit 12, die oberhalb der Transporteinrichtung 2 angeordnet ist, unterscheidet sich gegenüber der aus dem Stand der Technik bekannten Prozesseinheit in erfindungswesentlicher Weise.The execution of the process unit 12 that are above the transport device 2 is arranged differs from the process unit known from the prior art in a manner essential to the invention.

Mit den Begriffen der DE 198 40 936 B4 beschrieben, umfasst sie eine Vielzahl von Halterungen 4, die jeweils ein Strukturierungswerkzeug 3 tragen und an einer Schiene 5 in y-Richtung, senkrecht zur Transporteinrichtung 2, beweglich angebracht sind, wobei die Schiene 5 selbst, gleich einem Schlitten, an einer vorhandenen Haupt-Schiene 10 ebenfalls in y-Richtung und damit über die Breite eines von der Transporteinrichtung 2 aufgenommenen Dünnschichtsolarzellenmoduls 1 versetzt werden kann.With the terms of DE 198 40 936 B4 described, it includes a variety of brackets 4 , each a structuring tool 3 wear and on a rail 5 in y-direction, perpendicular to the transport device 2 , movably mounted, being the rail 5 itself, like a sled, on an existing main rail 10 also in the y-direction and thus across the width of one of the transport device 2 received thin-film solar cell module 1 can be offset.

Die Haupt-Schiene 10 ist Bestandteil eines Hauptführungssystems und dient der gemeinsamen Bewegung aller Strukturierungswerkzeuge 3, während die Schiene 5 Bestandteil eines in das Hauptführungssystem integrierten Führungssystems ist, welches der relativen Bewegung der Strukturierungswerkzeuge 3 zu einem ausgewählten Referenz-Strukturierungswerkzeug 3.1 und damit der Beeinflussung des Spurverlaufes der einzelnen Spuren 7 dient.The main rail 10 is part of a main guidance system and serves the common movement of all structuring tools 3 while the rail 5 Part of a guidance system integrated into the main guidance system is the relative motion of the structuring tools 3 to a selected reference structuring tool 3.1 and thus influencing the track course of the individual tracks 7 serves.

Das Referenz-Strukturierungswerkzeug 3.1 kann an der Schiene 5 fest montiert oder ebenfalls auf dieser beweglich angeordnet sein. Hierdurch ergeben sich Unterschiede in der Ansteuerung der Antriebe 9, 11 der Prozesseinheit 12.The reference structuring tool 3.1 can at the rail 5 firmly mounted or also be movably mounted on this. This results in differences in the control of the drives 9 . 11 the process unit 12 ,

Gleich dem Stand der Technik ist eine Spurerfassungseinheit 6 mit einer Kamera vorhanden, mit der bereits in einem vorherigen Prozessschritt eingebrachte Spuren 7 mit ihrer Lage und ihrem Spurverlauf erfasst werden können. Die erfassten Informationen werden der Spursteuereinheit 8 zur Verfügung gestellt, die mit den einzelnen Antrieben 9, 11 der Prozesseinheit 12 in Verbindung steht.Like the prior art is a track detection unit 6 with a camera, with the already introduced in a previous process step tracks 7 can be detected with their position and track course. The detected information becomes the tracking control unit 8th provided with the individual drives 9 . 11 the process unit 12 communicates.

Das integrierte Führungssystem umfasst eine Vielzahl von Halterungen 4, die jeweils ein Strukturierungswerkzeug 3 tragen. Entweder alle Strukturierungswerkzeuge 3 oder alle, ausgenommen dem Referenz-Strukturierungswerkzeug 3.1, sind über jeweils einen Linearantrieb 9 entlang der Schiene 5 bewegbar. Vorteilhaft haben die Linearantriebe 9 einen gemeinsamen passiven Teil, nämlich eine Magnetbahn, die fest verbunden an der Schiene 5 vorhanden ist bzw. die Schiene 5 ist als Magnetbahn ausgebildet. Die Halterungen 4 sind jeweils mit einem aktiven Teil eines Linearantriebes 9, nämlich einer Spule, verbunden. Selbstverständlich kann das integrierte Führungssystem anstelle nur einer Schiene 5 auch ein Schienenpaar aufweisen.The integrated guide system includes a variety of brackets 4 , each a structuring tool 3 wear. Either all structuring tools 3 or all except the reference structuring tool 3.1 , are each about a linear actuator 9 along the rail 5 movable. Advantageously, the linear drives 9 a common passive part, namely a maglev, which is firmly connected to the rail 5 is present or the rail 5 is designed as a magnetic track. The brackets 4 are each with one active part of a linear drive 9 , namely a coil, connected. Of course, the integrated guide system instead of just a rail 5 also have a pair of rails.

Um die Position einer jeden Halterung 4 zu erfassen, ist pro Halterung 4 ein Linearmesssystem vorhanden, wobei alle diese Linearmesssysteme mit einer gemeinsamen Maßverkörperung, die entlang der Schiene 5 vorgesehen ist, in Verbindung stehen.To the position of each bracket 4 to capture is per bracket 4 a linear measuring system exists, with all these linear measuring systems having a common measuring standard along the rail 5 is intended to be in communication.

Die Linearantriebe 9 des integrierten Führungssystems müssen für nur kleine Bewegungsbereiche, dafür aber für eine sehr feinfühlige Bewegung ausgelegt sein, da sie nur Abstandsänderungen zwischen den Spuren 7 ausgleichen sollen, die prozessbedingt oder aufgrund von Führungsfehlern des Transportsystems 2 zustande kommen.The linear drives 9 of the integrated guidance system must be designed for only small ranges of motion, but for a very sensitive movement, since they only change the distance between the tracks 7 which are due to the process or due to leadership mistakes of the transport system 2 come about.

Das integrierte Führungssystem ist über einen zusätzlich vorhandenen Haupt-Linear-Antrieb 11 entlang einer Haupt-Schiene 10 beweglich. Der Haupt-Linearantrieb 11 muss für einen großen Bewegungsbereich ausgelegt sein, wobei keine hohen Anforderungen an die Feinfühligkeit der Bewegung gestellt werden, zumindest dann nicht, wenn auch das Referenz-Strukturierungswerkzeug 3.1 an der Schiene 5 beweglich angebracht ist.The integrated guidance system is via an additionally existing main linear drive 11 along a main rail 10 movable. The main linear drive 11 must be designed for a large range of motion, with no high demands placed on the sensitivity of the movement, at least not, although the reference structuring tool 3.1 at the rail 5 movably mounted.

Die Strukturierungswerkzeuge 3 können mechanische Ritzwerkzeuge sein, insbesondere Ritznadeln oder aber Laserstrahlen, die jeweils aus einem Faserlaser oder einem Laserkopf austreten, der in einer der Halterungen 4 montiert ist.The structuring tools 3 can be mechanical scoring tools, in particular scoring needles or laser beams, each emerging from a fiber laser or a laser head, in one of the holders 4 is mounted.

Jedes einzelne mechanische Strukturierungswerkzeug 3 ist vorteilhaft über ein Ein-/Ausschaltventil mit einer Druckkammer verbunden, womit es möglich ist, die am Strukturierungsprozess beteiligten Strukturierungswerkzeuge 3 zu variieren. Die Andruckkraft der einzelnen Strukturierungswerkzeuge 3 ist vorteilhaft über ein gemeinsames Proportional-Druckreglerventil einstellbar.Every single mechanical structuring tool 3 is advantageously connected via an on / off valve with a pressure chamber, which makes it possible, the structuring tools involved in the structuring process 3 to vary. The pressure force of the individual structuring tools 3 is advantageously adjustable via a common proportional pressure regulator valve.

Grundsätzlich ist der notwendige Bauraum, wie er pro Halterung 4 benötigt wird, für den minimal möglichen Abstand der Strukturierungswerkzeuge 3 und damit für den minimal möglichen Spurabstand bestimmend. Durch das integrierte Führungssystem ist diese Beschränkung jedoch nicht gegeben. So kann zwischen zwei Halterungen 4 auch der Abstand zweier nicht benachbarter Spuren 7, z. B. der Abstand zwischen jeder dritten Spur 7, eingestellt werden und nach dem Versatz der Schiene 5 an der Haupt-Schiene 10 die dazwischen zu erzeugenden Spuren 7 strukturiert werden.Basically, the necessary space, as per holder 4 is needed for the minimum possible distance of structuring tools 3 and thus determining the minimum possible track pitch. However, this limitation is not given by the integrated guidance system. So can between two brackets 4 also the distance between two non-adjacent tracks 7 , z. For example, the distance between every third track 7 , and after the misalignment of the rail 5 at the main rail 10 the tracks to be created in between 7 be structured.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
DünnschichtsolarzellenmodulThin film solar cell module
22
Transporteinrichtungtransport means
33
Strukturierungswerkzeugstructuring tool
3.13.1
Referenz-StrukturierungswerkzeugReference structuring tool
44
Halterungbracket
55
Schienerail
66
SpurerfassungseinheitTrack detection unit
77
Spurtrack
88th
SpursteuereinheitTracking control unit
99
Linearantrieblinear actuator
1010
Haupt-SchieneMain rail
1111
Haupt-LinearantriebMain linear drive
1212
Prozesseinheitprocess unit

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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  • DE 19840936 B4 [0009, 0020, 0021, 0035] DE 19840936 B4 [0009, 0020, 0021, 0035]
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Claims (3)

Vorrichtung zur hochgenauen Strukturierung von Dünnschichtsolarzellenmodulen mit einer Transporteinrichtung (2) zur Aufnahme und zum Transport eines Dünnschichtsolarzellenmoduls (1) in eine Transportrichtung senkrecht zur Breite eines aufgenommenen Dünnschichtsolarzellenmoduls (1), einer Prozesseinheit (12), die eine Vielzahl von Strukturierungswerkzeugen (3) und an einer Schiene (5) senkrecht zur Transportrichtung voneinander unabhängig ansteuerbare, bewegliche Halterungen (4) aufweist, sowie einer Spurerfassungseinheit (6) zum Erfassen und Abspeichern der Spurverläufe und der Lage bereits eingebrachter Spuren (7) und einer Spursteuereinheit (8), mit der in Abhängigkeit der abgespeicherten Informationen vorhandene Linearantriebe (9) angesteuert werden, die jeweils mit einer Halterung (4) in Verbindung stehen, dadurch gekennzeichnet, dass jede Halterung (4) genau ein Strukturierungswerkzeug (3) trägt, die Schiene (5) an einer zu dieser parallel angeordneten Haupt-Schiene (10) senkrecht zur Transporteinrichtung (2) beweglich ist und ein zusätzlicher mit der Schiene (5) in Verbindung stehender Haupt-Linearantrieb (11) vorhanden ist, um die Schiene (5) über die Breite eines aufgenommenen Dünnschichtsolarzellenmoduls (1) entlang der Haupt-Schiene (10) versetzen zu können.Device for high-precision structuring of thin-film solar cell modules with a transport device ( 2 ) for receiving and transporting a thin-film solar cell module ( 1 ) in a transport direction perpendicular to the width of a received thin-film solar cell module ( 1 ), a process unit ( 12 ), which contain a variety of structuring tools ( 3 ) and on a rail ( 5 ) perpendicular to the transport direction independently controllable, movable brackets ( 4 ), and a track detection unit ( 6 ) for capturing and storing the track patterns and the position of already introduced tracks ( 7 ) and a tracking control unit ( 8th ), with the depending on the stored information existing linear drives ( 9 ), each with a holder ( 4 ), characterized in that each holder ( 4 ) exactly one structuring tool ( 3 ), the rail ( 5 ) on a main rail parallel thereto ( 10 ) perpendicular to the transport device ( 2 ) is movable and an additional with the rail ( 5 ) associated main linear drive ( 11 ) is present to the rail ( 5 ) across the width of a received thin film solar cell module ( 1 ) along the main rail ( 10 ). Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Linearantriebe (9) einen gemeinsamen passiven Teil aufweisen, der als Magnetbahn entlang der Schiene (5) ausgebildet ist.Device according to claim 1, characterized in that the linear drives ( 9 ) have a common passive part which acts as a magnetic track along the rail ( 5 ) is trained. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eines der Strukturierungswerkzeuge (3) ein Referenz-Strukturierungswerkzeug (3.1) ist, das über die ihm zugeordnete Halterung fest mit der Schiene (5) verbunden ist.Device according to claim 1, characterized in that one of the structuring tools ( 3 ) a reference structuring tool ( 3.1 ), which is fixed to the bracket ( 5 ) connected is.
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