DE102010024845B4 - High voltage generator - Google Patents

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    • H03K3/53Generators characterised by the type of circuit or by the means used for producing pulses by the use of an energy-accumulating element discharged through the load by a switching device controlled by an external signal and not incorporating positive feedback
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H02N2/18Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators
    • H02N2/183Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing electrical output from mechanical input, e.g. generators using impacting bodies

Abstract

Hochspannungsgenerator (1), insbesondere zur Verwendung als Störfrequenz-Generator, der mindestens eine aus eine Anzahl „n” Piezoelementen (2) bestehende Piezo-Säule (100) zum Wandeln von mechanischem Druck in elektrische Spannung und eine damit funktional verbundene Last (4) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweils benachbarten Piezoelemente (2) der Piezo-Säule (100) elektrisch voneinander isoliert angeordnet und die einander zugewandten Elektroden (6, 7) benachbarter Piezoelemente (2) jeweils über eine Funkenstrecke (9) miteinander verbunden sind.High voltage generator (1), in particular for use as a disturbance frequency generator, comprising at least one piezo column (100) consisting of a number of "n" piezo elements (2) for converting mechanical pressure into electrical voltage and a load (4) functionally connected thereto. comprises, characterized in that the respectively adjacent piezoelectric elements (2) of the piezo-column (100) arranged electrically isolated from each other and the facing electrodes (6, 7) of adjacent piezoelectric elements (2) in each case via a spark gap (9) are interconnected.

Description

Die Erfindung betrifft einen Hochspannungsgenerator, insbesondere zur Verwendung als Störfrequenz-Generator, der mindestens eine aus eine Vielzahl n Piezoelementen bestehende Piezo-Säule zum Wandeln von mechanischem Druck in elektrische Spannung umfasst, wobei die Anzahl der Piezoelemente n > 3 beträgt, und die Spannung über mindestens eine Funkenstrecke kurzschließbar ist.The invention relates to a high-voltage generator, in particular for use as a disturbance frequency generator, which comprises at least one consisting of a plurality n Piezo piezoelectric column for converting mechanical pressure into electrical voltage, wherein the number of piezoelectric elements is n> 3, and the voltage across at least one spark gap is short-circuited.

Durch die zunehmende Komplexität von Sensorik, Elektronik, Mikroelektronik in modernen intelligenten Verteidigung-, Kommunikations- und Überwachungssystemen steigt zum einen die Leistungsfähigkeit dieser Systeme, zum anderen können diese aber aufgrund ihrer Baueigenschaften sehr anfällig für elektromagnetische Felder hoher Leistungsdichte sein (HPME – High Power Electromagnetics). Diese in der Praxis verbringbaren Quellen ermöglichen es, die Sensorik und/oder Elektronik mit geringen kollateralen Schäden zu stören bzw. sogar zu zerstören ( DE 103 42 730 A1 ).The increasing complexity of sensor technology, electronics, microelectronics in modern intelligent defense, communication and monitoring systems increases the performance of these systems, but on the other hand they can be very susceptible to electromagnetic fields of high power density due to their building properties (HPME - High Power Electromagnetics ). These sources, which can be used in practice, make it possible to disrupt or even destroy sensors and / or electronics with little collateral damage ( DE 103 42 730 A1 ).

Neben Explosivstoffen als Energiequelle ( DE 100 44 867 A1 ) ist die Umsetzung der mechanischen in elektrische Energie mittels piezoelektrischen Keramiken bekannt. Durch Druck auf eine solche Keramik wird elektrische Spannung erzeugt, die Keramik verhält sich wie ein einfacher geladener Keramikkondensator. Die Energiedichte ist zwar um eine Größenordnung niedriger, als im Explosivstoff, aber immer nach ausreichend für das gegebene Volumen.In addition to explosives as an energy source ( DE 100 44 867 A1 ), the conversion of mechanical into electrical energy by means of piezoelectric ceramics is known. By pressure on such a ceramic electrical voltage is generated, the ceramic behaves like a simple charged ceramic capacitor. The energy density is an order of magnitude lower than in the explosive, but always sufficient for the given volume.

Bei derart bekannten Hochspannungsgeneratoren werden die Piezoelemente üblicherweise stapelförmig übereinander angeordnet. Dabei sind die einander zugewandten Elektroden benachbarter Piezoelemente elektrisch leitend miteinander verbunden, sodass die Piezoelemente der entsprechenden Piezo-Säule eine Serienschaltung bilden. Wird daher auf die Enden der Piezo-Säule Druck ausgeübt, so ergibt sich eine Gesamtspannung n × U0, wobei U0 der Scheitelwert der von dem einzelnen Piezoelement erzeugten Stoßspannung bedeutet. Über eine Funkenstrecke, die fremd gezündet oder selbstzündend sein kann, entlädt sich die in den Piezoelementen gespeicherte Energie dann in eine Last (beispielsweise eine Antenne des Störsenders).In such known high voltage generators, the piezoelectric elements are usually stacked arranged one above the other. In this case, the mutually facing electrodes of adjacent piezo elements are electrically conductively connected to each other, so that the piezo elements of the corresponding piezo column form a series circuit. Therefore, if pressure is exerted on the ends of the piezoelectric column, the result is a total voltage n × U 0 , where U 0 is the peak value of the surge voltage generated by the individual piezoelectric element. Over a spark gap, which may be ignited or spark ignited, the stored energy in the piezoelectric elements then discharges into a load (for example, an antenna of the jammer).

Wie Versuche der Anmelderin gezeigt haben, lassen sich durch die Stapelung seriell geschalteter Piezoelemente Spannungen bis maximal 250 kV erzeugen. Erwünscht bzw. erstrebenswert sind jedoch Spannungen im Megavoltbereich.As tests by the Applicant have shown, voltages of up to 250 kV can be generated by stacking serially connected piezo elements. Desirable or desirable, however, are voltages in the megavolt range.

Aus der DE 101 50 636 C2 ist ein Hochspannungsgenerator bekannt, bei dem über ein elektrisch leitendes Koppelstück zwei Piezo-Säulen elektrisch gegensinnig in Serie geschaltet sind. Dabei erstrecken sich längs der Piezo-Säulen Elektroden von den Stirnenden der Säulen in den Bereich des Koppelstückes und dienen hier als Funkenelektroden für Funkenstrecken zum Koppelstück hin und zwischen einander.From the DE 101 50 636 C2 a high voltage generator is known in which two piezoelectric columns are electrically connected in opposite directions in series via an electrically conductive coupling piece. In this case, electrodes extend from the front ends of the columns into the region of the coupling piece along the piezo columns and serve here as spark electrodes for spark gaps towards the coupling piece and between each other.

Auch bei diesem Hochspannungsgenerator werden die beiden Piezo-Säulen durch übereinander gestapelte Piezoelemente gebildet, wobei die Elektroden benachbarter Piezoelemente elektrisch direkt miteinander verbunden sind, sodass sich wiederum Serienschaltungen mit den vorstehend erwähnten Nachteilen ergeben.Also in this high-voltage generator, the two piezoelectric columns are formed by stacked piezoelectric elements, the electrodes of adjacent piezoelectric elements are electrically connected directly to each other, so in turn result series circuits with the disadvantages mentioned above.

Die DE 29 13 448 A1 beschäftigt sich mit einem piezoelektrischen Bauteil mit Montageplatte für Zündvorrichtungen. Das piezoelektrische Bauteil besitzt vier übereinander gestapelte Piezoelemente, welche durch Isolierscheiben elektrisch voneinander getrennt sind, sodass sich vier elektrische Klemmen ergeben, an welchen vier Zündelektroden angeschlossen werden können und welche gleichzeitig jeweils einen Zündfunken ergeben.The DE 29 13 448 A1 deals with a piezoelectric component with mounting plate for igniters. The piezoelectric component has four stacked piezoelectric elements, which are electrically separated from each other by insulating, so that there are four electrical terminals to which four ignition electrodes can be connected and which at the same time each give a spark.

Mit der DE 2 000 938 A wird ein Gasgerät mit piezoelektrischem Gasanzünder offenbart. Derartige Gasanzünder weisen einen piezoelektrischen Generator auf, der durch mechanische Beanspruchung seiner piezoelektrischen Elemente oder seiner Kombination piezoelektrischer Elemente elektrische Leistung erzeugt. Dieser wird in einem Funkten entladen, der das Gas zündet. Gemäß der DE 2 000 938 A werden zwei oder mehrere Funkstrecken gleichzeitig zum Überschlag gebracht.With the DE 2 000 938 A a gas appliance with piezoelectric gas lighter is disclosed. Such gas lighters have a piezoelectric generator which generates electrical power by mechanical stress on its piezoelectric elements or its combination of piezoelectric elements. This is discharged in a spark that ignites the gas. According to the DE 2 000 938 A Two or more radio links will be rollovered simultaneously.

Ausgehend hiervon liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, einen Hochspannungsgenerator der eingangs erwähnten Art anzugeben, mit dem Spannungen durch Erhöhung der Anzahl der Piezoelemente auch über einen Wert von 250 kV erzeugt werden können.Based on this, the present invention seeks to provide a high voltage generator of the type mentioned, with the voltages can be generated by increasing the number of piezo elements over a value of 250 kV.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Weitere, besonders vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung offenbaren die Unteransprüche.This object is achieved by the features of claim 1. Further, particularly advantageous embodiments of the invention disclose the dependent claims.

Die Erfindung beruht im Wesentlichen auf dem Gedanken, die Stapelung der einzelnen Piezoscheiben nach dem Prinzip eines Marx-Generators vorzunehmen. Da die gepressten Piezoscheiben sich wie geladene Keramikondensatoren verhalten, ist es möglich, sie wie die Kondensatoren in einem Marx-Generator zu entladen. – Die DE 199 59 358 C2 beschreibt eine autonome RF-Strahlenquelle, die einen Marx-Generator verwendet, durch den nacheinander mehrere repetierte Stoßspannungen erzeugt und über den UWB-Pulser sowie die Breitbandantenne nacheinander auf das Ziel abgestrahlt werden. – Die elektrische Schaltung des erfindungsgemäßen Hochspannungsgenerators ähnelt somit der Schaltung eines Marx-Generators zur Erzeugung von Stoßspannungen. Allerdings werden bei dem hier verwendeten Marx-Generator zunächst eine Anzahl elektrisch parallelgeschalteter Kapazitäten aufgeladen und dann zu einem vorbestimmten Zeitpunkt über Funkenstrecken in Serie geschaltet, um dadurch eine entsprechende Vervielfachung der Spannung zu erzeugen.The invention is based essentially on the idea of making the stacking of the individual piezoelectric disks on the principle of a Marx generator. Since the pressed piezoelectric disks behave like charged ceramic capacitors, it is possible to discharge them like the capacitors in a Marx generator. - The DE 199 59 358 C2 describes an autonomous RF radiation source using a Marx generator, which successively generates a plurality of repetitive surge voltages and is successively radiated to the target via the UWB pulser and the broadband antenna. - The electrical circuit of the high voltage generator according to the invention thus resembles the circuit of a Marx generator for generating surge voltages. However, in the case of the Marx generator used here, a number of electrically parallel-connected capacitors are first charged and then connected in series at a predetermined time via spark gaps, in order to thereby generate a corresponding multiplication of the voltage.

Demgegenüber erfolgt bei dem erfindungsgemäßen Hochspannungsgenerator keine parallele Aufladung von Kapazitäten, sondern elektrisch isolierte, aber mechanisch parallel zueinander angeordnete Piezoelemente erzeugen durch Ausübung eines entsprechend hohen Druckes jeweils eine Stoßspannung mit dem Scheitelwert U0. Durch Zünden der Funkenstrecken zwischen den Elektroden benachbarter Piezoelemente erfolgt anschließend, ähnlich wie bei dem Marxgenerator, eine entsprechende Vervielfachung der Spannung an der Piezo-Säule in Abhängigkeit von der Anzahl der Piezoelemente.In contrast, in the high voltage generator according to the invention no parallel charging of capacitances, but electrically isolated, but mechanically mutually parallel piezoelectric elements generate by exerting a correspondingly high pressure in each case a surge voltage with the peak value U 0 . By igniting the spark gaps between the electrodes of adjacent piezoelectric elements, a corresponding multiplication of the voltage on the piezoelectric column as a function of the number of piezoelectric elements then takes place, similar to the Marx generator.

Der wesentliche Unterschied ist also, dass keine Aufladung der einzelnen Kondensatoren durch elektrische Hochspannung notwendig ist, sondern, dass die Piezoscheiben durch einen hohen Druck innerhalb von Millisekunden zusammengepresst werden. Da einzelnen Scheiben bei gleichem Druck höhere Spannungen als ein Stapel von Scheiben halten, wird der Stapel so aufgebaut, dass jede Scheibe gegeneinander isoliert ist und erst beim Erreichen eines maximalen Spannungswertes an jeder einzelnen Scheibe durch Funkenstrecken eine Reihenschaltung entsteht und die Spannung sich somit abhängig von der Anzahl der Scheiben vervielfacht. Im Gegensatz zu den bekannten Hochspannungsgeneratoren der gattungsgemäßen Art, erfolgt bei dem erfindungsgemäßen Hochspannungsgenerator bei Ausübung eines entsprechenden Druckes auf die Piezo-Säule noch keine Addition der durch die einzelnen Piezoelementen erzeugten Stoßspannungen, sondern erst wenn nach Erreichen der Schaltspannung auf die Piezo-Säule durch Zünden der Funkenstrecken zwischen den Elektroden benachbarter Piezoelemente die einzelnen Piezoelemente elektrisch eine Serienschaltung bilden, wird die Spannung an der Piezo-Säule in Abhängigkeit von der Anzahl der Piezoelemente entsprechend vervielfacht. Überraschenderweise wird durch diesen Vorgang die Hochspannungsfestigkeit der Piezo-Säule gegenüber bekannten Anordnungen wesentlich verbessert.The main difference is that no charging of the individual capacitors by high voltage electrical is necessary, but that the piezoelectric disks are compressed by a high pressure within milliseconds. Since individual disks at the same pressure hold higher voltages than a stack of disks, the stack is constructed so that each disk is insulated from each other and only when reaching a maximum voltage value at each disk by spark gaps a series circuit is formed and the voltage thus depends on the number of discs multiplied. In contrast to the known high-voltage generators of the generic type, in the high-voltage generator according to the invention upon exercise of a corresponding pressure on the piezo column still no addition of the generated by the individual piezo elements surge voltages, but only when after reaching the switching voltage to the piezo column by igniting the spark gaps between the electrodes of adjacent piezoelectric elements, the individual piezoelectric elements electrically form a series circuit, the voltage on the piezoelectric column is multiplied correspondingly in dependence on the number of piezoelectric elements. Surprisingly, this process substantially improves the high-voltage strength of the piezoelectric column compared with known arrangements.

Es ist dabei angedacht, die jeweils benachbarten Piezoelemente einer Piezo-Säule elektrisch voneinander isoliert anzuordnen und die einander zugewandten Elektroden benachbarter Piezoelemente jeweils über eine eigene Funkenstrecke miteinander zu verbinden, sodass sich erst nach Zündung der Funkenstrecken eine Serienschaltung der Piezoelemente und damit eine Erhöhung der Gesamtspannung ergibt.It is envisaged to electrically isolate each of the adjacent piezoelectric elements of a piezoelectric column from each other and to connect the mutually facing electrodes of adjacent piezoelectric elements each with its own spark gap, so that only after ignition of the spark gaps, a series connection of the piezoelectric elements and thus an increase in the total voltage results.

Vorteilhafterweise wird die Hochspannung lediglich für (sehr kurzen) den Zeitraum erzeugt, indem sie benötigt wird. Zugleich ist es möglich, durch die Funkenstrecken an einer Induktivität ein resonantes Umladen in einen kapazitiven Resonator mit Antenne zu erzeugen. Die Spannung an der Antenne wird dadurch nochmals erhöht, sodass mit niedrigeren Eingangsspannungen stärkere HPEM-Pulse (HPEM: High Power Electromagnetics) erzeugt werden können.Advantageously, the high voltage is generated only for (very short) the period of time by being needed. At the same time it is possible to generate by the spark gaps at an inductance resonant transfer into a capacitive resonator with antenna. The voltage at the antenna is thus increased again, so that lower input voltages stronger HPEM pulses (HPEM: High Power Electromagnetics) can be generated.

Wertere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus dem folgenden, anhand einer Figur erläuterten Ausführungsbeispiel.More valuable details and advantages of the invention will become apparent from the following, explained with reference to a figure embodiment.

In der Figur ist mit 1 ein Hochspannungsgenerator bezeichnet. Der Hochspannungsgenerator 1 umfasst eine aus eine Anzahl n stapelförmig angeordneten Piezoelementen 2 sich zusammensetzende Piezo-Säule 100, die über eine erste Funkenstrecke 3 mit einer Last (Antenne) 4 verbunden ist. Dabei sollte die Anzahl der Piezoelemente 2 „n” ≥ 3 sein.In the figure is with 1 denotes a high voltage generator. The high voltage generator 1 comprises one of a number n stacked piezo elements arranged 2 self-assembled piezo column 100 that have a first spark gap 3 with a load (antenna) 4 connected is. The number of piezo elements should be 2 "N" ≥ 3.

Jedes Piezoelement 2 umfasst ein Teil 5 aus einem piezoelektrischen Material (beispielsweise einer Keramik), auf den zwei gegenüberliegende Elektroden 6, 7 aufgebracht sind.Each piezo element 2 includes a part 5 of a piezoelectric material (for example a ceramic), on the two opposite electrodes 6 . 7 are applied.

Benachbarte Piezoelemente 2 des Hochspannungsgenerators 1 sind elektrisch voneinander jeweils durch eine Isolierscheibe 8 getrennt. Dabei sind die jeweils beiden durch eine Isolierscheibe getrennten Elektroden 6, 7 benachbarter Piezoelemente 2 elektrisch über eine zweite Funkenstrecke 9 miteinander verbunden. Außerdem sind die Elektroden 6 über einen Entladewiderstand 10 mit Masse 11 des Hochspannungsgenerators 1 verbunden.Adjacent piezo elements 2 of the high voltage generator 1 are electrically spaced from each other by an insulating washer 8th separated. The two are separated by an insulating disc electrodes 6 . 7 adjacent piezo elements 2 electrically via a second spark gap 9 connected with each other. In addition, the electrodes 6 via a discharge resistor 10 with mass 11 of the high voltage generator 1 connected.

Wird nun in Richtung des mit 12 bezeichneten Pfeils Druck auf die „n” übereinander gestapelten Piezoelemente ausgeübt, so ergibt sich an den Elektroden 6, 7 jedes der Piezoelemente 2 eine Stoßspannung mit dem Scheitelwert U0.Will now be in the direction of with 12 indicated arrow pressure on the "n" stacked piezoelectric elements exercised, it follows at the electrodes 6 . 7 each of the piezo elements 2 a surge voltage with the peak value U 0 .

Zündet nun eine Funkenstrecke 9, wovon eine oder mehrere fremd gezündet sein können, verschiebt sich die Spannung des nächsten Piezoelementes so, dass eine Addition erfolgt. Die Spannung erhöht sich an der darauf folgenden (zweiten) Funkenstrecke 9 dabei schlagartig. Eine Kettenreaktion setzt ein und innerhalb von Nanosekunden sind alle Funkenstrecken 9 durchgeschaltet und die maximale Spannung des gesamten Stapels von n Piezoelementen 2 beträgt Uges = n × U0.Now ignite a spark gap 9 , one or more of which may be ignited externally, the voltage of the next piezoelectric element shifts so that an addition takes place. The voltage increases at the following (second) spark gap 9 abruptly. A chain reaction sets in and within nanoseconds all spark gaps 9 switched through and the maximum voltage of the entire stack of n piezo elements 2 is U ges = n × U 0 .

Die im elektrischen Feld gespeicherte Gesamtenergie entlädt sich nun über die Funkenstrecke 3 in die Last 4.The total energy stored in the electric field now discharges via the spark gap 3 in the load 4 ,

Durch eine geschickte Wahl der Induktivität in der Zuleitung zur Last 4 ist es möglich die Spannung an der Last 4 zusätzlich zu erhöhen, sodass es möglich ist eine Spannung UL > Uges zu erreichen.By a clever choice of inductance in the supply line to the load 4 is it possible the voltage at the load 4 in addition to increase, so that it is possible to achieve a voltage U L > U ges .

Der Druck auf das Scheibenpaket 100 ist nach oben hin frei wählbar, wobei die Spannungsfestigkeit der einzelnen Elemente/Scheiben 2 und die mechanische Druckfestigkeit berücksichtig werden müssen. Eine Steigerung des Energiegehaltes des Systems kann – unabhängig der Anzahl der Scheiben und/oder des konstanten Drucks auf die Scheiben 2 – zusätzlich durch die Steigerung der maximal möglichen Leerlaufspannung U0 vorgenommen werden. Diese hängt von der piezoelektrischen Spannungskonstanten, dem Druck und dem Abstand der Elektroden ab.The pressure on the disc package 100 is freely selectable upwards, whereby the dielectric strength of the individual elements / slices 2 and the mechanical compressive strength must be taken into account. An increase in the energy content of the system can - regardless of the number of slices and / or the constant pressure on the discs 2 - Be made in addition by increasing the maximum open circuit voltage U 0 . This depends on the piezoelectric voltage constants, the pressure and the distance between the electrodes.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
HochspannungsgeneratorHigh voltage generator
22
Piezoelementpiezo element
33
(erste) Funkenstrecke(first) spark gap
44
Lastload
55
Teilpart
6, 76, 7
Elektrodenelectrodes
88th
Isolierscheibeinsulating
99
(zweite) Funkenstrecke(second) spark gap
1010
Entladewiderstanddischarge
1111
MasseDimensions
1212
Pfeilarrow
100100
Piezo-SäulePiezo column

Claims (6)

Hochspannungsgenerator (1), insbesondere zur Verwendung als Störfrequenz-Generator, der mindestens eine aus eine Anzahl „n” Piezoelementen (2) bestehende Piezo-Säule (100) zum Wandeln von mechanischem Druck in elektrische Spannung und eine damit funktional verbundene Last (4) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die jeweils benachbarten Piezoelemente (2) der Piezo-Säule (100) elektrisch voneinander isoliert angeordnet und die einander zugewandten Elektroden (6, 7) benachbarter Piezoelemente (2) jeweils über eine Funkenstrecke (9) miteinander verbunden sind.High voltage generator ( 1 ), in particular for use as a disturbance frequency generator, the at least one of a number of "n" piezo elements ( 2 ) existing piezo column ( 100 ) for converting mechanical pressure into electrical voltage and a functionally connected load ( 4 ), characterized in that the respectively adjacent piezo elements ( 2 ) of the piezo column ( 100 ) electrically isolated from each other and the facing electrodes ( 6 . 7 ) of adjacent piezo elements ( 2 ) each over a spark gap ( 9 ) are interconnected. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zur Isolierung benachbarter Piezoelemente (2) zwischen diesen jeweils eine Isolierscheibe (8) angeordnet ist.High-voltage generator according to claim 1, characterized in that for the isolation of adjacent piezo elements ( 2 ) between these in each case an insulating disk ( 8th ) is arranged. Hochspannungsgenerator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Anbindung einer Elektrode (7) jedes der Piezoelemente (2) über einen Widerstand (10) erfolgt.High-voltage generator according to claim 1 or 2, characterized in that the connection of an electrode ( 7 ) each of the piezo elements ( 2 ) via a resistor ( 10 ) he follows. Hochspannungsgenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Piezoelemente (2) aus piezoelektrischer Keramik bestehen.High-voltage generator according to one of claims 1 to 3, characterized in that the piezoelectric elements ( 2 ) consist of piezoelectric ceramic. Hochspannungsgenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl der Piezoelemente (2) n > 3 beträgt.High-voltage generator according to one of claims 1 to 4, characterized in that the number of piezo elements ( 2 ) n> 3. Hochspannungsgenerator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Stapelung der einzelnen Piezoelemente (2) nach dem Prinzip eines Marx-Generators erfolgt.High-voltage generator according to one of claims 1 to 5, characterized in that the stacking of the individual piezoelectric elements ( 2 ) takes place on the principle of a Marx generator.
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