DE102009049445A1 - Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation - Google Patents

Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation Download PDF

Info

Publication number
DE102009049445A1
DE102009049445A1 DE200910049445 DE102009049445A DE102009049445A1 DE 102009049445 A1 DE102009049445 A1 DE 102009049445A1 DE 200910049445 DE200910049445 DE 200910049445 DE 102009049445 A DE102009049445 A DE 102009049445A DE 102009049445 A1 DE102009049445 A1 DE 102009049445A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
microvalve
radiation
actuator
carrier material
group
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE200910049445
Other languages
German (de)
Inventor
Michael Borchardt
Rainer Feldbruegge
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to DE200910049445 priority Critical patent/DE102009049445A1/en
Publication of DE102009049445A1 publication Critical patent/DE102009049445A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0036Operating means specially adapted for microvalves operated by temperature variations
    • F16K99/0038Operating means specially adapted for microvalves operated by temperature variations using shape memory alloys
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0036Operating means specially adapted for microvalves operated by temperature variations
    • F16K99/004Operating means specially adapted for microvalves operated by temperature variations using radiation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Temperature-Responsive Valves (AREA)

Abstract

The valve has an actuator made of a radiation dependent polymorphous material and embedded in a carrier material, where the carrier material exhibits radiation permeability on one side and the actuator adopts a stable condition by radiation. The radiation dependent polymorphous material consists of a thermo-sensitive material e.g. bi-metal, shape memory alloy and shape memory polymer. The polymorphous material comprises a hydrogel e.g. smart hydrogel, stimulus responsive hydrogel or acrylamide hydrogel and derivatives.

Description

Die Erfindung betrifft ein strahlungsaktiviertes minimalmechanisches Mikroventil oder Mikroschalter für fluidische Mikrosysteme. Stromlos und potentialfrei erfolgt die Betätigung des Aktors durch ein strahlungspermeables Trägermaterial. Der Ventilzustand oder Schalterzustand ist über Reflexionsmessung stromlos und potentialfrei feststellbar. Als Strahlungsassimilator werden Bimetallschnappscheiben, Formgedächtnismaterialien oder Polymorphe verwendet.The invention relates to a radiation-activated minimal mechanical microvalve or microswitch for fluidic microsystems. Powerless and potential-free actuation of the actuator by a radiation-permeable carrier material. The valve state or switch state can be detected via reflectance measurement without current and potential-free. As a radiation assimilator Bimetallschnappscheiben, shape memory materials or polymorphs are used.

Stand der TechnikState of the art

Es ist bekannt, dass Mikroventile mit Hilfe von Schnappscheiben und deren elektrische Beheizung realisiert werden ( DE 102 50 758 A1 2004.05.13). Eine Zustandsmeldung wird ebenfalls elektrisch abgefragt. Die Realisation ist jedoch sehr aufwendig.It is known that microvalves are realized by means of snap disks and their electrical heating ( DE 102 50 758 A1 05.13.2004). A status message is also requested electrically. The realization is very complicated.

Es ist weiterhin bekannt, dass Mikroventile in Siliziumtechnologie hergestellt werden. Die Herstellung erfordert jedoch hohe technologische Investitionen und ist selbst in hohen Stückzahlen teurer.It is also known that microvalves are manufactured in silicon technology. However, manufacturing requires high technological investment and is more expensive even in high volumes.

Es ist weiterhin bekannt, dass Mikroventile realisiert wurden, deren Funktionsprinzip auf Materialien mit unterschiedlichen Wärmeausdehnungs-Koeffizienten, die miteinander stoffschlüssig oder formschlüssig verbunden sind, beruht ( DE 201 16 898 U1 ). Die mechanische Vorspannung des Aktors ist hier nicht notwendig. Jedoch ist eine kostengünstige Integration schwer und eine elektrische Ansteuerung notwendig.It is furthermore known that microvalves have been realized whose functional principle is based on materials having different coefficients of thermal expansion, which are connected to one another in a material-locking or positive-locking manner ( DE 201 16 898 U1 ). The mechanical bias of the actuator is not necessary here. However, cost-effective integration is difficult and electrical control necessary.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde ein verbessertes Mikroventil zur Verfügung zu stellen, dass zumindest einen der oben genannten Nachteile überwindet.The invention is therefore based on the object to provide an improved microvalve that overcomes at least one of the above-mentioned disadvantages.

Detaillierte Beschreibung der ErfindungDetailed description of the invention

In einem ersten Aspekt ist die Erfindung auf ein Mikroventil oder Mikroschalter gerichtet, der im Gegensatz zum Stand der Technik kostengünstig, mit dem Fluid elektrisch keinen Kontakt bildend, einfach in vielfältige Trägermaterialien integrierbar und kontaktfrei steuerbar einsetzbar ist. Dieses Ventil soll durch eine punktgenaue Erwärmung, keine signifikante Erwärmung der Umgebungsmaterialien erzeugen und damit die Schaltzeiten derartiger Ventile verbessern. Zudem soll das Ventil eine kontaktfreie Zustandsbestimmung ermöglichen damit Sicherheitsabfragen und Ansteuerungen (Haltestrahlung) zu ermöglichen. Erfindungsgemäß werden alle Aspekte der Aufgabenstellung durch die im Anspruch formulierten Merkmale erfüllt.In a first aspect, the invention is directed to a microvalve or microswitch which, in contrast to the prior art, is cost-effective, electrically noncontacting with the fluid, easily integrated into a variety of substrates, and controllably employable without contact. This valve is intended to produce no significant heating of the surrounding materials by a pinpoint heating, and thus improve the switching times of such valves. In addition, the valve should enable a non-contact state determination so that security queries and controls (holding radiation) to allow. According to the invention, all aspects of the task are fulfilled by the features formulated in the claim.

Die Vorteile hinsichtlich zum Stand der Technik bestehen darin, dass

  • – mit der Verwendung eines Schnappscheibenelementes oder eines Formgedächtnismaterials oder eines Polymorphs, ohne elektrischer Kontaktierung, die Realisierung eines Ventils im Vergleich zu ähnlichen Konzepten deutlich günstiger ist.
  • – der Aktor aus einem thermosensitiven Material besteht, welches sich, gemäß der Bezeichnung, mit einer induzierten Temperaturveränderung in eine geometrisch unterschiedliche Form wandelt
  • – keine elektrischen Ableitungen zur Steuerung des Aktors im Trägermaterial notwendig sind, welches den Preis des Ventils deutlich vermindert.
  • – keine elektrischen Ableitungen zur Zustandsbestimmung Aktors im Trägermaterial notwendig sind.
  • – die Auswahl an Trägermaterialien und die Varianten der Aufbau- und Verbindungstechniken zunehmen.
  • – kein Risikopotential durch eine elektrische Kontaktierung zu erwarten ist.
  • – die Wärmeenergie direkt aufgenommen werden kann und nicht durch z. B. Heizelemente oder Widerstände übertragen werden muss.
  • – die Erwärmung der Umgebungsmaterialien als auch des Fluids auf ein Minimum reduziert wird, da punktuell nur die Schnappscheibe erwärmt wird (bei optimaler Transparenz des Trägers oder bei direkter Schnappscheibenbestrahlung).
  • – mit Integration des Ventils in ein Disposable, die Ansteuerung des Ventils kontaktlos über LED, Laser oder Induktion erfolgt und keine Verbindung (z. B. Kontaktstifte) zur Hardware besteht
  • – Das Mikroventil kann, zur Verhinderung von physikalischen und chemischen Reaktionen, mit Chemikalien oder Gasen mit Gefahrenpotential in Kontakt kommen
The advantages with respect to the prior art are that
  • - With the use of a snap disk element or a shape memory material or a polymorph, without electrical contacting, the realization of a valve compared to similar concepts is much cheaper.
  • - The actuator consists of a thermosensitive material, which, according to the name, with an induced temperature change converts into a geometrically different shape
  • - No electrical leads for controlling the actuator in the carrier material are necessary, which significantly reduces the price of the valve.
  • - No electrical derivatives for determining the state Aktors in the carrier material are necessary.
  • - the choice of support materials and the variants of the assembly and joining techniques increase.
  • - No risk potential is to be expected by an electrical contact.
  • - The heat energy can be absorbed directly and not by z. B. heating elements or resistors must be transmitted.
  • - The heating of the surrounding materials as well as the fluid is reduced to a minimum, since selectively only the snap disc is heated (with optimal transparency of the wearer or with direct Schnappscheibenbestrahlung).
  • - With integration of the valve into a disposable, the control of the valve is contactless via LED, laser or induction and there is no connection (eg pins) to the hardware
  • - The microvalve may come into contact with hazardous chemicals or gases to prevent physical and chemical reactions

Eine Ausführungsform der Erfindung ist, dass das Mikroventil Bestandteil einer mit chemischer oder physikalischer Sensorik versehner Fluidik sein kann.One embodiment of the invention is that the microvalve can be part of a fluidics provided with chemical or physical sensors.

Das Trägermaterial und dessen Aufbau- und Verbindungstechnik muss nur hinsichtlich der Fixierung des Aktors und der Strahlungspermeabilität hin gewählt werden.The carrier material and its construction and connection technology must be selected only with regard to the fixation of the actuator and the radiation permeability out.

Eine Ausführungsform der Erfindung wird anhand einer Schnittskizze (1) dargestellt. In diesem Beispiel ist eine Bimetallschnappscheibe (1a) in einem aus strukturierten Folien (3) aufgebautem Fluidkörper eingebracht. Der Fluidkanal (2a) wird durch die Schnappscheibe (1a) und der Dichtung (4) permanent abgedichtet. Durch die Transmission von Strahlungsenergie des Emitters (7) durch die Folie auf die Schnappscheibe wird nur der Aktor erwärmt und schnappt mit Erreichen der Umschnapptemperatur in die Stellung (1b). Damit erfolgt die Öffnung des Kanals (2a) und das Fluid kann in Richtung (2b) transportiert werden. Gleichzeitig kann an der nun konvex gebogenen Scheibe, je nach Einbaugrad des Emitters (7) eine Zunahme der reflektierten Strahlung durch z. B. eine Photodiode (6) bestimmt werden.An embodiment of the invention will be described with reference to an outline ( 1 ). In this example, a bimetallic snap disk ( 1a ) in a structured film ( 3 ) introduced body of fluid. The fluid channel ( 2a ) is replaced by the snap-action disc ( 1a ) and the seal ( 4 ) permanently sealed. Through the transmission of radiant energy of the emitter ( 7 ) through the film on the snap-action disk, only the actuator is heated and snaps into position when the snap-in temperature is reached ( 1b ). This is the opening of the channel ( 2a ) and the fluid can move in the direction ( 2 B ) be transported. At the same time, at the moment convex curved disc, depending on the installation of the emitter ( 7 ) an increase of the reflected radiation by z. B. a photodiode ( 6 ).

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

Fig. 1

1
Schnappscheibe
1b
Schnappscheibe ausgelenkt
2a
Fluidkanal Einlass
2b
Fluidkanal Auslass
3
Trägermaterial Folienschichten z. B. laminiert
4
Dichtung
5
Reflektierte Strahlung ausgelenkt
6
Photodiode
7
Emitter
8
Ventilhohlraum
Fig. 1
1
snap disk
1b
Deflected snap disc
2a
Fluid channel inlet
2 B
Fluid channel outlet
3
Carrier material film layers z. B. laminated
4
poetry
5
Deflected reflected radiation
6
photodiode
7
emitter
8th
valve cavity

Fig. 1 Allgemeiner AufbauFig. 1 General structure

Beschreibung des allgemeinen AufbausDescription of the general structure

Ein emissionsinduziertes Mikroventil, wobei das Mikroventil umfasst:

  • – ein Trägermaterial,
  • – einen Einlasskanal,
  • – einen Auslasskanal,
  • – eine Schnappscheibe, die in einer Kammer angeordnet ist, wobei die Kammer in einen oberen Abschnitt und einen unteren Abschnitt unterteilt ist und wobei der obere Abschnitt einen Zugang zu dem Einlasskanal und einen Zugang zu dem Auslasskanal aufweist,
  • – eine Dichtung,
wobei die Schnappscheibe mit der Trägerfolie verbunden ist und durch Strahlungseinwirkung zwischen einer geschlossenen und einer geöffneten Position wechseln kann, wobei die Schnappscheibe in der geschlossenen Position an der Dichtung 4 anliegt und dabei jeweils einen Zugang zudem Einlasskanal und dem Auslasskanal verschließt und wobei die Schnappscheibe in der geöffneten Position den jeweiligen Zugang zu dem Einlasskanal und dem Auslasskanal freigibt und dadurch in der geöffneten Position eine fluide Kommunikation zwischen dem Einlasskanal und dem Auslasskanal ermöglicht.An emission-induced microvalve, wherein the microvalve comprises:
  • A carrier material,
  • An inlet channel,
  • An outlet channel,
  • A snap-action disc arranged in a chamber, the chamber being divided into an upper portion and a lower portion and the upper portion having access to the inlet channel and access to the outlet channel,
  • - a seal,
wherein the snap-action disc is connected to the carrier foil and can change between a closed and an open position by the action of radiation, the snap-action disc in the closed position on the seal 4 thereby abutting one access each of the inlet channel and the outlet channel and wherein the snap disc in the open position releases the respective access to the inlet channel and the outlet channel and thereby allows in the open position fluid communication between the inlet channel and the outlet channel.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG QUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.This list of the documents listed by the applicant has been generated automatically and is included solely for the better information of the reader. The list is not part of the German patent or utility model application. The DPMA assumes no liability for any errors or omissions.

Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • DE 10250758 A1 [0002] DE 10250758 A1 [0002]
  • DE 20116898 U1 [0004] DE 20116898 U1 [0004]

Claims (25)

Ein Mikroventil, wobei das Mikroventil einen Aktor und ein Trägermaterial umfasst, wobei der Aktor aus einem strahlungsabhängigen Polymorph besteht und in das Trägermaterial eingebettet ist; wobei das Trägermaterial mindestens einseitig Strahlungspermeabilität aufweist und wobei der Aktor durch Strahlung einen von zwei stabilen Zuständen annimmt. A microvalve, wherein the microvalve comprises an actuator and a carrier material, wherein the actuator consists of a radiation-dependent polymorph and is embedded in the carrier material; wherein the substrate has radiation permeability at least one side and wherein the actuator assumes one of two stable states by radiation. Das Mikroventil gemäß Anspruch 1, wobei die Strahlung von einer Strahlungsquelle ausgeht, die innerhalb oder außerhalb des Trägermaterials liegt.The microvalve of claim 1, wherein the radiation emanates from a radiation source located inside or outside the substrate. Das Mikroventil gemäß Anspruch 1 oder 2 wobei der Aktor beweglich oder verformbar in das Trägermaterial eingebettet ist.The microvalve according to claim 1 or 2, wherein the actuator is movable or deformable embedded in the carrier material. Das Mikroventil gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das strahlungsabhängige Polymorph aus einem thermosensitiven Material besteht.The microvalve according to one of the preceding claims, wherein the radiation-dependent polymorph consists of a thermosensitive material. Das Mikroventil nach Anspruch 4, wobei das thermosensitive Material aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus einem Bimetall, einer Formgedächtnislegierung, einem Formgedächtnispolymer und einem Polymorph besteht.The microvalve of claim 4, wherein the thermosensitive material is selected from the group consisting of a bimetal, a shape memory alloy, a shape memory polymer, and a polymorph. Das Mikroventil nach Anspruch 5, wobei das Bimetall aus der Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus Elementen der 4 bis 14 Hauptgruppe und 3 bis 6 Periode des Periodensystems und deren Legierungen.The microvalve of claim 5, wherein the bimetal is selected from the group consisting of elements of 4 to 14 main group and 3 to 6 period of the periodic table and their alloys. Das Mikroventil nach Anspruch 5, wobei die Formgedächtnislegierung aus der Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus NiTi (Nickel-Titan; Nitinol) CuZn (Kupfer-Zink) CuZnAl (Kupfer-Zink-Aluminium) CuAINi (Kupfer-Aluminium-Nickel) FeNiAl (Eisen-Nickel-Aluminium).The microvalve of claim 5, wherein the shape memory alloy is selected from the group consisting of NiTi (nickel titanium, nitinol) CuZn (copper-zinc) CuZnAl (copper-zinc-aluminum) CuAINi (copper-aluminum-nickel) FeNiAl ( iron-nickel-aluminum). Das Mikroventil nach Anspruch 5, wobei das Formgedächtnispolymer aus der Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus Einweg-Memory-Polymeren, und aus optisch vernetzbaren und optisch lösbaren PolymerenThe microvalve of claim 5, wherein the shape memory polymer is selected from the group consisting of disposable memory polymers, and optically crosslinkable and optically soluble polymers Das Mikroventil nach Anspruch 5, wobei der Polymorph aus der Gruppe ausgewählt wird, die besteht aus Hydrogel, Smart Hydrogel, stimuli-responsive hydrogel oder Acylamidhydrogel und Derivate dessen.The microvalve of claim 5, wherein the polymorph is selected from the group consisting of hydrogel, smart hydrogel, stimuli-responsive hydrogel or acylamide hydrogel, and derivatives thereof. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Strahlungsquelle aus der Gruppe ausgewählt wird, die aus einer LED, Laserstrahlung und Induktionsstrahlung besteht.The microvalve of any one of the preceding claims, wherein the radiation source is selected from the group consisting of LED, laser radiation and induction radiation. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Mikroventil keinerlei elektrische Kontaktierungen aufweist.The microvalve according to one of the preceding claims, wherein the microvalve has no electrical contacts. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Aktor durch das spezifische energieabsorptive Material, bei gleichzeitiger Strahlungstransparenz des Trägermaterials, gekennzeichnet ist.The microvalve according to one of the preceding claims, wherein the actuator is characterized by the specific energy-absorbing material, with simultaneous radiation transparency of the support material. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Aktor durch die direkte spezifische Energieaufnahme, die Energieabsorption der umgebenden Materialien verringert.The microvalve of any one of the preceding claims, wherein the actuator reduces the energy absorption of the surrounding materials by the direct specific energy intake. Verwendung des Mikroventils nach einem der vorhergehenden Ansprüche in strom- oder potentialkritischen Anwendungsbereichen.Use of the microvalve according to one of the preceding claims in current- or potential-critical application areas. Die Verwendung nach Anspruch 14 wobei die strom- oder potentialkritischen Anwendungsbereiche medizinische Anwendungsbereiche und/oder explosive Anwendungsbereiche umfasst.The use of claim 14, wherein the current or potential critical applications include medical uses and / or explosive applications. Das Mikroventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei die Reflektionseigenschaft des Aktors so gewählt ist, dass die Reflektion der Strahlung vom Aktor seinen Zustand über eine Strahlungsmessung bestimmt.The microvalve according to one of claims 1 to 14, wherein the reflection property of the actuator is selected so that the reflection of the radiation from the actuator determines its state via a radiation measurement. Die unter 16 bezeichnete Zustandsbestimmung ebenfalls ohne elektrische Kontaktierung am Aktor und Aktorumgebung ermöglichtThe state determination designated under 16 also makes possible without electrical contacting at the actuator and actuator environment Die unter 16 bezeichnete Zustandsmeldung auch durch eine kontaktfreie Strahlungsmessung durchgeführt werden kannThe status message designated under 16 can also be carried out by a non-contact radiation measurement Verwendung des Mikroventils gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14, wobei das Mikroventil als Schalter verwendet wird.Use of the microvalve according to one of claims 1 to 14, wherein the microvalve is used as a switch. Das Mikroventil gemäß einem der Ansprüche 1 bis 14, 17 oder 19, wobei die Strahlungsquelle zusammen mit dem Aktor in einer Geräteeinheit oder in einem Trägermaterial eingesetzt werden kann, wobei die Distanz der Bauelemente nur durch die notwendige Energieübertragung begrenzt wirdThe microvalve according to one of claims 1 to 14, 17 or 19, wherein the radiation source can be used together with the actuator in a device unit or in a carrier material, wherein the distance of the components is limited only by the necessary energy transfer Verwendung des Mikroventils nach einem der Ansprüche 1 bis 14, 17 oder 20, als ein- oder mehrfach Bestandteil in einer ein- oder mehrschichtigen Fluidikkarte oder in einer Spritzgussfluidik.Use of the microvalve according to one of claims 1 to 14, 17 or 20, as a single or multiple constituent in a single-layer or multilayer fluidic card or in an injection-molding fluid. Verwendung des Mikroventils nach einem der Ansprüche 1 bis 14, 17 oder 20, wobei das Mikroventil mehrfach verwendbar ist oder zur Einmalverwendung (Disposable) verwendet wird.Use of the microvalve according to one of claims 1 to 14, 17 or 20, wherein the microvalve is reusable or is used for disposable use. Die Verwendung gemäß Anspruch 21, wobei das Mikroventil in einer mehrfachverwendbaren Fluidik oder als Disposable verwendet wird. The use of claim 21, wherein the microvalve is used in reusable fluidics or as a disposable. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Mikroventil Bestandteil einer chemischen und/oder physikalischen Sensorik ist.The microvalve according to one of the preceding claims, wherein the microvalve is part of a chemical and / or physical sensor system. Das Mikroventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Mikroventil mit menschlichen Körperflüssigkeiten in Kontakt gebracht werden kann.The microvalve of any of the preceding claims, wherein the microvalve may be contacted with human body fluids.
DE200910049445 2009-10-14 2009-10-14 Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation Withdrawn DE102009049445A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200910049445 DE102009049445A1 (en) 2009-10-14 2009-10-14 Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200910049445 DE102009049445A1 (en) 2009-10-14 2009-10-14 Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102009049445A1 true DE102009049445A1 (en) 2011-05-26

Family

ID=43901899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200910049445 Withdrawn DE102009049445A1 (en) 2009-10-14 2009-10-14 Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE102009049445A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140205863A1 (en) * 2013-01-23 2014-07-24 Robert Bosch Gmbh Rechargeable battery
JPWO2013153912A1 (en) * 2012-04-12 2015-12-17 国立大学法人 東京大学 Valve, microfluidic device, microstructure, valve seat, valve seat manufacturing method, and microfluidic device manufacturing method
CN104262652B (en) * 2014-09-24 2017-02-08 北京航空航天大学 Hydrogel intelligent switch with microdrop conducting function and preparation method thereof

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6239685B1 (en) * 1999-10-14 2001-05-29 International Business Machines Corporation Bistable micromechanical switches
DE20116898U1 (en) 2001-10-15 2002-01-17 FESTO AG & Co., 73734 Esslingen microvalve
DE10250758A1 (en) 2002-10-31 2004-05-13 Martin Weicker Thermomechanical micro-valve with state signaling has dual stable state bi-metallic or shape memory alloy snap element in hollow volume between circuit boards joined e.g. by multilayering or adhesive
DE69731369T2 (en) * 1997-05-17 2005-11-10 Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon Flow control valve
US20060109309A1 (en) * 2004-11-22 2006-05-25 Eastman Kodak Company Doubly-anchored thermal actuator having varying flexural rigidity
US20080315099A1 (en) * 2007-06-21 2008-12-25 Lucent Technologies Inc. Detector of infrared radiation having a bi-material transducer

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE69731369T2 (en) * 1997-05-17 2005-11-10 Samsung Electronics Co., Ltd., Suwon Flow control valve
US6239685B1 (en) * 1999-10-14 2001-05-29 International Business Machines Corporation Bistable micromechanical switches
DE20116898U1 (en) 2001-10-15 2002-01-17 FESTO AG & Co., 73734 Esslingen microvalve
DE10250758A1 (en) 2002-10-31 2004-05-13 Martin Weicker Thermomechanical micro-valve with state signaling has dual stable state bi-metallic or shape memory alloy snap element in hollow volume between circuit boards joined e.g. by multilayering or adhesive
US20060109309A1 (en) * 2004-11-22 2006-05-25 Eastman Kodak Company Doubly-anchored thermal actuator having varying flexural rigidity
US20080315099A1 (en) * 2007-06-21 2008-12-25 Lucent Technologies Inc. Detector of infrared radiation having a bi-material transducer

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JERMAN,H.: Electrically-activated, micromachined diaphragm valves. In: IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop,1990,4th Technical Digest, S.65-69 *
KWANG,W.OH,et.al.: A review of microvalves. In: J.Micromech.Microeng.16,2006, S.R13-R39 $vgl.Fig.7,8 m.zugeh.Beschr.$ *
KWANG,W.OH,et.al.: A review of microvalves. In: J.Micromech.Microeng.16,2006, S.R13-R39 vgl.Fig.7,8 m.zugeh.Beschr.

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2013153912A1 (en) * 2012-04-12 2015-12-17 国立大学法人 東京大学 Valve, microfluidic device, microstructure, valve seat, valve seat manufacturing method, and microfluidic device manufacturing method
EP2837866A4 (en) * 2012-04-12 2016-01-27 Univ Tokyo VALVE, MICROFLUIDIC DEVICE, MICROSTRUCTURE, VALVE SEAT, METHOD FOR MANUFACTURING VALVE SEAT, AND METHOD FOR MANUFACTURING MICROFLUIDIC DEVICE
US20140205863A1 (en) * 2013-01-23 2014-07-24 Robert Bosch Gmbh Rechargeable battery
US9941549B2 (en) * 2013-01-23 2018-04-10 Samsung Sdi Co., Ltd. Rechargeable battery
CN104262652B (en) * 2014-09-24 2017-02-08 北京航空航天大学 Hydrogel intelligent switch with microdrop conducting function and preparation method thereof

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102013100865B4 (en) Valve connector
DE202007003027U1 (en) Device for handling fluids with a channelled substrate has measuring substrate with integrated heater and temperature sensor both in thermal contact with channel and connected electrically to superposed system
DE602004002407T2 (en) MICROFLUID VALVE WITH ELECTRIC OPENING CONTROL
DE102010032799B4 (en) Micro valve with elastically deformable valve lip, manufacturing process and micropump
DE102009049445A1 (en) Micro valve for use as switch in e.g. medical application areas, has actuator embedded in carrier material, where carrier material exhibits radiation permeability on one side and actuator adopts stable condition by radiation
DE102016007669B4 (en) Endoscope protective cover with integrated heating element and method for heating an endoscope protective cover
JP6304688B2 (en) Valve, microfluidic device, microstructure, valve seat, valve seat manufacturing method, and microfluidic device manufacturing method
EP2340386B1 (en) Ceramic multilayer microvalve and use thereof
Flores et al. Low consumption single-use microvalve for microfluidic PCB-based platforms
Ha et al. Disposable thermo-pneumatic micropump for bio lab-on-a-chip application
US7250839B2 (en) Magnetostrictive thin film actuator
Ikuta et al. Safety active catheter with multi-segments driven by innovative hydro-pressure micro actuators
WO2006042825A1 (en) Method for controlling valves during the thermocyclisation of a substance for the purpose of polymer chain reaction (pcr) and associated arrangement
DE102008027026A1 (en) Method for connecting two components
DE102011086856A1 (en) Microfluidic diaphragm valve device and corresponding manufacturing method
EP1798624A3 (en) Device for controlling a heat flow
DE102014117976B4 (en) Fluidic device and method of operating the same
DE102011010409B4 (en) Artificial skin element
WO2016136551A1 (en) Valve, fluid device, and method for producing fluid device
DE102015206579A1 (en) Lighting device for illuminating a cooking chamber of a cooking appliance and cooking appliance with a lighting device
AT513157B1 (en) gas valve
US20220074394A1 (en) Shape memory alloy actuator subassembly and fluidic valve incorporating it
DE102008054220A1 (en) Micro valve for adjusting microburners, microgenerators, microreformers, microreactors, microfuel cells, and cooling or heating systems, and for use in micro-process engineering, micro-power engineering and microanalytics, has valve chamber
EP3348886A1 (en) Microfluidics valve
Fan et al. Microfluidic valve arrays in thermoplastic devices

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20120501