DE102009009889B4

DE102009009889B4 - Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode in Bezug auf eine Bohrung eines Werkstücks

Info

Publication number: DE102009009889B4
Application number: DE102009009889.5A
Authority: DE
Inventors: Dr. Bauer Martin
Original assignee: MinebeaMitsumi Inc
Current assignee: MinebeaMitsumi Inc
Priority date: 2009-02-20
Filing date: 2009-02-20
Publication date: 2021-09-02
Anticipated expiration: 2029-02-21
Also published as: DE102009009889A1

Abstract

Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode (14) in Bezug auf eine Bohrung (12) eines Werkstücks (10), wobei die ECM Elektrode (14) zuvor in einer definierten Winkelposition in der Bohrung eingebracht und Rillenstrukturen bestehend aus mehreren voneinander beabstandeten Rillen (26) auf den Umfang der Bohrung (12) aufgebracht wurden, wobei das Verfahren die Schritte umfasst:Abtasten der Oberfläche der Bohrung (12) und Ermitteln eines Tiefenprofils (22) der Oberfläche der Bohrung (12) entlang von mindestens einer Umfangslinie (13a, 13b),Approximieren des ermittelten Tiefenprofils (22) durch eine Kurve (24) mittels eines geeigneten mathematischen Algorithmus,Bestimmen der lateralen Fehlausrichtung der ECM-Elektrode (14) aus den Parametern der approximierten Kurve (24) des Tiefenprofils anhand der Form, der Tiefe und des gegenseitigen Abstands der einzelnen, die Rillen (26) beschreibenden Abschnitten der Kurve (24) und der Winkelposition der ECM-Elektrode (14).

Description

Gebiet der Erfindung
Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode in Bezug auf eine Bohrung eines Werkstücks.
Stand der Technik
Elektroden zur elektrochemischen Bearbeitung von metallischen Werkstücken (im folgenden auch kurz ECM-Elektroden genannt) werden in der Fertigungstechnik einerseits zur Einarbeitung von Bohrungen und Konturen bei Bauteilen und anderseits zum Entgraten von schwer zugänglichen Bohrgraten eingesetzt. Der Materialabtrag am Werkstück erfolgt durch anodische Auflösung des elektrisch leitenden Werkstückes. Zur Bearbeitung wird ein Stromkreis zwischen Anode (Werkstück) und Kathode (Elektrode) über eine Elektrolytlösung, beispielsweise einer Kochsalzlösung, geschlossen.
Die Geometrie von ECM-Elektroden ist an die Geometrie der zu bearbeitenden Werkstücke sowie an die zu lösende Bearbeitungsaufgabe und die angestrebte Endkontur des Werkzeugs angepasst. ECM-Elektroden sind beispielsweise stabförmig zylindrisch und werden zur Bearbeitung von zylindrischen Lagerbohrungen von Fluidlagern eingesetzt.
Fluidlager werden beispielsweise in Spindelmotoren zum Antrieb von Festplattenspeichern eingesetzt. Zum Aufbau eines hydrodynamischen Druckes im Lagerspalt sind die Lageroberflächen mit einer rillen- bzw. grabenförmigen Struktur versehen. In Folge einer rotatorischen Relativbewegung der beiden Lagerbauteile erzeugen diese Rillenstrukturen eine Pumpwirkung auf das Lagerfluid und somit einen Druck im Lagerspalt. Das ECM-Verfahren wird für die Einarbeitung der Rillenstrukturen in die Lageroberfläche der Lagerbohrung eingesetzt. Typischerweise umfasst ein hydrodynamisches Fluidlager Radiallagerbereiche, die in der Regel aus zwei einzelnen beabstandeten Radiallagern bestehen. Jedes Radiallager ist durch oben beschriebene Rillenstrukturen gekennzeichnet, die in der Regel in einem ECM-Prozess auf die Lagerfläche, meist die Lagerbuchse, aufgebracht werden. Dabei wird angestrebt, dass die Tiefe und Form der Rillenstrukturen über die gesamte Länge des Lagers einheitlich ist, damit das Lager optimal arbeitet.
In der Praxis jedoch können die durch ECM hergestellten Rillenstrukturen, insbesondere deren Breite und Tiefe, voneinander abweichen. Der Grund dafür ist in der Regel, dass die Elektrode entweder nicht exakt in der Lagerbohrung ausgerichtet oder verschlissen oder beschädigt war. Das führt zu einer unregelmäßigen Verteilung der Stromdichte nahe den zu bearbeitenden Flächen und in Folge davon zu ungleichmäßigen Rillenstrukturen.
Die US 6 782 338 B2 offenbart eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Charakterisierung der Oberflächentopologie eines hydrodynamischen Lagers. Dabei wird die Lageroberfläche mittels einer Messanordnung abgetastet, wobei ein Tiefenprofil der Lageroberfläche entlang von mindestens einer Umfangslinie erfasst wird. Mittels einer Datenverarbeitungsanlage wird das erfasste Tiefenprofil digital gefiltert, wobei eine Approximation des ermittelten Tiefenprofils durch eine Kurve mittels eines geeigneten mathematischen Algorithmus erfolgt. Ein Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode in Bezug auf eine Bohrung eines Werkstückes ist nicht beschrieben oder nahegelegt.
Offenbarung der Erfindung
Die Aufgabe der Erfindung ist es Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode in Bezug zu einer Bohrung eines Werkstücks anzugeben, das automatisiert durchführbar ist und reproduzierbare Ergebnisse mit der benötigten Genauigkeit liefert.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.
Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung und weitere vorteilhafte Merkmale sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.
Mit dem Verfahren kann die laterale Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode in Bezug auf eine Bohrung eines Werkstückes bestimmt werden. Das Verfahren wird angewendet, nachdem das Werkstück mittels der ECM-Elektrode bearbeitet wurde. Bei der Bearbeitung wird die Elektrode in einer definierten Winkelposition in der Bohrung des Werkstückes ausgerichtet und es werden rillenförmige ECM-Strukturen bestehend aus mehreren voneinander beabstandeten Rillen auf den Umfang der Bohrung aufgebracht. Durch Vermessung dieser Rillenstrukturen und weiterer erfindungsgemäßer Verfahrensschritte kann dann die Fehlausrichtung der ECM-Elektrode in Bezug auf die Bohrung bestimmt werden. Hierzu wird die Oberfläche der Bohrung abgetastet und ein Tiefenprofil der Oberfläche der Bohrung entlang von mindestens einer Umfangslinie ermittelt. Die Rillenstrukturen sind in der Regel nur wenige Mikrometer tief. Um das erfasste Tiefenprofil zu „glätten“, so dass beispielsweise Tiefenvariationen aufgrund der Oberflächenrauhigkeit des Materials ausgeblendet werden können, wird in einem nächsten Schritt das ermittelte Tiefenprofil durch eine Kurve approximiert. Diese Kurve wird anhand einer mathematischen Gleichung generiert, welche sich beispielsweise aus der Stromdichteverteilung nahe der Oberfläche des Werkstücks ergibt und welche das zu erwartende theoretische Tiefenprofil der Oberfläche des Werkstückes entlang der betrachteten Umfangslinie beschreibt.
Diese generierte Kurve wird durch Parameter beschrieben, die nun derart angepasst werden, dass die Kurve mit dem gemessenen Tiefenprofil möglichst gut übereinstimmt. Die Anpassung der Kurve an das gemessene Tiefenprofil kann beispielsweise mittels der Methode der kleinsten Fehlerquadrate erfolgen. Nachdem die Kurve an das tatsächliche Tiefenprofil angepasst wurde, lassen sich die Parameter der die Kurve beschreibenden mathematischen Gleichung ablesen. Die Parameter ermöglichen eine Aussage über die Breite und Tiefe der Rillenstrukturen sowie den Abstand der Elektrodenoberfläche zur Oberfläche des Werkstückes an jedem Punkt der gemessenen Umfangslinie. Aus diesen Werten kann dann die Fehlausrichtung bestimmt werden.
Vorzugsweise werden mehrere Tiefenprofile auf der Oberfläche der Bohrung erfasst und zwar jeweils in einem gegenseitigen axialen Abstand, so dass mittels des Verfahrens insbesondere auch die Fehlausrichtung der ECM-Elektrode in Bezug auf die Längsachse der Bohrung des Werkstückes bestimmt werden kann.
Die Abtastung der Oberfläche des Werkstückes erfolgt vorzugsweise mittels eines ausreichend genauen mechanischen oder optischen Abtastverfahrens.
Das erfasste Tiefenprofil sowie die approximierte Kurve können zur Veranschaulichung und Auswertung der Daten in einem XY-Koordinatensystem oder in einem Polarkoordinatensystem dargestellt werden.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Verfahrens kann in vorteilhafter Weise die Fehlausrichtung einer ECM Elektrode in einer Bohrung eines Werkstückes bestimmt werden, sowohl die laterale als auch die axiale Fehlausrichtung. Das Verfahren arbeitet automatisch und liefert genaue und reproduzierbare Ergebnisse.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Zeichnungsfiguren und der nachfolgenden Beschreibung.
Figurenliste

1 zeigt schematisch einen Querschnitt durch ein Werkstück mit zylindrischer Bohrung sowie eine darin angeordnete zylindrische ECM-Elektrode.
1A zeigt einen Längsschnitt durch die Anordnung gemäß 1.
2 zeigt eine grafische Darstellung eines aufgenommenen Tiefenprofils in einem Polarkoordinatensystem.
3 zeigt eine grafische Darstellung eines Tiefenprofils in einem kartesischen Koord i natensystem.
4 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines Ausschnitts des Tiefenprofils aus 3.
5 zeigt schematisch die Ausbildung der ECM-Rillenstrukturen bei konzentrisch ausgerichteter ECM-Elektrode.
6 zeigt schematisch die Ausbildung der Rillenstrukturen bei falsch ausgerichteter ECM-Elektrode.

Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung
Die 1 und 1a zeigen im Querschnitt bzw. im Längsschnitt ein Werkstück 10, das eine zylindrische Bohrung 12 aufweist. Bei dem Werkstück kann es sich beispielsweise um eine Lagerbuchse eines fluiddynamischen Radiallagers handeln, wobei die Bohrung 12 die entsprechende Lagerbohrung darstellt. Bei fluiddynamischen Lagern ist in der Regel eine Lagerfläche, beispielsweise die Oberfläche der Lagerbohrung, mit Rillenstrukturen versehen. Diese Rillenstrukturen sind sehr klein und haben eine Tiefe von nur wenigen Mikrometern. Zum Aufbringen der Rillenstrukturen auf die Oberfläche der Bohrung 12 ist es bekannt, ein ECM-Verfahren zu verwenden. Hierzu wird eine entsprechende ECM-Elektrode 14, die einen an die Bohrung 12 angepassten zylindrischen Außendurchmesser aufweist, in die Bohrung eingebracht und darin konzentrisch ausgerichtet. Zwischen der Außenoberfläche der ECM-Elektrode 14 und der Wandung der Bohrung 12 verbleibt ein ringförmiger Spalt 20, der mit einem Elektrolyt, beispielsweise einer Kochsalz- oder Natriumnitratlösung, gefüllt wird. Durch Anlegen einer elektrischen Spannung zwischen die Elektrode 14 und dem Werkstück 10 bildet sich ein elektrisches Feld und zwar zwischen leitenden Abschnitten 16 auf der Oberfläche der ECM Elektrode 14 und der Oberfläche des (leitenden) Werkstückes. Die übrigen Bereiche der ECM-Elektrode 14 sind mit einer isolierenden Schicht 18 bedeckt. Dort wo der elektrische Strom fließt, erfolgt ein Materialabtrag am Werkstück durch anodische Auflösung des Materials. Es bilden sich daher am Werkstück Strukturen, die im optimalen Fall den leitenden Strukturen 16 auf der ECM-Elektrode entsprechen.
In der Praxis wird nie eine exakte, konzentrische Ausrichtung der ECM-Elektrode 14 in der Bohrung 12 erreicht. Oftmals ist auch die Elektrode verschlissen oder beschädigt. Dadurch wird das von der ECM-Elektrode 14 erzeugte Rillenmuster auf der Wandung der Bohrung 12 nicht vollkommen symmetrisch ausgebildet, sondern die Rillen des Rillenmusters können Unterschiede beispielsweise in ihrer Breite und in ihrem Tiefenprofil aufweisen.
Um die Fehlausrichtung festzustellen, wird nun die ECM bearbeitete Oberfläche der Bohrung 12 an mindestens einer Umfangslinie 13a, 13bmittels einer geeigneten Vorrichtung abgetastet. Dies kann ein geeigneter mechanischer Taster oder eine geeignete optische oder kapazitive Messvorrichtung sein. Es wird nun durch die Tastvorrichtung über den Umfang der Bohrung 12 ein Tiefenprofil ermittelt, das die Oberflächenbeschaffenheit und insbesondere die Geometrie des Rillenmusters entlang der Umfangslinie beschreibt. Die Abtastung erfolgt vorzugsweise im Apexbereich der Rillenstrukturen. Um dreidimensionale Informationen zur Lage der ECM-Elektrode 14 relativ zur Bohrung 12 zu erhalten, sind mindestens zwei Messungen in unterschiedlichen axialen Position 13a und 13b nötig. Je mehr axiale Positionen vermessen werden, desto besser ist die Genauigkeit, mit der die Lage der ECM-Elektrode bestimmt werden kann.
2 zeigt ein Tiefenprofil 22 einer solchen Messung, das zur Verdeutlichung über einen Kreis gelegt wurde, welcher die Umfangslinie, z.B. 13a, darstellen soll. Die Umfangslinie 13a und das Tiefenprofil 22 sind nicht maßstäblich zueinander dargestellt, sondern das Tiefenprofil bzw. die Messwerte sind in Bezug auf den „Durchmesser“ der Umfangslinie 13a stark vergrößert dargestellt. Neben einem „Grundrauschen“, das die Oberflächenrauhigkeit des abgetasteten Werkstücks wiedergibt, erkennt man einige tiefere Ausschläge, welche den Rillenstrukturen auf der Oberfläche des Werkstücks zuzuordnen sind.
3 zeigt das Tiefenprofil 22 in einem kartesischen Koordinatensystem. Durch Mittelwertbildung der Messwerte oder andere geeignete Verfahren wurde das Grundrauschen unterdrückt und die Spitzenwerte der Rillenstrukturen herausgestellt. Auf der Ordinate ist die jeweilige radiale Position also die Tiefe in Bezug auf die Oberfläche des Werkstückes dargestellt, während die Abszisse den Umfangswinkel in Grad von 0° bis 360° beschreibt.
Erfindungsgemäß wird das Tiefenprofil 22 durch eine mathematische Funktion (24) approximiert.
4 zeigt schematisch ein Diagramm der Tiefenkontur 22a einer Rille 22a. Wenn man die Tiefenkontur 22a einer Rille vermisst, ergeben sich entsprechende Messwerte, die beispielsweise durch die unten angegebenen normierte Funktion h(x) beschrieben werden können. Die Tiefenkontur 22a der Rille kann also durch die Kurve 24a der Funktion h(x) approximiert werden, wobei der Querschnitt der Rille als Funktion T*h(x) angenommen werden kann, wobei T die maximale Rillentiefe bezeichnet. Wird die Lage der Mitte der Rille bei x₀=0 definiert, so ergibt sich die normierte Funktion h(x) aus der angenommen Stromdichteverteilung beim ECM-Verfahren zu: $h (x) = \frac{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + w^{2}}}{2 w} [\frac{2 x + w}{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + {(2 x + w)}^{2}}} - \frac{2 x - w}{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + {(2 x - w)}^{2}}}]$
Das Diagramm in 4 zeigt die Tiefenkontur der Rille 22a und deren Approximation 24a in Bezug auf den Umfangswinkel. Die Breite der Tiefenkontur 22a entspricht der Breite der leitenden Strukturbereiche 16 auf der ECM-Elektrode 14, durch welche die Rillenstrukturen in die Oberfläche der Bohrung 12 eingearbeitet werden. Der Querschnitt der durch das ECM-Herstellungsverfahren hergestellten Rille 22a weist abgerundete Kanten auf, die typisch für das ECM-Verfahren sind. Das gesamte Tiefenprofil 22 von 0° bis 360° lässt sich durch mehrfache Überlagerung der Gleichung [1] approximieren und als Kurve 24 darstellen. Die Gleichung 1 besitzt als Eingangsparameter die bekannte Breite w der leitenden Strukturen auf der ECM-Elektrode, und beschreibt die Form des Tiefenprofils einer Rille, abhängig vom Abstand d(x) der ECM-Elektrode zur Oberfläche der Bohrung. Durch ein mathematisches Annäherungsverfahren, beispielsweise durch Anwendung der Methode der kleinsten Fehlerquadrate, kann die Form der approximierten Kurve 24 an die tatsächliche Messkurve 22 angepasst werden. Durch bestmögliche Anpassung der Messdaten erhält man dann die Funktion d(x), die den radialen Abstand der ECM-Elektrode vom Werkstück in Abhängigkeit der Umfangsposition x beschreibt. Dieses Auswerteverfahren wird auf jede einzelne Lagerrille entlang der Messlinie 13a, 13b angewandt. Durch Vergleich der ermittelten radialen Elektrodenabstände d(x) lassen sich Rückschlüsse auf Fehlstellungen der ECM-Elektrode ziehen. So sollte bei einer ideal zentrierten Elektrode der radiale Elektrodenabstand d(x) für alle Rillen konstant sein.
Die 5 und 6 zeigen schematisch die praktischen Auswirkungen einer gut ausgerichteten ECM Elektrode (5) und einer weniger gut ausgerichteten ECM Elektrode (6).
5 entspricht der Darstellung in 1, also einer ECM-Elektrode 14, die ideal konzentrisch in einer Bohrung 12 eines Werkstückes 10 angeordnet und ausgerichtet ist. Wird nun ein ECM-Prozess durchgeführt, so werden auf der Oberfläche der Bohrung 12 Rillenstrukturen 26 gebildet. Die Rillenstrukturen 26 sind schematisch und übertrieben dargestellt. Diese Rillenstrukturen 26 sind alle in ihrer Breite und Tiefe im Wesentlichen identisch ausgebildet, da die ECM-Elektrode 14 über den gesamten Umfang denselben Abstand von der Oberfläche der Bohrung 12 hat und damit die Abtragung des Materials des Werkstückes über den Umfang der Bohrung 12 gleichmäßig erfolgt. Wird das erfindungsgemäße Verfahren zur Ermittlung der Fehlausrichtung beim Beispiel aus 5 angewendet, so erhält man als Ergebnis für jede einzelne Rille 26 die selben Parameter für die Form der Rillen 26 sowie einen konstanten Abstand zwischen der Oberfläche der Elektrode 14 und Wandung der Bohrung 12 d(x), welcher der Breite des Spaltes 20 entspricht.
6 zeigt nun den Fall einer Fehlausrichtung der Elektrode 14 in Bezug auf die Bohrung 12. Die Elektrode 14 ist um einen Versatz 28 in Richtung des Umfangswinkels von 270° verschoben. Führt man nun das ECM-Verfahren durch und vermisst hernach die Oberfläche der Bohrung 12, so erkennt man, dass die Rillen 26 eine ungleichmäßige Breite und ungleichmäßige Tiefe haben. Dort, wo die Elektrode 14 einen größeren radialen Abstand d(x) zur Wandung der Bohrung 12 hatte, beispielsweise beim Umfangswinkel x=90°, sind die Rillen 26 relativ breit aber nicht sehr tief. Dort wo der radiale Abstand d(x) der Elektrode 14 von der Oberfläche der Bohrung 12 klein war, beispielsweise beim Umfangswinkel von x=270°, sind die Rillen 26" relativ schmal aber sehr tief. Außerdem ändert sich durch die Exzentrizität der ECM-Elektrode der Winkelabstand Δx (3) zwischen den jeweiligen benachbarten Rillenstrukturen 26, 26' und 26". Je geringer der Abstand zwischen Elektrode 14 und Oberfläche der Bohrung 12 ist, desto näher rücken die Rillen zusammen. So lassen sich auch aus den Winkelabständen Δx der Rillenstrukturen zueinander Informationen über Fehlstellungen der ECM-Elektrode gewinnen.
Die schematischen Darstellungen in 5 und 6 sind natürlich übertrieben dargestellt, da der Spalt 20 im Verhältnis zum Durchmesser der Elektrode und der Bohrung sehr viel kleiner ist und die Rillen nur wenige Mikrometer tief sind.
Das Beispiel gemäß 6 zeigt aber, dass die Fehlausrichtung der Elektrode 14 in der Bohrung 12 anhand dieser übertriebenen Darstellung bereits geometrisch festgestellt werden kann, indem man die jeweiligen Mittellängsachsen der Rillen 26 bildet, wobei der Mittelpunkt der Elektrode 14 dann im Schnittpunkt der Mittellängsachsen liegt. Der Versatz 28 zwischen dem Mittelpunkt der Bohrung 12 und dem Mittelpunkt der Elektrode 14 lässt sich dann abmessen.
Bezugszeichenliste

10: Werkstück
12: Bohrung
13a, 13b, 13c: Umfangslinie
14: ECM-Elektrode
16: leitende Bereiche
18: isolierende Bereiche
20: Spalt
22: Messkurve (Tiefenprofil)
22a: Ausschnitt aus Messkurve
24: approximierte Kurve
24a: Ausschnitt aus approximierter Kurve
26: Rille
26': Rille
26": Rille
28: Versatz
x: Position entlang des Umfanges des Lagers
w: Breite der leitenden Strukturen auf der ECM-Elektrode
d(x): Abstand zwischen ECM-Elektrode und der Bohrungsoberfläche
h(x): normierte Funktion für das Tiefenprofil der einzelnen Lagerrillen
Δx: Winkelabstand zwischen zwei benachbarten Lagerrillen
T: maximale Rillentiefe

Claims

Verfahren zur Bestimmung der lateralen Fehlausrichtung einer ECM-Elektrode (14) in Bezug auf eine Bohrung (12) eines Werkstücks (10), wobei die ECM Elektrode (14) zuvor in einer definierten Winkelposition in der Bohrung eingebracht und Rillenstrukturen bestehend aus mehreren voneinander beabstandeten Rillen (26) auf den Umfang der Bohrung (12) aufgebracht wurden, wobei das Verfahren die Schritte umfasst: Abtasten der Oberfläche der Bohrung (12) und Ermitteln eines Tiefenprofils (22) der Oberfläche der Bohrung (12) entlang von mindestens einer Umfangslinie (13a, 13b), Approximieren des ermittelten Tiefenprofils (22) durch eine Kurve (24) mittels eines geeigneten mathematischen Algorithmus, Bestimmen der lateralen Fehlausrichtung der ECM-Elektrode (14) aus den Parametern der approximierten Kurve (24) des Tiefenprofils anhand der Form, der Tiefe und des gegenseitigen Abstands der einzelnen, die Rillen (26) beschreibenden Abschnitten der Kurve (24) und der Winkelposition der ECM-Elektrode (14).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die einzelnen, die Rillen (26) beschreibenden Abschnitte der Kurve (24) durch eine mathematische Gleichung der Form $h (x) = \frac{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + w^{2}}}{2 w} [\frac{2 x + w}{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + {(2 x + w)}^{2}}} - \frac{2 x - w}{\sqrt{4 d {(x)}^{2} + {(2 x - w)}^{2}}}]$
dargestellt werden, wobei x die Position entlang des Umfanges des Lagers, h(x) die Rillentiefe an der jeweiligen Position x, w die Breite des leitenden Bereichs (16) auf der ECM-Elektrode (14) und d(x) den positionsabhängigen Abstand zwischen der Oberfläche der ECM-Elektrode (14) und der Bohrung (12) beschreibt.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Kurve (24) mit der mathematischen Methode der kleinsten Fehlerquadrate in Übereinstimmung mit dem gemessenen Tiefenprofil (22) gebracht wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei Tiefenprofile (22) der Oberfläche der Bohrung (12) entlang von in einem axialen Abstand angeordneten Umfangslinien (13a, 13b) erfasst werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zur Abtastung der Oberfläche der Bohrung (12) ein mechanisches oder optisches Abtastverfahren verwendet wird.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die approximierte Kurve (24) und das erfasste Tiefenprofil (22) in einem x-y-Koordinatensystem dargestellt werden, wobei für jeden Messwert eine Winkelposition als x-Koordinate und ein zugeordneter Tiefenwert als y-Koordinate erfasst werden.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass es bei der Herstellung eines fluiddynamischen Lagers verwendet wird.